特開 2024-52245 質量分析装置および電源装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024052245

(43)【公開日】2024-04-11

(54)【発明の名称】質量分析装置および電源装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/02 20060101AFI20240404BHJP

   H01J 49/42 20060101ALN20240404BHJP

【ＦＩ】

H01J49/02 200

H01J49/42 150

H01J49/42

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022158829

(22)【出願日】2022-09-30

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100108523

【弁理士】

【氏名又は名称】中川 雅博

(74)【代理人】

【識別番号】100125704

【弁理士】

【氏名又は名称】坂根 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100187931

【弁理士】

【氏名又は名称】澤村 英幸

(72)【発明者】

【氏名】水谷 司朗

【テーマコード（参考）】

5C038

【Ｆターム（参考）】

5C038JJ07

(57)【要約】

【課題】保守の手間およびコストを低減することが可能な質量分析装置および電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置１００は、四重極質量フィルタ１３０に電圧を印加する。電源装置１００は、主基板１０１および検波基板１０２を有する。主基板１０１は、検出部８０を含む。検波基板１０２は、検波部１０および識別部７０を含む。検波部１０は、整流素子を用いて、四重極質量フィルタ１３０に印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する。識別部７０は、検波部１０の整流素子の構成に対応して定められた検波部１０の識別情報を出力する。検出部８０は、識別部７０により出力された識別情報を検出し、検出された識別情報を、整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正する補正部９０に与える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタと、
第１の基板および第２の基板を有し、前記質量フィルタに電圧を印加する電源装置と、
補正部とを備え、
前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、
前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出する検出部を含み、
前記補正部は、前記検出部により検出された前記識別情報に基づいて、前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正する、質量分析装置。

【請求項2】

前記識別部は、
第１の端子と、
１以上の第２の端子とを含み、
前記識別情報は、前記第１の端子と前記１以上の第２の端子との間の電気的な接続状態に対応して定められる、請求項１記載の質量分析装置。

【請求項3】

前記識別部は、前記第１の端子と前記１以上の第２の端子との間に接続されたスイッチをさらに含み、
前記識別情報は、前記スイッチの開閉状態に対応して定められる、請求項２記載の質量分析装置。

【請求項4】

前記識別部は、
第１の端子と、
第２の端子と、
前記第１の端子と前記第２の端子との間に接続された第１の電気抵抗とを含み、
前記識別情報は、前記第１の電気抵抗の抵抗値に対応して定められる、請求項１記載の質量分析装置。

【請求項5】

前記検出部は、
前記第１の端子に対応する第３の端子と、
前記第２の端子に対応する第４の端子と、
前記第３の端子と前記第４の端子との間に接続された電源部および第２の電気抵抗とを含み、前記識別情報は、前記第１の電気抵抗の分圧に対応して定められる、請求項４記載の質量分析装置。

【請求項6】

前記補正部は、
前記識別情報と電圧のずれを補正するための補正電圧との対応関係を示す対応情報を予め記憶した記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記対応情報に基づいて補正電圧を決定する電圧決定部と、
前記電圧決定部により決定された補正電圧を生成する電圧生成部とを含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の質量分析装置。

【請求項7】

前記補正部は、前記第２の基板に設けられる、請求項６記載の質量分析装置。

【請求項8】

前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記制御電圧に加算する、請求項６記載の質量分析装置。

【請求項9】

前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記検波電圧に加算する、請求項６記載の質量分析装置。

【請求項10】

前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記制御電圧と前記検波電圧との加算電圧に加算する、請求項６記載の質量分析装置。

【請求項11】

前記補正部は、前記識別情報、または当該識別情報の演算値を補正電圧として生成する、請求項１～５のいずれか一項に記載の質量分析装置。

【請求項12】

前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記補正部は、生成された補正電圧を前記制御電圧に加算する、請求項１１記載の質量分析装置。

【請求項13】

前記補正部は、生成された補正電圧を前記検波電圧に加算する、請求項１１記載の質量分析装置。

【請求項14】

前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記補正部は、生成された補正電圧を前記制御電圧と前記検波電圧との加算電圧に加算する、請求項１１記載の質量分析装置。

【請求項15】

印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタに電圧を印加する電源装置であって、
第１の基板と、
第２の基板とを備え、
前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、
前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出し、検出された前記識別情報を、当該識別情報に基づいて前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正するための補正部に与える検出部を含む、電源装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、質量分析装置および電源装置に関する。

【背景技術】

【0002】

試料に含まれる成分の質量を分析する分析装置として質量分析装置が知られている。例えば、特許文献１に記載された四重極質量分析装置においては、イオン源により試料から生成された各種イオンが四重極フィルタに導入される。四重極フィルタの４本のロッド電極には、四重極電源部により高周波電圧および直流電圧が印加される。特定の質量電荷比を有するイオンのみが選択的に四重極フィルタを通過し、検出器により検出される。四重極フィルタを通過するイオンの質量電荷比は、各ロッド電極に印加される高周波電圧および直流電圧に依存する。

【0003】

四重極電源部においては、各ロッド電極に印加される高周波電圧は、コンデンサを通して検波電流に変換され、検波部のダイオードに流れる。検波電流は、抵抗を流れることにより直流電圧に変換され、変換された電圧と、目標電圧との差がフィードバックされる。目標電圧は、任意の質量電荷比に対応して設定される。したがって、目標電圧を掃引することにより、各ロッド電極に印加される高周波電圧を掃引して、四重極フィルタを通過するイオンの質量電荷比を走査することができる。

【0004】

直流電圧は、高周波電圧が掃引される際に、高周波電圧との比が一定になるように制御される。ここで、イオンが四重極フィルタを安定的に通過し得る安定領域（Ｍａｔｈｉｅｕ方程式の解の安定条件に基づく安定領域）は、特許文献２の図７（ａ）および図７（ｂ）の略三角形状の枠により示される。この安定領域は、質量電荷比が増加するに伴い、質量電荷比の増加方向と同方向に移動しつつその面積が拡大する。

