特開 2024-63881 パスボックス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024063881

(43)【公開日】2024-05-14

(54)【発明の名称】パスボックス

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240507BHJP

   F24F 7/007 20060101ALI20240507BHJP

   F24F 11/77 20180101ALI20240507BHJP

   F24F 110/40 20180101ALN20240507BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F7/06 B

F24F7/007 B

F24F11/77

F24F110:40

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022172045

(22)【出願日】2022-10-27

(71)【出願人】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】八木 星弥

(72)【発明者】

【氏名】矢田 洋一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 朋行

【テーマコード（参考）】

3L056

3L058

3L260

【Ｆターム（参考）】

3L056BF04

3L058BE02

3L058BF04

3L058BG01

3L058BG04

3L260AA06

3L260BA09

3L260BA12

3L260CA14

3L260CA19

3L260CB54

3L260FC03

(57)【要約】

【課題】
前室側から清浄室側へ物品の受け渡しに使用されるパスボックスにおいて、前室側から清浄室側への塵埃の流入を軽減するようにしたパスボックスを提供する。
【解決手段】
前室側から清浄室側へ物品の受け渡しに使用されるパスボックスにおいて、パスボックス内の空気を前室側へ排気する排気用のファンを設け、扉の開閉状態やエアジェットの動作状態に基づいて排気ファンの運転を制御する制御部を備えたパスボックス。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

前室側から清浄室側へ物品の受け渡しに使用されるパスボックスにおいて、パスボックス内のエアを前室側へ排気する排気ファンを設けたパスボックス。

【請求項2】

請求項１に記載のパスボックスにおいて、
前室側の扉の開閉状態、清浄室側の扉の開閉状態及びエアジェットの作動状態に基づいて前記排気ファンの運転、停止を制御する制御部を備えたパスボックス。

【請求項3】

請求項２に記載のパスボックスにおいて、
前記制御部は清浄室側扉が開いているとき、前記排気ファンを運転する制御を行うパスボックス。

【請求項4】

請求項２に記載のパスボックスにおいて、
前記制御部はエアジェットが作動しているとき前記排気ファンを運転する制御を行う請求項２に記載のパスボックス。

【請求項5】

請求項２に記載のパスボックスにおいて、
扉を開けることの可否を示す表示板と、
前記排気ファンを運転したときに生じる陰圧により前記表示板の表示を開けてはいけないことを示す表示に変更するシリンジとプランジャを備えた作動部を備えるパスボックス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行う清浄室と前室や廊下との間に設置され、人の出入りを制限しながら物品のやり取りを行うことで清浄室へ塵埃が流入するのを抑えるために用いられるパスボックスに関する。

【背景技術】

【0002】

清浄室と前室や廊下との間に設置され、人の出入りを制限しながら物品のやり取りを行うことで清浄室への塵埃の流入を抑えるために用いられるパスボックスや、そのパスボックスのうち物品に付着した塵埃や花粉などをエアジェットの噴射により除去するようにしているパスボックスが存在している。

【0003】

特許文献１には、清浄度の低い部屋と高い部屋間を連結する箱体内に内箱によって清浄ならしめるべき物品の収納空間を区劃し、上記内箱内に高性能フィルタを介してジェットエアーを噴射せしめるようにした物品清浄用パスボックスにおいて、上記内箱内に上記物品を載置するターンテーブルを設け、このターンテーブルを駆動手段によって回転する発明が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００４－１６９９５１

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、このようなパスボックスは前室側扉を開けたとき前室側の汚染された空気が庫内に流入し、その後清浄室側扉を開けると流入した空気が清浄室側に流出してしまう可能性があった。また、塵埃を除去するためエアジェットを清浄室へ搬入する物品に所定時間浴びせる場合、エアジェットの噴射中に誤って作業者が扉を開いてしまい、塵埃を含む空気が清浄室内へ流れこみ、物品に付着した塵埃の除去が不十分になってしまう可能性があった。

【0006】

本発明の目的は、上記課題に鑑みてなされたものであり、清浄室への塵埃の流出を軽減することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前室側から清浄室側へ物品の受け渡しに使用されるパスボックスにおいて、パスボックス内のエアを前室側へ排気する排気ファンを設けることにより達成される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、清浄室内への塵埃の侵入を軽減することが可能となる。

【0009】

上記した以外の課題、構成及び効果は以下の実施形態の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施例１及び実施例２におけるパスボックスを前室側からみた正面図の例である。

【図2】本発明の実施例１及び実施例２におけるパスボックスを図１のＡＡ’の線で切断した断面図の例である。

【図3(a)】本発明の実施例３における扉開可状態の表示機構断面図である。

【図3(b)】本発明の実施例３における扉開不可状態の表示機構断面図である。

【図3(c)】本発明の実施例３における扉開可状態の表示機構正面図である。

【図3(d)】本発明の実施例３における表示機構の表示内容を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。なお、実施例を説明するための各図において、同一の構成要素にはなるべく同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。

