特開 2024-66689 昇降扉、およびヒュームフード

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066689

(43)【公開日】2024-05-16

(54)【発明の名称】昇降扉、およびヒュームフード

(51)【国際特許分類】

   B01L 1/00 20060101AFI20240509BHJP

   F24F 7/06 20060101ALI20240509BHJP

【ＦＩ】

B01L1/00 A

F24F7/06 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022176265

(22)【出願日】2022-11-02

(71)【出願人】

【識別番号】000000561

【氏名又は名称】株式会社オカムラ

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(72)【発明者】

【氏名】森 大地

(72)【発明者】

【氏名】深井 正人

【テーマコード（参考）】

3L058

4G057

【Ｆターム（参考）】

3L058BF03

4G057AA02

(57)【要約】

【課題】使用者が垂直板の上側への移動が規制される垂直板の位置を容易に認識できる昇降扉、およびヒュームフードを提供する。
【解決手段】上下方向に延びるガイドレールと、ガイドレールの内部を上下方向にスライド移動可能であり、板面が上下方向と直交する第１方向を向く垂直板と、当接部を有し、垂直板の下端部を保持する接続部と、垂直板よりも第１方向の一方側の位置において、接続部を介して垂直板を吊り支持する吊架部材と、ガイドレールに支持されるストッパ部材と、を備える。上下方向および第１方向と直交する第２方向に見て、当接部は、垂直板の下端部と重なる。ストッパ部材は、当接部に対して上方から当接可能な位置、および当接部と当接しない位置との間で移動可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に延びるガイドレールと、
前記ガイドレールの内部を上下方向にスライド移動可能であり、板面が上下方向と直交する第１方向を向く垂直板と、
当接部を有し、前記垂直板の下端部を保持する接続部と、
前記垂直板よりも前記第１方向の一方側の位置において、前記接続部を介して前記垂直板を吊り支持する吊架部材と、
前記ガイドレールに支持されるストッパ部材と、
を備え、
上下方向および前記第１方向と直交する第２方向に見て、前記当接部は、前記垂直板の下端部と重なり、
前記ストッパ部材は、前記当接部に対して上方から当接可能な位置、および前記当接部と当接しない位置との間で移動可能である、昇降扉。

【請求項2】

前記ストッパ部材は、前記当接部と当接する被当接部を有し、且つ、前記被当接部よりも上側の位置で前記ガイドレールに回動可能に支持され、
前記ストッパ部材が回動することによって、前記ストッパ部材は、前記被当接部が前記当接部に対して上方から当接可能な位置、および前記被当接部が前記当接部と当接しない位置との間で移動可能である、請求項１に記載の昇降扉。

【請求項3】

前記垂直板の下端部には、前記垂直板よりも前記第１方向の他方側に突出する把持部材が設けられ、
前記第２方向に見て、前記把持部材は、前記当接部と重なる、請求項１または２に記載の昇降扉。

【請求項4】

前記垂直板の回動を抑制し、かつ、前記ガイドレールに沿って上下方向に移動可能なガイド部材を備える、請求項１または２に記載の昇降扉。

【請求項5】

前記ガイド部材は、前記接続部に回動可能に支持され、上下方向に並んで配置される複数のローラを含む、請求項４に記載の昇降扉。

【請求項6】

処理室の開口を開閉する請求項１に記載の昇降扉を有する、ヒュームフード。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、昇降扉、およびヒュームフードに関する。

【背景技術】

【0002】

実験施設での理化学実験等で用いられるヒュームフードでは、筐体内の処理室内の空気を排気しつつ、前面に設けられた昇降扉（前面扉）の開口から処理室内に空気を給気し、この昇降扉の開口から使用者が処理室内に手を差し入れて実験を行う。係るヒュームフードでは、実験を行わない際に、処理室内の清掃および処理室内への実験機材等の搬入出等の作業性を良くするため、昇降扉の開口量を大きくすることが可能である。係るヒュームフードでは、昇降扉の開口が所定の開口量以上に開かれると、昇降扉の開口から処理室内に流れ込む給気量が排気装置の排気量を上回るため、処理室内の空気が使用者側に向かって流れ出す虞がある。これを防止するため、例えば特許文献１に記載のヒュームフードでは、昇降扉に設けられる当接部が、ストッパ部材に設けられた被当接部と当接することによって、昇降扉の開口が所定の開口量以上に開くことを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－９１１１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示されたヒュームフードでは、昇降扉に設けられる当接部が垂直板（昇降ガラス板）の下端部よりも上側に配置されるため、垂直板を上側へ移動する際に、垂直板の下端部をストッパ部材が配置される高さまで移動させていないにも関わらず、垂直板の上側への移動が規制されていた。そのため、使用者は、垂直板の上側への移動が規制される際の垂直板の位置を認識しづらく、垂直板を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができなかった。

【0005】

そこで、本発明は、使用者が垂直板の上側への移動が規制される際の垂直板の位置を容易に認識できる昇降扉、およびヒュームフードを提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係る昇降扉は、上下方向に延びるガイドレールと、前記ガイドレールの内部を上下方向にスライド移動可能であり、板面が上下方向と直交する第１方向を向く垂直板と、当接部を有し、前記垂直板の下端部を保持する接続部と、前記垂直板よりも前記第１方向の一方側の位置において、前記接続部を介して前記垂直板を吊り支持する吊架部材と、前記ガイドレールに支持されるストッパ部材と、を備え、上下方向および前記第１方向と直交する第２方向に見て、前記当接部は、前記垂直板の下端部と重なり、前記ストッパ部材は、前記当接部に対して上方から当接可能な位置、および前記当接部と当接しない位置との間で移動可能である。

【0007】

本態様によれば、使用者が垂直板を上側に移動させる場合において、ストッパ部材が当接部に対して上方から当接して、垂直板の上側への移動が規制される際の上下方向における垂直板の下端部の位置をストッパ部材の位置に近づけることができる。したがって、使用者が垂直板の上側への移動が規制される際の垂直板の位置を容易に認識できるため、垂直板を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができる。

【0008】

（２）上記（１）の態様に係る昇降扉において、前記ストッパ部材は、前記当接部と当接する被当接部を有し、且つ、前記被当接部よりも上側の位置で前記ガイドレールに回動可能に支持され、前記ストッパ部材が回動することによって、前記ストッパ部材は、前記被当接部が前記当接部に対して上方から当接可能な位置、および前記被当接部が前記当接部と当接しない位置との間で移動可能であることが好ましい。
本態様によれば、ストッパ部材を回動させる簡易な操作によって、ストッパ部材による垂直板の上側への移動の規制および係る規制の解除を行うことができる。したがって、使用者が垂直板を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができる。

【0009】

（３）上記（１）または（２）の態様に係る昇降扉において、前記垂直板の下端部には、前記垂直板よりも前記第１方向の他方側に突出する把持部材が設けられ、前記第２方向に見て、前記把持部材は、前記当接部と重なることが好ましい。
本態様によれば、使用者は、把持部材を把持して垂直板を上側に移動できるため、垂直板を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができるとともに、垂直板の上側への移動が規制される際の上下方向における把持部材の位置をストッパ部材の位置に近づけることができる。したがって、使用者が垂直板の上側への移動が規制される際の垂直板の位置をより容易に認識できる。

