(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024059146
(43)【公開日】2024-05-01
(54)【発明の名称】揺動装置
(51)【国際特許分類】
G02B 26/10 20060101AFI20240423BHJP
G02B 26/08 20060101ALI20240423BHJP
H02K 33/16 20060101ALI20240423BHJP
【ＦＩ】
G02B26/10 104Z
G02B26/08 E
H02K33/16 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022166639
(22)【出願日】2022-10-18
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】南澤 伸司
【テーマコード（参考）】
2H045
2H141
5H633
【Ｆターム（参考）】
2H045AB02
2H045AB38
2H045AB54
2H045BA02
2H141MB23
2H141MB24
2H141MC04
2H141MC05
2H141MD12
2H141MD23
2H141MD24
2H141MD40
2H141MG06
2H141MZ06
2H141MZ11
2H141MZ12
5H633BB03
5H633BB15
5H633BB16
5H633GG02
5H633GG06
5H633GG08
5H633GG13
5H633GG23
5H633HH03
5H633HH05
5H633HH09
5H633HH13
5H633JA03
5H633JB05
(57)【要約】
【課題】可動部を揺動させる揺動装置において、可動部のチルト動作を高い共振周波数で行い、且つ、安定したチルト動作を行う。
【解決手段】揺動装置１の可動体３は、第１接続機構４１を介して、支持体である中間可動枠８に対してＸ軸周り（第１軸周り）に揺動可能に支持される。第１接続機構４１は、可動体３に対してＸ軸方向の両側でＸ軸方向に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂを備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂのそれぞれは、Ｚ軸方向を板厚方向とする第１平板部１１と、Ｙ軸方向を板厚方向とする第２平板部１２を備える。第１平板部１１と第２平板部１２は、Ｘ軸方向から見て十字形、Ｌ字形、もしくはＴ字形のいずれかの形状に組み立てられている。
【選択図】図８
【解決手段】揺動装置１の可動体３は、第１接続機構４１を介して、支持体である中間可動枠８に対してＸ軸周り（第１軸周り）に揺動可能に支持される。第１接続機構４１は、可動体３に対してＸ軸方向の両側でＸ軸方向に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂを備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂのそれぞれは、Ｚ軸方向を板厚方向とする第１平板部１１と、Ｙ軸方向を板厚方向とする第２平板部１２を備える。第１平板部１１と第２平板部１２は、Ｘ軸方向から見て十字形、Ｌ字形、もしくはＴ字形のいずれかの形状に組み立てられている。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動体および支持体と、
前記可動体と前記支持体とを接続する第１接続機構と、を有し、
前記可動体は、前記第１接続機構を介して、前記支持体に対して第１軸を中心とする第１軸周りの方向に揺動可能に支持され、
前記第１軸に沿う方向を第１軸方向とし、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を第２軸方向とし、前記第１軸と交差し且つ前記第２軸と交差する第３軸に沿う方向を第３軸方向とする場合に、
前記第１接続機構は、前記可動体に対して前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の板ばね部を備え、
前記一対の板ばね部のそれぞれは、前記第３軸方向を板厚方向とする第１平板部と、前記第２軸方向を板厚方向とする第２平板部と、を備え、
前記第１平板部と前記第２平板部は、前記第１平板部の板厚方向の撓みが前記第２平板部により規制され、且つ、前記第２平板部の板厚方向の撓みが前記第１平板部により規制されるように組み立てられていることを特徴とする揺動装置。
前記可動体と前記支持体とを接続する第１接続機構と、を有し、
前記可動体は、前記第１接続機構を介して、前記支持体に対して第１軸を中心とする第１軸周りの方向に揺動可能に支持され、
前記第１軸に沿う方向を第１軸方向とし、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を第２軸方向とし、前記第１軸と交差し且つ前記第２軸と交差する第３軸に沿う方向を第３軸方向とする場合に、
前記第１接続機構は、前記可動体に対して前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の板ばね部を備え、
前記一対の板ばね部のそれぞれは、前記第３軸方向を板厚方向とする第１平板部と、前記第２軸方向を板厚方向とする第２平板部と、を備え、
前記第１平板部と前記第２平板部は、前記第１平板部の板厚方向の撓みが前記第２平板部により規制され、且つ、前記第２平板部の板厚方向の撓みが前記第１平板部により規制されるように組み立てられていることを特徴とする揺動装置。
【請求項2】
前記第１軸方向から見た場合に、前記第１平板部と前記第２平板部とが交差する交点と前記第１軸とが重なることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【請求項3】
前記可動体を前記第１軸周りに揺動させる第１磁気駆動機構を有し、
前記第１磁気駆動機構は、前記可動体に配置される磁石を備え、
前記可動体は、前記第３軸方向の一方側に反射部材が固定され、且つ、前記第３軸方向の他方側に前記磁石が固定される板状の被固定部を備え、
前記一対の板ばね部は、前記被固定部から前記第１軸方向の両側へ延びていることを特徴とする請求項２に記載の揺動装置。
前記第１磁気駆動機構は、前記可動体に配置される磁石を備え、
前記可動体は、前記第３軸方向の一方側に反射部材が固定され、且つ、前記第３軸方向の他方側に前記磁石が固定される板状の被固定部を備え、
前記一対の板ばね部は、前記被固定部から前記第１軸方向の両側へ延びていることを特徴とする請求項２に記載の揺動装置。
【請求項4】
前記第３軸方向を板厚方向とする平板状の前記被固定部と、前記被固定部の前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の前記第１平板部とが一体に形成された第１部材と、
