特開2024-5306半導体製造装置用バルブ及びそのダイヤフラムバルブ

発明の名称　半導体製造装置用バルブ及びそのダイヤフラムバルブ

出願人　株式会社キッツエスシーティー　（識別番号 501417929）

　　　　特許公開件数ランキング 3192 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-5306

公報発行日　2024年1月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-5306

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