特開 2024-65001 表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024065001

(43)【公開日】2024-05-14

(54)【発明の名称】表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/89 20060101AFI20240507BHJP

【ＦＩ】

G01N21/89 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023139178

(22)【出願日】2023-08-29

(31)【優先権主張番号】P 2022173407

(32)【優先日】2022-10-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】上田 昌伸

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA32

2G051AB02

2G051AC15

2G051BA01

2G051BA20

2G051BB07

2G051CA03

2G051CA04

2G051DA06

2G051EA08

(57)【要約】

【課題】より高い精度で検査対象の表面状態を検査することを容易にした表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置を提供する。
【解決手段】表面状態の検査方法は、照明部から出射される照明光Ｌ１を検査対象の表面に照射する照射工程を備える。表面状態の検査方法は、照明光Ｌ１の照射された表面に基づいて表面状態を検査する。照明光Ｌ１は、手順１及び手順２により取得された光強度データ曲線における微分値の絶対値が、１．５／ｍｍ以下の範囲内であるグラデーションライン部ＧＬを含む。手順１では、照明光Ｌ１により照射された検査対象のサンプルの撮像データを取得する。手順２では、撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

照明部から出射される照明光を検査対象の表面に照射する照射工程を備え、前記照明光の照射された前記表面に基づいて表面状態を検査する表面状態の検査方法であって、
前記照明光は、下記の手順１及び手順２：
（手順１）前記照明光により照射された前記検査対象のサンプルの撮像データを取得する
（手順２）前記撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する
により取得された前記光強度データ曲線における微分値の絶対値が、１．５／ｍｍ以下の範囲内であるグラデーションライン部を含む、表面状態の検査方法。

【請求項2】

前記照明部は、所定の方向に沿って配列される複数の光源と、前記複数の光源と前記検査対象との間に配置される光拡散部材とを備える、請求項１に記載の表面状態の検査方法。

【請求項3】

前記複数の光源の間隔は、１０ｍｍ以下である、請求項２に記載の表面状態の検査方法。

【請求項4】

前記照射工程における前記照明光の照度は、５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内である、請求項１に記載の表面状態の検査方法。

【請求項5】

前記照射工程では、前記グラデーションライン部に沿って前記照明部と前記検査対象とを相対移動させる、請求項１に記載の表面状態の検査方法。

【請求項6】

前記手順１では、前記照明部の消灯時の照度が５００ルクス以下の環境下、前記照明部からの距離が５０ｃｍとなる前記検査対象のサンプルの位置における照度を５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内に設定する、請求項１に記載の表面状態の検査方法。

【請求項7】

検査対象の表面に照明光を照射する照明部を備える表面状態の検査装置であって、
前記照明光は、下記の手順１及び手順２：
（手順１）前記照明光により照射された前記検査対象のサンプルの撮像データを取得する
（手順２）前記撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する
により取得された前記光強度データ曲線における微分値の絶対値が、１．５／ｍｍ以下の範囲内であるグラデーションライン部を含む、表面状態の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載されるように、透明板状体を検査する方法として、ストライプパターンの照明光を透明板状体に照射し、その反射像より透明板状体の形状を評価する方法が知られている。また、特許文献２に記載されるように、複数種のストライプパターンを用いて測定対象表面の面歪を測定する装置が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－３４５３８３号公報

【特許文献2】特開２００７－１４７５８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のように、従来のストライプパターンを用いた検査対象の表面状態の検査では、例えば、ストライプパターンの明暗の境界を跨ぐ位置に検査対象の欠陥が存在することで、その欠陥を検出することが可能となる。しかしながら、検査対象が比較的微細な欠陥を有する場合、その欠陥がストライプパターンと重なることで検出できないおそれがあった。このように検査対象に存在する比較的微細な欠陥を検出する等、より高い精度で検査対象の表面状態を検査するという観点で未だ改善の余地がある。

【0005】

本発明の目的は、より高い精度で検査対象の表面状態を検査することを容易にした表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置の各態様について説明する。
態様１の表面状態の検査方法は、照明部から出射される照明光を検査対象の表面に照射する照射工程を備え、前記照明光の照射された前記表面に基づいて表面状態を検査する表面状態の検査方法であって、前記照明光は、下記の手順１及び手順２により取得された前記光強度データ曲線における微分値の絶対値が、１．５／ｍｍ以下の範囲内であるグラデーションライン部を含む。手順１では、前記照明光により照射された前記検査対象のサンプルの撮像データを取得する。手順２では、前記撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する。この方法によれば、上記のグラデーションライン部を利用して検査対象の表面状態を検査することで、例えば、より微細な欠陥を検出する精度を高めることができる。

