特開 2024-5975 検査ユニット格納装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024005975

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】検査ユニット格納装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20240110BHJP

【ＦＩ】

B65G1/00 501C

B65G1/00 511Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022106485

(22)【出願日】2022-06-30

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】董 浙广

(72)【発明者】

【氏名】坂田 博史

【テーマコード（参考）】

3F022

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022CC02

3F022DD06

3F022EE05

3F022FF21

3F022KK11

3F022LL12

3F022LL14

3F022LL38

3F022MM01

3F022MM11

3F022MM51

3F022PP06

(57)【要約】

【課題】検査ユニットの保管及び運用を適切に行い易い検査ユニット格納装置の実現。
【解決手段】天井に沿って配置された軌道を走行する天井搬送車によって搬送される検査ユニット５を格納する検査ユニット格納装置１であって、検査ユニット５が格納される格納部１２を備えた本体１１と、本体１１の下部に取り付けられ、本体１１を移動自在に支持するキャスタ１５と、本体１１の上面１１ａに設けられ、検査ユニット５が載置される載置部１８と、を備え、格納部１２に、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持を行う第１支持部材３０が設けられ、載置部１８に、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持を行う第２支持部材４０が設けられている。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

天井に沿って配置された軌道を走行する天井搬送車によって搬送される検査ユニットを格納する検査ユニット格納装置であって、
前記検査ユニットが格納される格納部を備えた本体と、前記本体の下部に取り付けられ、前記本体を移動自在に支持するキャスタと、前記本体の上面に設けられ、前記検査ユニットが載置される載置部と、を備え、
前記格納部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第１支持部材が設けられ、
前記載置部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第２支持部材が設けられている、検査ユニット格納装置。

【請求項2】

前記検査ユニットを格納した状態の前記格納部と前記載置部とが、上下方向視で重複するように配置されている、請求項１に記載の検査ユニット格納装置。

【請求項3】

前記格納部は、前記第１支持部材を支持する支持体と、前記支持体をスライド移動させるスライド機構とを備え、
前記スライド機構は、前記支持体が前記本体の内部に収容された収容状態と、前記支持体が前記本体の外部に突出した突出状態とに、前記支持体を状態変更自在とするように構成されている、請求項２に記載の検査ユニット格納装置。

【請求項4】

前記第１支持部材が防振用の弾性部材であり、又は、前記第１支持部材が防振用の弾性部材を介して前記格納部に支持されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査ユニット格納装置。

【請求項5】

前記第２支持部材が防振用の弾性部材であり、又は、前記第２支持部材が防振用の弾性部材を介して前記載置部に支持されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査ユニット格納装置。

【請求項6】

前記本体は、前記検査ユニットによる検査を行う場合に用いられる検査補助部材が格納される第２格納部を更に備え、
前記第２格納部に、前記検査補助部材の位置決め及び下側からの支持を行う第３支持部材が設けられ、
前記第２格納部は、前記検査補助部材を格納した状態において、前記格納部及び前記載置部の双方と上下方向視で重複するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査ユニット格納装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天井に沿って配置された軌道を走行する天井搬送車によって搬送される検査ユニットを格納する検査ユニット格納装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特開２０１８－１０４１５０号公報（特許文献１）には、複数の処理装置との間で物品を搬送する天井搬送車を備えた物品搬送設備が開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示す符号は特許文献１のものである。

【0003】

特許文献１の物品搬送設備（Ｆ）では、天井搬送車（Ｖ）が備える移載装置（Ｔ）により、天井搬送車（Ｖ）と複数の処理装置（Ｐ）の各ポート（物品支持部ＲＰ）との間で物品（Ｗ）の移載動作が行われる。また、特許文献１の物品搬送設備（Ｆ）では、各ポートに対して物品（Ｗ）の移載が適切に行われるように、学習用支持装置（１）を用いて、移載装置（Ｔ）による移載動作の学習が行われる。この学習用支持装置（１）は、基準支持部（４０）が水平面に沿う展開姿勢と、基準支持部（４０）が上下方向に沿う折り畳み姿勢とに姿勢変更自在に構成されており、物品搬送設備（Ｆ）内に設置されている。そして、学習用支持装置（１）を使用しない場合には、展開姿勢から折り畳み姿勢に姿勢変更することで、学習用支持装置（１）の占有スペースを小さくして、その設置スペースを有効活用している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－１０４１５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の物品搬送設備（Ｆ）では、移載装置（Ｔ）による移載動作の学習を行う場合、検査ユニット（検査装置Ｉ）を、天井搬送車（Ｖ）から基準支持部（４０）へ移載する動作が行われる。この検査ユニットには、カメラ（ＩＡ）や画像処理装置（ＩＢ）等の精密機器が内蔵されている。このため、検査ユニットを使用しない場合は、検査ユニットを外部の振動や塵埃等から保護するように保管する必要がある。また、検査ユニットを使用する場合には、検査ユニットが落下等の衝撃により破損しないようにしつつ、学習用支持装置（１）が設置された場所に検査ユニットを運んだり、検査ユニットを天井搬送車（Ｖ）に保持させたりする必要がある。このように、作業者等は、使用しない場合には検査ユニットを適切に保管しつつ、使用する場合には検査ユニットを慎重に取り扱いながら作業を行う必要があるが、特許文献１にはこの点について言及されていない。

【0006】

そこで、検査ユニットの保管及び運用を適切に行い易い検査ユニット格納装置の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示に係る検査ユニット格納装置は、天井に沿って配置された軌道を走行する天井搬送車によって搬送される検査ユニットを格納する検査ユニット格納装置であって、
前記検査ユニットが格納される格納部を備えた本体と、前記本体の下部に取り付けられ、前記本体を移動自在に支持するキャスタと、前記本体の上面に設けられ、前記検査ユニットが載置される載置部と、を備え、
前記格納部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第１支持部材が設けられ、
前記載置部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第２支持部材が設けられている。

【0008】

本構成によれば、検査ユニットを使用しない場合には、検査ユニットを格納部に格納しておくことで、検査ユニットを検査ユニット格納装置の本体により保護しつつ保管することができる。検査ユニットを使用する場合には、キャスタを利用して本体を移動することで、検査ユニットを保護しつつ、検査ユニットを使用する位置まで当該検査ユニットを搬送することができる。また、検査ユニットを格納部から取り出して載置部に置くことにより、例えば、天井搬送車により載置部上の検査ユニットを保持させたり、作業者等により検査用のポートに検査ユニットを載せたりする等の作業を安全かつ容易に行うことができる。そして、検査ユニットを使用した後は、作業をした場所で検査ユニットを格納部に格納して保護できるため、例えば、検査ユニットを持ち運ぶ途中で落下させる等のような事態を回避し易くできる。
このように、本構成によれば検査ユニットの保管及び運用を適切に行い易くできる。

