特開 2024-53276 試験装置、試験システム、試験方法および試験プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024053276

(43)【公開日】2024-04-15

(54)【発明の名称】試験装置、試験システム、試験方法および試験プログラム

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20240408BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20240408BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 E

H01L21/66 X

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022159416

(22)【出願日】2022-10-03

(71)【出願人】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】菅原 聡洋

(72)【発明者】

【氏名】足立 敏明

【テーマコード（参考）】

2G003

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G003AA09

2G003AH01

4M106AA01

4M106BA04

4M106CA17

4M106DJ20

4M106DJ27

(57)【要約】

【解決手段】 複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得部と、前記画像データ取得部が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御部と、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得部と、前記試験結果取得部により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備える試験装置が提供される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得部と、
前記画像データ取得部が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御部と、
画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得部と、
前記試験結果取得部により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備える試験装置。

【請求項2】

前記画像処理制御部は、前記被試験デバイスの識別情報を画像データと共に前記２以上の画像処理装置へと送信し、
前記試験結果取得部は、前記被試験デバイスの識別情報を試験結果と共に取得する、請求項１に記載の試験装置。

【請求項3】

前記画像処理制御部は、
各画像処理装置の状態を検知する検知部と、
各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、
前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第２選択部と、
前記複数の画像処理装置のうち、前記第２選択部により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、
を有する、請求項１に記載の試験装置。

【請求項4】

前記第２選択部は、少なくとも各画像処理装置の処理性能に基づいて、前記複数の画像処理装置から、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる画像処理装置を選択する、請求項３に記載の試験装置。

【請求項5】

前記第２選択部は、前記複数の画像処理装置のうち、最も処理性能が高い画像処理装置を選択する、請求項４に記載の試験装置。

【請求項6】

前記第１選択部は、前記複数の試験項目から、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を優先して選択する、請求項３に記載の試験装置。

【請求項7】

前記第１選択部は、基準よりも所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を、離散的な順序で選択する、請求項３に記載の試験装置。

【請求項8】

前記２以上の画像処理装置のうち、少なくとも１つの画像処理装置は、少なくとも１つのサーバ装置に実装されており、
当該試験装置は、各サーバ装置と通信する通信部をさらに備える、請求項１に記載の試験装置。

【請求項9】

前記少なくとも１つのサーバ装置の何れかは、クラウドサーバである、請求項８に記載の試験装置。

【請求項10】

前記２以上の画像処理装置の１つとして、画像データに対する画像処理を実行する画像処理部をさらに備え、
前記画像処理制御部は、前記画像データ取得部が取得した画像データを前記画像処理部に供給して、前記複数の試験項目のうち一部の試験項目に応じた画像処理を実行させる、請求項１に記載の試験装置。

【請求項11】

前記画像処理制御部は、前記２以上の画像処理装置のうち前記画像処理部とは異なる各画像処理装置との間の通信回線がビジー状態であることに応じて、前記画像処理部に画像処理を実行させる、請求項１０に記載の試験装置。

【請求項12】

前記画像データ取得部が取得した画像データにおける画素値の統計を被試験デバイスごとに実行する統計部をさらに備え、
前記判定部は、一の被試験デバイスについての統計結果が基準条件を満たさないことに応じて当該一の被試験デバイスを不良と判定し、前記一の被試験デバイスについての画像処理をディセーブルする、請求項１に記載の試験装置。

【請求項13】

前記被試験デバイスに対し、前記１または複数の発光パターンの光を照射する光源をさらに備える、請求項１に記載の試験装置。

【請求項14】

請求項１に記載の複数の試験装置と、
前記複数の試験装置により共用される複数の画像処理装置と、
を備える試験システム。

【請求項15】

各試験装置の前記画像処理制御部は、
各画像処理装置の状態を検知する検知部と、
各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、
前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて前記複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第２選択部と、
前記複数の画像処理装置のうち、前記第２選択部により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、
を有する、請求項１４に記載の試験システム。

【請求項16】

各試験装置による試験を制御する制御装置を備え、
各試験装置は、
各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、
前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて前記制御装置に画像処理装置の選択要求信号を送信する第１送信部と、
前記複数の画像処理装置のうち、前記制御装置により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、
を有し、
前記制御装置は、
各画像処理装置の状態を検知する検知部と、
各試験装置から逐次、前記選択要求信号を取得する第３取得部と、
前記選択要求信号が取得されることに応じて前記複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第３選択部と、
前記第３選択部が選択した画像処理装置の識別情報を、前記選択要求信号の送信元の前記試験装置に送信する第２送信部と、
を有する、請求項１４に記載の試験システム。

【請求項17】

複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得段階と、
前記画像データ取得段階で取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御段階と、
画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得段階と、
前記試験結果取得段階により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定段階と、
を備える試験方法。

【請求項18】

コンピュータを、
複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得部と、
前記画像データ取得部が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御部と、
画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得部と、
前記試験結果取得部により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
として機能させる試験プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試験装置、試験システム、試験方法および試験プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には「被試験イメージセンサに接触した端子から出力される画像信号…を取り込んで画像処理し…良否を判定する」（請求項１）などと記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開平４－３６８６号公報

【発明の概要】

【0003】

本発明の第１の態様においては、複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得部と、前記画像データ取得部が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御部と、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得部と、前記試験結果取得部により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備える試験装置が提供される。

【0004】

上記の試験装置においては、前記画像処理制御部は、前記被試験デバイスの識別情報を画像データと共に前記２以上の画像処理装置へと送信し、前記試験結果取得部は、前記被試験デバイスの識別情報を試験結果と共に取得してよい。

【0005】

上記何れかの試験装置においては、前記画像処理制御部は、各画像処理装置の状態を検知する検知部と、各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第２選択部と、前記複数の画像処理装置のうち、前記第２選択部により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、を有してよい。

【0006】

上記の試験装置においては、前記第２選択部は、少なくとも各画像処理装置の処理性能に基づいて、前記複数の画像処理装置から、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる画像処理装置を選択してよい。

【0007】

上記の試験装置においては、前記第２選択部は、前記複数の画像処理装置のうち、最も処理性能が高い画像処理装置を選択してよい。

【0008】

画像処理制御部が第１選択部を有する上記何れかの試験装置においては、前記第１選択部は、前記複数の試験項目から、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を優先して選択してよい。

【0009】

画像処理制御部が第１選択部を有する上記何れかの試験装置においては、前記第１選択部は、基準よりも所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を、離散的な順序で選択してよい。

【0010】

上記何れかの試験装置においては、前記２以上の画像処理装置のうち、少なくとも１つの画像処理装置は、少なくとも１つのサーバ装置に実装されており、当該試験装置は、各サーバ装置と通信する通信部をさらに備えてよい。

【0011】

上記の試験装置においては、前記少なくとも１つのサーバ装置の何れかは、クラウドサーバであってよい。

【0012】

上記何れかの試験装置においては、前記２以上の画像処理装置の１つとして、画像データに対する画像処理を実行する画像処理部をさらに備えてよい。前記画像処理制御部は、前記画像データ取得部が取得した画像データを前記画像処理部に供給して、前記複数の試験項目のうち一部の試験項目に応じた画像処理を実行させてよい。

【0013】

上記の試験装置においては、前記画像処理制御部は、前記２以上の画像処理装置のうち前記画像処理部とは異なる各画像処理装置との間の通信回線がビジー状態であることに応じて、前記画像処理部に画像処理を実行させてよい。

【0014】

上記何れかの試験装置においては、前記画像データ取得部が取得した画像データにおける画素値の統計を被試験デバイスごとに実行する統計部をさらに備えてよい。前記判定部は、一の被試験デバイスについての統計結果が基準条件を満たさないことに応じて当該一の被試験デバイスを不良と判定し、前記一の被試験デバイスについての画像処理をディセーブルしてよい。

【0015】

上記何れかの試験装置においては、前記被試験デバイスに対し、前記１または複数の発光パターンの光を照射する光源をさらに備えてよい。

【0016】

本発明の第２の態様においては、第１の態様の何れかの複数の試験装置と、前記複数の試験装置により共用される複数の画像処理装置と、を備える試験システムが提供される。

【0017】

上記の試験システムにおいては、各試験装置の前記画像処理制御部は、各画像処理装置の状態を検知する検知部と、各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて前記複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第２選択部と、前記複数の画像処理装置のうち、前記第２選択部により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、を有してよい。

