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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024064474
(43)【公開日】2024-05-14
(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240507BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240507BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14
B41J2/14 613
B41J2/16 503
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022173083
(22)【出願日】2022-10-28
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】山岸 健
(72)【発明者】
【氏名】北村 健一
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF93
2C057AG14
2C057AN01
2C057AP25
2C057AP90
(57)【要約】
【課題】信頼性を向上した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数の部材を積層方向に積層することで構成された液体噴射ヘッド１であって、液体を噴射する複数のヘッドチップ１０と、前記複数のヘッドチップ１０が固定され、前記複数のヘッドチップ１０の夫々を露出する複数の露出開口部３１を有する固定板３０と、前記固定板３０との間で前記複数のヘッドチップ１０を保持するホルダー２０と、を備え、前記ホルダー２０は、前記複数のヘッドチップ１０内の流路１１と連通する流路２１２を有する第１部材２１と、前記積層方向に見て前記第１部材２１の外形よりも大きい第２部材２２と、を有し、前記第１部材２１は、線膨張係数が前記固定板３０の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、前記第２部材２２は、線膨張係数が前記固定板３０の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている。
【選択図】図５
【解決手段】複数の部材を積層方向に積層することで構成された液体噴射ヘッド１であって、液体を噴射する複数のヘッドチップ１０と、前記複数のヘッドチップ１０が固定され、前記複数のヘッドチップ１０の夫々を露出する複数の露出開口部３１を有する固定板３０と、前記固定板３０との間で前記複数のヘッドチップ１０を保持するホルダー２０と、を備え、前記ホルダー２０は、前記複数のヘッドチップ１０内の流路１１と連通する流路２１２を有する第１部材２１と、前記積層方向に見て前記第１部材２１の外形よりも大きい第２部材２２と、を有し、前記第１部材２１は、線膨張係数が前記固定板３０の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、前記第２部材２２は、線膨張係数が前記固定板３０の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の部材を積層方向に積層することで構成された液体噴射ヘッドであって、
液体を噴射する複数のヘッドチップと、
前記複数のヘッドチップが固定され、前記複数のヘッドチップの夫々を露出する複数の露出開口部を有する固定板と、
前記固定板との間で前記複数のヘッドチップを保持するホルダーと、
を備え、
前記ホルダーは、
前記複数のヘッドチップ内の流路と連通する流路を有する第１部材と、
前記積層方向に見て前記第１部材の外形よりも大きい第２部材と、を有し、
前記第１部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、
前記第２部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
液体を噴射する複数のヘッドチップと、
前記複数のヘッドチップが固定され、前記複数のヘッドチップの夫々を露出する複数の露出開口部を有する固定板と、
前記固定板との間で前記複数のヘッドチップを保持するホルダーと、
を備え、
前記ホルダーは、
前記複数のヘッドチップ内の流路と連通する流路を有する第１部材と、
前記積層方向に見て前記第１部材の外形よりも大きい第２部材と、を有し、
前記第１部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、
前記第２部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項2】
前記ヘッドチップの前記流路と前記第１部材の前記流路とは、熱硬化型の接着剤である第１接着剤によって液密に接続される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項3】
前記積層方向に見て前記第１接着剤を囲むようにして配置された、常温硬化型の接着剤である第２接着剤を備え、
前記第２接着剤は、前記固定板と前記第１部材とを接着する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
前記第２接着剤は、前記固定板と前記第１部材とを接着する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項4】
前記第１接着剤と前記第２接着剤との間の隙間は、大気に連通している、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項5】
前記第１部材に締結される第３部材と、
熱可塑性樹脂で形成されたインサートナットと、を更に備え、
前記第１部材は、前記インサートナットを収容するための凹部を有し、
前記凹部に収容された前記インサートナットと前記第３部材との間に前記第１部材を挟んだ状態でタッピングネジを前記インサートナットに螺合させることで、前記第１部材と前記第３部材とが固定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
熱可塑性樹脂で形成されたインサートナットと、を更に備え、
前記第１部材は、前記インサートナットを収容するための凹部を有し、
前記凹部に収容された前記インサートナットと前記第３部材との間に前記第１部材を挟んだ状態でタッピングネジを前記インサートナットに螺合させることで、前記第１部材と前記第３部材とが固定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項6】
前記積層方向に見て、前記凹部の内周面と前記インサートナットの外周面との少なくとも一部に形成された隙間に配置された接着剤によって、前記第１部材と前記インサートナットとが固定される、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項7】
前記インサートナットの外周面および前記第１部材の前記凹部の内周面の一方には、係合部が設けられ、
前記インサートナットの外周面および前記第１部材の前記凹部の内周面の他方には、前記係合部と係合することによって前記積層方向に沿う回転軸を中心に前記インサートナットが前記凹部に対して回転するのを規制する被係合部が設けられる、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
前記インサートナットの外周面および前記第１部材の前記凹部の内周面の他方には、前記係合部と係合することによって前記積層方向に沿う回転軸を中心に前記インサートナットが前記凹部に対して回転するのを規制する被係合部が設けられる、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項8】
前記第３部材に積層される流路部材を更に備え、
前記第３部材と前記第１部材とを固定する前記タッピングネジと同じ種類のタッピングネジを前記第３部材のネジ孔に螺合させることで、前記第３部材と前記流路部材とが固定される、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
前記第３部材と前記第１部材とを固定する前記タッピングネジと同じ種類のタッピングネジを前記第３部材のネジ孔に螺合させることで、前記第３部材と前記流路部材とが固定される、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項9】
請求項１～８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備する、
ことを特徴とする液体噴射装置。
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドおよび液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッドおよびインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、圧電アクチュエーターや発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力変化を生じさせることで、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。
【0003】
液体噴射ヘッドは、液体を噴射するヘッドチップ、ヘッドチップを保持するホルダー、および、ヘッドチップにインクを供給する流路部材などの複数の部材を積層することで構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１４－１８８８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１のように複数の部材を積層して構成された液体噴射ヘッドにおいて、信頼性の向上が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決する本発明の態様は、複数の部材を積層方向に積層することで構成された液体噴射ヘッドであって、液体を噴射する複数のヘッドチップと、前記複数のヘッドチップが固定され、前記複数のヘッドチップの夫々を露出する複数の露出開口部を有する固定板と、前記固定板との間で前記複数のヘッドチップを保持するホルダーと、を備え、前記ホルダーは、前記複数のヘッドチップ内の流路と連通する流路を有する第１部材と、前記積層方向に見て前記第１部材の外形よりも大きい第２部材と、を有し、前記第１部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、前記第２部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【0007】
また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備する、ことを特徴とする液体噴射装置にある。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図2】一実施形態の液体噴射ヘッドの要部の分解斜視図である。
【図3】一実施形態の液体噴射ヘッドの要部の分解斜視図である。
【図4】一実施形態の液体噴射ヘッドの平面図である。
