特開 2024-55076 プローブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024055076

(43)【公開日】2024-04-18

(54)【発明の名称】プローブ

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20240411BHJP

   H01R 43/00 20060101ALI20240411BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

H01R43/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022161686

(22)【出願日】2022-10-06

(71)【出願人】

【識別番号】592028846

【氏名又は名称】Ｉ－ＰＥＸ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100208591

【弁理士】

【氏名又は名称】井後 智哉

(72)【発明者】

【氏名】本村 一生

【テーマコード（参考）】

2G011

5E051

【Ｆターム（参考）】

2G011AA12

2G011AB01

2G011AB03

2G011AB07

2G011AC14

2G011AE00

2G011AF07

5E051GA09

(57)【要約】

【課題】プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性を高めるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ１は、コンタクト１０１を備えるコネクタ１００の検査に用いられる。プローブ１は、コンタクト１０１に対応するように設けられたプローブピン３と、プローブピン３を内包し、プローブピン３の先端を露出させる先端部５２と、プローブピン３に電気的に接続される導電部２を内包する本体部５１と、を有するプランジャ５と、プランジャ５の先端部５２を摺動可能に収容するハウジング７と、プランジャ５の本体部５１及びハウジング７を挿入する孔が設けられたフランジ６と、フランジ６とプランジャ５との間に配置され、プランジャ５をフランジ６から離れる方向に付勢する第１のスプリング８１と、フランジ６とハウジング７との間に配置され、ハウジング７をフランジ６から離れる方向に付勢する第２のスプリング８２と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンタクトを備えるコネクタの検査に用いられるプローブであって、
前記コンタクトに対応するように設けられたプローブピンと、
前記プローブピンを内包し、前記プローブピンの先端を露出させる先端部と、前記プローブピンに電気的に接続される導電部を内包する本体部と、を有するプランジャと、
前記プランジャの先端部を摺動可能に収容するハウジングと、
前記プランジャの本体部及び前記ハウジングを挿入する孔が設けられたフランジと、
前記フランジと前記プランジャとの間に配置され、前記プランジャを前記フランジから離れる方向に付勢する第１弾性体と、
前記フランジと前記ハウジングとの間に配置され、前記ハウジングを前記フランジから離れる方向に付勢する第２弾性体と、
を備えるプローブ。

【請求項2】

コンタクトを備えるコネクタの検査に用いられるプローブであって、
前記コンタクトに対応するように設けられたプローブピンと、
前記プローブピンを内包し、前記プローブピンの先端を露出させる先端部と、前記プローブピンに電気的に接続される導電部を内包する本体部と、を有するプランジャと、
前記プランジャの先端部を摺動可能に収容するハウジングと、
前記プランジャの本体部及び前記ハウジングを挿入する孔が設けられたフランジと、
前記プランジャと前記ハウジングとの間に配置され、前記ハウジングを前記プランジャから離れる方向に付勢する第１弾性体と、
前記フランジと前記ハウジングとの間に配置され、前記ハウジングを前記フランジから離れる方向に付勢する第２弾性体と、
を備えるプローブ。

【請求項3】

前記フランジは、前記本体部を挿入する孔、及び前記ハウジングの少なくとも一部を挿入する孔がそれぞれ設けられた摺動部材を備え、
前記第１弾性体は、前記摺動部材と前記プランジャとの間に配置され、
前記第２弾性体は、前記摺動部材と前記ハウジングとの間に配置される、
請求項１に記載のプローブ。

【請求項4】

前記フランジは、前記本体部を挿入する孔、及び前記ハウジングの少なくとも一部を挿入する孔がそれぞれ設けられた摺動部材を備え、
前記第２弾性体は、前記摺動部材と前記ハウジングとの間に配置される、
請求項２に記載のプローブ。

【請求項5】

前記摺動部材は、前記摺動部材に接する前記第１弾性体の端部と、前記摺動部材に接する前記第２弾性体の端部との間を仕切るように板状に延びるリブを有している、請求項３に記載のプローブ。

【請求項6】

前記摺動部材には、前記摺動部材に接する前記第１弾性体の端部、又は前記摺動部材に接する前記第２弾性体の端部の少なくとも一方が嵌め込まれる凹部が設けられている、請求項３に記載のプローブ。

【請求項7】

前記摺動部材は、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種で形成されている、請求項３又は４に記載のプローブ。

【請求項8】

前記本体部を取り囲むように、前記本体部に固定された追従部材と、
前記ハウジングに嵌合されており、前記追従部材を摺動可能に収容するキャップと、を更に備える、
請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項9】

前記第２弾性体は、前記第１弾性体を取り囲むように、前記第１弾性体と同心軸上に配置され、
前記第２弾性体の軸方向における長さは、前記第１弾性体の軸方向における長さよりも長い、
請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項10】

前記ハウジングは、前記第１弾性体及び前記第２弾性体を収容している、請求項１又は２に記載のプローブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、コネクタの検査に用いられるプローブに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、フランジと、第１プランジャと、第１弾性体と、第２プランジャと、第２弾性体と、を備えるプローブが開示されている。このプローブでは、第１弾性体がフランジと第１プランジャとの間に配置され、第２弾性体が第１プランジャと第２プランジャとの間に配置されている。第１プランジャは、第１弾性体と第２弾性体とを直列的に支持している。このプローブでは、第１弾性体の圧縮により検査対象のコネクタに対する位置決めが行われた後、第２弾性体の圧縮によりプローブピンが突出する。その結果、プローブピンとコネクタのコンタクトとが接触する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２０／１２２００６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に示されるようなプローブでは、第１プランジャが第１弾性体と第２弾性体とを直列的に支持していることにより、第１弾性体の圧縮が第１プランジャを介して第２弾性体の圧縮に影響を与える可能性がある。その結果、従来のプローブでは、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性を高めることが困難であった。

【0005】

本開示は、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性を高めるプローブを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係るプローブは、コンタクトを備えるコネクタの検査に用いられる。プローブは、コンタクトに対応するように設けられたプローブピンと、プローブピンを内包し、プローブピンの先端を露出させる先端部と、プローブピンに電気的に接続される導電部を内包する本体部と、を有するプランジャと、プランジャの先端部を摺動可能に収容するハウジングと、プランジャの本体部及びハウジングを挿入する孔が設けられたフランジと、フランジとプランジャとの間に配置され、プランジャをフランジから離れる方向に付勢する第１弾性体と、フランジとハウジングとの間に配置され、ハウジングをフランジから離れる方向に付勢する第２弾性体と、を備える。