【0007】

態様２の表面状態の検査方法では、態様１において、前記照明部は、所定の方向に沿って配列される複数の光源と、前記複数の光源と前記検査対象との間に配置される光拡散部材とを備えてもよい。この方法によれば、より広い範囲にわたる照明光を用いて検査対象の表面を効率的に検査することが可能となる。

【0008】

態様３の表面状態の検査方法では、態様２において、前記複数の光源の間隔は、１０ｍｍ以下であってもよい。この方法によれば、隣り合う光源の間の光量を確保することが容易となる。

【0009】

態様４の表面状態の検査方法では、態様１から態様３のいずれか一つの態様において、前記照射工程における前記照明光の照度は、５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内であってもよい。この方法によれば、例えば、撮像装置を用いた欠陥の検出や目視による欠陥の検出を容易に行うことが可能となる。

【0010】

態様５の表面状態の検査方法は、態様１から態様４のいずれか一つの態様において、前記照射工程では、前記グラデーションライン部に沿って前記照明部と前記検査対象とを相対移動させてもよい。この方法によれば、検査対象の表面を、より広い範囲にわたって容易に検査することが可能となる。

【0011】

態様６の表面状態の検査方法は、態様１から態様５のいずれか一つの態様において、前記手順１では、前記照明部の消灯時の照度が５００ルクス以下の環境下、前記照明部からの距離が５０ｃｍとなる前記検査対象のサンプルの位置における照度を５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内に設定してもよい。

【0012】

態様７の表面状態の検査装置は、検査対象の表面に照明光を照射する照明部を備える表面状態の検査装置であって、前記照明光は、下記の手順１及び手順２により取得された前記光強度データ曲線における微分値の絶対値が、１．５／ｍｍ以下の範囲内であるグラデーションライン部を含む。手順１では、前記照明光により照射された前記検査対象のサンプルの撮像データを取得する。手順２では、前記撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する。

【発明の効果】

【0013】

本発明は、より高い精度で検査対象の表面状態を検査することが容易となる効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、実施形態における表面状態の検査装置を示す模式図である。

【図2】図２は、照明光のグラデーションライン部を説明する説明図である。

【図3】図３は、照明光のグラデーションライン部及び従来のストライプパターンにおける位置と光強度との関係を示すグラフである。

【図4】図４は、照明光のグラデーションライン部及び従来のストライプパターンにおける位置と光強度の微分値の絶対値との関係を示すグラフである。

【図5】図５は、表面状態の検査方法の一例を示す模式図である。

【図6】図６（ａ），図６（ｃ）は、試験例１，２の表面画像であり、図６（ｂ），図６（ｄ）は、試験例１，２の表面画像の位置と光強度との関係を示すグラフである。

【図7】図７（ａ），図７（ｃ）は、試験例３，４の表面画像であり、図７（ｂ），図７（ｄ）は、試験例３，４の表面画像の位置と光強度との関係を示すグラフである。

【図8】図８（ａ），図８（ｃ）は、試験例５，６の表面画像であり、図８（ｂ），図８（ｄ）は、試験例５，６の表面画像の位置と光強度との関係を示すグラフである。

【図9】図９（ａ），図９（ｃ）は、試験例７，８の表面画像であり、図９（ｂ），図９（ｄ）は、試験例７，８の表面画像の位置と光強度との関係を示すグラフである。

【図10】図１０は、変更例における表面状態の検査装置を示す模式図である。

【図11】図１１は、レンズ部材を示す斜視図である。

【図12】図１２は、照明部から照射される照明光を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、表面状態の検査方法及び表面状態の検査装置の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

【0016】

＜表面状態の検査装置＞
図１に示すように、表面状態の検査装置１１は、照明部１２と、撮像装置１３、コンピュータ１４とを備えている。照明部１２は、検査対象Ｗの表面Ｗａに照明光Ｌ１を照射する。撮像装置１３は、照明光Ｌ１が照射された検査対象Ｗの表面Ｗａを撮像する。表面状態の検査装置１１は、図示を省略した支持台を備えている。検査対象Ｗは、支持台上の所定の位置に配置される。

