特開 2024-5751 フィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置。

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024005751

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】フィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置。

(51)【国際特許分類】

   B65H 20/14 20060101AFI20240110BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20240110BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240110BHJP

   B65H 20/10 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

B65H20/14

G01N21/892 A

G01N21/84 C

B65H20/10 B

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022106103

(22)【出願日】2022-06-30

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2023-10-20

(71)【出願人】

【識別番号】591114641

【氏名又は名称】株式会社ヒューテック

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山下 勝弘

(72)【発明者】

【氏名】田村 淳二

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 俊平

【テーマコード（参考）】

2G051

3F103

【Ｆターム（参考）】

2G051AA32

2G051AA41

2G051AB02

2G051AC11

2G051CA04

2G051CB01

2G051DA01

2G051DA06

3F103AA03

3F103BC02

3F103BC05

3F103BC10

3F103BC13

3F103CA03

(57)【要約】

【課題】皺の発生を抑制する機構またはフィルムの中央部と端部とで保持力を可変にできる機構を備えることで、フィルム部材の全面に亘って皺の発生を抑えることが可能なフィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置を提供する。
【解決手段】フィルム部材保持ステージ１０は、フィルム部材３４の幅方向の両端部または幅方向に垂直な方向の両端部の少なくともいずれかを保持する保持ブロック対を有している。そして保持ブロック対を構成する保持ブロック１１は、フィルム部材３４の保持面１６ａと、この保持面１６ａの、フィルム部材３４の内側方向に、保持面１６ａよりも高い位置でフィルム部材３４と接する凸面１５ａと、を有する。この構成により、保持面１６ａにおける保持力の局所的変化に起因して発生した皺を平坦に均すことができ、フィルム部材３４に皺が発生することを抑制できる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィルム部材を引っ張ることで、該フィルム部材を平面状態で保持することが可能なフィルム部材保持ステージであって、
該フィルム部材保持ステージは、前記フィルム部材の幅方向の両端部または該幅方向に垂直な方向の両端部の少なくともいずれかを保持する保持ブロック対を有し、
該保持ブロック対を構成する保持ブロックは、
前記フィルム部材の保持面と、
該保持面の、前記フィルム部材の内側方向に、前記保持面よりも高い位置で前記フィルム部材と接する凸面と、を有する、
ことを特徴とするフィルム部材保持ステージ。

【請求項2】

前記保持面において、
前記保持ブロックの長手方向の端部の保持力が、前記保持ブロックの長手方向の中央部の保持力よりも低い、
ことを特徴とする請求項１に記載のフィルム部材保持ステージ。

【請求項3】

前記保持面には、エア吸引のための吸引口が複数設けられ、
前記保持ブロックの長手方向の単位長さ当たりにおいて、
前記保持ブロックの長手方向の端部に設けられている吸引口の面積が、前記保持ブロックの長手方向の中央部に設けられている吸引口の面積よりも小さいことにより、
前記保持ブロックの長手方向の端部の保持力が、前記保持ブロックの長手方向の中央部の保持力よりも低い、
ことを特徴とする請求項２に記載のフィルム部材保持ステージ。

【請求項4】

前記保持ブロックは、
前記保持面を有する吸引口保有部材と、
該吸引口保有部材の吸引口へ接続するエア通路を内部に配し、前記吸引口保有部材を支持する支持部材と、
前記凸面を有する突出部材と、を含んで構成され、
前記保持ブロックの上部において、前記突出部材と、前記吸引口保有部材との間に補助吸引口が設けられている、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のフィルム部材保持ステージ。

【請求項5】

前記支持部材は、
前記フィルム部材の内側に位置する第１支持部材と、
該第１支持部材と対向し、前記エア通路を形成する第２支持部材と、を含み、
前記補助吸引口が前記エア通路と連通している、
ことを特徴とする請求項４に記載のフィルム部材保持ステージ。

