IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ジャパン・イーエム・ソリューションズ株式会社の特許一覧

<>
  • 特開-搬送装置 図1
  • 特開-搬送装置 図2
  • 特開-搬送装置 図3
  • 特開-搬送装置 図4
  • 特開-搬送装置 図5
  • 特開-搬送装置 図6
  • 特開-搬送装置 図7
  • 特開-搬送装置 図8
  • 特開-搬送装置 図9
  • 特開-搬送装置 図10
  • 特開-搬送装置 図11
  • 特開-搬送装置 図12
  • 特開-搬送装置 図13
  • 特開-搬送装置 図14
  • 特開-搬送装置 図15
< >
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024060237
(43)【公開日】2024-05-02
(54)【発明の名称】搬送装置
(51)【国際特許分類】
   B25J 13/00 20060101AFI20240424BHJP
   B65G 47/90 20060101ALI20240424BHJP
【FI】
B25J13/00 Z
B65G47/90 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2022167485
(22)【出願日】2022-10-19
(71)【出願人】
【識別番号】523301949
【氏名又は名称】ジャパン・イーエム・ソリューションズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人R&C
(72)【発明者】
【氏名】藤本 賢三
(72)【発明者】
【氏名】藤岡 秀慶
【テーマコード(参考)】
3C707
3F072
【Fターム(参考)】
3C707AS01
3C707ES05
3C707ES17
3C707ET02
3C707KS03
3C707KV12
3C707MT10
3F072AA06
3F072KD01
3F072KD23
3F072KD26
(57)【要約】
【課題】様々な形状の被搬送物を所望の方向に向けた状態でテーブルに載置することができる。
【解決手段】本搬送装置は、被搬送物を載置する載置面を形成する支持部と、上記支持部の上記載置面の裏面に設けられ、第1嵌合部が形成された台座を有するトレイと、上記第1嵌合部に嵌合する第2嵌合部を有し、上記トレイが載置されるテーブルと、上記被搬送物が載置された上記トレイを把持し、把持した上記トレイを上記テーブルに搬送するロボットアームと、を備える。
【選択図】図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被搬送物を載置する載置面を形成する支持部と、前記支持部の前記載置面の裏面に設けられ、第1嵌合部が形成された台座を有するトレイと、
前記第1嵌合部に嵌合する第2嵌合部を有し、前記トレイが載置されるテーブルと、
前記被搬送物が載置された前記トレイを把持し、把持した前記トレイを前記テーブルに搬送するロボットアームと、を備える、
搬送装置。
【請求項2】
前記ロボットアームは、把持した前記トレイを下方から支持する爪部を含む、
請求項1に記載の搬送装置。
【請求項3】
前記ロボットアームの開閉はエアの供給によって制御され、
前記ロボットアームには、供給された前記エアの漏出を抑制する逆止弁が設けられる、
請求項1に記載の搬送装置。
【請求項4】
前記トレイが前記テーブルに所望の方向に向けて載置されたか否かを判定する判定部をさらに含む、
請求項1から3のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項5】
前記判定部は、前記テーブルに前記所望の方向に向けて載置される前記トレイの上方を通過するようにビームを出射する出射部と、前記出射部によって出射される前記ビームが入射される入射部と、を含むビームセンサを有し、
前記判定部は、前記出射部によって出射された前記ビームが前記入射部に入射しない場合に、前記トレイが前記所望の方向に向けて載置されていないと判定する、
請求項4に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
