特開 2024-51750 浮上支持装置および外観検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024051750

(43)【公開日】2024-04-11

(54)【発明の名称】浮上支持装置および外観検査装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240404BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022158066

(22)【出願日】2022-09-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】小林 正芳

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 史朗

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA13

5F131AA33

5F131CA07

5F131DA20

5F131DA22

5F131DA42

5F131DC12

5F131DC30

5F131EB02

5F131EB32

5F131KA14

5F131KA54

5F131KA72

5F131KB09

5F131KB53

(57)【要約】

【課題】可撓性を有するシート状の媒体を浮上させた状態で所定の位置に固定する浮上支持装置を提供すること
【解決手段】浮上支持装置６は、可撓性を有するシート状の媒体２を、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤８と、非接触吸着盤８の多孔質板３１と重ならない位置に固定された吸着固定機構９と、を有する。吸着固定機構９は、複数の吸気口４２ａを備える吸着面４１を備える吸着用部材４２と、複数の吸気口４２ａに連通する空気流路４５と、空気流路４５に接続された吸気機構４６と、を備える。吸着面４１は、多孔質板３１と平行で、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ上方に位置する。吸気機構４６が駆動されると吸気口４２ａから空気が吸引され、媒体２の一部分が吸着面４１に吸着される。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可撓性を有するシート状の媒体を、多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、
前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に固定された吸着固定機構と、
を有し、
前記吸着固定機構は、複数の吸気口を備える吸着面を備える吸着用部材と、複数の前記吸気口に連通する空気流路と、前記空気流路に接続された吸気機構と、を備え、
前記吸着面は、前記多孔質板と平行で、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、
前記吸気機構が駆動されると前記吸気口から空気が吸引され、前記媒体の一部分が前記吸着面に吸着されることを特徴とする浮上支持装置。

【請求項2】

前記多孔質板を上方から見た場合の形状は、矩形であり、
前記吸着固定機構は、前記吸着用部材を保持するホルダを備え、
前記吸着用部材は、四角柱形状の多孔質体であり、前記多孔質板の一つの縁に沿って前記多孔質板と平行に延設され、
前記吸着面は、前記吸着用部材の上面であり、
前記吸気口は、前記吸着用部材の上面の気孔であり、
前記空気流路は、一方の開口が前記吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に接触するノズルを備え、
前記ホルダは、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びて前記吸着用部材の下面に密着する下面密着部と、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びて前記吸着用部材の前記第１側面に密着する側面密着部と、を備え、
前記下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記ノズルは、前記側面密着部を貫通し、前記一方の開口が当該側面密着部において前記第１側面に密着する密着面に露出し、
前記吸気機構は、前記側面密着部の前記第１側面とは反対側で外部に露出する前記ノズルの他方の開口に接続され、
前記非接触吸着盤は、前記ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する端面を備え、
前記端面は、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びており、前記吸着用部材を介して、前記密着面および前記密着面に露出する前記ノズルの一方の開口と対向することを特徴とする請求項１に記載の浮上支持装置。

【請求項3】

上下方向と垂直で互いに直交する２軸方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向とし、前記多孔質板と前記吸着用部材との配列方向をＸ軸方向、前記吸着用部材の延設方向をＹ軸方向とし、前記Ｘ軸方向において前記吸着用部材が位置する方向をＸ１方向とした場合に、
前記空気流路は、前記ノズルとして、前記Ｙ軸方向における前記吸着用部材の中央部分に接触する第１ノズルと、前記吸着用部材における前記第１ノズルと当該吸着用部材の前記Ｙ軸方向の一方の端との中間に接触する第２ノズルと、前記吸着用部材における前記第１ノズルと当該吸着用部材の前記Ｙ軸方向の他方の端との中間に接触する第３ノズルと、を備えることを特徴とする請求項２に記載の浮上支持装置。

【請求項4】

前記非接触吸着盤は、前記多孔質板の前記Ｘ１方向で前記Ｙ軸方向に延びる切欠き段部を備え、
前記切欠き段部は、前記Ｘ１方向を向く壁面および前記上方を向く底面を有し、前記Ｘ１方向の側から見た場合に、前記多孔質板の前記Ｙ軸方向の一方の端から他方の端まで延設され、
前記下面密着部は、前記底面に固定され、
前記ホルダが前記非接触吸着盤に固定されたときに、前記壁面は、前記吸着用部材の前記第２側面に密着することを特徴とする請求項３に記載の浮上支持装置。

【請求項5】

前記媒体は、矩形のＯＬＥＤ基板であり、
前記吸着固定機構は、前記ＯＬＥＤ基板の外周縁において、複数の端子がＹ軸方向に配列された外周縁部分を吸着することを特徴とする請求項１に記載の浮上支持装置。

