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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024058084
(43)【公開日】2024-04-25
(54)【発明の名称】洗浄装置および洗浄方法
(51)【国際特許分類】
B01D 41/04 20060101AFI20240418BHJP
B08B 3/02 20060101ALI20240418BHJP
B08B 5/00 20060101ALI20240418BHJP
C02F 1/32 20230101ALI20240418BHJP
【ＦＩ】
B01D41/04
B08B3/02 C
B08B5/00 Z
C02F1/32
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022165225
(22)【出願日】2022-10-14
(71)【出願人】
【識別番号】000236056
【氏名又は名称】三菱電機ビルソリューションズ株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】000006013
【氏名又は名称】三菱電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】秋本 博之
(72)【発明者】
【氏名】大上 明徳
(72)【発明者】
【氏名】堂岸 善宏
(72)【発明者】
【氏名】浅井 宏祐
(72)【発明者】
【氏名】生沼 学
【テーマコード（参考）】
3B116
3B201
4D037
【Ｆターム（参考）】
3B116AA46
3B116AB14
3B116BB22
3B116BB62
3B116CA01
3B116CD22
3B116CD42
3B116CD43
3B201AA46
3B201AB14
3B201BB22
3B201BB62
3B201BB92
3B201CA01
3B201CB15
3B201CD22
3B201CD42
3B201CD43
4D037AA08
4D037AB03
4D037BA18
4D037CA02
(57)【要約】
【課題】複数の洗浄ステージを経由して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、各洗浄ステージで利用される洗浄液を浄化することで被洗浄物の洗浄効果を向上させる。
【解決手段】第１の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を第１の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第２の洗浄ステージは、搬送路の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に散布された洗浄液を第２の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第２の洗浄ステージは、第２の洗浄液槽の洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含む。制御装置は、切替手段を制御することにより、洗浄液が通流する経路を切り替える。
【選択図】図１
【解決手段】第１の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を第１の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第２の洗浄ステージは、搬送路の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に散布された洗浄液を第２の洗浄液槽に回収して洗浄液を被洗浄物に散布する。第２の洗浄ステージは、第２の洗浄液槽の洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含む。制御装置は、切替手段を制御することにより、洗浄液が通流する経路を切り替える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージと、
制御装置とを備え、
前記第１の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含み、
前記第２の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布する第２の循環系統と、
前記洗浄液を浄化する浄化装置と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、前記浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含み、
前記制御装置は、前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、洗浄装置。
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージと、
制御装置とを備え、
前記第１の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含み、
前記第２の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布する第２の循環系統と、
前記洗浄液を浄化する浄化装置と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、前記浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含み、
前記制御装置は、前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、洗浄装置。
【請求項2】
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の液量を検出するためのレベルセンサをさらに備え、
前記制御装置は、前記レベルセンサにより検出される前記第２の洗浄液槽の液量に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、前記レベルセンサにより検出される前記第２の洗浄液槽の液量に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項3】
前記制御装置は、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項２に記載の洗浄装置。
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項4】
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液を前記第２の洗浄液槽に供給し、かつ、前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御するとともに、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項３に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液を前記第２の洗浄液槽に供給し、かつ、前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御するとともに、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項5】
前記第２の洗浄ステージにおける前記被洗浄物の有無を検知するための物体検知センサをさらに備え、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項6】
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の循環系統を作動するとともに、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の循環系統を停止するとともに、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の循環系統を作動するとともに、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の循環系統を停止するとともに、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項7】
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を制御する、請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項8】
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽に前記未使用の洗浄液を供給し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項７に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽に前記未使用の洗浄液を供給し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、請求項７に記載の洗浄装置。
【請求項9】
前記浄化装置は、除菌効果を有する波長域の光線を前記洗浄液に照射する光線照射装置を含む、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項10】
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路および前記循環経路を通流する前記洗浄液の流量を低下させる、請求項９に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路および前記循環経路を通流する前記洗浄液の流量を低下させる、請求項９に記載の洗浄装置。
【請求項11】
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記光線照射装置における前記光線の発生強度を増加させる、請求項９に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記光線照射装置における前記光線の発生強度を増加させる、請求項９に記載の洗浄装置。
【請求項12】
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路を通流する前記洗浄液の流量を増加させる、請求項９に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路を通流する前記洗浄液の流量を増加させる、請求項９に記載の洗浄装置。
【請求項13】
前記第２の洗浄ステージは、
前記循環経路に介挿接続され、前記洗浄液を濾過するフィルタと、
前記フィルタの逆洗浄を行うための逆洗浄装置とをさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を作動し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を停止する、請求項１に記載の洗浄装置。
前記循環経路に介挿接続され、前記洗浄液を濾過するフィルタと、
前記フィルタの逆洗浄を行うための逆洗浄装置とをさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を作動し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を停止する、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項14】
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されている場合に、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されていない場合に、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項１に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されている場合に、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されていない場合に、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項15】
前記第１の洗浄ステージは、前記搬送路の最上流に配置されており、前記第１の洗浄液槽に貯留されている前記洗浄液を排出するための排出配管をさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽から前記洗浄液を排出し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽からの前記洗浄液の排出を停止する、請求項１に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽から前記洗浄液を排出し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽からの前記洗浄液の排出を停止する、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項16】