【0005】

特許文献２においては、質量電荷比に対する直流電圧の変化を示す直線が、質量電荷比に対応して相似的に変化する安定領域の同一部分を横切るように変化される。これにより、質量電荷比の範囲の全般にわたって四重極フィルタの質量分解能が均一に維持される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２－３３０７５号公報

【特許文献2】特許５５５６８９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ダイオードに比較的大きい検波電流が流れる場合、ダイオードにおける漏れ電流により、検波電圧は、本来変換されるべき電圧よりも小さい電圧に変換され、フィードバック回路において、出力される電圧は目標電圧よりも大きく出力される。この場合、質量電荷比が大きい範囲において、出力される電圧と目標電圧との差が増大するため、質量電荷比のずれが発生する。また、特許文献２記載の制御を行った場合でも、質量電荷比が大きい範囲において、直流電圧の変化を示す直線が安定領域の所望の部分を横切ることにはならず、質量分解能の均一性が低下することとなる。

【0008】

ダイオードの特性が既知である場合、ダイオードの上記の非直線性に起因する質量電荷比のずれを補正する制御回路を四重極電源部に実装することが可能である。しかしながら、近年、市場で入手可能なダイオードは短期間で変動する。そのため、四重極電源部の保守において、ダイオードの交換の必要が生じた場合、代替品または互換品を容易に入手することができない。また、四重極電源部は高価であるところ、ダイオードの代替品または互換品を入手できない場合、制御回路を含む四重極電源部の全体を交換する必要が生じる。その結果、保守に要するコストが増大する。

【0009】

本発明の目的は、保守の手間およびコストを低減することが可能な質量分析装置および電源装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様は、印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタと、第１の基板および第２の基板を有し、前記質量フィルタに電圧を印加する電源装置と、補正部とを備え、前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出する検出部を含み、前記補正部は、前記検出部により検出された前記識別情報に基づいて、前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正する、質量分析装置に関する。

【0011】

本発明の他の態様は、印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタに電圧を印加する電源装置であって、第１の基板と、第２の基板とを備え、前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出し、検出された前記識別情報を、当該識別情報に基づいて前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正するための補正部に与える検出部を含む、電源装置に関する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、電源装置の保守の手間およびコストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施の形態に係る質量分析装置の構成を示す図である。

【図2】図１の電源装置の構成を示す図である。

【図3】図２の検波部の構成を示す図である。

【図4】１つの整流部を含む検波部を用いて測定されたマススペクトルを示す図である。

【図5】実施例で使用された整流素子の特性を示す図である。

【図6】実施例１におけるマススペクトルを示す図である。

【図7】実施例２におけるマススペクトルを示す図である。

【図8】実施例３におけるマススペクトルを示す図である。

【図9】実施例４におけるマススペクトルを示す図である。

【図10】識別部および検出部の第１の例を示す図である。

【図11】識別情報の一例を示す図である。

【図12】対応情報の一例を示す図である。

【図13】識別部および検出部の第２の例を示す図である。

【図14】識別部および検出部の第３の例を示す図である。

【図15】第１の変形例に係る電源装置の構成を示す図である。

【図16】第２の変形例に係る電源装置の構成を示す図である。

【図17】他の実施の形態における補正部を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（１）質量分析装置の構成
以下、本発明の実施の形態に係る質量分析装置および電源装置について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る質量分析装置の構成を示す図である。図１に示すように、質量分析装置２００は、電源装置１００、イオン源１１０、イオン輸送部１２０、四重極質量フィルタ１３０、イオン検出器１４０および処理装置１５０を含む。イオン源１１０、イオン輸送部１２０、四重極質量フィルタ１３０およびイオン検出器１４０は、図示しない真空容器内に収容される。

【0015】

イオン源１１０は、例えば紫外領域の光源を含み、分析対象の試料にパルス光を照射することにより、試料に含まれる各種成分のイオンを生成する。イオン輸送部１２０は、例えばイオンレンズを含み、イオン源１１０により生成されたイオンを収束させつつ、点線で示すイオン光軸２０１に沿って四重極質量フィルタ１３０に導入する。

【0016】

四重極質量フィルタ１３０は、４本のロッド電極１３１～１３４を含む。ロッド電極１３１～１３４は、イオン光軸２０１を中心とする仮想的な円筒に内接するように互いに平行に配置される。したがって、ロッド電極１３１とロッド電極１３３とは、イオン光軸２０１を挟んで対向する。ロッド電極１３２とロッド電極１３４とは、イオン光軸２０１を挟んで対向する。

【0017】

電源装置１００は、直流電圧＋Ｕと高周波電圧＋Ｖｃｏｓωｔとの加算電圧＋Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔをロッド電極１３１，１３３に印加する。また、電源装置１００は、直流電圧－Ｕと高周波電圧－Ｖｃｏｓωｔとの加算電圧－Ｕ－Ｖｃｏｓωｔをロッド電極１３２，１３４に印加する。これにより、四重極質量フィルタ１３０に導入されたイオンのうち、直流電圧Ｕと高周波電圧の振幅Ｖとにより定まる特定の質量電荷比を有するイオンのみが四重極質量フィルタ１３０を通過する。電源装置１００の構成については後述する。

【0018】

イオン検出器１４０は、例えば二次電子増倍管を含む。イオン検出器１４０は、四重極質量フィルタ１３０を通過したイオンを検出し、検出量を示す検出信号を処理装置１５０に出力する。

【0019】

処理装置１５０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）および記憶部を含むパーソナルコンピュータ等の情報処理装置により実現される。処理装置１５０は、電源装置１００、イオン輸送部１２０、四重極質量フィルタ１３０およびイオン検出器１４０の動作を制御する。また、処理装置１５０は、イオン検出器１４０により出力された検出信号を処理することにより、イオンの質量電荷比と検出量との関係を示すマススペクトルを生成する。

【0020】

（２）電源装置の構成
図２は、図１の電源装置１００の構成を示す図である。図２に示すように、電源装置１００は、検波部１０、電圧制御部２０、高周波電圧発生部３０、直流電圧発生部４０、加算部５０、コイル部６０、識別部７０、検出部８０および補正部９０を含む。検波部１０は、整流素子を含む整流部を有する。検波部１０の詳細については後述する。

