特開 2024-66841 圧力センサおよび圧力センサの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024066841

(43)【公開日】2024-05-16

(54)【発明の名称】圧力センサおよび圧力センサの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/14 20060101AFI20240509BHJP

【ＦＩ】

G01L19/14

【審査請求】未請求

【請求項の数】19

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022176587

(22)【出願日】2022-11-02

(71)【出願人】

【識別番号】000005234

【氏名又は名称】富士電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】加藤 博文

【テーマコード（参考）】

2F055

【Ｆターム（参考）】

2F055GG22

2F055GG25

(57)【要約】

【解決手段】圧力検知部と、予め定められた第１面および第２面を有し、前記第１面側に前記圧力検知部を収容する金属筐体部と、前記第２面に設けられた絶縁性の電着被膜と、前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部と、を備える、圧力センサを提供する。予め定められた第１面および第２面を有する金属筐体部の前記第１面に圧力検知部を設ける段階と、前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部を設ける段階と、電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける段階と、を備える、圧力センサの製造方法を提供する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力検知部と、
予め定められた第１面および第２面を有し、前記第１面側に前記圧力検知部を収容する金属筐体部と、
前記第２面に設けられた絶縁性の電着被膜と、
前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部と、
を備える、圧力センサ。

【請求項2】

前記金属筐体部の前記貫通孔に充填された絶縁性の充填部を備え、
前記金属導電部は、前記充填部を貫通する、
請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項3】

前記電着被膜は、前記充填部上には形成されない、請求項２に記載の圧力センサ。

【請求項4】

前記金属筐体部は、前記圧力検知部が設けられる底部と、前記底部の外周と連結した段差部と、前記段差部の外周と連結した縁部とを有し、
前記電着被膜は、前記底部、前記段差部および前記縁部の前記第２面を覆う、
請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項5】

前記電着被膜は、前記金属導電部と離間して設けられる、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項6】

前記電着被膜の厚さは、２０μｍ以上、８０μｍ以下である、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項7】

前記電着被膜の材料は、エポキシ樹脂またはポリアミドの少なくとも１つを含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項8】

前記電着被膜の材料は、イオン化可能である、請求項７に記載の圧力センサ。

【請求項9】

前記金属筐体部の前記第１面側に設けられるダイアフラム部と、
前記金属筐体部と前記ダイアフラム部とによって封止された領域に充填されるオイルからなるオイル部と、
を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項10】

前記金属筐体部の前記第２面側に設けられ、前記金属導電部を前記圧力センサの外部と電気的に接続するためのコネクタを収容するハウジングと、
前記電着被膜と前記ハウジングとを接着する接着部と、
を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項11】

前記接着部は、前記第２面側において、前記貫通孔の周囲に設けられる、請求項１０に記載の圧力センサ。

【請求項12】

前記接着部は、エポキシ樹脂を含む、請求項１０に記載の圧力センサ。

【請求項13】

前記接着部の材料は、前記電着被膜の材料と組成が異なる、請求項１０に記載の圧力センサ。

【請求項14】

前記電着被膜の厚みは、前記接着部の厚みよりも薄い、請求項１０に記載の圧力センサ。

【請求項15】

前記電着被膜は、前記接着部と接着した接着領域と、前記接着部と接着していない非接着領域とを有する、請求項１１に記載の圧力センサ。

【請求項16】

予め定められた第１面および第２面を有する金属筐体部の前記第１面に圧力検知部を設ける段階と、
前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部を設ける段階と、
電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける段階と、
を備える、圧力センサの製造方法。

【請求項17】

電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階の前に、前記金属筐体部の前記貫通孔を充填する絶縁性の充填部を設ける段階を備え、
前記金属導電部は、前記充填部を貫通し、
前記電着被膜は、前記充填部上には形成されない、
請求項１６に記載の圧力センサの製造方法。

