特開 2024-55249 イオン源およびイオン注入装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024055249

(43)【公開日】2024-04-18

(54)【発明の名称】イオン源およびイオン注入装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 27/08 20060101AFI20240411BHJP

   H01J 37/317 20060101ALI20240411BHJP

   H01J 37/08 20060101ALI20240411BHJP

【ＦＩ】

H01J27/08

H01J37/317 Z

H01J37/08

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022162020

(22)【出願日】2022-10-07

(71)【出願人】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(72)【発明者】

【氏名】西村 一平

(72)【発明者】

【氏名】井内 裕

【テーマコード（参考）】

5C101

【Ｆターム（参考）】

5C101AA25

5C101BB02

5C101BB03

5C101BB05

5C101CC01

5C101DD03

5C101DD16

5C101DD22

5C101DD23

5C101DD25

5C101DD26

5C101DD28

5C101DD40

5C101JJ09

5C101LL06

5C101LL07

(57)【要約】

【課題】イオン源の組立作業またはメンテナンス作業における作業時間を従来と比較して短縮できるイオン源およびイオン注入装置を提供する。
【解決手段】内部でプラズマが生成される第一筐体２０と、電極３１ａ～ｃを収容する第二筐体３０とを備えるイオン源１０Ａにおいて、イオン源１０Ａが、第二筐体３０に配置され、第一筐体２０を第二筐体３０に固定する固定装置４０と、第一筐体２０または第二筐体３０に配置されたサージ対策部品５０とをさらに備え、固定装置４０が第一筐体２０を第二筐体３０に固定するのに伴って、第一筐体２０と第二筐体３０とが、固定装置４０の少なくとも一部およびサージ対策部品５０を介して電気的に接続される接続状態となる構成とする。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部でプラズマが生成される第一内部空間を有する第一筐体と、前記プラズマからイオンビームを引き出すための電極を収容する第二内部空間を有する第二筐体とを備え、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記第一内部空間と前記第二内部空間とを連通させつつ、互いに電気的に絶縁された状態で固定されるイオン源であって、
前記第二筐体に配置され、前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定装置と、
前記第一筐体または前記第二筐体に配置されたサージ対策部品と、
をさらに備え、
前記固定装置が前記第一筐体を前記第二筐体に固定するのに伴って、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記固定装置の少なくとも一部および前記サージ対策部品を介して電気的に接続される接続状態となるイオン源。

【請求項2】

前記固定装置が、
前記第一筐体に作用して前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定部材と、
遠隔操作により駆動され、前記固定部材を、前記第一筐体が前記第二筐体から離脱した離脱位置から、前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定位置に移動させる駆動機構部と、
を備え、
前記固定部材が前記固定位置にあるときに前記接続状態となる請求項１に記載のイオン源。

【請求項3】

前記固定部材が、
前記駆動機構部から電気的に絶縁された状態で、前記駆動機構部に連結されており、
前記固定位置にあるときに前記第一筐体に直接または間接的に電気的に接続される導電部を備える請求項２に記載のイオン源。

【請求項4】

前記第一筐体が、前記固定部材が前記固定位置にあるときに前記導電部に接触される被接触部を有し、
前記固定部材が前記固定位置にあるときに、前記導電部が前記駆動機構部から前記第一筐体に向けた押圧力を加えられた状態で前記被接触部に接触する請求項３に記載のイオン源。

【請求項5】

前記固定装置が、前記第二筐体から電気的に絶縁された状態で、前記第二筐体に配置されており、
前記固定装置が前記第二筐体に直接または前記サージ対策部品を介して電気的に接続されている請求項１に記載のイオン源。

【請求項6】

前記第一筐体が、前記第一内部空間を形成する長尺状の本体部を有し、
複数の前記固定装置および複数の前記サージ対策部品が、前記第一筐体が前記第二筐体に固定された状態において、前記本体部の長手方向に沿って前記第二筐体に配置されており、
前記長手方向を鉛直方向に一致させた状態でイオン注入装置のイオン源取付部に取り付けられる請求項１～５のいずれか一項に記載のイオン源。

【請求項7】

内部でプラズマが生成される第一内部空間を有する第一筐体と、前記プラズマからイオンビームを引き出すための電極を収容する第二内部空間を有する第二筐体とを備え、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記第一内部空間と前記第二内部空間とを連通させつつ、互いに電気的に絶縁された状態で固定されるイオン源を備えるイオン注入装置であって、
前記イオン源が、
前記第二筐体に配置され、前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定装置と、
前記第一筐体または前記第二筐体に配置されたサージ対策部品と、
をさらに備え、
前記固定装置が前記第一筐体を前記第二筐体に固定するのに伴って、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記固定装置の少なくとも一部および前記サージ対策部品を介して電気的に接続される接続状態となるイオン注入装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、イオン源、および当該イオン源を備えるイオン注入装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フラットパネルディスプレイ製造工程や半導体製造工程において使用されるイオン注入装置に使用されるイオン源として、特許文献１に示されたイオン源がある。このイオン源は、プラズマが生成されるプラズマ生成室と、プラズマ生成室からイオンビームを引き出すための３または４枚の電極から構成される引出電極系を収容する第一のフランジおよび第二のフランジを有する。

【0003】

第一のフランジは、プラズマ生成室から電気的に絶縁された状態でプラズマ生成室に固定されており、第一のフランジの内部には、加速電極と引出電極の２枚の電極、およびこれらの電極を支持する電極支持枠が収容されている。また、第二のフランジは、第一のフランジから電気的に絶縁された状態で第一のフランジに固定されており、第二のフランジの内部には、抑制電極と接地電極の２枚の電極、およびこれらの電極を支持する電極支持枠が収容されている。

【0004】

プラズマ生成室の内部には、プラズマ生成室の内部空間に電子を供給するためのフィラメントが外側から差し込まれるようにして配置されている。また、プラズマ生成室は、その内部空間に、所定のイオンを含むプラズマを生成するための原料となる原料ガスがガスポートを通じて外部から導入されるように構成されている。プラズマ生成室の内部空間では、当該原料ガスがフィラメントから放出される熱電子によって電離され、所定のイオンを含むプラズマが生成する。プラズマ中に含まれるイオンは、第一のフランジおよび第二のフランジに収容された電極の作用によって、イオンビームとしてイオン源の外部に引き出される。

【0005】

プラズマ生成部は、外部に配置された電源に接続されており、接地電位に対して所定の電位が印加されるよう構成されている。第一のフランジおよび第二のフランジもまた、外部に配置された電源にそれぞれ接続されており、それぞれ接地電位に対して所定の電位が印加されるよう構成されている。

