特開 2024-67436 粘着テープ貼付け装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024067436

(43)【公開日】2024-05-17

(54)【発明の名称】粘着テープ貼付け装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240510BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022177501

(22)【出願日】2022-11-04

(71)【出願人】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】秋月 伸也

(72)【発明者】

【氏名】山本 雅之

(72)【発明者】

【氏名】村山 聡洋

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA53

5F131CA01

5F131CA08

5F131CA18

5F131CA22

5F131DA13

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DA54

5F131DA62

5F131DB22

5F131DB62

5F131DB72

5F131EA07

5F131EA23

5F131EB55

5F131EB78

5F131EB81

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC44

5F131EC53

5F131EC54

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC65

5F131EC67

5F131EC68

5F131EC72

5F131EC73

(57)【要約】

【課題】ワークに対してより精度良く粘着テープを貼り付けることができる粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対して粘着テープＰＴを貼り付ける粘着テープ貼付け装置１について、ワークＷの被保持面Ｗｂを保持する保持テーブル１３と、保持テーブル１３を収納しており、上ハウジング２９Ｂと下ハウジング２９Ａによって搬送用シートＴを挟み込むことによって上空間Ｈ２と下空間Ｈ１とに区画させるチャンバ２９と、上空間Ｈ２と下空間Ｈ１との間に差圧Ｇｓ発生させ、当該差圧Ｇｓで粘着テープＰＴをワークＷに貼り付ける貼付けユニット９と、を備え、保持テーブル１３は、剛体で構成されておりワークＷを支持するワーク支持部３９と、ワークＷが傾斜された状態で保持されることを防止する凹部４１と、を備える。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに対して粘着テープを貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
前記ワークのうち被保持面を保持する保持テーブルと、
上ハウジングと下ハウジングとを有しており、前記保持テーブルを収納するチャンバと、
前記上ハウジングと前記下ハウジングによってシート材を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させるチャンバ区画機構と、
前記シート材を供給する供給機構と、
前記シート材によって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記圧力の差異によって形成された差圧で前記粘着テープを前記ワークに貼り付ける貼付け機構と、
を備え、
前記保持テーブルは、
剛体で構成されており前記ワークを支持する本体部と、
前記ワークが傾斜された状態で保持されることを防止する傾斜保持防止部を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項2】

請求項１に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークは前記被保持面のうち所定領域が凹凸形状となっており、
前記傾斜保持防止部は、
前記本体部が前記ワークの前記所定領域に直接接触することを回避させる
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項3】

請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記傾斜保持防止部は、
前記本体部のうち前記ワークの所定領域に対向する部分に形成された凹部であり、
前記本体部が前記ワークのうち前記所定領域以外の箇所に接触することで、前記保持テーブルは前記ワークを保持する
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項4】

請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記傾斜保持防止部は、前記所定領域の形状に応じて変形する変形部であり、前記変形部が前記所定領域の形状に応じて変形することで、前記ワークが傾斜された状態で保持されることを防止する
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項5】

請求項１または請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記シート材は前記シート材を囲繞するフレームによって保持されており、
前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングが前記フレームに保持されている前記シート材を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させる
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項6】

請求項１または請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記シート材は前記粘着テープであり、
前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングによって前記粘着テープを挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記粘着テープで上空間と下空間とに区画させ、
前記貼付け機構は、前記粘着テープによって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記圧力の差異によって形成された差圧で前記粘着テープを前記ワークに貼り付ける
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項7】

請求項１または請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記粘着テープは、前記ワークの形状に応じた所定形状を有し、前記シート材は前記粘着テープを保持しており、
前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングによって前記シート材のうち前記粘着テープを保持していない部分を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させ、
前記貼付け機構は、前記粘着テープによって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記シート材に保持されている前記粘着テープを前記圧力の差異によって形成された差圧で前記ワークに貼り付ける
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項8】

請求項１または請求項２に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークは矩形である
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）または基板を例とするワークに対して、保護テープを例とする粘着テープを貼り付けるために用いる粘着テープ貼付け装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハまたは基板などのワークから様々な製品を製造する工程において、ワークに対して粘着テープを貼り付ける工程を行うことがある。ワークに貼り付けられる粘着テープの例として、回路保護用の粘着テープ（保護テープ）、ワーク支持用の粘着テープ（ダイシングテープ）、またはデバイス封止用の粘着性フィルムなどが挙げられる。

【0003】

従来、粘着テープをワークに貼り付ける装置として以下のようなものが提案されている。すなわち上下一対のハウジングからなるチャンバの内部に保持テーブルを収納させ、ワークを保持テーブル上で水平に保持させる。その後、チャンバの接合部分に粘着シートを挟み込むことにより、チャンバの内部空間を水平状態の粘着テープで仕切って上空間と下空間との２つの空間を形成させる。そして一方の空間の気圧を他方の空間の気圧よりも低くすることで差圧を発生させ、当該差圧によって粘着テープをワークに貼り付けている。（特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１－１０９００８号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。

【0006】

近年ではワークに対して粘着テープをさらに高い精度で均一に貼り付けることが求められている。また、粘着テープを貼り付ける対象となるワークが多様化している。しかしながら従来の構成では多様化するワークに対して粘着テープを貼り付ける精度を向上させることが困難となっており、貼付けエラーが発生する頻度を低減させることも困難となっている。

【0007】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ワークに対してより精度良く粘着テープを貼り付けることができる粘着テープ貼付け装置を提供することを主たる目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記問題について本発明者らが検討した結果、以下のような知見が得られた。すなわち、一例として表面のみならず裏面にも回路パターンが形成されているワークに対して粘着テープを貼り付ける場合、ワークのうち保持テーブルで保持される側の面（ワークの保持面）は、回路パターンによって微細な凹凸が形成されている。この場合、保持テーブルに載置されたワークは当該凹凸によって傾斜するので、ワークが傾斜した状態で保持テーブルに保持される。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下した状態でワークに粘着テープが貼り付けられるので、ワークに対して粘着テープを精度よく貼り付けることが困難となると考えられる。

【0009】

また、ワークと粘着テープとの平行性が低下する他の原因として、塵埃を例とする不純物の存在が挙げられる。すなわち保持テーブルにワークを載置させる際に塵埃などがワークと保持テーブルとの間に入り込んだ場合、ワークの姿勢は当該塵埃に起因して水平姿勢から傾斜することとなる。その結果、ワークの保持面が平坦な場合であってもワークと粘着テープとの平行性が低下した状態でワークに粘着テープが貼り付けられるので、ワークに対して粘着テープを精度よく貼り付けることが困難となる。近年ではワークが大型化する傾向にあり、ワークが大型化することによってワークと保持テーブルとの間に不純物が入り込む頻度が高くなる。