【0009】

検査ユニット格納装置のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する例示的且つ非限定的な実施形態についての以下の記載から明確となる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】天井搬送車が物品を搬送している状態を示す物品搬送設備の側面図

【図2】天井搬送車が検査ユニットを搬送している状態を示す物品搬送設備の側面図

【図3】検査ユニット格納装置の斜視図

【図4】検査ユニット格納装置の正面図

【図5】検査ユニット格納装置の断面図

【図6】検査ユニット格納装置の平面図

【図7】検査ユニット格納装置の側面図

【図8】第１格納部の平面図

【図9】第２格納部の斜視図

【図10】第３格納部の斜視図

【図11】第３格納部の断面図

【図12】別実施形態の載置部の断面図

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に、検査ユニット格納装置１を物品搬送設備２に適用した実施形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態では、図１及び図２に示すように、物品搬送設備２は、物品Ｗを吊り下げ支持した状態で搬送する天井搬送車４と、物品Ｗに収容された収容物に対して処理を行う処理装置７と、天井搬送車４によって搬送される検査ユニット５と、検査ユニット５を格納する検査ユニット格納装置１と、を備えている。天井搬送車４は、天井に沿って配置された軌道３を走行して、物品Ｗを搬送する。軌道３に沿ってレールＲが設けられており、天井搬送車４は、レールＲに案内されて走行するように構成されている。すなわち、レールＲによって、天井搬送車４の軌道３が形成されている。具体的には、図１及び図２に示すように、レールＲは、天井から吊り下げ支持される状態で天井に固定されている。軌道３に沿って一対のレールＲが設けられている。

【0012】

物品搬送設備２には、処理装置７が複数設けられている（図１及び図２の例では、そのうちの１つのみを示している）。複数の処理装置７のそれぞれは、ポート７ａを備えている。ポート７ａには、処理装置７による処理対象の物品Ｗが搬出入される。そして、天井搬送車４は、軌道３におけるポート７ａに対応する位置で停車して、当該ポート７ａとの間で物品Ｗの受け渡しを行う。軌道３（具体的にはレールＲ）は、各処理装置７のポート７ａの真上を天井搬送車４が通るように配置されている。天井搬送車４は、移載先のポート７ａの真上で停車して、物品Ｗを昇降させることで、ポート７ａとの間で物品Ｗを受け渡しできるように構成されている。なお、搬送対象の物品Ｗとして、半導体基板を収容する容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）が用いられている。

【0013】

上述したように、本実施形態では、天井搬送車４は、天井側に設けられたレールＲに沿って走行する。具体的には、図１及び図２に示すように、天井搬送車４は、レールＲ上を転動する走行輪４４ａを備えてレールＲに沿って走行する走行部４４と、走行部４４に吊り下げ状態で支持されてレールＲよりも下側に位置する本体部４６と、を備えている。本体部４６は、物品Ｗを保持可能な昇降体４６ｂと、昇降体４６ｂを昇降させる昇降機構４６ｃとを備えている。昇降機構４６ｃは、昇降体４６ｂを吊り下げ支持する索状体４６ａが巻回された巻回体を、正方向又は逆方向に回転させて索状体４６ａを巻き取り又は繰り出すことで、昇降体４６ｂを走行部４４に対して昇降させるように構成されている。具体的には、昇降機構４６ｃは、天井搬送車４の走行時の高さ（本実施形態では、昇降体４６ｂが本体部４６のカバー内に位置する高さ）である第１高さと、第１高さよりも低い高さであって昇降体４６ｂと物品Ｗの移載対象箇所（ポート７ａ）との間で物品Ｗを受け渡す高さである第２高さとの間で、昇降体４６ｂを昇降させる。昇降体４６ｂは、ポート７ａに物品Ｗを引き渡す場合は、第２高さにおいて、物品Ｗの保持を解除する。また、昇降体４６ｂは、ポート７ａから物品Ｗを受け取る場合は、第２高さにおいて、ポート７ａ上の物品Ｗを保持する。このようにして、天井搬送車４は、ポート７ａとの間で物品Ｗの受け渡しを行う。

【0014】

図２に示すように、検査ユニット５は、天井に沿って配置された軌道３を走行する天井搬送車４によって搬送される。本実施形態では、天井搬送車４の昇降体４６ｂは、物品Ｗに代えて検査ユニット５を保持可能に構成されている。そして、検査ユニット５は、昇降体４６ｂに保持された状態で、天井搬送車４により搬送される。ここで「搬送」とは、天井搬送車４が軌道３（ここではレールＲ）を走行することで昇降体４６ｂに保持された物品Ｗや検査ユニット５が移動すること以外に、天井搬送車４が停車した状態で、昇降体４６ｂが昇降することで、物品Ｗや検査ユニット５が上下方向に移動することを含んでいる。以下では、この検査ユニット５について説明する。

【0015】

本実施形態では、検査ユニット５は、天井搬送車４の移載動作に係る検査に用いられる。検査ユニット５を用いた検査の結果は、例えば、天井搬送車４の移載動作の学習に用いられる。検査ユニット５は、物品Ｗの移載対象箇所（ここでは、ポート７ａ）に対する昇降体４６ｂの水平方向のずれ量を計測するために用いられる。図３、図５、及び図１０に示すように、検査ユニット５は、ユニット本体部５ａとユニット本体部５ａを下方から支持する足部５ｂと、後述する第１支持部材３０及び第２支持部材４０と係合可能な係合部５０と、を備えている。ユニット本体部５ａには、天井搬送車４の昇降体４６ｂにより保持される被保持部５ｃが設けられている。また、ユニット本体部５ａには、複数の機器Ｔが内蔵されている。複数の機器Ｔには、例えば、撮像方向を下向きとする撮像装置、当該撮像装置が撮像した情報の画像処理及び画像を出力する画像処理装置、ポート７ａとの距離を計測するレーザ距離センサ、及び天井搬送車４との間で各種情報を送受信するための無線通信機器、バッテリー等が含まれる。図示の例では、検査ユニット５は、複数の足部５ｂを備えている。そして、複数の足部５ｂのうちの１つが、係合部５０としての機能を果たしている。

【0016】

図２の例では、予めポート７ａに検査用プレート６ａが載置されている。また、天井搬送車４の昇降体４６ｂは、検査ユニット５を保持している。昇降機構４６ｃは、昇降体４６ｂを、上記第１高さから、第１高さよりも低い高さであって上記第２高さよりも規定距離だけ高い第３高さに下降させる。昇降体４６ｂが第３高さにある状態で、検査ユニット５の撮像装置が検査用プレート６ａを上方から撮像する。そして、撮像装置が撮像した情報に基づいて、ポート７ａに対する昇降体４６ｂの水平方向のずれ量が計測される。ポート７ａには、物品Ｗ及び検査用プレート６ａを適正支持位置で支持するための複数のピンが設けられており、検査用プレート６ａは、これら複数のピンに係合してポート７ａに載置される。すなわち、検査用プレート６ａがポート７ａの適正支持位置に位置する状態で撮像が行われる。従って、ポート７ａに対する昇降体４６ｂの水平方向のずれ量が正確に計測される。なお、昇降体４６ｂによる検査ユニット５の保持動作や保持解除動作は、昇降体４６ｂが第２高さにある状態で行われる。