【0017】

（照明部１２）
図２に示すように、表面状態の検査装置１１における照明部１２から出射される照明光Ｌ１は、グラデーションライン部ＧＬを含む。グラデーションライン部ＧＬは、光強度データ曲線に基づいて定義することができる。光強度データ曲線は、下記手順１及び手順２により取得することができる。

【0018】

（手順１）照明光Ｌ１により照射された検査対象Ｗのサンプルの撮像データを取得する。
（手順２）手順１で得られた撮像データから少なくとも一つの直線上の位置と光強度との関係を最大の光強度が１となるよう補正した光強度データ曲線を取得する。

【0019】

詳述すると、上記手順１では、まず、検査対象Ｗのサンプルを準備する。この検査対象Ｗのサンプルは、表面状態が正常と認められるものである。手順１の照明光Ｌ１の照度等の条件は、手順２で最大の光強度を１に補正するため、特に限定されない。手順１では、例えば、照明部１２の消灯時の照度が５００ルクス以下の環境下、照明部１２からの距離が５０ｃｍとなる検査対象Ｗのサンプルの位置における照度を５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内に設定することが好ましい。

【0020】

図３には、グラデーションライン部ＧＬの光強度データ曲線を実線で示している。また、図３には、従来のストライプパターンの線幅方向に沿った光強度データ曲線を破線で示している。

【0021】

図４には、グラデーションライン部ＧＬの光強度データ曲線における微分値の絶対値を黒丸でプロットしている。また、図４には、従来のストライプパターンの光強度データ曲線における微分値の絶対値を白抜き四角でプロットしている。

【0022】

グラデーションライン部ＧＬにおいて、光強度データ曲線における微分値の絶対値は、１．５／ｍｍ以下の範囲内である。この光強度データ曲線における微分値の絶対値は、１．３／ｍｍ以下の範囲内であることがより好ましく、さらに好ましくは、１．２／ｍｍ以下の範囲内である。なお、微分値は、例えば、表面状態の検査で検出したい欠陥の外形寸法をＤ［ｍｍ］とした場合、Ｄの１／３の微小範囲での光強度変化量とすることができる。

【0023】

グラデーションライン部ＧＬにおいて、光強度データ曲線における微分値の絶対値は、０．３／ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは、０．４／ｍｍ以上である。この場合、検査対象Ｗの表面状態の検査精度をより高めることが可能となる。

【0024】

ここで、表面状態の検査で検出したい欠陥の外形寸法をＤ［ｍｍ］とした場合、グラデーションライン部ＧＬは、例えば、次のように設定することができる。図３に示す光強度データ曲線において、光強度の下限を０．１とし、光強度の上限を０．９とした場合の距離をΔＸ［ｍｍ］とする。このΔＸは、“３Ｄ≦ΔＸ≦５Ｄ”の関係を満たすことが好ましい。ここで、欠陥の外形寸法であるＤ［ｍｍ］は、例えば、０．１以上、０．５以下の範囲内である。この場合、上記ΔＸ［ｍｍ］は、０．３以上、２．５以下の範囲内となる。

【0025】

グラデーションライン部ＧＬの長さ寸法（図２及び図５に示すＹ方向に沿った方向の寸法）は、図３に示すように、光強度データ曲線において、光強度が０．１以上となる長さ寸法Ｄ１で規定することができる。

【0026】

グラデーションライン部ＧＬの長さ寸法Ｄ１は、３ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは、５ｍｍ以上である。この場合、光強度データ曲線における微分値の絶対値をより小さく設定することが可能となる。グラデーションライン部ＧＬの長さ寸法Ｄ１の上限は、特に限定されないが、例えば、２０ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは、１５ｍｍ以下である。

【0027】

グラデーションライン部ＧＬは、グラデーションライン部ＧＬの長さ方向と直交する幅方向（図２及び図５に示すＹ方向に沿った方向）に沿って所定の範囲を形成している。すなわち、図２に示すように、照明光Ｌ１は、平行となるいずれの直線上においても上記グラデーションライン部ＧＬの条件を満たす有効範囲Ｒを有している。上記幅方向において、上記グラデーションライン部ＧＬの条件を満たす有効範囲Ｒは、５ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは、１０ｍｍ以上である。

