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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024067387
(43)【公開日】2024-05-17
(54)【発明の名称】電動アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02K 33/16 20060101AFI20240510BHJP
【ＦＩ】
H02K33/16 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022177425
(22)【出願日】2022-11-04
(71)【出願人】
【識別番号】000220505
【氏名又は名称】ニデックパワートレインシステムズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141139
【弁理士】
【氏名又は名称】及川 周
(74)【代理人】
【識別番号】100188673
【弁理士】
【氏名又は名称】成田 友紀
(74)【代理人】
【識別番号】100179833
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 将尚
(74)【代理人】
【識別番号】100189348
【弁理士】
【氏名又は名称】古都 智
(72)【発明者】
【氏名】吉野 貴文
【テーマコード（参考）】
5H633
【Ｆターム（参考）】
5H633BB07
5H633GG02
5H633GG05
5H633GG09
5H633GG23
5H633HH02
5H633HH08
5H633JA10
(57)【要約】 （修正有）
【課題】磁気センサを収容する遮蔽部材を備えつつ、組み立て工数が増加することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電動アクチュエータ１００は、可動子７０と、コイル４０と、ケースと、シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネット５１と、第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサ８１と、ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材９１と、第１遮蔽部材とケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材９２と、を備える。第１遮蔽部材は、内部に磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有する。第２遮蔽部材は、第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、を有する。
【選択図】図８
【解決手段】電動アクチュエータ１００は、可動子７０と、コイル４０と、ケースと、シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネット５１と、第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサ８１と、ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材９１と、第１遮蔽部材とケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材９２と、を備える。第１遮蔽部材は、内部に磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有する。第２遮蔽部材は、第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、を有する。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
中心軸に沿って延びるシャフトおよび前記シャフトに固定された磁性体製のコア体を有し、軸方向に移動可能な可動子と、
前記コア体の径方向外側に位置し、前記コア体を囲むコイルと、
前記コイルを径方向外側から囲む磁性体製の筒状部、前記コイルの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１磁性体部、および前記コイルの軸方向他方側に位置する磁性体製の第２磁性体部を有し、前記コア体および前記コイルを内部に収容するケースと、
前記シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネットと、
前記第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサと、
前記中心軸を囲む第１外壁部を有し、前記ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材と、
前記中心軸を囲む第２外壁部を有し、前記第１遮蔽部材と前記ケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材と、
を備え、
前記第１遮蔽部材は、内部に前記磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有し、
前記第２遮蔽部材は、
前記第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、
前記第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、
を有し、
前記第１径方向接触部および前記第２径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、電動アクチュエータ。
前記コア体の径方向外側に位置し、前記コア体を囲むコイルと、
前記コイルを径方向外側から囲む磁性体製の筒状部、前記コイルの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１磁性体部、および前記コイルの軸方向他方側に位置する磁性体製の第２磁性体部を有し、前記コア体および前記コイルを内部に収容するケースと、
前記シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネットと、
前記第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサと、
前記中心軸を囲む第１外壁部を有し、前記ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材と、
前記中心軸を囲む第２外壁部を有し、前記第１遮蔽部材と前記ケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材と、
を備え、
前記第１遮蔽部材は、内部に前記磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有し、
前記第２遮蔽部材は、
前記第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、
前記第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、
を有し、
前記第１径方向接触部および前記第２径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、電動アクチュエータ。
【請求項2】
前記第１外壁部と前記第２外壁部とは、互いに嵌め合わされ、
前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向一方側の面に設けられ、
前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向他方側の面に設けられている、請求項１に記載の電動アクチュエータ。
前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向一方側の面に設けられ、
前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向他方側の面に設けられている、請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項3】
前記第１遮蔽部材は、
前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第１開口部を有する第１周壁部と、
前記第１周壁部から径方向外側に延びて、前記第１周壁部と前記第１外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第１接続部と、
を有し、
前記第１外壁部は、前記第２外壁部の径方向内側に嵌め合わされ、
前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向外側の面に設けられ、
前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向内側の面に設けられている、請求項２に記載の電動アクチュエータ。
前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第１開口部を有する第１周壁部と、
前記第１周壁部から径方向外側に延びて、前記第１周壁部と前記第１外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第１接続部と、
を有し、
前記第１外壁部は、前記第２外壁部の径方向内側に嵌め合わされ、
前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向外側の面に設けられ、
前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向内側の面に設けられている、請求項２に記載の電動アクチュエータ。
【請求項4】
前記第２外壁部の径方向内側の面には、軸方向一方側を向く段差面を有する段差部が設けられ、
前記第１軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向他方側の端面に設けられ、
前記第２軸方向接触部は、前記段差面に設けられている、請求項３に記載の電動アクチュエータ。
前記第１軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向他方側の端面に設けられ、
前記第２軸方向接触部は、前記段差面に設けられている、請求項３に記載の電動アクチュエータ。
【請求項5】
前記第１遮蔽部材は、
前記第１外壁部を有し、軸方向一方側に開口する第１遮蔽部材本体と、
前記第１遮蔽部材本体の軸方向一方側の開口を塞ぐ蓋体と、
を有し、
前記磁気センサは、前記蓋体に取り付けられ、
前記第１遮蔽部材本体は、第３軸方向接触部および第３径方向接触部を有し、
前記蓋体は、
前記第３軸方向接触部と軸方向に接触する第４軸方向接触部と、
前記第３径方向接触部と径方向に接触する第４径方向接触部と、
を有し、
前記第３径方向接触部および前記第４径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
前記第１外壁部を有し、軸方向一方側に開口する第１遮蔽部材本体と、
前記第１遮蔽部材本体の軸方向一方側の開口を塞ぐ蓋体と、
を有し、
前記磁気センサは、前記蓋体に取り付けられ、
前記第１遮蔽部材本体は、第３軸方向接触部および第３径方向接触部を有し、
前記蓋体は、
前記第３軸方向接触部と軸方向に接触する第４軸方向接触部と、
前記第３径方向接触部と径方向に接触する第４径方向接触部と、
を有し、
前記第３径方向接触部および前記第４径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項6】
前記蓋体は、
本体部と、
前記本体部から軸方向他方側に突出する突出部と、
を有し、
前記突出部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端部における径方向内側に嵌め合わされ、
前記第３径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向内側の面に設けられ、
前記第４径方向接触部は、前記突出部の径方向外側の面に設けられている、請求項５に記載の電動アクチュエータ。
本体部と、
前記本体部から軸方向他方側に突出する突出部と、
を有し、
前記突出部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端部における径方向内側に嵌め合わされ、
前記第３径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向内側の面に設けられ、
前記第４径方向接触部は、前記突出部の径方向外側の面に設けられている、請求項５に記載の電動アクチュエータ。
【請求項7】
前記第３軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端面に設けられ、
前記第４軸方向接触部は、前記本体部の軸方向他方側の面のうち前記突出部よりも径方向外側に位置する部分に設けられている、請求項６に記載の電動アクチュエータ。
前記第４軸方向接触部は、前記本体部の軸方向他方側の面のうち前記突出部よりも径方向外側に位置する部分に設けられている、請求項６に記載の電動アクチュエータ。
【請求項8】
前記ケースと前記第２遮蔽部材との一方は、軸方向に突出する固定部を有し、
前記ケースと前記第２遮蔽部材との他方における径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部が設けられ、
前記第１凹部内には、前記固定部が軸方向に挿入され、
前記第１凹部の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部が設けられ、
前記固定部は、周方向にカシメられて前記凸部に軸方向に引っ掛かるカシメ部を有し、かつ、前記凸部に周方向に引っ掛かっている、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
前記ケースと前記第２遮蔽部材との他方における径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部が設けられ、
前記第１凹部内には、前記固定部が軸方向に挿入され、
前記第１凹部の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部が設けられ、
前記固定部は、周方向にカシメられて前記凸部に軸方向に引っ掛かるカシメ部を有し、かつ、前記凸部に周方向に引っ掛かっている、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項9】
前記筒状部と前記第１磁性体部とは、互いに別体であり、
前記筒状部には、前記固定部または前記第１凹部が設けられ、
前記第１磁性体部の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部が設けられ、
前記第２凹部は、軸方向両側に開口し、
前記第２凹部の内部には、前記固定部が軸方向に通されている、請求項８に記載の電動アクチュエータ。
前記筒状部には、前記固定部または前記第１凹部が設けられ、
前記第１磁性体部の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部が設けられ、
前記第２凹部は、軸方向両側に開口し、
前記第２凹部の内部には、前記固定部が軸方向に通されている、請求項８に記載の電動アクチュエータ。
【請求項10】
前記固定部は、前記筒状部から軸方向一方側に突出し、
前記第１凹部は、前記第２外壁部の径方向外側の面に設けられている、請求項８に記載の電動アクチュエータ。
前記第１凹部は、前記第２外壁部の径方向外側の面に設けられている、請求項８に記載の電動アクチュエータ。
【請求項11】
前記第２遮蔽部材は、
前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第２開口部を有する第２周壁部と、
前記第２周壁部から径方向外側に延びて、前記第２周壁部と前記第２外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第２接続部と、
