特開 2024-66558 ピックアップ装置、ピックアップ装置の制御方法およびピックアップ装置の制御プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066558

(43)【公開日】2024-05-16

(54)【発明の名称】ピックアップ装置、ピックアップ装置の制御方法およびピックアップ装置の制御プログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240509BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022175961

(22)【出願日】2022-11-02

(71)【出願人】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109313

【弁理士】

【氏名又は名称】机 昌彦

(74)【代理人】

【識別番号】100149618

【弁理士】

【氏名又は名称】北嶋 啓至

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 右一

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA04

5F131BA52

5F131BA53

5F131CA32

5F131DA03

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB22

5F131DB62

5F131EA07

5F131EA14

5F131EB01

5F131EC35

5F131EC74

5F131KA40

(57)【要約】

【課題】チップ部品がダイシングテープから剥離される際に、より良い歩留りでチップ部品をピックアップされるピックアップ装置等を提供する。
【解決手段】ピックアップ装置は、ダイシングテープに貼付されたチップ部品をピックアップする装置であって、ダイシングテープの下面を介してチップ部品を突き上げる突き上げピンと、突き上げピン駆動手段と、突き上げピン駆動手段を制御する駆動制御手段と、を有する。駆動制御手段は、突き上げピンの位置と駆動トルクとをモニタし第１のトルクをもって、突き上げピンの先端がチップ部品上面方向の第１の位置まで移動するように、突き上げ駆動手段を制御し、その間の突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、チップ部品のダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行い、第１の判定で剥離が無いと判定した際には、トルクを第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、
前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、
前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、
を有し、
前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタし、
前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクを第１のトルクに制御し、
前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行い、
前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、
前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する、
ことを特徴とするピックアップ装置。

【請求項2】

前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンが前記第１の位置で一時停止するように前記第２のトルクを設定する、
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。

【請求項3】

前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンが前記第１の位置で減速するように前記第２のトルクを設定し、
前記第２のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記第１の位置から前記第１の位置より上方の第２の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御し、
前記突き上げピンの先端が前記第１の位置から前記第２の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの前記剥離の有無を判定する第２の判定を行う、
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。

【請求項4】

前記駆動制御手段は、
前記第２の判定で前記剥離が無いと判定された際に、
前記突き上げピンの移動が停止するように、前記突き上げピン駆動手段を制御する、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項5】

前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記チップ部品の上面の法線の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のピックアップ装置。

【請求項6】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、
前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、
前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、
を有し、
前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタし、
第１のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御し、
前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行い、
前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、
前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。

【請求項7】

前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンが前記第１の位置で一時停止するように前記第２のトルクを設定する、
ことを特徴とする請求項６に記載のピックアップ装置の制御方法。

【請求項8】

前記駆動制御手段は、
前記突き上げピンが前記第１の位置で減速するように前記第２のトルクを設定し、
前記第２のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記第１の位置から前記第１の位置より上方の第２の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御し、
前記突き上げピンの先端が前記第１の位置から前記第２の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの前記剥離の有無を判定する第２の判定を行う、
ことを特徴とする請求項７に記載のピックアップ装置の制御方法。

【請求項9】

前記駆動制御手段は、
前記第２の判定で前記剥離が無いと判定された際に、
前記突き上げピンの移動が停止するように、前記突き上げピン駆動手段を制御する、
ことを特徴とする請求項８に記載のピックアップ装置の制御方法。

【請求項10】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御プログラムであって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、
前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、
前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、
を有し、
前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタする処理と、
第１のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御する処理と、
前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行う処理と、
前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、
前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する処理と、
を前記ピックアップ装置に実行させることを特徴とするピックアップ装置の制御プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ピックアップ装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体等のチップ部品の製造では、一般的に、１枚のウェハに複数のチップ部品が形成される。そして、ダイシング等の分割手法を用いて、ウェハが個々のチップ部品に分割される。一般的なダイシングでは、ダイシングテープが用いられる。ダイシングテープは片面に粘着性を有するフィルムである。ダイシングテープは、ダイシングシート、ウェハシート、粘着シートなどとも呼ばれる。

【0003】

ダイシングを行う際に、まずウェハの裏面がダイシングテープに貼付される。次にダイシングによってウェハが個々のチップ部品に分割される。ダイシングが終わると、次に、ダイシングテープを引き延ばす加工であるエキスパンドが施され、チップ部品とチップ部品の間に隙間が形成される。次に、紫外線照射等によって、ダイシングテープの粘着性が低下される。次にコレットと呼ばれる吸着手段を備えたピックアップ装置によって、チップ部品の表面が吸着され、チップ部品がピックアップされる。この際、一般的な方法では、突き上げピンによって、ダイシングテープの裏面が突き上げられる。この突き上げによって、チップ部品のダイシングテープからの剥離が促進される。

【0004】

上記のピックアップ装置では、チップ部品の中央を１本の突き上げピンで突き上げるのが最も簡単な構成である。この構成で突き上げを行うと、チップ部品の端部から剥離が始まる。この際、突き上げピンの先端部が突き当たっている場所を支点とし、チップ部品の端部を作用点とし、作用点にダイシングテープの粘着力（剥離力）が作用する曲げモーメントが発生する。この際、ダイシングテープの粘着力が許容範囲以下であれば、曲げモーメントが小さく、チップ部品がダメージを受けることがない。ところが、チップ部品とダイシングテープの粘着力にはバラツキがあり、時として、粘着力の大きいものが存在する。この場合、突き上げによるダイシングテープの剥離が開始されない。そして、そのまま突き上げを継続すると、曲げモーメントが大きくなり、チップ部品がダメージを受ける恐れがある。