【0028】

図１に示すように、照明部１２は、光源１２ａと、光源１２ａと検査対象Ｗとの間に配置される光拡散部材１２ｂとを備えている。光源１２ａとしては、例えば、点光源、面光源、ライン光源等が挙げられる。光源１２ａは、ＬＥＤ光源であることが好ましい。光源１２ａの数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。照明部１２は、所定の方向（図２及び図５に示すＹ方向）に沿って配列される複数の光源１２ａを備えることが好ましい。複数の光源１２ａの間隔は、１０ｍｍ以下であることが好ましい。

【0029】

光拡散部材１２ｂは、光源１２ａから出射される光を拡散する。光拡散部材１２ｂとしては、例えば、光拡散シート等が挙げられる。光拡散シートは、例えば、光透過性樹脂と、光拡散粒子とを含有する。また、光拡散部材１２ｂは、光透過性の基材に塗装、凹凸加工等の表面処理を施したカバー部材であってもよい。

【0030】

（撮像装置１３及びコンピュータ１４）
表面状態の検査装置１１における撮像装置１３としては、例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子を備えたカメラを用いることができる。コンピュータ１４は、コンピュータ本体１４ａと、ディスプレイ１４ｂとを備えている。コンピュータ本体１４ａは、例えば、画像処理部と、情報記憶部と、判定部とを備えている。画像処理部では、例えば、撮像装置１３で撮像された検査対象Ｗの画像に対して二値化処理や輝度の補正処理等の画像処理を必要に応じて行うようにすることができる。情報記憶部には、正常な検査対象Ｗのデータ（例えば、光強度データ曲線）や、輝度値等の閾値を予め記憶させることができる。判定部は、例えば、情報記憶部に記憶したデータに基づいて検査対象Ｗの欠陥の有無を判定する。判定部は、深層学習（ディープラーニング）による学習で構築された学習モデルを用いて、検査対象Ｗの欠陥の有無を判定するように構成することもできる。学習モデルは、例えば、ニューラルネットワークモデル等の人工知能（ＡＩ）モデルが挙げられる。コンピュータ本体１４ａは、図示を省略したプロセッサ、メモリ、ソフトウェア等により構成することができる。

【0031】

＜表面状態の検査方法＞
表面状態の検査方法は、照明部１２から出射される照明光Ｌ１を検査対象Ｗの表面Ｗａに照射する照射工程を備えている。表面状態の検査方法は、照明光Ｌ１の照射された検査対象Ｗの表面Ｗａに基づいて表面状態を検査する。

【0032】

検査対象Ｗの基材としては、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等が挙げられる。検査対象Ｗの表面Ｗａは、平坦面であってもよいし、曲面であってもよい。検査対象Ｗの表面Ｗａは、基材により形成されていてもよいし、基材に積層された機能性膜により形成されていてもよい。

【0033】

照射工程における照明光Ｌ１の照度は、例えば、５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内であることが好ましい。この照度は、検査対象Ｗの位置で測定した照度である。例えば、照明部１２からの距離が５０ｃｍとなる位置に検査対象Ｗの表面Ｗａを配置する場合、照明部１２からの距離が５０ｃｍの位置における照度をいう。

【0034】

図５に示すように、本実施形態の照射工程では、グラデーションライン部ＧＬに沿って照明部１２と検査対象Ｗとを相対移動させる。例えば、図５に白抜き矢印で示すように、照明部１２を検査対象Ｗの表面Ｗａに沿って移動させる。これにより、検査対象Ｗの表面Ｗａにおいて、より広い範囲にわたって欠陥を検出することが可能となる。例えば、図５の検査対象Ｗの表面Ｗａにおいて、破線で囲まれる範囲ＤＡに欠陥が存在する場合、照明部１２を検査対象Ｗの表面Ｗａに沿って移動させることで、これらの欠陥を容易に検出することが可能となる。なお、照射工程では、グラデーションライン部ＧＬに沿って検査対象Ｗを移動させてもよいし、グラデーションライン部ＧＬに沿って照明部１２と検査対象Ｗの両者を移動させてもよい。なお、照明部１２を移動させる場合、照明部１２と撮像装置１３との間の相対的な位置を一定に保持することが好ましい。

