特開 2024-61958 位置決めテーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024061958

(43)【公開日】2024-05-09

(54)【発明の名称】位置決めテーブル装置

(51)【国際特許分類】

   G01B 7/00 20060101AFI20240430BHJP

【ＦＩ】

G01B7/00 101H

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022169623

(22)【出願日】2022-10-24

(71)【出願人】

【識別番号】000229335

【氏名又は名称】日本トムソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100136098

【弁理士】

【氏名又は名称】北野 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100137246

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 勝也

(74)【代理人】

【識別番号】100158861

【弁理士】

【氏名又は名称】南部 史

(74)【代理人】

【識別番号】100194674

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 覚史

(72)【発明者】

【氏名】坂井 哲也

【テーマコード（参考）】

2F063

【Ｆターム（参考）】

2F063AA02

2F063BA21

2F063CA34

2F063DA01

2F063DA05

2F063GA52

(57)【要約】

【課題】小型化およびコンパクト化を図りながら、テーブルの正確な位置決めを行うことができる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】位置決めテーブル装置は、ねじ軸およびナットを含むボールねじと、ねじ軸を回転させる動力部と、ナットに取り付けられ、ねじ軸の回転に応じてねじ軸の軸方向に沿って移動可能なテーブルと、テーブルの位置を検知する検知部と、を備える。検知部は、テーブルと共にねじ軸の軸方向に移動するマグネットと、マグネットの位置を検知するホール素子と、ホール素子が取り付けられ、ねじ軸と間隔をあけてねじ軸の軸方向と交差する方向に配置され、ホール素子に繋がる配線が設けられた基板と、を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ねじ軸およびナットを含むボールねじと、
前記ねじ軸を回転させる動力部と、
前記ナットに取り付けられ、前記ねじ軸の回転に応じて前記ねじ軸の軸方向に沿って移動可能なテーブルと、
前記テーブルの位置を検知する検知部と、を備え、
前記検知部は、
前記テーブルと共に前記ねじ軸の軸方向に移動するマグネットと、
前記マグネットの位置を検知するホール素子と、
前記ホール素子が取り付けられ、前記ねじ軸と間隔をあけて前記ねじ軸の軸方向と交差する方向に配置され、前記ホール素子に繋がる配線が設けられた基板と、を含む、位置決めテーブル装置。

【請求項2】

前記基板は、コネクタ接続により外部と電気的に接続される、請求項１に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項3】

前記検知部は、前記マグネットが取り付けられる板状部材をさらに含み、
前記板状部材は、前記テーブルの側面に取り付けられている、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項4】

前記板状部材は、折り曲げられており、
前記マグネットは、前記ホール素子と間隔をあけて対向するように設けられている、請求項３に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項5】

前記マグネットは板状であって、前記基板と厚さ方向が同じとなるように配置される、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項6】

前記ホール素子は、前記ねじ軸の軸方向にそれぞれ間隔をあけて複数設けられている、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項7】

前記基板は複数含まれ、
複数の前記基板は、コネクタ接続により電気的に接続されている、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル装置。

【請求項8】

前記ホール素子によって検知された電気信号を増幅させるアンプ部をさらに含む、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、位置決めテーブル装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

スライドテーブルの位置を検出する位置検出手段を備えた小型スライド装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に開示の小型スライド装置によると、スライドテーブルに永久磁石を設けることとしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－１６８７２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

位置決めテーブル装置については、小型化を図りながらも、移動するテーブルの正確な位置決めが求められる。また、テーブルの位置を検知するための機構もできるだけコンパクトであることが好ましい。

【0005】

そこで、小型化およびコンパクト化を図りながら、テーブルの正確な位置決めを行うことができる位置決めテーブル装置を提供することを目的の１つとする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に従った位置決めテーブル装置は、ねじ軸およびナットを含むボールねじと、ねじ軸を回転させる動力部と、ナットに取り付けられ、ねじ軸の回転に応じてねじ軸の軸方向に沿って移動可能なテーブルと、テーブルの位置を検知する検知部と、を備える。検知部は、テーブルと共にねじ軸の軸方向に移動するマグネットと、マグネットの位置を検知するホール素子と、ホール素子が取り付けられ、ねじ軸と間隔をあけてねじ軸の軸方向と交差する方向に配置され、ホール素子に繋がる配線が設けられた基板と、を含む。

【発明の効果】

【0007】

上記位置決めテーブル装置によれば、小型化およびコンパクト化を図りながら、テーブルの正確な位置決めを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本開示の実施の形態１における位置決めテーブル装置を示す概略斜視図である。