【0010】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、ワークに対して粘着テープを貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
前記ワークのうち被保持面を保持する保持テーブルと、
上ハウジングと下ハウジングとを有しており、前記保持テーブルを収納するチャンバと、
前記上ハウジングと前記下ハウジングによってシート材を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させるチャンバ区画機構と、
前記シート材を供給する供給機構と、
前記シート材によって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記圧力の差異によって形成された差圧で前記粘着テープを前記ワークに貼り付ける貼付け機構と、
を備え、
前記保持テーブルは、
剛体で構成されており前記ワークを支持する本体部と、
前記ワークが傾斜された状態で保持されることを防止する傾斜保持防止部を備える
ことを特徴とするものである。

【0011】

（作用・効果）この構成によれば、ワークの被保持面を保持する保持テーブルは、本体部と傾斜保持防止部とを備えている。本体部は剛体で構成されておりワークを支持する。傾斜保持防止部は、ワークが傾斜された状態で保持されることを防止する。そのため、ワークの被保持面と保持テーブルとの間に塵埃などが入り込む場合などであっても、ワークが保持テーブルに対して傾斜した姿勢で保持されることを回避できる。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下することを防止できるので、ワークを粘着テープに対して精度よく貼り付けることができる。

【0012】

また、上述した発明において、前記ワークは前記被保持面のうち所定領域が凹凸形状となっており、前記傾斜保持防止部は、前記本体部が前記ワークの前記所定領域に直接接触することを回避させることが好ましい。

【0013】

（作用・効果）この構成によれば、保持テーブルが備える傾斜保持防止部は、ワークの被保持面のうち凹凸形状となっている所定領域が本体部と直接接触することを回避させる構成となっている。そのため、ワークの被保持面に凹凸が形成されている場合であっても、ワークが保持テーブルに対して傾斜した姿勢で保持されることを回避できる。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下することを防止できるので、ワークを粘着テープに対して精度よく貼り付けることができる。

【0014】

また、上述した発明において、前記傾斜保持防止部は、前記本体部のうち前記ワークの所定領域に対向する部分に形成された凹部であり、前記本体部が前記ワークのうち前記所定領域以外の箇所に接触することで、前記保持テーブルは前記ワークを保持することが好ましい。

【0015】

（作用・効果）この構成によれば、保持テーブルの本体部に凹部が形成されている。そして、本体部がワークのうち所定領域以外の箇所に接触することで、保持テーブルの本体部が所定領域に直接接触することを回避しつつ、保持テーブルはワークを保持する。すなわちワークの所定領域に形成されている凹凸が当該凹部に嵌入することで、保持テーブルの本体部はワークのうち所定領域以外の平坦な部分に接触する。この場合凹部によって本体部とワークの凹凸部分とが接触することを回避できるので、ワークの被保持面に凹凸が形成されている場合であっても、ワークが保持テーブルに対して傾斜した姿勢で保持されることを回避できる。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下することを防止できるので、ワークを粘着テープに対して精度よく貼り付けることができる。

【0016】

また、上述した発明において、前記傾斜保持防止部は、前記所定領域の形状に応じて変形する変形部であり、前記変形部が前記所定領域の形状に応じて変形することで、前記ワークが傾斜された状態で保持されることを防止することが好ましい。

【0017】

（作用・効果）この構成によれば、保持テーブルは傾斜保持防止部として、ワークのうち凹凸が形成されている所定領域の形状に応じて変形する変形部を備えている。そして、変形部が所定領域の形状に応じて変形しつつ、保持テーブルはワークを保持する。この場合、ワークの被保持面に凹凸が形成されている場合であっても、変形部が凹凸形状に応じて変形するので、ワークが保持テーブルに対して傾斜した姿勢で保持されることを回避できる。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下することを防止できるので、ワークを粘着テープに対して精度よく貼り付けることができる。

【0018】

また、上述した発明において、前記シート材は前記シート材を囲繞するフレームによって保持されており、前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングが前記フレームに保持されている前記シート材を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させることが好ましい。

【0019】

（作用・効果）この構成によれば、フレームに保持されているシート材を上ハウジングと前記下ハウジングが挟み込んでチャンバを形成させるので、チャンバのサイズをフレームより小さくできる。よって装置をより小型化することができる。また、シート材によってチャンバの内部空間をシート材で上空間と下空間とに区画させるので、チャンバを２つの空間に区画するための機構を新たに設ける必要がない。よって、装置の構成をより単純化できる。

【0020】

また、上述した発明において、前記シート材は前記粘着テープであり、前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングによって前記粘着テープを挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記粘着テープで上空間と下空間とに区画させ、
前記貼付け機構は、前記粘着テープによって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記圧力の差異によって形成された差圧で前記粘着テープを前記ワークに貼り付けることが好ましい。

【0021】

（作用・効果）この構成によれば、フレームに保持されている粘着テープを上ハウジングと前記下ハウジングが挟み込んでチャンバを形成させるので、チャンバのサイズをフレームより小さくできる。よって装置をより小型化することができる。また、粘着テープによってチャンバの内部空間をシート材で上空間と下空間とに区画させるので、チャンバを２つの空間に区画するための機構を新たに設ける必要がない。よって、装置の構成をより単純化できる。

【0022】

また、上述した発明において、前記粘着テープは、前記ワークの形状に応じた所定形状を有し、前記シート材は前記粘着テープを保持しており、前記チャンバ区画機構は、前記上ハウジングと前記下ハウジングによって前記シート材のうち前記粘着テープを保持していない部分を挟み込むことによって、前記チャンバの内部空間を前記シート材で上空間と下空間とに区画させ、前記貼付け機構は、前記粘着テープによって区画された前記上空間と前記下空間との間に圧力の差異を発生させ、前記シート材に保持されている前記粘着テープを前記圧力の差異によって形成された差圧で前記ワークに貼り付けることが好ましい。

【0023】

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープは、ワークの形状に応じた所定形状を有し、シート材は粘着テープを保持している。そしてシート材のうち粘着テープを保持していない部分を上ハウジングと下ハウジングによって挟み込んで、チャンバの内部を２つの空間に区画させる。この場合、シート材のうち粘着テープを保持していない部分を上ハウジングと前記下ハウジングが挟み込んでチャンバを形成させるので、粘着テープのサイズを小型できる。また、シート材によってチャンバの内部空間をシート材で上空間と下空間とに区画させるので、チャンバを２つの空間に区画するための機構を新たに設ける必要がない。よって、装置の構成をより単純化できる。

【0024】

また、上述した発明において、前記ワークは矩形であることが好ましい。

【0025】

（作用・効果）この構成によれば、矩形のワークを対象として粘着テープを貼り付ける。この場合、傾斜保持防止部を備える保持テーブルを用いてワークを保持することにより、矩形のワークであってもより確実かつ精度良くワークを水平状態で保持することができる。