【0021】

また、電源装置１００は、主基板１０１および検波基板１０２を含む。検波基板１０２が第１の基板の例であり、主基板１０１が第１の基板の例である。電圧制御部２０、高周波電圧発生部３０、直流電圧発生部４０、加算部５０、検出部８０および補正部９０は、主基板１０１に実装される。検波部１０および識別部７０は、検波基板１０２に実装される。検波基板１０２は、質量分析装置２００の図示しない真空容器の近傍に配置されてもよい。

【0022】

電圧制御部２０、高周波電圧発生部３０、直流電圧発生部４０および加算部５０は、例えば電気抵抗、演算増幅器または論理回路等の回路素子により構成される。コイル部６０は、例えば変圧器により構成される。本例では、コイル部６０は、電源装置１００の図示しないケーシングに固定されるが、主基板１０１または検波基板１０２に実装されてもよい。

【0023】

電圧制御部２０には、図１の処理装置１５０により制御電圧が与えられるとともに、検波部１０から検波電圧がフィードバックされる。制御電圧は、四重極質量フィルタ１３０に印加される高周波電圧が任意の目標電圧に一致するように高周波電圧を制御するための電圧である。検波部１０によりフィードバックされる検波電圧については後述する。

【0024】

電圧制御部２０は、制御電圧および検波電圧に比較、変調、増幅および加算等の種々の処理を適宜実行することにより２系統の電圧を生成し、高周波電圧発生部３０および直流電圧発生部４０にそれぞれ与える。高周波電圧発生部３０は、電圧制御部２０により与えられた電圧に基づいて、位相が互いに１８０°異なる高周波電圧±Ｖｃｏｓωｔを生成する。直流電圧発生部４０は、電圧制御部２０により与えられた電圧に基づいて、極性が互いに異なる直流電圧±Ｕを生成する。

【0025】

加算部５０は、高周波電圧発生部３０により生成された高周波電圧±Ｖｃｏｓωｔと、直流電圧発生部４０により生成された直流電圧±Ｕとを加算することにより、電圧＋Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔおよび電圧－Ｕ－Ｖｃｏｓωｔを生成する。コイル部６０は、加算部５０により生成された電圧±Ｕ±Ｖｃｏｓωｔを増幅する。また、コイル部６０は、増幅された電圧＋Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔを一方の出力端子からロッド電極１３１，１３３に印加し、増幅された電圧－Ｕ－Ｖｃｏｓωｔを他方の出力端子からロッド電極１３２，１３４に印加する。

【0026】

識別部７０は、検波部１０の整流素子の構成に対応して定められた検波部１０の識別情報を出力する。ここで、整流素子の構成とは、検波部１０の整流部の数（並列接続数）、または整流素子の特性を意味する。本実施の形態においては、整流素子の品名（メーカおよび型番）が同じである場合、整流素子の特性が同じであるとする。したがって、同じ種類の整流素子（例えば高速ダイオード）であっても、整流素子の品名が異なる場合、整流素子の特性は異なる。

【0027】

検出部８０は、識別部７０により出力された識別情報を検出する。補正部９０は、検出部８０により検出された識別情報に基づいて、整流素子の漏れ電流に起因する高周波電圧と目標電圧とのずれ（以下、高周波電圧のずれ、または単にずれと呼ぶ。）を補正する。図２の例では、補正部９０は、高周波電圧のずれを打ち消すための補正電圧を生成し、生成された補正電圧を制御電圧に加算する。識別部７０および検出部８０の詳細については後述する。

【0028】

（３）検波部
検波部１０は、コイル部６０の出力端子間に接続され、コイル部６０から出力される高周波電圧を検波電圧に変換する。図３は、図２の検波部１０の構成を示す図である。図３に示すように、検波部１０は、１以上の整流部１１、検波コンデンサ１２，１３、検出抵抗１４および平滑コンデンサ１５を含む。

【0029】

整流部１１は、４つの整流素子Ｄ１～Ｄ４を含む。整流素子Ｄ１～Ｄ４は、例えば高速ダイオードまたはショットキーバリアダイオードである。整流素子Ｄ１のカソードおよびアノードは、ノードＮ１，Ｎ３にそれぞれ接続される。整流素子Ｄ２のカソードおよびアノードは、ノードＮ２，Ｎ３にそれぞれ接続される。整流素子Ｄ３のカソードおよびアノードは、ノードＮ４，Ｎ１にそれぞれ接続される。整流素子Ｄ４のカソードおよびアノードは、ノードＮ４，Ｎ２にそれぞれ接続される。

【0030】

検波部１０に複数の整流部１１が設けられる場合、複数の整流部１１は並列に接続される。具体的には、複数の整流部１１のノードＮ１は互いに接続され、複数の整流部１１のノードＮ２は互いに接続される。また、複数の整流部１１のノードＮ３は互いに接続され、複数の整流部１１のノードＮ４は互いに接続される。複数の整流部１１のノードＮ３は、接地端子に接続される。

【0031】

検波コンデンサ１２，１３は、例えばセラミックコンデンサである。検波コンデンサ１２は、電圧＋Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔを出力するコイル部６０（図２）の一方の出力端子と、ノードＮ１との間に接続される。検波コンデンサ１３は、電圧－Ｕ－Ｖｃｏｓωｔを出力するコイル部６０の他方の出力端子と、ノードＮ２との間に接続される。検出抵抗１４と平滑コンデンサ１５とは、互いに並列に接続された状態で、ノードＮ４と接地端子との間に接続される。

【0032】

上記の構成によれば、コイル部６０の出力端子の高周波電圧が検波コンデンサ１２または検波コンデンサ１３により検波電流に変換され、複数の整流部１１を流れることにより整流される。整流された電流は、検出抵抗１４を流れることにより検波電圧に変換され、図２の電圧制御部２０にフィードバックされる。