【請求項18】

前記金属筐体部の前記貫通孔を充填する絶縁性の充填部を設ける前記段階の後に、電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階の前に、
前記金属筐体部の前記第１面側にダイアフラム部を設ける段階と、
前記金属筐体部と前記ダイアフラム部とによって封止された領域にオイルを充填する段階と、
前記オイルを充填するための注入孔を封止する段階と、
を備える、請求項１７に記載の圧力センサの製造方法。

【請求項19】

前記金属導電部を前記圧力センサの外部と電気的に接続するためのコネクタを収容するハウジングを、接着部をアニール処理することによって前記金属筐体部の前記第２面側に接着する段階を備え、
電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階は、前記電着被膜をアニール処理する段階を含み、
前記電着被膜のアニール処理温度は、前記接着部のアニール処理温度より高い、
請求項１６から１８のいずれか一項に記載の圧力センサの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力センサおよび圧力センサの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、「半導体型圧力検出装置を収容した液封入式の圧力センサ」が記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開２０１６－１９１６５６号公報

【発明の概要】

【0003】

本発明の第１の態様においては、圧力検知部と、予め定められた第１面および第２面を有し、前記第１面側に前記圧力検知部を収容する金属筐体部と、前記第２面に設けられた絶縁性の電着被膜と、前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部と、を備える、圧力センサを提供する。

【0004】

前記圧力センサにおいて、前記金属筐体部の前記貫通孔に充填された絶縁性の充填部を備えてよい。前記金属導電部は、前記充填部を貫通してよい。

【0005】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜は、前記充填部上には形成されなくてよい。

【0006】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記金属筐体部は、前記圧力検知部が設けられる底部と、前記底部の外周と連結した段差部と、前記段差部の外周と連結した縁部とを有してよい。前記電着被膜は、前記底部、前記段差部および前記縁部の前記第２面を覆ってよい。

【0007】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜は、前記金属導電部と離間して設けられてよい。

【0008】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜の厚さは、２０μｍ以上、８０μｍ以下であってよい。

【0009】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜の材料は、エポキシ樹脂またはポリアミドの少なくとも１つを含んでよい。

【0010】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜の材料は、イオン化可能であってよい。

【0011】

上記いずれかの圧力センサは、前記金属筐体部の前記第１面側に設けられるダイアフラム部と、前記金属筐体部と前記ダイアフラム部とによって封止された領域に充填されるオイルからなるオイル部と、を備えてよい。

【0012】

上記いずれかの圧力センサは、前記金属筐体部の前記第２面側に設けられ、前記金属導電部を前記圧力センサの外部と電気的に接続するためのコネクタを収容するハウジングと、前記電着被膜と前記ハウジングとを接着する接着部と、を備えてよい。

【0013】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記接着部は、前記第２面側において、前記貫通孔の周囲に設けられてよい。

【0014】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記接着部は、エポキシ樹脂を含んでよい。

【0015】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記接着部の材料は、前記電着被膜の材料と組成が異なってよい。

【0016】

上記いずれかの圧力センサにおいて、前記電着被膜の厚みは、前記接着部の厚みよりも薄くてよい。

【0017】

前記電着被膜は、前記接着部と接着した接着領域と、前記接着部と接着していない非接着領域とを有してよい。

【0018】

本発明の第２の態様においては、予め定められた第１面および第２面を有する金属筐体部の前記第１面に圧力検知部を設ける段階と、前記圧力検知部と電気的に接続され、前記金属筐体部の貫通孔を貫通して、前記金属筐体部の外部に延伸する金属導電部を設ける段階と、電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける段階と、を備える、圧力センサの製造方法を提供する。

【0019】

前記圧力センサの製造方法において、電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階の前に、前記金属筐体部の前記貫通孔を充填する絶縁性の充填部を設ける段階を備えてよい。前記金属導電部は、前記充填部を貫通してよい。前記電着被膜は、前記充填部上には形成されなくてよい。