【請求項6】

請求項１に記載の前記浮上支持装置と、
カメラと、
前記浮上支持装置を、前記カメラによる撮像位置を経由する水平の移動経路に沿って移動させる移動機構と、
を有し、
前記多孔質板と前記吸着固定機構とが配列された配列方向をＸ軸方向、前記Ｘ軸方向において前記吸着固定機構が位置する側をＸ１方向とした場合に、前記浮上支持装置の移動方向は、前記Ｘ１方向であることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート状の媒体を浮遊させた状態で移動不能に支持する媒体浮上支持装置に関する。また、シート状の媒体の外観を検査するための外観検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムなど、可撓性を有するシート状の媒体の搬送には、媒体を浮上させた状態で移動させる非接触搬送装置が用いられる。特許文献１には、シート状の媒体を浮上させる非接触吸着盤を有する非接触搬送装置が記載されている。非接触吸着盤は、上端部分に多孔質板を備える。非接触吸着盤は、多孔質板の表面において、加圧空気の噴出による媒体の浮上と、空気吸引による媒体の非接触吸着とを同時に行い、媒体を多孔質板の表面から浮上させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１６７２５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

可撓性を有するシート状の媒体として、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）基板がある。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されている基板である。

【0005】

ＯＬＥＤ基板を採用したディスプレイなどの製造時には、ＯＬＥＤ基板の外観検査が行われる。外観検査では、検査用ステージに載置したＯＬＥＤ基板をカメラ撮像し、取得した画像データに画像処理を施して傷などを検出することが試みられている。

【0006】

しかし、ＯＬＥＤ基板は、シート状であり、可撓性がある。従って、ＯＬＥＤ基板を検査用ステージの上面に載置したときに、シートに反りやうねりが発生する場合がある。また、ＯＬＥＤ基板はシート状なので、ＯＬＥＤ基板を検査用ステージの上面に載置したときに、検査用ステージの上面に塵埃が存在する場合には、ＯＬＥＤ基板に凹凸が発生することがある。ＯＬＥＤ基板を撮像した画像に、反り、うねり、および、塵埃に起因する凹凸により影が発生していると、これらの陰と、ＯＬＥＤ基板の表面に形成されたキズと、を画像データの解析により正確に判別することができない。従って、ＯＬＥＤ基板の外観検査では、検査員の目視による外観検査が行われることが主流である。

【0007】

ここで、シート状の媒体を非接触吸着盤により浮上させれば、媒体に反りやうねりは発生しない。また、シート状の媒体を非接触吸着盤により浮上させれば、多孔質板の上面に塵埃が存在しても、媒体に凹凸が発生することを防止或いは抑制できる。従って、媒体を非接触吸着盤により浮上させた状態で撮像すれば、取得した画像データに基づいて媒体表面に形成されたキズを正確に判別すること可能であると考えられる。しかし、非接触吸着盤により媒体を浮上させた場合には、媒体が多孔質板と平行な水平方向に移動しやすく、媒体を定位置に固定しておくことができない。従って、浮上した媒体の撮像が容易ではない。

【0008】

本発明の課題は、かかる点に鑑みて、可撓性を有するシート状の媒体を浮上させた状態で所定の位置に固定する浮上支持装置を提供することにある。また、媒体を撮像した撮像データに基づいてシート状の媒体のキズなどを検出できる外観検査装置を提供することに
ある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために、本発明の浮上支持装置は、可撓性を有するシート状の媒体を、多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に固定された吸着固定機構と、を有し、前記吸着固定機構は、複数の吸気口を備える吸着面を備える吸着用部材と、複数の前記吸気口に連通する空気流路と、前記空気流路に接続された吸気機構と、を備え、前記吸着面は、前記多孔質板と平行で、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、前記吸気機構が駆動されると前記吸気口から空気が吸引され、前記媒体の一部分が前記吸着面に吸着されることを特徴とする。

【0010】

本発明によれば、非接触吸着盤は、シート状の媒体を多孔質板から上方に所定距離だけ浮上させる。従って、媒体が多孔質板に接触して媒体に反りやうねりが発生することはなく、多孔質板の上面に塵埃が存在しても、媒体に凹凸が発生することがない。一方、吸着固定機構は、非接触吸着盤の多孔質板と重ならない位置に取り付けられており、多孔質板から上方に所定距離だけ離間する位置に吸着面を備える。また、非接触吸着盤の多孔質板から浮上した媒体は、その一部分が吸着用部材に吸着されて、多孔質板と平行な水平方向への移動が阻止される。従って、媒体は多孔質板から浮上した状態で固定される。さらに、媒体が多孔質板から浮上している高さと、吸着用部材の吸着面の高さが一致しているので、媒体が吸着用部材に吸着されたときに、媒体に、反りや、うねりが発生しない。

【0011】

本発明において、前記多孔質板を上方から見た場合の形状は、矩形であり、前記吸着固定機構は、前記吸着用部材を保持するホルダを備え、前記吸着用部材は、四角柱形状の多孔質体であり、前記多孔質板の一つの縁に沿って前記多孔質板と平行に延設され、前記吸着面は、前記吸着用部材の上面であり、前記吸気口は、前記吸着用部材の上面の気孔であり、前記空気流路は、一方の開口が前記吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に接触するノズルを備え、前記ホルダは、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びて前記吸着用部材の下面に密着する下面密着部と、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びて前記吸着用部材の前記第１側面に密着する側面密着部と、を備え、前記下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、前記ノズルは、前記側面密着部を貫通し、前記一方の開口が当該側面密着部において前記第１側面に密着する密着面に露出し、前記吸気機構は、前記側面密着部の前記第１側面とは反対側で外部に露出する前記ノズルの他方の開口に接続され、前記非接触吸着盤は、前記ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する端面を備え、前記端面は、前記吸着用部材の一方端から他方端まで延びており、前記吸着用部材を介して、前記密着面および前記密着面に露出する前記ノズルの一方の開口と対向するものとすることができる。このようにすれば、吸着用部材が多孔質体なので、吸気口である吸着用部材の上面の気孔は、吸着用部材の内部の気孔および第１側面の気孔を介してノズルに接続される。また、吸着用部材の下面と第１側面には、ホルダが密着する。吸着用部材において第１側面とは反対側に位置する第２側面には、非接触吸着盤が密着する。さらに、非接触吸着盤の端面は、吸着用部材の一方端から他方端まで延びており、吸着用部材を介して、密着面および密着面に露出するノズルの一方の開口と対向する。従って、ノズルに接続された吸気機構を駆動すれば、吸着用部材の上面の気孔から空気を吸い込むことができる。