【0010】

（４）上記（１）から（３）のいずれかの態様に係る昇降扉において、前記垂直板の回動を抑制し、かつ、前記ガイドレールに沿って上下方向に移動可能なガイド部材を備えることが好ましい。
本態様によれば、ガイド部材によって垂直板の回動を抑制できるため、垂直板の揺動および振動を好適に抑制できる。

【0011】

（５）上記（４）の態様に係る昇降扉において、前記ガイド部材は、前記接続部に回動可能に支持され、上下方向に並んで配置される複数のローラを含むことが好ましい。
本態様によれば、垂直板が回動しようとすると、各ローラがローラ収容部の内面と接触するため、接続部が回動することを抑制できる。これにより、垂直板の回動を好適に抑制できる。

【0012】

（６）本開示の一態様に係るヒュームフードは、処理室の開口を開閉する上記（１）から（５）のいずれかの態様に係る昇降扉を有する。
本態様によれば、垂直板を上側に移動させる場合において、ストッパ部材が当接部に対して上方から当接して、垂直板の上側への移動が規制される際の上下方向における垂直板の下端部の位置をストッパ部材の位置に近づけることができる。したがって、使用者が垂直板の上側への移動が規制される際の垂直板の位置を容易に認識できる。

【発明の効果】

【0013】

本態様によれば、使用者が垂直板の上側への移動が規制される垂直板の位置を容易に認識できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】一実施形態に係るヒュームフードを示す斜視図である。

【図2】一実施形態に係るヒュームフードを示す正面図である。

【図3】一実施形態に係るヒュームフードの一部を示す左側面図である。

【図4】一実施形態に係るヒュームフードを示す図２のＡ－Ａ断面図である。

【図5】一実施形態に係るヒュームフードの一部を示す図２のＢ－Ｂ断面図である。

【図6】一実施形態に係るヒュームフードの一部を示す図２のＣ－Ｃ断面図である。

【図7】一実施形態に係るヒュームフードの一部を示す正面図である。

【図8】一実施形態に係る接続部を示す斜視図である。

【図9】一実施形態に係る接続部を示す分解斜視図である。

【図10】一実施形態に係るヒュームフードの非作動時における落下防止装置を示す断面図である。

【図11】一実施形態に係るヒュームフードの作動時における落下防止装置を示す断面図である。

【図12】一実施形態に係るストッパ部材を示す右側面図である。

【図13】一実施形態に係る当接部と被当接部とが当接した状態のヒュームフードの一部を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係るヒュームフード１０を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るヒュームフード１０を示す正面図である。図３は、本実施形態に係るヒュームフード１０の一部を示す左側面図である。図４は、本実施形態に係るヒュームフードを示す図２のＡ－Ａ断面図である。なお、図３では、側方カバー１７ａおよび給廃液配管の図示を省略している。

【0016】

以下の説明において、各図には適宜、Ｚ軸を示す。本実施形態において、Ｚ軸は、ヒュームフード１０の上下方向である。以下の説明では、Ｚ軸の矢印が向く側（＋Ｚ側）を「上側」と呼ぶ。Ｚ軸の矢印が向く側と反対側（－Ｚ側）を「下側」と呼ぶ。

【0017】

以下の説明において、各図には適宜、第１方向Ｄ１を示す。本実施形態において、第１方向Ｄ１は、垂直板２１の板厚方向であり、Ｚ軸と直交する方向である。第１方向Ｄ１は、ヒュームフード１０の前後方向である。以下の説明では、第１方向Ｄ１の矢印が向く側（＋Ｄ１側）を「第１方向Ｄ１の一方側」または「後側」と呼ぶ。第１方向Ｄ１の矢印が向く側と反対側（－Ｄ１側）を「第１方向Ｄ１の他方側」または「前側」と呼ぶ。

【0018】

以下の説明において、各図には適宜、第２方向Ｄ２を示す。第２方向Ｄ２は、以下に説明する実施形態の垂直板２１の長手方向であり、上下方向（Ｚ軸方向）および第１方向Ｄ１と直交する方向である。第２方向Ｄ２は、ヒュームフード１０の左右方向である。以下の説明では、第２方向Ｄ２の矢印が向く側（＋Ｄ２側）を「第２方向Ｄ２の一方側」または「左側」と呼ぶ。第２方向Ｄ２の矢印が向く側と反対側（－Ｄ２側）を「第２方向Ｄ２の他方側」または「右側」と呼ぶ。

【0019】

なお、上側、下側、前側、後側、左側、右側は、単に各部の相対位置関係を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。

【0020】

本実施形態のヒュームフード１０は、実験施設の室内に設置される。ヒュームフード１０は、略直方体の箱型である。ヒュームフード１０には処理室Ｓ１が画成され、使用者は処理室Ｓ１の内部で作業を行う。ヒュームフード１０は、理化学実験において、処理室Ｓ１の内部の気体が室内に流出することを抑制する。本実施形態において、ヒュームフード１０は、作業台２が備える天板３上に組み付けられることで、天板３とともに処理室Ｓ１を画成する。ヒュームフード１０は、作業台２に対して着脱可能に組み付けられる構成であってもよいし、作業台２と一体に形成された構成であってもよい。ヒュームフード１０は、筐体１２と、カバー部１７と、排気装置１４と、昇降扉２０と、固定ガラス１５と、を備える。

【0021】

（筐体１２）
筐体１２は、一対の側部筐体１２ａと、接続筐体１２ｂと、を有する。図２に示すように、１対の側部筐体１２ａは、第２方向Ｄ２に間隔をあけて配置される。図３に示すように、側部筐体１２ａは、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる板状である。側部筐体１２ａの板面は、第２方向Ｄ２を向く。第２方向Ｄ２に見て、側部筐体１２ａは略長方形状である。

【0022】

図２に示すように、接続筐体１２ｂは、第２方向Ｄ２に延びる略直方体状である。接続筐体１２ｂの左側（＋Ｄ２側）の端部は、一方の側部筐体１２ａに固定され、各接続筐体１２ｂの右側（－Ｄ２側）の端部は、他方の側部筐体１２ａに固定される。

【0023】

（カバー部１７）
カバー部１７は、筐体１２を外側から覆う。図１に示すように、カバー部１７は、側方カバー１７ａと、天井板１７ｂと、と、化粧パネル１６と、前面カバー１９と、を有する。図４に示すように、カバー部１７は、背面板１７ｃを有する。

【0024】

図１に示すように、側方カバー１７ａは、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる板状である。側方カバー１７ａの板面は、第２方向Ｄ２を向く。第２方向Ｄ２に見て、側方カバー１７ａは、略長方形状である。側方カバー１７ａは、２個設けられる。各側方カバー１７ａのそれぞれは、一対の側部筐体１２ａそれぞれの外側面に固定される。

