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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024000663
(43)【公開日】2024-01-09
(54)【発明の名称】液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20231226BHJP
B41J 2/01 20060101ALI20231226BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 611
B41J2/01 451
B41J2/14 303
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022099490
(22)【出願日】2022-06-21
(71)【出願人】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】平 英明
(72)【発明者】
【氏名】中山 仁
【テーマコード（参考）】
2C056
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C056EA23
2C056EA24
2C056EB07
2C056EB39
2C056FA04
2C056FA10
2C056HA05
2C057AF34
2C057AF61
2C057AG45
2C057AG91
2C057AL13
2C057AN01
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【解決手段】本開示の一態様に係る液体噴射記録ヘッドは、第１方向に交差して配置された第１面と、第１面に形成された第１導体部と、第１方向に交差するとともに、第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、第２面に形成された第２導体部と、第１導体部及び第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている。
【選択図】図６
【解決手段】本開示の一態様に係る液体噴射記録ヘッドは、第１方向に交差して配置された第１面と、第１面に形成された第１導体部と、第１方向に交差するとともに、第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、第２面に形成された第２導体部と、第１導体部及び第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
第１方向に交差して配置された第１面と、
前記第１面に形成された第１導体部と、
前記第１方向に交差するとともに、前記第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、
前記第２面に形成された第２導体部と、
前記第１導体部及び前記第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている液体噴射ヘッド。
第１方向に交差して配置された第１面と、
前記第１面に形成された第１導体部と、
前記第１方向に交差するとともに、前記第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、
前記第２面に形成された第２導体部と、
前記第１導体部及び前記第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている液体噴射ヘッド。
【請求項2】
前記検出機構は、前記第１導体部及び前記第２導体部間が短絡したことに基づいて、前記第１導体部及び前記第２導体部間に前記液体が介在していることを判定する請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項3】
前記検出機構は、前記第１導体部及び前記第２導体部間の静電容量が基準値に対して所定量変化した場合に、前記第１導体部及び前記第２導体部に前記液体が介在していることを判定する請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項4】
前記液体が充填される噴射チャネル及び前記液体が充填されない非噴射チャネルが、駆動壁を挟んで前記第１方向で交互に形成されたアクチュエータプレートを備え、
前記第１面は、前記駆動壁のうち前記噴射チャネルの内面を形成する部分であり、
前記第２面は、前記駆動壁のうち前記非噴射チャネルの内面を形成するとともに、前記第１方向において前記第１面と反対側を向く部分である請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
前記第１面は、前記駆動壁のうち前記噴射チャネルの内面を形成する部分であり、
前記第２面は、前記駆動壁のうち前記非噴射チャネルの内面を形成するとともに、前記第１方向において前記第１面と反対側を向く部分である請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項5】
前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルの延在方向を第２方向とすると、
前記アクチュエータプレートは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向を分極方向とする圧電材料であり、
前記駆動壁は、前記第１導体部及び前記第２導体部間で電位差を発生させることで、前記噴射チャネルの容積を拡大又は縮小させる方向に変形可能である請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
前記アクチュエータプレートは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向を分極方向とする圧電材料であり、
前記駆動壁は、前記第１導体部及び前記第２導体部間で電位差を発生させることで、前記噴射チャネルの容積を拡大又は縮小させる方向に変形可能である請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項6】
前記液体が充填される噴射チャネルが前記第１方向で並んで形成されたチャネル列、及び前記チャネル列に対して前記第１方向の少なくとも一方側に形成されたダミーチャネルを有するアクチュエータプレートを備え、
前記第１面及び前記第２面の少なくとも何れか一方の面は、前記ダミーチャネルの内面を構成している請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
前記第１面及び前記第２面の少なくとも何れか一方の面は、前記ダミーチャネルの内面を構成している請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項7】
前記第１面を有する第１部材と、
前記第２面を有し、前記第１部材に対して前記第１方向で向かい合って配置された第２部材と、
前記第１部材及び前記第２部材同士を接合させる接着層と、を備えている請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
前記第２面を有し、前記第１部材に対して前記第１方向で向かい合って配置された第２部材と、
前記第１部材及び前記第２部材同士を接合させる接着層と、を備えている請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項8】
前記第１部材は、前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートであり、
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第２部材と向かい合う面であり、
前記噴射チャネルの内面には、駆動電極が形成され、
前記第１面及び前記噴射チャネルの内面には、前記第１導体部及び前記駆動電極を覆うとともに、絶縁性を有する保護膜が設けられている請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第２部材と向かい合う面であり、
前記噴射チャネルの内面には、駆動電極が形成され、
前記第１面及び前記噴射チャネルの内面には、前記第１導体部及び前記駆動電極を覆うとともに、絶縁性を有する保護膜が設けられている請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項9】
前記第１部材は、前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートであり、
前記第２部材は、前記アクチュエータプレートに対して前記第１方向に積層されて前記噴射チャネルを閉塞するカバープレートを含み、
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記カバープレートに向かい合うカバー対向面を含み、
前記第２面は、前記カバープレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第１対向面を含んでいる請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
前記第２部材は、前記アクチュエータプレートに対して前記第１方向に積層されて前記噴射チャネルを閉塞するカバープレートを含み、
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記カバープレートに向かい合うカバー対向面を含み、
前記第２面は、前記カバープレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第１対向面を含んでいる請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項10】
前記第２部材は、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記第１部材に向かい合って配置された噴射孔プレートを含み、
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートに向かい合う噴射孔対向面を含み、
前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第２対向面を含んでいる請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートに向かい合う噴射孔対向面を含み、
前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第２対向面を含んでいる請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項11】
前記噴射孔プレートは、導電性を有し、
前記第２導体部は、前記噴射孔プレートとして一体に形成されている請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。
前記第２導体部は、前記噴射孔プレートとして一体に形成されている請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項12】
前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合って配置された噴射孔プレートと、を備え、
前記噴射孔プレートは、絶縁性を有する樹脂材料により形成され、
前記第１面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレート側を向く面であり、
前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートとは反対側を向く面である請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合って配置された噴射孔プレートと、を備え、
前記噴射孔プレートは、絶縁性を有する樹脂材料により形成され、
前記第１面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレート側を向く面であり、
前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートとは反対側を向く面である請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項13】
請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェットヘッドでは、圧電体等の駆動により圧力室の容積を変化させることで、圧力室内に収容されるインクがノズル孔を通じて吐出される。ノズル孔から吐出されたインクは、被記録媒体に着弾することで、被記録媒体に印刷情報が記録される。
【0003】
下記特許文献１には、被記録媒体を検出する光学センサを利用して、インクジェットヘッドにおけるインクの漏洩を検出する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－１５１９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上述した従来技術にあっては、インクジェットヘッドに光学センサが搭載されていることが前提となるため、汎用性が低いという課題がある。
被記録媒体の検出とインク漏洩の検出との双方の機能を一つの光学センサによって満足させるためには、光学センサの取付箇所に制限が生じる等、レイアウトの自由度が低いという課題がある。
被記録媒体の検出とインク漏洩の検出との双方の機能を一つの光学センサによって満足させるためには、光学センサの取付箇所に制限が生じる等、レイアウトの自由度が低いという課題がある。
【0006】