【0018】

第２の態様の試験システムにおいては、各試験装置による試験を制御する制御装置を備え、各試験装置は、各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する第１選択部と、前記実行対象の試験項目が選択されることに応じて前記制御装置に画像処理装置の選択要求信号を送信する第１送信部と、前記複数の画像処理装置のうち、前記制御装置により選択された画像処理装置へと画像データを送信して、前記実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる実行指示部と、を有してよい。前記制御装置は、各画像処理装置の状態を検知する検知部と、各試験装置から逐次、前記選択要求信号を取得する第３取得部と、前記選択要求信号が取得されることに応じて前記複数の画像処理装置から画像処理の実行状態の画像処理装置と、故障状態の画像処理装置との少なくとも一方を除外して、画像処理装置を選択する第３選択部と、前記第３選択部が選択した画像処理装置の識別情報を、前記選択要求信号の送信元の前記試験装置に送信する第２送信部と、を有してよい。

【0019】

本発明の第３の態様においては、複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得段階と、前記画像データ取得段階で取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御段階と、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得段階と、前記試験結果取得段階により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定段階と、を備える試験方法が提供される。

【0020】

本発明の第４の態様においては、コンピュータを、複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じ、イメージセンサである被試験デバイスが出力する各画像データを取得する画像データ取得部と、前記画像データ取得部が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置へと送信して、前記複数の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、前記２以上の画像処理装置のそれぞれにより並行して実行させる画像処理制御部と、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する試験結果取得部と、前記試験結果取得部により取得された各試験項目の試験結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、として機能させる試験プログラムが提供される。

【0021】

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】実施形態に係る試験システム１を示す。

【図2】発光パターンと、試験項目と、画像処理との対応の一例を示す。

【図3】試験装置２の第１処理に関する動作を示す。

【図4】試験装置２の第２処理に関する動作を示す。

【図5】変形例に係る試験システム１Ａを示す。

【図6】試験装置２Ａの第１処理に関する動作を、制御装置５の動作と共に示す。

【図7】本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

【0024】

＜１．試験システム１＞
図１は、本実施形態に係る試験システム１を示す。試験システム１は、試験対象の被試験デバイス１００と、複数の試験装置２と、複数の試験装置２により共用される複数の画像処理装置３０が実装された複数のサーバ装置３とを備える。

【0025】

＜１－１．被試験デバイス１００＞
被試験デバイス１００は、イメージセンサであり、例えばＣＭＯＳセンサやＣＣＤセンサであってよい。本実施形態では一例として、被試験デバイス１００は、１つのウエハ上に複数形成されているが、ウエハをダイシングして個片化されていてもよいし、さらに封止されてパッケージングされていてもよい。

【0026】

被試験デバイス１００は、外部接続可能な端子を有してよく、照射される光に応じた画像データを当該端子から出力してよい。画像データには、画素ごとの色の濃淡や明るさを示す画素値が含まれてよい。例えば、画像データはグレースケール画像の画像データであってよく、画素ごとに白黒の濃淡を示す画素値を含んでよい。これに代えて、画像データはカラー画像の画像データであってよく、画素ごとにＲＧＢなどの各色の濃淡を示す画素値を含んでよい。

【0027】

＜１－２．試験装置２＞
各試験装置２は、１または複数の被試験デバイス１００に対して試験を行う。本実施形態では一例として、各試験装置２は、ウエハ上の各被試験デバイス１００に対して試験を行ってよい。各試験装置２は、２以上の試験項目を含む試験を行ってよく、本実施形態では一例としてＮ個（但しＮは２以上の自然数）の試験項目の試験を行ってよい。各試験項目の試験では、当該試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光を被試験デバイス１００に照射したことに応じて当該被試験デバイス１００から出力される１または複数の画像データが取得されてよく、当該試験項目に対応する画像処理を画像データに行って試験結果が取得されてよい。詳細は後述するが、画像処理とは、画像データから何らかの情報を取り出す処理であってよい。

【0028】

各試験装置２は、光源２０と、画像データ取得部２１と、画像処理制御部２２と、画像処理部２３と、統計部２４と、通信部２８と、試験結果取得部２６と、判定部２７とを有する。

【0029】

＜１－２．１．光源２０＞
光源２０は、Ｎ個の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光を各被試験デバイス１００に照射する。光源２０は、被試験デバイス１００に対向して配置されるテストヘッドに配置されてよい。光源２０は、ウエハ上の各被試験デバイス１００に対して光を照射してよい。これにより、光が照射された各被試験デバイス１００から画像データが出力されてよい。

【0030】

一の発光パターンの光は、被試験デバイス１００により一の画像が撮像可能な時間だけ照射される光であってよい。一の発光パターンの光は、１または複数の試験項目に対応してよく、当該１または複数の試験項目の試験を行う場合に照射されてよい。

【0031】

複数の発光パターンの光は、被試験デバイス１００により複数の画像が撮像される時間だけ照射される光であってよい。複数の発光パターンの光は、互いに照射位置および照射時間の少なくとも一方によって照射光の強度や波長が異なってよい。複数の発光パターンの光は、１または複数の試験項目に対応してよく、当該１または複数の試験項目の試験を行う場合に照射されてよい。

【0032】

発光パターンの数は、Ｎ個の試験項目の試験を行うために被試験デバイス１００から出力させるべき画像データの数と同じであってよく、画像データ取得部２１により取得される画像データの数と同じであってよい。

【0033】

＜１－２．２．画像データ取得部２１＞
画像データ取得部２１は、Ｎ個の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データを取得する。画像データ取得部２１は、光源２０から照射される光に応じて各被試験デバイス１００が出力する画像データを取得してよい。

【0034】

画像データ取得部２１は、取得した画像データを画像処理制御部２２における後述の実行指示部２２３に供給してよい。画像データ取得部２１は、画像データを出力した被試験デバイス１００の識別情報を、当該画像データと共に実行指示部２２３に供給してよい。これに加えて、画像データ取得部２１は、画像データを出力した被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別情報を、当該画像データと共に実行指示部２２３に供給してよい。

【0035】

＜１－２．３．画像処理制御部２２＞
画像処理制御部２２は、画像データ取得部２１が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置３０へと送信して、Ｎ個の試験項目に応じた各画像処理を、当該２以上の画像処理装置３０に実行させる。画像処理制御部２２は、Ｎ個の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、当該２以上の画像処理装置３０のそれぞれにより並行して実行させてよい。本実施形態では一例として、画像処理制御部２２は、Ｎ個の試験項目のうち、Ｍ個の試験項目（但し、Ｍは２≦Ｍ≦Ｎの自然数）に応じた画像処理を２以上の画像処理装置３０のそれぞれにより並行して実行させてよい。画像処理制御部２２は、一の発光パターンに対応する複数の試験項目同士で、並行に画像処理を実行させてもよいし、複数の発光パターンに対応する複数の試験項目同士で、並行に画像処理を実行させてもよい。なお、２以上の画像処理が並行して実行されるとは、少なくとも一部の処理時間が重なるように２以上の画像処理が実行されることであってよい。画像処理制御部２２から画像データが送信される画像処理装置３０の個数は、試験項目の個数Ｎ，Ｍと同じであってもよいし、異なってもよい。

【0036】

画像処理制御部２２は、検知部２２０と、第１選択部２２１と、第２選択部２２２と、実行指示部２２３とを有する。

【0037】

＜１－２．３．１．検知部２２０＞
検知部２２０は、各画像処理装置３０の状態を検知する。検知部２２０は、試験システム１に含まれる各画像処理装置３０と通信して、当該画像処理装置３０の状態を検知してよい。検知部２２０は、従来より公知の手法によって各画像処理装置３０の状態を検知してよい。検知部２２０は、各画像処理装置３０が待機状態と、画像処理の実行状態と、故障状態との何れであるかを検知してよい。検知部２２０は、検知された各画像処理装置３０の状態を第２選択部２２２に供給してよい。

【0038】

＜１－２．３．２．第１選択部２２１＞
第１選択部２２１は、各試験項目を逐次、実行対象の試験項目として選択する。実行対象の試験項目とは、画像処理を実行させる試験項目であってよい。

【0039】

第１選択部２２１は、Ｎ個の試験項目から実行対象の試験項目を選択してよい。第１選択部２２１は、Ｎ個の試験項目から、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を優先して選択してよい。画像処理の所要時間は、以前に取得された１または複数の画像データで画像処理を行うことで予め測定されてよい。

【0040】

第１選択部２２１は、被試験デバイス１００に照射された発光パターンの識別情報を光源２０などから取得して、当該発光パターンに対応するＭ個の試験項目から、何れかの試験項目を選択してもよい。第１選択部２２１は、選択した実行対象の試験項目の識別情報を第２選択部２２２に供給してよい。

【0041】

＜１－２．３．３．第２選択部２２２＞
第２選択部２２２は、第１選択部２２１により実行対象の試験項目が選択されることに応じて、試験システム１に含まれる複数の画像処理装置３０から何れかの画像処理装置３０を選択する。第２選択部２２２は、試験システム１に含まれる複数の画像処理装置３０から、画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方を除外して画像処理装置３０を選択してよい。第２選択部２２２は、複数の画像処理装置３０から、待機状態の画像処理装置３０を選択してよい。第２選択部２２２は、実行対象の試験項目の識別情報と、選択した画像処理装置３０の識別情報とを実行指示部２２３に供給してよい。