前記移送経路は、前記第２の洗浄液槽に上流端が接続され、かつ、前記第１の洗浄液槽に下流端が接続された移送配管を含み、前記移送配管には前記浄化装置が介挿接続され、
前記循環経路は、前記浄化装置と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に上流端が接続され、かつ、前記第２の洗浄液槽に下流端が接続された循環配管を含み、
前記切替手段は、
前記循環配管に介挿接続される第１の切替弁と、
前記循環配管の上流端と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に介挿接続される第２の切替弁とを含み、
前記制御装置は、前記第１および第２の切替弁を相補的に開閉させることにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１から１５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
前記循環経路は、前記浄化装置と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に上流端が接続され、かつ、前記第２の洗浄液槽に下流端が接続された循環配管を含み、
前記切替手段は、
前記循環配管に介挿接続される第１の切替弁と、
前記循環配管の上流端と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に介挿接続される第２の切替弁とを含み、
前記制御装置は、前記第１および第２の切替弁を相補的に開閉させることにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、請求項１から１５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項17】
前記第１および第２の洗浄液槽の少なくとも一方に接続されたドレン配管と、
前記ドレン配管に介挿接続されるドレン排出弁とをさらに備える、請求項１６に記載の洗浄装置。
前記ドレン配管に介挿接続されるドレン排出弁とをさらに備える、請求項１６に記載の洗浄装置。
【請求項18】
洗浄装置で被洗浄物を洗浄する方法であって、
前記洗浄装置は、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージとを含み、
前記第１の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える、洗浄方法。
前記洗浄装置は、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージとを含み、
前記第１の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える、洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、洗浄液により被洗浄物を洗浄する洗浄装置および洗浄方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特開２０１２－１９２３６９号公報（特許文献１）には、洗浄液によりフィルタを洗浄するフィルタ洗浄装置が開示されている。フィルタ洗浄装置は、フィルタを搬送する搬送路と、フィルタの搬送方向に沿って配置された複数の洗浄ステージとを備えている。
【0003】
各洗浄ステージは、搬送路に沿って搬送されるフィルタに、ノズルから洗浄液を散布するとともに、散布された洗浄液を回収タンクに回収して上記ノズルに循環させる循環系統を有している。フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージには、未使用の洗浄液をフィルタに噴霧するためのノズルがさらに配置されている。当該洗浄ステージの回収タンクは、当該ノズルから噴霧された洗浄液をさらに回収する。
【0004】
フィルタ洗浄装置は、フィルタ搬送方向の下流側の洗浄ステージの回収タンクから、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに洗浄液を順次移送する移送系統と、フィルタ搬送方向の最上流側の洗浄ステージの回収タンクの洗浄液を外部に排水する排水系統とをさらに備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１２－１９２３６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記フィルタ洗浄装置では、移送系統を用いて、フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージの回収タンクから、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに洗浄液が順次移送される。フィルタ搬送方向の最下流側の洗浄ステージでは、精密洗浄によって、フィルタに付着した微細な異物が除去される。そのため、当該洗浄ステージの回収タンクに貯留される洗浄液は、当該微細な異物を含んでいる。
【0007】
この微細な異物を含んだ洗浄液が、フィルタ搬送方向の上流側の洗浄ステージの回収タンクに移送されることで、当該上流側の洗浄ステージにて、回収タンクに貯留される洗浄液を再利用してフィルタを洗浄する際に、異物をフィルタに再付着させてしまう可能性がある。その結果、後続する精密洗浄によっても当該異物を除去しきれず、洗浄装置全体の洗浄能力を低下させる可能性が懸念される。
【0008】
本開示はこのような問題点を解決するためになされたものであって、本開示の目的は、複数の洗浄ステージを経由して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、各洗浄ステージで利用される洗浄液を浄化することで被洗浄物の洗浄効果を向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本開示の一態様に係る洗浄装置は、洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄物を搬送する搬送路と、第１の洗浄ステージと、第２の洗浄ステージと、制御装置とを備える。第１の洗浄ステージは、搬送路に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。第２の洗浄ステージは、搬送路の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。第１の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、第１の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含む。第２の洗浄ステージは、被洗浄物に散布された洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、第２の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を被洗浄物に散布する第２の循環系統と、洗浄液を浄化する浄化装置と、第２の洗浄液槽に貯留されている洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含む。制御装置は、切替手段を制御することにより、洗浄液が通流する経路を切り替える。
【0010】
本開示の一態様に係る洗浄方法は、洗浄装置で被洗浄物を洗浄する方法である。洗浄装置は、被洗浄物を搬送する搬送路と、第１の洗浄ステージと、第２の洗浄ステージとを含む。第１の洗浄ステージは、搬送路に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する。第２の洗浄ステージは、被洗浄物の搬送方向において第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、被洗浄物に洗浄液を散布することにより被洗浄物を洗浄する。洗浄方法は、第１の洗浄ステージにて、被洗浄物に散布された洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、第１の洗浄液槽に貯留される洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、第２の洗浄ステージにて、被洗浄物に散布された洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、第２の洗浄液槽に貯留される洗浄液を被洗浄物に散布するステップと、第２の洗浄液槽に貯留される洗浄液を、浄化装置を経て第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、洗浄液を第２の洗浄液槽から浄化装置を経て第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、移送経路および循環経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える。
【発明の効果】
【0011】
本開示によれば、複数の洗浄ステージを経由して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、各洗浄ステージで利用される洗浄液を浄化することで被洗浄物の洗浄効果を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】実施の形態１に係る洗浄装置の構成例を概略的に示す図である。
【図2】循環経路を形成する場合における切替弁の制御を説明する図である。
【図3】移送経路を形成する場合における切替弁の制御を説明する図である。
【図4】循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第１の例を説明するためのタイミングチャートである。
【図5】循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第１の例を説明するためのタイミングチャートである。
【図6】循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第１の例の制御処理を示すフローチャートである。
【図7】実施の形態３に係る洗浄装置の構成例を概略的に示す図である。
【図8】循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第２の例を説明するためのタイミングチャートである。
【図9】循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第２の例の制御処理を示すフローチャートである。
【図10】実施の形態４に係る洗浄装置の構成例を概略的に示す図である。
【図11】紫外線透過率検出部の構成例を概略的に示す図である。
【図12】制御装置によるポンプの制御を説明するための図である。
【図13】制御装置によるポンプの制御を説明するための図である。
【図14】実施の形態５に係る洗浄装置の構成例を概略的に示す図である。
【図15】逆洗フィルタの逆洗浄を説明するための図である。
【図16】逆洗フィルタの逆洗浄を説明するためのタイミングチャートである。
【図17】実施の形態６に係る洗浄装置の構成例を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本開示の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では、図中の同一または相当部分について同一符号を付して、その説明は原則的に繰り返さないものとする。
【0014】
なお、本明細書において「異物」とは、被洗浄物に付着した物質を意味し、塵埃、油分、菌類、細菌、ウイルス等を意味する。また本明細書において「浄化」とは、洗浄液中の異物を物理的に除去する行為、あるいは、洗浄液中のウイルスを不活性化する行為を意味する。
【0015】
【0016】
被洗浄物Ｗは、例えば、空調用フィルタである。空調用フィルタは、網目状構造を有しており、空気中に含まれる粉塵および油分等の異物を捕集するように構成されている。洗浄装置１００は、空調用フィルタに洗浄液を散布することによって、空調用フィルタに付着した異物を除去する。洗浄液は、例えば、洗剤、あるいは洗剤の水溶液である。
【0017】
図１に示すように、洗浄装置１００は、搬送路１０と、洗浄液槽３１～３３と、ポンプ１１～１３，２０～２３と、循環配管１～３，６，８と、供給配管４と、移送配管５，７と、排出配管９と、貯留タンク１５と、切替弁４１，４２，５１，５２と、浄化装置６０と、制御装置７０とを備える。
【0018】
搬送路１０は、被洗浄物Ｗを搬送する。搬送路１０には、コンベア、ロボットアーム等の公知の搬送装置を適用することができる。図１の例では、搬送路１０は、コンベアであって、複数の被洗浄物Ｗを搬送可能に構成されている。
【0019】
被洗浄物Ｗは、図面左側に設けられた搬入口（図示せず）から洗浄装置１００の内部に搬入され、搬送路１０に従って図面右方向（図中矢印Ａ１の方向）に向かって搬送される。被洗浄物Ｗは、図面右側に設けられた搬出口（図示せず）から洗浄装置１００の外部に搬出される。被洗浄物Ｗが搬送路１０を搬送される間に、洗浄装置１００は被洗浄物Ｗを洗浄する。
【0020】