本開示は、レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、第１方向に交差して配置された第１面と、前記第１面に形成された第１導体部と、前記第１方向に交差するとともに、前記第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、前記第２面に形成された第２導体部と、前記第１導体部及び前記第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている。
（１）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、第１方向に交差して配置された第１面と、前記第１面に形成された第１導体部と、前記第１方向に交差するとともに、前記第１面に対して間隔をあけて配置された第２面と、前記第２面に形成された第２導体部と、前記第１導体部及び前記第２導体部間での前記液体の介在を検出する検出機構と、を備えている。
【0008】
本態様によれば、第１導体部及び第２導体部間での液体の介在を検出機構によって検出することで、第１面と第２面との間に液体が侵入していることを判定できる。これにより、所望の位置での液体の漏洩を正確に検出し、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
特に、従来のように光学センサを用いて液体を漏洩する場合と異なり、液体噴射ヘッドに光学センサを搭載する必要がないので、低コスト化が可能になるとともに、汎用性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。また、被記録媒体の検出と液体の検出とを１つの光学センサで兼用する場合に比べて、導体部のレイアウトの自由度を向上させることができる。
しかも、光学センサで液体を検出する場合には、光学センサの検出範囲に一定程度の液体が存在していることが必要となる。そのため、光学センサにより液体が検出された時点では、既に液体噴射ヘッドが故障している可能性がある。これに対して、本態様では、第１導体部及び第２導体部間に液体が介在したことによる電気的な変化を検出することで、電気的な変化に基づき液体噴射ヘッドの状態（例えば正常状態や故障の予兆段階、故障発生段階）を把握し易い。よって、故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。その結果、液体噴射ヘッドの不具合が印刷品質に及ぶことを抑制できる。
特に、従来のように光学センサを用いて液体を漏洩する場合と異なり、液体噴射ヘッドに光学センサを搭載する必要がないので、低コスト化が可能になるとともに、汎用性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。また、被記録媒体の検出と液体の検出とを１つの光学センサで兼用する場合に比べて、導体部のレイアウトの自由度を向上させることができる。
しかも、光学センサで液体を検出する場合には、光学センサの検出範囲に一定程度の液体が存在していることが必要となる。そのため、光学センサにより液体が検出された時点では、既に液体噴射ヘッドが故障している可能性がある。これに対して、本態様では、第１導体部及び第２導体部間に液体が介在したことによる電気的な変化を検出することで、電気的な変化に基づき液体噴射ヘッドの状態（例えば正常状態や故障の予兆段階、故障発生段階）を把握し易い。よって、故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。その結果、液体噴射ヘッドの不具合が印刷品質に及ぶことを抑制できる。
【0009】
（２）上記（１）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記検出機構は、前記第１導体部及び前記第２導体部間が短絡したことに基づいて、前記第１導体部及び前記第２導体部間に前記液体が介在していることを判定することが好ましい。
従来のように光学センサを用いた場合には、液体の付着位置によっては過剰に反応し、微小量の液体であっても漏洩として誤検出してしまう可能性がある。これに対し、本態様では、液体の噴射時に発生するミスト等、液体噴射ヘッドの不具合が生じない程度の微小量の液体によって、液体が漏洩していると誤検出することを抑制できる。
従来のように光学センサを用いた場合には、液体の付着位置によっては過剰に反応し、微小量の液体であっても漏洩として誤検出してしまう可能性がある。これに対し、本態様では、液体の噴射時に発生するミスト等、液体噴射ヘッドの不具合が生じない程度の微小量の液体によって、液体が漏洩していると誤検出することを抑制できる。
【0010】
（３）上記（１）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記検出機構は、前記第１導体部及び前記第２導体部間の静電容量が基準値に対して所定量変化した場合に、前記第１導体部及び前記第２導体部に前記液体が介在していることを判定することが好ましい。
従来のように光学センサを用いた場合には、液体の付着位置によっては過剰に反応し、微小量の液体であっても漏洩として誤検出してしまう可能性がある。これに対し、本態様では、液体の噴射時に発生するミスト等、液体噴射ヘッドの不具合が生じない程度の微小量の液体によって、液体が漏洩していると誤検出することを抑制できる。
従来のように光学センサを用いた場合には、液体の付着位置によっては過剰に反応し、微小量の液体であっても漏洩として誤検出してしまう可能性がある。これに対し、本態様では、液体の噴射時に発生するミスト等、液体噴射ヘッドの不具合が生じない程度の微小量の液体によって、液体が漏洩していると誤検出することを抑制できる。
【0011】
（４）上記（１）から（３）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記液体が充填される噴射チャネル及び前記液体が充填されない非噴射チャネルが、駆動壁を挟んで前記第１方向で交互に形成されたアクチュエータプレートを備え、前記第１面は、前記駆動壁のうち前記噴射チャネルの内面を形成する部分であり、前記第２面は、前記駆動壁のうち前記非噴射チャネルの内面を形成するとともに、前記第１方向において前記第１面と反対側を向く部分であることが好ましい。
本態様によれば、噴射チャネル及び非噴射チャネル間での液体の漏洩を速やかに検出することができる。
本態様によれば、噴射チャネル及び非噴射チャネル間での液体の漏洩を速やかに検出することができる。
【0012】
（５）上記（４）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルの延在方向を第２方向とすると、前記アクチュエータプレートは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向を分極方向とする圧電材料であり、前記駆動壁は、前記第１導体部及び前記第２導体部間で電位差を発生させることで、前記噴射チャネルの容積を拡大又は縮小させる方向に変形可能であることが好ましい。
本態様によれば、第１導体部及び第２導体部を駆動壁の駆動電極として機能させることができる。これにより、導体部と駆動電極とを別々に形成する場合に比べて電極パターンの簡素化を図ることができる。
本態様によれば、第１導体部及び第２導体部を駆動壁の駆動電極として機能させることができる。これにより、導体部と駆動電極とを別々に形成する場合に比べて電極パターンの簡素化を図ることができる。
【0013】
（６）上記（１）から（３）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記液体が充填される噴射チャネルが前記第１方向で並んで形成されたチャネル列、及び前記チャネル列に対して前記第１方向の少なくとも一方側に形成されたダミーチャネルを有するアクチュエータプレートを備え、前記第１面及び前記第２面の少なくとも何れか一方の面は、前記ダミーチャネルの内面を構成していることが好ましい。
本態様によれば、ダミーチャネルには駆動電極等が形成されていないため、ダミーチャネルの内面に第１導体部及び第２導体部を形成することで、各導体部のレイアウト自由度等が向上し、低コスト化や製造工程の効率化を図ることができる。
本態様によれば、ダミーチャネルには駆動電極等が形成されていないため、ダミーチャネルの内面に第１導体部及び第２導体部を形成することで、各導体部のレイアウト自由度等が向上し、低コスト化や製造工程の効率化を図ることができる。
【0014】
（７）上記（１）から（６）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記第１面を有する第１部材と、前記第２面を有し、前記第１部材に対して前記第１方向で向かい合って配置された第２部材と、前記第１部材及び前記第２部材同士を接合させる接着層と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、接着層と第１面との界面、接着層と第２面との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば第１部材又は第２部材が液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
本態様によれば、接着層と第１面との界面、接着層と第２面との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば第１部材又は第２部材が液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
【0015】
（８）上記（７）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記第１部材は、前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートであり、前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第２部材と向かい合う面であり、前記噴射チャネルの内面には、駆動電極が形成され、前記第１面及び前記噴射チャネルの内面には、前記第１導体部及び前記駆動電極を覆うとともに、絶縁性を有する保護膜が設けられていることが好ましい。
本態様によれば、保護膜とアクチュエータプレートとの界面、若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば保護膜による駆動電極の絶縁性が失われることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
本態様によれば、保護膜とアクチュエータプレートとの界面、若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば保護膜による駆動電極の絶縁性が失われることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
【0016】
（９）上記（７）又は（８）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記第１部材は、前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートであり、前記第２部材は、前記アクチュエータプレートに対して前記第１方向に積層されて前記噴射チャネルを閉塞するカバープレートを含み、前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記カバープレートに向かい合うカバー対向面を含み、前記第２面は、前記カバープレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第１対向面を含んでいることが好ましい。
本態様によれば、接着層とアクチュエータプレート（カバー対向面）との界面、接着層とカバープレート（第１対向面）との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。また、アクチュエータプレートのうちカバー対向面上に保護膜が形成されている場合には、保護膜と接着層との界面若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば第１部材又は第２部材が液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
本態様によれば、接着層とアクチュエータプレート（カバー対向面）との界面、接着層とカバープレート（第１対向面）との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。また、アクチュエータプレートのうちカバー対向面上に保護膜が形成されている場合には、保護膜と接着層との界面若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えば第１部材又は第２部材が液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
【0017】
（１０）上記（８）又は（９）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記第２部材は、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記第１部材に向かい合って配置された噴射孔プレートを含み、前記第１面は、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートに向かい合う噴射孔対向面を含み、前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートに向かい合う第２対向面を含んでいることが好ましい。
本態様によれば、接着層とアクチュエータプレート（噴射孔対向面）との界面、接着層と噴射孔プレート（第２対向面）との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。また、アクチュエータプレートのうち噴射孔対向面上に保護膜が形成されている場合には、保護膜と接着層との界面若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えばアクチュエータプレート又は噴射孔プレートが液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