【0012】

本発明において、上下方向と垂直で互いに直交する２軸方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向とし、前記多孔質板と前記吸着用部材との配列方向をＸ軸方向、前記吸着用部材の延設方向をＹ軸方向とし、前記Ｘ軸方向において前記吸着用部材が位置する方向をＸ１方向とした場合に、前記空気流路は、前記ノズルとして、前記Ｙ軸方向における前記吸着用部材の中央部分に接触する第１ノズルと、前記吸着用部材における前記第１ノズルと当該吸着用部材
の前記Ｙ軸方向の一方の端との中間に接触する第２ノズルと、前記吸着用部材における前記第１ノズルと当該吸着用部材の前記Ｙ軸方向の他方の端との中間に接触する第３ノズルと、を備えるものとすることができる。このようにすれば、吸着用部材の上面におけるＹ軸方向の全域において、媒体を吸着することが容易となる。また、媒体を吸着するための吸気口が多孔質体からなる吸着用部材の気孔であり、吸着用部材の全体に形成されているので、吸着用部材は、媒体のＹ軸方向における媒体の幅に拘わらず、媒体を吸着できる。

【0013】

本発明において、前記非接触吸着盤は、前記多孔質板の前記Ｘ１方向で前記Ｙ軸方向に延びる切欠き段部を備え、前記切欠き段部は、前記Ｘ１方向を向く壁面および前記上方を向く底面を有し、前記Ｘ１方向の側から見た場合に、前記多孔質板の前記Ｙ軸方向の一方の端から他方の端まで延設され、前記下面密着部は、前記底面に固定され、前記ホルダが前記非接触吸着盤に固定されたときに、前記壁面は、前記吸着用部材の前記第２側面に密着するものとすることができる。このようにすれば、ホルダを非接触吸着盤に固定したときに、吸着用部材の第２側面に非接触吸着盤の一部分を密着させることが容易である。

【0014】

本発明において、前記媒体は、矩形のＯＬＥＤ基板であり、前記吸着固定機構は、前記ＯＬＥＤ基板の外周縁において、複数の端子がＹ軸方向に配列された外周縁部分を吸着するものとすることができる。このようにすれば、ＯＬＥＤ基板において、外観検査の必要がない部分を吸着できる。

【0015】

次に、本発明の外観検査装置は、上記の前記浮上支持装置と、カメラと、前記浮上支持装置を、前記カメラによる撮像位置を経由する水平の移動経路に沿って移動させる移動機構と、を有し、前記多孔質板と前記吸着固定機構とが配列された配列方向をＸ軸方向、前記Ｘ軸方向において前記吸着固定機構が位置する側をＸ１方向とした場合に、前記浮上支持装置の移動方向は、前記Ｘ１方向であることを特徴とする

【0016】

本発明によれば、浮上支持装置を水平方向に移動させた場合でも、浮上支持装置の非接触吸着盤上で、媒体が移動することがない。よって、非接触吸着盤上で浮上させた媒体を、撮像位置に移動させて、カメラにより撮像できる。また、浮上支持装置を移動させる際に、非接触吸着盤の多孔質板に対して、移動方向の前方に媒体吸着機構が位置する。従って、浮上支持装置が移動する際に、媒体の移動方向の前方が、媒体吸着機構に固定されている。よって、浮上支持装置が移動する際に、媒体に反りや撓みが発生することを防止或いは抑制できる。

【発明の効果】

【0017】

本発明の浮上支持装置は、非接触吸着盤から浮上した媒体を媒体吸着機構により吸着して固定する。従って、浮上支持装置により支持された媒体を撮像すれば、撮像データに基づいて、媒体のキズなどを検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】外観検査装置の説明図である。

【図2】外観検査装置の概略ブロック図である。

【図3】浮上支持装置の斜視図である。

【図4】浮上支持装置の分解斜視図である。

【図5】媒体吸着機構の分解斜視図である。

【図6】浮上支持装置にシート状の媒体を支持した状態の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照して、本発明の外観検査装置および浮上支持装置の実施の形態を説明する。

【0020】

（外観検査装置）
図１は、外観検査装置の説明図である。図２は、外観検査装置の制御系の概略ブロック図である。外観検査装置１は、シート状の媒体２を搬送しながら撮像し、取得した画像データから媒体２の表面にあるキズを検出する。本例では、シート状の媒体２は、ＯＬＥＤ基板である。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されているものである。図１に示すように、ＯＬＥＤ基板は、平面形状が矩形である。ＯＬＥＤ基板は、その４辺のうちの一つの辺に沿って配列された複数の端子２ａを備える。