【0042】

＜１－２．３．４．実行指示部２２３＞
実行指示部２２３は、複数の画像処理装置３０のうち、第２選択部２２２により選択された画像処理装置３０へと画像データを送信して、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる。実行指示部２２３は、画像処理に応じた試験項目の試験結果が試験結果取得部２６に取得されるか否かに関わらず、各画像処理装置３０に画像処理を実行させてよい。これにより、Ｍ個の試験項目に応じた画像処理が２以上の画像処理装置３０により並行に実行されてよい。

【0043】

実行指示部２２３は、第２選択部２２２により選択された画像処理装置３０に対し、実行対象の試験項目の識別情報を画像データと共に送信してよい。また、実行指示部２２３は、画像データを出力した被試験デバイス１００の識別情報を画像データと共に、画像処理を実行する各画像処理装置３０へと送信してよい。これに加えて、実行指示部２２３は、画像データを出力した被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別情報や、当該実行指示部２２３が含まれる試験装置２の識別情報を、当該画像データと共に、画像処理を実行する各画像処理装置３０へと送信してよい。

【0044】

＜１－２．４．画像処理部２３＞
画像処理部２３は、画像データに対する画像処理を実行する。画像処理部２３は、試験システム１に含まれる複数の画像処理装置３０の１つとして機能してよく、画像処理制御部２２により画像処理が指示されてよい。この場合には、画像処理部２３は、画像データ取得部２１が取得した画像データを画像処理制御部２２から供給されて、Ｎ個の試験項目のうち一部の試験項目に応じた画像処理を実行してよい。画像処理部２３は、画像処理制御部２２からの指示により画像処理を並行して実行する２以上の画像処理装置３０の１つであってよい。画像処理部２３は、実行指示部２２３から供給される試験項目の識別情報に対応する画像処理を実行してよい。

【0045】

ここで、画像処理は、画像データから何らかの情報を取り出す処理であってよい。例えば、画像処理は、画素値の平均を算出する処理であってもよいし、被試験デバイス１００の感度の指標値を算出する処理であってもよいし、画素値の均一性の指標値を算出する処理であってもよいし、被試験デバイス１００のノイズ特性の指標値を算出する処理であってもよいし、画像データの少なくとも一部の領域での画素値の標準偏差を算出する処理であってもよいし、意図しない画素値のドットやラインを検出する処理であってもよい。

【0046】

なお、画像処理部２３は、試験装置２の外部の画像処理装置３０よりも処理性能が低くてよい。一例として、画像処理部２３は画像処理装置３０よりもクロック周波数が低くてよい。

【0047】

画像処理部２３は、画像処理の結果を示すデータと、被試験デバイス１００の識別情報とを試験結果取得部２６に供給してよい。試験項目の識別番号や、被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別番号が実行指示部２２３から供給される場合には、画像処理部２３は、これらの試験項目の識別情報や、被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別情報を、画像処理の結果を示すデータと共に試験結果取得部２６にさらに供給してよい。

【0048】

＜１－２．５．統計部２４＞
統計部２４は、画像データ取得部２１が取得した画像データにおける画素値の統計を被試験デバイス１００ごとに実行する。画像データがグレースケール画像を示す場合には、統計部２４は、白黒の濃淡を示す画素値の統計を実行してよい。画像データがカラー画像を示す場合には、統計部２４は、ＲＧＢなどの構成色それぞれについて、画素値の統計を実行してよい。統計部２４は、画素値の分散や平均などを示す統計結果を算出してよい。統計部２４は、算出した統計結果を判定部２７に供給してよい。

【0049】

＜１－２．６．試験結果取得部２６＞
試験結果取得部２６は、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する。画像処理装置３０に対して画像データと共に被試験デバイス１００の識別情報が送信される場合には、試験結果取得部２６は、被試験デバイス１００の識別情報を試験結果と共に取得してよい。

【0050】

試験結果取得部２６は、画像処理の結果を示すデータから、当該画像処理に対応する試験項目の試験結果を導出してよい。但し、画像処理の結果が試験項目の試験結果を示す場合には、試験結果取得部２６は、画像処理の結果を試験結果として取得してもよい。

【0051】

試験結果取得部２６は、取得した試験結果を判定部２７に供給してよい。試験結果取得部２６は、試験結果を被試験デバイス１００の識別情報やウエハの識別情報と共に判定部２７に供給してよい。

【0052】

＜１－２．７．判定部２７＞
判定部２７は、試験結果取得部２６により取得された各試験項目の試験結果に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。判定部２７は、判定結果を試験装置２の外部に出力してよい。

【0053】

判定部２７は、Ｎ個の試験項目のうち少なくとも一部の試験項目の試験結果に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してよい。これに加えて、判定部２７は、統計部２４による統計結果に基づいて、被試験デバイス１００の良否を判定してよい。判定部２７は、一の被試験デバイス１００についての統計結果が基準条件を満たさないことに応じて当該一の被試験デバイス１００を不良と判定してよい。判定部２７は、一の被試験デバイス１００についての統計結果が基準条件を満たさないことに応じて当該一の被試験デバイス１００についての画像処理をディセーブルしてよい。

【0054】

ここで、画素値の統計結果が基準条件を満たさないとは、統計結果を示す値（一例として画素値の分散や平均）が基準範囲外となることであってよい。不良と判定された一の被試験デバイス１００についての画像処理をディセーブルするとは、当該一の被試験デバイス１００についての画像処理制御部２２の動作を停止させることであってもよいし、実行中の画像処理を停止させることであってもよい。

【0055】

＜１－２．８．通信部２８＞
通信部２８は、各サーバ装置３と通信する。これにより、試験装置２の各部と、サーバ装置３の各画像処理装置３０との間で通信が可能となってよい。例えば検知部２２０は、通信部２８を介して各画像処理装置３０の状態を検知してよい。実行指示部２２３は、通信部２８を介して各画像処理装置３０へと画像データを送信してよい。試験結果取得部２６は、通信部２８を介して画像処理の結果などを取得してよい。

【0056】

通信部２８と、サーバ装置３との間の通信ネットワークは、インターネット、広域ネットワーク（ＷＡＮ）、ローカルエリアネットワーク等の各種ネットワークまたはその組み合わせを含んで構成されてよい。通信ネットワークは、有線および無線の少なくとも一方による接続ポイントを含んでよい。通信ネットワークは、インターネットなどの公衆回線から分離された専用回線により実現されてもよい。

【0057】

＜１－３．サーバ装置３＞
各サーバ装置３は、試験装置２からの要求に応じて種々の機能を提供する。本実施形態に係る各サーバ装置３には、１または複数の画像処理装置３０が実装されており、試験装置２からの要求により画像処理を行う。

【0058】

各サーバ装置３は、試験装置２の近傍（一例として試験装置２と同じ設備内）に配置されてもよいし、試験装置２の遠方（一例として試験装置２とは別の設備内）に配置されてもよい。複数のサーバ装置３の何れかは、クラウドサーバであってよい。一例として、複数のサーバ装置３がそれぞれクラウドサーバであってもよいし、複数のサーバ装置３のうち一部のサーバ装置３がクラウドサーバであってもよい。クラウドサーバは、クラウド環境に構築されたサーバであってよい。

【0059】

＜１－３．１．画像処理装置３０＞
各画像処理装置３０は、各試験装置２の実行指示部２２３から供給される画像データに対し、実行指示部２２３から指示される画像処理を行う。実行指示部２２３から指示される画像処理は、実行指示部２２３から供給される試験項目の識別情報に対応する画像処理であってよい。各画像処理装置３０は、試験項目の識別情報と、当該試験項目に対応する画像処理の内容との対応情報を予め記憶してよく、実行指示部２２３から供給される試験項目の識別情報に対応する画像処理を当該対応情報から検出してよい。

【0060】

各画像処理装置３０は、画像処理により、被試験デバイス１００の特性を示す情報を画像データから取得してよい。各画像処理装置３０はＧＰＵまたはＣＰＵを含んでよい。

【0061】

各画像処理装置３０は、画像処理の結果を示すデータと、被試験デバイス１００の識別情報とを試験結果取得部２６に供給してよい。これに加えて、各画像処理装置３０は、実行指示部２２３から供給された試験項目の識別情報や、被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別情報を、画像処理の結果を示すデータと共に試験結果取得部２６に供給してよい。

