特開 2024-66221 ガス供給システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066221

(43)【公開日】2024-05-15

(54)【発明の名称】ガス供給システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240508BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20240508BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20240508BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/04 551A

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022175653

(22)【出願日】2022-11-01

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】西川 直

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022EE05

3F022JJ08

3F022MM15

3F022NN48

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA01

5F131BA13

5F131BA17

5F131BB12

5F131DA22

5F131DA34

5F131DC06

5F131DC26

5F131DD02

5F131DD13

5F131DD23

5F131DD43

5F131DD59

5F131DD67

5F131DD72

5F131DD75

5F131DD95

5F131GA13

5F131GA92

5F131JA04

5F131JA15

5F131JA16

5F131KA22

5F131KA56

5F131KB16

(57)【要約】

【課題】搬送車によって搬送されている途中の容器に不活性ガスを供給することが可能なガス供給システムを実現する。
【解決手段】ガス供給システムは、搬送車１に不活性ガスを供給するガス供給車２を備えている。搬送車１は、ガス供給車２からの不活性ガスの供給を受ける被供給部１４と、被供給部１４に供給された活性ガスを容器８に供給する第１供給装置Ｓ１と、を備えている。ガス供給車２は、走行経路Ｒを走行可能に構成され、不活性ガスが充填されたガスタンク７を着脱可能に保持する保持部２３と、被供給部１４に対する接続及び分離が可能に構成された供給部２４と、保持部２３に保持されたガスタンク７から供給部２４に不活性ガスを供給する第２供給装置Ｓ２と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、前記容器の内部に不活性ガスを供給するためのガス供給システムであって、
前記搬送車に前記不活性ガスを供給するガス供給車を備え、
前記搬送車は、前記ガス供給車からの前記不活性ガスの供給を受ける被供給部と、前記被供給部に供給された前記不活性ガスを前記容器に供給する第１供給装置と、を備え、
前記ガス供給車は、前記走行経路を走行可能に構成され、
前記ガス供給車は、前記不活性ガスが充填されたガスタンクを着脱可能に保持する保持部と、前記被供給部に対する接続及び分離が可能に構成された供給部と、前記保持部に保持された前記ガスタンクから前記供給部に前記不活性ガスを供給する第２供給装置と、を備える、ガス供給システム。

【請求項2】

前記保持部が前記ガスタンクを保持していない非保持状態から前記ガスタンクを保持した保持状態に変化することに伴って、前記第２供給装置が前記保持部に保持された前記ガスタンクに接続される、請求項１に記載のガス供給システム。

【請求項3】

前記走行経路に沿う方向を走行方向とし、前記走行方向の一方側を走行方向第１側とし、前記走行方向の他方側を走行方向第２側として、
前記供給部は前記ガス供給車の車体から前記走行方向第１側に突出するように配置され、
前記被供給部は前記搬送車の車体から前記走行方向第２側に突出するように配置され、
前記供給部と前記被供給部との少なくとも一方に電磁石が設けられ、
前記電磁石に対する通電の有無によって前記供給部と前記被供給部との接続及び分離が制御される、請求項１に記載のガス供給システム。

【請求項4】

前記ガス供給車は、対象となる前記搬送車である対象搬送車との距離を一定に保つように前記対象搬送車に追従して走行する追従走行を実行するように構成され、
前記第２供給装置は、可撓性を有するガス管を備え、
前記ガス管は、前記ガス供給車の車体から前記走行方向第１側に向かって延出するように配置されていると共に、端部に前記供給部が取り付けられている、請求項３に記載のガス供給システム。

【請求項5】

前記ガス管は、回転体に巻回されており、前記ガス供給車と前記搬送車との車間距離に応じて繰り出され又は巻き取られるように構成されている、請求項４に記載のガス供給システム。

【請求項6】

前記ガスタンクを保管するガスタンク保管庫を備え、
前記ガス供給車は、前記ガス供給車の車体と前記ガスタンク保管庫との間で前記ガスタンクの移載を行う移載装置を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のガス供給システム。

【請求項7】

前記ガス供給車は、前記ガスタンク内の前記不活性ガスの残量を計測する残量計測器を備え、
前記ガス供給車は、前記残量計測器による計測結果に基づいて、前記ガスタンク保管庫に移動し、前記ガスタンク保管庫において、使用済みの前記ガスタンクと前記不活性ガスが充填された前記ガスタンクとを交換する、請求項６に記載のガス供給システム。

【請求項8】

前記ガスタンク保管庫は、前記ガスタンクに前記不活性ガスを充填するガス充填装置を備え、
前記ガス充填装置は、前記ガス供給車から受け取った使用済みの前記ガスタンクに前記不活性ガスを充填する、請求項６に記載のガス供給システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、前記容器の内部に不活性ガスを供給するためのガス供給システムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体製造工場などでは、半導体ウェハやガラス基板が、専用の容器に収容された状態で搬送車によって搬送される。容器内には、半導体ウェハ等の酸化抑制や半導体ウェハ等に対する塵埃の付着防止等のために、不活性ガスがパージガスとして注入されている。このような技術が、例えば特開２０１６－０２１４２９号公報（特許文献１）に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－０２１４２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

この種の分野では、特許文献１にも開示されているように、容器の保管、及び、保管されている容器への不活性ガスの供給を行うパージストッカが用いられることが多い。しかしながら、容器内へ不活性ガスを供給するためには、搬送車が、対象の容器をパージストッカまで搬送しなければならない。また、不活性ガスの供給は、容器がパージストッカ内に保管されている間にしかすることができない。

【0005】

上記実情に鑑みて、搬送車によって搬送されている途中の容器に不活性ガスを供給することが可能なガス供給システムの実現が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、前記容器の内部に不活性ガスを供給するためのガス供給システムであって、
前記搬送車に前記不活性ガスを供給するガス供給車を備え、
前記搬送車は、前記ガス供給車からの前記不活性ガスの供給を受ける被供給部と、前記被供給部に供給された前記不活性ガスを前記容器に供給する第１供給装置と、を備え、
前記ガス供給車は、前記走行経路を走行可能に構成され、
前記ガス供給車は、前記不活性ガスが充填されたガスタンクを着脱可能に保持する保持部と、前記被供給部に対する接続及び分離が可能に構成された供給部と、前記保持部に保持された前記ガスタンクから前記供給部に前記不活性ガスを供給する第２供給装置と、を備える。