本態様によれば、接着層とアクチュエータプレート（噴射孔対向面）との界面、接着層と噴射孔プレート（第２対向面）との界面若しくは接着層内に浸透した液体を検出機構によって検出することができる。また、アクチュエータプレートのうち噴射孔対向面上に保護膜が形成されている場合には、保護膜と接着層との界面若しくはクラックやピンホール等を通じて保護膜内に侵入した液体を検出機構によって検出することができる。これにより、例えばアクチュエータプレート又は噴射孔プレートが液体によって接着層から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前に液体噴射ヘッドを交換する等の対処が可能になる。
【0018】
（１１）上記（１０）の態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射孔プレートは、導電性を有し、前記第２導体部は、前記噴射孔プレートとして一体に形成されていることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔プレート自体が導電性を有する材料により形成されることで、噴射孔対向面に別体の第２導体部を形成する必要がない。そのため、製造効率の向上を図ることができる。
本態様によれば、噴射孔プレート自体が導電性を有する材料により形成されることで、噴射孔対向面に別体の第２導体部を形成する必要がない。そのため、製造効率の向上を図ることができる。
【0019】
（１２）上記（１）から（６）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記液体が充填される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合って配置された噴射孔プレートと、を備え、前記噴射孔プレートは、絶縁性を有する樹脂材料により形成され、前記第１面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレート側を向く面であり、前記第２面は、前記噴射孔プレートのうち前記アクチュエータプレートとは反対側を向く面であることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔プレートに浸透した液体を検出機構によって検出することができる。
本態様によれば、噴射孔プレートに浸透した液体を検出機構によって検出することができる。
【0020】
（１３）本開示の態様に係る液体噴射記録装置は、（１）から（１２）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
本態様によれば、レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【0021】
本開示の一態様によれば、レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図2】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図3】第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図6】第１実施形態に係る漏洩検出機構のブロック図である。
【図7】第１実施形態に係る漏洩検出方法を説明するためのフローチャートである。
【図8】第１実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。
【図9】第２実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。
【図11】第２実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。
【図12】第３実施形態に係るヘッドチップについて、ノズルプレートを取り外した状態の底面図である。
【図18】第６実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0024】
（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１は、第１実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。
［プリンタ１］
図１は、第１実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。
【0025】
以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0026】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１３と、インクタンク１３とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１４と、を備えている。インクタンク１３には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１３に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１３と、インクタンク１３とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１４と、を備えている。インクタンク１３には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１３に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。
【0027】
走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構６は、Ｙ方向に延びるガイドレール１５と、ガイドレール１５に移動可能に支持されたキャリッジ１６と、を備えている。図示の例において、一つのキャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド５がＹ方向に並んで搭載されている。
【0028】
＜インクジェットヘッド５＞
図２は、インクジェットヘッド５の斜視図である。以下の説明では一のインクジェットヘッド５を例にしてインクジェットヘッド５の詳細について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ１６に固定されるベースフレーム２１と、ベースフレーム２１に固定されたヘッドチップ２２と、インク供給機構４（インク配管１４）及びヘッドチップ２２間を接続するインク供給部２３と、インクジェットヘッド５を統括的に制御する制御部２４と、を備えている。
図２は、インクジェットヘッド５の斜視図である。以下の説明では一のインクジェットヘッド５を例にしてインクジェットヘッド５の詳細について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ１６に固定されるベースフレーム２１と、ベースフレーム２１に固定されたヘッドチップ２２と、インク供給機構４（インク配管１４）及びヘッドチップ２２間を接続するインク供給部２３と、インクジェットヘッド５を統括的に制御する制御部２４と、を備えている。
【0029】
＜ヘッドチップ２２＞
図３は、第１実施形態に係るヘッドチップ２２の分解斜視図である。
図３に示すヘッドチップ２２は、後述する吐出チャネル４１における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプである。具体的に、ヘッドチップ２２は、アクチュエータプレート３１と、カバープレート３２と、ノズルプレート（噴射孔プレート）３３と、を備えている。
図３は、第１実施形態に係るヘッドチップ２２の分解斜視図である。
図３に示すヘッドチップ２２は、後述する吐出チャネル４１における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプである。具体的に、ヘッドチップ２２は、アクチュエータプレート３１と、カバープレート３２と、ノズルプレート（噴射孔プレート）３３と、を備えている。
【0030】
アクチュエータプレート３１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート３１の分極方向は、例えばＹ方向の全体で一方向に設定されている（いわゆる、モノポールタイプ）。但し、アクチュエータプレート３１は、Ｙ方向における分極方向が異なる２枚の圧電プレートが積層された構成であってもよい（いわゆるシェブロンタイプ）。
【0031】
アクチュエータプレート３１には、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）４１、及びインクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）４２が形成されている。各チャネル４１，４２は、アクチュエータプレート３１において、Ｘ方向（第１方向）に間隔をあけた状態で交互に配列されることで、チャネル列４０を構成している。本実施形態では、チャネル延在方向がＺ方向（第２方向）に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＺ方向に交差していてもよい。
【0032】
図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップ２２の断面図である。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側とし、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上側とし、－Ｚ側を下側として説明する。
図４に示すように、吐出チャネル４１は、アクチュエータプレート３１の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。吐出チャネル４１の上端部は、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。
図４に示すように、吐出チャネル４１は、アクチュエータプレート３１の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。吐出チャネル４１の上端部は、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。
【0033】
図５は、図３のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップ２２の断面図である。
図５に示すように、非吐出チャネル４２は、アクチュエータプレート３１の表面上で開口するとともに、アクチュエータプレート３１をＺ方向に貫通している。非吐出チャネル４２におけるＹ方向の深さは、Ｚ方向の全長に亘って一様である。非吐出チャネル４２は、アクチュエータプレート３１をＹ方向に貫通している。
図５に示すように、非吐出チャネル４２は、アクチュエータプレート３１の表面上で開口するとともに、アクチュエータプレート３１をＺ方向に貫通している。非吐出チャネル４２におけるＹ方向の深さは、Ｚ方向の全長に亘って一様である。非吐出チャネル４２は、アクチュエータプレート３１をＹ方向に貫通している。
【0034】
図３に示すように、アクチュエータプレート３１のうち、吐出チャネル４１及び非吐出チャネル４２間に位置する部分は、それぞれ駆動壁４５を構成している。したがって、吐出チャネル４１は、一対の駆動壁４５によってＸ方向の両側が囲まれている。アクチュエータプレート３１のうち、吐出チャネル４１に対して上方に位置する部分は、尾部４８を構成している。
【0035】
アクチュエータプレート３１には、共通配線（第１電極）５１及び個別配線（第２電極）５２が形成されている。各配線５１，５２は、Ｔｉ／ＡｕやＮｉ／Ａｕ等の電極材料を、例えば蒸着やスパッタ、めっき等により成膜することで形成される。
【0036】
共通配線５１は、共通電極５４と、共通端子５５と、を備えている。
共通電極５４は、吐出チャネル４１の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、共通電極５４は、吐出チャネル４１の表面側端縁からＹ方向の半分程度の深さに形成されている。
共通電極５４は、吐出チャネル４１の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、共通電極５４は、吐出チャネル４１の表面側端縁からＹ方向の半分程度の深さに形成されている。
【0037】
共通端子５５は、尾部４８の表面に形成されている。共通端子５５は、尾部４８の表面において、各吐出チャネル４１に対応して設けられている。各共通端子５５は、対応する吐出チャネル４１の上方でＺ方向に直線状に延びている。共通端子５５における下端部は、共通電極５４に連なっている。
【0038】
個別配線５２は、個別電極５７と、個別端子５８と、を備えている。
個別電極５７は、各非吐出チャネル４２の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、個別電極５７は、非吐出チャネル４２の表面側端縁からＹ方向の半分程度の深さに形成されている。
個別電極５７は、各非吐出チャネル４２の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、個別電極５７は、非吐出チャネル４２の表面側端縁からＹ方向の半分程度の深さに形成されている。
【0039】
