特開 2024-66089 基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066089

(43)【公開日】2024-05-15

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240508BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20240508BHJP

   B25J 9/22 20060101ALI20240508BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/68 F

H01L21/68 G

B25J9/22 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022175375

(22)【出願日】2022-11-01

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100137486

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 雅直

(72)【発明者】

【氏名】圓藤 博明

(72)【発明者】

【氏名】三重野 靖理

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS03

3C707BS15

3C707BS26

3C707CV07

3C707CW07

3C707DS01

3C707ES03

3C707HS27

3C707KS05

3C707KS06

3C707KV12

3C707LS14

3C707LS15

3C707LV14

3C707MT03

5F131AA02

5F131BB03

5F131BB23

5F131CA37

5F131DA22

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB82

5F131DD42

5F131DD52

5F131DD82

5F131GA14

5F131GA33

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

5F131KA12

5F131KA47

5F131KA72

5F131KB05

5F131KB07

5F131KB12

5F131KB53

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】センサ部の個数を抑えつつ、複数のポートの各々に基板を適切に搬送できる技術の提供。
【解決手段】搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＰｉについて、ハンド部２２を旋回させて、先端部２２１を該ポートＰｉと対向しない非対向位置Ｑｉと該ポートＰｉと対向する対向位置Ｒｉとの間で移動させる旋回動作と、ハンド部２２を直進させて、先端部２２１を対向位置Ｒｉと該ポートＰｉとの間で移動させる直進動作とを行う。センサ部３は、旋回動作においてハンド部２２に保持されている基板Ｗの周縁を検出する。搬送対象となるポートＰｉについて行われる旋回動作においてハンド部２２に保持されている基板Ｗが通過する領域を、該ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉと呼ぶとき、センサ部３の検出ポイント３０が、複数のポートＰｉのうちから選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに配置される。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のポートに対して基板を搬送する基板搬送装置であって、
先端部で基板を保持するハンド部と、前記ハンド部が旋回自在に連結されたアーム部と、を備え、搬送対象となるポートについて、前記ハンド部を旋回させて、前記先端部を該ポートと対向しない非対向位置と該ポートと対向する対向位置との間で移動させる旋回動作と、前記ハンド部を直進させて、前記先端部を前記対向位置と該ポートとの間で移動させる直進動作とを行う、搬送ロボットと、
前記旋回動作において、前記ハンド部に保持されている基板の周縁を検出するセンサ部と、
前記センサ部での検出結果に基づいて、前記ハンド部に保持されている基板の位置ずれ量を特定する位置ずれ量特定部と、
前記位置ずれ量に基づいて、前記直進動作において前記ハンド部を移動させる移動経路を補正する経路補正部と、
を備え、
搬送対象となるポートについて行われる前記旋回動作において、前記ハンド部に保持されている基板が通過する領域を、該ポートの通過弧状領域と呼ぶとき、
前記センサ部の検出ポイントが、前記複数のポートのうちから選択された複数のポートの通過弧状領域が重なる領域に、配置される、
ことを特徴とする、基板搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記搬送ロボットが、
前記アーム部に対して共通の旋回中心の周りで旋回自在に連結された一対の前記ハンド部、
を備え、
前記旋回動作において、前記一対のハンド部が互いに逆向きに旋回して互いの位置を入れ替えるものであり、
前記一対のハンド部のうちの一方のハンド部に保持されている基板が前記検出ポイントを横断する時間帯と、前記一対のハンド部のうちの他方のハンド部に保持されている基板が前記検出ポイントを横断する時間帯とが、重ならない、
ことを特徴とする、基板搬送装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記検出ポイントが、前記選択された複数のポートの各々の通過弧状領域の円弧中心から等距離の位置に、配置されている、
ことを特徴とする基板搬送装置。

【請求項4】

請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記センサ部が、
検出光を投光する投光部と、
前記投光部から投光された前記検出光の反射光を受光する受光部と、
を備えることを特徴とする、基板搬送装置。

【請求項5】

請求項４に記載の基板搬送装置であって、
前記センサ部が、
前記投光部から投光された前記検出光を前記受光部に向けて反射させる反射部、
をさらに備え、
前記アーム部が、基端部において所定の旋回中心の周りで旋回自在に配設されており、
前記反射部が、前記アーム部の前記基端部に設けられる、
ことを特徴とする、基板搬送装置。

【請求項6】

請求項４に記載の基板搬送装置であって、
上部が開口した本体部と、前記本体部に対して着脱自在に設けられて前記開口を閉鎖する蓋部と、を備え、内部に前記搬送ロボットが収容される、搬送チャンバーと、
前記本体部の側壁に設けられた支持部材と、
を備え、
前記投光部および前記受光部が前記支持部材に支持される、
ことを特徴とする、基板搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のポート（搬送先）に対して基板を搬送する基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の製造工程などにおいて、基板に対して各種の処理を行う基板処理装置は、例えば、基板を格納する格納容器との間での基板の出し入れを行うためのインターフェースであるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と、基板に対して各種の処理を行う１個以上の処理部とが、基板搬送装置を介して接続された構成を備える。基板搬送装置は、例えば、搬送チャンバーと、その内部に配置された搬送ロボットとを備えており、搬送ロボットが、未処理の基板（例えば、ＥＦＥＭに設けられたロードポートに載置されている格納容器に格納されていた未処理の基板）を、ＥＦＥＭの側から処理部の側に搬送する動作（送り動作）、処理部で処理された処理済みの基板を、処理部の側からＥＦＥＭの側に搬送する動作（戻り動作）、などを繰り返して行うことで、基板が次々と処理されていく。

【0003】

ところで、基板処理装置において基板に対して適切に処理が施されるように担保するためには、搬送ロボットが、搬送先（ポート）における定められた移載位置に、ずれなく正確に基板を搬送することが求められる。例えば、基板が搬送ロボットのハンド上の定められた保持位置（正規保持位置）に正しく保持されている場合、ハンドが予め定められた経路どおりに移動されることで、ハンドに保持されている基板が、定められた移載位置にずれなく正確に移載される。ところが、基板が、正規保持位置からずれた位置でハンドに保持されてしまった場合、ハンドが定められた経路どおりに移動されると、基板は定められた移載位置からずれた位置に移載されてしまう。すなわち、基板が適切に搬送されない。そうなると、基板に対する適切な処理が担保されないおそれがある。

【0004】

例えば、特許文献１の搬送ロボットは、アームが折りたたまれて、ハンドに保持されている基板がポートの近傍に配置されている状態から、アームを伸びた状態に変形させることで、ハンドをポートに向けて直線軌道に沿って移動させて（エクステンド動作）、ハンドに保持されている基板をポートに移載する。特許文献１には、搬送ロボットがエクステンド動作を行う際に、ハンドに保持されている基板の周縁をセンサで検出し、該検出された周縁の位置に基づいて、基板の位置ずれ量（ハンド上に基板が実際に保持されている位置と正規保持位置との差異）を算出することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第５６８５８７５号公報

【特許文献2】特許第５６０５１３２号公報

【特許文献3】特開２０１５－５６８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の技術においては、ポートに向けてハンドを直進させるエクステンド動作が行われる際にハンドに保持されている基板の周縁をセンサで検出するため、センサがポートの入り口付近に配置される。したがって、複数のポートが存在する場合には、各ポートの近傍にセンサを個別に設けなければならない。

【0007】

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、センサ部の個数を抑えつつ、複数のポートの各々に基板を適切に搬送できる技術の提供を目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

【0009】

すなわち、本発明は、複数のポートに対して基板を搬送する基板搬送装置であって、先端部で基板を保持するハンド部と、前記ハンド部が旋回自在に連結されたアーム部と、を備え、搬送対象となるポートについて、前記ハンド部を旋回させて、前記先端部を該ポートと対向しない非対向位置と該ポートと対向する対向位置との間で移動させる旋回動作と、前記ハンド部を直進させて、前記先端部を前記対向位置と該ポートとの間で移動させる直進動作とを行う、搬送ロボットと、前記旋回動作において、前記ハンド部に保持されている基板の周縁を検出するセンサ部と、前記センサ部での検出結果に基づいて、前記ハンド部に保持されている基板の位置ずれ量を特定する位置ずれ量特定部と、前記位置ずれ量に基づいて、前記直進動作において前記ハンド部を移動させる移動経路を補正する経路補正部と、を備え、搬送対象となるポートについて行われる前記旋回動作において、前記ハンド部に保持されている基板が通過する領域を、該ポートの通過弧状領域と呼ぶとき、前記センサ部の検出ポイントが、前記複数のポートのうちから選択された複数のポートの通過弧状領域が重なる領域に、配置される、ことを特徴とする。

【0010】

この構成によると、センサ部の検出ポイントが、選択された複数のポートの通過弧状領域が重なる領域に配置されるので、該選択された複数のポートの各々に搬送される基板の周縁を同じセンサ部で検出することができる。すなわち、該選択された複数のポートの間でセンサ部を共用することができる。したがって、センサ部の個数を抑えつつ、複数のポートの各々に基板を適切に搬送することができる。

【0011】

好ましくは、前記基板搬送装置において、前記搬送ロボットが、前記アーム部に対して共通の旋回中心の周りで旋回自在に連結された一対の前記ハンド部、を備え、前記旋回動作において、前記一対のハンド部が互いに逆向きに旋回して互いの位置を入れ替えるものであり、前記一対のハンド部のうちの一方のハンド部に保持されている基板が前記検出ポイントを横断する時間帯と、前記一対のハンド部のうちの他方のハンド部に保持されている基板が前記検出ポイントを横断する時間帯とが、重ならない、ことを特徴とする。

【0012】

この構成においては、旋回動作において一対のハンド部の位置の入れ替えがなされるところ、このときに、各ハンド部に保持されている基板が検出ポイントを横断する時間帯が重ならないので、基板の周縁を適切に検出することができる。

【0013】

好ましくは、前記基板搬送装置において、前記検出ポイントが、前記選択された複数のポートの各々の通過弧状領域の円弧中心から等距離の位置に、配置されている、ことを特徴とする。

【0014】

この構成によると、センサ部の検出ポイントと、選択された複数のポートの各々の通過弧状領域の円弧中心（すなわち、旋回動作においてハンド部の旋回中心が配置される位置）との離間距離が、互いに等しいものとなる。したがって、例えば、センサ部の検出結果に基づいて基板の位置ずれ量を特定する演算処理において、旋回中心と検出ポイントとの離間距離が定数の一つとして用いられる場合、選択された複数のポートの各々に基板を搬送する際に行われる各演算処理の間でこの定数を共通化することができるので、位置ずれ量を特定するための演算処理に係る処理負担を低減することができる。

