特開 2024-66472 位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066472

(43)【公開日】2024-05-15

(54)【発明の名称】位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B05B 15/68 20180101AFI20240508BHJP

   B05B 13/04 20060101ALI20240508BHJP

   C03C 17/32 20060101ALI20240508BHJP

【ＦＩ】

B05B15/68

B05B13/04

C03C17/32 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023179841

(22)【出願日】2023-10-18

(31)【優先権主張番号】P 2022175704

(32)【優先日】2022-11-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002217

【氏名又は名称】弁理士法人矢野内外国特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】横川 充司

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 伸二

【テーマコード（参考）】

4D073

4F035

4G059

【Ｆターム（参考）】

4D073AA01

4D073BB03

4D073CB03

4D073CB20

4F035AA03

4F035CA02

4F035CA05

4F035CB03

4F035CB13

4F035CD06

4F035CD18

4G059AA01

4G059AB13

4G059AB19

4G059AC18

4G059AC22

4G059FA05

4G059FA07

(57)【要約】

【課題】被塗布物に塗布液を噴出するノズルの高さ調整工程および水平位置調節工程の時間を短縮して、取付時間を短縮することができる位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】スプレーコーティング用のスプレーノズル１１の位置決め治具３０は、載置台３３にスプレーコーティング用のスプレーノズル１１と嵌め合う溝３３ｃが形成されている。また、位置決め治具３０は、土台３１と、土台３１から立設し載置台３３が接続するブラケット３２Ａ・３２Ｂを有し、ブラケット３２Ａ・３２Ｂには、載置台３３の高さを調整する高さ調整機構である高さ調整ネジ４４および高さ調整ネジ固定台３２ｆを有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

載置台にスプレーコーティング用のスプレーノズルと嵌め合う凹部が形成されている、
ことを特徴とするスプレーコーティング用のスプレーノズルの位置決め治具。

【請求項2】

前記凹部は樹脂により構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め治具。

【請求項3】

土台と、
前記土台から立設し前記載置台が接続するブラケットを有し、
前記ブラケットには、前記載置台の高さを調整する高さ調整機構を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め治具。

【請求項4】

複数の載置台を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め治具。

【請求項5】

前記土台と前記ブラケットの間に、
ノズル間隔調整機構を有する、
ことを特徴とする請求項３に記載の位置決め治具。

【請求項6】

スプレーコーティングされたガラス基板の製造方法であって、
スプレーコーティング用のスプレーノズルを準備する準備工程と、
準備工程後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程を有し、
前記準備工程では、前記請求項１から５のいずれか一項に記載の位置決め治具を使用する、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。

【請求項7】

前記準備工程では、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの高さ方向の位置決めをした
後に、前記複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの間隔を位置決めする、
ことを特徴とする請求項６に記載のガラス基板の製造方法。

【請求項8】

前記準備工程では、ダミー基板の上に、位置決め治具を載置する、
ことを特徴とする請求項６に記載のガラス基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ガラス基板をカバー部材として用いる場合、ガラス基板には、アンチグレア膜が設けられる場合がある。アンチグレア膜の例としては、シリカ前駆体から形成されるシリカ膜が知られている（特許文献１参照）。

