(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024051752
(43)【公開日】2024-04-11
(54)【発明の名称】点灯検査装置
(51)【国際特許分類】
G01M 11/00 20060101AFI20240404BHJP
G02F 1/13 20060101ALI20240404BHJP
H10K 50/10 20230101ALI20240404BHJP
H05B 33/12 20060101ALI20240404BHJP
G09F 9/00 20060101ALI20240404BHJP
H10K 71/70 20230101ALI20240404BHJP
H10K 59/10 20230101ALI20240404BHJP
【ＦＩ】
G01M11/00 T
G02F1/13 101
H05B33/14 A
H05B33/12 Z
G09F9/00 352
H10K71/70
H10K59/10
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022158068
(22)【出願日】2022-09-30
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 史朗
(72)【発明者】
【氏名】赤羽 賢俊
【テーマコード（参考）】
2G086
2H088
3K107
5G435
【Ｆターム（参考）】
2G086EE10
2H088FA12
2H088FA13
2H088FA30
3K107AA01
3K107BB01
3K107CC45
3K107FF15
3K107GG54
3K107GG56
5G435AA17
5G435BB05
5G435BB12
5G435KK10
(57)【要約】
【課題】アラインメントマークを撮影するカメラを、表示パネルが供給される毎に、表示パネルの搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない点灯表示装置を提供すること。
【解決手段】表示パネル２のアラインメントマーク２ｂを撮影するカメラ３５は、搬送機構６が表示パネル２を搬送する搬送経路５から外れた位置に設置される。ステージユニット１５は、回転軸Ｌ０に対して１８０°の回転対称となる位置に、吸着ステージ１８と吸着ステージ移動機構１９とを有する。制御部８は、供給位置Ａにある吸着ステージ１８に表示パネル２が供給されると、吸着ステージ１８を第１方向Ｄ１に移動させて撮影位置Ｃに配置し、カメラ３５によりアラインメントマーク２ｂを撮影する。従って、カメラ３５が供給位置Ａの上方に配置されていなくても、カメラ３５は、吸着ステージ１８上の表示パネル２のアラインメントマーク２ｂを、上方から、正対して、撮影できる。
【選択図】図８
【解決手段】表示パネル２のアラインメントマーク２ｂを撮影するカメラ３５は、搬送機構６が表示パネル２を搬送する搬送経路５から外れた位置に設置される。ステージユニット１５は、回転軸Ｌ０に対して１８０°の回転対称となる位置に、吸着ステージ１８と吸着ステージ移動機構１９とを有する。制御部８は、供給位置Ａにある吸着ステージ１８に表示パネル２が供給されると、吸着ステージ１８を第１方向Ｄ１に移動させて撮影位置Ｃに配置し、カメラ３５によりアラインメントマーク２ｂを撮影する。従って、カメラ３５が供給位置Ａの上方に配置されていなくても、カメラ３５は、吸着ステージ１８上の表示パネル２のアラインメントマーク２ｂを、上方から、正対して、撮影できる。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
点灯させた表示パネルを検査員が目視により検査するための点灯検査装置において、
前記表示パネルを所定の搬送経路に沿って搬送して上方から供給位置に供給する搬送機構と、
所定の回転軸に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、前記表示パネルを吸着する吸着ステージおよび当該吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構を有するステージユニットと、
前記ステージユニットを、第１位置と、前記回転軸回りで前記第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる回転駆動機構と、
前記搬送経路から外れた位置に配置されたカメラを備え、前記表示パネルに設けられたアラインメントマークを撮影する撮影ユニットと、
前記表示パネルの端子に接触可能なコンタクトおよび当該コンタクトの位置調整を行うコンタクト位置調整機構を備えるコンタクトユニットと、
前記吸着ステージ移動機構、前記回転駆動機構、前記カメラ、前記コンタクト位置調整機構を駆動制御する制御部と、を有し、
前記ステージユニットが前記第１位置にあり、前記吸着ステージが予め定めた基準位置にある場合に、２つの前記吸着ステージのうちの一方の前記吸着ステージは、水平な姿勢で前記供給位置に配置され、他方の前記吸着ステージは、前記回転軸から離間するのに伴って下方に傾斜する姿勢で前記コンタクトに対向する検査位置に配置され、
上下方向と垂直で前記搬送経路に沿った方向をＸ軸方向、前記上下方向および前記Ｘ軸方向と直交し前記供給位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ１軸方向、前記Ｘ軸方向と直交し、前記検査位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ２軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージと垂直な方向をＺ軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージ上に設定されてＺ軸方向に延びる軸線回りの回転方向をθ軸方向とし、前記Ｙ１軸方向において前記回転軸に対して前記供給位置に配置された前記吸着ステージが位置する側を前記Ｙ１軸方向の第１方向、その反対側を前記Ｙ１軸方向の第２方向とした場合に、
前記吸着ステージ移動機構は、前記供給位置において前記吸着ステージを前記Ｙ１軸方向に移動させ、前記検査位置におい前記吸着ステージを前記Ｙ２軸方向に移動させ、
前記カメラによる撮影位置は、前記供給位置の前記第１方向に位置し、
前記制御部は、前記ステージユニットが前記第１位置にあるときに前記表示パネルが前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されると、当該吸着ステージを前記第１方向に移動させて前記吸着ステージを前記撮影位置に配置し、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取得し、次に、前記ステージユニットを１８０°回転させて前記第２位置に配置するとともに、前記画像データを解析して前記表示パネルの位置が前記吸着ステージ上で予め規定した規定位置からＹ１軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得し、その後、前記検査位置に配置された前記吸着ステージをＹ軸ズレ量に基づいてＹ２軸方向移動にさせ、前記コンタクトの位置を、Ｘ軸ズレ量およびθ軸ズレ量に基づいて前記Ｘ軸方向および前記θ軸回りで移動させ、しかる後に、前記コンタクトを前記Ｚ軸方向に移動させて前記端子に接触させることを特徴とする点灯検査装置。
前記表示パネルを所定の搬送経路に沿って搬送して上方から供給位置に供給する搬送機構と、
所定の回転軸に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、前記表示パネルを吸着する吸着ステージおよび当該吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構を有するステージユニットと、
前記ステージユニットを、第１位置と、前記回転軸回りで前記第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる回転駆動機構と、
前記搬送経路から外れた位置に配置されたカメラを備え、前記表示パネルに設けられたアラインメントマークを撮影する撮影ユニットと、
前記表示パネルの端子に接触可能なコンタクトおよび当該コンタクトの位置調整を行うコンタクト位置調整機構を備えるコンタクトユニットと、
前記吸着ステージ移動機構、前記回転駆動機構、前記カメラ、前記コンタクト位置調整機構を駆動制御する制御部と、を有し、
前記ステージユニットが前記第１位置にあり、前記吸着ステージが予め定めた基準位置にある場合に、２つの前記吸着ステージのうちの一方の前記吸着ステージは、水平な姿勢で前記供給位置に配置され、他方の前記吸着ステージは、前記回転軸から離間するのに伴って下方に傾斜する姿勢で前記コンタクトに対向する検査位置に配置され、