【0020】

上記いずれかの圧力センサの製造方法は、前記金属筐体部の前記貫通孔を充填する絶縁性の充填部を設ける前記段階の後に、電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階の前に、前記金属筐体部の前記第１面側にダイアフラム部を設ける段階と、前記金属筐体部と前記ダイアフラム部とによって封止された領域にオイルを充填する段階と、前記オイルを充填するための注入孔を封止する段階と、を備えてよい。

【0021】

上記いずれかの圧力センサの製造方法は、前記金属導電部を前記圧力センサの外部と電気的に接続するためのコネクタを収容するハウジングを、接着部をアニール処理することによって前記金属筐体部の前記第２面側に接着する段階を備えてよい。電着処理により前記金属筐体部の前記第２面に絶縁性の電着被膜を設ける前記段階は、前記電着被膜をアニール処理する段階を含んでよい。前記電着被膜のアニール処理温度は、前記接着部のアニール処理温度より高くてよい。

【0022】

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】圧力センサ１００の斜視図の一例を示す。

【図2】図１で示した圧力センサ１００のＡ－Ａ'断面図の一例を示す。

【図3】比較例の圧力センサ５００のＡ－Ａ'断面図の一例を示す。

【図4A】圧力センサ１００の変形例を示す。

【図4B】図４Ａで示した圧力センサ１００の第２面視の一例を示す。

【図5A】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【図5B】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【図5C】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【図5D】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【図5E】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【図5F】図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

【0025】

図１は、圧力センサ１００の斜視図の一例を示す。圧力センサ１００は、圧力検知部１０と、金属筐体部２０と、電着被膜３０と、金属導電部４０と、充填部４２と、オイル注入孔７０とを備える。

【0026】

圧力検知部１０は、圧力センサ１００の受圧空間内の圧力を検知する。圧力検知部１０は、半導体基板を用いた圧力センサチップであってよいが、これに限定されない。圧力検知部１０は、ダイアフラム部５０の変形を通してオイル部６０が圧縮されることによって伝達された圧力を検知してよい。ダイアフラム部５０およびオイル部６０については後述する。ダイアフラム部５０およびオイル部６０は、図１には図示されていない。圧力検知部１０は、検知した圧力を電気信号に変換してよい。

【0027】

金属筐体部２０は、予め定められた第１面２１および第２面２２を有し、第１面２１側に圧力検知部１０を収容する。図１の例においては、Ｚ軸正方向が第１面２１側であり、Ｚ軸負方向が第２面２２側である。金属筐体部２０は、金属筐体部２０の第１面２１側の窪みの内部に圧力検知部１０を収容してよい。

【0028】

金属筐体部２０は、圧力検知部１０が設けられる底部２３と、底部２３の外周と連結した段差部２４と、段差部２４の外周と連結した縁部２６とを有する。金属筐体部２０の第１面２１側において、底部２３と段差部２４とによって取り囲まれる領域が、金属筐体部２０の第１面２１側の窪みを形成してよい。

【0029】

電着被膜３０は、金属筐体部２０の第２面２２に設けられる。電着被膜３０は、底部２３、段差部２４および縁部２６の第２面２２を覆ってよい。電着被膜３０の材料は、絶縁性の材料である。一例において、電着被膜３０の材料は、エポキシ樹脂またはポリアミドの少なくとも１つを含んでよい。電着被膜３０の材料は、イオン化可能であってよい。

【0030】

電着被膜３０は、電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に設けられてよい。電着被膜３０の材料がイオン化可能であることで、電着処理によって電着被膜３０を設けることができる。

【0031】

金属導電部４０は、圧力検知部１０と電気的に接続され、金属筐体部２０の貫通孔４４を貫通して、金属筐体部２０の外部に延伸して設けられる。本例においては、７本の金属導電部４０が設けられているが、金属導電部４０の数は、これに限定されない。金属導電部４０の数は、３本以上６本以下であってよく、８本以上であってよい。

