特開 2024-51399 粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024051399

(43)【公開日】2024-04-11

(54)【発明の名称】粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B32B 27/00 20060101AFI20240404BHJP

   C09J 7/38 20180101ALI20240404BHJP

   B32B 37/00 20060101ALI20240404BHJP

【ＦＩ】

B32B27/00 M

C09J7/38

B32B37/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022157548

(22)【出願日】2022-09-30

(71)【出願人】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100103517

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 寛之

(74)【代理人】

【識別番号】100149607

【弁理士】

【氏名又は名称】宇田 新一

(72)【発明者】

【氏名】堤 清貴

(72)【発明者】

【氏名】道下 そら

(72)【発明者】

【氏名】山本 真也

【テーマコード（参考）】

4F100

4J004

【Ｆターム（参考）】

4F100AT00B

4F100AT00D

4F100BA04

4F100BA07

4F100BA10A

4F100BA10D

4F100CB05C

4F100EJ30

4F100EJ91A

4F100EJ94

4F100GB41

4J004AA10

4J004AA14

4J004AA16

4J004AB01

4J004FA01

(57)【要約】

【課題】軟質な粘着剤層を有する大判の積層フィルムを効率よく製造するのに適した積層フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、用意工程と外形加工工程を含む。用意工程では、キャリアフィルムＣと、フィルム層１０と、原粘着剤層２０と、フィルム層３０とを厚さ方向Ｈに順に備える長尺のワークフィルムＷを用意する。外形加工工程では、ワークフィルムＷを流れ方向Ｄ１に走行させつつ、複数のガルバノスキャナＳを備えるレーザー加工装置により、ワークフィルムＷに対してフィルム層３０側からレーザー光を照射して、フィルム層１０上で原粘着剤層２０とフィルム層３０を切断する。この工程では、ワークフィルムＷの幅方向Ｄ２に連なるようにワークフィルムＷに設定される、ガルバノスキャナＳと同数の走査領域Ｒと、ガルバノスキャナＳとを一対一で対応させて、各ガルバノスキャナＳによって一の走査領域Ｒ内でレーザー光を走査する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

キャリアフィルムと、第１フィルム層と、原粘着剤層と、第２フィルム層とを厚さ方向にこの順で備える長尺のワークフィルムを用意する用意工程と、
前記ワークフィルムを長さ方向に走行させつつ、複数のガルバノスキャナを備えるレーザー加工装置により、前記ワークフィルムに対して前記第２フィルム層側からレーザー光を照射して、前記第１フィルム層上で前記原粘着剤層および前記第２フィルム層を切断する、外形加工工程とを含み、
前記外形加工工程では、前記ワークフィルムの幅方向に連なるように当該ワークフィルムに設定される、前記ガルバノスキャナと同数の走査領域と、前記複数のガルバノスキャナとを一対一で対応させて、各ガルバノスキャナによって一の走査領域内でレーザー光を走査する、粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法。

【請求項2】

前記レーザー加工装置が、前記ワークフィルムを吸引可能な加工ステージを備え、
前記外形加工工程では、前記ワークフィルムを前記加工ステージで吸引しつつ当該加工ステージ上をスライド走行させる、請求項１に記載の粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法。

【請求項3】

前記外形加工工程では、前記ワークフィルムの幅方向における前記複数のガルバノスキャナの位置が固定されている、請求項１または２に記載の粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ディスプレイパネルは、例えば、画素パネル、偏光フィルム、タッチパネルおよびカバーフィルムなどの要素を含む積層構造を有する。そのようなディスプレイパネルの製造過程では、積層構造に含まれる要素どうしの接合のために、例えば、光学的に透明な粘着シート（光学粘着シート）が用いられる。光学粘着シートは、例えば、同シートの両面がはく離ライナーで被覆された形態（粘着剤層を有する積層フィルムの形態）で製造される。

【0003】

一方、例えばスマートフォン用およびタブレット端末用に、繰り返し折り曲げ可能（フォルダブル）なディスプレイパネルの開発が進んでいる。フォルダブルディスプレイパネルは、具体的には、屈曲形状とフラットな非屈曲形状との間で、繰り返し変形可能である。このようなフォルダブルディスプレイパネルでは、積層構造中の各要素が、繰り返し折り曲げ可能に作製されており、そのような要素間の接合に薄い光学粘着シートが用いられている。フォルダブルディスプレイパネルなどフレキシブルデバイス用の光学粘着シートについては、例えば下記の特許文献１に記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－１１１７５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

フレキシブルデバイス用の粘着シートは、従来、例えば次のようにして製造される。

【0006】

まず、図７Ａに示すように、長尺の原反フィルムとしての積層フィルム９０を用意する。積層フィルム９０は、はく離ライナー９１と、粘着剤層９２と、はく離ライナー９３とを、厚さ方向Ｈにこの順で有する。はく離ライナー９１は、粘着剤層９２の一方面に剥離可能に接している。はく離ライナー９３は、粘着剤層９２の他方面に剥離可能に接している。このような積層フィルム９０が、キャリアフィルム（図示略）上に支持された状態で、製造ラインを流される。

【0007】

次に、図７Ｂに示すように、積層フィルム９０の粘着剤層９２に対するプレス加工により、複数の枚葉状の光学粘着シート９２Ａを形成する（外形加工工程）。プレス加工では、ロールトゥロール方式でプレス加工可能なプレス加工機を用いる。具体的には、プレス加工では、積層フィルム９０に対して、加工刃（図示略）を、はく離ライナー９３側からはく離ライナー９１に至るまで押し入れる。これにより、所定の平面視形状の光学粘着シート９２Ａを形成する。本工程では、粘着剤層９２における光学粘着シート９２Ａまわりには、周囲部９２ａが形成される。はく離ライナー９３もプレス加工されて、粘着剤層９２と同一の平面視形状のはく離ライナー９３Ａが形成され、はく離ライナー９３Ａまわりに周囲部９３ａが形成される。また、本工程では、図８に示すように、積層フィルム９０において切断溝９５が形成される。切断溝９５は、粘着剤層９２およびはく離ライナー９３に押し入る加工刃が、粘着剤層９２およびはく離ライナー９３を面方向Ｄに押圧することより、形成される。はく離ライナー９１上で隣り合う光学粘着シート９２Ａおよび周囲部９２ａの端縁部Ｅ,Ｅは、互いに対向する。

【0008】

このような外形加工工程の後、図７Ｃに示すように、はく離ライナー９１上から周囲部９２ａ,９３ａを除去する（除去工程）。この後、図７Ｄに示すように、長尺のはく離ライナー９１が枚葉状のはく離ライナー９１Ａに切断される。これにより、粘着剤層を有する枚葉状の積層フィルム（はく離ライナー９１Ａ／光学粘着シート９２Ａ／はく離ライナー９３Ａ）が得られる。