【0006】

このようなイオン源においては、イオン源の使用に伴い、例えば、プラズマ生成部内で生成された絶縁性生成物が電極または電極支持枠に堆積し、帯電していった結果、異常放電が発生する。このような場合、瞬間的にサージ電流が電源に流れてしまい、電源の故障を引き起こすなどの不具合が生じる恐れがある。

【0007】

このようなイオン源では、サージ電流の発生によって発生し得る例えば上述のような不具合を抑制するため、プラズマ生成容器と第一のフランジと間に、サージ電流から回路を保護する、セラミックコンデンサやサージアブソーバ等のサージ対策部品が電気的に接続される場合がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２０１６－９１７９５

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

従来のイオン源においては、作業者がプラズマ生成室と第一のフランジおよび第二のフランジとを互いに固定した後、電線等の配線部材を使用してプラズマ生成室および第一のフランジとサージ対策部品とを電気的に接続する作業を行っていた。

【0010】

また、メンテナンス作業時にプラズマ生成容器を第一フランジから離脱させる場合がある。このような場合においても、プラズマ生成容器を第一フランジから取り外す前に、作業者が手作業によって当該配線部材を取り外す必要があった。そして、メンテナンス作業後は、プラズマ生成容器を第一フランジに固定した後、作業者が再び配線部材を取り付ける作業を行う必要があった。このように、従来のイオン源においては、イオン源の組立作業時およびメンテナンス作業時に、プラズマ生成室とサージ対策部品とを電気的に接続する作業が必要であり、これによってイオン源の組立作業およびメンテナンス作業における作業効率が低下していた。

【0011】

本発明は、上記問題を解決するものであり、イオン源の組立作業またはメンテナンス作業における作業時間を従来と比較して短縮できるイオン源およびイオン注入装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明のイオン源は、内部でプラズマが生成される第一内部空間を有する第一筐体と、前記プラズマからイオンビームを引き出すための電極を収容する第二内部空間を有する第二筐体とを備え、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記第一内部空間と前記第二内部空間とを連通させつつ、互いに電気的に絶縁された状態で固定されるイオン源であって、前記第二筐体に配置され、前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定装置と、前記第一筐体または前記第二筐体に配置されたサージ対策部品と、をさらに備え、前記固定装置が前記第一筐体を前記第二筐体に固定するのに伴って、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記固定装置の少なくとも一部および前記サージ対策部品を介して電気的に接続される接続状態となるように構成されている。

【0013】

この構成によれば、第一筐体と第二筐体とは互いに電気的に絶縁された状態で固定され、第二筐体には固定装置が配置され、第一筐体または第二筐体にはサージ対策部品が配置される。そして、固定装置が第一筐体を第二筐体に固定するのに伴って、第一筐体と第二筐体とが、固定装置の少なくとも一部およびサージ対策部品を介して電気的に接続される接続状態となる。つまり、イオン源が上記の接続状態にある状態においては、第一筐体と第二筐体がサージ対策部材を介して電気的に接続されることになる。
すなわち、この構成によれば、第一筐体と第二筐体を固定した後に、第一筐体とサージ対策部品とを電気的に接続する作業が不要となる。
なお、本発明において、第一筐体と第二筐体とが電気的に絶縁された状態で固定されることは、第一筐体と第二筐体とがサージ対策部品を介さずに電気的に接続されることがないことを指し、第一筐体と第二筐体とが所定の電位差を維持した状態で互いに固定されることを指すと捉えてもよい。

【0014】

また、前記固定装置はさらに、前記第一筐体の前記第二筐体に対する固定を解除するのに伴って、第一筐体と第二筐体との、固定装置の少なくとも一部およびサージ対策部品を介した電気的接続が解除される解除状態となるように構成されていてもよい。
この構成によれば、固定装置により第一筐体と第二筐体の固定が解除されると、第一筐体とサージ対策部品との電気的接続も解除されることになる。したがって、第一筐体とサージ対策部品の電気的接続を解除する作業も不要となる。

【0015】

また、本発明のイオン源は、前記固定装置が、前記第一筐体に作用して前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定部材と、
遠隔操作により駆動され、前記固定部材を、前記第一筐体が前記第二筐体から離脱した離脱位置から、前記第一筐体を前記第二筐体に固定する固定位置に移動させる駆動機構部と、を備え、前記固定部材が前記固定位置にあるときに前記接続状態となるように構成されていてもよい。

【0016】

この構成によれば、作業者等が遠隔操作するによって駆動機構部を駆動させ、固定部材を離脱位置から固定位置に移動させることにより、第一筐体を第二筐体に固定できると同時に、イオン源を上記の接続状態にすることができる。なお、固定部材が第一筐体に作用するとは、固定部材が第一筐体に何らかの力を加えることを指す。

【0017】

前記駆動機構部はさらに、前記固定部材を前記固定位置から前記離脱位置に移動させ得るよう構成されていてもよい。この構成によれば、作業者等が遠隔操作するによって駆動機構部を駆動させ、固定部材を固定位置から離脱位置に移動させることにより、第一筐体と第二筐体の固定を解除できると同時に、イオン源を上記の解除状態にすることができる。

【0018】

また、本発明のイオン源は、前記固定部材が、前記駆動機構部から電気的に絶縁された状態で、前記駆動機構部に連結されており、前記固定部材が前記固定位置にあるときに前記第一筐体に直接または間接的に電気的に接続される導電部を備える構成とされていてもよい。

【0019】

また、本発明のイオン源は、前記第一筐体が、前記固定部材が前記固定位置にあるときに前記導電部に接触される被接触部を有し、前記固定部材が前記固定位置にあるときに、前記導電部が前記駆動機構部から前記第一筐体に向けた押圧力を加えられた状態で前記被接触部に接触するよう構成されていてもよい。

【0020】

この構成によれば、固定部材が固定位置にあるときに、固定部材の導電部が、駆動機構部から第一筐体に向けた押圧力を加えられた状態で第一筐体の有する被接触部に接触することから、導線部と被接触部との接触がより確実なものとなる。したがって、第一筐体と導電部とをより確実に電気的に接続させることができる。

【0021】

また、本発明のイオン源は、前記固定装置が、前記第二筐体から電気的に絶縁された状態で、前記第二筐体に配置されており、前記固定装置が前記第二筐体に直接または前記サージ対策部品を介して電気的に接続されている構成とされていてもよい。
なお、固定装置が第二筐体に直接電気的に接続されているとは、固定装置がサージ対策部品を介することなく接続されていることを指す。

【0022】

また、本発明のイオン源は、前記第一筐体が、前記第一内部空間を形成する長尺状の本体部を有し、複数の前記固定装置および複数の前記サージ対策部品が、前記第一筐体が前記第二筐体に固定された状態において、前記本体部の長手方向に沿って前記第二筐体に配置されており、前記長手方向を鉛直方向に一致させた状態でイオン注入装置のイオン源取付部に取り付けられるよう構成されていてもよい。