【0062】

各画像処理装置３０は、画像データの送信元の実行指示部２２３を含む試験装置２に対して画像処理の結果を示すデータなどを送信してよい。一例として、各画像処理装置３０は、画像データと共に送信された試験装置２の識別情報で示される試験装置２に対して、画像処理の結果を示すデータなどを送信してよい。

【0063】

以上の試験装置２によれば、複数の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データが２以上の画像処理装置３０へと送信されて、別々の試験項目に応じた画像処理が並行して実行される。そして、これらの画像処理に応じた試験項目の試験結果が取得され、各試験項目の試験結果に基づいて被試験デバイス１００の良否が判定される。従って、複数の画像処理が同じ画像処理装置３０で順に実行される場合と比較して、判定までの時間を短縮することができる。

【0064】

また、被試験デバイス１００の識別情報が画像データと共に画像処理装置３０へと送信され、被試験デバイス１００の識別情報が試験結果と共に取得されるので、試験結果を被試験デバイス１００に対して正確に対応付けることができる。

【0065】

また、各試験項目が実行対象の試験項目として選択されることに応じて複数の画像処理装置３０から画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方が除外されて何れかの画像処理装置３０が選択される。そして、選択された画像処理装置３０へと画像データが送信されて、実行対象の試験項目に応じた画像処理が実行される。従って、利用可能な画像処理装置３０を確実に選択して画像処理を行わせることができる。

【0066】

また、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目が実行対象として優先して選択されるので、所要時間の長い画像処理の試験項目を先に終了することができる。従って、所要時間の長い画像処理の試験項目がボトルネックとなって判定が遅くなってしまうのを防止し、判定を早めることができる。

【0067】

また、複数の画像処理装置３０が複数のサーバ装置３に実装されており、試験装置２は各サーバ装置３と通信するので、サーバ装置３に実装された画像処理装置３０を試験に用いることができる。

【0068】

また、サーバ装置３の何れかはクラウドサーバであるので、クラウドサーバに実装された画像処理装置３０を試験に用いることができる。

【0069】

また、画像処理部２３が試験装置２にさらに具備され、取得された画像データが画像処理部２３に供給されて一部の試験項目に応じた画像処理が実行される。従って、試験装置２内の画像処理部２３を試験に用いることができる。

【0070】

また、光源２０が試験装置２にさらに具備されるので、光の照射から画像データの取得、画像処理装置３０に対する画像データの送信までを連動して行い、試験の時間をいっそう短縮することができる。

【0071】

また、取得した画像データにおける画素値の統計が被試験デバイス１００ごとに実行され、一の被試験デバイス１００についての統計結果が基準条件を満たさないことに応じて当該一の被試験デバイス１００が不良と判定され、当該一の被試験デバイス１００についての画像処理がディセーブルされる。従って、画素値の統計結果から不良と判定される被試験デバイス１００について画像処理が無駄に行われるのを防止することができる。

【0072】

また、複数の試験装置２と、複数の試験装置２により共用される複数の画像処理装置３０とが試験システム１に具備されるので、複数の試験装置２が別々に複数の画像処理装置３０を専有して使用する場合と異なり、画像処理装置３０の数を低減することができる。

【0073】

また、複数の試験装置２ではそれぞれ、複数の試験項目から実行対象の試験項目が選択されることに応じて複数の画像処理装置３０から画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方が除外されて何れかの画像処理装置３０が選択される。そして、選択された画像処理装置３０へと画像データが送信されて、実行対象の試験項目に応じた画像処理の実行の指示が行われる。従って、複数の試験装置２がそれぞれ利用可能な画像処理装置３０を確実に選択して画像処理を行わせることができる。

【0074】

＜２．発光パターン、試験項目および画像処理の具体例＞
図２は、光源２０の発光パターンと、試験項目と、画像処理との対応の一例を示す。なお、図２に示される複数の試験項目は、試験装置２で実行されるＮ個の試験項目の少なくとも一部であってよい。また、図２に示される複数の試験項目の少なくとも一部は、画像処理が並行して実行されるＭ個の試験項目であってよい。

【0075】

光源２０の発光パターン「ＣｏｌｏｒＢａｒ」は、「ＣｏｌｏｒＢａｒ」の試験項目と対応してよい。「ＣｏｌｏｒＢａｒ」の発光パターンはカラーバーの画像データを被試験デバイス１００に出力させる発光パターンであってよい。「ＣｏｌｏｒＢａｒ」の試験項目の試験では、画像データの画像処理により、被試験デバイス１００の輝度レベルや色などが算出されてよい。

【0076】

光源２０の発光パターン「ＤＡＲＫ」は「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ」、「Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ」および「Ｎｏｉｓｅ」の試験項目と対応してよい。「ＤＡＲＫ」の発光パターンは一例として全面が黒色の画像データを被試験デバイス１００に出力させる発光パターンであってよい。「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ」の試験項目の試験では、画像データの画像処理により、画素値の出力レベル（例えば平均）などが算出されてよい。「Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ」の試験項目の試験では、画像データの画像処理により、被試験デバイス１００の均一性の指標値が算出されてよい。

【0077】

光源２０の発光パターン「ＳＴＡＮＤＡＲＤ」は「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ」、「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ Ｒａｔｉｏ」および「Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ」の試験項目と対応してよい。「ＳＴＡＮＤＡＲＤ」の発光パターンは予め設定された標準的な画像データを被試験デバイス１００に出力させる発光パターンであってよい。「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ Ｒａｔｉｏ」の試験項目の試験では、画像データの画像処理により、被試験デバイス１００の色間での画素値の比率が算出されてよい。

【0078】

＜３．動作＞
＜３．１．第１処理＞
図３は、試験装置２の第１処理に関する動作を示す。試験装置２は、ステップＳ１１～Ｓ３３の処理を行うことにより、被試験デバイス１００から画像データを取得し、その画像処理を複数の画像処理装置３０に実行させる。

【0079】

ステップＳ１１において光源２０は、１または複数の被試験デバイス１００に光を照射する。本実施形態においては一例として、光源２０は一回のステップＳ１１において単一の被試験デバイス１００に対して光を照射するが、複数の被試験デバイス１００に対し、一括して光を照射してもよい。

【0080】

光源２０は、何れか１または複数の試験項目の試験に対応する１または複数の発光パターンの光を照射してよい。これにより、ステップＳ１１の処理が少なくとも一回、実行されることで、複数の試験項目（本実施形態では一例としてＭ個の試験項目）に対応する１または複数の発光パターンの光が照射されることとなる。なお、被試験デバイス１００に光が照射される場合には、光源２０や被試験デバイス１００に対してシャッター（露光時間）やゲイン、画像サイズ、ＯＴＰ（Ｏｎｅ Ｔｉｍｅ Ｐｒｏｇｒａｍａｂｌｅ ｍｅｍｏｒｙ）などの設定が適宜、行われてよい。

【0081】

ステップＳ１３において画像データ取得部２１は、照射された光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データを取得する。これにより、ステップＳ１３の処理が少なくとも一回、実行されることで、画像処理が並行して行なわれるＭ個の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データが取得されることとなる。なお、ステップＳ１１において複数の被試験デバイス１００に対して一括に光が照射される場合には、ステップＳ１３において画像データ取得部２１は、被試験デバイス１００ごとに画像データを取得してよい。この場合には、後述のステップＳ１５～Ｓ３１の処理は、光を照射された被試験デバイス１００ごとに行われてよい。

【0082】

ステップＳ１５において統計部２４は、取得された画像データにおける画素値の統計を被試験デバイス１００ごとに実行する。直近のステップＳ１１において複数の発光パターンの光が照射されている場合には、統計部２４は、取得された画像データごとに統計を実行してよい。統計部２４は、画素値の分散や平均などを示す統計結果を算出してよい。

【0083】

ステップＳ１７において判定部２７は、統計結果が基準条件を満たすか否かを判定する。一例として、判定部２７は、画素値の分散や平均が基準範囲外となるか否かを判定してよい。統計結果が基準条件を満たすと判定された場合（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）にはステップＳ２３に処理が移行してよい。統計結果が基準条件を満たさないと判定された場合（ステップＳ１７；Ｎｏ）にはステップＳ１９に処理が移行してよい。

【0084】

ステップＳ１９において判定部２７は、統計結果が基準条件を満たさなかった画像データを出力した被試験デバイス１００についての画像処理をディセーブルする。一例として、判定部２７は、当該被試験デバイス１００から出力された画像データについて後述のステップＳ２９により既に実行指示が行われた画像処理を停止させてよい。また、判定部２７は、当該被試験デバイス１００から出力された画像データについて後述のステップＳ２３以降の処理が実行されないよう、後述のステップＳ２１の後に第１処理を終了させてよい。

【0085】

ステップＳ２１において判定部２７は、統計結果が基準条件を満たさなかった画像データを出力した被試験デバイス１００を不良と判定する。ステップＳ２１が終了したら、第１処理は終了してよく、他の被試験デバイス１００に対して改めて第１処理が実行されてよい。