【0021】

外観検査装置１は、レール５と、レール５上に載置された浮上支持装置６と、浮上支持装置６をレール５に沿って移動させる移動機構７を備える。浮上支持装置６は、非接触吸着盤８と、吸着固定機構９と、を備える。浮上支持装置６では、非接触吸着盤８が載浮上させた媒体２を、吸着固定機構９が吸着固定する。移動機構７は、レール５の一方端に設定された供給位置Ａと、レール５の他方端に設定された搬出位置Ｂとの間で浮上支持装置６を移動させる。ここで、媒体２は、不図示の搬送装置により、供給位置Ａに配置された浮上支持装置６に上方から供給される。媒体２が供給位置Ａに浮上支持装置６に供給される際に、媒体２において複数の端子２ａが配列されている辺は、搬出位置Ｂの側に位置する。浮上支持装置６の詳細は、後述する。

【0022】

また、外観検査装置１は、供給位置Ａにある浮上支持装置６に媒体２が支持されているか、否かを検出する第１検出器１１と、搬出位置Ｂにある浮上支持装置６に媒体２が支持されているか、否かを検出する第２検出器１２と、を備える。第１検出器１１および第２検出器１２は、浮上支持装置６に向かって検査光を射出する検査光射出部１３と、媒体２からの反射光を検出する検出部１４とを備える。第１検出器１１および第２検出器１２は、各検出部１４からの出力に基づいて、媒体２の有無を判定する。

【0023】

さらに、外観検査装置１は、レール５の延設方向の中程に、バーコードリーダ１５と、撮像機構１６と、を備える。バーコードリーダ１５および撮像機構１６は、レール５の上方に位置する。撮像機構１６は、レール５に沿って移動する媒体２に照明光を照射する不図示のライトと、媒体２を撮像するカメラ１７とを備える。カメラ１７は、浮上支持装置６の移動方向と直交する方向に配列された複数の撮像素子を備えるラインカメラである。

【0024】

また、外観検査装置１は、図２に示すように、制御部２０と、記憶装置２１と、を備える。制御部２０の入力側には、第１検出器１１および第２検出器１２が接続されている。制御部２０の出力側には、浮上支持装置６および移動機構７が接続されている。また、制御部２０には、記憶装置２１、バーコードリーダ１５および撮像機構１６が通信可能に接続されている。制御部２０は、浮上支持装置６を駆動した状態で、搬送装置から媒体２の供給を受ける。

【0025】

制御部２０は、媒体２の搬送に際して、浮上支持装置６を動作させている。制御部２０は、第１検出器１１からの出力に基づいて供給位置Ａにある浮上支持装置６に媒体２が供給されたことを検出すると、移動機構７を駆動して、浮上支持装置６を、供給位置Ａから搬出位置Ｂに至る水平な移動経路２５に沿って移動させる。移動経路２５は、供給位置Ａから搬出位置Ｂに至るまでの間に、バーコードリーダ１５による読取位置Ｃおよびカメラ１７による撮像位置Ｄを経由する。

【0026】

また、制御部２０は、移動機構７の駆動とともに、バーコードリーダ１５および撮像機構１６を駆動する。これにより、バーコードリーダ１５は、読取位置Ｃを通過する媒体２に印刷されたバーコードを読み取り、制御部２０に送信する。撮像機構１６は、カメラ１
７により撮像位置Ｄを通過する媒体２を撮像して、取得した画像データを制御部２０に送信する。ここで、制御部２０は、画像解析部２３を備える。画像解析部２３は、カメラ１７からの画像データを解析して、媒体２の表面のキズを検出する。また、制御部２０は、画像データおよびキズの検出結果を、バーコードの読取情報と関連付けて、記憶装置２１に記憶保持する。

【0027】

また、制御部２０は、第２検出器１２からの出力に基づいて搬出位置Ｂにある浮上支持装置６から媒体２が搬出されたことを検出すると、移動機構７を駆動して、浮上支持装置６を搬出位置Ｂから供給位置Ａに戻す。すなわち、不図示の搬送機構により、搬出位置Ｂにある浮上支持装置６から媒体２が搬出されると、制御部２０は、浮上支持装置６を供給位置Ａに戻す。

【0028】

以下の説明では、上下方向をＺ軸方向とし、Ｚ軸方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とする。また、Ｘ軸方向を搬送経路２５（レール５）に沿った方向とし、Ｙ軸方向を搬送経路と直交する方向とする。さらに、Ｘ軸方向において、供給位置Ａから搬出位置Ｂに向かう方向をＸ１方向、その反対をＸ２方向とする。

【0029】

（浮上支持装置）
図３は、浮上支持装置６の斜視図である。図４は、浮上支持装置６の分解斜視図である。図５は、吸着固定機構９の分解斜視図である。図６は、浮上支持装置６にシート状の媒体２を支持した状態の説明図である。図６は、浮上支持装置６における吸着用部材の周辺の縦断面図である。図３に示すように、浮上支持装置６は、非接触吸着盤８と、非接触吸着盤８に取り付けられた吸着固定機構９と、を備える。