を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第２開口部を有する第２周壁部と、
前記第２周壁部から径方向外側に延びて、前記第２周壁部と前記第２外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第２接続部と、
を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項12】
前記ケースの内部に収容され、前記コイルの径方向内側または前記コイルの径方向外側に位置する第２マグネットを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
可動部の位置を検出する位置センサ部を有するソレノイド装置が知られている。例えば、特許文献１には、そのような位置センサ部として、駆動シャフトに取り付けられたセンサマグネットと、センサマグネットと対向する磁気センサと、を有するソレノイド装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１６－１７８２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のようなソレノイド装置においては、例えばコイルなどから生じる磁束が磁気センサによるセンサマグネットの磁界の検出を妨げることを抑制するためなどに、磁気センサを収容する遮蔽部材をソレノイド装置のケースに対して取り付ける場合がある。この場合、遮蔽部材の取り付け精度が悪いと、遮蔽部材による磁束の遮蔽効果が低減する恐れなどがある。そのため、遮蔽部材をケースに精度よく取り付けるための治具などが必要となり、ソレノイド装置の組み立て工数が増加する問題があった。
【0005】
本発明は、上記事情に鑑みて、磁気センサを収容する遮蔽部材を備えつつ、組み立て工数が増加することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の電動アクチュエータの一つの態様は、中心軸に沿って延びるシャフトおよび前記シャフトに固定された磁性体製のコア体を有し、軸方向に移動可能な可動子と、前記コア体の径方向外側に位置し、前記コア体を囲むコイルと、前記コイルを径方向外側から囲む磁性体製の筒状部、前記コイルの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１磁性体部、および前記コイルの軸方向他方側に位置する磁性体製の第２磁性体部を有し、前記コア体および前記コイルを内部に収容するケースと、前記シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネットと、前記第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサと、前記中心軸を囲む第１外壁部を有し、前記ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材と、前記中心軸を囲む第２外壁部を有し、前記第１遮蔽部材と前記ケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材と、を備える。前記第１遮蔽部材は、内部に前記磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有する。前記第２遮蔽部材は、前記第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、前記第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、を有する。前記第１径方向接触部および前記第２径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている。
【発明の効果】
【0007】
本発明の一つの態様によれば、磁気センサを収容する遮蔽部材を備える電動アクチュエータの組み立て工数が増加することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
図１から図３に示す本実施形態の電動アクチュエータ１００は、車両に取り付けられる電動アクチュエータである。より詳細には、電動アクチュエータ１００は、例えば、車両の運転者のシフト操作に基づいて駆動されるパーク・バイ・ワイヤ方式のアクチュエータ装置に搭載される電動アクチュエータである。
【0010】
各図には、適宜、電動アクチュエータ１００の中心軸Ｊを示している。中心軸Ｊは、仮想軸線である。以下の説明においては、中心軸Ｊが延びる方向、つまり中心軸Ｊの軸方向を単に「軸方向」と呼び、中心軸Ｊを中心とする径方向を単に「径方向」と呼び、中心軸Ｊを中心とする周方向を単に「周方向」と呼ぶ。各図においては、軸方向と平行なＺ軸を示している。以下の説明においては、軸方向のうちＺ軸の矢印が向く側（＋Ｚ側）を「上側」と呼び、軸方向のうちＺ軸の矢印が向く側と逆側（－Ｚ側）を「下側」と呼ぶ。本実施形態において、下側は「軸方向一方側」に相当し、上側は「軸方向他方側」に相当する。また、本実施形態において、径方向外側は「径方向一方側」に相当し、径方向内側は「径方向他方側」に相当する。なお、上側および下側とは、単に各部の配置関係等を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。
【0011】
図２および図３に示すように、本実施形態の電動アクチュエータ１００は、ケース１０と、ボビン３０と、コイル４０と、第１マグネット５１と、第２マグネット５２と、ガイド部材６０と、可動子７０と、基板８０と、磁気センサ８１と、遮蔽部材９０と、を備える。電動アクチュエータ１００は、可動子７０を軸方向に移動させることで、車両のギヤがパーキングであるロック状態と、車両のギヤがパーキング以外であるアンロック状態と、を切り替え可能である。車両のギヤがパーキング以外である場合とは、例えば、車両のギヤがドライブ、ニュートラル、リバースなどである場合を含む。
【0012】
可動子７０は、中心軸Ｊに沿って軸方向に移動可能である。可動子７０は、中心軸Ｊに沿って延びるシャフト７１と、シャフト７１に固定された磁性体製のコア体７２と、を有する。シャフト７１は、中心軸Ｊを中心として軸方向に延びる円柱状である。本実施形態においてシャフト７１の外径は、軸方向の全体に亘って同じである。シャフト７１は、非磁性体製である。図示は省略するが、シャフト７１の上側の端部には、例えば、車両のシフトレバーに接続されたアームの一端が回転可能に連結されている。
【0013】
なお、本明細書において「磁性体」とは、強磁性体を含む。また、本明細書において「非磁性体」とは、強磁性体ではない物質であり、反磁性体および常磁性体を含む。非磁性体は、磁性体に比べて磁束を通しにくい性質を有する。
【0014】
本実施形態においてコア体７２は、シャフト７１を囲む環状である。コア体７２は、内側コア部７２ａと、外側コア部７２ｂと、を有する。内側コア部７２ａは、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する円環状である。内側コア部７２ａの内周面は、シャフト７１の外周面に固定されている。
【0015】
外側コア部７２ｂは、内側コア部７２ａの径方向外側の端部に繋がっている。外側コア部７２ｂは、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する円筒状である。外側コア部７２ｂの軸方向の寸法は、内側コア部７２ａの軸方向の寸法よりも大きい。外側コア部７２ｂは、内側コア部７２ａよりも軸方向の両側に突出している。本実施形態において外側コア部７２ｂの外径は、軸方向の全体に亘って同じである。外側コア部７２ｂの下側の端部は、シャフト７１の下側の端部よりも上側に位置する。
【0016】
可動子７０は、軸方向において第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動可能である。図２および図８では、可動子７０が第１位置Ｐ１にある状態を示している。図３では、可動子７０が第２位置Ｐ２にある状態を示している。第１位置Ｐ１は、第２位置Ｐ２よりも下側の位置である。第１位置Ｐ１は、可動子７０が最も下側に位置する位置である。第２位置Ｐ２は、可動子７０が最も上側に位置する位置である。本実施形態では、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合に車両のギヤがパーキング以外であるアンロック状態となり、可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合に車両のギヤがパーキングであるロック状態となる。
【0017】
ボビン３０は、コア体７２の径方向外側に位置する。ボビン３０は、コア体７２を囲む筒状である。本実施形態においてボビン３０は、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する略円筒状である。ボビン３０は、後述する筒状部１１の径方向内側に位置する。ボビン３０は、非磁性体製である。ボビン３０は、例えば、樹脂製である。ボビン３０は、ボビン本体部３１と、下側フランジ部３２と、上側フランジ部３３と、環状突起部３４と、を有する。
【0018】
ボビン本体部３１は、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する円筒状である。ボビン本体部３１の外径は、軸方向の全体に亘って同じである。ボビン本体部３１は、下側筒部３１ａと、下側筒部３１ａの上側に繋がる上側筒部３１ｂと、を有する。下側筒部３１ａの下側の端部は、ボビン本体部３１の下側の端部である。上側筒部３１ｂの上側の端部は、ボビン本体部３１の上側の端部である。下側筒部３１ａの内径は、上側筒部３１ｂの内径よりも大きい。下側筒部３１ａの外径と上側筒部３１ｂの外径とは、互いに同じである。下側筒部３１ａの軸方向の寸法は、上側筒部３１ｂの軸方向の寸法よりも大きい。下側筒部３１ａの内周面と上側筒部３１ｂの内周面との間には、下側を向く段差面を有する第４段差部３５が設けられている。上側筒部３１ｂの内周面は、下側筒部３１ａの内周面よりも径方向内側に突出している。
【0019】
下側フランジ部３２は、ボビン本体部３１の下側の端部から径方向外側に突出している。下側フランジ部３２は、中心軸Ｊを中心とする円環状である。上側フランジ部３３は、ボビン本体部３１の上側の端部から径方向外側に突出している。上側フランジ部３３は、中心軸Ｊを中心とする円環状である。
【0020】
環状突起部３４は、上側フランジ部３３から上側に突出している。環状突起部３４は、中心軸Ｊを中心とする円環状である。環状突起部３４の上側の端部は、後述する第２磁性体部１０ｂの下側の面に接触している。環状突起部３４の径方向内側には、シール部材６３が設けられている。シール部材６３は、上側筒部３１ｂの上側の面と第２磁性体部１０ｂの下側の面との間を封止している。本実施形態においてシール部材６３は、Ｏリングである。
【0021】
コイル４０は、例えば、金属製の線材が中心軸Ｊ回りに螺旋状に巻き回されて構成されたソレノイドである。コイル４０は、ボビン３０の外周面に巻き回されている。より詳細には、コイル４０は、ボビン本体部３１の外周面に巻き回されている。コイル４０は、中心軸Ｊを中心とし、軸方向に延びる円筒状である。コイル４０は、コア体７２の径方向外側に位置する。コイル４０は、コア体７２を囲んでいる。コイル４０は、図示しない配線部材を介して、図示しない外部電源に電気的に接続される。
【0022】
ガイド部材６０は、軸方向両側に開口し、軸方向に延びる筒状である。本実施形態においてガイド部材６０は、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。ガイド部材６０は、非磁性体製である。ガイド部材６０は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。ガイド部材６０は、ボビン３０およびコイル４０の径方向内側に位置する。ガイド部材６０は、コア体７２の径方向外側に位置する。ガイド部材６０は、コア体７２を囲んでいる。ガイド部材６０は、コア体７２を軸方向に移動可能に支持している。ガイド部材６０の径方向内側には、コア体７２が隙間嵌めされている。つまり、コア体７２は、ガイド部材６０の径方向内側に、軸方向に移動可能に嵌め合わされている。より詳細には、ガイド部材６０の径方向内側には、外側コア部７２ｂが隙間嵌めされている。可動子７０は、例えば、コア体７２の外周面、すなわち外側コア部７２ｂの外周面の一部がガイド部材６０の内周面に接触した状態で軸方向に移動する。
【0023】
第１マグネット５１は、シャフト７１の下側の端部に固定されている。本実施形態において第１マグネット５１は、中心軸Ｊを中心とする円柱状である。第１マグネット５１の軸方向の寸法は、第１マグネット５１の外径よりも小さい。第１マグネット５１の外径は、シャフト７１の下側の端部における外径よりも小さい。第１マグネット５１は、軸方向に沿って異なる磁極を有する。第１マグネット５１の下側の磁極と第１マグネット５１の上側の磁極とは、互いに異なる。本実施形態において第１マグネット５１は、下側にＮ極の磁極部を有する。第１マグネット５１は、上側にＳ極の磁極部を有する。なお、第１マグネット５１の下側がＳ極で、第１マグネット５１の上側がＮ極であってもよい。本実施形態において第１マグネット５１は、永久磁石である。
【0024】
本実施形態において第２マグネット５２は、軸方向に延びる筒状である。より詳細には、第２マグネット５２は、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する円筒状である。図示は省略するが、第２マグネット５２は、例えば、半円筒状の２つのマグネットが径方向に合わされて構成されている。第２マグネット５２は、径方向に沿って異なる磁極を有する。第２マグネット５２の径方向内側の磁極と第２マグネット５２の径方向外側の磁極とは、互いに異なる。本実施形態において第２マグネット５２は、径方向内側にＮ極の磁極部５２Ｎを有する。第２マグネット５２は、径方向外側にＳ極の磁極部５２Ｓを有する。なお、第２マグネット５２の径方向内側がＳ極で、第２マグネット５２の径方向外側がＮ極であってもよい。本実施形態において第２マグネット５２は、永久磁石である。
【0025】
第２マグネット５２は、ケース１０の内部に収容されている。本実施形態において第２マグネット５２は、ボビン３０およびコイル４０の径方向内側に位置するマグネットである。本実施形態において第２マグネット５２は、ガイド部材６０とボビン３０との径方向の間に位置する。第２マグネット５２は、ボビン３０の径方向内側に嵌め合わされている。より詳細には、第２マグネット５２は、ボビン本体部３１における下側筒部３１ａの径方向内側に嵌め合わされている。第２マグネット５２の外周面は、例えば、ボビン３０の内周面に対して接着剤によって固定されている。なお、第２マグネット５２は、ボビン３０の径方向内側に軽圧入されることで、ボビン３０に固定されていてもよい。
【0026】
第２マグネット５２の上側の端面における径方向外側部分は、ボビン本体部３１の内周面に設けられた第４段差部３５の段差面に接触している。これにより、第２マグネット５２の上側の端部は、第４段差部３５の段差面によって上側から支持されている。第２マグネット５２の内周面は、ボビン本体部３１における上側筒部３１ｂの内周面よりも径方向内側に位置する。第２マグネット５２は、ガイド部材６０の径方向外側に位置し、ガイド部材６０を囲んでいる。第２マグネット５２の径方向内側には、ガイド部材６０が嵌め合わされている。第２マグネット５２の内周面は、ガイド部材６０の外周面に接触している。
【0027】
第２マグネット５２の軸方向の寸法は、コア体７２の軸方向の寸法、ボビン３０の軸方向の寸法、およびコイル４０の軸方向の寸法よりも小さい。第２マグネット５２の上側の端部は、コイル４０の上側の端部よりも下側に位置する。第２マグネット５２の下側の端部は、コイル４０の下側の端部よりも上側に位置する。つまり、コイル４０は、第２マグネット５２よりも軸方向両側に突出している。第２マグネット５２の軸方向における中央部の軸方向位置は、コイル４０の軸方向における中央部の軸方向位置とほぼ同じである。
【0028】