【0015】

好ましくは、前記基板搬送装置において、前記センサ部が、検出光を投光する投光部と、前記投光部から投光された前記検出光の反射光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする。

【0016】

この構成によると、センサ部が反射型の光電センサであるので、投光部と受光部とを、ハンド部に対して同じ側に配置することができる。したがって、センサ部の調整に係る作業負担を低減することができる。また、センサ部を設置できる位置（ひいては、検出ポイントを配置できる位置）の自由度が高まるので、選択された複数のポートの通過弧状領域が重なる領域に検出ポイントを難なく配置することができる。

【0017】

好ましくは、前記基板搬送装置において、前記センサ部が、前記投光部から投光された前記検出光を前記受光部に向けて反射させる反射部、をさらに備え、前記アーム部が、基端部において所定の旋回中心の周りで旋回自在に配設されており、前記反射部が、前記アーム部の前記基端部に設けられる、ことを特徴とする。

【0018】

この構成によると、反射部で検出光を反射することで、受光部において検出光を安定して受光することが可能となり、検出光が基板の周縁で遮られた際に、受光部で受光される反射光に十分な変化が生じる。したがって、基板の周縁を十分な精度で検出することができる。特に、アーム部の基端部は、アーム部の旋回に伴う変位が比較的小さいので、ここに反射部を設けておけば、アーム部の姿勢にかかわらず、検出光を安定して受光部に受光させることができる。

【0019】

好ましくは、前記基板搬送装置において、上部が開口した本体部と、前記本体部に対して着脱自在に設けられて前記開口を閉鎖する蓋部と、を備え、内部に前記搬送ロボットが収容される、搬送チャンバーと、前記本体部の側壁に設けられた支持部材と、を備え、前記投光部および前記受光部が前記支持部材に支持される、ことを特徴とする。

【0020】

この構成によると、投光部および受光部が、本体部の側壁に設けられた支持部材に支持されるので、例えば、蓋部が本体部から着脱されても、投光部および受光部の位置がずれることがない。したがって、センサ部の調整に係る作業負担を低減することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によると、センサ部の個数を抑えつつ、複数のポートの各々に基板を適切に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】実施形態に係る基板搬送装置およびこれを備える基板処理装置の概略構成を模式的に示す平面図。

【図2】基板搬送装置およびこれを備える基板処理装置の概略構成を模式的に示す側断面図。

【図3】制御部の構成を示す図。

【図4】リトラクト位置、入れ替え位置、ポート内位置を説明するための図。

【図5】第１ポートの通過弧状領域を示す図。

【図6】第２ポートの通過弧状領域を示す図。

【図7】第３ポートの通過弧状領域を示す図。

【図8】第４ポートの通過弧状領域を示す図。

【図9】第１ポートと第２ポートとが共用ポートとされる場合を示す図。

【図10】第１ポートと第３ポートとが共用ポートとされる場合を示す図。

【図11】第１ポートと第４ポートとが共用ポートとされる場合を示す図。

【図12】第１ポート、第２ポート、第３ポート、および、第４ポートが共用ポートとされる場合を示す図。

【図13】位置ずれ量を特定する態様を説明するための図。

【図14】移動経路を補正する態様を説明するための図。

【図15】搬送ロボットがポートに基板を搬送する動作を説明するための図。

【図16】一対のハンド部を備える搬送ロボットがポートに基板を搬送する動作を説明するための図。

【図17】基板搬送装置の斜視図。

【図18】基板搬送装置の平面図および側断面図。

【図19】ロードロック側のポートの通過弧状領域を示す図。

【図20】ロードロック側のポートの通過弧状領域を示す図。

【図21】ロードロック側のポートが共用ポートとされる場合を示す図。

【図22】別の形態に係る基板搬送装置の側断面図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

【0024】

＜１．基板処理装置＞
実施形態に係る基板搬送装置１０を備える基板処理装置１００の概略構成を、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、基板処理装置１００の概略構成を模式的に示す平面図である。図２は、基板処理装置１００の概略構成を模式的に示す側断面図である。

【0025】

基板処理装置１００は、例えば、基板Ｗを搬送する基板搬送装置１０と、基板搬送装置１０とＥＦＥＭ１０１とを接続するロードロックＬと、基板搬送装置１０に接続された１個以上（図の例では４個）の処理部Ｐと、を備える。基板搬送装置１０での搬送対象（つまりは、基板処理装置１００での処理対象）となる基板Ｗは、具体的には例えば、ウェハ（例えば、半導体ウェハ）である。以下の説明においては、基板Ｗの形状は円形であるとする。基板Ｗには、オリエンテーションフラット、ノッチ、などといった切り欠きが形成されていてもよい。

【0026】

ロードロックＬは、基板搬送装置１０とＥＦＥＭ１０１の間に設けられる。ＥＦＥＭ１０１は、基板Ｗを格納する格納容器（例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））との間での基板Ｗの出し入れを行うためのインターフェースであり、格納容器を載置するロードポート、ロードポートに載置されている格納容器とロードロックＬとの間で基板Ｗを搬送する搬送ロボット、などを含んで構成される（いずれも図示省略）。基板搬送装置１０は、ロードロックＬに対する基板Ｗの搬入、および、ロードロックＬからの基板Ｗの搬出を行う。つまり、ロードロックＬ（具体的には例えば、ロードロックＬに設けられた基板Ｗの載置部）が、基板Ｗの搬送先（ポート）Ｌｉとされる。例えば、ロードロックＬが２個の載置部を備えている場合、一方の載置部が一方のポートＬ１となり、他方の載置部が他方のポートＬ２となる。つまり、ロードロックＬにおいて、２個のポートＬｉ（ｉ＝１，２）が形成される。

【0027】

処理部Ｐは、基板Ｗに対して各種の処理を行う装置であり、処理対象となる基板Ｗを載置する処理ステージなどを含んで構成される。処理部Ｐで行われる処理は何であってもよく、基板処理装置１００に複数の処理部Ｐが設けられる場合に、各処理部Ｐで行われる処理が互いに異なるものであってもよい。基板搬送装置１０は、処理部Ｐに対する基板Ｗの搬入、および、処理部Ｐからの基板Ｗの搬出を行う。つまり、処理部Ｐ（具体的には例えば、処理ステージ、など）が、基板Ｗの搬送先（ポート）Ｐｉとされる。例えば、基板搬送装置１０に４個の処理部Ｐが接続されている場合、４個のポートＰｉ（ｉ＝１，２，３，４）が形成される。

【0028】

基板搬送装置１０（具体的には、後述する搬送ロボット２）は、その周囲に設けられた複数のポートＬｉ，Ｐｉに対して基板Ｗを搬送する。例えば、基板搬送装置１０が、ロードロックＬのポートＬｉにある基板Ｗを、処理部ＰのポートＰｉに搬送することによって、ロードロックＬにある未処理の基板Ｗが、処理部Ｐに搬入される（送り動作）。また例えば、基板搬送装置１０が、処理部ＰのポートＰｉにある基板Ｗを、ロードロックＬのポートＬｉに搬送することによって、処理部Ｐで処理された処理済みの基板Ｗが、ロードロックＬに搬入される（戻り動作）。基板搬送装置１０がこのような送り動作と戻り動作とを繰り返して行うことで、基板Ｗが次々と処理されていく。もっとも、基板搬送装置１０が行う搬送動作は、送り動作および戻り動作に限られるものではない。例えば、基板搬送装置１０が、ある処理部ＰのポートＰｉにある基板Ｗを、別の処理部ＰのポートＰｉに搬送することによって、ある処理部Ｐで処理を施された基板Ｗが、別の処理部Ｐに搬入されて、ここでさらなる処理を施されるものとしてもよい。

【0029】

＜２．基板搬送装置＞
基板搬送装置１０の構成について、引き続き図１、図２を参照しながら説明する。基板搬送装置１０は、搬送チャンバー１と、搬送チャンバー１の内部に配置された搬送ロボット２と、搬送チャンバー１の内部に配置されたセンサ部３と、搬送ロボット２の動作を制御する制御部４と、を備える。

【0030】

（搬送チャンバー１）
搬送チャンバー１は、内部に搬送ロボット２を収容するチャンバーである。搬送チャンバー１の内部空間は、搬送ロボット２の動作空間（搬送空間）を形成する。搬送チャンバー１にはロードロックＬおよび各処理部Ｐが接続されており、各接続部分には、搬送ロボット２を各ポートＬｉ，Ｐｉにアクセスさせるための開口１１が設けられる。また、搬送チャンバー１は、いわゆる真空チャンバーであり、その内部空間は真空環境とされる。

【0031】

（搬送ロボット２）
搬送ロボット２は、いわゆる、水平多関節ロボットであり、アーム部２１と、ハンド部２２と、を備える。

【0032】

アーム部２１は、第１アーム部分２１１と第２アーム部分２１２とを備える。第１アーム部分２１１は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、基端部において、基台部（図示省略）に対して、旋回中心２１１０の周りで水平旋回自在に連結される。ただし、基台部は、搬送ロボット２の基台となる部分であり、例えば、搬送チャンバー１の床面の下方に設けられて、床面に設けられた貫通孔などを通じて、第１アーム部分２１１と連結される。一方、第２アーム部分２１２は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、基端部において、第１アーム部分２１１の先端部に対して、旋回中心２１２０の周りで水平旋回自在に連結される。

【0033】

アーム部２１には、第１アーム部分２１１（ひいては、アーム部２１の全体）を昇降させる駆動機構、第１アーム部分２１１を旋回中心２１１０の周りで旋回させる駆動機構、および、第２アーム部分２１２を旋回中心２１２０の周りで旋回させる駆動機構、が連結される。各駆動機構は、具体的には例えば、駆動源となるモータ、駆動源から提供される動力を各アーム部分２１１，２１２に伝達するための伝達機構（例えば、プーリおよびベルト）、などを含んで構成される。各駆動機構は、基台部の内部に収容されてもよいし、アーム部２１の内部に収容されてもよい。

【0034】

ハンド部２２は、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、基端部において、アーム部２１の先端部（すなわち、第２アーム部分２１２の先端部）と、旋回中心２２０の周りで水平旋回自在に連結される。ハンド部２２は、その先端部２２１において搬送対象となる基板Ｗを保持する部材であり、エンドエフェクタなどとも呼ばれる。ハンド部２２は、具体的には例えば、先端部２２１が二股状に分岐したフォーク状を呈している。もっとも、ハンド部２２の形状は、後述するセンサ部３がハンド部２２に保持された基板Ｗの周縁を検出する際に、その妨げとならない限りにおいて、どのような形状であってもよい。例えば、先端部２２１が平面視略矩形状であってもよい。