【0023】

一般に、プラズマが生成される内部空間を有する長尺状の本体部を有するイオン源は、本体部の長手方向を鉛直方向に一致させた状態でイオン注入装置のイオン源取付部に取り付けられる。このようなイオン源において、複数のサージ対策部品が当該長手方向に沿って並ぶように配置されている場合、従来は、メンテナンス作業時等において、作業者が鉛直方向に並んだサージ対策部品と第一筐体とを電線等の配線部材により順次接続する作業が発生していた。そして、このような作業は、イオン源が大型化するにつれて、より高い位置で行う必要があり、作業性および作業効率がさらに低下していた。
これに対し、この構成によれば、メンテナンス作業等において従来必要であったサージ対策部品と第一筐体とを電気的に接続する作業が不要となる。すなわち、イオン源が本体部の長手方向を鉛直方向に一致させた状態でイオン注入装置のイオン源取付部に取り付けられる場合であっても、当該作業における作業時間が短縮される。

【0024】

また、固定装置が、第一筐体の第二筐体に対する固定を解除するのに伴って上記の解除状態となるように構成されている場合にはさらに、前記第一筐体を前記第二筐体から離脱させる際に従来必要であった、作業者が第一筐体とサージ対策部品との電気的接続を解除する作業も不要となる。

【0025】

また、本発明のイオン注入装置は、内部でプラズマが生成される第一内部空間を有する第一筐体と、前記プラズマからイオンビームを引き出すための電極を収容する第二内部空間を有する第二筐体とを備え、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記第一内部空間と前記第二内部空間とを連通させつつ、互いに電気的に絶縁された状態で固定されるイオン源を備えるイオン注入装置であって、前記イオン源が、 前記第二筐体に配置され、前記第一筐体を前記第二筐体に着脱可能に固定する固定装置と、前記第一筐体または前記第二筐体に配置されたサージ対策部品と、をさらに備え、前記固定装置が前記第一筐体を前記第二筐体に固定するのに伴って、前記第一筐体と前記第二筐体とが、前記固定装置の少なくとも一部および前記サージ対策部品を介して電気的に接続される接続状態となるように構成されている。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、イオン源の組立作業またはメンテナンス作業における作業時間を従来と比較して短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の第一実施形態における第一のイオン源およびイオン注入装置を示す模式図。

【図2】同実施形態における第一のイオン源を示す斜視図。

【図3】同実施形態における第一のイオン源の図２中のＸ－Ｘ線における横断面図。

【図4A】同実施形態における第一の固定部材が離脱位置にある状態を示す第一の固定装置の側面図。

【図4B】同実施形態における第一の固定部材が途中位置にある状態を示す第一の固定装置の側面図。

【図4C】同実施形態における第一の固定部材が固定位置にある状態を示す第一の固定装置の側面図。

【図5】同実施形態における第一のイオン源の第一筐体が第二筐体から取り外された状態を示す斜視図。

【図6】同実施形態における第一の固定装置の第一の変形例である第二の固定装置を示す側面図。

【図7】同実施形態における第一の固定装置の第二の変形例である第三の固定装置を示す側面図

【図8】本発明の第二実施形態におけるイオン源の一部を示す側面図。

【発明を実施するための形態】

【0028】

本発明の第一実施形態における第一のイオン源１０Ａ、および第一のイオン源１０Ａを備えるイオン注入装置１について説明する。なお、図１～図８は本発明が理解されることを目的として作成されており、各図間における各構成要素の長さ寸法の比や縮尺の比率は必ずしも一致させられているものではない。

【0029】

まず、第一のイオン源１０Ａおよびイオン注入装置１の構成について説明する。
図１は本実施形態における第一のイオン源１０Ａおよび第一のイオン源１０Ａを備えるイオン注入装置１を示す模式図である。
本実施形態のイオン注入装置１は、フラットパネルディスプレイ製造工程において使用され、基板Ｓに所望のイオンを注入するために使用される装置である。なお、本実施形態における基板Ｓは矩形状のガラス基板であるが、基板Ｓの形状および材質は特定のものに限定されるものではない。

【0030】

図１に示すように、イオン注入装置１は、外部から供給される原料ガスからプラズマを生成し、当該プラズマに含まれるイオンをイオンビームＩＢとして取り出す第一のイオン源１０Ａを備えている。また、イオン注入装置１は、第一のイオン源１０Ａから引き出されたイオンを質量分離し、所望のイオンを含むイオンビームＩＢを輸送するイオン輸送部２と、イオン輸送部２からイオンビームＩＢが導入される処理室３をさらに備えている。

【0031】

処理室３の内部では、外部から搬入された基板Ｓに所望のイオンを含むイオンビームＩＢが照射されることによって基板Ｓに対するイオン注入処理が施される。第一のイオン源１０Ａ、イオン輸送部２、および処理室３は、それぞれの内部空間が連通するように連結されており、イオンビームＩＢは当該内部空間を通過して第一のイオン源１０Ａから基板Ｓに到達する。また、イオン注入装置１の運転時には、当該内部空間は真空排気されて高真空下に置かれている。

【0032】

図２は、第一のイオン源１０Ａがイオン注入装置１に搭載された状態を示す第一のイオン源１０Ａの斜視図である。図２では、第一のイオン源１０Ａに加え、イオン輸送部２の一部が示されている。
図１および図２に示すように、第一のイオン源１０Ａは互いに固定される第一筐体２０および第二筐体３０と、第一筐体２０と第二筐体３０を着脱可能に固定する複数の第一の固定装置４０とを備えている。第一筐体２０と第二筐体３０はともにアルミニウム等の金属材料により形成されており、電気伝導性を有している。

【0033】

第一のイオン源１０Ａは、第一筐体２０と第二筐体３０とが互いに固定された状態で、後述する第二筐体３０の第三フランジ部３３が、イオン輸送部２のイオン源取付部２ａにボルト等の締結部材（不図示）で固定されることによって、イオン輸送部２に連結されている。第一筐体２０には、第一のイオン源１０Ａの外部に配置された図１に模式的に示す電源１１が接続されている。第一のイオン源１０Ａは、第一のイオン源１０Ａの運転中、すなわちイオン注入装置１の運転中、電源１１により、第一筐体２０に接地電位に対して所定の電位が印加されるよう構成されている。

【0034】

図３は、図２中のＸ－Ｘ線における第一のイオン源１０Ａの横断面図であり、第一のイオン源１０Ａの内部構造を模式的に示している。
図３に示すように、第一筐体２０は、プラズマが生成される第一内部空間Ａ１を有する。また、第二筐体３０は、第一内部空間Ａ１に生成したプラズマからイオンビームＩＢを引き出すための引出電極群３１を収容する第二内部空間Ａ２を有する。