上下方向と垂直で前記搬送経路に沿った方向をＸ軸方向、前記上下方向および前記Ｘ軸方向と直交し前記供給位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ１軸方向、前記Ｘ軸方向と直交し、前記検査位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ２軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージと垂直な方向をＺ軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージ上に設定されてＺ軸方向に延びる軸線回りの回転方向をθ軸方向とし、前記Ｙ１軸方向において前記回転軸に対して前記供給位置に配置された前記吸着ステージが位置する側を前記Ｙ１軸方向の第１方向、その反対側を前記Ｙ１軸方向の第２方向とした場合に、
前記吸着ステージ移動機構は、前記供給位置において前記吸着ステージを前記Ｙ１軸方向に移動させ、前記検査位置におい前記吸着ステージを前記Ｙ２軸方向に移動させ、
前記カメラによる撮影位置は、前記供給位置の前記第１方向に位置し、
前記制御部は、前記ステージユニットが前記第１位置にあるときに前記表示パネルが前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されると、当該吸着ステージを前記第１方向に移動させて前記吸着ステージを前記撮影位置に配置し、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取得し、次に、前記ステージユニットを１８０°回転させて前記第２位置に配置するとともに、前記画像データを解析して前記表示パネルの位置が前記吸着ステージ上で予め規定した規定位置からＹ１軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得し、その後、前記検査位置に配置された前記吸着ステージをＹ軸ズレ量に基づいてＹ２軸方向移動にさせ、前記コンタクトの位置を、Ｘ軸ズレ量およびθ軸ズレ量に基づいて前記Ｘ軸方向および前記θ軸回りで移動させ、しかる後に、前記コンタクトを前記Ｚ軸方向に移動させて前記端子に接触させることを特徴とする点灯検査装置。
【請求項2】
前記制御部と通信可能に接続された記憶部を備え、
前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、
前記制御部は、前記供給位置に配置された前記吸着ステージを、前記サイズ情報に基づいて前記基準位置から前記第１方向に移動させて、前記撮影位置に配置することを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、
前記制御部は、前記供給位置に配置された前記吸着ステージを、前記サイズ情報に基づいて前記基準位置から前記第１方向に移動させて、前記撮影位置に配置することを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取
得すると、前記撮影位置にある前記吸着ステージを前記基準位置に戻し、しかる後に、前記ステージユニットを１８０°回転させることを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
得すると、前記撮影位置にある前記吸着ステージを前記基準位置に戻し、しかる後に、前記ステージユニットを１８０°回転させることを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
【請求項4】
前記表示パネルは、矩形であり、前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されたときに、前記吸着ステージの外周縁において前記第１方向の側で前記Ｘ軸方向に延びる外周縁部分に前記Ｘ軸方向に配列された複数の端子と、２つの前記アラインメントマークを備え、
２つの前記アラインメントマークのうち、一方の第１アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の一方に設けられ、他方の第２アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の他方に設けられ、
前記撮影ユニットは、前記カメラとして、前記Ｘ軸方向で離間する第１カメラと、第２カメラと、を備え、
前記第１カメラは、前記第１アラインメントマークを撮影し、
前記第２カメラは、前記第２アラインメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記第１カメラにより取得した第１画像データおよび第２カメラにより取得した第２画像データを解析して、前記Ｙ軸ズレ量、前記Ｘ軸ズレ量、および前記θ軸ズレ量を取得することを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
２つの前記アラインメントマークのうち、一方の第１アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の一方に設けられ、他方の第２アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の他方に設けられ、
前記撮影ユニットは、前記カメラとして、前記Ｘ軸方向で離間する第１カメラと、第２カメラと、を備え、
前記第１カメラは、前記第１アラインメントマークを撮影し、
前記第２カメラは、前記第２アラインメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記第１カメラにより取得した第１画像データおよび第２カメラにより取得した第２画像データを解析して、前記Ｙ軸ズレ量、前記Ｘ軸ズレ量、および前記θ軸ズレ量を取得することを特徴とする請求項１に記載の点灯検査装置。
【請求項5】
前記制御部と通信可能に接続された記憶部を備え、
前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、
前記撮影ユニットは、前記第１カメラをＸ軸方向に移動させる第１カメラ移動機構と、前記第２カメラをＸ軸方向に移動させる第２カメラ移動機構と、を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶保持された前記サイズ情報に基づいて前記第１カメラ移動機構および前記第２カメラ移動機構を駆動制御して、前記第１カメラのＸ軸方向における位置および前記第２カメラのＸ軸方向の位置をそれぞれ調整することを特徴とする請求項４に記載の点灯検査装置。
前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、
前記撮影ユニットは、前記第１カメラをＸ軸方向に移動させる第１カメラ移動機構と、前記第２カメラをＸ軸方向に移動させる第２カメラ移動機構と、を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶保持された前記サイズ情報に基づいて前記第１カメラ移動機構および前記第２カメラ移動機構を駆動制御して、前記第１カメラのＸ軸方向における位置および前記第２カメラのＸ軸方向の位置をそれぞれ調整することを特徴とする請求項４に記載の点灯検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、表示パネルを点灯させて外観を検査するための点灯検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
液晶パネルの点灯試験を行う点灯検査装置は、特許文献１に記載されている。同文献の点灯検査装置は、搬送部と、検査部と、を備える。搬送部は、外部から搬入された液晶パネルを検査部に供給する。検査部は、液晶パネルを支持するステージユニットと、検査のために液晶パネルを裏側から照明するバックライトと、液晶パネルの端子に電気的に接触して、この液晶パネルを点灯させるプローブユニットを備える。ステージユニットは、ＸＹＺθステージユニットであり、検査部に供給された液晶パネルの位置を、プローブユニットに対応する規定位置に位置合わせする。点灯検査では、検査員が点灯する液晶パネルを目視により検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１０－４８９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ＸＹＺθステージユニットを用いた表示パネルの位置合わせでは、まず、ＸＹＺθステージユニットに載置された表示パネルのアラインメントマークをカメラで撮影する。次に、撮影により得られた画像データを解析して、アラインメントマークの位置から表示パネルが実際に配置された配置位置と、予め定めた規定位置とのズレ量を取得する。その後、取得されたズレ量を相殺するように、表示パネルの位置をステージユニット上でＸ軸方向、Ｙ１軸方向、およびθ軸回りで補正する。これにより、表示パネルが規定位置に配置されると、表示パネルの端子と、プローブユニットのプローブとは、Ｚ軸方向で対向するものとなる。従って、プローブユニットをＺ軸方向に移動させることにより、表示パネルの端子とプローブとを接触させることが可能となる。