【発明の効果】

【0026】

本発明に係る粘着テープ貼付け装置によれば、ワークの被保持面を保持する保持テーブルは、本体部と傾斜保持防止部とを備えている。本体部は剛体で構成されておりワークを支持する。傾斜保持防止部は、ワークが傾斜された状態で保持されることを防止する。そのため、ワークの被保持面と保持テーブルとの間に塵埃などが入り込む場合などであっても、ワークが保持テーブルに対して傾斜した姿勢で保持されることを回避できる。その結果、ワークと粘着テープとの平行性が低下することを防止できるので、ワークを粘着テープに対して精度よく貼り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】実施例１に係る貼付け部材の構成を示す図である。（ａ）は貼付け部材の斜視図であり、（ｂ）は貼付け部材の縦断面図である。

【図2】実施例１に係るワークの構成を示す断面図である。（ａ）はワークの表面側の斜視図であり、（ｂ）はワークの裏面側の斜視図であり、（ｃ）はワークの縦断面図である。

【図3】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の構成を示す平面図である。

【図4】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の構成を示す正面図である。

【図5】実施例１に係る貼付けユニットの構成を示す正面図である。

【図6】実施例１に係るチャンバの構成を示す縦断面図である。

【図7】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。

【図8】実施例１に係るステップＳ１を説明する図である。

【図9】実施例１に係るステップＳ２を説明する図である。

【図10】実施例１に係るステップＳ３を説明する図である。

【図11】実施例１に係るステップＳ３を説明する図である。

【図12】実施例１に係るステップＳ４を説明する図である。

【図13】実施例１に係るステップＳ５を説明する図である。

【図14】実施例１に係るステップＳ６を説明する図である。

【図15】実施例１に係るステップＳ６を説明する図である。

【図16】実施例１に係るステップＳ６を説明する図である。

【図17】従来例の問題点を説明する図である。（ａ）は偏在する凹凸がワーク保持面に接触する状態を示す図であり、（ｂ）は凹凸に起因してワークが傾斜状態で保持される状態を示す図である。

【図18】従来例の問題点を説明する図である。（ａ）は塵埃などの不純物がワークと保持テーブルとの間に入り込む状態を示す図であり、（ｂ）は塵埃などの不純物に起因してワークが傾斜状態で保持される状態を示す図である。

【図19】実施例１に係る構成の効果を説明する図である。

【図20】実施例２に係る保持テーブルおよびワークの構成を説明する図である。

【図21】実施例２に係るステップＳ５において、変形部材が変形する前の状態を示す図である。

【図22】実施例２に係るステップＳ５において、変形部材が凹凸の形状に応じて変形した後の状態を示す図である。

【図23】実施例３に係るワークの構成を説明する縦断面図である。

【図24】実施例３に係る保持テーブルの構成を説明する縦断面図である。

【図25】実施例３に係るチャンバの構成を示す縦断面図である。

【図26】実施例３に係るステップＳ５を説明する図である。

【図27】実施例３に係るステップＳ５を説明する図である。

【図28】第１の変形例に係るワークの構成を説明する図である。（ａ）はワークの斜視図であり、（ｂ）はワークの縦断面図である。

【図29】第１の変形例に係るステップＳ４を説明する図である。

【図30】第１の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。

【図31】第２の変形例に係る貼付け部材の構成を説明する斜視図である。

【図32】第２の変形例に係る貼付けユニットの構成を示す正面図である。

【図33】第２の変形例に係るステップＳ４を説明する図である。

【図34】第２の変形例に係るステップＳ４を説明する図である。

【図35】第２の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。

【図36】第２の変形例に係るステップＳ６を説明する図である。

【図37】第３の変形例に係る複合体前駆体の構成を説明する縦断面図である。

【図38】第３の変形例に係る複合体前駆体を作成する仮貼り工程を説明する図である。

【図39】第３の変形例に係る複合体前駆体を作成する仮貼り工程を説明する図である。

【図40】第３の変形例に係るステップＳ２を説明する図である。

【図41】第３の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。（ａ）は押圧力が作用する前の状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は押圧力が作用した後の状態を示す縦断面図である。

【図42】第４の変形例に係るステップＳ４を説明する図である。

【図43】第４の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。

【図44】第５の変形例に係る貼付けユニットの構成を示す正面図である。

【図45】第５の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。

【図46】第５の変形例に係るステップＳ５を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例0028】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１として、貼付け部材Ｐが備えている粘着テープＰＴをワークＷに対して貼り付ける構成を例示して説明する。図１は貼付け部材Ｐの構成を示す図であり、図２はワークＷの構成を示す図である。

【0029】

実施例１に係る貼付け部材Ｐは、図１（ａ）に示すように、リングフレームｆと粘着テープＰＴと搬送用シートＴとを備えている。リングフレームｆは金属または樹脂を例とする、剛性を有する材料で構成されている。リングフレームｆは、粘着テープＰＴを囲繞するような大きさおよび形状を有しており、搬送用シートＴを介して粘着テープＰＴを支持する。

【0030】

粘着テープＰＴは、ワークＷの形状に応じた所定の形状に予め切断されている。本実施例において、粘着テープＰＴは予め矩形状に切断されているものとする。ここで、矩形状とは図１（ａ）に示すように矩形の各角部が丸みを帯びている形状に加え、矩形の各角部が尖っている形状を含むものとする。また本実施例において、粘着テープＰＴの大きさはワークＷと同程度であり、かつ後述する下ハウジング２９Ａの内径より小さくなるように設定されている。

【0031】

搬送用シートＴは粘着テープＰＴを保持するシート状部材であり、リングフレームｆの形状に応じた所定の形状に予め切断されている。搬送用シートＴの大きさはリングフレームｆの大きさと同程度であり、搬送用シートＴはリングフレームｆの上面によって貼付け保持されている。粘着テープＰＴは搬送用シートＴの裏面中央部において搬送用シートＴによって貼付け保持されている。すなわち貼付け部材Ｐにおいて、搬送用シートＴを介して粘着テープＰＴとリングフレームｆとが一体化している。

【0032】

搬送用シートＴは図１（ｂ）に示すように、非粘着性の基材Ｔａと、粘着性を有する粘着材Ｔｂとが積層した構造を備えている。基材Ｔａを構成する材料の例として、ポリオレフィン、ポリエチレンなどが挙げられる。粘着材Ｔｂを構成する材料の例として、アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。なお、粘着材Ｔｂの代わりに接着材または粘接着材を用いてもよい。すなわち粘着テープＰＴは、粘着テープ、粘接着テープ、および接着テープを含む。

【0033】

粘着テープＰＴは図１（ｂ）に示すように、非粘着性の基材Ｐａと、粘着性を有する粘着材Ｐｂとが積層した構造を備えている。基材Ｐａが搬送用シートＴの粘着材Ｔｂに貼付けられることにより、搬送用シートＴは粘着テープＰＴを保持する。基材Ｐａを構成する材料の例として、ポリオレフィン、ポリエチレンなどが挙げられる。粘着材Ｓｂを構成する材料として、アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。本実施例において粘着テープＰＴの形状は略矩形状であるが、ワークＷの形状などに応じて適宜変更可能である。すなわち粘着テープＰＴは矩形状の他、円形状、多角形状などを例とする任意の形状に適宜変更してよい。また、ワークＷと粘着テープＰＴとの形状が異なっていてもよい。