【0007】

本構成によれば、供給部を被供給部に接続することで、ガス供給車が保持するガスタンクから搬送車が搬送している容器に不活性ガスを供給することができる。この際、ガス供給車は、搬送車と同じ走行経路を走行可能であるため、搬送車が走行中であるか走行停止中であるかに関わらず容器に不活性ガスを供給することができる。また本構成によれば、ガス供給車はガスタンクを着脱可能に保持するため、ガスタンクを容易に交換可能である。従って、ガス供給車が搬送車と同じ走行経路を走行可能な構成としつつ、当該ガス供給車により供給できる不活性ガスの量も多く確保し易い。以上のように、本構成によれば、搬送車によって搬送されている途中の容器に不活性ガスを供給することが可能なガス供給システムを実現できる。

【0008】

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】ガス供給システムを用いた搬送設備の平面図

【図2】搬送車とガス供給車とを示す側面図

【図3】制御ブロック図

【図4】供給部と被供給部との接続及び分離を示す説明図

【図5】ガスタンク保管庫でのガスタンクの交換を示す説明図

【発明を実施するための形態】

【0010】

ガス供給システムは、規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、容器の内部に不活性ガスを供給するためのシステムである。以下、ガス供給システムが搬送設備に用いられる場合を例示して、ガス供給システムの実施形態について説明する。

【0011】

図１及び図２に示すように、搬送設備１００は、規定の走行経路Ｒと、走行経路Ｒを走行して容器８を搬送する搬送車１と、走行経路Ｒに沿って設けられた複数の移載対象箇所９と、を備えている。

【0012】

走行経路Ｒは、床面から上方に離間した位置に設定されている。本例では、走行経路Ｒは、天井付近に設けられたレールＲａを用いて構成されている。搬送車１は、いわゆる天井搬送車として構成されており、レールＲａに沿って走行する。移載対象箇所９は、走行経路Ｒよりも下方に配置されている。搬送車１は、容器８を昇降させることにより、移載対象箇所９との間で容器８を移載するように構成されている。

【0013】

本実施形態では、搬送設備１００は、搬送車１を複数備えている。複数の搬送車１のそれぞれは、設備を統括管理する上位制御装置Ｃｔ（図３参照）から搬送指令を受けて、当該搬送指令に応じたタスクを実行するように構成されている。例えば搬送指令には、容器８の搬送元と搬送先との情報が含まれる。搬送指令を受けた搬送車１は、搬送元から搬送先まで容器８を搬送する。搬送元や搬送先には、移載対象箇所９が含まれる。

【0014】

搬送設備１００で取り扱われる容器８としては、様々なものがある。本例では、搬送設備１００は、半導体製造工場に用いられる。そのため、容器８は、半導体ウェハやガラス基板などの被収容物を収容するように構成されている。搬送車１は、これらの被収容物を収容した容器８を、走行経路Ｒに沿って各工程間に亘って搬送する。

【0015】

本実施形態では、移載対象箇所９は、容器８に対する処理を行う処理装置９０と、処理装置９０に隣接して配置された載置台９１と、を備えている。本明細書において「容器８に対する処理」とは、容器８に収容された被収容物（半導体ウェハやガラス基板）に対する処理を意味する。搬送車１は、処理装置９０による処理を終えた容器８を載置台９１から受け取り、又は、処理装置９０による処理が済んでいない容器８を載置台９１に引き渡す。なお、処理装置９０は、例えば、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う。

【0016】

図２に示すように、搬送車１は、車体１６を備えている。車体１６は、支持部１０と、走行部１１と、を備えている。搬送車１は、更に、昇降部１２と、容器保持部１３と、を備えている。昇降部１２及び容器保持部１３は、車体１６（ここでは、支持部１０）に支持されている。

【0017】

支持部１０は、容器８を支持するように構成されている。本実施形態では、支持部１０は、容器保持部１３により容器８を保持することで、当該容器８を支持する。また、本実施形態では、支持部１０は、容器８を収容するように構成されている。すなわち支持部１０は、容器８を収容するための収容部としての機能を有している。搬送車１は、容器８を搬送する場合には、支持部１０に容器８を収容した状態で走行経路Ｒに沿って走行する。本実施形態では、支持部１０は、レールＲａの下側に配置されている。

【0018】

走行部１１は、走行経路Ｒに沿って走行するように構成されている。走行部１１は、レールＲａに沿って走行する。本実施形態では、走行部１１は、レールＲａの上側に配置されており、レールＲａの下側に配置された支持部１０と連結されている。詳細な図示は省略するが、走行部１１は、複数の車輪と、複数の車輪のうち少なくとも一部を駆動する駆動源（例えば電動モータなど）と、を備えている。

【0019】

昇降部１２は、車体１６（ここでは支持部１０。以下同じ。）と、車体１６よりも下方に配置された移載対象箇所９（図１参照）と、の間で容器保持部１３を昇降させるように構成されている。これにより、搬送車１は、移載対象箇所９の載置台９１との間で容器８を移載可能となっている。詳細な説明は省略するが、昇降部１２は、容器保持部１３に連結された昇降ベルトと、昇降ベルトを巻き取り及び繰り出し可能に構成された昇降駆動部と、を備えている。

【0020】

容器保持部１３は、容器８を保持するように構成されている。容器保持部１３は、昇降部１２によって、車体１６と移載対象箇所９との間で昇降するように構成されている。

【0021】

本実施形態では、容器８は、容器本体８０と、容器本体８０の上面から上方に突出する被保持部８１と、を備えている。容器保持部１３は、容器８における被保持部８１を保持するように構成されている。本例では、容器８の被保持部８１は、フランジ状に形成されている。容器保持部１３は、フランジ状の被保持部８１を水平方向の両側から挟み込むようにして容器８を保持する。

【0022】

本実施形態では、容器保持部１３は、保持本体部１３ａと、保持本体部１３ａから下方に突出する一対の保持爪１３ｂと、を備えている。本例では、一対の保持爪１３ｂは、互いに接近又は離間するように動作する。一対の保持爪１３ｂは、互いに接近するように動作することで容器８を保持し、互いに離間するように動作することで上記保持を解除する。なお、保持本体部１３ａは、昇降部１２の昇降ベルトに連結されている。昇降ベルトが巻き取られることによって保持本体部１３ａは上昇する。昇降ベルトが繰り出されることによって保持本体部１３ａは下降する。