【0007】

本開示の別の態様に係るプローブは、コンタクトを備えるコネクタの検査に用いられるプローブであって、コンタクトに対応するように設けられたプローブピンと、プローブピンを内包し、プローブピンの先端を露出させる先端部と、プローブピンに電気的に接続される導電部を内包する本体部と、を有するプランジャと、プランジャの先端部を摺動可能に収容するハウジングと、プランジャの本体部及びハウジングを挿入する孔が設けられたフランジと、プランジャとハウジングとの間に配置され、ハウジングをプランジャから離れる方向に付勢する第１弾性体と、フランジとハウジングとの間に配置され、ハウジングをフランジから離れる方向に付勢する第２弾性体と、を備える。

【0008】

本開示のプローブでは、第１弾性体及び第２弾性体がそれぞれフランジ又はハウジングに接している。換言すると、フランジ又はハウジングは、第１弾性体及び第２弾性体をそれぞれ支持している。第１弾性体の付勢力によって、フランジに対するプランジャの位置が定められるか、又はハウジングに対するプランジャの位置が定められる。第２弾性体の付勢力によって、フランジに対するハウジングの位置が定められている。このような構成によれば、フランジに対する第１弾性体の揺動方向と第２弾性体の揺動方向とが一致する。具体的には、プローブとコネクタとの接続において、フランジがコネクタに向けて押下されると、第２弾性体がハウジングを介してコネクタからの押圧力を受けて圧縮されて、プローブ（特にハウジング）とコネクタとの位置決めが行われる。位置決めの際に、第１弾性体が揺動した方向と、第２弾性体が揺動した方向とが一致する。すなわち、第１弾性体の傾きと、第２弾性体の傾きとのずれが生じない。位置決めが完了した後、フランジがコネクタに向けて更に押下されると、第１弾性体がフランジからの押圧力を受けて圧縮される。このとき、第２弾性体に接しているハウジングと、第１弾性体に接しているプランジャとの相対的な位置ずれが生じない。そして、第１弾性体の圧縮に応じてプランジャが移動することによって、プローブピンとコネクタのコンタクトとの接触が行われる。これにより、位置決めにおける第１弾性体の揺動方向と第２弾性体の揺動方向とを一致させた状態で、プランジャ及びプローブピンを移動させることができる。その結果、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性を高めることができる。

【0009】

フランジは、本体部を挿入する孔、及びハウジングの少なくとも一部を挿入する孔がそれぞれ設けられた摺動部材を備えてもよい。第１弾性体は、摺動部材とプランジャとの間に配置されてもよい。第２弾性体は、摺動部材とハウジングとの間に配置されてもよい。摺動部材に設けられたそれぞれの孔にハウジングの少なくとも一部及び本体部が挿入される。この場合、ハウジングと本体部（プランジャ）との相対位置が規定された上で、フランジとハウジングとの相対的な傾きが抑制されると共に、フランジとプランジャとの相対的な傾きも抑制される。ハウジングに対するプランジャの傾きが抑制されることによって、プランジャの摺動を安定化させることができる。その結果、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性をより高めることができる。

【0010】

摺動部材は、摺動部材に接する第１弾性体の端部と、摺動部材に接する第２弾性体の端部との間を仕切るように板状に延びるリブを有していてもよい。この場合、第１弾性体の端部と第２弾性体の端部との接触を防止できる。これにより、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性をより高めることができる。

【0011】

摺動部材には、摺動部材に接する第１弾性体の端部、又は摺動部材に接する第２弾性体の端部の少なくとも一方が嵌め込まれる凹部が設けられていてもよい。この場合、第１弾性体の端部及び第２弾性体の端部の少なくとも一方の位置が凹部によって規定される。これにより、第１弾性体の端部及び第２弾性体の端部の少なくとも一方の位置ずれを防止できる。その結果、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性をより高めることができる。

【0012】

摺動部材は、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種で形成されていてもよい。摺動部材が摩擦抵抗の低い樹脂で形成されていることにより、プランジャ及びハウジングが摺動部材に対し容易に摺動する。これにより、プランジャ及びハウジングの摺動時の不慮の傾きが抑制される。その結果、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性をより高めることができる。

【0013】

プローブは、本体部を取り囲むように、本体部に固定された追従部材と、ハウジングに嵌合されており、追従部材を摺動可能に収容するキャップと、を更に備えてもよい。プランジャの先端部がハウジングに摺動可能に収容されると共に、追従部材がキャップに摺動可能に収容される。キャップがハウジングに嵌合されているため、ハウジングは、キャップ及び追従部材を介して本体部の摺動を規定していると言える。すなわち、ハウジングは、プランジャの摺動を先端部及び本体部の二箇所で規定している。ハウジングに対するプランジャの傾きが抑制されることによって、プランジャの摺動を安定化させることができる。その結果、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性をより高めることができる。

【0014】

第２弾性体は、第１弾性体を取り囲むように、第１弾性体と同心軸上に配置されてもよい。第２弾性体の軸方向における長さは、第１弾性体の軸方向における長さよりも長くてもよい。この場合、位置決めの際に生じる第２弾性体の力のモーメントが、第１弾性体の力のモーメントよりも大きくなる。これにより、第２弾性体の揺動に第１弾性体の揺動が容易に追従し、第１弾性体の揺動方向と第２弾性体の揺動方向との一致を容易化できる。

【0015】

ハウジングは、第１弾性体及び第２弾性体を収容していてもよい。この場合、被検査物であるコネクタ以外の製品と、第１弾性体及び第２弾性体との接触を防止できる。

【発明の効果】

【0016】

本開示によれば、プローブピンとコンタクトとの接触の信頼性を高めるプローブを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１（ａ）はプローブの平面図、図１（ｂ）はプローブの側面図、図１（ｃ）はプローブの別の側面図、図１（ｄ）はプローブの底面図である。

【図2】図２（ａ）はプローブの斜視図である。図２（ｂ）はプローブの別の斜視図である。

【図3】図３は、コネクタの外観の一例を示す斜視図である。

【図4】図４は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。

【図5】図５は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。

【図6】図６は、ストローク状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。

【図7】図７は、ストローク状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。

【図8】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、変形例に係る摺動部材を示す概略図である。

【図9】図９は、別の変形例に係るプローブがコネクタに当接した状態において、断面の一例を示す断面図である。

【図10】図１０は、別の変形例に係るプローブがコネクタに当接した状態において、断面の別の例を示す断面図である。

【図11】図１１は、別の変形例に係るプローブのストローク状態において、断面の一例を示す断面図である。

【図12】図１２は、別の変形例に係るプローブのストローク状態において、断面の別の例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0019】