【0034】

ワークＷは、平坦なベース部Ｂと、デバイスＤａおよびデバイスＤｂとを備えている。図２（ａ）に示すように、デバイスＤａは、ワークＷのベース部Ｂの表面中央部において二次元マトリクス状に並列搭載されている。また図２（ｂ）に示すように、デバイスＤｂは、ワークＷのベース部Ｂの裏面に搭載されている。すなわちデバイスＤａおよびデバイスＤｂによって、ワークＷの表面および裏面はいずれも凹凸が形成された状態となっている。ワークＷの裏面のうち、デバイスＤｂによって凹凸が形成されており非平坦な状態となっている部分を凹凸領域Ｂｃとする。

【0035】

デバイスＤａおよびＤｂは一例としてＬＥＤ、ＩＣチップ、マイクロレンズなどが挙げられる。デバイスＤａおよびＤｂの各々は、ＴＦＴを例とする半導体素子やバンプ（図示しない）などを介してベース部Ｂと接続されている。本実施例ではワークＷとして略矩形状のガラス基板を用いるものとする。ワークＷの形状は矩形状、円形状、多角形状などを例とする任意の形状に適宜変更してよい。ワークＷの例として、ガラス基板の他に有機基板、回路基板、シリコンウエハなどが挙げられる。

【0036】

なお本実施例ではワークＷの裏面側を保持テーブル１３で保持させた状態で、ワークＷの表面側に粘着テープＰＴを貼り付けるものとする。そのため本実施例ではワークＷの表面側がテープ貼付面Ｗａに相当し、ワークＷの裏面側が被保持面Ｗｂに相当する。また図２（ｃ）に示すように、ワークＷの被保持面ＷｂからデバイスＤｂが突出する高さをＦ１とする。高さＦ１の一例として、コネクタの場合、１ｍｍ～１０ｍｍ、電子デバイスの場合、１μｍ～５００μｍが挙げられる。

【0037】

＜全体構成の説明＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１の全体構成について説明する。図３は、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す平面図である。実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１は、貼付け部材Ｐに設けられている粘着テープＰＴをワークＷの表面側に貼り付けることによって、ワークＷおよびリングフレームｆが粘着テープＰＴによって一体化されてなるワーク複合体ＷＦを作成する。なお、以後の説明において、平面視で矩形状となっている粘着テープ貼付け装置１の長手方向を左右方向（ｘ方向）、これと直交する水平方向（ｙ方向）を前後方向と呼称する。

【0038】

粘着テープ貼付け装置１の右側にワーク搬送機構３が配備されている。粘着テープ貼付け装置１の下側の右寄りにワークＷを収容した２個の容器５が並列に載置されている。粘着テープ貼付け装置１の左端には、粘着テープＰＴをワークＷに貼り付けることで形成されるワーク複合体ＷＦを回収する、複合体回収部６が配備されている。

【0039】

粘着テープ貼付け装置１の後側（図３では上側）の右から、アライナ７、貼付けユニット９、およびフレーム供給部１１の順に配備されている。貼付けユニット９において、ワークＷに粘着テープＰＴが貼り付けられる。

【0040】

ワーク搬送機構３には、図３および図４に示すように、粘着テープ貼付け装置１の後側において左右水平に架設された案内レール１５の右側に左右往復移動可能に支持されたワーク搬送装置１６と、案内レール１５の左側に左右移動可能に支持されたフレーム搬送装置１７とが備えられている。

【0041】

ワーク搬送装置１６は、容器５のいずれか一方から取り出したワークＷを左右および前後に搬送するとともに、ワークＷの姿勢を表裏反転することができるよう構成されている。ワーク搬送装置１６は、左右移動可動台１８と前後移動可動台１９とが装備されている。

【0042】

左右移動可動台１８は、案内レール１５に沿って左右方向へ往復移動可能となるように構成されている。前後移動可動台１９は、左右移動可動台１８に備えられた案内レール２０に沿って前後方向へ往復移動可能となるように構成されている。

【0043】

さらに、前後移動可動台１９の下部には、ワークＷを保持する保持ユニット２１が装備されている。保持ユニット２１は縦方向に延伸する昇降レール２２に沿って上下方向（ｚ方向）に往復移動可能となるよう構成されている。また保持ユニット２１は図示しない回転軸により、ｚ方向の軸周りに旋回可能となっている。

【0044】

保持ユニット２１の下部には、馬蹄形の保持アーム２３が装備されている。保持アーム２３の保持面には、僅かに突出した複数個の吸着パッドが設けられており、当該吸着パッドを介してワークＷを吸着保持する。また、保持アーム２３は、その内部に形成された流路と、この流路の基端側で連接された接続流路を介して圧空装置に連通接続されている。

【0045】

上記した可動構造を利用することで、吸着保持したウエハＷを保持アーム２３によって前後移動、左右移動、および、ｚ方向軸周りの旋回移動を行うことができるようになっている。

【0046】

フレーム搬送装置１７は、左右移動可動台２４と、前後移動可動台２５と、左右移動可動台２４の下部に連結された屈伸リンク機構２６と、屈伸リンク機構２６の下端に装備された吸着プレート２７などを備えている。吸着プレート２７は搬送用シートＴを介して粘着テープＰＴまたはワークＷを吸着保持する。吸着プレート２７の周りには、リングフレームｆを吸着保持する複数個の吸着パッド２８が配備されている。従って、フレーム搬送装置１７は、リングフレームｆを備える貼付け部材Ｐまたはワーク複合体ＷＦを吸着保持して、昇降および前後左右に搬送することができる。吸着パッド２８は、リングフレームｆのサイズに対応して水平方向にスライド調節可能になっている。

【0047】

貼付けユニット９は図５に示すように、保持テーブル１３とチャンバ２９とを備えている。保持テーブル１３はチャンバ２９を構成する下ハウジング２９Ａに収納されており、外部に配備されている真空装置３１と連通接続されている。真空装置３１の動作は制御部３３によって制御される。制御部３３は真空装置３１の制御に加え、粘着テープ貼付け装置１における各構成の動作を統括制御する。

【0048】

保持テーブル１３は、下ハウジング２９Ａを貫通するロッド３５の一端と連結されている。ロッド３５の他端はモータなどを備えるアクチュエータ３７に駆動連結されている。そのため、保持テーブル１３はチャンバ２９の内部で昇降移動が可能となっている。

【0049】

保持テーブル１３は、ワーク支持部３９と凹部４１とを備えている。ワーク支持部３９は剛性を有しておりワークＷを支持する。凹部４１は、ワーク支持部３９の一部に形成されている。ワーク支持部３９のうち凹部４１が形成されていない部分は上面が平坦となっており、当該平坦な上面にワークＷが載置される。すなわち実施例１において、保持テーブル１３はワーク支持部３９の上面がワーク保持面４０に相当する。言い換えると、保持テーブル１３はワーク保持面４０においてワークＷと当接してワークＷを保持する。ワーク支持部３９は一例として、ウエハＷと同形状以上の大きさを有する金属製のチャックテーブルである。