【0035】

第一筐体２０と第二筐体３０は、第一内部空間Ａ１と第二内部空間Ａ２を連通させつつ、第一筐体２０と第二筐体３０とを電気的に絶縁する筐体間絶縁部材２５を介在させた状態で第一の固定装置４０により固定される。筐体間絶縁部材２５は、第一筐体２０と第二筐体３０との間に介在し、第一筐体２０と第二筐体３０とを絶縁するだけでなく、第一筐体２０と第二筐体３０との間を密封している。つまり、第一のイオン源１０Ａは、運転中、筐体間絶縁部材２５によって、第一筐体２０内と第二筐体３０内は高真空状態が維持されるよう構成されている。

【0036】

なお、第一の固定装置４０は、第一筐体２０と第二筐体３０との固定に寄与するものであればよい。つまり、第一のイオン源１０Ａは、第一筐体２０と第二筐体３０とが一または複数の第一の固定装置４０のみによって固定されるものに限定されるものではない。例えば、第一のイオン源１０Ａは、第二筐体３０に固定され、第一筐体２０の下方を支持する筐体支持部材（不図示）をさらに備え、当該筐体支持部材と複数の第一の固定装置４０によって第一筐体２０が第二筐体３０に固定される構成であってもよい。

【0037】

また、第一の固定装置４０は、後述する第一の固定部材４１と、第一の固定部材４１を動作させる駆動機構部４２を備えている。第一の固定部材４１は、駆動機構部４２から電気的に絶縁された状態で、駆動機構部４２に連結されるようにして組み立てられている。第一の固定部材４１と駆動機構部４２が絶縁されていることにより、第一筐体２０と第二筐体３０とが、後述する第二筐体３０に配置されたサージ対策部品５０を介することなく第一の固定装置４０を通じて電気的に接続されることが防止されている。
なお、本実施形態において、第一筐体２０と第二筐体３０とが電気的に絶縁されていることは、第一筐体２０と第二筐体３０とが後述するサージ対策部品５０を介さずに電気的に接続されることがない、という意味を指し、第一筐体２０と第二筐体３０とが所定の電位差を維持した状態で互いに固定されることを指すと捉えてもよい。

【0038】

図２および図３に示すように、第一筐体２０は、内壁面が第一内部空間Ａ１を形成する長尺状の本体部２１と、本体部２１の側面から外方に張り出すように形成された第一フランジ部２２を有している。図３に示すように、第一内部空間Ａ１には、第一内部空間Ａ１に電子を供給する複数のフィラメント２３が配置されている。

【0039】

フィラメント２３は、図２および図３に示す本体部２１の二つの角部２１ａに、本体部２１の長手方向Ｄに沿って複数形成された貫通部（不図示）に差し込むようにして配置されている。当該貫通部は一般的な構成であり、いずれの図においても図示が省略されている。また、図２および図５においてもフィラメント２３の図示は省略されている。

【0040】

また、本体部２１の外側には、第一のイオン源１０Ａの外部に配置されたフィラメント用電源（不図示）に接続され、第一筐体２０に配置された各フィラメント２３に電力を供給する回路部材２４が配置されている。

【0041】

図３に示すように、第二筐体３０は、第一筐体２０と第二筐体３０が固定された状態において、筐体間絶縁部材２５を介して第一筐体２０の第一フランジ部２２に対向する第二フランジ部３２を有する。また、図１および図２に示すように、第二筐体３０は、イオン源取付部２ａに固定される第三フランジ部３３を有する。

【0042】

第二筐体３０は、第二フランジ部３２と第三フランジ部３３を連結する筒状部３０ａを有する。本実施形態においては、第二フランジ部３２、筒状部３０ａ、および第三フランジ部３３は一体に形成されている。なお、第二フランジ部３２、筒状部３０ａ、および第三フランジ部３３は別個に形成され、ボルト等の締結部材によって一体にされることで第二筐体３０を構成するものであってもよい。また、筒状部３０ａがさらに別個に構成された部材を連結することで構成されるものであってもよい。

【0043】

図３に示すように、第二筐体３０の第二内部空間Ａ２には、図示されない電源から接地電位に対して互いに異なる電位がそれぞれ印加される第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、第三電極３１ｃの三枚の電極から構成される引出電極群３１が収容されている。本実施形態においては、第一筐体２０に近いものから、第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、第三電極３１ｃの順に配置されおり、第一電極３１ａは特許文献１（特開２０１６－９１７９５）における加速電極に相当する。

【0044】

また、第二内部空間Ａ２には、引出電極群３１に加え、引出電極群３１を保持する電極保持部材３４、および、引出電極群３１と電極保持部材３４を第二筐体３０から絶縁させた状態で第二筐体３０内に配置する絶縁保持部材３５が収容されている。

【0045】

本実施形態においては、電極保持部材３４は、第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、および第三電極３１ｃの幅方向両側の端部をそれぞれ保持する第一保持部３４ａ、第二保持部３４ｂ、および第三保持部３４ｃにより構成されている。

【0046】

また、絶縁保持部材３５は、第一保持部３４ａ、第二保持部３４ｂ、および第三保持部３４ｃと第二筐体３０の内周面とをそれぞれ絶縁する、第一絶縁保持部３５ａ、第二絶縁保持部３５ｂ、および第三絶縁保持部３５ｃにより構成されている。

【0047】

第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、および第三電極３１ｃは、電極保持部材３４および絶縁保持部材３５によって、互いに絶縁され、かつ互いに所定の間隔を維持した状態で第二内部空間Ａ２に配置される。

【0048】

電極保持部材３４および絶縁保持部材３５は、本実施形態の構成に限定されるものではなく、第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、および第三電極３１ｃを所定位置に固定できるとともに互いに絶縁できる構成であればよい。すなわち、電極保持部材３４および絶縁保持部材３５は、第一電極３１ａ、第二電極３１ｂ、および第三電極３１ｃに所定の電位を印加できるように構成されていればどのような構成であってもよい。

【0049】

図２に示すように、第一筐体２０の本体部２１は、直方体形状に形成されている。そして、第一のイオン源１０Ａは本体部２１の長手方向Ｄを鉛直方向（各図中のＺ方向）に一致させた状態でイオン源取付部２ａに取り付けられている。

【0050】

第二筐体３０の第二フランジ部３２には、図２に示す第一筐体２０が第二筐体３０に固定された状態において、本体部２１を挟んだ幅方向両側のそれぞれに、長手方向Ｄに沿って５個の第一の固定装置４０が並ぶよう、計１０個の第一の固定装置４０が配置されている。
なお、本実施形態における第一のイオン源１０Ａは、第一の固定装置４０を１０個備えているが、第一の固定装置４０の数は適宜変更してよい。また、各第一の固定装置４０が配置される位置も本実施形態の配置に限定されるものではない。第一の固定装置４０の個数および配置位置は、第一筐体２０を第二筐体３０に固定できるものであれば、どのようなものであってもよい。