【0030】

（非接触吸着盤）
非接触吸着盤８は、その上面の中央に、矩形の多孔質板３１を備える。非接触吸着盤８は、多孔質板３１の表面において、加圧空気の噴出による媒体２の浮上と、空気吸引による媒体２の非接触吸着とを同時に行い、上方から浮上支持装置６に供給された媒体２を多孔質板３１の表面３１ａから浮上させる。非接触吸着盤８は、周知のものである。

【0031】

図４に示すように、非接触吸着盤８は、直方体形状の本体部分３２と、本体部分３２の上面の中央から上方に突出する矩形の突出部分３３と、を備える。これにより、非接触吸着盤８は、上端部分におけるＸ軸方向の両端部分およびＹ軸方向の両端部分に４つの切欠き段部３４～３７を備える形状となっている。本体部分３２には、加圧空気を非接触吸着盤８に供給するための第１ノズル３８と、空気吸引を行うための第２ノズル３９とが、それぞれ複数ずつ接続されている。第１ノズル３８には、不図示の加圧空気供給機構が接続される。第２ノズル３９には、不図示の空気吸引機構が接続される。突出部分３３の中央には、多孔質板３１が配置されている。多孔質板３１の外周面には、本体部分３２から上方に延びる矩形の枠板４０が密着する。

【0032】

４つの切欠き段部３４～３７のうち、多孔質板３１のＸ１方向でＹ軸方向に延びる第１切欠き段部３４は、Ｘ１方向を向く壁面および上方を向く底面３４ａを有する。第１切欠き段部３４は、本体部分３２のＹ軸方向の一方端から他方端まで延びる。従って、第１切欠き段部３４は、Ｘ１方向の側から見た場合に、多孔質板３１のＹ軸方向の一方の端よりもＹ軸方向の一方側から、多孔質板３１のＹ軸方向の他方側のよりもＹ軸方向の他方側まで延設されている。図３に示すように、吸着固定機構９は、非接触吸着盤８の第１切欠き段部３４に固定されている。

【0033】

（吸着固定機構）
吸着固定機構９は、上面が複数の吸気口４２ａを有する吸着面４１となっている吸着用
部材４２と、吸着用部材４２を保持するホルダ４３と、を備える。吸着用部材４２は、ホルダ４３を介して、非接触吸着盤８に固定される。吸着用部材４２が非接触吸着盤８に固定された状態では、図３に示すように、吸着用部材４２は、多孔質板３１のＸ１方向に位置する。吸着用部材４２の吸着面４１は、非接触吸着盤８の多孔質板３１と平行で、多孔質板３１の表面３１ａから所定距離だけ上方に位置する（後述する図６参照）。また、吸着固定機構９は、複数の吸気口４２ａと連通する空気流路４５と、空気流路４５に接続される吸気機構４６と、を備える。

【0034】

図５に示すように、吸着用部材４２は、四角柱形状の多孔質体である。多孔質体は、アルミナを主成分とする多孔質セラミックス、ＳｉＣを主成分とする多孔質セラミックス、或いは、通気性の多孔質カーボンから形成される。吸着用部材４２は、Ｙ軸方向に延設される。吸着用部材４２は、上方を向く上面５１と、上面５１と平行で下方を向く下面５２と、Ｘ１方向を向く第１側面５３と、第１側面５３と平行でＸ２方向を向く第２側面５４と、を備える。また、吸着用部材４２はＹ軸方向の両端で平行に延びる矩形の第３側面５５および第４側面５６を備える。吸着用部材４２のＹ軸方向の寸法は、多孔質板３１のＹ軸方向の寸法と同一か、または、僅かに短い。本例では、吸着用部材４２のＹ軸方向の寸法は、多孔質板３１のＹ軸方向の寸法よりも短く、Ｘ軸方向から見た場合に、吸着用部材４２は、多孔質板３１のＹ軸方向の中央に位置する。ここで、吸気口４２ａは、多孔質体からなる吸着用部材４２の上面５１の気孔である。吸着面４１は、吸着用部材４２の上面５１である。

【0035】

ホルダ４３は、Ｘ軸方向の幅が一定で、Ｙ軸方向における吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びる矩形の板部６１（下面密着部）を備える。また、ホルダ４３は、板部６１のＸ１方向の端部分から上方に突出してＹ軸方向に延びる上側突出部６２（側面密着部）と、板部６１のＸ１方向の端部分から下方に突出してＹ軸方向に延びる下側突出部６３と、を備える。上側突出部６２は、一定幅および一定高さで、板部６１のＹ軸方向における一方端から他方端まで延びる。下側突出部６３は、一定幅および一定高さで、板部６１のＹ軸方向における一方端から他方端まで延びる。Ｘ軸方向における上側突出部６２の幅寸法は、下側突出部６３の幅寸法よりも長い。

【0036】

ここで、ホルダ４３には、第１ノズル６５、第２ノズル６６、および第３ノズル６７が保持されている。第１ノズル６５は、上側突出部６２におけるＹ軸方向の中央を貫通する。第２ノズル６６は、上側突出部６２のＹ軸方向における第１ノズル６５とＹ軸方向の一方の端との中央を貫通する。第３ノズル６７は、上側突出部６２のＹ軸方向における第１ノズル６５とＹ軸方向の他方端との中央を貫通する。各ノズル６５～６７のＸ１方向の端部分は、上側突出部６２からＸ１方向に突出する。各ノズル６５～６７のＸ２方向の開口６５ａ、６６ａ、６７ａは、上側突出部６２においてＸ２方向を向く壁面６２ａ（密着面）に露出する。