【0050】

保持テーブル１３において凹部４１が形成される領域は、ワークＷの被保持面Ｗｂにおいて平面視でデバイスＤｂが配設されている凹凸領域Ｂｃを包含するように定められる。また凹部４１の深さＦ２は、ワークＷの被保持面ＷｂからデバイスＤｂが突出する高さＦ１より大きくなるように定められる。すなわち実施例１において保持テーブル１３がワークＷを保持することにより、図９などに示すように、被保持面Ｗｂに配設されているデバイスＤｂの各々は保持テーブル１３に形成されている凹部４１に嵌入することとなる。そして平坦となっているベース部Ｂの被保持面Ｗｂは、平坦なワーク保持面４０に当接されることとなる。

【0051】

チャンバ２９は、下ハウジング２９Ａと上ハウジング２９Ｂとによって構成される。下ハウジング２９Ａは保持テーブル１３を囲繞するように配設されている。上ハウジング２９Ｂは下ハウジング２９Ａの上方に配置されており、図示しない昇降駆動機構によって昇降可能に構成される。

【0052】

下ハウジング２９Ａは、当該下ハウジング２９Ａを外囲するフレーム保持部３８を備えている。フレーム保持部３８は、リングフレームｆを載置したとき、リングフレームｆの上面と下ハウジング２９Ａの円筒頂部とが面一になるように構成されている。また、下ハウジング２９Ａの円筒頂部４２は離型処理が施されていることが好ましい。

【0053】

図６に示すように、下ハウジング２９Ａは減圧用の流路１２１と連通接続されており、上ハウジング２９Ｂは減圧用の流路１２２と連通接続されている。流路２０１および流路２０２は、いずれも減圧用の流路１０１を介して真空装置３１と連通接続されている。すなわち、下ハウジング２９Ａは流路１０１および流路１２１を介して減圧用の真空装置３１と連通接続されている。そして上ハウジング２９Ｂは流路１０１および流路１２２を介して減圧用の真空装置３１と連通接続されている。

【0054】

なお、流路１０１には電磁バルブ１０３が備えられており、流路１２２には電磁バルブ１１３が備えられている。また、両ハウジング２９Ａ、２９Ｂには、大気開放用の電磁バルブ１０５、１０７を備えた流路１０９がそれぞれ連通接続されている。

【0055】

さらに、上ハウジング２９Ｂには、一旦減圧した内圧をリークにより調整する電磁バルブ１１０を備えた流路１１１が連通接続されている。電磁バルブ１１０には、開度調節弁１１２が設けられている。開度調節弁１１２は、電磁バルブ１１０の開度を適宜調節することにより、流路１１１を介してリークされる気体の量を調節する。

【0056】

なお、これら電磁バルブ１０３、１０５、１０７、１１０、１１３の開閉操作、真空装置３１の作動、および開度調節弁１１２の調節は、制御部３３によって行われている。すなわち真空装置３１は、下ハウジング２９Ａ側の空間の気圧と上ハウジング２９Ｂ側の空間の気圧とを独立して減圧調節できるように構成されている。

【0057】

複合体回収部６は、図４に示すように、ワーク複合体ＷＦを積載して回収するカセット４３が配備されている。このカセット４３は、装置フレーム４４に連結固定された縦レール４５と、この縦レール４５に沿ってモータ４７でネジ送り昇降される昇降台４９が備えられている。したがって、複合体回収部６は、ワーク複合体ＷＦを昇降台４９に載置してピッチ送り下降するよう構成されている。フレーム供給部１１は、リングフレームｆを有する貼付け部材Ｐを供給するものであり、一例として所定枚数の貼付け部材Ｐを積層収納した引き出し式のカセットを収納する。

【0058】

＜基本動作の概要＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１の基本動作を説明する。図７は、粘着テープ貼付け装置１を用いて、ワークＷに粘着テープＰＴを貼り付ける一連の工程を説明するフローチャートである。

【0059】

ステップＳ１（ワークの供給）
貼付け指令が出されると、容器５から保持テーブル１３へワークＷが搬送される。すなわちワーク搬送装置１６は、容器５の内部で多段に収納されているワークＷの同士の間に保持アーム２３を挿入する。保持アーム２３は、ワークＷを吸着保持して搬出し、アライナ７に搬送する。アライナ７は、ワークＷを保持して回転させながらノッチなどに基づいて位置合わせを行う。位置合わせが完了すると、保持アーム２３はワークＷを再度保持してアライナ７から搬出させて貼付けユニット９へと搬入する。すなわち図８に示すように、保持ユニット２１はワークＷを保持している状態で保持テーブル１３の上方へと移動する。

【0060】

ステップＳ２（ワークの保持）
保持ユニット２１によってワークＷを貼付けユニット９へ搬入されると、ワークＷを保持テーブル１３で保持する工程が開始される。まず、制御部３３は保持テーブル１３を上昇させ、ワーク保持面４０を下ハウジング２９Ａの円筒頂部４２より高い位置へと移動させる。そして、保持ユニット２１はワークＷに形成されている凹凸領域Ｂｃと保持テーブル１３に形成されている凹部４１とが対向するように水平方向におけるワークＷの位置を合わせ、保持アーム２３を下降させる。

【0061】

保持アーム２３が下降することによって、ワークＷのベース部Ｂから下方へ突出しているデバイスＤｂは凹部４１へと嵌入される。そしてワークＷのベース部Ｂ（特に外周部）がワーク保持面４０に当接することにより、ワークＷが保持テーブル１３のワーク支持部３９によって支持される。デバイスＤｂは凹部４１に嵌入されているのでワーク保持面４０がデバイスＤｂを支持することを回避できる。すなわち、デバイスＤｂがワーク保持面４０で支持されることによってワークＷが傾斜状態となることを防止できる。

【0062】

ここで保持テーブル１３のワーク保持面４０、すなわち凹部４１が形成されていない部分は平坦であり水平方向に拡がっている。また、ワークＷのベース部Ｂは平坦な状態である。そのためベース部Ｂおよびワーク保持面４０を介してワークＷを保持テーブル１３で保持することにより、ワークＷのテープ貼付面Ｗａは高い精度で水平な状態となる。ワークＷを保持テーブル１３のワーク保持面４０に載置させると、保持アーム２３はワークＷの吸着保持を解除して図９に示すように上昇する。ワークＷを保持テーブル１３に保持させることにより、ステップＳ２の工程は完了する。

