特開 2024-56437 コーティング装置、およびコーティング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024056437

(43)【公開日】2024-04-23

(54)【発明の名称】コーティング装置、およびコーティング方法

(51)【国際特許分類】

   B05B 1/34 20060101AFI20240416BHJP

   B05B 1/02 20060101ALI20240416BHJP

   B05B 7/10 20060101ALI20240416BHJP

   B05B 13/02 20060101ALI20240416BHJP

   B05B 15/60 20180101ALI20240416BHJP

   B05D 1/02 20060101ALI20240416BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20240416BHJP

【ＦＩ】

B05B1/34 101

B05B1/02

B05B7/10

B05B13/02

B05B15/60

B05D1/02 Z

B05D3/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022163304

(22)【出願日】2022-10-11

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）平成２６年度、国立研究開発法人科学技術振興機構、戦略的創造研究推進事業「研究総括」委託研究、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】000117009

【氏名又は名称】旭サナック株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】504145342

【氏名又は名称】国立大学法人九州大学

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】弁理士法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】▲瀬▼川 大司

(72)【発明者】

【氏名】明永 裕樹

(72)【発明者】

【氏名】宮地 計二

(72)【発明者】

【氏名】星野 友

【テーマコード（参考）】

4D073

4D075

4F033

4F035

【Ｆターム（参考）】

4D073AA01

4D073BB01

4D073BB03

4D073CA20

4D073CB02

4D073CB06

4D075AA01

4D075AA39

4D075AA51

4D075AA71

4D075AA76

4D075AA81

4D075BB57Y

4D075BB91Y

4D075CA47

4D075CA48

4D075DA04

4D075DC19

4D075EA05

4D075EA45

4F033AA01

4F033BA03

4F033CA01

4F033DA05

4F033EA06

4F033JA08

4F033KA03

4F033NA01

4F033QA01

4F033QB02Y

4F033QB03X

4F033QB12Y

4F033QB13Y

4F033QB18

4F033QC03

4F033QD02

4F033QD10

4F033QD19

4F033QE05

4F033QE14

4F033QE23

4F033QF07Y

4F033QF08X

4F035CA02

4F035CA04

4F035CB01

4F035CB13

4F035CC01

4F035CC04

(57)【要約】

【課題】塗膜の膜厚のバラつきを抑制できる。
【解決手段】所定の搬送方向に搬送される作業対象物５０の主面５０Ａにコーティングを施すコーティング装置１０であって、搬送方向に交わる幅方向に沿って設けられ、主面５０Ａに塗布液を噴霧する複数のノズル３０を備え、複数のノズル３０の各々は、塗布液が主面５０Ａと交わる軸周りに旋回する旋回流を含んで噴霧されるように構成されており、複数のノズル３０は、第１回転方向に旋回する旋回流を噴霧する複数の第１ノズル３０Ａと、第１回転方向と反対向きの第２回転方向に旋回する旋回流を噴霧する複数の第２ノズル３０Ｂと、を含んでいる。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の搬送方向に搬送される作業対象物の主面にコーティングを施すコーティング装置であって、
前記搬送方向に交わる幅方向に沿って設けられ、前記主面に塗布液を噴霧する複数のノズルを備え、
前記複数のノズルの各々は、前記塗布液が前記主面と交わる軸周りに旋回する旋回流を含んで噴霧されるように構成されており、
前記複数のノズルは、第１回転方向に旋回する前記旋回流を噴霧する複数の第１ノズルと、前記第１回転方向と反対向きの第２回転方向に旋回する前記旋回流を噴霧する複数の第２ノズルと、を含んでいるコーティング装置。

【請求項2】

前記複数の第１ノズル及び前記複数の第２ノズルは、前記幅方向について交互に配置されている請求項１に記載のコーティング装置。

【請求項3】

前記複数の第１ノズル及び前記複数の第２ノズルは、前記幅方向について交互に千鳥配列で配置されている請求項１に記載のコーティング装置。

【請求項4】

前記複数の第１ノズル及び前記複数の第２ノズルは、各々が第１間隔を空けて配置されており、前記複数の第１ノズルは、前記複数の第２ノズルから前記搬送方向について第２間隔を空けて配置されており、前記第２間隔は、前記第１間隔に０．２５を乗じた値以上である請求項３に記載のコーティング装置。