ケース１０は、ボビン３０、コイル４０、第２マグネット５２、ガイド部材６０、シャフト７１の一部、およびコア体７２を内部に収容している。ケース１０は、筒状部１１と、第１ケース部材１２と、第２ケース部材１３と、第３ケース部材１４と、第４ケース部材１５と、非磁性体部１６と、を有する。本実施形態において筒状部１１と第１ケース部材１２と第２ケース部材１３と第３ケース部材１４と第４ケース部材１５と非磁性体部１６とは、互いに別体である。筒状部１１と第１ケース部材１２と第２ケース部材１３と第３ケース部材１４と第４ケース部材１５とは、それぞれ磁性体製の部材である。
【0029】
筒状部１１は、軸方向両側に開口する筒状である。本実施形態において筒状部１１は、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。筒状部１１は、ボビン３０およびコイル４０を径方向外側から囲んでいる。
【0030】
第１ケース部材１２は、中心軸Ｊを囲む環状である。本実施形態において第１ケース部材１２は、中心軸Ｊを中心とする円環状である。第１ケース部材１２は、板面が軸方向を向く板状である。第１ケース部材１２は、ボビン３０の下側に位置する。第１ケース部材１２は、筒状部１１の下側の端部に固定されている。第１ケース部材１２の径方向外側の端部は、筒状部１１の下側の端部と接触している。第１ケース部材１２は、筒状部１１の下側の端部よりも径方向内側に突出している。
【0031】
図１に示すように、第１ケース部材１２の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部１２ｃが設けられている。第２凹部１２ｃは、第１ケース部材１２を軸方向に貫通し、軸方向両側に開口している。第２凹部１２ｃは、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第２凹部１２ｃは、４つ設けられている。複数の第２凹部１２ｃは、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。
【0032】
第２ケース部材１３は、中心軸Ｊを囲む環状である。本実施形態において第２ケース部材１３は、中心軸Ｊを中心とする円環状である。第２ケース部材１３は、板面が軸方向を向く板状である。図２および図３に示すように、第２ケース部材１３は、ボビン３０の上側に位置する。第２ケース部材１３は、筒状部１１の上側の端部に固定されている。第２ケース部材１３の径方向外側の端部は、筒状部１１の上側の端部と接触している。
【0033】
第２ケース部材１３は、筒状部１１の上側の端部よりも径方向内側に突出している。第２ケース部材１３の径方向内側の端部は、第１ケース部材１２の径方向内側の端部およびガイド部材６０の内周面よりも径方向内側に位置する。第２ケース部材１３の径方向内側の端部は、外側コア部７２ｂの径方向外側の端部の上側に位置する。第２ケース部材１３の下側の面には、ガイド部材６０の上側の端部および環状突起部３４が接触している。第２ケース部材１３の下側の面とボビン本体部３１の上側の面との間は、シール部材６３によって封止されている。
【0034】
図１に示すように、第２ケース部材１３の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第４凹部１３ｃが設けられている。第４凹部１３ｃは、第２ケース部材１３を軸方向に貫通し、軸方向両側に開口している。第４凹部１３ｃは、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第４凹部１３ｃは、４つ設けられている。複数の第４凹部１３ｃは、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。本実施形態において各第４凹部１３ｃは、各第２凹部１２ｃとそれぞれ周方向において同じ位置に配置されている。
【0035】
第３ケース部材１４は、環状の第２ケース部材１３の径方向内側に固定されている。図２および図３に示すように、第３ケース部材１４は、コア体７２の上側に位置する。第３ケース部材１４は、中心軸Ｊを囲む環状である。第３ケース部材１４の内側には、シャフト７１が軸方向に通されている。第３ケース部材１４は、基部１４ａと、フランジ部１４ｂと、周壁部１４ｃと、円環蓋部１４ｄと、を有する。基部１４ａは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。基部１４ａは、第２ケース部材１３の径方向内側に嵌め合わされている。
【0036】
フランジ部１４ｂは、基部１４ａの下端部における径方向外側の端部から径方向外側に突出している。フランジ部１４ｂは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。フランジ部１４ｂは、第２ケース部材１３の径方向内側の端部における下面に接触している。フランジ部１４ｂは、ガイド部材６０の上側の端部における径方向内側に嵌め合わされている。
【0037】
周壁部１４ｃは、基部１４ａの径方向内側の端部から下側に突出している。周壁部１４ｃは、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。周壁部１４ｃの径方向内側には、シャフト７１を軸方向に移動可能に支持する滑り軸受１８が配置されている。滑り軸受１８は、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する円筒状である。滑り軸受１８は、非磁性体製である。滑り軸受１８の下端部における径方向内側の面には、シール部材１８ａを収容する凹部が設けられている。シール部材１８ａは、シャフト７１の外周面と滑り軸受１８の内周面との間を封止している。本実施形態においてシール部材１８ａは、Ｘリングである。
【0038】
円環蓋部１４ｄは、周壁部１４ｃの下端部から径方向内側に突出している。円環蓋部１４ｄは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。円環蓋部１４ｄの径方向内縁部は、シャフト７１の外周面と僅かな隙間を介して対向している。円環蓋部１４ｄの下側の面には、緩衝部材６２が固定されている。緩衝部材６２は、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。緩衝部材６２は、非磁性体製である。緩衝部材６２は、例えば、ゴム製である。
【0039】
図３に示すように、可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合、コア体７２の内側コア部７２ａにおける上側の端部は緩衝部材６２に接触し、外側コア部７２ｂにおける上側の端部は、基部１４ａおよびフランジ部１４ｂの下側に隙間を介して対向して配置されている。そのため、可動子７０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へと移動した際に、可動子７０が第３ケース部材１４に直接的に接触することを抑制でき、可動子７０が移動した際の衝撃を緩衝部材６２によって吸収することができる。これにより、可動子７０が損傷することを抑制できる。また、可動子７０が第３ケース部材１４に衝突して音が生じることを抑制できる。
【0040】
本実施形態においては、第２ケース部材１３と第３ケース部材１４とによって、コイル４０の上側に位置する磁性体製の第２磁性体部１０ｂが構成されている。つまり、ケース１０は、第２磁性体部１０ｂを有する。本実施形態において第２磁性体部１０ｂは、コア体７２の上側に位置する第４磁性体部１０ｄを有する。つまり、ケース１０は、第４磁性体部１０ｄを有する。本実施形態において第４磁性体部１０ｄは、第２ケース部材１３の径方向内側の端部と第３ケース部材１４とによって構成されている。
【0041】
第４ケース部材１５は、環状の第１ケース部材１２の径方向内側に固定されている。第４ケース部材１５は、第２マグネット５２の下側に位置する。第４ケース部材１５は、中心軸Ｊを囲む環状である。第４ケース部材１５は、基部１５ａと、フランジ部１５ｂと、第３磁性体部１７と、を有する。つまり、ケース１０は、基部１５ａと、フランジ部１５ｂと、第３磁性体部１７と、を有する。基部１５ａは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。基部１５ａは、第１ケース部材１２の径方向内側に嵌め合わされている。基部１５ａの径方向外側部分は、ボビン本体部３１の下側に位置する。基部１５ａの径方向外側部分は、ボビン３０を下側から支持している。基部１５ａの径方向内側部分は、ボビン３０の内周面よりも径方向内側に位置する。
【0042】
フランジ部１５ｂは、基部１５ａの上側の端部から径方向外側に突出している。フランジ部１５ｂは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。フランジ部１５ｂは、第１ケース部材１２の径方向内側の端部における上側の面に接触している。フランジ部１５ｂは、下側フランジ部３２の下側の面に接触している。
【0043】
本実施形態においては、第１ケース部材１２と基部１５ａとフランジ部１５ｂとによって、コイル４０の下側に位置する磁性体製の第１磁性体部１０ａが構成されている。つまり、ケース１０は、第１磁性体部１０ａを有する。図２に示すように、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第１磁性体部１０ａの下側の端部は、コア体７２の径方向外縁部における下側の端部よりも下側に位置する。本実施形態において、コア体７２の径方向外縁部における下側の端部は、外側コア部７２ｂの径方向外縁部における下側の端部である。本実施形態では、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第１磁性体部１０ａの全体が、外側コア部７２ｂの下側の端部よりも下側に位置する。
【0044】
第１磁性体部１０ａの径方向外縁部は、第１ケース部材１２の径方向外縁部である。図１に示すように、第１磁性体部１０ａの径方向外縁部には、上述した径方向内側に窪む第２凹部１２ｃが設けられている。本実施形態において筒状部１１と第１磁性体部１０ａとは、互いに別体である。
【0045】
図２に示すように、第３磁性体部１７は、コイル４０の径方向内側に位置する。より詳細には、第３磁性体部１７は、コイル４０の下側部分における径方向内側に位置する。第３磁性体部１７は、基部１５ａの径方向内側部分から上側に延びている。第３磁性体部１７は、第１磁性体部１０ａの径方向内縁部に繋がっている。本実施形態において第１磁性体部１０ａの径方向内縁部は、基部１５ａの径方向内縁部である。本実施形態において第３磁性体部１７は、軸方向両側に開口する筒状である。より詳細には、第３磁性体部１７は、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。第３磁性体部１７は、ボビン本体部３１の径方向内側に嵌め合わされている。
【0046】
第３磁性体部１７は、第１磁性体部１０ａの径方向内縁部に繋がる第１部分１７ａと、第１部分１７ａの上側に繋がる第２部分１７ｂと、を有する。本実施形態において第１部分１７ａおよび第２部分１７ｂは、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。第１部分１７ａは、基部１５ａの径方向内縁部から上側に突出している。本実施形態において第１部分１７ａの内周面は、基部１５ａの内周面と径方向において同じ位置にあり、基部１５ａの内周面の上側に滑らかに繋がっている。第１部分１７ａの内周面は、ガイド部材６０の外周面の径方向外側に離れて配置されている。第１部分１７ａの内周面とガイド部材６０の外周面との径方向の間には、空隙部Ｇが設けられている。本実施形態において空隙部Ｇは、中心軸Ｊを囲む円環状の隙間である。
【0047】
第２部分１７ｂの上側の端部は、第３磁性体部１７の上側の端部である。第２部分１７ｂの上側の端部は、第２マグネット５２の下側に隙間を空けて対向して配置されている。これにより、第３磁性体部１７は、第２マグネット５２の下側に隙間を空けて配置されている。第２部分１７ｂの内径は、第１部分１７ａの内径よりも小さい。第２部分１７ｂの内周面は、第１部分１７ａの内周面よりも径方向内側に位置する。言い換えれば、第２部分１７ｂの径方向内縁部は、第１部分１７ａの径方向内縁部よりも径方向内側に位置する。
【0048】
第２部分１７ｂの外径は、第１部分１７ａの外径と同じである。本実施形態において第２部分１７ｂの外周面は、第１部分１７ａの外周面と径方向において同じ位置にあり、第１部分１７ａの外周面の上側に滑らかに繋がっている。第２部分１７ｂにおける内周面と外周面との径方向の間の厚さは、第１部分１７ａにおける内周面と外周面との径方向の間の厚さよりも大きい。
【0049】
本実施形態において第２部分１７ｂの径方向内側には、ガイド部材６０が嵌め合わされている。第２部分１７ｂの内周面、すなわち径方向内縁部は、ガイド部材６０の外周面に接触している。本実施形態において第２部分１７ｂの軸方向の寸法は、第１部分１７ａの軸方向の寸法よりも大きい。
【0050】
本実施形態において第１部分１７ａの径方向内縁部と第２部分１７ｂの径方向内縁部との軸方向の間には、下側を向く第３段差面１７ｄを有する段差部が設けられている。第３段差面１７ｄは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、軸方向と直交する平坦面である。第３段差面１７ｄは、第２部分１７ｂにおける径方向内側部分の下側の面である。第３段差面１７ｄは、コイル４０の下側の端部よりも上側に位置する。
【0051】
可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２部分１７ｂは、コア体７２とコイル４０との径方向の間に位置する。より詳細には、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２部分１７ｂは、外側コア部７２ｂのうち内側コア部７２ａよりも下側に突出した部分とコイル４０の下側部分との径方向の間に位置する。可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２部分１７ｂの径方向内縁部における下側の端部は、コア体７２の径方向外縁部における下側の端部よりも上側に位置する。本実施形態において第２部分１７ｂの径方向内縁部における下側の端部は、第３段差面１７ｄの径方向内側の端部である。本実施形態では、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第３段差面１７ｄの全体が、外側コア部７２ｂの径方向外縁部における下側の端部よりも上側に位置する。可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、外側コア部７２ｂの径方向外縁部における下側の端部は、第１部分１７ａの下側の端部よりも上側に位置する。
【0052】
非磁性体部１６は、第１磁性体部１０ａ、ガイド部材６０、およびコア体７２の下側に位置する。非磁性体部１６は、非磁性体製である。本実施形態において非磁性体部１６は、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。非磁性体部１６は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。本実施形態において非磁性体部１６の下側の面は、ケース１０の下側の面を構成している。非磁性体部１６は、外側部分１６ａと、内側部分１６ｂと、を有する。
【0053】
外側部分１６ａは、第１磁性体部１０ａの下側に位置する。外側部分１６ａの上側の面は、第１磁性体部１０ａの下側の面に接触している。本実施形態において外側部分１６ａの上側の面は、第１ケース部材１２の下側の面と基部１５ａの下側の面とに接触している。外側部分１６ａの径方向外側の端部は、非磁性体部１６の径方向外側の端部である。本実施形態において外側部分１６ａの径方向外側の端部は、第１磁性体部１０ａの径方向外側の端部と径方向において同じ位置に位置する。
【0054】
内側部分１６ｂは、外側部分１６ａの径方向内側の端部に繋がっている。内側部分１６ｂは、外側部分１６ａよりも上側に位置する。本実施形態において内側部分１６ｂは、コア体７２の下側に位置する部分である。内側部分１６ｂは、コア体７２のうち外側コア部７２ｂの下側に位置する。内側部分１６ｂの径方向内側の端部は、非磁性体部１６の径方向内側の端部である。内側部分１６ｂの径方向内側の端部は、外側コア部７２ｂの下側の端部における径方向内縁部よりも径方向外側に位置する。