【0005】
ここで、表示パネルのアラインメントマークを撮影するカメラは、画像データからズレ量を正確に取得するために、ＸＹＺθステージユニットに載置された表示パネルに正対する位置に配置される。すなわち、カメラは、ＸＹＺθステージユニットの上方に位置される。しかし、ＸＹＺθステージユニットの上方は、ＸＹＺθステージユニット上に表示パネルを搬送する搬送部の搬送経路となっている。また、表示パネルは、上方からＸＹＺθステージユニットに供給される。従って、従来は、搬送部がＸＹＺθステージユニットに表示パネルを供給する前に、カメラを搬送経路から外れた退避位置に退避させ、表示パネルがＹＺθステージユニットに供給された後に、カメラを退避位置から表示パネルに正対する位置に戻す動作を行い、カメラと、搬送部と、が干渉することを回避していた。また、このようなカメラの移動動作を、表示パネルが供給される毎に繰り返していた。
【0006】
本発明の課題は、かかる点に鑑みて、アラインメントマークを撮影するカメラを、表示パネルが供給される毎に、表示パネルの搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない点灯表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明は、点灯させた表示パネルを検査員が目視により検査するための点灯検査装置において、前記表示パネルを所定の搬送経路に沿って搬送して
上方から供給位置に供給する搬送機構と、所定の回転軸に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、前記表示パネルを吸着する吸着ステージおよび当該吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構を有するステージユニットと、前記ステージユニットを、第１位置と、前記回転軸回りで前記第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる回転駆動機構と、前記搬送経路から外れた位置に配置されたカメラを備え、前記表示パネルに設けられたアラインメントマークを撮影する撮影ユニットと、前記表示パネルの端子に接触可能なコンタクトおよび当該コンタクトの位置調整を行うコンタクト位置調整機構を備えるコンタクトユニットと、前記吸着ステージ移動機構、前記回転駆動機構、前記カメラ、前記コンタクト位置調整機構を駆動制御する制御部と、を有し、前記ステージユニットが前記第１位置にあり、前記吸着ステージが予め定めた基準位置にある場合に、２つの前記吸着ステージのうちの一方の前記吸着ステージは、水平な姿勢で前記供給位置に配置され、他方の前記吸着ステージは、前記回転軸から離間するのに伴って下方に傾斜する姿勢で前記コンタクトに対向する検査位置に配置され、上下方向と垂直で前記搬送経路に沿った方向をＸ軸方向、前記上下方向および前記Ｘ軸方向と直交し前記供給位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ１軸方向、前記Ｘ軸方向と直交し、前記検査位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ２軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージと垂直な方向をＺ軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージ上に設定されてＺ軸方向に延びる軸線回りの回転方向をθ軸方向とし、前記Ｙ１軸方向において前記回転軸に対して前記供給位置に配置された前記吸着ステージが位置する側を前記Ｙ１軸方向の第１方向、その反対側を前記Ｙ１軸方向の第２方向とした場合に、前記吸着ステージ移動機構は、前記供給位置において前記吸着ステージを前記Ｙ１軸方向に移動させ、前記検査位置におい前記吸着ステージを前記Ｙ２軸方向に移動させ、前記カメラによる撮影位置は、前記供給位置の前記第１方向に位置し、前記制御部は、前記ステージユニットが前記第１位置にあるときに前記表示パネルが前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されると、当該吸着ステージを前記第１方向に移動させて前記吸着ステージを前記撮影位置に配置し、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取得し、次に、前記ステージユニットを１８０°回転させて前記第２位置に配置するとともに、前記画像データを解析して前記表示パネルの位置が前記吸着ステージ上で予め規定した規定位置からＹ１軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得し、その後、前記検査位置に配置された前記吸着ステージをＹ軸ズレ量に基づいてＹ２軸方向移動にさせ、前記コンタクトの位置を、Ｘ軸ズレ量およびθ軸ズレ量に基づいて前記Ｘ軸方向および前記θ軸回りで移動させ、しかる後に、前記コンタクトを前記Ｚ軸方向に移動させて前記端子に接触させることを特徴とする。
上方から供給位置に供給する搬送機構と、所定の回転軸に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、前記表示パネルを吸着する吸着ステージおよび当該吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構を有するステージユニットと、前記ステージユニットを、第１位置と、前記回転軸回りで前記第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる回転駆動機構と、前記搬送経路から外れた位置に配置されたカメラを備え、前記表示パネルに設けられたアラインメントマークを撮影する撮影ユニットと、前記表示パネルの端子に接触可能なコンタクトおよび当該コンタクトの位置調整を行うコンタクト位置調整機構を備えるコンタクトユニットと、前記吸着ステージ移動機構、前記回転駆動機構、前記カメラ、前記コンタクト位置調整機構を駆動制御する制御部と、を有し、前記ステージユニットが前記第１位置にあり、前記吸着ステージが予め定めた基準位置にある場合に、２つの前記吸着ステージのうちの一方の前記吸着ステージは、水平な姿勢で前記供給位置に配置され、他方の前記吸着ステージは、前記回転軸から離間するのに伴って下方に傾斜する姿勢で前記コンタクトに対向する検査位置に配置され、上下方向と垂直で前記搬送経路に沿った方向をＸ軸方向、前記上下方向および前記Ｘ軸方向と直交し前記供給位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ１軸方向、前記Ｘ軸方向と直交し、前記検査位置に配置された前記吸着ステージに沿った方向をＹ２軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージと垂直な方向をＺ軸方向、前記検査位置に配置された前記吸着ステージ上に設定されてＺ軸方向に延びる軸線回りの回転方向をθ軸方向とし、前記Ｙ１軸方向において前記回転軸に対して前記供給位置に配置された前記吸着ステージが位置する側を前記Ｙ１軸方向の第１方向、その反対側を前記Ｙ１軸方向の第２方向とした場合に、前記吸着ステージ移動機構は、前記供給位置において前記吸着ステージを前記Ｙ１軸方向に移動させ、前記検査位置におい前記吸着ステージを前記Ｙ２軸方向に移動させ、前記カメラによる撮影位置は、前記供給位置の前記第１方向に位置し、前記制御部は、前記ステージユニットが前記第１位置にあるときに前記表示パネルが前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されると、当該吸着ステージを前記第１方向に移動させて前記吸着ステージを前記撮影位置に配置し、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取得し、次に、前記ステージユニットを１８０°回転させて前記第２位置に配置するとともに、前記画像データを解析して前記表示パネルの位置が前記吸着ステージ上で予め規定した規定位置からＹ１軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得し、その後、前記検査位置に配置された前記吸着ステージをＹ軸ズレ量に基づいてＹ２軸方向移動にさせ、前記コンタクトの位置を、Ｘ軸ズレ量およびθ軸ズレ量に基づいて前記Ｘ軸方向および前記θ軸回りで移動させ、しかる後に、前記コンタクトを前記Ｚ軸方向に移動させて前記端子に接触させることを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、表示パネルのアラインメントマークを撮影するカメラは、搬送機構が表示パネルを搬送する搬送経路から外れた位置に設置されている。従って、表示パネルが供給位置に配置された吸着ステージに供給される毎に、カメラを搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない。この一方で、ステージユニットは、回転軸に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネルを吸着する吸着ステージと吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構とを有する。また、制御部は、供給位置にある吸着ステージに表示パネルが供給されると、吸着ステージを搬送経路と直交するＹ１軸方向の一方側に移動させてカメラによる撮影位置に配置して、表示パネルのアラインメントマークを撮影する。従って、カメラが供給位置の上方で供給位置と正対する位置に配置されていなくても、カメラは、吸着ステージ上の表示パネルのアラインメントマークを、上方から、正対して、撮影できる。また、検査位置に配置された吸着ステージに吸着された表示パネルの位置補正を行う際には、吸着ステージの移動により、Ｙ２軸方向の補正のみを行う。従って、吸着ステージの側において多方向の補正を複合的に行う場合と比較して、ステージユニットの構造が簡易なものとなる。また、Ｙ２軸方向の位置の補正を正確に行うことが容易となる。さらに、Ｘ軸方向およびθ軸回りの補正は、コンタクト調整機構により、