【0033】

図３の例では、検波部１０は複数の整流部１１を含むが、実施の形態はこれに限定されない。検波部１０に設けられる整流部１１の数は、１つであってもよい。基本的に、整流素子Ｄ１～Ｄ４における漏れ電流の直線性がよい場合、検波部１０には１つの整流部１１が設けられる。漏れ電流は、整流素子Ｄ１～Ｄ４において、整流方向とは逆方向に流れる電流である。

【0034】

漏れ電流は、逆電圧印加時における直流的な成分、アノードとカソードとの間の接合容量による交流的な成分、および逆回復時間に起因する成分を含む。直線性がよいことは、整流素子Ｄ１～Ｄ４に流れる検波電流の大きさに関わらず、整流素子Ｄ１～Ｄ４に流れる漏れ電流の大きさが略一定であることを意味する。直線性が悪いことは、整流素子Ｄ１～Ｄ４に所定値以上の検波電流が流れる場合、整流素子Ｄ１～Ｄ４に流れる漏れ電流が急激に大きくなることを意味する。

【0035】

図４は、１つの整流部１１を含む検波部１０を用いて測定されたマススペクトルを示す図である。図４においては、複数の特定の質量電荷比近傍のピークが拡大表示されている。複数のピークの拡大率はそれぞれ異なる。後述する図６～図９においても同様である。

【0036】

図４の上段のマススペクトルの測定に用いられた検波部１０の整流部１１は、漏れ電流の直線性が比較的よい整流素子Ｄ１～Ｄ４により構成される。この場合、全体的に各ピークの幅が増大することなく、各ピークが他のピークから分離される。図４の下段のマススペクトルの測定に用いられた検波部１０の整流部１１は、漏れ電流の直線性が比較的悪い整流素子Ｄ１～Ｄ４により構成される。この場合、質量電荷比が大きい範囲において、ピークの幅が増大する。また、質量電荷比が大きい範囲では、各ピークが他のピークから分離されない。

【0037】

検波部１０における整流部１１の並列接続数を増やすことにより、整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流の直線性が改善される。これにより、質量電荷比が比較的大きい範囲においても、各ピークを他のピークから分離するようにマススペクトルを補正することができる。一方で、整流部１１の並列接続数が増えるほど、高周波電圧のずれが大きくなる。この場合でも、適切に定められた補正電圧が制御電圧に加算されることにより、高周波電圧のずれを打ち消すことができる。

【0038】

（４）実施例
以下の実施例１～４では、それぞれ異なる特性の整流素子Ｄ１～Ｄ４を使用してマススペクトルを補正した。具体的には、実施例１では、Ｂｒｏａｄｃｏｍ，Ｉｎｃ．製のＨＳＭＳ－２８１を使用した。実施例２では、Ｖｉｓｈａｙ Ｉｎｔｅｒｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｉｎｃ．製のＢＡＴ８１Ｓを使用した。実施例３では、ローム株式会社製のＲＢ７０６Ｆ－４０を使用した。実施例４では、Ｎｅｘｐｅｒｉａ Ｂ．Ｖ．製のＢＡＶ９９Ｗを使用した。

【0039】

図５は、実施例１～４で使用された整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性を示す図である。図５の横軸は質量電荷比を示し、縦軸は高周波電圧のずれを示す。図５に示すように、実施例１の整流素子Ｄ１～Ｄ４においては、広い質量電荷比（０～２０００）の範囲で、ずれが０近傍の略一定値であった。実施例２，３の整流素子Ｄ１～Ｄ４においては、質量電荷比０～１２００の範囲ではずれは比較的小さい一定値であったが、質量電荷比１２００以上の範囲でずれが増加した。実施例４の整流素子Ｄ１～Ｄ４においては、全体的にずれが大きかった。

【0040】

図６は、実施例１におけるマススペクトルを示す図である。図７は、実施例２におけるマススペクトルを示す図である。図８は、実施例３におけるマススペクトルを示す図である。図９は、実施例４におけるマススペクトルを示す図である。図６～図９の各々においては、上段に補正前のマススペクトルが示され、下段に補正後のマススペクトルが示される。

【0041】

実施例１においては、図６の上段に示すように、マススペクトルの補正を行わない場合でも、全体的に各ピークが他のピークから分離されている。この場合、質量分解能を均一にするためのソフトウエア上の補正を行うことにより、図６の下段に示すように、良好なマススペクトルが得られる。

【0042】

一方、実施例２～４においては、図７～図９の上段にそれぞれ示すように、所定の質量電荷比の範囲で、各ピークが他のピークから分離されていない。この場合、各ピークを他のピークから分離するために、並列接続された複数の整流部１１を含む検波部１０をマススペクトルの測定に用いる。また、必要に応じて適切な補正電圧を制御電圧に加算する。これにより、図７および図８の下段にそれぞれ示すように、補正された良好なマススペクトルが得られる。

【0043】

マススペクトルの補正に要する整流部１１の数は、整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性により異なる。また、マススペクトルの補正に要する補正電圧は、整流部１１の接続数または整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性により異なる。したがって、図２の電源装置１００の製造時には、整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性に応じて適切に定められた数の整流部１１が検波基板１０２に実装される。また、整流部１１の接続数または整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性に応じて適切に定められた補正電圧が設定される。

【0044】

このように、主基板１０１は、検波基板１０２における整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応付けて製造される。しかしながら、電源装置１００の保守において、整流素子Ｄ１～Ｄ４の交換が必要になることがある。この場合において、交換前の整流素子Ｄ１～Ｄ４とは異なる特性を有する整流素子Ｄ１～Ｄ４を交換用の整流素子Ｄ１～Ｄ４として用いると、検波基板１０２と主基板１０１との対応関係が破綻する。これを防止するために、検波基板１０２および主基板１０１には、識別部７０および検出部８０がそれぞれ実装される。以下、識別部７０および検出部８０の詳細について説明する。