【0037】

吸着用部材４２は、板部６１と上側突出部６２とにより区画された段部６８に保持される。図６に示すように、吸着用部材４２が段部６８に保持された状態では、板部６１における上側突出部６２よりもＸ２方向の側の部分は、吸着用部材４２の下面５２の全体に密着する。上側突出部６２においてＸ２方向を向く壁面６２ａは、吸着用部材４２の第１側面５３に密着する。本例では、上側突出部６２の高さ寸法は、吸着用部材４２の第１側面５３の高さ寸法よりも短い。従って、吸着用部材４２は、上側突出部６２よりも僅かに上方に突出する。このため、吸着用部材４２の第１側面５３の上端部分は、上側突出部６２により覆われておらず、露出している。

【0038】

また、図５、図６から分かるように、吸着用部材４２がホルダ４３に保持された状態では、第１ノズル６５のＸ２方向の端（開口６５ａ）、第２ノズル６６のＸ２方向の端（開
口６６ａ）、および第３ノズル６７のＸ２方向の端（開口６７ａ）は、吸着用部材４２の第１側面５３に密着する。より詳細には、第１ノズル６５のＸ２方向の端（開口６５ａ）は、Ｙ軸方向における吸着用部材４２の中央部分に接触する。第２ノズル６６のＸ２方向の端（開口６６ａ）は、吸着用部材４２における第１ノズル６５と吸着用部材４２のＹ軸方向の一方の端との中間に接触する。第３ノズル６７のＸ２方向の端（開口６７ａ）は、吸着用部材４２における第１ノズル６５と吸着用部材４２のＹ軸方向の他方の端との中間に接触する。ここで、吸着用部材４２は多孔質体なので、各ノズル６５～６７の一方の開口が吸着用部材４２に接触すると、吸気口４２ａである吸着用部材４２の上面５１（吸着面４１）の気孔は、吸着用部材４２の内部の気孔４２ｂ、および、第１側面５３の気孔４２ｃを介して、各ノズル６５～６７に接続される。すなわち、吸着用部材４２がホルダ４３に保持されると、各ノズル６５～６７から吸着用部材４２の上面５１の複数の吸気口４２ａに連通する空気流路４５が形成される。各ノズル６５～６７は、空気流路４５の一部である。

【0039】

次に、吸着固定機構９は、ホルダ４３の板部６１が非接触吸着盤８の第１切欠き段部３４に載置されて非接触吸着盤８に固定される。吸着固定機構９が非接触吸着盤８に固定された状態では、下側突出部６３が非接触吸着盤８の本体部分３２にＸ１方向の側から当接する。また、吸着固定機構９が非接触吸着盤８に固定されたときに、非接触吸着盤８において多孔質板３１の外周面を囲む枠板４０のＸ１方向を向く端面４０ａは、吸着用部材４２の第２側面５４に密着する。枠板４０の端面４０ａは、吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びる。また、端面４０ａは、吸着用部材４２を介して、上側突出部６２においてＸ２方向を向く壁面６２ａ（第１側面５３に密着するホルダ４３の密着面）、および、この壁面６２ａに露出する各ノズル６５～６７の一方の開口６５ａ、６６ａ、６７ａと対向する。

【0040】

ここで、吸着固定機構９が非接触吸着盤８に固定されたときに、吸着面４１である吸着用部材４２の上面５１は、非接触吸着盤８の多孔質板３１の上面５１から所定距離Ｈだけ上方に離間した位置にある。所定距離Ｈは、非接触吸着盤８が、媒体２を、多孔質板３１から浮上させる距離と同一である。なお、本例では、吸着固定機構９を非接触吸着盤８に固定するときに、ホルダ４３の板部６１と、非接触吸着盤８の第１切欠き段部３４の底面３４ａとに間にスペーサを配置することにより、吸着面４１の位置を調節することができる。

【0041】

次に、吸気機構４６は、イジェクターを備える。図４に鎖線で示すように、吸気機構４６は、ホルダ４３からＸ１方向に突出する突出部分に接続される。すなわち、吸気機構４６は、空気流路４５の一部である各ノズル６５～６７のＸ１方向の開口に接続される。従って、吸気機構４６を駆動すれば、吸着用部材４２の上面５１の吸気口４２ａから空気を吸い込むことができる。

【0042】

（浮上支持装置による媒体の支持）
図１に白抜きの矢印で示すように、媒体２は、上方から供給位置Ａにある浮上支持装置６に供給される。浮上支持装置６に供給される際に、媒体２は、複数の端子２ａが配列された辺が搬出位置Ｂの側（Ｘ１方向）に位置する姿勢とされる。また、媒体２は、Ｘ１方向の端でＹ軸方向に延びる外周縁部分（複数の端子２ａが配列された外周縁部分）が吸着用部材４２と重なり、それよりもＸ２方向の部分が多孔質板３１と重なるようにして、浮上支持装置６に供給される。