［概要］
本開示のプローブ１は、多芯コネクタであるコネクタ１００の検査に用いられる器具である。図１（ａ）はプローブ１の平面図、図１（ｂ）はプローブ１の側面図、図１（ｃ）はプローブ１の別の側面図、図１（ｄ）はプローブ１の底面図である。プローブ１を平面視した形状（図１（ａ）参照）、及びプローブ１を底面視した形状（図１（ｄ）参照）はいずれも長方形に近似している。以下、当該長方形の長辺に沿う方向をＸ軸方向といい、当該長方形の短辺に沿う方向をＹ軸方向という。Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向である高さ方向をＺ軸方向という。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は互いに直交している。プローブ１は、全体としてＺ軸方向に延伸する略柱状の形状を有する。

【0020】

図２（ａ）はプローブ１の斜視図である。図２（ｂ）はプローブ１の別の斜視図である。プローブ１は、Ｚ軸方向に動作することによって、コネクタ１００に電気的に接続される。以下、Ｚ軸方向のうち、プローブ１から見たコネクタ１００が位置する方向を「下」、コネクタ１００から見たプローブ１が位置する方向を「上」という。プローブ１は、コネクタ１００から見て上方向に配置される。

【0021】

プローブ１とコネクタ１００とが接続されるとき、プローブ１を下方向に押し付けた力に対する反作用として、プローブ１に対して上方向に向けて押圧する力（以下、「押圧力」という。）が加えられる。プローブ１に対し、押圧力が加えられていない状態を初期状態といい、押圧力が加えられた状態をストローク状態という。

【0022】

図３は、コネクタ１００の外観の一例を示す斜視図である。コネクタ１００は、プリント基板（不図示）に配置され、プリント基板に電気的に接続されている。プリント基板には、コネクタ１００以外にも様々な部品が配置されていてもよい。コネクタ１００は、複数のコンタクト１０１と、絶縁ハウジング１０２と、シェル１０３と、を備える。

【0023】

複数（例えば１０本）のコンタクト１０１は、プリント基板の信号導体に電気的に接続される導電性の部材である。複数のコンタクト１０１は、Ｚ軸方向に沿って、プローブ１に向けてそれぞれ突出した頂部１０１ａを有している。頂部１０１ａは、後述する絶縁ハウジング１０２の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１の上面に沿って湾曲している。複数のコンタクト１０１は、複数の列に沿って配置されている。本実施形態において、複数のコンタクト１０１は、Ｙ軸方向において対向する一対のコンタクト１０１Ａ，１０１Ａを備える。一対のコンタクト１０１Ａ，１０１Ａは、Ｘ軸方向に沿って５セット配置されている。

【0024】

絶縁ハウジング１０２は、複数のコンタクト１０１を保持する絶縁性の部材である。絶縁ハウジング１０２は、プローブ１から見て長方形に近似する第１部分Ｐ１と、Ｘ軸方向における第１部分Ｐ１の両端部に設けられた第２部分Ｐ２とを備える。第１部分Ｐ１は、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１と、Ｙ軸方向に沿って延びる一対の第２壁部Ｐ１２，Ｐ１２と、を備える。第１部分Ｐ１には、一対の第１壁部Ｐ１１，Ｐ１１及び一対の第２壁部Ｐ１２，Ｐ１２によって囲われた凹部Ｐ１３が設けられている。

【0025】

シェル１０３は、プリント基板のグランド導体に電気的に接続される導電性の部材である。シェル１０３は、プローブ１から見て長方形に近似する外形の領域を包囲する。シェル１０３は、絶縁ハウジング１０２の外周を囲むように配置される。シェル１０３は、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の第１側部１０３Ａ，１０３Ａと、Ｙ軸方向に沿って延びる一対の第２側部１０３Ｂ，１０３Ｂと、を備える。

【0026】

［初期状態］
図４及び図５を参照して、プローブ１の構成及び初期状態について説明する。図４は、プローブがコネクタに当接した状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。プローブ１は、導電部２と、プローブピン３と、基板４と、プランジャ５と、フランジ６と、ハウジング７と、スプリング８と、キャップ９と、を備える。

【0027】

導電部２は、複数（例えば１０本）の同軸ケーブル２１と、複数（例えば１０本）の導電部材２２と、を有する。導電部２の一端は、プローブピン３に電気的に接続される。ここでの「電気的に接続される」とは、導電部２とプローブピン３とが物理的に直接接続されることによって導電部２とプローブピン３とが電気的に接続される場合だけでなく、導電部２とプローブピン３との間に配置された基板４を介して、導電部２とプローブピン３とが間接的に接続されることによって導電部２とプローブピン３とが電気的に接続される場合を含む。導電部２の他端は、例えば外部の検査設備（不図示）等に電気的に接続される。

【0028】

同軸ケーブル２１は、Ｚ軸方向に延伸する絶縁体で被覆された導体である。導電部材２２は、Ｚ軸方向に延伸する導電性の部品（例えば金属によって構成された導体又は配線）である。同軸ケーブル２１は、導電部材２２に電気的に接続される。導電部２は、同軸ケーブル２１及び導電部材２２の少なくとも一方のみで構成されていてもよい。

【0029】

プローブピン３は、針状の導電性の部品であり、例えばポゴピンである。プローブピン３は、コネクタ１００の複数のコンタクト１０１に一対一で対応するように複数（例えば１０本）設けられ、Ｚ軸方向に沿って延伸する。プローブピン３の先端（下端）は、Ｚ軸方向においてコネクタ１００に対向する。

【0030】

基板４は、導電部２と、複数のプローブピン３とを互いに電気的に接続する略円柱状の部品である。基板４は、第１主面４１と、第１主面４１とは逆の面である第２主面４２と、第１主面４１から第２主面４２に亘ってＺ軸方向に設けられた側面４３とを有する。第１主面４１は、複数の導電部材２２のピッチに対応して、導電部２に電気的に接続される。第２主面４２は、複数のプローブピン３のピッチに対応して、複数のプローブピン３に電気的に接続される。第１主面４１と第２主面４２との間に設けられた回路等によって、導電部２と複数のプローブピン３とが電気的に接続される。このようにして、基板４は、導電部２のピッチと複数のプローブピン３のピッチとを変換する。

【0031】

プランジャ５は、柱状の形状を有する部品であり、複数のプローブピン３を内包する。プランジャ５は、本体部５１と、先端部５２とを有する。本体部５１は、略円柱状の形状を有する導電性の部位であり、導電部２の少なくとも一部を内包する。具体的には、本体部５１は、複数の同軸ケーブル２１の一部、及び複数の導電部材２２を内包し、これらの構成に沿ってＺ軸方向に延びている。本体部５１は、上面５１１と、底面５１２と、上面５１１から底面５１２に亘ってＺ軸方向に設けられた側面５１３とを有する。底面５１２は、Ｚ軸方向において基板４に対向している。底面５１２からは、導電部材２２の先端が露出している。

