特開2024-60332成膜装置及びそのクリーニング方法

発明の名称　成膜装置及びそのクリーニング方法

出願人　株式会社オプトラン　（識別番号 300075751）

　　　　特許公開件数ランキング 1670 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1043 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-60332

公報発行日　2024年5月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-60332

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