【請求項5】

前記複数のノズルの各々と接続され、これらに前記塗布液を供給する液供給路と、
前記複数のノズルの各々と接続され、これらに圧縮ガスを供給するガス供給路と、を備え、
前記複数のノズルの各々は、
前記液供給路からの前記塗布液を噴出する液噴出口と、
前記ガス供給路からの前記圧縮ガスを噴出する複数のガス噴出口と、
前記圧縮ガスの流通方向について前記ガス噴出口の上流側に設けられ、前記ガス噴出口と連通する複数のガス中継口であって、その数が前記ガス噴出口の数よりも多いガス中継口と、を有する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のコーティング装置。

【請求項6】

長尺状の前記作業対象物を前記複数のノズルに向かって送り出す第１ロールと、
前記複数のノズルによってコーティングが施された前記作業対象物を巻き取る第２ロールと、を備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のコーティング装置。

【請求項7】

作業対象物を所定の搬送方向に搬送し、
搬送される前記作業対象物の主面に対して、前記主面と交わる軸周りに旋回する旋回流に沿って塗布液を噴霧し、
前記旋回流は、前記搬送方向に交わる幅方向に沿って複数形成されており、
前記複数の旋回流は、第１回転方向に旋回する第１旋回流と、前記第１回転方向と反対向きの第２回転方向に旋回する第２旋回流と、を含むように形成されているコーティング方法。

【請求項8】

前記第１旋回流及び前記第２旋回流は、前記幅方向について交互に並んで形成されている請求項７に記載のコーティング方法。

【請求項9】

前記第１旋回流及び前記第２旋回流は、前記幅方向について交互に千鳥配列で並んで形成されている請求項７に記載のコーティング方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本技術は、コーティング装置、およびコーティング方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、連続的に搬送されるフィルム状等の作業対象物（ワーク）に対して塗布液を噴霧することで、撥水膜、絶縁膜、光学膜等の薄膜を成膜するコーティング技術が知られている。このようなスプレー法によるコーティングは、ワークの表面に微細な凹凸加工が施されている場合であっても、凹凸に追従した緻密な成膜が可能であり、生産性にも優れている利点がある。

【0003】

特許文献１には、その一例として、フレキシブルプリント配線板用基板をロールｔｏロール方式で水平方向に沿って搬送しつつ、当該基板に各薬液（現像液、エッチング液、剥離液）を噴霧するスプレー式水平搬送処理装置が開示されている。特許文献１に記載の処理装置は、基板に噴霧される各薬液の接触時間を調整するために、薬液を遮蔽する可動性の遮蔽板を備える。遮蔽板によれば、各工程の処理時間を容易に調整できるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３－２８３１０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところでスプレー法によるコーティングにおいて、ワークに塗布液を噴霧するノズルは、一つだけではなく、複数設けられる。塗布液は、各ノズルから噴霧されるため、複数のノズルからの微粒化された塗布液の流れが互いに干渉すると、塗りムラが生じてしまうことがある。その結果、ワークに成膜された薄膜（塗膜）は、膜厚にバラつきが生じ、機能低下や欠陥の原因となってしまう。

【0006】

本願明細書に記載の技術は上記のような実情に基づいて完成されたものであって、塗膜の膜厚のバラつきを抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本願明細書に記載の技術に関わるコーティング装置は、所定の搬送方向に搬送される作業対象物の主面にコーティングを施すコーティング装置であって、前記搬送方向に交わる幅方向に沿って設けられ、前記主面に塗布液を噴霧する複数のノズルを備え、前記複数のノズルの各々は、前記塗布液が前記主面と交わる軸周りに旋回する旋回流を含んで噴霧されるように構成されており、前記複数のノズルは、第１回転方向に旋回する前記旋回流を噴霧する複数の第１ノズルと、前記第１回転方向と反対向きの第２回転方向に旋回する前記旋回流を噴霧する複数の第２ノズルと、を含んでいる。