【0005】

そこで、粘着力の大きい場所があった際に、チップ部品に過大な曲げモーメントが加わることを防止する技術が提案されている。例えば、特許文献１には、突き上げ時の荷重に基づいて、チップ部品に過大な曲げモーメントが加わることを防止するダイボンディング装置の技術が開示されている。ダイボンディング装置は、粘着シートに貼着された半導体チップをピックアップする。このダイボンディング装置は、突き上げピンと、荷重測定手段と、移動量測定手段と、制御手段とを備える。この際、粘着シートを介して、突き上げピンが半導体チップを突き上げる。また、荷重測定手段が、半導体チップに作用する突き上げ荷重を測定する。また、移動量測定手段が、突上げピンの移動量を測定する。そして、以下の条件が満たされたときに、制御手段が、半導体チップが粘着シートから剥離されていると判定する。その条件は、突上げ荷重の測定値ｂが許容値ａ以下で、且つ、移動量の測定値ｃが基準値ｈ以上なことである。一方、突上げピンの移動量がその基準値ｈに達するまでの間で、突上げ荷重の測定値ｂが許容値ａを越えたときには、制御手段が突き上げ動作を停止させる。すなわち、当該チップのピックアップが一旦中止される。以上のような動作によって、チップ部品に過大な曲げモーメントが加わることが防止される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２－１００６４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１のピックアップ装置では、移動量（突き上げ量）の測定値が基準値に達するまでに、チップ部品のダイシングテープからの剥離が検出されない場合に、突き上げによるダイシングテープの剥離が中止される。しかしながら、突き上げ直後には剥離が起きなくても、時間の経過に伴って剥離が可能になる場合がある。特許文献１のダイボンディング装置では、このような場合もピックアップが中止）されてしまうので、ピックアップの中止の頻度が過剰になる恐れがあった。すなわち、必要以上にピックアップの歩留りを低下させてしまう恐れがあった。

【0008】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、チップ部品がダイシングテープから剥離される際に、より良い歩留りでチップ部品がピックアップされるピックアップ装置等を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本発明のピックアップ装置は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、を有し、前記駆動制御手段は、前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタし、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクを第１のトルクに制御し、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行い、前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。

【0010】

また、本発明のピックアップ装置の制御方法は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、前記ピックアップ装置は、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、を有し、前記駆動制御手段は、前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタし、第１のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御し、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行い、前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。

【0011】

また、本発明のピックアップ装置の制御プログラムは、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御プログラムであって、前記ピックアップ装置は、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を突き上げる突き上げピンと、前記突き上げピンを駆動させる突き上げピン駆動手段と、前記突き上げピン駆動手段の駆動を制御する駆動制御手段と、を有し、前記突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタする処理と、第１のトルクをもって、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記チップ部品の上面方向の第１の位置まで移動するように、前記突き上げピン駆動手段を制御する処理と、前記突き上げピンの先端が前記ダイシングテープの下面に当接する位置から前記第１の位置まで移動する間の前記突き上げピンの移動速度の変化に基づいて、前記チップ部品の前記ダイシングテープからの剥離の有無を判定する第１の判定を行う処理と、前記第１の判定で前記剥離が無いと判定した際には、前記第１の位置において前記トルクを前記第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する処理と、を前記駆動制御手段に実行させる。

【発明の効果】

【0012】

本発明の効果は、チップ部品がダイシングテープから剥離される際に、より良い歩留りでチップ部品がピックアップされるピックアップ装置等を提供できることである。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図2】第１の実施形態のピックアップ装置の具体的な構成例を示す側面図である。

【図3】第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【図4】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す側面図である。

【図5】第１の実施形態のピックアップ装置の動作の具体例１を示すフローチャートである。

【図6】第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第１の具体例を説明するための図である。

【図7】第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第２の具体例を説明するための図である。

【図8】第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第３の具体例を説明するための図である。

【図9】第１の実施形態のピックアップ装置の第３の動作状態を示す側面図である。

【図10】第１の実施形態のピックアップ装置の第４の動作状態を示す側面図である。

【図11】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作を示すフローチャートである。

【図12】第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第４の具体例を説明するための図である。

【図13】第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第５の具体例を説明するための図である。

【図14】第２の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図15】第２の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお各図面の同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する場合がある。

【0015】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、突き上げピン駆動手段２０と、駆動制御手段３０と、を有する。

【0016】

突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を突き上げる。ここで、チップ部品３００の上面の法線を法線ｎとする。またチップ部品３００から見て、ダイシングテープ２００のある方向を下方とし、その逆方向を上方とする。

【0017】

チップ部品３００を搭載したダイシングテープ２００は、吸着ブロック４０に吸着固定される。吸着ブロック４０において、ピックアップの対象となるチップ部品３００を含む領域には開口部が設けられ、開口部を介して、突き上げピン１０がダイシングテープ２００の下面を突き上げる。

【0018】

突き上げピン駆動手段２０は、突き上げピン１０を上下方向に駆動させる。

【0019】

駆動制御手段３０は、突き上げピン駆動手段の駆動を制御する。

【0020】

駆動制御手段３０は、突き上げピンの位置と前記突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとをモニタする。そして、駆動制御手段３０が、突き上げピン駆動手段２０の駆動を制御する。この制御によって、ダイシングテープ２００の下面に当接する位置から、チップ部品３００の上面方向の第１の位置Ｐまで、突き上げピン１０の先端が移動する。この際、突き上げが第１のトルクをもって行われるように、駆動制御手段３０が、突き上げピン駆動手段２０のトルクを制御する。