洗浄液槽３１～３３は、搬送路１０の垂直方向（図面上下方向）の下方において、水平方向（図面左右方向）に互いに間隔を隔てて配置されている。洗浄液槽３１は、被洗浄物Ｗの搬送方向の最上流に配置されている。洗浄液槽３３は、被洗浄物Ｗの搬送方向の最下流に配置されている。洗浄液槽３２は、洗浄液槽３１と洗浄液槽３３との間に配置されている。洗浄液槽３１～３３の各々は、洗浄液を貯留する。洗浄液槽の数は３個に限定されず、複数であればよい。
【0021】
洗浄液槽３１には、循環配管１の上流端が接続されている。循環配管１の下流端は、洗浄液槽３１の垂直方向上方に位置している。循環配管１の下流端には、搬送路１０上の被洗浄物Ｗに対して洗浄液を散布するためのノズル１ａが取り付けられている。ポンプ１１は、循環配管１に介挿接続されている。
【0022】
ポンプ１１が作動すると、洗浄液槽３１内の洗浄液は、循環配管１を経由してノズル１ａに送られ、ノズル１ａから被洗浄物Ｗに散布される。被洗浄物Ｗに散布された洗浄液は、洗浄液槽３１に回収される。このようにポンプ１１が作動することによって、洗浄液槽３１に回収された洗浄液がノズル１ａに循環される。循環配管１、ノズル１ａ、およびポンプ１１は「循環系統」を構成する。これにより、洗浄液を再利用することができる。循環配管１、ポンプ１１、洗浄液槽３１、排出配管９、およびポンプ２３は「洗浄ステージＳＴ１」を構成する。
【0023】
洗浄液槽３２には、循環配管２の上流端が接続されている。循環配管２の下流端は、洗浄液槽３２の垂直方向上方に位置している。循環配管２の下流端には、搬送路１０上の被洗浄物Ｗに対して洗浄液を散布するためのノズル２ａが取り付けられている。ポンプ１２は、循環配管２に介挿接続されている。ポンプ１２が作動すると、洗浄液槽３２内の洗浄液は、循環配管２を経由してノズル２ａに送られ、ノズル２ａから被洗浄物Ｗに散布される。被洗浄物Ｗに散布された洗浄液は、洗浄液槽３２に回収される。このようにポンプ１２が作動することによって、洗浄液槽３２に回収された洗浄液がノズル２ａに循環される。循環配管２、ノズル２ａ、およびポンプ１２は「循環系統」を構成する。循環配管２、ポンプ１２、洗浄液槽３２、移送配管７、循環配管８、ポンプ２２、浄化装置６０、および切替弁４２，５２は「洗浄ステージＳＴ２」を構成する。
【0024】
洗浄液槽３３には、循環配管３の上流端が接続されている。循環配管３の下流端は、洗浄液槽３３の垂直方向上方に位置している。循環配管３の下流端には、搬送路１０上の被洗浄物Ｗに対して洗浄液を散布するためのノズル３ａが取り付けられている。ポンプ１３は、循環配管３に介挿接続されている。ポンプ１３が作動すると、洗浄液槽３３内の洗浄液は、循環配管３を経由してノズル３ａに送られ、ノズル３ａから被洗浄物Ｗに散布される。被洗浄物Ｗに散布された洗浄液は、洗浄液槽３３に回収される。このようにポンプ１３が作動することによって、洗浄液槽３３に回収された洗浄液がノズル３ａに循環される。循環配管３、ノズル３ａ、およびポンプ１３は「循環系統」を構成する。循環配管３、ポンプ１３、洗浄液槽３３、供給配管４、移送配管５、循環配管６、ポンプ２０，２１、貯留タンク１５、浄化装置６０、および切替弁４１，５１は「洗浄ステージＳＴ３」を構成する。
【0025】
洗浄装置１００内に搬入された被洗浄物Ｗは、最初に、搬送方向の最上流に位置する洗浄ステージＳＴ１にて洗浄され、続いて、洗浄ステージＳＴ２にて洗浄され、最後に、搬送方向の最下流に位置する洗浄ステージＳＴ３にて洗浄される。洗浄ステージＳＴ１は、被洗浄物Ｗを予備洗浄する。洗浄ステージＳＴ２は、被洗浄物Ｗを粗洗浄する。洗浄ステージＳＴ３は、被洗浄物Ｗを精密洗浄する。
【0026】
なお、図示は省略するが、洗浄ステージＳＴ３の下流側に、精密洗浄された被洗浄物Ｗを水洗するための水洗ステージ、および、水洗された被洗浄物Ｗから水分を除去するための脱水ステージ等をさらに設けることができる。
【0027】
洗浄ステージＳＴ３に含まれる洗浄液槽３３には、供給配管４の下流端が接続されている。供給配管４の上流端は、未使用の洗浄液を貯留する貯留タンク１５に接続されている。ポンプ２０は、供給配管４に介挿接続されている。ポンプ２０が作動すると、貯留タンク１５から供給配管４を経由して、未使用の洗浄液が洗浄液槽３３に供給される。
【0028】
洗浄液槽３３にはさらに、移送配管５の上流端が接続されている。移送配管５の下流端は、洗浄ステージＳＴ２に含まれる洗浄液槽３２に接続されている。移送配管５には、ポンプ２１、および浄化装置６０が介挿接続されている。ポンプ２１が作動すると、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液が移送配管５を通流する。
【0029】
浄化装置６０は、移送配管５を流れる洗浄液を浄化する。浄化装置６０は、洗浄液が通流するように配置され、通流する洗浄液に含まれる異物を除去、もしくは、洗浄液に含まれる菌を殺菌、あるいは洗浄液に含まれるウイルスを不活性化するように構成される。浄化装置６０は、例えば、紫外線処理、塩素処理、オゾン処理、およびフィルタを用いた処理等の処理方法を用いることができる。
【0030】
浄化装置６０の下流側の移送配管５には、切替弁５１が介挿接続される。切替弁５１の開閉は、制御装置７０によって制御される。切替弁５１が開放されると、浄化装置６０を通流した洗浄液が洗浄液槽３２へ送られる。
【0031】
浄化装置６０と切替弁５１との間の移送配管５には、循環配管６の上流端が接続されている。循環配管６の下流端は、洗浄液槽３３に接続されている。循環配管６には、切替弁４１が介挿接続される。切替弁４１の開閉は、制御装置７０によって制御される。切替弁４１が開放されると、浄化装置６０を通流した洗浄液が洗浄液槽３３へ送られる。なお、後述するように、本実施の形態では、切替弁５１および切替弁４１は、制御装置７０によって相補的に開閉される。
【0032】
洗浄ステージＳＴ２の洗浄液槽３２には、移送配管５の下流端、および移送配管７の上流端が接続されている。移送配管７の下流端は、洗浄ステージＳＴ１に含まれる洗浄液槽３１に接続されている。移送配管７には、ポンプ２２、および浄化装置６０が介挿接続されている。ポンプ２２が作動すると、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液が移送配管７を通流する。浄化装置６０は、移送配管７を流れる洗浄液を浄化する。
【0033】
浄化装置６０の下流側の移送配管７には、切替弁５２が介挿接続される。切替弁５２の開閉は、制御装置７０によって制御される。切替弁５２が開放されると、浄化装置６０を通流した洗浄液が洗浄液槽３１へ送られる。
【0034】
浄化装置６０と切替弁５２との間の移送配管７には、循環配管８の上流端が接続されている。循環配管８の下流端は、洗浄液槽３２に接続されている。循環配管８には、切替弁４２が介挿接続される。切替弁４２の開閉は、制御装置７０によって制御される。切替弁４２が開放されると、浄化装置６０を通流した洗浄液が洗浄液槽３２へ送られる。なお、後述するように、本実施の形態では、切替弁５２および切替弁４２は、制御装置７０によって相補的に開閉される。
【0035】
洗浄ステージＳＴ１の洗浄液槽３１には、移送配管７の下流端、および排出配管９の上流端が接続されている。排出配管９の下流端は、図示しない廃水タンクに接続されている。排出配管９には、ポンプ２３が介挿接続されている。ポンプ２３が作動すると、洗浄液槽３１に貯留された洗浄液が排出配管９を経由して、廃水として廃水タンクへ送られる。
【0036】
制御装置７０は、プロセッサ７２と、メモリ７４と、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７６とを有する。これらの各部は、図示しないバスを介して互いに通信可能に接続される。プロセッサ７２は、典型的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＭＰＵ（Micro Processing Unit）などの演算処理部である。プロセッサ７２は、メモリ７４に記憶されたプログラムを読み出して実行することで、洗浄装置１００の各部の動作を制御する。なお、図１の例では、プロセッサが単数である構成を例示しているが、制御装置７０は複数のプロセッサを有する構成としてもよい。
【0037】
メモリ７４は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）およびフラッシュメモリなどの不揮発性メモリによって実現される。メモリ７４は、プロセッサ７２によって実行されるプログラム、またはプロセッサ７２によって用いられるデータなどを記憶する。
【0038】
入出力Ｉ／Ｆ７６は、プロセッサ７２と洗浄装置１００の各部との間で各種データを遣り取りするためのインターフェイスである。入出力Ｉ／Ｆ７６は、図示しない操作部に接続される。操作部は、ユーザの指示を含む入力を受け付ける。操作部は、キーボードおよびマウスなどを含む。ユーザ入力は、通信Ｉ／Ｆ（図示せず）を介して外部機器から受け付けることも可能である。
【0039】
＜洗浄装置の動作＞
上述したように、実施の形態１に係る洗浄装置１００において、洗浄ステージＳＴ１～ＳＴ３の各々は、洗浄液槽に回収された洗浄液を再利用するように構成されている。しかしながら、洗浄液の再利用を繰り返すことによって、洗浄液における異物の含有量が増えるため、洗浄装置１００通過後の被洗浄物Ｗの洗浄度が徐々に低下する可能性がある。
上述したように、実施の形態１に係る洗浄装置１００において、洗浄ステージＳＴ１～ＳＴ３の各々は、洗浄液槽に回収された洗浄液を再利用するように構成されている。しかしながら、洗浄液の再利用を繰り返すことによって、洗浄液における異物の含有量が増えるため、洗浄装置１００通過後の被洗浄物Ｗの洗浄度が徐々に低下する可能性がある。
【0040】
ここで、予備洗浄を行う洗浄ステージＳＴ１では、被洗浄物Ｗから大きな塵や埃等が除去されるため、再利用によって洗浄液槽３１内の洗浄液の洗浄力が大きく低下する。反対に、精密洗浄を行う洗浄ステージＳＴ３では、予備洗浄および粗洗浄で除去できなかった微細な異物が除去されるため、洗浄ステージＳＴ１，ＳＴ２に比べて、洗浄液槽３３内の洗浄液の洗浄力の低下が少ない。すなわち、洗浄液槽３３内の洗浄液の洗浄力が最も高く、洗浄液槽３１の洗浄液の洗浄力が最も低い。
【0041】
一方、精密洗浄では、洗浄の最終段階であるため、洗浄力の高い洗浄液が必要とされるが、予備洗浄では、被洗浄物Ｗから大きな塵や埃等を除去できればよいため、洗浄液の洗浄力は精密洗浄の洗浄液に比べて低くてよい。
【0042】
そのため、洗浄装置１００は、洗浄ステージＳＴ３の洗浄液槽３３に未使用の洗浄液を供給することによって、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の洗浄力を回復させる。さらに、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を、移送配管５を経由して洗浄液槽３２へ移送し、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液の洗浄力の低下を抑制する。同様に、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液を、移送配管７を経由して洗浄液槽３１へ移送するとともに、洗浄液槽３１に貯留されている洗浄液の一部を排出配管９を経由して外部に排出することにより、洗浄液槽３１に貯留されている洗浄液の洗浄力の低下を抑制する。
【0043】
しかしながら、上述したように洗浄液槽３３から洗浄液槽３２および洗浄液槽３１へ洗浄液を移送させる構成においては、精密洗浄で除去された微細な異物を含んだ洗浄液が、洗浄液槽３３に回収された後に、洗浄液槽３２および洗浄液槽３１へ移送されることになる。そのため、予備洗浄および粗洗浄にて洗浄液槽３１および洗浄液槽３２内の洗浄液をそれぞれ再利用することによって、微細な異物を被洗浄物Ｗに再付着させてしまうことが懸念される。その結果、精密洗浄によって当該異物を除去しきれず、洗浄装置１００全体の洗浄能力を低下させる可能性が懸念される。
【0044】
そのため、実施の形態１に係る洗浄装置１００は、移送配管５，７に浄化装置６０を介挿接続し、移送配管５，７を通流する洗浄液を浄化するように構成されている。洗浄装置１００はさらに、浄化装置６０の下流側の移送配管５，７に循環配管６，８の上流端をそれぞれ接続し、浄化された洗浄液を循環配管６，８を経由して洗浄液槽３３，３２にそれぞれ戻すように構成されている。
【0045】
上記構成によると、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３２へ移送されることになる。また、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液は、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３１へ移送されることになる。したがって、精密洗浄で除去された異物を含有する洗浄液が洗浄液槽３２，３１へ移送されることを抑制することができる。その結果、予備洗浄および粗洗浄の各々において、当該異物が被洗浄物Ｗに再付着することを抑制することができる。
【0046】
また、洗浄ステージＳＴ１，ＳＴ２の各々では、洗浄液槽３２，３３に貯留された洗浄液は、浄化装置６０による浄化を経て循環されることになる。これによると、粗洗浄および精密洗浄の各々において、再利用による洗浄液の洗浄力の低下が抑制され、洗浄装置１００通過後の被洗浄物Ｗの洗浄度の低下を抑制することができる。また、洗浄液の洗浄力の低下が抑制されることで、洗浄液の洗浄力を回復させるための未使用洗浄液の消費量を抑えることが可能となる。