【0086】

ステップＳ２３において第１選択部２２１は、実行対象の試験項目を選択する。これにより、ステップＳ２３の処理が繰り返されることで実行対象の試験項目が逐次、選択されることとなる。第１選択部２２１は、ステップＳ２３で未だ選択されていない単一の試験項目を選択してよい。

【0087】

第１選択部２２１は、被試験デバイス１００に照射された発光パターンの識別情報を光源２０から取得して、当該発光パターンに対応するＭ個の試験項目の何れかを選択してよい。本実施形態においては一例として、第１選択部２２１は、照射された発光パターンに対応するＭ個の試験項目から、最も所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を選択してよい。これにより、照射された発光パターンに対応するＭ個の試験項目から、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目が優先して選択されることとなる。

【0088】

ステップＳ２５において検知部２２０は、各画像処理装置３０の状態を検知する。検知部２２０は、試験システム１に含まれる各画像処理装置３０が待機状態と、画像処理の実行状態と、故障状態との何れであるかを検知してよい。

【0089】

ステップＳ２７において第２選択部２２２は、試験システム１に含まれる複数の画像処理装置３０から何れかの画像処理装置３０を選択する。第２選択部２２２は、試験システム１に含まれる複数の画像処理装置３０から、画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方（本実施形態では一例として両方）を除外して画像処理装置３０を選択してよい。画像処理の実行状態の画像処理装置３０は、第２選択部２２２が含まれる試験装置２からの指示により画像処理の実行状態の画像処理装置３０であってもよいし、他の試験装置２からの指示により画像処理の実行状態の画像処理装置３０であってもよい。第２選択部２２２は、画像処理部２３を画像処理装置３０として選択してもよい。

【0090】

第２選択部２２２は、少なくとも各画像処理装置３０の処理性能に基づいて、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる画像処理装置３０を選択してよい。各画像処理装置３０の処理性能に基づいて画像処理装置３０を選択するとは、一例として、処理性能が高い画像処理装置３０、または、処理性能が低い画像処理装置３０を優先して選択することであってよい。第２選択部２２２は、単一の画像処理装置３０を選択してよい。本実施形態では一例として、第２選択部２２２は、複数の画像処理装置３０のうち、最も処理性能が高い画像処理装置３０を選択してよい。画像処理装置３０の処理性能は、一例としてクロック周波数、熱設計電力（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｉｇｎ Ｐｏｗｅｒ）、電力効率、メモリ容量、および、メモリ帯域幅の少なくとも１つであってよい。第２選択部２２２が各画像処理装置３０の処理性能に基づいて画像処理装置３０を選択する場合には、第２選択部２２２には各画像処理装置３０の処理性能が予め記憶されてよい。

【0091】

なお、第２選択部２２２は各画像処理装置３０の処理性能に加えて、実行対象の試験項目に応じた画像処理の負荷と、被試験デバイス１００の画素数との少なくとも一方に基づいて、画像処理装置３０を選択してもよい。例えば、第２選択部２２２は、実行対象の試験項目の画像処理の負荷が基準より大きい場合には、基準より処理性能が高い画像処理装置３０を選択してよい。これにより、画像処理の負荷が大きい場合であっても確実に画像処理が実行される。第２選択部２２２は、被試験デバイス１００の画素数が基準より大きい場合には、基準より処理性能（一例としてメモリ容量やメモリ帯域幅）が高い画像処理装置３０を選択してよい。これにより、画像データのデータ量が大きい場合であっても確実に画像処理が実行される。実行対象の試験項目に応じた画像処理の負荷は、予め何れかの画像処理装置３０で測定された画像処理の所要時間であってもよいし、画像処理の演算過程で生じるデータ量であってもよい。

【0092】

第２選択部２２２が画像処理の負荷に基づいて画像処理装置３０を選択する場合には、第２選択部２２２には各試験項目の識別情報と、当該試験項目に対応する画像処理の負荷を示す情報との対応情報が予め記憶されてよく、第２選択部２２２は、第１選択部２２１から供給される試験項目の識別情報に対応付けられた画像処理の負荷を当該対応情報から検出してよい。第２選択部２２２が被試験デバイス１００の画素数に基づいて画像処理装置３０を選択する場合には、画像データ取得部２１から画素数を示す情報を取得してよい。

【0093】

ステップＳ２９において実行指示部２２３は、画像データ取得部２１が取得した１または複数の画像データを画像処理装置３０へと送信して、試験項目に応じた画像処理を実行させる。本実施形態では一例として、実行指示部２２３は、一回のステップＳ２９では単一の画像処理装置３０に画像データを送信して画像処理を行わせてよい。これにより、今回のステップＳ２９により対象とされる画像処理装置３０と、前回以前や次回以降の１回または複数回のステップＳ２９により対象とされる他の画像処理装置３０との２以上の画像処理装置３０に画像データが送信されて別々の試験項目に応じた画像処理が並行して実行される。

【0094】

実行指示部２２３は、複数の画像処理装置３０のうち、第２選択部２２２により選択された画像処理装置３０へと画像データを送信して、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させてよい。画像処理部２３が画像処理装置３０として選択されている場合には、実行指示部２２３は、当該画像処理部２３に画像データを送信して画像処理を実行させてもよい。

【0095】

ステップＳ３１において第１選択部２２１は、これまでにステップＳ１１で被試験デバイス１００に照射された発光パターンに対応するＭ個全ての試験項目をステップＳ２３で既に選択したか否かを判定する。少なくとも１つの試験項目が未だ選択されていないと判定された場合（ステップＳ３１；Ｎｏ）には上述のステップＳ２３に処理が移行してよい。全ての試験項目を選択したと判定された場合（ステップＳ３１；Ｙｅｓ）にはステップＳ３３に処理が移行してよい。

【0096】

ステップＳ３３において、光源２０は、Ｎ個の試験項目に対応する全ての発光パターンの光を照射したか否かを判定する。全ての発光パターンの光が照射されていないと判定された場合（ステップＳ３３；Ｎｏ）には、ステップＳ１１に処理が移行してよい。この場合には、以前に行われたステップＳ１１で照射された発光パターンに対応する試験項目の試験結果が後述のステップＳ４３で取得される前に、次のステップＳ１１において他の試験項目に対応する発光パターンの光が照射されてよい。また、直近のステップＳ１１で照射された被試験デバイス１００とは別の被試験デバイス１００に対して、次のステップＳ１１において照射が行われてよい。この場合、直近のステップＳ１１で照射された被試験デバイス１００とは別のウエハ上の被試験デバイス１００に対して、次のステップＳ１１において照射が行われてもよい。全ての発光パターンの光が照射されたと判定された場合（ステップＳ３３；Ｙｅｓ）には、第１処理が終了してよい。

【0097】

以上の動作によれば、少なくとも各画像処理装置３０の処理性能に基づいて、当該実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる画像処理装置３０が選択される。従って、複数の画像処理装置３０のなかで、より適切な画像処理装置３０に画像処理を実行させることができる。

【0098】

また、複数の画像処理装置３０のうち、最も処理性能が高い画像処理装置３０が選択されるので、最も処理性能が高い画像処理装置３０に画像処理を実行させることができる。

【0099】

なお、上記の動作においては、複数の画像処理装置３０のうち、画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方を除外して選択された画像処理装置３０に対して画像処理が指示されることとして説明したが、他の画像処理装置３０に画像処理が指示されてもよい。例えば、ステップＳ２９において画像処理制御部２２の実行指示部２２３は、試験システム１における各画像処理装置３０のうち画像処理部２３とは異なる各画像処理装置３０との間の通信回線がビジー状態であることに応じて、試験装置２内の画像処理部２３に画像処理を実行させてよい。この場合には、ステップＳ２５において検知部２２０は、各画像処理装置３０との間で通信回線がビジー状態であるか否かを検知してよい。通信回線がビジー状態であることに応じて、ステップＳ２７において画像処理制御部２２の第２選択部２２２は試験装置２内の画像処理部２３を選択し、ステップＳ２９において実行指示部２２３は画像処理部２３に画像データを送信して画像処理を実行させてよい。これに代えて、通信回線がビジー状態であることに応じて、ステップＳ２７において第２選択部２２２により選択された画像処理装置３０とは無関係に、ステップＳ２９において実行指示部２２３は試験装置２内の画像処理部２３に画像データを送信して画像処理を実行させてもよい。これにより、通信回線がビジー状態であっても、画像処理を行い、試験を進めることができる。