【0003】

アンチグレア膜をガラス基板上に付着させる工程としては、アンチグレア膜形成用のコーティング剤をガラス基板上に塗布した後、乾燥（加熱）する。このコーティング剤を塗布する方法は、スプレー塗布法であることが好ましく、スプレー塗布には、周知の二流体ノズルや一流体ノズル等のノズルを用いることができる。
例えば、二流体ノズルを用いる場合、スプレー圧力が高くなるほど液滴は小さくなり、また、液量が多くなるほど液滴は大きくなるが、液滴の粒径を調整するために、ノズルとガラス基板上の塗布表面との上下方向の距離を調整する必要がある。従来において、成膜工程を行う場合には、被塗布物であるガラス基板のサンプルを成膜室（チャンバ）に配置して、ノズルを取り付けて、ノズル高さを調整していた。また、ノズルの水平方向の調整も行っていた。
また、被塗布物であるガラス基板の種類によってはノズルの変更の必要があるが、ノズルを変更する際に高さ方向の確認工程では、ノズルの仮取付を行い、目視により高さ方向のずれの確認を行い、再度高さ調整を行っていた。そして、高さが調整された状態において、ノズルの本取付を行い固定していた。また、水平方向の位置確認においても、同様の工程が必要となっていた。したがって、従来の高さ調節工程および水平位置調節工程においては、作業者の手間も多く準備工程に時間がかかっていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５－０３８２８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、斯かる現状の課題に鑑みてなされたものであり、被塗布物、特にガラス基板などの板状の被塗布物にアンチグレア（Ａｎｔｉｇｌａｒｅ）膜や耐指紋性（Ａｎｔｉｆｉｎｇｅｒｐｒｉｎｔ）膜を形成するための塗布液を噴出するノズルの高さおよび水平位置を調整し、取付する時間を短縮することができる位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0007】

本発明の態様１に係るスプレーコーティング用のスプレーノズルの位置決め治具では、載置台にスプレーコーティング用のスプレーノズルと嵌め合う凹部が形成されていることを特徴とする。

【0008】

このような構成によれば、スプレーコーティング用のスプレーノズルを凹部に嵌め合わせることにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0009】

また、態様２の位置決め治具では、態様１において、前記凹部は樹脂により構成されることが好ましい。

【0010】

このような構成によれば、スプレーノズルの先端を凹部に嵌め合わせた際に、スプレーノズルの先端に傷がつくことを防止することができる。

【0011】

また、態様３の位置決め治具では、態様１または態様２において、土台と、前記土台から立設し前記載置台が接続するブラケットを有し、前記ブラケットには、載置台の高さを調整する高さ調整機構を有することが好ましい。

【0012】

このような構成によれば、土台を基準として載置台の高さ位置を調節することが容易となり、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0013】

また、態様４の位置決め治具では、態様１から態様３のいずれか一つの態様において、複数の載置台を有することが好ましい。

【0014】

このような構成によれば、複数のスプレーノズルの高さ方向の位置決めを同時に行うことができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0015】

また、態様５の位置決め治具では、態様１から態様４のいずれか一つの態様において、前記土台と前記ブラケットの間に、ノズル間隔調整機構を有することが好ましい。

【0016】

このような構成によれば、複数のスプレーノズルの位置決めを行う場合において、スプレーノズル同士の間隔を容易に調整することができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0017】

また、本発明の態様６のスプレーコーティングされたガラス基板の製造方法において、スプレーコーティング用のスプレーノズルを準備する準備工程と、準備工程後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程を有し、前記準備工程では、態様１から５のいずれか一項に記載の位置決め治具を使用することを特徴とする。

【0018】

このような構成によれば、準備工程において、位置決め治具を使用することにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0019】

また、態様７のガラス基板の製造方法では、態様６において、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの高さ方向の位置決めをした後に、前記複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの間隔を位置決めすることが好ましい。

【0020】

このような構成によれば、高さ方向の位置調整を終えた後に、載置台の間隔を位置決めすることで水平方向の位置調整を行うことができる。

【0021】

また、態様８のガラス基板の製造方法では、態様６または態様７において、前記準備工程では、ダミー基板の上に、位置決め治具を載置することが好ましい。

【0022】

このような構成によれば、ガラス基板を用意することなく準備工程を行うことができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

【0024】

本発明に係る位置決め治具によれば、スプレーコーティング用のスプレーノズルを凹部に嵌め合わせることにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0025】

また、本発明に係るガラス基板の製造方法によれば、準備工程において、位置決め治具を使用することにより、スプレーノズルの位置決めを容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の一実施形態に係るガラス基板の製造装置の全体構成を示す模式的正面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係るガラス基板の製造装置を示す平面図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る制御部を示すブロック図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る位置決め治具を示す正面図である。

【図5】本発明の一実施形態に係る位置決め治具を示す平面図である。

【図6】本発明の一実施形態に係る準備工程を示す正面図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る塗布工程を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