【0009】

フレキシブルデバイス用の光学粘着シートには、デバイス屈曲時の被着体への充分な追従性と、優れた応力緩和性とを有するように、高度に軟質であることが求められる。しかしながら、上述の製造方法では、粘着剤層９２が軟質なほど、外形加工工程（図７Ｂ）後に、はく離ライナー９１上で隣り合う光学粘着シート９２Ａおよび周囲部９２ａの端縁部Ｅ,Ｅが、図８において一点鎖線で示すように、それぞれ外方に膨らむように変形しやすい。具体的には、プレス加工時の加工刃の押し入りによって間が開いた端縁部Ｅ,Ｅは、元の位置に復帰するように変形しやすい（復帰的変形）。

【0010】

このような端縁部Ｅの変形は、隣り合う端縁部Ｅ,Ｅどうしが接触して付着すること（ブロッキング）の原因となる。端縁部Ｅ,Ｅ間にブロッキングが生じると、除去工程（図７Ｃ）において、周囲部９２ａ,９３ａを適切に除去できない。端縁部Ｅ,Ｅ間のブロッキングは、粘着剤層を有する積層フィルムの製造歩留まりを低下させる。

【0011】

上述の製造方法の外形加工工程では、プレス加工に代えてレーザー加工することも考えられる。図９は、従来のロールトゥロール方式のレーザー加工機の一例としてのレーザー加工機２００を表す。

【0012】

レーザー加工機２００は、加工ステージ２１０と、ガントリー装置２２０と、レーザーヘッド２３０と、発振器２４０とを備えるガントリー式のレーザー加工機である。ガントリー装置２２０は、一対のガイド２２１と、第１可動ユニット２２２と、第２可動ユニット２２３とを備える。第１可動ユニット２２２は、各ガイド２２１に対して、ワークフィルムの流れ方向Ｄ１にスライド可能に取り付けられている。第２可動ユニット２２３は、第１可動ユニット２２２に対して、ワークフィルムの幅方向Ｄ２にスライド可能に取り付けられている。レーザーヘッド２３０は、第２可動ユニット２２３に固定されている。ガントリー装置２２０により、加工ステージ２１０の上方において、レーザーヘッド２３０が流れ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２に移動可能である。また、発振器２４０では、レーザー光が発生される。当該レーザー光は、所定の光路（図９では模式的に点線で表す）によってレーザーヘッド２３０に導かれ、レーザーヘッド２３０から加工ステージ２１０側に照射される。

【0013】

このようなレーザー加工機２００による外形加工工程では、ワークフィルムとしての積層フィルム９０が加工ステージ２１０上を流れ方向Ｄ１に流されつつ、積層フィルム９０に対してレーザーヘッド２３０からレーザー光が照射される。レーザーヘッド２３０は、ガントリー装置２２０によって位置制御される。具体的には、積層フィルム９０におけるレーザー光の照射スポットが切断予定ラインをたどるように、ガントリー装置２２０により、レーザーヘッド２３０が流れ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２に必要に応じて移動される。すなわち、ガントリー装置２２０により、積層フィルム９０に対してレーザー光が走査される。このようなレーザー加工により、積層フィルム９０において複数の枚葉状の光学粘着シート９２Ａ（図７Ｂ）が順次に形成される。

【0014】

このような従来のレーザー加工においては、積層フィルム９０に対するレーザー照射箇所の走査は、上述のように、単一のレーザーヘッド２３０をガントリー装置２２０によって移動させることによって実施される。しかし、ガントリー装置２２０の可動ユニット２２２,２２３は、重いので、レーザーヘッド２３０を高速で移動させるのに適さない。すなわち、ガントリー式のレーザー加工機２００によるレーザー加工は、レーザー照射箇所の高速での走査に適さない。そのため、当該レーザー加工では、ワークフィルムの幅方向Ｄ２の寸法が大きくて製造目的物（粘着剤層を有する積層フィルム）が大きいほど、ワークフィルムの流れ方向Ｄ１の速度（搬送速度）を低下させる必要がある。これは、粘着剤層を有する積層フィルムの製造効率を低下させる。加えて、ガントリー式のレーザー加工機２００は、比較的大きなガントリー装置２２０が必要であるため、製造ラインを大型化させる。

【0015】

本発明は、軟質な粘着剤層を有する大判の積層フィルムを効率よく製造するのに適した積層フィルムの製造方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明［１］は、キャリアフィルムと、第１フィルム層と、原粘着剤層と、第２フィルム層とを厚さ方向にこの順で備える長尺のワークフィルムを用意する用意工程と、前記ワークフィルムを長さ方向に走行させつつ、複数のガルバノスキャナを備えるレーザー加工装置により、前記ワークフィルムに対して前記第２フィルム層側からレーザー光を照射して、前記第１フィルム層上で前記原粘着剤層および前記第２フィルム層を切断する、外形加工工程とを含み、前記外形加工工程では、前記ワークフィルムの幅方向に連なるように当該ワークフィルムに設定される、前記ガルバノスキャナと同数の走査領域と、前記複数のガルバノスキャナとを一対一で対応させて、各ガルバノスキャナによって一の走査領域内でレーザー光を走査する、粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法を含む。

【0017】

本製造方法の外形加工工程では、上記のように、レーザー光の照射により、ワークフィルムにおける第１フィルム層上の原粘着剤層が切断される。これにより、原粘着剤層において、所定の平面視形状の個片化された粘着剤層と、当該粘着剤層まわりの周囲部とが形成される。原粘着剤層に対してレーザー光が照射された部分では、原粘着剤層の材料が蒸発して除去される。すなわち、外形加工工程では、原粘着剤層の部分的除去により、当該原粘着剤層において、粘着剤層と周囲部とが隔てられて形成される。原粘着剤層はプレス刃の押し入りによって粘着剤層と周囲部とに切断されるのではないので、粘着剤層と周囲部とにおいて上述の復帰的変形が生じない。このような外形加工工程は、粘着剤層が軟質であるために変形しやすい場合であっても、粘着剤層と周囲部との間で上述のブロッキングが生じるのを抑制するのに適する。

【0018】

また、本製造方法の外形加工工程では、上記のように、複数のガルバノスキャナを用いる。ワークフィルムには、同フィルムの幅方向に連なるように複数の走査領域が設定される。ガルバノスキャナの数と走査領域の数とは同じであり、ガルバノスキャナと走査領域とを一対一で対応させる。そして、各ガルバノスキャナによって一の走査領域内でレーザー光を走査する。このような外形加工工程では、ガントリー装置によってレーザー光を走査する必要がない。そのため、同工程は、ワークフィルムに対する高速加工を実現するのに適し、従って、ワークフィルムの高い搬送速度を確保するのに適する。加えて、外形加工工程では、複数の走査領域がワークフィルムの幅方向に連なる。そのため、同工程は、ワークフィルムが幅広であって当該ワークフィルムにおいて大判の積層フィルムを形成する場合であっても、ワークフィルムの搬送速度の低下を抑制するのに適する。このような外形加工工程を含む本製造方法は、粘着剤層を有する積層フィルムを効率よく製造するのに適する。