【図5】一実施形態の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図6】一実施形態の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図7】一実施形態の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図8】一実施形態の液体噴射ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図9】一実施形態の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図10】一実施形態の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図11】一実施形態の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図12】比較例の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図13】比較例の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図14】比較例の液体噴射ヘッドの組立工程を説明する図である。
【図15】変形例１の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図16】変形例１の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図17】変形例１の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図18】変形例１の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図19】変形例２の液体噴射ヘッドの要部斜視図である。
【図20】変形例２の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図21】変形例２の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図22】変形例３の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図23】変形例４の液体噴射ヘッドの要部平面図である。
【図24】変形例４の液体噴射ヘッドの要部平面図である。
【図25】他の実施形態の液体噴射装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、正方向及び負方向を限定しない３つの空間軸の方向については、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。
【0010】
（実施形態）
図１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の分解斜視図である。図２および図３は、液体噴射ヘッド１の要部の分解斜視図である。図４は、液体噴射ヘッド１を－Ｚ方向に見た平面図である。図５は、図４のＡ－Ａ′線断面図である。図６は、図４のＢ－Ｂ′線断面図である。図７は、図６のＣ－Ｃ′線断面図である。図８は、図５の要部を拡大した図である。
図１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の分解斜視図である。図２および図３は、液体噴射ヘッド１の要部の分解斜視図である。図４は、液体噴射ヘッド１を－Ｚ方向に見た平面図である。図５は、図４のＡ－Ａ′線断面図である。図６は、図４のＢ－Ｂ′線断面図である。図７は、図６のＣ－Ｃ′線断面図である。図８は、図５の要部を拡大した図である。
【0011】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッド１は、複数、本実施形態では、４個のヘッドチップ１０と、ホルダー２０と、固定板３０と、流路部材４０と、中継基板５０と、第１カバー６０と、シール部材７０と、フィルターユニット８０と、第２カバー９０と、の複数の部材を具備し、これら複数の部材が「積層方向」である＋Ｚ方向に積層して構成されている。
【0012】
ヘッドチップ１０は、＋Ｚ方向の面に複数のノズルＮが開口して設けられている。ヘッドチップ１０には、複数のノズルＮがＸ軸方向に沿って並設された列が、Ｙ軸方向に２列設けられている。ヘッドチップ１０の図示しない内部には、ノズルＮに連通する第１流路１１、第１流路１１内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、が設けられている。圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって流路の容積を変化させて第１流路１１内のインクに圧力変化を生じさせてノズルＮからインク滴を吐出させるものを使用することができる。また、その他の圧力発生手段としては、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルＮからインク滴を吐出させるものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルＮからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。なお、ヘッドチップ１０のノズルＮが開口する面をノズル面ＮＳと称する。
【0013】
また、ヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く面には、内部の第１流路１１が開口して設けられている。この第１流路１１の開口は、ヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く平面に開口して設けられている。なお、第１流路１１の開口は、－Ｚ方向に突出する凸部の先端面に設けられていてもよい。
【0014】
さらにヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く面には、内部の圧力発生手段と電気的に接続された配線基板１２が導出されている。配線基板１２は、本実施形態では、フレキシブルフラットケーブルやフレキシブルプリント基板等のフレキシブル基板からなる。配線基板１２は、＋Ｚ方向に見て、２つの第１流路１１の開口のＹ軸方向の間に配置されている。また、配線基板１２には、ヘッドチップ１０の圧力発生手段を駆動するためのスイッチング素子を有する駆動ＩＣ等の駆動回路が実装されている。
【0015】
固定板３０は、－Ｚ方向を向く面に複数のヘッドチップ１０が固定される板状部材からなる。固定板３０は、各ヘッドチップ１０のノズルＮをヘッドチップ１０毎に開口する複数の露出開口部３１を有する。本実施形態では、固定板３０に４個のヘッドチップ１０が固定されるため、露出開口部３１は、ヘッドチップ１０と同じ数である４個設けられている。
【0016】
このような固定板３０の－Ｚ方向を向く面に、ヘッドチップ１０の＋Ｚ方向を向く面が不図示の接着剤によって接着される。また、複数のヘッドチップ１０は、ノズルＮ同士がＸ軸方向とＹ軸方向とで規定されるＸＹ平面における相対位置が位置決めされた状態で、固定板３０に接着される。
【0017】
固定板３０は、例えば、ステンレス鋼等の金属、または、シリコン等のセラミックで形成される。
【0018】
なお、本実施形態では、固定板３０を１枚の板状部材で構成したが、特にこれに限定されず、２枚以上の板状部材で構成されていてもよい。また、固定板３０と詳しくは後述するホルダー２０との間に補強板を設けるようにしてもよい。補強板は、ヘッドチップ１０とは接合されずに、固定板３０とホルダー２０との双方に接合されていればよい。
【0019】
ホルダー２０は、第１ホルダー部材２１と、第２ホルダー部材２２と、を具備する。
【0020】
第１ホルダー部材２１は、複数、本実施形態では、４個のヘッドチップ１０を保持する。具体的には、第１ホルダー部材２１は、＋Ｚ方向を向く面に開口する凹形状の保持部２１１を有する。この保持部２１１内にヘッドチップ１０が接着されている。本実施形態では、保持部２１１は、ヘッドチップ１０毎に独立して設けられている。なお、保持部２１１は、複数のヘッドチップ１０に亘って連続して設けられていてもよい。
【0021】
保持部２１１に保持された４個のヘッドチップ１０は、Ｘ軸方向に関して同じ位置で、Ｙ軸方向に並んで配置されている。もちろん、複数のヘッドチップ１０の配置は、これに限定されず、例えば、複数のヘッドチップ１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方向において異なる位置に配置されていてもよい。また、複数のヘッドチップ１０は、Ｘ軸方向に沿って千鳥状に配置されていてもよい。ここで複数のヘッドチップ１０が千鳥状に配置されているとは、Ｘ軸方向に並設されたヘッドチップ１０を交互にＹ軸方向にずらして配置することである。つまり、Ｘ軸方向に並設されたヘッドチップ１０の列が、Ｙ軸方向に２列並設され、２列のヘッドチップ１０の一方の列をＸ軸方向に半ピッチずらして配置することである。このように複数のヘッドチップ１０をＸ軸方向に沿って千鳥状に配置することで、２つのヘッドチップ１０のノズルＮをＸ軸方向で部分的に重複させて、Ｘ軸方向に亘って連続したノズルＮの列を形成することができる。また、ホルダー２０に固定するヘッドチップ１０の数は、特にこれに限定されず、２個以上の複数であればよい。
【0022】
また、第１ホルダー部材２１には、ヘッドチップ１０の第１流路１１に連通する第２流路２１２が設けられている。第２流路２１２は、一端が第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面に開口し、他端が保持部２１１の＋Ｚ方向を向く底面に開口して設けられている。このような第２流路２１２は、特に図示していないが、Ｚ軸方向に延びる流路や、Ｚ軸方向に対して交差する方向に延びる流路などで構成されていていてもよい。以降、Ｚ軸方向に延びる流路を垂直流路と称し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向を含むＸＹ平面に沿って延びる流路を水平流路と称する。また、水平流路は、延設方向に、水平面に向かう成分（別称、ベクトル）が存在することを言う。つまり、水平流路は、ＸＹ平面に沿った流路だけではなく、Ｚ軸方向およびＸＹ平面に沿った方向の双方に対して傾斜した流路も含まれる。なお、流路の延設方向とは、インクが流れる方向を言う。
【0023】
図８に示すように、ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とは、Ｚ軸方向で対向する面同士が第１接着剤１０１および第２接着剤１０２の２種類の異なる接着剤によって接着されている。つまり、ヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く面と、第１ホルダー部材２１の保持部２１１の＋Ｚ方向を向く底面と、が第１接着剤１０１および第２接着剤１０２によって接着されている。第１接着剤１０１は、インクに接液する部分、つまり、ヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く面の第１流路１１の開口の周囲と、第１ホルダー部材２１の＋Ｚ方向を向く保持部２１１の底面の第２流路２１２の開口の周囲と、に亘って連続して設けられている。この第１接着剤１０１は、ヘッドチップ１０の第１流路１１と第１ホルダー部材２１の第２流路２１２とを液密に接続するシールとしても機能する。
【0024】
ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とを接着する第１接着剤１０１は、熱硬化型接着剤を用いるのが好ましい。熱硬化型の接着剤とは、常温よりも高い高温、例えば、８０℃以上の環境下で硬化し、耐インク性を備える接着剤であり、例えば、エポキシ系、もしくは、フッ素化ポリエーテル骨格を含む接着剤が挙げられる。このように第１接着剤１０１として熱硬化型接着剤を用いることで、溶剤系インク、紫外線硬化型インク、水系インク、油系インクに対して耐インク性、すなわち、インクに対して高い耐浸食性を有する。このため、第１接着剤１０１を、第１流路１１および第２流路２１２同士を液密に接続するシールとして用いることで、第１流路１１および第２流路２１２の接続部分からインクが外部に漏出するのを抑制することができる。また、熱硬化型接着剤は、常温硬化型接着剤に比べて接着強度が高いため、第１接着剤１０１に熱硬化型接着剤を用いることで、ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とを強固に接着することができる。
【0025】
第２接着剤１０２は、＋Ｚ方向に見て、第１接着剤１０１を囲むように配置されている。つまり、第２接着剤１０２は、＋Ｚ方向に見て、第１接着剤１０１の外側で第１接着剤１０１の外周に亘って連続して設けられている。本実施形態では、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２とは互いに接している。このような第２接着剤１０２は、常温硬化型接着剤である。常温硬化型接着剤とは、常温環境下、例えば、常温以上、６０℃以下の環境下で硬化することが可能な接着剤であり、例えば、紫外線硬化型接着剤、水分ないし溶剤の揮発により硬化する合成ゴム系の接着剤、空気中の水分と反応して硬化する湿気硬化型接着剤、本剤と硬化剤とを混合することで化学反応により硬化する反応型接着剤などが挙げられる。常温硬化型接着剤は、熱硬化型接着剤に比べて耐インク性は低いが、第２接着剤１０２は、第１流路１１と第２流路２１２とを液密に接続するシールとして用いていないため特に問題はない。
【0026】
また、第１ホルダー部材２１は、保持部２１１が開口する＋Ｚ方向を向く面が、固定板３０と第３接着剤１０３によって接着されている。第１ホルダー部材２１と固定板３０とを接着する第３接着剤１０３としては、第２接着剤１０２と同じ常温硬化型接着剤を用いるのが好ましい。このように第１ホルダー部材２１と固定板３０とを常温硬化型接着剤である第３接着剤１０３で接着することで、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを加熱して接着する必要がなく、加熱することによる第１ホルダー部材２１と固定板３０との線膨張係数の違いによる反りの発生を抑制することができる。つまり、第１接着剤１０１を硬化させるために加熱した場合に、第１ホルダー部材２１と固定板３０との第３接着剤１０３による接着面にズレが生じ難く、常温に戻した際に固定板３０の反りを抑制することができる。ちなみに、詳しくは後述するが、第１ホルダー部材２１の線膨張係数は、熱可塑性樹脂で構成する場合に比べて固定板３０を構成するステンレス鋼や単結晶シリコンなどの線膨張係数に近い。しかしながら、２つの部材の線膨張係数の差が小さい場合であっても、熱によって膨張した状態で接着剤を硬化させて常温に戻すと反りが発生するため、第３接着剤１０３として常温硬化型接着剤を用いるのが有効である。
【0027】
ここで、第１接着剤１０１および第２接着剤１０２を用いた第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０および固定板３０との接着は、例えば図９～図１１に示す工程によって行うことができる。なお、図９～図１１では、ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とのみを図示している。また、第１ホルダー部材２１は、予め第２ホルダー部材２２と接着されていてもよく、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを接着した後で、第１ホルダー部材２１と第２ホルダー部材２２とを接着するようにしてもよい。
【0028】
最初に、ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１との少なくとも一方に、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２とを塗布する。第１接着剤１０１と第２接着剤１０２とは、それぞれ異なる部材に塗布してもよく、同じ部材に塗布してもよい。また、図示していないが、固定板３０と第１ホルダー部材２１との少なくとも一方に、第３接着剤１０３を塗布する。
【0029】
次に、図９に示すように、常温環境下でヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１とをＸＹ平面で互いに位置合わせした状態で、両者をＺ軸方向で押し当てて第２接着剤１０２および第３接着剤１０３を硬化させる。これによりヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１とを第２接着剤１０２および第３接着剤１０３で仮接着する。この仮接着では、加熱していないため第１接着剤１０１は硬化していない。
【0030】
次に、図１０に示すように、加熱することで第１接着剤１０１を硬化させてヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とを本接着する。第１接着剤１０１の加熱は、例えば、高温環境下となる加熱炉内にヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１とを配置することで行う。このとき、ヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１とは第２接着剤１０２および第３接着剤１０３で仮接着しているため、ヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１との線膨張係数が違う場合、接着面のズレが略生じずに反りが発生する。しかしながら、本接着した後、図１１に示すように、常温に戻してヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１とが縮む際に、ヘッドチップ１０および固定板３０と第１ホルダー部材２１との縮む量が異なっていても、加熱して膨張した際に接着面にズレが略生じていないため、常温に戻した際に発生する反りを抑制することができる。ちなみに、ヘッドチップ１０のノズルプレートや固定板３０等に反りが生じると、ヘッドチップ１０からインクが噴射される方向がＺ軸方向に対して傾斜した方向となってしまうため、インクの媒体Ｓへの着弾位置ズレが生じる。
【0031】
これに対して、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを熱硬化型接着剤である第１接着剤１０１のみで接着する場合、図１２に示すように第１接着剤１０１の硬化前に比べて、図１３に示すように、加熱することで第１ホルダー部材２１およびヘッドチップ１０が膨張した状態で第１接着剤１０１が硬化する。第１接着剤１０１の硬化時には第１ホルダー部材２１およびヘッドチップ１０は膨張状態であるため、図１４に示すように常温に戻すことで第１ホルダー部材２１およびヘッドチップ１０が縮んだ際に、第１ホルダー部材２１およびヘッドチップ１０のそれぞれの縮む量が異なるため、反りが発生してしまう。図１４に示す例では、第１ホルダー部材２１に対してヘッドチップ１０のみが反っている図を示しているが、第１ホルダー部材２１およびヘッドチップ１０の全体が反る場合もある。
【0032】
このような第１ホルダー部材２１は、固定板３０と線膨張係数が略等しい熱硬化樹脂で構成されている。このように第１ホルダー部材２１を、固定板３０の線膨張係数と略等しい熱硬化樹脂で構成することで、第１ホルダー部材２１と固定板３０とを熱硬化型接着剤で接着する際に反りの発生を抑制することができる。もちろん、第１ホルダー部材２１と固定板３０とを上述のように常温硬化型接着剤である第３接着剤１０３で接着した場合であっても、第１ホルダー部材２１と固定板３０との熱による膨張量を揃えることで、反りの発生を抑制することができる。
【0033】
ここで、本願において「線膨張係数が略等しい」とは、部材Ａの線膨張係数ａと部材Ｂの線膨張係数ｂとの差｜ａ－ｂ｜は、線膨張係数ａまたは線膨張係数ｂの２５％以内とする。この範囲内にある場合を「略等しい」とする。なお、線膨張係数ａと線膨張係数ｂとの差｜ａ－ｂ｜は、線膨張係数ａまたは線膨張係数ｂの１５％以内がより好ましい。また、線膨張係数ａと線膨張係数ｂとの差｜ａ－ｂ｜は、線膨張係数ａおよび線膨張係数ｂのうち、小さい方の線膨張係数の２５％以内がより好ましく、１５％以内であることがさらに好ましい。
【0034】
例えば、第１ホルダー部材２１として、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂複合材（商品名：エポクラスターＪ１０６Ｓ、クラスターテクノロジー株式会社製）を用いた場合、線膨張係数ａは、９．０×１０－６／Ｋであり、固定板３０としてＳＵＳ４３０を用いた場合には、線膨張係数ｂは、１０．４×１０－６／Ｋである。このため、｜ａ－ｂ｜／（ａ または ｂ）＝｜（１０．４－９）／（１０．４または９）＝０．１４または０．１６となる。このため、線膨張係数の差｜ａ－ｂ｜は、０．２５以内、すなわち、２５％以内となる。
【0035】
このように第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略同じ熱硬化性樹脂で構成することで、第１接着剤１０１を硬化させるために加熱した際の変形、および、常温に戻した際の反りを抑制することができる。
【0036】
なお、固定板３０は、ヘッドチップ１０の固定板３０が接合される面を構成する部材、例えば、ノズルＮが形成された不図示のノズルプレートや、その他の流路部材等と線膨張係数が近い材料で形成するのが好ましい。このようにヘッドチップ１０の固定板３０が接合される面を構成する部材と、固定板３０と、を線膨張係数が近い材料で形成することで、熱による反りを抑制することができる。
【0037】
また、第１ホルダー部材２１には、Ｚ軸方向に亘って貫通して、一端が保持部２１１の底面に開口し、他端が第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面に開口する第１配線挿通孔２１３が設けられている。第１配線挿通孔２１３は、内部をヘッドチップ１０の配線基板１２が挿通されるものであり、各ヘッドチップ１０に対して１個、合計４個設けられている。
【0038】
図１、図３～図６に示すように、第２ホルダー部材２２は、Ｚ軸方向に見て、第１ホルダー部材２１よりも大きな外形を有する。第２ホルダー部材２２は、＋Ｚ方向を向く面に、第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面が固定されている。また、第２ホルダー部材２２には、第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面を－Ｚ方向に露出するための開口部２２１を有する。本実施形態では、第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面の外周縁部と、第２ホルダー部材２２の＋Ｚ方向を向く面の開口部２２１の内周縁部と、が第４接着剤１０４によって接着される。なお、第１ホルダー部材２１と第２ホルダー部材２２との固定方法は、接着剤による接着に限定されない。第１ホルダー部材２１と第２ホルダー部材２２とは、例えば、ネジによる締結や、バネによる弾性力等によって互いに固定されていてもよい。