【0055】
内側部分１６ｂの径方向外側の端部は、外側部分１６ａの径方向内側の端部の上側に繋がっている。内側部分１６ｂの径方向外側の端部は、基部１５ａの径方向内側に位置する。内側部分１６ｂの径方向外側の端部は、基部１５ａの径方向内側の面と接触している。内側部分１６ｂの径方向外側の端部は、第３磁性体部１７の第２部分１７ｂの下側に空隙部Ｇを介して対向して配置されている。本実施形態において空隙部Ｇは、第１部分１７ａと第２部分１７ｂとガイド部材６０と内側部分１６ｂとによって囲まれた空間部である。
【0056】
内側部分１６ｂの上側の面には、緩衝部材６１が固定されている。緩衝部材６１は、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。緩衝部材６１は、非磁性体製である。緩衝部材６１は、例えば、ゴム製である。緩衝部材６１は、ガイド部材６０の下側の端部における径方向内側に嵌め合わされている。ガイド部材６０の下側の端部は、内側部分１６ｂの上側の面のうち、緩衝部材６１よりも径方向外側に位置する部分に接触している。
【0057】
可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合、コア体７２の外側コア部７２ｂにおける下側の端部は、緩衝部材６１に接触している。そのため、可動子７０が第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へと移動した際に、可動子７０が非磁性体部１６に直接的に接触することを抑制でき、可動子７０が移動した際の衝撃を緩衝部材６１によって吸収することができる。これにより、可動子７０が損傷することを抑制できる。また、可動子７０が非磁性体部１６に衝突して音が生じることを抑制できる。
【0058】
図１に示すように、非磁性体部１６の径方向外縁部、すなわち外側部分１６ａの径方向外縁部には、径方向内側に窪む第３凹部１６ｃが設けられている。第３凹部１６ｃは、非磁性体部１６を軸方向に貫通し、軸方向両側に開口している。第３凹部１６ｃは、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第３凹部１６ｃは、４つ設けられている。複数の第３凹部１６ｃは、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。各第３凹部１６ｃは、各第２凹部１２ｃとそれぞれ周方向において同じ位置に配置されている。各第３凹部１６ｃは、各第２凹部１２ｃの下側に隣り合って配置されている。各第３凹部１６ｃの内部は、軸方向に見て、各第２凹部１２ｃの内部と重なっている。
【0059】
図２および図３に示すように、本実施形態においてケース１０のうちコア体７２の下側に位置する部分は、非磁性体製の内側部分１６ｂのみである。つまり、本実施形態においてケース１０は、コア体７２の下側に位置する磁性体製の部分を有していない。また、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合に外側コア部７２ｂが接触する緩衝部材６１も非磁性体製である。つまり、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、外側コア部７２ｂの下側の端部から内側部分１６ｂの下側の面までの軸方向の間には、磁性体製の部分が設けられていない。言い換えれば、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、コア体７２の下側の端部からケース１０の下側の面までの軸方向の間には、磁性体製の部分が設けられていない。
【0060】
図１に示すように、本実施形態においてケース１０は、軸方向に突出する第２固定部２２を有する。第２固定部２２は、筒状部１１と第２ケース部材１３とを固定する部分である。本実施形態において第２固定部２２は、筒状部１１の上側の端部に設けられている。筒状部１１と第２固定部２２とは、同一の単一部材の一部である。第２固定部２２は、筒状部１１から上側に突出している。第２固定部２２は、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第２固定部２２は、４つ設けられている。複数の第２固定部２２は、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。各第２固定部２２は、各第４凹部１３ｃの内部に下側から挿入されて軸方向に通されている。
【0061】
第２固定部２２は、第２基部２２ａと、一対の第２カシメ部２２ｂと、を有する。第２基部２２ａは、筒状部１１の上側の端部から上側に突出している。一対の第２カシメ部２２ｂは、第２基部２２ａの上側の端部における周方向の両端部から上側に突出している。一対の第２カシメ部２２ｂは、周方向に間隔を空けて配置されている。一対の第２カシメ部２２ｂは、第４凹部１３ｃの内部を通って第２ケース部材１３よりも上側に突出している。一対の第２カシメ部２２ｂは、上側に向かうに従って互いに周方向に離れる向きに延びている。
【0062】
一対の第２カシメ部２２ｂは、第４凹部１３ｃの内部に軸方向に通された後に、周方向に互いに離れる向きにカシメられている。周方向にカシメられた一対の第２カシメ部２２ｂは、第２ケース部材１３の上側の面のうち第４凹部１３ｃの周方向両側の縁部にそれぞれ上側から引っ掛かっている。このように複数の第２固定部２２によって、第２ケース部材１３が筒状部１１に対して軸方向、周方向、および径方向に位置決めされ、第２ケース部材１３が筒状部１１に固定されている。
【0063】
遮蔽部材９０は、ケース１０の下側に位置する。遮蔽部材９０は、ケース１０に固定されている。遮蔽部材９０は、磁性体製である。遮蔽部材９０を構成する材料は、例えば、鉄である。本実施形態において遮蔽部材９０は、全体として、中心軸Ｊを中心とする略円筒状の部材である。本実施形態において遮蔽部材９０は、第１遮蔽部材９１と、第２遮蔽部材９２と、を有する。つまり、電動アクチュエータ１００は、磁性体製の第１遮蔽部材９１と、磁性体製の第２遮蔽部材９２と、を備える。第１遮蔽部材９１は、ケース１０の下側に位置する。第２遮蔽部材９２は、第１遮蔽部材９１とケース１０との軸方向の間に位置する。
【0064】
図４および図５に示すように、第１遮蔽部材９１は、第１遮蔽部材本体９１ｋと、蓋体９３と、を有する。第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とは、互いに別体である。本実施形態において第１遮蔽部材本体９１ｋは、下側に開口する筒状の部材である。より詳細には、第１遮蔽部材本体９１ｋは、中心軸Ｊを中心とし、下側に開口する略円筒状である。第１遮蔽部材本体９１ｋは、第１接続部９１ａと、第１周壁部９１ｂと、第１外壁部９１ｅと、を有する。つまり、第１遮蔽部材９１は、第１接続部９１ａと、第１周壁部９１ｂと、第１外壁部９１ｅと、を有する。
【0065】
第１周壁部９１ｂは、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する略円筒状である。第１周壁部９１ｂは、第１下壁部９１ｃと、第１下壁部９１ｃの上側に繋がる第１上壁部９１ｄと、を有する。図２および図３に示すように、第１下壁部９１ｃの内径および外径は、下側から上側に向かうに従って小さくなっている。第１下壁部９１ｃの内周面および外周面は、下側から上側に向かうに従って外径が小さくなる円錐台の外周面と同様の形状である。第１下壁部９１ｃの下側の端部は、第１周壁部９１ｂの下側の端部である。
【0066】
第１上壁部９１ｄは、第１下壁部９１ｃの上側の端部から上側に突出している。第１上壁部９１ｄの内径および外径は、軸方向の全体に亘って同じである。第１上壁部９１ｄは、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。第１上壁部９１ｄの内径は、第１下壁部９１ｃの上側の端部における内径と同じであり、シャフト７１の外径よりも大きい。第１上壁部９１ｄの上側の端部は、第１周壁部９１ｂの上側の端部である。第１上壁部９１ｄの上側の端部は、非磁性体部１６よりも下側に位置する。
【0067】
第１周壁部９１ｂは、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１が挿入可能な第１開口部９１ｇを有する。第１開口部９１ｇは、軸方向に見て中心軸Ｊを中心とする円形状であり、軸方向両側に開口している。本実施形態において第１開口部９１ｇは、円筒状の第１上壁部９１ｄによって構成されている。第１開口部９１ｇの内周面は、第１上壁部９１ｄの内周面である。
【0068】
図２に示すように、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合、第１開口部９１ｇにはシャフト７１の一部が挿入され、第１周壁部９１ｂの径方向内側にシャフト７１が軸方向に通されている。本実施形態において可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１は、第１周壁部９１ｂよりも下側に位置し、第１外壁部９１ｅの径方向内側に位置する。図３に示すように、本実施形態において可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１は、第１周壁部９１ｂの径方向内側に位置する。
【0069】
第１接続部９１ａは、第１周壁部９１ｂから径方向外側に延びている。本実施形態において第１接続部９１ａは、第１周壁部９１ｂの下側の端部、すなわち第１下壁部９１ｃの下側の端部から径方向外側に延びている。第１接続部９１ａは、第１周壁部９１ｂと第１外壁部９１ｅの上側の端部とを繋いでいる。図４および図５に示すように、本実施形態において第１接続部９１ａは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。
【0070】
第１外壁部９１ｅは、中心軸Ｊを囲む筒状である。本実施形態において第１外壁部９１ｅは、中心軸Ｊを中心とし、下側に開口する略円筒状である。第１外壁部９１ｅは、第１接続部９１ａの径方向外側の端部から下側に突出している。第１外壁部９１ｅの径方向外側の面には、上側を向く第１段差面９１ｊを有する第１段差部９１ｆが設けられている。本実施形態において第１段差面９１ｊは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、軸方向と直交する平坦面である。第１段差面９１ｊは、第１外壁部９１ｅの軸方向の中心よりも上側に位置する。図６に示すように、第１段差面９１ｊは、第１接続部９１ａの下側の面よりも下側に位置する。
【0071】
第１外壁部９１ｅのうち第１段差面９１ｊよりも上側に位置する部分の外径は、第１外壁部９１ｅのうち第１段差面９１ｊよりも下側に位置する部分の外径よりも小さい。第１外壁部９１ｅのうち第１段差面９１ｊよりも上側に位置する部分の軸方向の寸法は、第１外壁部９１ｅのうち第１段差面９１ｊよりも下側に位置する部分の軸方向の寸法よりも小さい。
【0072】
蓋体９３は、第１遮蔽部材本体９１ｋの下側に固定されている。蓋体９３は、第１遮蔽部材本体９１ｋの下側の開口、すなわち第１外壁部９１ｅの下側の開口を塞いでいる。本実施形態において蓋体９３は、中心軸Ｊを中心とし、板面が軸方向を向く円板状である。蓋体９３は、第１接続部９１ａの下側に間隔を空けて配置されている。図４に示すように、蓋体９３は、本体部９３ａと、本体部９３ａから上側に突出する突出部９３ｂと、を有する。
【0073】
本実施形態において本体部９３ａおよび突出部９３ｂは、中心軸Ｊを中心とし、板面が軸方向を向く円板状である。本実施形態において本体部９３ａの径方向外側の面は、第１外壁部９１ｅの径方向外側の面と径方向において同じ位置に位置する。突出部９３ｂの外径は、本体部９３ａの外径よりも小さい。突出部９３ｂの径方向外縁部は、本体部９３ａの径方向外縁部から径方向内側に離れて位置する。
【0074】
図６に示すように、突出部９３ｂは、第１外壁部９１ｅの下側の端部における径方向内側に嵌め合わされている。突出部９３ｂは、例えば、第１外壁部９１ｅの内側に圧入されて、固定されている。本実施形態において突出部９３ｂの径方向外側の面は、第１外壁部９１ｅの内周面における下側の端部に径方向に接触する第４径方向接触部９３ｐである。つまり、蓋体９３は、突出部９３ｂの径方向外側の面に設けられた第４径方向接触部９３ｐを有する。第４径方向接触部９３ｐは、径方向外側を向く面である。第４径方向接触部９３ｐは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第４径方向接触部９３ｐは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第４径方向接触部９３ｐは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。
【0075】
なお、本明細書において「或る対象が周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる」とは、周方向に延びる或る対象が、周方向の角度が１８０°以上の範囲で、電動アクチュエータ１００を軸方向に貫通する仮想軸である中心軸Ｊの周囲に配置されればよい。つまり、「或る対象が周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる」とは、或る対象が中心軸Ｊを一周の全体に亘って囲む環状である場合だけでなく、或る対象が中心軸Ｊを囲むＣ字状である場合なども含む。
【0076】
第１外壁部９１ｅの内周面のうち、第４径方向接触部９３ｐが径方向に接触する部分は、第３径方向接触部９１ｐである。つまり、第１遮蔽部材本体９１ｋは、第１外壁部９１ｅの径方向内側の面に設けられた第３径方向接触部９１ｐを有する。本実施形態において第３径方向接触部９１ｐは、第１外壁部９１ｅの内周面における下側の端部である。第３径方向接触部９１ｐは、径方向内側を向く面である。第３径方向接触部９１ｐは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第３径方向接触部９１ｐは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第３径方向接触部９１ｐは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。
【0077】
本実施形態において本体部９３ａの上側の面のうち突出部９３ｂよりも径方向外側に位置する部分は、第１外壁部９１ｅの下側の端面に軸方向に接触する第４軸方向接触部９３ｍである。つまり、蓋体９３は、本体部９３ａの上側の面のうち突出部９３ｂよりも径方向外側に位置する部分に設けられた第４軸方向接触部９３ｍを有する。本実施形態において第４軸方向接触部９３ｍは、本体部９３ａの上側の面のうち突出部９３ｂよりも径方向外側に位置する部分全体である。第４軸方向接触部９３ｍは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第４軸方向接触部９３ｍは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第４軸方向接触部９３ｍは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。本実施形態において第４軸方向接触部９３ｍは、上側を向き、軸方向と直交する平坦面である。
【0078】
第４軸方向接触部９３ｍと軸方向に接触する第１外壁部９１ｅの下側の端面は、第３軸方向接触部９１ｍである。つまり、第１遮蔽部材本体９１ｋは、第１外壁部９１ｅの下側の端面に設けられた第３軸方向接触部９１ｍを有する。本実施形態において第３軸方向接触部９１ｍは、第１外壁部９１ｅの下側の端面全体である。第３軸方向接触部９１ｍは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第３軸方向接触部９１ｍは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第３軸方向接触部９１ｍは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。本実施形態において第３軸方向接触部９１ｍは、下側を向き、軸方向と直交する平坦面である。
【0079】