【0019】

以上のように、本製造方法は、軟質な粘着剤層を有する大判の積層フィルムを効率よく製造するのに適する。

【0020】

本発明［２］は、前記レーザー加工装置が、前記ワークフィルムを吸引可能な加工ステージを備え、前記外形加工工程では、前記ワークフィルムを前記加工ステージで吸引しつつ当該加工ステージ上をスライド走行させる、上記［１］に記載の粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法を含む。

【0021】

このような構成は、外形加工工程において、ワークフィルムの原粘着剤層に対してレーザー光の焦点を高精度に合わせるのに好ましく、従って、原粘着剤層を高精度に切断するのに好ましい。

【0022】

本発明［３］は、前記外形加工工程では、前記ワークフィルムの幅方向における前記複数のガルバノスキャナの位置が固定されている、上記［１］または［２］に記載の粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法を含む。

【0023】

このような構成では、外形加工工程において、ガルバノスキャナをワークフィルムに対して幅方向および／または流れ方向に並進移動させるためのガントリー装置などの可動装置が必要ない。そのような可動装置が不要なことは、外形加工工程において、原粘着剤層を高精度に切断するのに好ましい。加えて、可動装置が不要なことは、本製法方法を実施する製造ラインの省スペース化、および、製造コストの低減に役立つ。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の粘着剤層を有する積層フィルムの製造方法の一実施形態の工程を表す。図１Ａは積層フィルムを用意する工程を表し、図１Ｂは外形加工工程を表し、図１Ｃは除去工程を表し、図１Ｄは切断工程を表す。

【図2】外形加工工程を表す斜視図である。

【図3】外形加工工程を表す断面図である。

【図4】外形加工工程を表す平面図である。

【図5】レーザー加工ユニットの内部構成の模式図である。

【図6】ガルバノスキャナの一例の斜視図である。

【図7】粘着剤層を有する積層フィルムの従来の製造方法の一例を表す。図７Ａは積層フィルムを用意する工程を表し、図７Ｂは外形加工工程を表し、図７Ｃは除去工程を表し、図７Ｄは切断工程を表す。

【図8】図７Ｂに示す外形加工工程の切断箇所の部分拡大断面模式図である。

【図9】従来のレーザー加工装置の一例を表す。

【発明を実施するための形態】

【0025】

本発明の一実施形態の積層フィルムの製造方法は、粘着剤層を有する枚葉状の積層フィルムのロールトゥロール方式での製造方法である。本製造方法は、図１Ａから図１Ｄに示すように、用意工程（図１Ａ）と、外形加工工程（図１Ｂ）と、除去工程（図１Ｃ）と、切断工程（図１Ｄ）とを含む。

【0026】

用意工程では、図１Ａに示すように、長尺の原反フィルムとしての積層フィルムＸを用意する。本製造方法を実施する製造ラインにおいて、積層フィルムＸは、キャリアフィルムＣ上に用意される。

【0027】

積層フィルムＸは、フィルム層１０（第１フィルム層）と、原粘着剤層２０と、フィルム層３０（第２フィルム層）とを、厚さ方向Ｈにこの順で備える。原粘着剤層２０は、第１面２０ａと、当該第１面２０ａとは反対の第２面２０ｂとを有する。フィルム層１０は第１面２０ａに接している。フィルム層３０は第２面２０ｂに接している。積層フィルムＸは、厚さ方向Ｈと直交する面方向に広がる。

【0028】

キャリアフィルムＣは、厚さ方向Ｈの一方側に粘着面を有する片面粘着フィルムである。キャリアフィルムＣおよび積層フィルムＸは、ワークフィルムＷを形成する。ワークフィルムＷにおいて、キャリアフィルムＣの粘着面が積層フィルムＸのフィルム層１０側に貼り合わせられている。ワークフィルムＷは、具体的には、キャリアフィルムＣと、フィルム層１０と、原粘着剤層２０と、フィルム層３０とを厚さ方向Ｈにこの順で備える。また、キャリアフィルムＣは、本実施形態では、ワークフィルムＷの流れ方向Ｄ１（図２）と直交する幅方向Ｄ２（図２,図３）において、積層フィルムＸよりも幅広である。積層フィルムＸは、キャリアフィルムＣ上において、幅方向Ｄ２の中央位置に配置される。積層フィルムＸの幅（幅方向Ｄ２の長さ）は、例えば２００ｍｍ以上、好ましくは２８０ｍｍ以上、より好ましくは４００ｍｍ以上であり、また、例えば１２００ｍｍ以下、好ましくは１０００ｍｍ以下、より好ましくは８００ｍｍ以下である。このようなワークフィルムＷが、製造ラインを流される。

【0029】

フィルム層１０は、例えば、はく離ライナー、機能性光学フィルム、または基材フィルム（支持フィルム）である。

【0030】

はく離ライナーの材料としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、およびポリカーボネートが挙げられる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、およびポリブチレンテレフタレートが挙げられる。ポリオレフィンとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）が挙げられる。はく離ライナーとしてのフィルム層１０は、原粘着剤層２０の第１面２０ａに剥離可能に接している。そのようなフィルム層１０の表面（原粘着剤層２０側の表面）は、好ましくは剥離処理されている。剥離処理としては、例えば、シリコーン剥離処理およびフッ素剥離処理が挙げられる。はく離ライナーの厚さは、粘着剤層に対する保護機能を確保する観点から、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２０μｍ以上、更に好ましくは３０μｍ以上である。はく離ライナーの厚さは、積層フィルムＸの薄型化の観点から、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１５０μｍ以下、更に好ましくは１００μｍ以下である。

【0031】

機能性光学フィルムとしては、例えば、偏光フィルムおよび位相差フィルムが挙げられる。機能性光学フィルムは、パネル補強材などの他の光学フィルムであってもよい。フィルム層１０が機能性光学フィルムである場合、そのようなフィルム層１０に対し、原粘着剤層２０の第１面２０ａは接合している。機能性光学フィルムとしてのフィルム層１０と、原粘着剤層２０とは、粘着剤層付き機能性光学フィルムを形成する。

【0032】

偏光フィルムとしては、例えば、二色性物質による染色処理とその後の延伸処理とを経た親水性高分子フィルムが挙げられる。二色性物質としては、例えば、ヨウ素および二色性染料が挙げられる。親水性高分子フィルムとしては、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）フィルム、部分ホルマール化ＰＶＡフィルム、および、エチレン・酢酸ビニル共重合体の部分ケン化フィルムが挙げられる。偏光フィルムとしては、ポリエン配向フィルムも挙げられる。ポリエン配向フィルムの材料としては、例えば、ＰＶＡの脱水処理物、および、ポリ塩化ビニルの脱塩酸処理物が挙げられる。偏光フィルムは、厚さ方向の一方面および／または他方面に、接着剤を介して接合された保護フィルムを有していてもよい。偏光フィルムの厚さは、偏光フィルムの機能、強度および耐久性確保する観点から、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２０μｍ以上である。偏光フィルムの厚さは、積層フィルムＸの薄型化の観点から、好ましくは５００μｍ以下、より好ましくは３００μｍ以下である。