【0008】

また、本願明細書に記載の技術に関わるコーティング方法は、作業対象物を所定の搬送方向に搬送し、搬送される前記作業対象物の主面に対して、前記主面と交わる軸周りに旋回する旋回流に沿って塗布液を噴霧し、前記旋回流は、前記搬送方向に交わる幅方向に沿って複数形成されており、前記複数の旋回流は、第１回転方向に旋回する第１旋回流と、前記第１回転方向と反対向きの第２回転方向に旋回する第２旋回流と、を含むように形成されている。

【発明の効果】

【0009】

本技術によれば、塗膜の膜厚のバラつきを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態１に係るコーティング装置の模式図

【図2】スプレーユニットの斜視図

【図3】スプレーユニットの底面図

【図4】スプレーユニットの供給部の分解斜視図

【図5】図２のＡ－Ａ線断面図（液供給路を示す断面図）

【図6】図２のＢ－Ｂ線断面図（ガス供給路を示す断面図）

【図7】ノズル接続部の上面図

【図8】ノズル本体部の上面図

【図9】ノズル本体部の下面図

【図10】第１ノズルのノズル本体を図２のＣ－Ｃ線位置で切断した断面図

【図11】第２ノズルのノズル本体を図２のＣ－Ｃ線位置で切断した断面図

【図12】実施例１によって形成される旋回流の説明図

【図13】実施例２によって形成される旋回流の説明図

【図14】実施例３によって形成される旋回流の説明図

【図15】比較例１によって形成される旋回流の説明図

【図16】比較例２によって形成される旋回流の説明図

【図17】比較例３によって形成される旋回流の説明図

【図18A】実施例１によって噴霧された塗布液の写真

【図18B】実施例２によって噴霧された塗布液の写真

【図18C】比較例１によって噴霧された塗布液の写真

【図18D】比較例２によって噴霧された塗布液の写真

【図19A】実施例１によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【図19B】実施例２によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【図19C】比較例１によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【図19D】比較例２によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【図20A】実施例３によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【図20B】比較例３によって塗布された塗膜の膜厚のバラつきを示すグラフ

【発明を実施するための形態】

【0011】

＜実施形態１＞
実施形態１に係るロールｔｏロール薄膜コーティング装置１０（以下、単に「コーティング装置１０」と言う）について図１から図２０Ｂを参照して説明する。一部の図面には、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を示しており、各軸方向が各図で共通した方向となるように描かれている。また、Ｘ軸方向を搬送方向、Ｙ軸方向を幅方向、Ｚ軸方向を上下方向とする。

【0012】

コーティング装置１０は、搬送される長尺状のワーク５０（作業対象物、例えばフィルム状のフレキシブル基板）に対して、複数のスプレー式のノズル３０から塗布液（例えばカラーレジスト液）を噴霧することで、ワーク５０に薄膜である塗膜（例えばレジスト膜）を形成するコーティングを施す。コーディング装置１０は、図１に示すように、ワーク５０をノズル３０に向かって送り出す巻き出しロール１１（第１ロール）と、ノズル３０によってコーティングが施されたワーク５０を巻き取る巻き取りロール１２（第２ロール）と、を備える。２つのロール１１、１２によって、ワーク５０の主面５０Ａが上方を向いた状態で、所定の搬送方向（Ｘ軸方向）に連続的に搬送される。

【0013】

またコーディング装置１０は、図１に示すように、２つのロール１１、１２の間に設置されるスプレーユニット１５と、第１供給管１３と、第２供給管１４と、塗布液が貯留される液容器１６と、液ポンプ１７と、液バルブ１８と、制御部１９と、を備える。スプレーユニット１５は、複数のノズル３０を有し、塗布液を噴霧するユニットである。第１供給管１３は、スプレーユニット１５に塗布液を供給し、第２供給管１４は、スプレーユニット１５に高圧の圧縮ガス（具体的には圧縮エア）を供給するための配管である。第２供給管１４に対しては、外部の供給源（ガスタンク等）から圧縮ガスが供給されるものとされる。液ポンプ１７は、第１供給管１３の経路上に設けられ、液容器１６から塗布液をくみ上げて送液する、塗布液の搬送動力源である。液バルブ１８は、第１供給管１３の経路上において液ポンプ１７より下流側（スプレーユニット１５側）に設けられる、塗布液の供給と停止の切替手段である。制御部１９は、第２供給管１４への圧縮ガスの供給、及び液バルブ１８の開閉を制御する制御基板である。