前記被固定部の前記第３軸方向の他方側において前記第２軸方向を板厚方向として前記第１軸方向に延びる板状の中央部と、前記中央部の前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の前記第２平板部とが一体に形成された第２部材と、を備え、
前記第１部材および前記第２部材は、前記第１軸方向の両端が前記支持体に接続されることを特徴とする請求項３に記載の揺動装置。
前記被固定部の前記第３軸方向の他方側において前記第２軸方向を板厚方向として前記第１軸方向に延びる板状の中央部と、前記中央部の前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の前記第２平板部とが一体に形成された第２部材と、を備え、
前記第１部材および前記第２部材は、前記第１軸方向の両端が前記支持体に接続されることを特徴とする請求項３に記載の揺動装置。
【請求項5】
前記中央部は、前記磁石を介して前記被固定部に固定されることを特徴とする請求項４に記載の揺動装置。
【請求項6】
前記一対の第１平板部のそれぞれは、前記第１軸方向に延びるスリットを備え、
前記スリットに前記第２平板部が配置されることを特徴とする請求項４に記載の揺動装置。
前記スリットに前記第２平板部が配置されることを特徴とする請求項４に記載の揺動装置。
【請求項7】
前記第２平板部は、前記第１平板部の前記第２軸方向の端部から前記第３軸方向に屈曲して延びていることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動体を揺動させる揺動装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、レーザー光などの走査光を射出して反射光を検知し、反射光が戻ってくるまでの時間を計測することで対象物までの距離や方向、形状などを測定する計測装置が用いられている。この種の計測装置では、走査光を反射するミラーを所定の周波数で揺動させるチルト動作を行ってパルス光を射出する。
【0003】
特許文献１には、ミラーを揺動させて走査光を反射する揺動装置（光スキャナ装置）が記載される。特許文献１の光スキャナ装置は、ミラーが配置される矩形の可動部と、可動部を囲む矩形枠状の固定部とを板バネで接続した揺動支持機構を備えており、可動部に配置されるコイルと固定部に配置される磁石とを備えた磁気駆動回路の駆動力により、ミラーが駆動される。
【0004】
特許文献１の揺動支持機構では、可動部はミラーの面内方向と平行な回転軸線周りに回転可能に支持される。可動部と固定部とを接続する板バネは回転軸線上に配置され、可動部から回転軸線方向の両側に延びた一対の板バネが固定部に接続される。一対の板バネは、可動部の回転軸線方向の両側において、それぞれ、板厚方向に２枚ずつ重ねて配置される。ミラーを駆動する際は、可動部が共振状態となる共振周波数で磁気駆動回路を駆動することにより、可動部を大きく傾けることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０００－３３００６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
特許文献１の揺動支持機構は、単純な平板状の板バネを用いるため、回転軸線周りのチルト動作を行う際の共振周波数を増加させるには板バネの剛性を高くする必要がある。しかしながら、板バネの剛性を高くすると最大応力も高くなるため、可動部を駆動するために大きな駆動力が必要となり、可動部を駆動することが困難になってしまう。そのため、共振周波数を高くすることが困難である。
【0007】
板バネの厚さを薄くすることにより、共振周波数を増加させつつ最大応力の増大を抑制することはできるが、その場合は板バネの厚さを薄くした弊害として、板厚方向の振動の共振周波数が低くなり、チルト動作の共振周波数に近づく。そのため、チルト動作の際に可動部が板厚方向に動きやすくなるので、チルト動作が不安定になるという問題がある。
【0008】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、可動部のチルト動作を高い共振周波数で行うことができ、且つ、安定したチルト動作を行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記の課題を解決するために、本発明の揺動装置は、可動体および支持体と、前記可動体と前記支持体とを接続する第１接続機構と、を有し、前記可動体は、前記第１接続機構を介して、前記支持体に対して第１軸を中心とする第１軸周りの方向に揺動可能に支持され、前記第１軸に沿う方向を第１軸方向とし、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を
第２軸方向とし、前記第１軸と交差し且つ前記第２軸と交差する第３軸に沿う方向を第３軸方向とする場合に、前記第１接続機構は、前記可動体に対して前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の板ばね部を備え、前記一対の板ばね部のそれぞれは、前記第３軸方向を板厚方向とする第１平板部と、前記第２軸方向を板厚方向とする第２平板部と、を備え、前記第１平板部と前記第２平板部は、前記第１平板部の板厚方向の撓みが前記第２平板部により規制され、且つ、前記第２平板部の板厚方向の撓みが前記第１平板部により規制されるように組み立てられていることを特徴とする。
第２軸方向とし、前記第１軸と交差し且つ前記第２軸と交差する第３軸に沿う方向を第３軸方向とする場合に、前記第１接続機構は、前記可動体に対して前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の板ばね部を備え、前記一対の板ばね部のそれぞれは、前記第３軸方向を板厚方向とする第１平板部と、前記第２軸方向を板厚方向とする第２平板部と、を備え、前記第１平板部と前記第２平板部は、前記第１平板部の板厚方向の撓みが前記第２平板部により規制され、且つ、前記第２平板部の板厚方向の撓みが前記第１平板部により規制されるように組み立てられていることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、可動体の両側に第１軸方向に延びる一対の板ばね部を配置し、板ばね部を介して可動体を支持体に接続しているので、板ばね部を回転軸として第１軸周りに可動体を揺動させることができる。板ばね部は、交差する２枚の板ばね（平板部）を備えており、２枚の平板部が互いの撓みを規制するように組み立てられている。このようにすると、高い共振周波数で可動体を揺動させることを目的として、板ばね部が第１軸周りにねじれるときのばね定数を低くするために板ばね部の板厚を薄くした場合であっても、各平板部が板厚方向に撓みやすくなることを交差する平板部が突っ張ることにより規制することができる。これにより、板ばね部の板厚方向の振動の共振周波数が低くなって第１軸周りの共振周波数に近づくことを回避できる。従って、可動体が揺動する際に第１軸（揺動軸線）と交差する方向に可動体が動きやすくなって可動体の動き（第１軸周りの揺動運動）が不安定になることを回避できる。よって、可動体のチルト動作を高い共振周波数で行うことができ、且つ、安定したチルト動作を行うことができる。