【0017】

上記のように、検査ユニット５を用いたずれ量の計測等を行う場合、作業者等は、検査ユニット５を保管場所から取り出して対象となるポート７ａの設置場所に運ぶ作業を行う。この検査ユニット５には、上記のように機器Ｔとして、撮像装置、画像処理装置、レーザ距離センサ、無線通信機器等の精密機器が内蔵されている。従って、作業者等は、検査ユニット５を落下等による衝撃で破損しないように慎重に扱いつつ上記のような作業を行う必要がある。また、使用した後の検査ユニット５を片付ける（例えば、保管場所に移動させる）作業を行う場合も同様である。従って、例えば、作業者等が検査ユニット５を手に取って持ち運びするような作業を極力減らすことで、作業者等は、検査ユニット５の保管及び運用を行い易くできる。

【0018】

上記の点に鑑みて、本実施形態では、検査ユニット格納装置１が用いられている。以下では、検査ユニット格納装置１について説明する。また、本例では、水平面に沿うと共に検査ユニット５を検査ユニット格納装置１の本体１１に対して出し入れする方向を第１方向Ｘとし、検査ユニット５を本体１１の第１格納部１２に対して出し入れする側を第１方向第１側Ｘ１とし、その反対側を第１方向第２側Ｘ２とする。また、上下方向視で第１方向Ｘに直交する方向を第２方向Ｙとする。

【0019】

図３及び図５に示すように、検査ユニット格納装置１は、検査ユニット５が格納される第１格納部１２を備えた本体１１と、本体１１の下部に取り付けられ、本体１１を移動自在に支持するキャスタ１５と、本体１１の上面１１ａに設けられ、検査ユニット５が載置される載置部１８と、を備えている。これにより、作業者等は、検査ユニット５を第１格納部１２に格納して保護した状態で移動させたり、検査ユニット５を載置部１８に載置した状態で移動させたりできる。なお、第１格納部１２が「格納部」に相当する。

【0020】

本実施形態では、図３、図４、図５、及び図７に示すように、キャスタ１５は、本体１１の下部（ここでは下面１１ｂ）に複数取り付けられており、本体１１を下側から支持している。防振機構１５ｂを備えないキャスタ１５を用いることもできるが、本実施形態では、キャスタ１５は、床面を転動する車輪１５ａと防振機構１５ｂとを備えている。車輪１５ａは、防振機構１５ｂを介して本体１１に支持されている。これにより、例えば、検査ユニット格納装置１の移動により振動が生じた場合でも、防振機構１５ｂによりその振動が吸収されるため、本体１１に伝わる振動を低減できる。従って、第１格納部１２に格納されている検査ユニット５や、載置部１８に載置された検査ユニット５に伝わる振動や、第２格納部１７に格納されている第１検査補助部材６に伝わる振動等を低減できる。なお、本例では、防振機構１５ｂとしてバネが用いられている。図示の例では、キャスタ１５は、下面１１ｂに４つ取り付けられており、本体１１を下側から安定的に支持している。

【0021】

また、本実施形態では、図２から図４、図６、及び図７に示すように、検査ユニット格納装置１は、本体１１に取り付けられ、作業者等が把持して本体１１を押し引き操作するための操作ハンドル１４を更に備えている。操作ハンドル１４は、本体１１の上部に取り付けられている。また、操作ハンドル１４は、本体１１において、第１格納部１２に検査ユニット５を出し入れする側（後述する扉体１６が配置されている側）に設けられている。このため作業者等は、本体１１を移動させる場合、扉体１６に対向する位置で操作ハンドル１４を押し引き操作する。図示の例では、操作ハンドル１４は、載置部１８を介して本体１１に取り付けられている。すなわち、操作ハンドル１４は、載置部１８の第１方向第１側Ｘ１の端部に固定されている。この操作ハンドル１４は、作業者等が把持して押し引き操作する棒状の部材を備えている。棒状の部材は、第２方向Ｙに沿うように配置されている。

【0022】

本実施形態では、図３、図５から図７に示すように、載置部１８には、検査ユニット５が載置される載置面１８ａが形成されている。そして、載置面１８ａは、検査ユニット５に加えて物品Ｗを載置可能に構成されている。載置面１８ａに載置された物品Ｗは、例えば、検査ユニット５による検査結果に基づく移載動作の学習結果の良否を判定するために用いられる。載置面１８ａは、水平面に沿う平面状に形成されており、検査ユニット５と物品Ｗとを第１方向Ｘに並べて載置させることができる。図示の例では、載置部１８は、上方が開口した箱型の形状とされている。そして、載置面１８ａは、本体１１（より詳細には、筐体１３の上面部１３ａ）の上面１１ａに形成されている。なお、載置面１８ａは、上記本体１１とは異なる部材で構成されていても良い。例えば、載置部１８は検査ユニット５を載置可能な載置部材を備えており、載置部材の上側を向く面に載置面１８ａが形成されている構成とすることもできる。この場合、載置部材は、上面１１ａに設けられると好適である。なお、本実施形態では、本体１１は、上面１１ａよりも上側に、上下方向視で上面１１ａと重複するような構成を備えていない。そのため、上面１１ａに形成された載置面１８ａを移動先又は移動元とする検査ユニット５の移動を行い易い。本実施形態では、天井搬送車４の昇降体４６ｂによる検査ユニット５の保持動作や保持解除動作は、ポート７ａ（例えば、検査対象のポート７ａ）において行われる。そのため、載置面１８ａとポート７ａとの間での検査ユニット５の移動は、作業者等により行われる。このような構成とは異なり、天井搬送車４の昇降体４６ｂによる検査ユニット５の保持動作や保持解除動作が、載置面１８ａにおいて行われる構成とすることもできる。この場合、天井搬送車４が、載置面１８ａと検査対象のポート７ａとの間で検査ユニット５を搬送する。