【0032】

金属導電部４０は、圧力検知部１０によって変換された電気信号を、圧力センサ１００の外部に送信するために用いられてよい。金属導電部４０は、圧力センサ１００の外部に設けられた信号取り出し回路に電気的に接続されてよい。

【0033】

充填部４２は、金属筐体部２０の貫通孔４４に充填されて設けられる。充填部４２の材料は、絶縁性の材料であってよい。一例において、充填部４２の材料は、ガラスであってよい。

【0034】

電着被膜３０は、充填部４２上には形成されなくてよい。電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、充填部４２は金属筐体部２０と絶縁されているため、電着被膜３０は、充填部４２上に形成されなくてよい。このように、電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、選択的に電着被膜３０を形成することができる。

【0035】

電着被膜３０は、金属導電部４０と離間して設けられてよい。電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、金属導電部４０が金属筐体部２０と絶縁されているため、電着被膜３０は、金属導電部４０に形成されなくてよい。このように、電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、選択的に電着被膜３０を形成することができる。

【0036】

オイル注入孔７０は、後述するオイル部６０を形成するオイルを注入するために設けられる孔である。オイル注入孔７０は、金属筐体部２０の第２面２２側において、封止球７２によって封止されてよい。封止球７２については、後述する。封止球７２は、図１には図示されていない。

【0037】

圧力センサ１００は、作動流体による流体圧力を検出し、検出した圧力に応じた電気信号を出力し、外部の装置に送信してよい。一例として、圧力センサ１００は、油圧のような強い圧力が生じる作動流体に対して用いられる。圧力センサ１００は、車両に搭載される圧力センサであってよい。

【0038】

本例の圧力センサ１００においては、金属筐体部２０の第２面２２に電着被膜３０を設けることで、金属筐体部２０と金属導電部４０との間の絶縁性を確保することができる。金属導電部４０は、圧力検知部１０からの電気信号を圧力センサ１００の外部に取り出すため、金属筐体部２０の第２面２２側において、金属表面が露出した部分を有する。圧力センサ１００の製造工程において金属コンタミネーションが発生し、または、圧力センサ１００中の金属バリが脱落した場合において、金属コンタミネーションまたは金属バリなどの導電性異物によって、金属筐体部２０の第２面２２と金属導電部４０が橋渡しされると、短絡不具合を生じるおそれがある。本例の圧力センサ１００においては、金属筐体部２０の第２面２２に電着被膜３０を設けることで、金属筐体部２０と金属導電部４０との間の絶縁性を確保することができ、導電性異物による短絡不具合を防止することができる。

【0039】

図２は、図１で示した圧力センサ１００のＡ－Ａ'断面図の一例を示す。圧力センサ１００は、ダイアフラム部５０と、オイル部６０とを備える。

【0040】

ダイアフラム部５０は、金属筐体部２０の第１面２１側に設けられる。ダイアフラム部５０は、縁部２６の第１面２１側に設けられてよい。ダイアフラム部５０の材料は、金属等の導電性の材料であってよい。ダイアフラム部５０は、縁部２６と溶接によって接続されてよい。ダイアフラム部５０は、作動流体の圧力によって変形し、オイル部６０を圧縮してよい。

【0041】

オイル部６０は、金属筐体部２０とダイアフラム部５０とによって封止された領域に充填されるオイルからなる。オイル部６０は、図１に示した注入孔７０から、金属筐体部２０とダイアフラム部５０とによって封止された領域に注入されてよい。オイル注入孔７０は、オイル部６０が注入された後、金属筐体部２０の第２面２２側において、封止球７２によって封止されてよい。封止球７２については、後述する。封止球７２は、図２には図示されていない。