【0011】
本発明において、前記第１軸方向から見た場合に、前記第１平板部と前記第２平板部とが交差する交点と前記第１軸とが重なることが好ましい。このように、交差する２枚の平板部（第１平板部、第２平板部）が交わる交点を回転中心（第１軸）として可動体が揺動する場合には、板ばね部は交点（第１軸）を中心として回転する方向以外の方向に動き難い。従って、安定したチルト動作を行うことができる。
【0012】
本発明において、前記可動体を前記第１軸周りに揺動させる第１磁気駆動機構を有し、前記第１磁気駆動機構は、前記可動体に配置される磁石を備え、前記可動体は、前記第３軸方向の一方側に反射部材が固定され、且つ、前記第３軸方向の他方側に前記磁石が固定される板状の被固定部を備え、前記一対の板ばね部は、前記被固定部から前記第１軸方向の両側へ延びていることが好ましい。このようにすると、被固定部に固定された反射部材を第１軸周りに揺動させるチルト動作を行うことができる。また、第１磁気駆動機構を反射部材に対して第２軸方向で重なる位置に設けることができる。
【0013】
本発明において、前記第３軸方向を板厚方向とする平板状の前記被固定部と、前記被固定部の前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の前記第１平板部とが一体に形成された第１部材と、前記被固定部の前記第３軸方向の他方側において前記第２軸方向を板厚方向として前記第１軸方向に延びる板状の中央部と、前記中央部の前記第１軸方向の両側において前記第１軸方向に延びる一対の前記第２平板部とが一体に形成された第２部材と、を備え、前記第１部材および前記第２部材は、前記第１軸方向の両端が前記支持体に接続されることが好ましい。このようにすると、曲げ加工のない平板状の２部品（第１部材、第２部材）を組み立てることにより、被固定部（可動体）の両側にそれぞれ交差する２枚の板ばねを配置した構造体を完成させることができる。従って、部品数および部品の加工手間の削減を図り、組立工数の削減を図ることができる。
【0014】
本発明において、前記中央部は、前記磁石を介して前記被固定部に固定されることが好ましい。このようにすると、第２平板部の第２軸方向の撓みを抑制できるので、板ばね部が第１軸を中心として回転する方向以外の方向に動くことを抑制できる。
【0015】
本発明において、前記一対の第１平板部のそれぞれは、前記第１軸方向に延びるスリットを備え、前記スリットに前記第２平板部が配置されることが好ましい。このようにすると、板ばね部を第１軸（回転軸線）を中心として第３軸方向に対称な形状に近づけることができ、且つ、板ばね部を第１軸（回転軸線）を中心として第２軸方向に対称な形状に近づけることができる。従って、安定したチルト動作を行うことができる。
【0016】
本発明において、前記第２平板部は、前記第１平板部の前記第２軸方向の端部から前記第３軸方向に屈曲して延びていることが好ましい。このようにすると、板ばね部を１部品で構成することができる。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、可動体の両側に第１軸方向に延びる一対の板ばね部を配置し、板ばね部を介して可動体を支持体に接続しているので、板ばね部を回転軸として第１軸周りに可動体を揺動させることができる。板ばね部は、交差する２枚の板ばね（平板部）を備えており、２枚の平板部が互いの撓みを規制するように組み立てられている。このようにすると、高い共振周波数で可動体を揺動させることを目的として、板ばね部が第１軸周りにねじれるときのばね定数を低くするために板ばね部の板厚を薄くした場合であっても、各平板部が板厚方向に撓みやすくなることを交差する平板部が突っ張ることにより規制することができる。これにより、板ばね部の板厚方向の振動の共振周波数が低くなって第１軸周りの共振周波数に近づくことを回避できる。従って、可動体が揺動する際に第１軸（揺動軸線）と交差する方向に可動体が動きやすくなって可動体の動き（第１軸周りの揺動運動）が不安定になることを回避できる。よって、可動体のチルト動作を高い共振周波数で行うことができ、且つ、安定したチルト動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明を適用した揺動装置の外観斜視図である。
【図2】Ｚ１方向から見た揺動装置の分解斜視図である。
【図3】Ｚ２方向から見た揺動装置の分解斜視図である。
【図6】可動体、中間可動枠、および第１接続機構の平面図および側面図である。
【図7】Ｚ１方向から見た可動体、中間可動枠、および第１接続機構の分解斜視図である。
【図8】Ｚ２方向から見た可動体、中間可動枠、および第１接続機構の分解斜視図である。
【図9】変形例の可動体、中間可動枠、および第１接続機構の斜視図である。
【図10】変形例の板ばね部および被固定部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した揺動装置の実施形態を説明する。
【0020】
（全体構成）
図１は、本発明を適用した揺動装置１の外観斜視図である。図２は、Ｚ１方向から見た揺動装置１の分解斜視図である。図３は、Ｚ２方向から見た揺動装置１の分解斜視図である。図４は、図１のＡ－Ａ位置で切断した揺動装置１の断面図である。図５は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した揺動装置１の断面図である。
図１は、本発明を適用した揺動装置１の外観斜視図である。図２は、Ｚ１方向から見た揺動装置１の分解斜視図である。図３は、Ｚ２方向から見た揺動装置１の分解斜視図である。図４は、図１のＡ－Ａ位置で切断した揺動装置１の断面図である。図５は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した揺動装置１の断面図である。
【0021】
揺動装置１は、反射部材であるミラー２を備える。ミラー２は円形であり、平坦な反射面２ａを備える。揺動装置１は、ミラー２を反射面２ａと平行な回転軸線周りに揺動させ
る。揺動装置１は、例えば、レーザー光などの走査光を射出して反射光を受光する計測装置に用いられる。揺動装置１は、走査光を反射するミラー２を所定の周波数で揺動させるチルト動作を行う。
る。揺動装置１は、例えば、レーザー光などの走査光を射出して反射光を受光する計測装置に用いられる。揺動装置１は、走査光を反射するミラー２を所定の周波数で揺動させるチルト動作を行う。
【0022】