【0035】

本実施形態の表面状態の検査方法では、照明光Ｌ１の照射された検査対象Ｗの表面Ｗａを、撮像装置１３を用いて撮像する。表面状態の検査方法では、撮像装置１３により取得される画像に基づいて検査対象Ｗの表面状態を検査する。表面状態の検査方法は、撮像装置１３により取得される画像に基づいて、検査対象Ｗの表面Ｗａにおける欠陥の有無を判定する判定工程を備えている。この判定工程は、上記コンピュータ本体１４ａにより実行することができる。表面Ｗａの欠陥としては、例えば、表面Ｗａの凹凸等の局所的な歪み、異物の付着、表面Ｗａの傷等が挙げられる。

【0036】

なお、表面状態の検査方法は、撮像装置１３及びコンピュータ１４を用いずに、照射工程により照明光Ｌ１が照射された検査対象Ｗの表面Ｗａの欠陥を視認する検査であってもよい。

【0037】

＜試験例＞
次に、試験例について説明する。
図６及び図７には、グラデーションライン部ＧＬを含む照明光Ｌ１を用いて検査対象Ｗの表面状態を検査した試験例１～４を示している。検査対象Ｗは、板ガラスである。図６（ａ）に示す試験例１では、欠陥が存在する範囲ＤＡに照明光Ｌ１が照射されていない。図６（ｂ）に示すように、試験例１の表面画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、グラデーションライン部ＧＬに基づく曲線となる。

【0038】

図６（ｃ）に示す試験例２では、欠陥が存在する範囲ＤＡに照明光Ｌ１のグラデーションライン部ＧＬの少なくとも一部が照射されている。図６（ｄ）に示すように、試験例２の表面画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、図６（ｂ）に示す試験例１の光強度データ曲線とは異なる。これにより、試験例２では、検査対象Ｗの表面Ｗａの欠陥を検出できることが分かる。

【0039】

図７（ａ）に示す試験例３、及び図７（ｃ）に示す試験例４においても、欠陥が存在する範囲ＤＡに照明光Ｌ１のグラデーションライン部ＧＬの少なくとも一部が照射されている。図７（ｂ）及び図７（ｄ）に示すように、試験例３，４の表面画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、図６（ｂ）に示す試験例１の光強度データ曲線とは異なる。これにより、試験例３，４では、検査対象Ｗの表面Ｗａの欠陥を検出できることが分かる。

【0040】

図８及び図９には、従来のストライプパターンの照明光を用いて検査対象Ｗの表面状態を検査した試験例５～８を示している。検査対象Ｗは、上記試験例１～４と同じ板ガラスである。図８（ａ）に示す試験例５では、欠陥が存在する範囲ＤＡに照明光が照射されていない。図８（ｂ）に示すように、試験例５の画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、ストライプパターンの明暗部分に基づく曲線となる。

【0041】

図８（ｃ）に示す試験例６、及び図９（ａ）に示す試験例７では、ストライプパターンの明暗の境界を跨ぐ位置に検査対象の欠陥が存在する範囲ＤＡが配置されている。図８（ｄ）及び図９（ｂ）に示すように、試験例６，７の表面画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、図８（ｂ）に示す試験例５の光強度データ曲線とは異なる。これにより、試験例６，７では、検査対象Ｗの表面Ｗａの欠陥を検出できることが分かる。

【0042】

図９（ｃ）に示す試験例８では、欠陥が存在する範囲ＤＡは、ストライプパターンの明部分に配置されている。図９（ｄ）に示すように、試験例８の表面画像解析の結果から得られる光強度データ曲線は、試験例５の画像解析の結果から得られる光強度データ曲線との明確な差異がないため、欠陥を検出できない。

【0043】

＜本実施形態の作用及び効果＞
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
（１）表面状態の検査方法は、照明部１２から出射される照明光Ｌ１を検査対象Ｗの表面Ｗａに照射する照射工程を備えている。表面状態の検査方法は、照明光Ｌ１の照射された表面Ｗａに基づいて表面状態を検査する。照明光Ｌ１は、グラデーションライン部ＧＬを含む。グラデーションライン部ＧＬの光強度データ曲線における微分値の絶対値、１．５／ｍｍ以下の範囲内である。光強度データ曲線は、上述した手順１及び手順２により取得される。