【0045】

（５）識別部および検出部
（ａ）第１の例
図１０は、識別部７０および検出部８０の第１の例を示す図である。図１０に示すように、識別部７０は、接地端子７１、１以上の出力端子７２および１以上のスイッチ７３を含む。接地端子７１が第１の端子の例であり、出力端子７２が第２の端子の例である。１以上のスイッチ７３は、１以上の出力端子７２にそれぞれ対応する。各スイッチ７３は、対応する出力端子７２と、接地端子７１との間に接続される。

【0046】

検波基板１０２の製造時に、検波基板１０２に実装された検波部１０の整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応するように１以上のスイッチ７３が開閉されている。この場合、任意の識別情報を容易に出力することができる。整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成と、１以上のスイッチ７３を開閉状態との関係は予め定められている。

【0047】

例えば、品名“Ｘ”が付与された整流素子Ｄ１～Ｄ４を含む整流部１１が２つ並列接続されている場合には、第１および第２のスイッチ７３を閉状態にし、第３のスイッチ７３を開状態にするように対応付けられていてもよい。また、品名“Ｙ”が付与された整流素子Ｄ１～Ｄ４を含む整流部１１が１つ並列接続されている場合には、第１のスイッチ７３を閉状態にし、第２および第３のスイッチ７３を開状態にするように対応付けられていてもよい。

【0048】

検出部８０は、接地端子８１、１以上の入力端子８２および１以上の演算増幅器８３を含む。補正部９０は、記憶部９１、電圧決定部９２および電圧生成部９３を含む。本例では、主基板１０１にＣＰＵが実装される。電圧決定部９２は、ＣＰＵにより実現される機能部である。電圧生成部９３は、所定範囲の直流電圧を生成可能な電源部を含む。接地端子８１は、接地端子７１に対応し、接地電位に維持される。１以上の入力端子８２は、１以上の出力端子７２にそれぞれ対応する。また、１以上の演算増幅器８３は、１以上の入力端子８２にそれぞれ接続される。

【0049】

接地端子７１および１以上の出力端子７２は、配線により接地端子８１および１以上の入力端子８２にそれぞれ接続される。これにより、接地端子７１は接地電位に維持される。接地端子７１が直接的に接地電位に維持される場合には、接地端子７１は接地端子８１に接続されなくてもよい。識別部７０と検出部８０とが接続されることにより、１以上のスイッチ７３の状態が識別情報として１以上の演算増幅器８３により検出される。

【0050】

図１１は、識別情報の一例を示す図である。図１１の例では、各スイッチ７３の開状態が“０”と記され、閉状態が“１”と記される。複数のスイッチ７３の状態により、識別情報が“０”，“１”，“２”，“３”，“４”・・・のいずれかに一意的に定まる。

【0051】

例えば、第１および第２のスイッチ７３が閉状態であり、第３のスイッチ７３が開状態である場合、識別情報は“３”となる。第１のスイッチ７３が閉状態であり、第２および第３のスイッチ７３が開状態である場合、識別情報は“３”となる。第１のスイッチ７３が閉状態であり、第２および第３のスイッチ７３が開状態である場合、識別情報は“１”となる。

【0052】

出力された識別情報は、１以上の演算増幅器８３により電圧として容易に特定することができる。識別部７０の出力端子７２の数をｎとすると、識別情報の種類は２^ｎとなる。したがって、本例では、識別部７０は複数の出力端子７２を含むが、実施の形態はこれに限定されない。識別情報の種類が２である場合、識別部７０は１つの出力端子７２を含む。

【0053】

高周波電圧のずれを補正するために適した補正電圧は、識別情報に対応して定まる。そこで、記憶部９１には、識別情報と、高周波電圧のずれを補正するための補正電圧との対応関係を示す対応情報が予め記憶される。図１２は、対応情報の一例を示す図である。図１２における補正電圧は、電源装置１００の製造時に、種々の整流素子Ｄ１～Ｄ４を用いた実験等が行われることにより特定される。

【0054】

電圧決定部９２は、演算増幅器８３により検出された識別情報を取得する。また、電圧決定部９２は、取得された識別情報と、記憶部９１に記憶された対応情報とに基づいて補正電圧を決定し、決定された補正電圧を生成するように電圧生成部９３を制御する。この場合、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応した補正電圧を容易に生成することができる。電圧生成部９３は、生成された補正電圧を制御電圧に加算する。これにより、検波基板１０２に実装された整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流に起因する高周波電圧のずれが補正される。

【0055】

（ｂ）第２の例
識別部７０の第１の例においては、接地端子７１と各出力端子７２との間にスイッチ７３が接続されるが、実施の形態はこれに限定されない。図１３は、識別部７０および検出部８０の第２の例を示す図である。図１３に示すように、本例においては、スイッチ７３に代えて、極めて小さい抵抗値を有する電気抵抗７４が用いられる。電気抵抗７４は、ジャンパ線であってもよい。

【0056】

具体的には、第１の例において、閉状態にするべきスイッチ７３が接続されていた出力端子７２と接地端子７１との間には、電気抵抗７４が接続される。一方、第１の例において、開状態にするべきスイッチ７３が接続されていた出力端子７２と接地端子７１との間には、電気抵抗７４が接続されない。この場合、図１１の識別情報において、電気抵抗７４が接続されない開状態が“０”と記され、電気抵抗７４が接続された開状態が“１”と記される。この構成においても、識別部７０の第１の例と同様に、識別部７０から検出部８０に識別情報を出力することができる。

【0057】

このように、識別部７０の第１の例または第２の例においては、識別情報は、接地端子７１と１以上の出力端子７２との間の電気的な接続状態に対応して定められる。この場合、識別情報を容易に定めることができる。特に、第１の例においては、識別情報は、スイッチ７３の状態に対応して定められる。そのため、スイッチ７３の状態を切り替えることにより、任意の識別情報を容易に出力することができる。

【0058】

（ｃ）第３の例
識別部７０および検出部８０の第３の例について、第１の例と異なる点を説明する。図１４は、識別部７０および検出部８０の第３の例を示す図である。図１４に示すように、識別部７０は、複数ではなく１つの出力端子７２を含む。また、識別部７０は、スイッチ７３に代えて、電気抵抗７５を含む。電気抵抗７５は、接地端子７１と出力端子７２との間に接続される。