【0035】

ハンド部２２には、これを旋回中心２２０の周りで旋回させる駆動機構が連結される。駆動機構は、具体的には例えば、駆動源となるモータ、駆動源から提供される動力をハンド部２２に伝達するための伝達機構（例えば、プーリおよびベルト）、などを含んで構成される。駆動機構は、基台部の内部に収容されてもよいし、アーム部２１の内部に収容されてもよい。

【0036】

このように、搬送ロボット２は、各アーム部分２１１，２１２をそれぞれの旋回中心２１１０，２１２０の周りで旋回させることができ、ハンド部２２を旋回中心２２０の周りで旋回させることができる。また、搬送ロボット２は、第１アーム部分２１１の旋回中心２１１０の周りでの旋回動作、第２アーム部分２１２の旋回中心２１２０の周りでの旋回動作、および、ハンド部２２の旋回中心２２０の周りでの旋回動作を、互いに独立して行うことができる。アーム部分２１１，２１２およびハンド部２２の各々が、制御部４からの指示に応じて互いに独立して駆動されて、互いに独立して旋回動作を行うことによって、搬送ロボット２がさまざまな搬送動作（例えば、上記に例示したような、ロードロックＬのポートＬｉと処理部ＰのポートＰｉとの間で基板Ｗを搬送する搬送動作（送り動作および戻り動作）、処理部ＰのポートＰｉと別の処理部ＰのポートＰｉとの間で基板Ｗを搬送する搬送動作、など）を行うことができる。すなわち、搬送ロボット２にこれらの搬送動作を行わせるために、各アーム部分２１１，２１２およびハンド部２２の各々が、それぞれの旋回中心２１１０，２１２０，２２０の周りで、互いに独立して、旋回自在に構成されている。

【0037】

（センサ部３）
センサ部３は、光を用いて検出対象物を検出する光電センサであり、検出対象物に向けて光（検出光）を投光する投光部３１と、投光部３１から投光された検出光を受光してその光量を検出する受光部３２と、を備える。投光部３１は、例えば発光素子を含んで構成され、受光部３２は、例えば受光素子を含んで構成される。投光部３１から投光される検出光はどのような光であってもよく、例えば、レーザ光を用いることができる。

【0038】

センサ部３は、具体的には、反射光に基づいて検出を行うもの（いわゆる、反射型の光電センサ）である。すなわち、受光部３２は、検出対象物に対して投光部３１と同じ側に配置されて、投光部３１から投光された検出光の反射光を受光する。ここでは、検出対象物は、搬送ロボット２によって搬送される基板Ｗ（すなわち、ハンド部２２で保持されている基板Ｗ）であり、より具体的には、該基板Ｗの周縁である。したがって、投光部３１と受光部３２（具体的には例えば、投光部３１と受光部３２とが一体化された投受光ユニット３００）は、ハンド部２２に対して同じ側（図の例では、ハンド部２２の上側）に配設される。

【0039】

センサ部３が反射型の光電センサである場合、センサ部３が、投光部３１から投光された検出光を受光部３２に向けて反射させる反射部３３を、さらに備えることも好ましい。反射部３３は、検出光を反射できるものであればどのような構成であってもよく、一例として、一方の主面が反射面を形成する板状部材であってもよい。反射部３３は、ハンド部２２に対して、投光部３１および受光部３２と逆の側（図の例では、ハンド部２２の下側）に配設される。例えば、搬送ロボット２において、ハンド部２２の下側にアーム部２１が配設されている場合、反射部３３は、アーム部２１の上面に配設してもよい。この場合、反射部３３は、アーム部２１の基端部（すなわち、第１アーム部分２１１の基端部）に設けることが好ましく、特に、該基端部に規定される旋回中心２１１０と重なる位置に設けることが好ましい。

【0040】

投光部３１から投光される検出光の光軸位置（検出ポイント）３０に、ハンド部２２で保持される基板Ｗが存在しない状態では、検出光は反射部３３で反射され、その反射光が受光部３２に到達する。一方、検出ポイント３０に、ハンド部２２で保持される基板Ｗが存在する状態では、検出光は基板Ｗで反射され、その反射光が受光部３２に到達する。したがって、これら２つの状態が切り替わるタイミング、すなわち、検出ポイント３０に、ハンド部２２で保持される基板Ｗの周縁が到達したタイミングで、受光部３２に到達する光（例えば、光が受光される位置、あるいは、受光される光量）が変化する。受光部３２は、例えば、ここで受光される光が変化した時点で、ＯＮ信号とＯＦＦ信号との間で切り替わる電気信号（二値化信号）を、制御部４に出力する。これによって、ハンド部２２で保持される基板Ｗの周縁の位置が検出される。センサ部３（ひいては、その検出ポイント３０）が配置される位置については、後に説明する。

【0041】

（制御部４）
制御部４は、基板搬送装置１０が備える各部の動作を制御するとともに、各種の演算処理を行う要素であり、例えば、電気回路を有する一般的なコンピュータ、あるいは、マイクロコンピュータ、などによって構成される。制御部４は、具体的には例えば、図３に示されるように、データ処理を担う中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processor Unit）４１といったプロセッサ、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）４２、ＣＰＵ４１が所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）４３、フラッシュメモリ、ハードディスク装置、などの不揮発性記憶装置によって構成される記憶装置４４、これらを相互に接続するバスライン４５、などを含んで構成される。制御部４は、例えば、記憶装置４４に格納されたプログラムをＣＰＵ４１が実行することによって、該プログラムによって規定された処理を実行する。もっとも、制御部４が実行する処理の一部または全部が、専用の論理回路などのハードウェア（例えば、専用プロセッサ）によって実行されてもよい。また、制御部４は、搬送ロボット２およびセンサ部３と電気的に接続されており、センサ部３から取得した電気信号などに基づいて、搬送ロボット２を制御する。

【0042】

＜３．旋回動作・直進動作＞
搬送ロボット２は、例えば、各ポートＰｉに基板Ｗを搬送するにあたって、旋回動作と直進動作を行う。旋回動作は、搬送ロボット２を、リトラクト位置と入れ替え位置との間で移動させる動作であり、直進動作は、搬送ロボット２を、リトラクト位置とポート内位置との間で移動させる動作である。リトラクト位置、入れ替え位置、および、ポート内位置は、いずれも、搬送ロボット２が一連の搬送動作の中でとる位置（アーム部２１およびハンド部２２の姿勢から規定される搬送ロボット２の姿勢）の一種であり、複数のポートＰｉの各々について規定される。図４には、第１ポートＰ１について規定された、リトラクト位置（図４（ａ））、入れ替え位置（図４（ｂ））、ポート内位置（図４（ｃ））が、それぞれ例示されている。

【0043】

リトラクト位置は、ハンド部２２の先端部２２１が、対象となるポートＰｉと対向する位置（以下「対向位置」という）Ｒｉ（ｉ＝１，２，３，４）に配置されるとともに、ハンド部２２が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ（ｉ＝１，２，３，４）上に延在するような位置である。つまり、リトラクト位置は、ハンド部２２の旋回中心２２０が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上の位置Ｃｉ（ｉ＝１，２，３，４）にあり、ハンド部２２の先端部２２１が、対向位置Ｒｉに配置されるような位置である。

【0044】

入れ替え位置は、リトラクト位置と対応して規定される。入れ替え位置では、ハンド部２２の旋回中心２２０が、対応するリトラクト位置においてハンド部２２の旋回中心２２０が配置されていた位置Ｃｉにあり、ハンド部２２の先端部２２１が、対象となるポートＰｉと対向しない（すなわち、対向位置Ｒｉとは異なる位置である）非対向位置Ｑｉ（ｉ＝１，２，３，４）に、配置される。つまり、入れ替え位置は、ハンド部２２の旋回中心２２０が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上の位置Ｃｉにあり、ハンド部２２の先端部２２１が、非対向位置Ｑｉに配置されるような位置である。非対向位置Ｑｉは、適宜に規定されてよい。ただし、リトラクト位置におけるハンド部２２の延在方向と、入れ替え位置におけるハンド部２２の延在方向とがなす角度は大きいほど好ましいため、非対向位置Ｑｉは、ここに配置された先端部２２１に保持される基板Ｗが、搬送チャンバー１の側壁に対して、非接触状態で近接するような位置とされることが好ましい。

【0045】

ポート内位置は、ハンド部２２の先端部２２１が、対象となるポートＰｉに配置されるとともに、ハンド部２２が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上に延在するような位置である。つまり、ポート内位置は、ハンド部２２の旋回中心２２０が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上にあり、ハンド部２２の先端部２２１が、ポートＰｉに配置されるような位置である。

【0046】

旋回動作は、搬送ロボット２を、いずれかのポートＰｉについて規定されたリトラクト位置（図４（ａ））と、該ポートＰｉについて規定された入れ替え位置（図４（ｂ））との間で移動させる動作である。つまり、旋回動作は、ハンド部２２の旋回中心２２０を移動させずに（すなわち、アーム部２１を動かさずに）、ハンド部２２だけを旋回させて（すなわち、単軸駆動して）、先端部２２１を、対向位置Ｒｉと非対向位置Ｑｉとの間で移動させる動作である。ただし、旋回動作には、搬送ロボット２を入れ替え位置からリトラクト位置へと移動させる動作（すなわち、ハンド部２２を所定方向（図４の例では反時計回り方向）に旋回させて、先端部２２１を非対向位置Ｑｉから対向位置Ｒｉに移動させる動作）である往路旋回動作と、搬送ロボット２をリトラクト位置から入れ替え位置へと移動させる動作（すなわち、ハンド部２２を往路旋回動作とは逆の方向（図４の例では時計回り方向）に旋回させて、先端部２２１を対向位置Ｒｉから非対向位置Ｑｉに移動させる動作）である復路旋回動作と、が含まれる。

【0047】

また、直進動作は、搬送ロボット２を、いずれかのポートＰｉについて規定されたリトラクト位置（図４（ａ））と、該ポートＰｉのポート内位置（図４（ｃ））との間で移動させる動作である。つまり、直進動作は、ハンド部２２を、その延在方向に沿って（すなわち、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉに沿って）直進させて、先端部２２１を、対向位置ＲｉとポートＰｉとの間で移動させる動作である。ただし、直進動作には、搬送ロボット２をリトラクト位置からポート内位置へと移動させる動作（すなわち、ハンド部２２をポートＰｉに近づく方向に直進させて、先端部２２１を対向位置ＲｉからポートＰｉに移動させる動作）である往路直進動作と、搬送ロボット２をポート内位置からリトラクト位置へと移動させる動作（すなわち、ハンド部２２をポートＰｉから離れる方向に直進させて、先端部２２１をポートＰｉから対向位置Ｒｉに移動させる動作）である復路直進動作と、が含まれる。往路直進動作は、エクステンド動作と呼ばれる場合もある。