図２および図３に示すように、第２遮蔽部材９２は、ケース１０と第１遮蔽部材９１との軸方向の間に配置されている。より詳細には、第２遮蔽部材９２は、非磁性体部１６と第１遮蔽部材９１との軸方向の間に位置する。第２遮蔽部材９２は、第２接続部９２ａと、第２周壁部９２ｂと、第２外壁部９２ｅと、を有する。
【0080】
第２周壁部９２ｂは、中心軸Ｊを中心とし、軸方向両側に開口する略円筒状である。第２周壁部９２ｂは、非磁性体部１６の径方向内側に位置する。第２周壁部９２ｂは、非磁性体部１６の径方向内側を軸方向に貫通して配置されている。第２周壁部９２ｂは、非磁性体部１６の径方向内側の端部から径方向内側に離れて配置されている。図２に示すように、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２周壁部９２ｂの上側の端部は、外側コア部７２ｂのうち内側コア部７２ａよりも下側に位置する部分の径方向内側に位置する。可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２周壁部９２ｂの上側の端部は、外側コア部７２ｂの下側の端部よりも上側に位置し、内側コア部７２ａの下側に隙間を空けて対向して配置されている。可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合において、第２周壁部９２ｂの径方向内側には、シャフト７１が軸方向に通されている。
【0081】
第２周壁部９２ｂは、第２下壁部９２ｃと、第２下壁部９２ｃの上側に繋がる第２上壁部９２ｄと、を有する。第２下壁部９２ｃの内径および外径は、下側から上側に向かうに従って小さくなっている。第２下壁部９２ｃの内周面および外周面は、下側から上側に向かうに従って外径が小さくなる円錐台の外周面と同様の形状である。第２下壁部９２ｃの下側の端部は、第２周壁部９２ｂの下側の端部である。
【0082】
第２下壁部９２ｃは、第１周壁部９１ｂにおける第１下壁部９１ｃの上側に間隔を空けて配置されている。第２下壁部９２ｃの上側の端部は、第１下壁部９１ｃの上側の端部よりも径方向外側に位置する。第２下壁部９２ｃの下側の端部は、第１下壁部９１ｃの下側の端部よりも径方向外側に位置する。第２下壁部９２ｃの下側の端部は、第１上壁部９１ｄの上側の端部の径方向外側に位置し、第１上壁部９１ｄの上側の端部を囲んでいる。これにより、第２周壁部９２ｂの下側の端部は、第１周壁部９１ｂを径方向外側から囲んでいる。
【0083】
第２上壁部９２ｄは、第２下壁部９２ｃの上側の端部から上側に突出している。第２上壁部９２ｄの内径および外径は、軸方向の全体に亘って同じである。第２上壁部９２ｄは、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。第２上壁部９２ｄの内径は、第２下壁部９２ｃの上側の端部における内径と同じであり、シャフト７１の外径よりも大きい。第２上壁部９２ｄの内径は、第１上壁部９１ｄの内径および第１上壁部９１ｄの外径よりも大きい。第２上壁部９２ｄの上側の端部は、第１上壁部９１ｄの上側の端部よりも径方向外側に位置する。本実施形態では、第２上壁部９２ｄの全体が、第１上壁部９１ｄの全体よりも径方向外側に位置する。第２上壁部９２ｄの内周面は、第１上壁部９１ｄの外周面よりも径方向外側に位置する。
【0084】
第２上壁部９２ｄの上側の端部は、第２周壁部９２ｂの上側の端部である。第２上壁部９２ｄの上側の端部は、第１上壁部９１ｄの上側の端部よりも上側に位置する。つまり、第２周壁部９２ｂの少なくとも一部は、第１周壁部９１ｂよりも上側に位置する。本実施形態では、第２周壁部９２ｂのうち第２下壁部９２ｃの下側の端部を除く全体と第２上壁部９２ｄの全体とが、第１周壁部９１ｂよりも上側に位置する。第２上壁部９２ｄの上側の端部は、非磁性体部１６よりも上側に位置する。第２上壁部９２ｄの上側の端部は、第３磁性体部１７の第１部分１７ａよりも上側に位置し、第３磁性体部１７の第２部分１７ｂの上側の端部よりも下側に位置する。
【0085】
第２周壁部９２ｂは、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１が挿入可能な第２開口部９２ｇを有する。第２開口部９２ｇは、軸方向に見て中心軸Ｊを中心とする円形状であり、軸方向両側に開口している。第２開口部９２ｇの内径は、第１開口部９１ｇの内径よりも大きい。本実施形態において第２開口部９２ｇは、円筒状の第２上壁部９２ｄによって構成されている。第２開口部９２ｇの内周面は、第２上壁部９２ｄの内周面である。
【0086】
図２および図３に示すように、本実施形態において可動子７０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２までのいずれの軸方向位置に位置する場合であっても、第２開口部９２ｇには、シャフト７１の一部が挿入され、第２周壁部９２ｂの径方向内側にはシャフト７１が軸方向に通されている。
【0087】
第２接続部９２ａは、第２周壁部９２ｂから径方向外側に延びている。本実施形態において第２接続部９２ａは、第２周壁部９２ｂの下側の端部、すなわち第２下壁部９２ｃの下側の端部から径方向外側に延びている。第２接続部９２ａは、第２周壁部９２ｂと第２外壁部９２ｅの上側の端部とを繋いでいる。本実施形態において第２接続部９２ａは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、板面が軸方向を向く板状である。第２接続部９２ａは、第１接続部９１ａの上側に間隔を空けて対向して配置されている。第２接続部９２ａの内径は、第１接続部９１ａの内径よりも大きい。第２接続部９２ａの径方向外側部分は、非磁性体部１６の外側部分１６ａの下面に接触している。第２接続部９２ａの径方向内側の端部は、非磁性体部１６の内側部分１６ｂの下側に隙間を介して対向して配置されている。
【0088】
第１接続部９１ａと第２接続部９２ａとの軸方向の間の距離は、第１接続部９１ａと蓋体９３との軸方向の間の距離よりも小さい。第１接続部９１ａと第２接続部９２ａとの軸方向の間の距離は、第１接続部９１ａの上側の面と第２接続部９２ａの下側の面との間の軸方向の距離である。第１接続部９１ａと蓋体９３との軸方向の間の距離は、第１接続部９１ａの下側の面と突出部９３ｂの上側の面との間の軸方向の距離である。
【0089】
第２外壁部９２ｅは、第２接続部９２ａの径方向外縁部から下側に突出している。第２外壁部９２ｅは、中心軸Ｊを囲み、下側に開口する筒状である。より詳細には、第２外壁部９２ｅは、中心軸Ｊを中心とする円筒状である。第２外壁部９２ｅは、ケース１０の下側に固定されている。第２外壁部９２ｅの上側の端部は、非磁性体部１６の径方向外側の端部に接触している。第２外壁部９２ｅは、第１外壁部９１ｅの上側に繋がっている。
【0090】
図６に示すように、第２外壁部９２ｅの径方向内側の面には、下側を向く第２段差面９２ｊを有する第２段差部９２ｆが設けられている。本実施形態において第２段差面９２ｊは、中心軸Ｊを中心とする円環状であり、軸方向と直交する平坦面である。第２段差面９２ｊは、第２外壁部９２ｅの軸方向の中心よりも下側に位置する。第２外壁部９２ｅのうち第２段差面９２ｊよりも下側に位置する部分の内径は、第２外壁部９２ｅのうち第２段差面９２ｊよりも上側に位置する部分の内径よりも大きい。第２外壁部９２ｅのうち第２段差面９２ｊよりも下側に位置する部分の軸方向の寸法は、第２外壁部９２ｅのうち第２段差面９２ｊよりも上側に位置する部分の軸方向の寸法よりも小さい。
【0091】
本実施形態において、第１外壁部９１ｅと第２外壁部９２ｅとは、互いに嵌め合わされている。より詳細には、第１外壁部９１ｅが、第２外壁部９２ｅの径方向内側に嵌め合わされている。本実施形態では、第１外壁部９１ｅのうち第１段差面９１ｊよりも上側に位置する部分が、第２外壁部９２ｅのうち第２段差面９２ｊよりも下側に位置する部分の径方向内側に嵌め合わされている。第１外壁部９１ｅは、第２外壁部９２ｅの径方向内側に圧入されて、固定されている。
【0092】
第１外壁部９１ｅのうち第２外壁部９２ｅの径方向内側に嵌め合わされた部分における外周面は、第２外壁部９２ｅの内周面と径方向に接触する第１径方向接触部９１ｉである。つまり、第１遮蔽部材９１は、第１外壁部９１ｅの径方向外側の面に設けられた第１径方向接触部９１ｉを有する。第１径方向接触部９１ｉは、径方向外側を向く面である。本実施形態において第１径方向接触部９１ｉは、第１段差面９１ｊよりも上側に位置する第１外壁部９１ｅの部分における外周面のうち下側の端部を除いた部分全体である。第１径方向接触部９１ｉの上側の端部は、第１外壁部９１ｅの外周面における上側の端部である。第１径方向接触部９１ｉは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第１径方向接触部９１ｉは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第１径方向接触部９１ｉは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。
【0093】
第２外壁部９２ｅの内周面のうち第１径方向接触部９１ｉが径方向に接触する部分は、第２径方向接触部９２ｉである。つまり、第２遮蔽部材９２は、第２外壁部９２ｅの径方向内側の面に設けられた第２径方向接触部９２ｉを有する。第２径方向接触部９２ｉは、径方向内側を向く面である。本実施形態において第２径方向接触部９２ｉは、第２外壁部９２ｅの径方向内側の面のうち第２段差面９２ｊよりも下側に位置する部分全体である。第２径方向接触部９２ｉの下側の端部は、第２外壁部９２ｅの内周面における下側の端部である。第２径方向接触部９２ｉは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第２径方向接触部９２ｉは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第２径方向接触部９２ｉは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。
【0094】
本実施形態において第１外壁部９１ｅの上側の端面は、第２外壁部９２ｅの内周面に設けられた第２段差部９２ｆの第２段差面９２ｊに軸方向に接触する第１軸方向接触部９１ｈである。つまり、第１遮蔽部材９１は、第１外壁部９１ｅの上側の端面に設けられた第１軸方向接触部９１ｈを有する。本実施形態において第１軸方向接触部９１ｈは、第１遮蔽部材９１の上側の面における径方向外周縁部である。第１軸方向接触部９１ｈは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第１軸方向接触部９１ｈは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第１軸方向接触部９１ｈは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。本実施形態において第１軸方向接触部９１ｈは、上側を向き、軸方向と直交する平坦面である。
【0095】
本実施形態において第１軸方向接触部９１ｈと軸方向に接触する第２段差面９２ｊは、第２軸方向接触部９２ｈである。つまり、第２遮蔽部材９２は、第２段差面９２ｊに設けられた第２軸方向接触部９２ｈを有する。本実施形態において第２軸方向接触部９２ｈは、第２段差面９２ｊの全体である。第２軸方向接触部９２ｈは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。本実施形態において第２軸方向接触部９２ｈは、周方向の一周に亘って設けられた環状である。より詳細には、第２軸方向接触部９２ｈは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。本実施形態において第２軸方向接触部９２ｈは、下側を向き、軸方向と直交する平坦面である。
【0096】
第２外壁部９２ｅの下側の端部における下面９２ｋは、第１段差面９１ｊの上側に対向して配置されている。下面９２ｋと第１段差面９１ｊとの軸方向の間には、僅かな隙間が設けられている。つまり、下面９２ｋは、第１段差面９１ｊと接触していない。下面９２ｋと第１段差面９１ｊとの軸方向の隙間は、中心軸Ｊを囲む環状の隙間であり、径方向外側に開口している。下面９２ｋは、第２段差面９２ｊよりも径方向外側かつ下側に位置する。下面９２ｋは、中心軸Ｊを中心とする円環状である。本実施形態において下面９２ｋは、下側を向き、軸方向と直交する平坦面である。下面９２ｋと第１段差面９１ｊとの軸方向の間に隙間が設けられるため、第１軸方向接触部９１ｈと第２軸方向接触部９２ｈとが軸方向に接触する前に下面９２ｋと第１段差面９１ｊとが接触することがない。これにより、第１軸方向接触部９１ｈと第２軸方向接触部９２ｈとを好適に軸方向に接触させることができる。
【0097】
図１に示すように、第２遮蔽部材９２の径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部９４が設けられている。より詳細には、第１凹部９４は、第２外壁部９２ｅの径方向外側の面に設けられている。本実施形態において第１凹部９４は、上側に開口している。第１凹部９４は、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第１凹部９４は、４つ設けられている。複数の第１凹部９４は、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。各第１凹部９４は、各第２凹部１２ｃおよび各第３凹部１６ｃとそれぞれ周方向において同じ位置に配置されている。各第１凹部９４は、各第３凹部１６ｃの下側に隣り合って配置されている。各第１凹部９４の内部は、軸方向に見て、各第２凹部１２ｃの内部および各第３凹部１６ｃの内部と重なっている。第１凹部９４の周方向の寸法は、第２凹部１２ｃの周方向の寸法および第３凹部１６ｃの周方向の寸法よりも大きい。第１凹部９４は、第２凹部１２ｃおよび第３凹部１６ｃよりも周方向両側に突出している。第１凹部９４は、第２段差面９２ｊよりも上側に位置する。
【0098】
なお、以下の第１凹部９４および後述する第１固定部２１の説明においては、周方向における第１凹部９４の中心に近い側を「周方向内側」と呼ぶ場合があり、周方向における第１凹部９４の中心から遠い側を「周方向外側」と呼ぶ場合がある。
【0099】
図７に示すように、第１凹部９４の径方向内側の底面には、貫通孔９４ｂが設けられている。貫通孔９４ｂは、第１凹部９４の下側部分における径方向内側の底面に設けられている。図５に示すように、貫通孔９４ｂは、周方向に延びている。貫通孔９４ｂは、第２外壁部９２ｅの周方向の一部を径方向に貫通している。
【0100】
図７に示すように、第１凹部９４の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部９４ａが設けられている。本実施形態において凸部９４ａは、各第１凹部９４のそれぞれにおいて、周方向に間隔を空けて一対設けられている。一対の凸部９４ａは、第１凹部９４の周方向両側の各側面から互いに近づく向き、すなわち周方向内側向きに突出している。一対の凸部９４ａは、第１凹部９４の周方向の側面の上側部分から周方向内側に突出している。一対の凸部９４ａの周方向内側の端部は、互いに周方向に間隔を空けて配置されている。一対の凸部９４ａ同士の周方向の間の距離は、第２凹部１２ｃの周方向の寸法および第３凹部１６ｃの周方向の寸法よりも僅かに大きい。一対の凸部９４ａの周方向内側の端部は、第２凹部１２ｃおよび第３凹部１６ｃよりも周方向外側に位置する。
【0101】
本実施形態において第２遮蔽部材９２は、軸方向に突出する第１固定部２１によって、ケース１０と固定されている。本実施形態において第１固定部２１は、筒状部１１に設けられている。つまり、本実施形態においてケース１０は、軸方向に突出する第１固定部２１を有する。第１固定部２１は、筒状部１１と第２遮蔽部材９２とを固定する部分である。本実施形態において第１固定部２１は、筒状部１１の下側の端部に設けられている。筒状部１１と第１固定部２１とは、同一の単一部材の一部である。第１固定部２１は、筒状部１１から下側に突出している。
【0102】
図１に示すように、第１固定部２１は、周方向に間隔を空けて複数設けられている。本実施形態において第１固定部２１は、４つ設けられている。複数の第１固定部２１は、周方向の一周に亘って等間隔に配置されている。各第１固定部２１は、各第２固定部２２のそれぞれと周方向において同じ位置に配置されている。
【0103】