【0021】

また、駆動制御手段３０が、第１の判定を行う。第１の判定は、上記の移動の期間における突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無を判定するものである。突き上げピン１０が一定のトルクで駆動されているため、剥離が始まると、突き上げピン１０の突き上げ速度が上昇する。突き上げピン１０には、ダイシングテープ２００の張力が下方向に働いている。剥離が始まると、この反発力が減少する。その結果、突き上げピン１０の突き上げ速度が上昇する。このような突き上げピン１０の移動速度の上昇が観測されれば、剥離が開始されたと駆動制御手段３０が判定する。一方、移動速度の上昇が観測されなければ、駆動制御手段３０が、剥離は開始されていないと判定する。

【0022】

そして、第１の判定で剥離が無いと判定した際には、第１の位置Ｐにおいて、駆動制御手段３０が、トルクが第１のトルクより小さな第２のトルクに制御される。

【0023】

以上の動作では、突き上げピン１０が最初に第１の位置Ｐに移動した段階で、剥離が開始されていれば、第１のトルクで突き上げが継続される。そして、ピックアップが実行できる状態になる。一方、突き上げピン１０が第１の位置Ｐに移動した段階で、剥離が開始されていなければ、第１のトルクより小さい第２のトルクに、突き上げピン駆動手段２０のトルクが調整される。トルクが第２のトルクに調整されることで、突き上げピン１０の突き上げ速度が減速される。

【0024】

剥離が始まっていない時に、第１のトルクで突き上げを継続すると、突き上げの進行とともにチップ部品３００に加わる曲げモーメントが増大する。これにより、チップが破損する恐れがある。一方、上記の動作では、トルクが第２のトルクに調整されることによって、突き上げ速度が減速される。この減速により、チップ部品３００に働く曲げモーメントの増加が抑制される。こうして、曲げモーメントの増加が抑制された期間において、剥離の開始が期待される。この期間に剥離が開始されるものがあれば、第１の位置Ｐで突き上げを中止する方式に比べて、ピックアップ可能なチップ部品３００の数が増加する。すなわち、より良い歩留りで、チップ部品３００がピックアップされる。

【0025】

次にピックアップ装置１００の具体的な構成例について説明する。図２は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の具体的な構成例を示す側面図である。

【0026】

突き上げピン駆動手段２０は、例えば、モータ２１を備えている。そして。例えば、図示しないギアシステムによって、モータ２１の動きが、突き上げピン１０に伝えられる。あるいは、モータ２１としてボイスコイルモータが用いられ、ボイスコイルモータの往復運動によって、突き上げピン１０が、この往復運動に連動されても良い。ここで、ボイスコイルモータとは、コイルが磁界中を往復運動するモータである。

【0027】

駆動制御手段３０は、位置制御部３１と、トルク制御部３２と、制御部３３を備えている。また、突き上げピン１０の側面に対向して、エンコーダ３４が設けられている。この構成により、駆動制御手段３０は、突き上げピン１０の位置制御およびトルク制御を行うことができる。

【0028】

上記の構成では、エンコーダ３４が突き上げピンの位置を検出する。そして位置制御部３１および制御部３３が、この位置をモニタする。位置制御の場合、突き上げピン１０の位置が設定した目標値となるように、位置制御部３１が突き上げピン１０の位置制御を行う。この際、位置の目標値からのずれがフィードバックされて、トルク制御部３２がトルクを調整する。例えば、モータ２１がサーボモータであれば、エンコーダ３４によって読み取られた現在位置が位置制御部３１にフィードバックされ、位置制御が実行される。

【0029】

トルク制御部３２は、モータ２１のトルクを制御することによって、突き上げピン１０の突き上げトルクを制御する。一般に、モータ２１のトルクは電流に比例する。このため、トルク制御部３２が、モータ２１を駆動する電流を制御することで、突き上げピン１０の突き上げトルクが制御される。

【0030】

制御部３３は、エンコーダ３４によって検出された突き上げピン１０の位置をモニタする。また、モータ２１の駆動電流に基づいて、突き上げピン１０の駆動トルクを制御部３３がモニタする。さらに、突き上げピン１０の位置の時間変化に基づいて求まる突き上げピン１０の移動速度を、制御部３３がモニタする。

【0031】

次にピックアップ装置１００の動作例について説明する。突き上げに当たっては、まず、トルク制御部３２が、モータ２１のトルクを第１のトルクに制御し、突き上げピン１０の先端を、予め定めた第１の位置Ｐまで移動させる。突き上げ前のダイシングテープ２００の下面の位置から、所定距離だけ上方の位置が、第１の位置Ｐである。剥離が無くてもチップ部品３００に小さな曲げモーメントしか加わらない位置に、第１の位置Ｐが設定される。ここで、小さいとは、チップ部品３００が破損する曲げモーメントに対して大きなマージンがあるという意味である。なお、チップ部品３００がどの程度の曲げモーメントで破損するかは、チップ部品３００の大きさや厚さに依存する。このため、第１の位置Ｐも、チップ部品３００の種類に応じて決定される。

【0032】

図３は、第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで突き上げられている。そして、チップ部品３００の端部で、剥離が発生している。剥離が始まると、突き上げピン１０を押し下げるダイシングテープ２００の張力が減少する。このため、突き上げピン１０の突き上げ速度が上昇する。この時、制御部３３が、第１の閾値以上の突き上げ速度の上昇を検出する。この検出をもって、制御部３３が、剥離が開始されたと判定する。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで移動する間に、剥離が開始されたと判定された場合は、トルクを第１のトルクに保ったまま、突き上げが継続される。この場合は、正常なピックアップが可能になる。