【0032】

本体部５１には、上面５１１から底面５１２に亘って、Ｚ軸方向に沿った複数の貫通孔５１Ｈが設けられている。複数の貫通孔５１Ｈには、絶縁体Ｄが配置される。絶縁体Ｄは、導電部材２２の上端及び下端をそれぞれ被覆する。複数の貫通孔５１Ｈには、上面５１１からＺ軸方向に沿って同軸ケーブル２１が挿入される。複数の貫通孔５１Ｈにおける同軸ケーブル２１の挿入箇所の隙間は、導電性の部材であるカラーＥの圧入によって埋められている。

【0033】

本体部５１の上部５１ａには、側面５１３を取り囲むように追従部材Ｆが固定されている。上部５１ａは、本体部５１の上端及び上端の近傍を含む領域である。追従部材Ｆは、略円筒状の部品である。追従部材Ｆは、上面Ｆ１と、下面Ｆ２と、側面Ｆ３と、を有する。

【0034】

本体部５１の下部５１ｂには、円環状の鍔部５１４が設けられている。下部５１ｂは、本体部５１の下端及び下端の近傍を含む領域である。鍔部５１４は、側面５１３から、底面５１２を取り囲むように外方に突出する。鍔部５１４の上面５１４ａは、後述する摺動部材６２の下面６２２にＺ軸方向において対向する。

【0035】

先端部５２は、柱状の形状を有し、複数のプローブピン３に沿ってＺ軸方向に延びている。先端部５２は、複数のプローブピン３を内包し、各プローブピン３の先端を露出させる。先端部５２は、本体部５１の下方に配置され、本体部５１に固定される。先端部５２は、本体部５１との間で基板４を挟み込むように収容する。先端部５２は、支持部５２１と、保持部５２２と、端部５２３とを有する。このうち、支持部５２１及び端部５２３は導電性を有し、保持部５２２は絶縁性を有する。

【0036】

支持部５２１は、円板状の形状を有し、基板４を支持する。支持部５２１は、上面５２１ａと、下面５２１ｂと、爪部５２１ｃとを有する。上面５２１ａは、基板４の第２主面４２にＺ軸方向において対向する。下面５２１ｂは、上面５２１ａとは逆の面である。爪部５２１ｃは、上面５２１ａから底面５１２に向けて、例えば４箇所において突出し、基板４の側面４３を挟み込む。

【0037】

保持部５２２は、柱状の形状を有し、複数のプローブピン３を内包する絶縁性の部品である。保持部５２２は、上面５２２ａと、下面５２２ｂと、突起５２２ｃと、を有する。上面５２２ａは、基板４の第２主面４２にＺ軸方向において対向する。上面５２２ａからは、複数のプローブピン３の基端（上端）がそれぞれ露出している。下面５２２ｂからは、複数のプローブピン３の先端がそれぞれ露出している。

【0038】

突起５２２ｃは、下面５２２ｂからＺ軸方向の下方に向けて突出している。突起５２２ｃは、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列の間において、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出している。突起５２２ｃには、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列に沿うと共に、突起５２２ｃの先端に向けて先細りになる傾斜面５２２ｅが設けられている。傾斜面５２２ｅは、例えば突起５２２ｃの先端を挟むように一対設けられている。

【0039】

端部５２３は、角筒状の形状を有し、保持部５２２を内包する。端部５２３は、下面５２１ｂから、複数のプローブピン３に沿ってＺ軸方向（下方）に延伸している。端部５２３は、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を挟む。端部５２３の側面５２３ａには、後述するハウジング７の内面７ａから離間するように段状に窪む第１段差部５２３ｂが設けられている。第１段差部５２３ｂは、例えばＹ軸方向における側面５２３ａの両端に一対設けられている。

【0040】

プランジャ５は、端部５２３から、複数のプローブピン３の延伸方向に沿って、複数のプローブピン３の先端よりも突出する導電性のグランド突起５２４を更に有する。グランド突起５２４は、Ｘ軸方向に沿って一対設けられると共に、Ｙ軸方向に沿って一対設けられていてもよい。グランド突起５２４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において、複数のプローブピン３が並ぶ複数の列を挟む。

【0041】

図５は、プローブ１がコネクタ１００に当接した状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。フランジ６は、板状部材６１と、摺動部材６２と、ピン６３とを有する。

【0042】

板状部材６１は、プローブ１を検査設備に固定するための板状の部品である。板状部材６１を平面視した形状は略長方形である。板状部材６１は、上面６１１と、下面６１２とを有する。板状部材６１には、上面６１１の中央から下面６１２の中央に亘って貫通孔６１Ｈが設けられている。上面６１１を平面視したとき、又は下面６１２を底面視したとき、貫通孔６１Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。貫通孔６１Ｈは、プランジャ５の本体部５１を挿入する孔である。板状部材６１には、Ｘ軸方向に沿う両端部において、上面６１１から下面６１２に亘って、貫通孔６１Ｈを挟むように一対の孔６１Ｗ，６１Ｗが設けられている。フランジ６は、孔６１Ｗを介してネジ止めを行うことにより、プローブ１を検査設備に固定する。孔６１Ｗは、いわゆるネジ孔であってもよい。板状部材６１には、Ｘ軸方向に沿って、上面６１１から下面６１２に亘って、貫通孔６１Ｈを挟むように一対の孔６１Ｐが設けられている。一対の孔６１Ｗは、一対の孔６１ＰをＸ軸方向において挟むように設けられている。

【0043】

摺動部材６２は、円環板状の部品であり、例えばポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種で形成されている。摺動部材６２は、上面６２１と、下面６２２と、リブ６２３とを有する。リブ６２３は、下面６２２を基端としてＺ軸方向に沿って下方向に延びる板状の突起である。リブ６２３は、摺動部材６２の周方向に沿って所定の間隔で複数（例えば４つ）設けられていてもよいし、摺動部材６２の全周に亘って設けられていてもよい。摺動部材６２には、上面６２１の中央から下面６２２の中央に亘って貫通孔６２Ｈが設けられている。上面６２１を平面視したとき、又は下面６２２を底面視したとき、貫通孔６２Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。貫通孔６２Ｈは、プランジャ５の本体部５１を挿入する孔である。摺動部材６２は、板状部材６１の貫通孔６１Ｈの外周に沿って、板状部材６１の下面６１２に配置される。貫通孔６２Ｈは、貫通孔６１Ｈに連通している。摺動部材６２は、本体部５１の側面５１３を取り囲む。摺動部材６２には、貫通孔６２Ｈの外周に沿って、上面６２１から下面６２２に亘って貫通孔６２Ｗが設けられている。貫通孔６２Ｗは、摺動部材６２の周方向に沿って所定の間隔で複数（例えば４つ）設けられている（図２（ｂ）参照）。貫通孔６２Ｗは、ハウジング７の少なくとも一部を挿入する孔である。貫通孔６２Ｗは、貫通孔６１Ｈに連通している。