図７に示すように、各第１固定部２１は、筒状部１１の下側の端部から下側に突出し、第２凹部１２ｃの内部および第３凹部１６ｃの内部に軸方向に通されて、第１凹部９４内に軸方向に挿入されている。このように、本実施形態では、第１固定部２１が筒状部１１から下側に突出し、第１固定部２１が挿入される第１凹部９４は第２外壁部９２ｅの径方向外側の面に設けられている。そのため、筒状部１１の径方向外側の面に第１凹部９４が設けられる場合に比べて、筒状部１１に好適に磁束を流しやすくできる。これにより、後述する磁気回路ＭＦ１などを好適に生じさせることができる。
【0104】
第１固定部２１は、第１基部２１ａと、一対の第１カシメ部２１ｂと、を有する。第１基部２１ａは、筒状部１１の下側の端部から下側に突出している。第１基部２１ａの周方向の寸法は、第２凹部１２ｃの周方向の寸法、第３凹部１６ｃの周方向の寸法、および一対の凸部９４ａ同士の間の周方向の距離よりも小さい。第１基部２１ａは、第２凹部１２ｃの内部および第３凹部１６ｃの内部に跨って挿入されている。
【0105】
一対の第１カシメ部２１ｂは、第１基部２１ａの下側の端部における周方向の両端部から下側に突出している。一対の第１カシメ部２１ｂは、周方向に間隔を空けて配置されている。一対の第１カシメ部２１ｂは、一対の凸部９４ａ同士の周方向の間を軸方向に通されて、一対の凸部９４ａよりも下側に突出している。一対の第１カシメ部２１ｂは、第１凹部９４内に挿入された後に、周方向に互いに離れる向きにカシメられている。周方向にカシメられた一対の第１カシメ部２１ｂは、一対の凸部９４ａのそれぞれに下側から軸方向に引っ掛かっている。一対の第１カシメ部２１ｂは、下側に向かうに従って周方向に互いに離れる向き、すなわち下側に向かうに従って周方向外側に位置する向きに延びている。なお、図７では、カシメられる前の状態の第１カシメ部２１ｂを二点鎖線で示している。カシメられる前の状態の第１カシメ部２１ｂは、軸方向に直線状に延びている。
【0106】
本実施形態において、一対の第１カシメ部２１ｂの周方向外側の面は、一対の凸部９４ａの周方向内側の端部における下側の角部に接触している。これにより、一対の第１カシメ部２１ｂは、一対の凸部９４ａのそれぞれに対して、下側から引っ掛かるとともに、周方向内側から引っ掛かっている。一対の第１カシメ部２１ｂが一対の凸部９４ａのそれぞれに周方向内側から引っ掛かることで、第１固定部２１は、凸部９４ａに周方向に引っ掛かっている。これにより、本実施形態では、複数の第１固定部２１によって、第２遮蔽部材９２が筒状部１１に対して軸方向、周方向、および径方向に位置決めされ、第２遮蔽部材９２が筒状部１１に固定されている。また、本実施形態では、複数の第１固定部２１によって第２遮蔽部材９２が筒状部１１に固定されることで、第２遮蔽部材９２と筒状部１１との軸方向の間に位置する第１ケース部材１２および非磁性体部１６も筒状部１１に固定されている。
【0107】
図２および図３に示すように、基板８０は、板面が軸方向を向く板状である。基板８０は、径方向に広がっている。基板８０には、中心軸Ｊが通っている。基板８０は、第１遮蔽部材９１の内部に収容されている。本実施形態において基板８０は、蓋体９３の突出部９３ｂの上側の面に固定されている。これにより、基板８０は、蓋体９３に取り付けられている。
【0108】
磁気センサ８１は、基板８０に固定されている。本実施形態において磁気センサ８１は、基板８０の上側の面に固定されている。磁気センサ８１は、中心軸Ｊが通る位置に配置されている。磁気センサ８１は、第１遮蔽部材９１の内部に収容されている。磁気センサ８１は、基板８０を介して蓋体９３に取り付けられている。磁気センサ８１は、第１マグネット５１の下側に隙間を介して対向して配置されている。磁気センサ８１は、第１マグネット５１の磁界を検出可能なセンサである。
【0109】
磁気センサ８１は、第１マグネット５１の磁界を検出可能であれば、どのような種類の磁気センサであってもよい。磁気センサ８１は、例えば、ホール素子であってもよいし、磁気抵抗効果素子であってもよい。可動子７０が軸方向に移動することで、第１マグネット５１と磁気センサ８１との間の軸方向の距離が変化する。そのため、可動子７０の軸方向の位置に応じて、磁気センサ８１において検出される第１マグネット５１の磁界の強さが変化する。これにより、磁気センサ８１によって検出される第１マグネット５１の磁界の強さに基づいて、可動子７０の軸方向の位置を検出することができる。
【0110】
本実施形態の電動アクチュエータ１００においては、コイル４０に流す電流の向きを切り替えることで、可動子７０を軸方向の両側にそれぞれ移動させることができる。図８に示す磁気回路ＭＦ１は、可動子７０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へと移動させる際に、コイル４０に流される電流によって生じる磁気回路である。磁気回路ＭＦ１が生じる向きにコイル４０に電流を流すことで、第２位置Ｐ２にある可動子７０を下側に移動させることができる。図８の例では、上側から見て時計回りに流れる向きにコイル４０に電流が流されている。
【0111】
図８の磁気回路ＭＦ１においては、コイル４０の径方向内側に生じた下側向きの磁束が、コア体７２の外側コア部７２ｂからガイド部材６０および空隙部Ｇを通過して、第１磁性体部１０ａに流入する。第１磁性体部１０ａに流入した磁束は、径方向外側に流れて、筒状部１１に流入する。筒状部１１に流入した磁束は、筒状部１１を上側に流れて第２磁性体部１０ｂに流入する。第２磁性体部１０ｂに流入した磁束は、径方向内側に流れて、第３ケース部材１４から外側コア部７２ｂに戻る。このような磁気回路ＭＦ１が生じる向きにコイル４０に電流を流すことで、コア体７２と第１磁性体部１０ａとの間に互いに引き合う磁力を生じさせて可動子７０を下側向きに移動させることができ、可動子７０を第１位置Ｐ１に位置させることができる。
【0112】
可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合、第２マグネット５２の磁界によって磁気回路が生じる。当該磁気回路においては、第２マグネット５２から径方向内側に流れた磁束が、ガイド部材６０を通過して外側コア部７２ｂに流入し、外側コア部７２ｂを下側に流れる。外側コア部７２ｂを下側に流れた磁束は、径方向外側に流れてガイド部材６０を通過して第３磁性体部１７の第２部分１７ｂに流れる。第２部分１７ｂに流れた磁束は、第３磁性体部１７を下側に流れて、第１部分１７ａから第１磁性体部１０ａに流入する。第１磁性体部１０ａに流入した磁束は、径方向外側に流れて筒状部１１に流入し、筒状部１１を上側に流れる。筒状部１１を上側に流れた磁束は、径方向内側に流れて、コイル４０およびボビン３０を通過して第２マグネット５２へと戻る。第２マグネット５２によってこのような磁気回路が生じるため、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合には、コア体７２と第３磁性体部１７との間には互いに引き合う磁力が生じる。これにより、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合に、コイル４０に電流を流さない状態であっても、可動子７０が第２位置Ｐ２へと戻ることが抑制される。
【0113】
コイル４０に流す電流を、可動子７０を下側に移動させる際と逆向きにすることで、可動子７０を上側に移動させて、可動子７０の位置を第２位置Ｐ２にすることができる。このとき、コイル４０に流れる電流によって生じる磁気回路は、図８に示す磁気回路ＭＦ１と逆向きに磁束が流れる磁気回路である。可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合には、第２マグネット５２の磁界によって、可動子７０を第２位置Ｐ２に保持する磁気回路が生じる。当該磁気回路においては、第２マグネット５２から径方向内側に流れた磁束が、ガイド部材６０を通過して外側コア部７２ｂに流入し、外側コア部７２ｂを上側に流れる。外側コア部７２ｂを上側に流れた磁束は、第４磁性体部１０ｄから第２磁性体部１０ｂに流入し、第２磁性体部１０ｂを径方向外側に流れる。第２磁性体部１０ｂを径方向外側に流れた磁束は、筒状部１１に流入し、筒状部１１を下側に流れる。筒状部１１を下側に流れた磁束は、径方向内側に流れて、コイル４０およびボビン３０を通過して第２マグネット５２へと戻る。可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合には、第２マグネット５２によって上記のような磁気回路が生じるため、コア体７２と第４磁性体部１０ｄとの間には軸方向に互いに引き合う磁力が生じる。これにより、可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合に、コイル４０に電流を流さない状態であっても、可動子７０と第４磁性体部１０ｄとの間には、軸方向の吸着力が生じ、可動子７０が第２位置Ｐ２に強固に保持される。
【0114】
可動子７０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へと移動させる際には、コイル４０に流れる電流によって生じる磁気回路ＭＦ１が第２位置Ｐ２において第２マグネット５２によって生じる上述した磁気回路を打ち消すため、可動子７０を下側に移動させることができる。
【0115】
以上のように、本実施形態によれば、電動アクチュエータ１００がコイル４０の径方向内側に位置する第２マグネット５２を備えるため、コイル４０に電流を流さない状態においても、第２マグネット５２の磁界によって生じる磁力により、可動子７０を軸方向の両側の位置にそれぞれ好適に保持させておくことができる。
【0116】
コイル４０に流れる電流によって生じる磁束の一部および第２マグネット５２から生じる磁束の一部は、ケース１０およびコア体７２などの外部に漏れる場合がある。当該漏れた磁束によって、例えば、図８に示す磁気回路ＭＦ２，ＭＦ３，ＭＦ４が生じる。磁気回路ＭＦ２，ＭＦ３，ＭＦ４は、可動子７０を下側向きに移動させる向きにコイル４０に電流を流し、可動子７０が第１位置Ｐ１に位置している場合に生じる磁気回路の一例である。
【0117】
磁気回路ＭＦ２においては、コア体７２から下側向きに漏れた磁束が第２周壁部９２ｂに流入し、第２周壁部９２ｂを下側に流れて第２接続部９２ａに流入する。第２接続部９２ａに流入した磁束は、径方向外側に流れて第２外壁部９２ｅに流入し、第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出る。第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出た磁束は、上側に流れて第２磁性体部１０ｂに流入し、第２磁性体部１０ｂからコア体７２へと戻る。なお、図示は省略するが、磁気回路ＭＦ２において、第２外壁部９２ｅに流れた磁束の少なくとも一部は、上側に流れて非磁性体部１６を通過し、筒状部１１に流入してもよい。
【0118】
磁気回路ＭＦ３においては、コア体７２から下側向きに漏れた磁束が第２周壁部９２ｂに流入し、第２周壁部９２ｂから第１周壁部９１ｂに流入する。第１周壁部９１ｂに流入した磁束は、第１周壁部９１ｂを下側に流れて第１接続部９１ａに流入する。第１接続部９１ａに流入した磁束は、径方向外側に流れて、第１外壁部９１ｅと第２外壁部９２ｅとが互いに嵌め合わされた部分を通過し、第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出る。第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出た磁束は、上側に流れて第２磁性体部１０ｂに流入し、第２磁性体部１０ｂからコア体７２へと戻る。
【0119】
磁気回路ＭＦ４においては、コア体７２から下側向きに漏れた磁束が第２周壁部９２ｂに流入し、第２周壁部９２ｂから第１周壁部９１ｂに流入する。第１周壁部９１ｂに流入した磁束は、第１周壁部９１ｂを下側に流れて第１接続部９１ａに流入する。第１接続部９１ａに流入した磁束は、径方向外側に流れて第１外壁部９１ｅに流入する。第１外壁部９１ｅに流入した磁束は、上側に流れて第２外壁部９２ｅに流入する。第２外壁部９２ｅに流入した磁束は、上側に流れて磁気回路ＭＦ２の磁束と合流して、第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出る。第２外壁部９２ｅから径方向外側に漏れ出た磁束は、上側に流れて第２磁性体部１０ｂに流入し、第２磁性体部１０ｂからコア体７２へと戻る。なお、図示は省略するが、磁気回路ＭＦ４において、第２外壁部９２ｅに流れた磁束の少なくとも一部は、上側に流れて非磁性体部１６を通過し、筒状部１１に流入してもよい。
【0120】
なお、可動子７０を第２位置Ｐ２に移動させる際にコイル４０に流される電流によって生じる磁束、および可動子７０が第２位置Ｐ２に位置する場合に第２マグネット５２によって生じる磁束のうち漏れた磁束で作られる磁気回路は、例えば、磁気回路ＭＦ２，ＭＦ３，ＭＦ４に対して磁束が逆向きに流れる磁気回路となる。
【0121】
以下の説明では、可動子７０を第１位置Ｐ１に移動させる際にコイル４０に流される電流によって生じる磁束、および可動子７０が第１位置Ｐ１に位置する場合に第２マグネット５２によって生じる磁束のうち漏れた磁束で作られる磁気回路ＭＦ２，ＭＦ３，ＭＦ４における磁束の流れを例として説明を行う。
【0122】
例えば、遮蔽部材９０が設けられない場合、ケース１０およびコア体７２などの外部に漏れた磁束が磁気センサ８１の周囲に流れ、磁気センサ８１による第１マグネット５１の磁界の検出を妨げる恐れがあった。これにより、磁気センサ８１による第１マグネット５１の磁界の検出精度が低下し、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下する場合があった。
【0123】
これに対して、本実施形態によれば、電動アクチュエータ１００は、中心軸Ｊを囲む第１外壁部９１ｅを有し、ケース１０の下側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材９１と、中心軸Ｊを囲む第２外壁部９２ｅを有し、第１遮蔽部材９１とケース１０との軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材９２と、を備える。第１遮蔽部材９１は、内部に磁気センサ８１を収容している。そのため、第１遮蔽部材９１および第２遮蔽部材９２によって、上述した漏れ磁束の磁気回路ＭＦ２，ＭＦ３，ＭＦ４のように、コア体７２から漏れた磁束の少なくとも一部を径方向外側に逃がすことができる。これにより、第１マグネット５１の下側に対向して配置された磁気センサ８１の周囲に漏れた磁束が流れることを抑制できる。したがって、磁気センサ８１による第１マグネット５１の磁界の検出が、当該漏れた磁束によって妨げられることを抑制できる。そのため、磁気センサ８１の検出精度が低下することを抑制でき、磁気センサ８１を用いた可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することを抑制できる。
【0124】
また、本実施形態によれば、第１遮蔽部材９１は、第１軸方向接触部９１ｈおよび第１径方向接触部９１ｉを有する。第２遮蔽部材９２は、第１軸方向接触部９１ｈと軸方向に接触する第２軸方向接触部９２ｈと、第１径方向接触部９１ｉと径方向に接触する第２径方向接触部９２ｉと、を有する。第１径方向接触部９１ｉおよび第２径方向接触部９２ｉは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。そのため、各接触部同士を接触させることで、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを互いに軸方向および径方向に位置決めすることができる。また、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを中心軸Ｊに対して軸精度よく配置することができる。これらにより、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを組み立てる際に、治具を用いなくても、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを精度よく組み立てることができる。したがって、磁気センサ８１を収容する遮蔽部材９０を備える電動アクチュエータ１００の組み立て工数が増加することを抑制できる。また、第１遮蔽部材９１および第２遮蔽部材９２を中心軸Ｊに対して軸精度よく配置できるため、漏れ磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることを、第１遮蔽部材９１および第２遮蔽部材９２によって好適に抑制することができる。
