特開 2024-63841 基板処理装置および基板処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024063841

(43)【公開日】2024-05-14

(54)【発明の名称】基板処理装置および基板処理方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20240507BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240507BHJP

   G05B 19/418 20060101ALI20240507BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

H01L21/68 A

G05B19/418 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022171964

(22)【出願日】2022-10-27

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】二木 哲也

【テーマコード（参考）】

3C100

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C100AA16

3C100AA18

3C100AA70

3C100BB12

3C100EE06

5F131AA02

5F131BA00

5F131CA32

5F131CA34

5F131CA35

5F131DA22

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA34

5F131DA36

5F131DA42

5F131DD03

5F131DD12

5F131DD13

5F131DD23

5F131DD33

5F131DD43

5F131DD46

5F131DD73

5F131DD74

5F131DD82

5F131DD83

5F131DD84

(57)【要約】

【課題】消費電力を低減させることができる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、複数の処理ユニット１０と、複数の搬送ユニット２０と、制御部９０とを備える。複数の搬送ユニット２０は複数の処理ユニット１０に対してワークを搬送する。制御部９０は、複数の処理ユニット１０および複数の搬送ユニット２０の動作タイミングを規定し、かつ、複数のワークを処理対象としたスケジュールを生成し、スケジュールに従って複数の処理ユニット１０および複数の搬送ユニット２０を制御する。制御部９０は、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、複数の搬送ユニット２０の稼働台数が最も少ない仮スケジュールをスケジュールとして生成する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに対する処理を行う複数の処理ユニットと、
前記複数の処理ユニットに対してワークを搬送する複数の搬送ユニットと、
前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットの動作タイミングを規定し、かつ、複数のワークを処理対象としたスケジュールを生成し、前記スケジュールに従って前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットを制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、前記複数の搬送ユニットの稼働台数が最も少ない仮スケジュールを前記スケジュールとして生成する、基板処理装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記所定条件は、前記複数のワークに対するスループットが所定値よりも高いという条件を含む、基板処理装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理ユニットの各々について、ワークを処理する処理時間、および、前記処理時間が経過してからの遅延許容時間が設定されており、
前記制御部は、前記複数の処理ユニットの各々について、前記処理時間の経過後かつ前記遅延許容時間の経過前に前記複数の処理ユニットの各々からワークを搬出した前記スケジュールを作成する、基板処理装置。

【請求項4】

ワークに対する処理を行う複数の処理ユニットの動作タイミング、および、前記複数の処理ユニットに対してワークを搬送する複数の搬送ユニットの動作タイミングを規定し、かつ、複数のワークを処理対象としたスケジュールを生成する第１工程と、
前記スケジュールに従って前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットを制御する第２工程と
を備え、
前記第１工程において、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、前記複数の搬送ユニットの稼働台数が最も少ない仮スケジュールを前記スケジュールとして生成する、基板処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板処理装置および基板処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、基板を処理する基板処理装置が提案されている（例えば特許文献１）。特許文献１では、基板処理装置は、基板を搬送するための複数の基板搬送装置と、基板を処理する複数の処理槽とを含んでいる。また、基板処理装置にはスケジューラが設けられる。スケジューラは、基板搬送装置を含めたスケジューリングを行う。すなわち、スケジューラは、基板搬送装置の動作タイミングを規定したスケジューリングデータを作成し、該スケジューリングデータに従って複数の基板搬送装置が動作する。これにより、基板処理装置は基板に対する処理を行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－１８６３３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の基板処理装置では、複数の基板搬送装置の全てが動作している。このため、基板処理装置の消費電力が高くなる、という問題がある。

【0005】

本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、消費電力を低減させることができる技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第１の態様は、基板処理装置であって、ワークに対する処理を行う複数の処理ユニットと、前記複数の処理ユニットに対してワークを搬送する複数の搬送ユニットと、前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットの動作タイミングを規定し、かつ、複数のワークを処理対象としたスケジュールを生成し、前記スケジュールに従って前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットを制御する制御部とを備え、前記制御部は、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、前記複数の搬送ユニットの稼働台数が最も少ない仮スケジュールを前記スケジュールとして生成する。

【0007】

第２の態様は、第１の態様にかかる基板処理装置であって、前記所定条件は、前記複数のワークに対するスループットが所定値よりも高いという条件を含む。

【0008】

第３の態様は、第１または第２の態様にかかる基板処理装置であって、前記複数の処理ユニットの各々について、ワークを処理する処理時間、および、前記処理時間が経過してからの遅延許容時間が設定されており、前記制御部は、前記複数の処理ユニットの各々について、前記処理時間の経過後かつ前記遅延許容時間の経過前に前記複数の処理ユニットの各々からワークを搬出した前記スケジュールを作成する。

【0009】

第４の態様は、基板処理方法であって、ワークに対する処理を行う複数の処理ユニットの動作タイミング、および、前記複数の処理ユニットに対してワークを搬送する複数の搬送ユニットの動作タイミングを規定し、かつ、複数のワークを処理対象としたスケジュールを生成する第１工程と、前記スケジュールに従って前記複数の処理ユニットおよび前記複数の搬送ユニットを制御する第２工程とを備え、前記第１工程において、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、前記複数の搬送ユニットの稼働台数が最も少ない仮スケジュールを前記スケジュールとして生成する。