【0025】

天井板１７ｂは、第２方向Ｄ２に延びる板状である。天井板１７ｂの板面は、上下方向（Ｚ軸方向）を向く。上下方向に見て、天井板１７ｂは、略長方形状である。第２方向Ｄ２において、天井板１７ｂは、１対の側部筐体１２ａの間に配置される。天井板１７ｂは、１対の側部筐体１２ａの上側の部分に固定される。天井板１７ｂは、処理室Ｓ１の上側の部分を構成する。
背面板１７ｃは、第２方向Ｄ２に延びる板状である。図４に示すように、背面板１７ｃの板面は、第１方向Ｄ１を向く。図示は省略するが、第１方向Ｄ１に見て、背面板１７ｃは、略長方形状である。背面板１７ｃは、１対の側部筐体１２ａの後側（＋Ｄ１側）に固定される。背面板１７ｃは、処理室Ｓ１の後側（＋Ｄ１側）の部分を構成する。

【0026】

図１に示すように、化粧パネル１６は、第２方向Ｄ２に延びる板状である。化粧パネル１６の板面は、第１方向Ｄ１を向く。第１方向Ｄ１に見て、化粧パネル１６は略長方形状である。図示は省略するが、化粧パネル１６は、１対の側部筐体１２ａの前側（－Ｄ１側）、且つ、上側の部分同士を接続する接続筐体１２ｂに固定される。化粧パネル１６は、筐体１２の前側の上部を前側から覆う。

【0027】

前面カバー１９は、上下方向（Ｚ軸方向）延びる。前面カバー１９は、後述するガイドレール２４を前側から覆う。図２に示すように、前面カバー１９は、２個設けられる。各前面カバー１９のそれぞれは、一対の側部筐体１２ａそれぞれの前側に配置される。

【0028】

（排気装置１４）
排気装置１４は、処理室Ｓ１の内部の空気を排気する。図１に示すように、排気装置１４は、筐体１２および天井板１７ｂに固定される。図４に示すように、背面板１７ｃの前側（－Ｄ１側）には、処理室Ｓ１の内部の空気を排気装置１４まで導く排気通路Ｓ２を形成する上側バッフル板１７ｆおよび下側バッフル板１７ｇが配置される。下側に配置される下側バッフル板１７ｇは、２つのスペーサ部材１８ａを介して、背面板１７ｃに取り付けられる。また、上側に配置される上側バッフル板１７ｆは、上端が天井板１７ｂに取り付けられるとともに、下端が下側バッフル板１７ｇの上部に設けられる固定具１８ｂに保持される。処理室Ｓ１の内部の空気は、下側バッフル板１７ｇと天板３との間を介して、排気通路Ｓ２の内部に流れ込み、排気通路Ｓ２を上側に向けて流れた後、排気装置１４を介して図示しないダクトに送られて排気される。

【0029】

（固定ガラス１５）
図１に示すように、固定ガラス１５は、ヒュームフード１０の前面領域の上側の部分を塞ぐ。なお、本実施形態において、ヒュームフード１０の前面領域は、１対の側部筐体１２ａ、化粧パネル１６、および天板３によって構成される。前面領域は、前側（－Ｄ１側）に開口する。本実施形態において、固定ガラス１５は、強化ガラスで構成される。固定ガラス１５は、後述する垂直板ガイドレール２８に固定される。固定ガラス１５が、垂直板ガイドレール２８に固定される構成等については、後段で詳細に説明する。

【0030】

（昇降扉２０）
図５は、本実施形態に係るヒュームフード１０の一部を示す図２のＢ－Ｂ断面図である。図６は、本実施形態に係るヒュームフード１０の一部を示す図２のＣ－Ｃ断面図である。図７は、本実施形態に係るヒュームフード１０の一部を示す正面図である。図８は、本実施形態に係る接続部３０を示す斜視図である。図９は、本実施形態に係る接続部３０を示す分解斜視図である。図１０は、本実施形態に係る非作動時における落下防止装置４０を示す断面図である。図１１は、本実施形態の作動時における落下防止装置４０を示す断面図である。図１２は、本実施形態のストッパ部材６０を示す右側面図である。図１３は、本実施形態に係る当接部３７と被当接部６１ｂとが当接した状態のヒュームフード１０の一部を示す斜視図である。なお、図７では、前面カバー１９およびガイドレール２４の図示を省略している。

【0031】

昇降扉２０は、処理室Ｓ１の開口１０ａを上下方向（Ｚ軸方向）に開閉する機構である。昇降扉２０により、開口１０ａの図２に示す開口量Ｌｍを調整可能である。図５に示すように、昇降扉２０は、ガイドレール２４と、垂直板２１と、把持部材２２と、接続部３０と、ガイド部材４３と、吊架部材８０と、ストッパ部材６０と、を備える。なお、本実施形態において、ガイド部材４３は、垂直板２１の回動を抑制し、かつ、ガイドレール２４の内部を上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能な部材である。本実施形態において、ガイド部材４３は、後述する複数のローラ４４を含む。また、本実施形態において、開口１０ａは、１対の側部筐体１２ａ、天板３、および垂直板２１の下端部によって構成され、ヒュームフード１０の外部空間と処理室Ｓ１の内部空間とを互いに連通する。開口１０ａを介して、ヒュームフード１０の外部空間から処理室Ｓ１の内部空間に空気が流れる。

【0032】

ガイドレール２４は、垂直板２１、接続部３０、およびガイド部材４３の上下方向（Ｚ軸方向）への移動を案内する。図１に示すように、本実施形態において、ガイドレール２４は、２個設けられる。２個のガイドレール２４は、第２方向Ｄ２間隔をあけて配置される。一方のガイドレール２４は、垂直板２１の左側（＋Ｄ２側）に配置される。他方のガイドレール２４は、垂直板２１の右側（－Ｄ２側）に配置される。各ガイドレール２４のそれぞれは、各前面カバー１９それぞれの内部に配置される。本実施形態において、２個のガイドレール２４の形状は、第２方向Ｄ２と直交する面を対称面として略対称な形状である。以下の説明では、垂直板２１よりも左側のガイドレール２４についてのみ説明を行う場合がある。

【0033】

図３に示すように、ガイドレール２４は、前面カバー１９の後側（＋Ｄ１側）、かつ、側部筐体１２ａの前側（－Ｄ１側）に配置される。ガイドレール２４は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる。図５に示すように、ガイドレール２４は、右側（－Ｄ２側）に開口するガイドレール開口２４ａを有する中空状である。上下方向（Ｚ軸方向）に見て、ガイドレール２４は、略長方形状である。ガイドレール２４には、ローラ収容部２５と、ガイド凹部２６と、ストッパ部材収容部２７と、が設けられる。

【0034】

ローラ収容部２５は、ガイドレール２４の内側面のうち、右側（－Ｄ２側）を向く面から右側に突出する突出部２５ａと、突出部２５ａの前側（－Ｄ１側）に位置し第２方向Ｄ２に延びる第１壁部２４ｆとによって形成される。突出部２５ａの前側を向く面は、突出部２５ａの第２方向Ｄ２の両端から第２方向Ｄ２の中央に向かうにしたがって後側（＋Ｄ１側）に位置する屈曲面である。また、第１壁部２４ｆの後側を向く面は、第１壁部２４ｆの第２方向Ｄ２の両端から第２方向Ｄ２の中央に向かうにしたがって前側に位置する屈曲面である。

【0035】

ガイド凹部２６は、ガイドレール２４の右側（－Ｄ２側）を向く外側面が左側（＋Ｄ２側）に窪み、ガイドレール２４の左側を向く内側面がこれに倣って左側に突出する部分である。ガイド凹部２６は、右側に開口する。ガイド凹部２６は、ガイドレール開口２４ａよりも後側（＋Ｄ１側）に位置する。