【0039】
つまり、複数のヘッドチップ１０の第１流路１１は、第１ホルダー部材２１の第２流路２１２と連通し、第２ホルダー部材２２には、複数のヘッドチップ１０の第１流路１１と連通する流路が設けられていない。
【0040】
このような第２ホルダー部材２２は、線膨張係数が固定板３０の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている。熱可塑性樹脂は、所定の温度に加熱されると樹脂が軟化または溶融し、温度が下がると固化する特性を有する。
【0041】
ここで、一例として熱硬化性樹脂として上述したエポキシ樹脂複合材（商品名：エポクラスターＪ１０６Ｓ、クラスターテクノロジー株式会社製）と、熱可塑性樹脂として変性ポリフェニレンエーテル樹脂（商品名：ＤＧ０４０、旭化成株式会社製）と、のヤング率、線膨張係数、膨張率を下記表１に示す。さらに、表１には、一例としてヘッドチップ１０のノズルＮが形成された不図示のノズルプレートに用いられるシリコン基板と、固定板３０に用いられるステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）と、のヤング率、線膨張係数、膨張率を示す。
【0042】
【表1】
【0043】
表１に示すように、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて線膨張係数が小さく、熱硬化性樹脂の線膨張係数は、熱可塑性樹脂に比べてノズルプレートや固定板３０の線膨張係数との差が小さい。このため、第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で構成することで、液体噴射ヘッド１を組み立てる際に第１接着剤１０１を硬化させるために加熱した後、常温に戻した際のノズル面ＮＳの反りを抑制することができる。また、印刷時の熱によって加熱された際にも、第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で構成することで、反りを抑制することができる。ちなみに、ホルダー２０全体を熱可塑性樹脂で構成すると、熱可塑性樹脂は熱硬化性樹脂に比べて線膨張係数が大きいことから、ヘッドチップ１０との線膨張係数の差が大きくなり、液体噴射ヘッド１に反りが生じてしまう。液体噴射ヘッド１に反りが生じると、ヘッドチップ１０間でのノズルＮの相対的な位置精度が低下すると共に、ホルダー２０に対するヘッドチップ１０のノズルＮの位置精度が低下する。本実施形態では、第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で構成することで、ヘッドチップ１０間のノズルＮの相対的な位置精度およびホルダー２０に対するノズルＮの位置精度が低下するのを抑制することができる。
【0044】
また、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて剛性が高い。このため、第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で形成することで、液体噴射ヘッド１の剛性、特に、ヘッドチップ１０を保持する第１ホルダー部材２１の剛性を向上し、各ヘッドチップ１０間でのノズルＮの相対的な位置精度を向上することができる。
【0045】
また、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて耐インク性が高い。このため第２流路２１２を有する第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で形成することで、第１ホルダー部材２１の耐インク性を向上して、耐久性および信頼性を向上することができる。
【0046】
ちなみに、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて吸湿による膨潤が大きい。なお、単結晶シリコン、ステンレス鋼および熱可塑性樹脂の膨潤率は略ゼロである。このため、第２ホルダー部材２２などの比較的大きな部材を熱硬化性樹脂で形成すると、吸湿による膨潤によって、寸法変化の変化が生じ、各ヘッドチップ１０の間の相対的な位置精度およびホルダー２０に対する位置精度が低下してしまう。本実施形態では、ヘッドチップ１０を保持する第１ホルダー部材２１のみを熱硬化性樹脂で構成し、比較的大きな部分である第２ホルダー部材２２を熱可塑性樹脂で構成することで、ホルダー２０全体を熱硬化性樹脂で構成する場合に比べて、吸湿による膨潤を抑制し、寸法変化を低減して、各ヘッドチップ１０のノズルＮの相対的な位置精度や、ホルダー２０に対するヘッドチップ１０のノズルＮの位置精度を向上することができる。
【0047】
また、第１ホルダー部材２１に熱可塑性樹脂を用いる場合、反りを抑制するために、熱硬化型接着剤に比べて低い温度、例えば、常温で硬化する接着剤で第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを接着する必要があるが、比較的低温で硬化する接着剤は、熱硬化型接着剤に比べて耐インク性が低く、流路の接続部分に用いた場合、インクの漏出などが生じる虞がある。本実施形態では、第１ホルダー部材２１を熱硬化性樹脂で構成することで、ヘッドチップ１０と第１ホルダー部材２１とを熱硬化型接着剤の第１接着剤１０１で接着しても接着後の反りを抑制することができる。したがって、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを反りを抑制した状態で、両者を熱硬化型接着剤で接着して耐インク性を向上することができる。
【0048】
なお、硬化した後の第２接着剤１０２は、硬化した後の第１接着剤に比べて柔らかいことが好ましい。熱硬化性樹脂で構成される第１ホルダー部材２１が膨潤したとしても、その応力を第２接着剤１０２で緩和することができ、各ヘッドチップ１０のノズルＮの相対的な位置決め精度や、ホルダー２０に対するノズルＮの位置精度が膨潤により低下するのを抑制することができる。このような第２接着剤１０２としては、シリコーン系の接着剤を用いることが好ましい。
【0049】
流路部材４０は、ホルダー２０の－Ｚ方向を向く面に固定される。流路部材４０は、第１ホルダー部材２１の第２流路２１２に連通する接続流路４１を有する。接続流路４１の一端は、流路部材４０の＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。また、流路部材４０は、－Ｚ方向を向く面に、－Ｚ方向に向かって突出する第１突起部４２が設けられている。第１突起部４２は、接続流路４１毎に設けられており、第１突起部４２の－Ｚ方向を向くそれぞれの先端面に接続流路４１の他端が開口している。なお、接続流路４１は、垂直流路だけで構成されるものに限定されず、途中で水平流路を有するものであってもよい。また、第１ホルダー部材２１と流路部材４０との接合界面で水平流路を有するものであってもよい。
【0050】
また、流路部材４０には、Ｚ軸方向に亘って貫通する第２配線挿通孔４３が設けられている。第２配線挿通孔４３は、第１ホルダー部材２１の第１配線挿通孔２１３に連通して、ヘッドチップ１０の配線基板１２が挿通される。
【0051】
中継基板５０は、流路部材４０の－Ｚ方向を向く面側に配置されている。つまり、中継基板５０は、第１カバー６０と流路部材４０との間に配置されている。中継基板５０は、Ｚ軸方向に亘って貫通する第３配線挿通孔５１と第１突起部挿通孔５２とが設けられている。第３配線挿通孔５１は、第２配線挿通孔４３と連通して内部を配線基板１２が挿通される。第１突起部挿通孔５２は、流路部材４０の第１突起部４２が挿通されるものであり、各ヘッドチップ１０に対して２個、合計８個設けられている。
【0052】
中継基板５０はリジッド基板からなり、４個のヘッドチップ１０に共通して１個設けられている。もちろん、中継基板５０は、ヘッドチップ１０毎または複数のヘッドチップ１０で構成される群毎に分割して設けてもよく、分割した中継基板５０同士をフレキシブル基板で接続した、所謂、リジットフレキシブル基板であってもよい。
【0053】
中継基板５０の＋Ｚ方向を向く面および－Ｚ方向を向く面の何れか一方または両方には、図示しない電子部品や配線が設けられている。
【0054】
また、中継基板５０は、液体噴射ヘッド１を制御するための印刷信号等を送信するための外部配線が接続されるコネクター５３を有する。コネクター５３は、本実施形態では、中継基板５０の－Ｚ方向を向く面において、Ｙ軸方向の両端部のそれぞれに設けられている。
【0055】
第１カバー６０は、ホルダー２０との間で流路部材４０と中継基板５０とを挟んだ状態で、ホルダー２０の－Ｚ方向を向く面に固定される。第１カバー６０によって、ホルダー２０の－Ｚ方向を向く面は覆われる。
【0056】
第１カバー６０には、中継基板５０の各コネクター５３を－Ｚ方向に向かって露出する配線接続口６１が設けられている。配線接続口６１は、コネクター５３毎に独立して設けられているため、本実施形態では、合計２個の配線接続口６１を有する。
【0057】
第１カバー６０は、ホルダー２０の第１ホルダー部材２１に固定されている。第１カバー６０と第１ホルダー部材２１との固定については詳しくは後述する。
【0058】
フィルターユニット８０は、第１流路部材８１と第２流路部材８２と第３流路部材８３とを具備する。第１流路部材８１、第２流路部材８２および第３流路部材８３は、インクを噴射する＋Ｚ方向にこの順番で積層されている。なお、フィルターユニット８０は、特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であってもよく、２つ以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、フィルターユニット８０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向であってもよい。
【0059】
フィルターユニット８０は、不図示の液体であるインクを貯留する液体貯留部と、ヘッドチップ１０と、の間でインクを流通させる供給流路１１０を有する。本実施形態では、１つのフィルターユニット８０に、４個の独立した供給流路１１０が設けられている。また、本実施形態では、液体噴射ヘッド１は、２個のフィルターユニット８０を有する。もちろん、１つのフィルターユニット８０に設ける供給流路１１０の数は特に限定されず、１個であってもよく、２個以上の複数であってもよい。また、１つの液体噴射ヘッド１に設けるフィルターユニット８０の数も特に限定されるものではなく、１個であってもよく、２個以上の複数であってもよい。
【0060】
フィルターユニット８０の各供給流路１１０は、第１流路部材８１に設けられた第１供給流路１１１と、第２流路部材８２に設けられた第２供給流路１１２と、第３流路部材８３に設けられた第３供給流路１１３と、を有する。
【0061】