【発明の効果】

【0010】

第１の態様によれば、稼働台数の少ない仮スケジュールをスケジュールとするので、基板処理装置の消費電力を低減させることができる。

【0011】

第３の態様によれば、基板群に対する過剰な処理を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】基板処理装置の構成の一例を概略的に示す平面図である。

【図2】制御部の内部構成の一例を概略的に示すブロック図である。

【図3】各基板群が受ける一連の処理に相当するフローレシピの一例を示す図である。

【図4】スケジュールの一例を概略的に示す図である。

【図5】制御部の動作の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされるものである。また、図面に示される構成の大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。また、図１において、ＸＹＺ直交座標系が適宜に示されている。ここでは、Ｚ軸は、鉛直方向に沿った軸である。また、以下では、Ｘ軸に平行な一方向を＋Ｘ方向と呼び、その反対方向を－Ｘ方向とも呼ぶ。また、Ｘ軸の一方側を＋Ｘ側とも呼び、他方側を－Ｘ側と呼ぶことがある。Ｙ軸およびＺ軸についても同様である。

【0014】

また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。

【0015】

また、以下に記載される説明において、「第１」または「第２」などの序数が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、これらの序数によって生じ得る順序などに限定されるものではない。

【0016】

相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば「一方向に」「一方向に沿って」「平行」「直交」「中心」「同心」「同軸」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。等しい状態であることを示す表現（例えば「同一」「等しい」「均質」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。形状を示す表現（例えば、「四角形状」または「円筒形状」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲で、例えば凹凸や面取りなどを有する形状も表すものとする。一の構成要素を「備える」「具える」「具備する」「含む」または「有する」という表現が用いられる場合、該表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「Ａ，ＢおよびＣの少なくともいずれか一つ」という表現が用いられる場合、該表現は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ，ＢおよびＣのうち任意の２つ、ならびに、Ａ，ＢおよびＣの全てを含む。

【0017】

＜１．基板処理装置の構成＞
図１は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す平面図である。基板処理装置１００は、複数の基板Ｗを一括して処理するバッチ式の処理装置である。基板Ｗは例えば平板状の形状を有している。基板Ｗの材質は特に制限されず、例えば、半導体基板、ガラス基板および樹脂基板などの種々の基板が基板Ｗに適用され得る。基板Ｗは、例えば平面視において矩形状の形状を有するパネルであってもよい。基板Ｗの縦方向の長さおよび横方向の長さは、例えば数百ｍｍ程度であってもよく、より具体的な一例として５００ｍｍ程度であってもよい。なお、基板Ｗの形状は矩形状に限らず、例えば円形状であってもよい。

【0018】

基板処理装置１００は、少なくとも、複数の処理ユニット１０と、複数の搬送ユニット２０とを含む。図１の例では、基板処理装置１００は、搬入出ブロック１１０、中継ブロック１２０および処理ブロック１３０を含んでおり、複数の処理ユニット１０および複数の搬送ユニット２０は処理ブロック１３０に設けられている。

【0019】

搬入出ブロック１１０、中継ブロック１２０および処理ブロック１３０はＸ方向に沿ってこの順で配列されている。つまり、搬入出ブロック１１０が－Ｘ方向の端に設けられ、処理ブロック１３０が＋Ｘ方向の端に設けられ、中継ブロック１２０が搬入出ブロック１１０と処理ブロック１３０との間に設けられている。

【0020】

図１の例では、搬入出ブロック１１０に対して中継ブロック１２０と反対側には、ロードポートＬＰが設けられている。ロードポートＬＰには、未処理の複数の基板Ｗを収納した収納器（以下、フープＦと呼ぶ）が、基板処理装置１００の外部の搬送部（不図示）から搬入される。フープＦには、複数の基板Ｗが、例えば、水平姿勢で鉛直方向において並んだ状態で収納される。ここでいう水平姿勢とは、基板Ｗの厚み方向が鉛直方向に沿う姿勢である。ロードポートＬＰは、フープＦを載置する載置台を含んでいる。ロードポートＬＰに搬入されたフープＦは、後述のように搬入出ブロック１１０内に搬送される。フープＦ内の未処理の基板Ｗは搬入出ブロック１１０内において取り出され、中継ブロック１２０および処理ブロック１３０を往復し、再び搬入出ブロック１１０に搬送される。後述のように、複数の基板Ｗは処理ブロック１３０において処理されるので、処理済みの複数の基板Ｗが搬入出ブロック１１０に搬送されることになる。処理済みの基板Ｗは搬入出ブロック１１０において再びフープＦに収納される。該フープＦはロードポートＬＰに搬送され、ロードポートＬＰから外部の搬送部によって搬出される。なお、図１の例では、２つのロードポートＬＰがＹ方向において配列されているものの、ロードポートＬＰの個数はこれに限らず、適宜に変更され得る。

【0021】

＜１－１．搬入出ブロック＞
図１の例では、搬入出ブロック１１０は、複数の棚１１１、フープ搬送ユニット１１２，１１３，１１６、オープナ１１４，１１７および基板受渡ユニット１１５，１１８を含んでいる。