【0047】
さらに、洗浄ステージＳＴ１，ＳＴ２の各々では、洗浄液を１台のポンプ２１（または２２）によって循環配管６（または８）または移送配管５（または７）に任意に供給することができるため、洗浄装置１００の構成部品を削減することができる。
【0048】
以上説明したように、実施の形態１に係る洗浄装置１００は、洗浄液槽３３，３２に蓄えられた洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３２，３１へそれぞれ移送するための移送経路と、洗浄液槽３３，３２に蓄えられた洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３３，３２へそれぞれ戻すための循環経路とを備えている。制御装置７０は、切替弁４１，４２および切替弁５１，５２の開閉を制御することによって、これら２つの経路の間で、洗浄液が通流する経路を切り替えることができる。
【0049】
切替弁４１，４２および切替弁５１，５２は「切替手段」の一実施例に対応する。切替弁４１，４２は「第１の切替弁」の一実施例に対応し、切替弁５１，５２は「第２の切替弁」の一実施例に対応する。
【0050】
【0051】
図２は、循環経路を形成する場合における切替弁４１，５１の制御を説明する図である。図２に示すように、循環経路を形成する場合には、制御装置７０は、切替弁４１を開放するとともに、切替弁５１を閉止する。ポンプ２１が作動すると、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、移送配管５および循環配管６を経由して洗浄液槽３３へ戻る経路Ｒ１を循環する。経路Ｒ１は「循環経路」に相当する。循環経路Ｒ１を通流する洗浄液は、浄化装置６０によって浄化される。以下の説明では、循環経路Ｒ１に洗浄液を循環通流させるモードを「循環モード」とも称する。
【0052】
図３は、移送経路を形成する場合における切替弁４１，５１の制御を説明する図である。図３に示すように、移送経路を形成する場合には、制御装置７０は、切替弁４１を閉止するとともに、切替弁５１を開放とする。ポンプ２１が作動すると、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、移送配管５を経由して洗浄液槽３２（図示せず）へ至る経路Ｒ２を通流する。経路Ｒ２は「移送経路」に相当する。移送経路Ｒ２を通流する洗浄液は、浄化装置６０によって浄化される。以下の説明では、移送経路Ｒ２に洗浄液を通流させるモードを「移送モード」とも称する。
【0053】
このように洗浄ステージＳＴ３では、切替弁４１，５１を相補的に開閉することにより、洗浄液が通流する経路を、循環経路Ｒ１（循環モード）および移送経路Ｒ２（移送モード）の間で切り替えることができる。これにより、移送モード時には、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３２へ移送することができる。循環モード時には、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て循環させることができる。
【0054】
洗浄ステージＳＴ２においても、切替弁４２，５２を相補的に開閉して循環経路Ｒ１および移送経路Ｒ２を切り替えることにより、移送モード時には、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３１へ移送することができ、循環モード時には、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液を、浄化装置６０による浄化を経て循環させることができる。
【0055】
したがって、実施の形態１に係る洗浄装置１００によれば、微細な異物を含んだ洗浄液が各洗浄ステージにて再利用されることが抑制されるため、当該異物が被洗浄物Ｗに再付着することを抑制することができる。また、各洗浄ステージでの洗浄液の洗浄力の低下が抑えられるため、洗浄液槽３３に供給される未使用の洗浄液の消費量を抑えることができる。
【0056】
［実施の形態２］
実施の形態２では、循環モード（循環経路Ｒ１）および移送モード（移送経路Ｒ２）の切り替え方法の第１の例について説明する。実施の形態２に係る洗浄装置１００の構成は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００と同じであるため、図示および説明を省略する。
実施の形態２では、循環モード（循環経路Ｒ１）および移送モード（移送経路Ｒ２）の切り替え方法の第１の例について説明する。実施の形態２に係る洗浄装置１００の構成は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００と同じであるため、図示および説明を省略する。
【0057】
第１の例では、洗浄ステージＳＴ３において、制御装置７０は、洗浄液槽３３の液量（液位）に基づいて切替弁４１，５１の開閉を制御することにより、循環モードおよび移送モードを切り替えるように構成される。制御装置７０はさらに、洗浄ステージＳＴ２において、洗浄液槽３２の液量（液位）に基づいて切替弁４２，５２の開閉を制御することにより、循環モードおよび移送モードを切り替えるように構成される。
【0058】
図１に示すように、洗浄液槽３２，３３の各々には、洗浄液槽の液量（液位）を検出するためのレベルセンサ６２が取り付けられている。レベルセンサ６２は、対応する洗浄液槽の液量（液位）を検出し、その検出値を示す信号を制御装置７０に与える。
【0059】
【0060】
図４に示すように、制御装置７０は、ポンプ１３、ポンプ２１および浄化装置６０を連続的に作動（オン）させる。ポンプ１３が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、循環配管３を経由してノズル３ａに送られ、被洗浄物Ｗに散布された後に、洗浄液槽３３に回収される。ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、移送配管５を通流し、浄化装置６０によって浄化される。
【0061】
制御装置７０はさらに、供給配管４に介挿接続されたポンプ２０を、予め定められた周期で間欠的に作動（オン）させる。図４では、時刻ｔ１以前にて、ポンプ２０は停止状態とされている。時刻ｔ１にてポンプ２０が作動される。
【0062】
時刻ｔ１以前にて、制御装置７０は、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードにする。したがって、図２に示したように、ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、循環経路Ｒ１を通流して浄化されて洗浄液槽３３へ戻される。
【0063】
時刻ｔ１にてポンプ２０が作動すると、貯留タンク１５から供給配管４を経由して、未使用の洗浄液が洗浄液槽３３に供給される。未使用の洗浄液の供給を受けて、洗浄液槽３３の液量（液位）が徐々に上昇する。
【0064】
時刻ｔ２にて、レベルセンサ６２により検出された洗浄液槽３３の液位が予め定められた上限値Ｌｔｈに達すると、制御装置７０は、切替弁４１を閉止し、切替弁５１を開放することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードから移送モードへ遷移させる。上限値Ｌｔｈは「第１の閾値」の一実施例に対応する。図３に示したように、ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、移送経路Ｒ２を通流して浄化されて洗浄液槽３２へ移送される。このとき制御装置７０は、移送経路Ｒ２を通流する洗浄液の流量が、供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量よりも大きくなるようにポンプ２０，２１を制御する。そのため、時刻ｔ２以降、洗浄液槽３３の液量（液位）が徐々に低下する。
【0065】
時刻ｔ３にて、レベルセンサ６２による洗浄液槽３３の液位の検出値が予め定められた基準値Ｌｒｅｆに達すると、制御装置７０は、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を移送モードから循環モードへ遷移させる。制御装置７０はさらに、ポンプ２０の作動を停止することにより、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給を停止する。基準値Ｌｒｅｆは「第２の閾値」の一実施例に対応する。
【0066】
時刻ｔ３から次回にポンプ２０が起動するタイミングである時刻ｔ４までの間、循環モードによる洗浄液の浄化とともに、洗浄液槽３３の液量は一定に保たれる。時刻ｔ４にてポンプ２０が再び作動すると、時刻ｔ４よりも後の時刻ｔ５にて、洗浄ステージＳＴ３は再び移送モードに遷移する。
【0067】
図５には、洗浄ステージＳＴ２に関連する部分の動作波形が示されている。図５に示すように、制御装置７０は、ポンプ１２、ポンプ２２および浄化装置６０を連続的に作動（オン）させる。ポンプ１２が作動することにより、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液は、循環配管２を経由してノズル２ａに送られ、被洗浄物Ｗに散布された後に、洗浄液槽３２に回収される。ポンプ２２および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液は、移送配管７を通流し、浄化装置６０にて浄化される。
【0068】
図４と同じ時刻ｔ２以前にて、制御装置７０は、切替弁４２を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ２を循環モードとする。ポンプ２２および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３２に貯留された洗浄液は、循環経路を通流して浄化されて洗浄液槽３２へ戻される。
【0069】
時刻ｔ２にて、洗浄ステージＳＴ３が循環モードから移送モードに遷移すると、洗浄液槽３２には、洗浄液槽３３から洗浄液が送られてくる。この洗浄液の供給を受けて、洗浄液槽３２の液量（液位）が徐々に上昇する。
【0070】
時刻ｔ２１にて、レベルセンサ６２により検出された洗浄液槽３２の液位が上限値Ｌｔｈに達すると、制御装置７０は、切替弁４２を閉止し、切替弁５２を開放することにより、洗浄ステージＳＴ２を循環モードから移送モードへ遷移させる。ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液は、移送経路を通流して浄化されて洗浄液槽３１へ移送される。このとき制御装置７０は、移送配管７を通流する洗浄液の流量が、移送配管５を通流する洗浄液の流量よりも大きくなるようにポンプ２２を制御する。よって、時刻ｔ２１以降、洗浄液槽３２の液量（液位）が徐々に低下する。
【0071】
時刻ｔ３１にて、レベルセンサ６２による洗浄液槽３３の液位の検出値が基準値Ｌｒｅｆに達すると、制御装置７０は、切替弁４２を開放し、切替弁５２を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ２を移送モードから循環モードへ遷移させる。
【0072】
時刻ｔ３１以降、循環モードによる洗浄液の浄化とともに、洗浄液槽３２の液量は一定に保たれる。時刻ｔ５１にて洗浄液槽３２の液位が上限値Ｌｔｈに達すると、洗浄ステージＳＴ２は再び移送モードに遷移する。
【0073】
なお、図示は省略するが、洗浄ステージＳＴ１では、洗浄ステージＳＴ２が移送モード中、洗浄液槽３１には洗浄液槽３２から洗浄液が送られてくるため、洗浄液槽３１の液量が増加する。このとき制御装置７０は、ポンプ２３を作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を、排出配管９を経由して廃水として排出する。これにより、洗浄液槽３１の液量を一定に保つことができる。
【0074】
図６は、循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第１の例の制御処理を示すフローチャートである。図６には、洗浄ステージＳＴ３に関連する部分の制御処理が示されている。図６に示された制御処理は、制御装置７０によって繰り返し実行される。
【0075】
図６に示すように、制御装置７０は、ステップＳ０１により、ポンプ２１を作動（オン）する。さらにステップＳ０２により、制御装置７０は、浄化装置６０を作動する。
【0076】
制御装置７０は、ステップＳ０３により、ポンプ２０を作動（オン）するタイミングでが到来したか否かを判定する。間欠的にポンプ２０を作動させる場合には、タイマ出力に基づいたポンプ２０の作動タイミングが到来すると、ステップＳ０３はＹＥＳ判定とされる。
【0077】
ポンプ２０の作動タイミングが到来していない場合（Ｓ０３のＮＯ判定時）、制御装置７０は、ステップＳ１０により、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードに設定する。
【0078】
制御装置７０は、ポンプ２０の作動タイミングが到来すると（Ｓ０３のＹＥＳ判定時）、ステップＳ０４により、ポンプ２０を作動させる。ポンプ２０の作動により、洗浄液槽３３に未使用の洗浄液が供給される。
【0079】