第１流路部材８１は、－Ｚ方向を向く面に図示しない液体貯留部に接続される接続部８４を有する。本実施形態の接続部８４は、－Ｚ方向に向かって針状に突出したものである。なお、接続部８４には、インクカートリッジなどの液体貯留部が直接、接続されてもよく、また、インクパック、インクタンクなどの液体貯留部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。第１流路部材８１は、一端が接続部８４の－Ｚ方向の端部に開口し、他端が第１流路部材８１の＋Ｚ方向を向く面に開口する第１供給流路１１１を有する。この第１供給流路１１１に液体貯留部からのインクが供給される。第１供給流路１１１の他端側には、一端部側よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部１１１ａが設けられている。なお、第１供給流路１１１は、後述する第２供給流路１１２の位置に応じて、垂直流路や水平流路等で構成されている。
【0062】
第２流路部材８２は、第１流路部材８１の＋Ｚ方向を向く面に固定される。第２流路部材８２は、第１供給流路１１１に連通する第２供給流路１１２を有する。第２供給流路１１２は、一端が第２流路部材８２の－Ｚ方向を向く面に開口し、他端が、第２流路部材８２の＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。また、第２供給流路１１２の一端側には、第１液体溜まり部１１１ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部１１２ａとなっている。そして、第１流路部材８１と第２流路部材８２との間、すなわち、第１液体溜まり部１１１ａと第２液体溜まり部１１２ａとの間には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルター８５が設けられている。このため、第１供給流路１１１から供給されたインクは、フィルター８５によってゴミや気泡などの異物が除去された状態で第２供給流路１１２に供給される。
【0063】
第３流路部材８３は、第２流路部材８２の＋Ｚ方向を向く面に固定される。また、第３流路部材８３は、第２供給流路１１２に連通する第３供給流路１１３を有する。第３供給流路１１３は、一端が第３流路部材８３の－Ｚ方向を向く面に開口し、他端が、第３流路部材８３の＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。
【0064】
なお、供給流路１１０は、垂直流路だけではなく、水平流路を有するものであってもよい。また、供給流路１１０は途中で２つ以上に分岐していてもよい。
【0065】
また、フィルターユニット８０には、供給流路１１０以外に、液体噴射ヘッド１から噴射されなかったインクが液体噴射ヘッド１の外部に排出するための排出流路が設けられていてもよい。
【0066】
また、第３流路部材８３の＋Ｚ方向を向く面には、＋Ｚ方向に向かって突出する第２突起部８６が設けられている。第２突起部８６は、供給流路１１０毎に設けられており、第２突起部８６の＋Ｚ方向を向くそれぞれの先端面に供給流路１１０の第３供給流路１１３が開口する。
【0067】
このような供給流路１１０が設けられた第１流路部材８１、第２流路部材８２および第３流路部材８３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に接合されている。なお、第１流路部材８１、第２流路部材８２及び第３流路部材８３をネジやクランプ等で固定することもできるが、接着剤や溶着等によって接合することで第１供給流路１１１から第３供給流路１１３に至るまでの接続部分からインクが漏出するのを抑制することができる。
【0068】
また、フィルターユニット８０は、第１カバー６０の－Ｚ方向を向く面にシール部材７０を介して固定される。フィルターユニット８０の第１カバー６０への固定は、第１ネジ部材２０１によって行われる。具体的には、図６および図７に示すように、第１カバー６０には、－Ｚ方向を向く面に－Ｚ方向に向かって突出する第１固定部６２が設けられている。第１固定部６２の－Ｚ方向を向く面には、第１固定孔６３が開口して設けられている。第１固定孔６３は、第１カバー６０をＺ軸方向に貫通することなく、－Ｚ方向のみに開口して設けられている。
【0069】
一方、フィルターユニット８０の第３流路部材８３には、－Ｚ方向に向かって突出する第２固定部８３１が設けられている。第２固定部８３１は、第３流路部材８３からＺ軸方向に沿って設けられた第１部分８３１ａと、第１部分８３１ａの－Ｚ方向の先端からＸＹ平面に沿って設けられた第２部分８３１ｂと、を有する。第２部分８３１ｂには、Ｚ軸方向に亘って貫通する第２固定孔８３２が設けられている。第２固定孔８３２は、第１固定部６２よりも小さい面積で設けられており、第１固定部６２の－Ｚ方向の先端は、第２部分８３１ｂの＋Ｚ方向を向く面に当接する。第１ネジ部材２０１は、第２固定孔８３２に挿入され、先端が第１固定孔６３に螺合することで、第１固定部６２と第１ネジ部材２０１との間で第２固定部８３１の第２部分８３１ｂを挟み込む。これにより、フィルターユニット８０は、第１カバー６０に第１ネジ部材２０１によって締結される。
【0070】
第１ネジ部材２０１はタッピングネジからなる。タッピングネジとは、雌ネジがなくても自身のネジ山にあった溝を相手の部材に切り込み、締結できるネジのことであり、別称、タッピンネジまたはセルフタッピングスクリューとも言う。このように第１ネジ部材２０１としてタッピングネジを用いることで、第１固定孔６３の内周面に予めネジ溝を形成しておくことや、第１固定孔６３をＺ軸方向に貫通する貫通孔として、第１カバー６０の＋Ｚ方向を向く面側に第１固定孔６３を挿通した第１ネジ部材２０１に螺合するナット等を設ける必要がない。したがって第１ネジ部材２０１としてタッピングネジを用いることで、液体噴射ヘッド１の各部材の製造や組立工程を簡略化することができる。なお、タッピングネジは、比較的柔らかい部材に溝を切り込むことができるものであるため、第１カバー６０の少なくとも第１固定部６２は、熱可塑性樹脂で構成するのが好ましい。また、本実施形態では、第１固定孔６３は、第１カバー６０をＺ軸方向に貫通して設けられていないものとしたため、第１ネジ部材２０１が第１固定孔６３の内周面に溝を切り込んだ際に発生する切りくずが第１固定孔６３から第１カバー６０の＋Ｚ方向を向く面側に落ちるのを抑制することができる。
【0071】
シール部材７０は、フィルターユニット８０と第１カバー６０との間に配置される。シール部材７０は、フィルターユニット８０の供給流路１１０と流路部材４０の接続流路４１とを接続する継手として機能する。
【0072】
シール部材７０は、液体噴射ヘッド１に用いられるインクに対して耐インク性を有し、且つ弾性変形可能な材料を用いることができる。シール部材７０は、供給流路１１０毎に管状部分７１を有する。管状部分７１は、内部に連通流路７２が設けられている。そして、管状部分７１の連通流路７２を介してフィルターユニット８０の供給流路１１０と流路部材４０の接続流路４１とが連通される。具体的には、連通流路７２内に流路部材４０の第１突起部４２とフィルターユニット８０の第２突起部８６とが挿入されて、第１突起部４２および第２突起部８６と管状部分７１との間で径方向、つまりＺ軸に直交する方向に所定の圧力が付与された状態で保持される。このように供給流路１１０と連通流路７２とはシール部材７０にＺ軸方向に直交する方向に圧力が付与された状態で接続され、連通流路７２と接続流路４１とはシール部材７０にＺ軸方向に直交する方向に圧力が付与された状態で接続される。したがって、供給流路１１０と接続流路４１とは連通流路７２を介して液密な状態で連通される。
【0073】
なお、第１カバー６０には、流路部材４０の第１突起部４２およびシール部材７０の管状部分７１が挿入されるＺ軸方向に貫通した貫通孔６５が設けられている。貫通孔は、管状部分のそれぞれに対して独立して、合計８個設けられている。
【0074】
なお、本実施形態の管状部分７１は、１つのフィルターユニット８０に対して複数個が一体的になるように、フィルターユニット８０側で板状部分によって連結されている。また、液体噴射ヘッドにフィルターユニットが２個設けられているため、シール部材７０は合計２個設けられている。
【0075】
第２カバー９０は、第１カバーの－Ｚ方向を向く面に固定されて、第１カバー６０の－Ｚ方向の面の一部を覆うものである。
【0076】
第２カバー９０は、フィルターユニット８０を外部に露出するための開口部であるフィルターユニット露出部９１を有する。フィルターユニット露出部９１は、第２カバー９０をＺ軸方向に亘って貫通して設けられている。
【0077】
この第２カバー９０は、第１カバー６０に第２ネジ部材２０２によって固定されている。詳しくは、第２カバー９０にはＺ軸方向に貫通する第３固定孔９２が設けられている。また、第１カバー６０には、Ｚ軸方向に亘って貫通することなく－Ｚ方向を向く面のみに開口する第４固定孔６６が設けられている。第２ネジ部材２０２は、第３固定孔９２に挿入され、先端が第４固定孔６６に螺合することで、第１カバー６０と第２ネジ部材２０２との間で第２カバー９０を挟み込む。これにより、第２カバー９０は、第１カバー６０に第２ネジ部材２０２によって締結される。
【0078】
第２ネジ部材２０２はタッピングネジからなる。また、第２ネジ部材２０２として、第１ネジ部材２０１と同じ種類で同じサイズのタッピングネジを用いることで、種類やサイズの異なる複数のネジを用いる必要がなく、コストを低減することができる。また、第１ネジ部材２０１と第２ネジ部材２０２とを同じ種類で同じサイズのネジを用いることで、組み立て時にネジの取り間違えを抑制して、締結が不十分になる組み立て不良を抑制することができる。
【0079】
ここで、第１カバー６０と第１ホルダー部材２１との固定構造について説明する。図６に示すように、第１カバー６０は、第１ホルダー部材２１に４つの第３ネジ部材２０３によって固定されている。具体的には、第１ホルダー部材２１は、各第３ネジ部材２０３に対応して＋Ｚ方向に開口する凹部２１４を有する。凹部２１４の内部には、インサートナット１２０が収容されている。凹部２１４の＋Ｚ方向の底面には、第３ネジ部材２０３が挿通される第５固定孔２１５が設けられている。第５固定孔２１５は、インサートナット１２０よりも小さい面積を有し、凹部２１４内に収容されたインサートナット１２０は、凹部２１４の＋Ｚ方向を向く底面に当接することで＋Ｚ方向への移動が規制される。
【0080】
インサートナット１２０は、熱可塑性樹脂で形成されている。インサートナット１２０は、第６固定孔１２１を有する。第６固定孔１２１は、インサートナット１２０をＺ軸方向に貫通することなく、－Ｚ方向を向く面のみに開口して設けられている。
【0081】
流路部材４０には、第５固定孔２１５に連通する第７固定孔４４が設けられている。また、中継基板５０には、第７固定孔４４に連通する第８固定孔５４が設けられている。また、第１カバー６０には、第８固定孔５４に連通する第９固定孔６７が設けられている。これら第７固定孔４４、第８固定孔５４および第９固定孔６７は、それぞれの部材をＺ軸方向に亘って貫通して設けられている。
【0082】
第３ネジ部材２０３は、第９固定孔６７、第８固定孔５４、第７固定孔４４および第５固定孔２１５に挿入され、先端がインサートナット１２０の第６固定孔１２１に螺合することで、インサートナット１２０と第３ネジ部材２０３との間で、第１ホルダー部材２１、流路部材４０、中継基板５０および第１カバー６０を挟み込む。これにより、第１ホルダー部材２１と第１カバー６０とは締結される。
【0083】