以下の説明では、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とする。Ｘ軸は第１軸である。Ｙ軸は第２軸である。Ｚ軸は第３軸である。Ｘ軸に沿う方向をＸ軸方向（第１軸方向）とし、Ｙ軸に沿う方向をＹ軸方向（第２軸方向）とし、Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向（第３軸方向）とする。Ｘ軸方向の一方側をＸ１方向とし、Ｘ軸方向の他方側をＸ２方向とし、Ｙ軸方向の一方側をＹ１方向とし、Ｙ軸方向の他方側をＹ２方向とし、Ｚ軸方向の一方側をＺ１方向とし、Ｚ軸方向の他方側をＺ２方向とする。
【0023】
図１、図２、図３に示すように、揺動装置１は、ミラー２を備える可動体３と、揺動支持機構４と、揺動支持機構４を介して可動体３を支持する固定体５を備える。揺動支持機構４は、可動体３をＸ軸周り（第１軸周り）およびＹ軸周り（第２軸周り）に揺動可能に支持する。また、揺動装置１は、可動体３をＸ軸周りに揺動させる第１磁気駆動機構６と、可動体３をＹ軸周りに揺動させる第２磁気駆動機構７を備える。
【0024】
図２、図３、図４、図５に示すように、揺動支持機構４は、可動体３と固定体５との間に配置される中間可動枠８と、可動体３と中間可動枠８とを接続する第１接続機構４１と、中間可動枠８と固定体５とを接続する第２接続機構４２を備える。中間可動枠８は、第１接続機構４１を介して、可動体３をＸ軸周りに回転可能に支持する。すなわち、中間可動枠８は、第１接続機構４１を介して可動体３を支持する支持体である。固定体５は、第２接続機構４２を介して中間可動枠８をＹ軸周りに回転可能に支持する。
【0025】
図６は、可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構４１の平面図および側面図である。図６（ａ）は平面図であり、図６（ｂ）はＸ１方向から見た側面図であり、図６（ｃ）はＹ１方向から見た側面図である。本形態では、Ｘ軸とＹ軸の交点は、Ｚ軸方向から見た可動体３の中心Ｐと重なる（図６（ａ）参照）。可動体３に配置されるミラー２は、反射面２ａがＺ１方向を向くように設置される。揺動装置１は、例えば、反射面２ａがＺ１方向を向く位置を可動体３の基準位置とし、基準位置を中心としてＸ軸周りに所定の角度範囲でミラー２を揺動させるチルト動作、および、基準位置を中心としてＹ軸周りに所定の角度範囲でミラー２を揺動させるチルト動作を行う。
【0026】
（固定体）
図２、図３に示すように、固定体５は、可動体３および揺動支持機構４を内側に収容するカバー５１と、カバー５１のＺ２方向の端部に固定されて可動体３および揺動支持機構４をＺ２方向から覆うベース５２を備える。カバー５１およびベース５２は、非磁性の金属からなる。カバー５１は、可動体３および揺動支持機構４をＺ１方向から覆う端板部５３と、端板部５３の外縁からＺ２方向に延びる側板部５４を備える。端板部５３には、ミラー２にＺ２方向から重なる部分を切り欠いた開口部５５が設けられている。側板部５４は、Ｘ軸方向に対向する第１側板部５４１および第２側板部５４２と、Ｙ軸方向で対向する第３側板部５４３および第４側板部５４４を備える。
図２、図３に示すように、固定体５は、可動体３および揺動支持機構４を内側に収容するカバー５１と、カバー５１のＺ２方向の端部に固定されて可動体３および揺動支持機構４をＺ２方向から覆うベース５２を備える。カバー５１およびベース５２は、非磁性の金属からなる。カバー５１は、可動体３および揺動支持機構４をＺ１方向から覆う端板部５３と、端板部５３の外縁からＺ２方向に延びる側板部５４を備える。端板部５３には、ミラー２にＺ２方向から重なる部分を切り欠いた開口部５５が設けられている。側板部５４は、Ｘ軸方向に対向する第１側板部５４１および第２側板部５４２と、Ｙ軸方向で対向する第３側板部５４３および第４側板部５４４を備える。
【0027】
（第１接続機構）
図２、図３、図６に示すように、第１接続機構４１は、可動体３のＸ１方向の端部に接続される板ばね部１０Ａと、可動体３のＸ２方向の端部に接続される板ばね部１０Ｂを備える。第１接続機構４１は、可動体３のＸ軸方向の両側に配置される一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂによって可動体３と中間可動枠８とを接続する。板ばね部１０Ａ、１０ＢはＸ軸方向に延びており、Ｚ軸方向から見た場合にＸ軸と重なる。従って、可動体３は、板ばね部１０Ａ、１０Ｂを回転軸としてＸ軸周りに揺動可能に支持される。板ばね部１０Ａ、
１０Ｂは同一形状であり、Ｘ軸方向で逆向きに配置される。板ばね部１０Ａ、１０Ｂの詳細な構造については後述する。
図２、図３、図６に示すように、第１接続機構４１は、可動体３のＸ１方向の端部に接続される板ばね部１０Ａと、可動体３のＸ２方向の端部に接続される板ばね部１０Ｂを備える。第１接続機構４１は、可動体３のＸ軸方向の両側に配置される一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂによって可動体３と中間可動枠８とを接続する。板ばね部１０Ａ、１０ＢはＸ軸方向に延びており、Ｚ軸方向から見た場合にＸ軸と重なる。従って、可動体３は、板ばね部１０Ａ、１０Ｂを回転軸としてＸ軸周りに揺動可能に支持される。板ばね部１０Ａ、
１０Ｂは同一形状であり、Ｘ軸方向で逆向きに配置される。板ばね部１０Ａ、１０Ｂの詳細な構造については後述する。
【0028】
（第２接続機構）
第２接続機構４２は、カバー５１および中間可動枠８をＹ軸周りに相対回転可能に接続する。図２、図３、図５に示すように、第２接続機構４２は、中間可動枠８のＹ軸方向の両側に配置される一対の接点部材４３と、中間可動枠８のＹ軸方向の両端に固定される一対の球体４４と、カバー５１の第３側板部５４３および第４側板部５４４の内側面に設けられた一対の接点部材支持部４５（図５参照）を備える。図５に示すように、各接点部材支持部４５は、接点部材４３をＹ軸上の位置に保持する。なお、図２、図３においては、接点部材支持部４５の図示を省略している。
第２接続機構４２は、カバー５１および中間可動枠８をＹ軸周りに相対回転可能に接続する。図２、図３、図５に示すように、第２接続機構４２は、中間可動枠８のＹ軸方向の両側に配置される一対の接点部材４３と、中間可動枠８のＹ軸方向の両端に固定される一対の球体４４と、カバー５１の第３側板部５４３および第４側板部５４４の内側面に設けられた一対の接点部材支持部４５（図５参照）を備える。図５に示すように、各接点部材支持部４５は、接点部材４３をＹ軸上の位置に保持する。なお、図２、図３においては、接点部材支持部４５の図示を省略している。
【0029】
接点部材４３は、金属板の曲げ加工により製造した板ばねである。図５に示すように、接点部材４３は、球体４４が点接触する凹曲面４３０が設けられた第１板部４３１と、第１板部４３１のＺ２方向の端部から略直角に屈曲した接続部４３２と、接続部４３２から略直角に屈曲して第１板部４３１と平行に延びる第２板部４３３を備える。
【0030】
固定体５と中間可動枠８とを第２接続機構４２により接続する際、カバー５１の内側に保持された一対の接点部材４３のそれぞれにおいて、第１板部４３１を第２板部４３３の側に撓ませて、対向する凹曲面４３０の間隔を広げ、その間に中間可動枠８を挿入する。第１板部４３１は中間可動枠８の側に付勢されて球体４４に押し付けられるので、Ｙ軸上において各凹曲面４３０と球体４４とが点接触する状態を維持できる。これにより、中間可動枠８がカバー５１に対してＹ軸周りに回転可能に支持される。