【0048】

搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＰｉについて、旋回動作と直進動作とを行って、該ポートＰｉに基板Ｗを搬送する。いま、搬送対象となるポートＰｉについて行われる旋回動作において、ハンド部２２に保持されている基板Ｗが通過する弧状の領域を、該ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉ（ｉ＝１，２，３，４）と呼ぶ。つまり、ハンド部２２を旋回させて、その先端部２２１を、ポートＰｉと対向する対向位置Ｒｉと、これに対応する非対向位置Ｑｉとの間で移動させる旋回動作において、先端部２２１に保持されている基板Ｗが通過する弧状領域を、該ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉと呼ぶ。図５には、第１ポートＰ１の通過弧状領域Ｍ１が、図６には、第２ポートＰ２の通過弧状領域Ｍ２が、図７には、第３ポートＰ３の通過弧状領域Ｍ３が、図８には、第４ポートＰ４の通過弧状領域Ｍ４が、それぞれ示されている。

【0049】

各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉは、円弧状の領域であり、その円弧中心は、旋回動作においてハンド部２２の旋回中心２２０が配置される位置Ｃｉである。ただし、ここでいう円弧中心とは、該円弧を規定する円（その一部が該円弧であるような円）の中心である。また、通過弧状領域Ｍｉの中心角は、非対向位置Ｑｉがどこに規定されるかによって決まってくる。複数のポートＰｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心は、互いに異なる位置であってよく、各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉの中心角は、互いに異なる値であってよい。一方、通過弧状領域Ｍｉの内径は、旋回中心２２０から、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの一方の周縁（旋回中心２２０に最も近い周縁）までの長さに相当し、通過弧状領域Ｍｉの外径は、旋回中心２２０から、該基板Ｗの他方の周縁（旋回中心２２０から最も遠い周縁）までの長さに相当する。各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉの内径は互いに同じ値であり、各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉの外径も互いに同じ値である。

【0050】

＜４．センサ部３の位置＞
センサ部３の検出ポイント３０は、複数のポートＰｉ（ｉ＝１，２，３，４）のうちから選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置される。すなわち、検出ポイント３０がこのような領域ＭＤに配置されるように、センサ部３の配設位置が規定される。このような構成によって、該選択された複数のポートＰｉの間でセンサ部３を共用することが可能となる。以下において、選択された各ポートＰｉ、すなわち、検出ポイント３０が配置される領域ＭＤにおいて通過弧状領域Ｍｉが重なっている各ポートＰｉであり、互いにセンサ部３を共用する各ポートＰｉを、「共用ポート」ともいう。

【0051】

センサ部３を共用させるポートＰｉの組み合わせ（すなわち、どのような組み合わせのポートＰｉの各通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに検出ポイント３０を配置するか）は、適宜に選択することができる。また、センサ部３を共用させるポートＰｉの個数も、適宜に規定することができる。センサ部３を共用するポートＰｉの個数が多いほど、ポートＰｉの総数に対するセンサ部３の個数を減らすことができる。逆に、センサ部３を共用するポートＰｉの個数が少ないほど、検出ポイント３０を配置するべき領域ＭＤが大きくなり、センサ部３の配設位置の自由度が高まる。

【0052】

例えば、搬送チャンバー１を挟んで対向する各ポートＰｉが共用ポートとされてもよい。つまり、検出ポイント３０は、搬送チャンバー１を挟んで対向する複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。一例として、図９に示されるように、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１の通過弧状領域Ｍ１と第２ポートＰ２の通過弧状領域Ｍ２とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。また、検出ポイント３０は、第３ポートＰ３の通過弧状領域Ｍ３と第４ポートＰ４の通過弧状領域Ｍ４とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。

【0053】

また、搬送チャンバー１の側壁に沿って隣り合う各ポートＰｉが共用ポートとされてもよい。つまり、検出ポイント３０は、搬送チャンバー１の側壁に沿って隣り合う複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。一例として、図１０に示されるように、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１の通過弧状領域Ｍ１と第３ポートＰ３の通過弧状領域Ｍ３とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。また、検出ポイント３０は、第２ポートＰ２の通過弧状領域Ｍ２と第４ポートＰ４の通過弧状領域Ｍ４とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。

【0054】

また、搬送チャンバー１の対角線方向に対向する各ポートＰｉが共用ポートとされてもよい。つまり、検出ポイント３０は、搬送チャンバー１の対角線方向に対向する複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。一例として、図１１に示されるように、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１の通過弧状領域Ｍ１と第４ポートＰ４の通過弧状領域Ｍ４とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。また、検出ポイント３０は、第２ポートＰ２の通過弧状領域Ｍ２と第３ポートＰ３の通過弧状領域Ｍ３とが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。

【0055】

また、３個以上のポートＰｉが共用ポートとされてもよい。つまり、検出ポイント３０は、３個以上のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。一例として、図１２に示されるように、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１の通過弧状領域Ｍ１と、第２ポートＰ２の通過弧状領域Ｍ２と、第３ポートＰ３の通過弧状領域Ｍ３と、第４ポートＰ４の通過弧状領域Ｍ４と、が重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。また、検出ポイント３０は、これら４個のポートＰ１～Ｐ４のうちから選択された３個のポートＰｉの各通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されてもよい。

【0056】

上記のとおり、各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉの円弧中心は、該ポートＰｉについて行われる旋回動作においてハンド部２２の旋回中心２２０が配置される位置Ｃｉである。ここで、検出ポイント３０は、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心から等距離の位置に、配置されることが好ましい。すなわち、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの各々について行われる旋回動作における、検出ポイント３０と旋回中心２２０との離間距離が、互いに等しくなるように、検出ポイント３０の位置が規定されることが好ましい。

【0057】

例えば、第１ポートＰ１と第２ポートＰ２とが共用ポートとされる場合（図９）、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１および第２ポートＰ２の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２が重なる領域ＭＤ内であって、かつ、各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ２）から等距離の位置に、配置されることが好ましい。すなわち、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１および第２ポートＰ２の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２が重なる領域ＭＤ内であって、かつ、各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ２）を結ぶ線分の垂直二等分線Ｎ上に、配置されることが好ましい。この垂直二等分線Ｎは、別の言い方をすると、第１ポートＰ１について行われる旋回動作で基板Ｗが移動される円弧軌道を規定する円と、第２ポートＰ２について行われる旋回動作で基板Ｗが移動される円弧軌道を規定する円とが、互いに交わる交点を結んだ弦に相当する。図１０、図１１の各例においても同様である。

【0058】

また例えば、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４が共用ポートとされる場合（図１２）、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が重なる領域ＭＤ内であって、かつ、各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）から等距離の位置に、配置されることが好ましい。すなわち、検出ポイント３０は、第１ポートＰ１と第２ポートＰ２の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ２）を結ぶ線分の垂直二等分線Ｎと、第１ポートＰ１と第３ポートＰ３の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ３の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ３）を結ぶ線分の垂直二等分線Ｎとの交点上に、配置されることが好ましい。

【0059】

＜５．機能部＞
次に、制御部４が備える機能的な要素について説明する。制御部４には、位置ずれ量特定部４０１、および、経路補正部４０２が実現されている（図３）。これら各部は、例えばＣＰＵ４１がプログラムに従って動作することによって実現される機能的な要素である。もっとも、制御部４が備える機能的な要素の一部または全部は、専用の論理回路などといったハードウェアで実現されてもよい。

【0060】

（位置ずれ量特定部４０１）
位置ずれ量特定部４０１は、センサ部３での検出結果に基づいて、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの位置ずれ量を特定する。以下において、位置ずれ量特定部４０１が基板Ｗの位置ずれ量を特定する態様の一例を、図１３を参照しながら説明する。図１３は、位置ずれ量を特定する態様を説明するための図である。

【0061】

搬送ロボット２が旋回動作を行う際（すなわち、ハンド部２２が旋回中心２２０の周りで旋回される際）に、ハンド部２２に保持されている基板Ｗは、円弧状の軌道に沿って移動する。このときに基板Ｗが通過する通過弧状領域Ｍｉにセンサ部３の検出ポイント３０がある場合、該円弧状の軌道に沿って移動する基板Ｗが、検出ポイント３０を横断する。別の見方をすると、基板Ｗを横断する円弧軌道ｍに沿って、検出ポイント３０が基板Ｗを横断する。

【0062】

このとき、まず、センサ部３の検出ポイント３０に基板Ｗの周縁Ｗａが到達すると、検出光が反射部３３で反射される状態から基板Ｗで反射される状態に切り替わるため、受光部３２に到達する光が変化し、制御部４に所定の電気信号が出力される。位置ずれ量特定部４０１は、センサ部３から電気信号を取得すると、その時点でのハンド部２２の角度を取得する。その後、センサ部３の検出ポイント３０に基板Ｗの周縁Ｗｂが到達すると、検出光が基板Ｗで反射される状態から反射部３３で反射される状態に切り替わるため、受光部３２に到達する光が変化し、制御部４に所定の電気信号が出力される。位置ずれ量特定部４０１は、センサ部３から電気信号を取得すると、その時点でのハンド部２２の角度を取得する。ハンド部２２の角度は、例えば、ハンド部２２を駆動するモータ、あるいは、該モータに設けられたエンコーダから取得してもよいし、搬送ロボット２の外部に配置された変位センサ（例えば、レーザ変位センサ）から取得されるハンド部２２の位置情報から特定してもよい。

【0063】

続いて、位置ずれ量特定部４０１は、検出ポイント３０に基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂが到達した各時点でのハンド部２２の角度に基づいて、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの位置ずれ量を特定する。

【0064】

例えば、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが存在する角度は、検出ポイント３０に一方の周縁Ｗａが到達した時点でのハンド部２２の角度と、検出ポイント３０に他方の周縁Ｗｂが到達した時点でのハンド部２２の角度とを平均した角度から求めることができる。そこで、位置ずれ量特定部４０１は、検出ポイント３０に基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂが到達した各時点でのハンド部２２の角度を平均した角度が、予め教示された正規の角度（すなわち、ハンド部２２上の定められた保持位置（正規保持位置）に基板Ｗが保持されている場合（図１３の二点鎖線）に、該基板Ｗの中心Ｗｃが存在する角度）からどれだけずれているかを算出することで、ハンド部２２の旋回方向についての基板Ｗの位置ずれ量を特定する。