第３ネジ部材２０３はタッピングネジからなる。本実施形態では、熱可塑性樹脂で形成されたインサートナット１２０を用いることで、第１ホルダー部材２１が熱硬化性樹脂で形成されていても、第３ネジ部材２０３としてタッピングネジを用いることができる。つまり、タッピングネジは比較的硬度が高い熱硬化性樹脂にネジ溝を切りながら螺合するのは困難である。このため、第１ホルダー部材２１が熱硬化性樹脂で形成されている場合、タッピングネジを直接、第１ホルダー部材２１に螺合させるのは困難である。本実施形態では、第１ホルダー部材２１が熱硬化性樹脂で構成されていても、熱可塑性樹脂で構成されるインサートナット１２０を用いることで、第３ネジ部材２０３としてタッピングネジを用いることができる。
【0084】
このように第３ネジ部材２０３としてタッピングネジを用いることで、第１ホルダー部材２１に雌ネジとなるネジ溝を形成しておくことや、第３ネジ部材２０３に螺合するナット等を設ける必要がない。したがって、第３ネジ部材２０３としてタッピングネジを用いることで、液体噴射ヘッド１の各部材の製造や組立工程を簡略化することができる。また、第３ネジ部材２０３として、第１ネジ部材２０１や第２ネジ部材２０２と同じ種類で同じサイズのネジを用いることで、種類やサイズの異なる複数のネジを用いる必要がなく、コストを低減することができる。また、第１ネジ部材２０１と第２ネジ部材２０２と第３ネジ部材２０３とを同じ種類で同じサイズのネジを用いることで、組み立て時にネジの取り間違えを抑制して、締結が不十分になる組み立て不良を抑制することができる。
【0085】
また、本実施形態では、第６固定孔１２１は、インサートナット１２０をＺ軸方向に貫通して設けられていないものとしたため、第３ネジ部材２０３が第６固定孔１２１の内周面に溝を切り込んだ際に発生する切りくずが第６固定孔１２１から第１ホルダー部材２１の＋Ｚ方向を向く面側に落ちるのを抑制することができる。したがって切りくずが媒体Ｓ側に落ちるのを抑制することができる。
【0086】
本実施形態の液体噴射ヘッド１では、第１ホルダー部材２１が「第１部材」に相当する。また、第２ホルダー部材２２が「第２部材」に相当する。また、第１流路１１が「ヘッドチップの流路」に相当し、第２流路２１２が「第１部材の流路」に相当する。また、第１接着剤１０１が、「第１接着剤」に相当し、第２接着剤１０２および第３接着剤１０３が「第２接着剤」に相当する。また、第１カバー６０が「第３部材」に相当する。また、フィルターユニット８０が「第３部材に積層される流路部材」に相当する。また、Ｚ軸方向が「積層方向」に相当する。
【0087】
【0088】
図１５に示すように、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間は大気開放している。
【0089】
具体的には、第１ホルダー部材２１には、Ｚ軸方向に亘って貫通する大気開放孔２１６が設けられている。大気開放孔２１６は、一端が第１ホルダー部材２１の保持部２１１の底面において、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間に開口し、他端が、第１ホルダー部材２１の－Ｚ方向を向く面に開口する。このため、第２接着剤１０２を常温で硬化させた後、第１接着剤１０１を加熱して硬化させた際に、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間内の気体を、大気開放孔２１６を介して外部に排出することができる。ちなみに、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間が閉空間の場合、この閉空間に保持された気体が加熱されることにより膨張し、第１接着剤１０１を第１流路１１および第２流路２１２側に向かって押し出すことや、第１流路１１および第２流路２１２と、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の閉空間と、の間に空気の通り道が形成されるなどの不具合が発生する虞がある。本実施形態では、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間を大気開放孔２１６によって大気開放することで、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間内の気体を、大気開放孔２１６を介して外部に排出することができ、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間内の空気が膨張するのを抑制することができる。したがって、第１接着剤１０１を第１流路１１および第２流路２１２の内側に向かって押し出すことや、第１流路１１および第２流路２１２と、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間の空間と、の間に空気の通り道が形成されるなどの不具合を抑制することができる。
【0090】
なお、図１５に示す例では、ヘッドチップ１０の－Ｚ方向を向く面に、第２流路２１２側で－Ｚ方向に突出する第１凸部１３と、第２接着剤１０２側で－Ｚ方向に突出する第２凸部１４と、が設けられている。第１凸部１３と第２凸部１４とは、第２流路２１２の開口の周囲に亘って連続して設けられている。また、大気開放孔２１６は、Ｚ軸方向に見て、第１凸部１３と第２凸部１４との間に開口する位置に設けられている。このため、第１凸部１３と第２凸部１４との間で、第１接着剤１０１を貯留することができ、第１接着剤１０１が第２流路２１２側に流出するのを抑制することができる。つまり、第１凸部１３と第２凸部１４との間は、第１接着剤１０１を溜める接着剤溜まりとなっている。また、第１ホルダー部材２１の＋Ｚ方向を向く面には、第１凸部１３と第２凸部１４との間で、且つ大気開放孔２１６よりも第１流路１１側において、＋Ｚ方向に突出する第３凸部２１７が設けられている。第３凸部２１７を設けることで、第１接着剤１０１が大気開放孔２１６内に入り込むのを抑制して、第１接着剤１０１が大気開放孔２１６を閉塞するのを抑制することができる。
【0091】
このように第１凸部１３と第２凸部１４と第３凸部２１７とを設けることで、第１接着剤１０１が第２流路２１２の内側に流出するのを抑制することができると共に、大気開放孔２１６が第１接着剤１０１によって閉塞するのを抑制して、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間を大気開放孔２１６によってより確実に大気開放することができる。
【0092】
また、図１６に示すように、第１凸部１３と第２凸部１４との間には、さらに－Ｚ方向を向く面に開口する溝部１５を設けるようにしてもよい。溝部１５は、第２流路２１２の周方向に亘って連続して設けるのが好ましい。また、溝部１５は、Ｚ軸方向に見て大気開放孔２１６に対向する位置に設けることが好ましい。このように溝部１５を設けることで、さらに溝部１５内に第１接着剤１０１を溜めることができ、第１接着剤１０１の第２流路２１２内への流れ出しや大気開放孔２１６が第１接着剤１０１によって閉塞するのを抑制することができる。
【0093】
また、図１７に示すように、ヘッドチップ１０の第２接着剤１０２の第２接着面１６を、第１接着剤１０１の第１接着面１７よりも＋Ｚ方向に高くするようにしてもよい。第２接着面１６を第１接着面１７よりも＋Ｚ方向に高くすることで、第１接着剤１０１が、大気開放孔２１６に入り込むのを抑制して、第１接着剤１０１が大気開放孔２１６を閉塞するのを抑制することができる。また、第１ホルダー部材２１には、大気開放孔２１６よりも外側、つまり、第１流路１１とは反対側で、＋Ｚ方向に向かって突出する第４凸部２１８が設けられている。第４凸部２１８設けることで、第２接着剤１０２が大気開放孔２１６内に入り込むのを抑制して、第２接着剤１０２が大気開放孔２１６を閉塞するのを抑制することができる。
【0094】
また、図１８に示すように、大気開放孔２１６と同様の接着剤導入孔２１６Ａから第１接着剤１０１を供給するようにしてもよい。つまり、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とを第２接着剤１０２によって接着した後、接着剤導入孔２１６Ａから第１接着剤１０１を導入し、加熱することで第１接着剤１０１を硬化させてもよい。また、このような構成では、第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とのＺ軸方向の間隔を、第１流路１１および第２流路２１２に開口する側が、第２接着剤１０２の設けられる部分よりも狭くする。第１ホルダー部材２１とヘッドチップ１０とのＺ軸方向の第１流路１１および第２流路２１２に開口する側の間隔は、第１接着剤１０１の表面張力で耐えられる寸法とする。これにより、接着剤導入孔２１６Ａから導入された第１接着剤１０１が、第１流路１１および第２流路２１２内に流れ込むのを抑制することができる。また、図１８に示す構成では、第２接着剤１０２を硬化した後から第１接着剤１０１を塗布するため、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間に隙間が生じ難い。これによっても、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２との間に空気が保持された閉空間を形成するのを抑制して、第１接着剤１０１の流路側への流れ込みを抑制することができる。
【0095】
（変形例２）
図１９は、一実施形態の液体噴射ヘッド１の変形例の第１ホルダー部材２１およびインサートナットの斜視図である。図２０は、図１９のＤ－Ｄ′線断面図である。図２１は、図１９のＥ－Ｅ′線断面図である。
図１９は、一実施形態の液体噴射ヘッド１の変形例の第１ホルダー部材２１およびインサートナットの斜視図である。図２０は、図１９のＤ－Ｄ′線断面図である。図２１は、図１９のＥ－Ｅ′線断面図である。
【0096】
図示するように、凹部２１４の内周面には、第１係合凹部２１４ａと第２係合凹部２１４ｂとを有する。すなわち、凹部２１４は、－Ｚ方向に見て円形状を基本として、半径方向に拡幅する第１係合凹部２１４ａと第２係合凹部２１４ｂとを有する。
【0097】
インサートナット１２０の外周面には、第１係合凹部２１４ａ内に挿入される第１係合凸部１２２と、第２係合凹部２１４ｂ内に挿入される第２係合凸部１２３と、を有する。つまり、インサートナット１２０は、－Ｚ方向に見て円形状を基本として、一部が半径方向に突出する第１係合凸部１２２と第２係合凸部１２３とを有する。
【0098】
インサートナット１２０の第１係合凸部１２２が第１係合凹部２１４ａの内面に当接すること、および、第２係合凸部１２３が第２係合凹部２１４ｂの内面に当接すること、によってインサートナット１２０は、Ｚ軸方向に沿った回転軸を中心に回転するのが規制される。つまり、第１係合凸部１２２が第１係合凹部２１４ａの内面に当接すること、および、第２係合凸部１２３が第２係合凹部２１４ｂの内面に当接すること、によって第３ネジ部材２０３をインサートナット１２０に螺合させる際に、インサートナット１２０が凹部２１４に対して第３ネジ部材２０３の回転方向に回転するのを規制する。なお、第３ネジ部材２０３をインサートナット１２０から取り外す際にもインサートナット１２０の回転が規制される。このため、第３ネジ部材２０３をインサートナット１２０に螺合させた際に、インサートナット１２０が第３ネジ部材２０３と一緒に共回りするのを抑制して、第３ネジ部材２０３による締結不良が発生するのを抑制することができる。
【0099】