【0063】

ステップＳ３（粘着テープの供給）
ワークＷが保持テーブル１３によって保持されると、粘着テープＰＴが備えられている貼付け部材Ｐを貼付けユニット９へ供給する動作を開始する。すなわち、フレーム搬送装置１７はフレーム供給部１１から貼付け部材Ｐを吸着して貼付けユニット９に搬送し、図１０に示すように下ハウジング２９Ａの上方へと移動する。そしてフレーム搬送装置１７は下降し、図１１に示すように貼付け部材Ｐのリングフレームｆをフレーム保持部３８に移載させる。

【0064】

フレーム搬送装置１７がリングフレームｆの吸着を解除して上昇すると、貼付け部材Ｐの位置合わせを行う。当該位置合わせは、一例としてフレーム保持部３８を囲繞するように立設された複数の支持ピンを中央方向へ同期的に移動させることによって行われる。リングフレームｆがフレーム保持部３８に載置されることにより、搬送用シートＴは下ハウジング２９Ａの円筒頂部４２に当接しつつ水平な状態で保持される。また搬送用シートＴに保持されている粘着テープＰＴも水平な状態となる。よって、粘着テープＰＴとワークＷとの平行性が高い精度で保たれることとなる。貼付け部材Ｐのリングフレームｆがフレーム保持部３８に載置されることにより、ステップＳ３に係る貼付け部材Ｐを貼付けユニット９へ供給する過程は完了する。

【0065】

ステップＳ４（チャンバの形成）
貼付け部材Ｐが貼付けユニット９へ供給されると、チャンバ２９を形成させる。すなわち制御部３３は保持テーブル１３を下降させるとともに、図示しない昇降駆動機構を作動させて上ハウジング２９Ｂを下降させる。上ハウジング２９Ｂの下降に伴って、図１２に示すように、下ハウジング２９Ａの円筒頂部４２に当接している部分の搬送用シートＴは上ハウジング２９Ｂと下ハウジング２９Ａによって挟持され、チャンバ２９が構成される。

【0066】

このとき、搬送用シートＴがシール材として機能するとともに、チャンバ２９は搬送用シートＴによって２つの空間に分割される。すなわち、搬送用シートＴを挟んで下ハウジング２９Ａ側の下空間Ｈ１と上ハウジング２９Ｂ側の上空間Ｈ２とに分割される。下ハウジング２９Ａ内に位置するワークＷは、搬送用シートＴが保持している粘着テープＰＴと所定のクリアランスを有して近接対向している。

【0067】

ステップＳ５（貼付け過程）
チャンバ２９を形成させた後、粘着テープＰＴをワークＷに貼り付ける工程を開始する。制御部３３は、保持テーブル１３を僅かに上昇させてワークＷを粘着テープＰＴに近づけるとともに、チャンバ２９内の気圧を調整して差圧を発生させる。

【0068】

チャンバ２９内の気圧を調整して差圧を発生させる場合、まず制御部３３は図６に示す電磁バルブ１０５、１０７、１１０、を閉じるとともに、電磁バルブ１０３および１１３を開く。そして制御部３３は真空装置３１を作動させて下空間Ｈ１内の気圧と上空間Ｈ２内の気圧とを所定値まで減圧する。所定値の例として、１０Ｐａ～１００Ｐａが挙げられる。

【0069】

下空間Ｈ１および上空間Ｈ２の気圧が所定値まで減圧されると、制御部３３は、電磁バルブ１０３を閉じるとともに、真空装置３１の作動を停止する。そして制御部３３は、下空間Ｈ１の気圧より上空間Ｈ２の気圧の方が高くなるよう、下空間Ｈ１に接続されている電磁バルブ１０３、１０５、１０７、１１３を閉じたまま、上空間Ｈ２に接続されている電磁バルブ１１０の開度を調整してリークさせるよう制御する。制御部３３が開度調節弁１１２を適宜制御することにより、電磁バルブ１１０の開度が調整される。当該調整により、電磁バルブ１１０の開度に応じて上空間Ｈ２の気圧が上昇する。

【0070】

下空間Ｈ１の気圧より上空間Ｈ２の気圧の方が高くなることにより、図１３に示すように、両空間の間に差圧Ｇｓが発生する。差圧の大きさの一例として、５０００Ｐａ以上０．１ＭＰａ未満が挙げられる。

【0071】

差圧Ｇｓが発生することにより、貼付け部材Ｐにおいて搬送用シートＴは下ハウジング２９Ａの側へ引き込まれていく。このとき搬送用シートＴに保持されている粘着テープＰＴは水平状態を保ちつつ、ワークＷのテープ貼付面Ｗａへと近づいていく。ワークＷは凹部４１を備える保持テーブル１３によって高い精度で水平状態となるように保持されている。

【0072】

そのため、ワークＷと粘着テープＰＴとは高い精度で平行な状態を保ちつつ近づいていき、差圧Ｇｓによって粘着テープＰＴがワークＷに押圧される。そしてワークＷの表面から突出しているデバイスＤａは、差圧Ｇｓによって粘着テープＰＴの粘着材Ｐｂの層に埋め込まれていく。このように差圧Ｇｓを一定時間作用させることにより、ワークＷのテープ貼付面Ｗａに粘着テープＰＴが貼り付けられる。粘着テープＰＴがワークＷに貼り付けられることにより、貼付け部材ＰとワークＷとが一体となったワーク複合体ＷＦが形成され、ステップＳ５に係る貼付け過程は完了する。

【0073】

ステップＳ６（ワーク複合体の回収）
粘着テープＰＴがワークＷに貼り付けられてワーク複合体ＷＦが形成されると、当該ワーク複合体ＷＦを回収する工程が開始される。まず図１４に示すように、制御部３３は保持テーブル１３を上昇させる。このとき貼付け部材Ｐの搬送用シートＴが水平状態になるように、保持テーブル１３の上昇位置が調整される。

【0074】

制御部３３は保持テーブル１３を上昇させるとともに、電磁バルブ１０３、１０５、１０７、１１０、１１３を全開にして上空間Ｈ２および下空間Ｈ１を大気開放させる。上空間Ｈ２および下空間Ｈ１が大気開放されると、制御部３３は図１５に示すように上ハウジング２９Ｂを上昇させてチャンバ２９を開放する。

【0075】

チャンバ２９が開放された後、図１６に示すように、フレーム搬送装置１７に設けられている吸着パッド２８がワーク複合体ＷＦを吸着保持し、下ハウジング２９Ａからワーク複合体ＷＦを離脱させる。ワーク複合体ＷＦを吸着保持したフレーム搬送装置１７は、ワーク複合体ＷＦを複合体回収部６へと搬送する。搬送されたワーク複合体ＷＦは、カセット４３に積載収納される。以上で、ワークＷに粘着テープＰＴを貼り付ける一巡の動作が終了する。以後、ワーク複合体ＷＦが所定数に達するまで上記処理が繰り返される。

【0076】

＜実施例１の構成による効果＞
上記実施例１に係る装置によれば、凹部４１を備える保持テーブル１３を用いてワークＷを保持することにより、ワークＷに対して粘着テープＰＴを精度良く貼り付けることができる。ここで実施例１の構成による効果について、従来の構成と比較しつつ説明する。