【0051】

第二フランジ部３２にはさらに、後述する第一筐体２０に発生するサージ電流から電源１１や第一のイオン源１０Ａを構成する回路を保護するためのサージ対策部品５０が複数配置されている。本実施形態におけるサージ対策部品５０はセラミックコンデンサであるが、これに限定されるものではない。例えば、サージ対策部品５０はサージアブソーバであってもよい。

【0052】

本実施形態においては、一つの第一の固定装置４０に対して一つのサージ対策部品５０が近接するように配置されている。すなわち、第一のイオン源１０Ａでは、第一筐体２０が第二筐体３０に固定された状態において、本体部２１を挟んだ第二フランジ部３２の幅方向両側のそれぞれに、長手方向Ｄに沿って５個のサージ対策部品５０が並ぶように、計１０個のサージ対策部品５０が配置されている。

【0053】

本実施形態における第一の固定装置４０は、エア式クランプであり、図３に示すように、第一筐体２０の第一フランジ部２２に接触して第一筐体２０を第二筐体３０に固定する第一の固定部材４１を備える。また、第一の固定装置４０は、第一の固定部材４１を移動させる駆動機構部４２をさらに備えている。後述するように、第一の固定部材４１は、駆動機構部４２によって、離脱位置Ｐ１から途中位置Ｐ２を経由して固定位置Ｐ３に至り、反対に、固定位置Ｐ３から途中位置Ｐ２を経由して離脱位置Ｐ１に至るように動作する。

【0054】

図４Ａ～Ｃはそれぞれ、第一の固定部材４１が離脱位置Ｐ１、途中位置Ｐ２、固定位置Ｐ３にある状態を示す第一の固定装置４０の側面図である。図４Ａ～Ｃには、第一の固定装置４０に加え、第一筐体２０の第一フランジ部２２の一部、第二筐体３０の第二フランジ部３２の一部、サージ対策部品５０、および、後述するサージ対策部品５０を支持する支持部材５２も示されている。また、図４Ａ～Ｃには、駆動機構部４２を動作させるコントローラ６０が模式的に示されている。

【0055】

図４Ａ～Ｃに示すように、第一の固定部材４１は、第一の固定部材４１と、第一の固定部材４１を移動させる駆動機構部４２を備えている。第一の固定部材４１は、略直方体形状で絶縁体により形成された第一のブロック体４１ａと、第一のブロック体４１ａの底面および側面の一部を覆うよう断面コ字状の樋状に形成された第一の導電部４１ｂにより構成されている。第一のブロック体４１ａと第一の導電部４１ｂは螺子（不図示）によって固定されている。本実施形態においては、第一のブロック体４１ａはＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の絶縁性を有する合成樹脂により形成され、第一の導電部４１ｂはステンレス等の金属により形成されているが、これに限定されるものではない。

【0056】

駆動機構部４２は、第二フランジ部３２に固定される台座部４２ａと、台座部４２ａ内に配置されたエアシリンダ（不図示）によって昇降可能とされており、一端部が第一のブロック体４１ａを介して第一の固定部材４１に固定される軸部４２ｂと、を有している。

【0057】

本実施形態における第一の固定装置４０は、所謂スイングタイプのクランプであり、軸部４２ｂが軸部４２ｂの軸方向Ｒに沿って昇降可能であるとともに、軸方向Ｒ中心に回転動作可能であるように構成されている。

【0058】

台座部４２ａと軸部４２ｂはともに金属により形成され、電気伝導性を有しており、軸部４２ｂと第一の固定部材４１とは、絶縁体の第一のブロック体４１ａの内部でのみ接触している。つまり、第一の固定部材４１は、第一の導電部４１ｂと軸部４２ｂとが接触することがない状態で、軸部４２ｂに固定されている。また、第一の固定装置４０は、駆動機構部４２が動作する間においても、第一の導電部４１ｂと軸部４２ｂ、および第一の導電部４１ｂと台座部４２ａとが接触することがないよう構成されている。これによって第一の固定部材４１と駆動機構部４２との絶縁が確保されている。

【0059】

駆動機構部４２は遠隔操作されることによって駆動する。より詳細には、駆動機構部４２は、図４Ａ～Ｃに模式的に示された第一のイオン源１０Ａから離れた位置に配置されたコントローラ６０からの信号を受けて動作するよう構成されている。本実施形態におけるコントローラ６０は、各第一の固定装置４０の駆動機構部４２が同時に同一の動作を行うよう、第一のイオン源１０Ａが有するすべての第一の固定装置４０を制御する。これにより、作業者はひとつのコントローラ６０を操作することで、すべての第一の固定装置４０を同時に作動させることができる。

【0060】

本実施形態におけるサージ対策部品５０は、一側端部５０ａと他側端部５０ｂを有している。一側端部５０ａと他側端部５０ｂは、電気回路におけるサージ対策部品５０の両端部を指し、サージ対策部品５０の形状に基づく両端部を指すものではない。本実施形態におけるサージ対策部品５０の一側端部５０ａと他側端部５０ｂはそれぞれ、セラミックコンデンサの一側の端子および他側の端子と捉えてよい。

【0061】

本実施形態においては、サージ対策部品５０は、第二フランジ部３２に固定された支持部材５２に支持された状態で第二フランジ部３２に配置されている。支持部材５２は金属等の導電性材料により形成されている。サージ対策部品５０は、一側端部５０ａが支持部材５２に電気的に接続されている。サージ対策部品５０と一側端部５０ａとの接続構造は限定されるものではないが、例えば、支持部材５２に雌型端子を設け、一側端部５０ａを雄型端子として、雄雌嵌合させるように接続させてもよい。

【0062】

本第一実施形態におけるサージ対策部品５０は、第二筐体３０と直接または間接的に電気的に接続された状態で、直接第二フランジ部３２に配置されていればよく、支持部材５２を介して第二筐体３０と電気的に接続される構成に限定されるものではない。

【0063】

サージ対策部品５０の他側端部５０ｂは、各サージ対策部品５０の近傍に配置された第一の固定装置４０の第一の導電部４１ｂと接続部材５１によって予め電気的に接続されている。なお、本実施形態における接続部材５１は電線であるが、これに限定されるこのではない。

【0064】

したがって、サージ対策部品５０の他側端部５０ｂと第一筐体２０とが電気的に接続されると、第一筐体２０と第二筐体３０とがサージ対策部品５０を介して電気的に接続されることになる。

【0065】

また、図４Ｃに示すように、第一の固定部材４１が固定位置Ｐ３にあるときには、第一の導電部４１ｂが第一筐体２０の第一フランジ部２２に接触し、第一の導電部４１ｂと第一筐体２０とが電気的に接続されることになる。