【0036】

ストッパ部材収容部２７は、ガイドレール２４の前側（－Ｄ１側）を向く外側面が前側に突出し、ガイドレール２４の後側（＋Ｄ１側）を向く内側面がこれに倣って前側に窪む部分である。ストッパ部材収容部２７は、後側に開口する。ストッパ部材収容部２７は、ガイドレール開口２４ａよりも前側に位置する。ストッパ部材収容部２７には、孔部２７ａおよび第１配置孔２７ｂが設けられる。孔部２７ａは、ストッパ部材収容部２７を第２方向Ｄ２に貫通する孔である。図５に示すように、第１配置孔２７ｂは、ストッパ部材収容部２７を第１方向Ｄ１に貫通する孔である。図１２に示すように、第１配置孔２７ｂは、孔部２７ａよりも、下側に位置する。

【0037】

図６に示すように、ガイドレール２４の上側の部分には、垂直板ガイドレール２８および固定ガラス保持部材２９が固定される。
図４に示すように、垂直板ガイドレール２８は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる。垂直板ガイドレール２８は、垂直板２１が上下方向にスライド移動する際に垂直板２１を案内する。図６に示すように、垂直板ガイドレール２８は、収容部２８ａと、第１突出部２８ｂと、第２突出部２８ｃと、を有する。収容部２８ａは、上下方向に延び、右側（－Ｄ２側）に開口する四角筒状である。第２方向Ｄ２に見て、収容部２８ａの開口は、ガイドレール開口２４ａと重なる。第１突出部２８ｂは、収容部２８ａから後側（＋Ｄ１側）に突出し、ガイドレール２４に固定される。これにより、垂直板ガイドレール２８は、ガイドレール２４に固定される。第２突出部２８ｃは、収容部２８ａから前側（－Ｄ１側）に突出する。第２突出部２８ｃは、ストッパ部材収容部２７の内部に配置され、ガイドレール２４に対する垂直板ガイドレール２８の第２方向Ｄ２の位置を決める。

【0038】

固定ガラス保持部材２９は、ガイド凹部２６の内部に配置され、ガイド凹部２６に固定される。固定ガラス保持部材２９は、上下方向に延び、右側（－Ｄ２側）に開口する四角筒状である。

【0039】

垂直板２１は、ヒュームフード１０の開口１０ａのうち、固定ガラス１５よりも下側の部分を上下方向（Ｚ軸方向）に開閉する。本実施形態において、垂直板２１は、強化ガラスで構成される。図１に示すように、垂直板２１は、長辺が第２方向Ｄ２に延びる略長方形状の板状である。垂直板２１の板面は、第１方向Ｄ１を向く。図５に示すように、垂直板２１の下側の部分の左側（＋Ｄ２側）の端部は、ガイドレール開口２４ａを介してガイドレール２４の内部に挿入される。垂直板２１は、ガイドレール２４の内部を上下方向（Ｚ軸方向）にスライド可能である。
図６に示すように、垂直板２１の上側の部分の左側の端部は、垂直板ガイドレール２８の収容部２８ａの内部に挿入される。収容部２８ａの互いに第１方向Ｄ１に対向する内側面同士の間の寸法は、垂直板２１の板厚よりも僅かに大きい程度である。そのため、垂直板２１が上下方向へスライド移動する際に、垂直板ガイドレール２８によって、垂直板２１を上下方向に案内できる。また、垂直板２１が第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心として回動する場合、垂直板２１の第１方向Ｄ１を向く面が、収容部２８ａの第１方向Ｄ１を向く内側面と当接するため、垂直板２１の係る回動は抑制される。つまり、垂直板２１の係る回動は、垂直板２１自身によって抑制される。また、上述のように、垂直板２１は、ガイドレール２４の内部を上下方向に移動可能である。これらにより、本実施形態において、ガイド部材４３は、垂直板２１を含む。

【0040】

図２に示すように、把持部材２２は、垂直板２１の下端部に固定される。図５および図７に示すように、把持部材２２には、把持部材２２の上側を向く面から下側に窪む凹部２２ｂが設けられる。図７に示すように、垂直板２１の下端部は、凹部２２ｂの内部に収容されるとともに、凹部２２ｂの内側面に固定される。把持部材２２の上側の部分には、前側（－Ｄ１側）に突出する把持部２２ａが設けられる。把持部２２ａは、垂直板２１よりも前側、すなわち第１方向Ｄ１の他方側に突出する。これにより、使用者は、ヒュームフード１０の開口１０ａを上下方向（Ｚ軸方向）に開閉する際に、把持部２２ａを掴んで垂直板２１を上下方向にスライド移動させることができる。なお、本明細書において、「垂直板２１の下端部」とは、垂直板２１のうち、把持部材２２の内部に収容される部分である。垂直板２１の下端部は、垂直板の下端を含む。

【0041】

吊架部材８０は、垂直板２１を吊り支持する。図１に示すように、本実施形態において、吊架部材８０は、２個設けられる。一方の吊架部材８０は、垂直板２１の左側（＋Ｄ２側）の端部を吊り支持する。他方の吊架部材８０は、垂直板２１の右側（－Ｄ２側）の端部を吊り支持する。図８に示すように、本実施形態において、吊架部材８０は、ベルトである。吊架部材８０は、ワイヤであってもよい。吊架部材８０の後側（＋Ｄ１側）を向く面には、後側に突出する複数の突起部８０ａが設けられる。複数の突起部８０ａは、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って間隔をあけて設けられる。本実施形態において、各吊架部材８０の形状および、接続部３０および後述する錘８２と接続される構成等は、第２方向Ｄ２と直交する面を対称面として略対称である。以下の説明では、左側に配置される吊架部材８０についてのみ説明を行う場合がある。

【0042】

図３に示すように、吊架部材８０の一端は、ガイドレール２４の内部に位置する。図７に示すように、吊架部材８０の一端は、垂直板２１を保持する接続部３０に固定される。図５に示すように、ガイドレール２４の内部において、吊架部材８０は、垂直板２１よりも後側（＋Ｄ１側）に位置する。吊架部材８０は、垂直板２１よりも後側、すなわち第１方向Ｄ１の一方側において、接続部３０を介して垂直板２１を吊り支持する。図３に示すように、吊架部材８０は、２つの滑車８１に巻き掛けられる。吊架部材８０の他端は、錘８２に接続される。本実施形態において、錘８２は金属製の板状である。２つの錘８２の重量を足し合わせた重量は、垂直板２１、把持部材２２、および接続部３０それぞれの重量を足し合わせた重量と略同じ重量である。これにより、使用者は、垂直板２１を軽い力で昇降させることができる。なお、本実施形態において、錘８２は、側部筐体１２ａの左側（＋Ｄ２側）を向く面に固定され、錘８２の上下方向の移動を案内する錘ガイド８２ａの内部に収容される。