制御装置７０は、ステップＳ０５により、レベルセンサ６２によって検出される洗浄液槽３３の液位が上限値Ｌｔｈ以上であるかを判定する。洗浄液槽３３の液位が上限値Ｌｔｈ未満である場合（Ｓ０５のＮＯ判定時）には、制御装置７０は、ステップＳ１０により、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードに維持する。
【0080】
そして、洗浄液槽３３の液位が上限値Ｌｔｈ以上になると（Ｓ０５のＹＥＳ判定時）、制御装置７０は、ステップＳ０６により、切替弁４１を閉止し、切替弁５１を開放することにより、洗浄ステージＳＴ３を移送モードに遷移させる。
【0081】
移送モード中、制御装置７０は、ステップＳ０７により、レベルセンサ６２により検出される洗浄液槽３３の液位が基準値Ｌｒｅｆ以下であるか否かを判定する。洗浄液槽３３の液位が基準値Ｌｒｅｆより高い場合（Ｓ０７のＮＯ判定時）、制御装置７０は、ステップＳ０６に戻り、洗浄ステージＳＴ３を移送モードに維持する。
【0082】
洗浄液槽３３の液位が減少して基準値Ｌｒｅｆ以下となると（Ｓ０７のＹＥＳ判定時）、制御装置７０は、ステップＳ０８により、ポンプ２０の作動を停止（オフ）させることにより、未使用の洗浄液の供給を停止する。制御装置７０はさらに、ステップＳ０９により、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を移送モードから循環モードに遷移させる。
【0083】
このように洗浄ステージＳＴ３では、未使用の洗浄液の供給による洗浄液槽３３の液量（液位）の変化に応じて、循環モードおよび移送モードが交互に切り替えられるとともに、各モードにおいて、浄化装置６０によって洗浄液が浄化される。これにより、洗浄液槽３３に貯留される洗浄液の液量を一定範囲に保ちつつ、当該洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができる。また、異物を含んだ洗浄液が洗浄液槽３２に移送されることを抑制することができる。
【0084】
洗浄ステージＳＴ２においても、上述した制御処理と同様の制御装置が実行される。ただし、洗浄ステージＳＴ２では、洗浄液槽３３からの洗浄液の移送による洗浄液槽３２の液量（液位）の変化に応じて、切替弁４２，５２を制御することにより、循環モードおよび移送モードが交互に切り替えられることになる。なお、何れのモードにおいても浄化装置６０によって洗浄液が浄化されるため、洗浄液槽３２に貯留される洗浄液の液量を一定範囲に保ちつつ、当該洗浄液の洗浄力の低下を抑制できるとともに、異物を含んだ洗浄液が洗浄液槽３１に移送されることを抑制することができる。
【0085】
［実施の形態３］
実施の形態３では、循環モード（循環経路Ｒ１）および移送モード（移送経路Ｒ２）の切り替え方法の第２の例について説明する。
実施の形態３では、循環モード（循環経路Ｒ１）および移送モード（移送経路Ｒ２）の切り替え方法の第２の例について説明する。
【0086】
【0087】
図７に示すように、物体検知センサ８０は、洗浄ステージごとに設置されており、対応する洗浄ステージにおける被洗浄物Ｗの有無を検知するためのセンサである。物体検知センサ８０は、搬送路１０上における被洗浄物Ｗの位置を検知し、検知結果を示す信号を制御装置７０へ与える。図６の例では、物体検知センサ８０は、搬送路１０の上方に配置されたカメラを含んでおり、撮像画像を示す画像データを制御装置７０へ出力する。
【0088】
制御装置７０は、洗浄ステージＳＴ１～ＳＴ３の各々において、物体検知センサ８０から与えられる信号（画像データ）に基づいて、被洗浄物Ｗが洗浄ステージに位置することを検知することができる。ただし、物体検知センサ８０の構成、配置位置および台数はこれに限定されるものではない。
【0089】
洗浄ステージＳＴ１では、物体検知センサ８０からの信号に基づいて被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ１に位置することが検知されると、制御装置７０は、ポンプ１１を作動することにより、被洗浄物Ｗに洗浄液を散布して予備洗浄を実行する。そして、被洗浄物Ｗが移動して洗浄ステージＳＴ１から搬出されると、制御装置７０はポンプ１１の作動を停止して、予備洗浄を終了する。予備洗浄の実行中、ポンプ２３が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、排出配管９を経由して廃水として排出される。
【0090】
洗浄ステージＳＴ２では、物体検知センサ８０からの信号に基づいて被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ２に位置することが検知されると、制御装置７０は、ポンプ１２を作動することにより、被洗浄物Ｗに洗浄液を散布して粗洗浄を実行する。そして、被洗浄物Ｗが移動して洗浄ステージＳＴ２から搬出されると、制御装置７０はポンプ１２の作動を停止して、粗洗浄を終了する。
【0091】
粗洗浄の実行中、制御装置７０は、切替弁４２を閉止し、切替弁５２を開放することにより、洗浄ステージＳＴ２を移送モードとする。ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液は、移送経路Ｒ２を通流して浄化されて洗浄液槽３１へ移送される。
【0092】
洗浄ステージＳＴ３では、物体検知センサ８０からの信号に基づいて被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置することが検知されると、制御装置７０は、ポンプ１３を作動することにより、被洗浄物Ｗに洗浄液を散布して精密洗浄を実行する。そして、被洗浄物Ｗが移動して洗浄ステージＳＴ３から搬出されると、制御装置７０はポンプ１３の作動を停止して、精密洗浄を終了する。
【0093】
精密洗浄の実行中、制御装置７０は、ポンプ２０を作動することにより、貯留タンク１５から未使用の洗浄液を洗浄液槽３３に供給する。制御装置７０はさらに、切替弁４１を閉止し、切替弁５１を開放することにより、洗浄ステージＳＴ１を移送モードにする。ポンプ２０および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、移送経路Ｒ２を通流して浄化されて洗浄液槽３２へ移送される。
【0094】
【0095】
図８に示すように、制御装置７０は、ポンプ２１および浄化装置６０を連続的に作動（オン）させる。制御装置７０はさらに、物体検知センサ８０からの信号に基づいて、洗浄ステージＳＴ３における被洗浄物Ｗの有無を検知する。
【0096】
時刻ｔ１にて、洗浄ステージＳＴ３に被洗浄物Ｗが位置していることが検知されると、制御装置７０は、ポンプ１３，２０を作動させる。ポンプ１３が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、循環配管３を経由してノズル３ａに送られ、被洗浄物Ｗに散布された後に、洗浄液槽３３に回収される。ポンプ２０が作動することにより、貯留タンク１５から未使用の洗浄液が洗浄液槽３３に供給される。
【0097】
時刻ｔ１にて、制御装置７０はさらに、切替弁４１を閉止し、切替弁５１を開放することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードから移送モードへ遷移させる。ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、移送経路Ｒ２を通流して浄化されて洗浄液槽３２へ移送される。このとき制御装置７０は、移送経路Ｒ２を通流する洗浄液の流量が、供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量と同等となるようにポンプ２０，２１を制御する。よって、時刻ｔ１以降、洗浄液槽３３の液量は略一定に保たれる。
【0098】
時刻ｔ２にて、洗浄ステージＳＴ３から被洗浄物Ｗが搬出され、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していないことが検知されると、制御装置７０は、ポンプ１３，２０の作動を停止させる。ポンプ１３が停止することにより、ノズル３ａによる洗浄液の散布が停止される。ポンプ２０が停止することにより、貯留タンク１５から洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給が停止される。
【0099】
時刻ｔ２にて、制御装置７０はさらに、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を移送モードから循環モードへ遷移させる。ポンプ２１および浄化装置６０が作動することにより、洗浄液槽３３に貯留された洗浄液は、循環経路Ｒ１を通流して浄化されて洗浄液槽３３へ戻される。
【0100】
図９は、循環モードおよび移動モードの切り替え方法の第１の例の制御処理を示すフローチャートである。図９には、洗浄ステージＳＴ３に関連する部分の制御処理が示されている。図９に示された制御処理は、制御装置７０によって繰り返し実行される。
【0101】
図９に示すように、制御装置７０は、ステップＳ１１により、ポンプ２１を作動（オン）する。さらにステップＳ１２により、制御装置７０は、浄化装置６０を作動する。
【0102】
制御装置７０は、ステップＳ１３により、物体検知センサ８０からの信号に基づいて、洗浄ステージＳＴ３における被洗浄物Ｗの有無を検知する。洗浄ステージＳＴ３に被洗浄物Ｗが位置していることが検知された場合（Ｓ１３のＹＥＳ判定時）、制御装置７０は、ステップＳ１４により、ポンプ１３を作動（オン）して、被洗浄物Ｗの精密洗浄を実行する。
【0103】
制御装置７０は続いて、ステップＳ１５により、ポンプ２０を作動（オン）する。ポンプ２０の作動により、洗浄液槽３３に未使用の洗浄液が供給される。制御装置７０はさらに、ステップＳ１６により、切替弁４１を閉止し、切替弁５１を開放することにより、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとする。
【0104】
これに対して、ステップＳ１３にて洗浄ステージＳＴ３に被洗浄物Ｗが位置していることが検知されない場合（Ｓ１３のＮＯ判定時）には、制御装置７０は、ステップＳ１７により、ポンプ１３の作動を停止（オフ）し、精密洗浄を停止する。
【0105】
制御装置７０は続いて、ステップＳ１８により、ポンプ２０の作動を停止する。ポンプ２０の停止により、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給が停止される。
【0106】
制御装置７０はさらに、ステップＳ１９により、切替弁４１を開放し、切替弁５１を閉止することにより、洗浄ステージＳＴ３を循環モードとする。
【0107】
このように第２の例では、洗浄ステージＳＴ３に被洗浄物Ｗが位置している間に、ポンプ１３を作動させて被洗浄物Ｗの精密洗浄を実行する。そして、この精密洗浄の実行中、ポンプ２０を作動して未使用の洗浄液を洗浄液槽３３へ供給するとともに、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとして、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を洗浄液槽３２へ移送する。
【0108】
これによると、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置しているときに合わせてポンプ１３を間欠的に作動させるため、被洗浄物Ｗの精密洗浄を効率的に行うことができる。また、精密洗浄が実行されている間、洗浄液槽３３には未使用の洗浄液が供給されるため、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の洗浄力が回復され、洗浄液の再利用による洗浄力の低下を抑制することができる。
【0109】
さらに、未使用の洗浄液の供給に合わせて洗浄ステージＳＴ３が移送モードとなるため、洗浄力が回復された洗浄液を洗浄液槽３２へ移送することができる。このとき、洗浄液は浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３２へ移送されるため、異物を含んだ洗浄液が洗浄液槽３２へ移送されることを抑制することができる。
【0110】
また、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間は、洗浄ステージＳＴ３は循環モードとなるため、次回の精密洗浄に備えて、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を浄化することができる。
【0111】
洗浄ステージＳＴ２においても、上述した制御処理と同様の制御装置が実行される。したがって、被洗浄物Ｗの粗洗浄を効率的に実行することができるとともに、粗洗浄が実行されている間に洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液の洗浄力が回復されるため、洗浄液の再利用による洗浄力の低下を抑制することができる。また、洗浄力が回復された洗浄液が浄化装置６０による浄化を経て洗浄液槽３１へ移送されるため、異物を含んだ洗浄液が洗浄液槽３１へ移送されることを抑制することができる。
【0112】
さらに、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ２に位置していない間は、洗浄ステージＳＴ２は循環モードとなるため、次回の祖洗浄に備えて、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液を浄化することができる。
【0113】
（変形例）