【0066】

したがって、第一のイオン源１０Ａは、第一の固定部材４１が固定位置Ｐ３にあるときには、他側端部５０ｂが、第一の導電部４１ｂおよび接続部材５１を介して第一筐体２０に電気的に接続される接続状態となる。これにより、第一筐体２０にサージ電流が発生した場合、サージ電流は第一筐体２０から、サージ対策部品５０を介して第二筐体３０に流れるようになる。つまり、当該異常電はサージ対策部品５０によって所定の回路に流されることから、例えば、電源１１にサージ電流が流れることによって電源１１が故障する等の不具合の発生が回避される。

【0067】

接続部材５１は、第一の固定装置４０が動作する間に第一の固定部材４１および駆動機構部４２の動作に追従し、第一の導電部４１ｂとサージ対策部品５０との電気的接続を維持できるよう、余長を有して配線されている。

【0068】

本実施形態における第一の固定装置４０は、エア式クランプに限定されず、例えば、油圧式クランプであってもよい。また、本実施形態における第一の固定装置４０は、所謂スイングタイプの動作を行うクランプ装置であるが、これに限定されず、例えば、所謂リンクタイプの動作を行うクランプ装置であってもよい。第一の固定装置４０は、第一のイオン源１０Ａの構成や大きさ、重量等に応じて適切な構成を採用すればよい。

【0069】

次に、第一の固定装置４０の動作、および、第一筐体２０を第二筐体３０に対して固定および着脱させる作業について説明する。
第一筐体２０を第二筐体３０に固定する場合には、作業者はまず、第一フランジ部２２を、第二フランジ部３２の図５に破線で示す載置領域Ｂに合わせるように、第二筐体３０上に載置する。このとき、図４Ａに示すように、第一の固定部材４１は離脱位置Ｐ１にあり、第一筐体２０は第一の固定部材４１に干渉することなく第二筐体３０に載置される。

【0070】

続いて、作業者はコントローラ６０を操作して、第一の固定部材４１を図４Ｂに示す途中位置Ｐ２に移動させる。この間、第一の固定部材４１は、軸部４２ｂが軸方向Ｒに沿って回転動作するのに伴って回転動作し、第一の固定部材４１が第一フランジ部２２の上方に位置する途中位置Ｐ２に移動する。

【0071】

その後、第一の固定部材４１は、軸部４２ｂが軸方向Ｒに沿って下降するのに伴って第一フランジ部２２に向かって下降し、第一筐体２０を第二筐体３０に固定する図４Ｃに示す固定位置Ｐ３に移動する。第一の固定部材４１が固定位置Ｐ３にある状態では、第一の固定部材４１が第一フランジ部２２の被接触部２２ａを第二フランジ部３２に向けて押圧することで第一筐体２０を第二筐体３０に固定する。

【0072】

この動作に伴い、第一のイオン源１０Ａは、第一筐体２０とサージ対策部品５０の他側端部５０ｂとが、第一の固定装置４０の一部である第一の導電部４１ｂ、および接続部材５１を介して電気的に接続された接続状態となる。

【0073】

また、第一の固定部材４１が固定位置Ｐ３にあるときに、第一の固定部材４１は第一筐体２０に押圧力を加えているが、これは、駆動機構部４２が、第一の固定部材４１を介して第一筐体２０に当該押圧力を加えていると捉えてもよい。

【0074】

本実施形態においては、第一の固定部材４１は、第一のブロック体４１ａの底面に配置された第一の導電部４１ｂを介して第一筐体２０の被接触部２２ａを押圧している。すなわち、第一の固定部材４１が固定位置Ｐ３にあるときには、第一の導電部４１ｂは、駆動機構部４２から第一筐体２０に向けた押圧力を加えられた状態で第一筐体２０に接触している。したがって、第一の導電部４１ｂと第一筐体２０との接触がより確実なものとなり、第一筐体２０とサージ対策部品５０とをより確実に電気的に接続させることができる。

【0075】

図５は、第一筐体２０が第二筐体３０から取り外された状態を示す第一のイオン源１０Ａの斜視図である。
イオン注入装置１を運転するのに伴って、作業者は、フィラメント２３の交換作業や第一筐体２０内部の清掃作業等のメンテナンス作業を行う必要がある。この場合、第一のイオン源１０Ａ全体をイオン輸送部２から取り外すと大掛かりな作業となる。そこで、第二筐体３０がイオン輸送部２に固定された状態で、第一筐体２０を第二筐体３０から取り外し、メンテナンス作業を行う場合がある。

【0076】

このようなメンテナンス作業を行う場合には、作業者は、イオン注入装置１の運転を停止させた後、まず、コントローラ６０を操作して、第一の固定部材４１を固定位置Ｐ３から離脱位置Ｐ１に移動させる。これによって、第一筐体２０は第二筐体３０から離脱し得る状態となる。この動作に伴い、第一のイオン源１０Ａは、第一筐体２０とサージ対策部品５０の他側端部５０ｂとの、第一の固定装置４０の一部である第一の導電部４１ｂ、および接続部材５１を介した電気的接続が解除された解除状態となる。
この間の第一の固定装置４０の動作は、前述の第一の固定部材４１が離脱位置Ｐ１から固定位置Ｐ３に至る動作と単に反対の動作をするのみであるため、その説明は省略する。

【0077】

その後、クレーン（不図示）等を使用して第一筐体２０を支持しつつ、図５に示すように第一筐体２０を第二筐体３０から離脱させる。そして、メンテナンス作業を行った後、先ほどとは反対の動作を行って第一筐体２０を第二筐体３０に固定させる。

【0078】

本実施形態における第一のイオン源１０Ａおよびイオン注入装置１においては、第一筐体２０と第二筐体３０とは互いに絶縁保持部材３５により電気的に絶縁された状態で第一の固定装置４０により固定されている。さらに、第二筐体３０の第二フランジ部３２には、複数の第一の固定装置４０と複数のサージ対策部品５０が配置されている。

【0079】

そして、サージ対策部品５０の一側端部５０ａが第二筐体３０に電気的に接続されており、第一の固定装置４０が第一筐体２０を第二筐体３０に固定するのに伴って、第一筐体２０とサージ対策部品５０の他側端部５０ｂとが第一の固定装置４０の第一の導電部４１ｂおよび接続部材５１を介して電気的に接続される。

【0080】

ここで、第一のイオン源１０Ａの運転中、すなわちイオン注入装置１の運転中には、第一筐体２０の本体部２１の内壁や第二筐体３０内に、図３に模式的に示す導電性を有する絶縁性の生成物７０が経時的に堆積する。生成物７０は、例えば、第一筐体２０内でプラズマが生成するのに伴って生成する物質や、イオンビームＩＢが第一のイオン源１０Ａ内の引出電極群３１や電極保持部材３４等をスパッタリングすることによって発生する物質を含んでいてよく、特定の物質に限定されない