【0043】

図７に示すように、接続部３０は、吊架部材８０と接続されるとともに、垂直板２１を保持する。また、接続部３０は、使用者が垂直板２１を上側に移動させる際に、開口１０ａの開口量Ｌｍが大きくなりすぎることを抑制する役割をストッパ部材６０と共に担う。図２に示すように、本実施形態において、接続部３０は、２個設けられる。一方の接続部３０は、垂直板２１の左側（＋Ｄ２側）の下端部を保持する。他方の接続部３０は、垂直板２１の右側（－Ｄ２側）の下端部を保持する。本実施形態において、２個の接続部３０の構成等は、第２方向Ｄ２と直交する面を対称面として略対称である。以下の説明では、左側に配置される接続部３０についてのみ説明を行う場合がある。

【0044】

図５に示すように、接続部３０は、ガイドレール２４の内部に配置される。接続部３０は、ガイドレール２４の内部を上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能である。図７に示すように、接続部３０の上側の部分には、吊架部材８０の一端が固定される。接続部３０の下側の部分は、垂直板２１を保持する。図８に示すように、接続部３０は、本体部３１と、蓋部３４と、本体カバー３５と、エンド部材３６と、当接部３７と、を有する。図９に示すように、接続部３０は、弾性部材４１と、爪部材４２と、を有する。

【0045】

本体部３１は、本体側壁部３２と、本体上方部３３と、を有する。
本体側壁部３２は、長辺が上下方向（＋Ｚ軸方向）に延びる略長方形状の板状である。本体側壁部３２の板面は、第２方向Ｄ２を向く。本体側壁部３２には、長孔３２ａと、側壁孔３２ｃと、円環部３２ｄと、底壁部３２ｇと、回動抑制部３２ｊとが設けられる。長孔３２ａは、本体側壁部３２を第２方向Ｄ２に貫通する孔である。第２方向Ｄ２に見て、長孔３２ａは、上下方向（Ｚ軸方向）延びる長孔である。

【0046】

側壁孔３２ｃは、本体側壁部３２を第２方向Ｄ２に貫通する孔である。図示は省略するが、第２方向Ｄ２に見て、側壁孔３２ｃは、略円形状である。本実施形態において、側壁孔３２ｃは、２個設けられる。一方の側壁孔３２ｃは、長孔３２ａの上側に設けられ、他方の側壁孔３２ｃは、長孔３２ａの下側に設けられる。円環部３２ｄは、２つの側壁孔３２ｃのうち、上側の側壁孔３２ｃの外縁から右側（－Ｄ２側）に突出する円環状である。

【0047】

底壁部３２ｇは、本体側壁部３２の下側の部分から、右側（－Ｄ２側）に突出する。底壁部３２ｇは、支持面３２ｈを有する。支持面３２ｈは、底壁部３２ｇの外側面のうち、上側を向く面である。回動抑制部３２ｊは、本体側壁部３２の奥側（＋Ｄ１側）の端部のうち上縁部から右側（－Ｄ２側）に突出する板状である。回動抑制部３２ｊの板面は、第１方向Ｄ１を向く。

【0048】

本体上方部３３は、本体側壁部３２の上端から上側に延びる。第１方向Ｄ１に見て、本体上方部３３は、略長方形状である。本体上方部３３の前側（－Ｄ１側）を向く面には、後側（＋Ｄ１側）に窪む本体穴部３３ａが設けられる。本実施形態において、本体穴部３３ａは、４個設けられる。各本体穴部３３ａは、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って間隔をあけて設けられる。図示は省略するが、各本体穴部３３ａには、図８に示す、吊架部材８０の突起部８０ａが挿入される。

【0049】

蓋部３４は、本体上方部３３に固定される。蓋部３４は、第１蓋部３４ａと、第２蓋部３４ｂと、を有する。蓋部３４には、孔３４ｄが設けられる。第１蓋部３４ａは、板面が第１方向Ｄ１を向く板状である。第１蓋部３４ａは、本体上方部３３の前側（－Ｄ１側）に配置される。第２蓋部３４ｂは、板面が上下方向（Ｚ軸方向）を向く板状である。第２蓋部３４ｂの前側の端部は、第１蓋部の上側の端部と繋がる。第２蓋部３４ｂは、本体上方部３３の上側に配置される。孔３４ｄは、第２蓋部３４ｂを上下方向に貫通する孔である。図８に示すように、孔３４ｄには、吊架部材８０が上下方向に通される。上述のように、吊架部材８０の複数の突起部８０ａは、本体上方部３３の本体穴部３３ａに挿入される。第１蓋部３４ａがねじによって本体上方部３３の前側を向く面に固定されると、第１蓋部３４ａによって、吊架部材８０が本体上方部３３に押し付けられるため、複数の突起部８０ａが本体穴部３３ａから外れることを抑止できる。これにより、吊架部材８０が接続部３０に固定される。

【0050】

本体カバー３５は、本体側壁部３２の右側（－Ｄ２側）に配置され、本体側壁部３２に固定される。図９に示すように、本体カバー３５は、長辺が上下方向（＋Ｚ軸方向）に延びる略長方形状の板状である。本体カバー３５には、カバー突出部３５ａが設けられる。図８に示すように、本体カバー３５には、カバー凹部３５ｂが設けられる。

【0051】

図９に示すように、カバー突出部３５ａは、左側（＋Ｄ２側）に突出する略円筒状である。本実施形態において、カバー突出部３５ａは、２個設けられる。第２方向Ｄ２に見て、各カバー突出部３５ａは、本体部３１の側壁孔３２ｃと重なる。図８に示すように、カバー凹部３５ｂは、本体カバー３５の左側を向く面から右側に窪む穴である。図示は省略するが、カバー凹部３５ｂは、上下方向に延びる長穴である。

【0052】

図７に示すように、エンド部材３６は、把持部材２２に固定され、把持部材２２を介して、垂直板２１を保持する。図９に示すように、エンド部材３６は、固定部３６ａと、第１部分３６ｃと、第２部分３６ｄと、を有する。

【0053】

固定部３６ａは、長辺が第２方向Ｄ２に延びる略長方形状の板状である。固定部３６ａの板面は、第１方向Ｄ１を向く。図７に示すように、固定部３６ａの右側（－Ｄ２側）の部分は、把持部材２２の凹部２２ｂの内部に挿入され、凹部２２ｂの内側面に固定される。これにより、接続部３０は、把持部材２２を介して、垂直板２１を保持する。なお、本実施形態において、垂直板２１の下端部の左側の端部側の部分は、上側に窪み、固定部３６ａの上側に位置する。固定部３６ａの左側の端部の上側を向く面には、当接部３７が固定される。

【0054】

本実施形態において、当接部３７は、上下方向（Ｚ軸方向）に突出する円柱状である。当接部３７は、上下方向に突出する角柱状および円環状等の他の形状であってもよい。第２方向Ｄ２に見て、当接部３７は、垂直板２１のうち、把持部材２２の内部に収容される部分、すなわち垂直板２１の下端部と重なる。また、第２方向Ｄ２に見て、当接部３７は、把持部２２ａと重なる。図５に示すように、当接部３７は、垂直板２１の左側（＋Ｄ２側）に配置される。当接部３７は、ガイドレール２４の内部に収容される。

【0055】

図９に示すように、第１部分３６ｃは、固定部３６ａの左側（＋Ｄ２側）の端部から上側に延びる板状である。第１部分３６ｃの板面は、第２方向Ｄ２を向く。
第２部分３６ｄは、第１部分３６ｃの上側の部分から後側（＋Ｄ１側）に延びる板状である。第２部分３６ｄの板面は、第２方向Ｄ２を向く。第２部分３６ｄには、第１凸部３６ｅと、第２凸部３６ｆと、突起３６ｇと、が設けられる。