【請求項6】

請求項１に記載のフィルム部材保持ステージを有する、
ことを特徴とするフィルム部材検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、フィルム部材を平面状態で保持するためのフィルム部材保持ステージおよびこのフィルム部材保持ステージを有するフィルム部材検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

可撓性フィルムの表面にはその製造工程で発生する、傷、凹み、またはフィッシュアイなどの欠陥が存在する場合があり、フィルム部材検査装置はその欠陥を検出する、または欠陥の高さなどの特徴量を測定する検査装置である。フィルム部材検査装置において欠陥検出が行われる際、被測定対象であるフィルム部材は、たるみおよび皺の発生を抑えながら保持することが必要となる。フィルム部材検査装置は、このたるみ等の発生を抑えるためのフィルム部材保持ステージを有することがある。

【0003】

特許文献１では、フィルム部材保持ステージを有するフィルム部材検査装置が開示されている。このフィルム部材保持ステージは、フィルムを載せるテーブルが複数設けられている。フィルムはこのテーブルに吸着されることで固定され、対向するテーブル同士が離間する方向に動作することでフィルムのたるみ等の発生が抑えられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－１５９９１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかるに特許文献１では、テーブルの長手方向の比較的広い範囲に亘る、フィルムのたるみの発生を抑えることができるが、テーブルの長手方向の比較的狭い範囲に発生する皺を抑制する機構がないため、テーブルを離間した際に、吸着力の局所的変化(例えば、エア吸引口、離間時の隙間)に起因して発生したフィルムの皺を抑制できないという問題がある。

【0006】

本発明は上記事情に鑑み、皺の発生を抑制する機構またはフィルムの中央部と端部とで保持力を可変にできる機構を備えることで、フィルム部材の全面に亘って皺の発生を抑えることが可能なフィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

第１発明のフィルム部材保持ステージは、フィルム部材を引っ張ることで、該フィルム部材を平面状態で保持することが可能なフィルム部材保持ステージであって、該フィルム部材保持ステージは、前記フィルム部材の幅方向の両端部または該幅方向に垂直な方向の両端部の少なくともいずれかを保持する保持ブロック対を有し、該保持ブロック対を構成する保持ブロックは、前記フィルム部材の保持面と、該保持面の、前記フィルム部材の内側方向に、前記保持面よりも高い位置で前記フィルム部材と接する凸面と、を有することを特徴とする。
第２発明のフィルム部材保持ステージは、第１発明において、前記保持面において、前記保持ブロックの長手方向の端部の保持力が、前記保持ブロックの長手方向の中央部の保持力よりも低いことを特徴とする。
第３発明のフィルム部材保持ステージは、第２発明において、前記保持面には、エア吸引のための吸引口が複数設けられ、前記保持ブロックの長手方向の単位長さ当たりにおいて、前記保持ブロックの長手方向の端部に設けられている吸引口の面積が、前記保持ブロックの長手方向の中央部に設けられている吸引口の面積よりも小さいことにより、前記保持ブロックの長手方向の端部の保持力が、前記保持ブロックの長手方向の中央部の保持力よりも低いことを特徴とする。
第４発明のフィルム部材保持ステージは、第１発明から第３発明のいずれかにおいて、前記保持ブロックは、前記保持面を有する吸引口保有部材と、該吸引口保有部材の吸引口へ接続するエア通路を内部に配し、前記吸引口保有部材を支持する支持部材と、前記凸面を有する突出部材と、を含んで構成され、前記保持ブロックの上部において、前記突出部材と、前記吸引口保有部材との間に補助吸引口が設けられていることを特徴とする。
第５発明のフィルム部材保持ステージは、第４発明において、前記支持部材は、前記フィルム部材の内側に位置する第１支持部材と、該第１支持部材と対向し、前記エア通路を形成する第２支持部材と、を含み、前記補助吸引口が前記エア通路と連通していることを特徴とする。
第６発明のフィルム部材検査装置は、第１発明のフィルム部材保持ステージを有することを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