【0022】

複数の棚１１１は、例えば、ＹＺ平面においてマトリックス状に配列される。各棚１１１にはフープＦが搬送され、フープＦが載置される。フープ搬送ユニット１１２はＸ方向においてロードポートＬＰと棚１１１との間に設けられている。図１の例では、２つのフープ搬送ユニット１１２がＹ方向において配列されている。各フープ搬送ユニット１１２は各ロードポートＬＰと各棚１１１との間でフープＦを搬送する。

【0023】

フープ搬送ユニット１１３はＸ方向において棚１１１とオープナ１１４との間に設けられている。フープ搬送ユニット１１３は各棚１１１からオープナ１１４にフープＦを搬送する。オープナ１１４はフープＦを載置可能であり、かつ、載置されたフープＦの蓋を開閉可能である。基板受渡ユニット１１５はオープナ１１４と中継ブロック１２０との間に設けられており、オープナ１１４がフープＦの蓋を開いた状態で、基板ＷをフープＦから取り出し、該基板Ｗを中継ブロック１２０に渡す。フープ搬送ユニット１１３、オープナ１１４および基板受渡ユニット１１５はＸ方向において配列されている。

【0024】

フープ搬送ユニット１１６はフープ搬送ユニット１１３とＹ方向において並んでおり、フープ搬送ユニット１１３に対して－Ｙ側に設けられている。オープナ１１７はオープナ１１４とＹ方向において並んでおり、オープナ１１４に対して－Ｙ側に設けられている。オープナ１１７はフープＦを載置可能であり、かつ、載置されたフープＦの蓋を開閉可能である。基板受渡ユニット１１８は基板受渡ユニット１１５とＹ方向において並んでおり、基板受渡ユニット１１５に対して－Ｙ側に設けられている。基板受渡ユニット１１８は中継ブロック１２０から処理済みの基板Ｗを受け取り、オープナ１１７によって蓋が開いた状態のフープＦに該基板Ｗを収納する。フープ搬送ユニット１１６はオープナ１１７からフープＦを搬出し、該フープＦを棚１１１に搬送する。フープ搬送ユニット１１６、オープナ１１７および基板受渡ユニット１１８はＸ方向において配列されている。

【0025】

＜１－２．中継ブロック＞
中継ブロック１２０は、キャリア支持部１２１，１２３と、待機部１２２，１２４とを含む。基板受渡ユニット１１５、キャリア支持部１２１および待機部１２２はＸ方向においてこの順で配列されている。つまり、キャリア支持部１２１は基板受渡ユニット１１５と待機部１２２との間に設けられている。キャリア支持部１２１は、例えばフープＦよりも収納枚数が多い装置内収容器（以下、キャリアＣと呼ぶ）を支持することが可能である。キャリア支持部１２１によって支持されたキャリアＣには、基板受渡ユニット１１５によって基板Ｗが搬入される。以下では、キャリアＣに収納された複数の基板Ｗを基板群Ｇとも呼ぶ。ここでは、キャリアＣに収納された基板Ｗの枚数は、フープＦに収納された基板Ｗの枚数よりも多い。

【0026】

キャリア支持部１２１はキャリアＣの姿勢を変更可能に構成されている。例えば、キャリア支持部１２１は、キャリアＣ内の各基板Ｗの姿勢が水平姿勢から起立姿勢に変化するように、キャリアＣの姿勢を変更する。ここでいう起立姿勢とは、基板Ｗの厚み方向が水平方向（例えばＸ方向）に沿う姿勢である。待機部１２２は、キャリア支持部１２１から受け取ったキャリアＣを支持する。待機部１２２によって支持されたキャリアＣは適宜に処理ブロック１３０に渡される。

【0027】

基板受渡ユニット１１８、キャリア支持部１２３および待機部１２４はＸ方向においてこの順に配列されている。つまり、キャリア支持部１２３は基板受渡ユニット１１８と待機部１２４との間に設けられている。待機部１２４は、処理ブロック１３０から受け取った、処理済みの基板群Ｇを収納したキャリアＣを支持する。待機部１２４によって支持されたキャリアＣは適宜にキャリア支持部１２３に渡される。キャリア支持部１２３はキャリアＣを支持する。また、キャリア支持部１２３はキャリアＣの姿勢を変更可能に構成されている。例えば、キャリア支持部１２３は基板Ｗの姿勢が起立姿勢から水平姿勢に変化するように、キャリアＣの姿勢を変更する。キャリア支持部１２３によって支持されたキャリアＣの内部の基板Ｗは基板受渡ユニット１１８によって取り出される。

【0028】

＜１－３．処理ブロック＞
図１の例では、処理ブロック１３０は、複数の処理ユニット１０と、複数の搬送ユニット２０と、キャリア搬送ユニット３０，３１とを含んでいる。キャリア搬送ユニット３０は待機部１２２とＸ方向において並んでいる。キャリア搬送ユニット３０は、待機部１２２から受け取ったキャリアＣを＋Ｘ方向に沿って搬送し、該キャリアＣをキャリア搬送ユニット３１に渡す。キャリア搬送ユニット３１は、キャリア搬送ユニット３０から受け取ったキャリアＣを－Ｙ方向に沿って搬送し、該キャリアＣを複数の搬送ユニット２０のいずれかに渡す。

【0029】

複数の搬送ユニット２０の各々はキャリア搬送ユニット３１からキャリアＣを受け取ることができる。各搬送ユニット２０は後述のようにキャリアＣを複数の処理ユニット１０に搬送する。