【0059】

検出部８０は、複数ではなく１つの入力端子８２および演算増幅器８３を含む。接地端子８１が第３の端子の例であり、入力端子８２が第４の端子の例である。また、検出部８０は、電気抵抗８４および電源部８５をさらに含む。電源部８５は、例えば直流電源である。演算増幅器８３は、入力端子８２に接続される。電気抵抗８４は、入力端子８２と電源部８５のプラス極との間に接続される。電源部８５のマイナス極は接地端子８１に接続される。

【0060】

接地端子７１および出力端子７２は、配線により接地端子８１および入力端子８２にそれぞれ接続される。識別部７０と検出部８０とが接続されることにより、電源部８５による電圧が直列接続された電気抵抗７５，８４に印加される。電気抵抗７５と電気抵抗８４との間の電位が識別情報として演算増幅器８３により検出される。すなわち、識別情報は、電気抵抗７５の分圧として定められる。

【0061】

本例では、電源部８５の電圧および電気抵抗８４の抵抗値は一定である。例えば、電源部８５の出力電圧が５Ｖであり、電気抵抗８４の抵抗値が１ｋΩであるとする。一方、電気抵抗７５としては、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に応じて異なる抵抗値を有する電気抵抗が用いられる。したがって、識別情報は、電気抵抗７５の抵抗値に対応して一意的に定まる。

【0062】

検波基板１０２の製造時に、検波基板１０２に実装された検波部１０の整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応するように、接地端子７１と出力端子７２との間に電気抵抗７５が接続されている。整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成と、電気抵抗７５の抵抗値との関係は予め定められている。

【0063】

例えば、品名“Ｘ”が付与された整流素子Ｄ１～Ｄ４を含む整流部１１が２つ並列接続されている場合には、抵抗値１ｋΩの電気抵抗７５を接続するように対応付けられていてもよい。この場合、識別情報は２．５Ｖとなる。また、品名“Ｙ”が付与された整流素子Ｄ１～Ｄ４を含む整流部１１が１つ並列接続されている場合には、抵抗値１００Ωの電気抵抗７５を接続するように対応付けられていてもよい。この場合、識別情報は約０．５Ｖとなる。

【0064】

本例では、１つの電気抵抗７５により所望の識別情報を選択可能である。そのため、検波基板１０２の実装面積を大型化する必要がない。これにより、電源装置１００を小型化することができる。なお、本例では、電気抵抗７５は抵抗値を調整可能な可変抵抗であってもよい。この場合、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に応じた電気抵抗７５の抵抗値の調整が容易になる。

【0065】

電圧決定部９２は、演算増幅器８３により検出された識別情報を取得する。また、電圧決定部９２は、取得された識別情報と、記憶部９１に記憶された対応情報とに基づいて補正電圧を決定し、決定された補正電圧を生成するように電圧生成部９３を制御する。電圧生成部９３は、生成された補正電圧を制御電圧に加算する。これにより、検波基板１０２に実装された整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流に起因する高周波電圧のずれが補正される。

【0066】

（６）変形例
本実施の形態において、補正部９０は生成された補正電圧を制御電圧に加算するが、実施の形態はこれに限定されない。図１５は、第１の変形例に係る電源装置１００の構成を示す図である。図１５に示すように、補正部９０は、生成された補正電圧を検波電圧に加算してもよい。図１６は、第２の変形例に係る電源装置１００の構成を示す図である。図１６に示すように、補正部９０は、生成された補正電圧を制御電圧と検波電圧との加算電圧に加算してもよい。これらの場合でも、図２の電源装置１００と同様に、高周波電圧のずれを容易に補正することができる。

【0067】

（７）効果
本実施の形態に係る質量分析装置２００においては、電源装置１００により四重極質量フィルタ１３０に直流電圧と高周波電圧との加算電圧が印加される。印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンが四重極質量フィルタ１３０により選択される。電源装置１００においては、四重極質量フィルタ１３０に印加される電圧の交流成分である高周波電圧が検波部１０により検波電圧として検波される。また、整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流に起因する高周波電圧のずれが補正部９０により補正される。

【0068】

電源装置１００においては、検波部１０が検波基板１０２に実装される。また、検波部１０により出力された識別情報を検出する検出部８０が主基板１０１に実装される。そのため、電源装置１００の保守において、検波部１０の整流素子Ｄ１～Ｄ４の交換の必要が生じた場合には、検波基板１０２のみを交換すればよく、検波基板１０２および主基板１０１を含めた電源装置１００の全体を交換する必要がない。

【0069】

また、保守において、交換前の整流素子Ｄ１～Ｄ４と同等の特性を有する整流素子Ｄ１～Ｄ４を入手できない場合には、交換前の整流素子Ｄ１～Ｄ４と異なる特性を有する整流素子Ｄ１～Ｄ４が用いられることとなる。この場合でも、整流部１１の接続数を変更する等、整流素子Ｄ１～Ｄ４の特性に応じて漏れ電流の直線性が改善されるように整流素子Ｄ１～Ｄ４を構成することが可能である。

【0070】

ここで、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成を変更すると、高周波電圧のずれが変化する。この場合でも、検波基板１０２に実装された識別部７０からは、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応して定められた検波部１０の識別情報が出力される。そのため、主基板１０１において、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応する識別情報に基づいて、補正部９０により高周波電圧のずれが適切に補正される。

【0071】

このように、上記の構成によれば、電源装置１００の保守時に、交換前の整流素子Ｄ１～Ｄ４と同等の特性を有する整流素子Ｄ１～Ｄ４を入手する必要がないので、交換用の整流素子Ｄ１～Ｄ４の選定が容易になる。また、検波基板１０２における整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成を変更した場合でも、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成と対応付けて主基板１０１を交換する必要がない。その結果、電源装置１００の保守の手間およびコストを低減することができる。