【0065】

また、ハンド部２２の延在方向についての基板Ｗの位置ずれ量は、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃと旋回中心２２０との離間距離と、予め教示された正規の離間距離（すなわち、正規保持位置に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃと旋回中心２２０との離間距離）との差分から特定することができる。基板Ｗの中心Ｗｃと旋回中心２２０との離間距離は、旋回中心２２０に対して各周縁Ｗａ，Ｗｂの位置がなす角度（すなわち、検出ポイント３０に一方の周縁Ｗａが到達した時点でのハンド部２２の角度と、検出ポイント３０に他方の周縁Ｗｂが到達した時点でのハンド部２２の角度との差分値）と、旋回中心２２０と検出ポイント３０との離間距離と、基板Ｗの半径と、を用いて、幾何学計算によって特定することができる。

【0066】

もっとも、位置ずれ量特定部４０１が基板Ｗの位置ずれ量を特定する態様は、上記に例示したものに限られるものではなく、適宜の態様で基板Ｗの位置ずれ量を特定することができる。

【0067】

（経路補正部４０２）
上記のとおり、搬送ロボット２が旋回動作を行う際に、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの各周縁Ｗａ，Ｗｂがセンサ部３によって検出され、位置ずれ量特定部４０１が、センサ部３での検出結果に基づいて、該基板Ｗの位置ずれ量を特定する。経路補正部４０２は、位置ずれ量特定部４０１が特定した位置ずれ量に基づいて、直進動作においてハンド部２２を移動させる移動経路を補正する。以下において、経路補正部４０２が移動経路を補正する態様の一例を、図１４を参照しながら説明する。図１４は、移動経路を補正する態様を説明するための図である。

【0068】

搬送ロボット２には、各ポートＰｉの位置が予め教示されている。例えば、各ポートＰｉには、該ポートＰｉにおいて基板Ｗの中心Ｗｃが配置されるべき位置である移載位置Ｐｉｏ（ｉ＝１，２，３，４）が規定されており、各ポートＰｉの移載位置Ｐｉｏが、予め搬送ロボット２に教示される。その一方で、基板Ｗがハンド部２２上の正規保持位置に保持された場合に、該基板Ｗの中心Ｗｃが配置される位置が、ハンド部２２における先端中心２２１１として記憶される。そして、往路直進動作におけるハンド部２２の移動経路（正規の移動経路）は、ハンド部２２の先端中心２２１１が、教示された移載位置Ｐｉｏに配置されるように規定されている。基板Ｗが正規保持位置に保持されている場合、このような移動経路にしたがってハンド部２２が移動されることで、該基板Ｗの中心Ｗｃが、教示された移載位置Ｐｉｏに配置される（図１４（ａ））。つまり、基板ＷがポートＰｉに適切に搬送される。

【0069】

基板Ｗに位置ずれが生じている場合、経路補正部４０２は、位置ずれ量特定部４０１が特定した基板Ｗの位置ずれ量に基づいて、往路直進動作におけるハンド部２２の移動経路を補正する。具体的には例えば、経路補正部４０２は、まず、移載位置Ｐｉｏを、基板Ｗの位置ずれ量に応じてオフセットした位置を、補正移載位置Ｐｉｍとして取得する。例えば、経路補正部４０２は、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃの、先端中心２２１１からの変位量（すなわち、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃの、正規保持位置に保持された場合の基板Ｗの中心Ｗｃからの変位量）ΔＷを特定する。そして、経路補正部４０２は、移載位置Ｐｉｏを、位置ずれ量ΔＷと同じ大きさだけ、位置ずれ量ΔＷと逆の向きに、変位させた位置を、補正移載位置Ｐｉｍとして取得する。そして、経路補正部４０２は、往路直進動作において、ハンド部２２の先端中心２２１１が、移載位置Ｐｉｏではなく補正移載位置Ｐｉｍに配置されるように、往路直進動作の移動経路（具体的には、ハンド部２２および各アーム部分２１１，２１２の旋回角度）を補正する。補正された移動経路にしたがってハンド部２２が移動されると、ハンド部２２の先端中心２２１１が補正移載位置Ｐｉｍに配置され、このとき、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが、移載位置Ｐｉｏに配置される（図１４（ｂ））。すなわち、位置ずれを生じた状態でハンド部２２に保持されている基板Ｗが、本来の移載位置Ｐｉｏに対してずれなく正確に移載される。つまり、基板ＷがポートＰｉに適切に搬送される。

【0070】

もっとも、経路補正部４０２が移動経路を補正する態様は、上記に例示したものに限られるものではなく、適宜の態様で移動経路を補正することができる。

【0071】

＜６．搬送ロボット２の動作＞
搬送ロボット２が、ポートＰｉに基板Ｗを搬送する動作について、図１５を参照しながら説明する。図１５は、該動作を説明するための図である。以下に行われる一連の動作は、制御部４が、搬送ロボット２を制御することによって進行する。いうまでもなく、搬送ロボット２は、基板処理装置１００が備える複数のポートＰｉの各々に対して、基板Ｗを搬送することが可能であり、各ポートＰｉに対して行われる動作は基本的に同じである。図１５では、第１ポートＰ１に対して基板Ｗを搬送する場合が例示されている。

【0072】

搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＰｉ（図１５では第１ポートＰ１）について、旋回動作と直進動作とを行って、該ポートＰｉに基板Ｗを搬送する。

【0073】

具体的には、まず、搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＰｉについて規定される入れ替え位置に配置される（図１５（ａ））。つまり、ハンド部２２の旋回中心２２０が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上の位置Ｃｉに配置され、ハンド部２２の先端部２２１が、非対向位置Ｑｉに配置される。このとき、ハンド部２２の先端部２２１には、ポートＰｉに搬送するべき基板Ｗが保持されている。

【0074】

続いて、往路旋回動作が行われて、搬送ロボット２が入れ替え位置からリトラクト位置へと移動される。すなわち、ハンド部２２が、旋回中心２２０の周りで旋回されて、先端部２２１が非対向位置Ｑｉから対向位置Ｒｉに移動される（図１５（ｂ））。この往路旋回動作において、ハンド部２２に保持されている基板Ｗが通過する通過弧状領域Ｍｉにセンサ部３の検出ポイント３０がある場合、円弧状の軌道に沿って移動する基板Ｗが検出ポイント３０を横断し、該基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂがセンサ部３によって検出される。

【0075】

上記のとおり、センサ部３の検出ポイント３０は、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されている。例えば、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４が共用ポートとして選択されている場合、センサ部３の検出ポイント３０が配置される位置は、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が重なる領域ＭＤ内となっている（図１２）。この場合、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の各々に基板Ｗを搬入する際の各旋回動作（例えば、各往路旋回動作）において、同じセンサ部３が基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂを検出する。つまり、センサ部３が、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の間で共用される。

【0076】

ハンド部２２に保持されている基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂがセンサ部３によって検出されると、位置ずれ量特定部４０１が、センサ部３での検出結果に基づいて、該基板Ｗの位置ずれ量を特定し、該特定した位置ずれ量を経路補正部４０２に通知する。

【0077】

続いて、往路直進動作が行われて、搬送ロボット２がリトラクト位置からポート内位置へと移動される。すなわち、ハンド部２２が、ポートＰｉに近づく方向に直進されて、先端部２２１が対向位置ＲｉからポートＰｉに移動される（図１５（ｃ））。

【0078】

基板Ｗに位置ずれが生じていない場合、往路直進動作において、ハンド部２２は正規の移動経路にしたがって移動され、ハンド部２２の先端中心２２１１が移載位置Ｐｉｏに配置される（図１４（ａ）参照）。これによって、基板Ｗの中心Ｗｃが移載位置Ｐｉｏに配置される。つまり、基板ＷがポートＰｉに適切に搬送される。

【0079】

一方、基板Ｗに位置ずれが生じている場合、経路補正部４０２が、位置ずれ量特定部４０１から通知された位置ずれ量に基づいて、往路直進動作におけるハンド部２２の移動経路を補正する。すなわち、往路直進動作において、ハンド部２２が補正された移動経路にしたがって移動され、ハンド部２２の先端中心２２１１が補正移載位置Ｐｉｍに配置される（図１４（ｂ）参照）。これによって、位置ずれを起こした状態でハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが、移載位置Ｐｉｏに配置される。つまり、基板ＷがポートＰｉに適切に搬送される。

【0080】

続いて、ハンド部２２の先端部２２１に保持されている基板ＷがポートＰｉに移載される。ここでは、ポート内位置において、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが移載位置Ｐｉｏに配置されているので、該基板Ｗがずれなく正確に移載位置Ｐｉｏに移載される。

【0081】

その後、復路直進動作が行われて、搬送ロボット２がポート内位置からリトラクト位置へと移動される。すなわち、ハンド部２２が、ポートＰｉから離れる方向に直進されて、先端部２２１がポートＰｉから対向位置Ｒｉに移動される（図１５（ｄ））。以上で、ポートＰｉに基板Ｗを搬送する動作が終了する。

【0082】

＜７．効果＞
上記の態様は、複数のポートＰｉに対して基板Ｗを搬送する基板搬送装置１０であって、先端部２２１で基板Ｗを保持するハンド部２２と、ハンド部２２が旋回自在に連結されたアーム部２１と、を備え、搬送対象となるポートＰｉについて、ハンド部２２を旋回させて、先端部２２１を該ポートＰｉと対向しない非対向位置Ｑｉと該ポートＰｉと対向する対向位置Ｒｉとの間で移動させる旋回動作と、ハンド部２２を直進させて、先端部２２１を対向位置Ｒｉと該ポートＰｉとの間で移動させる直進動作とを行う、搬送ロボット２と、旋回動作において、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの周縁を検出するセンサ部３と、センサ部３での検出結果に基づいて、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの位置ずれ量を特定する位置ずれ量特定部４０１と、位置ずれ量に基づいて、直進動作においてハンド部２２を移動させる移動経路を補正する経路補正部４０２と、を備える。そして、搬送対象となるポートＰｉについて行われる旋回動作において、ハンド部２２に保持されている基板Ｗが通過する領域を、該ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉと呼ぶとき、センサ部３の検出ポイント３０が、複数のポートＰｉのうちから選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置される。

【0083】

この構成によると、センサ部３の検出ポイント３０が、選択された複数のポート（共用ポートとして選択された複数のポート）Ｐｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに配置されるので、該選択された複数のポートＰｉの各々に搬送される基板Ｗの周縁を同じセンサ部３で検出することができる。すなわち、該選択された複数のポートＰｉの間でセンサ部３を共用することができる。したがって、センサ部３の個数を抑えつつ、複数のポートＰｉの各々に基板Ｗを適切に搬送することができる。