【0033】

次に、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達するまでに、剥離が発生しない例について説明する。図４は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第２の動作状態を示す側面図である。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで突き上げられても、剥離が開始されなかった例が、図４に示されている。この場合、移動の間に突き上げ速度の上昇が発生しない。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで移動する間に突き上げ速度の上昇が起こらなかった場合、制御部３３が、剥離が無いと判定する。そして、突き上げピン１０を駆動するトルクを、トルク制御部３２が、第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。以下に、第２のトルクの設定の２つの具体例を説明する。
（具体例１）
まず、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに達するまで、制御部３３がトルク制御行い、第１のトルクで突き上げピン１０が突き上げを行う。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに達したら、制御部３３が制御を位置制御に切り替える。そして、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに保たれるように、トルクが制御される。つまり、突き上げのトルクと、ダイシングテープ２００の張力による下方向の力が釣り合うように、トルクが制御される。例えば、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐより上方に移動すればトルクを減少させる。一方、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐより下方に移動すればトルクを減少させる。このようなフィードバックの結果、突き上げピン１０の先端を第１の位置Ｐに一時停止させる第２のトルクが求まる。

【0034】

第２のトルクが求まったら、制御部３３が制御を位置制御からトルク制御に切り替える。そして、トルクが第２のトルクに制御される。所定の第１の期間だけ、この状態が維持される。第１の期間内に剥離が始まれば、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐより上方に移動する。この移動を検出することで、制御部３３が剥離を検出する。そして、剥離が検出された際は、例えば、トルク制御部３２がトルクを第１のトルクに制御して、突き上げが再開される。

【0035】

一方、第１の期間内に剥離が起こらなければ、第１の位置Ｐに突き上げピン１０の先端が停止している。第１の期間内で、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐから動かなければ、制御部３３が、剥離が無いと判定する。そして、制御部３３が、突き上げ対象のチップ部品３００を剥離不可と判定し、当該チップ部品３００の突き上げを中止する。そして、ピックアップ装置１００が、次のチップ部品３００の突き上げ動作を開始する。

【0036】

図５は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第１の動作を示すフローチャートである。ピックアップ装置１００の第１の動作について、図５を参照して説明する。まず、駆動トルクが第１のトルクに制御され、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで突き上げられる（Ｓ１０１）。この突き上げの期間における、突き上げ速度の上昇の有無を制御部３３が検出する（Ｓ１０２）。ここで、突き上げ速度の上昇が検出されたら（Ｓ１０２＿Ｙｅｓ）、剥離が開始されたと制御部３３が判定する（Ｓ１０３）。そして、第１のトルクによる突き上げが、予め定めたピックアップ位置まで継続される（Ｓ１０４）。

【0037】

一方、第１の位置Ｐまでに突き上げ速度の上昇が検出されなかったら（Ｓ１０２＿Ｎｏ）、第１の位置Ｐでトルクが、第２のトルクに制御される（Ｓ１０５）。第２のトルクは、第１のトルクより小さい。この状態を第１の期間維持する。そして第１の期間内に突き上げ速度の上昇が検出されたら（Ｓ１０６＿Ｙｅｓ）、剥離が開始されたと制御部３３が判定する（Ｓ１０３）。そして、予め定めたピックアップ位置まで突き上げが継続される（Ｓ１０４）。この時のトルクは、第２のトルクでもよく、第１のトルクでも良い。

【0038】

一方、第１の期間内に突き上げ速度の上昇が検出されなかったら（Ｓ１０６＿Ｎｏ）、制御部３３が剥離不可と判定する（Ｓ１０７）。そして、当該チップ部品３００の突き上げが中止される。

【0039】

次に動作の具体例について説明する。図６は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の動作タイミングの第１の具体例を説明するための図である。突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達するまでに、剥離が始まる時の動作を、図６が示している。まず、時刻ｔ０でトルクが第１のトルクに制御される。次に、時刻ｔ１で、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に接触する接触位置に到達する。次に突き上げピン１０が上方に移動して、突き上げが行われる。この例では、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達する前の時刻ｔ２で、剥離が始まる。突き上げピン１０が一定の第１のトルクで駆動されているため、剥離が始まると、ダイシングテープ２００の張力が減少し、突き上げピン１０の突き上げの速度が上昇する。制御部３３は、この速度の上昇に基づいて剥離の開始を検出する。そして突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐを通過する時刻ｔ３の後も、トルクが第１のトルクに維持される。そして、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置に到達したら、突き上げピン１０の駆動トルクが０に制御され、突き上げピン１０が停止する。ここで、ピックアップ位置とは、後述するコレットなどで、チップ部品３００をダイシングテープ２００からピックアップする位置である。なお、上記ではトルクが０に制御されるとしたが、ピックアップ位置で制御が位置制御に切り替えられても良い。この場合、例えば、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置に保持される。

【0040】

次に、第１の位置Ｐでは剥離が開始されず、かつ、第１の位置Ｐで待機している間に、剥離が始まる例について説明する。図７は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の動作タイミングの第２の具体例を説明するための図である。ここでは、第１の期間Ｔ１が上記の待機の期間である。

【0041】

まず、時刻ｔ０でトルクが第１のトルクに制御される。次に、時刻ｔ１で、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に接触する接触位置に到達する。次に突き上げピン１０が上方に移動して、突き上げが行われる。この例では、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達する時刻ｔ３までの期間に、剥離が発生していない。この期間に突き上げピン１０の突き上げの速度の上昇が無いことをもって、制御部３３が、剥離がないと判定する。

【0042】

そして、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達した時刻ｔ５で、第１のトルクより小さい第２のトルクにトルクが調整される。ここでは、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで一時停止するように、第２のトルクが設定される。また、第１の期間Ｔ１が経過する時刻ｔ６まで、トルクが第２のトルクに維持される。