【0033】

位相差フィルムとしては、例えば、λ／２波長フィルムおよびλ／４波長フィルム、および視野角補償フィルムが挙げられる。位相差フィルムの材料としては、例えば、延伸処理によって複屈折化された高分子フィルムが挙げられる。高分子フィルムとしては、例えば、セルロースフィルムおよびポリエステルフィルムが挙げられる。セルロースフィルムとしては、例えばトリアセチルセルロースフィルムが挙げられる。ポリエステルフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、およびポリブチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。位相差フィルムとしては、セルロースフィルムなどの基材と、当該基材上の液晶性ポリマーなど液晶化合物の配向層とを備えるフィルムも挙げられる。位相差フィルムの厚さは、位相差フィルムの機能および強度を確保する観点から、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上である。位相差フィルムの厚さは、積層フィルムＸの薄型化の観点から、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは８０μｍ以下である。

【0034】

基材フィルムの材料としては、例えば、はく離ライナーの材料として上記した材料が挙げられる。フィルム層１０が基材フィルムである場合、そのようなフィルム層１０に対し、原粘着剤層２０の第１面２０ａは接合している。基材フィルムとしてのフィルム層１０と、原粘着剤層２０とは、片面粘着シートを形成する。基材フィルムの厚さは、基材としての強度を確保する観点から、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２０μｍ以上、更に好ましくは３０μｍ以上である。基材フィルムの厚さは、積層フィルムＸの薄型化の観点から、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１５０μｍ以下、更に好ましくは１００μｍ以下である。

【0035】

原粘着剤層２０は、粘着剤組成物から形成されている。粘着剤組成物は、ベースポリマーを含む。ベースポリマーは、粘着性を発現させる粘着成分である。ベースポリマーとしては、例えば、アクリルポリマー、ポリウレタンポリマー、ポリアミドポリマー、およびポリビニルエーテルポリマーが挙げられる。ベースポリマーは、単独で用いられてもよいし、二種類以上が併用されてもよい。原粘着剤層２０における良好な透明性および粘着性を確保する観点から、ベースポリマーとしては、好ましくはアクリルポリマーが用いられる。

【0036】

アクリルポリマーは、(メタ)アクリル酸エステルを５０質量％以上の割合で含むモノマー成分の共重合体である。「(メタ)アクリル」は、アクリルおよび／またはメタクリルを意味する。(メタ)アクリル酸エステルとしては、好ましくは、(メタ)アクリル酸アルキルエステルが用いられ、より好ましくは、アルキル基の炭素数が１～２０である(メタ)アクリル酸アルキルエステルが用いられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ｎ－ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ｎ－ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸２－エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ｎ－オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸イソデシル、(メタ)アクリル酸ウンデシル、(メタ)アクリル酸ドデシルが挙げられる。

【0037】

モノマー成分は、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な共重合性モノマーを含んでもよい。共重合性モノマーとしては、例えば、極性基を有するモノマーが挙げられる。極性基含有モノマーとしては、例えば、ヒドロキシ基含有モノマー、窒素原子含有環を有するモノマー、およびカルボキシ基含有モノマー、が挙げられる。極性基含有モノマーは、アクリルポリマーへの架橋点の導入、アクリルポリマーの凝集力の確保など、アクリルポリマーの改質に役立つ。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸２－ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、および(メタ)アクリル酸２－ヒドロキシブチルが挙げられる。窒素原子含有環を有するモノマーとしては、例えば、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－メチルビニルピロリドン、Ｎ－ビニルピリジン、Ｎ－ビニルピペリドン、Ｎ－ビニルイミダゾール、およびＮ－(メタ)アクリロイル－２－ピロリドンが挙げられる。

【0038】

ベースポリマーは、好ましくは、架橋構造を有する。ベースポリマーへの架橋構造の導入方法としては、架橋剤と反応可能な官能基を有するベースポリマーと架橋剤とを粘着剤組成物に配合し、ベースポリマーと架橋剤とを粘着剤層中で反応させる方法（第１の方法）、および、ベースポリマーを形成するモノマー成分に架橋剤としての多官能モノマーを含め、当該モノマー成分の重合により、ポリマー鎖に分枝構造（架橋構造）が導入されたベースポリマーを形成する方法（第２の方法）が、挙げられる。これら方法は、併用されてもよい。

【0039】

上記第１の方法で用いられる架橋剤としては、例えば、ベースポリマーに含まれる官能基（ヒドロキシ基およびカルボキシ基など）と反応する化合物が挙げられる。そのような架橋剤としては、例えば、イソシアネート架橋剤、過酸化物架橋剤、およびエポキシ架橋剤が挙げられる。架橋剤は、単独で用いられてもよいし、二種類以上が併用されてもよい。

【0040】

上記第２の方法では、まず、ベースポリマーを形成するための単官能モノマーを重合させ（予備重合）、これによって部分重合物（低重合度の重合物と未反応のモノマーとの混合物）を含有するプレポリマー組成物を調製する。次に、プレポリマー組成物に架橋剤としての多官能モノマーを添加した後、部分重合物と多官能モノマーとを重合させる（本重合）。多官能モノマーとしては、例えば、エチレン性不飽和二重結合を１分子中に２個以上含有する多官能(メタ)アクリレートが挙げられる。多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、１,６－ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、および、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが挙げられる。

【0041】

ベースポリマーは、上述のモノマー成分を重合させることによって形成できる。重合方法としては、例えば、溶液重合、無溶剤での光重合（例えばＵＶ重合）、塊状重合、および乳化重合が挙げられる。溶液重合の溶媒としては、例えば、酢酸エチルおよびトルエンが用いられる。また、重合の開始剤としては、例えば、熱重合開始剤または光重合開始剤が用いられる。

【0042】

ベースポリマーの重量平均分子量は、原粘着剤層２０における凝集力の確保の観点から、好ましくは１０万以上、より好ましくは３０万以上、更に好ましくは５０万以上である。同重量平均分子量は、好ましくは５００万以下、より好ましくは３００万以下、更に好ましくは２００万以下である。ベースポリマーの重量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフ（ＧＰＣ）によって測定してポリスチレン換算により算出される。

【0043】

ベースポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、原粘着剤層２０の柔らかさを確保する観点から、好ましくは０℃以下、より好ましくは－１０℃以下、更に好ましくは－２０℃以下である。同ガラス転移温度は、例えば－８０℃以上である。

【0044】

ベースポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）については、下記のＦｏｘの式に基づき求められるガラス転移温度（理論値）を用いることができる。Ｆｏｘの式は、ポリマーのガラス転移温度Ｔｇと、当該ポリマーを構成するモノマーのホモポリマーのガラス転移温度Ｔｇｉとの関係式である。下記のＦｏｘの式において、Ｔｇはポリマーのガラス転移温度（℃）を表し、Ｗｉは当該ポリマーを構成するモノマーｉの重量分率を表し、Ｔｇｉは、モノマーｉから形成されるホモポリマーのガラス転移温度（℃）を示す。ホモポリマーのガラス転移温度については文献値を用いることができる。例えば、「Polymer Handbook」（第４版，John Wiley & Sons, Inc., 1999年）には、各種のホモポリマーのガラス転移温度が挙げられている。一方、モノマーのホモポリマーのガラス転移温度については、特開２００７－５１２７１号公報に具体的に記載されている方法によって求めることも可能である。