【0023】

本実施形態では、搬送車１は、車体１６からの容器８の落下を規制する落下規制部１５を備えている。落下規制部１５は、容器保持部１３に保持された状態で支持部１０に収容された容器８の落下を規制する。

【0024】

落下規制部１５は、支持部１０に連結されており、支持部１０に対して出退自在に構成されている。落下規制部１５は、支持部１０から突出した状態において、支持部１０に収容された容器８に対して下方から対向する位置に配置される。これにより、仮に、支持部１０内において容器８が容器保持部１３から外れた場合であっても、突出状態の落下規制部１５によって容器８の落下を規制することができる。また、落下規制部１５は、引退した状態において、昇降部１２による容器保持部１３及び容器８の昇降軌跡から外れる。これにより、落下規制部１５が、昇降部１２による容器保持部１３及び容器８の昇降の妨げとならないようにできる。

【0025】

ここで、このような半導体製造工場では、容器内に収容された被収容物（半導体ウェハやガラス基板など）の酸化抑制や、被収容物に対する塵埃の付着防止等のために、窒素ガスなどの不活性ガスを容器内に供給することが一般的である。従来では、容器内への不活性ガスの供給は、専用のパージストッカにおいて容器が保管されている間に行われることが多かった。本開示に係るガス供給システムは、そのようなパージストッカを用いることなく、容器内への不活性ガスの供給を可能としている。以下、詳細に説明する。

【0026】

以下では、走行経路Ｒに沿う方向を「走行方向Ｘ」とする。また、走行方向Ｘの一方側を「走行方向第１側Ｘ１」とし、走行方向Ｘの他方側を「走行方向第２側Ｘ２」とする。本実施形態では、走行方向第１側Ｘ１は、走行方向Ｘにおける前側である。走行方向第２側Ｘ２は、走行方向Ｘにおける後側である。

【0027】

図２に示すように、ガス供給システムは、搬送車１に不活性ガスを供給するガス供給車２を備えている。ガス供給車２は、走行経路Ｒを走行可能に構成されている。ガス供給システムは、ガス供給車２を用いることによって、走行経路Ｒに存在する搬送車１が保持している容器８に不活性ガスを供給する。本例では、ガス供給車２は、天井付近に設けられたレールＲａに沿って走行するいわゆる天井走行車として構成されている。

【0028】

搬送車１は、ガス供給車２からの不活性ガスの供給を受ける被供給部１４と、被供給部１４に供給された不活性ガスを容器８に供給する第１供給装置Ｓ１と、を備えている。

【0029】

本実施形態では、被供給部１４は搬送車１の車体１６から走行方向第２側Ｘ２に突出するように配置されている。ここでは、被供給部１４は、支持部１０から走行方向第２側Ｘ２に突出するように配置されている。上述のように本例では、走行方向第２側Ｘ２は、走行方向Ｘの後側である。従って、被供給部１４は、搬送車１の車体１６の後部から後側に突出するように配置されている。被供給部１４は、ガス供給車２の供給部２４と接続可能に構成されている。なお、被供給部１４は、車体１６における支持部１０とは異なる部分（例えば、走行部１１）から走行方向第２側Ｘ２に突出するように配置されていてもよい。

【0030】

本実施形態では、第１供給装置Ｓ１は、ガス供給車２から供給された不活性ガスが通流する供給管Ｔｓと、容器保持部１３に保持された容器８に接続される第１ノズルＳ１ａと、を備えている。詳細な図示は省略するが、本例では、第１供給装置Ｓ１は、供給管Ｔｓにおける不活性ガスの流路を開閉自在な電磁弁を備えている。電磁弁の開閉動作は、搬送車１に搭載された搬送車制御装置Ｃ１によって制御される。

【0031】

供給管Ｔｓは、被供給部１４と第１ノズルＳ１ａとを繋いでいる。換言すれば、供給管Ｔｓにおける一端部が被供給部１４に連結されており、供給管Ｔｓにおける他端部が第１ノズルＳ１ａに連結されている。本実施形態では、供給管Ｔｓは、車体１６（ここでは、支持部１０）の内部を通るように配置されている。本例では、供給管Ｔｓは、支持部１０の内部と通ると共に、落下規制部１５に沿うように配置されている。そして、供給管Ｔｓの先端に設けられた第１ノズルＳ１ａは、落下規制部１５から上方に突出するように配置されている。

【0032】

本実施形態では、搬送車１は、ガス供給車２から不活性ガスの供給を受ける場合には、落下規制部１５を突出状態として、当該落下規制部１５に容器８を載置する。そして、落下規制部１５から上方に突出する第１ノズルＳ１ａが、容器本体８０の底部に設けられた差込口８０ｈに挿入される。これにより、搬送車１は、ガス供給車２から不活性ガスの供給を受けることが可能な状態となる。

【0033】

ガス供給車２は、不活性ガスが充填されたガスタンク７を着脱可能に保持する保持部２３と、搬送車１の被供給部１４に対する接続及び分離が可能に構成された供給部２４と、保持部２３に保持されたガスタンク７から供給部２４に不活性ガスを供給する第２供給装置Ｓ２と、を備えている。また、ガス供給車２は、車体２６を備えている。車体２６は、支持部２０と、走行部２１と、を備えている。搬送車１は、更に、昇降部２２を備えている。昇降部２２及び保持部２３は、車体２６（ここでは、支持部２０。以下同じ。）に支持されている。

【0034】

支持部２０は、ガスタンク７を支持するように構成されている。本実施形態では、支持部２０は、保持部２３によりガスタンク７を保持することで、当該ガスタンク７を支持する。本実施形態では、支持部２０は、ガスタンク７を収容するように構成されている。すなわち支持部２０は、ガスタンク７を収容するための収容部としての機能を有している。ガス供給車２は、ガスタンク７を搬送する場合には、支持部２０にガスタンク７を収容した状態で走行経路Ｒに沿って走行する。本実施形態では、支持部２０は、レールＲａの下側に配置されている。

【0035】

走行部２１は、走行経路Ｒに沿って走行するように構成されている。走行部２１は、レールＲａに沿って走行する。本実施形態では、走行部２１は、レールＲａの上側に配置されており、レールＲａの下側に配置された支持部２０と連結されている。詳細な図示は省略するが、走行部２１は、複数の車輪と、複数の車輪のうち少なくとも一部を駆動する駆動源（例えば電動モータなど）と、を備えている。