【0077】

従来の貼付け装置では、保持テーブルＨＴは剛性を有しており全体として平坦なワーク保持部Ｖａを有する。そして平坦なワーク保持部ＶａがワークＷの裏面に当接することでワークＷを保持する。このような従来の構成では、ワークＷの傾斜に起因して粘着テープＰＴの貼付け精度が低下する事態が発生しやすくなる。

【0078】

従来の装置において、ワークＷの傾斜に起因して粘着テープＰＴの貼付け精度が低下する事態が発生する一例として、ワークＷの被保持面Ｗｂに凹凸が形成されている場合が挙げられる。すなわち図１７（ａ）に示すように、デバイスＤｂによって凹凸状態となっている被保持面Ｗｂを平坦なワーク保持部Ｖａで保持する場合、ワーク保持部Ｖａは当該突出しているデバイスＤｂの先端に接触した状態でワークＷを支持する。その結果、図１７（ｂ）に示すようにワークＷが傾斜し、ワークＷは傾斜した状態で保持テーブルＨＴに保持されることとなる。特にデバイスＤｂが形成されている凹凸領域ＢｃがワークＷの中心から離れた位置にある場合、ワーク保持部Ｖａは当該突出しているデバイスＤｂの先端と接触してワークＷのバランスが崩れ、ワークＷが傾斜することとなる。

【0079】

ワークＷが傾斜した状態で保持テーブルＨＴに保持されると、水平状態で保持されている粘着テープＰＴとの平行性が低下するので、粘着テープＰＴがワークＷのテープ貼付面Ｗａに対して均一に貼り付けられなくなる。その結果、ワークＷに対する粘着テープＰＴの貼付け精度が低下する。従来は被保持面Ｗｂ（裏面）が平坦となっているワークに対して粘着テープを貼り付ける構成であったため、従来の保持テーブルＨＴを備える装置であってもワークＷを傾斜状態で保持する事態は発生しにくい。よって、粘着テープＰＴとワークＷとの平行性が低下した状態で両者が貼り付けられる可能性は低く、ワークＷの傾斜に起因する貼付けエラーの問題は懸念されていなかった。

【0080】

しかしながら近年ではワークＷの被保持面Ｗｂに凹凸が形成されている場合が多くなっているため、従来の保持テーブルＨＴではワークＷの傾斜を確実に防止することが難しい。そのため、従来の装置では特に被保持面Ｗｂに凹凸が形成されているワークＷを用いる場合、粘着テープＰＴの貼付けエラーが高い頻度で発生するという問題を発明者は見出した。

【0081】

また近年ではワークＷが大型化する傾向にある。発明者はさらに検討を重ねた結果、ワーク保持部Ｖａが全体にわたって平坦である従来の保持テーブルＨＴでは、特に大型のワークＷを精度よく保持することが困難であるという新たな問題を見出した。すなわち図１８（ａ）に示すように、ワークＷとワーク保持部Ｖａとの間に塵埃Ｒが入り込むことがある。塵埃Ｒが入り込んだ場合、塵埃ＲがワークＷの被保持面Ｗｂと接触するので、図１８（ｂ）に示すように塵埃Ｒが支点となってワークＷが傾斜することとなる。

【0082】

ワークＷが大型化するほど、ワークＷとワーク保持部Ｖａとの間に塵埃Ｒなどの不純物が入り込む頻度が高くなる。すなわち、従来の保持テーブルＨＴで保持するワークＷが大型化すると、保持テーブルＨＴ上においてワークＷが傾斜する頻度はより高くなる。そのため、従来の装置では特に大型のワークＷを用いる場合、粘着テープＰＴの貼付けエラーが高い頻度で発生するという問題を発明者は見出した。このように、近年において用いられるようになった、被保持面に凹凸があるワークや比較的大型のワークを用いる場合、従来の保持テーブルＨＴではワークが傾斜してしまい、粘着テープＰＴの貼付けエラーが高い頻度で発生する。

【0083】

このような従来の保持テーブルＨＴに対し、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１では保持テーブル１３を用いてワークＷを保持する。保持テーブル１３は凹部４１を備えており、ワークＷが傾斜状態で保持されることを凹部４１によって防止する構成となっている。すなわちワークＷの被保持面Ｗｂに凹凸領域Ｂｃが存在する場合であっても、図９などに示すように、凹凸の原因となるデバイスＤｂは凹部４１に嵌入する。

【0084】

その結果、保持テーブル１３のワーク保持面４０は、ワークＷのうち平坦な部分（一例として、デバイスおよび回路が存在しない外周部）に当接することによってワークＷを保持する。その結果、被保持面Ｗｂに凹凸が存在するようなワークＷであっても、保持テーブル１３は当該ワークＷを高精度な水平状態で保持することができる。ワークＷの水平性の精度が向上すると、同じく水平状態となっている粘着テープＰＴとの平行性についても精度が向上する。よって、粘着テープＰＴとワークＷとの平行性を向上させた状態で粘着テープＰＴがワークＷに貼り付けられるので、ワークＷの傾斜に起因する貼付けエラーが発生する頻度を大きく低減できる。

【0085】

また実施例１に係る保持テーブル１３では塵埃Ｒに起因する貼付けエラーの発生も防止できる。凹部４１を備える保持テーブル１３は、ワーク保持面４０が当接するワークＷの被保持面Ｗｂの範囲は従来と比べて狭くなっている。すなわち図１９に示すように塵埃Ｒは凹部４１に落下する頻度が高くなるので、ワーク保持面４０とワークＷの被保持面Ｗｂとの間に塵埃Ｒが入り込む事態をより確実に防止できる。その結果、保持テーブル１３を備える粘着テープ貼付け装置１では塵埃Ｒに起因してワークＷが傾斜した状態で保持されることを回避できるので、塵埃Ｒに起因する貼付けエラーの発生も防止できる。よって、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１では、近年用いられるようになった新しいタイプのワークＷを用いる場合であっても、粘着テープＰＴの貼付け精度を高く維持できる。

【0086】

またワークＷが矩形である場合、ワークの外周部のうち角部は中心からの距離が他の部分と比べて大きい。すなわち、円形状のワークと比べて矩形のワークは中心から外周部までの距離が長いので、ワークが矩形である場合は塵埃などの不純物がワークと保持テーブルとの間に入り込みやすく、水平状態で保持テーブルに載置させることが難しい。これに対し、実施例１に係る構成では保持テーブル１３に傾斜保持防止部として凹部４１を備えているので、傾斜状態で保持されやすい矩形のワークであっても確実に水平状態で保持することができる。

【実施例0087】

次に、本発明の実施例２を説明する。実施例１では保持テーブル１３がワーク支持部３９に凹部４１を備えることにより、ワークＷが傾斜した状態で保持テーブル１３に保持されることを防止する。実施例２では、保持テーブル１３が変形部材５１を備えることにより、ワークＷが傾斜した状態で保持テーブル１３に保持されることを防止する。なお、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分である保持テーブル１３について詳述する。