【0045】

Ｆｏｘの式 １／(２７３＋Ｔｇ)＝Σ［Ｗｉ／(２７３＋Ｔｇｉ)］

【0046】

粘着剤組成物は、必要に応じて他の成分を含有してもよい。他の成分としては、例えば、溶剤、シランカップリング剤、紫外線吸収剤、粘着付与剤、軟化剤、および酸化防止剤が挙げられる。溶剤としては、例えば、アクリルポリマーの重合時に必要に応じて用いられる重合溶媒、および、重合後に重合反応溶液に添加される溶剤が、挙げられる。当該溶剤としては、例えば、酢酸エチルおよびトルエンが用いられる。

【0047】

原粘着剤層２０のヘイズは、好ましくは３％以下、より好ましくは２％以下、更に好ましくは１％以下である。原粘着剤層２０のヘイズは、ＪＩＳ Ｋ７１３６（２０００年）に準拠して、ヘイズメーターを使用して測定できる。ヘイズメーターとしては、例えば、日本電色工業社製の「ＮＤＨ２０００」、および、村上色彩技術研究所社製の「ＨＭ-１５０型」が挙げられる。

【0048】

原粘着剤層２０の２５℃でのせん断貯蔵弾性率は、原粘着剤層２０の凝集力を確保する観点から、好ましくは１０ｋＰａ以上、より好ましくは１５ｋＰａ以上、更に好ましくは２０ｋＰａ以上、特に好ましくは２５ｋＰａ以上である。原粘着剤層２０の２５℃でのせん断貯蔵弾性率は、フレキシブルディスプレイパネル用途の光学粘着シートに求められる柔らかさを原粘着剤層２０において実現する観点から、好ましくは１０００ｋＰａ以下、より好ましくは７００ｋＰａ以下、更に好ましくは５００ｋＰａ以下、特に好ましくは３００ｋＰａ以下である。せん断貯蔵弾性率の調整方法としては、例えば、原粘着剤層２０におけるベースポリマーの種類の選択、分子量の調整、配合量の調整、ガラス転移温度の調整、および架橋度の調整が挙げられる。せん断貯蔵弾性率の調整方法としては、原粘着剤層２０におけるベースポリマー以外の成分の選択および配合量の調整も挙げられる。粘着剤層のせん断貯蔵弾性率は、動的粘弾性測定によって求められる。同測定は、Rheometric Scientific社製の動的粘弾性測定装置「Advanced Rheometric Expansion System (ARES)」によって実施できる。同測定では、測定モードをせん断モードとし、測定温度範囲を－４０℃～１００℃とし、昇温速度を５℃/分とし、周波数を１Ｈｚとする。

【0049】

フィルム層３０は、本実施形態では、はく離ライナーである。はく離ライナーの材料としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、およびポリカーボネートが挙げられる。具体的には、フィルム層１０に関して上記したはく離ライナーの材料が挙げられる。はく離ライナーとしてのフィルム層３０は、原粘着剤層２０の第２面２０ｂに剥離可能に接している。そのようなフィルム層３０の表面（原粘着剤層２０側の表面）は、好ましくは剥離処理されている。剥離処理としては、例えば、シリコーン剥離処理およびフッ素剥離処理が挙げられる。フィルム層３０の厚さは、例えば１０μｍ以上であり、また、例えば２００μｍ以下である。

【0050】

積層フィルムＸは、例えば次のようにして製造できる。まず、上述の粘着剤組成物をフィルム層１０上に塗布して塗膜を形成する。次に、フィルム層１０上の塗膜の上にフィルム層３０を貼り合わせる。次に、フィルム層１０,３０間の塗膜を乾燥させ、且つ、必要に応じて塗膜に対して光照射する。これにより、フィルム層１０,３０間に原粘着剤層２０を形成する。粘着剤組成物の塗布方法としては、例えば、ロールコート、キスロールコート、グラビアコート、リバースコート、ロールブラッシュ、スプレーコート、ディップロールコート、バーコート、ナイフコート、エアーナイフコート、カーテンコート、リップコート、およびダイコートが挙げられる。塗膜の乾燥温度は、例えば５０℃～２００℃である。乾燥時間は、例えば５秒～２０分である。

【0051】

外形加工工程では、図１Ｂに示すように、ワークフィルムＷに対するレーザー加工を実施する。具体的には、複数のガルバノスキャナを備えるレーザー加工装置により、ワークフィルムＷに対してフィルム層３０側からレーザー光Ｌを照射して、フィルム層１０上で原粘着剤層２０およびフィルム層３０を切断する。これにより、原粘着剤層２０において、個片化された粘着剤層２１と、粘着剤層２１まわりの周囲部２２とが形成される。また、フィルム層３０において、粘着剤層２１上のフィルム３１と、フィルム３１まわりの周囲部３２とが形成される。フィルム層１０には、ハーフカット溝１０ａが形成される。ハーフカット溝１０ａは、粘着剤層２１の端縁２１ａに沿って形成される。本実施形態では、複数のガルバノスキャナを備えるレーザー加工装置として、図２から図４に示すように、レーザー加工装置１００を用いる。

【0052】

レーザー加工装置１００は、本実施形態では、加工ステージ１１０と、複数のレーザー加工ユニット１２０と、制御部（図示略）とを備える。図２から図４は、レーザー加工装置１００が４台のレーザー加工ユニット１２０Ａ,１２０Ｂ,１２０Ｃ,１２０Ｄを備える場合を例示的に図示する。

【0053】

加工ステージ１１０は、製造ラインを流れるワークフィルムＷを支持するステージである。加工ステージ１１０は、図３に示すように、支持テーブル１１１と、吸引路１１２とを有する。支持テーブル１１１は、加工ステージ１１０において、ワークフィルムＷに対する支持面を形成する。支持テーブル１１１は、当該支持テーブル１１１を厚さ方向に貫通する複数の吸引孔１１１ａを有する。吸引路１１２は、加工ステージ１１０内に形成された空間である。吸引路１１２は、支持テーブル１１１の下方に位置する。支持テーブル１１１の各吸引孔１１１ａは、吸引路１１２と連通する。吸引路１１２は、減圧ポンプ（図示略）の吸引路と連結されている。減圧ポンプの稼働により、吸引路１１２は減圧される。減圧ポンプは、制御部による制御に従って、稼働状態と非稼働状態とを選択可能である。支持テーブル１１１上にワークフィルムＷがある場合、吸引路１１２が減圧されることにより、ワークフィルムＷは加工ステージ１１０の支持テーブル１１１に対して吸引される。