【0031】
（可動体）
図７は、Ｚ１方向から見た可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構４１の分解斜視図である。図８は、Ｚ２方向から見た可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構４１の分解斜視図である。図７、図８に示すように、可動体３は、円形のミラー２がＺ１方向の表面に固定される板状の被固定部３０を備える。被固定部３０は、矩形の磁石固定部３１と、磁石固定部３１の外周を囲む環状部３２と、磁石固定部３１からＸ１方向およびＸ２方向に延びて環状部３２に接続される一対の接続部３３を備える。図５、図８に示すように、被固定部３０における磁石固定部３１のＺ２方向の表面には、第１磁気駆動機構６の磁石６１が磁性板６３を介して固定される。磁性板６３は、磁石６１に対するヨークとして機能する。
図７は、Ｚ１方向から見た可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構４１の分解斜視図である。図８は、Ｚ２方向から見た可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構４１の分解斜視図である。図７、図８に示すように、可動体３は、円形のミラー２がＺ１方向の表面に固定される板状の被固定部３０を備える。被固定部３０は、矩形の磁石固定部３１と、磁石固定部３１の外周を囲む環状部３２と、磁石固定部３１からＸ１方向およびＸ２方向に延びて環状部３２に接続される一対の接続部３３を備える。図５、図８に示すように、被固定部３０における磁石固定部３１のＺ２方向の表面には、第１磁気駆動機構６の磁石６１が磁性板６３を介して固定される。磁性板６３は、磁石６１に対するヨークとして機能する。
【0032】
第１接続機構４１を構成する一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、被固定部３０からＸ１方向およびＸ２方向に延びて、中間可動枠８に接続される。これにより、可動体３が中間可動枠８に対してＸ軸周りに回転可能に支持される。
【0033】
（中間可動枠）
図４、図５、図７、図８に示すように、中間可動枠８は、可動体３とベース５２との間に配置される板部８１と、板部８１のＸ軸方向の両端からＸ軸方向の両側に延びる一対の腕部８２、８２と、板部８１のＹ軸方向の両端からＺ１方向に屈曲した一対の球体支持部８３、８３と、を備える。板部８１は、Ｘ軸方向に長い長円形である。板部８１の中央には、Ｘ軸方向に長い略長方形の開口部８４が設けられている。可動体３の磁石固定部３１に固定される磁石６１は、開口部８４を介して、ベース５２に固定されるコイル６２とＺ軸方向で対向する（図４、図５参照）。
図４、図５、図７、図８に示すように、中間可動枠８は、可動体３とベース５２との間に配置される板部８１と、板部８１のＸ軸方向の両端からＸ軸方向の両側に延びる一対の腕部８２、８２と、板部８１のＹ軸方向の両端からＺ１方向に屈曲した一対の球体支持部８３、８３と、を備える。板部８１は、Ｘ軸方向に長い長円形である。板部８１の中央には、Ｘ軸方向に長い略長方形の開口部８４が設けられている。可動体３の磁石固定部３１に固定される磁石６１は、開口部８４を介して、ベース５２に固定されるコイル６２とＺ軸方向で対向する（図４、図５参照）。
【0034】
図７、図８に示すように、一対の球体支持部８３、８３は、中間可動枠８のＸ軸方向の中央に配置される。Ｙ１側の球体支持部８３の先端には、Ｙ１側に突出する突出部８５が
設けられており、Ｙ２側の球体支持部８３の先端には、Ｙ２側に突出する突出部８５が設けられている。各突出部８５の先端には、第２接続機構４２の球体４４が溶接により固定される（図５参照）。
設けられており、Ｙ２側の球体支持部８３の先端には、Ｙ２側に突出する突出部８５が設けられている。各突出部８５の先端には、第２接続機構４２の球体４４が溶接により固定される（図５参照）。
【0035】
中間可動枠８のＸ軸方向の両端には、一対の腕部８２の先端に近い部分をＺ１方向に屈曲させた屈曲部８６と、屈曲部８６の先端から略直角に屈曲した板ばね固定部８７が設けられている。図２、図６（ｂ）に示すように、中間可動枠８のＸ軸方向の両端では、可動体３からＸ１方向およびＸ２方向に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂの先端が一対の板ばね固定部８７にＺ１方向から固定される。
【0036】
中間可動枠８には、一対の腕部８２の幅方向の中央を貫通してＸ軸方向に延びるスリット８８が設けられており、スリット８８は板ばね固定部８７の先端まで延びている。また、中間可動枠８には、板部８１に設けられた開口部８４のＸ１側およびＸ２側の縁部分からＺ１方向に立ち上がる２箇所の切り起こし部８９が設けられている。２箇所の切り起こし部８９は、板部８１のＹ軸方向の中央に位置する。各切り起こし部８９には、幅方向の中央を貫通する溝部９０が設けられている。溝部９０は、Ｘ軸方向から見てスリット８８と重なる位置に設けられている。
【0037】
（磁気駆動機構）
第１磁気駆動機構６は、可動体３のＺ２方向に配置される。図２、図３、図５に示すように、第１磁気駆動機構６は、可動体３の被固定部３０に磁性板６３を介して固定される磁石６１と、ベース５２の中央に固定されて磁石６１にＺ２方向から対向するコイル６２を備える。図２に示すように、コイル６２は、Ｘ軸方向に長い長円形の空芯コイルである。図３、図５に示すように、磁石６１は、Ｙ軸方向に並ぶ２つの磁石６１Ｎ、６１Ｓを備える。コイル６２は、Ｘ軸方向に延びる２本の有効辺の一方が磁石６１Ｎと対向し、有効辺の他方が磁石６１Ｓと対向する。磁石６１Ｓと磁石６１Ｎは、コイル６２と対向する方向（すなわち、Ｚ軸方向）を着磁方向とし、コイル６２と対向する側の磁極が異なる極性となるように着磁される。図５に示すように、ベース５２に固定されたコイル６２の内側には、可動体３のＸ軸周りの揺動角度を検出するためのセンサ６４が配置される。
第１磁気駆動機構６は、可動体３のＺ２方向に配置される。図２、図３、図５に示すように、第１磁気駆動機構６は、可動体３の被固定部３０に磁性板６３を介して固定される磁石６１と、ベース５２の中央に固定されて磁石６１にＺ２方向から対向するコイル６２を備える。図２に示すように、コイル６２は、Ｘ軸方向に長い長円形の空芯コイルである。図３、図５に示すように、磁石６１は、Ｙ軸方向に並ぶ２つの磁石６１Ｎ、６１Ｓを備える。コイル６２は、Ｘ軸方向に延びる２本の有効辺の一方が磁石６１Ｎと対向し、有効辺の他方が磁石６１Ｓと対向する。磁石６１Ｓと磁石６１Ｎは、コイル６２と対向する方向（すなわち、Ｚ軸方向）を着磁方向とし、コイル６２と対向する側の磁極が異なる極性となるように着磁される。図５に示すように、ベース５２に固定されたコイル６２の内側には、可動体３のＸ軸周りの揺動角度を検出するためのセンサ６４が配置される。