【0036】

昇降部２２は、保持部２３を昇降させるように構成されている。詳細な説明は省略するが、昇降部２２は、保持部２３に連結された昇降ベルトと、昇降ベルトを巻き取り及び繰り出し可能に構成された昇降駆動部と、を備えている。

【0037】

保持部２３は、ガスタンク７を保持するように構成されている。保持部２３は、昇降部２２によって昇降するように構成されている。

【0038】

本実施形態では、ガスタンク７は、不活性ガス（例えば、圧縮された状態の不活性ガス）が貯留されるタンク本体７０と、タンク本体７０の上面から上方に突出する被保持部７１と、を備えている。保持部２３は、ガスタンク７における被保持部７１を保持するように構成されている。本例では、ガスタンク７の被保持部７１は、フランジ状に形成されている。保持部２３は、フランジ状の被保持部７１を水平方向の両側から挟み込むようにしてガスタンク７を保持する。

【0039】

本実施形態では、保持部２３は、保持本体部２３ａと、保持本体部２３ａから下方に突出する一対の保持爪２３ｂと、を備えている。本例では、一対の保持爪２３ｂは、互いに接近又は離間するように動作する。一対の保持爪２３ｂは、互いに接近するように動作することでガスタンク７を保持し、互いに離間するように動作することで前記保持を解除する。なお、保持本体部２３ａは、昇降部２２の昇降ベルトに連結されている。昇降ベルトが巻き取られることによって保持本体部２３ａは上昇する。昇降ベルトが繰り出されることによって保持本体部２３ａは下降する。

【0040】

本実施形態では、第２供給装置Ｓ２は、ガスタンク７からの不活性ガスが通流するガス管Ｔｇと、保持部２３に保持されたガスタンク７に接続される第２ノズルＳ２ａと、を備えている。詳細な図示は省略するが、本例では、第２供給装置Ｓ２は、ガス管Ｔｇにおける不活性ガスの流路を遮断自在な電磁弁を備えている。電磁弁の開閉動作は、ガス供給車２に搭載された供給車制御装置Ｃ２によって制御される。

【0041】

ガス管Ｔｇは、供給部２４と第２ノズルＳ２ａとを繋いでいる。換言すれば、ガス管Ｔｇにおける一端部が供給部２４に連結されており、ガス管Ｔｇにおける他端部が第２ノズルＳ２ａに連結されている。

【0042】

本実施形態では、ガス管Ｔｇは、車体２６（ここでは、支持部２０）の内部を通るように配置されている。また、車体２６の内部には、ガス管Ｔｇを通流する不活性ガスの流量を制御する流量制御部２５が設けられている。流量制御部２５は、いわゆるマスフローコントローラを用いて構成されている。

【0043】

本実施形態では、ガス管Ｔｇは、支持部２０に加えて、保持本体部２３ａの内部を通るように配置されている。ガス管Ｔｇは、保持本体部２３ａの内部において、第２ノズルＳ２ａに連結されている。

【0044】

本実施形態では、保持部２３がガスタンク７を保持していない非保持状態からガスタンク７を保持した保持状態に変化することに伴って、第２供給装置Ｓ２が保持部２３に保持されたガスタンク７に接続される。

【0045】

本実施形態では、第２ノズルＳ２ａは、保持本体部２３ａから下方に突出するように設けられている。第２ノズルＳ２ａは、保持部２３がガスタンク７を保持していない非保持状態からガスタンク７を保持した保持状態に変化することに伴って、タンク本体７０の上部に設けられた差込口７０ｈに挿入される。これにより、第２供給装置Ｓ２が、保持部２３に保持されたガスタンク７に接続される。

【0046】

本実施形態では、ガス供給車２は、車体２６よりも下方に配置されたガスタンク７を受け取るように構成されている（図５も参照）。ガス供給車２がガスタンク７を受け取る場合には、昇降部２２によって保持部２３を車体２６から下降させる。保持部２３は、下降することによって受け取り対象のガスタンク７に上方から接近する。保持部２３がガスタンク７を保持可能な位置まで下降すると、保持本体部２３ａから下方に突出する第２ノズルＳ２ａが、タンク本体７０の差込口７０ｈに挿入される。そして、ガス供給車２は、一対の保持爪２３ｂによってガスタンク７の被保持部７１を保持すると共に、昇降部２２によって保持部２３を車体２６まで上昇させる。これにより、ガス供給車２が図２に示されるような状態となる。

【0047】

本実施形態では、第２供給装置Ｓ２は、第２ノズルＳ２ａを下方へ向けて付勢する付勢体Ｓ２ｂを備えている。付勢体Ｓ２ｂは、バネなどの弾性体を用いて構成されている。付勢体Ｓ２ｂが第２ノズルＳ２ａを下方へ向けて付勢していることにより、タンク本体７０の差込口７０ｈへの第２ノズルＳ２ａの挿入を適切に行うことができる。本例では、付勢体Ｓ２ｂは、保持本体部２３ａの内部に設けられている。

【0048】

本実施形態では、供給部２４は、ガス供給車２の車体２６から走行方向第１側Ｘ１に突出するように配置されている。ここでは、供給部２４は、支持部２０から走行方向第１側Ｘ１に突出するように配置されている。上述のように本例では、走行方向第１側Ｘ１は、走行方向Ｘの前側である。従って、供給部２４は、ガス供給車２の車体２６の前部から前側に突出するように配置されている。供給部２４は、搬送車１の被供給部１４と接続可能に構成されている。なお、供給部２４は、車体２６における支持部２０とは異なる部分（例えば、走行部２１）から走行方向第１側Ｘ１に突出するように配置されていてもよい。

【0049】

本実施形態では、供給部２４と被供給部１４との少なくとも一方に電磁石２４ａが設けられている。電磁石２４ａに対する通電の有無によって供給部２４と被供給部１４との接続及び分離が制御される。本例では、供給部２４のみに、電磁石２４ａが設けられている。被供給部１４は、電磁石２４ａが吸着することが可能に構成されている。被供給部１４は、例えば、永久磁石や鉄材などを用いて構成されている。なお、上記とは逆に、被供給部１４に電磁石が設けられていてもよい。