【0043】

図７の例では、第１の期間Ｔ１の間に剥離が発生する。ここで、第１の期間Ｔ１において、突き上げピン１０を駆動するトルクが一定の第２のトルクに維持されている。このため、剥離が始まってダイシングテープ２００の張力が減少すると、突き上げピン１０の先端が上方に移動する。この速度変化に基づいて、制御部３３が剥離開始と判定する。制御部３３が剥離を検出すると、トルクが第２のトルクに維持され、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置まで上昇する。なお、第１の期間Ｔ１で剥離が開始された際は、時刻ｔ６において、トルクが第２のトルクより大きな値に変更されても良い。この値は、例えば第１のトルクである。このような制御によって、剥離が加速される。

【0044】

そして、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置に到達する時刻ｔ７で、トルクが０に制御され、突き上げピン１０が停止する。なお、ピックアップ位置で制御が位置制御に切り替えられても良い。この場合、例えば、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置に保持される。

【0045】

次に、第１の期間Ｔ１において、剥離が発生しない例について説明する。図８は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の動作タイミングの第３の具体例を説明するための図である。

【0046】

まず、時刻ｔ０でトルクが第１のトルクに制御される。次に、時刻ｔ１で、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に接触する接触位置に到達する。次に突き上げピン１０が上方に移動して、突き上げが行われる。この例では、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達する時刻ｔ８までの期間に、剥離が発生していない。この期間に突き上げピン１０の突き上げの速度の上昇が無いことをもって、制御部３３が、剥離なしと判定する。

【0047】

そして、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達した時刻ｔ８で、第１のトルクより小さい第２のトルクにトルクが調整される。ここでは、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで一時停止するように、第２のトルクが設定される。また、第１の期間Ｔ１が経過する時刻ｔ９まで、トルクが第２のトルクに維持される。

【0048】

図８の例では、第１の期間Ｔ１の間に剥離が発生しない。このため、第２のトルクとダイシングテープ２００の張力が釣り合い、突き上げピン１０の停止が継続する。第１の期間Ｔ１において、突き上げピン１０を駆動するトルクが一定の第２のトルクに維持されている。このように、突き上げピン１０の速度の上昇がないことをもって、制御部３３が、剥離が開始されていないと判定する。第１の期間Ｔ１だけ待機しても、剥離が開始されない時には、制御部３３が、対象とするチップ部品３００を剥離不可と判定する。そして、第１の期間が経過した時刻ｔ９で、トルクが０に調整される。すると、ダイシングテープ２００の張力によって、突き上げピン１０が押し下げられ、突き上げピン１０の先端が接触位置まで戻る。なお、時刻ｔ９で、制御が位置制御に切り替えられても良い。この場合、突き上げピン１０の先端が制御に従って下降する。そして、ピックアップ装置１００が当該チップ部品３００のピックアップを中止し、次のチップ部品３００のピックアップ動作を開始する。

【0049】

以上の動作では、最初に第１の位置Ｐまで突き上げが行われた期間に剥離が開始されていない時に、突き上げがすぐに中止されない。そして、突き上げを停止もしくは減速している間に剥離が始まるチップ部品３００のピックアップが可能になる。このため、第１の位置Ｐまでの移動期間で剥離が検出されなかったチップ部品３００について、ピックアップできる確率が上昇する。こうして、第１の位置Ｐ（特許文献１では移動量の基準値ｈの位置）までの突き上げで剥離が検出されなかった際に、すぐ剥離を中止する特許文献１の方法に比べて、より良い歩留りでチップ部品がピックアップされる。

【0050】

（具体例２）
次に、ピックアップ装置１００の動作の具体例２について説明する。この具体例２では、第１の位置Ｐにおける待機期間に剥離が発生しなかった例について説明する。第１の位置Ｐにおいて、第２のトルクに調整される点は、具体例１と同様である。ここで、第２のトルクは、トルクが第１のトルクより小さい。しかし、具体例２では、第２のトルクが具体例１より大きな値に設定される。これにより、第１の位置Ｐに到達した後も、突き上げピン１０の先端が、それ以前より減速した状態で上昇する。そして、突き上げピン１０の先端が、第１の位置Ｐより上方の第２の位置Ｑに到達する。この期間に、制御部３３が第２の判定を行う。第２の判定は、上記の期間における剥離の有無の判定である。第１の位置Ｐより上方であるが、剥離が無くてもチップ部品３００の破損の恐れがない位置に、第２の位置Ｑが設定される。すなわち、危険な位置からのマージンが第１の位置Ｐよりも少ない位置に、第２の位置Ｑが設定される。第２の位置Ｑは、いわば、チップ部品３００の曲げモーメントに関する安全限界である。

【0051】

図９は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第３の動作状態を示す側面図である。図９は、突き上げピン１０の先端が、第１の位置Ｐから第２の位置Ｑに移動する間に、剥離が開始された例である。チップ部品３００の端部で、ダイシングテープ２００とチップ部品３００との剥離が発生している。この場合は、突き上げが継続され、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置まで移動することで、チップ部品３００のピックアップが可能になる。

【0052】

図１０は、第１の実施形態のピックアップ装置の第４の動作状態を示す側面図である。図１０は、突き上げピン１０の先端が第２の位置Ｑに到達しても、剥離が発生しなかった状態を示している。このまま、突き上げを継続するとチップ部品３００が破損する恐れがある。このため、制御部３３が剥離不可と判定し、ピックアップが中止される。