【0056】

第１凸部３６ｅは、第２部分３６ｄの左側（＋Ｄ２側）を向く面から左側に突出する。図８に示すように、第１凸部３６ｅは、本体部３１の長孔３２ａの内部に位置する。図９に示すように、第２凸部３６ｆは、第２部分３６ｄの右側（－Ｄ２側）を向く面から右側に突出する。図示は省略するが、第２凸部３６ｆは、図８に示す本体カバー３５のカバー凹部３５ｂの内部に位置する。図９に示すように、突起３６ｇは、第２部分３６ｄの下側を向く面から下側に突出する略円柱状である。

【0057】

図８に示すように、複数のローラ４４は、本体部３１の左側（＋Ｄ２側）に配置される。本実施形態において、ローラ４４は、２個設けられる。各ローラ４４は、上下方向（Ｚ軸方向）に間隔をあけて並んで配置される。図９に示すように、各ローラ４４は、第２方向Ｄ２に延びる軸部４４ａと、軸部４４ａを中心とする円環状の円環部４４ｂと、を有する。円環部４４ｂは、軸部４４ａの左側の端部と繋がる。各ローラ４４それぞれの軸部４４ａは、本体部３１の側壁孔３２ｃを第２方向Ｄ２に通され、本体カバー３５のカバー突出部３５ａの内部に挿入され、カバー突出部３５ａに回動可能に支持される。これにより、複数のローラ４４は、接続部３０に回動可能に支持される。

【0058】

図５に示すように、各ローラ４４は、ガイドレール２４のローラ収容部２５の内部に配置される。ローラ収容部２５の前側（－Ｄ１側）を向く内面および後側（＋Ｄ１側）を向く内面はそれぞれ、各ローラ４４の円環部４４ｂの外周面と接触する。これにより、ローラ収容部２５は、各ローラ４４が上下方向に移動する際に、各ローラを上下方向に案内できる。また、本実施形態では、複数のローラ４４が上下方向に並んで配置されるため、垂直板２１が第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心として回動しようとすると、各ローラ４４がローラ収容部２５の前側を向く内面および後側を向く内面と接触するため、接続部３０が回動することを抑制できる。これにより、垂直板２１の係る回動を抑制できる。つまり、本実施形態において、ガイド部材４３は、複数のローラ４４を含む。なお、昇降扉２０が有するローラ４４の個数は、２個に限定されず、３個以上のローラ４４を有してもよい。

【0059】

図１０に示すように、弾性部材４１は、本体部３１の底壁部３２ｇに載置される。弾性部材４１は、支持面３２ｈによって上下方向（Ｚ軸方向）に伸縮可能に支持される。本実施形態において、弾性部材４１は、コイルばねである。弾性部材４１の内部には、突起３６ｇが上下方向に通される。弾性部材４１の上端は、エンド部材３６の第２部分３６ｄと接触する。これらにより、垂直板２１を保持するエンド部材３６は、弾性部材４１を介して、底壁部３２ｇに載置される。垂直板２１および把持部材２２の荷重は、エンド部材３６および弾性部材４１を介して、本体部３１に加わる。

【0060】

図９に示すように、爪部材４２は、第１方向Ｄ１に延びる板状である。爪部材４２の板面は、第２方向Ｄ２を向く。爪部材４２には、爪部孔４２ａと、爪部４２ｂと、が設けられる。爪部孔４２ａは、爪部材４２を第１方向Ｄ１に貫通する孔である。爪部孔４２ａは、爪部材４２の上側の部分に設けられる。図１０に示すように、爪部孔４２ａの内部には、本体カバー３５のカバー突出部３５ａが第１方向Ｄ１に通される。爪部材４２は、カバー突出部３５ａを中心に回動可能に本体カバー３５に支持される。爪部材４２の後側（＋Ｄ１側）の部分は、本体部３１と本体カバー３５との間の隙間を介して、本体部３１および本体カバー３５よりも後側に突出する。爪部材４２の下側を向く面は、エンド部材３６の第２部分３６ｄの上端と略上下方向（Ｚ軸方向）に接触する。

【0061】

爪部４２ｂは、爪部材４２の後側（＋Ｄ１）の端部に設けられる。爪部４２ｂは、爪部材４２の外側面に沿って設けられる複数の爪４２ｃを有する。複数の爪４２ｃのそれぞれは、略後側に向けて突出する。

【0062】

本実施形態において、接続部３０は、落下防止装置４０を有する。落下防止装置４０は、吊架部材８０が切断した場合、および吊架部材８０が錘８２から外れた場合などの非常時に作動し、垂直板２１が落下することを防止する。本実施形態において、落下防止装置４０は、本体部３１、本体カバー３５、エンド部材３６、弾性部材４１、および爪部材４２によって構成される。

【0063】

以下、落下防止装置４０の動作について説明する。なお、以下の説明において、通常状態は、接続部３０が吊架部材８０を介して錘８２と正常に接続されている状態である。非常状態は、吊架部材８０が切断した場合、および吊架部材８０が錘８２から外れた場合など、接続部３０が吊架部材８０を介して錘８２と接続されていない状態である。また、以下の説明では、「垂直板２１および把持部材２２」を、「垂直板２１等」と呼ぶ場合がある。

【0064】

図１０に示すように、通常状態では、垂直板２１等の荷重がエンド部材３６を介して弾性部材４１に加わり、弾性部材４１は圧縮される。このとき、爪部材４２は、後側（＋Ｄ１側）と下側との間を向く方向を向き、ガイドレール２４と第１方向Ｄ１隙間をあけて配置される。そのため、爪部材４２が、ガイドレール２４に設けられる係止孔２４ｇに引っ掛かることを抑制できるため、使用者は垂直板２１等を昇降できる。なお、通常状態において、使用者が垂直板２１等を昇降する場合、弾性部材４１は上下方向に延びないため、本体部３１とエンド部材３６との相対位置は変化しない。係止孔２４ｇは、ガイドレール２４の後側の部分に設けられ、ガイドレール２４の後側の部分を第１方向Ｄ１に貫通する孔である。係止孔２４ｇは、上下方向に沿って間隔をあけて複数設けられる。

【0065】

非常状態では、垂直板２１等および接続部３０が共に落下するが、弾性部材４１の付勢力により本体部３１が下側に付勢されているため、垂直板２１等およびエンド部材３６の落下速度よりも若干早く本体部３１が下側に落下する。そのため、図１１に示すように、エンド部材３６が本体部３１に対して相対的に上側に移動する。このとき、エンド部材３６の第１凸部３６ｅは、長孔３２ａの内部を上側に移動する。図示は省略するが、エンド部材３６の第２凸部３６ｆ（図９参照）は、本体カバー３５のカバー凹部３５ｂ（図８参照）の内部を上側に移動する。本体部３１に対して相対的に上側に移動するエンド部材３６が爪部材４２を下側から押圧すると、爪部材４２はカバー突出部３５ａを中心に左側（＋Ｄ２側）から見て時計回りに回動する。これにより、爪部材４２の後側（＋Ｄ１側）の部分が後側に突出するように回動するため、爪部材４２の後側の部分は、ガイドレール２４の係止孔２４ｇに係止される。また、爪部材４２は、本体部３１の回動抑制部３２ｊに下側から当接するため、左側から見て時計回りへの回動が規制される。これにより、爪部材４２が係止孔２４ｇから外れることを防止できる。これらにより、垂直板２１等および接続部３０の落下が阻止される。つまり、吊架状態が解除された非常状態において、弾性部材４１の付勢力により垂直板２１と本体部３１とが相対移動することで、爪部材４２がガイドレール２４に係止され、垂直板２１等および接続部３０の落下が阻止される。
なお、爪部材４２の爪部４２ｂが、ガイドレール２４の内側面に接触することで生じる摩擦力により、垂直板２１等および接続部３０の落下を阻止することもできる。