【0023】

図３及び図６に示すように、載置部１８に、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持を行う第２支持部材４０が設けられている。本実施形態では、第２支持部材４０は、載置面１８ａに設けられている。第２支持部材４０は、検査ユニット５と係合する第２被係合部４１を備えている。そして、検査ユニット５と第２被係合部４１とが係合することで、検査ユニット５の載置面１８ａに対する位置決めが行われる。第２支持部材４０は、検査ユニット５の係合部５０と第２被係合部４１とが係合するように構成されている。従って、第２被係合部４１は、検査ユニット５の係合部５０に応じた大きさ及び形状に形成されている。第２被係合部４１は、係合部５０が係合可能な第２凹部４１ａを有しており、第２凹部４１ａは、第２支持部材４０の表面（ここでは上面）から下方に窪むように形成されている。図示の例では、第２支持部材４０は、載置面１８ａとしての上面１１ａに設けられている。また、図示の例では、係合部５０が第２凹部４１ａに上方から嵌め込まれることで、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持が行われる。なお、本例では、第２支持部材４０は樹脂ブロックであるが、例えば、第２支持部材４０は、金属製であっても良い。また、第２支持部材４０は、載置部１８に複数設けられていても良い。検査ユニット格納装置１に揺れが生じた場合、キャスタ１５の防振機構１５ｂにより振動が吸収されるため、本体１１及び載置部１８に伝わる振動が低減される。よって、第２支持部材４０に支持された検査ユニット５に伝わる振動を低減できる。

【0024】

図３及び図６の例では、第２支持部材４０は、載置面１８ａの第２方向Ｙの端部に設けられている。また、第２支持部材４０は、本体１１に対して検査ユニット５や後述する第１検査補助部材６等を出し入れする側（扉体１６が配置されている側）から離間して配置されている。すなわち、第２支持部材４０は、載置面１８ａの第１方向Ｘの中央領域よりも第１方向第２側Ｘ２に配置されている。従って、載置面１８ａにおいて、検査ユニット５が、扉体１６がある側から比較的遠い位置に配置され、物品Ｗが、扉体１６に近い側に配置される。このように、図示の例では、検査ユニット５は、載置部１８において、物品Ｗに対して第１方向第２側Ｘ２に配置される。そして、後述するように、本実施形態では、載置部１８に対して第１方向第２側Ｘ２には、作業台９が設けられている。そのため、検査ユニット５が物品Ｗに対して第１方向第２側Ｘ２に配置されるようにすることで、作業台９に近づけて検査ユニット５を載置部１８に配置することができ、作業者による作業台９を用いた検査ユニット５に対する作業を行い易くできる。例えば、作業者は、作業台９に配置された装置（パーソナルコンピュータ等）を通信ケーブル等で載置部１８上の検査ユニット５に接続して、検査結果の情報を検査ユニット５から取得する。なお、図示の例では、検査ユニット５と物品Ｗとを、同一平面上に並べて配置する構成としたが、例えば、上下方向に異なる平面上に並べて配置する構成としても良い。また、載置面１８ａに検査ユニット５や物品Ｗを複数載置できる構成としても良い。

【0025】

載置部１８に検査ユニット５を載置する場合として、例えば次のようなケースが考えられる。作業者が、第１格納部１２から取り出した検査ユニット５を一時的に載置部１８に載置して、異なる作業を行うことがある。また、特定の処理装置７のポート７ａに対する検査が完了し、異なる処理装置７に移動してポート７ａに対する検査を続ける場合に、作業者は、検査ユニット５を第１格納部１２に戻さずに、載置部１８に載置した状態で検査ユニット格納装置１を次の検査場所へ移動させることがある。このように、作業者等による作業の合間や、異なるポート７ａに対して継続して検査を行う場合に、載置部１８に検査ユニット５を載置することで、作業者等の作業の手間が軽減可能となる。

【0026】

図３から図５に示すように、本体１１は、検査ユニット５や後述する第１検査補助部材６等を外部の振動や塵埃等から保護しつつ保管する役割を果たす。以下では、本体１１の具体的な構成について説明する。

【0027】

本実施形態では、図３及び図５に示すように、本体１１は、第１格納部１２に加えて、第２格納部１７と第３格納部１９と扉体１６とを更に備えている。また、本体１１は、上面部１３ａと底面部１３ｂと側面部１３ｃとを備えている。そして、本体１１は、上面部１３ａ、底面部１３ｂ、及び側面部１３ｃにより前側（ここでは第１方向第１側Ｘ１）が開口した箱状の筐体１３とされている。本実施形態では、第１格納部１２、第２格納部１７、及び第３格納部１９は、本体１１の内部（すなわち、筐体１３内）に配置されている。図３及び図５の例では、第１格納部１２、第２格納部１７、及び第３格納部１９は、筐体１３の内部において上下方向に並ぶように配置されている。そして、これら３つの格納部は、上から順に第３格納部１９、第２格納部１７、第１格納部１２となるように配置されている。以下では、本体１１の内部における、これら格納部の配置場所を上から順に上段、中段、下段と表すことがある。なお、本実施形態では、第１格納部１２と第２格納部１７と第３格納部１９との３つの格納部を本体１１の内部に配置する構成としているが、このような構成に限定されない。本体１１の内部には、第１格納部１２のみが配置される構成としてもよいし、第１格納部１２と第２格納部１７との２つの格納部が配置される構成としてもよい。また、本体１１の内部には、少なくとも第１格納部１２を含めた、４つ以上の種々の用途に応じた格納部が配置される構成としてもよい。

【0028】

本実施形態では、図３及び図４に示すように、扉体１６は、第１格納部１２と第２格納部１７とを開閉するように構成されている。扉体１６を閉めた状態（閉状態）にすることで、第１格納部１２に格納される検査ユニット５と、第２格納部１７に格納される後述の第１検査補助部材６とを本体１１の外部から保護できる。扉体１６は、閉状態において、第１格納部１２と第２格納部１７とが配置された領域における本体１１の上記開口部分を覆うように配置されている（図４参照）。図示の例では、扉体１６は、側面部１３ｃの第１方向第１側Ｘ１（本体１１の開口側）の端部に対して上下軸心回りに回転可能に支持されている。具体的には、扉体１６は、ヒンジ（不図示）を介して側面部１３ｃに取り付けられている。すなわち、扉体１６は、片開きの扉として構成されている。扉体１６の表面には、作業者等が扉体１６を開閉するための第１把持部１６ａが取り付けられている。また、本体１１は、扉体１６を閉状態に固定するためのロック機構２０を備えている（図４参照）。これにより、扉体１６が意図せず閉状態から開状態に変化することを回避できる。なお、図示の例では、ロック機構２０は、南京錠を備えた構成となっているが、例えば、電磁ロックを備えた構成としても良いし、単に留め金が設けられている構成としても良い。また、扉体１６は、いわゆる観音扉として構成されていても良い。