【0125】
また、本実施形態によれば、第１外壁部９１ｅと第２外壁部９２ｅとは、互いに嵌め合わされている。第１径方向接触部９１ｉは、第１外壁部９１ｅの径方向一方側の面に設けられている。第２径方向接触部９２ｉは、第２外壁部９２ｅの径方向他方側の面に設けられている。そのため、第１外壁部９１ｅと第２外壁部９２ｅとを互いに嵌め合わせることで、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを容易に径方向に位置決めすることができ、第１遮蔽部材９１および第２遮蔽部材９２を軸精度よく配置することができる。
【0126】
また、本実施形態によれば、第１遮蔽部材９１は、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１が挿入可能な第１開口部９１ｇを有する第１周壁部９１ｂと、第１周壁部９１ｂから径方向外側に延びて、第１周壁部９１ｂと第１外壁部９１ｅの上側の端部とを繋ぐ第１接続部９１ａと、を有する。第１外壁部９１ｅは、第２外壁部９２ｅの径方向内側に嵌め合わされている。第１径方向接触部９１ｉは、第１外壁部９１ｅの径方向外側の面に設けられている。第２径方向接触部９２ｉは、第２外壁部９２ｅの径方向内側の面に設けられている。そのため、上述した漏れ磁束の磁気回路ＭＦ３，ＭＦ４のように、コア体７２から漏れた磁束の少なくとも一部を第１周壁部９１ｂから第１接続部９１ａを介して第１外壁部９１ｅへと逃がすことができる。これにより、第１遮蔽部材９１の内部に収容された磁気センサ８１の周囲に、漏れた磁束が流れることをより抑制できる。また、第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａを設けつつ、各接触部を好適に設けることができる。
【0127】
また、本実施形態によれば、第１接続部９１ａは、第１周壁部９１ｂの下側の端部から径方向外側に延びている。そのため、第１周壁部９１ｂと第１接続部９１ａとの間で磁束を好適に流しやすくでき、漏れた磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることをより抑制できる。これにより、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。また、第１接続部９１ａおよび第１周壁部９１ｂを有する第１遮蔽部材９１を板金などによって容易に作りやすい。
【0128】
また、本実施形態によれば、第２外壁部９２ｅの径方向内側の面には、下側を向く第２段差面９２ｊを有する第２段差部９２ｆが設けられている。第１軸方向接触部９１ｈは、第１外壁部９１ｅの上側の端面に設けられている。第２軸方向接触部９２ｈは、第２段差面９２ｊに設けられている。そのため、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを簡易な形状としつつ、第１遮蔽部材９１と第２遮蔽部材９２とを互いに軸方向に位置決めできる。また、第１外壁部９１ｅの上側の端面と第２段差面９２ｊとを軸方向に接触させることができるため、上述した磁気回路ＭＦ４において、第１外壁部９１ｅに流れた磁束を第１外壁部９１ｅの上側の端面と第２段差面９２ｊとの接触部を介して第２外壁部９２ｅへと好適に流しやすい。これにより、漏れ磁束が流れる磁路を好適に増やしやすくでき、漏れた磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることをより好適に抑制できる。
【0129】
また、本実施形態によれば、第１遮蔽部材９１は、第１外壁部９１ｅを有し、下側に開口する第１遮蔽部材本体９１ｋと、第１遮蔽部材本体９１ｋの下側の開口を塞ぐ蓋体９３と、を有する。磁気センサ８１は、蓋体９３に取り付けられている。第１遮蔽部材本体９１ｋは、第３軸方向接触部９１ｍおよび第３径方向接触部９１ｐを有する。蓋体９３は、第３軸方向接触部９１ｍと軸方向に接触する第４軸方向接触部９３ｍと、第３径方向接触部９１ｐと径方向に接触する第４径方向接触部９３ｐと、を有する。第３径方向接触部９１ｐおよび第４径方向接触部９３ｐは、周方向に延びて中心軸Ｊを囲んでいる。そのため、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを互いに軸方向および径方向に位置決めすることができる。また、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを中心軸Ｊに対して軸精度よく配置することができる。これらにより、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを組み立てる際に、治具を用いなくても、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを精度よく組み立てることができる。したがって、磁気センサ８１を収容する遮蔽部材９０を備える電動アクチュエータ１００の組み立て工数が増加することをより抑制できる。また、磁気センサ８１が取り付けられた蓋体９３を中心軸Ｊに対して軸精度よく配置できるため、漏れ磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることを、第１遮蔽部材９１および第２遮蔽部材９２によって好適に抑制することができる。
【0130】
また、本実施形態によれば、蓋体９３は、本体部９３ａと、本体部９３ａから上側に突出する突出部９３ｂと、を有する。突出部９３ｂは、第１外壁部９１ｅの下側の端部における径方向内側に嵌め合わされている。第３径方向接触部９１ｐは、第１外壁部９１ｅの径方向内側の面に設けられている。第４径方向接触部９３ｐは、突出部９３ｂの径方向外側の面に設けられている。そのため、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを簡易な形状としつつ、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを互いに径方向に位置決めできる。
【0131】
また、本実施形態によれば、第３軸方向接触部９１ｍは、第１外壁部９１ｅの下側の端面に設けられている。第４軸方向接触部９３ｍは、本体部９３ａの上側の面のうち突出部９３ｂよりも径方向外側に位置する部分に設けられている。そのため、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを簡易な形状としつつ、第１遮蔽部材本体９１ｋと蓋体９３とを互いに軸方向に位置決めできる。
【0132】
また、本実施形態によれば、ケース１０は、軸方向に突出する第１固定部２１を有する。第２遮蔽部材９２における径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部９４が設けられている。第１凹部９４内には、第１固定部２１が軸方向に挿入されている。第１凹部９４の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部９４ａが設けられている。第１固定部２１は、周方向にカシメられて凸部９４ａに軸方向に引っ掛かる第１カシメ部２１ｂを有し、かつ、凸部９４ａに周方向に引っ掛かっている。そのため、第１固定部２１を第１凹部９４内に挿入した後に第１カシメ部２１ｂをカシメることによって、ケース１０と第２遮蔽部材９２とを互いに軸方向および周方向に位置決めしつつ、容易かつ強固に固定することができる。これにより、第２遮蔽部材９２をケース１０に精度よく、かつ、容易に固定できる。したがって、電動アクチュエータ１００の組み立て工数が増加することをより抑制できる。
【0133】
また、本実施形態によれば、第１磁性体部１０ａの径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部１２ｃが設けられている。第２凹部１２ｃは、軸方向両側に開口している。第２凹部１２ｃの内部には、第１固定部２１が軸方向に通されている。そのため、筒状部１１と第２遮蔽部材９２とを第１固定部２１によって固定することで、第２凹部１２ｃが設けられた第１磁性体部１０ａも共に筒状部１１に固定することができる。これにより、電動アクチュエータ１００の組み立て工数が増加することをより抑制できる。
【0134】
また、本実施形態によれば、非磁性体部１６の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第３凹部１６ｃが設けられている。第３凹部１６ｃは、軸方向両側に開口している。第３凹部１６ｃの内部には、第１固定部２１が軸方向に通されている。そのため、筒状部１１と第２遮蔽部材９２とを第１固定部２１によって固定することで、第３凹部１６ｃが設けられた非磁性体部１６も共に筒状部１１に固定することができる。これにより、電動アクチュエータ１００の組み立て工数が増加することをより抑制できる。
【0135】
また、本実施形態によれば、第２遮蔽部材９２は、シャフト７１の下側の端部および第１マグネット５１が挿入可能な第２開口部９２ｇを有する第２周壁部９２ｂと、第２周壁部９２ｂから径方向外側に延びて、第２周壁部９２ｂと第２外壁部９２ｅの上側の端部とを繋ぐ第２接続部９２ａと、を有する。そのため、上述した漏れ磁束の磁気回路ＭＦ２のように、漏れた磁束の一部を第２周壁部９２ｂから第２接続部９２ａを介して第２外壁部９２ｅへと逃がすことができ、漏れた磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることをより抑制できる。
【0136】
また、本実施形態によれば、第２周壁部９２ｂの少なくとも一部が第１周壁部９１ｂよりも上側に位置するため、第２周壁部９２ｂを介して、第１周壁部９１ｂに磁束を流しやすくできる。これにより、第２周壁部９２ｂから磁束が溢れても、当該溢れた磁束を、第１周壁部９１ｂへと好適に流して、第１周壁部９１ｂから第１接続部９１ａを介して第１外壁部９１ｅへと逃がすことができる。したがって、磁気センサ８１の周囲に漏れた磁束が流れることをより抑制でき、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。
【0137】
ここで、例えば、第２周壁部９２ｂおよび第２接続部９２ａを設ける代わりに、第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａを太くして、第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａによって逃がせる磁束の量を多くすることを考える。この場合であっても、第２周壁部９２ｂおよび第２接続部９２ａを設けた場合と同様の量の漏れ磁束を第１外壁部９１ｅへと流すことができる。しかしながら、当該太くした第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａに磁束が流れる場合、当該太くした第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａから周囲に漏れる磁束の領域が広くなる。そのため、当該太くした第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａから周囲に漏れた磁束が、磁気センサ８１の周囲に流れやすくなる恐れがある。これに対して、本実施形態のように、第１周壁部９１ｂおよび第１接続部９１ａとは別に、第２周壁部９２ｂおよび第２接続部９２ａを設けることで、各周壁部および各接続部を太くすることなく、漏れ磁束を各外壁部へと逃がす経路を多くすることができる。これにより、磁気センサ８１の周囲に漏れた磁束が流れることをより好適に抑制することができ、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。
【0138】
また、本実施形態によれば、第２接続部９２ａは、第２周壁部９２ｂの下側の端部から径方向外側に延びている。そのため、第２周壁部９２ｂと第２接続部９２ａとの間で磁束を好適に流しやすくでき、漏れた磁束が磁気センサ８１の周囲に流れることをより抑制できる。これにより、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。また、第２接続部９２ａおよび第２周壁部９２ｂを有する第２遮蔽部材９２を板金などによって容易に作りやすい。
【0139】
また、本実施形態によれば、第２周壁部９２ｂの上側の端部は、第１周壁部９１ｂの上側の端部よりも径方向外側に位置する。そのため、第２周壁部９２ｂをコア体７２に近づけやすく、コア体７２から漏れ出る磁束を第２周壁部９２ｂに流しやすくできる。これにより、磁気センサ８１の周囲に漏れた磁束が流れることをより好適に抑制することができ、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。
【0140】
また、本実施形態によれば、第２周壁部９２ｂの下側の端部は、第１周壁部９１ｂを径方向外側から囲んでいる。そのため、第１周壁部９１ｂと第２周壁部９２ｂとを近づけやすく、第２周壁部９２ｂから第２接続部９２ａへと流しきれない磁束を、第１周壁部９１ｂへと流しやすい。また、第１周壁部９１ｂと第２周壁部９２ｂとの間が軸方向に空くことを抑制でき、可動子７０と共に第１マグネット５１が軸方向に移動しても、第１周壁部９１ｂまたは第２周壁部９２ｂの径方向内側に第１マグネット５１を位置させておきやすい。これにより、コア体７２などから漏れた磁束が第１マグネット５１の周囲に流れることを抑制でき、磁気センサ８１によって、第１マグネット５１の磁界をより好適に検出しやすくできる。したがって、可動子７０の軸方向位置の検出精度が低下することをより抑制できる。
【0141】
本発明は上述の実施形態に限られず、本発明の技術的思想の範囲内において、他の構成および他の方法を採用することもできる。第１径方向接触部および第２径方向接触部は、周方向に沿って複数設けられ中心軸を囲んで配置されてもよい。この場合であっても、第１径方向接触部と第２径方向接触部とを互いに接触させることで、第１遮蔽部材と第２遮蔽部材とを互いに軸精度よく容易に組み立てることができる。第１径方向接触部は、第１遮蔽部材のいずれの箇所に設けられてもよい。第２径方向接触部は、第２遮蔽部材のいずれの箇所に設けられてもよい。第１径方向接触部が第１外壁部の径方向内側の面に設けられ、第２径方向接触部が第２外壁部の径方向外側の面に設けられてもよい。第１軸方向接触部および第２軸方向接触部は、１つ以上ずつ設けられるならば、どのように設けられてもよい。第１軸方向接触部および第２軸方向接触部は、周方向に沿って複数設けられ中心軸を囲んで配置されてもよい。
【0142】
第３径方向接触部および第４径方向接触部は、周方向に沿って複数設けられ中心軸を囲んで配置されてもよい。この場合であっても、第３径方向接触部と第４径方向接触部とを互いに接触させることで、第１遮蔽部材本体と蓋体とを互いに軸精度よく容易に組み立てることができる。第３径方向接触部は、第１遮蔽部材本体のいずれの箇所に設けられてもよい。第４径方向接触部は、蓋体のいずれの箇所に設けられてもよい。第３径方向接触部および第４径方向接触部は、設けられなくてもよい。第３軸方向接触部および第４軸方向接触部は、１つ以上ずつ設けられるならば、どのように設けられてもよい。第３軸方向接触部および第４軸方向接触部は、周方向に沿って複数設けられ中心軸を囲んで配置されてもよい。第３軸方向接触部および第４軸方向接触部は、設けられなくてもよい。
【0143】
磁性体製の第１遮蔽部材は、第１外壁部と第１軸方向接触部と第１径方向接触部とを有し、内部に磁気センサを収容しているならば、どのような構成であってもよい。第１遮蔽部材は、単一の部材であってもよい。磁性体製の第２遮蔽部材は、第２外壁部と第２軸方向接触部と第２径方向接触部とを有するならば、どのような構成であってもよい。第２遮蔽部材は、複数の部材によって構成されてもよい。
【0144】
第１凹部内に挿入される固定部（第１固定部２１）は、第２遮蔽部材に設けられてもよい。この場合、第１凹部は、ケースの径方向外側の面に設けられる。また、この場合、第１凹部は、筒状部に設けられてもよい。第１凹部内に挿入される固定部および第１凹部は、設けられなくてもよい。
【0145】