模型や部品等を搬送する搬送装置が利用されている。このような搬送装置では、例えば、搬送対象となる半導体ウェハに応じた形状に形成された保持機構を備えたキャリアストッカーが用いられる(例えば、特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平5-270610号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
被搬送物の搬送にはロボットアームも用いられるが、様々な形状の被搬送物を安定して把持することは難しい。ひいては、ロボットアームによって被搬送物を所望の方向に向けた状態でテーブルに載置することは難しかった。
【0005】
開示の技術の1つの側面は、様々な形状の被搬送物を所望の方向に向けた状態でテーブルに載置することができる搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
開示の技術の1つの側面は、次のような搬送装置によって例示される。本搬送装置は、被搬送物を載置する載置面を形成する支持部と、上記支持部の上記載置面の裏面に設けられ、第1嵌合部が形成された台座を有するトレイと、上記第1嵌合部に嵌合する第2嵌合部を有し、上記トレイが載置されるテーブルと、上記被搬送物が載置された上記トレイを把持し、把持した上記トレイを上記テーブルに搬送するロボットアームと、を備える。
【発明の効果】
【0007】
本搬送装置は、様々な形状の被搬送物を所望の方向に向けた状態でテーブルに載置することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
図1図1は、実施形態に係る搬送装置の一例を示す図である。
図2図2は、トレイの一例を示す第1の図である。
図3図3は、トレイの一例を示す第2の図である。
図4図4は、テーブルの一例を示す図である。
図5図5は、ビームセンサの配置と、出光部によって出射される赤外線を例示する図である。
図6図6は、出光部によって出射される赤外線とトレイの位置関係を例示する図である。
図7図7は、ロボットハンドの一例を示す第1の図である。
図8図8は、ロボットハンドの一例を示す第2の図である。
図9図9は、爪部の形状の一例を示す図である。
図10図10は、ロボットハンドの開閉機構を模式的に示す図である。
図11図11は、ロボットハンドがトレイを把持した状態の一例を示す図である。
図12図12は、ロボットアームによってトレイがテーブルに載置された状態を例示する第1の図である。
図13図13は、ロボットアームによってトレイがテーブルに載置された状態を例示する第2の図である。
図14図14は、制御ユニットのハードウェア構成の一例を示す図である。
図15図15は、制御ユニットの処理ブロックの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
<実施形態>
以下、図面を参照して実施形態に係る搬送装置100についてさらに説明する。図1は、実施形態に係る搬送装置100の一例を示す図である。搬送装置100は、ロボットアーム1、トレイ2、テーブル3及びビームセンサ4を備える。ビームセンサ4は、出光部41及び受光部42を有する。図1では、ロボットアーム1によって搬送される被搬送物の一例である歯型模型9がトレイ2に載置される。搬送装置100では、歯型模型9が載置されたトレイ2をロボットアーム1が把持し、トレイ2をテーブル3へとロボットアーム1が搬送する。以下、本明細書において、テーブル3からロボットハンド13に向かう方向を+Z方向、受光部42から出光部41に向かう方向を+Y方向、紙面奥から手前方向を+X方向とする。また、本明細書において、+Z方向を上方向、-Z方向を下方向とも称する。
【0010】
トレイ2は、ロボットアーム1の被搬送物である歯型模型9が載置され、ロボットアーム1によってテーブル3へと搬送される皿状の部材である。トレイ2には、例えば、作業員の手作業や他のロボットアーム等によって、歯型模型9が載置される。図2及び図3は、トレイ2の一例を示す図である。図2はトレイ2をX方向から見た図であり、図3はトレイ2を-Z方向から見た図となっている。トレイ2は、歯型模型9が載置される載置面25を形成する支持部24、支持部24の外側の縁を形成する縁部26、支持部24において載置面25の裏面に設けられる土台21を有する。土台21には、後述するテーブル3の突起部34と嵌合する嵌合溝22が形成される。Z方向視において、支持部24及び底面23は例えば円形に形成される。底面23の直径は載置面25の直径よりも短く形成される。嵌合溝22は、「第1嵌合部」の一例である。