【0029】

本実施形態では、図３から図７に示すように、本体１１に、第２検査補助部材８を着脱自在に保持する保持部５１が設けられている。第２検査補助部材８としては、例えば、第１格納部１２、第２格納部１７、及び第３格納部１９に格納できない大きさの部材や機器等が挙げられる。保持部５１は、本体１１の側面１１ｃ（ここでは側面部１３ｃの表面）に設けられている。図３から図７の例では、複数の保持部５１が側面部１３ｃに設けられている。そして、第２検査補助部材８として、天井搬送車４の通行規制板８ａと、通行規制板８ａを持ち上げて一対のレールＲに取り付けるための一対の棒状部材８ｂとが保持部５１に保持されている。通行規制板８ａは、例えば、特定の処理装置７のポート７ａに対する昇降体４６ｂのずれ量を計測する作業を行う場合に、当該作業とは無関係の天井搬送車４が、作業の対象となるポート７ａの周辺の軌道３を走行しないようにするための部材である（図２参照）。軌道３を走行中の天井搬送車４は、前方の通行規制板８ａを検出すると、当該通行規制板８ａの手前で停車するように構成されている。このように、本体１１内に収納できないような部材であっても、側面１１ｃの保持部５１で保持できる。従って、検査ユニット５を使用する場合には、第２検査補助部材８を検査ユニット５とまとめて作業場所に移動させることができる。また、検査ユニット５を使用しない場合には、保持部５１で保管できる。このため、作業者の作業の手間を軽減することができる。図示の例では、保持部５１は、第１保持部５１ａと第２保持部５１ｂとを備えている。第１保持部５１ａは、第２検査補助部材８としての通行規制板８ａを保持し、第２保持部５１ｂは、第２検査補助部材８としての棒状部材８ｂを保持するように構成されている。このように、保持部５１は、複数種類の第２検査補助部材８を保持できるように構成されていると好適である。

【0030】

本実施形態では、図２、図３、図６、及び図７に示すように、本体１１に、可動式の作業台９が設けられている。また、作業台９は、展開状態で載置部１８に隣接する位置に配置された水平面を形成し、格納状態で本体１１の側面１１ｃに沿う姿勢となるように構成されている。作業台９は、本体１１の背面部１３ｄに取り付けられている。また、作業台９は、折り畳み式に構成されている。作業台９を格納状態から展開状態とすることで、載置部１８に対して第１方向第２側Ｘ２に、作業者等が作業する場所を作り出すことができる。すなわち、検査ユニット５による検査を行う場合に作業者が各種の作業を行う場所を、検査ユニット格納装置１により容易に作り出すことができる。また、作業台９は、格納状態で本体の側面１１ｃに沿う姿勢となるため、本体１１にこのような作業台９を設けても、検査ユニット格納装置１の大型化を抑え易くできる。

【0031】

図２及び図６に示すように、作業台９は、作業本体部９ａと姿勢変更機構９ｂとを備えている。作業本体部９ａは、作業台９の展開状態で水平面に沿う板状部材であり、作業本体部９ａの上面に水平面が形成される。姿勢変更機構９ｂは、展開状態で作業本体部９ａを水平に支持すると共に、作業本体部９ａと係合するように構成されている。そして、姿勢変更機構９ｂによる上記支持を解除することで、作業本体部９ａは、側面１１ｃ（ここでは背面部１３ｄの表面）に沿う姿勢に姿勢変更する。すなわち、作業台９は展開状態から格納状態に状態変化する。なお、作業台９は、着脱自在に本体１１に設けられる構成としても良い。

【0032】

本実施形態では、図３から図５、図７、及び図８に示すように、第３格納部１９は、第３支持体１９ａと、第３支持体１９ａをスライド移動させる第３スライド機構１９ｂとを備えている。そして、第３スライド機構１９ｂは、第３支持体１９ａが本体１１の内部に収容された収容状態と、第３支持体１９ａが本体１１の外部に突出した突出状態とに、第３支持体１９ａを状態変更自在とするように構成されている。第３支持体１９ａは、第１方向Ｘにスライド自在に構成されている。第３支持体１９ａは、第３スライド機構１９ｂを介して本体１１（ここでは側面部１３ｃ）に支持されている。図示の例では、第３格納部１９は、引き出し式の格納部である。第３支持体１９ａは上方が開口した箱型の部材である。そして、第３支持体１９ａの前板部１９ｃには、第３支持体１９ａの引き出し操作を行うための第２把持部１９ｄが設けられている。また、第３スライド機構１９ｂは、一対のスライドレールである。なお、第３格納部１９には、筆記用具や書類や工具等が格納される。

【0033】

本実施形態では、図３、図５及び図９に示すように、第２格納部１７には、検査ユニット５による検査を行う場合に用いられる第１検査補助部材６が格納される。第２格納部１７は、複数種類の第１検査補助部材６を格納可能に構成されている。図９の例では、複数種類の第１検査補助部材６は、検査用プレート６ａ、天井搬送車４に取り付けられる無線通信機器６ｂ、及び位置決め用調整ブロック６ｃとされている。なお、第１検査補助部材６は、「検査補助部材」に相当する。

【0034】

図５及び図９に示すように、第２格納部１７は、第１検査補助部材６を下側から支持する第２支持体１７ａと、第２支持体１７ａをスライド移動させる第２スライド機構１７ｂとを備えている。そして、第２スライド機構１７ｂは、第２支持体１７ａが本体１１の内部に収容された収容状態と、第２支持体１７ａが本体１１の外部に突出した突出状態とに、第２支持体１７ａを状態変更自在とするように構成されている。第２支持体１７ａは、第１方向Ｘにスライド可能に構成されている。そして、第２支持体１７ａは、第２スライド機構１７ｂを介して本体１１に支持されている。また、第２支持体１７ａには、第１検査補助部材６を載置して支持する第２支持面７１ａが形成されている。図示の例では、第２支持体１７ａは、第２支持部７１を備えている。第２支持部７１は水平面に沿う板状部材であり、第２支持部７１の上面に第２支持面７１ａが形成されている。また、第２スライド機構１７ｂは、一対のスライドレールであり、第２支持部７１の第２方向Ｙの両外側にそれぞれ配置されている。そして、第２支持体１７ａは、一対のスライドレールを介して本体１１（ここでは第２方向Ｙに向かい合うそれぞれの側面部１３ｃ）に接続されている。図３及び図９の例では、第２支持部７１の第１方向第１側Ｘ１の端部に、作業者等が第２支持体１７ａを本体１１に対して出し入れするための第２取手部７２が設けられている。

【0035】

また、本実施形態では、図３及び図５に示すように、第２格納部１７は、第１検査補助部材６を格納した状態において、第１格納部１２及び載置部１８の双方と上下方向視で重複するように配置されている。上記のように、第２格納部１７は、第２支持体１７ａの収容状態において、第１格納部１２、第３格納部１９、及び載置部１８と上下方向視で重複する。すなわち、収容状態であれば、第１検査補助部材６を格納しているか否かに拘らず、これらと上下方向視で重複する。図示の例では、第２格納部１７は、本体１１の内部（ここでは筐体１３内）の中段に配置されている。すなわち、第２格納部１７は、筐体１３内において、第３格納部１９よりも下側且つ第１格納部１２よりも上側の位置で、これらと上下方向視で重複する。なお、本明細書において「重複する」とは、少なくとも一部で重複することを意味する。