【0042】

オイル部６０は、ダイアフラム部５０の変形に応じて圧縮され、圧力検知部１０に圧力を伝達してよい。圧力検知部１０は、検知した圧力を電気信号に変換してよい。

【0043】

金属導電部４０は、充填部４２を貫通してよい。金属導電部４０が充填部４２を貫通するとは、充填部４２を形成してから金属導電部４０を設ける順序で製造されたものに限定されない。金属導電部４０を設けた後に、または、金属導電部４０を設けるのと同時に、充填部４２を形成したものも、金属導電部４０が充填部４２を貫通するものに含まれる。金属導電部４０は、絶縁性の充填部４２によって、金属筐体部２０と絶縁されていてよい。金属導電部４０が、絶縁性の充填部４２によって、金属筐体部２０と絶縁されることによって、圧力検知部１０から取り出された電気信号が、金属筐体部２０に導電することを防止することができる。

【0044】

図２に示されるように、電着被膜３０は、金属筐体部２０の第２面２２の全面に設けられてよく、底部２３、段差部２４および縁部２６の第２面２２を覆ってよい。一例として、電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、金属筐体部２０は導通しているため、電着被膜３０は、金属筐体部２０の第２面２２の全面に形成される。この場合、電着被膜３０は、充填部４２上には形成されなくてよく、電着被膜３０は、金属導電部４０と離間して設けられてよい。

【0045】

電着被膜３０の厚さは、２０μｍ以上、８０μｍ以下であってよい。電着被膜３０が電着処理によって設けられる場合、電界によって金属筐体部２０の第２面２２にムラのない均一な電着被膜３０を形成することができる。金属筐体部２０に電圧を印加することで、電着液中の電着材料が移動して、金属筐体部２０の表面に電着被膜３０が形成される。電圧印加による誘引によって、電着被膜３０が成長することから、金属筐体部２０の表面の細かい部分にまで電着材料が入り込むことができ、強靭な電着被膜３０を形成することができる。

【0046】

図３は、比較例の圧力センサ５００のＡ－Ａ'断面図の一例を示す。比較例の圧力センサには、電着被膜３０が設けられていない。比較例の圧力センサにおいては、金属筐体部２０の第２面２２に電着被膜３０が設けられていないため、金属筐体部２０と金属導電部４０との間の絶縁性を確保することができず、導電性異物による短絡不具合を生じるおそれがある。

【0047】

図４Ａは、圧力センサ１００の変形例を示す。圧力センサ１００は、接着部８０と、ハウジング９０とを備える。

【0048】

ハウジング９０は、金属筐体部２０の第２面２２側に設けられ、金属導電部４０を圧力センサ１００の外部と電気的に接続するためのコネクタ（不図示）を収容する。ハウジング９０の材料は樹脂であってよいが、これに限定されない。ハウジング９０には、リードフレームがインサート成型されていてよい。リードフレームがインサート成型されたハウジング９０を設けることで、ハーネス等の外部電線との導通を確保することができる。ハウジング９０と金属筐体部２０の接続は、接続部に金属板を巻き付けて固定する圧着であってよく、露出した金属部同士を溶かして接続する溶着であってよく、接着剤を用いた接着であってよい。本例のハウジング９０と金属筐体部２０とは、接着により接続されている。ハウジング９０と金属筐体部２０とを接着剤を用いて接着することにより、圧力センサ１００の内部構造のレイアウトの自由度を高めることができる。また、圧着と比較して、パーツ数を低減することができる。

【0049】

接着部８０は、電着被膜３０とハウジング９０とを接着する。接着部８０は、エポキシ樹脂を含んでよい。接着部８０の材料は、電着被膜３０の材料と組成が異なってよい。電着被膜３０の厚みは、接着部８０の厚みよりも薄くてよい。

【0050】

図４Ｂは、図４Ａで示した圧力センサ１００の第２面視の一例を示す。ここで、第２面視とは、金属筐体部２０の第２面２２側から垂直に視たときの図をいう。図４Ｂでは、他の部材が視えなくなるため、ハウジング９０は省略してある。

【0051】

図４Ｂに示されるように、接着部８０は、第２面２２側において、貫通孔４４および封止球７２の周囲に設けられてよい。封止球７２については、後述する。接着部８０は、第２面２２側において、段差部２４に沿って設けられてよい。