【0014】

本実施形態では、液ポンプ１７、巻き出しロール１１、巻き取りロール１２は、制御部１９とは別の制御装置によって制御されているが、同一の制御部によって制御されていても構わない。また圧縮ガスの種類は、大気と同成分を有するエア以外（窒素ガス（N₂）、アルゴンガス（Ar）等）であっても構わず、塗布液の種類は、現像液、エッチング液、剥離液等の薬液以外であっても構わない。

【0015】

スプレーユニット１５は、図１及び図２に示すように、ワーク５０の搬送方向と交わる幅方向（Ｙ軸方向）に横長に延出しており、ワーク５０の主面５０Ａの上方に配置されている。スプレーユニット１５はおおまかには、塗布液を噴霧する複数（本実施形態では１０つ）のノズル３０と、供給部４０と、支持部２０と、から構成されている。ノズル３０、支持部２０、及び供給部４０は、この順に下から上に上下方向（Ｚ軸方向）に接続されている。ノズル３０は、全体として略円筒状をなし、幅方向に沿って複数設けられている。供給部４０には、第１供給管１３及び第２供給管１４が接続されている。供給部４０は、第１供給管１３からの塗布液、及び第２供給管１４からの圧縮ガスをノズル３０に供給する。支持部２０は、ノズル３０及び供給部４０が接続され、これらを支持している。以下、各部について詳しく説明する。

【0016】

供給部４０は、図４から図６に示すように、第１供給ブロック４１と、複数（本実施形態では８つ）の第２供給ブロック４２と、複数（本実施形態では１０つ）の第３供給ブロック４３と、２つのエンドプレート４４と、を備え、これらが幅方向に締結部材によって連結されている。

【0017】

第１供給ブロック４１は、図４から図６に示すように、板面（主面）がＸ－Ｚ面に沿う板状のブロック体であり、供給部４０の幅方向の略中央に１つ配置されている。第１供給ブロック４１には、その板厚方向（Ｙ軸方向）に沿って貫通する第１液流通口４１Ａ、及び第１ガス流通口４１Ｂが形成されている。また第１供給ブロック４１の側面には、第１供給管１３が接続されており、第１供給管１３からの塗布液は、第１液流通口４１Ａに流入するようになっている。さらに第１供給ブロック４１の上面には、第２供給管１４が接続されており、第２供給管１４からの圧縮ガスは、第１ガス流通口４１Ｂに流入するようになっている。

【0018】

第２供給ブロック４２は、図４から図６に示すように、板面（主面）がＸ－Ｚ面に沿う板状のブロック体であり、後述する第３供給ブロック４３の間に８つ配置されている。第２供給ブロック４２には、その板厚方向に沿って直線状に貫通する第２液流通口４２Ａ、及び第２ガス流通口４２Ｂが形成されている。

【0019】

第３供給ブロック４３は、図４から図６に示すように、板面がＸ－Ｚ面に沿う板状のブロック体である。第３供給ブロック４３は、ノズル３０の液噴出口３１Ｂ（図３）と上下方向に重なる位置に１０つ配置されている。第３供給ブロック４３には、その板厚方向（Ｙ軸方向、幅方向と一致）に沿って直線状に貫通する第３液流通口４３Ａ、及びＶ字状に貫通する第３ガス流通口４３Ｂが形成されている。第３液流通口４３Ａは、第１供給ブロック４１の第１液流通口４１Ａ、及び第２供給ブロック４２の第２液流通口４２Ａと連通している。また第３ガス流通口４３Ｂは、第１供給ブロック４１の第１ガス流通口４１Ｂ、及び第２供給ブロック４２の第２ガス流通口４２Ｂと連通している。

【0020】

エンドプレート４４は、図４から図６に示すように、板面がＸ－Ｚ面に沿う板状のブロック体であり、供給部４０の幅方向の両端部に１つずつ配置される。エンドプレート４４は、第１供給ブロック４１から最も離れた位置にある第３供給ブロック４３に締結部材によって接続されている。エンドプレート４４は、当該第３供給ブロック４３の第３液流通口４３Ａ及び第３ガス流通口４３Ｂを塞いでいる。