【0036】

本実施形態では、図５及び図９に示すように、第２格納部１７に、第１検査補助部材６の位置決め及び下側からの支持を行う第３支持部材８０が設けられている。第３支持部材８０は、第２支持体１７ａに設けられている。第３支持部材８０は、複数種類の第１検査補助部材６の位置決め及び下側からの支持が可能に構成されている。第３支持部材８０は、第１検査補助部材６と係合する複数の第３被係合部８１を備えている。第３被係合部８１は、第１検査補助部材６が係合可能な第３凹部８１ａを有しており、当該第３凹部８１ａは、第３支持部材８０の表面（ここでは上面）から下方に窪むように形成されている。第３凹部８１ａは、第２格納部１７に格納する第１検査補助部材６の種類に応じた大きさ及び形状で形成されている。第１検査補助部材６（或いは、第１検査補助部材６の係合部）が第３凹部８１ａに上方から嵌め込まれることで、第１検査補助部材６の位置決めが行われる。図９の例では、第２支持面７１ａに第３支持部材８０が設けられている。そして、第３支持部材８０には、検査用プレート６ａの下面に形成された係合部の形状及び大きさに応じた第３凹部８１ａと、位置決め用調整ブロック６ｃの形状及び大きさに応じた第３凹部８１ａとが形成されている。ここでは、第３支持部材８０は、樹脂材を用いて成形されている。なお、図９の例では、第２格納部１７には、精密機器は格納されないため、防振機能を備えた部材を設けてはいない。しかし、第２格納部１７に格納する第１検査補助部材６の種類によっては、防振機能を備えた部材等を第２支持面７１ａに設けることもできる。また、第３支持部材８０自体を、防振用の弾性部材とすることもできる。

【0037】

図５及び図９の例では、第２支持面７１ａに、第４支持部材８５が更に設けられている。第４支持部材８５は、板状部材で構成されており、第２支持面７１ａから上方に延在するように配置されている。第４支持部材８５の上端には、上方及び第１方向Ｘに切り欠かれた第４被係合部９１としての切欠き部が複数形成されている。そして、第１検査補助部材６としての無線通信機器６ｂの係合部が第４被係合部９１（ここでは切欠き部）に係合することで、第１検査補助部材６の位置決めが行われている。ここでは、第４支持部材８５は金属製である。なお、第４支持部材８５の形状、大きさ、及び材質等は、第１検査補助部材６の種類、大きさ、及び形状等に応じて適宜変更可能である。例えば、第４支持部材８５は、防振機能を備えた弾性部材としても良い。また、第４被係合部９１と第１検査補助部材６とが係合する機構についても、第１検査補助部材６の種類、大きさ、及び形状等に応じて適宜変更可能であると好適である。

【0038】

図３、図５、図１０、図１１に示すように、本実施形態では、第１格納部１２は、第１支持部材３０を支持する第１支持体２１と、第１支持体２１をスライド移動させる第１スライド機構２５とを備えている。そして、第１スライド機構２５は、第１支持体２１が本体１１の内部に収容された収容状態と、第１支持体２１が本体１１の外部に突出した突出状態とに、第１支持体２１を状態変更自在とするように構成されている。第１スライド機構２５が、側面部１３ｃに取り付けられている。そして、第１支持体２１は、第１スライド機構２５を介して本体１１に支持されている。また、第１支持体２１には、検査ユニット５を載置して支持する第１支持面２２ａが形成されている。具体的には、第１支持体２１は、第１支持部２２と基部２３とを備えており、第１支持部２２に第１支持面２２ａが形成されている。第１支持部２２は、基部２３と上下方向視で重複すると共に、基部２３よりも上側に配置される。そして、第１支持部２２は、第１連結部材２４を介して基部２３に支持されている（図１１参照）。図示の例では、第１支持部２２及び基部２３はそれぞれ板状部材であり、第１支持部２２の上面に第１支持面２２ａが形成されている。また、第１支持部２２と基部２３とは、複数（ここでは４つ）の第１連結部材２４で接続されている。第１スライド機構２５は、一対のスライドレールであり、基部２３の第２方向Ｙの両外側にそれぞれ配置されている。そして、第１支持体２１は、一対のスライドレールを介して本体１１（ここでは第２方向Ｙに向かい合うそれぞれの側面部１３ｃ）に接続されている。なお、第１支持体２１が「支持体」に相当し、第１スライド機構２５が「スライド機構」に相当する。

【0039】

また、本実施形態では、図３及び図５に示すように、検査ユニット５を格納した状態の第１格納部１２と載置部１８とが、上下方向視で重複するように配置されている。上記のように、第１格納部１２は、第１支持体２１の収容状態において、第２格納部１７、第３格納部１９、及び載置部１８と上下方向視で重複する。すなわち、収容状態であれば、検査ユニット５を格納しているか否かに拘らず、これらと上下方向視で重複する。図示の例では、第１格納部１２は、本体１１の内部（ここでは筐体１３内）の下段に配置されている。

【0040】

図３、図５、図１０及び図１１に示すように、第１格納部１２に、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持を行う第１支持部材３０が設けられている。本実施形態では、第１支持部材３０は、第１支持体２１に設けられている。第１支持部材３０は、検査ユニット５と係合する第１被係合部３１を備えている。第１支持部材３０は、第１支持部２２の第１支持面２２ａに設けられている。そして、検査ユニット５と第１被係合部３１とが係合することで、検査ユニット５の第１支持面２２ａに対する位置決めが行われる。また、第１支持部材３０は、検査ユニット５の係合部５０と第１被係合部３１とが係合するように構成されている。従って、第１被係合部３１は、検査ユニット５の係合部５０に応じた大きさ及び形状に形成されている。第１被係合部３１は、係合部５０が係合可能な第１凹部３１ａを有しており、第１凹部３１ａは、第１支持部材３０の表面（ここでは上面）から下方に窪むように形成されている。図示の例では、係合部５０が第１凹部３１ａに上方から嵌め込まれることで、検査ユニット５の位置決めが行われる。なお、本実施形態では、第１支持部材３０と第２支持部材４０とは、同一形状である。また、第１支持部材３０と第２支持部材４０とは、同一形状であり、同じ大きさとしてもよい。第１格納部１２の第１支持部材３０と載置部１８の第２支持部材４０とを共通部品にし易く、その場合には部品種類の数を低減することができる。また、第１支持部材３０と第２支持部材４０とは同じ材料で成形されている。ここでは、第１支持部材３０は、第２支持部材４０と同様に樹脂ブロックである。なお、第１支持部材３０は、樹脂ブロックではなく、例えば金属製であっても良い。第１支持部材３０と第２支持部材４０とは、形状が同一であれば、大きさや材料を異ならせてもよい。また、第１支持部材３０は、第１支持体２１に複数設けられていてもよい。