【0038】
第２磁気駆動機構７は、第１磁気駆動機構６とＹ軸方向で並ぶ位置に配置される。本形態では、第１磁気駆動機構６のＹ１側およびＹ２側の２箇所に第２磁気駆動機構７が配置される。第２磁気駆動機構７は、第１磁気駆動機構６のＹ１側に配置される磁石７１Ａおよびコイル７２Ａと、第１磁気駆動機構６のＹ２側に配置される磁石７１Ｂおよびコイル７２Ｂを備える。磁石７１Ａとコイル７２Ａ、および磁石７１Ｂとコイル７２Ｂは、Ｚ軸方向に対向する。図２に示すように、コイル７２Ａ、７２Ｂは、Ｙ軸方向に長い長円形の空芯コイルである。図３に示すように、磁石７１Ａ、７１Ｂは、コイル７２Ａ、７２Ｂと対向する方向（すなわち、Ｚ軸方向）を着磁方向とし、コイル７２Ａ、７２Ｂと対向する面で異なる極性の磁極（Ｓ極とＮ極）がＸ軸方向に並ぶように分極着磁される。
【0039】
図３、図５に示すように、磁石７１Ａ、７１Ｂは、中間可動枠８の板部８１のＹ軸方向の両端部分に磁性板７３を介して固定される。磁性板７３は、磁石７１Ａ、７１Ｂに対するヨークとして機能する。図２に示すように、コイル７２Ａ、７２Ｂは、ベース５２に固定される。図５に示すように、Ｙ１側のコイル７２Ａの中央には、可動体３のＹ軸周りの揺動角度を検出するためのセンサ７４が配置される。
【0040】
（板ばね部の詳細な構成）
本形態では、第１接続機構４１を構成する一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂが単純な平板状の板ばねではなく、直交する２枚の板ばねを組み合わせて構成される。図７、図８に示すように、一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、それぞれ、Ｚ軸方向を板厚方向とする第１
平板部１１と、Ｙ軸方向を板厚方向とする第２平板部１２を備える。第１平板部１１は、被固定部３０と一体に形成されており、被固定部３０からＸ１方向およびＸ２方向に延びている。すなわち、揺動装置１は、被固定部３０と一対の第１平板部１１とが一体に形成された平板状の第１部材１３を備える。第１部材１３のＸ軸方向の両端には、上述した中間可動枠８の板ばね固定部８７にＺ１方向から当接する当接部１４が設けられる。
本形態では、第１接続機構４１を構成する一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂが単純な平板状の板ばねではなく、直交する２枚の板ばねを組み合わせて構成される。図７、図８に示すように、一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、それぞれ、Ｚ軸方向を板厚方向とする第１
平板部１１と、Ｙ軸方向を板厚方向とする第２平板部１２を備える。第１平板部１１は、被固定部３０と一体に形成されており、被固定部３０からＸ１方向およびＸ２方向に延びている。すなわち、揺動装置１は、被固定部３０と一対の第１平板部１１とが一体に形成された平板状の第１部材１３を備える。第１部材１３のＸ軸方向の両端には、上述した中間可動枠８の板ばね固定部８７にＺ１方向から当接する当接部１４が設けられる。
【0041】
板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、第１平板部１１と第２平板部１２が、第１平板部１１の板厚方向の撓みが第２平板部１２により規制され、且つ、第２平板部１２の板厚方向の撓みが第１平板部１１により規制されるように組み立てられている。すなわち、第１平板部１１と第２平板部１２は、以下に説明するように、Ｘ軸方向から見て十字形の部材を構成するように組み立てられている。これにより、第１平板部１１の板厚方向の撓みが第２平板部１２が面内方向で突っ張ることにより規制され、第２平板部１２の板厚方向の撓みが第１平板部１１が面内方向で突っ張ることにより規制される。
【0042】
図７、図８に示すように、第１部材１３には、第１平板部１１の幅方向の中央を貫通するスリット１５が設けられている。スリット１５は、被固定部３０の外周部分を構成する環状部３２から、板ばね固定部８７に固定される当接部１４までの範囲をＸ軸方向に延びている。第１平板部１１と第２平板部１２は、第２平板部１２のＺ１側の端部をスリット１５に配置することにより、Ｘ軸方向から見て十字形に配置される（図６（ｃ）参照）。
【0043】
図６（ｂ）、図８に示すように、第１部材１３のＺ２側には、被固定部３０に対して垂直な姿勢（すなわち、Ｙ軸方向を板厚方向とする姿勢）でＸ軸方向に延びる平板状の第２部材１６が配置される。第２部材１６は、磁石固定部３１との間にＺ軸方向の隙間がある位置で磁石６１Ｓ、６１Ｎの間をＸ軸方向に延びる中央部１７を備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂの第２平板部１２は、中央部１７と一体に形成されており、中央部１７からＸ１方向およびＸ２方向に延びている。すなわち、揺動装置１は、中央部１７と一対の第２平板部１２とが一体に形成された平板状の第２部材１６を備える。
【0044】
図８に示すように、第２部材１６のＸ軸方向の両端部分は、第１部材１３のＸ軸方向の両端に設けられた当接部１４にＺ２方向から接続される。図３に示すように、第２部材１６のＸ軸方向の両端部分は、中間可動枠８の腕部８２の先端部分においてスリット８８に通され、第１部材１３の当接部１４を介して、中間可動枠８の板ばね固定部８７に固定される。これにより、板ばね部１０Ａにおける第２平板部１２のＸ１方向の端部、および、板ばね部１０Ｂにおける第２平板部１２のＸ２方向の端部は、第１部材１３の当接部１４を介して板ばね固定部８７に固定される。
【0045】
なお、一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、第２部材１６のＸ軸方向の両端部分（すなわち、板ばね部１０Ａにおける第２平板部１２のＸ１方向の端部、および、板ばね部１０Ｂにおける第２平板部１２のＸ２方向の端部）が、第１平板部１１を介さずに、直接、板ばね固定部８７のＸ軸方向の端面に固定される構造としてもよい。
【0046】
第２部材１６の中央部１７は、磁石６１Ｓ、６１Ｎの間に挟まれ、磁石６１Ｎ、６１Ｓを介して磁石固定部３１に固定される。第２部材１６は、中央部１７のＸ軸方向の両側の部分（すなわち、第２平板部１２を構成する部分）が、中間可動枠８の開口部８４の縁からＺ１方向へ延びる切り起こし部８９の溝部９０を通過する（図３参照）。すなわち、第２部材１６は、Ｘ軸方向の両端部分が中間可動枠８の腕部８２の先端において腕部８２を貫通するスリット８８に配置され、Ｘ軸方向の中央に近い部分が切り起こし部８９を貫通する溝部９０に配置される。
【0047】
第２部材１６において、被固定部３０のＸ１方向およびＸ２方向に延びて一対の第２平