【0044】

ピン６３は、Ｚ軸方向に沿って延びる棒状の部品である。ピン６３は、上端部６３１と、下端部６３２とを有する。下端部６３２は、孔６１Ｐに挿入され、板状部材６１に固定される。

【0045】

ハウジング７は、略筒状の形状を有し、Ｚ軸方向に沿って延伸する導電性の部品である。ハウジング７は、プランジャ５を摺動可能に収容すると共に、スプリング８を収容する。ハウジング７の内面７ａは、プランジャ５の側面５１３及び側面５２３ａに対向する。ハウジング７には、Ｚ軸方向に沿った両端を開放する孔７Ｈが設けられている。ハウジング７は、プランジャ５の摺動に応じて、孔７Ｈから複数のプローブピン３の先端を外部に露出させる。ハウジング７は、筒部７１と、先端部７２と、リブ７３とを有する。

【0046】

筒部７１は、略有底円筒状の形状を有する。筒部７１は、延伸方向の一方（下方）に底面７１１を有する。先端部７２は、ハウジング７の延伸方向の一方（下方）において、Ｚ軸方向に沿って下方向に角筒が延伸するように設けられる。先端部７２は、プランジャ５の先端部５２を摺動可能に収容する。

【0047】

先端部７２には、ハウジング７の内面７ａからハウジング７の内方に向けて段状に張り出す第２段差部７２ａが設けられている（図４参照）。第２段差部７２ａは、例えばＹ軸方向における内面７ａの両端に一対設けられている。第２段差部７２ａは、第１段差部５２３ｂにＺ軸方向において対向する。初期状態において、第２段差部７２ａと第１段差部５２３ｂとはＺ軸方向において離間している。

【0048】

先端部７２の先端には、ガイド部７２１が設けられている。ガイド部７２１は、コネクタ１００に対するプローブ１の位置のずれを調整する。ガイド部７２１の先端（下端）部分は、先端ほど厚みが薄く（開口形状が大きく）なるようにテーパ形状とされている。ガイド部７２１は、Ｚ軸方向においてコネクタ１００に対向する。ガイド部７２１は、コネクタ１００のシェル１０３に接し、テーパ形状の傾斜に沿ってシェル１０３に対し摺動する。ガイド部７２１は、Ｘ軸方向に沿って一対設けられると共に、Ｙ軸方向に沿って一対設けられていてもよい。

【0049】

リブ７３は、筒部７１を基端としてＺ軸方向に沿って上方向に延伸する板状の突起である。リブ７３は、筒部７１の周方向に沿って所定の間隔で複数（例えば４つ）設けられている（図２（ｂ）参照）。リブ７３は、摺動部材６２の下面６２２から、貫通孔６２Ｗに挿入される。

【0050】

スプリング８は、第１のスプリング８１（第１弾性体）と、第２のスプリング８２（第２弾性体）とを有する。第１のスプリング８１は、Ｚ軸方向に沿って延伸するコイルスプリングである。第１のスプリング８１は、Ｚ軸方向における上端部である端部８１ａと、Ｚ軸方向における下端部である端部８１ｂとを有する。端部８１ａは、摺動部材６２の下面６２２に接する。端部８１ｂは、鍔部５１４の上面５１４ａに接する。すなわち、第１のスプリング８１は、フランジ６の摺動部材６２とプランジャ５の鍔部５１４との間に配置される。具体的には、第１のスプリング８１は、摺動部材６２の下面６２２と鍔部５１４の上面５１４ａとの間で挟み込まれるようにして配置される。第１のスプリング８１は、鍔部５１４を摺動部材６２から離れる方向（下方向）に付勢することによって、プランジャ５をフランジ６から離れる方向に付勢する。第１のスプリング８１の付勢力によって、プランジャ５の鍔部５１４がフランジ６から所定の間隔を空け、プランジャ５が初期位置に保たれる。第１のスプリング８１は、プランジャ５を第１の位置と、第２の位置との間で移動させる。第１の位置は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させない位置である。第２の位置は、ハウジング７の先端部７２の孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させる位置である。初期状態において、第１のスプリング８１は、プランジャ５を第１の位置に保つ。

【0051】

第２のスプリング８２は、Ｚ軸方向に沿って延伸するコイルスプリングである。第２のスプリング８２は、Ｚ軸方向における上端部である端部８２ａと、Ｚ軸方向における下端部である端部８２ｂとを有する。端部８２ａは、摺動部材６２の下面６２２に接する。端部８２ｂは、筒部７１の底面７１１に接する。すなわち、第２のスプリング８２は、フランジ６の摺動部材６２と、ハウジング７の筒部７１との間に配置される。具体的には、第２のスプリング８２は、摺動部材６２の下面６２２と、筒部７１の底面７１１との間で挟み込まれるようにして配置される。第２のスプリング８２は、筒部７１を摺動部材６２から離れる方向（下方向）に付勢することによって、ハウジング７をフランジ６から離れる方向に付勢する。第２のスプリング８２の付勢力によって、ハウジング７の底面７１１がフランジ６から所定の間隔を空け、ハウジング７が初期位置に保たれる。

【0052】

第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２は、本体部５１の側面５１３を囲い、同心軸上に配置される。ここでの「同心軸上」とは、第１のスプリング８１の径方向の中心と第２のスプリング８２の径方向の中心が同一の軸直線上にあることをいう。軸直線とは、Ｚ軸方向に沿う直線である。第２のスプリング８２は、第１のスプリング８１を取り囲むように配置される。第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２は、ハウジング７の筒部７１に収容されている。第２のスプリング８２のＺ軸方向における長さは、第１のスプリング８１のＺ軸方向における長さよりも長い。第１のスプリング８１の端部８１ａと、第２のスプリング８２の端部８２ａとの間は、リブ６２３によって仕切られている。第１のスプリング８１の端部８１ａ及び第２のスプリング８２の端部８２ａが、フランジ６によりＺ軸方向において同位置で支持されていることによって、第１のスプリング８１と第２のスプリング８２とが並列的に配置されている。