第１発明によれば、フィルム部材を保持する保持ブロックが、フィルム部材の保持面と、この保持面の、フィルム部材の内側方向に、保持面よりも高い位置でフィルム部材と接する凸面と、を有することにより、フィルム部材を引っ張った際に、フィルム部材と凸面とを接触させ、フィルム部材およびそこに発生した皺に対して保持面に垂直な方向の力がかかるので、保持面における保持力の局所的変化に起因して発生した皺を平坦に均すことができ、フィルム部材に皺が発生することを抑制できる。
第２発明によれば、保持ブロックの長手方向の端部の保持力が、その中央部の保持力よりも低いことにより、フィルム部材の端部に引っ張り力が適切に作用し、端部に皺が発生するのを防止でき、フィルム部材全体に亘って皺が発生するのを防止できる。
第３発明によれば、端部に設けられている吸引口の面積が、中央部に設けられている吸引口の面積よりも小さいことで、コストのかからないシンプルな方法で、端部の保持力を中央部の保持力よりも低くできる。
第４発明によれば、保持ブロックにおいて、突出部材と吸引口保有部材との間に補助吸引口が設けられていることにより、吸引口よりも内側においてフィルム部材が吸引口保有部材と接するようになるので、さらに確実に、フィルム部材を引っ張った際に、フィルム部材と凸面とを接触させ、フィルム部材およびそこに発生した皺に対して保持面に垂直な方向の力がかかるので、保持面における保持力の局所的変化に起因して発生した皺を平坦に均すことでフィルム部材に皺が発生することを抑制できる。
第５発明によれば、支持部材内のエア通路が、第１支持部材と第２支持部材とにより形成されていることにより、コストのかからないシンプルな方法で、フィルム部材と凸面とを接触させることができ、フィルム部材に皺が発生することを抑制できる。
第６発明によれば、フィルム部材検査装置が所定のフィルム部材保持ステージを有することにより、検査または測定の精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの長手方向から見た断面図である。

【図2】本発明の第１実施形態に係るフィルム部材保持ステージを含むフィルム部材検査装置の概略側面図である。

【図3】本発明の第１実施形態に係るフィルム部材保持ステージの斜視図である。

【図4】図１の保持ブロックの平面図である。

【図5】図１の保持ブロックの端部の平面図である。

【図6】図１の保持ブロックの中央部の平面図である。

【図7】本発明の第２実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの平面図である。

【図8】本発明の第３実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの平面図である。

【図9】本発明の第４実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの平面図である。

【図10】本発明の第５実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの平面図である。

【図11】本発明の第６実施形態に係るフィルム部材保持ステージを構成する保持ブロックの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するためのフィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置を例示するものであって、本発明はフィルム部材保持ステージおよびフィルム部材検査装置を以下のものに特定しない。なお、各図面が示す部材の大きさまたは位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。

【0011】

（フィルム部材検査装置３０）
図２には、本発明の実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０を含むフィルム部材検査装置３０の概略側面図を示す。例えばこのフィルム部材検査装置３０は、フィルム部材３４の表面または内部を光学的手法により検査する装置であって、表面等に形成された傷などを検出することができるものである。また、図２においてフィルム部材３４は、フィルム部材検査装置３０によって表面の欠陥等が検査される被検査対象であり、巻き出しロール３５から供給されると共に、検査が終了すると巻き取りロール３６に巻き取られる。なおフィルム部材検査装置３０の構成は、以下の構成に限定されるものではない。