【0084】

例えば、旋回動作ではなく、直進動作が行われる際に、センサ部によって基板Ｗの周縁を検出することも考えられる。すなわち、直進動作において基板Ｗが通過する直線状領域内に検出ポイントが配置されるようにセンサ部を設けて、往路直進動作において直線状の軌道に沿って移動する基板Ｗの周縁を検出することも考えられる。この場合であっても、センサ部で基板Ｗの２個の周縁を検出することができ、該検出結果に基づいて、基板Ｗの位置ずれ量を特定することができる。ところが、この場合、２個目の周縁は、往路直進動作がほぼ終了する時点においてようやく検出される。つまり、往路直進動作がほぼ終了するまで基板Ｗの位置ずれ量が特定されない。したがって、位置ずれ量が特定されて、基板Ｗに位置ずれが生じていることが判明した場合、往路直進動作がほぼ終了している状態から、アーム部２１およびハンド部２２を再び駆動して、位置ずれ量に応じて補正された移動経路にしたがってハンド部２２を移動させなければならない。すなわち、基板Ｗの位置ずれが生じていない場合は、往路直進動作が終了した状態のままハンド部２２に保持されている基板Ｗが移載されるのに対し、位置ずれ量が生じている場合は、往路直進動作がほぼ終了した状態から余計な動作を行わなければならない。つまり、位置ずれを補正して基板ＷをポートＰｉに適切に搬送するために、余計な動作を行わなければならない。このため、スループットの低下が避けられない。例えば、ポートＰｉの位置によっては、往路直進動作がほぼ終了している状態においてアーム部２１がほぼ伸び切った姿勢になる場合もあるところ、このような姿勢は不感領域に近いため該状態からハンド部２２を移動させるのに時間を要することもある。つまり、このような場合には、上記の余計な動作が、スループットに与える影響が特に大きくなるおそれがある。

【0085】

これに対し、上記の構成によると、直進動作ではなく、旋回動作が行われる際に、センサ部３によって基板Ｗの周縁を検出する。このため、センサ部３での検出結果に基づいて特定された基板Ｗの位置ずれ量に応じて、続く往路直進動作においてハンド部２２を移動させる移動経路を補正することで、基板ＷをポートＰｉに適切に搬送することができる。すなわち、このような構成では、位置ずれを補正して基板ＷをポートＰｉに適切に搬送するために余計な動作を行う必要がない。したがって、スループットの低下を抑制しつつ、基板Ｗを適切に搬送することができる。

【0086】

また、上記の態様に係る基板搬送装置１０において、検出ポイント３０が、選択された複数のポートＰｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心から等距離の位置に、配置されることも好ましい。

【0087】

この構成によると、センサ部３の検出ポイント３０と、選択された複数のポート（共用ポートとして選択された複数のポート）Ｐｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心（すなわち、旋回動作においてハンド部２２の旋回中心２２０が配置される位置Ｃｉ）との離間距離が、互いに等しいものとなる。したがって、例えば、センサ部３の検出結果に基づいて基板Ｗの位置ずれ量を特定する演算処理において、旋回中心２２０と検出ポイント３０との離間距離が定数の一つとして用いられる場合、選択された複数のポートＰｉの各々に基板Ｗを搬送する際に行われる各演算処理の間でこの定数を共通化することができるので、位置ずれ量を特定するための演算処理に係る処理負担を低減することができる。

【0088】

また、上記の態様に係る基板搬送装置１０においては、センサ部３が、検出光を投光する投光部３１と、投光部３１から投光された検出光の反射光を受光する受光部３２と、を備える。

【0089】

仮に、センサ部が透過型の光電センサであるとした場合、投光部と受光部とを、ハンド部２２に対して異なる側に配置することになる。この場合、投光部と受光部との位置調整（光軸調整）に手間がかかる。また、ハンド部２２の下側に配置する部材は、搬送ロボット２と干渉しない位置であって、かつ、配線処理が可能である位置にしか設置することができないため、センサ部を設置できる位置（ひいては、検出ポイントを配置できる位置）が大きく制限されてしまう。これに対し、上記の構成においては、センサ部３が反射型の光電センサであるので、投光部３１と受光部３２とを、ハンド部２２に対して同じ側に配置することができる。したがって、投光部３１と受光部３２との位置調整に手間がかかることがなく、センサ部３の調整に係る作業負担を低減することができる。また、投光部３１と受光部３２を、ともにハンド部２２の上側に配置することができるので、センサ部３を設置できる位置（ひいては、検出ポイント３０を配置できる位置）の自由度が高く、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、検出ポイント３０を難なく配置することができる。別の見方をすると、共用ポートの選択の自由度が高い。

【0090】

また、上記の態様に係る基板搬送装置１０においては、センサ部３が、投光部３１から投光された検出光を受光部３２に向けて反射させる反射部３３、をさらに備え、アーム部２１が、基端部において所定の旋回中心２１１０の周りで旋回自在に配設されており、反射部３３が、アーム部２１の該基端部に設けられる。

【0091】

この構成によると、反射部３３で検出光を反射することで、受光部３２において検出光を安定して受光することが可能となり、検出光が基板Ｗの周縁で遮られた際に、受光部３２で受光される反射光に十分な変化が生じる。したがって、基板Ｗの周縁を十分な精度で検出することができる。特に、アーム部２１の基端部は、アーム部２１の旋回に伴う変位が比較的小さいので、ここに反射部３３を設けておけば、アーム部２１の姿勢にかかわらず、検出光を安定して受光部３２に受光させることができる。別の見方をすると、アーム部２１の姿勢にかかわらず受光部３２に向けて検出光を反射するために必要な反射部３３のサイズを、小さくすることができる。

【0092】

＜８．他の実施形態＞
＜８－１．一対のハンド部＞
上記の実施形態において、搬送ロボット２は、一対のハンド部２２ａ，２２ｂを備えるものであってもよい。この場合、例えば、一対のハンド部２２ａ，２２ｂの各々は、いずれも、略水平姿勢で延在する長尺の部材であり、互いに異なる高さに配置され、基端部において、第２アーム部分２１２の先端部と、共通の旋回中心２２０の周りで水平旋回自在に連結される。つまり、一対のハンド部２２ａ，２２ｂは、アーム部２１に対して、共通の旋回中心２２０の周りで水平旋回自在に、連結される。

【0093】

一対のハンド部２２ａ，２２ｂを備える搬送ロボット２が、ポートＰｉに基板Ｗを搬送する動作について、図１６を参照しながら説明する。図１６は、該動作を説明するための図である。以下に行われる一連の動作も、制御部４が、搬送ロボット２を制御することによって進行する。ここでも、搬送ロボット２は、基板処理装置１００が備える複数のポートＰｉの各々に対して、基板Ｗを搬送することが可能であり、各ポートＰｉに対して行われる動作は基本的に同じである。図１６では、第１ポートＰ１に対して基板Ｗを搬送する場合が例示されている。なお、以下においては、先に説明した要素と同じ要素については、同じ符号を付すとともに説明を省略する。

【0094】

搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＰｉ（図１６では第１ポートＰ１）について、旋回動作と直進動作とを行って、該ポートＰｉに基板Ｗを搬送する。

【0095】

具体的には、まず、搬送ロボット２は、一方のハンド部（以下「第１ハンド部」ともいう）２２ａが、搬送対象となるポートＰｉについて規定されるリトラクト位置に配置され、他方のハンド部（以下「第２ハンド部」ともいう）２２ｂが、該ポートＰｉについて規定される入れ替え位置に配置される（図１６（ａ））。つまり、ハンド部２２の旋回中心２２０が、ポートＰｉと対向位置Ｒｉとを結ぶ直線Ｄｉ上の位置Ｃｉに配置され、第１ハンド部２２ａの先端部２２１が対向位置Ｒｉに配置され、第２ハンド部２２ｂの先端部２２１が非対向位置Ｑｉに配置される。このとき、第１ハンド部２２ａの先端部２２１には基板Ｗが保持されておらず、第２ハンド部２２ｂの先端部２２１には、ポートＰｉに搬送するべき基板Ｗが保持されている。

【0096】

続いて、第１ハンド部２２ａの直進動作（往路直進動作および復路直進動作）が行われる。すなわち、第１ハンド部２２ａが、ポートＰｉに近づく方向に直進されて、先端部２２１が対向位置ＲｉからポートＰｉに移動される（図１６（ｂ））。続いて、第１ハンド部２２ａの先端部２２１で、ポートＰｉにある基板Ｗが保持された後、第１ハンド部２２ａが、ポートＰｉから離れる方向に直進されて、先端部２２１がポートＰｉから対向位置Ｒｉに移動される（図１６（ｃ））。

【0097】

続いて、旋回動作が行われる。ここでは、第１ハンド部２２ａの復路旋回動作が行われ、第２ハンド部２２ｂの往路旋回動作が行われる。つまり、一対のハンド部２２ａ，２２ｂが、共通の旋回中心２２０の周りで互いに逆向きに旋回されて、第１ハンド部２２ａの先端部２２１が対向位置Ｒｉから非対向位置Ｑｉに移動され、第２ハンド部２２ｂの先端部２２１が非対向位置Ｑｉから対向位置Ｒｉに移動される（図１６（ｄ））。このように、この旋回動作においては、一対のハンド部２２ａ，２２ｂが互いに逆向きに旋回して、互いの位置を入れ替える。この旋回動作において、各ハンド部２２ａ，２２ｂに保持されている基板Ｗが通過する通過弧状領域Ｍｉにセンサ部３の検出ポイント３０がある場合、円弧状の軌道に沿って互いに逆向きに移動する各基板Ｗの両方が、検出ポイント３０を横断する。ここでは例えば、往路旋回動作を行う第２ハンド部２２ｂに保持されている基板Ｗ（以下「往路側の基板Ｗ」ともいう）の周縁Ｗａ，Ｗｂが、センサ部３によって検出される。

【0098】

ただし、ここでは、２個の基板Ｗが、同じ通過弧状領域Ｍｉを互いに逆向きに通過することになるため、往路側の基板Ｗが検出ポイント３０を横断している間に、該往路側の基板Ｗが、他方の基板Ｗ（すなわち、復路旋回動作を行う第１ハンド部２２ａに保持されている基板Ｗであり、以下「復路側の基板Ｗ」ともいう）と上下に重なる可能性がある。両基板Ｗが上下に重なるタイミングによっては、往路側の基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂが正しく検出されないおそれがある。そこで、往路側の基板Ｗが検出ポイント３０を横断する時間帯と、復路側の基板Ｗが検出ポイント３０を横断する時間帯とが、重ならないように、各ハンド部２２ａ，２２ｂが旋回動作を開始するタイミングが規定されることが好ましい。特に、検出対象とされる基板Ｗ（ここでは、往路側の基板Ｗ）が検出ポイント３０を横断する時間帯が、他方の基板Ｗ（ここでは、復路側の基板Ｗ）が検出ポイント３０を横断する時間帯よりも先に到来するように、各ハンド部２２ａ，２２ｂが旋回動作を開始するタイミングが規定されることが好ましい。すなわち、往路側の基板Ｗの２個目の周縁Ｗｂが検出ポイント３０に到達した後に、復路側の基板Ｗの１個目の周縁Ｗａが検出ポイント３０に到達するように、各ハンド部２２ａ，２２ｂが旋回動作を開始するタイミングが規定されることが好ましい。