【0100】

＜３．２．第２処理＞
図４は、試験装置２の第２処理に関する動作を示す。試験装置２は、ステップＳ４１～Ｓ４７の処理を行うことにより、被試験デバイス１００の判定を行う。なお、第２処理の動作は第１処理の動作が開始したことに応じて開始されてよく、第１処理と並行に実行されてよい。また、第２処理の動作は、画像処理装置３０から画像処理の結果と共に供給される被試験デバイスの識別情報に基づいて、被試験デバイス１００ごとに並行して実行されてよい。

【0101】

ステップＳ４１において試験結果取得部２６は、画像処理の結果を受信したか否かを判定する。試験結果取得部２６は、試験装置２の外部の画像処理装置３０から画像処理の結果を受信してもよいし、試験装置２の内部の画像処理部２３から画像処理の結果を受信してもよい。ステップＳ４１において画像処理の結果が受信されていないと判定された場合（ステップＳ４１；Ｎｏ）にはステップＳ４１の処理が繰り返されてよい。ステップＳ４１において画像処理の結果が受信されたと判定された場合（ステップＳ４１；Ｙｅｓ）には、ステップＳ４３に処理が移行してよい。

【0102】

ステップＳ４３において試験結果取得部２６は、画像処理の結果から導出される、当該画像処理に応じた試験項目の試験結果を取得する。試験結果取得部２６は、画像処理の結果を示すデータから、当該画像処理に対応する試験項目の試験結果を導出してよい。画像処理の結果が試験項目の試験結果を示す場合には、試験結果取得部２６は、画像処理の結果を試験結果として取得してもよい。

【0103】

ステップＳ４５において判定部２７は、Ｎ個の試験項目の全てについて試験結果が取得されたか否かを判定する。Ｎ個の試験項目のうち、１つ以上の試験項目の試験結果が取得されていないと判定された場合（ステップＳ４５；Ｎｏ）には上述のステップＳ４１に処理が移行してよい。Ｎ個の試験項目の全てについて試験結果が取得されたと判定された場合（ステップＳ４５；Ｙｅｓ）には、ステップＳ４７に処理が移行してよい。

【0104】

ステップＳ４７において判定部２７は、取得された各試験項目の試験結果に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。ステップＳ４７の処理が終了したら、第２処理が終了してよい。

【0105】

なお、上記の動作においては、Ｎ個の試験項目の全てについて試験結果が取得された後に被試験デバイス１００の良否が判定されることとして説明したが、全ての試験項目について試験結果が取得される前に良否が判定されてもよい。例えば、判定部２７は、ステップＳ２９の処理によって画像処理の実行が指示されてから基準時間を超えて画像処理の結果が受信されないことに応じて、当該画像処理の対象とされた画像データを出力した被試験デバイス１００を不良と判定してよい。基準時間を超えて画像処理の結果が受信されない原因は、画像データに異常があることであってもよいし、画像処理を実行した画像処理装置３０に異常があることであってもよい。画像データに異常が生じる原因は、被試験デバイス１００に異常があることであってもよいし、光源２０に異常があることであってもよい。画像処理の結果が受信されない場合に試験をやり直さずに被試験デバイス１００を不良と判定することにより、試験時間が延びることによる歩留まりの低下を防止することができる。

【0106】

これに加え、ステップＳ１１において複数の被試験デバイス１００に一括して光が照射されている場合には、判定部２７は、基準時間を超えて画像処理の結果が受信されない被試験デバイス１００と一緒に光が照射された他の被試験デバイス１００を、さらに不良と判定してもよい。これにより、歩留まりの低下を確実に防止することができる。

【0107】

＜２．変形例に係る試験システム１Ａ＞
図５は、変形例に係る試験システム１Ａを示す。試験システム１Ａは１または複数の試験装置２Ａと、制御装置５とを備える。試験システム１Ａは主に、画像処理を実行する画像処理装置３０を制御装置５が選択する点で、試験システム１と異なっている。なお、本変形例において、図１に示された試験システム１の構成と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。

【0108】

＜２－１．試験装置２Ａ＞
各試験装置２Ａは、画像処理制御部２２Ａを有する。

【0109】

＜２－１．１．画像処理制御部２２Ａ＞
画像処理制御部２２Ａは、画像データ取得部２１が取得した１または複数の画像データを２以上の画像処理装置３０へと送信して、Ｎ個の試験項目に応じた各画像処理を、当該２以上の画像処理装置３０に実行させる。画像処理制御部２２Ａは、Ｎ個の試験項目における別々の試験項目に応じた画像処理を、当該２以上の画像処理装置３０のそれぞれにより並行して実行させてよい。本変形例では一例として、画像処理制御装置５Ａは、Ｎ個の試験項目のうち、Ｍ個の試験項目に応じた画像処理を２以上の画像処理装置３０のそれぞれにより並行して実行させてよい。画像データが送信される画像処理装置３０の個数は、試験項目の個数Ｎと同じであってもよいし、異なってもよい。画像処理制御部２２Ａは、第１送信部２２４Ａと、実行指示部２２３Ａとを有する。

【0110】

＜２－１．１．１．第１送信部２２４Ａ＞
第１送信部２２４Ａは、第１選択部２２１によって実行対象の試験項目が選択されることに応じて制御装置５に画像処理装置３０の選択要求信号を送信する。第１送信部２２４Ａは、実行対象の試験項目の識別情報を第１選択部２２１から取得することに応じて選択要求信号を送信してよい。選択要求信号には試験装置２Ａの識別情報が含まれてよく、実行対象の試験項目の識別情報と、被試験デバイス１００の画素数とがさらに含まれてもよい。

【0111】

＜２－２．１．２．実行指示部２２３Ａ＞
実行指示部２２３Ａは、複数の画像処理装置３０のうち、制御装置５により選択された画像処理装置３０へと画像データを送信して、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる。実行指示部２２３は、制御装置５により選択された画像処理装置３０に対し、実行対象の試験項目の識別情報を画像データと共に送信してよい。また、実行指示部２２３Ａは、画像データを出力した被試験デバイス１００の識別情報を画像データと共に、画像処理を実行する各画像処理装置３０へと送信してよい。これに加えて、実行指示部２２３Ａは、画像データを出力した被試験デバイス１００が含まれるウエハの識別情報や、当該実行指示部２２３Ａが含まれる試験装置２Ａの識別情報を、当該画像データと共に、画像処理を実行する各画像処理装置３０へと送信してよい。

【0112】

＜２－２．制御装置５＞
制御装置５は、各試験装置２Ａによる試験を制御する。制御装置５は、検知部５０と、第３取得部５１と、第３選択部５２と、第２送信部５３と、通信部５４とを有する。

【0113】

＜２－２．１．検知部５０＞
検知部５０は、各画像処理装置３０の状態を検知する。検知部５０は、試験システム１Ａに含まれる各画像処理装置３０と通信して、当該画像処理装置３０の状態を検知してよい。検知部５０は、従来より公知の手法によって各画像処理装置３０の状態を検知してよい。検知部５０は、各画像処理装置３０が待機状態と、画像処理の実行状態と、故障状態との何れであるかを検知してよい。検知部５０は、検知された各画像処理装置３０の状態を第３選択部５２に供給してよい。

【0114】

＜２－２．２．第３取得部５１＞
第３取得部５１は、各試験装置２Ａから逐次、選択要求信号を取得する。第３取得部５１は、取得した選択要求信号を第３選択部５２に供給してよい。

【0115】

＜２－２．３．第３選択部５２＞
第３選択部５２は、選択要求信号が取得されることに応じて、試験システム１Ａに含まれる複数の画像処理装置３０から画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方を除外して、画像処理装置３０を選択する。第３選択部５２は、実行対象の試験項目の識別情報と、選択した画像処理装置３０の識別情報とを第２送信部５３に供給してよい。

【0116】

＜２－２．４．第２送信部５３＞
第２送信部５３は、第３選択部５２が選択した画像処理装置３０の識別情報を、選択要求信号の送信元の試験装置２Ａに送信する。第２送信部５３は、選択された画像処理装置３０の識別情報と、実行対象の試験項目の識別情報とを試験装置２Ａに供給してよい。これにより、選択要求信号を送信した試験装置２Ａでは、選択された画像処理装置３０Ａへと実行指示部２２３Ａが画像データを送信し、実行対象の試験項目に応じた画像処理をさせることとなる。

【0117】

＜２－２．５．通信部５４＞
通信部５４は、各試験装置２Ａおよび各サーバ装置３と通信する。これにより、制御装置５の各部と、各試験装置２Ａおよび各サーバ装置３の各画像処理装置３０との間で通信が可能となってよい。例えば、検知部５０は、通信部５４を介して各画像処理装置３０の状態を検知してよい。第３取得部５１は、通信部５４を介して各試験装置２Ａから選択要求信号を取得してよい。第２送信部５３は、通信部５４を介して、選択された画像処理装置３０の識別情報を試験装置２Ａに送信してよい。