【0012】

図２に示すように、フィルム部材検査装置３０は、フィルム部材３４において検査を行う表面側に、フィルム部材３４の表面に対して光を照射する投光装置３１と、フィルム部材３４の表面の検査位置Ｌを撮影する撮影装置３３と、撮影装置３３によって撮影された信号に基づいて傷等の有無を判断する解析装置３２とを備えている。また、フィルム部材検査装置３０は、フィルム部材３４の裏面側に、フィルム部材保持ステージ１０を備えている。なお、解析装置３２は、投光装置３１および撮影装置３３と電気的に接続されており、両者の作動を制御する機能も有している。加えて解析装置３２は、フィルム部材保持ステージ１０とも電気的に接続される場合がある。この場合、解析装置３２は、検査ステージ１０の作動を制御する機能も有する。

【0013】

撮影装置３３は、撮像部と、レンズを備えている構成が好ましい。撮像部は、投光装置３１からフィルム部材３４の表面に照射された光のうちフィルム部材３４の表面で反射した光を受光するものであり、例えば、ラインセンサ等のように複数の受光素子を有している構成が好ましい。レンズは、反射光を集光して、撮像部の受光素子に集光した光を入射する。

【0014】

投光装置３１は光源を有している。この光源はフィルム部材３４の幅方向（図２では紙面の奥行き方向）に沿って延びたものであり、フィルム部材３４の幅方向と平行な略直線状の光を放出することができるものである。

【0015】

光源は光を放出する発光体を備えている構成が好ましい。この発光体は、例えば、フィルム部材３４の幅方向と平行に配設された棒状の蛍光灯、またはフィルム部材３４の幅方向に沿って複数のＬＥＤ素子（発光体）が一列に並んで配設された回路などをあげることができるが、とくに限定されない。

【0016】

（第１実施形態のフィルム部材保持ステージ１０）
図３には、本発明の実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０の斜視図を示す。フィルム部材保持ステージ１０は、フィルム部材３４を平面状態で保持する。図３ではフィルム部材３４は、巻き出しロール３５から巻き取りロール３６へ移動させられる途中で検査される長尺物として記載されているが、フィルム部材３４はこれに限定されない。例えば、フィルム部材保持ステージ１０の大きさに合わせてカットされたものもフィルム部材３４に含まれる。また、「平面状態」とは、実質的に検査が可能となる程度の「平面」となる状態を意味し、厳密に「平面」であることを意味しない。

【0017】

本実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０は、フィルム部材３４をエア吸引により保持するための保持ブロック１１を有する。図３では保持ブロック１１は、フィルム部材３４の幅方向の両端部を保持する第１保持ブロック１１ａおよび第２保持ブロック１１ｂ、ならびにその幅方向に垂直な方向の両端部を保持する第３保持ブロック１１ｃおよび第４保持ブロック１１ｄと、を含んで構成されている。そして、幅方向の両端部を保持する第１保持ブロック１１ａおよび第２保持ブロック１１ｂは、２つで保持ブロック対を構成するとともに、幅方向に垂直な方向の両端部を保持する第３保持ブロック１１ｃおよび第４保持ブロック１１ｄは、２つで保持ブロック対を構成する。また、本実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０は、それぞれの保持ブロック対を構成する２つの保持ブロック１１に挟まれた位置に、エア吸引するまでにできるだけフィルム部材３４がたわまないように、フィルム部材３４の保持を補助するための保持補助テーブル１８を有する。

【0018】

図示していないが、第１保持ブロック１１ａ～第４保持ブロック１１ｄは、それぞれ真空ポンプに連結され、真空ポンプが働くことにより、エア吸引によりそれぞれの保持ブロック１１の上面にフィルム部材３４を保持する。そして本実施形態では、対を構成する第１保持ブロック１１ａおよび第２保持ブロック１１ｂ、並びに第３保持ブロック１１ｃおよび第４保持ブロック１１ｄが、それぞれ対ごとに離間する方向（図３で白抜き矢印の示す方向）に動作することで、フィルム部材３４が平面状態で保持される。