【図2】図２は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略平面図である。

【図3】図３は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略側面図である。

【図4】図４は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略正面図である。

【図5】図５は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置の一部を拡大して示す概略斜視図である。

【図6】図６は、図１に示す位置決めテーブル装置に含まれる検知部の一部を拡大して示す分解斜視図である。

【図7】図７は、図１に示す位置決めテーブル装置に含まれる検知部の一部を拡大して示す分解斜視図である。

【図8】図８は、本開示の実施の形態２における位置決めテーブル装置を示す概略斜視図である。

【図9】図９は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略平面図である。

【図10】図１０は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略側面図である。

【図11】図１１は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略正面図である。

【図12】図１２は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置の一部を拡大して示す概略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［実施形態の概要］
本開示の位置決めテーブル装置は、ねじ軸およびナットを含むボールねじと、ねじ軸を回転させる動力部と、ナットに取り付けられ、ねじ軸の回転に応じてねじ軸の軸方向に沿って移動可能なテーブルと、テーブルの位置を検知する検知部と、を備える。検知部は、テーブルと共にねじ軸の軸方向に移動するマグネットと、マグネットの位置を検知するホール素子と、ホール素子が取り付けられ、ねじ軸と間隔をあけてねじ軸の軸方向と交差する方向に配置され、ホール素子に繋がる配線が設けられた基板と、を含む。

【0010】

従来のボールねじを含む位置決めテーブル装置においては、市販のセンサを採用し、センサを取り付けるセンサレールをボールねじの両サイドに配置される機器ベースの側面に取り付けていた。このような位置決めテーブル装置においては、機器ベースの側面にセンサレールを配置する必要があるため、ボールねじの長手方向に直交する方向であるボールねじの幅方向の寸法が増大することとなる。さらに、市販のセンサを用いる場合、検出体であるマグネット（一般的に「ドグ」ということもある。）をセンサレールのさらに外側に取り付ける必要があり、装置全体として小型化を図ることが困難であった。加えて、センサの信号を電気的に伝える配線についても、センサの個数分だけ配線が必要となり、取り回しが煩雑となることが多かった。

【0011】

本開示の位置決めテーブル装置によると、テーブルの位置を検知する検知部は、テーブルに取り付けられたマグネットと、ホール素子と、を含む。そして、ホール素子は、ホール素子に繋がる配線が設けられた基板部に取り付けられているため、基板の厚さを薄くして、位置決めテーブル装置の幅方向の寸法を小さくすることができる。この場合、比較的小さく構成することができるホール素子により、テーブルと共に移動するマグネットの位置を検知しているため、装置構成全体の小型化を図りながら精度よく位置を検知することができる。また、ホール素子に繋がる配線については、基板に設けられているため、配線の取り回しの煩雑さを回避することができる。したがって、このような構成の位置決めテーブル装置によれば、小型化およびコンパクト化を図りながら正確にテーブルの位置決めを行うことができる。ここで、ホール素子とは、ホール効果を利用した磁気センサのことをいう。

【0012】

上記位置決めテーブル装置において、基板は、コネクタ接続により外部と電気的に接続されてもよい。このようにすることにより、基板と外部との電気的な接続において、配線の取り回し等の煩雑さが解消されることになり、基板と外部との電気的な接続を簡易な構成で実現することができる。したがって、よりコンパクト化を図ることができる。

【0013】

上記位置決めテーブル装置において、検知部は、マグネットが取り付けられる板状部材をさらに含んでもよい。板状部材は、テーブルの側面に取り付けられていてもよい。このようにすることにより、板状部材を介してマグネットをテーブルに取り付けることができ、ホール素子およびマグネットの配置の自由度を高めることができる。したがって、よりユーザーのニーズに応じた位置決めテーブル装置の構成とすることが容易となる。

【0014】

上記位置決めテーブル装置において、板状部材は、折り曲げられていてもよい。マグネットは、ホール素子と間隔をあけて対向するように設けられていてもよい。このようにすることにより、より適切なホール素子とマグネットとの距離関係を図ることができ、より精度よくテーブルの位置決めを行うことができる。

【0015】

上記位置決めテーブル装置において、マグネットは板状であって、基板と厚さ方向が同じとなるように配置されてもよい。このようにすることにより、基板の厚さ方向の長さ寸法を小さくすることができる。したがって、小型化を図ることが容易になる。