上述した第２の例では、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置しているときに、洗浄液槽３３に未使用の洗浄液を供給するとともに、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとする一方で、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給を停止するとともに、洗浄ステージＳＴ３を循環モードとする構成について説明したが、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置しているときに、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給を停止するとともに、洗浄ステージＳＴ３を循環モードとする一方で、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、洗浄液槽３３へ未使用の洗浄液を供給するとともに、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとする構成としてもよい。このようにすると、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、次回の精密洗浄に備えて、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を浄化することができる。
上述した第２の例では、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置しているときに、洗浄液槽３３に未使用の洗浄液を供給するとともに、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとする一方で、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給を停止するとともに、洗浄ステージＳＴ３を循環モードとする構成について説明したが、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置しているときに、洗浄液槽３３への未使用の洗浄液の供給を停止するとともに、洗浄ステージＳＴ３を循環モードとする一方で、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、洗浄液槽３３へ未使用の洗浄液を供給するとともに、洗浄ステージＳＴ３を移送モードとする構成としてもよい。このようにすると、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ３に位置していない間に、次回の精密洗浄に備えて、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を浄化することができる。
【0114】
洗浄ステージＳＴ２においても、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ２に位置しているときに、洗浄ステージＳＴ２を循環モードとする一方で、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ２に位置していない間に、洗浄ステージＳＴ２を移送モードとする構成としてもよい。このようにすると、被洗浄物Ｗが洗浄ステージＳＴ２に位置していない間に、次回の粗洗浄に備えて、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液を浄化することができる。
【0115】
［実施の形態４］
図１０は、実施の形態４に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１０に示すように、実施の形態４に係る洗浄装置１００は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００とは、浄化装置６０が紫外線照射装置６０Ａである点、および、紫外線透過率検出部８２を備える点が異なる。
図１０は、実施の形態４に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１０に示すように、実施の形態４に係る洗浄装置１００は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００とは、浄化装置６０が紫外線照射装置６０Ａである点、および、紫外線透過率検出部８２を備える点が異なる。
【0116】
紫外線照射装置６０Ａは、移送配管５，７を通流する洗浄液に紫外線（ＵＶ）を照射するためのＵＶ発生部を内臓しており、洗浄液に紫外線を照射するように構成されている。洗浄液は、紫外線照射によって除菌されることにより、雑菌数が減少して浄化される。なお、図１０では、浄化装置６０として紫外線照射装置６０Ａを採用するが、除菌効果を有する波長域の光線を照射する光線照射装置を採用してもよい。紫外線照射装置６０Ａは「光線照射装置」の一実施例に対応する。
【0117】
紫外線透過率検出部８２は、洗浄液槽３２，３３の各々に取り付けられている。紫外線透過率検出部８２は、洗浄液槽３２，３３に貯留されている洗浄液の紫外線透過率を検出するように構成されている。
【0118】
【0119】
図１１に示すように、紫外線透過率検出部８２は、洗浄液槽３３の側面に形成された管部分３３０に取り付けられている。管部分３３０は、鉛直方向に延在し、両端部が洗浄液槽３３の側面に接続されている。なお、管部分３３０の延在方向に垂直な方向における断面積は、洗浄液槽３３の水平方向における断面積に比べて小さい。管部分３３０は、洗浄液槽３３の内部と連通しており、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液を収容可能に構成されている。
【0120】
紫外線透過率検出部８２は、発光部８２０と、受光部８２２とを有している。発光部８２０と受光部８２２とは、管部分３３０を挟んで対向するように配置されている。発光部８２０は、紫外線（ＵＶ）を発生する。発光部８２０から発せられた紫外線は、管部分３３０内の洗浄液を透過した後、受光部８２２にて受光される。
【0121】
受光部８２２は、受光された紫外線の強度を示す信号を制御装置７０に与える。制御装置７０は、受光部８２２からの信号に基づいて、紫外線が管部分３３０内の洗浄液を透過するときの透過率を検出する。
【0122】
具体的には、制御装置７０は、洗浄液槽３３が未使用洗浄液または純水（または超純水）を貯留している場合において受光部８２２にて受光される紫外線の強度を、基準強度として予め有している。制御装置７０は、この基準強度に対する、洗浄液を通過して受光された紫外線の強度の比を求めることにより、洗浄液の紫外線透過率を検出する。
【0123】
洗浄ステージＳＴ３では、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液が繰り返し利用されるため、未使用の洗浄液の供給および循環モードによっても、洗浄液には、被洗浄物Ｗから除去された異物が蓄積されていく場合がある。この異物の蓄積によって異物の含有量が徐々に増加するに従って、洗浄液の紫外線透過率が徐々に低下する。
【0124】
紫外線照射装置６０Ａにおける紫外線照射量は、ＵＶ発生部の紫外線発生強度と、洗浄液の紫外線透過率とに依存する。紫外線発生強度を一定とした場合には、洗浄液の紫外線透過率が低下することによって紫外線照射量が減少するため、洗浄液を十分に浄化できなくなる可能性がある。そのため、洗浄液の洗浄力の低下を促進させることが懸念される。
【0125】
そこで、制御装置７０は、紫外線透過率検出部８２により検出された洗浄液の紫外線透過率と予め定められた閾値とを比較し、その比較結果に基づいてポンプ２１を制御することにより、移送配管５を通流する洗浄液の流量を調整するように構成される。移送配管５における洗浄液の流量を調整することで、洗浄液に対する紫外線の照射時間を調整する。
【0126】
図１２は、制御装置７０によるポンプ２１の制御を説明するための図である。図１２には、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の紫外線透過率と、移送配管５を通流する洗浄液の流量との関係が例示されている。図１２の横軸は洗浄液の紫外線透過率を示し、縦軸は移送配管５における洗浄液の流量を示す。
【0127】
図１２に示すように、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ以上である場合には、制御装置７０は、移送配管５を通流する洗浄液の流量が予め定められた基準値Ｒ１になるように、ポンプ２１を制御する。
【0128】
ここで、紫外線照射装置６０Ａによる紫外線照射量は、紫外線強度と照射時間との積で表される。照射時間は、移送配管５を通流する洗浄液の流量で決まる。洗浄液の流量が大きくなるに従って洗浄液の流速が速くなるため、照射時間が短くなり紫外線照射量が減少する。反対に、洗浄液の流量を小さくすれば、照射時間が長くなり紫外線照射量を増加させることができる。
【0129】
そこで、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ未満である場合には、制御装置７０は、洗浄液の流量が基準値Ｒ１よりも小さくなるように、ポンプ２１を制御する。図１２の例では、制御装置７０は、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、洗浄液の流量が減少するように、ポンプ２１を制御する。このようにすると、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、洗浄液に対する紫外線の照射時間が長くなるため、紫外線照射量の減少を抑制することができる。なお、図１２では、紫外線透過率に応じて洗浄液の流量を連続的に変化させる構成例について説明したが、洗浄液の流量を段階的に変化させる構成としてもよい。
【0130】
洗浄ステージＳＴ２においても、制御装置７０は、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ以上である場合には、移送配管７を通流する洗浄液の流量が基準値Ｒ１になるように、ポンプ２２を制御する。一方、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ未満である場合には、制御装置７０は、洗浄液の流量が基準値Ｒ１よりも小さくなるように、ポンプ２２を制御する。これにより、洗浄液の紫外線透過率の低下による紫外線照射量の減少を抑制することができる。
【0131】
（変形例１）
図１２では、洗浄液の紫外線透過率に応じて移送配管５における洗浄液の流量を調整する構成について説明したが、洗浄液の紫外線透過率に応じて、ＵＶ発生部における紫外線発生強度を調整する構成としてもよい。具体的には、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、ＵＶ発生部の出力を増加させ、紫外線発生強度を上げる構成とすることができる。このようにすると、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、紫外線発生強度が大きくなるため、紫外線照射量の減少を抑制することができる。
図１２では、洗浄液の紫外線透過率に応じて移送配管５における洗浄液の流量を調整する構成について説明したが、洗浄液の紫外線透過率に応じて、ＵＶ発生部における紫外線発生強度を調整する構成としてもよい。具体的には、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、ＵＶ発生部の出力を増加させ、紫外線発生強度を上げる構成とすることができる。このようにすると、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど、紫外線発生強度が大きくなるため、紫外線照射量の減少を抑制することができる。
【0132】
（変形例２）
図１２では、洗浄液の紫外線透過率に応じて移送配管５における洗浄液の流量を調整する構成について説明したが、洗浄液の紫外線透過率に応じて供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量を調整する構成としてもよい。
図１２では、洗浄液の紫外線透過率に応じて移送配管５における洗浄液の流量を調整する構成について説明したが、洗浄液の紫外線透過率に応じて供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量を調整する構成としてもよい。
【0133】
図１３は、制御装置７０によるポンプ２１の制御を説明するための図である。
図１３には、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の紫外線透過率と、供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量との関係が例示されている。図１３の横軸は洗浄液の紫外線透過率を示し，縦軸は供給配管４における未使用の洗浄液の流量を示す。
図１３には、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の紫外線透過率と、供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量との関係が例示されている。図１３の横軸は洗浄液の紫外線透過率を示し，縦軸は供給配管４における未使用の洗浄液の流量を示す。