個別端子５８は、尾部４８の表面において、共通端子５５よりも上方に位置する部分に形成されている。個別端子５８は、Ｘ方向に延びる帯状に形成されている。個別端子５８は、吐出チャネル４１を間に挟んでＸ方向で向かい合う非吐出チャネル４２の表面側開口縁において、吐出チャネル４１を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極５７同士を接続している。尾部４８において、共通端子５５と個別端子５８との間に位置する部分には、区画溝４９が形成されている。区画溝４９は、尾部４８において、Ｘ方向に延びている。区画溝４９は、共通端子５５と個別端子５８とを分離している。
【0040】
尾部４８の表面には、フレキシブルプリント基板５９が圧着されている。フレキシブルプリント基板５９は、尾部４８の表面において、共通端子５５と個別端子５８に接続されている。フレキシブルプリント基板５９は、ヘッドチップ２２と制御部２４との間を接続している。
【0041】
＜カバープレート３２＞
図３～図５に示すように、カバープレート３２は、アクチュエータプレート３１の表面に重ね合わされている。具体的に、カバープレート３２は、尾部４８の表面を露出させた状態で各チャネル４１，４２の表面側開口部を閉塞している。カバープレート３２は、アクチュエータプレート３１の表面に接着層５０を介して接合されている。カバープレート３２の下端面は、アクチュエータプレート３１の下端面と面一に配置されている。
図３～図５に示すように、カバープレート３２は、アクチュエータプレート３１の表面に重ね合わされている。具体的に、カバープレート３２は、尾部４８の表面を露出させた状態で各チャネル４１，４２の表面側開口部を閉塞している。カバープレート３２は、アクチュエータプレート３１の表面に接着層５０を介して接合されている。カバープレート３２の下端面は、アクチュエータプレート３１の下端面と面一に配置されている。
【0042】
カバープレート３２において、吐出チャネル４１の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、共通インク室６０が形成されている。共通インク室６０は、例えば各チャネル４１，４２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート３２の表面上で開口している。
共通インク室６０において、吐出チャネル４１とＹ方向から見て重なり合う位置には、スリット６１が形成されている。スリット６１は、各吐出チャネル４１の上端部と、共通インク室６０内と、の間を各別に連通している。したがって、共通インク室６０は、各スリット６１を通じて各吐出チャネル４１にそれぞれ連通する一方、各非吐出チャネル４２には連通していない。
共通インク室６０において、吐出チャネル４１とＹ方向から見て重なり合う位置には、スリット６１が形成されている。スリット６１は、各吐出チャネル４１の上端部と、共通インク室６０内と、の間を各別に連通している。したがって、共通インク室６０は、各スリット６１を通じて各吐出チャネル４１にそれぞれ連通する一方、各非吐出チャネル４２には連通していない。
【0043】
＜ノズルプレート３３＞
ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３１の下端面に接着層６４を介して接合されている。ノズルプレート３３は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。本実施形態において、ノズルプレート３３は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート３３は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３１の下端面に直接固定されていてもよく、例えば中間プレート等を介して間接的に固定されていてもよい。
ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３１の下端面に接着層６４を介して接合されている。ノズルプレート３３は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。本実施形態において、ノズルプレート３３は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート３３は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３１の下端面に直接固定されていてもよく、例えば中間プレート等を介して間接的に固定されていてもよい。
【0044】
ノズルプレート（噴射孔プレート）３３には、ノズルプレート３３をＺ方向に貫通するノズル孔（噴射孔）６５が形成されている。ノズル孔６５は、ノズルプレート３３のうち、吐出チャネル４１にＺ方向で向かい合う位置に各別に形成されている。なお、各ノズル孔６５は、上方から下方に向かうに従い漸次先細るテーパ状に形成されている。
【0045】
＜漏洩検出機構１００＞
図６は、漏洩検出機構１００のブロック図である。
図６に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５は、ヘッドチップ２２内でのインクの漏洩を検出する漏洩検出機構１００を備えている。漏洩検出機構１００は、センサ部１０１と、検出機構１０２と、を備えている。
センサ部１０１は、間隔をあけて配置された一対の導体部により構成されている。本実施形態では、一の吐出チャネル４１の内面に形成された共通電極（第１導体部）５４、及び一の吐出チャネル４１を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極（第２導体部）５７によってセンサ部１０１が構成されている。すなわち、第１実施形態では、共通電極５４及び個別電極５７がセンサ部１０１を兼ねることで、吐出チャネル４１毎にセンサ部１０１が設けられている。センサ部１０１は、フレキシブルプリント基板５９を介して検出機構１０２に接続されている。なお、第１実施形態では、駆動壁４５のうち、共通電極５４が形成された面が第１面を構成し、個別電極５７が形成された面が第２面を構成している。
図６は、漏洩検出機構１００のブロック図である。
図６に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５は、ヘッドチップ２２内でのインクの漏洩を検出する漏洩検出機構１００を備えている。漏洩検出機構１００は、センサ部１０１と、検出機構１０２と、を備えている。
センサ部１０１は、間隔をあけて配置された一対の導体部により構成されている。本実施形態では、一の吐出チャネル４１の内面に形成された共通電極（第１導体部）５４、及び一の吐出チャネル４１を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極（第２導体部）５７によってセンサ部１０１が構成されている。すなわち、第１実施形態では、共通電極５４及び個別電極５７がセンサ部１０１を兼ねることで、吐出チャネル４１毎にセンサ部１０１が設けられている。センサ部１０１は、フレキシブルプリント基板５９を介して検出機構１０２に接続されている。なお、第１実施形態では、駆動壁４５のうち、共通電極５４が形成された面が第１面を構成し、個別電極５７が形成された面が第２面を構成している。
【0046】
検出機構１０２は、例えば制御部２４に搭載されている。検出機構１０２は、取得部１１０と、判定部１１１と、報知部１１２と、を備えている。
取得部１１０は、センサ部１０１での検出結果を取得する。
取得部１１０は、センサ部１０１での検出結果を取得する。
【0047】
判定部１１１は、取得部１１０で取得した情報に基づき、ヘッドチップ２２内でのインクの漏洩状態を判定する。具体的に、判定部１１１は、短絡判定部１１１ａと、容量判定部１１１ｂと、を備えている。但し、判定部１１１は、短絡判定部１１１ａ及び容量判定部１１１ｂの少なくとも何れかの判定部を備えていればよい。
【0048】
短絡判定部１１１ａは、センサ部１０１を構成している一対の導体部間で短絡が生じているか否かに基づき、一対の導体部（電極５４，５７）間にインクが介在しているか否かを判定する。例えばアクチュエータプレート３１及びカバープレート３２間（接着層５０）やアクチュエータプレート３１及びノズルプレート３３間（接着層６４）等の接合領域を通じて吐出チャネル４１内から非吐出チャネル４２内へインクが漏れ出たり、駆動壁４５内をインクが浸透したりした場合には、一対の導体部間がインクで架け渡されることで、一対の導体部間で短絡が生じている可能性がある。
【0049】
容量判定部１１１ｂは、一対の導体部間での静電容量の変化に基づき、一対の導体部間にインクが介在しているか否かを判定する。具体的に、容量判定部１１１ｂは、一対の導体部間にインクが介在していない状態での静電容量を基準容量とし、基準容量に対して静電容量が所定の閾値以上変化しているか否かを判定する。例えば接合領域を通じて吐出チャネル４１内から非吐出チャネル４２内へインクが漏れ出たり、駆動壁４５内をインクが浸透したりした場合には、一対の導体部間の静電容量が変化する可能性がある。
【0050】
報知部１１２は、判定部１１１によりインクが漏洩していると判定された場合に、プリンタ１のユーザに対して報知する。なお、報知方法としては、警告音や警告灯、警告表示等、適宜選択可能である。
【0051】
［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１３にはそれぞれ異なる色のインクが十分に充填されているものとする。また、インクタンク１３内のインクは、インク配管１４を通じてインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１３にはそれぞれ異なる色のインクが十分に充填されているものとする。また、インクタンク１３内のインクは、インク配管１４を通じてインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0052】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。被記録媒体Ｐの搬送と同時にキャリッジ１６がＹ方向に移動することで、キャリッジ１６に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
【0053】
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。具体的に、キャリッジ１６（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板５９を介して共通電極５４及び個別電極５７間に駆動電圧が印加される。この際、個別電極５７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極５４を基準電位ＧＮＤとして各電極５４，５７間に駆動電圧（パルス信号）を印加する。これにより、共通電極５４及び個別電極５７間で電位差が発生する。すると、駆動壁４５は、いわゆる逆圧電効果によって厚み滑り変形が生じることで、Ｙ方向の中央部を起点にしてＶ字状に屈曲変形する。すなわち、駆動壁４５は吐出チャネル４１の容積が拡大するように変形する。
【0054】
各吐出チャネル４１の容積が増大した後、共通電極５４及び個別電極５７間に印加した駆動電圧をゼロにする。すると、駆動壁４５が復元し、一旦増大した吐出チャネル４１の容積が元の容積に戻る。これにより、吐出チャネル４１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。そして、吐出チャネル４１内の圧力増加によって発生した圧力波が、ノズル孔６５に向けて伝播する。その結果、吐出チャネル４１内のインクがノズル孔６５を通じて液滴状に吐出される。ノズル孔６５から吐出されたインクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、被記録媒体Ｐに文字や画像等の印刷情報を記録することができる。
【0055】
［インクの漏洩検出方法］
次に、漏洩検出機構１００を用いたインクの漏洩検出方法について説明する。図７は、漏洩検出方法を説明するためのフローチャートである。本ルーチンは、インクの非吐出時に定期的に行う。インクの非吐出時とは、例えば連続するパルス信号の間や、印刷停止期間（ヘッドチップ２２の非駆動時）等を意味する。
次に、漏洩検出機構１００を用いたインクの漏洩検出方法について説明する。図７は、漏洩検出方法を説明するためのフローチャートである。本ルーチンは、インクの非吐出時に定期的に行う。インクの非吐出時とは、例えば連続するパルス信号の間や、印刷停止期間（ヘッドチップ２２の非駆動時）等を意味する。
【0056】
図７に示すように、取得部１１０は、インクの非吐出時において、各センサ部１０１の検出結果を定期的に取得する（ステップＳ１）。
続いて、判定部１１１は、取得部１１０で取得した情報に基づき、インクの漏洩があるか否かを判定する（ステップＳ２）。具体的に、ステップＳ２では、短絡判定部１１１ａにおいて、一対の導体部間で短絡が生じているか否かを判定したり、容量判定部１１１ｂにおいて、一対の導体部間での静電容量が基準容量に対して所定の閾値以上変化しているか否かを判定したりする。
続いて、判定部１１１は、取得部１１０で取得した情報に基づき、インクの漏洩があるか否かを判定する（ステップＳ２）。具体的に、ステップＳ２では、短絡判定部１１１ａにおいて、一対の導体部間で短絡が生じているか否かを判定したり、容量判定部１１１ｂにおいて、一対の導体部間での静電容量が基準容量に対して所定の閾値以上変化しているか否かを判定したりする。
【0057】
ステップＳ２における判定結果が「ＮＯ」の場合、インクの漏洩はないと判定して、ステップＳ１に戻る。
一方、ステップＳ２における判定結果が「ＹＥＳ」の場合、インク漏洩の可能性があると判定して、ステップＳ３に進む。
一方、ステップＳ２における判定結果が「ＹＥＳ」の場合、インク漏洩の可能性があると判定して、ステップＳ３に進む。
【0058】
ステップＳ３において、報知部１１２は、インク漏洩の可能性をユーザに報知する。以上により、本ルーチンが終了する。
【0059】