【0016】

上記位置決めテーブル装置において、ホール素子は、ねじ軸の軸方向にそれぞれ間隔をあけて複数設けられていてもよい。このようにすることにより、ねじ軸の軸方向においてテーブルの位置を高精度に制御することができる。したがって、位置決めテーブル装置におけるテーブルの位置決めを高精度に行うことができる。

【0017】

上記位置決めテーブル装置において、基板は複数含まれてもよい。複数の基板は、コネクタ接続により電気的に接続されていてもよい。このようにすることにより、複数の基板の電気的な接続をより簡易な構成で実現することができる。この場合、テーブルの位置の検知が必要な箇所に基板を配置し、それぞれをコネクタ接続することにより、各基板を電気的に接続する配線の取り回しを不要にして、よりコンパクト化を図ることができる。

【0018】

上記位置決めテーブル装置は、ホール素子によって検知された電気信号を増幅させるアンプ部をさらに含んでもよい。このようにすることにより、ホール素子により検知した電気信号を適切な電気信号のレベルに増幅し、検出可能とすることによりテーブルの位置を検知することができる。したがって、ホール素子およびマグネットの小型化を図りながら、より高精度なテーブルの位置決めを行うことができる。

【0019】

［実施形態の具体例］
次に、本開示の位置決めテーブル装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

【0020】

（実施の形態１）
まず、本開示の実施の形態である実施の形態１について説明する。図１は、本開示の実施の形態１における位置決めテーブル装置を示す概略斜視図である。なお、図１および以下に示す図において、Ｘ方向は、位置決めテーブル装置の幅方向である短手方向を示し、Ｙ方向は、位置決めテーブル装置の長手方向（後述するねじ軸の軸方向）を示し、Ｚ方向は、位置決めテーブル装置の高さ方向を示す。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向はそれぞれ、直交している。図２は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略平面図である。図２は、図１中の矢印ＩＩの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図３は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略側面図である。図３は、図１中の矢印ＩＩＩの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図４は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置を示す概略正面図である。図４は、図１中の矢印ＩＶの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図５は、図１に示す実施の形態１の位置決めテーブル装置の一部を拡大して示す概略斜視図である。図６および図７はそれぞれ、図１に示す位置決めテーブル装置に含まれる検知部の一部を拡大して示す分解斜視図である。図６と図７は、それぞれ異なる向きから見た図である。

【0021】

図１、図２、図３、図４、図５、図６および図７を参照して、本開示の実施の形態１に係る位置決めテーブル装置１０ａは、ねじ軸１２ａおよびナット１３ａを含むボールねじ１１ａと、ねじ軸１２ａを回転させる動力部としてのモータ１４ａと、ナット１３ａに取り付けられ、ねじ軸１２ａの回転に応じてねじ軸１２ａの軸方向に沿って移動可能なテーブル（スライドテーブル）１８ａと、テーブル１８ａの位置を検知する検知部２１ａと、を含む。ねじ軸１２ａの軸方向は、図１等に示すＹ方向である。ナット１３ａは、図示しないボールを介してねじ軸１２ａに取り付けられている。ねじ軸１２ａは、ねじ軸１２ａの軸方向の端部を支持する第１支持部１５ａと、図示しないベアリングを内蔵し、第１支持部１５ａと軸方向の反対側に位置する端部を支持する第２支持部１６ａとによって支持されている。なお、第１支持部１５ａの構成については、ラジアルベアリングを含む構成であってもよいし、ベアリングを含まず、ねじ軸１２ａの端部がフリーとなるよう支持する構成であってもよい。ボールねじ１１ａは、長手方向である軸方向を直線運動方向として、ねじ軸１２ａの回転によりナット１３ａを直線運動させる。テーブル１８ａは、ナット１３ａに取り付けられているため、ねじ軸１２ａの回転によりナット１３ａと共に軸方向に直線運動を行う。すなわち、テーブル１８ａは、ねじ軸１２ａを回転させることにより、ねじ軸１２ａの長手方向に沿って直線運動を行う。ねじ軸１２ａの回転の向きを逆向きとすることにより、テーブル１８ａを直線往復運動させることができる。なお、モータ１４ａは、第２支持部１６ａによって支持されるねじ軸１２ａの軸方向の端部に接続されている。