【0044】

この方法によれば、上記のグラデーションライン部ＧＬを検査対象Ｗの表面Ｗａに照射する照射工程を備えることで、より高い精度で検査対象Ｗの表面状態を検査することが容易となる。本実施形態では、検査対象Ｗの表面Ｗａに存在する比較的微細な欠陥を検出する精度を高めることができる。

【0045】

（２）表面状態の検査方法における照明部１２は、所定の方向に沿って配列される複数の光源１２ａと、複数の光源１２ａと検査対象Ｗとの間に配置される光拡散部材１２ｂとを備えることが好ましい。この場合、より広い範囲にわたる照明光Ｌ１を用いて検査対象Ｗの表面Ｗａを効率的に検査することが可能となる。

【0046】

（３）照明部１２の複数の光源１２ａの間隔は、１０ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、隣り合う光源１２ａの間の光量を確保することが容易となる。
（４）表面状態の検査方法において、照射工程における照明光Ｌ１の照度は、５００ルクス以上、２０００ルクス以下の範囲内であることが好ましい。この場合、例えば、撮像装置１３を用いた欠陥の検出や目視による欠陥の検出を容易に行うことが可能となる。

【0047】

（５）照射工程では、グラデーションライン部ＧＬに沿って照明部１２と検査対象Ｗとを相対移動させている。この場合、検査対象Ｗの表面Ｗａを、より広い範囲にわたって容易に検査することが可能となる。

【0048】

＜変更例＞
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

【0049】

・上記表面状態の検査方法における照射工程では、グラデーションライン部ＧＬに沿って照明部１２と検査対象Ｗとを相対移動させている。しかしながら、例えば、検査対象Ｗの表面Ｗａの一部を検査する場合やグラデーションライン部ＧＬの長さ寸法や有効範囲Ｒに対して検査対象Ｗが比較的小さい場合では、照明部１２と検査対象Ｗとを相対移動させずに照射工程を行ってもよい。

【0050】

・上記表面状態の検査方法における照射工程において、照明部１２と検査対象Ｗとの相対移動は、自動で行ってもよいし、手動で行ってもよい。
・上記表面状態の検査方法における照射工程において、複数の照明部１２を用いてもよい。これにより、検査対象Ｗの表面Ｗａを、より広い範囲にわたって容易に検査することが可能となる。

【0051】

・照明部１２から照射される照明光Ｌ１は、白色光であってもよいし、有色光であってもよい。
・表面状態の検査方法は、表面Ｗａに微細な凹凸を有する製品を検査対象Ｗとすることもできる。すなわち、表面状態の検査方法は、検査対象Ｗの表面Ｗａの有する微細な凹凸の状態を確認する検査に適用してもよい。

【0052】

・図１０に示す表面状態の検査装置１１１のように、上記実施形態における表面状態の検査装置１１の照明部１２を変更することもできる。この変更例の照明部１１２は、長さ方向で均一な光強度の光を出射する光源１１２ａを備えている。光源１１２ａとしては、例えば、ＬＥＤを有するライン光源、蛍光灯等が挙げられる。また、照明部１１２は、光源１１２ａと検査対象Ｗとの間に配置されるレンズ部材１１２ｂを備えている。図１０及び図１１に示すように、レンズ部材１１２ｂは、凸面を有するレンズ部Ｐを有している。詳述すると、レンズ部Ｐは、例えば、光源１１２ａ側に配置される平面を有するとともに、検査対象Ｗ側に配置される凸面を有する平凸レンズにより構成されている。レンズ部材１１２ｂのレンズ部Ｐの数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。レンズ部材１１２ｂとしては、例えば、ガラス又は樹脂から構成されたマイクロレンズが挙げられる。図１０に示すように、表面状態の検査装置１１１において、光源１１２ａからレンズ部材１１２ｂに入射された光は、レンズ部材１１２ｂで集光される。これにより、図１２に示すように、上記実施形態と同様のグラデーションライン部ＧＬを含む照明光Ｌ１を検査対象の表面に照射することができる。

【符号の説明】

【0053】

１１，１１１…表面状態の検査装置
１２，１１２…照明部
１２ａ…光源
１２ｂ…光拡散部材
ＧＬ…グラデーションライン部
Ｌ１…照明光
Ｗ…検査対象
Ｗａ…表面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】