【0043】

ここで、外観検査装置１の制御部２０は、浮上支持装置６を駆動した状態で、媒体２の供給を受ける。すなわち、制御部２０は、非接触吸着盤８および吸着固定機構９（吸気機構４６）を動作させた状態で媒体２の供給を受ける。従って、図６に示すように、浮上支
持装置６に供給された媒体２は、非接触吸着盤８の多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ浮上した状態となる。また、吸着固定機構９は、媒体２（ＯＬＥＤ基板）の外周縁において、複数の端子２ａがＹ軸方向に配列された外周縁部分を、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ上方に離間する吸着面４１で吸着する。

【0044】

媒体２（ＯＬＥＤ基板）において、吸着固定機構９により吸着固定されている外周縁部分は、制御部２０が浮上支持装置６を供給位置Ａから搬出位置Ｂに向かって移動させる際に、移動方向（Ｘ１方向）の前方に位置する。

【0045】

（作用効果）
本例の浮上支持装置６は、可撓性を有するシート状の媒体２を、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤８と、非接触吸着盤８の多孔質板３１と重ならない位置に固定された吸着固定機構９とを有する。吸着固定機構９は、複数の吸気口４２ａを備える吸着面４１を備える吸着用部材４２と、複数の吸気口４２ａに連通する空気流路４５と、空気流路４５に接続された吸気機構４６と、を備える。吸着面４１は、多孔質板３１と平行で、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ上方に位置する。吸気機構４６が駆動されると吸気口４２ａから空気が吸引され、媒体２の一部分が吸着面４１に吸着される。

【0046】

本例によれば、浮上支持装置６に媒体２の供給を受けたときに、非接触吸着盤８は、シート状の媒体２を多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ浮上させる。従って、媒体２が多孔質板３１に接触して媒体２に反りやうねりが発生することはなく、多孔質板３１の上面５１に塵埃が存在しても、媒体２に凹凸が発生することがない。一方、吸着固定機構９は、非接触吸着盤８の多孔質板３１と重ならない位置に取り付けられており、多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ離間する位置に吸着面４１を備える。また、非接触吸着盤８の多孔質板３１から浮上した媒体２は、その一部分が吸着用部材４２に吸着されて、多孔質板３１と平行な水平方向への移動が阻止される。従って、媒体２は多孔質板３１から浮上した状態で固定される。さらに、媒体２が多孔質板３１から浮上している高さと、吸着用部材４２の吸着面４１の高さが一致しているので、媒体２が吸着用部材４２に吸着されたときに、媒体２に、反りや、うねりが発生しない。

【0047】

本例において、多孔質板３１を上方から見た場合の形状は、矩形である。吸着固定機構９は、吸着用部材４２を保持するホルダ４３を備える。吸着用部材４２は、四角柱形状の多孔質体であり、多孔質板３１の一つの縁に沿って多孔質板３１と平行に延設される。吸着面４１は、吸着用部材４２の上面５１であり、吸気口４２ａは、吸着用部材４２の上面５１の気孔である。空気流路４５は、一方の開口が吸着用部材４２の多孔質板３１とは反対側の第１側面５３に接触するノズル６５、６６、６７を備える。ホルダ４３は、吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びて吸着用部材４２の下面５２に密着する板部６１（下面密着部）と、吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びて吸着用部材４２の第１側面５３に密着する上側突出部６２（側面密着部）と、を備える。板部６１は、非接触吸着盤８に固定される。ノズル６５、６６、６７は、上側突出部６２を貫通し、一方の開口が当該上側突出部６２において第１側面５３に密着する壁面６２ａ（密着面）に露出する。吸気機構４６は、上側突出部６２の第１側面５３とは反対側で外部に露出するノズルの他方の開口に接続される。また、非接触吸着盤８は、ホルダ４３を非接触吸着盤８に固定したときに、吸着用部材４２の第１側面５３とは反対側を向く第２側面５４に密着する端面（枠板４０のＸ２方向を向く端面）を備える。端面は、吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びており、吸着用部材４２を介して、密着面および密着面に露出するノズルの一方の開口と対向する。

【0048】

本例では、吸着用部材４２が多孔質体なので、吸気口４２ａである吸着用部材４２の上
面５１の気孔は、吸着用部材４２の内部の気孔４２ｂおよび第１側面５３の気孔４２ｃを介して各ノズル６５、６６、６７に接続される。従って、各ノズル６５、６６、６７に接続された吸気機構４６を駆動すれば、吸着用部材４２の上面５１の気孔から空気を吸い込むことができる。また、吸着用部材４２の下面５２と第１側面５３には、ホルダ４３が密着し、吸着用部材４２において第１側面５３とは反対側に位置する第２側面５４には、非接触吸着盤８が密着する。また、非接触吸着盤８において吸着用部材４２に密着する端面（枠板４０の端面４０ａ）は、吸着用部材４２を介して、密着面および密着面に露出するノズル６５、６６、６７の一方の開口と対向する。従って、ノズル６５、６６、６７に接続された吸気機構４６を駆動すれば、吸着用部材４２の上面５１の気孔（吸気口４２ａ）から空気を吸い込むことができる。