【0118】

通信部５４と、各試験装置２Ａおよび各サーバ装置３との間の通信ネットワークは、インターネット、広域ネットワーク（ＷＡＮ）、ローカルエリアネットワーク等の各種ネットワークまたはその組み合わせを含んで構成されてよい。通信ネットワークは、有線および無線の少なくとも一方による接続ポイントを含んでよい。通信ネットワークは、インターネットなどの公衆回線から分離された専用回線により実現されてもよい。

【0119】

以上の試験システム１Ａによれば、複数の試験装置２Ａではそれぞれ、複数の試験項目から実行対象の試験項目が選択されることに応じて画像処理装置３０の選択要求信号が制御装置５に送信される。また、制御装置５では、選択要求信号が取得されることに応じて複数の画像処理装置３０から画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方が除外されて何れかの画像処理装置３０が選択され、選択された画像処理装置３０の識別情報が試験装置２Ａに返送される。そして、各試験装置２Ａでは、制御装置５により選択された画像処理装置３０へと画像データが送信されて、実行対象の試験項目に応じた画像処理の実行の指示が行われる。従って、利用可能な画像処理装置３０を確実に選択して画像処理を行わせることができる。

【0120】

＜２－３．試験装置２Ａおよび制御装置５の動作＞
図６は、試験装置２Ａの第１処理に関する動作を、制御装置５の動作と共に示す。試験装置２Ａおよび制御装置５は、ステップＳ６１～Ｓ８３，Ｓ９１～Ｓ９７の処理を行うことにより、被試験デバイス１００から画像データを取得し、その画像処理を複数の画像処理装置３０に実行させる。なお、試験装置２Ａの第２処理に関する動作は、上記実施形態における試験装置２の第２処理に関する動作と同じであるため、説明を省略する。

【0121】

ステップＳ６１において光源２０は、１または複数の被試験デバイス１００に光を照射する。光源２０は、上述の実施形態におけるステップＳ１１と同様にして、１または複数の発光パターンの光を照射してよい。

【0122】

ステップＳ６３において画像データ取得部２１は、照射された光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データを取得する。これにより、ステップＳ６３の処理が少なくとも一回、実行されることで、画像処理が並行して行なわれるＭ個の試験項目に対応する１または複数の発光パターンの光に応じて被試験デバイス１００が出力する各画像データが取得されることとなる。画像データ取得部２１は、上述の実施形態におけるステップＳ１３と同様にして、画像データを取得してよい。

【0123】

ステップＳ６５において統計部２４は、取得された画像データにおける画素値の統計を被試験デバイス１００ごとに実行する。統計部２４は、上述の実施形態におけるステップＳ１５と同様にして統計を行ってよい。

【0124】

ステップＳ６７において判定部２７は、統計結果が基準条件を満たすか否かを判定する。判定部２７は、上述の実施形態におけるステップＳ１７と同様にして判定を行ってよい。統計結果が基準条件を満たさないと判定された場合（ステップＳ６７；Ｎｏ）にはステップＳ１９（図３参照）に処理が移行してよい。統計結果が基準条件を満たすと判定された場合（ステップＳ６７；Ｙｅｓ）にはステップＳ７３に処理が移行してよい。

【0125】

ステップＳ７３において第１選択部２２１は、実行対象の試験項目を選択する。第１選択部２２１は、上述の実施形態におけるステップＳ２３と同様にして、試験項目を選択してよい。

【0126】

ステップＳ７５において第１送信部２２４Ａは、制御装置５に画像処理装置３０の選択要求信号を送信する。選択要求信号には試験装置２Ａの識別情報が含まれてよく、実行対象の試験項目の識別情報と、被試験デバイス１００の画素数とがさらに含まれてもよい。

【0127】

これに応じて、ステップＳ９１において制御装置５の第３取得部５１は、選択要求信号を取得する。ステップＳ９３において制御装置５の検知部５０は、各画像処理装置３０の状態を検知する。検知部５０は、試験システム１Ａに含まれる各画像処理装置３０が待機状態と、画像処理の実行状態と、故障状態との何れであるかを検知してよい。

【0128】

ステップＳ９５において制御装置５の第３選択部５２は、試験システム１Ａに含まれる複数の画像処理装置３０から画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方を除外して、画像処理装置３０を選択する。第３選択部５２は、上述の実施形態におけるステップＳ２７と同様にして、画像処理装置３０を選択してよい。

【0129】

ステップＳ９７において制御装置５の第２送信部５３は、選択された画像処理装置３０の識別情報を、選択要求信号の送信元の試験装置２Ａに送信する。第２送信部５３は、選択された画像処理装置３０の識別情報と、実行対象の試験項目の識別情報とを試験装置２Ａの実行指示部２２３Ａに供給してよい。

【0130】

これにより、ステップＳ７９において試験装置２Ａの実行指示部２２３は、画像データ取得部２１が取得した１または複数の画像データを画像処理装置３０へと送信して、試験項目に応じた画像処理を実行させる。実行指示部２２３は、第３選択部５２により選択された画像処理装置３０へと画像データを送信して、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させてよい。実行指示部２２３は、上述の実施形態におけるステップＳ２９と同様にして、画像処理を実行させてよい。

【0131】

ステップＳ８１において第１選択部２２１は、これまでにステップＳ６１で被試験デバイス１００に照射された発光パターンに対応するＭ個全ての試験項目をステップＳ７３で既に選択したか否かを判定する。少なくとも１つの試験項目が未だ選択されていないと判定された場合（ステップＳ８１；Ｎｏ）には上述のステップＳ７３に処理が移行してよい。全ての試験項目を選択したと判定された場合（ステップＳ８１；Ｙｅｓ）にはステップＳ８３に処理が移行してよい。

【0132】

ステップＳ８３において、光源２０は、Ｎ個の試験項目に対応する全ての発光パターンの光を照射したか否かを判定する。全ての発光パターンの光が照射されていないと判定された場合（ステップＳ８３；Ｎｏ）には、ステップＳ６１に処理が移行してよい。この場合には、以前に行われたステップＳ６１で照射された発光パターンに対応する試験項目の試験結果がステップＳ４３で取得される前に、次のステップＳ６１において他の試験項目に対応する発光パターンの光が照射されてよい。また、直近のステップＳ６１で照射された被試験デバイス１００とは別の被試験デバイス１００に対して、次のステップＳ６１において照射が行われてよい。この場合、直近のステップＳ６１で照射された被試験デバイス１００とは別のウエハ上の被試験デバイス１００に対して、次のステップＳ６１において照射が行われてもよい。全ての発光パターンの光が照射されたと判定された場合（ステップＳ８３；Ｙｅｓ）には、第１処理が終了してよい。

【0133】

なお、上記の動作においては、複数の画像処理装置３０のうち、画像処理の実行状態の画像処理装置３０と、故障状態の画像処理装置３０との少なくとも一方を除外して選択された画像処理装置３０に対して画像処理が指示されることとして説明したが、他の画像処理装置３０に画像処理が指示されてもよい。例えば、ステップＳ７９において画像処理制御部２２の実行指示部２２３は、試験システム１Ａにおける各画像処理装置３０のうち画像処理部２３とは異なる各画像処理装置３０との間の通信回線がビジー状態であることに応じて、画像処理部２３に画像処理を実行させてよい。この場合には、ステップＳ９３において検知部５０は、各画像処理装置３０と試験装置２Ａとの間で通信回線がビジー状態であるか否かを検知してよい。通信回線がビジー状態であることに応じて、ステップＳ９５において第３選択部５２が試験装置２Ａ内の画像処理部２３を選択し、ステップＳ７９において実行指示部２２３が画像処理部２３に画像データを送信して画像処理を実行させてよい。これにより、通信回線がビジー状態であっても、画像処理を行い、試験を進めることができる。

【0134】

＜３．その他の変形例＞
なお、上記の実施形態および変形例においては、試験装置２，２Ａは、光源２０と、画像処理部２３と、統計部２４とを有することとして説明したが、これらの少なくとも１つを有しなくてもよい。試験装置２，２Ａが光源２０を有しない場合には、外部装置としての光源から被試験デバイス１００に対して１または複数の発光パターンの光が照射されることに応じて被試験デバイス１００が出力する画像データを画像データ取得部２１が取得してよい。試験装置２，２Ａが画像処理部２３を有しない場合には、実行指示部２２３は、試験装置２，２Ａの外部の画像処理装置３０に画像データを送信して画像処理を実行させてよい。試験装置２，２Ａが統計部２４を有しない場合には、ステップＳ１３の処理後にステップＳ２３の処理が行われるか、ステップＳ６３の処理後にステップＳ７３の処理が行われてよい。