【0053】

キャップ９は、略直方体状の部品である。キャップ９は、追従部材Ｆを摺動可能に収容する。キャップ９は、ハウジング７のリブ７３の周囲を囲うように配置される。キャップ９は、リブ７３に嵌合している。キャップ９は、上面９１と、下面９２とを有する。下面９２は、板状部材６１の上面６１１に対向する。

【0054】

キャップ９には、上面９１の中央から下面９２の中央に亘って、Ｚ軸方向に沿った孔９Ｈが設けられている。上面９１を平面視又は下面９２を底面視したとき、孔９Ｈが設けられた領域は、円形にくり貫かれている。上面９１における孔９Ｈの径は、下面９２における孔９Ｈの径よりも小さい。キャップ９には、内面９ａからキャップ９の内方に向けて段状に張り出す段差部９３が設けられている。下面９２における孔９Ｈは、板状部材６１の上面６１１における貫通孔６１Ｈに連通する。孔９Ｈには、上面９１から導電部２の同軸ケーブル２１が挿入される。孔９Ｈには、下面９２からハウジング７のリブ７３、プランジャ５の本体部５１及び追従部材Ｆが挿入される。キャップ９の内面９ａは、追従部材Ｆの側面Ｆ３に対向する。段差部９３には、Ｚ軸方向においてリブ７３が突き当たるようにして接する。

【0055】

下面９２には、Ｘ軸方向における両端部に複数（例えば２つ）の穴９２Ｈが設けられている。穴９２Ｈは、下面９２から上面９１に向けて、上面９１には達しないように設けられている。穴９２Ｈの最深部には、穴底９４が設けられている。穴９２Ｈには、ピン６３が挿入される。穴底９４には、ピン６３の上端部６３１が当接する。ピン６３の上端部６３１が穴底９４に当接することによって、フランジ６とキャップ９とが係合される。これにより、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向におけるプローブ１の動きが規制される。

【0056】

［ストローク状態］
次に、図６及び図７を参照して、ストローク状態について説明する。図６は、ストローク状態において、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面を示す断面図である。図６は、図４に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。図７は、ストローク状態において、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面を示す断面図である。図７は、図５に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。

【0057】

ストロークは、フランジ６がＺ軸方向における下方向に押されることにより行われる。フランジ６の押下によって、プローブ１がコネクタ１００に押し付けられる。プローブ１には、コネクタ１００から上方向に向けた押圧力が加えられる。

【0058】

プローブ１に対し押圧力が加えられると、第２のスプリング８２がＺ軸方向に縮んだ（弾性変形した）状態になる。ハウジング７は、フランジ６に対しＺ軸方向における上方向に移動する。キャップ９の段差部９３がリブ７３に上方向に向けて押されることによって、キャップ９も上方向に移動する。

【0059】

図７に示されるように、ピン６３の上端部６３１は、穴底９４から離間し、フランジ６とキャップ９との係合が解除される。これにより、プローブ１は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向において可動状態になる。このことで、プローブ１（フランジ６を除く）は、プローブ１とコネクタ１００との位置決め（軸ずれの調整）が可能な状態になる。

【0060】

位置決めが可能な状態では、第２のスプリング８２がＺ軸方向に縮んだ状態であり、第１のスプリング８１はＺ軸方向に縮んだ状態ではない。プランジャ５は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させない第１の位置にある。換言すると、プローブ１とコネクタ１００との位置決めの際には、プローブピン３の先端が保護された状態である。

【0061】

位置決めの完了後、プローブ１に対し押圧力が加えられると、第１のスプリング８１がＺ軸方向に縮んだ（弾性変形した）状態になる。プランジャ５は、フランジ６に対しＺ軸方向における上方向に移動する。プランジャ５の移動の際、プランジャ５の先端部５２がハウジング７の先端部７２との間で摺動すると共に、プランジャ５の先端部５２に固定された追従部材Ｆがキャップ９との間で摺動する。プランジャ５は、ハウジング７の先端部７２における孔７Ｈからプローブピン３の先端を露出させる第２の位置に移動する。プランジャ５が第２の位置に移動することにより、プローブピン３の先端が、孔７Ｈから外部に露出する。複数のプローブピン３は、複数のコンタクト１０１にそれぞれ接触する（図６参照）。第１段差部５２３ｂは、プランジャ５の摺動に伴って第２段差部７２ａに当接する（図６参照）。

【0062】

［変形例］
以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0063】

上記実施形態では、摺動部材６２がリブ６２３を有していると説明したが、摺動部材６２がリブ６２３を有していなくてもよい。図８（ａ）及び図８（ｂ）は、変形例に係る摺動部材６２を示す概略図である。図８（ａ）に示されるように、摺動部材６２には、凹部６２４が設けられていてもよい。凹部６２４は、下面６２２から上面６２１に向けて、Ｚ軸方向に沿って窪むように設けられている。凹部６２４は、貫通孔６２Ｈの外周及び第１のスプリング８１の周方向に沿って設けられている。凹部６２４には、第１のスプリング８１の端部８１ａが嵌め込まれる。

【0064】

図８（ｂ）に示されるように、摺動部材６２には、凹部６２５が設けられていてもよい。凹部６２５は、下面６２２から上面６２１に向けて、Ｚ軸方向に沿って窪むように設けられている。凹部６２５は、貫通孔６２Ｈの外周及び第２のスプリング８２の周方向に沿って設けられている。凹部６２５には、第２のスプリング８２の端部８２ａが嵌め込まれる。別の例では、摺動部材６２には、凹部６２４及び凹部６２５の両方が設けられていてもよい。

【0065】

図９～図１２を参照して、別の変形例に係るプローブ１Ａについて説明する。図９は、別の変形例に係るプローブ１Ａがコネクタ１００に当接した状態において、断面の一例を示す断面図である。図１０は、別の変形例に係るプローブ１Ａがコネクタに当接した状態において、断面の別の例を示す断面図である。以下、プローブ１Ａについて、プローブ１とは異なる点を主に説明する。プローブ１Ａは、プランジャ５及びフランジ６の代わりにプランジャ５Ａ及びフランジ６Ａを備える点でプローブ１とは異なる。

【0066】

図９及び図１０に示されるように、プランジャ５Ａは、本体部５１Ａと、先端部５２Ａとを有する。本体部５１Ａは、鍔部５１４を有していない点で、本体部５１とは異なる。先端部５２Ａは、本体部５１Ａの下部５１ｂの外周を囲む筒部５２５を有する点で、主に先端部５２Ａとは異なる。筒部５２５には、円環状の鍔部５２６が設けられている。鍔部５２６は、筒部５２５のＺ軸方向における上端から、円環状に外方に突出している。鍔部５２６の上面５２６ａは、後述する摺動部材６２Ａの下面６２２にＺ軸方向において対向する。鍔部５２６の下面５２６ｂは、ハウジング７の底面７１１にＺ軸方向において対向する。