次に、発明の実施の形態を説明する。実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。

【0028】

図１は、本実施形態に係るガラス基板の製造装置１を示す側面図である。また、図２は、ガラス基板の製造装置１を示す平面図である。

【0029】

図１および図２に示すガラス基板の製造装置１は、上流から流れるガラス基板Ｇの上にスプレーコート法によりアンチグレア膜や耐指紋性膜を形成した、膜付きガラス基板を製造するための装置である。ガラス基板Ｇは、板状の部材であり、表面にスプレーコーティングが施される部材である。なお、スプレーコート法に用いられる塗布液として、シリコンアルコキシド等のアンチグレアコーティング剤や耐指紋性コーティング剤や撥水コーティング剤等が用いられる。また、被塗布物としてガラス基板Ｇが用いられているがこれに限定するものではなく、例えば、セラミック板、樹脂板等を用いてもよい。

【0030】

製造装置１は、スプレーノズル１１を備える。スプレーノズル１１は、スプレーコーティング用のスプレーノズルであり、塗布液を広範囲に噴霧するノズルである。

【0031】

スプレーノズル１１には、図１に示される、塗布液供給機構１２が接続されている。前記塗布液供給機構１２には、膜を形成するための塗布液が溜められている。塗布液は、塗布液供給機構１２からスプレーノズル１１に塗布液が供給される。塗布液は、スプレーノズル１１からガラス基板Ｇに向けて吐出される。スプレーノズル１１は、塗布液を霧化し、霧化した塗布液をガラス基板Ｇの上に供給できることが好ましい。

【0032】

製造装置１は、スプレーノズル１１に対してガラス基板ＧをＸ軸方向に沿って相対的に移動させる移動機構１３を備えている。例えば、移動機構１３は、図１に示すように、ガラス基板ＧをＸ軸方向に沿って移動できるように、複数の搬送ロールにより構成されている。移動機構１３は、ガラス基板Ｇをスプレーノズル１１に対してＸ軸方向のｘ１側からｘ２側に向けて一定速度で相対的移動させる。

【0033】

スプレーノズル１１は、図２に示される走査機構１４に接続されている。この走査機構１４により、Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向に沿ってガラス基板Ｇを横切るようにスプレーノズル１１が往復走査する。具体的には、走査機構１４により、ガラス基板Ｇのｙ１側端部よりもｙ１側の位置と、ｙ２側端部よりもｙ２側の位置との間をスプレーノズル１１が往復走査することによりガラス基板Ｇ全面に霧化した塗布液を塗布することができる。

【0034】

すなわち、走査機構１４は、ガラス基板Ｇよりもｙ１側までスプレーノズル１１を移動させた後に、移動方向を反転させて、ガラス基板Ｇよりもｙ２側までスプレーノズル１１を移動させて、当該往復動を繰り返す装置である。

【0035】

図３に示すように、塗布液供給機構１２、移動機構１３、および走査機構１４は制御部１５に接続されており、制御部１５によって制御される。具体的には、制御部１５は、塗布液供給機構１２からスプレーノズル１１に供給される塗布液の流量を調整する。制御部１５による塗布液の流量調整により、ガラス基板Ｇに塗布される塗布液の量が制御される。制御部１５は、移動機構１３によるガラス基板Ｇの移動速度を制御する。制御部１５は、走査機構１４によるスプレーノズル１１の走査方向および走査速度を制御する。

【0036】

次に、スプレーコーティング用のスプレーノズル１１を走査機構１４に取付ける準備工程Ｓ０１について図４から図６を用いて説明する。
一般的に、スプレーコート法では、移動機構１３上に配置されたガラス基板Ｇの表面に対するスプレーノズル１１の噴射位置は、塗布液の種類、およびスプレーノズル１１の種類によって一義的に定められる。ガラス基板Ｇの表面に対するスプレーノズル１１の噴射位置が、所定の位置に無い場合、塗布ムラや未塗布面の生成などの問題が発生する。