コンタクトを移動させて行う。従って、表示パネルの端子に、コンタクトを正確に接触させることができる。
コンタクトを移動させて行う。従って、表示パネルの端子に、コンタクトを正確に接触させることができる。
【0009】
本発明において、前記制御部と通信可能に接続された記憶部を備え、前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、前記制御部は、前記供給位置に配置された前記吸着ステージを、前記サイズ情報に基づいて前記基準位置から前記第１方向に移動させて、前記撮影位置に配置するものとすることができる。このようにすれば、点灯検査装置を用いてＹ方向のサイズが異なる複数の表示パネルの点灯検査を行う場合などに、表示パネルに設けられたアラインメントマークを、カメラによって、確実に撮影できる。
【0010】
本発明において、前記制御部は、前記カメラにより前記アラインメントマークを撮影して画像データを取得すると、前記撮影位置にある前記吸着ステージを前記基準位置に戻し、しかる後に、前記ステージユニットを１８０°回転させるものとすることができる。このようにすれば、吸着ステージが撮影位置に配置された状態でステージユニットを回転させる場合と比較して、ステージユニットが回転する際の回転半径を小さくできる。従って、ステージユニットが、その周囲に設置されている装置などと干渉することを回避することが容易となる。
【0011】
本例において、前記表示パネルは、矩形であり、前記供給位置に配置された前記吸着ステージに供給されたときに、前記吸着ステージの外周縁において前記第１方向の側で前記Ｘ軸方向に延びる外周縁部分に前記Ｘ軸方向に配列された複数の端子と、２つの前記アラインメントマークを備え、
２つの前記アラインメントマークのうち、一方の第１アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の一方に設けられ、他方の第２アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の他方に設けられ、
前記撮影ユニットは、前記カメラとして、前記Ｘ軸方向で離間する第１カメラと、第２カメラと、を備え、
前記第１カメラは、前記第１アラインメントマークを撮影し、
前記第２カメラは、前記第２アラインメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記第１カメラにより取得した第１画像データおよび第２カメラにより取得した第２画像データを解析して、前記Ｙ軸ズレ量、前記Ｘ軸ズレ量、および前記θ軸ズレ量を取得するものとすることができる。
２つの前記アラインメントマークのうち、一方の第１アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の一方に設けられ、他方の第２アラインメントマークは、前記複数の端子の前記Ｘ軸方向の他方に設けられ、
前記撮影ユニットは、前記カメラとして、前記Ｘ軸方向で離間する第１カメラと、第２カメラと、を備え、
前記第１カメラは、前記第１アラインメントマークを撮影し、
前記第２カメラは、前記第２アラインメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記第１カメラにより取得した第１画像データおよび第２カメラにより取得した第２画像データを解析して、前記Ｙ軸ズレ量、前記Ｘ軸ズレ量、および前記θ軸ズレ量を取得するものとすることができる。
【0012】
本発明において、前記制御部と通信可能に接続された記憶部を備え、前記記憶部には、供給される前記表示パネルのサイズ情報が記憶保持されており、前記撮影ユニットは、前記第１カメラをＸ軸方向に移動させる第１カメラ移動機構と、前記第２カメラをＸ軸方向に移動させる第２カメラ移動機構と、を備え、前記制御部は、前記記憶部に記憶保持された前記サイズ情報に基づいて前記第１カメラ移動機構および前記第２カメラ移動機構を駆動制御して、前記第１カメラのＸ軸方向における位置および前記第２カメラのＸ軸方向の位置をそれぞれ調整するものとすることができる。このようにすれば、第１カメラおよび第２カメラを供給される表示パネルのＸ方向のサイズに対応する位置に配置できる。従って、Ｘ軸方向のサイズが異なる複数の表示パネルの点灯検査を行う場合などに、２つのアラインメントマークを、それぞれのカメラで確実に撮影できる。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、表示パネルのアラインメントマークを撮影するカメラは、搬送機構が表示パネルを搬送する搬送経路から外れた位置に設置されている。従って、表示パネルが供給位置に配置された吸着ステージに供給される毎に、カメラを搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない。この一方で、ステージユニットは、回転軸に対して１８０°の
回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネルを吸着する吸着ステージと吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構とを有する。また、制御部は、供給位置にある吸着ステージに表示パネルが供給されると、吸着ステージを搬送経路と直交するＹ１軸方向の一方側に移動させてカメラによる撮影位置に配置して、表示パネルのアラインメントマークを撮影する。従って、カメラが供給位置の上方で供給位置と正対する位置に配置されていなくても、カメラは、吸着ステージ上の表示パネルのアラインメントマークを、上方から、正対して、撮影できる。また、検査位置に配置された吸着ステージに吸着された表示パネルの位置補正を行う際には、吸着ステージの移動により、Ｙ２軸方向の補正し、コンタクトの移動により、Ｘ軸方向およびθ軸回りの補正を行う。表示パネルの端子に、コンタクトを正確に接触させることができる。
回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネルを吸着する吸着ステージと吸着ステージを移動させる吸着ステージ移動機構とを有する。また、制御部は、供給位置にある吸着ステージに表示パネルが供給されると、吸着ステージを搬送経路と直交するＹ１軸方向の一方側に移動させてカメラによる撮影位置に配置して、表示パネルのアラインメントマークを撮影する。従って、カメラが供給位置の上方で供給位置と正対する位置に配置されていなくても、カメラは、吸着ステージ上の表示パネルのアラインメントマークを、上方から、正対して、撮影できる。また、検査位置に配置された吸着ステージに吸着された表示パネルの位置補正を行う際には、吸着ステージの移動により、Ｙ２軸方向の補正し、コンタクトの移動により、Ｘ軸方向およびθ軸回りの補正を行う。表示パネルの端子に、コンタクトを正確に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】点灯検査装置の斜視図である。
【図2】旋回ユニットの側面図である。
【図3】供給位置の吸着ステージを外した旋回ユニットの斜視図である。
【図4】撮影ユニットの斜視図である。
【図5】コンタクトユニットの斜視図である。
【図6】点灯検査装置の制御系を示す概略ブロック図である。
【図7】点灯検査動作のフローチャートである。
【図8】アラインメントマークを撮影する時点のパネル点灯機構の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、図面を参照して、本発明の外観検査装置の実施の形態を説明する。
【0016】
（全体構成）
図１は、点灯検査装置の斜視図である。図２は、旋回ユニットの側面図である。図３は、供給位置の吸着ステージを外した旋回ユニットの斜視図である。図４は、撮影ユニットの斜視図である。図５は、コンタクトユニットの斜視図である。