【0067】

フランジ６Ａは、板状部材６１と、摺動部材６２Ａと、ピン６３とを有する。摺動部材６２Ａは、リブ６２３を有していない点で、摺動部材６２とは異なる。

【0068】

第１のスプリング８１の端部８１ａは、鍔部５２６の下面５２６ｂに接する。第１のスプリング８１の端部８１ｂは、ハウジング７の底面７１１に接する。すなわち、第１のスプリング８１は、プランジャ５の鍔部５２６とハウジング７の筒部７１との間に配置される。具体的には、第１のスプリング８１は、鍔部５２６の下面５２６ｂと筒部７１の底面７１１の間で挟み込まれるようにして配置される。第１のスプリング８１は、鍔部５２６を筒部７１から離れる方向（上方向）に付勢することによって、プランジャ５Ａをハウジング７から離れる方向に付勢する。第１のスプリング８１の付勢力によって、プランジャ５Ａの鍔部５２６がハウジング７から所定の間隔を空け、プランジャ５Ａが初期位置に保たれる。

【0069】

第２のスプリング８２の端部８２ａは、摺動部材６２Ａの下面６２２に接する。第２のスプリング８２の端部８２ｂは、筒部７１の底面７１１に接する。第１のスプリング８１の端部８１ｂ及び第２のスプリング８２の端部８２ｂが、ハウジング７によりＺ軸方向において同位置で支持されていることによって、第１のスプリング８１と第２のスプリング８２とが並列的に配置されている。

【0070】

図１１は、別の変形例に係るプローブ１Ａのストローク状態において、断面の一例を示す断面図である。図１１は、図９に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。図１２は、別の変形例に係るプローブ１Ａのストローク状態において、断面の別の例を示す断面図である。図１２は、図１０に示される状態から、ストロークが行われた後の状態を示す。

【0071】

ストロークは、フランジ６ＡがＺ軸方向における下方向に押されることにより行われる。プローブ１Ａでは、プローブ１と同様に、第２のスプリング８２が圧縮することによってプローブ１Ａとコネクタ１００との位置決めが行われる。位置決めの完了後、プローブ１Ａに対し押圧力が加えられると、摺動部材６２Ａの下面６２２ｂと鍔部５２６の上面５２６ａとが接する。そして、鍔部５２６を介してフランジ６Ａからの押圧力が第１のスプリング８１に加えられることにより、第１のスプリング８１がＺ軸方向に縮み、プランジャ５Ａを移動させる。

【0072】

［まとめ］
以上の例示は、以下の構成を含む。
（１）コンタクト１０１を備えるコネクタ１００の検査に用いられるプローブ１であって、コンタクト１０１に対応するように設けられたプローブピン３と、プローブピン３を内包し、プローブピン３の先端を露出させる先端部５２と、プローブピン３に電気的に接続される導電部２を内包する本体部５１と、を有するプランジャ５と、プランジャ５の先端部５２を摺動可能に収容するハウジング７と、プランジャ５の本体部５１及びハウジング７を挿入する孔が設けられたフランジ６と、フランジ６とプランジャ５との間に配置され、プランジャ５をフランジ６から離れる方向に付勢する第１のスプリング８１と、フランジ６とハウジング７との間に配置され、ハウジング７をフランジ６から離れる方向に付勢する第２のスプリング８２と、を備えるプローブ１。

【0073】

（２）コンタクト１０１を備えるコネクタ１００の検査に用いられるプローブ１Ａであって、コンタクト１０１に対応するように設けられたプローブピン３と、プローブピン３を内包し、プローブピン３の先端を露出させる先端部５２Ａと、プローブピン３に電気的に接続される導電部２を内包する本体部５１Ａと、を有するプランジャ５Ａと、プランジャ５Ａの先端部５２Ａを摺動可能に収容するハウジング７と、プランジャ５Ａの本体部５１Ａ及びハウジング７を挿入する孔が設けられたフランジ６と、プランジャ５Ａとハウジング７との間に配置され、ハウジング７をプランジャ５Ａから離れる方向に付勢する第１のスプリング８１と、フランジ６とハウジング７との間に配置され、ハウジング７をフランジ６から離れる方向に付勢する第２のスプリング８２と、を備えるプローブ１Ａ。

【0074】

本開示のプローブ１，１Ａでは、第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２がそれぞれフランジ６又はハウジング７に接している。換言すると、フランジ６又はハウジング７は、第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２をそれぞれ支持している。第１のスプリング８１の付勢力によって、フランジ６に対するプランジャ５の位置が定められるか、又はハウジング７に対するプランジャ５Ａの位置が定められる。第２のスプリング８２の付勢力によって、フランジ６に対するハウジング７の位置が定められている。このような構成によれば、フランジ６に対する第１のスプリング８１の揺動方向と第２のスプリング８２の揺動方向とが一致する。具体的には、プローブ１，１Ａとコネクタ１００との接続において、フランジ６がコネクタ１００に向けて押下されると、第２のスプリング８２がハウジング７を介してコネクタ１００からの押圧力を受けて圧縮されて、プローブ１，１Ａ（特にハウジング７）とコネクタ１００との位置決めが行われる。位置決めの際に、第１のスプリング８１が揺動した方向と、第２のスプリング８２が揺動した方向とが一致する。すなわち、第１のスプリング８１の傾きと、第２のスプリング８２の傾きとのずれが生じない。位置決めが完了した後、フランジ６がコネクタ１００に向けて更に押下されると、第１のスプリング８１がフランジ６からの押圧力を受けて圧縮される。このとき、第２のスプリング８２に接しているハウジング７と、第１のスプリング８１に接しているプランジャ５，５Ａとの相対的な位置ずれが生じない。そして、第１のスプリング８１の圧縮に応じてプランジャ５，５Ａが移動することによって、プローブピン３とコネクタ１００のコンタクト１０１との接触が行われる。これにより、位置決めにおける第１のスプリング８１の揺動方向と第２のスプリング８２の揺動方向とを一致させた状態で、プランジャ５，５Ａ及びプローブピン３を移動させることができる。その結果、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性を高めることができる。「接触の信頼性」とは、複数のプローブピン３の先端面と複数のコンタクト１０１の頂部１０１ａとの接触を、コネクタ１００の個体に依存することなく再現できることをいう。接触の信頼性を向上させることによって、コネクタ１００を正確に且つ高い再現性をもって検査することができる。