【0021】

支持部２０は、図３及び図４に示すように、板面がＸ－Ｙ面方向に沿う板状の支持ブロック２１から構成されている。支持ブロック２１は、搬送方向（Ｘ軸方向）と交わるＹ軸方向に沿って複数（本実施形態では１０つ）配置されている。支持ブロック２１の上面には、供給部４０の供給ブロック４１、４２、４３、及びエンドプレート４４が載置されており、これらと支持ブロック２１は締結部材によって接続されている。支持ブロック２１の上面側には、第４液流通口２１Ａが形成されている。また支持ブロック２１の下面には、ノズル３０の後述するノズル接続部３２が下方から挿入されている。第４液流通口２１Ａは、ノズル接続部３２の第５液流通口３２Ｂと上下方向に重なって連通している。第４液流通口２１Ａ内には、内径を部分的に減少させて圧損を生じさせるために、オリフィス（微細な貫通孔）を組み付ける構造が形成されている。

【0022】

また支持ブロック２１の上面側には、図４に示すように、円柱状の空洞である、ガス溜まり２１Ｆが形成されている。ガス溜まり２１Ｆは、供給部４０からの圧縮ガスが一時的に貯留されるようになっている。さらに支持ブロック２１には、挿入されたノズル接続部３２を取り囲むように、円環状の第４ガス流通口２１Ｄが形成されている。圧縮ガスは、ガス溜まり２１Ｆを通った後に、第４ガス流通口２１Ｄに向かって流れるようになっている。

【0023】

上記した供給部４０及び支持部２０によれば、第１供給管１３内の塗布液は、図５に矢線で示すように、第１供給ブロック４１の液流入口４１Ｃから第１液流通口４１Ａに流入し、第１液流通口４１Ａと幅方向に連通する第２供給ブロック４２の第２液流通口４２Ａ、及び第３供給ブロック４３の第３液流通口４３Ａに流れ込む。第３液流通口４３Ａに流れ込んだ塗布液の一部は分岐して、支持ブロック２１の第４液流通口２１Ａに流入する。そして塗布液は、オリフィスを含む第４液流通口２１Ａを通って、ノズル３０のノズル接続部３２に流出する。このような液流入口４１Ｃから第４液流通口２１Ａまでの経路が、スプレーユニット１５においてノズル３０に塗布液を供給する液供給路１５Ａとなる。

【0024】

また、上記した供給部４０及び支持部２０によれば、第２供給管１４内の圧縮ガスは、図６に矢線で示すように、第１供給ブロック４１の第１ガス流通口４１Ｂに流入し、第１ガス流通口４１Ｂと幅方向に連通する第２供給ブロック４２の第２ガス流通口４２Ｂ、及び第３供給ブロック４３の第３ガス流通口４３Ｂに流れ込む。第３ガス流通口４３Ｂに流れ込んだ圧縮ガスの一部は分岐して、下方の支持ブロック２１に流れる。そして、圧縮ガスは支持ブロック２１のガス溜まり２１Ｆを通って第４ガス流通口２１Ｄに向かって流れ、第４ガス流通口２１Ｄからノズル３０のノズル接続部３２に流出する。このような第１ガス流通口４１Ｂから第４ガス流通口２１Ｄまでの経路が、スプレーユニット１５においてノズル３０に圧縮ガスを供給するガス供給路１５Ｂとなる。

【0025】

このように液供給路１５Ａ、及びガス供給路１５Ｂを形成すれば、供給部４０及び支持部２０の構成部品の組み合わせ、及び部品点数を調整することで、ノズル３０の数に合わせて液供給路１５Ａ、及びガス供給路１５Ｂの長さを容易に調整できる。また、図３に示すように、ノズル３０を千鳥配列で配置するにあたって、第３供給ブロック４３、及び支持ブロック２１は、同一仕様品をＺ軸周りに１８０°回転すればよく、部品の仕様を共通化できる。その結果、スプレーユニット１５の拡張性を高められる。

【0026】

また液供給路１５Ａにおいて、第４液流通口２１Ａ内のオリフィスによって圧損を形成することで、塗布液を複数のノズル３０に対してより均一に分配できる。さらに、ガス供給路１５Ｂにガス溜まり２１Ｆを形成することで、圧縮ガスを複数のノズル３０に対してより均一に分配できる。