【0041】

本実施形態では、図５及び図１１に示すように、第１支持部材３０が防振用の弾性部材であり、又は、第１支持部材３０が防振用の弾性部材を介して第１格納部１２に支持されている。上記のとおり、第１支持部材３０は、第１支持部２２の第１支持面２２ａに設けられている。このため、第１支持部２２は、第１支持部２２と基部２３とを接続する第１連結部材２４を介して基部２３に下側から支持されている。そして、第１連結部材２４は、防振用の弾性部材（ここでは防振ゴム）である。このため、例えば、検査ユニット格納装置１の移動により、或いは、検査ユニット格納装置１が他の部材や作業者等に衝突したこと等により、本体１１（ここでは筐体１３）が振動した場合であっても、発生した振動を第１連結部材２４に吸収させることができ、第１支持面２２ａ及び第１支持部材３０に支持された検査ユニット５に伝わる振動を低減することができる。

【0042】

また、本実施形態では、上記のとおり、キャスタ１５の防振機構１５ｂと防振機能を有する第１連結部材２４とにより振動が吸収されるため、検査ユニット５に伝わる振動をより低減させ易くできる。また、キャスタ１５の防振機構１５ｂと、第１連結部材２４を構成する防振用の弾性部材との間で、防振特性を異ならせることで、例えば、振動の低周波成分はキャスタ１５に吸収させ、振動の高周波成分は第１連結部材２４に吸収させることもできる。

【0043】

図１０及び図１１の例では、第１支持部材３０は、第１支持面２２ａの第１方向第１側Ｘ１の端部に配置されている。また、第１支持部材３０は、第２方向Ｙの中央領域に配置されている。従って、作業者等は、突出状態の第１支持体２１において、上方から検査ユニット５の係合部５０と第１支持部材３０の第１被係合部３１との位置合わせがし易くなり、これにより検査ユニット５を適切に第１支持面２２ａに載置し易くできる。なお、図示の例では、第１格納部１２には、１つの検査ユニット５が格納されているが、複数の検査ユニット５が格納される構成とすることもできる。また、図１０及び図１１の例では、基部２３の第１方向第１側Ｘ１の端部に、作業者等が第１支持体２１を本体１１に対して出し入れするための第１取手部２６が設けられている。また、基部２３の基部上面２３ａには、第５支持部材９５が複数設けられている。第５支持部材９５は、検査ユニット５以外の収納物の位置決め及び下側からの支持を行う。ここでは、第５支持部材９５により、機器Ｔとしてのバッテリー（例えば、検査ユニット５用の交換バッテリー）の位置決め及び下側からの支持が行われる。このように、図１０の例では、基部２３を利用して検査ユニット５以外の機器Ｔを保管することができ、第１格納部１２における格納場所を有効活用している。

【0044】

〔その他の実施形態〕
次に、検査ユニット格納装置のその他の実施形態について説明する。

【0045】

（１）上記の実施形態では、検査ユニット５は、物品Ｗの移載対象箇所に対する昇降体４６ｂの水平方向のずれ量を計測する用途で使用される構成を例として説明したが、これには限定されない。例えば、検査ユニット５は、物品Ｗの移載対象箇所に対する昇降体４６ｂの上下方向のずれ量を計測する用途、言い換えれば、物品Ｗの移載動作における昇降体４６ｂの目標昇降量を学習するための用途で使用されてもよい。このように、検査ユニット５は、衝撃に弱い精密機器や破損し易い部材等で構成されていれば好適であり、検査ユニット５の構成が上記ずれ量を計測するという用途に限定されることもない。

【0046】

（２）上記の実施形態では、第１支持部材３０及び第２支持部材４０は、検査ユニット５の係合部５０に係合して、検査ユニット５の位置決め及び下側からの支持を行う構成を例として説明したがこれには限定されない。例えば、第１支持部材３０及び第２支持部材４０のそれぞれを、検査ユニット５が備える複数の足部５ｂと係合する構成としてもよい。また、第１支持部材３０及び第２支持部材４０の構成は、検査ユニット５の種類、大きさ、及び形状等に応じて適宜変更できると好適である。

【0047】

（３）上記の実施形態では、検査ユニット５を格納した状態の第１格納部１２と載置部１８とが、上下方向視で重複するように配置されている構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、検査ユニット５を格納した状態の第１格納部１２と載置部１８とが、上下方向視で重複しない構成としてもよい。

【0048】

（４）上記の実施形態では、第１格納部１２は、第１支持体２１をスライド移動させる第１スライド機構２５を備え、第１スライド機構２５は、第１支持体２１が本体１１の内部に収容された収容状態と、第１支持体２１が本体１１の外部に突出した突出状態とに、第１支持体２１を状態変更自在とする構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、第１格納部１２は、第１スライド機構２５を備えていなくてもよい。この場合、例えば、作業者等が、扉体１６を開けて、本体１１内の第１格納部１２に検査ユニット５を直接出し入れする構成とすることもできる。また、第１格納部１２がコンベヤ装置を備えており、当該コンベヤ装置により第１格納部１２に対して第１支持体２１を出し入れする構成とすることもできる。

【0049】

（５）上記の実施形態では、第１支持部材３０が防振用の弾性部材を介して第１格納部１２に支持されている構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、第１支持部材３０自体が防振用の弾性部材（例えば、防振ゴム等）であってもよい。これにより、本体１１に伝わる振動は第１支持部材３０に吸収されるため、第１格納部１２において検査ユニット５に伝わる振動を低減できる。また、防振機構を別途設ける必要がないため、本体１１を構成する部品数を低減できる。また、第１支持部材３０が防振用の弾性部材を備える構成とし、且つ、第１支持部材３０が、別の防振用の弾性部材を介して第１格納部１２に支持されている構成としてもよい。このようにすることで、第１格納部１２において検査ユニット５に伝わる振動をより効果的に低減し易くできる。

【0050】

（６）上記の実施形態では、キャスタ１５の防振機構１５ｂにより振動を吸収することで本体１１及び載置部１８に伝わる振動が低減され、これにより第２支持部材４０に支持されている検査ユニット５に伝わる振動が低減される構成を例として説明したが、これには限定されない。この場合、図１２に示すように、第２支持部材４０が防振用の弾性部材であり、又は、第２支持部材４０が防振用の弾性部材を介して載置部１８に支持されていると好適である。第２支持部材４０が防振用の弾性部材である場合、検査ユニット格納装置１の揺れにより生じた振動を、キャスタ１５の防振機構１５ｂと第２支持部材４０との双方で吸収できるため、第２支持部材４０に支持された検査ユニット５に伝わる振動をより効果的に低減できる。また、第２支持部材４０が防振用の弾性部材を介して載置部１８に支持されている場合については、図１２を用いて説明する。図１２の一例では、載置部１８は、載置支持体９６と第２連結部材９８とを備えている。載置支持体９６は、本体１１（より詳細には、筐体１３の上面部１３ａ）の上面１１ａよりも上側に配置されている。そして、第２連結部材９８により、載置支持体９６と上面部１３ａとが連結されている。ここで、載置支持体９６は水平面に沿う板状部材であり、載置支持体９６の上面に検査ユニット５が載置される載置面１８ａが形成されている。そして、第２支持部材４０は、載置支持体９６の載置面１８ａに設けられている。第２連結部材９８は、防振用の弾性部材（ここでは防振ゴム）であり、これにより検査ユニット格納装置１に生じた揺れによる振動を吸収することができる。また、本体１１の上面１１ａにおいて載置支持体９６と上下方向視で重複しない領域には、物品Ｗを載置できると好適である。