【0053】

次に具体例２の動作について説明する。図１１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第２の動作を示すフローチャートである。まず、駆動トルクが第１のトルクに制御され、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐまで突き上げられる（Ｓ２０１）。この突き上げの期間における、突き上げ速度の上昇の有無を制御部３３が検出する（Ｓ２０２）。ここで、突き上げ速度の上昇が検出されたら（Ｓ２０２＿Ｙｅｓ）、剥離が開始されたと制御部３３が判定する（Ｓ２０３）。そして、第１のトルクによる突き上げが、予め定めたピックアップ位置まで継続される（Ｓ２０４）。

【0054】

一方、第１の位置Ｐまでに突き上げ速度の上昇が検出されなかったら（Ｓ２０２＿Ｎｏ）、第１の位置Ｐで、トルクが第２のトルクに制御される（Ｓ２０５）。第２のトルクは、第１のトルクより小さい。ただし、具体例１の第２のトルクよりは大きい。これにより、それまでよりは減速された状態で、突き上げピン１０の先端が上昇する。そして、突き上げピン１０の先端が、第２の位置Ｑに到達するまで上昇が継続される。この間に、突き上げ速度の上昇が検出されたら（Ｓ２０６＿Ｙｅｓ）、剥離が開始されたと制御部３３が判定する（Ｓ２０３）。そして、予め定めたピックアップ位置まで突き上げが継続される（Ｓ２０４）。

【0055】

一方、第２の位置Ｑまでの上昇で、突き上げ速度の上昇が検出されなかったら（Ｓ２０６＿Ｎｏ）、突き上げが停止される（Ｓ２０７）。そして、制御部３３が剥離不可と判定する（Ｓ２０８）。こうして、チップ部品３００の突き上げが中止される。

【0056】

次に、動作の具体例について説明する。図１２は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の動作タイミングの第４の具体例を説明するための図である。突き上げピン１０の先端が第２の位置Ｑに到達するまでに、剥離が始まるケースの動作を、図１２が示している。まず、時刻ｔ０でトルクが第１のトルクに制御される。次に、時刻ｔ１で、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に接触する接触位置に到達する。次に突き上げピン１０が上方に移動して、突き上げが行われる。この例では、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達する時刻ｔ１１までの期間に、剥離が発生していない。この期間に突き上げピン１０の突き上げの速度の上昇が無いことをもって、制御部３３が、剥離が開始されていないと判定する。

【0057】

そして、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達した時刻ｔ１１で、第１のトルクより小さい第２のトルクにトルクが調整される。ここでは、それ以前より減速した状態で突き上げピン１０が上昇するように、第２のトルクが設定される。そして、図１２の例では、突き上げピン１０の先端が、第２の位置Ｑに到達する前の時刻ｔ１２で、剥離が発生する。ここで、第１の期間Ｔ１において、突き上げピン１０を駆動するトルクが一定の第２のトルクに維持されている。このため、剥離が始まってダイシングテープ２００の張力が減少すると、突き上げピン１０の先端の突き上げの速度が上昇する。この速度変化に基づいて、制御部３３が剥離開始と判定する。制御部３３が剥離を検出すると、トルクが第２のトルクに維持され、突き上げピン１０の先端がピックアップ位置まで上昇する。

【0058】

次に、突き上げピン１０の先端が第２の位置Ｑに到達するまでに、剥離が開始されないケースについて説明する。図１３は、第１の実施形態のピックアップ装置の動作タイミングの第５の具体例を説明するための図である。

【0059】

まず、時刻ｔ０でトルクが第１のトルクに制御される。次に、時刻ｔ１で、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に接触する接触位置に到達する。次に突き上げピン１０が上方に移動して、突き上げが行われる。この例では、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達する時刻ｔ３までの期間に、剥離が発生していない。この期間に突き上げピン１０の突き上げの速度の上昇が無いことをもって、制御部３３が剥離なしと判定する。

【0060】

そして、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐに到達した時刻ｔ１４で、第１のトルクより小さい第２のトルクにトルクが調整される。ここでは、突き上げピン１０が、時刻ｔ１４以前より減速して上昇するように、第２のトルクが設定される。そして、突き上げピン１０の先端が第２の位置Ｑに到達する時刻ｔ１５まで、トルクが第２のトルクに維持される。

【0061】

図１３の例では、突き上げピン１０の先端が第２の位置Ｑに到達するまでに、剥離が発生していない。時刻ｔ１５までの間に、速度の上昇に急な変化が無いことをもって、制御部３３が、剥離が開始されていないと判定する。これ以上突き上げを継続するとチップ部品３００が破損する恐れがあるため、制御部３３がトルクを減少させ突き上げを中止する。図１３の例では、時刻ｔ１５でトルクの減少が開始され、時刻ｔ１６でトルクが０になる。すると、ダイシングテープ２００の張力によって、突き上げピン１０が押し下げられ、突き上げピン１０の先端が接触位置まで戻る。あるいは、制御部３３が制御を位置制御に切り替えて、時刻ｔ１６で、突き上げピン１０が、所定の待機位置まで移動されても良い。上記のような動作によって、ピックアップ装置１００が当該チップ部品３００のピックアップを中止し、次のチップ部品３００のピックアップ動作を開始する。

【0062】

以上のような動作とすることで、チップ部品３００の破損を回避しながら、ピックアップできるチップ部品３００の数を増やすことが可能になる。すなわち、
なお、上記の説明は突き上げピン１０が１本の構成について行ったが、突き上げピン１０が２本以上の複数であっても良い。突き上げピン１０が複数の場合も、トルク制御、位置制御、剥離の判定等が同様に実行される。