【0019】

なお、本実施形態では、４つの保持ブロック１１がそれぞれ離間する方向に動作する場合を説明したが、これに限定されない。例えば対となる保持ブロック１１の一方のみが離間する方向へ動作する場合、または保持ブロック１１の一方の対のみを構成する保持ブロック１１が動作する場合もある。さらに詳細に述べると本実施形態では、保持ブロック１１のエア吸引力、離間する方向への引っ張り力、エア吸引動作および離間する方向への動作は、４つの保持ブロック１１に対して個別に制御可能としている。この構成により、フィルム部材３４の厚みまたは伸縮性などの特性に応じてエア吸引力および離間する方向への引っ張り力を変更することが可能である。なお、本発明に係るフィルム部材保持ステージ１０はこの構成に限定されない。
さらにエア吸引動作および離間する方向への動作に関して、例えば、まず、第１保持ブロック１１ａおよび第２保持ブロック１１ｂを吸引・離間し、その後、第３保持ブロック１１ｃおよび第４保持ブロック１１ｄを吸引しながら、第１保持ブロック１１ａおよび第２保持ブロック１１ｂの吸引を解除し、第３保持ブロック１１ｃおよび第４保持ブロック１１ｄを離間するといった具合に、フィルム部材３４のたるみ等が改善されるまで繰り返し離間する動作を実施することも可能である。なお、以下本明細書において、特記した場合を除き、「内側」は、図３の白抜き矢印の根本側を意味し、「外側」は白抜き矢印の先端側を意味する。

【0020】

図１には、本実施形態のフィルム部材保持ステージ１０を構成する保持ブロック１１の長手方向から見た断面図を、図４には保持ブロック１１の平面図を、図５には保持ブロック１１の端部の平面図を、図６には保持ブロック１１の中央部の平面図を示す。図１は、図４のＩ矢視の断面図であり、この図１においては、紙面の左側がフィルム部材３４の内側である。

【0021】

図１に示すように、保持ブロック１１は、ベースブロック１２と、このベースブロック１２の上に設けられた第１支持部材１３と、この第１支持部材１３と対向する位置に設けられた第２支持部材１４と、第２支持部材１４と接触するように設けられた突出部材１５と、フィルム部材３４が保持される保持面１６ａを有する吸引口保有部材１６と、を含んで構成されている。ベースブロック１２、第１支持部材１３、第２支持部材１４、突出部材１５は、いずれも図１の紙面において、奥行き方向に長い板形状をしている。

【0022】

ベースブロック１２上には、第１支持部材１３および第２支持部材１４が、あらかじめ定められた距離を保持するように設けられており、第１支持部材１３および第２支持部材１４との間が、エア通路１７となる。第１支持部材１３は、図示していないボルトにより、下側からベースブロック１２と結合されている。第２支持部材１４とベースブロック１２との結合も同じである。

【0023】

保持ブロック１１内のエア通路１７が、第１支持部材１３と第２支持部材１４とにより形成されていることにより、コストのかからないシンプルな方法で、フィルム部材３４が保持面１６ａからずれることが抑制される。

【0024】

なお、本実施形態では、第１支持部材１３と第２支持部材１４と、によりエア通路１７を形成するように、保持ブロック１１を構成したが、保持ブロック１１の構成はこれに限定されない。例えば、保持ブロック１１の主要部材を１つの部材から構成し、その部材の長手方向に通した孔をエア通路１７とすることも可能である。

【0025】

吸引口保有部材１６は、その断面がＬ字状の板状部材であり、第１支持部材１３の外側に接触するように設けられている。また、吸引口保有部材１６は、エア通路１７の上部にエア吸引のための吸引口２０が複数設けられている。

【0026】

第２支持部材１４と接触するように設けられた突出部材１５は、その上部にフィルム部材３４と接する凸面１５ａを有している。本実施形態では、この凸面１５ａは、吸引口保有部材１６の保持面１６ａよりも０．１ｍｍから１０ｍｍ高くなっているのが好ましく、特に０．５から２ｍｍ高くなると皺を延ばす効果が高くなり、吸引口からフィルムが外れないため好ましい。