【0011】
歯型模型9は、例えば、人の歯を模した模型である。歯型模型9は、例えば、歯科治療時における患者への説明や、歯科に係る講義の際に用いられる。歯型模型9は、前歯から奥歯までの歯が並んだ歯列の模型と、歯列の模型を支持する歯茎の模型を含む。歯型模型9に対する後工程を考慮すると、歯型模型9は所定の方向に向けられた状態でテーブル3に載置されることが好ましい。
【0012】
テーブル3は、ロボットアーム1によるトレイ2の載置に用いられる作業台である。図4は、テーブル3の一例を示す図である。図4は、テーブル3を+Z方向から見た図である。テーブル3は、平面に形成された天面31を有する。ワークセット位置32は、トレイ2の土台21の底面23の形状よりも若干大きめに天面31上に凹状に形成される。図4に例示されるテーブル3には、3列×2列の計6個のワークセット位置32が配置されているが、テーブル3に配置されるワークセット位置32に数が6個に限定されるわけではない。ワークセット位置32のZ方向視の形状は、ワークセット位置32に載置されるトレイ2の底面23の形状に応じて決定される。
【0013】
テーブル3に凹状に形成されたワークセット位置32にはトレイ2の嵌合溝22と嵌合する突起部34が設けられる。突起部34は、ワークセット位置32の載置底面33から+Z方向に向けて立設される。嵌合溝22と突起部34とが嵌合することで、テーブル3に載置されるトレイ2の向きが所定方向に規制される。突起部34は、「第2嵌合部」の
一例である。
【0014】
ビームセンサ4は、テーブル3のY方向の両端部に配置される。図5は、ビームセンサ4の配置と、出光部41によって出射される赤外線43を例示する図である。図6は、出光部41によって出射される赤外線43とトレイ2の位置関係を例示する図である。図5及び図6では、トレイ2に載置された歯型模型9も例示されている。出光部41及び受光部42は、テーブル3に載置されたトレイ2のX方向の両端部付近において、載置面25よりも所定距離Dだけ上方を出光部41によって出射された赤外線43が通過するように配置される。所定距離Dは、例えば、赤外線43と載置面25とが可及的に近づくように適宜設定される。出光部41及び受光部42は、出光部41、41によって出射された赤外線43、43の間に歯型模型9が挟まれるように、配置される。出光部41から出射された赤外線43は、出光部41と受光部42との間に赤外線43を遮る障害物が無い場合には、受光部42に入射される。出光部41は、「出射部」の一例である。受光部42は、「入射部」の一例である。
【0015】
ロボットアーム1は、多関節のアーム11と、アーム11の先端に接続されたロボットハンド13と、制御ユニット12を有する。ロボットアーム1は、ロボットハンド13によって把持したトレイ2をテーブル3上に形成されたワークセット位置32に載置する。制御ユニット12は、アーム11、ロボットハンド13及びビームセンサ4を制御する。
【0016】
図7及び図8は、ロボットハンド13の一例を示す図である。図7はX方向からロボットハンド13を見た図であり、図8は+Z方向からロボットハンド13を見た図である。ロボットハンド13は、取り付け軸131、関節部132、支持軸133、指部134、爪部135及びストッパー部136を有する。取り付け軸131は、+Z方向の端部がアーム11に接続され、-Z方向の端部が関節部132に接続される棒状の部材である。
【0017】
関節部132には、XY平面に沿って配置される支持軸133が接続される。支持軸133は、例えば、関節部132を中心にX軸方向、Y軸方向に向けて放射状に4本配置される。支持軸133は、関節部132を中心に可動する。支持軸133には、指部134が接続される。指部134は、+Z方向の端部が支持軸133に接続される。指部134は、支持軸133に沿って摺動可能であってもよい。指部134の-Z方向の端部には、ストッパー部136及び爪部135が設けられる。爪部135は、ロボットハンド13によって把持されるトレイ2を下方(-Z方向)から支える部材である。ストッパー部136は、ロボットハンド13によって把持されるトレイ2の側面を保護する部材である。ストッパー部136は、例えば、弾性部材によって作製される。
【0018】