このように、本実施形態では、吐出チャネル４１の内面（第１面）に形成された共通電極（第１導体部）５５と、非吐出チャネル４２の内面（第２面）に形成された個別電極（第２導体部）５７と、共通電極５４及び個別電極５７間でのインクの介在を検出する検出機構１０２と、を備える構成とした。
この構成によれば、共通電極５４及び個別電極５７間でのインクの介在を検出機構１０２によって検出することで、吐出チャネル４１及び非吐出チャネル４２間（本実施形態では、接合領域や駆動壁４５、非吐出チャネル４２内）にインクが侵入していることを判定できる。これにより、所望の位置でのインクの漏洩を正確に検出し、信頼性に優れたインクジェットヘッド５を提供できる。
特に、従来のように光学センサを用いてインクを漏洩する場合と異なり、インクジェットヘッドに光学センサを搭載する必要がないので、低コスト化が可能になるとともに、汎用性に優れたインクジェットヘッド５を提供できる。また、被記録媒体の検出とインクの検出とを１つの光学センサで兼用する場合に比べて、導体部のレイアウトの自由度を向上させることができる。
しかも、光学センサで液体を検出する場合には、光学センサの検出範囲に一定程度のインクが存在していることが必要となる。そのため、光学センサにより液体が検出された時点では、既にインクジェットヘッドが故障している可能性がある。これに対して、本実施形態では、共通電極５４及び個別電極５７間にインクが介在したことによる電気的な変化を検出することで、電気的な変化に基づきインクジェットヘッド５の状態を把握し易い。この場合、例えば容量判定部１１１ｂにおける閾値を適宜設定することで、正常状態や故障の予兆段階、故障発生段階等、インクジェットヘッド５の状態を正確に把握できる。よって、故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前にインクジェットヘッド５を交換する等の対処が可能になる。その結果、インクジェットヘッド５の不具合が印刷品質に及ぶことを抑制できる。
この構成によれば、共通電極５４及び個別電極５７間でのインクの介在を検出機構１０２によって検出することで、吐出チャネル４１及び非吐出チャネル４２間（本実施形態では、接合領域や駆動壁４５、非吐出チャネル４２内）にインクが侵入していることを判定できる。これにより、所望の位置でのインクの漏洩を正確に検出し、信頼性に優れたインクジェットヘッド５を提供できる。
特に、従来のように光学センサを用いてインクを漏洩する場合と異なり、インクジェットヘッドに光学センサを搭載する必要がないので、低コスト化が可能になるとともに、汎用性に優れたインクジェットヘッド５を提供できる。また、被記録媒体の検出とインクの検出とを１つの光学センサで兼用する場合に比べて、導体部のレイアウトの自由度を向上させることができる。
しかも、光学センサで液体を検出する場合には、光学センサの検出範囲に一定程度のインクが存在していることが必要となる。そのため、光学センサにより液体が検出された時点では、既にインクジェットヘッドが故障している可能性がある。これに対して、本実施形態では、共通電極５４及び個別電極５７間にインクが介在したことによる電気的な変化を検出することで、電気的な変化に基づきインクジェットヘッド５の状態を把握し易い。この場合、例えば容量判定部１１１ｂにおける閾値を適宜設定することで、正常状態や故障の予兆段階、故障発生段階等、インクジェットヘッド５の状態を正確に把握できる。よって、故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前にインクジェットヘッド５を交換する等の対処が可能になる。その結果、インクジェットヘッド５の不具合が印刷品質に及ぶことを抑制できる。
【0060】
ところで、従来のように光学センサを用いた場合には、インクの付着位置によっては光学センサが過剰に反応し、微小量のインクであっても漏洩として誤検出してしまう可能性があった。
これに対して、本実施形態において、検出機構１０２は、共通電極５４及び個別電極５７間が短絡したことに基づいて、共通電極５４及び個別電極５７間に液体が介在していることを判定する構成とした。
この構成によれば、インク吐出時に発生するミスト等、インクジェットヘッド５の不具合が生じない程度の微小量の液体によって、インクが漏洩していると誤検出することを抑制できる。
これに対して、本実施形態において、検出機構１０２は、共通電極５４及び個別電極５７間が短絡したことに基づいて、共通電極５４及び個別電極５７間に液体が介在していることを判定する構成とした。
この構成によれば、インク吐出時に発生するミスト等、インクジェットヘッド５の不具合が生じない程度の微小量の液体によって、インクが漏洩していると誤検出することを抑制できる。
【0061】
本実施形態において、検出機構１０２は、共通電極５４及び個別電極５７間の静電容量が基準値に対して所定量変化した場合に、共通電極５４及び個別電極５７間に液体が介在していることを判定する構成とした。
この構成によれば、例えば容量判定部１１１ｂにおける閾値を適宜設定することで、インク吐出時に発生するミスト等、インクジェットヘッド５の不具合が生じない程度の微小量の液体によって、インクが漏洩していると誤検出することを抑制できる。
この構成によれば、例えば容量判定部１１１ｂにおける閾値を適宜設定することで、インク吐出時に発生するミスト等、インクジェットヘッド５の不具合が生じない程度の微小量の液体によって、インクが漏洩していると誤検出することを抑制できる。
【0062】
本実施形態のインクジェットヘッド５は、駆動壁４５のうち吐出チャネル４１の内面を形成する部分を第１面とし、駆動壁４５のうち非吐出チャネル４２の内面を形成する部分を第２面とする構成とした。
この構成によれば、吐出チャネル４１及び非吐出チャネル４２間でのインクの漏洩を高精度に検出することができる。
しかも、本実施形態のインクジェットヘッド５では、共通電極５４及び個別電極５７間に電位差を発生させることで、駆動壁４５を変形させることができる。すなわち、共通電極５４及び個別電極５７にセンサ部１０１と駆動電極との双方の機能を持たせることができる。これにより、センサ部と駆動電極とを別々に形成する場合に比べて電極パターンの簡素化を図ることができる。
この構成によれば、吐出チャネル４１及び非吐出チャネル４２間でのインクの漏洩を高精度に検出することができる。
しかも、本実施形態のインクジェットヘッド５では、共通電極５４及び個別電極５７間に電位差を発生させることで、駆動壁４５を変形させることができる。すなわち、共通電極５４及び個別電極５７にセンサ部１０１と駆動電極との双方の機能を持たせることができる。これにより、センサ部と駆動電極とを別々に形成する場合に比べて電極パターンの簡素化を図ることができる。
【0063】
本実施形態のプリンタ１は、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、レイアウトの向上や低コスト化を図った上で、汎用性に優れたプリンタ１を提供できる。
【0064】
（変形例）
図８は、変形例に係るヘッドチップ２２の断面図である。第１実施形態では、チャネル列４０を構成するチャネル４１，４２のみを利用してインクの漏洩を検出する構成について説明した。これに対して。本変形例のヘッドチップ２２は、ダミーチャネル１３０を利用して、インクの漏洩を検出する点で異なっている。
図８に示すように、ダミーチャネル１３０は、アクチュエータプレート３１のうちチャネル列４０に対してＸ方向の両側に、Ｘ方向に間隔をあけて複数ずつ形成されている。具体的に、ダミーチャネル１３０は、インクの吐出に寄与しないチャネルであって、接着層５０，６４形成時の接着剤溜まりや、アクチュエータプレート３１に発生したクラックの進行を抑制する等の機能を有している。したがって、ダミーチャネル１３０には、駆動電極（共通電極５４や個別電極５７等）は通常形成されていない。各ダミーチャネル１３０の表面側開口部は、カバープレート３２によって閉塞されている。各ダミーチャネル１３０の下端開口部は、ノズルプレート３３によって閉塞されている。
図８は、変形例に係るヘッドチップ２２の断面図である。第１実施形態では、チャネル列４０を構成するチャネル４１，４２のみを利用してインクの漏洩を検出する構成について説明した。これに対して。本変形例のヘッドチップ２２は、ダミーチャネル１３０を利用して、インクの漏洩を検出する点で異なっている。
図８に示すように、ダミーチャネル１３０は、アクチュエータプレート３１のうちチャネル列４０に対してＸ方向の両側に、Ｘ方向に間隔をあけて複数ずつ形成されている。具体的に、ダミーチャネル１３０は、インクの吐出に寄与しないチャネルであって、接着層５０，６４形成時の接着剤溜まりや、アクチュエータプレート３１に発生したクラックの進行を抑制する等の機能を有している。したがって、ダミーチャネル１３０には、駆動電極（共通電極５４や個別電極５７等）は通常形成されていない。各ダミーチャネル１３０の表面側開口部は、カバープレート３２によって閉塞されている。各ダミーチャネル１３０の下端開口部は、ノズルプレート３３によって閉塞されている。
【0065】
ダミーチャネル１３０のうち、チャネル列４０に隣接するダミーチャネル１３０（以下、対象チャネル１３０ａという。）の内面には、導体部１３１が形成されている。導体部１３１は、チャネル列４０を構成するチャネル４１，４２のうち、対象チャネル１３０ａに隣接するチャネル（本実施形態では、最外に位置する非吐出チャネル４２ａ）に形成された個別電極５７とともに、センサ部１０１を構成している。この場合、対象チャネル１３０ａの導体部１３１と、非吐出チャネル４２ａの個別電極５７と、は対象チャネル１３０ａと非吐出チャネル４２ａとを区画する区画壁１３２によって分離されている。本変形例では、非吐出チャネル４２の内面が第１面を構成し、対象チャネル１３０ａの内面が第２面を構成している。なお、導体部１３１は、各配線５１，５２と同様に、Ｔｉ／Ａｕ等の電極材料を蒸着等することで形成される。
【0066】
本変形例において、例えば区画壁１３２内にインクが浸透した場合や、接合領域を通じてインクが対象チャネル１３０ａ内に漏れ出た場合には、個別電極５７及び導体部１３１間が短絡したり、個別電極５７及び導体部１３１間の静電容量が変化したりする。そして、個別電極５７及び導体部１３１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。なお、本変形例では、ダミーチャネル１３０及びチャネル列４０間でのインクの介在を検出できる構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、ダミーチャネル１３０に一対の導体部（センサ部１０１）を設けてもよい。
【0067】
本変形例のように、ダミーチャネル１３０の内面にセンサ部の一部を形成することで、導体部のレイアウト自由度等が向上し、低コスト化や製造工程の効率化を図ることができる。
【0068】
（第２実施形態）
図９は、第２実施形態に係るアクチュエータプレート３１の平面図である。第２実施形態では、アクチュエータプレート（第１部材）３１及びカバープレート（第２部材）３２間でインクの漏洩を検出する点で第１実施形態と相違している。
図９に示すヘッドチップ２２において、アクチュエータプレート３１の表面（カバー対向面）には第１導体部２００が形成されている。第１導体部２００は、駆動壁４５の表面上をＺ方向に帯状に延びている。したがって、第１導体部２００は、各吐出チャネル４１に対してＸ方向の両側において、Ｚ方向に延びている。Ｚ方向において、第１導体部２００は、吐出チャネル４１の全長に亘って延びている。具体的に、第１導体部２００の下端縁は、アクチュエータプレート３１の下端縁に達している。一方、第１導体部２００の上端縁は、尾部４８上で終端している。但し、第１導体部２００は、Ｚ方向における少なくとも一部において、吐出チャネル４１と重なっていればよい。
図９は、第２実施形態に係るアクチュエータプレート３１の平面図である。第２実施形態では、アクチュエータプレート（第１部材）３１及びカバープレート（第２部材）３２間でインクの漏洩を検出する点で第１実施形態と相違している。
図９に示すヘッドチップ２２において、アクチュエータプレート３１の表面（カバー対向面）には第１導体部２００が形成されている。第１導体部２００は、駆動壁４５の表面上をＺ方向に帯状に延びている。したがって、第１導体部２００は、各吐出チャネル４１に対してＸ方向の両側において、Ｚ方向に延びている。Ｚ方向において、第１導体部２００は、吐出チャネル４１の全長に亘って延びている。具体的に、第１導体部２００の下端縁は、アクチュエータプレート３１の下端縁に達している。一方、第１導体部２００の上端縁は、尾部４８上で終端している。但し、第１導体部２００は、Ｚ方向における少なくとも一部において、吐出チャネル４１と重なっていればよい。
【0069】
第１導体部２００は、Ｘ方向において、各チャネル４１，４２の表面側開口縁から離間している。したがって、第１導体部２００は、駆動壁４５の表面において、共通電極５４及び個別電極５７とそれぞれ分離されている。また、第１導体部２００の上端部は、尾部４８の表面において、共通端子５５及び個別端子５８とそれぞれ分離されている。第１導体部２００は、例えばフレキシブルプリント基板５９を介して検出機構１０２に接続される。なお、第１導体部２００は、全ての駆動壁４５に対して設けられていてもよく、複数の駆動壁４５に対して一つずつ設けられていてもよい。
【0070】
図１０は、図９のＸ－Ｘ線に対応する断面図である。
図１０に示すように、カバープレート３２の裏面（第１対向面）において、第１導体部２００と向かい合う位置には、第２導体部２０１が形成されている。第２導体部２０１は、第１導体部２００に対して接着層５０の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。すなわち、第２導体部２０１は、第１導体部２００とともにセンサ部１０１を構成する。なお、第２実施形態では、Ｙ方向を第１方向とした上で、アクチュエータプレート３１の表面が第１面を構成し、カバープレート３２の裏面が第２面を構成する。