【0027】

エア吸引によりフィルム部材３４を保持する保持ブロック１１が、フィルム部材３４の保持面１６ａと、この保持面１６ａの、フィルム部材３４の内側方向に、保持面１６ａよりも高い位置でフィルム部材３４と接する凸面１５ａと、を有することにより、フィルム部材３４を引っ張った際に、フィルム部材３４と凸面１５ａとを接触させ、フィルム部材３４およびそこに発生した皺に対して保持面１６ａに垂直な方向の力がかかるので、保持面１６ａにおける保持力の局所的変化に起因して発生した皺を平坦に均すことができ、フィルム部材３４に皺が発生することを抑制できる。

【0028】

なお、図１では突出部材１５の凸面１５ａと、突出部材１５の側面との間には面取りが記載されていないが、Ｃ面または丸面の面取りが行われていることが好ましい。なお、突出部材１５の凸部の側面から見た形状は、図１で示した四角形に限定されない。例えば、三角形、多角形、または円形であっても問題ない。

【0029】

また図１に示すように、保持ブロック１１の上部において、吸引口保有部材１６と、突出部材１５との間に補助吸引口２１が設けられるのが好ましい。本実施形態では、この補助吸引口２１は、突出部材１５の奥行き方向に沿って、吸引口保有部材１６と突出部材１５と、により溝を形成するように設けられている。また第２支持部材１４の上面と、吸引口保有部材１６との間には、エア通路１７と補助吸引口２１とを連通するための連通路２２が設けられている。

【0030】

保持ブロック１１において、突出部材１５と吸引口保有部材１６との間に補助吸引口２１が設けられていることにより、吸引口２０よりも内側においてフィルム部材３４が吸引口保有部材１６と接するようになるので、さらに確実に、フィルム部材３４を引っ張った際に、フィルム部材３４と凸面１５ａとを接触させ、フィルム部材３４およびそこに発生した皺に対して保持面１６ａに垂直な方向の力がかかるので、保持面１６ａにおける保持力の局所的変化に起因して発生した皺を平坦に均すことでフィルム部材３４に皺が発生することを抑制できる。

【0031】

図４から図６に示すように、保持ブロック１１の上面には、エア吸引を行うための吸引口２０が複数設けられている。吸引口２０は、具体的には保持ブロック１１を構成する吸引口保有部材１６に設けられている。本実施形態では、吸引口２０は保持ブロック１１の長手方向の中央部および両端部に設けられている。また端部では比較的直線部の短い長孔である第１吸引口２０ａが多く設けられ、中央部では比較的直線部の長い長孔である第２吸引口２０ｂが設けられている。なお、本実施形態において、「端部」とは、保持ブロック１１の長手方向の端から、あらかじめ定められた長さを意味する。例えばこの長さは、保持ブロック１１の長手方向の長さの１割から３割、より好ましくは２割とすることができる。「中央部」とは、保持ブロック１１の長手方向において、「端部」以外の部分を意味する。なお、「端部」、「中央部」の定義はこれに限定されない。また、第１吸引口２０ａと第２吸引口２０ｂとは、形状が異なる吸引口２０が２種類設けられていることを意味し、第１吸引口２０ａおよび第２吸引口２０ｂの形状は、図４～図６に示す形状に限定されない。加えて吸引口２０の形状は、２種類だけでなく３種類以上とすることも可能である。

【0032】

フィルム部材３４への保持力は、内部のエア通路１７の圧力が一定である場合、吸引口２０の開口面積に比例する。本実施形態では、保持ブロック１１の長手方向の単位長さ当たりに設けられる吸引口２０の開口面積が、保持ブロック１１の端部が中央部よりも小さくなっている。これにより端部の保持力が中央部の保持力よりも小さくなる。