【0037】

そこで、従来の準備工程Ｓ０１においては、まず、移動機構１３の上に実際のガラス基板Ｇを配置して、スプレーノズル１１との距離を測定していた。スプレーノズル１１の走査機構１４への取付は、作業者が目視によっておおよその位置を確認して仮取付を行い、スプレーノズル１１のＹ軸方向の位置決めを行っていた。そして、スプレーノズル１１の高さ方向の調整については、実際のガラス基板Ｇに対する高さ位置を確認し微差について調整していた。

【0038】

これに対し、本発明においては、準備工程Ｓ０１において、位置決め治具３０を使用するものである。位置決め治具３０を使用して、スプレーノズル１１の位置を固定した状態でスプレーノズル１１を走査機構１４へ取り付けることができるので、取付時間を短縮することができる。

【0039】

次に、位置決め治具３０の詳細について図４および図５を用いて説明する。
位置決め治具３０は、土台３１と、土台３１から立設するブラケット３２Ａ・３２Ｂと、ブラケット３２Ａ・３２Ｂにそれぞれ接続される複数の載置台３３・３３と、を有する。また、本実施形態においては、土台３１に、二つのブラケット３２Ａ・３２Ｂを設けているが、ブラケットの数は一つでもよく、三つ以上でもよい。

【0040】

土台３１は、直方体状の部材であり、底面は、ダミー基板１００の表面と平行になるように形成されている。土台３１の上面には、ブラケット３２Ａ・３２Ｂを嵌めて位置合わせするための凹部３１ａ・３１ｂが設けられている。本実施形態においては、第一のブラケット３２Ａの位置合わせを行うための第一の凹部３１ａと、第二のブラケット３２Ｂの位置合わせを行うための第二の凹部３１ｂと、が設けられている。第一の凹部３１ａのＸ軸方向の幅は、第一のブラケット３２ＡのＸ軸方向の長さとほぼ同一である。また、第一の凹部３１ａのＹ軸方向の長さは、土台３１のＹ軸方向の長さとほぼ同一である。第二の凹部３１ｂのＸ軸方向の幅は、第二のブラケット３２ＢのＸ軸方向の長さよりも大きい。また、第二の凹部３１ｂのＹ軸方向の幅は、土台３１のＹ軸方向の長さよりも短い。

【0041】

また、土台３１のＸ軸方向の端部であって、第二の凹部３１ｂ側の端部には水平調整ネジ固定台３１ｃが設けられている。水平調整ネジ固定台３１ｃは、土台３１の上面から高さ方向に突出しており、水平調整ネジ固定台３１ｃには、水平調整ネジ４１を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。

【0042】

ブラケット３２Ａ・３２Ｂは土台３１の底面に対して直交する高さ方向に立設する部材である。第一のブラケット３２Ａは、直方体状の部材である。第二のブラケット３２Ｂは直方体状の立設部材３２Ｂａと、直方体状の立設部材３２ＢａからＸ軸方向に突出した支持台部３２Ｂｂとを備えている。支持台部３２Ｂｂは、Ｘ軸調節用の固定部材４２を挿入する固定部材用長孔３２Ｂｃが設けられている。また、第二のブラケットの立設部材３２Ｂａの支持台部３２Ｂｂと反対側の端面には、水平調整ネジ４１を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。

【0043】

第一のブラケット３２Ａおよび第二のブラケット３２Ｂには、複数の長孔が設けられている。ブラケット３２Ａ・３２ＢのＹ軸方向中央部の長孔は、載置台３３の根本部３３ａを挿入するための第一の長孔３２ｄであり、Ｙ軸方向端部側の長孔は、固定部材４３を挿入する固定部材用長孔である。

【0044】

第一のブラケット３２Ａおよび第二のブラケット３２Ｂの上端には、高さ調整ネジ４４を固定するための高さ調整ネジ固定台３２ｆが設けられている。高さ調整ネジ固定台３２ｆは、ブラケット３２Ａ・３２Ｂの上端からＸ軸方向に突出しており、高さ調整ネジ固定台３２ｆには、高さ調整ネジ４４を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。