【0030】

複数の処理ユニット１０はキャリア搬送ユニット３０に対して－Ｙ側に設けられ、Ｘ方向に沿って１列に配列されている。図１の例では、複数の処理ユニット１０は待機部１２４とＸ方向において並んでいる。図１の例では、複数の処理ユニット１０として、１０個の処理ユニット１０ａから処理ユニット１０ｊが示されている。処理ユニット１０ａから処理ユニット１０ｊはこの順で設けられている。ここでは、処理ユニット１０ｊが中継ブロック１２０に最も近い位置に設けられ、処理ユニット１０ａが中継ブロック１２０から最も離れた位置に設けられている。

【0031】

各処理ユニット１０は処理槽１１を含んでいる。処理槽１１には、例えば、処理液が貯留されている。処理液は、例えば、エッチング液等の薬液および該薬液を洗い流す純水等のリンス液を含む。各処理槽１１には、処理ユニット１０が行う処理に応じた種類の処理液が貯留され得る。ここでは、処理ユニット１０ａから処理ユニット１０ｃはそれぞれ処理Ｐ１から処理Ｐ３を基板群Ｇに対して行うことが可能であり、処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅは処理Ｐ４を基板群Ｇに対して行うことが可能であり、処理ユニット１０ｆから処理ユニット１０ｇはそれぞれ処理Ｐ５および処理Ｐ６を基板群Ｇに対して行うことが可能であり、処理ユニット１０ｈから処理ユニット１０ｊは処理Ｐ７を基板群Ｇに対して行うことが可能である。処理Ｐ１から処理Ｐ７の具体的な内容は特に限定されないものの、例えば、各基板Ｗのエッチング対象を除去するエッチング処理、各基板Ｗに付着した薬液を洗い流すリンス処理、各基板Ｗを乾燥させる乾燥処理等の種々の処理を含む。

【0032】

図１の例では、各処理ユニット１０はホルダ１２を含んでいる。ホルダ１２は、キャリアＣを処理槽１１に浸漬させた処理位置と、処理槽１１よりも上方の受渡位置との間で、キャリアＣを昇降させる。キャリアＣが処理位置に位置する状態では、キャリアＣ内の基板群Ｇに処理液が作用し、処理液に応じた処理が基板群Ｇに対して行われる。例えば処理ユニット１０ａはキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ１を行う。一方で、キャリアＣが受渡位置に位置する状態では、ホルダ１２と搬送ユニット２０との間でキャリアＣの受け渡しが行われる。

【0033】

各搬送ユニット２０はキャリアＣを複数の処理ユニット１０の間で搬送する。各搬送ユニット２０は、複数の処理ユニット１０の直上の搬送空間内で、Ｘ方向に沿ってキャリアＣを搬送する。図１の例では、複数の搬送ユニット２０として、搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｄが示されている。図１の例では、搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｄはＸ方向においてこの順で配列されている。ここでは、搬送ユニット２０ａが中継ブロック１２０に最も近い位置に設けられ、搬送ユニット２０ｄが中継ブロック１２０から最も遠い位置に設けられている。

【0034】

図１の例では、複数の搬送ユニット２０は、複数の処理ユニット１０の配列方向に平行な共通ライン上を移動する。複数の搬送ユニット２０は、複数の処理ユニット１０に対して＋Ｘ側の待機空間Ｈ１にも移動できる。言い換えれば、該共通ラインには、待機空間Ｈ１と、複数の処理ユニット１０に対応する搬送空間Ｈ２とが含まれる。各搬送ユニット２０は待機空間Ｈ１内の所定の受渡位置で、キャリア搬送ユニット３１からキャリアＣを受け取る。

【0035】

図１の例では、複数の搬送ユニット２０は、キャリアＣを保持する一対の保持部材２１を含んでいる。一対の保持部材２１はＹ方向に延びた棒状の形状を有している。ここでは、各搬送ユニット２０はキャリアＣを１つのみ保持することができる。

【0036】

複数の搬送ユニット２０は共通ライン上を移動するので、各搬送ユニット２０は他の搬送ユニット２０を追い越すことができない。そのため、搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｄの配列順序は常に一定である。

【0037】

各搬送ユニット２０の移動機構は特に限定されないものの、その具体的な一例について概説する。各搬送ユニット２０は、Ｘ方向に沿って延びる固定子２５に移動可能に結合されていてもよい。固定子２５は例えば装置のフレームに固定されている。固定子２５はラックであってもよい。ラックの例えば上面には、Ｘ方向に沿って配列された複数の凹凸（歯）が形成される。各搬送ユニット２０は、固定子２５に対して移動可能に結合する移動子２２と、移動子２２を固定子２５に対して移動させる駆動部２３とを有している。移動子２２は、例えばラックに噛合する歯車を含んでもよい。駆動部２３は、例えば、該歯車を回転させるモータと、該モータに電力を供給する駆動回路とを含む。駆動回路はモータに電力を供給し、モータの動作を制御する。駆動回路は例えばインバータ回路などのモータ駆動回路である。モータが歯車を回転させることにより、移動子２２がＸ方向に沿って移動する。これにより、移動子２２を内蔵する搬送ユニット２０がＸ方向に沿って移動する。