本実施形態では、第１係合凹部２１４ａおよび第２係合凹部２１４ｂと、第１係合凸部１２２および第２係合凸部１２３と、の一方が「係合部」に相当し、他方が「被係合部」に相当する。また、第１係合凹部２１４ａおよび第２係合凹部２１４ｂをインサートナット１２０の外周面に設け、第１係合凸部１２２と第２係合凸部１２３とを凹部２１４の内周面に設けるようにしてもよい。また、第１係合凹部２１４ａと第２係合凹部２１４ｂとの一方を凹部２１４の内周面に設け、他方をインサートナット１２０の外周面に設けるようにしてもよい。これに合わせて、第１係合凸部１２２と第２係合凸部１２３との一方を凹部２１４の内周面に設け、他方をインサートナット１２０の外周面に設けるようにしてもよい。
【0100】
また、本実施形態では、インサートナット１２０を－Ｚ方向に見て、第２係合凸部１２３の基本とする円形状からの突出量は、第１係合凸部１２２の突出量よりも小さい。このため、第２係合凸部１２３の外周面と第２係合凹部２１４ｂの内周面との間には、隙間が形成されている。この隙間には第５接着剤１０５が配置されており、第５接着剤１０５によって第１ホルダー部材２１とインサートナット１２０とが固定されている。このようにインサートナット１２０を第１ホルダー部材２１に第５接着剤１０５によって固定することで、インサートナット１２０が凹部２１４から＋Ｚ方向に脱落するのを抑制することができる。特に、第３ネジ部材２０３は、インサートナット１２０に＋Ｚ方向に圧力を付与しながら螺合させるため、インサートナット１２０が第１ホルダー部材２１に固定されることで、インサートナット１２０が凹部２１４から＋Ｚ方向に脱落するのを抑制することができる。また、第３ネジ部材２０３をインサートナット１２０に螺合する前や、取り外した後にも、インサートナット１２０が凹部２１４から＋Ｚ方向に脱落するのを抑制することができ、組み立て性を向上することができる。なお、第４接着剤１０４としては、例えば、エポキシ系の接着剤が挙げられる。また、インサートナット１２０は、第１ホルダー部材２１と第１カバー６０とを締結する前に、予め第１ホルダー部材２１に接着しておく。
【0101】
なお、本実施形態では、第１係合凸部１２２および第１係合凹部２１４ａと、第２係合凸部１２３および第２係合凹部２１４ｂと、の２組を設けるようにしたが、何れか一方のみを設けるようにしてもよい。
【0102】
また、第２係合凸部１２３と第２係合凹部２１４ｂとを第４接着剤１０４で接着するようにしたが、特にこれに限定されず、－Ｚ方向に見て円形状の凹部２１４の内周面と、円形状のインサートナット１２０の外周面とを第４接着剤１０４で接着するようにしてもよい。
【0103】
なお、変形例２の液体噴射ヘッド１では、第４接着剤１０４が「凹部の内周面とインサートナットの外周面との少なくとも一部に形成された隙間に配置された接着剤」に相当する。また、第１係合凸部１２２および第２係合凸部１２３が「係合部」に相当し、第１係合凹部２１４ａおよび第２係合凹部２１４ｂが「被係合部」に相当する。
【0104】
（変形例３）
図２２は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の変形例３を示す断面図である。
図２２は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の変形例３を示す断面図である。
【0105】
図２２に示すように、ホルダー２０は、第１ホルダー部材２１と第２ホルダー部材２２とを有する。第１ホルダー部材２１は、ホルダー本体２３と、ホルダー流路部材２４と、を具備する。
【0106】
ホルダー流路部材２４は、一実施形態に係る第１ホルダー部材２１の第２流路２１２が形成された部分を構成する。つまり、ホルダー流路部材２４は、内部に第２流路２１２が設けられた環状の流路部２４１を有する。流路部２４１は、第２流路２１２毎に設けられている。また、複数の流路部２４１は、板状の連結部２４２によって連結されている。
【0107】
ホルダー本体２３は、一実施形態に係る第１ホルダー部材２１のヘッドチップ１０を収容する保持部２１１が形成された部分を構成する。また、ホルダー本体２３には、ホルダー流路部材２４の流路部２４１が挿入される流路部保持孔２３１が設けられている。流路部保持孔２３１は、ホルダー本体２３をＺ軸方向に貫通し、一端が保持部２１１の底面に開口し、他端がホルダー本体２３の－Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。このような流路部保持孔２３１にホルダー流路部材２４の流路部２４１が挿入されて固定されることで、第１ホルダー部材２１が構成されている。ホルダー流路部材２４とホルダー本体２３との固定は、例えば、不図示の接着剤によって行われる。
【0108】
また、ホルダー流路部材２４の流路部２４１の＋Ｚ方向の先端面は、保持部２１１内に露出されており、流路部２４１の先端面が、保持部２１１内でヘッドチップ１０と第１接着剤１０１および第２接着剤１０２によって接着されている。なお、第１接着剤１０１は、ヘッドチップ１０と流路部２４１およびホルダー本体２３とを接着し、第２接着剤１０２は、ヘッドチップ１０とホルダー本体２３とを接着するようにしてもよい。
【0109】
なお、第１ホルダー部材２１には、一実施形態と同様に、第１配線挿通孔２１３、凹部２１４、第５固定孔２１５、大気開放孔２１６、第３凸部２１７、第４凸部２１８等が形成されている。
【0110】
ホルダー本体２３は、熱硬化性樹脂で構成されている。このため、ホルダー本体２３の線膨張係数を小さくすると共に、ヘッドチップ１０を構成する材料との線膨張係数の差を小さくして、熱膨張による反りの発生を抑制することができる。また、ホルダー流路部材２４は、熱可塑性樹脂で構成されている。このように第２流路２１２が形成されたホルダー流路部材２４を熱可塑性樹脂とすることで、吸湿による膨潤を抑制することができる。また、ホルダー流路部材２４は、流路を形成するために複雑な形状を有するため、熱硬化性樹脂よりも成型時の充填性がよい熱可塑性樹脂で形成することが好ましい。また、熱硬化性樹脂はフィラーを多く含むため、ホルダー流路部材２４を熱硬化性樹脂とした場合、ホルダー流路部材２４内の流路にフィラーが異物として発生しやすい。その点でも、ホルダー流路部材２４を熱可塑性樹脂で形成することが好ましい。
【0111】
【0112】
図２３に示すように、不図示のヘッドチップ１０は、第１接着剤１０１と第２接着剤１０２とによって第１ホルダー部材２１に接着されている。
【0113】
第１接着剤１０１は、保持部２１１の＋Ｚ方向を向く底面において、第２流路２１２の周囲に亘って連続して設けられている。
【0114】
第２接着剤１０２は、保持部２１１の外周に沿って周方向に亘って連続して設けられた外周部１０２ａと、第１配線挿通孔２１３の間にＸ軸方向に沿って延設された第１補強部１０２ｂと、を有する。
【0115】
このような構成であっても、第２接着剤１０２は、Ｚ軸方向に見て、第１接着剤１０１を囲むようにして配置されていることに含まれる。
【0116】
また、図２４に示すように、第２接着剤１０２は、外周部１０２ａおよび第１補強部１０２ｂに加えて、第１接着剤１０１の周囲に点在して設けられる第２補強部１０２ｃを有する。このように第２補強部１０２ｃを設けることで、第１接着剤１０１を硬化させるために加熱することで膨張しても、接着面にずれが生じるのを抑制して、常温に戻した際のヘッドチップ１０や固定板３０の反りを抑制することができる。
【0117】
（変形例５）
前述の実施形態では、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しい熱硬化性樹脂で形成していたが、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼やセラミックスで形成しても構わない。このような構成であっても、前述の実施形態と同様の効果を奏することができる。なお、第１ホルダー部材２１及び第２ホルダー部材２２を一体としてホルダー２０を、固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼又はセラミックスで形成することも考えられるが、ステンレス鋼やセラミックスは、樹脂材料よりも重く且つコストも高いため、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼やセラミックスで形成し、第２ホルダー部材２２を熱可塑性樹脂で形成することが好ましい。
前述の実施形態では、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しい熱硬化性樹脂で形成していたが、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼やセラミックスで形成しても構わない。このような構成であっても、前述の実施形態と同様の効果を奏することができる。なお、第１ホルダー部材２１及び第２ホルダー部材２２を一体としてホルダー２０を、固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼又はセラミックスで形成することも考えられるが、ステンレス鋼やセラミックスは、樹脂材料よりも重く且つコストも高いため、第１ホルダー部材２１を固定板３０と線膨張係数が略等しいステンレス鋼やセラミックスで形成し、第２ホルダー部材２２を熱可塑性樹脂で形成することが好ましい。
【0118】
（他の変形例）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【0119】
また、上述した各実施形態および変形例では、インサートナット１２０として、熱可塑性樹脂で構成されるインサートナット１２０を用いたが、特にこれに限定されず、インサートナット１２０は、第６固定孔１２１の内周面にネジ溝が予め設けられた金属材料で構成されるものであってもよい。つまり、第３ネジ部材２０３は、インサートナット１２０のネジ溝に螺合する通常のネジであってもよい。
【0120】
もちろん、他の第１ネジ部材２０１および第２ネジ部材２０２は、タッピングネジに限定されず、通常のネジ溝が切られた雌ネジに螺合する通常のネジであってもよい。また、第１ネジ部材２０１および第２ネジ部材２０２が螺合する相手が熱可塑性樹脂で構成される場合には、第３ネジ部材２０３と同様に熱可塑性樹脂または金属材料で構成されるインサートナット１２０等を設けるようにすればよい。
【0121】
また、上述した各実施形態および変形例では、第１ネジ部材２０１は、第１カバー６０に螺合するようにしたが、特にこれに限定されず、第１ネジ部材２０１が螺合する部材は、他の部材であってもよい。第２ネジ部材２０２においても同様に、第１カバー６０以外の部材に螺合するようにしてもよい。さらに、第３ネジ部材２０３は、ヘッドチップ１０と第１カバー６０とを締結するものであるが、ヘッドチップ１０と第１カバー６０以外の部材とを締結するものであってもよい。
【0122】
（他の実施形態）
上述した一実施形態の液体噴射ヘッド１は、インクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置に搭載される。図２５は、液体噴射装置Ｉの一例を示す概略図である。
上述した一実施形態の液体噴射ヘッド１は、インクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置に搭載される。図２５は、液体噴射装置Ｉの一例を示す概略図である。
【0123】
図２５に示す液体噴射装置Ｉは、液体噴射ヘッド１と、液体貯留部３と、制御部４と、媒体Ｓを送り出す搬送機構５と、移動機構６と、を具備する。
【0124】
液体噴射ヘッド１は、液体貯留部３から供給されるインクを複数のノズルＮから媒体Ｓに噴射する。
【0125】