【0099】

なお、ここでも、センサ部３の検出ポイント３０は、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置されている。例えば、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４が共用ポートとして選択されている場合、センサ部３の検出ポイント３０が配置される位置は、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が重なる領域ＭＤ内となっている（図１２）。この場合、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の各々に基板Ｗを搬入する際の各旋回動作において、同じセンサ部３が、一対のハンド部２２ａ，２２ｂのうちの少なくとも一方に保持されている基板Ｗ（例えば、往路旋回動作を行う第２ハンド部２２ｂに保持されている往路側の基板Ｗ）の周縁Ｗａ，Ｗｂを検出する。つまり、センサ部３が、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、および、第４ポートＰ４の間で共用される。

【0100】

第２ハンド部２２ｂに保持されている往路側の基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂがセンサ部３によって検出されると、位置ずれ量特定部４０１が、センサ部３での検出結果に基づいて、該基板Ｗの位置ずれ量を特定し、該特定した位置ずれ量を経路補正部４０２に通知する。

【0101】

続いて、第２ハンド部２２ｂの往路直進動作が行われる。すなわち、第２ハンド部２２ｂが、ポートＰｉに近づく方向に直進されて、先端部２２１が対向位置ＲｉからポートＰｉに移動される（図１６（ｅ））。ここでも、基板Ｗに位置ずれが生じていない場合、往路直進動作において、第２ハンド部２２ｂは正規の移動経路にしたがって移動され、第２ハンド部２２ｂの先端中心２２１１が移載位置Ｐｉｏに配置される（図１４（ａ）参照）。これによって、基板Ｗの中心Ｗｃが移載位置Ｐｉｏに配置される。一方、基板Ｗに位置ずれが生じている場合、経路補正部４０２が、位置ずれ量特定部４０１から通知された位置ずれ量に基づいて、往路直進動作における第２ハンド部２２ｂの移動経路を補正する。すなわち、往路直進動作において、第２ハンド部２２ｂが補正された移動経路にしたがって移動され、第２ハンド部２２ｂの先端中心２２１１が補正移載位置Ｐｉｍに配置される（図１４（ｂ）参照）。これによって、位置ずれを起こした状態で第２ハンド部２２ｂに保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが、移載位置Ｐｉｏに配置される。

【0102】

続いて、第２ハンド部２２ｂの先端部２２１に保持されている基板ＷがポートＰｉに移載される。ここでは、ポート内位置において、第２ハンド部２２ｂに保持されている基板Ｗの中心Ｗｃが移載位置Ｐｉｏに配置されているので、該基板Ｗがずれなく正確に移載位置Ｐｉｏに移載される。

【0103】

その後、第２ハンド部２２ｂの復路直進動作が行われる。すなわち、第２ハンド部２２ｂが、ポートＰｉから離れる方向に直進されて、先端部２２１がポートＰｉから対向位置Ｒｉに移動される（図１６（ｆ））。以上で、ポートＰｉに基板Ｗを搬出入する動作が終了する。

【0104】

上記の態様に係る基板搬送装置１０は、搬送ロボット２が、アーム部２１に対して共通の旋回中心２２０の周りで旋回自在に連結された一対のハンド部２２ａ，２２ｂ、を備える。そして、旋回動作において、一対のハンド部２２ａ，２２ｂが互いに逆向きに旋回して互いの位置を入れ替えるものであり、一対のハンド部２２ａ，２２ｂのうちの一方のハンド部２２ａに保持されている基板Ｗが検出ポイント３０を横断する時間帯と、一対のハンド部２２ａ，２２ｂのうちの他方のハンド部２２ｂに保持されている基板Ｗが検出ポイント３０を横断する時間帯とが、重ならない。

【0105】

この構成においては、旋回動作において一対のハンド部２２ａ，２２ｂの位置の入れ替えがなされるところ、このときに、各ハンド部２２ａ，２２ｂに保持されている基板Ｗが検出ポイント３０を横断する時間帯が重ならないので、基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂを適切に検出することができる。

【0106】

＜８－２．センサ部の取り付け態様＞
上記の実施形態において、センサ部３を配設する態様の一例について、図１７、図１８を参照しながら説明する。図１７は、基板搬送装置１０の斜視図であり、蓋部１３が閉じられた状態（図１７（ａ））と、蓋部１３が開かれた状態（図１７（ｂ））とが、それぞれ示されている。図１８は、基板搬送装置１０の平面図（図１８（ａ））および側断面図（図１８（ｂ））である。ただし、図１８では、窓部１３１を閉鎖するカバー板１３２が取り外された状態が示されている。

【0107】

基板搬送装置１０が備える搬送チャンバー１は、上記のとおり、内部に搬送ロボット２を収容するチャンバーである。この搬送チャンバー１は、具体的には例えば、上部が開口した本体部１２と、本体部１２に対して着脱自在に設けられて、本体部１２の開口を閉鎖する蓋部１３と、を備える。

【0108】

本体部１２は、例えば、矩形の底板１２１と、底板１２１の各辺から立設された側壁１２２とを含んで構成される。側壁１２２には、ロードロックＬおよび各処理部Ｐが接続される。上記のとおり、各接続部分には、搬送ロボット２を各ポートＬｉ，Ｐｉにアクセスさせるための開口１１が設けられる。

【0109】

蓋部１３は、例えば板状の部材であり、その面内には、搬送ロボット２のメンテナンス作業などを行うための窓部１３１と、窓部１３１を塞ぐように取り付けられた開閉自在のカバー板１３２と、が設けられる。もっとも、窓部１３１およびカバー板１３２は、必須の要素ではなく、これらが省略されてもよい。

【0110】

搬送チャンバー１には、投光部３１および受光部３２（具体的には、これらが一体化された投受光ユニット３００）を支持する支持部材５が、設けられる。支持部材５は、具体的には例えば、本体部１２の側壁１２２に設けられる構造物であり、支持部材５の適宜の位置に、投受光ユニット３００が取り付けられる。投受光ユニット３００は、取り付け部材５１を介して支持部材５に取り付けられることによって、支持部材５に支持されてもよいし、支持部材５に対して直接に取り付けられることによって、支持部材５に支持されてもよい。

【0111】

支持部材５は、具体的には例えば、長尺な棒状であって、対向する一対の側壁１２２，１２２の間に架け渡して設けられ、投受光ユニット３００は、支持部材５の延在方向の適宜の位置に取り付けられる。このような構成であれば、支持部材５のサイズ（つまりは、搬送チャンバー１の内部空間において支持部材５が占有する領域）を小さく抑えることができる。これによって、搬送チャンバー１の内部空間を広く使用することが可能となる。また、搬送ロボット２のメンテナンス作業などにおいて、支持部材５が邪魔になりにくい。特に、蓋部１３に窓部１３１が設けられる場合、支持部材５は、上方から見て、窓部１３１と重ならない位置に配設されることが好ましい。このような構成であれば、窓部１３１を介して行われるメンテナンス作業の際に、支持部材５が邪魔になることがない。

【0112】

支持部材５の各端部を側壁１２２に固定する態様はどのようなものであってもよい。例えば、各側壁１２２に、支持部材５の端部に沿うような形状の段差部１２２１を形成しておき、各段差部１２２１に支持部材５の各端部を嵌め入れて、さらに、各段差部１２２１に嵌め入れられた支持部材５の端部を、ボルト５２などを用いて段差部１２２１に対して固定してもよい。このような構成によると、支持部材５の位置（ひいては、これに支持される投受光ユニット３００の位置）がずれること十分に防止することができる。

【0113】

上記のとおり、センサ部３の検出ポイント３０は、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心から等距離の位置に、配置されることが好ましい。すなわち、検出ポイント３０は、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの各々の通過弧状領域Ｍｉの円弧中心（すなわち、位置Ｃｉ）を結ぶ線分の垂直二等分線Ｎ上に、配置されることが好ましい。そこで、支持部材５は、上方から見て、検出ポイント３０が配置されるべき垂直二等分線Ｎと平行に延在するような姿勢で、配設されることが好ましい。例えば、少なくとも第１ポートＰ１と第３ポートＰ３とが共用ポートとされる場合（図１０、図１２）、支持部材５は、第１ポートＰ１および第３ポートＰ３の各通過弧状領域Ｍ１，Ｍ３の円弧中心（すなわち、位置Ｃ１，Ｃ３）を結ぶ線分の垂直二等分線Ｎと平行に延在するような姿勢で、配設されることが好ましい。このような構成によると、投受光ユニット３００、ひいては、検出ポイント３０を、該垂直二等分線Ｎ上に難なく配置することができる。

【0114】

なお、支持部材５とこれと平行に延在する垂直二等分線Ｎとを上方から見たときの離間距離は、例えば、投受光ユニット３００を支持部材５に取り付けるために用いられる取り付け部材５１の寸法に応じて規定すればよい。すなわち、取り付け部材５１を介して投受光ユニット３００を支持部材５に取り付けたときに、投受光ユニット３００が、上方から見て、垂直二等分線Ｎと重なる位置に配設されるように、支持部材５と垂直二等分線Ｎとの離間距離を規定すればよい。いうまでもなく、投受光ユニット３００を支持部材５の真下に取り付ける場合などにおいては、支持部材５と垂直二等分線Ｎとの上方から見たときの離間距離はゼロであってよい。

【0115】

上記の態様に係る基板搬送装置１０は、上部が開口した本体部１２と、本体部１２に対して着脱自在に設けられて該開口を閉鎖する蓋部１３と、を備え、内部に搬送ロボット２が収容される、搬送チャンバー１と、本体部１２の側壁１２２に設けられた支持部材５と、を備える。そして、投光部３１および受光部３２が支持部材５に支持される。

【0116】

この構成によると、投光部３１および受光部３２が、本体部１２の側壁１２２に設けられた支持部材５に支持されるので、例えば、蓋部１３が本体部１２から着脱されても、投光部３１および受光部３２の位置がずれることがない。仮に、投光部３１および受光部３２が蓋部１３に取り付けられる場合、蓋部１３が着脱される度に投光部３１および受光部３２の調整（例えば、検出ポイント３０の位置の調整、など）を行わなければならないが、投光部３１および受光部３２が、本体部１２に設けられた支持部材５に支持される構成であれば、蓋部１３が着脱される度にこのような調整を行う必要がない。すなわち、センサ部３の調整に係る作業負担を低減することができる。また、この構成によると、センサ部３の取り付け、交換なども容易である。さらに、この構成によると、投光部３１および受光部３２の高さ（すなわち、ハンド部２２との離間距離）の調整も容易である。したがって、該離間距離を小さくして（ひいては、センサ部３の光軸距離を短くして）、検出精度を高めることも容易である。