【0038】

各搬送ユニット２０は各処理ユニット１０の直上でキャリアＣをホルダ１２に渡す。ホルダ１２は受け取ったキャリアＣを受渡位置から処理位置に下降させることにより、キャリアＣを処理槽１１内の処理液に浸漬させる。これにより、処理液に応じた処理がキャリアＣ内の基板群Ｇに対して行われる。

【0039】

＜１－４．制御部＞
基板処理装置１００は制御部９０も含んでいる。図１の例では、制御部９０は搬入出ブロック１１０に設けられている。制御部９０は基板処理装置１００の各種構成を制御することができる。図２は、制御部９０の内部構成の一例を概略的に示すブロック図である。制御部９０は電子回路であって、例えばデータ処理部９１および記憶部９２を有している。図２の具体例では、データ処理部９１と記憶部９２とはバス９３を介して相互に接続されている。データ処理部９１は例えばＣＰＵ（Central Processor Unit）などの演算処理装置であってもよい。記憶部９２は非一時的な記憶部（例えばＲＯＭ（Read Only Memory）またはハードディスク）９２１および一時的な記憶部（例えばＲＡＭ（Random Access Memory））９２２を有していてもよい。非一時的な記憶部９２１には、例えば制御部９０が実行する処理を規定するプログラムが記憶されていてもよい。データ処理部９１がこのプログラムを実行することにより、制御部９０が、プログラムに規定された処理を実行することができる。もちろん、制御部９０が実行する処理の一部または全部が専用の論理回路などのハードウェアによって実行されてもよい。

【0040】

図１に示されるように、制御部９０は、機能部としてのスケジューラ９４および実行部９５を含んでいる。これらの機能は、例えば、制御部９０がプログラムを実行することで実現される。スケジューラ９４はスケジュールを作成する。ここでいうスケジュールとは、処理ユニット１０および搬送ユニット２０等の基板処理装置１００の各種構成を動作させるタイミングを規定した計画であって、複数のキャリアＣ（つまり複数の基板群Ｇ）を処理対象とした計画である。実行部９５は、作成したスケジュールに従って各種構成を制御する。この制御により、基板処理装置１００は基板群Ｇに対する処理を順次に行うことができる。

【0041】

＜２．スケジュール作成＞
＜２－１．フローレシピ＞
図３は、各基板群Ｇが受ける一連の処理に相当するフローレシピＦＲの一例を示す図である。フローレシピＦＲは、基板処理装置１００が基板群Ｇに対して行う処理の順序を示している。図３に例示されたフローレシピＦＲにおいては、各基板群Ｇは処理Ｐ１から処理Ｐ７をこの順で受ける。つまり、フローレシピＦＲに従った基板処理装置１００の動作において、搬送ユニット２０はキャリアＣを処理ユニット１０ａから処理ユニット１０ｃに順次に搬送した後、キャリアＣを処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅのいずれか一方に搬送し、その後、キャリアＣを処理ユニット１０ｆおよび処理ユニット１０ｇに順次に搬送し、その後、キャリアＣを処理ユニット１０ｈから処理ユニット１０ｉのいずれか一つに搬送する。これにより、基板群Ｇには処理Ｐ１から処理Ｐ７がこの順で行われる。

【0042】

処理Ｐ１から処理Ｐ７には、それぞれ、処理時間および遅延許容時間が設定される。処理時間は、各処理ユニット１０が基板群Ｇを処理槽１１内の処理液に浸漬させことにより、基板群Ｇに対する処理を完了できる時間であり、例えば予め設定される。遅延許容時間は、各処理ユニット１０において、基板群Ｇが処理時間を超えて処理槽１１内の処理液に浸漬されても問題がない時間である。つまり、処理時間と遅延許容時間との合計の時間を超えると、基板群Ｇに対する処理が過剰となる。遅延許容時間も例えば予め設定される。処理時間および遅延許容時間は、例えば、基板処理装置１００よりも上流側の装置から基板処理装置１００に送信されてもよく、あるいは、作業員が基板処理装置１００に入力してもよい。フローレシピＦＲも同様に、例えば、基板処理装置１００よりも上流側の装置から基板処理装置１００に送信されてもよく、あるいは、作業員が基板処理装置１００に入力してもよい。制御部９０は、処理時間および遅延許容時間を処理ごとに示す設定情報を例えば記憶部９２に記憶してもよい。

【0043】

制御部９０は、複数のキャリアＣ（つまり基板群Ｇ）についての処理に関するスケジュールをフローレシピＦＲに基づいて作成する。つまり、制御部９０は、複数の基板群Ｇの全てに対する処理を完了させるためのスケジュールを作成する。ここでいうスケジュールには、各ユニットが動作するタイミングおよび動作内容が規定される。

【0044】

＜２－２．スケジュールの具体例＞
図４は、スケジュールの一例を概略的に示す図である。図４の例では、キャリアＣに複数の基板Ｗを収納し、そのキャリアＣを搬送ユニット２０の直前まで搬送する処理が“ＩＮ”で示され、キャリアＣを処理ブロック１３０から搬出する処理が“ＯＵＴ”で示されている。また、図４の例では、各処理ユニット１０に対応した処理の符号が括弧で示されている。例えば符号１０の直下に括弧で符号Ｐ１が示されている。これは、処理ユニット１０によって処理Ｐ１が行われることを示している。