【0052】

電着被膜３０は、接着部８０と接着した接着領域３２と、接着部と接着していない非接着領域３４とを有してよい。接着領域３２は第２面視において、接着部８０の裏面に設けられており、第２面視では視えない。そのため、図４Ｂにおいては、接着領域３２を示す引出線は破線で示されている。

【0053】

本例の圧力センサ１００においては、金属筐体部２０の第２面２２に電着被膜３０を設けることで、金属筐体部２０と接着部８０との密着力を向上することができる。結果として、金属筐体部２０とハウジング９０との密着を強化することができる。また、アンカー効果による密着力の強化を図るために、金属筐体部２０の第２面２２をレーザ等により加工し、表面を粗化する表面租化処理を省略することができる。表面粗化処理を省略することにより、圧力センサ１００の製造工程の数を低減することができる。さらに、表面粗化処理を省略することにより、製造工程における金属コンタミネーションの発生を抑制することができ、導電性異物による短絡不具合を防止することができる。

【0054】

図５Ａから図５Ｆは、図１で示した圧力センサ１００の製造プロセスのＢ－Ｂ'断面の一例を示す。本例では、圧力センサ１００の製造プロセスの一例を示しており、これに限定されない。

【0055】

図５Ａでは、金属筐体部２０の第１面２１に圧力検知部１０を設ける。圧力検知部１０は、底部２３の第１面２１に設けられてよい。圧力検知部１０は、樹脂等の接着剤によって底部２３の第１面２１と接着されてよい。貫通孔４４および／または注入孔７０は、圧力検知部１０を設ける前に形成されてよく、圧力検知部１０を設けた後に形成されてよい。本例の貫通孔４４および注入孔７０は、圧力検知部１０を設ける前に形成されている。

【0056】

図５Ｂでは、金属筐体部２０の貫通孔４４を貫通して、金属筐体部２０の外部に延伸する金属導電部４０を設ける。また、金属筐体部２０の貫通孔４４を充填する絶縁性の充填部４２を設ける。金属導電部４０は、充填部４２を貫通してよい。金属筐体部２０の貫通孔４４を貫通して、金属筐体部２０の外部に延伸する金属導電部４０を設ける段階と、金属筐体部２０の貫通孔４４を充填する絶縁性の充填部４２を設ける段階とは、同時に行われてよく、いずれかの段階が他方の段階よりも前に行われてよい。一例として、金属導電部４０にビーズ状のガラス材料を巻き付けた状態で貫通孔４４に挿入し、加熱処理によってガラス材料を溶解することによって貫通孔４４を充填し、金属導電部４０と充填部４２とを同時に設けることができる。

【0057】

金属導電部４０を設けた後で、金属導電部４０と圧力検知部１０とを電気的に接続してよい。金属導電部４０と圧力検知部１０とを電気的に接続する方法は、特に限定されない。一例として、金属導電部４０と圧力検知部１０とは、ワイヤボンディングによって電気的に接続される。

【0058】

図５Ｃでは、金属筐体部２０の第１面２１側にダイアフラム部５０を設け、金属筐体部２０とダイアフラム部５０とによって封止された領域にオイルを充填してオイル部６０を形成し、オイルを充填するための注入孔７０を封止球７２で封止する。ダイアフラム部５０を設け、オイル部６０を形成し、注入孔７０を封止球７２で封止する方法は、特に限定されない。封止球７２の材料は金属であってよく、封止球７２は、金属筐体部２０と溶接によって接合されてよい。そのため、封止球７２は、金属筐体部２０と導通してよい。

【0059】

図５Ｄでは、電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に絶縁性の電着被膜３０を設ける。電着液３６と金属筐体部２０との間に電圧を印加することによって、電着被膜３０が形成されてよい。