【0033】

保持ブロック１１の長手方向の端部の保持力が、その中央部の保持力よりも低いことにより、フィルム部材３４の端部に引っ張り力が適切に作用し、端部に皺が発生するのを防止でき、フィルム部材３４全体に亘って皺が発生するのを防止できる。

【0034】

また、端部に設けられている吸引口２０の面積が、中央部に設けられている吸引口２０の面積よりも小さいことで、コストのかからないシンプルな方法で、端部の保持力を中央部の保持力よりも低くできる。

【0035】

なお本実施形態では、端部の開口面積と中央部の開口面積とが差を有することにより保持力の差が生じるようにしたが、保持力の差を生じさせる方法はこれに限定されない。例えば中央部のエア通路１７の気圧と、端部のエア通路１７の気圧と、の間に差を生じさせることで保持力の差が生じるようにすることも可能である。

【0036】

また本実施形態では、エアによる吸引の場合について説明したが、フィルム部材３４の保持はこれに限定されない。例えば、静電気による保持、マグネットによりフィルム部材３４をその上側から押さえつけることによる保持、ばね等により挟み込む保持などにより、フィルム部材３４を保持する方式であっても問題ない。

【0037】

また、本実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０は、フィルム部材検査装置３０に用いられている例により説明したが、これに限定されない。例えばフィルム部材３４に何らかの加工を行う装置に、フィルム部材保持ステージ１０を適用することも可能である。

【0038】

（第２実施形態から第６実施形態のフィルム部材保持ステージ１０）
図７から図１１には、本発明の第２実施形態から第６実施形態に係るフィルム部材保持ステージ１０を構成する保持ブロック１１の平面図を示す。これらの実施形態と、第１実施形態との相違点は、吸引口保有部材１６に設けられている吸引口２０の形状である。その他の部分は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。

【0039】

図７に示すように、第２実施形態では、吸引口２０はすべて矩形であり、端部の第１吸引口２０ａの長手方向の長さが、中央部の第２吸引口２０ｂの長手方向の長さよりも短くなっている。吸引口２０の形状の矩形の長手方向は、保持ブロック１１の短手方向と平行になっている。

【0040】

図８に示すように、第３実施形態では、吸引口２０はすべて丸である。中央部の吸引口２０は、保持ブロック１１の短手方向に３つ並んでおり、端部の吸引口２０は、保持ブロック１１の短手方向に２つ並んでいる。

【0041】

図９に示すように、第４実施形態では、吸引口２０はすべて矩形である。その矩形の長手方向は、保持ブロック１１の長手方向と平行である。中央部の吸引口２０は、保持ブロック１１の短手方向に４つ並んでおり、端部の吸引口２０は、保持ブロック１１の短手方向に２つ並んでいる。

【0042】

図１０に示すように、第５実施形態では、吸引口２０はすべて矩形である。その矩形の長手方向は、保持ブロック１１の長手方向と所定の角度を持って並べられている。そして保持ブロック１１の長手方向において、中央部と比較して端部に設けられている吸引口２０の個数は少なくなっている。

【0043】

図１１に示すように、第６実施形態では、吸引口２０は、保持ブロック１１の中央部の第２吸引口２０ｂは矩形であり、端部の第１吸引口２０ａは丸である。中央部の矩形の第２吸引口２０ｂは、保持ブロック１１の短手方向に４つ並んでいる。端部の丸の第１吸引口２０ａは、端に近い側は保持ブロック１１の短手方向に２つ並んでおり、端に遠い側は保持ブロック１１の短手方向に３つ並んでいる。

【符号の説明】

【0044】

１０ フィルム部材保持ステージ
１１ 保持ブロック
１３ 第１支持部材
１４ 第２支持部材
１５ 突出部材
１５ａ 凸面
１６ 吸引口保有部材
１６ａ 保持面
１７ エア通路
１８ 保持補助テーブル
２０ 吸引口
２１ 補助吸引口
３０ フィルム部材検査装置
３４ フィルム部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】