図１は、点灯検査装置の斜視図である。図２は、旋回ユニットの側面図である。図３は、供給位置の吸着ステージを外した旋回ユニットの斜視図である。図４は、撮影ユニットの斜視図である。図５は、コンタクトユニットの斜視図である。
【0017】
本例の点灯検査装置１は、液晶パネルやＯＬＥＤ基板などの表示パネル２を点灯させて、検査員による目視の検査を行うための装置である。本例では、表示パネル２は、矩形のＯＬＥＤ基板である。図１に示すように、ＯＬＥＤ基板は、その一つの辺に沿って配列された複数の端子２ａを備える。また、ＯＬＥＤ基板は、その矩形の外周縁のうち、複数の端子２ａが設けられた一辺に沿った外周縁部分における複数の端子２ａの両側に、それぞれ第１アラインメントマーク２ｂと第２アラインメントマーク２ｃと、を備える。
【0018】
図１に示すように、点灯検査装置１は、表示パネル２を所定の搬送経路５に沿って搬送して供給位置Ａに配置する搬送機構６と、表示パネル２を点灯させるパネル点灯機構７と、これらを駆動制御する制御部８と、を備える。
【0019】
搬送機構６は、表示パネル２を吸着して搬送する周知の機構である。搬送機構６は、例えば、表示パネル２を吸着するための複数の吸着パッドを備える吸着ハンドと、吸着ハンドを昇降させる昇降機構と、吸着ハンド及び昇降機構およびを所定の搬送経路５に沿って移動させる移動機構と、とを備える。パネル点灯機構７は、表示パネル２が供給される旋回ユニット１１を備える。旋回ユニット１１は、搬送経路５の直下に配置されている、表示パネル２は、上方から旋回ユニット１１に供給される。
【0020】
また、パネル点灯機構７は、搬送経路５と直交する方向において、旋回ユニット１１の後方に配置された撮影ユニット１２と、旋回ユニット１１の前方に配置されたコンタクトユニット１３と、を備える。従って、コンタクトユニット１３と、旋回ユニット１１、撮
影ユニット１２は、点灯検査装置１の前後方向で、この順に、配列されている。撮影ユニット１２は、旋回ユニット１１に供給された表示パネル２に設けられた第１アラインメントマーク２ｂおよび第２アラインメントマーク２ｃを撮影する。コンタクトユニット１３は、旋回ユニット１１に供給された表示パネル２の端子２ａに接触するコンタクト１４を備える。コンタクトユニット１３は、表示パネル２に通電して、表示パネル２を点灯させる。
影ユニット１２は、点灯検査装置１の前後方向で、この順に、配列されている。撮影ユニット１２は、旋回ユニット１１に供給された表示パネル２に設けられた第１アラインメントマーク２ｂおよび第２アラインメントマーク２ｃを撮影する。コンタクトユニット１３は、旋回ユニット１１に供給された表示パネル２の端子２ａに接触するコンタクト１４を備える。コンタクトユニット１３は、表示パネル２に通電して、表示パネル２を点灯させる。
【0021】
（旋回ユニット）
旋回ユニット１１は、ステージユニット１５と、ステージユニット１５を所定の回転軸Ｌ０回りに回転可能に支持する支持フレーム１６と、支持フレーム１６に設けられてステージユニット１５を回転させる回転駆動機構１７と、を備える。ステージユニット１５は、回転軸Ｌ０に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネル２を吸着する吸着ステージ１８と、吸着ステージ１８を移動させる吸着ステージ移動機構１９と、を有する。吸着ステージ１８を正対見した形状は、矩形である。回転駆動機構１７は、ステージユニット１５を、第１位置と、回転軸Ｌ０回りで第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる。回転駆動機構１７は、駆動源として、サーボモータ２０を備える。
旋回ユニット１１は、ステージユニット１５と、ステージユニット１５を所定の回転軸Ｌ０回りに回転可能に支持する支持フレーム１６と、支持フレーム１６に設けられてステージユニット１５を回転させる回転駆動機構１７と、を備える。ステージユニット１５は、回転軸Ｌ０に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネル２を吸着する吸着ステージ１８と、吸着ステージ１８を移動させる吸着ステージ移動機構１９と、を有する。吸着ステージ１８を正対見した形状は、矩形である。回転駆動機構１７は、ステージユニット１５を、第１位置と、回転軸Ｌ０回りで第１位置から１８０°回転した第２位置との間で回転させる。回転駆動機構１７は、駆動源として、サーボモータ２０を備える。
【0022】
ステージユニット１５が第１位置に配置されたときに、一方の吸着ステージ１８は、旋回ユニットの上端において水平な姿勢となる。他方の吸着ステージ１８は、一方の吸着ステージ１８から前方に離間するの伴って傾斜する姿勢となる。他方の吸着ステージ１８は、一方の吸着ステージ１８に対し、下方に向かって、６０°傾斜する。
【0023】
ここで、以下の説明では、上下方向をＶ軸方向とする。Ｖ軸方向と垂直で搬送経路５に沿った方向をＸ軸方向、Ｖ軸方向およびＸ軸方向と直交し供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８に沿った方向をＹ１軸方向、Ｘ軸方向と直交し、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８に沿った方向をＹ２軸方向とする。また、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８と垂直な方向をＺ軸方向、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８上に設定されてＺ軸方向に延びる軸線回りの回転方向をθ軸方向とする。Ｙ１軸方向において回転軸Ｌ０に対して供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８が位置する側をＹ１軸方向の第１方向Ｄ１、その反対側をＹ１軸方向の第２方向Ｄ２とする。
【0024】
搬送機構６により搬送された表示パネル２は、水平な姿勢とされた一方の吸着ステージ１８の上面に上方から供給される。表示パネル２が吸着ステージ１８に供給される際に、表示パネル２において端子２ａおよびアラインメントマーク２ｂ、２ｃが形成されている辺は、表示パネル２の第１方向Ｄ１の辺である。すなわち、表示パネル２において端子２ａおよびアラインメントマーク２ｂ、２ｃが形成されている辺は、撮影ユニット１２に近い側に位置し、Ｘ軸方向に延びる。
【0025】
図１、図２に示すように、吸着ステージ１８は、矩形の多孔質板２１と、多孔質板２１を保持するホルダ２２と、ホルダ２２に取り付けられたノズル２３と、を備える。多孔質板２１は、アルミナを主成分とする多孔質セラミックス、ＳｉＣを主成分とする多孔質セラミックス、或いは、通気性の多孔質カーボンから形成される。ホルダ２２は、箱型であり、下方および外周側から多孔質板２１を覆う。ノズル２３はホルダ２２の側面をホルダ２２の内側から外側に貫通する。ノズル２３には、吸気機構２４に連通する不図示の空気管が接続される。吸気機構２４が駆動されると、多項質板の上面から空気が吸気される。これにより、表示パネル２は、多孔質板２１の表面（吸着ステージ１８の上面）に吸着される。
【0026】
各吸着ステージ移動機構１９は、供給位置Ａにある吸着ステージ１８をＹ１軸方向に移
動させる。また、吸着ステージ移動機構１９は、検査位置Ｂにある吸着ステージ１８をＹ２軸方向に移動させる。図３に示すように、吸着ステージ移動機構１９は、ステージユニット１５に取り付けられてＸ軸方向と直交する方向に延びるボールネジ２５と、ボールネジ２５を回転駆動する第１パルスモータ２６と、ボールネジ２５に噛合する第１移動部材２７を、を備える。また、吸着ステージ移動機構１９は、ボールネジ２５のＸ軸方向の両側においてステージユニット１５に取り付けられてボールネジ２５と平行に配置された一対のレール２８と、レール２８に移動可能に取り付けられた一対の第２移動部材２９と、を備える。第１移動部材２７および第２移動部材２９は、ホルダ２２に下側から固定される。従って、第１パルスモータ２６を駆動すると、吸着ステージ１８はＸ軸方向と直交する方向（Ｙ１軸方向またはＹ２軸方向）に移動する。
動させる。また、吸着ステージ移動機構１９は、検査位置Ｂにある吸着ステージ１８をＹ２軸方向に移動させる。図３に示すように、吸着ステージ移動機構１９は、ステージユニット１５に取り付けられてＸ軸方向と直交する方向に延びるボールネジ２５と、ボールネジ２５を回転駆動する第１パルスモータ２６と、ボールネジ２５に噛合する第１移動部材２７を、を備える。また、吸着ステージ移動機構１９は、ボールネジ２５のＸ軸方向の両側においてステージユニット１５に取り付けられてボールネジ２５と平行に配置された一対のレール２８と、レール２８に移動可能に取り付けられた一対の第２移動部材２９と、を備える。第１移動部材２７および第２移動部材２９は、ホルダ２２に下側から固定される。従って、第１パルスモータ２６を駆動すると、吸着ステージ１８はＸ軸方向と直交する方向（Ｙ１軸方向またはＹ２軸方向）に移動する。
【0027】
（撮影ユニット）