【0050】

本実施形態では、ガス管Ｔｇは、可撓性を有する。すなわち本実施形態では、第２供給装置Ｓ２は、可撓性を有するガス管Ｔｇを備えている。ガス管Ｔｇは、回転体Ｍに巻回されており、ガス供給車２と搬送車１との車間距離に応じて繰り出され又は巻き取られるように構成されている。本例では、回転体Ｍは、電動モータ等の駆動源を用いて構成されており、駆動源が発生する駆動力を用いてガス管Ｔｇを繰り出し又は巻き取る。回転体Ｍは、車体２６の内部に設けられている。なお、ばね等の付勢力によりガス管Ｔｇを巻き取る機構を回転体Ｍに設け、ガス供給車２と搬送車１との車間距離が長くなる場合には上記付勢力に抗してガス管Ｔｇが回転体Ｍから繰り出され、ガス供給車２と搬送車１との車間距離が短くなる場合には上記付勢力によりガス管Ｔｇが回転体Ｍに巻き取られる構成とすることもできる。

【0051】

本実施形態では、ガス管Ｔｇは、ガス供給車２の車体２６から走行方向第１側Ｘ１に向かって延出するように配置されていると共に、端部に供給部２４が取り付けられている。詳細には、ガス管Ｔｇは、ガス供給車２の車体２６から走行方向第１側Ｘ１に向かって延出することが可能に構成されている。ガス供給車２は、可撓性を有するガス管Ｔｇを回転体Ｍによって繰り出すことにより、ガス管Ｔｇを車体２６から走行方向第１側Ｘ１に向かって延出させる。このような構成により、被供給部１４と供給部２４とが接続された状態で、搬送車１とガス供給車２とが所定の車間距離を保って走行することが可能となっている。

【0052】

ガス供給車２は、ガスタンク７内の不活性ガスの残量を計測する残量計測器Ｉを備えている。本実施形態では、残量計測器Ｉは、ガスタンク７によって供給される不活性ガスの圧力に基づいて、ガスタンク７内の不活性ガスの残量を計測する。本例では、流量制御部２５が、不活性ガスの圧力を計測する。すなわち流量制御部２５は、残量計測器Ｉとしても機能する。

【0053】

次に、ガス供給システムの制御構成について説明する。

【0054】

図３に示すように、ガス供給システムは、搬送車１を制御する搬送車制御装置Ｃ１と、ガス供給車２を制御する供給車制御装置Ｃ２と、を備えている。本実施形態では、ガス供給システムは、上位制御装置Ｃｔを更に備えている。上位制御装置Ｃｔは、搬送設備１００を統括管理する制御装置である。上位制御装置Ｃｔ、搬送車制御装置Ｃ１、及び供給車制御装置Ｃ２は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアとコンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムとの協働により、各機能が実現される。

【0055】

搬送車制御装置Ｃ１は、搬送車１に搭載されている。搬送車制御装置Ｃ１は、走行部１１、昇降部１２、容器保持部１３、及び第１供給装置Ｓ１を制御するように構成されている。搬送車制御装置Ｃ１は、例えば、各部の駆動部を制御する。搬送車制御装置Ｃ１は、第１供給装置Ｓ１を制御する場合には、例えば、供給管Ｔｓに設けられた電磁弁の開閉を制御する。

【0056】

供給車制御装置Ｃ２は、ガス供給車２に搭載されている。供給車制御装置Ｃ２は、走行部２１、昇降部２２、保持部２３、供給部２４、第２供給装置Ｓ２、及び流量制御部２５（残量計測器Ｉ）を制御するように構成されている。供給車制御装置Ｃ２は、例えば、各部の駆動部を制御する。供給車制御装置Ｃ２は、第２供給装置Ｓ２を制御する場合には、例えば、ガス管Ｔｇに設けられた電磁弁の開閉や、回転体Ｍの動作を制御する。また、供給車制御装置Ｃ２は、供給部２４を制御する場合には、供給部２４に設けられた電磁石の通電状態を制御する。これにより、被供給部１４に対する供給部２４の接続及び分離が制御される。

【0057】

上位制御装置Ｃｔは、搬送車１に対して上述の搬送指令を行うように構成されている。搬送指令を受けた搬送車１は、指定された搬送元から搬送先へ容器８を搬送する。

【0058】

本実施形態では、上位制御装置Ｃｔは、ガス供給車２に対して、不活性ガスを供給する対象となる対象搬送車１を指定して、ガス供給指令を行うように構成されている。ガス供給指令を受けたガス供給車２は、対象搬送車１に隣接する位置まで走行し、対象搬送車１が保持している容器８に対して不活性ガスの供給を行う。

【0059】

本実施形態では、上位制御装置Ｃｔは、搬送設備１００内の各搬送車１について、不活性ガスで満たされた容器８の搬送を開始してからの経過時間を計測している。容器８は完全に密閉されているわけではないので、時間の経過とともに容器８の内部から不活性ガスが漏洩して、容器８の内部における不活性ガスの残量が減る。上位制御装置Ｃｔは、搬送車１が不活性ガスで満たされた容器８の搬送を開始してからの経過時間が、予め設定された設定時間となった場合には、当該容器８を保持している搬送車１を対象搬送車１として指定し、この対象搬送車１に対して不活性ガスを供給するよう、ガス供給車２にガス供給指令を行う。これにより、不活性ガスの残量が少ない容器８を保持している搬送車１にガス供給車２を向かわせて、当該容器８に不活性ガスを供給することができる。上記設定時間は、容器８の性能、不活性ガスの種類、その他の要因などに基づいて、適宜設定される。

【0060】

図４は、ガス供給車２が、搬送車１に対して不活性ガスを供給してから、不活性ガスの供給を終了するまでの様子を示している。

【0061】

図４（ａ）に示すように、ガス供給車２は、ガス供給指令によって指定された対象搬送車１へ向かう。ガス供給車２は、対象搬送車１に対して走行方向第２側Ｘ２に隣接する位置まで走行し、対象搬送車１の被供給部１４とガス供給車２の供給部２４とを接続させる。本実施形態では、被供給部１４に対する供給部２４の接続は、電磁石２４ａを通電状態とすることにより行う。電磁石２４ａの通電状態では、被供給部１４と供給部２４との接続が維持される。

【0062】

本実施形態では、対象搬送車１は、ガス供給車２から不活性ガスの供給を受ける場合には、その走行速度Ｖ１をゼロとする。すなわち、対象搬送車１が走行経路Ｒにおいて停止した状態で、ガス供給車２は、対象搬送車１に対して走行方向第２側Ｘ２から接近して、被供給部１４に対して供給部２４を接続する。被供給部１４と供給部２４とが接続された後は、ガス供給車２は、対象搬送車１（詳細には対象搬送車１が保持する容器８）への不活性ガスの供給を開始する。