【0054】

加工ステージ１１０の製造ライン上流側には、一対のニップローラＮ１,Ｎ１が配置されている。一対のニップローラＮ１,Ｎ１によってワークフィルムＷを挟んだ状態で各ニップローラＮ１を一定速度で回転させることにより、ワークフィルムＷを引っ張って加工ステージ１１０に向けて送る。一方、加工ステージ１１０の製造ライン下流側には、一対のニップローラＮ２,Ｎ２が配置されている。一対のニップローラＮ２,Ｎ２によってワークフィルムＷを挟んだ状態で各ニップローラＮ２を一定速度で回転させることにより、ワークフィルムＷを引っ張ってニップローラＮ２,Ｎ２より下流側に向けて送る。ニップローラＮ１,Ｎ１とニップローラＮ２,Ｎ２とにより、ワークフィルムＷは、加工ステージ１１０の支持ステージ１１１上を同フィルムの長さ方向（流れ方向Ｄ１）に流される。この状態において加工ステージ１１０の吸引路１１２が減圧されることにより、ワークフィルムＷは、加工ステージ１１０に吸引されつつ、加工ステージ１１０上をスライド走行する。

【0055】

レーザー加工ユニット１２０は、図５に模式的に示すように、筐体１２１と、レーザー光源１２２と、ビームエキスパンダ１２３と、可動レンズ１２４と、集光レンズ１２５と、ガルバノスキャナＳとを備える。レーザー光源１２２、ビームエキスパンダ１２３、可動レンズ１２４、集光レンズ１２５、およびガルバノスキャナＳは、筐体１２１内に収容されている。筐体１２１はレーザー光出射口（図示略）を有する。

【0056】

レーザー光源１２２は、レーザー光Ｌを発振する。レーザー光源１２２としては、例えば、気体レーザー光源、固体レーザー光源、および半導体レーザー光源が挙げられる。気体レーザー光源としては、例えば、赤外域の波長を有するレーザー光をパルス発振するレーザー光源が挙げられる。そのようなレーザー光源としては、例えば、ＣＯレーザー光源（５μｍ）およびＣＯ_２レーザー光源（９.３～１０.６μｍ）が挙げられる（括弧内の数値はレーザー光源からのレーザー光の波長を表す。レーザー光源に関して以下同じ）。気体レーザー光源としては、エキシマレーザー光源も挙げられる。エキシマレーザー光源としては、例えば、Ｆ_２エキシマレーザー光源（１５７ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー光源（１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザー光源（２４８ｎｍ）、およびＸｅＣｌエキシマレーザー光源（３０８ｎｍ）が挙げられる。固体レーザー光源としては、例えば、Ｎｄ:ＹＡＧレーザー光源（１０６４ｎｍ）が挙げられる。半導体レーザー光源としては、例えば、波長４０５ｎｍの半導体レーザー光源が挙げられる。

【0057】

ビームエキスパンダ１２３は、レーザー光Ｌのビームサイズを調整する光学部品である。ビームエキスパンダ１２３と可動レンズ１２４との間には、他の光学部品が配置されてもよい。他の光学部品としては、例えば、コリメータレンズおよびホモジナイザが挙げられる。

【0058】

可動レンズ１２４は、レーザー光Ｌの光軸方向に変位可能なレンズである。可動レンズ１２４が光軸方向に変位することにより、集光レンズ１２５で集光されるレーザー光Ｌの焦点の位置（ワークフィルムＷでの焦点の位置）が変動する。可動レンズ１２４は、制御部による制御に従って、光軸方向の位置を調節可能である（可動レンズ１２４の位置制御）。

【0059】

集光レンズ１２５を通過したレーザー光Ｌは、ガルバノスキャナＳで反射される。ガルバノスキャナＳは、図６に示すように、ガルバノミラー１２６（第１ガルバノミラー）と、ガルバノモータ１２７（第１ガルバノモータ）と、ガルバノミラー１２８（第２ガルバノミラー）と、ガルバノモータ１２９（第２ガルバノモータ）とを備える。

【0060】

ガルバノミラー１２６は、レーザー光Ｌを反射可能なミラー面１２６ａを有する。ガルバノモータ１２７は、ガルバノミラー１２６に連結されたモータ軸芯１２７ａを有する。モータ軸芯１２７ａは、第１方向に延びる。第１方向は、好ましくは、ワークフィルムＷの流れ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２のそれぞれと直交する方向である。ガルバノモータ１２７は、ガルバノミラー１２６のミラー面１２６ａが向く方向（第１ミラー面方向）を、モータ軸芯１２７ａに沿って延びる回転軸まわりに揺動させることができる。ガルバノモータ１２７は、制御部による制御に従って、ガルバノミラー１２６における第１ミラー面方向を制御可能である。

【0061】

ガルバノミラー１２８は、レーザー光Ｌを反射可能なミラー面１２８ａを有する。ガルバノモータ１２９は、ガルバノミラー１２８に連結されたモータ軸芯１２９ａを有する。モータ軸芯１２９ａは、第２方向に延びる。第２方向は、第１方向と交差する。第２方向は、好ましくは、第１方向と直交する。第２方向は、好ましくは、幅方向Ｄ２である。ガルバノモータ１２９は、ガルバノミラー１２８のミラー面１２８ａが向く方向（第２ミラー面方向）を、モータ軸芯１２９ａに沿って延びる回転軸まわりに揺動させることができる。ガルバノモータ１２９は、制御部による制御に従って、ガルバノミラー１２８における第２ミラー面方向を制御可能である。

【0062】

ガルバノスキャナＳにおいて、レーザー光Ｌは、ガルバノミラー１２６のミラー面１２６ａと、ガルバノミラー１２８のミラー面１２８ａとで順次に反射される。このレーザー光Ｌは、筐体１２１のレーザー光出射口を通過した後、加工ステージ１１０上のワークフィルムＷに照射される。

【0063】

本工程において、ワークフィルムＷには、ワークフィルムＷの幅方向Ｄ２に連なるように複数の走査領域Ｒ（図３および図４に示す）が設定される。複数の走査領域Ｒは、具体的には、ワークフィルムＷにおける積層フィルムＸを幅方向Ｄ２に複数に分割するように設定される。レーザー加工ユニット１２０（ガルバノスキャナＳを備える）の数と、走査領域Ｒの数とは、同じである。すなわち、ガルバノスキャナＳの数と、走査領域Ｒの数とは同じである。図３および図４は、ワークフィルムＷの幅方向に連なるように四つ走査領域Ｒ１,Ｒ２,Ｒ３,Ｒ４が設定される場合を例示的に図示する（図３では、ガルバノスキャナＳおよびレーザー加工ユニット１２０を模式的に表す）。走査領域Ｒ１は、レーザー加工ユニット１２０ＡのガルバノスキャナＳと対応づけられる。走査領域Ｒ２は、レーザー加工ユニット１２０ＢのガルバノスキャナＳと対応づけられる。走査領域Ｒ３は、レーザー加工ユニット１２０ＣのガルバノスキャナＳと対応づけられる。走査領域Ｒ４は、レーザー加工ユニット１２０ＤのガルバノスキャナＳと対応づけられる。すなわち、ガルバノスキャナＳと走査領域Ｒとは一対一で対応づけられている。