図４に示すように、撮影ユニット１２は、Ｘ軸方向で離間した位置でＶ軸方向に平行に延びる２本の支柱３１と、２本の支柱３１に水平に架け渡されたレール部材３２と、を備える。図１に示すように、レール部材３２は、Ｖ軸方向において、旋回ユニット１１の上端に位置する一方の吸着ステージ１８よりも上方に位置する。また、撮影ユニット１２は、図４に示すように、レール部材３２に移動可能に取り付けられた第１撮影機構３３および第２撮影機構３４と、を備える。第１撮影機構３３は、供給位置Ａにある表示パネル２の第１方向Ｄ１の側の一辺に沿った外周縁部分に設けられた第１アラインメントマーク２ｂを撮影する。第２撮影機構３４は、供給位置Ａにある表示パネル２の第１方向Ｄ１の側の一辺に沿った外周縁部分に設けられた第２アラインメントマーク２ｃを撮影する。
図４に示すように、撮影ユニット１２は、Ｘ軸方向で離間した位置でＶ軸方向に平行に延びる２本の支柱３１と、２本の支柱３１に水平に架け渡されたレール部材３２と、を備える。図１に示すように、レール部材３２は、Ｖ軸方向において、旋回ユニット１１の上端に位置する一方の吸着ステージ１８よりも上方に位置する。また、撮影ユニット１２は、図４に示すように、レール部材３２に移動可能に取り付けられた第１撮影機構３３および第２撮影機構３４と、を備える。第１撮影機構３３は、供給位置Ａにある表示パネル２の第１方向Ｄ１の側の一辺に沿った外周縁部分に設けられた第１アラインメントマーク２ｂを撮影する。第２撮影機構３４は、供給位置Ａにある表示パネル２の第１方向Ｄ１の側の一辺に沿った外周縁部分に設けられた第２アラインメントマーク２ｃを撮影する。
【0028】
第１撮影機構３３は、下方を向く第１カメラ３５と、第１カメラ３５の下側に位置する第１ライト３６と、備える。第１カメラ３５による第１撮影位置Ｐ１は第１カメラ３５の直下であり、第１ライト３６は、第１撮影位置Ｐ１を照らす。第２撮影機構３４は、下方を向く第２カメラ３７と、第２カメラ３７の下方に位置する第２ライト３８と、備える。第２カメラ３７による第２撮影位置Ｐ２は第２カメラ３７の直下であり、第２ライト３８は、第２撮影位置Ｐ２を照らす。さらに、撮影ユニット１２は、第１撮影機構３３をレール部材３２に沿ってＸ軸方向に移動させる第１撮影機構移動機構３９（第１カメラ移動機構）と、第２撮影機構３４をレール部材３２に沿ってＸ軸方向に移動させる第２撮影機構移動機構４０（第２カメラ移動機構）と、を備える。第１撮影機構移動機構３９は、Ｘ軸方向に延びるボールネジ（不図示）と、ボールネジを回転駆動する第２パルスモータ４１（図６参照）と、このボールネジに噛合してボールネジ２５に沿って移動する移動部材（不図示）と、を備える。第２撮影機構移動機構４０は、Ｘ軸方向に延びるボールネジ（不図示）と、ボールネジを回転駆動する第３パルスモータ４２（図６参照）と、このボールネジに噛合してボールネジに沿って移動する移動部材（不図示）と、を備える。各移動部材は、それぞれ各撮影機構３３、３４に接続されている。本例では、第１撮影機構移動機構３９および第２撮影機構移動機構４０は、レール部材３２の内側に配置されている。
【0029】
（コンタクトユニット）
図５に示すように、コンタクトユニット１３は、固定フレーム４５と、表示パネル２の端子２ａに接触可能なコンタクト１４と、コンタクトユニット１３を検査位置Ｂにある吸着ステージ１８と垂直なＺ軸方向に移動させるコンタクト移動機構４６と、コンタクト１４の位置調整を行うコンタクト位置調整機構４７を備える。コンタクト位置調整機構４７は、コンタクト１４を、Ｘ軸方向に移動させる第１位置調整機構４８と、コンタクト１４を、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８に対して垂直に延びる所定の軸線Ｌ１回りで移動させる第２位置調整機構４９を備える。
図５に示すように、コンタクトユニット１３は、固定フレーム４５と、表示パネル２の端子２ａに接触可能なコンタクト１４と、コンタクトユニット１３を検査位置Ｂにある吸着ステージ１８と垂直なＺ軸方向に移動させるコンタクト移動機構４６と、コンタクト１４の位置調整を行うコンタクト位置調整機構４７を備える。コンタクト位置調整機構４７は、コンタクト１４を、Ｘ軸方向に移動させる第１位置調整機構４８と、コンタクト１４を、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８に対して垂直に延びる所定の軸線Ｌ１回りで移動させる第２位置調整機構４９を備える。
【0030】
図１に示すように、コンタクト１４は、板状であり、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８の前方で、吸着ステージ１８の下端部分に対応する。固定フレーム４５は、前方
に向かって傾斜する他方側の吸着ステージ１８の下方において、前方に向かって上方に３０度傾斜する傾斜板部５０を備える。
に向かって傾斜する他方側の吸着ステージ１８の下方において、前方に向かって上方に３０度傾斜する傾斜板部５０を備える。
【0031】
図５に示すように、コンタクト移動機構４６は、固定フレーム４５の傾斜板部５０に取り付けらえた第１ボールネジ５１と、第１ボールネジ５１を回転駆動する第４パルスモータ５２と、第１ボールネジ５１に噛合して第１ボールネジ５１の回転により移動する第１可動フレーム５３と、を備える。第１ボールネジ５１は、傾斜板部５０に沿って、Ｘ軸と直交する方向に延びる。すなわち、第１ボールネジ５１は、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８と直交するＺ軸方向に延びる。
【0032】
コンタクト位置調整機構４７の第１位置調整機構４８は、第１可動フレーム５３上に配置された第２ボールネジ５４と、第１可動フレーム５３上に配置されて第２ボールネジ５４を駆動する第５パルスモータ５５と、第２ボールネジ５４に噛合して第２ボールネジ５４の回転により移動する第２可動フレーム５６と、を備える。第２ボールネジ５４はＸ軸方向に延びる。コンタクト位置調整機構４７の第２位置調整機構４９は、第２可動フレーム５６上に固定された電動ゴニオステージ５７を備える。ゴニオステージには、コンタクト１４が取り付けられている。
【0033】
ここで、コンタクト１４は、第４パルスモータ５２の駆動により、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８と直交するＺ軸方向に移動する。また、コンタクト１４は、第５パルスモータ５５の駆動により、Ｘ軸方向に移動する。さらに、コンタクト１４は、電動ゴニオステージ５７の駆動により、検査位置Ｂの吸着ステージ１８と垂直な方向に延びる軸線Ｌ１回りに回転する。
【0034】
（制御部）
図６は、点灯検査装置１の制御系を示す概略ブロック図である。点灯検査装置１の制御系は、制御部８と、制御部８に通信可能に接続された記憶部６１と、を備える。制御部８には、吸着ステージ１８を駆動するための吸気機構２４が接続されている。また、制御部８には、サーボモータ２０、第１パルスモータ２６、第１撮影機構３３（第１カメラ３５、第１ライト３６、第２パルスモータ４１）、および第２撮影機構３４（第１カメラ３７、第１ライト３８、第３パルスモータ４２）が接続されている。また、制御部８には、第４パルスモータ５２、第５パルスモータ５５、および電動ゴニオステージ５７が接続されている。記憶部６１には、パネル点灯機構７に供給される表示パネル２のサイズに関するサイズ情報が、予め、記憶保持されている。
図６は、点灯検査装置１の制御系を示す概略ブロック図である。点灯検査装置１の制御系は、制御部８と、制御部８に通信可能に接続された記憶部６１と、を備える。制御部８には、吸着ステージ１８を駆動するための吸気機構２４が接続されている。また、制御部８には、サーボモータ２０、第１パルスモータ２６、第１撮影機構３３（第１カメラ３５、第１ライト３６、第２パルスモータ４１）、および第２撮影機構３４（第１カメラ３７、第１ライト３８、第３パルスモータ４２）が接続されている。また、制御部８には、第４パルスモータ５２、第５パルスモータ５５、および電動ゴニオステージ５７が接続されている。記憶部６１には、パネル点灯機構７に供給される表示パネル２のサイズに関するサイズ情報が、予め、記憶保持されている。
【0035】
制御部８は、搬送機構制御部６５と、搬送機構制御部６５と通信可能に接続されたパネル点灯機構制御部６６と、を備える。搬送機構制御部６５は、搬送機構６を駆動制御して、表示パネル２を、表示パネル供給部（不図示）から、旋回ユニット１１の供給位置Ａに供給する。また、搬送機構制御部６５は、点灯検査が終了すると、表示パネル２を、供給位置Ａから、表示パネル搬出位置（不図示）に移動させる。
【0036】
パネル点灯機構制御部６６は、パネル点灯機構７（旋回ユニット１１、撮影ユニット１２およびコンタクトユニット１３）を駆動制御する。制御部８（搬送機構制御部６５およびパネル点灯機構制御部６６）は、搬送機構６とパネル点灯機構７とを同期させながら駆動制御する。
【0037】