【0022】

次に、検知部２１ａの構成について説明する。検知部２１ａは、マグネット２２ａと、複数のホール素子２３ａ、ホール素子２４ａ、ホール素子２５ａ、ホール素子２６ａと、基板２７ａ、基板２８ａと、を含む。本実施形態においては、４つのホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと、２つの基板（第１基板）２７ａ、基板（第２基板）２８ａと、を含む。リミットセンサとして機能するホール素子（第１ホール素子）２３ａ、原点前センサとして機能するホール素子（第２ホール素子）２４ａ、原点センサとして機能するホール素子（第３ホール素子）２５ａ、リミットセンサとして機能するホール素子（第４ホール素子）２６ａはそれぞれ、マグネット２２ａの位置を検知する。具体的には、マグネット２２ａの磁気を検知して、マグネット２２ａが各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａが設けられた位置に近接したことを検知する。

【0023】

また、検知部２１ａはさらに、ケーブル配線（第１ケーブル配線）３１ａと、ケーブル配線（第２ケーブル配線）３２ａと、アンプ部３３ａと、６芯構成のケーブル３４ａと、を含む。検知部２１ａのうち、マグネット２２ａを除いた構成は、センサユニットを構成する。本実施形態において、検知部２１ａは、複数のホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと、複数の基板（第１基板）２７ａ、基板（第２基板）２８ａと、を含む。例えば、第１基板２７ａおよび第２基板２８ａは、共にプリント基板である。

【0024】

第１基板２７ａおよび第２基板２８ａはそれぞれ、ねじ軸１２ａと間隔をあけてねじ軸１２ａの軸方向と交差する方向、具体的には、ねじ軸１２ａの軸方向と直交する方向に配置されている。本実施形態においては、第１基板２７ａおよび第２基板２８ａはそれぞれ、ねじ軸１２ａとＸ方向に間隔をあけて配置されている。第１基板２７ａおよび第２基板２８ａは、矢印ＩＩＩで示す向きから見て、ねじ軸１２ａと重なるように配置されている。第１基板２７ａと第２基板２８ａとは、軸方向に間隔をあけて配置されている。第１基板２７ａは、第１支持部１５ａ側に配置されている。第２基板２８ａは、第２支持部１６ａ側に配置されている。第１基板２７ａおよび第２基板２８ａは、第１支持部１５ａおよび第２支持部１６ａに取り付けられ、軸方向に延びる側板１７ａにそれぞれ取り付けられている。

【0025】

第１基板２７ａには、第１ホール素子２３ａが取り付けられている。第１基板２７ａには、第１ホール素子２３ａに繋がる配線が設けられている。第２基板２８ａには、第２ホール素子２４ａと、第３ホール素子２５ａと、第４ホール素子２６ａとが取り付けられている。第２ホール素子２４ａ、第３ホール素子２５ａおよび第４ホール素子２６ａは、Ｙ方向、すなわち、ねじ軸１２ａの軸方向に間隔をあけて取り付けられている。具体的には、軸方向において最も第１ホール素子２３ａに近い位置に第２ホール素子２４ａが配置され、第１ホール素子２３ａから最も遠い位置に第４ホール素子２６ａが配置される。第２基板２８ａには、第２ホール素子２４ａ、第３ホール素子２５ａおよび第４ホール素子２６ａに繋がる配線が設けられている。なお、本実施形態においては、４つのホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、Ｘ方向の外向き、すなわち、それぞれ外側に露出するように取り付けられている。

【0026】

第１ケーブル配線３１ａは、第１基板２７ａと第２基板２８ａとを電気的に接続する。第１ケーブル配線３１ａは、軸方向（Ｙ方向）において第１基板２７ａと第２基板２８ａとの間に配置される。第１基板２７ａは、コネクタ接続により第１ケーブル配線３１ａと接続されている。第２基板２８ａは、コネクタ接続により第１ケーブル配線３１ａと接続されている。

【0027】

検知部２１ａに含まれるアンプ部３３ａは、図１等に示す実施形態においては、何にも取り付けられていないが、位置決めテーブル装置１０ａを構成する筐体等、他の部材に取り付けられていてもよい。アンプ部３３ａは、各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａによって検知された電気信号を増幅させる。第２ケーブル配線３２ａは、第２基板２８ａとアンプ部３３ａとを電気的に接続する。第２基板２８ａは、コネクタ接続により第２ケーブル配線３２ａと接続される。アンプ部３３ａは、コネクタ接続により第２ケーブル配線３２ａと接続される。アンプ部３３ａには、各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａによって検知された電気信号が入力される。アンプ部３３ａは、各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａによって検知された電気信号を増幅させる。アンプ部３３ａから外部への出力には、ケーブル３４ａが利用される。