【0063】

図４（ｂ）に示すように、ガス供給車２が対象搬送車１に不活性ガスを供給している状態では、対象搬送車１の走行速度Ｖ１及びガス供給車２の走行速度Ｖ２は、ゼロよりも大きな値とされてよい。すなわち、対象搬送車１とガス供給車２とは、共に走行経路Ｒを走行してよい。

【0064】

本実施形態では、ガス供給車２は、対象搬送車１との距離を一定に保つように対象搬送車１に追従して走行する追従走行を実行するように構成されている。この場合、供給部２４が連結されているガス管Ｔｇは、ガス供給車２から走行方向第１側Ｘ１に延出される。ガス管Ｔｇの延出量は、ガス供給車２と対象搬送車１との車間距離に応じて回転体Ｍによって調節される。

【0065】

上記の追従走行は、ガス供給車２と対象搬送車１とが通信して、互いに同じ走行速度（Ｖ１、Ｖ２）で走行することにより実現することができる。この通信は、上位制御装置Ｃｔを介して行われてもよい。また、上記の追従走行は、例えば、ガス供給車２が、対象搬送車１との車間距離を検出する検出部を備え、検出部による検出結果が一定となるように、すなわち車間距離が一定となるように走行速度Ｖ２を制御するようにしてもよい。

【0066】

図４（ｃ）に示すように、ガス供給車２は、対象搬送車１への不活性ガスの供給が終了した場合には、供給部２４と被供給部１４とを分離させる。本実施形態では、ガス供給車２は、電磁石２４ａを非通電状態とすることにより、被供給部１４に対する供給部２４の吸着を解除する。対象搬送車１は、走行速度Ｖ１を維持し、或いは高くして、容器８の搬送を継続する。ガス供給車２は、自らの走行速度Ｖ２を、少なくとも対象搬送車１の走行速度Ｖ１よりも低くする。これにより、対象搬送車１とガス供給車２との車間距離が次第に大きくなっていく。このとき、ガス供給車２から延出していたガス管Ｔｇは、図４（ｃ）に示すように、ガス供給車２から垂れ下がることになる。

【0067】

図４（ｄ）に示すように、ガス供給車２は、供給部２４を被供給部１４から分離させた後は、回転体Ｍによってガス管Ｔｇを巻き取る。これにより、ガス供給車２から垂れ下がっていたガス管Ｔｇがガス供給車２の内部に収容される。ガス管Ｔｇの先端に取り付けられている供給部２４は、元の位置、すなわち車体２６の前部に戻る。

【0068】

ここで、上述のように、ガス供給車２の保持部２３は、ガスタンク７を着脱可能に保持するように構成されている。本実施形態では、ガス供給車２は、搬送車１への不活性ガスの供給により、自らが保持しているガスタンク７の残量が少なくなった場合、或いは、ガスタンク７が空になった場合には、当該ガスタンク７と、不活性ガスが充填された新たなガスタンク７と、を交換する。

【0069】

図５に示すように、本実施形態では、ガス供給システムは、ガスタンク７を保管するガスタンク保管庫３を備えている。ガスタンク保管庫３は、走行経路Ｒにおける特定箇所に設けられている（図１も参照）。

【0070】

ガス供給車２は、残量計測器Ｉによる計測結果に基づいて、ガスタンク保管庫３に移動し、ガスタンク保管庫３において、使用済みのガスタンク７と不活性ガスが充填されたガスタンク７とを交換する。ガス供給車２は、残量計測器Ｉによる計測結果が、予め規定された規定値以下となった場合、或いはゼロとなった場合に、ガスタンク保管庫３へ向かい、ガスタンク保管庫３においてガスタンク７を交換する。

【0071】

本実施形態では、ガス供給車２は、車体２６とガスタンク保管庫３との間でガスタンク７の移載を行う移載装置を備えている。本例では、移載装置には、昇降部２２と保持部２３とが含まれ、ガス供給車２は、ガスタンク７を上下方向に沿って移載する。すなわち、ガス供給車２は、保持部２３によるガスタンク７の保持と、昇降部２２による保持部２３の昇降とによって、ガスタンク保管庫３との間でガスタンク７を移載するように構成されている。

【0072】

本実施形態では、ガスタンク保管庫３は、複数の支持台３０を備えている。複数の支持台３０のそれぞれは、ガスタンク７を支持するように構成されている。各支持台３０には、ガス供給車２から受け取った使用済みのガスタンク７、又は、不活性ガスが充填されたガスタンク７が支持される。

【0073】

例えば、複数の支持台３０は、循環経路３０Ｒに沿ってガスタンク保管庫３の内部を循環するように構成されている。ガス供給車２は、使用済みのガスタンク７を交換する場合には、何も支持されていない支持台３０に使用済みのガスタンク７を引き渡す。使用済みのガスタンク７を受け取った支持台３０と、不活性ガスが充填されたガスタンク７を支持した支持台３０とが、循環経路３０Ｒに沿って移動して、その位置が入れ替わる。そして、ガス供給車２は、位置が入れ替わった後の支持台３０から、不活性ガスが充填された新たなガスタンク７を受け取る。図示の例では、複数の支持台３０が移動する循環経路３０Ｒは、水平軸心まわり沿って形成されている。但し、このような構成に限らず、循環経路３０Ｒは、上下軸心まわりに沿って形成されていてもよい。また、複数の支持台３０は、ガスタンク保管庫３において所定位置に固定されていてもよい。この場合には、コンベヤやロボットアーム等の搬送手段によって各支持台３０にガスタンク７を載置するようにしてもよい。

【0074】

本実施形態では、ガスタンク保管庫３は、ガスタンク７に不活性ガスを充填するガス充填装置３１を備えている。ガス充填装置３１は、ガス供給車２から受け取った使用済みのガスタンク７に不活性ガスを充填するように構成されている。

【0075】

本実施形態では、ガス充填装置３１は、複数の支持台３０が移動する循環経路３０Ｒに隣接して配置されている。ガス充填装置３１は、循環経路３０Ｒを循環してきた使用済みガスタンク７に不活性ガスを充填する。ガス充填装置３１によって不活性ガスが充填されたガスタンク７は、再び循環経路３０Ｒに沿って移動する。