図１０に示すように、カバープレート３２の裏面（第１対向面）において、第１導体部２００と向かい合う位置には、第２導体部２０１が形成されている。第２導体部２０１は、第１導体部２００に対して接着層５０の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。すなわち、第２導体部２０１は、第１導体部２００とともにセンサ部１０１を構成する。なお、第２実施形態では、Ｙ方向を第１方向とした上で、アクチュエータプレート３１の表面が第１面を構成し、カバープレート３２の裏面が第２面を構成する。
【0071】
第２導体部２０１は、例えば第１導体部２００と同形同大の帯状に形成されている。第２導体部２０１は、Ｙ方向から見て少なくとも一部が第１導体部２００に重なり合っていることが好ましい。第２導体部２０１は、例えば不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。
【0072】
第２実施形態においては、第１導体部２００及び第２導体部２０１が接着層５０を介して向かい合っている。そのため、例えばクラックやピンホール等を通じて接着層５０内にインクが浸透した場合には、第１導体部２００及び第２導体部２０１間が短絡したり、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート３１と接着層５０との界面や、カバープレート３２と接着層５０との界面にインクが侵入した場合には、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。これにより、例えばアクチュエータプレート３１やカバープレート３２がインクによって接着層５０から剥がされることに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前にインクジェットヘッド５を交換する等の対処が可能になる。
【0073】
なお、所定箇所の接着層５０の接着力を低下させておき、所定箇所でのインクの侵入をセンサ部１０１により検出することで、インクジェットヘッド５（ヘッドチップ２２）の寿命判定をしてもよい。この場合、接着力の低下方法としては、所定箇所について接着層５０を薄くしたり、接着面積を低下させたり、接着力の異なる接着剤を使用したりすることが考えられる。
【0074】
（変形例）
図１１は、変形例に係るヘッドチップ２２の断面図である。
図１１に示すように、ヘッドチップ２２では、配線５１，５２を保護する保護膜２１０が設けられていてもよい。保護膜２１０は、例えばパラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜２１０は、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）又はダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。
図１１は、変形例に係るヘッドチップ２２の断面図である。
図１１に示すように、ヘッドチップ２２では、配線５１，５２を保護する保護膜２１０が設けられていてもよい。保護膜２１０は、例えばパラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜２１０は、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）又はダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。
【0075】
保護膜２１０は、各チャネル４１，４２の内面及びアクチュエータプレート３１の表面に設けられている。具体的に、保護膜２１０は、吐出チャネル保護部２１０ａと、非吐出チャネル保護部２１０ｂと、接続部２１０ｃと、を備えている。
吐出チャネル保護部２１０ａは、吐出チャネル４１の内面全体に形成されている。吐出チャネル保護部２１０ａは、吐出チャネル４１内において共通電極（駆動電極）５４を覆っている。
非吐出チャネル保護部２１０ｂは、非吐出チャネル４２の内面全体に形成されている。非吐出チャネル保護部２１０ｂは、非吐出チャネル４２内において（駆動電極）個別電極５７を覆っている。
接続部２１０ｃは、アクチュエータプレート３１の表面において、尾部４８よりも下方に位置する部分に形成されている。接続部２１０ｃは、アクチュエータプレート３１の表面上において、第１導体部２００を覆っている。したがって、第１導体部２００は、接続部２１０ｃ及び接着層５０を挟んで第２導体部２０１と向かい合っている。接続部２１０ｃは、吐出チャネル４１の表面側開口縁において吐出チャネル保護部２１０ａに連なり、非吐出チャネル４２の表面側開口縁において非吐出チャネル保護部２１０ｂに連なっている。
吐出チャネル保護部２１０ａは、吐出チャネル４１の内面全体に形成されている。吐出チャネル保護部２１０ａは、吐出チャネル４１内において共通電極（駆動電極）５４を覆っている。
非吐出チャネル保護部２１０ｂは、非吐出チャネル４２の内面全体に形成されている。非吐出チャネル保護部２１０ｂは、非吐出チャネル４２内において（駆動電極）個別電極５７を覆っている。
接続部２１０ｃは、アクチュエータプレート３１の表面において、尾部４８よりも下方に位置する部分に形成されている。接続部２１０ｃは、アクチュエータプレート３１の表面上において、第１導体部２００を覆っている。したがって、第１導体部２００は、接続部２１０ｃ及び接着層５０を挟んで第２導体部２０１と向かい合っている。接続部２１０ｃは、吐出チャネル４１の表面側開口縁において吐出チャネル保護部２１０ａに連なり、非吐出チャネル４２の表面側開口縁において非吐出チャネル保護部２１０ｂに連なっている。
【0076】
本変形例において、例えばクラックやピンホール等を通じて接着層５０や保護膜２１０内にインクが浸透した場合には、第１導体部２００及び第２導体部２０１間が短絡したり、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート３１と接着層５０との界面や、カバープレート３２と接着層５０との界面、接着層５０と保護膜２１０との界面にインクが侵入した場合には、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部２００及び第２導体部２０１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。これにより、例えばアクチュエータプレート３１やカバープレート３２がインクによって接着層５０から剥がされることや、保護膜２１０による絶縁性が失われたことに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前にインクジェットヘッド５を交換する等の対処が可能になる。
【0077】
（第３実施形態）
図１２は、ノズルプレート３３を取り外した状態におけるヘッドチップ２２の底面図である。図１３は、図１２のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に対応する断面図である。第３実施形態では、アクチュエータプレート（第１部材）３１とノズルプレート（第２部材）３３との間でインクの漏洩を検出する点で各実施形態と相違している。
図１２、図１３に示すヘッドチップ２２において、アクチュエータプレート３１の下端面（噴射孔対向面）には第１導体部３００が形成されている。第１導体部３００は、駆動壁４５の下端面上をＹ方向に帯状に延びている。したがって、第１導体部３００は、各吐出チャネル４１に対してＸ方向の両側にそれぞれ形成されている。
図１２は、ノズルプレート３３を取り外した状態におけるヘッドチップ２２の底面図である。図１３は、図１２のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に対応する断面図である。第３実施形態では、アクチュエータプレート（第１部材）３１とノズルプレート（第２部材）３３との間でインクの漏洩を検出する点で各実施形態と相違している。
図１２、図１３に示すヘッドチップ２２において、アクチュエータプレート３１の下端面（噴射孔対向面）には第１導体部３００が形成されている。第１導体部３００は、駆動壁４５の下端面上をＹ方向に帯状に延びている。したがって、第１導体部３００は、各吐出チャネル４１に対してＸ方向の両側にそれぞれ形成されている。
【0078】
Ｙ方向において、第１導体部３００は、吐出チャネル４１の全長に亘って延びている。具体的に、第１導体部３００における－Ｙ側端部は、吐出チャネル４１の底面よりも－Ｙ側に位置している。一方、第１導体部３００の＋Ｙ側端部は、アクチュエータプレート３１の表面まで達している。但し、第１導体部３００は、Ｙ方向における少なくとも一部において、吐出チャネル４１と重なっていればよい。なお、第１導体部３００は、不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。この場合、第１導体部３００は、第２実施形態の第１導体部２００と接続されていてもよい。
【0079】
ノズルプレート３３の上面（第２対向面）において、第１導体部３００と向かい合う位置には、第２導体部３０１が形成されている。第２導体部３０１は、第１導体部３００に対して接着層６４の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。すなわち、第２導体部３０１は、第１導体部３００とともにセンサ部１０１を構成する。なお、第３実施形態では、Ｚ方向を第１方向とした上で、アクチュエータプレート３１の下端面が第１面を構成し、ノズルプレート３３の上面が第２面を構成する。
【0080】
第２導体部３０１は、例えば第１導体部３００と同形同大の帯状に形成されている。第２導体部３０１は、Ｙ方向から見て少なくとも一部が第１導体部３００に重なり合っていることが好ましい。第２導体部３０１は、例えば不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。
【0081】
第３実施形態においては、第１導体部３００及び第２導体部３０１が接着層６４を介して向かい合っている。そのため、例えば接着層６４内にインクが浸透した場合には、第１導体部３００及び第２導体部３０１間が短絡したり、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート３１と接着層６４との界面や、ノズルプレート３３と接着層６４との界面にインクが侵入した場合には、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。これにより、アクチュエータプレート３１やノズルプレート３３がインクによって接着層６４から剥がされることや、保護膜２１０による絶縁性が失われたことに起因する故障の発生を事前に察知することができ、不具合が生じる前にインクジェットヘッド５を交換する等の対処が可能になる。
【0082】
（変形例）
図１４は、変形例に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。
図１４に示すように、ヘッドチップ２２では、アクチュエータプレート３１の下端面が保護膜２１０によって覆われていてもよい。具体的に、保護膜２１０は、アクチュエータプレート３１の下端面を覆う端面保護部２１０ｄを備えている。端面保護部２１０ｄは、第１導体部３００を覆っている。したがって、第１導体部３００は、端面保護部２１０ｄ及び接着層６４を挟んで第２導体部３０１と向かい合っている。
図１４は、変形例に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。
図１４に示すように、ヘッドチップ２２では、アクチュエータプレート３１の下端面が保護膜２１０によって覆われていてもよい。具体的に、保護膜２１０は、アクチュエータプレート３１の下端面を覆う端面保護部２１０ｄを備えている。端面保護部２１０ｄは、第１導体部３００を覆っている。したがって、第１導体部３００は、端面保護部２１０ｄ及び接着層６４を挟んで第２導体部３０１と向かい合っている。
【0083】
本変形例において、例えば接着層６４や保護膜２１０内にインクが浸透した場合には、第１導体部３００及び第２導体部３０１間が短絡したり、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート３１と接着層６４との界面や、ノズルプレート３３と接着層６４との界面、接着層６４と保護膜２１０との界面にインクが侵入した場合には、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部３００及び第２導体部３０１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。
【0084】
（第４実施形態）
図１５は、第４実施形態に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。第４実施形態では、ノズルプレート３３に浸透したインクに基づいてインクの漏洩を検出する点で上述した実施形態と相違している。
図１５に示すヘッドチップ２２において、ノズルプレート３３は、ポリイミド等の吸湿性を有する材料により形成されている。ノズルプレート３３の上面には、第１導体部４００が形成されている。第１導体部４００は、ノズルプレート３３の上面において、例えば駆動壁４５と向かい合う部分に形成されている。すなわち、第１導体部４００は、チャネル４１，４２内やノズル孔６５内に露呈しない位置に形成されている。なお、第１導体部４００は、全ての駆動壁４５に対して設けられていてもよく、複数の駆動壁４５に対して一つずつ設けられていてもよい。また、複数の第１導体部４００は、それぞれ独立して検出機構１０２に接続されていてもよく、不図示の集合配線でまとめられた後、検出機構１０２に接続されていてもよい。
図１５は、第４実施形態に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。第４実施形態では、ノズルプレート３３に浸透したインクに基づいてインクの漏洩を検出する点で上述した実施形態と相違している。