【0075】

本開示のプローブ１，１Ａでは、第１のスプリング８１がフランジ６とプランジャ５との間に配置されるか、又はプランジャ５Ａとハウジング７との間に配置されると共に、第２のスプリング８２がフランジ６とハウジング７との間に配置されている。この構成により、プローブ１，１Ａとコネクタ１００との接続において、第２のスプリング８２が必然的に第１のスプリング８１よりも先に圧縮するため、位置決めが行われた後、プランジャ５，５Ａが移動する。第１のスプリング８１の弾性力及び第２のスプリング８２の弾性力の厳密な設定が不要になるため、プローブ１，１Ａの製造を容易化することができる。

【0076】

（３）フランジ６は、本体部５１を挿入する孔（貫通孔６２Ｈ）、及びハウジング７の少なくとも一部（リブ７３）を挿入する孔（貫通孔６２Ｗ）がそれぞれ設けられた摺動部材６２を備え、第１のスプリング８１は、摺動部材６２とプランジャ５との間に配置され、第２のスプリング８２は、摺動部材６２とハウジング７との間に配置される、（１）のプローブ１。（４）フランジ６Ａは、本体部５１Ａを挿入する孔（貫通孔６２Ｈ）、及びハウジング７の少なくとも一部（リブ７３）を挿入する孔（貫通孔６２Ｗ）がそれぞれ設けられた摺動部材６２Ａを備え、第２のスプリング８２は、摺動部材６２Ａとハウジング７との間に配置される、（２）のプローブ１Ａ。摺動部材６２に設けられたそれぞれの孔にハウジング７の少なくとも一部及び本体部５１，５１Ａが挿入される。この場合、ハウジング７と本体部５１，５１Ａ（プランジャ５，５Ａ）との相対位置が規定された上で、フランジ６，６Ａとハウジング７との相対的な傾きが抑制されると共に、フランジ６，６Ａとプランジャ５，５Ａとの相対的な傾きも抑制される。ハウジング７に対するプランジャ５，５Ａの傾きが抑制されることによって、プランジャ５，５Ａの摺動を安定化させることができる。その結果、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性をより高めることができる。

【0077】

（５）摺動部材６２は、摺動部材６２に接する第１のスプリング８１の端部８１ａと、摺動部材６２に接する第２のスプリング８２の端部８２ａとの間を仕切るように板状に延びるリブ６２３を有している、（３）のプローブ１。この場合、第１のスプリング８１の端部８１ａと第２のスプリング８２の端部８２ａとの接触を防止できる。これにより、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性をより高めることができる。

【0078】

（６）摺動部材６２には、摺動部材６２に接する第１のスプリング８１の端部８１ａ、又は摺動部材６２に接する第２のスプリング８２の端部８２ａの少なくとも一方が嵌め込まれる凹部６２４，６２５が設けられている、（３）のプローブ１。この場合、第１のスプリング８１の端部８１ａ及び第２のスプリング８２の端部８２ａの少なくとも一方の位置が凹部６２４，６２５によって規定される。これにより、第１のスプリング８１の端部８１ａ及び第２のスプリング８２の端部８２ａの少なくとも一方の位置ずれを防止できる。その結果、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性をより高めることができる。

【0079】

（７）摺動部材６２，６２Ａは、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種で形成されている、（３）～（６）のいずれかのプローブ１，１Ａ。摺動部材６２が摩擦抵抗の低い樹脂で形成されていることにより、プランジャ５，５Ａ及びハウジング７が摺動部材６２，６２Ａに対し容易に摺動する。これにより、プランジャ５，５Ａ及びハウジング７の摺動時の不慮の傾きが抑制される。その結果、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性をより高めることができる。

【0080】

（８）本体部５１，５１Ａを取り囲むように、本体部５１，５１Ａに固定された追従部材Ｆと、ハウジング７に嵌合されており、追従部材Ｆを摺動可能に収容するキャップ９と、を更に備える、（１）～（７）のいずれかのプローブ１，１Ａ。このような構成によれば、先端部５２，５２Ａがハウジング７に摺動可能に収容されると共に、追従部材Ｆがキャップ９に摺動可能に収容される。キャップ９がハウジング７に嵌合されているため、ハウジング７は、キャップ９及び追従部材Ｆを介して本体部５１，５１Ａの摺動を規定していると言える。すなわち、ハウジング７は、プランジャ５の摺動を先端部５２及び本体部５１の二箇所で規定するか、プランジャ５Ａの摺動を先端部５２Ａ及び本体部５１Ａの二箇所で規定している。ハウジング７に対するプランジャ５，５Ａの傾きが抑制されることによって、プランジャ５，５Ａの摺動を安定化させることができる。その結果、プローブピン３とコンタクト１０１との接触の信頼性をより高めることができる。

【0081】

（９）第２のスプリング８２は、第１のスプリング８１を取り囲むように、第１のスプリング８１と同心軸上に配置され、第２のスプリング８２の軸方向における長さは、第１のスプリング８１の軸方向における長さよりも長い、（１）～（８）のいずれかのプローブ１，１Ａ。この場合、位置決めの際に生じる第２のスプリング８２の力のモーメントが、第１のスプリング８１の力のモーメントよりも大きくなる。これにより、第２のスプリング８２の揺動に第１のスプリング８１の揺動が容易に追従し、第１のスプリング８１の揺動方向と第２のスプリング８２の揺動方向との一致を容易化できる。

【0082】

（１０）ハウジング７は、第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２を収容している、（１）～（９）のいずれかのプローブ１，１Ａ。この場合、被検査物であるコネクタ１００以外の製品と、第１のスプリング８１及び第２のスプリング８２との接触を防止できる。

【符号の説明】

【0083】

１，１Ａ…プローブ、２…導電部、３…プローブピン、４…基板、５，５Ａ…プランジャ、６…フランジ、７…ハウジング、８…スプリング、９…キャップ、５１，５１Ａ…本体部、５２，５２Ａ…先端部、６１…板状部材、６２…摺動部材、６３…ピン、７１…筒部、７２…先端部、７３…リブ、８１…第１のスプリング、８２…第２のスプリング、１００…コネクタ、１０１…コンタクト、１０２…絶縁ハウジング、１０３…シェル、５１３…側面、５２３…端部、５２４…グランド突起、７ａ…内面、７２ａ…第２段差部、８１ａ…端部、８１ｂ…端部、８２ａ…端部、８２ｂ…端部、５２２ｃ…突起、５２２ｅ…傾斜面、５２３ａ…側面、５２３ｂ…第１段差部、Ｆ…追従部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】