【0063】

以上、本実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。

【0064】

本実施形態のピックアップ装置１００は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップする。ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、突き上げピン駆動手段２０と、駆動制御手段３０と、を有する。ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を、突き上げピンが突き上げる。突き上げピン１０を、突き上げピン駆動手段が駆動させる。突き上げピン駆動手段２０の駆動を、駆動制御手段３０が制御する。突き上げピン１０の位置と突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとを、駆動制御手段がモニタする。そして、突き上げピン駆動手段２０が突き上げピン１０を駆動する。この駆動によって、ダイシングテープ２００の下面に当接する位置からチップ部品３００の上面方向の第１の位置まで、突き上げピン１０の先端が移動する。この際、突き上げピン駆動手段が駆動するトルクを、駆動制御手段３０が第１のトルクに制御する。また駆動制御手段３０が、第１の判定を行う。第１の判定は、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無の判定である。第１の判定は、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に当接する位置から、第１の位置Ｐまで移動する間の、突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて行われる。そして、第１の判定で剥離が無いと判定した際には、第１の位置Ｐにおいて、駆動制御手段３０が、トルクを第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。

【0065】

上記の第１の位置Ｐは、剥離が開始されなくても、チップ部品３００が破損しない位置である。つまり、チップ部品３００が破損する確率が高くなる点より、所定の距離だけ下方に設定される。ピックアップ装置１００では、この第１の位置Ｐまでに剥離が開始されなかった際に、トルクが第１のトルクより小さい第２のトルクに調整される。この調整により、突き上げ速度が減速される。チップ部品３００の中には、この減速している期間に剥離が開始されるものが含まれる。このため、ピックアップ装置１００では、第１の位置Ｐで突き上げを中止する方法に比べて、より良い歩留りでチップ部品３００がピックアップされる。

【0066】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００の駆動制御手段３０が、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで一時停止するように第２のトルクを設定する。このようにすることで、チップ部品３００に加わる曲げモーメントを増加させずに、剥離の開始を待つことが可能になる。

【0067】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００において、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで減速するように、駆動制御手段３０が突き上げピン駆動手段２０のトルクを制御する。この制御で、トルクが第２のトルクに設定される。これにより、第２のトルクをもって、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐから、第１の位置より上方の第２の位置Ｑまで移動する。そして、駆動制御手段３０が第２の判定を行う。第２の判定では、上記期間における、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無が判定される。第２の判定は、この期間における突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて行われる。

【0068】

上記の動作では、第１の位置Ｐにおいて、それ以前より突き上げ速度が減速される。減速により、曲げモーメントの増加が緩やかになる。そして、第１の位置Ｐより上方で、かつ、チップ部品３００が破損しない位置に第２の位置が設定される。こうして、第１の位置Ｐから第２の位置Ｑの間で、より積極的に剥離が促進される。このため、ピックアップの歩留りの向上が期待される。

【0069】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第２の判定で剥離が無いと判定された際に、突き上げピン１０の移動が停止するように、駆動制御手段３０が突き上げピン駆動手段２０を制御する。

【0070】

安全限界である第２の位置Ｑでも剥離が開始されない際に、突き上げが中止されることで、チップ部品３００の破損が防止される。

【0071】

また、本実施形態のピックアップ装置１００の制御方法は、ピックアップ装置１００を制御する。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をダイシングテープ２００からピックアップするための装置である。そして、ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、突き上げピン駆動手段２０と、駆動制御手段３０と、を有する。ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を、突き上げピンが突き上げる。突き上げピン１０を、突き上げピン駆動手段が駆動させる。突き上げピン駆動手段２０の駆動を、駆動制御手段３０が制御する。突き上げピン１０の位置と突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとを、駆動制御手段がモニタする。そして、ダイシングテープ２００の下面に当接する位置からチップ部品３００の上面方向の第１の位置まで、突き上げピン１０の先端が移動する。この際、突き上げピン駆動手段が駆動するトルクを、駆動制御手段３０が第１のトルクに制御する。また駆動制御手段３０が、第１の判定を行う。第１の判定は、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無の判定である。第１の判定は、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に当接する位置から、第１の位置Ｐまで移動する間の、突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて行われる。そして、第１の判定で剥離が無いと判定した際には、第１の位置Ｐにおいて、駆動制御手段３０が、トルクを第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。

【0072】

上記の第１の位置Ｐは、剥離が開始されなくても、チップ部品３００が破損しない位置である。つまり、チップ部品３００が破損する確率が高くなる点より、所定の距離だけ下方に設定される。ピックアップ装置１００の制御方法では、この第１の位置Ｐまでに剥離が開始されなかった際に、トルクが第１のトルクより小さい第２のトルクに調整される。この調整により、突き上げ速度が減速される。チップ部品３００の中には、この減速している期間に剥離が開始されるものが含まれる。このため、ピックアップ装置１００では、第１の位置Ｐで突き上げを中止する方法に比べて、より良い歩留りでチップ部品３００がピックアップされる。

【0073】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００の制御方法において、ピックアップ装置１００の駆動制御手段３０が、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで一時停止するように第２のトルクを設定する。このようにすることで、チップ部品３００に加わる曲げモーメントを増加させずに、剥離の開始を待つことが可能になる。

【0074】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００の制御方法において、突き上げピン１０が第１の位置Ｐで減速するように、駆動制御手段３０が突き上げピン駆動手段２０のトルクを第２のトルクに設定する。これにより、第２のトルクをもって、突き上げピン１０の先端が第１の位置Ｐから、第１の位置より上方の第２の位置Ｑまで移動する。そして、駆動制御手段３０が第２の判定を行う。第２の判定では、上記の期間におけるチップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無が判定される。第２の判定は、この期間における突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて行われる。