図１５に示すヘッドチップ２２において、ノズルプレート３３は、ポリイミド等の吸湿性を有する材料により形成されている。ノズルプレート３３の上面には、第１導体部４００が形成されている。第１導体部４００は、ノズルプレート３３の上面において、例えば駆動壁４５と向かい合う部分に形成されている。すなわち、第１導体部４００は、チャネル４１，４２内やノズル孔６５内に露呈しない位置に形成されている。なお、第１導体部４００は、全ての駆動壁４５に対して設けられていてもよく、複数の駆動壁４５に対して一つずつ設けられていてもよい。また、複数の第１導体部４００は、それぞれ独立して検出機構１０２に接続されていてもよく、不図示の集合配線でまとめられた後、検出機構１０２に接続されていてもよい。
【0085】
ノズルプレート３３の下面のうち、各第１導体部４００と向かい合う位置には、第２導体部４０１がそれぞれ形成されている。各第２導体部４０１は、ノズルプレート３３の厚さ分の間隔をあけて、Ｚ方向から見て対応する第１導体部４００の少なくとも一部とそれぞれ重なり合っている。すなわち、第２導体部４０１は、第１導体部４００とともにセンサ部１０１を構成する。なお、ノズルプレート３３の下面には、第２導体部４０１を覆うように被膜を設けてもよい。これにより、インク吐出時に発生するミスト等、ノズルプレート３３の下面に付着したインク等がノズルプレート３３に吸湿されることを抑制し、ノイズの発生を軽減できる。被膜としては、フッ素系やシリコーン系、アクリル系等の樹脂材料が挙げられる。第４実施形態では、Ｚ方向を第１方向とした上で、ノズルプレート３３の上面が第１面を構成し、ノズルプレート３３の下面が第２面を構成する。
【0086】
第４実施形態においては、第１導体部４００及び第２導体部４０１がノズルプレート３３を介して向かい合っている。そのため、接着層６４に浸透したインクや接着層６４とノズルプレート３３との界面に侵入したインクが、ノズルプレート３３に浸透することで、第１導体部４００及び第２導体部４０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部４００及び第２導体部４０１間の静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。
【0087】
（第５実施形態）
図１６は、第５実施形態に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。第５実施形態では、ノズルプレート３３自体を導電部の一部として利用する点で上述した実施形態と相違している。
図１６に示すヘッドチップ２２において、ノズルプレート３３は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料により形成されている。本実施形態において、ノズルプレート３３は、第１導体部として機能する。ノズルプレート３３は、不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。
図１６は、第５実施形態に係るヘッドチップ２２について、図１３に対応する断面図である。第５実施形態では、ノズルプレート３３自体を導電部の一部として利用する点で上述した実施形態と相違している。
図１６に示すヘッドチップ２２において、ノズルプレート３３は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料により形成されている。本実施形態において、ノズルプレート３３は、第１導体部として機能する。ノズルプレート３３は、不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。
【0088】
アクチュエータプレート３１の下端面には導体部（第２導体部）５００が形成されている。導体部５００は、駆動壁４５の下端面上をＹ方向に帯状に延びている。したがって、導体部５００は、接着層６４の厚さ分の間隔をあけてノズルプレート３３と向かい合っている。なお、導体部５００は、不図示の接続配線を介してフレキシブルプリント基板５９に接続された後、検出機構１０２に接続されている。第５実施形態では、Ｚ方向を第１方向とした上で、ノズルプレート３３の上面が第１面を構成し、アクチュエータプレート３１の下端面が第２面を構成する。
【0089】
第５実施形態においては、ノズルプレート３３と導体部５００が接着層６４を介して向かい合っている。そのため、例えば接着層６４内にインクが浸透した場合には、ノズルプレート３３及び導体部５００間が短絡したり、ノズルプレート３３及び導体部５００間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート３１と接着層６４との界面や、ノズルプレート３３と接着層６４との界面にインクが侵入した場合には、ノズルプレート３３及び導体部５００間の静電容量が変化する。そして、ノズルプレート３３及び導体部５００間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。特に、ノズルプレート３３自体が導電性を有する材料により形成されることで、ノズルプレート３３の上面に別体の導体部を形成する必要がない。そのため、製造効率の向上を図ることができる。
【0090】
（変形例）
上述した第５実施形態では、ノズルプレート３３とアクチュエータプレート３１との間に接着層６４が介在する構成について説明したが、これに加え、図１７に示すように、導体部５００が端面保護部２１０ｄにより覆われていてもよい。
上述した第５実施形態では、ノズルプレート３３とアクチュエータプレート３１との間に接着層６４が介在する構成について説明したが、これに加え、図１７に示すように、導体部５００が端面保護部２１０ｄにより覆われていてもよい。
【0091】
（第６実施形態）
図１８は、第６実施形態に係るヘッドチップ２２の分解斜視図である。第６実施形態では、サイドシュートタイプのヘッドチップ６００に本開示を採用した場合について説明する。
図１８に示すように、サイドシュートタイプのヘッドチップ６００は、吐出チャネル６１１における延在方向の中央部からインクを吐出する。具体的に、ヘッドチップ６００は、アクチュエータプレート６０１と、カバープレート６０２と、ノズルプレート６０３と、を備えている。
図１８は、第６実施形態に係るヘッドチップ２２の分解斜視図である。第６実施形態では、サイドシュートタイプのヘッドチップ６００に本開示を採用した場合について説明する。
図１８に示すように、サイドシュートタイプのヘッドチップ６００は、吐出チャネル６１１における延在方向の中央部からインクを吐出する。具体的に、ヘッドチップ６００は、アクチュエータプレート６０１と、カバープレート６０２と、ノズルプレート６０３と、を備えている。
【0092】
アクチュエータプレート６０１には、チャネル列６１０が形成されている。チャネル列６１０は、吐出チャネル６１１及び非吐出チャネル６１２がＸ方向（第１方向）に交互に並んで形成されている。
【0093】
図１９は、図１８のＸＩＸ－ＸＩＸ線に対応する断面図である。
図１９に示すように、吐出チャネル６１１は、Ｘ方向から見て下方に向けて凸の円弧状に形成されている。吐出チャネル６１１は、Ｙ方向の中央部において、アクチュエータプレート６０１をＺ方向（第２方向）に貫通している。吐出チャネル６１１は、Ｙ方向の両端部において、Ｙ方向の外側に向かうに従い深さが漸次浅くなっている。
図１９に示すように、吐出チャネル６１１は、Ｘ方向から見て下方に向けて凸の円弧状に形成されている。吐出チャネル６１１は、Ｙ方向の中央部において、アクチュエータプレート６０１をＺ方向（第２方向）に貫通している。吐出チャネル６１１は、Ｙ方向の両端部において、Ｙ方向の外側に向かうに従い深さが漸次浅くなっている。
【0094】
図２０は、図１８のＸＸ－ＸＸ線に対応する断面図である。
図２０に示すように、非吐出チャネル６１２は、アクチュエータプレート６０１をＺ方向に貫通した状態で、Ｙ方向に直線状に延びている。アクチュエータプレート６０１のうち、吐出チャネル６１１及び非吐出チャネル６１２間に位置する部分は、それぞれ駆動壁６１５を構成している。したがって、チャネル６１１，６１２は、一対の駆動壁６１５によってＸ方向の両側が囲まれている。本実施形態では、チャネル列６１０が一列のヘッドチップ６００を例にして説明しているが、チャネル列６１０は、Ｙ方向に複数列設けられていてもよい。この場合、隣り合うチャネル列６１０を構成する吐出チャネル６１１同士は、チャネル列６１０の個数をｎとすると、一のチャネル列６１０における吐出チャネル６１１の配列ピッチに対して１／ｎピッチ毎にずれて配列されていることが好ましい。
図２０に示すように、非吐出チャネル６１２は、アクチュエータプレート６０１をＺ方向に貫通した状態で、Ｙ方向に直線状に延びている。アクチュエータプレート６０１のうち、吐出チャネル６１１及び非吐出チャネル６１２間に位置する部分は、それぞれ駆動壁６１５を構成している。したがって、チャネル６１１，６１２は、一対の駆動壁６１５によってＸ方向の両側が囲まれている。本実施形態では、チャネル列６１０が一列のヘッドチップ６００を例にして説明しているが、チャネル列６１０は、Ｙ方向に複数列設けられていてもよい。この場合、隣り合うチャネル列６１０を構成する吐出チャネル６１１同士は、チャネル列６１０の個数をｎとすると、一のチャネル列６１０における吐出チャネル６１１の配列ピッチに対して１／ｎピッチ毎にずれて配列されていることが好ましい。
【0095】
図２１は、図１８のＸＸＩ－ＸＸＩ矢視図である。
図１９、図２１に示すように、アクチュエータプレート６０１には、共通配線６２０及び個別配線６２１が形成されている。共通配線６２０は、共通電極６２５と、取出部６２６と、共通端子６２７と、を備えている。
共通電極６２５は、吐出チャネル６１１の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、共通電極６２５は、吐出チャネル６１１の下端開口縁からＺ方向の半分程度の深さに形成されている。
図１９、図２１に示すように、アクチュエータプレート６０１には、共通配線６２０及び個別配線６２１が形成されている。共通配線６２０は、共通電極６２５と、取出部６２６と、共通端子６２７と、を備えている。
共通電極６２５は、吐出チャネル６１１の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、共通電極６２５は、吐出チャネル６１１の下端開口縁からＺ方向の半分程度の深さに形成されている。
【0096】
取出部６２６は、アクチュエータプレート６０１の下面において、吐出チャネル６１１の下端開口部を取り囲んでいる。取出部６２６は、吐出チャネル６１１の下端開口縁において共通電極６２５に連なっている。
共通端子６２７は、アクチュエータプレート６０１のうち、吐出チャネル６１１に対して－Ｙ側に位置する部分（以下、尾部６０１ａという。）に形成されている。共通端子６２７は、尾部６０１ａの下面において、各吐出チャネル６１１に対応して設けられている。各共通端子６２７は、対応する吐出チャネル６１１に対してＹ方向に直線状に延びている。共通端子６２７における＋Ｙ側端部は、取出部６２６を介して共通電極６２５に連なっている。
共通端子６２７は、アクチュエータプレート６０１のうち、吐出チャネル６１１に対して－Ｙ側に位置する部分（以下、尾部６０１ａという。）に形成されている。共通端子６２７は、尾部６０１ａの下面において、各吐出チャネル６１１に対応して設けられている。各共通端子６２７は、対応する吐出チャネル６１１に対してＹ方向に直線状に延びている。共通端子６２７における＋Ｙ側端部は、取出部６２６を介して共通電極６２５に連なっている。
【0097】
図２０に示すように、個別配線６２１は、個別電極６２８と、個別端子６２９と、を備えている。
個別電極６２８は、各非吐出チャネル６１２の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、個別電極６２８は、非吐出チャネル６１２の下端開口縁からＺ方向の半分程度の深さに形成されている。
個別電極６２８は、各非吐出チャネル６１２の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。図示の例において、個別電極６２８は、非吐出チャネル６１２の下端開口縁からＺ方向の半分程度の深さに形成されている。
【0098】
個別端子６２９は、尾部６０１ａの下面において、共通端子６２７よりも－Ｙ側に位置する部分に形成されている。個別端子６２９は、Ｘ方向に延びる帯状とされている。個別端子６２９は、吐出チャネル６１１を間に挟んでＸ方向で向かい合う非吐出チャネル６１２の下端開口縁において、吐出チャネル６１１を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極６２８同士を接続している。尾部６０１ａにおいて、共通端子６２７と個別端子６２９との間に位置する部分には、区画溝６０１ｂが形成されている。区画溝６０１ｂは、尾部６０１ａにおいて、Ｘ方向に延びている。区画溝６０１ｂは、共通端子６２７と個別端子６２９とを分離している。
【0099】
尾部６０１ａの下面には、フレキシブルプリント基板６３０が圧着されている。フレキシブルプリント基板６３０は、尾部６０１ａの上面において、共通端子６２７と個別端子６２９に接続されている。
【0100】
カバープレート６０２は、各チャネル６１１，６１２の上端開口部を覆うように、アクチュエータプレート６０１の上面に重ね合わされている。カバープレート６０２は、アクチュエータプレート６０１の上面に接着層６３１を介して接合されている。
【0101】
カバープレート６０２において、チャネル列６１０の－Ｙ側端部と平面視で重なり合う位置には、入口共通インク室６４０が形成されている。入口共通インク室６４０は、例えばチャネル列６１０を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート６０２の上面で開口している。
入口共通インク室６４０において、吐出チャネル６１１と平面視で重なり合う位置には、入口スリット６４１が形成されている。入口スリット６４１は、各吐出チャネル６１１の－Ｙ側端部と、入口共通インク室６４０内と、の間を各別に連通している。