【0027】

続いて、ノズル３０について詳しく説明する。各ノズル３０は、図２に示すように、塗布液を噴出する液噴出口３１Ｂを有するノズル本体部３１と、ノズル接続部３２と、を備える。ノズル接続部３２は、図２に示すように、支持部２０とノズル本体部３１との間に設けられ、これらを上下方向に接続する中継部材である。ノズル接続部３２は、支持ブロック２１に下方から挿入される。ノズル接続部３２に対しては、下方からノズル本体部３１が挿入される。またノズル接続部３２は、図７に示すように、同一円周上に等間隔に並ぶ８つの第５ガス流通口３２Ｃ（ガス中継口の一例）を有する。第５ガス流通口３２Ｃは、ノズル接続部３２を上下方向に直線状に貫通しており、支持ブロック２１の円環状の第４ガス流通口２１Ｄと上下方向に重なって連通している。

【0028】

ノズル本体部３１は、図８から図９に示すように、塗布液が噴出される液噴出口３１Ｂ、及び圧縮ガスが噴出される複数（本実施形態では４つ）のガス噴出口３１Ｄを有する部材である。塗布液は液噴出口３１Ｂを通って、その下端部３１Ａから噴出するようになっている。ガス噴出口３１Ｄは、図８から図９に示すように、ノズル本体部３１の上面３１Ｅと略円錐状の外周面３１Ｃとを連通している。４つのガス噴出口３１Ｄは、ノズル接続部３２の８つの第５ガス流通口３２Ｃと連通している。第５ガス流通口３２Ｃの数をガス噴出口３１Ｄに比べて多くすることで、圧縮ガスをガス噴出口３１Ｄに対してより均等に流入できるようになっている。

【0029】

第５ガス流通口３２Ｃからの圧縮ガスは、図１０に示すように、ガス噴出口３１Ｄの形状に沿って流れ、水平方向に沿う速度成分を含んで外周面３１Ｃから噴出される。噴出された圧縮ガスは、ノズル３０の外装カバーの内面に当たりつつ螺旋状に降下し、斜め下方に噴出される。外部に噴出された圧縮ガスは、液噴出口３１Ｂから噴出された塗布液に当たって塗布液を微粒化（霧化）する。これにより、塗布液が噴霧されることとなる。また塗布液は、４つのガス噴出口３１Ｄから噴出される圧縮ガスによって、Ｚ軸周りに旋回しつつ、螺旋状に広がりながら下降する旋回流として噴霧される（図２）。

【0030】

噴霧される旋回流の回転方向は、ガス噴出口３１Ｄの形状によって調整可能である。本実施形態に係る複数のノズル３０は、ガス噴出口３１Ｄの水平面（Ｘ－Ｙ面）に沿う延出方向が図１１、又は図１２に示す２種類に半数ずつ異なっている。以下において、複数のノズル３０のうち、図１１に示すガス噴出口３１Ｄを備えるものを第１ノズル３０Ａ、図１２に示すガス噴出口３１Ｄを備えるものを第２ノズル３０Ｂと、区別して説明することがある。第１ノズル３０Ａは、下面（ワーク５０側）から視て時計回り（右巻き、第１回転方向の一例）に旋回する旋回流として塗布液を噴霧する。一方、第２ノズル３０Ｂは、下面（ワーク５０側）から視て反時計回り（左巻き、第２回転方向の一例）に旋回する旋回流として塗布液を噴霧する。

【0031】

複数（１０つ）のノズル３０は、図３に示すように、複数（５つ）の第１ノズル３０Ａと、複数（５つ）の第２ノズル３０Ｂとが、幅方向について交互に並ぶように配置されている。これにより、反時計回り、又は時計回りに回転方向が異なる２種類の旋回流が幅方向について交互に形成されることとなる。このように旋回流を形成することで、複数のノズル３０を幅方向に並べて配置した場合であっても、各ノズル３０からの微粒化された塗布液の流れの干渉を抑制し、ワーク５０の主面５０Ａへの塗りムラを抑制できる。その結果、後述する比較実験１の結果で示すように、コーディングされた塗膜の膜厚のバラつきを抑制できる。