【0051】

（７）上記の実施形態では、第１支持部材３０と第２支持部材４０とが同一形状である構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、第１支持部材３０の形状と第２支持部材４０の形状とを異ならせる構成としてもよい。

【0052】

（８）上記の実施形態では、第２格納部１７に、第１検査補助部材６の位置決め及び下側からの支持を行う第３支持部材８０が設けられている構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、第２格納部１７に、第３支持部材８０を設けなくてもよい。この場合、例えば、第２支持体１７ａにおいて第１検査補助部材６の位置決めを行えるように、第２支持面７１ａの形状を第１検査補助部材６（或いは第１検査補助部材６の係合部）の形状に応じて変形することもできる。

【0053】

（９）上記の実施形態では、本体１１に、可動式の作業台９が設けられている構成を例として説明した。しかしこのような構成に限定されることなく、本体１１に、可動式の作業台９が設けられていなくてもよい。また、本体１１に設けられる作業台９は、可動式でなくてもよい。

【0054】

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0055】

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した検査ユニット格納装置の概要について説明する。

【0056】

本開示に係る検査ユニット格納装置は、天井に沿って配置された軌道を走行する天井搬送車によって搬送される検査ユニットを格納する検査ユニット格納装置であって、
前記検査ユニットが格納される格納部を備えた本体と、前記本体の下部に取り付けられ、前記本体を移動自在に支持するキャスタと、前記本体の上面に設けられ、前記検査ユニットが載置される載置部と、を備え、
前記格納部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第１支持部材が設けられ、
前記載置部に、前記検査ユニットの位置決め及び下側からの支持を行う第２支持部材が設けられている。

【0057】

本構成によれば、検査ユニットを使用しない場合には、検査ユニットを格納部に格納しておくことで、検査ユニットを検査ユニット格納装置の本体により保護しつつ保管することができる。検査ユニットを使用する場合には、キャスタを利用して本体を移動することで、検査ユニットを保護しつつ、検査ユニットを使用する位置まで当該検査ユニットを搬送することができる。また、検査ユニットを格納部から取り出して載置部に置くことにより、例えば、天井搬送車により載置部上の検査ユニットを保持させたり、作業者等により検査用のポートに検査ユニットを載せたりする等の作業を安全かつ容易に行うことができる。そして、検査ユニットを使用した後は、作業をした場所で検査ユニットを格納部に格納して保護できるため、例えば、検査ユニットを持ち運ぶ途中で落下させる等のような事態を回避し易くできる。
このように、本構成によれば検査ユニットの保管及び運用を適切に行い易くできる。

【0058】

ここで、前記検査ユニットを格納した状態の前記格納部と前記載置部とが上下方向視で重複するように配置されていると好適である。

【0059】

本構成によれば、格納部と載置部とが上下方向視で重複しない場合に比べて、検査ユニット格納装置の平面視での小型化を図り易い。

【0060】

また、前記格納部は、前記第１支持部材を支持する支持体と、前記支持体をスライド移動させるスライド機構とを備え、
前記スライド機構は、前記支持体が前記本体の内部に収容された収容状態と、前記支持体が前記本体の外部に突出した突出状態とに、前記支持体を状態変更自在とするように構成されていると好適である。

【0061】

本構成によれば、支持体を突出状態とすることで検査ユニットを第１支持部材に支持させる作業の容易性を高めることができる。そして、支持体を突出状態から収容状態にすることで、第１支持部材に支持された検査ユニットを容易に格納部に格納することができる。また、支持体を収容状態から突出状態とすることで、検査ユニットを格納部から容易に取り出すことができる。このように、格納部に検査ユニットを格納したり、格納部から検査ユニットを取り出したりする作業を、安全かつ容易に行い易くできる。

【0062】

また、前記第１支持部材が防振用の弾性部材であり、又は、前記第１支持部材が防振用の弾性部材を介して前記格納部に支持されていると好適である。

【0063】

本構成によれば、検査ユニット格納装置の移動により、或いは、検査ユニット格納装置が他の部材や作業者等に衝突したこと等により、本体が振動した場合であっても、発生した振動を弾性部材に吸収させることができ、格納部に格納された検査ユニットに伝わる振動を低減することができる。

【0064】

また、前記第２支持部材が防振用の弾性部材であり、又は、前記第２支持部材が防振用の弾性部材を介して前記載置部に支持されていると好適である。

【0065】

本構成によれば、検査ユニット格納装置の移動により、或いは、検査ユニット格納装置が他の部材や作業者等に衝突したこと等により、本体が振動した場合であっても、発生した振動を弾性部材に吸収させることができ、載置部に載置された検査ユニットに伝わる振動を低減することができる。

【0066】

また、前記本体は、前記検査ユニットによる検査を行う場合に用いられる検査補助部材が格納される第２格納部を更に備え、
前記第２格納部に、前記検査補助部材の位置決め及び下側からの支持を行う第３支持部材が設けられ、
前記第２格納部は、前記検査補助部材を格納した状態において、前記格納部及び前記載置部の双方と上下方向視で重複するように配置されていると好適である。

【0067】

本構成によれば、 検査ユニットによる検査を行う場合に用いられる検査補助部材を、検査ユニット格納装置の本体に格納することができる。よって、検査ユニット及び検査補助部材をまとめて本体に保管できる。また、検査を行う場合には、検査ユニットと検査補助部材との双方を本体から取り出すことができる。従って、検査の作業の手間を軽減することができる。
また、第２格納部が、検査補助部材を格納した状態で、格納部及び載置部の双方と上下方向視で重複するように配置されているため、検査ユニット格納装置の平面視での小型化を図り易い。

【0068】

本開示に係る検査ユニット格納装置は、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができればよい。

【符号の説明】

【0069】

１：検査ユニット格納装置
３：軌道
４：天井搬送車
５：検査ユニット
６：第１検査補助部材（検査補助部材）
１１：本体
１１ａ：上面
１１ｃ：側面
１２：第１格納部（格納部）
１５：キャスタ
１７：第２格納部
１８：載置部
２１：第１支持体（支持体）
２２：第１支持部
２５：第１スライド機構（スライド機構）
３０：第１支持部材
４０：第２支持部材
７１：第２支持部
８０：第３支持部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】