【0028】

次に、マグネット２２ａの構成について説明する。マグネット２２ａは、板状であって、マグネット２２ａの厚さ方向に見て矩形状である。マグネット２２ａは、基板（第１基板）２７ａと厚さ方向が同じとなるように配置されている。マグネット２２ａは、マグネット２２ａと各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａとの隙間が、第１基板２７ａと第２基板２８ａとで同じになるように配置されている。

【0029】

検知部２１ａは、板状部材１９ａをさらに含む。板状部材１９ａは、金属板であって、折り曲げられて形成されている。板状部材１９ａは、テーブル１８ａの側面にボルトにより取り付けられている。板状部材１９ａは折り曲げられており、軸方向に見て各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと間隔をあけてＸ方向の外側に配置される取り付け部２０ａが設けられている。すなわち、板状部材１９ａは、折り曲げられており、マグネット２２ａは、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと間隔をあけて対向するように設けられている。取り付け部２０ａの内側、すなわち、軸方向に見て各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと対向する側にマグネット２２ａが取り付けられている。マグネット２２ａと各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａとは接触せず、Ｘ方向に間隔をあけている。軸方向において、各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、マグネット２２ａが近接したことを検知することにより、テーブル１８ａの軸方向の位置を検知する。

【0030】

本開示の位置決めテーブル装置１０ａによると、テーブル１８ａの位置を検知する検知部２１ａは、テーブル１８ａに取り付けられたマグネット２２ａと、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと、を含む。そして、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａに繋がる配線が設けられた基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａに取り付けられているため、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａの厚さを薄くして、位置決めテーブル装置１０ａの幅方向の寸法を小さくすることができる。この場合、比較的小さく構成することができるホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａにより、テーブル１８ａと共に移動するマグネット２２ａの位置を検知しているため、装置構成全体の小型化を図りながら精度よく位置を検知することができる。また、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａに繋がる配線については、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａに設けられているため、配線の取り回しの煩雑さを回避することができる。したがって、このような構成の位置決めテーブル装置１０ａによれば、小型化およびコンパクト化を図りながら正確にテーブル１８ａの位置決めを行うことができる。

【0031】

本実施形態においては、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａは、コネクタ接続により外部と電気的に接続されている。よって、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａと外部との電気的な接続において、配線の取り回し等の煩雑さが解消されることになり、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａと外部との電気的な接続を簡易な構成で実現することができる。したがって、よりコンパクト化を図ることができる。

【0032】

本実施形態においては、検知部２１ａは、マグネット２２ａが取り付けられる板状部材１９ａを含む。板状部材１９ａは、テーブル１８ａの側面に取り付けられている。よって、板状部材１９ａを介してマグネット２２ａをテーブル１８ａに取り付けることができ、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａおよびマグネット２２ａの配置の自由度を高めることができる。したがって、よりユーザーのニーズに応じた位置決めテーブル装置１０ａの構成とすることが容易となる。また、板状部材１９ａは、折り曲げられており、マグネット２２ａは、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａと間隔をあけて対向するように設けられている。よって、より適切なホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａとマグネット２２ａとの距離関係を図ることができ、より精度よくテーブル１８ａの位置決めを行うことができる。

【0033】

本実施形態においては、マグネット２２ａは板状であって、基板と厚さ方向が同じとなるように配置されている。よって、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａの厚さ方向の長さ寸法を小さくすることができる。したがって、小型化を図ることが容易になる。

【0034】

本実施形態においては、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、ねじ軸１２ａの軸方向にそれぞれ間隔をあけて複数設けられている。よって、ねじ軸１２ａの軸方向においてテーブル１８ａの位置を高精度に制御することができる。したがって、位置決めテーブル装置１０ａにおけるテーブル１８ａの位置決めを高精度に行うことができる。

【0035】

本実施形態においては、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａは複数含まれており、複数の基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａは、コネクタ接続により電気的に接続されている。よって、複数の基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａの電気的な接続をより簡易な構成で実現することができる。この場合、テーブル１８ａの位置の検知が必要な箇所に基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａを配置し、それぞれをコネクタ接続することにより、各基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａを電気的に接続する配線の取り回しを不要にして、よりコンパクト化を図ることができる。

【0036】

本実施形態においては、位置決めテーブル装置１０ａは、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａによって検知された電気信号を増幅させるアンプ部３３ａを含む。よって、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａにより検知した電気信号を適切な電気信号のレベルに増幅し、検出可能とすることによりテーブル１８ａの位置を検知することができる。したがって、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａおよびマグネット２２ａの小型化を図りながら、より高精度なテーブル１８ａの位置決めを行うことができる。