【0032】

第１ノズル３０Ａ、及び第２ノズル３０Ｂはそれぞれ、図３に示すように、幅方向について一定の第１間隔Ｌ１（中心間（液噴出口３１Ｂ間）の距離）を開けて並んで配置されている。また第２ノズル３０Ｂは、幅方向について第１ノズル３０Ａから（第１間隔Ｌ１）/２の位置に配置されており、第１ノズル３０Ａ、及び第２ノズル３０Ｂは千鳥配列されている。第１ノズル３０Ａは、第２ノズル３０Ｂから搬送方向（Ｘ軸方向）について一定の第２間隔Ｌ２（中心間（液噴出口３１Ｂ間）の距離）を開けて配置されている。第１ノズル３０Ａ、及び第２ノズル３０Ｂは、第２間隔Ｌ２が第１間隔Ｌ１に０．２５を乗じた値以上となるように配置されることが好ましい。

【0033】

このように第１ノズル３０Ａ、及び第２ノズル３０Ｂを配置することで、図１３に示すように、反時計回り、又は時計回りに回転方向が異なる２種類の旋回流が幅方向について千鳥配列で交互に形成され、これらの旋回流がカルマン渦列の形成条件を満たしやすくなる。これにより、各ノズル３０からの微粒化された塗布液の流れが流体力学的に安定化し、ワーク５０の主面５０Ａへの塗りムラをより一層抑制できる。その結果、コーディングされた塗膜の膜厚のバラつきをより一層抑制できるようになる。

【0034】

＜比較実験１＞
上記した作用及び効果を実証するため、比較実験１を行った。比較実験１では、ノズル３０が第１ノズル３０Ａ、及び第２ノズル３０Ｂを共に含んでいる例を実施例１から実施例３とし、第１ノズル３０Ａのみを含んでいる例を比較例１から比較例３とした。また、これらの実施例及び比較例によって噴霧された塗布液をレーザー照射して写真撮影して、微粒化された塗布液の流れの干渉を確認した。また、塗布された塗膜の膜厚を測定し、膜厚のバラつきを評価した。

【0035】

＜実施例１から実施例３＞
実施例１は、４つの第１ノズル３０Ａ、及び４つの第２ノズル３０Ｂが幅方向について同一直線状に交互に配置されており、これにより下面（ワーク５０側）から視て図１２に示す旋回流が形成される実施例である。実施例２は、４つの第１ノズル３０Ａ、及び４つの第２ノズル３０Ｂが幅方向について千鳥配列で交互に配置されており、これにより図１３に示す旋回流が形成される実施例である。実施例３は、４つの第１ノズル３０Ａ、及び４つの第２ノズル３０Ｂの配置が実施例２と同一であり、塗布液を２回塗り重ねた実施例である。実施例３では、塗膜が形成されたワーク５０を再度搬送して塗布液を噴霧することで、塗布液を２回塗り重ねた。また２回目に塗布液を噴霧する際には、ワーク５０の幅方向における位置を（第１間隔Ｌ１）/４だけ変位させ、図１４に示す旋回流が形成されるようにした。

【0036】

＜比較例１から比較例３＞
比較例１は、８つの第１ノズル３０Ａのみが幅方向について同一直線状に配置されており、これにより図１５に示す旋回流が形成される比較例である。比較例２は、８つの第１ノズル３０Ａのみが幅方向について千鳥配列で配置されており、これにより図１６に示す旋回流が形成される比較例である。比較例３は、８つの第１ノズル３０Ａの配置が比較例２と同一であり、塗布液を２回塗り重ねた実施例である。比較例３では、実施例３と同様に、塗膜が形成されたワーク５０を再度搬送して塗布液を噴霧することで、塗布液を２回塗り重ねた。また２回目に塗布液を噴霧する際には、ワーク５０の幅方向における位置を（第１間隔Ｌ１）/４だけ変位させ、図１７に示す旋回流が形成されるようにした。

【0037】

＜実験条件＞
・第１間隔Ｌ１＝６０mm
・第２間隔Ｌ２＝１６．８mm
・各ノズル３０の圧縮ガスの流量：２０ＮＬ/min.
・各ノズル３０の塗布液の噴出量：４.０mL/min.
・圧縮ガスの種類：圧縮エア
・塗布液の種類：カラーレジスト液