入口共通インク室６４０において、吐出チャネル６１１と平面視で重なり合う位置には、入口スリット６４１が形成されている。入口スリット６４１は、各吐出チャネル６１１の－Ｙ側端部と、入口共通インク室６４０内と、の間を各別に連通している。
【0102】
カバープレート６０２において、チャネル列６１０の＋Ｙ側端部と平面視で重なり合う位置には、出口共通インク室６４５が形成されている。出口共通インク室６４５は、例えばチャネル列６１０を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート６０２の上面で開口している。
出口共通インク室６４５において、吐出チャネル６１１と平面視で重なり合う位置には、出口スリット６４６が形成されている。出口スリット６４６は、各吐出チャネル６１１の＋Ｙ側端部と、出口共通インク室６４５内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット６４１及び出口スリット６４６は、それぞれ各吐出チャネル６１１に連通する一方、非吐出チャネル６１２には連通していない。
出口共通インク室６４５において、吐出チャネル６１１と平面視で重なり合う位置には、出口スリット６４６が形成されている。出口スリット６４６は、各吐出チャネル６１１の＋Ｙ側端部と、出口共通インク室６４５内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット６４１及び出口スリット６４６は、それぞれ各吐出チャネル６１１に連通する一方、非吐出チャネル６１２には連通していない。
【0103】
図１９に示すように、ノズルプレート６０３は、アクチュエータプレート６０１の下面に接着層６５０を介して接合されている。ノズルプレート６０３には、ノズルプレート６０３をＺ方向に貫通する複数のノズル孔６５１が形成されている。各ノズル孔６５１は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。ノズル孔６５１は、吐出チャネル６１１のうちＹ方向の中央部に各別に連通している。
【0104】
第６実施形態においても、共通電極６２５と個別電極６２８とを一対の導体部によってセンサ部１０１（図６参照）を構成することができる。すなわち、例えばアクチュエータプレート６０１及びカバープレート６０２間やアクチュエータプレート６０１及びノズルプレート６０３間等の接合領域を通じて吐出チャネル６１１内から非吐出チャネル６１２内へインクが漏れ出たり、駆動壁６１５内をインクが浸透したりすることで、共通電極６２５と個別電極６２８との間で短絡したり、共通電極６２５と個別電極６２８との間の静電容量が変化したりする。そして、共通電極６２５と個別電極６２８との間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。
【0105】
（第７実施形態）
第６実施形態のようなサイドシュートタイプのヘッドチップ６００においても、第２実施形態～第５実施形態や各変形例と同様の方法でインクの漏洩を検出することができる。第７実施形態では第２実施形態をヘッドチップ６００に採用した場合について説明する。
第６実施形態のようなサイドシュートタイプのヘッドチップ６００においても、第２実施形態～第５実施形態や各変形例と同様の方法でインクの漏洩を検出することができる。第７実施形態では第２実施形態をヘッドチップ６００に採用した場合について説明する。
【0106】
図２２は、図２１のＸＸＩＩ－ＸＸＩＩ線に対応する断面図である。
図２２に示すヘッドチップ６００において、アクチュエータプレート６０１の上面には第１導体部７００が形成されている。第１導体部７００は、駆動壁６１５の上面上をＹ方向に帯状に延びている。第１導体部７００は、Ｙ方向における少なくとも一部において、吐出チャネル６１１と重なっていればよい。第１導体部７００は、Ｘ方向において、各チャネル６１１，６１２の上端開口縁から離間している。したがって、第１導体部７００は、駆動壁６１５の上面において、共通電極６２５及び個別電極６２８とそれぞれ分離されている。なお、第１導体部７００は、保護膜等によって覆われていてもよい。
図２２に示すヘッドチップ６００において、アクチュエータプレート６０１の上面には第１導体部７００が形成されている。第１導体部７００は、駆動壁６１５の上面上をＹ方向に帯状に延びている。第１導体部７００は、Ｙ方向における少なくとも一部において、吐出チャネル６１１と重なっていればよい。第１導体部７００は、Ｘ方向において、各チャネル６１１，６１２の上端開口縁から離間している。したがって、第１導体部７００は、駆動壁６１５の上面において、共通電極６２５及び個別電極６２８とそれぞれ分離されている。なお、第１導体部７００は、保護膜等によって覆われていてもよい。
【0107】
カバープレート６０２の下面において、第１導体部７００と向かい合う位置には、第２導体部７０１が形成されている。第２導体部７０１は、第１導体部７００に対して接着層６３１の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。すなわち、第２導体部７０１は、第１導体部７００とともにセンサ部１０１を構成する。なお、第７実施形態では、Ｚ方向を第１方向とした上で、アクチュエータプレート６０１の上面が第１面を構成し、カバープレート６０２の下面が第２面を構成する。
【0108】
第７実施形態においては、第１導体部７００及び第２導体部７０１が接着層６３１を介して向かい合っている。そのため、例えば接着層６３１内にインクが浸透した場合には、第１導体部７００及び第２導体部７０１間が短絡したり、第１導体部７００及び第２導体部７０１間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート６０１と接着層６３１との界面や、カバープレート６０２と接着層６３１との界面にインクが侵入した場合には、第１導体部７００及び第２導体部７０１間の静電容量が変化する。そして、第１導体部７００及び第２導体部７０１間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。
【0109】
（第８実施形態）
第８実施形態では第３実施形態をヘッドチップ６００に採用した場合について説明する。図２３は、第８実施形態に係るヘッドチップ６００について、図２２に対応する断面図である。
図２３に示すヘッドチップ６００において、ノズルプレート６０３の上面には、導体部（第１導体部）８００が形成されている。導体部８００は、接着層６５０を挟んで取出部（第２導体部）６２６と向かい合う位置に配置されている。すなわち、導体部８００は、取出部６２６に対して接着層６５０の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。導体部８００は、取出部６２６とともにセンサ部１０１を構成する。
第８実施形態では第３実施形態をヘッドチップ６００に採用した場合について説明する。図２３は、第８実施形態に係るヘッドチップ６００について、図２２に対応する断面図である。
図２３に示すヘッドチップ６００において、ノズルプレート６０３の上面には、導体部（第１導体部）８００が形成されている。導体部８００は、接着層６５０を挟んで取出部（第２導体部）６２６と向かい合う位置に配置されている。すなわち、導体部８００は、取出部６２６に対して接着層６５０の厚さ分の間隔をあけて向かい合っている。導体部８００は、取出部６２６とともにセンサ部１０１を構成する。
【0110】
第８実施形態においては、取出部６２６及び導体部８００が接着層６５０を介して向かい合っている。そのため、例えば接着層６５０内にインクが浸透した場合には、取出部６２６及び導体部８００間が短絡したり、取出部６２６及び導体部８００間の静電容量が変化したりする。また、アクチュエータプレート６０１と接着層６５０との界面や、ノズルプレート６０３と接着層６５０との界面にインクが侵入した場合には、取出部６２６及び導体部８００間の静電容量が変化する。そして、取出部６２６及び導体部８００間の短絡や静電容量の変化を検出機構１０２によって検出することで、インクの漏洩を検出することができる。なお、第８実施形態では、取出部６２６を一方の導体部として利用した場合について説明したが、この構成に限られない。アクチュエータプレート６０２の下面に、一方の導体部を別途形成してもよい。
【0111】
（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0112】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、電圧の印加によって吐出チャネルの容積が拡大する方向にアクチュエータプレートを変形させた後、アクチュエータプレートを復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって吐出チャネルの容積が縮小する方向にアクチュエータプレートを変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレートは、吐出チャネル内に向けて膨出するように変形する。これにより、吐出チャネル内の容積が減少することで、吐出チャネル内の圧力が増加し、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレートが復元する。その結果、吐出チャネル内の容積が元に戻る。
上述した実施形態では、電圧の印加によって吐出チャネルの容積が拡大する方向にアクチュエータプレートを変形させた後、アクチュエータプレートを復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって吐出チャネルの容積が縮小する方向にアクチュエータプレートを変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレートは、吐出チャネル内に向けて膨出するように変形する。これにより、吐出チャネル内の容積が減少することで、吐出チャネル内の圧力が増加し、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレートが復元する。その結果、吐出チャネル内の容積が元に戻る。
【0113】
上述した実施形態では、インク漏洩の検出箇所を実施形態毎に分けて説明したが、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。例えば、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間や、アクチュエータプレートとカバープレートとの間にそれぞれセンサ部として導体部を設けてもよい。
上述した実施形態では、導体部間の短絡や静電容量の変化に基づきインク漏洩を判定する構成について説明したが、例えば導体部間の静電容量が０（すなわち、オープン状態）になったことに基づいてインク漏洩を判定してもよい。オープン状態は、例えば導体部同士が導体部の根元部分で短絡し、導体部が断線することで、導体部間に電荷を保持できない状態である。
上述した実施形態では、導体部間の短絡や静電容量の変化に基づきインク漏洩を判定する構成について説明したが、例えば導体部間の静電容量が０（すなわち、オープン状態）になったことに基づいてインク漏洩を判定してもよい。オープン状態は、例えば導体部同士が導体部の根元部分で短絡し、導体部が断線することで、導体部間に電荷を保持できない状態である。
【0114】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0115】
１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３１：アクチュエータプレート（第１部材）
３２：カバープレート（第２部材）
３３：ノズルプレート（第２部材、噴射孔プレート）
４０：チャネル列
４１：吐出チャネル（噴射チャネル）
４２：非吐出チャネル（非噴射チャネル）
４５：駆動壁
５０：接着層
５４：共通電極（駆動電極）
５７：個別電極（駆動電極）
６４：接着層
６５：ノズル孔（噴射孔）
１０２：検出機構
１３０：ダミーチャネル
１３１：導体部
２００：第１導体部
２０１：第２導体部
３００：第１導体部
３０１：第２導体部
４００：第１導体部
４０１：第２導体部
５００：導体部（第１導体部）
６０１：アクチュエータプレート（第１部材）
６０２：カバープレート（第２部材）
６０３：ノズルプレート（噴射孔プレート、第２部材）
６１０：チャネル列
６１１：吐出チャネル
６１２：非吐出チャネル
６１５：駆動壁
６２６：取出部（第２導体部）
６３１：接着層
６５０：接着層
６５１：ノズル孔（噴射孔）
７００：第１導体部
７０１：第２導体部
８００：導体部（第１導体部）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３１：アクチュエータプレート（第１部材）
３２：カバープレート（第２部材）
３３：ノズルプレート（第２部材、噴射孔プレート）
４０：チャネル列
４１：吐出チャネル（噴射チャネル）
４２：非吐出チャネル（非噴射チャネル）
４５：駆動壁
５０：接着層
５４：共通電極（駆動電極）
５７：個別電極（駆動電極）
６４：接着層
６５：ノズル孔（噴射孔）
１０２：検出機構
１３０：ダミーチャネル
１３１：導体部
２００：第１導体部
２０１：第２導体部
３００：第１導体部
３０１：第２導体部
４００：第１導体部
４０１：第２導体部
５００：導体部（第１導体部）
６０１：アクチュエータプレート（第１部材）
６０２：カバープレート（第２部材）
６０３：ノズルプレート（噴射孔プレート、第２部材）
６１０：チャネル列
６１１：吐出チャネル
６１２：非吐出チャネル
６１５：駆動壁
６２６：取出部（第２導体部）
６３１：接着層
６５０：接着層
６５１：ノズル孔（噴射孔）
７００：第１導体部
７０１：第２導体部
８００：導体部（第１導体部）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】