【0072】

本実施の形態においては、電源装置１００の製造時に、入手可能な種々の整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応する識別情報が予め定められる。そのため、電源装置１００の製造時点で入手可能な任意の整流素子Ｄ１～Ｄ４が検波基板１０２に実装された場合に、当該整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応して高周波電圧のずれを補正することが可能である。

【0073】

一方で、電源装置１００の保守において、電源装置１００の製造時以降に販売された整流素子Ｄ１～Ｄ４等、識別情報に対応付けられていない新規の整流素子Ｄ１～Ｄ４を交換用に用いる可能性がある。このような場合には、まず、交換用の整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に適した、高周波電圧のずれを補正するための補正電圧が実験等により特定される。そして、特定された補正電圧に対応付けられた識別情報を出力する識別部７０が実装された検波基板１０２が交換用の基板として選択される。これにより、新規の整流素子Ｄ１～Ｄ４が交換用に用いられる場合でも、当該整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応して高周波電圧のずれを補正することができる。

【0074】

（８）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態において、電源装置１００は補正部９０を含み、補正部９０は主基板１０１に実装される。この場合、検出部８０と補正部９０とを接続するための配線をコンパクトにすることができる。しかしながら、実施の形態はこれに限定されない。補正部９０は、図１の処理装置１５０等に設けられてもよい。この場合、電源装置１００は、補正部９０を含まない。したがって、補正部９０は、主基板１０１に実装されなくてもよい。

【0075】

（ｂ）上記実施の形態において、補正部９０は記憶部９１および電圧決定部９２を含むが、実施の形態はこれに限定されない。図１７は、他の実施の形態における補正部９０を示す図である。本実施の形態における補正部９０について、図１４の補正部９０と異なる点を説明する。

【0076】

図１７に示すように、本実施の形態においては、補正部９０は、記憶部９１、電圧決定部９２および電圧生成部９３を含まず、演算増幅器８３により識別情報として出力される電圧が補正電圧として用いられる。したがって、演算増幅器８３は、補正部９０として動作する。

【0077】

本実施の形態においても、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応した補正電圧を容易に生成することができる。これにより、整流素子Ｄ１～Ｄ４の構成に対応した高周波電圧のずれが補正される。また、本実施の形態では、記憶部９１、電圧決定部９２および電圧生成部９３を用いる必要がないので、高周波電圧のずれを補正するための構成を比較的安価に実現することができる。

【0078】

なお、本実施の形態において、演算増幅器８３から識別情報として出力される電圧の演算値が補正電圧として用いられてもよい。例えば、演算増幅器８３から出力される電圧が増幅または減衰されることにより、補正電圧として用いられてもよい。

【0079】

また、図１０または図１４の検出部８０においても、識別情報は、１以上の演算増幅器８３により所定の電圧として検出される。そのため、識別情報に対応する電圧が、当該識別情報に対応する補正電圧として適している場合には、１以上の演算増幅器８３から出力される識別情報またはその演算値が補正電圧として用いられてもよい。

【0080】

（ｃ）上記実施の形態において、整流部１１のノードＮ３が接地端子に接続され、各整流部１１のノードＮ４が検出抵抗１４と平滑コンデンサ１５とに接続されるが、実施の形態はこれに限定されない。各整流部１１のノードＮ４が接地端子に接続され、各整流部１１のノードＮ３が検出抵抗１４と平滑コンデンサ１５とに接続されてもよい。

【0081】

（ｄ）上記実施の形態において、整流部１１は全波整流回路を構成する４つの整流素子Ｄ１～Ｄ４を含むが、実施の形態はこれに限定されない。整流部１１は半波整流回路を構成する１つの整流素子を含んでもよい。

【0082】

（ｅ）上記実施の形態において、整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流に起因する高周波電圧（交流電圧）のずれが補正されるが、実施の形態はこれに限定されない。整流素子Ｄ１～Ｄ４の漏れ電流に起因する高周波電圧のずれが直流電圧により補正されてもよい。

【0083】

この構成においては、識別情報と、上記の高周波電圧のずれを補正するための補正電圧との対応関係を示す対応情報が予め記憶されてもよい。これにより、電圧決定部９２は、取得された識別情報と、記憶部９１に記憶された対応情報とに基づいて補正電圧を決定し、決定された補正電圧を生成するように電圧生成部９３を制御することができる。

【0084】

（９）態様
上記の複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0085】

（第１項）一態様に係る質量分析装置は、
印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタと、
第１の基板および第２の基板を有し、前記質量フィルタに電圧を印加する電源装置と、
補正部とを備え、
前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、
前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出する検出部を含み、
前記補正部は、前記検出部により検出された前記識別情報に基づいて、前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正してもよい。

【0086】

この質量分析装置においては、電源装置により質量フィルタに電圧が印加される。印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンが質量フィルタにより選択される。電源装置においては、質量フィルタに印加される電圧の交流成分が検波部により検波電圧として検波される。また、整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれが補正部により補正される。

【0087】

電源装置においては、検波部が第１の基板に含まれる。また、検波部により出力された識別情報を検出する検出部が第２の基板に含まれる。そのため、質量分析装置の保守において、検波部の整流素子の交換の必要が生じた場合には、第１の基板のみを交換すればよく、第１の基板および第２の基板を含めた電源装置の全体を交換する必要がない。

【0088】

また、保守において、交換前の整流素子と同等の特性を有する整流素子を入手できない場合には、交換前の整流素子と異なる特性を有する整流素子が用いられることとなる。この場合でも、整流素子の数を変更する等、整流素子の特性に応じて漏れ電流の直線性が改善されるように整流素子を構成することが可能である。

【0089】

ここで、整流素子の構成を変更すると、電圧のずれが変化する。この場合でも、第１の基板に含まれる識別部からは、整流素子の構成に対応して定められた検波部の識別情報が出力される。そのため、第２の基板において、整流素子の構成に対応する識別情報に基づいて、補正部により電圧のずれが適切に補正される。

【0090】

このように、上記の構成によれば、質量分析装置の保守時に、交換前の整流素子と同等の特性を有する整流素子を入手する必要がないので、交換用の整流素子の選定が容易になる。また、第１の基板における整流素子の構成を変更した場合でも、整流素子の構成と対応付けて第２の基板を交換する必要がない。その結果、質量分析装置の保守の手間およびコストを低減することができる。