【0038】

＜微粒化された塗布液の流れの干渉確認方法＞
噴霧された塗布液に対してレーザーを水平照射して視認できる状態とし、液噴出口３１Ｂからの上下方向（Ｚ軸方向）の距離が５０mmの位置におけるＸ－Ｙ面の写真を撮影した。写真において塗布液は高輝度点（白黒表示における白点）となる。

【0039】

＜塗膜の膜厚測定、及び膜厚のバラつき評価方法＞
ワーク５０の主面５０Ａにおいて、８つのノズル３０の幅方向（Ｙ軸方向）の中央位置と上下方向に重なる位置（実施例３及び比較例３においては１回目の塗布において、８つのノズル３０の幅方向の中央位置と上下方向に重なる位置）を測定位置０mmとした。そして、幅方向について５mm毎に膜厚を測定し、測定位置０mmから－Ｙ軸方向に４５mm、＋Ｙ軸方向に４５mmとなる範囲（すなわち、－４５mmから＋４５mmの範囲）の膜厚のバラつきについて評価した。具体的には、この範囲の測定値について、以下の式でバラつきを算出した。バラつきの値が低い方が膜厚の均一性が高いと評価される。なお、膜厚測定結果を示す図１９Ａから図１９Ｄ、及び図２０Ａから図２０Ｂにおいて、点線で囲まれた範囲は、バラつきの算出に用いられた測定位置－４５mmから＋４５mmの範囲を示し、一点鎖線は、膜厚の最大値/２の値を示している。
バラつきＵｎｉ.＝｛（膜厚の最大値－膜厚の最小値）/（２×膜厚の平均値）｝×１００％

【0040】

比較実験１の実験結果について説明する。微粒化された塗布液の流れの干渉については、図１８Ａに示す実施例１の結果と、図１８Ｃに示す比較例１の結果とを比較すると、実施例１の方が、塗布液を示す高輝度点のバラつきが抑えられており、より均一に噴霧されていることが確認できた。また、図１８Ｂに示す実施例２と、図１８Ｄに示す比較例２の結果とを比較すると、実施例２の方が、塗布液を示す高輝度点のバラつきが抑えられており、より均一に噴霧されていることが確認できた。

【0041】

膜厚のバラつきについては、実施例１は図１９Ａに示す膜厚測定結果に基づき２０%、比較例１は図１９Ｃに示す膜厚測定結果に基づき２１%と算出された。実施例１は、比較例１に比べて膜厚のバラつきが抑えられていることが確認できた。また、実施例２の膜厚のバラつきは、図１９Ｂに示す膜厚測定結果に基づき２２%、比較例２の膜厚のバラつきは、図１９Ｄに示す膜厚測定結果に基づき２５%と算出された。実施例２は、比較例２に比べて膜厚のバラつきが抑えられていることが確認できた。また、実施例３の膜厚のバラつきは、図２０Ａに示す膜厚測定結果に基づき１０%、比較例３は図２０Ｂに示す膜厚測定結果に基づき２９%と算出された。実施例２は、比較例２に比べて膜厚のバラつきが大幅に抑えられていることが確認できた。

【0042】

＜他の実施形態＞
本技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本技術の技術的範囲に含まれる。

【0043】

（１）ワーク５０の搬送方向は、水平方向に限定されない。また搬送手段は、ロールｔｏロール方式以外であっても構わない。

【0044】

（２）液供給路１５Ａ、ガス供給路１５Ｂは、細長状の配管を組み合わせること等で構成されていても構わない。

【符号の説明】

【0045】

１０…ロールｔｏロール薄膜コーティング装置（コーティング装置）、１１…巻き出しロール（第１ロール）、１２…巻き取りロール（第２ロール）、１５Ａ…液供給路、１５Ｂ…ガス供給路、３０…ノズル、３０Ａ…第１ノズル、３０Ｂ…第２ノズル、３１Ｂ…液噴出口、３１Ｄ…ガス噴出口、３２Ｃ…第５ガス流通口（ガス中継口）、５０…ワーク（作業対象物）、５０Ａ…主面、Ｌ１…第１間隔、Ｌ２…第２間隔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18A】

【図18B】

【図18C】

【図18D】

【図19A】

【図19B】

【図19C】

【図19D】

【図20A】

【図20B】