【0064】

走査領域Ｒの幅方向Ｄ２の長さは、例えば３０ｍｍ以上、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは１００ｍｍ以上であり、また、例えば３００ｍｍ以下、好ましくは２５０ｍｍ以下、より好ましくは２００ｍｍ以下である。四つの走査領域Ｒにおける幅方向Ｄ２の長さは、互いに全て同じであってもよいし、一部が異なってもよいし、互いに全て異なってもよい。

【0065】

各レーザー加工ユニット１２０において、レーザー光Ｌは、ガルバノモータ１２７,１２９の第１・第２ミラー面方向の制御により、ワークフィルムＷに対して走査される。具体的には、レーザー加工ユニット１２０からのレーザー光ＬのワークフィルムＷ上の照射スポットが、ワークフィルムＷにおける切断予定ラインをたどるように、ガルバノモータ１２７,１２９の第１・第２ミラー面方向の制御により、流れ方向Ｄ１および面方向Ｄ２に走査される。各レーザー加工ユニット１２０において、レーザー光Ｌは、ガルバノスキャナＳの実質的に直下を中心とする所定の範囲（走査エリア）内を走査される。また、走査されるレーザー光Ｌにおいて、ワークフィルムＷに対する入射角（同フィルムの表面の法線方向と、レーザー光Ｌの光軸方向とが形成する角度）の変化に関わらず照射スポットのサイズ（スポット径）が同じになるように、第１・第２ミラー面方向に応じて可動レンズ１２４は位置制御される。

【0066】

図４は、レーザー加工ユニット１２０ごとのレーザー光Ｌの走査エリアＡＲの配置の一例を示す。図４では、レーザー加工ユニット１２０Ａの走査エリアＡＲ１と、レーザー加工ユニット１２０Ｂの走査エリアＡＲ２と、レーザー加工ユニット１２０Ｃの走査エリアＡＲ３と、レーザー加工ユニット１２０Ｄの走査エリアＡＲ４とが、流れ方向Ｄ１において間隔を空けてこの順で並び、且つ、幅方向Ｄ２において間隔を空けずにこの順で並ぶ。複数の走査エリアＡＲが幅方向Ｄ２において間隔を空けずに並ぶことにより、ワークフィルムＷに対する外形加工を幅方向Ｄ２に間断なく実施できる。本実施形態では、各走査エリアＡＲがこのような配置となるように、各レーザー加工ユニット１２０は配置されている。各レーザー加工ユニット１２０は、例えば、レーザー加工装置１００の所定のフレーム部に連結されている。これにより、ワークフィルムＷの流れ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２における複数のレーザー加工ユニット１２０の位置が固定される。すなわち、ワークフィルムＷの流れ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２における複数のガルバノスキャナＳの位置が固定される。また、複数の走査エリアＡＲも固定される。複数の走査エリアＡＲは、流れ方向Ｄ１において間隔を空けずに並んでもよい。複数の走査エリアＡＲが流れ方向Ｄ１において間隔を空けずに並ぶように、レーザー加工装置１００において複数のレーザー加工ユニット１２０が配置されてもい。

【0067】

レーザー加工装置１００においては、図４に示すように、ワークフィルムＷにおける長さ方向の一定領域は、まず、走査エリアＡＲ１でレーザー加工を受け、次に走査エリアＡＲ２でレーザー加工を受け、次に走査エリアＡＲ３でレーザー加工を受け、次に走査エリアＡＲ４でレーザー加工を受ける。本実施形態では、例えば、次のとおりである。

【0068】

走査エリアＡＲ１では、本実施形態では矩形の切断予定ライン（図示略）における点Ｐ１から点Ｐ２までの部分ライン（第１切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ１を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ａからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第１切断予定部分ラインを点Ｐ１から点Ｐ２までたどるように、走査される（第１走査）。これにより、ワークフィルムＷに切断ラインＴ１が形成される。

【0069】

走査エリアＡＲ２では、切断予定ラインにおける点Ｐ１から点Ｐ３までの部分ライン（第２切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ２を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ｂからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第２切断予定部分ラインを点Ｐ１から点Ｐ３まで又は点Ｐ３から点Ｐ１までたどるように、走査される（第２走査）。これにより、切断ラインＴ１と点Ｐ１で繋がる切断ラインＴ２がワークフィルムＷに形成される。また、走査エリアＡＲ２では、切断予定ラインにおける点Ｐ２から点Ｐ４までの部分ライン（第３切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ２を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ｂからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第３切断予定部分ラインを点Ｐ２から点Ｐ４まで又は点Ｐ２から点Ｐ４までたどるように、走査される（第３走査）。これにより、切断ラインＴ１と点Ｐ２で繋がる切断ラインＴ３がワークフィルムＷに形成される。

【0070】

走査エリアＡＲ３では、切断予定ラインにおける点Ｐ３から点Ｐ５までの部分ライン（第４切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ３を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ｃからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第４切断予定部分ラインを点Ｐ３から点Ｐ５まで又は点Ｐ５から点Ｐ３までたどるように、走査される（第４走査）。これにより、切断ラインＴ２と点Ｐ３で繋がる切断ラインＴ４がワークフィルムＷに形成される。走査エリアＡＲ３では、切断予定ラインにおける点Ｐ４から点Ｐ６までの部分ライン（第５切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ３を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ｃからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第５切断予定部分ラインを点Ｐ４から点Ｐ６まで又は点Ｐ６から点Ｐ４までたどるように、走査される（第５走査）。これにより、切断ラインＴ３と点Ｐ４で繋がる切断ラインＴ５がワークフィルムＷに形成される。

【0071】

走査エリアＡＲ４では、切断予定ラインにおける点Ｐ５から点Ｐ６までの部分ライン（第６切断予定部分ライン）が走査エリアＡＲ４を通過する間に、レーザー加工ユニット１２０Ｄからのレーザー光Ｌの照射スポットが、第６切断予定部分ラインを点Ｐ５から点Ｐ６までたどるように、走査される（第６走査）。これにより、ワークフィルムＷに切断ラインＴ６が形成される。切断ラインＴ６は、切断ラインＴ４と点Ｐ５で繋がり、且つ、切断ラインＴ５と点Ｐ６で繋がる。

【0072】

第１～第６走査のそれぞれでは、具体的には、ワークフィルムＷの搬送速度（ベクトル）とレーザー光Ｌの走査速度（ベクトル）との合成速度（ベクトル）によって定まる照射スポットの位置が、走査エリアＡＲを通過する切断予定部分ラインをたどるように、制御部によってガルバノスキャナＳ（ガルバノモータ１２７,１２９）が制御される。