【0135】

また、第１選択部２２１はＮ個（またはＭ個）の試験項目から、より所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を優先して選択することとして説明したが、他の態様で試験項目を選択してもよい。例えば、第１選択部２２１は、試験項目に予め設定された番号順に、各試験項目を選択してよい。これに代えて、第１選択部２２１は、基準よりも所要時間の長い画像処理に対応する試験項目を、離散的な順序で選択してもよい。基準よりも所要時間の長い試験項目とは、基準時間よりも所要時間の長い試験項目でもよいし、基準順位よりも所要時間の長い試験項目でもよい。基準時間や基準順位は任意に設定されてよい。離散的な順序で試験項目を選択するとは、非連続な順序となるように試験項目を選択することであってよく、飛び飛びの順となるように試験項目を選択することであってよい。これにより、基準よりも所要時間の長い画像処理に対応する試験項目が連続的な順序で選択される場合と異なり、処理性能の高い画像処理装置３０に対し、所要時間の長い画像処理を実行させやすくすることができる。よって、所要時間の長い画像処理を、処理性能の高い画像処理装置３０で実行することで、画像処理を効率化し、判定を早めることができる。

【0136】

また、第１選択部２２１は照射済みの発光パターンの識別情報を光源２０から取得して、当該発光パターンに対応する何れかの試験項目を実行対象として選択することとして説明したが、発光パターンの識別情報を取得せずに実行対象の試験項目を選択してもよい。例えば、第１選択部２２１は、Ｎ個の試験項目の何れかを選択し、選択した試験項目に対応する発光パターンの識別情報を光源２０に供給して、当該発光パターンで光を照射させてもよい。

【0137】

また、第２選択部２２２は、少なくとも各画像処理装置３０の処理性能に基づいて、実行対象の試験項目に応じた画像処理を実行させる画像処理装置３０を選択することとして説明したが、他の態様で画像処理装置３０を選択してもよい。例えば、第２選択部２２２は、クラウド上の画像処理装置３０を優先して選択してもよいし、試験装置２内の画像処理部２３を優先して選択してもよい。また、第２選択部２２２は、基準より負荷の低い試験項目の試験に対し、試験装置２の画像処理部２３に優先して選択してもよい。

【0138】

また、試験システム１，１Ａは１または複数の画像処理装置３０が実装された複数のサーバ装置３を備えることとして説明したが、１または複数の画像処理装置３０が実装された単一のサーバ装置を備えてもよい。また、各画像処理装置３０がサーバ装置３に実装されることとして説明したが、少なくとも１つの画像処理装置３０がサーバ装置３に実装されていなくてもよい。

【0139】

また、第１選択部２２１および第２選択部２２２（または第３選択部５２）が独自に試験項目，画像処理装置３０を選択することとして説明したが、協働して試験項目，画像処理装置３０を選択してもよい。例えば、第１選択部２２１および第２選択部（または第３選択部５２）は、全ての試験項目の試験が完了するまでの時間が最短になるように試験項目，画像処理装置３０の選択順序を最適化してもよい。一例として、第１選択部２２１および第２選択部（または第３選択部５２）は、従来より公知のビンパッキング問題の解決手法を用い、試験完了までの時間を最小化するように試験項目，画像処理装置３０を選択してよい。これに代えて、第１選択部２２１および第２選択部（または第３選択部５２）は、試験完了までの仮の目標時間を設定し、従来より公知のナップサック問題の解決手法を用い、当該仮の目標時間に収まるように試験項目，画像処理装置３０を選択し、収まらない場合には仮の目標時間を延ばし、収まった場合には選択した順序を採用してもよい。

【0140】

また、画像処理装置３０は画像データに対し、試験項目に応じた画像処理を実行することとして説明したが、さらに画像処理の結果から試験結果を導出してもよい。一例として、画像処理装置３０は、試験項目が「Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ」である場合には、画像処理によって画像データから何らかの平均画素値を取り出し、さらに平均画素値を基準値と比較して試験結果を導出してよい。この場合には、試験結果取得部２６は画像処理装置３０から試験結果を取得してよい。

【0141】

本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。

【0142】

コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（ＲＴＭ）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。

【0143】

コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。

【0144】

コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。

【0145】

図７は、本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。コンピュータ２２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられる操作または当該装置の１または複数のセクションとして機能させることができ、または当該操作または当該１または複数のセクションを実行させることができ、および／またはコンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係るプロセスまたは当該プロセスの段階を実行させることができる。そのようなプログラムは、コンピュータ２２００に、本明細書に記載のフローチャートおよびブロック図のブロックのうちのいくつかまたはすべてに関連付けられた特定の操作を実行させるべく、ＣＰＵ２２１２によって実行されてよい。

【0146】

本実施形態によるコンピュータ２２００は、ＣＰＵ２２１２、ＲＡＭ２２１４、グラフィックコントローラ２２１６、およびディスプレイデバイス２２１８を含み、それらはホストコントローラ２２１０によって相互に接続されている。コンピュータ２２００はまた、通信インターフェイス２２２２、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６、およびＩＣカードドライブのような入／出力ユニットを含み、それらは入／出力コントローラ２２２０を介してホストコントローラ２２１０に接続されている。コンピュータはまた、ＲＯＭ２２３０およびキーボード２２４２のようなレガシの入／出力ユニットを含み、それらは入／出力チップ２２４０を介して入／出力コントローラ２２２０に接続されている。

【0147】

ＣＰＵ２２１２は、ＲＯＭ２２３０およびＲＡＭ２２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、それにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ２２１６は、ＲＡＭ２２１４内に提供されるフレームバッファ等またはそれ自体の中にＣＰＵ２２１２によって生成されたイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス２２１８上に表示されるようにする。

【0148】

通信インターフェイス２２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ２２２４は、コンピュータ２２００内のＣＰＵ２２１２によって使用されるプログラムおよびデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６は、プログラムまたはデータをＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１から読み取り、ハードディスクドライブ２２２４にＲＡＭ２２１４を介してプログラムまたはデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラムおよびデータをＩＣカードから読み取り、および／またはプログラムおよびデータをＩＣカードに書き込む。

【0149】

ＲＯＭ２２３０はその中に、アクティブ化時にコンピュータ２２００によって実行されるブートプログラム等、および／またはコンピュータ２２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入／出力チップ２２４０はまた、様々な入／出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入／出力コントローラ２２２０に接続してよい。

【0150】

プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１またはＩＣカードのようなコンピュータ可読媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読媒体から読み取られ、コンピュータ可読媒体の例でもあるハードディスクドライブ２２２４、ＲＡＭ２２１４、またはＲＯＭ２２３０にインストールされ、ＣＰＵ２２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ２２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置または方法が、コンピュータ２２００の使用に従い情報の操作または処理を実現することによって構成されてよい。

【0151】

例えば、通信がコンピュータ２２００および外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェイス２２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェイス２２２２は、ＣＰＵ２２１２の制御下、ＲＡＭ２２１４、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１、またはＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ処理領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、またはネットワークから受信された受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ処理領域等に書き込む。

【0152】

また、ＣＰＵ２２１２は、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイルまたはデータベースの全部または必要な部分がＲＡＭ２２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ２２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ２２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックする。

【0153】

様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、およびデータベースのような様々なタイプの情報が記録媒体に格納され、情報処理を受けてよい。ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプの操作、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ２２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ２２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ２２１２は、第１の属性の属性値が指定される、条件に一致するエントリを当該複数のエントリの中から検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、それにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。

【0154】

上で説明したプログラムまたはソフトウェアモジュールは、コンピュータ２２００上またはコンピュータ２２００近傍のコンピュータ可読媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワークまたはインターネットに接続されたサーバーシステム内に提供されるハードディスクまたはＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読媒体として使用可能であり、それによりプログラムを、ネットワークを介してコンピュータ２２００に提供する。

【0155】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0156】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0157】

１ 試験システム
２ 試験装置
３ サーバ装置
５ 制御装置
２０ 光源
２１ 画像データ取得部
２２ 画像処理制御部
２３ 画像処理部
２４ 統計部
２６ 試験結果取得部
２７ 判定部
２８ 通信部
３０ 画像処理装置
５０ 検知部
５１ 第３取得部
５２ 第３選択部
５３ 第２送信部
５４ 通信部
１００ 被試験デバイス
２２０ 検知部
２２１ 第１選択部
２２２ 第２選択部
２２３ 実行指示部
２２４ 第１送信部
２２００ コンピュータ
２２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
２２１０ ホストコントローラ
２２１２ ＣＰＵ
２２１４ ＲＡＭ
２２１６ グラフィックコントローラ
２２１８ ディスプレイデバイス
２２２０ 入／出力コントローラ
２２２２ 通信インターフェイス
２２２４ ハードディスクドライブ
２２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
２２３０ ＲＯＭ
２２４０ 入／出力チップ
２２４２ キーボード

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】