【0076】

このように本実施形態では、ガス供給車２自らが、使用済みガスタンク７をガスタンク保管庫３に引き渡すと共に、不活性ガスが充填されたガスタンク７をガスタンク保管庫３から受け取ることができる。従って、搬送車１が保持している容器８への不活性ガスの供給サイクルを自動的に実現し易い。また、ガスタンク保管庫３は、使用済みガスタンク７に不活性ガスを充填するガス充填装置３１を備えているため、ガスタンク保管庫３において、不活性ガスが充填されたガスタンク７を確保し易い。

【0077】

以上説明したガス供給システムによれば、搬送車１によって搬送されている途中の容器８に不活性ガスを供給することが可能となる。

【0078】

〔その他の実施形態〕
次に、ガス供給システムのその他の実施形態について説明する。

【0079】

（１）上記の実施形態では、保持部２３がガスタンク７を保持していない非保持状態からガスタンク７を保持した保持状態に変化することに伴って、第２供給装置Ｓ２が保持部２３に保持されたガスタンク７に接続される例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車１が保持している容器８に不活性ガスを供給するタイミングで、第２供給装置Ｓ２が保持部２３に保持されたガスタンク７に接続されてもよい。すなわちこの場合、保持部２３によるガスタンク７の保持は、第２供給装置Ｓ２がガスタンク７に接続される前に完了している。

【0080】

（２）上記の実施形態では、供給部２４と被供給部１４との少なくとも一方に電磁石２４ａが設けられ、電磁石２４ａに対する通電の有無によって供給部２４と被供給部１４との接続及び分離が制御される例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、例えば、供給部２４と被供給部１４とは、互いに対応する凸部や凹部を備え、互いに係合及び係合解除可能に構成されていてもよい。

【0081】

（３）上記の実施形態では、ガス管Ｔｇが、ガス供給車２の車体２６から走行方向第１側Ｘ１に向かって延出するように配置されていると共に、端部に供給部２４が取り付けられている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、ガス管Ｔｇは、ガス供給車２の車体２６の内部に留まり、供給部２４は、車体２６における走行方向第１側Ｘ１の端部に固定されていてもよい。この場合には、ガス供給車２と搬送車１とは、車間距離を確保することが難しい。従って、ガス供給車２と搬送車１とは、連結機構によって互いに連結され、車間距離が略ゼロの状態で走行するようにするとよい。これにより、供給部２４と被供給部１４との接続状態を維持しながら、搬送車１とガス供給車２とが適切に走行経路Ｒを走行することができる。なお、上記の場合、供給部２４と被供給部１４は、ガス供給車２と搬送車１とを連結する連結機構に設けられていてもよい。また、搬送車１とガス供給車２とが連結機構によって連結される構成では、ガス供給車２は、自走することなく、搬送車１によって牽引されるようにしてもよい。

【0082】

（４）上記の実施形態では、対象搬送車１が走行経路Ｒにおいて停止した状態で、ガス供給車２は、対象搬送車１に対して走行方向第２側Ｘ２から接近して、被供給部１４に対して供給部２４を接続する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、ガス供給車２は、走行中の対象搬送車１に対して走行方向第２側Ｘ２から接近して、被供給部１４に対して供給部２４を接続するようにしてもよい。この場合、対象搬送車１は徐行していると好適である。

【0083】

（５）上記の実施形態では、走行方向第１側Ｘ１が走行方向Ｘにおける前側であり、走行方向第２側Ｘ２が走行方向Ｘにおける後側である例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、前後の関係は逆であってもよい。すなわち、走行方向第１側Ｘ１が走行方向Ｘにおける後側であり、走行方向第２側Ｘ２が走行方向Ｘにおける前側であってもよい。従って、ガス供給車２が搬送車１に不活性ガスを供給する場合において、ガス供給車２は搬送車１に対して前側に隣接して配置されていてもよい。

【0084】

（６）上記の実施形態では、ガス供給車２が備える移載装置には、昇降部２２と保持部２３とが含まれ、ガス供給車２は、ガスタンク７を上下方向に沿って移載する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、移載装置には、ガスタンク７を水平方向に沿って移動させる水平移動機構（例えばフォーク部やコンベヤ部）が含まれ、ガス供給車２は、ガスタンク７を水平方向に沿って移載するように構成されていてもよい。

【0085】

（７）上記の実施形態では、ガス供給車２が、車体２６とガスタンク保管庫３との間でガスタンク７の移載を行う移載装置を備えており、自らがガスタンク７の交換を行う例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、ガス供給車２は、上記のような移載装置を備えていなくてもよい。この場合、ガスタンク７の交換は、人手によって行われるとよい。

【0086】

（８）上記の実施形態では、残量計測器Ｉが、ガスタンク７によって供給される不活性ガスの圧力に基づいて、ガスタンク７内の不活性ガスの残量を計測する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、残量計測器Ｉは、ガスタンク７の重量に基づいて、ガスタンク７内の不活性ガスの残量を計測するように構成されていてもよい。

【0087】

（９）上記の実施形態では、搬送車１が容器８を搬送するものであり、ガス供給車２が不活性ガスを供給するものである例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車１が、ガス供給車２としての機能を有していてもよい。或いは、ガス供給車２が、搬送車１としての機能を有していてもよい。換言すれば、それ（台車）が容器８を保持する場合には搬送車１として機能し、それがガスタンク７を保持する場合にはガス供給車２として機能するようにしてもよい。

【0088】

（１０）上記の実施形態では、ガス供給システムがガスタンク保管庫３を備えている例について説明した。しかし、ガスタンク保管庫３は必須の構成ではなく、ガス供給システムは、このようなガスタンク保管庫３を備えていなくてもよい。

【0089】

（１１）上記の実施形態では、ガス供給車２が、天井付近に設けられたレールＲａに沿って走行するいわゆる天井走行車として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、ガス供給車２は、搬送車１が走行する走行経路Ｒを走行可能に構成されていればよい。例えば、搬送車１が床面に沿って設定された走行経路Ｒを走行するように構成されている場合には、ガス供給車２も同様に、床面に沿って設定された走行経路Ｒを走行するように構成される。すなわち、搬送車１が床面搬送車として構成され、ガス供給車２が床面走行車として構成されていてもよい。