板部１２を構成している部分は、それぞれ、第１平板部１１のスリット１５からＺ１方向に突出する突出部１８を備える。突出部１８のＺ１側には、第２平板部１２のＺ２側の端縁をＺ１方向に切り欠いた矩形の切欠き部１９が設けられている。
板部１２を構成している部分は、それぞれ、第１平板部１１のスリット１５からＺ１方向に突出する突出部１８を備える。突出部１８のＺ１側には、第２平板部１２のＺ２側の端縁をＺ１方向に切り欠いた矩形の切欠き部１９が設けられている。
【0048】
（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態の揺動装置１は、可動体３および中間可動枠８（支持体）と、可動体３と中間可動枠８とを接続する第１接続機構４１と、を有する。可動体３は、第１接続機構４１を介して、中間可動枠８に対してＸ軸（第１軸）を中心とするＸ軸周り（第１軸周り）の方向に揺動可能に支持される。第１接続機構４１は、可動体３に対してＸ軸方向（第１軸方向）の両側においてＸ軸方向（第１軸方向）に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂを備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂのそれぞれは、Ｚ軸方向（第３軸方向）を板厚方向とする第１平板部１１と、Ｙ軸方向（第２軸方向）を板厚方向とする第２平板部１２と、を備える。第１平板部１１と第２平板部１２は、第１平板部１１の板厚方向の撓みが第２平板部１２により規制され、且つ、第２平板部１２の板厚方向の撓みが第１平板部１１により規制されるように組み立てられている。
以上のように、本形態の揺動装置１は、可動体３および中間可動枠８（支持体）と、可動体３と中間可動枠８とを接続する第１接続機構４１と、を有する。可動体３は、第１接続機構４１を介して、中間可動枠８に対してＸ軸（第１軸）を中心とするＸ軸周り（第１軸周り）の方向に揺動可能に支持される。第１接続機構４１は、可動体３に対してＸ軸方向（第１軸方向）の両側においてＸ軸方向（第１軸方向）に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂを備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂのそれぞれは、Ｚ軸方向（第３軸方向）を板厚方向とする第１平板部１１と、Ｙ軸方向（第２軸方向）を板厚方向とする第２平板部１２と、を備える。第１平板部１１と第２平板部１２は、第１平板部１１の板厚方向の撓みが第２平板部１２により規制され、且つ、第２平板部１２の板厚方向の撓みが第１平板部１１により規制されるように組み立てられている。
【0049】
本形態の揺動装置１は、可動体３の両側にＸ軸方向に延びる一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂを配置し、板ばね部１０Ａ、１０Ｂを介して可動体３を中間可動枠８に接続しているので、板ばね部１０Ａ、１０Ｂを回転軸としてＸ軸周りに可動体３を揺動させることができる。板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、交差する２枚の板ばね（平板部）を備えており、２枚の平板部が互いの撓みを規制するように組み立てられている。このようにすると、高い共振周波数で可動体３を揺動させることを目的として、板ばね部１０Ａ、１０ＢがＸ軸周りにねじれるときのばね定数を低くするために板ばね部１０Ａ、１０Ｂの板厚を薄くした場合であっても、各平板部が板厚方向に撓みやすくなることを交差する平板部が突っ張ることにより規制することができる。これにより、板ばね部１０Ａ、１０Ｂの板厚方向の振動の共振周波数が低くなってＸ軸周りの共振周波数に近づくことを回避できる。従って、可動体３が揺動する際にＸ軸（揺動軸線）と交差する方向に可動体３が動きやすくなって可動体３のＸ軸周りのチルト動作が不安定になることを回避できる。よって、可動体３のチルト動作を高い共振周波数で行うことができ、且つ、安定したチルト動作を行うことができる。
【0050】
本形態では、Ｘ軸方向から見た場合に、第１平板部１１と第２平板部１２とが交差する交点とＸ軸とが重なる。このように、交差する２枚の平板部（第１平板部１１、第２平板部１２）が交わる交点を回転中心として可動体３が揺動する場合には、板ばね部１０Ａ、１０Ｂは交点（Ｘ軸）を中心として回転する方向以外の方向に動き難い。従って、安定したチルト動作を行うことができる。
【0051】
本形態では、可動体３をＸ軸周りに揺動させる第１磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１を備える。可動体３は、Ｚ１方向にミラー２（反射部材）が固定され、且つ、Ｚ２方向に磁石６１が固定される板状の被固定部３０を備える。一対の板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、被固定部３０からＸ軸方向の両側へ延びている。このような構成により、被固定部３０に固定されたミラー２をＸ軸周りに揺動させるチルト動作を行うことができる。また、可動体３に対してＹ軸方向で重なる位置に第１磁気駆動機構６を設けることができる。
【0052】
本形態では、Ｚ軸方向（第３軸方向）を板厚方向とする平板状の被固定部３０と、被固定部３０のＸ軸方向の両側においてＸ軸方向に延びる一対の第１平板部１１とが一体に形成された第１部材１３を備える。また、被固定部３０のＺ２方向においてＹ軸方向を板厚方向としてＸ軸方向に延びる板状の中央部１７と、中央部１７のＸ軸方向の両側においてＸ軸方向に延びる一対の第２平板部１２とが一体に形成された第２部材１６を備える。第
１部材１３および第２部材１６は、Ｘ軸方向の両端が中間可動枠８に接続される。このようにすると、曲げ加工のない平板状の２部品（第１部材１３、第２部材１６）を組み立てることにより、被固定部３０の両側にそれぞれ交差する２枚の板ばねを配置した構造体を完成させることができる。従って、部品数および部品の加工手間の削減を図り、組立工数の削減を図ることができる。
１部材１３および第２部材１６は、Ｘ軸方向の両端が中間可動枠８に接続される。このようにすると、曲げ加工のない平板状の２部品（第１部材１３、第２部材１６）を組み立てることにより、被固定部３０の両側にそれぞれ交差する２枚の板ばねを配置した構造体を完成させることができる。従って、部品数および部品の加工手間の削減を図り、組立工数の削減を図ることができる。
【0053】
本形態では、中央部１７は、磁石６１を介して被固定部３０に固定される。このようにすると、第２平板部１２のＹ軸方向の撓みを抑制できるので、板ばね部１０Ａ、１０ＢがＸ軸を中心として回転する方向以外の方向に動くことを抑制できる。
【0054】
本形態では、一対の第１平板部１１のそれぞれは、Ｘ軸方向に延びるスリットを備え、スリットに第２平板部１２が配置される。このようにすると、板ばね部１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸（回転軸線）を中心としてＺ軸方向（第３軸方向）に対称な形状に近づくとともに、Ｘ軸（回転軸線）を中心としてＹ軸方向（第２軸方向）に対称な形状に近づく。従って、安定したチルト動作を行うことができる。