【0134】
図１３に示すように、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ以上である場合には、制御装置７０は、供給配管４を通流する未使用の洗浄液の流量が予め定められた基準値Ｒ２になるように、ポンプ２０を制御する。
【0135】
一方、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ未満である場合には、制御装置７０は、未使用の洗浄液の流量が基準値Ｒ２よりも大きくなるように、ポンプ２０を制御する。図１３の例では、制御装置７０は、洗浄液の紫外線透過率が低くなるほど未使用の洗浄液の流量が増加するように、ポンプ２０を制御する。
【0136】
このようにすると、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の紫外線透過率が低くなるに従って、洗浄液槽３３に供給される未使用の洗浄液の供給量が増加する。その結果、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液全体に占める未使用の洗浄液の割合が増えるため、洗浄液の紫外線透過率が上昇することになる。洗浄液の紫外線透過率が上昇したことによって、紫外線照射量の減少が抑制される。なお、図１３では、紫外線透過率に応じて未使用の洗浄液の流量を連続的に変化させる構成例について説明したが、未使用の洗浄液の流量を段階的に変化させる構成としてもよい。
【0137】
洗浄ステージＳＴ２では、制御装置７０は、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ以上である場合には、移送配管５を通流する洗浄液の流量が基準値Ｒ２になるように、ポンプ２１を制御する。
【0138】
一方、洗浄液の紫外線透過率が閾値Ｔｔｈ未満である場合には、制御装置７０は、移送配管５を通流する洗浄液の流量が基準値Ｒ２よりも大きくなるように、ポンプ２１を制御する。洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液は、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液によりも異物の含有量が少ない。そのため、紫外線透過率の低下に応じて、洗浄液槽３３から洗浄液槽３２に送られてくる洗浄液の量を増やすことにより、洗浄液槽３２に貯留されている洗浄液の紫外線透過率を回復させることができる。その結果、紫外線照射量の減少を抑制することができる。
【0139】
［実施の形態５］
図１４は、実施の形態５に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１４に示すように、実施の形態５に係る洗浄装置１００は、図１０に示した実施の形態４に係る洗浄装置１００とは、複数の逆洗フィルタ８４、複数の逆洗配管８６、および複数のポンプ８８を備える点が異なる。
図１４は、実施の形態５に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１４に示すように、実施の形態５に係る洗浄装置１００は、図１０に示した実施の形態４に係る洗浄装置１００とは、複数の逆洗フィルタ８４、複数の逆洗配管８６、および複数のポンプ８８を備える点が異なる。
【0140】
図１４に示すように、逆洗フィルタ８４は、循環配管６，８の各々に介挿接続されている。逆洗フィルタ８４は、網目状構造を有しており、循環配管６，８を通流する洗浄液を濾過して洗浄液に含まれる異物を捕集するように構成されている。
【0141】
逆洗フィルタ８４には、逆洗配管８６が接続されている。ポンプ８８は、逆洗配管８６に介挿接続される。逆洗配管８６およびポンプ８８は、逆洗フィルタ８４に捕集された異物を除去するために、逆洗フィルタ８４を逆洗浄するための「逆洗装置」を構成する。逆洗浄とは、逆洗フィルタ８４内の洗浄水の通流方向を、循環モード時とは逆方向とすることで、逆洗フィルタ８４に付着した異物を除去する洗浄方法である。
【0142】
図１４の例では、逆洗配管８６に介挿接続されるポンプ８８を作動することにより、逆洗配管８６を経由して逆洗フィルタ８４に水が送られる。逆洗フィルタ８４内の水の通流方向は、循環モード時の洗浄液の通流方向とは逆方向となっている。逆洗フィルタ８４を通流して異物を含んだ水は、廃水として逆洗配管８６から排出される。
【0143】
このように逆洗フィルタ８４の逆洗浄を行うことによって、逆洗フィルタ８４の目詰まりを防ぐことができるため、循環モード時に洗浄液槽３３に循環される洗浄液を適当に浄化することができる。
【0144】
図１５は、洗浄ステージＳＴ３における逆洗フィルタ８４の逆洗浄を説明するための図である。
【0145】
切替弁４１が開放され、切替弁５１が閉止されると、洗浄ステージＳＴ３は循環モードとなる。循環モード時には、循環配管６を通流する洗浄液が逆洗フィルタ８４を通過する。逆洗フィルタ８４によって濾過された洗浄液が洗浄液槽３３に戻される。浄化装置６０および逆洗フィルタ８４によって洗浄液が浄化されるため、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができる。
【0146】
次に、切替弁４１が閉止され、切替弁５１が開放されると、洗浄ステージＳＴ３は循環モードから移送モードへ遷移する。図１５には、移送モード時の洗浄ステージＳＴ３が示されている。移送モード時には、洗浄液槽３３に貯留されている洗浄液が図示しない洗浄液槽３２へ送られるため、循環配管６には洗浄液が流れない。そこで、制御装置７０は、移送モード時にポンプ８８を作動させて逆洗フィルタ８４の逆洗浄を行う。洗浄ステージＳＴ３が移送モードから循環モードに再び遷移すると、制御装置７０は、ポンプ８８の作動を停止することにより、逆洗フィルタ８４の逆洗浄を停止する。
【0147】
図１６は、逆洗フィルタ８４の逆洗浄を説明するためのタイミングチャートである。図１６には、洗浄ステージＳＴ３に関連する部分の動作波形が示されている。図１６のタイミングチャートは、図４に示したタイミングチャートにポンプ８８の動作波形を追加したものである。
【0148】
図１６に示すように、制御装置７０は、洗浄ステージＳＴ３が循環モードとなる期間（時刻ｔ２以前、時刻ｔ３～ｔ５、および時刻ｔ６以降の期間）において、ポンプ８８の作動を停止（オフ）する。よって、逆洗フィルタ８４の逆洗浄は行われない。逆洗フィルタ８４は、循環配管６を通流する洗浄液に含まれる異物を除去する。
【0149】
制御装置７０は、洗浄ステージＳＴ３は移送モードとなる期間（時刻ｔ２～ｔ３、および時刻ｔ５～ｔ６の期間）において、ポンプ８８を作動（オン）する。ポンプ８８が作動することにより、逆洗フィルタ８４の逆洗浄が行われ、循環モード中に付着した異物が逆洗フィルタ８４から除去される。
【0150】
このように移送モードから循環モードへの遷移に合わせて逆洗フィルタ８４の逆洗浄を実行することにより、循環モード時における逆洗フィルタ８４の異物除去性能を保つことができる。
【0151】
［実施の形態６］
図１７は、実施の形態６に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１７に示すように、実施の形態６に係る洗浄装置１００は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００とは、ドレン配管３５およびドレン排出弁３７を備える点が異なる。
図１７は、実施の形態６に係る洗浄装置１００の構成例を概略的に示す図である。図１７に示すように、実施の形態６に係る洗浄装置１００は、図１に示した実施の形態１に係る洗浄装置１００とは、ドレン配管３５およびドレン排出弁３７を備える点が異なる。
【0152】
洗浄液槽３３の底面にはドレン配管３５の上流端が接続されている。ドレン配管３５の下流端は、図示しない廃棄タンクに接続されている。
【0153】
ドレン排出弁３７は、ドレン配管３５に介挿接続される。ドレン排出弁３７の開閉は、制御装置７０によって制御される。ドレン排出弁３７が開放されると、洗浄液槽３３の底面に沈殿している異物が洗浄液槽３３から排出されて廃棄タンクへ送られる。
【0154】
これによると、洗浄液槽３３に滞留している異物を、ドレン配管３５を通して外部に排出することができる。そのため、洗浄液における異物の含有量を減らすことができる。
【0155】
なお、図１７の例では、洗浄液槽３３にのみドレン配管３５およびドレン排出弁３７が取り付けられているが、洗浄液槽３１，３２にもドレン配管３５およびドレン排出弁３７を取り付けることが可能である。
【0156】
また、ドレン排出弁３７の開閉は、制御装置７０が予め定められた周期に従って行うことができる。あるいは、制御装置７０は、外部から与えられた開放指令に応答して、ドレン排出弁３７を開放する構成としてもよい。
【0157】
以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。
（付記１）
洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージと、
制御装置とを備え、
前記第１の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含み、
前記第２の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布する第２の循環系統と、
前記洗浄液を浄化する浄化装置と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、前記浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含み、
前記制御装置は、前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、洗浄装置。
（付記１）
洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージと、
制御装置とを備え、
前記第１の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収するための第１の洗浄液槽と、
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するための第１の循環系統とを含み、
前記第２の洗浄ステージは、
前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を回収する第２の洗浄液槽と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布する第２の循環系統と、
前記洗浄液を浄化する浄化装置と、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、前記浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路と、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路と、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるための切替手段とを含み、
前記制御装置は、前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、洗浄装置。
【0158】
（付記２）
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の液量を検出するためのレベルセンサをさらに備え、
前記制御装置は、前記レベルセンサにより検出される前記第２の洗浄液槽の液量に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の液量を検出するためのレベルセンサをさらに備え、
前記制御装置は、前記レベルセンサにより検出される前記第２の洗浄液槽の液量に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１に記載の洗浄装置。
【0159】
（付記３）
前記制御装置は、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記２に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記２に記載の洗浄装置。
【0160】
（付記４）
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液を前記第２の洗浄液槽に供給し、かつ、前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御するとともに、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、付記３に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液を前記第２の洗浄液槽に供給し、かつ、前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値以上となったときには、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合において、前記第２の洗浄液槽の液量が前記第１の閾値よりも低い第２の閾値以下となったときには、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御するとともに、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、付記３に記載の洗浄装置。