図9は、爪部135の形状の一例を示す図である。図9では、ロボットハンド13によってトレイ2を把持した状態を-Z方向から見た図となっている。爪部135は、板状に形成される。爪部135の+Z方向の面(ロボットハンド13によってトレイ2が把持された際に、トレイ2と接する面)は、例えば、トレイ2の縁に沿った形状を有する。トレイ2は、Z方向視において、トレイ2に向けて突出する突出部135Aが形成される。突出部135Aは、例えば、ロボットハンド13によってトレイ2が把持された際に、トレイ2の土台21と干渉しない長さに形成される。突出部135Aが形成されることで爪部135とトレイ2との接触面積を増大させることができるため、爪部135はより安定してトレイ2を支持できる。
【0019】
ロボットアーム1では、関節部132を中心に支持軸133が動くことで、ロボットハンド13が開閉される。ロボットハンド13の開閉は、例えば、エアが供給されることで行われる。図10は、ロボットハンド13の開閉機構14を模式的に示す図である。開閉機構14は、制御ユニット12からの指示に応じてロボットハンド13の開閉を制御する
。開閉機構14は、ハンド開エア供給部141、エア閉込弁142、ハンド閉エア供給部143及びエア閉込弁144を含む。開閉機構14は、例えば、ロボットアーム1のアーム11内に内蔵される。
【0020】
ロボットハンド13を開く際には、ハンド開エア供給部141からエア閉込弁142を介してロボットハンド13にエアが供給される。ハンド開エア供給部141からエアが供給されることでロボットハンド13が開いた状態となる。エア閉込弁142は、例えば、逆止弁である。ハンド開エア供給部141からロボットハンド13に供給されたエアのロボットハンド13外への漏出は、エア閉込弁142によって抑制される。そのため、ハンド開エア供給部141からのエアの供給が途絶えても、ロボットハンド13が閉じることが抑制される。
【0021】
ロボットハンド13を閉じる際には、ハンド閉エア供給部143からエア閉込弁144を介してロボットハンド13にエアが入力される。ハンド閉エア供給部143からエアが供給されることでロボットハンド13が閉じた状態となる。エア閉込弁144は、例えば、逆止弁である。ハンド閉エア供給部143からロボットハンド13に供給されたエアのロボットハンド13外への漏出は、エア閉込弁144によって抑制される。そのため、ハンド閉エア供給部143からのエアの供給が途絶えても、ロボットハンド13が開くことが抑制される。
【0022】
図11は、ロボットハンド13がトレイ2を把持した状態の一例を示す図である。ロボットアーム1は、関節部132を中心として支持軸133を動かすことでロボットハンド13が開閉され、トレイ2を把持する。ロボットハンド13がトレイ2を把持するときは、爪部135がトレイ2の支持部24を下方から支持する。
【0023】
図12及び図13は、ロボットアーム1によってトレイ2がテーブル3に載置された状態を例示する図である。図12では嵌合溝22と突起部34とが嵌合する場合が例示され、図13は嵌合溝22とが突起部34とが嵌合しない場合が例示される。図12及び図13では、赤外線43も例示されている。なお、図12及び図13では、歯型模型9の図示は省略される。
【0024】
嵌合溝22と突起部34とが嵌合するようにロボットハンド13によってトレイ2が載置されると、図12に例示するように、トレイ2の底面23が載置底面33から浮かずに配置される。このような場合、出光部41から出射された赤外線43は、トレイ2に遮られずに受光部42に入射する。一方、嵌合溝22と突起部34とが嵌合しないようにロボットハンド13によってトレイ2が載置されると、図13に例示するように、トレイ2の底面23が載置底面33から浮いてしまう。このような場合、出光部41から出射された赤外線43は、トレイ2に遮られて受光部42に入射しなくなる。
【0025】
<制御ユニット12のハードウェア構成>
図14は、制御ユニット12のハードウェア構成の一例を示す図である。制御ユニット12は、CPU121、主記憶部122、補助記憶部123、通信部124、出力部125及び接続バスB1を備える。CPU121、主記憶部122、補助記憶部123、通信部124及び出力部125は、接続バスB1によって相互に接続される。
【0026】
Central Processing Unit(CPU)121は、マイクロプロセッサーユニット(MPU)、プロセッサーとも呼ばれる。CPU121は、単一のプロセッサーに限定される訳ではなく、マルチプロセッサー構成であってもよい。制御ユニット12では、CPU121が補助記憶部123に記憶されたプログラムを主記憶部122の作業領域に展開し、プログラムの実行を通じて周辺装置の制御を行う。これにより、制