磁気センサは、第１遮蔽部材の内部に収容され、第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置されるならば、どのように配置されてもよい。磁気センサが固定される基板は、設けられなくてもよい。
【0146】
第２マグネットは、コイルの径方向外側に位置してもよい。この場合であっても、上述した実施形態と同様にして、１つのコイルによって、可動子を軸方向両側に移動させることができ、かつ、コイルに電流を流すことなく可動子を軸方向両側の位置においてそれぞれ保持できる。
【0147】
第２マグネットは、コイルの径方向内側またはコイルの径方向外側に位置するならば、どのような位置に配置されてもよい。第２マグネットとコイルとの軸方向の相対的な寸法関係は、特に限定されない。第２マグネットの軸方向の寸法は、コイルの軸方向の寸法より大きくてもよい。第２マグネットは、３つ以上の別体のマグネットによって構成されてもよい。第２マグネットは、単一の部材であってもよい。第２マグネットとコア体との軸方向の相対的な寸法関係は、特に限定されない。第２マグネットの軸方向の寸法は、コア体の軸方向の寸法より大きくてもよい。第２マグネットは、設けられなくてもよい。
【0148】
本発明が適用される電動アクチュエータの用途は、特に限定されない。電動アクチュエータは、車両の運転者のシフト操作に基づいて駆動されるシフト・バイ・ワイヤ方式のアクチュエータ装置に搭載されてもよい。また、電動アクチュエータは、車両以外の機器に搭載されてもよい。
【0149】
なお、本技術は以下のような構成をとることが可能である。
（１） 中心軸に沿って延びるシャフトおよび前記シャフトに固定された磁性体製のコア体を有し、軸方向に移動可能な可動子と、前記コア体の径方向外側に位置し、前記コア体を囲むコイルと、前記コイルを径方向外側から囲む磁性体製の筒状部、前記コイルの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１磁性体部、および前記コイルの軸方向他方側に位置する磁性体製の第２磁性体部を有し、前記コア体および前記コイルを内部に収容するケースと、前記シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネットと、前記第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサと、前記中心軸を囲む第１外壁部を有し、前記ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材と、前記中心軸を囲む第２外壁部を有し、前記第１遮蔽部材と前記ケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材と、を備え、前記第１遮蔽部材は、内部に前記磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有し、前記第２遮蔽部材は、前記第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、前記第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、を有し、前記第１径方向接触部および前記第２径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、電動アクチュエータ。
（２） 前記第１外壁部と前記第２外壁部とは、互いに嵌め合わされ、前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向一方側の面に設けられ、前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向他方側の面に設けられている、（１）に記載の電動アクチュエータ。
（３） 前記第１遮蔽部材は、前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第１開口部を有する第１周壁部と、前記第１周壁部から径方向外側に延びて、前記第１周壁部と前記第１外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第１接続部と、を有し、前記第１外壁部は、前記第２外壁部の径方向内側に嵌め合わされ、前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向外側の面に設けられ、前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向内側の面に設けられている、（２）に記載の電動アクチュエータ。
（４） 前記第２外壁部の径方向内側の面には、軸方向一方側を向く段差面を有する段差部が設けられ、前記第１軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向他方側の端面に設けられ、前記第２軸方向接触部は、前記段差面に設けられている、（３）に記載の電動アクチュエータ。
（５） 前記第１遮蔽部材は、前記第１外壁部を有し、軸方向一方側に開口する第１遮蔽部材本体と、前記第１遮蔽部材本体の軸方向一方側の開口を塞ぐ蓋体と、を有し、前記磁気センサは、前記蓋体に取り付けられ、前記第１遮蔽部材本体は、第３軸方向接触部および第３径方向接触部を有し、前記蓋体は、前記第３軸方向接触部と軸方向に接触する第４軸方向接触部と、前記第３径方向接触部と径方向に接触する第４径方向接触部と、を有し、前記第３径方向接触部および前記第４径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、（１）から（４）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（６）前記蓋体は、本体部と、前記本体部から軸方向他方側に突出する突出部と、を有し、前記突出部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端部における径方向内側に嵌め合わされ、前記第３径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向内側の面に設けられ、前記第４径方向接触部は、前記突出部の径方向外側の面に設けられている、（５）に記載の電動アクチュエータ。
（７） 前記第３軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端面に設けられ、前記第４軸方向接触部は、前記本体部の軸方向他方側の面のうち前記突出部よりも径方向外側に位置する部分に設けられている、（６）に記載の電動アクチュエータ。
（８） 前記ケースと前記第２遮蔽部材との一方は、軸方向に突出する固定部を有し、前記ケースと前記第２遮蔽部材との他方における径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部が設けられ、前記第１凹部内には、前記固定部が軸方向に挿入され、前記第１凹部の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部が設けられ、前記固定部は、周方向にカシメられて前記凸部に軸方向に引っ掛かるカシメ部を有し、かつ、前記凸部に周方向に引っ掛かっている、（１）から（７）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（９） 前記筒状部と前記第１磁性体部とは、互いに別体であり、前記筒状部には、前記固定部または前記第１凹部が設けられ、前記第１磁性体部の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部が設けられ、前記第２凹部は、軸方向両側に開口し、前記第２凹部の内部には、前記固定部が軸方向に通されている、（８）に記載の電動アクチュエータ。
（１０） 前記固定部は、前記筒状部から軸方向一方側に突出し、前記第１凹部は、前記第２外壁部の径方向外側の面に設けられている、（８）または（９）に記載の電動アクチュエータ。
（１１） 前記第２遮蔽部材は、前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第２開口部を有する第２周壁部と、前記第２周壁部から径方向外側に延びて、前記第２周壁部と前記第２外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第２接続部と、を有する、（１）から（１０）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（１２） 前記ケースの内部に収容され、前記コイルの径方向内側または前記コイルの径方向外側に位置する第２マグネットを備える、（１）から（１１）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（１） 中心軸に沿って延びるシャフトおよび前記シャフトに固定された磁性体製のコア体を有し、軸方向に移動可能な可動子と、前記コア体の径方向外側に位置し、前記コア体を囲むコイルと、前記コイルを径方向外側から囲む磁性体製の筒状部、前記コイルの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１磁性体部、および前記コイルの軸方向他方側に位置する磁性体製の第２磁性体部を有し、前記コア体および前記コイルを内部に収容するケースと、前記シャフトの軸方向一方側の端部に固定された第１マグネットと、前記第１マグネットの軸方向一方側に隙間を介して対向して配置された磁気センサと、前記中心軸を囲む第１外壁部を有し、前記ケースの軸方向一方側に位置する磁性体製の第１遮蔽部材と、前記中心軸を囲む第２外壁部を有し、前記第１遮蔽部材と前記ケースとの軸方向の間に位置する磁性体製の第２遮蔽部材と、を備え、前記第１遮蔽部材は、内部に前記磁気センサを収容しており、かつ、第１軸方向接触部および第１径方向接触部を有し、前記第２遮蔽部材は、前記第１軸方向接触部と軸方向に接触する第２軸方向接触部と、前記第１径方向接触部と径方向に接触する第２径方向接触部と、を有し、前記第１径方向接触部および前記第２径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、電動アクチュエータ。
（２） 前記第１外壁部と前記第２外壁部とは、互いに嵌め合わされ、前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向一方側の面に設けられ、前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向他方側の面に設けられている、（１）に記載の電動アクチュエータ。
（３） 前記第１遮蔽部材は、前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第１開口部を有する第１周壁部と、前記第１周壁部から径方向外側に延びて、前記第１周壁部と前記第１外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第１接続部と、を有し、前記第１外壁部は、前記第２外壁部の径方向内側に嵌め合わされ、前記第１径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向外側の面に設けられ、前記第２径方向接触部は、前記第２外壁部の径方向内側の面に設けられている、（２）に記載の電動アクチュエータ。
（４） 前記第２外壁部の径方向内側の面には、軸方向一方側を向く段差面を有する段差部が設けられ、前記第１軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向他方側の端面に設けられ、前記第２軸方向接触部は、前記段差面に設けられている、（３）に記載の電動アクチュエータ。
（５） 前記第１遮蔽部材は、前記第１外壁部を有し、軸方向一方側に開口する第１遮蔽部材本体と、前記第１遮蔽部材本体の軸方向一方側の開口を塞ぐ蓋体と、を有し、前記磁気センサは、前記蓋体に取り付けられ、前記第１遮蔽部材本体は、第３軸方向接触部および第３径方向接触部を有し、前記蓋体は、前記第３軸方向接触部と軸方向に接触する第４軸方向接触部と、前記第３径方向接触部と径方向に接触する第４径方向接触部と、を有し、前記第３径方向接触部および前記第４径方向接触部は、周方向に延びて前記中心軸を囲んでいる、または、周方向に沿って複数設けられ前記中心軸を囲んで配置されている、（１）から（４）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（６）前記蓋体は、本体部と、前記本体部から軸方向他方側に突出する突出部と、を有し、前記突出部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端部における径方向内側に嵌め合わされ、前記第３径方向接触部は、前記第１外壁部の径方向内側の面に設けられ、前記第４径方向接触部は、前記突出部の径方向外側の面に設けられている、（５）に記載の電動アクチュエータ。
（７） 前記第３軸方向接触部は、前記第１外壁部の軸方向一方側の端面に設けられ、前記第４軸方向接触部は、前記本体部の軸方向他方側の面のうち前記突出部よりも径方向外側に位置する部分に設けられている、（６）に記載の電動アクチュエータ。
（８） 前記ケースと前記第２遮蔽部材との一方は、軸方向に突出する固定部を有し、前記ケースと前記第２遮蔽部材との他方における径方向外側の面には、径方向内側に窪み軸方向に開口する第１凹部が設けられ、前記第１凹部内には、前記固定部が軸方向に挿入され、前記第１凹部の内面のうち周方向の側面には、周方向に突出する凸部が設けられ、前記固定部は、周方向にカシメられて前記凸部に軸方向に引っ掛かるカシメ部を有し、かつ、前記凸部に周方向に引っ掛かっている、（１）から（７）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（９） 前記筒状部と前記第１磁性体部とは、互いに別体であり、前記筒状部には、前記固定部または前記第１凹部が設けられ、前記第１磁性体部の径方向外縁部には、径方向内側に窪む第２凹部が設けられ、前記第２凹部は、軸方向両側に開口し、前記第２凹部の内部には、前記固定部が軸方向に通されている、（８）に記載の電動アクチュエータ。
（１０） 前記固定部は、前記筒状部から軸方向一方側に突出し、前記第１凹部は、前記第２外壁部の径方向外側の面に設けられている、（８）または（９）に記載の電動アクチュエータ。
（１１） 前記第２遮蔽部材は、前記シャフトの軸方向一方側の端部および前記第１マグネットが挿入可能な第２開口部を有する第２周壁部と、前記第２周壁部から径方向外側に延びて、前記第２周壁部と前記第２外壁部の軸方向他方側の端部とを繋ぐ第２接続部と、を有する、（１）から（１０）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
（１２） 前記ケースの内部に収容され、前記コイルの径方向内側または前記コイルの径方向外側に位置する第２マグネットを備える、（１）から（１１）のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【0150】
以上、本明細書において説明した構成および方法は、相互に矛盾しない範囲内において、適宜組み合わせることができる。
【符号の説明】
【0151】
１０…ケース、１０ａ…第１磁性体部、１０ｂ…第２磁性体部、１１…筒状部、１２ｃ…第２凹部、１４ｃ…周壁部、２１…第１固定部（固定部）、２１ｂ…第１カシメ部（カシメ部）、４０…コイル、５１…第１マグネット、５２…第２マグネット、７０…可動子、７１…シャフト、７２…コア体、８１…磁気センサ、９０…遮蔽部材、９１…第１遮蔽部材、９１ａ…第１接続部、９１ｂ…第１周壁部、９１ｅ…第１外壁部、９１ｇ…第１開口部、９１ｈ…第１軸方向接触部、９１ｉ…第１径方向接触部、９１ｋ…第１遮蔽部材本体、９１ｍ…第３軸方向接触部、９１ｐ…第３径方向接触部、９２…第２遮蔽部材、９２ａ…第２接続部、９２ｂ…第２周壁部、９２ｅ…第２外壁部、９２ｆ…第２段差部（段差部）、９２ｇ…第２開口部、９２ｈ…第２軸方向接触部、９２ｉ…第２径方向接触部、９２ｊ…第２段差面（段差面）、９３…蓋体、９３ａ…本体部、９３ｂ…突出部、９３ｍ…第４軸方向接触部、９３ｐ…第４径方向接触部、９４…第１凹部、９４ａ…凸部、１００…電動アクチュエータ、Ｊ…中心軸
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】