【0161】
（付記５）
前記第２の洗浄ステージにおける前記被洗浄物の有無を検知するための物体検知センサをさらに備え、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージにおける前記被洗浄物の有無を検知するための物体検知センサをさらに備え、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて前記切替手段を制御することにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１に記載の洗浄装置。
【0162】
（付記６）
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の循環系統を作動するとともに、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の循環系統を停止するとともに、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記５に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の循環系統を作動するとともに、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の循環系統を停止するとともに、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記５に記載の洗浄装置。
【0163】
（付記７）
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を制御する、付記５または付記６に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、前記物体検知センサからの信号に応じて、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を制御する、付記５または付記６に記載の洗浄装置。
【0164】
（付記８）
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽に前記未使用の洗浄液を供給し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、付記７に記載の洗浄装置。
前記制御装置は、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置することが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽に前記未使用の洗浄液を供給し、
前記第２の洗浄ステージに前記被洗浄物が位置しないことが検知された場合には、前記第２の洗浄液槽への前記未使用の洗浄液の供給を停止する、付記７に記載の洗浄装置。
【0165】
（付記９）
前記浄化装置は、除菌効果を有する波長域の光線を前記洗浄液に照射する光線照射装置を含む、付記１から付記８のいずれか１項に記載の洗浄装置。
前記浄化装置は、除菌効果を有する波長域の光線を前記洗浄液に照射する光線照射装置を含む、付記１から付記８のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【0166】
（付記１０）
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路および前記循環経路を通流する前記洗浄液の流量を低下させる、付記９に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路および前記循環経路を通流する前記洗浄液の流量を低下させる、付記９に記載の洗浄装置。
【0167】
（付記１１）
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記光線照射装置における前記光線の発生強度を増加させる、付記９に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記光線照射装置における前記光線の発生強度を増加させる、付記９に記載の洗浄装置。
【0168】
（付記１２）
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路を通流する前記洗浄液の流量を増加させる、付記９に記載の洗浄装置。
前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液の前記光線の透過率を検出する透過率検出部をさらに備え、
前記制御装置は、前記洗浄液の前記光線の透過率が基準値未満である場合には、当該透過率が前記基準値以上である場合に比べて、前記移送経路を通流する前記洗浄液の流量を増加させる、付記９に記載の洗浄装置。
【0169】
（付記１３）
前記第２の洗浄ステージは、
前記循環経路に介挿接続され、前記洗浄液を濾過するフィルタと、
前記フィルタの逆洗浄を行うための逆洗浄装置とをさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を作動し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を停止する、付記１から付記１２のいずれか１項に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージは、
前記循環経路に介挿接続され、前記洗浄液を濾過するフィルタと、
前記フィルタの逆洗浄を行うための逆洗浄装置とをさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を作動し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記逆洗浄装置を停止する、付記１から付記１２のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【0170】
（付記１４）
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されている場合に、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されていない場合に、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記１に記載の洗浄装置。
前記第２の洗浄ステージは、前記搬送路の最下流に配置されており、
前記第２の洗浄液槽には、未使用の洗浄液を供給するための供給配管が接続され、
前記制御装置は、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されている場合に、前記移送経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御し、
前記未使用の洗浄液が前記第２の洗浄液槽に供給されていない場合に、前記循環経路を前記洗浄液が通流するように前記切替手段を制御する、付記１に記載の洗浄装置。
【0171】
（付記１５）
前記第１の洗浄ステージは、前記搬送路の最上流に配置されており、前記第１の洗浄液槽に貯留されている前記洗浄液を排出するための排出配管をさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽から前記洗浄液を排出し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽からの前記洗浄液の排出を停止する、付記１から付記１４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
前記第１の洗浄ステージは、前記搬送路の最上流に配置されており、前記第１の洗浄液槽に貯留されている前記洗浄液を排出するための排出配管をさらに含み、
前記制御装置は、
前記移送経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽から前記洗浄液を排出し、
前記循環経路を前記洗浄液が通流している場合に、前記第１の洗浄液槽からの前記洗浄液の排出を停止する、付記１から付記１４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【0172】
（付記１６）
前記移送経路は、前記第２の洗浄液槽に上流端が接続され、かつ、前記第１の洗浄液槽に下流端が接続された移送配管を含み、前記移送配管には前記浄化装置が介挿接続され、
前記循環経路は、前記浄化装置と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に上流端が接続され、かつ、前記第２の洗浄液槽に下流端が接続された循環配管を含み、
前記切替手段は、
前記循環配管に介挿接続される第１の切替弁と、
前記循環配管の上流端と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に介挿接続される第２の切替弁とを含み、
前記制御装置は、前記第１および第２の切替弁を相補的に開閉させることにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１から付記１５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
前記移送経路は、前記第２の洗浄液槽に上流端が接続され、かつ、前記第１の洗浄液槽に下流端が接続された移送配管を含み、前記移送配管には前記浄化装置が介挿接続され、
前記循環経路は、前記浄化装置と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に上流端が接続され、かつ、前記第２の洗浄液槽に下流端が接続された循環配管を含み、
前記切替手段は、
前記循環配管に介挿接続される第１の切替弁と、
前記循環配管の上流端と前記第１の洗浄液槽との間の前記移送配管に介挿接続される第２の切替弁とを含み、
前記制御装置は、前記第１および第２の切替弁を相補的に開閉させることにより、前記洗浄液が通流する経路を切り替える、付記１から付記１５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【0173】
（付記１７）
前記第１および第２の洗浄液槽の少なくとも一方に接続されたドレン配管と、
前記ドレン配管に介挿接続されるドレン排出弁とをさらに備える、付記１６に記載の洗浄装置。
前記第１および第２の洗浄液槽の少なくとも一方に接続されたドレン配管と、
前記ドレン配管に介挿接続されるドレン排出弁とをさらに備える、付記１６に記載の洗浄装置。
【0174】
（付記１８）
洗浄装置で被洗浄物を洗浄する方法であって、
前記洗浄装置は、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージとを含み、
前記第１の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える、洗浄方法。
洗浄装置で被洗浄物を洗浄する方法であって、
前記洗浄装置は、
前記被洗浄物を搬送する搬送路と、
前記搬送路に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第１の洗浄ステージと、
前記被洗浄物の搬送方向において前記第１の洗浄ステージの下流側に設けられ、前記被洗浄物に前記洗浄液を散布することにより前記被洗浄物を洗浄する第２の洗浄ステージとを含み、
前記第１の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第１の洗浄液槽に回収し、前記第１の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄ステージにて、前記被洗浄物に散布された前記洗浄液を第２の洗浄液槽に回収し、前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を前記被洗浄物に散布するステップと、
前記第２の洗浄液槽に貯留される前記洗浄液を、浄化装置を経て前記第１の洗浄液槽へ移送するための移送経路を形成するステップと、
前記洗浄液を前記第２の洗浄液槽から前記浄化装置を経て前記第２の洗浄液槽に戻すための循環経路を形成するステップと、
前記移送経路および前記循環経路の間で、前記洗浄液が通流する経路を切り替えるステップとを備える、洗浄方法。
【0175】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0176】
１～３，６，８ 循環配管、１ａ，２ａ，３ａ ノズル、４ 供給配管、５，７ 移送配管、９ 排出配管、１０ 搬送路、１１～１３，２０～２３，８８ ポンプ、１５ 貯留タンク、３１～３３ 洗浄液槽、３５ ドレン配管、３７ ドレン排出弁、４１，４２，５１，５２ 切替弁、６０ 浄化装置、６０Ａ 紫外線照射装置、６２ レベルセンサ、７０ 制御装置、７２ プロセッサ、７４ メモリ、７６ 入出力Ｉ／Ｆ、８０ 物体検知センサ、８２ 紫外線透過率検出部、８４ 逆洗フィルタ、８６ 逆洗配管、１００ 洗浄装置、３３０ 管部分、８２０ 発光部、８２２ 受光部、ＳＴ１～ＳＴ３ 洗浄ステージ、Ｒ１ 循環経路、Ｒ２ 移送経路。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】