【0045】

各処理の直下に示された複数のブロックは、各処理の動作タイミングを示している。具体的には、ブロックの上端の位置が、該ブロックで示された処理の開始タイミングを示しており、ブロックの下端の位置が該処理の終了タイミングを示している。また、ブロックの下端とブロックの上端とを結ぶ破線の矢印はキャリアＣの搬送を示している。図４の例では、同じキャリアＣに対応するブロックには同じハッチングを付与している。

【0046】

図４の例では、３台の搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｃを用いて６つのキャリアＣを順に処理するときのスケジュールが示されている。図４のスケジュールを１番目のキャリアＣに着目して説明すると、まず、中継ブロック１２０において複数の基板ＷがキャリアＣに収納され、キャリア搬送ユニット３０およびキャリア搬送ユニット３１によって搬送される。この動作がブロックＢ１によって示されている。次に、搬送ユニット２０ａがキャリアＣをキャリア搬送ユニット３１から受け取り、キャリアＣを処理ユニット１０ａに搬送する。この搬送がブロックＢ２によって示されている。ブロックＢ２の上下方向の長さは、搬送ユニット２０ａによる処理ユニット１０ａへの搬送に要する時間を示している。

【0047】

処理ユニット１０ａは、搬入されたキャリアＣを処理槽１１内の処理液に浸漬させることで、キャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ１を行う。この処理Ｐ１がブロックＢ３によって示されている。ブロックＢ３の上下方向の長さは、処理Ｐ１の処理時間を示している。

【0048】

処理Ｐ１が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ａからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｂにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ４によって示されている。処理ユニット１０ｂは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ２を行う。この処理Ｐ２がブロックＢ５によって示されている。

【0049】

処理Ｐ２が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｂからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｃにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ６によって示されている。処理ユニット１０ｃは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ３を行う。この処理Ｐ３がブロックＢ７によって示されている。

【0050】

処理Ｐ３が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｃからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｄにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ８によって示されている。処理ユニット１０ｄは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ４を行う。この処理Ｐ４がブロックＢ９によって示されている。図４の例では、処理Ｐ４の処理時間は、処理Ｐ１から処理Ｐ３の処理時間の全てよりも長い。よって、ブロックＢ９の上下方向の長さがブロックＢ３、ブロックＢ５およびブロックＢ７の全ての長さよりも長く示されている。

【0051】

処理Ｐ４が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｄからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｆにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ１０によって示されている。処理ユニット１０ｆは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ５を行う。この処理Ｐ５がブロックＢ１１によって示されている。

【0052】

処理Ｐ５が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｆからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｇにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ１２によって示されている。処理ユニット１０ｇは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ６を行う。この処理Ｐ６がブロックＢ１３によって示されている。図４の例では、処理Ｐ５および処理Ｐ６の処理時間は処理Ｐ４の処理時間よりも短い。よって、ブロックＢ１１およびブロックＢ１３はブロックＢ９よりも短く示されている。

【0053】

処理Ｐ６が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｇからキャリアＣを受け取り、処理ユニット１０ｊにキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ１４によって示されている。処理ユニット１０ｊは、搬入されたキャリアＣ内の基板群Ｇに対して処理Ｐ７を行う。この処理Ｐ７がブロックＢ１５によって示されている。図４の例では、処理Ｐ７の処理時間は処理Ｐ１から処理Ｐ３、処理Ｐ５および処理Ｐ６の処理時間の全てよりも長い。よって、ブロックＢ１５がブロックＢ３、ブロックＢ５、ブロックＢ７、ブロックＢ１１およびブロックＢ１３の全てよりも長く示されている。

【0054】

処理Ｐ７が完了すると、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｊからキャリアＣを受け取り、中継ブロック１２０にキャリアＣを搬送する。この搬送がブロックＢ１６およびブロックＢ１７によって示されている。

【0055】

さて、処理Ｐ４および処理Ｐ７の処理時間は他の処理Ｐ１から処理Ｐ３、処理Ｐ５および処理Ｐ６に比べて長い。また、処理Ｐ４を行うことができる処理ユニット１０の台数（ここでは２台）は、処理Ｐ７を行うことができる処理ユニット１０の台数（ここでは３台）よりも少ない。このため、処理Ｐ４が、６つのキャリアＣ（つまり６つの基板群Ｇ）を処理する際のスループットに関するボトルネックとなる。

【0056】

図４の例では、処理Ｐ４を行う処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅの各々に対応するブロックは連続的に配置されている。より具体的には、処理ユニット１０ｄにおいて、１番目のキャリアＣに対応するブロックＢ９の直後に３番目のキャリアＣに対応するブロックが配置され、該ブロックの直後に５番目のキャリアＣに対応するブロックが配置されている。同様に、処理ユニット１０ｅにおいて、２番目のキャリアＣに対応するブロックの直後に４番目のキャリアＣに対応するブロックが配置され、該ブロックの直後に６番目のキャリアＣに対応するブロックが配置されている。このため、図４に示されたスケジュールによれば、処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅは実質的な待機時間なしに連続的に処理Ｐ４をキャリアＣに対して行うことができる。つまり、ボトルネックとなる処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅにおいて最短で処理Ｐ４を行うことができる。したがって、図４のスケジュールでは、基板処理装置１００は６つのキャリアＣを最大のスループットで処理することができる。