【0066】

本実施形態によれば、接続部３０は、垂直板２１が落下することを防止する落下防止装置４０を有する。よって、吊架部材８０が切断した場合、および吊架部材８０が錘８２から外れた場合などの非常状態においても、垂直板２１が落下することを阻止できる。したがって、非常状態においても、垂直板２１等が天板３等に衝突することによって損傷することを抑制できるとともに、垂直板２１の下側に置かれる物品等が損傷することを抑制できる。

【0067】

次に、開口１０ａの開口量Ｌｍが大きくなりすぎることを制限するストッパ部材６０について説明する。図１２に示すように、ストッパ部材６０は、第２方向Ｄ２に見て略Ｌ字形状である。図５に示すように、ストッパ部材６０は、垂下部６１と、第１中間部６２と、第２中間部６３と、操作部６４と、を有する。

【0068】

図１２に示すように、垂下部６１は、略上下方向（Ｚ軸方向）に延びる板状である。垂下部６１の板面は、第２方向Ｄ２を向く。図５に示すように、垂下部６１は、ガイドレール２４のストッパ部材収容部２７に収容される。上下方向（Ｚ軸方向）に見て、垂下部６１は、接続部３０の当接部３７と重なる。図１２に示すように、垂下部６１は、貫通孔６１ａと、被当接部６１ｂと、を有する。

【0069】

貫通孔６１ａは、垂下部６１を第２方向Ｄ２に貫通する孔である。貫通孔６１ａは、垂下部６１の上側の部分に設けられる。図５に示すように、第２方向Ｄ２に見て、貫通孔６１ａは、ガイドレール２４の孔部２７ａと重なる。貫通孔６１ａおよび孔部２７ａには、第２方向Ｄ２に延び、ガイドレール２４に固定される軸部材６８が通される。これにより、ストッパ部材６０は、軸部材６８を中心に回動可能である。ストッパ部材６０は、軸部材６８を介して、ガイドレール２４に回動可能に支持される。

【0070】

図１２に示すように、被当接部６１ｂは、垂下部６１の下側を向く面である。被当接部６１ｂは、接続部３０の当接部３７と、上下方向（＋Ｚ軸方向）に当接可能である。被当接部６１ｂは、軸部材６８よりも下側に位置する。つまり、ストッパ部材６０は、被当接部６１ｂよりも上側の位置でガイドレール２４に回動可能に支持される。

【0071】

第１中間部６２は、垂下部６１の下側の部分から前側（－Ｄ１側）に突出する。図５に示すように、第１中間部６２は、ガイドレール２４の第１配置孔２７ｂを第１方向Ｄ１に通される。第１中間部６２の前側の端部は、ガイドレール２４と前面カバー１９の間に位置する。第２中間部６３は、第１中間部６２の前側の端部から右側（－Ｄ２側）に延びる。第２中間部６３は、前面カバー１９に設けられる第２配置孔１９ａを第２方向Ｄ２に通される。第２中間部６３の右側の端部は、前面カバー１９の外部に位置する。

【0072】

操作部６４は、第２中間部６３の右側（－Ｄ２側）の端部から前側（－Ｄ１側）に突出する板状である。操作部６４の板面は、第２方向Ｄ２を向く。図１３に示すように、操作部６４は、垂直板２１および把持部材２２よりも前側に位置する。図１２に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において、操作部６４の位置は、被当接部６１ｂの位置と同じ位置である。操作部６４の前側の部分には、使用者等が操作部６４を摘まみ易いように湾曲状に窪む摘み部６４ａが設けられる。

【0073】

第１方向Ｄ１において、ストッパ部材６０の垂下部６１とガイドレール２４のストッパ部材収容部２７の内側面との間には、ストッパ部材６０を後側（＋Ｄ１側）に付勢する板ばね部材６９が設けられる。板ばね部材６９の下端は、垂下部６１の下側の部分に固定される。板ばね部材６９の上端は、ストッパ部材収容部２７の内側面と接触する。ストッパ部材６０は、板ばね部材６９の付勢力により軸部材６８を中心として回動付勢される。これにより、被当接部６１ｂは、接続部３０が上下方向に移動する際の当接部３７の通過領域に位置する。当接部３７がストッパ部材６０の下側に位置するとき、被当接部６１ｂは、当接部３７に対して上方から当接可能な位置に位置する。つまり、ストッパ部材６０は、当接部３７に対して上方から当接可能な位置に位置する。

【0074】

使用者が、図１３に示す把持部材２２の把持部２２ａを掴んで垂直板２１を上側にスライド移動させる際に、開口１０ａが所定の開口量に開放されると、図１２に示すように、当接部３７は被当接部６１ｂと当接する。これにより、垂直板２１の上側への移動が規制され、開口１０ａの開口量が大きくなりすぎることを制限できる。したがって、開口１０ａから処理室Ｓ１の内部に流れ込む給気量が排気装置１４の排気量を上回ることを抑制でき、処理室Ｓ１の内部の空気が使用者に向かって流れ出すことを抑制できる。

【0075】

また、上述のように、ストッパ部材６０は、第２方向Ｄ２に延びる軸部材６８を中心に回動可能である。そのため、使用者が操作部６４を摘み、操作部６４を前側（－Ｄ１側）または上側に移動させると、板ばね部材６９の付勢力に抗して、ストッパ部材６０は右側（－Ｄ２側）から見て軸部材６８を中心として時計回りに回動する。これにより、被当接部６１ｂは、接続部３０が上下方向に移動する際の当接部３７の通過領域よりも前側に移動する。つまり、ストッパ部材６０が回動することによって、ストッパ部材６０は、被当接部６１ｂが当接部３７に対して上方から当接可能な位置、および被当接部６１ｂが当接部３７と当接しない位置との間で移動可能である。すなわち、ストッパ部材６０は、当接部３７に対して上方から当接可能な位置、および当接部３７と当接しない位置との間で移動可能である。

【0076】

使用者は、被当接部６１ｂを当接部３７と当接しない位置に移動させると、垂直板２１の下端部をストッパ部材６０よりも上側に移動させることができる。これにより、使用者は、操作部６４を前側（－Ｄ１側）または上側に移動させる簡単な操作により、ストッパ部材６０のストッパ機能を容易に解除でき、開口１０ａを所定の開口量を超えて開放できる。

【0077】

また、図１３に示すように、ストッパ部材６０の操作部６４は、垂直板２１の前側（－Ｄ１側）に配置されるため、使用者は、把持部材２２の把持部２２ａを掴んで垂直板２１を上側に移動させつつ、操作部６４を移動させてストッパ機能の解除を容易に行うことができる。