御ユニット12は、ロボットアーム1及びビームセンサ4の制御を実行できる。主記憶部122及び補助記憶部123は、CPU121が読み取り可能な記録媒体である。
【0027】
主記憶部122は、CPU121から直接アクセスされる記憶部として例示される。主記憶部122は、Random Access Memory(RAM)及びRead Only Memory(ROM)を含む。
【0028】
補助記憶部123は、各種のプログラム及び各種のデータを読み書き自在に記録媒体に格納する。補助記憶部123は、例えば、ロボットアーム1の制御プログラム及びビームセンサ4の制御プログラムを記憶する。補助記憶部123は外部記憶装置とも呼ばれる。補助記憶部123には、オペレーティングシステム(Operating System、OS)、各種プログラム、各種テーブル等が記憶される。
【0029】
補助記憶部123は、例えば、Erasable Programmable ROM(EPROM)、ソリッドステートドライブ(Solid State Drive、SSD)、ハードディスクドライブ(Hard Disk Drive、HDD)等である。また、補助記憶部123は、例えば、Compact Disc(CD)ドライブ装置、Digital Versatile Disc(DVD)ドライブ装置、Blu-ray(登録商標) Disc(BD)ドライブ装置等である。
【0030】
通信部124は、例えば、他の装置とのインターフェースである。通信部124は、例えば、有線または無線の通信ネットワークを介してアーム11、ロボットハンド13及びビームセンサ4と通信を行う。
【0031】
出力部125は、CPU121の処理結果を出力する。出力部125は、例えば、ディスプレイやスピーカーである。
【0032】
<制御ユニット12の処理ブロック>
図15は、制御ユニット12の処理ブロックの一例を示す図である。制御ユニット12は、ロボットハンド制御部51、ビーム制御部52及び判定部53を備える。制御ユニット12は、主記憶部122に実行可能に展開されたコンピュータープログラムをCPU121が実行することで、上記制御ユニット12の、ロボットハンド制御部51、ビーム制御部52及び判定部53等の各部としての処理を実行する。
【0033】
ロボットハンド制御部51は、開閉機構14を制御することでロボットハンド13を駆動する。ロボットハンド制御部51は、例えば、開閉機構14のハンド開エア供給部141からのエアをロボットハンド13に供給させることで、ロボットハンド13を開かせる。また、ロボットハンド制御部51は、例えば、開閉機構14のハンド閉エア供給部143からのエアをロボットハンド13に供給させることで、ロボットハンド13を閉じさせる。
【0034】
ビーム制御部52は、ビームセンサ4の出光部41に赤外線43を出射させる。ビーム制御部52は、例えば、ロボットハンド制御部51によってトレイ2がテーブル3に載置されたときに、出光部41に赤外線43を出射させてもよい。
【0035】
判定部53は、テーブル3にトレイ2が所望の方向に向けて載置されたか否かを判定する。判定部53は、出光部41によって出射された赤外線43が受光部42に入射したか否かを検知する。判定部53は、検知結果に応じてテーブル3にトレイ2が所望の方向に向けて載置されたか否かを判定する。ここで、所望の方向とは、例えば、トレイ2の嵌合溝22とテーブル3の突起部34とが嵌合する状態でトレイ2がテーブル3に載置された
場合を挙げることができる。トレイ2の嵌合溝22がテーブル3の突起部34と嵌合している場合、出光部41によって出射された赤外線43は、遮られること無く受光部42に入射する。一方、トレイ2の嵌合溝22がテーブル3の突起部34と嵌合していない場合、トレイ2のいずれかの部分や歯型模型9が赤外線43を遮るため、赤外線43が受光部42に入射しない。判定部53は、出光部41によって出射された赤外線43が受光部42に入射したか否かによって、テーブル3にトレイ2が所望の方向に向けて載置されたか否かを判定する。判定部53は、例えば、トレイ2が所望の方向に向けて載置されていないと判定すると、出力部125を介して作業員に通報を行う。通報は、例えば、出力部125がディスプレイである場合にはエラーメッセージの表示を挙げることができる。また、通報は、出力部125がスピーカーである場合には警報音の出力を挙げることができる。