【0055】
（変形例）
図９は、変形例の可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構１４１の斜視図である。図１０は、変形例の板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂおよび被固定部１３０の斜視図である。図１０（ａ）はＺ１方向から見た斜視図であり、図１０（ｂ）はＺ１方向から見た斜視図である。上記形態では、第１平板部１１と第２平板部１２がＸ軸方向から見て十字形の部材を構成しているが、Ｘ軸方向から見てＴ字形の部材を用いてもよい。あるいは、図９、図１０に示すように、Ｘ軸方向から見てＬ字形の部材を用いてもよい。
図９は、変形例の可動体３、中間可動枠８、および第１接続機構１４１の斜視図である。図１０は、変形例の板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂおよび被固定部１３０の斜視図である。図１０（ａ）はＺ１方向から見た斜視図であり、図１０（ｂ）はＺ１方向から見た斜視図である。上記形態では、第１平板部１１と第２平板部１２がＸ軸方向から見て十字形の部材を構成しているが、Ｘ軸方向から見てＴ字形の部材を用いてもよい。あるいは、図９、図１０に示すように、Ｘ軸方向から見てＬ字形の部材を用いてもよい。
【0056】
図１０（ａ）、図１０（ｂ）に示すように、変形例の板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂは、Ｚ軸方向を板厚方向とする第１平板部１１１と、Ｙ軸方向を板厚方向とする第２平板部１１２を備える。第２平板部１１２は、第１平板部１１のＹ１方向の端部から略直角に屈曲してＺ２方向に延びている。板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂには、第１平板部１１１と第２平板部１１２とが繋がる角部を貫通してＸ軸方向に延びるスリット１１５が設けられている。
【0057】
板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂは、Ｚ１方向からミラー２が固定される被固定部１３０と一体に形成される。変形例の被固定部１３０は、矩形の磁石固定部１３１、磁石固定部１３１の外周を囲む環状部１３２、磁石固定部１３１からＸ１方向およびＸ２方向に延びて環状部１３２に接続される接続部１３３を備える。図１０（ｂ）に示すように、板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂのそれぞれにおいて、第２平板部１１２の一部は、環状部１３２および接続部１３３の周方向の一部をＺ２方向に切り起こした切り起こし部になっている。
【0058】
図９に示すように、板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂは、中間可動枠８の腕部８２に設けられた板ばね固定部８７に対して、第１平板部１１１の先端がＺ１方向から固定される。第２平板部１１２のＸ軸方向の一端は、中間可動枠８の腕部８２に設けられたスリット８８に配置される。第２平板部１１２のＸ軸方向の他端は、中間可動枠８の切り起こし部８９に設けられた溝部９０に配置される。
【0059】
変形例の板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１平板部１１１と第２平板部１１２がＸ軸方向から見てＬ字形に接続されており、第１平板部１１１と第２平板部１１２が互いの板厚方向の撓みを規制する。また、変形例の板ばね部１１０Ａ、１１０Ｂは、Ｘ軸方向から見た場合に、第１平板部１１１と第２平板部１１２とが交差する交点とＸ軸とが重なる。具体的には、第１平板部１１１と第２平板部１１２とが繋がる屈曲箇所がＸ軸（回転軸線）と重なる。従って、上記形態と同様に、板ばね部１１０Ａ、１１０ＢはＸ軸を中心とし
て回転する方向以外の方向に動き難いので、安定したチルト動作を行うことができる。
て回転する方向以外の方向に動き難いので、安定したチルト動作を行うことができる。
【0060】
（他の実施形態）
（１）上記形態の揺動装置１は、可動体３をＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動させる２軸揺動装置であるが、本発明は、可動体３をＸ軸周りに回転させる１軸揺動装置に適用することができる。
（１）上記形態の揺動装置１は、可動体３をＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動させる２軸揺動装置であるが、本発明は、可動体３をＸ軸周りに回転させる１軸揺動装置に適用することができる。
【0061】
（２）上記形態の揺動装置１は、第２接続機構４２として、球体４４と接点部材４３とを点接触させる機構を用いているが、第２接続機構４２として、第１接続機構４１と同様の一対の板ばね部を用いるものであってもよい。
【0062】
（３）上記形態の揺動装置１は、走査光を反射するミラー２を揺動させるものであるが、揺動させる部品は、ミラー２とは異なる部品であってもよい。すなわち、揺動装置１は、走査光を射出して反射光を受光する計測装置以外の用途に用いるものであってもよい。
【符号の説明】
【0063】
１…揺動装置、２…ミラー、２ａ…反射面、３…可動体、４…揺動支持機構、５…固定体、６…第１磁気駆動機構、７…第２磁気駆動機構、８…中間可動枠、１０Ａ、１０Ｂ…板ばね部、１１…第１平板部、１２…第２平板部、１３…第１部材、１４…当接部、１５…スリット、１６…第２部材、１７…中央部、１８…突出部、１９…切欠き部、３０…被固定部、３１…磁石固定部、３２…環状部、３３…接続部、４１…第１接続機構、４２…第２接続機構、４３…接点部材、４４…球体、４５…接点部材支持部、５１…カバー、５２…ベース、５３…端板部、５４…側板部、５５…開口部、６１、６１Ｎ、６１Ｓ…磁石、６２…コイル、６３…磁性板、６４…センサ、７１Ａ、７１Ｂ…磁石、７２Ａ、７２Ｂ…コイル、７３…磁性板、７４…センサ、８１…板部、８２…腕部、８３…球体支持部、８４…開口部、８５…突出部、８６…屈曲部、８７…板ばね固定部、８８…スリット、８９…切り起こし部、９０…溝部、１１０Ａ、１１０Ｂ…板ばね部、１１１…第１平板部、１１２…第２平板部、１１５…スリット、１３０…被固定部、１３１…磁石固定部、１３２…環状部、１３３…接続部、１４１…第１接続機構、４３０…凹曲面、４３１…第１板部、４３２…接続部、４３３…第２板部、５４１…第１側板部、５４２…第２側板部、５４３…第３側板部、５４４…第４側板部、Ｐ…可動体の中心
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】