【0078】

なお、本実施形態では、図１０に示すように、本体部３１の底壁部３２ｇとエンド部材３６との間に弾性部材４１が配置される。そのため、エンド部材３６に設けられる当接部３７とストッパ部材６０の被当接部６１ｂとが当接する際に、当接部３７、エンド部材３６、およびストッパ部材６０のそれぞれに加わる衝撃を弾性部材４１によって緩衝できる。これにより、当接部３７と被当接部６１ｂとが当接する際の衝突音を抑制できる。

【0079】

本実施形態によれば、昇降扉２０、およびヒュームフード１０は、当接部３７を有し、垂直板２１の下端部を保持する接続部３０と、垂直板２１よりも後側、すなわち第１方向Ｄ１の一方側（＋Ｄ１側）の位置において、接続部３０を介して垂直板２１を吊り支持する吊架部材８０と、ガイドレール２４に支持されるストッパ部材６０と、を備え、第２方向Ｄ２に見て、当接部３７は、垂直板２１の下端部と重なり、ストッパ部材６０は、当接部３７に対して上方から当接可能な位置、および当接部３７と当接しない位置との間で移動可能である。よって、図５に示すように、接続部３０を構成する本体部３１および本体カバー３５等の部材を、垂直板２１よりも後側にずれた位置に配置できるため、図５および図７に示すように、当接部３７を垂直板２１の下端部の左側（＋Ｄ２側）に配置し易い。そのため、図７に示すように、第２方向Ｄ２に見て、当接部３７を垂直板２１の下端部に重ねて配置できる。つまり、上下方向（＋Ｚ軸方向）における当接部３７の位置を垂直板２１の下端部の位置と同じ位置にできる。そのため、使用者が、垂直板２１を上側に移動させる場合において、ストッパ部材６０が当接部３７に対して上方から当接して、垂直板２１の上側への移動が規制される際の上下方向における垂直板２１の下端部の位置をストッパ部材６０の位置に近づけることができる。したがって、使用者が垂直板２１の上側への移動が規制される際の垂直板２１の位置を容易に認識できるため、垂直板２１を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができる。

【0080】

また、本実施形態では、上述のように、ストッパ部材６０は、当接部３７に対して上方から当接可能な位置、および当接部３７と当接しない位置との間で移動可能である。よって、ストッパ部材６０によって、垂直板２１の上側への移動を規制できるとともに、ストッパ部材６０を移動させることによって、ストッパ部材６０のストッパ機能を解除でき、垂直板２１の下端部をストッパ部材６０よりも上側に移動させることができる。これにより、使用者が、処理室Ｓ１の内部の清掃やメンテナンスを行う際には、開口１０ａを大きく開放できる。

【0081】

また、本実施形態では、上述のように、接続部３０を構成する本体部３１および本体カバー３５等の部材を、垂直板２１よりも後側（＋Ｄ１側）にずらして配置できる。そのため、本体部３１および本体カバー３５等の部材を、当接部３７を挟んで、垂直板２１の左側（＋Ｄ２側）に配置する場合と比較して、昇降扉２０およびヒュームフード１０が第２方向Ｄ２に大型化することを抑制できる。なお、本実施形態では、図５に示すように、第１方向Ｄ１に見て、接続部３０を側部筐体１２ａと重ねて配置できる。そのため、接続部３０を設けることによって、昇降扉２０およびヒュームフード１０が第２方向Ｄ２に大型化することをより好適に抑制できる。

【0082】

本実施形態によれば、ストッパ部材６０は、当接部３７と当接する被当接部６１ｂを有し、且つ、被当接部６１ｂよりも上側の位置でガイドレール２４に回動可能に支持され、ストッパ部材６０が回動することによって、ストッパ部材６０は、被当接部６１ｂが当接部３７に対して上方から当接可能な位置、および被当接部６１ｂが当接部３７と当接しない位置との間で移動可能である。よって、ストッパ部材６０を回動させる簡易な操作によって、ストッパ部材６０による垂直板２１の上側への移動の規制および係る規制の解除を行うことができる。したがって、使用者が垂直板２１を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができる。

【0083】

また、本実施形態では、ストッパ部材６０および当接部３７によって、垂直板２１の上側への移動の規制および係る規制を解除できるため、垂直板２１の上側への移動の規制および係る規制の解除を行う構成の簡略化を図ることができる。したがって、昇降扉２０およびヒュームフード１０の部品点数および製造コストが増大することを抑制できる。

【0084】

本実施形態によれば、垂直板２１の下端部には、垂直板２１よりも前側、すなわち第１方向Ｄ１の他方側（－Ｄ１側）に突出する把持部材２２が設けられ、第２方向Ｄ２に見て、把持部材２２は、当接部３７と重なる。よって、使用者は、把持部材２２を把持して垂直板２１を上側に移動できるため、垂直板２１を上側に移動させる作業の簡易化を図ることができるとともに、垂直板２１の上側への移動が規制される際の上下方向における把持部材２２の位置をストッパ部材６０の位置に近づけることができる。したがって、使用者が垂直板２１の上側への移動が規制される際の垂直板２１の位置をより容易に認識できるため、垂直板２１を上側に移動させる作業をより簡易にできる。

【0085】

本実施形態によれば、昇降扉２０、およびヒュームフード１０は、垂直板２１の回動を防止し、かつ、ガイドレール２４に沿って上下方向に移動可能なガイド部材４３を備える。上述のように、本実施形態では、吊架部材８０は、垂直板２１よりも後側（＋Ｄ１側）において、接続部３０を介して垂直板２１を吊り支持するため、垂直板２１は第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心に回動し易くなるものの、ガイド部材４３によって垂直板２１の係る回動を抑制できる。したがって、垂直板２１の揺動および振動を好適に抑制できる。

【0086】

本実施形態によれば、ガイド部材４３は、接続部３０に回動可能に支持され、上下方向に並んで配置される複数のローラ４４を含む。よって、垂直板２１が第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心として回動しようとすると、各ローラ４４がローラ収容部２５の内面と接触するため、接続部３０が回動することを抑制できる。これにより、垂直板２１の係る回動を好適に抑制できる。

【0087】

なお、上述のように、本実施形態において、ガイド部材４３は、垂直板２１を含み、垂直板２１のうち上側の部分が、ガイドレール２４に固定される垂直板ガイドレール２８によってガイドされ、垂直板２１が第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心として回動しようとすると、垂直板２１の第１方向Ｄ１を向く面が、収容部２８ａの内側面と当接する。これにより、垂直板２１が第２方向Ｄ２と平行な回動軸を中心として回動することをより好適に抑制できる。したがって、垂直板２１の揺動および振動をより好適に抑制できる。

【0088】

以上、本発明による昇降扉、およびヒュームフードの実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

【0089】

その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。

【符号の説明】

【0090】

１０ ヒュームフード
２０ 昇降扉
２１ 垂直板
２２ 把持部材
２４ ガイドレール
３０ 接続部
３７ 当接部
４０ 落下防止装置
４３ ガイド部材
４４ ローラ
６０ ストッパ部材
６１ｂ 被当接部
８０ 吊架部材
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】