【0037】

本実施形態においては上記したように、４つのホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、Ｘ方向の外向き、すなわち、それぞれ外側に露出するように取り付けられている。よって、基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａのそれぞれの裏側にホール素子を保護するカバーを取り付けることができ、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａが破損するリスクを低減することができる。また、検知部２１ａを一体物としてアッセンブリの一つの部品として取り扱うことができる。また、コネクタ接続を容易とし、配線作業をしやすくすることができる。

【0038】

（実施の形態２）
他の実施の形態である実施の形態２について説明する。図８は、本開示の実施の形態２における位置決めテーブル装置を示す概略斜視図である。図９は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略平面図である。図９は、図８中の矢印ＩＸの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図１０は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略側面図である。図１０は、図８中の矢印Ｘの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図１１は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置を示す概略正面図である。図１１は、図８中の矢印ＸＩの向きに位置決めテーブル装置を見た場合を示す。図１２は、図８に示す実施の形態２の位置決めテーブル装置の一部を拡大して示す概略斜視図である。実施の形態２における位置決めテーブル装置は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２の位置決めテーブル装置は、板状部材が折り曲げられていない点において、実施の形態１の場合とは異なっている。

【0039】

図８、図９、図１０、図１１および図１２を参照して、実施の形態２の位置決めテーブル装置１０ｂにおいて、テーブル１８ａの側面に折り曲げられていない板状部材１９ｂが取り付けられており、この板状部材１９ｂにマグネット２２ａが取り付けられている。また、実施の形態１の場合と異なり、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、実施の形態１の場合とＸ方向において逆の向きに取り付けられている。すなわち、各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、実施の形態１で示す基板（第１基板）２７ａおよび基板（第２基板）２８ａに取り付けられる向きと逆の向きに取り付けられている。各ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、移動するテーブル１８ａの側面に取り付けられた板状部材１９ｂと対向する側に配置されている。なお、本実施形態においては、４つのホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、Ｘ方向の内向き、すなわち、それぞれねじ軸１２側に向くように取り付けられている。

【0040】

このようにすることにより、位置決めテーブル装置１０ｂの幅方向（Ｘ方向）の長さ寸法をさらに小さくすることができる。したがって、より小型化を図ることができる。

【0041】

本実施形態においては上記したように、４つのホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａは、Ｘ方向の内向き、すなわち、それぞれねじ軸１２側に向くように取り付けられている。よって、ホール素子（第１ホール素子）２３ａ、ホール素子（第２ホール素子）２４ａ、ホール素子（第３ホール素子）２５ａ、ホール素子（第４ホール素子）２６ａが外部要因により破損するリスクを低減することができる。また、板状部材１９ｂを折り曲げずに構成することができ、コストダウンを図ることができる。

【0042】

（他の実施の形態）
なお、上記実施の形態においては、ねじ軸は、真っ直ぐに長手方向に延びることとしたが、これに限らず、ねじ軸は、円弧状に延びる構成としてもよい。この場合、軸方向は円弧状に延びる方向となる。また、テーブルは、回転テーブルであってもよい。すなわち、位置決めテーブル装置は、回転テーブルの位置決めを行う装置であってもよい。

【0043】

また、上記の実施の形態においては、ホール素子は、合計４つ備えることとしたが、これに限らず、１つまたは２つ、３つであってもよいし、５つ以上備えることとしてもよい。基板についても、１つであってもよいし、３つ以上備えることとしてもよい。

【0044】

なお、上記の実施の形態において、マグネットは、板状部材であることとしたが、マグネットは、円板状であってもよく、シートタイプのマグネットであってもよい。

【0045】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0046】

１０ａ，１０ｂ 位置決めテーブル装置、１１ａ ボールねじ、１２ａ ねじ軸、１３ａ ナット、１４ａ モータ、１５ａ 第１支持部、１６ａ 第２支持部、１７ａ 側板、１８ａ テーブル、１９ａ，１９ｂ 板状部材、２０ａ 取り付け部、２１ａ 検知部、２２ａ マグネット、２３ａ ホール素子（第１ホール素子）、２４ａ ホール素子（第２ホール素子）、２５ａ ホール素子（第３ホール素子）、２６ａ ホール素子（第４ホール素子）、２７ａ 基板（第１基板）、２８ａ 基板（第２基板）、３１ａ 第１ケーブル配線、３２ａ 第２ケーブル配線、３３ａ アンプ部、３４ａ ケーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】