【0060】

金属筐体部２０の貫通孔４４を充填する絶縁性の充填部４２を設ける段階は、電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に絶縁性の電着被膜３０を設ける段階の前に行われてよい。また、金属筐体部２０の第１面２１側にダイアフラム部５０を設け、金属筐体部２０とダイアフラム部５０とによって封止された領域にオイルを充填してオイル部６０を形成し、オイルを充填するための注入孔７０を封止球７２で封止する段階は、金属筐体部２０の貫通孔４４を充填する絶縁性の充填部４２を設ける段階の後であって、電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に絶縁性の電着被膜３０を設ける前記段階の前に行われてよい。

【0061】

電着処理においては、電圧が印加された部分に、電着被膜３０が形成されてよい。したがって、電着被膜３０は、金属筐体部２０の第２面２２の全面に設けられてよく、金属筐体部２０と導通した封止球７２に設けられてよい。一方、金属筐体部２０と絶縁されている金属導電部４０および充填部４２には、電着被膜３０は形成されなくてよい。

【0062】

電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に絶縁性の電着被膜３０を設ける段階は、電着被膜３０をアニール処理する段階を含んでよい。電着処理によって、金属筐体部２０の第２面２２に形成された電着被膜３０を定着させるためである。

【0063】

電着処理により金属筐体部２０の第２面２２に絶縁性の電着被膜３０を設けることで、電界によって金属筐体部２０の第２面２２にムラのない均一な電着被膜３０を形成することができる。したがって、電着被膜３０を金属筐体部２０の第２面２２に形成する際に、金属筐体部２０の第２面２２をレーザ等により加工し、表面を粗化することで、アンカー効果による密着力の強化を図らずとも、強靭な電着被膜３０を形成することができる。結果として、圧力センサ１００の製造工程の数を低減することができる。また、表面租化処理を省略することができるため、製造工程における金属コンタミネーションの発生を抑制することができ、導電性異物による短絡不具合を防止することができる。

【0064】

図５Ｅは、図１で示した圧力センサ１００の電着処理後のＢ－Ｂ'断面の一例を示す。本例の電着被膜３０は、金属筐体部２０の第２面２２の全面および封止球７２に設けられる。本例の電着被膜３０は、金属導電部４０および充填部４２には設けられていない。本例の圧力センサ１００においては、金属筐体部２０の第２面２２および封止球７２に電着被膜３０を設けることで、金属筐体部２０および封止球７２と金属導電部４０との間の絶縁性を確保することができ、導電性異物による短絡不具合を防止することができる。

【0065】

図５Ｆでは、ハウジング９０を、接着部８０をアニール処理することによって金属筐体部２０の第２面２２側に接着する。電着被膜３０のアニール処理温度は、接着部８０のアニール処理温度より高くてよい。これにより、すでに形成された電着被膜３０が高温により溶解することなく、ハウジング９０を金属筐体部２０の第２面２２側に接着することができる。

【0066】

金属筐体部２０の第２面２２に電着被膜３０を設けることで、金属筐体部２０と接着部８０との密着力を向上することができる。したがって、電着被膜３０を金属筐体部２０の第２面２２に形成する際に、金属筐体部２０の第２面２２をレーザ等により加工し、表面を粗化することで、アンカー効果による密着力の強化を図らずとも、金属筐体部２０とハウジング９０との密着を強化することができる。結果として、圧力センサ１００の製造工程の数を低減することができる。また、表面租化処理を省略することができるため、製造工程における金属コンタミネーションの発生を抑制することができ、導電性異物による短絡不具合を防止することができる。

【0067】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0068】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0069】

１０ 圧力検知部、２０ 金属筐体部、２１ 第１面、２２ 第２面、２３ 底部、２４ 段差部、２６ 縁部、３０ 電着被膜、３２ 接着領域、３４ 非接着領域、３６ 電着液、４０ 金属導電部、４２ 充填部、４４ 貫通孔、５０ ダイアフラム部、６０ オイル部、７０ 注入孔、７２ 封止球、８０ 接着部、９０ ハウジング、１００ 圧力センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図5F】