【0057】

ところで、図４のスケジュールでは、３台の搬送ユニット２０（つまり搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｃ）を稼働させており、搬送ユニット２０ｄは稼働させていない。このため、搬送ユニット２０ｄに対する電源を遮断することができる。よって、搬送ユニット２０ｄにおける待機電力の発生を回避することができ、基板処理装置１００の消費電力を低減させることができる。

【0058】

基板処理装置１００における消費電力を低減させるには、搬送ユニット２０の稼働台数は少ないことが望ましい。例えば１台の搬送ユニット２０ａのみを稼働させれば、３台の搬送ユニット２０の電源を遮断することができる。このため、３台分の待機電力を低減させることができる。しかしながら、１台の搬送ユニット２０ａのみを稼働させたときのスケジュールでは、スループットが悪化する。例えば図４のスケジュールでは、ブロックＢ２２で示されるように、２番目のキャリアＣは搬送ユニット２０ｂによって処理ユニット１０ａに搬送される。搬送ユニット２０ａのみを稼働させる場合には、搬送ユニット２０ｂは非稼働であるので、このタイミングでは２番目のキャリアＣを搬送させることができない。このため、ブロックＢ２２は、より遅いタイミングで搬送ユニット２０ａに対応して配置される。これに伴って、他のブロックも適宜により遅いタイミングに配置されることになる。よって、スループットが悪化する。

【0059】

以上のように、搬送ユニット２０の稼働台数とスループットとはおおよそトレードオフの関係にある。つまり、稼働台数ごとのスケジュールを事前に作成すると、各スケジュールについてのスループットは、稼働台数が多いほど高まる傾向にある。

【0060】

＜２－３．スケジュールの作成方法＞
本実施の形態では、制御部９０は、後に詳述するように、所定条件を満たした仮スケジュールのうち、稼働台数が最も少ない仮スケジュールをスケジュールとして決定する。所定条件は、例えば、スケジュールの対象となる所定個数（上述の例では６つ）のキャリアＣ（基板群Ｇ）に対するスループットが、所定値以上である、という条件である。

【0061】

図５は、制御部９０の動作の一例を示すフローチャートである。制御部９０のスケジューラ９４はスケジュールを作成する（第１工程）。図５の例では、第１工程は、ステップＳ１からステップＳ４を含む。具体的には、まずスケジューラ９４は稼働台数を設定する（ステップＳ１）。例えば、スケジューラ９４は稼働台数を１台に設定する。次に、スケジューラ９４は、稼働台数が１台であるときの仮スケジュールを作成する（ステップＳ２）。具体的には、制御部９０は後述の制約条件を満足するように、各ブロックを順次に配置する。なお、ここでいう配置とは、各処理を示すブロックを時間軸上で仮想的に配置することをいう。制約条件は種々の条件があるものの、その例について以下に概説する。

【0062】

制約条件として、例えば、各搬送ユニット２０は他の搬送ユニット２０に追いつくことも、追い越すことも禁止される。言い換えれば、搬送ユニット２０ａから搬送ユニット２０ｄの配列順序は常に一定である。

【0063】

制約条件として、同じユニットのブロックが時間的に重なることも禁止される。また、搬送ユニット２０については、時間的に隣り合うブロックどうしの間隔についての制約条件もある。つまり、隣り合うブロックの間隔では、搬送ユニット２０の移動に要する時間を確保する必要がある。例えば図４において、ブロックＢ８の後には、２番目のキャリアＣが処理ユニット１０ａに搬送される（ブロックＢ２２参照）。さて、ブロックＢ８の終了タイミングでは、搬送ユニット２０ａは処理ユニット１０ｄと同じ位置にある。搬送ユニット２０ａが２番目のキャリアＣを処理ユニット１０ａに搬送するには、処理ユニット１０ｄからキャリア搬送ユニット３１まで一旦移動し、キャリア搬送ユニット３１からキャリアＣを受け取る必要がある。処理ユニット１０ｄからキャリア搬送ユニット３１までの距離は比較的に長いので、該距離の移動には比較的に長い所要移動時間が必要となる。このため、搬送ユニット２０ａに対しては、ブロックＢ８の後、比較的に長い所要移動時間を空けて、次のブロックを配置する必要がある。したがって、図４のブロックＢ２２の開始タイミングでは、搬送ユニット２０ａにブロックを配置することができず、搬送ユニット２０ｂにブロックＢ２２が配置される。

【0064】

以上のように、各搬送ユニット２０において、時間的に隣り合うブロックどうしの間隔として、移動距離に応じた所要移動時間だけ空ける必要がある。逆にいえば、所要移動時間よりも短い間隔で、搬送ユニット２０に対応して２つのブロックを配置することは禁止される。

【0065】

また、制約条件として、処理ユニット１０からのキャリアＣの搬出タイミングについての条件もある。つまり、処理時間の経過後かつ遅延許容時間の経過前に処理ユニット１０からキャリアＣを搬出する必要がある。具体的には、処理ユニット１０による処理を示すブロックの終了タイミングから遅延許容時間以内の間隔（ゼロを含む）で、該処理ユニットからのキャリアＣの搬出を含むブロックを配置する必要がある。