【0091】

（第２項）第１項に記載の質量分析装置において、
前記識別部は、
第１の端子と、
１以上の第２の端子とを含み、
前記識別情報は、前記第１の端子と前記１以上の第２の端子との間の電気的な接続状態に対応して定められてもよい。

【0092】

この場合、識別情報を容易に定めることができる。

【0093】

（第３項）第２項に記載の質量分析装置において、
前記識別部は、前記第１の端子と前記１以上の第２の端子との間に接続されたスイッチをさらに含み、
前記識別情報は、前記スイッチの開閉状態に対応して定められてもよい。

【0094】

この場合、任意の識別情報を容易に出力することができる。また、出力された識別情報を容易に特定することができる。

【0095】

（第４項）第１項に記載の質量分析装置において、
前記識別部は、
第１の端子と、
第２の端子と、
前記第１の端子と前記第２の端子との間に接続された第１の電気抵抗とを含み、
前記識別情報は、前記第１の電気抵抗の抵抗値に対応して定められてもよい。

【0096】

この場合、識別情報を容易に定めることができる。また、識別情報の種類が多い場合でも、第１の基板に多数の素子を設ける必要がないので、第１の基板の大型化が防止される。これにより、電源装置を小型化することができる。

【0097】

（第５項）第４項に記載の質量分析装置において、
前記検出部は、
前記第１の端子に対応する第３の端子と、
前記第２の端子に対応する第４の端子と、
前記第３の端子と前記第４の端子との間に接続された電源部および第２の電気抵抗とを含み、前記識別情報は、前記第１の電気抵抗の分圧に対応して定められてもよい。

【0098】

この場合、出力された識別情報を容易に特定することができる。

【0099】

（第６項）第１項～第５項のいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記補正部は、
前記識別情報と電圧のずれを補正するための補正電圧との対応関係を示す対応情報を予め記憶した記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記対応情報に基づいて補正電圧を決定する電圧決定部と、
前記電圧決定部により決定された補正電圧を生成する電圧生成部を含んでもよい。

【0100】

この場合、整流素子の構成に対応した補正電圧を容易に生成することができる。これにより、整流素子の構成に対応した電圧のずれが補正される。

【0101】

（第７項）第６項に記載の質量分析装置において、
前記補正部は、前記第２の基板に設けられてもよい。

【0102】

この場合、検出部と補正部とを接続するための配線をコンパクトにすることができる。

【0103】

（第８項）第６項に記載の質量分析装置において、
前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記制御電圧に加算してもよい。

【0104】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0105】

（第９項）第６項に記載の質量分析装置において、
前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記検波電圧に加算してもよい。

【0106】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0107】

（第１０項）第６項に記載の質量分析装置において、
前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記電圧生成部は、生成された補正電圧を前記制御電圧と前記検波電圧との加算電圧に加算してもよい。

【0108】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0109】

（第１１項）第１項～第５項のいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記補正部は、前記識別情報、または当該識別情報の演算値を補正電圧として生成してもよい。

【0110】

この場合、整流素子の構成に対応した補正電圧を容易に生成することができる。これにより、整流素子の構成に対応した電圧のずれが補正される。また、電圧のずれを補正するための構成を比較的安価に実現することができる。

【0111】

（第１２項）第１１項に記載の質量分析装置において、
前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記補正部は、生成された補正電圧を前記制御電圧に加算してもよい。

【0112】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0113】

（第１３項）第１１項に記載の質量分析装置において、
前記補正部は、生成された補正電圧を前記検波電圧に加算してもよい。

【0114】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0115】

（第１４項）第１１項に記載の質量分析装置において、
前記第２の基板には、前記質量フィルタに印加される電圧を制御するための制御電圧が入力され、
前記補正部は、生成された補正電圧を前記制御電圧と前記検波電圧との加算電圧に加算してもよい。

【0116】

この場合、電圧のずれを容易に補正することができる。

【0117】

（第１５項）電源装置は、
印加された電圧に対応する質量電荷比を有するイオンを選択する質量フィルタに電圧を印加する電源装置であって、
第１の基板と、
第２の基板とを備え、
前記第１の基板は、整流素子を用いて、前記質量フィルタに印加される電圧の交流成分を検波電圧として検波する検波部と、前記検波部の前記整流素子の構成に対応して定められた前記検波部の識別情報を出力する識別部とを含み、
前記第２の基板は、前記識別部により出力された前記識別情報を検出し、検出された前記識別情報を、当該識別情報に基づいて前記整流素子の漏れ電流に起因する電圧のずれを補正するための補正部に与える検出部を含んでもよい。

【0118】

この電源装置によれば、保守時に、交換前の整流素子と同等の特性を有する整流素子を入手する必要がないので、交換用の整流素子の選定が容易になる。また、第１の基板における整流素子の構成を変更した場合でも、整流素子の構成と対応付けて第２の基板を交換する必要がない。その結果、電源装置の保守の手間およびコストを低減することができる。

【符号の説明】

【0119】

１０…検波部，１１…整流部，１２，１３…検波コンデンサ，１４…検出抵抗，１５…平滑コンデンサ，２０…電圧制御部，３０…高周波電圧発生部，４０…直流電圧発生部，５０…加算部，６０…コイル部，７０…識別部，７１，８１…接地端子，７２…出力端子，７３…スイッチ，７４，７５，８４…電気抵抗，８０…検出部，８２…入力端子，８３…演算増幅器，８５…電源部，９０…補正部，９１…記憶部，９２…電圧決定部，９３…電圧生成部，１００…電源装置，１０１…主基板，１０２…検波基板，１１０…イオン源，１２０…イオン輸送部，１３０…四重極質量フィルタ，１３１～１３４…電極，１４０…イオン検出器，１５０…処理装置，２００…質量分析装置，２０１…イオン光軸，Ｄ１～Ｄ４…整流素子，Ｎ１～Ｎ４…ノード

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】