【0049】

本例において、吸着用部材４２は、Ｙ軸方向に延設されている。空気流路４５は、ノズル６５、６６、６７として、Ｙ軸方向における吸着用部材４２の中央部分に接触する第１ノズル６５と、第１ノズル６５と吸着用部材４２のＹ軸方向の一方の端との間に接触する第２ノズル６６と、第１ノズル６５と吸着用部材４２のＹ軸方向の他方の端との間に接触する第３ノズル６７と、を備える。従って、吸着用部材４２の上面５１におけるＹ軸方向の全域において、媒体２を吸着することが容易となる。また、媒体２を吸着するための吸気口４２ａが多孔質体からなる吸着用部材４２の気孔であり、吸着用部材４２の全体に形成されているので、吸着用部材４２は、媒体２のＹ軸方向における媒体２の幅に拘わらず、媒体２を吸着できる。

【0050】

本例において、非接触吸着盤８は、多孔質板３１のＸ１方向でＹ軸方向に延びる第１切欠き段部３４を備える。第１切欠き段部３４は、Ｘ１方向を向く壁面（枠板４０の壁面４０ａ）および上方を向く底面３４ａを有し、Ｘ１方向の側から見た場合に、多孔質板３１のＹ軸方向の一方の端から他方の端まで延設される。板部６１は、底面３４ａに固定される。ホルダ４３が非接触吸着盤８に固定されたときに、壁面４０ａは、吸着用部材４２の第２側面５４に密着する。従って、ホルダ４３を非接触吸着盤８に固定したときに、吸着用部材４２の第２側面５４に非接触吸着盤８の一部分を密着させることが容易である。

【0051】

本例において、媒体２は、矩形のＯＬＥＤ基板である。吸着固定機構９は、ＯＬＥＤ基板の外周縁において、複数の端子２ａがＹ軸方向に配列された外周縁部分を吸着する。従って、浮上支持装置６は、ＯＬＥＤ基板において、外観検査の必要がない部分を吸着できる。

【0052】

次に、本例の外観検査装置１は、浮上支持装置６と、カメラ１７と、浮上支持装置６を、カメラ１７による撮像位置Ｄを経由する水平の移動経路２５に沿って移動させる移動機構７と、を有する。多孔質板３１と吸着固定機構９とが配列された配列方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向において吸着固定機構９が位置する側をＸ１方向とした場合に、浮上支持装置６の移動方向は、Ｘ１方向である。本例によれば、浮上支持装置６を水平方向に移動させた場合でも、浮上支持装置６の非接触吸着盤８上で、媒体２が移動することがない。よって、非接触吸着盤８上で浮上させた媒体２を、撮像位置Ｄに移動させて、カメラ１７により撮像できる。また、浮上支持装置６を移動させる際に、非接触吸着盤８の多孔質板３１に対して、移動方向（Ｘ１方向）の前方に吸着固定機構９が位置する。従って、浮上支持装置６が移動する際に、媒体２の移動方向の前方が、吸着固定機構９に固定されている。よって、浮上支持装置６が移動する際に、媒体２に反りや撓みが発生することを防止或いは抑制できる。

【0053】

（変形例）
ホルダ４３の板部６１を、スペーサなどを介して、第１切欠き段部３４の底面３４ａに固定してもよい。このようにすれば、スペーサにより、吸着用部材４２の上面５１である
吸着面４１の高さ位置を調節できる。

【0054】

また、ホルダ４３に、吸着用部材４２の第２側面５４に密着する壁部を備えてもよい。この場合、壁部は、板部６１のＸ２方向の端縁から上方に延びて吸着用部材４２の第２側面５４に密着するものとすることができる。

【0055】

また、吸着用部材４２は、上面５１に複数の吸気口４２ａを備えるとともに、吸着用部材４２の内部にノズルと吸気口４２ａとを連通させる内部流路を備えるものであれば、多項質体に限られない。

【0056】

なお、浮上支持装置６が支持する媒体２、および、検査装置により外観を検査する媒体２は、可撓性を有するシート状の媒体２であればよく、ＯＬＥＤ基板に限られるものではない。すなわち、浮上支持装置６は、可撓性を有するシート状の媒体２を、反りや、うねり、塵埃に起因する凹凸を発生させることなく、支持できる。また、検査装置では、浮上支持装置６により支持された媒体２を撮像するので、シート状の媒体２の表面に掲載されたキズなどを、撮像データに基づいて、検出できる。

【符号の説明】

【0057】

１…外観検査装置、２…媒体、２ａ…端子、５…レール、６…浮上支持装置、７…移動機構、８…非接触吸着盤、９…吸着固定機構、１１…第１検出器、１２…第２検出器、１３…検査光射出部、１４…検出部、１５…バーコードリーダ、１６…撮像機構、１７…カメラ、２０…制御部、２１…記憶装置、２３…画像解析部、２５…移動経路、３１…多孔質板、３１ａ…表面、３２…本体部分、３３…突出部分、３４…第１切欠き段部、３４ａ…底面、３８…第１ノズル、３９…第２ノズル、４０…枠板、４０ａ…端面、４１…吸着面、４２…吸着用部材、４２ａ…吸気口、４２ｂ…内部の気孔、４２ｃ…第１側面の気孔、４３…ホルダ、４５…空気流路、４６…吸気機構、５１…上面、５２…下面、５３…第１側面、５４…第２側面、５５…第３側面、５６…第４側面、６１…板部（下面密着部）、６２…上側突出部（側面密着部）、６２ａ…壁面（密着面）、６３…下側突出部、６５～６７…ノズル、６５ａ～６７ａ…ノズルの開口、６８…段部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】