【0081】

この絶縁性の生成物７０が引出電極群３１やその周囲に堆積し、帯電していった結果、異常放電が発生する。このような場合、引出電極群３１に放電が発生し、瞬間的にサージ電流が電源に流れてしまい、電源の故障を引き起こすなどの不具合が生じる恐れがある。これに対し、第一のイオン源１０Ａにおいては、瞬間的に発生するサージ電流を第一筐体２０からサージ対策部品５０および第一の固定装置４０の一部である第一の導電部４１ｂを介して第二筐体３０側に流すようにしている。また、第一のイオン源１０Ａにおいては、サージ対策部品５０が所定の位置に複数配置されていることにより、第一筐体２０に発生したサージ電流が意図しない回路に流れることや電源１１に流れることがより確実に防止されている。

【0082】

本実施形態においては、第一の固定装置４０によって第一筐体２０を第二筐体３０に固定すると、第一筐体２０と第二筐体３０とがサージ対策部品５０を介して電気的に接続されることになる。また、第一の固定装置４０が第一筐体２０の第二筐体３０に対する固定を解除するのに伴って、第一筐体２０とサージ対策部品５０の他側端部５０ｂとの第一の固定装置４０を介した電気的接続が解除される。したがって、第一の固定装置４０により第一筐体２０と第二筐体３０の固定が解除されると、第一筐体２０とサージ対策部品５０との電気的接続も解除されることになる。

【0083】

すなわち、本実施形態によれば、従来は必要であった、第一筐体２０と第二筐体３０を固定した後に、第一筐体２０とサージ対策部品５０とを配線部材によって電気的に接続する作業が不要となる。また、従来は必要であった、第一筐体２０を第二筐体３０から離脱させる前に、第一筐体２０とサージ対策部品５０の電気的接続を解除する作業も不要となる。

【0084】

本実施形態によれば、従来必要であった第一筐体２０とサージ対策部品５０とを接続する作業、および当該接続を解除する作業が不要となることから、第一のイオン源１０Ａの組立作業またはメンテナンス作業における作業時間を短縮できる。特に、メンテナンス作業にかかる作業時間が短縮されると、イオン注入装置１を停止する期間が短縮されることになり、イオン注入装置１の基板Ｓを処理する処理効率も向上することになる。

【0085】

また、本実施形態によれば、第一筐体２０を第二筐体３０に固定した後、サージ対策部品５０と第一筐体２０とを接続し忘れてしまうことや、第一筐体２０を第二筐体３０から離脱させる前にサージ対策部品５０を第一筐体２０から外し忘れるという作業ミスの発生を防止できる。

【0086】

図６は、本実施形態における第一の固定装置４０の第一の変形例である第二の固定装置８０を示す側面図である。
第二の固定装置８０は、第二の固定部材８１、および第一の固定装置４０と共通する駆動機構部４２とを備えている。第二の固定装置８０は、第一の固定装置４０から第一の固定部材４１を第二の固定部材８１に置き換えたものと捉えてよい。

【0087】

第二の固定装置８０は、駆動機構部４２が駆動することによって、第一の固定装置４０と同様に、第二の固定部材８１が離脱位置Ｐ１と固定位置Ｐ３の間を、途中位置Ｐ２を経由して移動するように構成されている。図６は、第二の固定部材８１が固定位置Ｐ３にある状態を示している。

【0088】

図６に示すように、第二の固定装置８０における第二の固定部材８１は、ステンレス等の金属材料で形成あれた第二のブロック体８１ａと、側面視Ｌ字状の第二の導電部８１ｂ、第二のブロック体８１ａと第二の導電部８１ｂの間に介在し、第二のブロック体８１ａと第二の導電部８１ｂを絶縁する絶縁部８１ｃを有している。また、第二の固定部材８１は、第二の導電部８１ｂの端部に取り付けられた端子部８１ｄをさらに有している。

【0089】

また、第一フランジ部２２には、第二の固定部材８１が固定位置Ｐ３にあるときに、第二のブロック体８１ａに押圧される被押圧部２６が形成されている。被押圧部２６は、ＰＥＥＫ材等の絶縁性材料により形成されており、第二の固定部材８１が固定位置Ｐ３にあるときに、第一フランジ部２２と第二のブロック体８１ａは電気的に絶縁されている。
なお、第一フランジ部２２に被押圧部２６を形成する代わりに、第二のブロック体８１ａの底面に絶縁材料により形成された部材を配置することによって、第一フランジ部２２と第二のブロック体８１ａとの絶縁を確保してもよい。

【0090】

第二の固定装置８０においても、駆動機構部４２の軸部４２ｂと第二の導電部８１ｂとが電気的に絶縁されるように、第二の固定部材８１は軸部４２ｂに取り付けられている。また、第二の固定装置８０においても、第二の導電部８１ｂと他側端部５０ｂとが接続部材５１により電気的に接続されている。なお、本実施形態においても接続部材５１は電線であるが、これに限定されるものではない。

【0091】

本変形例における端子部８１ｄは弾性を有する例えば板状の弾性接触端子であり、第一フランジ部２２に形成された接点部２７と弾性接触するように構成されている。なお、端子部８１ｄは板状端子に限定されず、例えば、コイルスプリング状でもよく、弾性を有することにも限定されない。端子部８１ｄは、接点部２７と確実に電気的に接続される構成であればよい。

【0092】

また、本変形例における接点部２７は第一フランジ部２２に取り付けられた金属等の導電性材により形成された部材により形成されているが、第一フランジ部２２の一部分であってもよい。また、第二の導電部８１ｂに端子部８１ｄを設ける代わりに、第一フランジ部２２に弾性接触端子（不図示）を配置し、当該弾性接触端子と第二の導電部８１ｂとを電気的に接続するように構成としてもよい。

【0093】

図７は、本実施形態における第一の固定装置４０の第二の変形例である第三の固定装置９０を示す側面図である。
第三の固定装置９０は、第三の固定部材９１、および第一の固定装置４０と共通する駆動機構部４２とを備えている。第三の固定装置９０は、第一の固定装置４０から第一の固定部材４１を第二の固定部材８１に置き換えたものと捉えてよい。

【0094】

第三の固定装置９０は、駆動機構部４２が駆動することによって、第一の固定装置４０と同様に、第二の固定部材８１が離脱位置Ｐ１と固定位置Ｐ３の間を、途中位置Ｐ２を経由して移動するように構成されている。図７は、第三の固定部材９１が固定位置Ｐ３にある状態を示している。