【0088】

図２０は、実施例２に係る保持テーブル１３Ａの構成を説明する縦断面図である。実施例２に係る保持テーブル１３Ａは、ワーク支持部３９Ａと変形部材５１とを備えている。ワーク支持部３９Ａは剛性を有する材料で構成されており上面が全体的に平坦となっている。

【0089】

変形部材５１は、ワーク支持部３９Ａの上面を覆うように配設されており、変形部材５１の上面がワークＷの被保持面Ｗｂに当接するように構成される。すなわち実施例２では変形部材５１の上面がワークＷに接触するワーク保持面４０として機能する。変形部材５１は、ワークＷにおける被保持面Ｗｂの形状に応じて変形する材料で構成されている。変形部材５１を構成する材料の例として、発泡ウレタンを例とするスポンジ状の材料、ゴムやエラストマーを例とする弾性体が挙げられる。

【0090】

ここで、実施例２において用いられるワークＷの構成を図２１に示している。実施例２では実施例１と同様に、ワークＷの裏面側が保持テーブル１３Ａに保持される被保持面Ｗｂとなっている。実施例２において、ワークＷの被保持面Ｗｂには回路Ｊ１～Ｊ６が形成されている。回路Ｊ１～Ｊ６の各々は配線などによって構成されており、ベース部Ｂから突出している。すなわち被保持面Ｗｂは回路Ｊ１～Ｊ６によって微細な凹凸が形成された形状となっている。回路Ｊ１は回路Ｊ２と比べて、ベース部Ｂから突出する高さが比較的高くなっている。回路Ｊ１～Ｊ６がワークＷの被保持面Ｗｂから突出する高さは、一例として１μｍ～５００μｍ程度である。

【0091】

すなわち回路Ｊ１～Ｊ６は、実施例１に係るデバイスＤｂと比べてベース部Ｂから突出する高さが比較的低い。すなわち実施例２に係る変形部材５１を備える保持テーブル１３Ａは、実施例１に係る凹部４１を備える保持テーブル１３と比べて、高さの差が小さい凹凸（微細な凹凸）が広範囲にわたって被保持面Ｗｂに形成されているワークＷを保持する場合に適している。

【0092】

実施例２では、ワーク支持部３９の上面全体に変形部材５１が配設される構成を例示しているが、変形部材５１はワーク支持部３９の上面の一部に配設されてもよい。すなわちステップＳ２においてワークＷを保持テーブル１３Ａに載置する場合に、変形部材５１が回路Ｊ１～Ｊ６の各々と当接するように、変形部材５１がワーク支持部３９の上面に配設されていればよい。言い換えると、ワークＷの被保持面Ｗｂのうち回路Ｊ１～Ｊ６によって凹凸形状となっている領域の位置に応じて、保持テーブル１３Ａにおいて変形部材５１が配設される位置が設定されていればよい。

【0093】

＜実施例２に係る動作の説明＞
実施例２に係る粘着テープ貼付け装置１を用いて粘着テープＰＴをワークＷに貼り付ける工程は実施例１と基本的に共通しており、図７に示されるフローチャートに沿って行われる。但し、保持テーブル１３ＡがワークＷを保持する状態が相違する。ここでは実施例１に係る工程と実施例２に係る工程との共通点については説明を簡略化し、相違点が存在するステップＳ２について説明する。

【0094】

実施例２に係るステップＳ２では、保持ユニット２１によってワークＷを貼付けユニット９へ搬入されると、制御部３３は保持テーブル１３を上昇させる。保持ユニット２１はワークＷに回路Ｊ１～Ｊ６が形成されている領域と保持テーブル１３Ａに変形部材５１が形成されている領域とが対向するように、水平方向におけるワークＷの位置を合わせる。位置合わせが完了した後、制御部３３は保持アーム２３を下降させる。

【0095】

保持アーム２３が下降することによって、ワークＷのベース部Ｂから下方へ突出している回路Ｊ１～Ｊ６は、図２１に示すように変形部材５１の上面（ワーク保持面４０）に当接する。そして保持アーム２３がさらに下降することにより、図２２に示すように、変形部材５１は被保持面Ｗｂの凹凸形状に応じて変形し、回路Ｊ１～Ｊ６は変形部材５１に沈み込んでいく。

【0096】

このとき、変形部材５１は回路Ｊ１～Ｊ６の突出高さに応じて変形する。すなわちベース部Ｂの被保持面Ｗｂからの突出高さが比較的高い回路Ｊ１に対向する部分の変形部材５１は、比較的深く沈み込むように変形する。一方、ベース部Ｂからの突出高さが比較的高い回路Ｊ２に対向する部分の変形部材５１は、比較的浅く沈み込むように変形する。変形部材５１が変形することにより、ワークＷが傾斜状態となることを防止できる。

【0097】

このように、実施例２では被保持面Ｗｂの形状（凹凸を構成する回路Ｊ１～Ｊ６の突出高さの違い）に応じて変形部材５１が変形する。そして変形部材５１が被保持面Ｗｂの形状に応じて変形することにより、ワークＷは被保持面Ｗｂが凹凸形状であっても、高い精度で水平姿勢を維持した状態で保持テーブル１３Ａに載置保持される。すなわち実施例２に係る保持テーブル１３Ａは、被保持面Ｗｂが凹凸形状となっているワークＷを傾斜させることなく水平姿勢で保持できる。ワークＷを保持テーブル１３Ａに保持した後、実施例１と同様にステップＳ３～Ｓ６の工程を実行することで粘着テープＰＴをワークＷに貼り付ける。

【0098】

実施例２に係る粘着テープ貼付け装置では、ワーク保持面４０において変形部材５１が配設された保持テーブル１３Ａを備えている。ワークＷを保持テーブル１３Ａに保持させるステップＳ２において、変形部材５１はワークＷの被保持面Ｗｂの形状に応じて変形する。そのため被保持面Ｗｂに凹凸が形成されて非平坦な状態となっている場合であっても、ワークＷはテープ貼付面Ｗａが水平な状態を維持しつつ下降していき、保持テーブル１３Ａに載置保持される。

【0099】

ステップＳ２においてワークＷを高い精度で水平に保持することにより、ステップＳ５では、粘着テープＰＴとワークＷとの平行性を向上させた状態で粘着テープＰＴがワークＷに貼り付けられる。そのため実施例１と同様に、実施例２に係る粘着テープ貼付け装置では、粘着テープＰＴがワークＷに片当たりするなどの事態によって貼付け精度が低下することを確実に回避できる。またワークＷの被保持面Ｗｂと変形部材５１との間に塵埃が入り込む場合であっても、ワークＷを下降させて変形部材５１が上から押圧される際に、変形部材５１は塵埃の形状に応じて変形する。そのため、塵埃の存在に起因してワークＷが傾斜することを回避できるので、保持テーブル１３Ａはより高い精度でワークの水平性を維持することができる。