【0045】

載置台３３は、樹脂により構成され、Ｘ軸方向へ突出するノズル把持部３３ｂを備えている。ノズル把持部３３ｂには、スプレーノズル１１と嵌め合う凹部が形成されている。本実施形態においては、凹部は溝３３ｃによって形成されている。溝３３ｃはＹ軸方向と平行に設けられている。なお、載置台３３は、溝３３ｃが形成されている部分が樹脂により構成されていればよく、それ以外の部分は金属により構成されてもよい。なお、凹部は、溝３３ｃで構成されているが、これに限定するものではない。例えば、凹部は、長孔で形成されていてもよい。長孔は、スプレーノズル１１と嵌め合わせた際に、スプレーノズル１１がＹ軸方向と平行に移動可能な形状を有していることが好ましい。

【0046】

また、上述したように、載置台３３の根本部３３ａは第一の長孔３２ｄに挿通されている。根本部３３ａには、高さ調整ネジ４４を挿入するための図示せぬ挿入調整孔が設けられている。高さ調整ネジ４４を回転させることにより、高さ調整ネジ固定台３２ｆに対して根本部３３ａが上下方向に移動可能に構成されている。

【0047】

次に、準備工程Ｓ０１における位置決め治具３０を用いたスプレーノズル１１の取り付け手順について図６を用いて説明する。
まず、ダミー基板１００を移動機構１３の上に配置する。ダミー基板１００は厚さがガラス基板Ｇと同じ厚さとなるように構成され、密度がガラス基板Ｇよりも低く靭性の高い部材によって形成されている。すなわち、実際のガラス基板Ｇよりも扱いやすく移動機構１３に配置しやすい素材で形成されている。なお、ダミー基板１００は、繰り返し使用による変形を少なくするために、密度がガラス基板Ｇよりも高く靭性の低い部材によって形成されていてもよいし、ガラス基板Ｇを用いてもよい。また、取り扱いを容易にする観点では、ダミー基板１００の面積は実際のガラス基板Ｇよりも小さくてもよい。

【0048】

ダミー基板１００を配置する一方で、位置決め治具３０の載置台３３の高さを所定の位置に合わせて固定する。すなわち、高さ調整ネジ４４を回転することにより、載置台３３の根本部３３ａと、高さ調整ネジ固定台３２ｆとの距離を調整する。第一のブラケット３２Ａに固定された載置台３３および第二のブラケット３２Ｂに固定された載置台３３の高さは個別に調整することができる。これにより、スプレーノズル１１の種類や形状に合わせて、スプレーノズル１１の位置を所望の高さに合わせることが可能となる。

【0049】

また、第二のブラケット３２Ｂの水平調整ネジ４１を回転させることにより、第一のブラケット３２Ａと第二のブラケット３２Ｂとの距離を調節することができる。このように構成することより、複数のスプレーノズル１１のＸ軸方向の配置関係を調整することができる。

【0050】

次に、位置関係を固定した位置決め治具３０を用いて、スプレーノズル１１を支持する。スプレーノズル１１は、位置決め治具３０の載置台３３の溝３３ｃに載置される。載置台３３の溝３３ｃはＹ軸方向と平行に構成されており、スプレーノズル１１の端を嵌め合わせることにより、スプレーノズル１１が、自立するように載置される。

【0051】

次に、スプレーノズル１１が載置台３３に載置された状態で、位置決め治具３０をダミー基板１００上に配置する。位置決め治具３０をダミー基板１００上に載置することにより、ガラス基板Ｇに対するスプレーノズル１１の位置が位置決めされる。そして、スプレーノズル１１を走査機構１４に取り付ける。走査機構１４へのスプレーノズル１１の取り付けにおいて、スプレーノズル１１は、位置決め治具３０による高さ調整をした後に、走査機構１４に設置されているＴ型の固定治具３５のスプレーノズル固定用の長孔３５ａに対して、側方から固定部材３６で位置決めをすることで取り付ける。このようにすると、位置決め治具３０において、スプレーノズル１１が自立しているため、走査機構１４に対して固定する際の取付作業が容易となる。