液体貯留部３は、液体噴射ヘッド１から噴射される複数種類、例えば、複数色のインクを個別に貯留する。液体貯留部３としては、例えば、液体噴射装置Ｉに着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。
【0126】
制御部４は、特に図示していないが、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御部４は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置Ｉの各要素、すなわち、液体噴射ヘッド１、搬送機構５、移動機構６等を統括的に制御する。
【0127】
搬送機構５は、媒体ＳをＸ方向に搬送するものであり、搬送ローラー５ａを有する。すなわち搬送機構５は、搬送ローラー５ａが回転することで媒体ＳをＸ軸方向に搬送する。なお媒体Ｓを搬送する搬送機構５は、搬送ローラー５ａを備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。
【0128】
移動機構６は、液体噴射ヘッド１をＹ軸方向に沿って往復させるための機構であり、搬送体７と搬送ベルト８とを具備する。搬送体７は、液体噴射ヘッド１を収容する略箱形の構造体、いわゆるキャリッジであり、搬送ベルト８に固定される。搬送ベルト８は、Ｙ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御部４による制御のもとで搬送ベルト８が回転することで液体噴射ヘッド１が搬送体７と共にＹ軸方向に往復移動する。なお搬送体７は、液体噴射ヘッド１と共に液体貯留部３を搭載する構成であってもよい。
【0129】
液体噴射ヘッド１は、制御部４による制御のもとで、液体貯留部３から供給されたインクを複数のノズルＮのそれぞれからインク滴として＋Ｚ方向に噴射する噴射動作を実行する。この液体噴射ヘッド１による噴射動作が、搬送機構５による媒体Ｓの搬送や移動機構６による液体噴射ヘッド１の往復移動と並行して行われることにより、媒体Ｓの表面にインクによる画像が形成される、いわゆる印刷が行われる。
【0130】
なお、上述した液体噴射装置Ｉでは、液体噴射ヘッド１が搬送体７に搭載されて主走査方向であるＹ軸方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されない。例えば、液体噴射ヘッド１が移動しないように固定して、媒体Ｓを搬送方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂、ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【0131】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【0132】
（付記）
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。
【0133】
好適な態様である態様１に係る液体噴射ヘッドは、複数の部材を積層方向に積層することで構成された液体噴射ヘッドであって、液体を噴射する複数のヘッドチップと、前記複数のヘッドチップが固定され、前記複数のヘッドチップの夫々を露出する複数の露出開口部を有する固定板と、前記固定板との間で前記複数のヘッドチップを保持するホルダーと、を備え、前記ホルダーは、前記複数のヘッドチップ内の流路と連通する流路を有する第１部材と、前記積層方向に見て前記第１部材の外形よりも大きい第２部材と、を有し、前記第１部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成されており、前記第２部材は、線膨張係数が前記固定板の線膨張係数よりも高い熱可塑性樹脂で構成されている。
【0134】
これにより、第１部材を固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成することで、接着剤を硬化させるために加熱した際の液体噴射ヘッドに反りが発生するのを抑制することができる。また、液体噴射ヘッドを加熱しても反りの発生を抑制することができるため、ヘッドチップと第１部材との流路接続部分の接着剤として、加熱することで硬化する熱硬化型の接着剤を使用することができ、流路接続部分の接着剤の耐液性が低下するのを抑制することができる。また、印刷時の熱によって液体噴射ヘッドが加熱された際にも、第１部材を固定板の線膨張係数と略等しい熱硬化性樹脂で構成することで、反りの発生を抑制して、液滴の媒体への着弾位置ズレを抑制することができる。
【0135】
また、熱硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂に比べて吸湿による膨潤が生じ易いため、第１部材に比べて大きい第２部材を熱可塑性樹脂で構成することで、大きな第２部材の膨潤を抑止して、膨潤による各ヘッドチップ間のノズルの相対的な位置決め精度や、ホルダーに対するノズルの位置決め精度が低下するのを抑制することができる。
【0136】
態様１の具体例である態様２において、前記ヘッドチップの前記流路と前記第１部材の前記流路とは、熱硬化型の接着剤である第１接着剤によって液密に接続される。これによれば、耐液体性を備える熱硬化型の接着剤である第１接着剤を用いて、流路の接続部分を液密に接着することで、第１接着剤の耐久性を向上し、接着強度の低下や液体の漏出などを抑制することができる。
【0137】
態様２の具体例である態様３において、前記積層方向に見て前記第１接着剤を囲むようにして配置された、常温硬化型の接着剤である第２接着剤を備え、前記第２接着剤は、前記固定板と前記第１部材とを接着する。これによれば、第１部材とヘッドチップとを常温硬化型の接着剤である第２接着剤によって接着することで、第１接着剤を硬化させるために加熱しても接着面の位置ズレが生じ難く、常温に戻した際の液体噴射ヘッドの反りを抑制することができる。また、固定板と第１部材とを常温型の接着剤である第２接着剤で接着することで、第１接着剤を硬化させるために加熱しても、固定板と第１部材との接着面にズレが生じ難く、常温に戻した際に固定板の反りを抑制することができる。このため、固定板の反りによるノズル面の位置ズレを抑制して、液滴の媒体への着弾位置ズレを抑制することができる。
【0138】
態様３の具体例である態様４において、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間の隙間は、大気に連通している。これによれば、第１接着剤を硬化させるために加熱した際に、第１接着剤と第２接着剤との間の隙間の空気が加熱されることで膨張し、膨張した空気によって第１接着剤を流路側に押し込むのを抑制することができる。
【0139】
態様１の具体例である態様５において、前記第１部材に締結される第３部材と、熱可塑性樹脂で形成されたインサートナットと、を更に備え、前記第１部材は、前記インサートナットを収容するための凹部を有し、前記凹部に収容された前記インサートナットと前記第３部材との間に前記第１部材を挟んだ状態でタッピングネジを前記インサートナットに螺合させることで、前記第１部材と前記第３部材とが固定される。これによれば、第１部材を熱硬化性樹脂で構成しても、熱可塑性樹脂で形成されたインサートナットを用いることで、第３部材と第１部材とをタッピングネジで締結することができる。
【0140】
態様５の具体例である態様６において、前記積層方向に見て、前記凹部の内周面と前記インサートナットの外周面との少なくとも一部に形成された隙間に配置された接着剤によって、前記第１部材と前記インサートナットとが固定される。これによれば、タッピングネジをインサートナットに螺合させる際に、凹部からインサートナットが脱落するのを抑制することができる。
【0141】
態様５の具体例である態様７において、前記インサートナットの外周面および前記第１部材の前記凹部の内周面の一方には、係合部が設けられ、前記インサートナットの外周面および前記第１部材の前記凹部の内周面の他方には、前記係合部と係合することによって前記積層方向に沿う回転軸を中心に前記インサートナットが前記凹部に対して回転するのを規制する被係合部が設けられる。これによれば、タッピングネジをインサートナットに螺合させる際に、インサートナットがタッピングネジと共に供回りするのを抑制して、確実に締結することができる。
【0142】
態様５の具体例である態様８において、前記第３部材に積層される流路部材を更に備え、前記第３部材と前記第１部材とを固定する前記タッピングネジと同じ種類のタッピングネジを前記第３部材のネジ孔に螺合させることで、前記第３部材と前記流路部材とが固定される。これによれば、ネジを共通化することでコストを低減することができる。また、ネジの取り間違いによる締結不良を抑制することができる。
【0143】
好適な態様である態様９に係る液体噴射装置は、態様１～８の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備する。液体の媒体への着弾位置ズレを抑制した液体噴射装置を実現できる。
【符号の説明】
【0144】
Ｉ…液体噴射装置、１…液体噴射ヘッド、３…液体貯留部、４…制御部、５…搬送機構、５ａ…搬送ローラー、６…移動機構、７…搬送体、８…搬送ベルト、１０…ヘッドチップ、１１…第１流路、１２…配線基板、１３…第１凸部、１４…第２凸部、１５…溝部、１６…第２接着面、１７…第１接着面、２０…ホルダー、２１…第１ホルダー部材、２１１…保持部、２１２…第２流路、２１３…第１配線挿通孔、２１４…凹部、２１４ａ…第１係合凹部、２１４ｂ…第２係合凹部、２１５…第５固定孔、２１６…大気開放孔、２１６Ａ…接着剤導入孔、２１７…第３凸部、２１８…第４凸部、２２…第２ホルダー部材、２２１…開口部、２３…ホルダー本体、２３１…流路部保持孔、２４…ホルダー流路部材、２４１…流路部、２４２…連結部、３０…固定板、３１…露出開口部、４０…流路部材、４１…接続流路、４２…第１突起部、４３…第２配線挿通孔、４４…第７固定孔、５０…中継基板、５１…第３配線挿通孔、５２…第１突起部挿通孔、５３…コネクター、５４…第８固定孔、６０…第１カバー、６１…配線接続口、６２…第１固定部、６３…第１固定孔、６５…貫通孔、６６…第４固定孔、６７…第９固定孔、７０…シール部材、７１…管状部分、７２…連通流路、８０…フィルターユニット、８１…第１流路部材、８２…第２流路部材、８３…第３流路部材、８３１…第２固定部、８３１ａ…第１部分、８３１ｂ…第２部分、８３２…第２固定孔、８４…接続部、８５…フィルター、８６…第２突起部、９０…第２カバー、９１…フィルターユニット露出部、９２…第３固定孔、１０１…第１接着剤、１０２…第２接着剤、１０２ａ…外周部、１０２ｂ…第１補強部、１０２ｃ…第２補強部、１０３…第３接着剤、１０４…第４接着剤、１０５…第５接着剤、１１０…供給流路、１１１…第１供給流路、１１１ａ…第１液体溜まり部、１１２…第２供給流路、１１２ａ…第２液体溜まり部、１１３…第３供給流路、１２０…インサートナット、１２１…第６固定孔、１２２…第１係合凸部、１２３…第２係合凸部、２０１…第１ネジ部材、２０２…第２ネジ部材、２０３…第３ネジ部材、Ｎ…ノズル、ＮＳ…ノズル面、Ｓ…媒体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
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【図7】
【図8】
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【図24】
【図25】