【実施例0012】

図１は本発明の実施例１におけるパスボックスを前室側からみた正面図の例である。

【0013】

パスボックス１は、前室側扉２、清浄室側扉３、床４、両側の側壁５および６と天井７などにより構成されパスボックス庫内８を形成する。天井７には、エアジェット機構１０が設置され、制御部（図示せず）によりエアジェット機構１０が駆動制御されエアジェットノズル５０からエアジェットを噴射する。床４や側壁５および６にはパンチングやスリットなどの穴が設けられており、物品２０に浴びせられた空気が穴から排出される。

【0014】

パスボックス１の筐体内を通過した空気はエアジェット機構１０に戻り循環する。排気ファン１１は循環するエアの一部を前室側に向かって排出するように設けられる。これによりパスボックス内は陰圧となる。制御部は、パスボックス１のエアジェット機構と排気ファン１１を制御するために設けられ、前室側扉２及び、清浄室側扉３の扉スイッチ３０，３１からの開閉情報を受け取り、エアジェット機構１０、排気ファン１１を駆動制御させるものである。

【0015】

この制御部は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）や、マイクロプロセッサなどで実現することができる。表示板１２は例えば「開可」、「開不可」と記載された銘板であり、左右にスライドすることで表示が切替えられ、使用者に現在、パスボックスを開けてよいかどうかを示す情報を提供するものである。

【0016】

次に排気ファン１１の動作について説明する。通常パスボックス１には両側の扉が閉じている待機状態（物品２０がパスボックス庫内８に置かれていてエアジェットが作動していない状態を含む）、前室側扉２のみが開いている状態、清浄室側扉３のみが開いている状態の３つの状態がある。この３つの状態における排気ファン１１の動作について説明する。

【0017】

尚、前室側扉２と清浄室側扉３の両方が開いている場合は塵埃が清浄室内へ侵入する可能性のある異常状態のため制御部はアラームを出力するか、どちらか一方の扉が開いている間は他の扉が開かないように制御してもよい。

【0018】

待機状態では排気ファン１１は停止状態にある。この状態においては、清浄室側の圧力がパスボックス庫内８、前室側より高く保たれているためパスボックス庫内８の塵埃が清浄室側に流出することはない。ただし、前室側扉２を開閉させた後は、パスボックス庫内８に汚染された空気が残存するため、排気ファン１１を一定時間運転させパスボックス庫内８を清浄化する。

【0019】

前室側扉２のみが開いている状態では排気ファン１１は停止状態にある。この状態においては前室側の汚染された空気がパスボックス庫内８に流入するが、清浄室側の圧力がパスボックス庫内８、前室側より高く保たれているためパスボックス庫内８の塵埃が清浄室側に流出することはない。

【0020】

清浄室側扉３のみが開いている状態では排気ファン１１は運転状態にある。前室側扉２を開閉させた直後はパスボックス庫内に汚染された空気があるため、その状態で清浄室側扉３を開くと汚染されたエアが清浄室側に流出してしまう。そのような状態において排気ファン１１を運転させることで汚染されたエアを前室側に排出し、パスボックス庫内８は清浄室側の空気により清浄化することができる。

【0021】

本実施例によれば、前室側扉を開け閉めした後に清浄室側扉を開けたとしても清浄室側への塵埃の流出を防ぐことができる。

【0022】

図２は本発明の実施例におけるパスボックスを図１のＡＡ’の線で切断した断面図の例である。

【0023】

清浄室と前室を隔てる隔壁５１を挟んでパスボックス１が設置され、前室側扉２と洗浄室側扉３を備える。前室側扉２から入れた物品２０をパスボックス庫内８へ置くことで清浄室側扉３から取り出すことが可能となる。

【0024】

前室側扉２と洗浄室側扉３には各々ハンドル３２，３３が備えられており、ハンドル３２，３３を把持し扉を開けることができる。また各々の扉には扉スイッチ３０，３１を備え扉の開閉を検知し、排気ファン１１、エアジェット機構１０の運転を制御する。エアジェット機構１０運転時には不用意に扉が開けられることの無いよう扉スイッチ３０，３１の情報に基づいて動作するロック機構をハンドル３２，３３に備えれば十分な物品２０の洗浄が可能となる。

【実施例0025】

エアジェット作動時に扉をロックするよう、扉にロック機構を設けようとするとパスボックスの構造が複雑になる。そこで、エアジェットを作動させている状態では制御部は排気ファン１１を運転状態にする。エアジェット中に排気ファン１１を運転させることでパスボックス庫内８の圧力が下がるため両側の扉が開きにくくなる。

【0026】

扉が開きにくくなることで扉にロック機構を設けない場合であってもエアジェット中に誤って扉が開かれるのを防止し、エアジェットを所定時間の間、物品２０に浴びせることができる。
本実施例によれば、エアジェット作動中に扉を開かせないようにし、エアジェットを所定時間物品に浴びせることができる。