パネル点灯機構制御部６６は、表示パネル２の搬送に先立って、Ｘ軸方向における第１カメラ３５の第１撮影位置Ｐ１および第２カメラ３７による第２撮影位置Ｐ２を設定する撮影位置設定部６９を備える。
【0038】
撮影位置設定部６９は、記憶部６１に記憶保持されたサイズ情報に基づいて、第１撮影機構３３の第２パルスモータ４１を駆動制御して、第１カメラ３５および第１ライト３６をＸ軸方向に移動させる。これにより、表示パネル２が供給位置Ａの吸着ステージ１８に供給された状態をＹ１軸方向から見た場合に、第１カメラ３５による第１撮影位置Ｐ１を、表示パネル２の第１アラインメントマーク２ｂ重なる位置に配置する。また、第２撮影機構３４の第３パルスモータ４２を駆動制御して、第２カメラ３７および第２ライト３８をＸ軸方向に移動させる。これにより、これにより、表示パネル２が供給位置Ａの吸着ステージ１８に供給された状態をＹ１軸方向から見た場合に、第２カメラ３７による第２撮影位置Ｐ２を、表示パネル２の第２アラインメントマーク２ｃと重なる位置に配置する（後述する図８のＸ軸方向で向き合う矢印参照）。
【0039】
また、パネル点灯機構制御部６６は、吸着制御部７０、撮影制御部７１、画像解析部部７２、ステージ回転制御部７３、表示パネル位置補正部７４、および通電制御部７５を備える。
【0040】
吸着制御部７０は、搬送機構６により表示パネル２が旋回ユニット１１に供給される際に、吸気機構２４を駆動する。これにより、供給される表示パネル２は、供給位置Ａにある吸着ステージ１８に吸着される。また、吸着制御部７０は、表示パネル２の点灯検査が終了して、吸着ステージ１８から表示パネル２が搬出される際に、吸気機構２４を停止させる。これにより、搬送機構６は、旋回ユニット１１上にある表示パネル２を、吸着して、搬出することが可能となる。
【0041】
撮影制御部７１は、供給位置Ａに配置された一方の吸着ステージ１８に表示パネル２が供給されると、記憶部６１に記憶保持されたサイズ情報に基づいて、吸着ステージ移動機構１９の第１パルスモータ２６を駆動制御して、吸着ステージ１８をＹ１軸方向の第１方向Ｄ１に所定の距離だけ移動させる（後述する図８の第１方向Ｄ１を向く矢印参照）。これにより、吸着ステージ１８を撮影位置Ｃに配置する。撮影位置Ｃでは、吸着ステージ１８に吸着された表示パネル２の第１アラインメントマーク２ｂは、第１カメラ３５による第１撮影位置Ｐ１に位置する。第２アラインメントマーク２ｃは、第２カメラ３７による第２撮影位置Ｐ２に位置する。
【0042】
また、撮影制御部７１は、吸着ステージ１８が撮影位置Ｃに配置されると、第１カメラ３５および第１ライト３６、並びに、第２カメラ３７および第２ライト３８を駆動制御して、表示パネル２の第１アラインメントマーク２ｂおよび第２アラインメントマーク２ｃを撮影して、第１画像データおよび第２画像データを取得する。また、撮影制御部７１は、取得した第１画像データおよび第２画像データを記憶部６１に記憶保持する。さらに、撮影制御部７１は、第１画像データおよび第２画像データを取得すると、第１パルスモータ２６を駆動制御して、吸着ステージ１８を撮影位置Ｃから供給位置Ａ（基準位置）に戻す。これにより、旋回ユニット１１は、図１に示す状態に戻る。
【0043】
画像解析部部７２は、第１画像データおよび第２画像データが取得されると、これら第１画像データおよび第２画像データを解析して、吸着ステージ１８上の表示パネル２の位置が予め規定している規定位置からＹ２軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得する。θ軸方向とは、予め設定された軸線Ｌ１回りの方向である。本例では、軸線Ｌ１は、吸着ステージ１８のＸ軸方向の中心を通過して、吸着ステージ１８の上面と直交するＺ軸方向に延びる。
【0044】
ステージ回転制御部７３は、吸着ステージ１８が撮影位置Ｃから供給位置Ａ（基準位置）に戻されると、吸着ステージ移動機構１９のサーボモータ２０を駆動して、ステージユニット１５を１８０°回転させる。これにより、ステージユニット１５は、第１位置から
第２位置に移動する。第２位置では、先に供給位置Ａに配置されていた吸着ステージ１８は検査位置Ｂに配置され、前方に向かって下方に傾斜した姿勢となる。また、この吸着ステージ１８に吸着されている表示パネル２は、複数の端子２ａが形成されている外周縁部分が下側に位置した姿勢となる。
第２位置に移動する。第２位置では、先に供給位置Ａに配置されていた吸着ステージ１８は検査位置Ｂに配置され、前方に向かって下方に傾斜した姿勢となる。また、この吸着ステージ１８に吸着されている表示パネル２は、複数の端子２ａが形成されている外周縁部分が下側に位置した姿勢となる。
【0045】
また、ステージ回転制御部７３は、表示パネル２の点灯検査が終了すると、サーボモータ２０を駆動して、旋回ユニット１１を１８０°回転させる。これにより、ステージユニット１５は、第２位置から第１位置に移動する。これにより、点灯検査が終了した表示パネル２を吸着した吸着ステージ１８が、旋回ユニット１１の上端で水平な姿勢となる。
【0046】
表示パネル位置補正部７４は、画像解析部が取得したＹ軸ズレ量、Ｘ軸ズレ量、θ軸ズレ量に基づいて検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８をＹ１軸方向、Ｘ軸方向、およびθ軸方向に移動させる。すなわち、表示パネル位置補正部７４は、吸着ステージ移動機構１９の第１パルスモータ２６を駆動制御して、検査位置Ｂにある吸着ステージ１８をＹ軸ズレ量を相殺する距離だけＹ１軸方向に移動させる。
【0047】
また、表示パネル位置補正部７４は、コンタクト移動機構４６の第５パルスモータ５５を駆動制御して、検査位置Ｂにある吸着ステージ１８を、Ｘ軸ズレ量を相殺する距離だけＸ軸方向に移動させる。さらに、表示パネル位置補正部７４は、電動ゴニオステージ５７を駆動制御して、検査位置Ｂにある吸着ステージ１８を、θ軸ズレ量を相殺する角度だけ軸線Ｌ１回りに回転させる。これにより、表示パネル２は、予め規定した規定位置に配置される。規定位置は、表示パネル２の各端子２ａと、コンタクトユニット１３のコンタクト１４とがＺ軸方向で正対する位置である。また、表示パネル位置補正部７４は、表示パネル２の点灯検査が終了すると、位置補正後の吸着ステージ１８を位置補正前の基準位置に戻す。
【0048】
通電制御部７５は、表示パネル位置補正部７４による吸着ステージ１８の位置補正が終了すると、コンタクト移動機構４６の第４パルスモータ５２を駆動して、コンタクトユニット１３を、Ｚ軸方向で吸着ステージ１８に接近する方向に移動させて、表示パネルの端子２ａとコンタクト１４とを接触させる。また、通電制御部７５は、コンタクト１４への通電を行う。これにより、コンタクト１４を介して表示パネル２に電力が供給されるので、表示パネル２が点灯する。従って、検査員は、表示パネル２を目視して、点灯試験を行うことができる。その後、通電制御部７５は、点灯検査が終了すると、コンタクト１４への通電を停止する。また、通電制御部７５は、コンタクト移動機構４６の第４パルスモータ５２を駆動して、コンタクトユニット１３をＺ軸方向で吸着ステージ１８から離間する方向に移動させる。
【0049】
【0050】
点灯検査装置１は、表示パネル２を搬送する前に、パネル点灯機構７の第１カメラ３５および第２カメラ３７の位置を設定する。すなわち、供給される表示パネル２のサイズ情報に基づいて、第２パルスモータ４１および第３パルスモータ４２を駆動制御して、第１カメラ３５および第２カメラ３７を、表示パネル２に設けられたアラインメントマーク２ｂ、２ｃを撮影可能な位置に、配置する（図８参照）。また、ステージユニット１５は第１位置に配置されている。吸着ステージ１８は基準位置に配置されている。
【0051】
図７に示すように、点灯検査を行う際には、点灯検査装置１は、搬送機構６により、表
示パネル２を旋回ユニット１１の供給位置Ａに供給する。これにより、供給位置Ａに位置する吸着ステージ１８は、表示パネル２を吸着する。(ステップＳＴ１)
示パネル２を旋回ユニット１１の供給位置Ａに供給する。これにより、供給位置Ａに位置する吸着ステージ１８は、表示パネル２を吸着する。(ステップＳＴ１)
【0052】
吸着ステージ１８が表示パネル２を吸着すると、点灯検査装置１は、図８に示すように、供給位置Ａ（基準位置）にある吸着ステージ１８を、Ｙ１軸方向の第１方向Ｄ１に移動させて、撮影位置Ｃに配置する（ステップＳＴ２）。吸着ステージ１８が撮影位置Ｃに配置されると、点灯検査装置１は、第１カメラ３５および第２カメラ３７により、表示パネル２の第１アラインメントマーク２ｂおよび第２アラインメントマーク２ｃを撮影して、第１画像データおよび第２画像データを取得する（ステップＳＴ３）。その後、点灯検査装置１は、撮影位置Ｃにある吸着ステージ１８を、供給位置Ａ（基準位置）に戻す（ステップＳＴ４）。
【0053】
次に、点灯検査装置１は、ステージユニット１５を、１８０°回転させて、第２位置に配置する。これにより、供給位置Ａの吸着ステージ１８は、検査位置Ｂに移動する。また、これと並行して、第１画像データおよび第２画像データを解析して、吸着ステージ１８上に実際に配置された表示パネル２の位置が規定位置からＹ２軸方向にズレたＹ軸ズレ量、Ｘ軸方向にズレたＸ軸ズレ量、θ軸方向にズレたθ軸ズレ量を取得する（ステップＳＴ５）。
