特開2024-64295光源装置、それを含む露光装置、および、照度低下原因確認方法

発明の名称　光源装置、それを含む露光装置、および、照度低下原因確認方法

出願人　フェニックス電機株式会社　（識別番号 510138741）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-64295

公報発行日　2024年5月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-64295

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