【0073】

以上のような外形加工工程において、レーザー光Ｌとして例えばＣＯ_２レーザーを用いる場合、レーザー光Ｌのパルス幅は例えば０.５～５０μ秒であり、レーザー光Ｌのパルスの周波数は例えば１～２００ｋＨｚであり、レーザー光Ｌの出力は例えば２～２５０Ｗであり、レーザー光Ｌのスポット径は例えば５０～２００μｍである。レーザー光Ｌとして例えば短パルスレーザーを用いる場合は、レーザー光Ｌのパルス幅は例えば０.２～１０００ピコ秒であり、レーザー光Ｌのパルスの周波数は例えば０.１～１０００ＭＨｚであり、レーザー光Ｌの出力は例えば２～２５０Ｗであり、レーザー光Ｌのスポット径は例えば５～１００μｍである。

【0074】

次に、除去工程では、図１Ｃに示すように、フィルム層１０上から周囲部２２,３２を除去する。

【0075】

次に、切断工程では、図１Ｄに示すように、フィルム層１０が、枚葉状のフィルム１１に切断される。切断方法としては、例えば、レーザー加工による切断、および、プレス加工による切断が挙げられる。

【0076】

以上のようにして、積層フィルムＹ（粘着剤層を有する積層フィルム）を製造できる。フィルム３１を粘着剤層２１から剥離した後、粘着剤層２１に他のフィルムを貼り合わせてもよい。

【0077】

本製造方法の外形加工工程では、上述のように、レーザー光Ｌの照射により、ワークフィルムＷにおけるフィルム層１０上の原粘着剤層２０が切断される。これにより、原粘着剤層２０において、所定の平面視形状の個片化された粘着剤層２１と、粘着剤層２１まわりの周囲部２２とが形成される。原粘着剤層２０に対してレーザー光Ｌが照射された部分では、原粘着剤層２０の材料が蒸発して除去される。すなわち、外形加工工程では、原粘着剤層２０の部分的除去により、原粘着剤層２０において、粘着剤層２１と周囲部２２とが隔てられて形成される。原粘着剤層２０はプレス刃の押し入りによって粘着剤層２１と周囲部２２とに切断されるのではないので、粘着剤層２１と周囲部２２とにおいて上述の復帰的変形が生じない。このような外形加工工程は、粘着剤層２１が軟質であるために変形しやすい場合であっても、粘着剤層２１と周囲部２２との間で上述のブロッキングが生じるのを抑制するのに適する。

【0078】

また、本製造方法の外形加工工程では、上述のように、複数のガルバノスキャナＳを用いる。ワークフィルムＷには、ワークフィルムＷの幅方向Ｄ２に連なるように複数の走査領域Ｒが設定される。ガルバノスキャナＳの数と走査領域Ｒの数とは同じであり、ガルバノスキャナＳと走査領域Ｒとを一対一で対応させる。そして、各ガルバノスキャナＳによって一の走査領域Ｒ内でレーザー光Ｌを走査する。このような外形加工工程では、ガントリー装置によってレーザー光Ｌを走査する必要がない。そのため、同工程は、ワークフィルムＷに対する高速加工を実現するのに適し、従って、ワークフィルムＷの高い搬送速度を確保するのに適する。加えて、外形加工工程では、複数の走査領域ＲがワークフィルムＷの幅方向Ｄ２に連なる。そのため、同工程は、ワークフィルムＷが幅広であって大判の積層フィルムＹを形成する場合であっても、ワークフィルムＷの搬送速度の低下を抑制するのに適する。このような外形加工工程を含む本製造方法は、粘着剤層２１を有する積層フィルムＹを効率よく製造するのに適する。

【0079】

以上のように、本製造方法は、軟質な粘着剤層２１を有する大判の積層フィルムＹを効率よく製造するのに適する。

【0080】

本製造方法の外形加工工程では、ワークフィルムＷは、加工ステージ１１０に吸引されつつ、加工ステージ１１０上をスライド走行される。このことは、外形加工工程において、ワークフィルムＷの原粘着剤層２０に対してレーザー光Ｌの焦点を高精度に合わせるのに好ましく、従って、原粘着剤層２０を高精度に切断するのに好ましい。

【0081】

本製造方法の外形加工工程では、上述のように、レーザー加工装置１００において各ガルバノスキャナＳの位置が固定された状態で、レーザー光Ｌが走査される。本製造方法では、ガルバノスキャナＳをワークフィルムに対して幅方向および／または流れ方向に並進移動させるためのガントリー装置などの可動装置は、必要ない。そのような可動装置が不要なことは、外形加工工程において、原粘着剤層２０を高精度に切断するのに好ましい。加えて、可動装置が不要なことは、本製法方法を実施する製造ラインの省スペース化、および、製造コストの低減に役立つ。

【0082】

本製造方法において、レーザー加工装置１００におけるレーザー加工ユニット１２０の数は４に限らない。すなわち、レーザー加工装置１００が備えるガルバノスキャナＳの数は４に限らない。レーザー加工装置１００におけるレーザー加工ユニット１２０の数は、２、３、５、または、６以上であってもよい。すなわち、レーザー加工装置１００が備えるガルバノスキャナＳの数は、２、３、５、または、６以上であってもよい。ワークフィルムＷには、ワークフィルムＷの幅方向Ｄ２に連なるように、ガルバノスキャナＳと同数（２、３、５、または、６以上）の走査領域Ｒが設定される。

【0083】

レーザー加工ユニット１２０は、レーザー光ＬがガルバノスキャナＳの後に通過する位置に、テレセントリックタイプのｆθレンズを備えてもよい（レーザー加工ユニット１２０は、テレセントリックタイプのｆθレンズを備える場合、集光レンズ１２５を備えない）。当該ｆθレンズは、レーザー光ＬのワークフィルムＷに対する入射角の変化に関わらずレーザー光Ｌの照射スポットのスポット径が同じになるようにするのに役立つ。レーザー加工ユニット１２０は、そのようなｆθレンズを備える場合、必ずしも可動レンズ１２４を備えなくてもよい。レーザー加工ユニット１２０に割り当てられる走査領域Ｒの幅（幅方向Ｄ２の長さ）よりも直径が大きなテレセントリックタイプfθレンズを用いることができる場合、そのようなfθレンズを用いることが好ましい。また、レーザー加工ユニット１２０においては、テレセントリックタイプfθレンズと上述の可動レンズ１２４とを併用してもよい。

【符号の説明】

【0084】

Ｗ ワークフィルム
Ｘ 積層フィルム
Ｃ キャリアフィルム
Ｈ 厚さ方向
Ｄ１ 流れ方向
Ｄ２ 幅方向
１０ フィルム層（第１フィルム層）
１１ フィルム
２０ 原粘着剤層
２１ 粘着剤層
２２ 周囲部
３０ フィルム層（第２フィルム層）
３１ フィルム
３２ 周囲部
１００ レーザー加工装置
１１０ 加工ステージ
１１１ 支持テーブル
１１１ａ 吸引孔
１１２ 吸引路
１２０ レーザー加工ユニット
Ｓ ガルバノスキャナ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】