【0054】
その後、点灯検査装置１は、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８をＹ軸ズレ量に基づいて基準位置からＹ２軸方向移動にさせる。また、点灯検査装置１は、コンタクト１４の位置を、Ｘ軸ズレ量およびθ軸ズレ量に基づいてＸ軸方向およびθ軸回りで移動させる。これにより、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８に吸着された表示パネル２は、その端子２ａがＺ軸方向でコンタクト１４と対向する規定位置に配置される（ステップＳＴ６）。
【0055】
ここで、点灯検査装置１は、コンタクト１４をＺ軸方向に移動させて端子２ａに接触させる。また、コンタクト１４を介して端子２ａに電力を供給して、表示パネル２を点灯させる（ステップＳＴ７）。従って、検査員は、点灯した表示パネル２を目視で確認して、点灯検査を行うことができる。
【0056】
点灯検査が終了すると、点灯検査装置１は、コンタクト１４を、表示パネル２から離間ささせる。次に、点灯検査装置１は、ステージユニット１５を１８０°回転させて、第２位置から第１位置に戻す（ステップＳＴ８）。しかる後に、点灯検査装置１は、供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８の吸引を停止する。その後、点灯検査装置１は、搬送機構６を動作させて供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８上の表示パネル２を吸着して、表示パネル搬出位置へ搬出する（ステップＳＴ９）。
【0057】
（作用効果）
本例によれば、表示パネル２のアラインメントマーク２ｂ、２ｃを撮影するカメラ３５、３７は、搬送機構６が表示パネル２を搬送する搬送経路５から外れた位置に設置されている。従って、表示パネル２が供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８に供給される毎に、カメラ３５、３７を搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない。
本例によれば、表示パネル２のアラインメントマーク２ｂ、２ｃを撮影するカメラ３５、３７は、搬送機構６が表示パネル２を搬送する搬送経路５から外れた位置に設置されている。従って、表示パネル２が供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８に供給される毎に、カメラ３５、３７を搬送経路から外れた位置に退避させる必要がない。
【0058】
この一方で、ステージユニット１５は、回転軸Ｌ０に対して１８０°の回転対称となる位置のそれぞれに、表示パネル２を吸着する吸着ステージ１８と吸着ステージ１８を移動させる吸着ステージ移動機構１９とを有する。また、制御部８は、供給位置Ａにある吸着ステージ１８に表示パネル２が供給されると、吸着ステージ１８を搬送経路５と直交するＹ１軸方向の第１方向Ｄ１に移動させてカメラ３５、３７による撮影位置Ｃに配置して、表示パネル２のアラインメントマーク２ｂ、２ｃを撮影する。従って、カメラ３５、３７
が供給位置Ａの上方で供給位置Ａと正対する位置に配置されていなくても、カメラ３５、３７は、吸着ステージ１８上の表示パネル２のアラインメントマーク２ｂ、２ｃを、上方から、正対して、撮影できる。
が供給位置Ａの上方で供給位置Ａと正対する位置に配置されていなくても、カメラ３５、３７は、吸着ステージ１８上の表示パネル２のアラインメントマーク２ｂ、２ｃを、上方から、正対して、撮影できる。
【0059】
また、検査位置Ｂに配置された吸着ステージ１８に吸着された表示パネル２の位置補正を行う際には、吸着ステージ１８の移動により、Ｙ２軸方向の補正のみを行う。従って、吸着ステージ１８の側において多方向の補正を複合的に行う場合と比較して、ステージユニット１５の構造が簡易なものとなる。これにより、Ｙ２軸方向の位置の補正を正確に行うことが容易となる。さらに、Ｘ軸方向およびθ軸回りの補正は、コンタクト位置調整機構４７により、コンタクト１４を移動させて行う。従って、表示パネル２の端子に、コンタクト１４を正確に接触させることができる。
【0060】
また、本例では、制御部８と通信可能に接続された記憶部６１を備える。記憶部６１には、供給される表示パネル２のサイズ情報が記憶保持されている。制御部８は、供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８を、サイズ情報に基づいて供給位置Ａ（基準位置）から第１方向Ｄ１に移動させて、撮影位置Ｃに配置する。従って、点灯検査装置１を用いてＹ方向のサイズが異なる複数の表示パネル２の点灯検査を行う場合などに、表示パネル２に設けられたアラインメントマーク２ｂ、２ｃを、カメラ３５、３７によって、確実に撮影できる。
【0061】
また、制御部８は、カメラ３５、３７によりアラインメントマーク２ｂ、２ｃを撮影して画像データを取得すると、撮影位置Ｃにある吸着ステージ１８を供給位置Ａ（基準位置）に戻し、しかる後に、ステージユニット１５を１８０°回転させる。従って、吸着ステージ１８が撮影位置Ｃに配置された状態でステージユニット１５を回転させる場合と比較して、ステージユニット１５が回転する際の回転半径を小さくできる。よって、ステージユニット１５が、その周囲に設置されている装置などと干渉することを回避することが容易となる。
【0062】
本例において、表示パネル２は、矩形であり、供給位置Ａに配置された吸着ステージ１８に供給されたときに、吸着ステージ１８の外周縁において第１方向Ｄ１の側でＸ軸方向に延びる外周縁部分にＸ軸方向に配列された複数の端子２ａと、２つのアラインメントマーク２ｂ、２ｃを備える。２つのアラインメントマーク２ｂ、２ｃのうち、一方の第１アラインメントマーク２ｂは、複数の端子２ａのＸ軸方向の一方に設けられ、他方の第２アラインメントマーク２ｃは、複数の端子２ａのＸ軸方向の他方に設けられている。撮影ユニット１２は、カメラとして、Ｘ軸方向で離間する第１カメラ３５と、第２カメラ３７と、を備え、第１カメラ３５は、第１アラインメントマーク２ｂを撮影し、第２カメラ３７は、第２アラインメントマーク２ｃを撮影する。また、制御部８は、第１カメラ３５により取得した第１画像データと第２カメラ３７により取得した第２画像データを解析して、Ｙ軸ズレ量、Ｘ軸ズレ量、およびθ軸ズレ量を取得する。従って、Ｙ軸ズレ量、Ｘ軸ズレ量、およびθ軸ズレ量を精度良く取得できる。
【0063】
また、撮影ユニット１２は、第１カメラ３５をＸ軸方向に移動させる第１撮影機構移動機構３９（第１カメラ移動機構）と、第２カメラ３７をＸ軸方向に移動させる第２撮影機構移動機構４０（第２カメラ移動機構）と、を備える。制御部８は、記憶部６１に記憶保持された表示パネル２のサイズ情報に基づいて第１撮影機構移動機構３９および第２撮影機構移動機構４０を駆動制御して、第１カメラ３５のＸ軸方向における位置および第２カメラ３７のＸ軸方向の位置をそれぞれ調整する。従って、Ｘ軸方向のサイズが異なる複数の表示パネル２の点灯検査を行う場合などに、２つのアラインメントマーク２ｂ、２ｃを、それぞれのカメラ３５、３７で確実に撮影できる。
【符号の説明】
【0064】
１…点灯検査装置、２…表示パネル、２ａ…端子、２ｂ…第１アラインメントマーク、２ｃ…第２アラインメントマーク、５…搬送経路、６…搬送機構、７…パネル点灯機構、８…制御部、１１…旋回ユニット、１２…撮影ユニット、１３…コンタクトユニット、１４…コンタクト、１５…ステージユニット、１６…支持フレーム、１７…回転駆動機構、１８…吸着ステージ、１９…吸着ステージ移動機構、２０…サーボモータ、２１…多孔質板、２２…ホルダ、２３…ノズル、２４…吸気機構、２５…ボールネジ、２６…第１パルスモータ、２７…第１移動部材、２８…レール、２９…第２移動部材、３１…支柱、３２…レール部材、３３…第１撮影機構、３４…第２撮影機構、３５…第１カメラ、３６…第１ライト、３７…第２カメラ、３８…第２ライト、３９…第１撮影機構移動機構（第１カメラ移動機構）、４０…第２撮影機構移動機構（第２カメラ移動機構）、４１…第２パルスモータ、４２…第３パルスモータ、４５…固定フレーム、４６…コンタクト移動機構、４７…コンタクト位置調整機構、４８…第１位置調整機構、４９…第２位置調整機構、５０…傾斜板部、５１…第１ボールネジ、５２…第４パルスモータ、５３…第１可動フレーム、５４…第２ボールネジ、５５…第５パルスモータ、５６…第２可動フレーム、５７…電動ゴニオステージ、６１…記憶部、６５…搬送機構制御部、６６…パネル点灯機構制御部、６９…撮影位置設定部、７０…吸着制御部、７１…撮影制御部、７２…画像解析部部、７３…ステージ回転制御部、７４…表示パネル位置補正部、７５…通電制御部、Ｌ０…回転軸、Ｌ１…軸線、Ｐ１…第１撮影位置、Ｐ２…第２撮影位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】