【0095】

第三の固定装置９０は、第二フランジ部３２に配置された絶縁固定部材２８を介して、第二フランジ部３２に固定される。絶縁固定部材２８は、ＰＥＥＫ等の絶縁材料により構成されており、絶縁固定部材２８によって、第三の固定装置９０と第二フランジ部３２とが絶縁されている。つまり、第三の固定部材９１は、第三の固定部材９１の全体が第二筐体３０から電気的に絶縁された状態で、第二筐体３０に配置されている。

【0096】

第三の固定装置９０において、第三の固定部材９１は、ステンレス等の金属材料により形成された第三のブロック体９１ａにより構成されている。また、第三のブロック体９１ａは電気的に接続された状態で駆動機構部４２に取り付けられている。

【0097】

本変形例においては、サージ対策部品５０の他側端部５０ｂと、駆動機構部４２が有する台座部４２ａとが接続部材５１により電気的に接続されている。本実施形態においても接続部材５１は電線であるが、これに限定されるものではない。

【0098】

本変形例は、第一筐体２０とサージ対策部品５０を第三の固定装置９０を介して接続するものであり、サージ対策部品５０の他側端部５０ｂは台座部４２ａと電気的に接続されている形態に限らず、例えば第三のブロック体９１ａに接続されていてもよい。

【0099】

本変形例においては、第三のブロック体９１ａがステンレス等の金属により形成されていることによって、より確実に第一筐体２０を第二筐体３０に固定させることができる。

【0100】

また、本実施形態の第一のイオン源１０Ａは、本体部２１の長手方向Ｄを鉛直方向に一致させた状態でイオン注入装置１のイオン源取付部２ａに取り付けられるよう構成される。また、第一のイオン源１０Ａにおいては、複数の第一の固定装置４０および複数のサージ対策部品５０が、長手方向Ｄに沿って配置されている。

【0101】

このような構成の場合、従来では、メンテナンス作業時等において、作業者が鉛直方向に並んで配置されたサージ対策部品５０と第一筐体２０とを電線等の配線部材により順次接続する作業が発生していた。この作業は、装置が大型化するにつれて、当該作業をより高い位置で行う必要があり、作業効率がさらに低下していた。

【0102】

これに対し、本実施形態の構成によれば、第一の固定装置４０の駆動機構部４２が遠隔操作されることによって駆動されることから、作業者は第一のイオン源１０Ａから離れた位置においてコントローラ６０を操作することによって、第一筐体２０の第二筐体３０に対する固定および当該固定の解除を行うことができる。これにより、前述の作業効率が向上するのに加え、作業の安全性も確保されることになる。

【0103】

本実施形態においては、サージ対策部品５０は支持部材５２に支持された状態で、第一の固定部材４１とは別個に配置されているが、サージ対策部品５０は、第一の固定部材４１に固定されている構成であってもよい。例えば、サージ対策部品５０を台座部４２ａに固定させるともに、サージ対策部品５０の一側端部５０ａと台座部４２ａとを電気的に接続させる構成であってもよい。この場合、第一筐体２０とサージ対策部品５０とは、台座部４２ａを介して電気的に接続されることになる。

【0104】

次に、本発明の第二実施形態である第二のイオン源１０Ｂについて説明する。
第二のイオン源１０Ｂは、イオン注入装置１において第一のイオン源１０Ａと置き換えて使用可能である。また、第一実施形態の第一のイオン源１０Aと共通する構成要素については第一実施形態と共通する符号を付与し、その説明を省略する。

【0105】

第二のイオン源１０Ｂは、図２に示された位置と同じ位置に配置された複数の第一の固定装置４０を備え、各第一の固定装置４０は第一実施形態と同一の動作を行う。また、第二のイオン源１０Ｂにおいては、図２に示された各サージ対策部品５０が、第一筐体２０の第一フランジ部２２に配置されており、この点が第一のイオン源１０Ａとの主な違いである。

【0106】

図８は、第二のイオン源１０Ｂの一部を示す側面図であり、より詳細には、第二のイオン源１０Ｂが備える第一の固定装置４０が固定位置Ｐ３にある状態を示している。
図８に示すように、第二のイオン源１０Ｂは、第一フランジ部２２上に固定され、絶縁体により形成された板状の第二支持部材２９と、第二支持部材２９の上面に配置された導電性材料により形成された第二被接触部２２ｂを有する。

【0107】

また、第二支持部材２９にはサージ対策部品５０が支持されており、サージ対策部品５０は、一側端部５０ａが第一フランジ部２２に、他側端部５０ｂが第二被接触部２２ｂに電気的に接続されている。

【0108】

第二のイオン源１０Ｂにおいては、第一の固定装置４０の第一の導電部４１ｂは、第一実施形態と異なり、電線である接続部材５１によって第二フランジ部３２に、サージ対策部品５０を介することなく、直接接続されている。

【0109】

第二のイオン源１０Ｂにおいては、第一筐体２０の第一フランジ部２２と第二被接触部２２ｂとが、サージ対策部品５０を介して電気的に接続されている。また、第一の固定装置４０の第一の導電部４１ｂと第二筐体３０の第二フランジ部３２とが電気的に接続されている。つまり、第一の導電部４１ｂが第二被接触部２２ｂに接触すると、第一筐体２０と第二筐体３０とが、サージ対策部品５０および第二被接触部２２ｂを介して、電気的に接続されることになる。

【0110】

したがって、第二のイオン源１０Ｂにおいては、第一の固定装置４０が固定位置Ｐ３にあるときには、第一筐体２０と第二筐体３０とが、サージ対策部品５０および第二被接触部２２ｂを介して、電気的に接続される。また、第一の固定装置４０が離脱位置Ｐ１にあるときには、第一筐体２０と第二筐体３０との電気的接続が解除される。

【0111】

このように、サージ対策部品５０は、第一実施形態のように第二筐体３０に配置されていること限らず、第二実施形態のように第一筐体２０に配置することができる。また、第二のイオン源１０Ｂは、第一のイオン源１０Ａが奏する作用効果を同様に奏することは明らかであるから、その説明は省略する。

【0112】

また、本発明は前記実施形態および前記変形例に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0113】

Ｓ 基板
ＩＢ イオンビーム
Ａ１ 第一内部空間
Ａ２ 第二内部空間
１ イオン注入装置
１０Ａ 第一のイオン源
１０Ｂ 第二のイオン源
２０ 第一筐体
２１ 本体部
２２ 第一フランジ部
３０ 第二筐体
３１ 引出電極群
３４ 保持部材
４０ 第一位の固定装置
４１ 第一の固定部材
４１ａ 第一のブロック体
４１ｂ 第一の導電部
４２ 第一の駆動機構部
４２ａ 第一の台座部
４２ｂ 第一の軸部
５０ サージ対策部品
５０ａ 一側端部
５０ｂ 他側端部
５１ 電線
６０ コントローラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】