【0075】

上記の動作では、第１の位置Ｐから、それ以前より突き上げ速度が減速して、突き上げが行われる。減速により、曲げモーメントの増加が緩やかになる。そして、第１の位置Ｐより上方で、かつ、チップ部品３００が破損しない位置に第２の位置が設定される。こうして、第１の位置Ｐから第２の位置Ｑの間で、より積極的に剥離が促進される。このため、ピックアップの歩留りの向上が期待される。

【0076】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００の制御方法において、ピックアップ装置１００で、第２の判定で剥離が無いと判定された際に、突き上げピン１０の移動が停止するように、駆動制御手段３０が突き上げピン駆動手段２０を制御する。

【0077】

安全限界である第２の位置Ｑでも剥離が開始されない際に、突き上げが中止されることで、チップ部品３００の破損が防止される。

【0078】

また、本実施形態のピックアップ装置１００の制御プログラムは、ピックアップ装置１００を制御する。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をダイシングテープ２００からピックアップするための装置である。そして、ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、突き上げピン駆動手段２０と、駆動制御手段３０と、を有する。ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を、突き上げピンが突き上げる。突き上げピン１０を、突き上げピン駆動手段が駆動させる。突き上げピン駆動手段２０の駆動を、駆動制御手段３０が制御する。突き上げピン１０の位置と突き上げピン駆動手段が駆動するトルクとを、駆動制御手段がモニタする処理を、制御プログラムがピックアップ装置１００に実行させる。そして、ダイシングテープ２００の下面に当接する位置からチップ部品３００の上面方向の第１の位置まで、突き上げピン１０の先端が移動する。この際、突き上げピン駆動手段が駆動するトルクを、駆動制御手段３０が第１のトルクに制御する処理を、制御プログラムがピックアップ装置１００に実行させる。また駆動制御手段３０が、第１の判定を行う処理を、制御プログラムがピックアップ装置１００に実行させる。第１の判定は、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離の有無の判定である。第１の判定は、突き上げピン１０の先端がダイシングテープ２００の下面に当接する位置から、第１の位置Ｐまで移動する間の、突き上げピン１０の移動速度の変化に基づいて行われる。そして、第１の判定で剥離が無いと判定した際には、第１の位置Ｐにおいて、駆動制御手段３０が、トルクを第１のトルクより小さな第２のトルクに制御する。この処理を、制御プログラムがピックアップ装置１００に実行させる。

【0079】

上記の第１の位置Ｐは、剥離が開始されないまま突き上げても、チップ部品３００が破損しない位置である。つまり、チップ部品３００が破損する確率が高くなる点より、所定の距離だけ下方に設定される。ピックアップ装置１００の制御方法では、この第１の位置Ｐまでに剥離が開始されなかった際に、トルクが第１のトルクより小さい第２のトルクに調整される。この調整により、突き上げ速度が減速される。チップ部品３００の中には、この減速している期間に剥離が開始されるものが含まれる。このため、ピックアップ装置１００では、第１の位置Ｐで突き上げを中止する方法に比べて、より良い歩留りでチップ部品３００がピックアップされる。
（第２の実施形態）
本実施形態では、第１の実施形態のピックアップ装置１００の構成に加えて、チップ部品３００をピックアップするコレット９０を備えたピックアップ装置１０１について説明する。

【0080】

図１４は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１を示す側面図である。ピックアップ装置１０１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００と同様に、突き上げピン１０と、突き上げピン駆動手段２０と、駆動制御手段３０と、吸着ブロック４０とを備えている。これに加えて、ピックアップ装置１０１は、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを備えている。

【0081】

コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。そして、コレット９０は、チップ部品３００を吸着する。

【0082】

コレット駆動手段９１は、コレット９０を少なくとも法線ｎの方向に移動させる。コレット駆動手段９１はコレットに付加する力を調整できるようになっている。また、図示はしていないが、コレット９０の位置は、コレット位置検出手段で検出される。コレット９０の下面がチップ部品３００の上面を吸着している。このため、突き上げ動作においては、突き上げピン１０の上下動にコレット９０が連動する。通常は、チップ部品３００に下方向の荷重がかからないように、コレット駆動手段９１の荷重が調整されている。

【0083】

ピックアップ装置１０１における突き上げピン１０の制御と動作は、第１の実施形態のピックアップ装置１００と同様である。ただし、コレット９０がチップ部品３００に下方向の荷重を加えている際には、設定する第１のトルク、第２のトルクに、この荷重が加算される。

【0084】

図１５は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第１の動作状態を示す側面図である。図１５は、突き上げピン１０の先端が、ピックアップ位置まで突き上げられた状態を示している。チップ部品３００とダイシングテープ２００との間に剥離が発生している際には、ピックアップ位置では、チップ部品３００が容易にピックアップされる。ここで、容易にピックアップされる状態とは、チップ部品３００をダイシングテープ２００から引き離すことが容易な状態である。この状態から、コレット９０が上方に移動することで、チップ部品３００のピックアップが完了する。

【0085】

以上に説明したピックアップ装置１０１では、第１の実施形態と同様に、突き上げピン１０によるチップ部品３００の突き上げが行われる。このため、第１の実施形態と同様に、より良い歩留りでチップ部品がピックアップされる。

【0086】

以上、本実施形態のピックアップ装置１０１等について説明した。

【0087】

本実施形態のピックアップ装置１０１は、チップ部品３００を吸着するコレット９０を備える。コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。また、ピックアップ装置１０１が、コレット駆動手段９１を備える。コレット駆動手段９１は、コレット９０を少なくともチップ部品３００の上面の法線ｎの方向に移動させる。

【0088】

上記の構成では、第１の実施形態と同様に、突き上げを行ったチップ部品３００をコレット９０によって、

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】