【0090】

（１２）なお、上述した実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0091】

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明したガス供給システムについて説明する。

【0092】

規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、前記容器の内部に不活性ガスを供給するためのガス供給システムであって、
前記搬送車に前記不活性ガスを供給するガス供給車を備え、
前記搬送車は、前記ガス供給車からの前記不活性ガスの供給を受ける被供給部と、前記被供給部に供給された前記不活性ガスを前記容器に供給する第１供給装置と、を備え、
前記ガス供給車は、前記走行経路を走行可能に構成され、
前記ガス供給車は、前記不活性ガスが充填されたガスタンクを着脱可能に保持する保持部と、前記被供給部に対する接続及び分離が可能に構成された供給部と、前記保持部に保持された前記ガスタンクから前記供給部に前記不活性ガスを供給する第２供給装置と、を備える。

【0093】

本構成によれば、供給部を被供給部に接続することで、ガス供給車が保持するガスタンクから搬送車が搬送している容器に不活性ガスを供給することができる。この際、ガス供給車は、搬送車と同じ走行経路を走行可能であるため、搬送車が走行中であるか走行停止中であるかに関わらず容器に不活性ガスを供給することができる。また本構成によれば、ガス供給車はガスタンクを着脱可能に保持するため、ガスタンクを容易に交換可能である。従って、ガス供給車が搬送車と同じ走行経路を走行可能な構成としつつ、当該ガス供給車により供給できる不活性ガスの量も多く確保し易い。以上のように、本構成によれば、搬送車によって搬送されている途中の容器に不活性ガスを供給することが可能なガス供給システムを実現できる。

【0094】

前記保持部が前記ガスタンクを保持していない非保持状態から前記ガスタンクを保持した保持状態に変化することに伴って、前記第２供給装置が前記保持部に保持された前記ガスタンクに接続される、と好適である。

【0095】

本構成によれば、保持部によるガスタンクの保持に伴って第２供給装置をガスタンクに接続することができる。従って、ガスタンクの接続を確実に行うことができる。

【0096】

前記走行経路に沿う方向を走行方向とし、前記走行方向の一方側を走行方向第１側とし、前記走行方向の他方側を走行方向第２側として、
前記供給部は前記ガス供給車の車体から前記走行方向第１側に突出するように配置され、
前記被供給部は前記搬送車の車体から前記走行方向第２側に突出するように配置され、
前記供給部と前記被供給部との少なくとも一方に電磁石が設けられ、
前記電磁石に対する通電の有無によって前記供給部と前記被供給部との接続及び分離が制御される、と好適である。

【0097】

本構成によれば、搬送車とガス供給車とが走行方向に並んで走行している状態で、供給部と被供給部とを容易に接続することができる。また本構成によれば、電磁石により供給部と被供給部との接続及び分離が制御されるため、当該接続及び分離を容易に行うことができる。

【0098】

前記ガス供給車は、対象となる前記搬送車である対象搬送車との距離を一定に保つように前記対象搬送車に追従して走行する追従走行を実行するように構成され、
前記第２供給装置は、可撓性を有するガス管を備え、
前記ガス管は、前記ガス供給車の車体から前記走行方向第１側に向かって延出するように配置されていると共に、端部に前記供給部が取り付けられている、と好適である。

【0099】

本構成によれば、対象搬送車の走行中であっても、ガス供給車を対象搬送車から一定距離の位置に配置して、対象搬送車が保持している容器に不活性ガスを供給し続けることができる。また、この際、ガス供給車と対象搬送車とをつなぐガス管が可撓性を有するため、走行中にガス供給車と対象搬送車との距離がある程度変動した場合であっても、適切にガスの供給を継続することができる。

【0100】

前記ガス管は、回転体に巻回されており、前記ガス供給車と前記搬送車との車間距離に応じて繰り出され又は巻き取られるように構成されている、と好適である。

【0101】

本構成によれば、不活性ガスの供給中にガス供給車と搬送車との車間距離が変動した場合であっても、ガス管が繰り出され又は巻き取られることにより、当該車間距離の変動に対応しつつ不活性ガスの供給を継続することができる。また、不活性ガスの供給が行われておらず、ガス供給車における供給部と搬送車における被供給部とが分離している状態では、ガス管を十分に巻き取ることにより、ガス管がガス供給車から垂れ下がることのないようにできる。

【0102】

前記ガスタンクを保管するガスタンク保管庫を備え、
前記ガス供給車は、前記ガス供給車の車体と前記ガスタンク保管庫との間で前記ガスタンクの移載を行う移載装置を備える、と好適である。

【0103】

本構成によれば、ガス供給車が保持するガスタンクの交換を、人手によらず、自動的に行うことが可能となる。

【0104】

前記ガス供給車は、前記ガスタンク内の前記不活性ガスの残量を計測する残量計測器を備え、
前記ガス供給車は、前記残量計測器による計測結果に基づいて、前記ガスタンク保管庫に移動し、前記ガスタンク保管庫において、使用済みの前記ガスタンクと前記不活性ガスが充填された前記ガスタンクとを交換する、と好適である。

【0105】

本構成によれば、ガス供給車自らが、使用済みガスタンクをガスタンク保管庫に引き渡すと共に、不活性ガスが充填されたガスタンクをガスタンク保管庫から受け取ることができる。従って、搬送車が保持している容器への不活性ガスの供給サイクルを自動的に実現し易い。

【0106】

前記ガスタンク保管庫は、前記ガスタンクに前記不活性ガスを充填するガス充填装置を備え、
前記ガス充填装置は、前記ガス供給車から受け取った使用済みの前記ガスタンクに前記不活性ガスを充填する、と好適である。

【0107】

本構成によれば、ガスタンク保管庫において、不活性ガスが充填されたガスタンクを確保し易い。

【産業上の利用可能性】

【0108】

本開示に係る技術は、規定の走行経路に沿って走行して容器を搬送する搬送車を備え、前記容器の内部に不活性ガスを供給するためのガス供給システムに利用することができる。

【符号の説明】

【0109】

１ ：搬送車
１６ ：車体
１４ ：被供給部
２ ：ガス供給車
２６ ：車体
２３ ：保持部
２４ ：供給部
２４ａ ：電磁石
３ ：ガスタンク保管庫
３１ ：ガス充填装置
７ ：ガスタンク
８ ：容器
Ｓ１ ：第１供給装置
Ｓ２ ：第２供給装置
Ｔｇ ：ガス管
Ｉ ：残量計測器
Ｍ ：回転体
Ｒ ：走行経路
Ｘ ：走行方向
Ｘ１ ：走行方向第１側
Ｘ２ ：走行方向第２側

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】