【0052】

そして、準備工程Ｓ０１を終えると、図７に示すように、位置決め治具３０を外し、ガラス基板Ｇの上にスプレーコート法により膜を製造する塗布工程Ｓ０２を行う。

【0053】

このように構成することにより、作業者は、準備工程Ｓ０１において、スプレーノズル１１の位置決めを容易に行うことができる。また、スプレーノズル１１の位置決めを正確に行うことができる。さらに、位置決め治具３０の高さ調整ネジ４４および水平調整ネジ４１を回転することで、高さおよび水平方向の位置調整が容易となるため、スプレーノズル１１の形状に合わせて位置調整条件を設定することが容易となる。

【0054】

以上のように、本発明のスプレーコーティング用のスプレーノズル１１の位置決め治具３０は、載置台３３にスプレーコーティング用のスプレーノズル１１と嵌め合う溝３３ｃが形成されていることを特徴する。

【0055】

このように構成することにより、スプレーコーティング用のスプレーノズル１１を溝３３ｃ（凹部）に嵌め合わせることにより、スプレーノズル１１の高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズル１１を交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0056】

また、本発明の位置決め治具３０は、土台３１と、土台３１から立設し載置台３３が接続するブラケット３２Ａ・３２Ｂを有し、ブラケット３２Ａ・３２Ｂには、載置台３３の高さを調整する高さ調整機構である高さ調整ネジ４４および高さ調整ネジ固定台３２ｆを有するものである。
このように構成することにより、土台３１を基準として載置台３３の高さ位置を調節することが容易となり、スプレーノズル１１を交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0057】

また、本発明の位置決め治具３０においては、載置台３３は樹脂である。
このように構成することにより、スプレーノズル１１の先端を溝３３ｃに嵌め合わせた際に、スプレーノズル１１の先端に傷がつくことを防止することができる。なお、樹脂としては、例えば、モノマーキャストナイロン・ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等のエンプラを用いることができる。

【0058】

また、本発明の位置決め治具３０においては、複数の載置台３３を有する。
このように構成することにより、複数のスプレーノズル１１の高さ方向の位置決めを同時に行うことができるので、スプレーノズル１１を交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0059】

また、本発明の位置決め治具３０においては、土台３１のブラケット３２Ｂ側に、ノズル間隔調整機構である水平調整ネジ４１および水平調整ネジ固定台３１ｃを有する。
このように構成することにより、複数のスプレーノズル１１の位置決めを行う場合において、スプレーノズル１１同士の間隔を容易に調整することができるので、スプレーノズル１１を交換するの際の取付時間を短縮することができる。

【0060】

また、本発明におけるスプレーコーティングされたガラス基板Ｇの製造方法において、スプレーコーティング用のスプレーノズル１１を準備する準備工程Ｓ０１と、準備工程Ｓ０１後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程Ｓ０２を有し、準備工程Ｓ０１では、位置決め治具３０を使用する。
このように構成することにより、準備工程Ｓ０１において、位置決め治具３０を使用することにより、スプレーノズル１１の高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズル１１を交換する際の取付時間を短縮することができる。

【0061】

また、本発明のガラス基板Ｇの製造方法において、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル１１の高さ方向の位置決めをした後に、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル１１の間隔を位置決めすることが好ましい。
このように構成することにより、高さ方向の位置調整を終えた後に、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル１１間隔を位置決めすることで水平方向の位置調整を行うことができる。

【0062】

また、本発明のガラス基板Ｇの製造方法において、準備工程Ｓ０１では、ダミー基板１００の上に、位置決め治具３０を載置することが好ましい。
このように構成することにより、ガラス基板Ｇを用意することなく準備工程Ｓ０１を行うことができるので、スプレーノズル１１を交換する際の取付時間を短縮することができる。

【符号の説明】

【0063】

１ 製造装置
１１ スプレーノズル
１２ 塗布液供給機構
１３ 移動機構
１４ 走査機構
３０ 位置決め治具
３１ 土台
３２Ａ・３２Ｂ ブラケット
３３ 載置台
３３ｃ 溝（凹部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】