【0036】
<実施形態の作用効果>
本実施形態では、ロボットアーム1による被搬送物である歯型模型9はトレイ2に載置される。そして、ロボットアーム1は、歯型模型9を直接把持するのではなく、トレイ2を把持してテーブル3に搬送する。そのため、本実施形態によれば、様々な形状の歯型模型9を安定して搬送することができる。
【0037】
テーブル3に凹状に形成されたワークセット位置32にはトレイ2の嵌合溝22と嵌合する突起部34が設けられる。突起部34と嵌合溝22とが嵌合することで、トレイ2は一定の方向に向けられた状態でテーブル3に載置される。すなわち、本実施形態によれば、嵌合溝22と突起部34とが嵌合するようにロボットアーム1がトレイ2を搬送することで、所望の方向に歯型模型9を向けた状態でテーブル3に載置できる。所望の方向に歯型模型9を向けた状態でトレイ2がテーブル3に載置されることで、後工程における処理がスムーズになる。
【0038】
本実施形態では、ロボットハンド13には爪部135が設けられる。爪部135は、ロボットハンド13によってトレイ2を把持する際に、トレイ2を下方から支持する。ロボットハンド13は、爪部135がトレイ2を下方から支持することで、より安定してトレイ2を把持できる。ひいては、ロボットハンド13は、より安定してトレイ2を把持できる。
【0039】
ここで、ロボットハンド13の爪部135は、Z方向視において、トレイ2に向けて突出する突出部135Aが形成される。本実施形態では、突出部135Aが形成されることで爪部135とトレイ2との接触面積を増大させることができるため、爪部135はより安定してトレイ2を支持できる。ひいては、ロボットハンド13は、より安定してトレイ2を把持できる。
【0040】
本実施形態では、ロボットハンド13の開閉は、ハンド開エア供給部141及びハンド閉エア供給部143からのエアの供給によって制御される。そして、供給されたエアは、エア閉込弁142、エア閉込弁144によってロボットハンド13外への意図せぬエアの漏出が抑制される。そのため、本実施形態によれば、意図せぬロボットハンド13の開閉が抑制される。
【0041】
本実施形態では、トレイ2のX方向の両端部にはビームセンサ4が配置される。トレイ2が所望の方向に向けてテーブル3に載置されなかった場合、出光部41によって出射された赤外線43がトレイ2や歯型模型9によって遮られるため受光部42に入射しなくなる。そのため、本実施形態によれば、トレイ2が所望の方向に向けてテーブル3に載置されたか否かを検知できる。
【0042】
<変形例>
本実施形態ではトレイ2はZ方向視において円形に形成されたが、トレイ2は円形以外の形状に形成されてもよい。トレイ2は、例えば、Z方向視において矩形に形成されてもよい。
【0043】
本実施形態ではトレイ2には嵌合溝22がひとつ設けられ、ワークセット位置32には突起部34がひとつ設けられた。しかしながら、嵌合溝22及び突起部34の数がひとつに限定されるわけではなく、嵌合溝22及び突起部34は複数設けられてもよい。
【0044】
実施形態ではロボットアーム1による被搬送物として歯型模型9が挙げられたが、ロボットアーム1による被搬送物が歯型模型9に限定されるわけではない。ロボットアーム1による被搬送物としては、歯型模型以外の模型、機械の部品、機械の完成品等の様々な物を挙げることができる。
【符号の説明】
【0045】
1・・ロボットアーム
2・・トレイ
3・・テーブル
4・・ビームセンサ
9・・歯型模型
11・・アーム
12・・制御ユニット
13・・ロボットハンド
14・・開閉機構
21・・土台
22・・嵌合溝
23・・底面
24・・支持部
25・・載置面
26・・縁部
31・・天面
32・・ワークセット位置
33・・載置底面
34・・突起部
41・・出光部
42・・受光部
43・・赤外線
51・・ロボットハンド制御部
52・・ビーム制御部
53・・判定部
100・・搬送装置
121・・CPU
122・・主記憶部
123・・補助記憶部
124・・通信部
125・・出力部
131・・取り付け軸
132・・関節部
133・・支持軸
134・・指部
135・・爪部
135A・・突出部
136・・ストッパー部
141・・ハンド開エア供給部
142・・エア閉込弁
143・・ハンド閉エア供給部
144・・エア閉込弁
B1・・接続バス
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15