【0066】

なお、上述の例では、処理Ｐ４は処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅのいずれでも行われる。処理ユニット１０ｄおよび処理ユニット１０ｅの両方が空いているときにどちらの処理ユニット１０に搬送するかは、例えば、予め設定しておけばよい。処理ユニット１０ｈから処理ユニット１０ｊも同様である。

【0067】

スケジューラ９４は、これらの制約条件を満足させつつ、フローレシピＦＲに基づいて各ブロックを順次に配置する。ここで、スケジュールの対象となるキャリアＣの所定個数分のブロックが配置される。つまり、スケジューラ９４はブロックＢ１１からブロックＢ１７と同様のブロックを、キャリアＣの所定個数分だけ配置する。スケジューラ９４は全てのブロックを配置することにより、仮スケジュールを作成する。ここで、スケジューラ９４は各ブロックを、例えば、可能な限り早いタイミングで配置していくとよい。また、スケジューラ９４は、制約条件を満足するように、一度配置したブロックを適宜に再配置してもよい。

【0068】

次に、スケジューラ９４は、設定された稼働台数に対応した仮スケジュールを作成したか否かを判定する（ステップＳ３）。未だ作成していなければ、スケジューラ９４は再びステップＳ１を実行する。具体的には、スケジューラ９４は稼働台数に１を加算して稼働台数を設定する。これにより、続くステップＳ２において、スケジューラ９４は稼働台数が２台であるときの仮スケジュールを作成する。スケジューラ９４がステップＳ１からステップＳ３を繰り返し実行することにより、全ての稼働台数についての仮スケジュールが作成される。ここでは、４台の搬送ユニット２０が設けられているので、４台分の仮スケジュールが生成される。

【0069】

次に、スケジューラ９４は、所定条件を満たす仮スケジュールのうちで稼働台数が最も少ない仮スケジュールをスケジュールとして決定する（ステップＳ４）。所定条件は、例えば、所定個数分のキャリアＣ（つまり基板群Ｇ）に対するスループットが所定値以上である、という条件である。所定値は、例えば、基板処理装置１００よりも上流側の装置から基板処理装置１００に送信されてもよく、あるいは、作業員が基板処理装置１００に入力してもよい。

【0070】

次に、制御部９０の実行部９５は、スケジューラ９４が作成したスケジュールに従って基板処理装置１００の各種構成を制御する（ステップＳ５：第２工程）。これにより、基板処理装置１００は所定個数（ここでは６つ）の基板群Ｇに対する処理を行う。

【0071】

以上のように、本実施の形態では、制御部９０は、所定条件を満たす仮スケジュールのうちで稼働台数が最も少ない仮スケジュールがスケジュールとして決定する。制御部９０は、稼働していない搬送ユニット２０に対する電力供給の少なくとも一部を遮断することにより、搬送ユニット２０における待機電力を低減させることができる。例えば、制御部９０は、搬送ユニット２０の駆動部２３（例えばモータ駆動回路）に対する電力供給を遮断する。具体的な一例として、制御部９０は電源とモータ駆動回路との間に設けられたスイッチをオフする。このように制御部９０は稼働台数が最も少ないスケジュールに従って各種構成を制御することにより、所定条件を満たしつつも、基板処理装置１００の消費電力を低減させることができる。

【0072】

また、上述の例では、処理Ｐ１から処理Ｐ７の各々に対して、遅延許容時間が設定されており、スケジューラ９４は処理時間の経過後かつ遅延許容時間の経過前に処理ユニット１０からキャリアＣを搬出するようにスケジュールを作成する。このため、基板群Ｇに対する過剰な処理を抑制することができる。

【0073】

以上のように、基板処理装置１００およびスケジュールの作成方法は詳細に説明されたが、上記した説明は、全ての局面において例示であって、この開示がそれに限定されるものではない。また、上述した各種変形例は、相互に矛盾しない限り組み合わせて適用可能である。そして、例示されていない多数の変形例が、この開示の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。

【0074】

例えば、上述の例では、制御部９０は、それぞれの稼働台数についての仮スケジュールを作成しているものの、必ずしもこれに限らない。例えば、制御部９０は、稼働台数が少ない順に仮スケジュールを作成し、該仮スケジュールが所定条件を満たしているときに、該仮スケジュールをスケジュールとして決定し、以後の仮スケジュールの作成を中止してもよい。

【0075】

また、上述の例では、搬送ユニット２０は、キャリアＣに基板群Ｇを収納した状態で、キャリアＣを搬送している。しかしながら、必ずしも基板群ＧをキャリアＣに収納する必要はない。搬送ユニット２０が基板群Ｇを搬送し、各処理ユニット１０が基板群Ｇを搬送ユニット２０から受け取り、基板群Ｇを処理槽１１内の処理液に浸漬させてもよい。要するに、搬送ユニット２０は、基板群Ｇ、あるいは、基板群Ｇを収納したキャリアＣであるワークを搬送し、処理ユニット１０が該ワークに対して処理を行えばよい。

【0076】

また、上述の例では、複数の搬送ユニット２０は共通ライン上を移動しているものの、互いに異なるライン上を移動してもよい。

【符号の説明】

【0077】

１０，１０ａ～１０ｊ 処理ユニット
１００ 基板処理装置
２０，２０ａ～２０ｄ 搬送ユニット
９０ 制御部
Ｓ１～Ｓ４ 第１工程（ステップ）
Ｓ５ 第２工程（ステップ）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】