【0117】

＜８－３．ロードロック側のポート＞
上記の実施形態においては、搬送ロボット２が、処理部Ｐによって規定されるポートＰｉに基板Ｗを搬送する場合を例にとって説明したが、搬送ロボット２は、ロードロックＬによって規定されるポートＬｉ（ｉ＝１，２）に対しても、同様にして基板Ｗの搬送を行う。すなわち、ロードロックＬによって規定される各ポートＬｉについても、リトラクト位置、入れ替え位置、および、ポート内位置が、それぞれ規定されており、搬送ロボット２は、搬送対象となるポートＬｉについて、旋回動作と直進動作とを行って、該ポートＬｉに基板Ｗを搬送する。

【0118】

したがって、ロードロックＬの各ポートＬｉについても、通過弧状領域Ｅｉが規定される。図１９には、ロードロックＬの一方のポートＬ１の通過弧状領域Ｅ１が、図２０には、ロードロックＬの他方のポートＬ２の通過弧状領域Ｅ２が、それぞれ示されている。

【0119】

当然のことながら、ロードロックＬのポートＬｉが共用ポートとして選択されてもよい。例えば、ロードロックＬの各ポートＬｉが共用ポートとされてもよい。すなわち、図２１に示されるように、検出ポイント３０は、ロードロックＬの一方のポートＬ１の通過弧状領域Ｅ１と他方のポートＬ２の通過弧状領域Ｅ２とが重なる領域ＥＤに、配置されてもよい。なお、図２１に示されるように、検出ポイント３０が配置される領域ＥＤが、上方から見て、アーム部２１の上面と重ならない場合、反射部３３は、例えば、搬送チャンバー１の底面（具体的には例えば、本体部１２の底板１２１の上面）に配設すればよい。

【0120】

＜８－４．搬送チャンバーの外部にセンサ部＞
上記の実施形態においては、投光部３１および受光部３２（具体的には投受光ユニット３００）が、搬送チャンバー１の内部に配置されるものとしたが、投受光ユニット３００は搬送チャンバー１の外部に配置されてもよい。例えば、図２２に示されるように、投受光ユニット３００が、搬送チャンバー１の蓋部１３の上側に配置されてもよい。具体的には例えば、蓋部１３の上面に支持部材５を配設し、該支持部材５に投受光ユニット３００を取り付けてもよい。ただし、投受光ユニット３００を蓋部１３の上側に配置する場合、投光部３１から投光された検出光と受光部３２に戻る反射光とを透過させるための透過窓１３３を、蓋部１３に設けておく。例えば、搬送チャンバー１の内部空間が真空環境とされる場合などにおいては、投受光ユニット３００を搬送チャンバー１の外部に配置する構成を採用することで、投受光ユニット３００として真空環境に対応しないものを使用することが可能となる。

【0121】

＜８－５．その他＞
上記の実施形態においては、投光部３１および受光部３２（具体的には投受光ユニット３００）が、ハンド部２２の上側に配置されるものとしたが、投受光ユニット３００は、ハンド部２２の下側に配置されてもよい。具体的には例えば、投受光ユニット３００が、搬送チャンバー１の底板１２１に設けられてもよい。

【0122】

センサ部３において、投光部３１と受光部３２は必ずしも投受光ユニット３００としてユニット化されていなくともよい。すなわち、互いに別体である投光部３１と受光部３２とが、それぞれの適宜の位置に設けられてもよい。

【0123】

センサ部３は、撮像素子が１次元あるいは２次元に配列された撮像デバイス（いわゆるカメラ）であってもよい。この場合、カメラで取得される撮像情報に基づいて、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの周縁Ｗａ，Ｗｂを検出することができる。いうまでもなく、この場合も、センサ部３の検出ポイント３０（具体的には、カメラの撮像領域）は、複数のポートＰｉのうちから選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置される。センサ部３がカメラである場合、センサ部３が反射型の光電センサである場合と同様、センサ部３をハンド部２２に対して同じ側に配置することができるので、センサ部３の調整に係る作業負担を低減することができ、センサ部３を設置できる位置の自由度が高い。

【0124】

センサ部３は、透過型の光電センサであってもよい。すなわち、センサ部３は、投光部３１と受光部３２が検出対象物に対して異なる側に配置されて、透過光に基づいて検出を行うものであってもよい。この場合、例えば、投光部３１がハンド部２２の一方側（例えば上側）に配設され、受光部３２がハンド部２２の他方側（例えば下側）に配設される。いうまでもなく、この場合も、センサ部３の検出ポイント３０は、複数のポートＰｉのうちから選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、配置される。

【0125】

上記の実施形態において、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに、複数のセンサ部３の検出ポイント３０が配置されてもよい。ただし、この場合、複数の検出ポイント３０の配列方向は、重なり合う各通過弧状領域Ｍｉの円弧方向（すなわち、各旋回動作において基板Ｗが移動される円弧軌道の延在方向）と一致しない方向に規定される。旋回動作において基板Ｗが通過する通過弧状領域Ｍｉに複数の検出ポイント３０がある場合、円弧状の軌道に沿って移動する基板Ｗが、複数の検出ポイント３０を横断する。別の見方をすると、基板Ｗを横断する複数の円弧軌道ｍの各々に沿って、検出ポイント３０が基板Ｗを横断する。これにより、複数のセンサ部３の各々によって基板Ｗの各周縁Ｗａ，Ｗｂが検出される（すなわち、一対の周縁Ｗａ，Ｗｂが、複数組（センサ部３と同数個）、検出される）。位置ずれ量特定部４０１が、複数のセンサ部３での検出結果に基づいて、ハンド部２２に保持されている基板Ｗの位置ずれ量を特定することによって、位置ずれ量の特定精度を十分に高めることができる。ひいては、経路補正部４０２における補正精度を十分に高めることができる。

【0126】

また、各ポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉに複数のセンサ部３の検出ポイント３０が配置され、該複数のセンサ部３の少なくとも一部が、他のポートＰｉとの間で共用される構成としてもよい。すなわち、通過弧状領域Ｍｉに複数のセンサ部３の検出ポイント３０が配置され、該複数のセンサ部３の検出ポイント３０の少なくとも一部が、共用ポートとして選択された複数のポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉが重なる領域ＭＤに配置されてもよい。

【0127】

上記の実施形態において、搬送ロボット２が一対のハンド部２２ａ，２２ｂを備える場合、旋回動作において、往路側の基板Ｗがセンサ部３での検出対象とされていたが、これに代えて（あるいはこれに加えて）、復路側の基板Ｗがセンサ部３での検出対象とされてもよい。この場合、位置ずれ量特定部４０１が、復路側の基板Ｗの位置ずれ量を特定し、位置ずれが生じている場合、経路補正部４０２が、該特定された位置ずれ量に基づいて、該基板ＷをいずれかのポートＰｉに搬入する際に行われる往路直進動作において第１ハンド部２２ａを移動させる移動経路を補正してもよい。

【0128】

上記の実施形態において、搬送ロボット２の構成はどのようなものであってもよい。例えば、第１アーム部分２１１と第２アーム部分２１２とは互いにほぼ同じ長さであってもよいし、互いに異なる長さであってもよい。

【0129】

上記の実施形態では、ロードロックＬ（具体的には、載置部）、および、処理部Ｐ（具体的には、処理ステージ、など）が、ポートＰｉ，Ｌｉを構成していたが、ポートＰｉ，Ｌｉはこれらに限られるものではない。例えば、ポートＰｉ，Ｌｉは、別の搬送装置との間で基板Ｗを受け渡す受け渡し位置、基板Ｗを一時的に保管するバッファ装置、基板Ｗの格納容器、などであってもよい。また、処理部Ｐがロードロックを介して基板搬送装置１０と接続されている場合、該ロードロック（具体的には例えば、ロードロックに設けられた基板Ｗの載置部）が、ポートＰｉとされてもよい。

【0130】

基板搬送装置１０の周囲に規定されるポートＰｉの位置および個数は、上記の実施形態において例示したものに限られない。また、互いに異なる種類のポートＰｉが、共用ポートとされてもよい。例えば、上記の実施形態において、ロードロックＬのポートＬｉの通過弧状領域Ｅｉと、処理部ＰのポートＰｉの通過弧状領域Ｍｉとが重なる場合、ロードロックＬのポートＬｉと処理部ＰのポートＰｉとが共用ポートとされてもよい。

【0131】

上記の実施形態において、搬送チャンバー１の内部空間は真空環境とされるものとしたが、搬送チャンバー１の内部空間は必ずしも真空環境とされる必要はなく、例えば大気圧環境とされてもよい。

【0132】

上記の実施形態において、位置ずれ量特定部４０１が、特定した位置ずれ量が所定の閾値よりも大きいか否かを判定し、所定の閾値よりも大きい場合に、基板Ｗに位置ずれが生じていると判断して、該特定された位置ずれ量を経路補正部４０２に通知してもよい。そして、経路補正部４０２が、位置ずれ量特定部４０１から位置ずれ量が通知された場合に、該通知された位置ずれ量に基づいて、往路直進動作におけるハンド部２２の移動経路を補正してもよい。この場合、ポートＰｉ，Ｌｉごとに（例えば、各ポートＰｉ，Ｌｉの種類などに応じて）、閾値が個別に設定されてもよい。

【0133】

上記の実施形態において、基板Ｗは、ウェハに限られるものではなく、例えば、ガラス基板、テープフレームに保持されたウェハ（テープフレームウェハ）、などであってもよい。また、基板Ｗの形状は、円形であってもよいし、円形以外の形状（例えば、矩形）であってもよい。また、基板Ｗは不透明であってもよいし、透明であってもよい。基板Ｗが透明の場合であっても、その周縁では屈折率が異なるため、受光部３２で受光される光量に変化が生じ、その変化を受光部３２で検出することで、周縁を検出することができる。

【0134】

その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0135】

１００ 基板処理装置
１０ 基板搬送装置
１ 搬送チャンバー
２ 搬送ロボット
２１ アーム部
２２ ハンド部
２２ａ 第１ハンド部
２２ｂ 第２ハンド部
３ センサ部
３１ 投光部
３２ 受光部
３３ 反射部
３０ 検出ポイント
４ 制御部
Ｐｉ，Ｌｉ ポート
Ｒｉ 対向位置
Ｑｉ 退避位置
Ｍｉ，Ｅｉ 通過弧状領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】