特開 2024-67551 計測装置、計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024067551

(43)【公開日】2024-05-17

(54)【発明の名称】計測装置、計測方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/00 20060101AFI20240510BHJP

   G01B 11/25 20060101ALN20240510BHJP

【ＦＩ】

G01B11/00 Z

G01B11/25 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022177728

(22)【出願日】2022-11-04

(71)【出願人】

【識別番号】312003595

【氏名又は名称】タカハタプレシジョン株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000001373

【氏名又は名称】鹿島建設株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100162341

【弁理士】

【氏名又は名称】瀬崎 幸典

(72)【発明者】

【氏名】永瀬 勝也

(72)【発明者】

【氏名】三浦 義晃

(72)【発明者】

【氏名】片岡 政人

(72)【発明者】

【氏名】岡 尚人

(72)【発明者】

【氏名】八幡 真純

(72)【発明者】

【氏名】土岐 亮太

(72)【発明者】

【氏名】加藤 洋祐

【テーマコード（参考）】

2F065

【Ｆターム（参考）】

2F065AA04

2F065AA53

2F065FF07

2F065FF41

2F065GG06

2F065GG15

2F065HH07

2F065JJ03

2F065JJ26

2F065LL42

2F065QQ31

(57)【要約】

【課題】不可視レーザ光による３次元センサの計測範囲を可視化する。
【解決手段】計測対象物の表面に不可視レーザ光を照射し計測対象物の表面から反射する反射光を受光して計測対象物の表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する測距手段と、光源から出射する可視光レーザを回折光学素子を介して目視可能なパターンで計測対象物の表面に測距手段と同じ照射角度で照射して測距手段による計測対象物の計測範囲を可視化する照射手段と、を備えた。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

計測対象物の表面に不可視光を照射し前記計測対象物の表面から反射する反射光を受光して前記計測対象物の表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する測距手段と、
前記計測対象物の表面に可視光を目視可能なパターンで照射して前記測距手段による前記計測対象物の計測範囲を可視化する照射手段と、を備えた、
ことを特徴とする計測装置。

【請求項2】

前記照射手段は、光源から出射する可視光レーザを回折光学素子を介して前記目視可能なパターンで前記計測対象物の表面に照射する、
ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。

【請求項3】

前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲を示す格子パターンである、
ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。

【請求項4】

前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲の外縁を示す線パターンである、
ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。

【請求項5】

前記パターンは、終端が前記計測対象物の計測範囲の四隅に位置するクロスパターンである、
ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。

【請求項6】

前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲の中心と四隅を示すマークである、
ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。

【請求項7】

前記照射手段は、前記測距手段との相対位置及び姿勢が固定され、前記測距手段と同じ照射角度で前記可視光を照射する、
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の計測装置。

【請求項8】

前記照射手段は、前記パターンの照射範囲が前記測距手段による計測範囲と一致する姿勢で固定される、
ことを特徴とする請求項７に記載の計測装置。

【請求項9】

前記測距手段は、計測範囲が前記照射手段による前記パターンの照射範囲と一致するように画角（出射角度）を調整する、
ことを特徴とする請求項７に記載の計測装置。

【請求項10】

前記照射手段は、前記測距手段と熱的に離隔して配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。

【請求項11】

計測対象物の表面に可視光を目視可能なパターンで照射して前記計測対象物の計測範囲を可視化しながら、前記計測対象物の表面に不可視光を照射し前記計測対象物の表面から反射する反射光を受光して前記計測対象物の表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する、
ことを特徴とする計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、計測装置、計測方法に関する。

【背景技術】

【0002】

吹付けコンクリートが吹き付けられる計測対象面を含む領域のカラー画像を取得するカラー画像取得工程と、計測対象面を含む領域をスキャンして得られた吹付け前点群データを取得する吹付け前点群データ取得工程と、計測対象面に吹付けコンクリートが吹き付けられた吹付け面を含む領域をスキャンして得られた吹付け後の点群データである吹付け後点群データを取得する吹付け後点群データ取得工程と、吹付け前点群データ及び吹付け後点群データのうち、吹付け面の点群データを抽出する抽出工程と、抽出された吹付け前点群データと吹付け後点群データとを対応付け、抽出された吹付け後点群データに対し、対応する吹付け前点群データの位置に対応するカラー画像の色情報を付与し、色情報が付与された吹付け後点群データの画像を生成する画像生成工程と、色情報が付与された吹付け後点群データの画像を吹付け面に投影する画像投影工程と、を含む吹付け面状態監視方法が知られている（特許文献１）。

【0003】

陰極と、陽極と、陽極を回転させる回転駆動部とを有し、陽極が回転している状態で、陰極から発生した電子が陽極に照射されることにより、撮影対象物に対してＸ線を照射して、Ｘ線撮影を可能するＸ線管装置と、撮影対象物に対するＸ線のＸ線照射範囲を規定するコリメータと、撮影対象物に対して可視光を照射した光照射状態として、Ｘ線照射範囲を可視化させる可視光照射部と、可視光照射部を光照射状態にさせる操作を行う光照射操作部とを有する光照射装置と、Ｘ線管装置および光照射装置の作動を制御する制御装置とを備え、制御装置は、光照射操作部が操作された際、回転駆動部により、Ｘ線撮影が可能な状態となる撮影可能回転数で陽極を回転させるＸ線撮影システムも知られている（特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－３３７７１号公報

【特許文献2】特開２０２１－１０９０４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、不可視レーザ光による３次元センサの計測範囲を可視化する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するために、請求項１に記載の計測装置は、
計測対象物の表面に不可視光を照射し前記計測対象物の表面から反射する反射光を受光して前記計測対象物の表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する測距手段と、
前記計測対象物の表面に可視光を目視可能なパターンで照射して前記測距手段による前記計測対象物の計測範囲を可視化する照射手段と、を備えた
ことを特徴とする。

【0007】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の計測装置において、
前記照射手段は、光源から出射する可視光レーザを回折光学素子を介して前記目視可能なパターンで前記計測対象物の表面に照射する、
ことを特徴とする。

【0008】

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の計測装置において、
前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲を示す格子パターンである、
ことを特徴とする。

【0009】

請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の計測装置において、
前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲の外縁を示す線パターンである、
ことを特徴とする。

【0010】

請求項５に記載の発明は、請求項２に記載の計測装置において、
前記パターンは、終端が前記計測対象物の計測範囲の四隅に位置するクロスパターンである、
ことを特徴とする。

【0011】

請求項６に記載の発明は、請求項２に記載の計測装置において、
前記パターンは、前記計測対象物の計測範囲の中心と四隅を示すマークである、
ことを特徴とする。

【0012】

請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の計測装置において、
前記照射手段は、前記測距手段との相対位置及び姿勢が固定され、前記測距手段と同じ照射角度で前記可視光を照射する、
ことを特徴とする。

【0013】

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の計測装置において、
前記照射手段は、前記パターンの照射範囲が前記測距手段による計測範囲と一致する姿勢で固定される、
ことを特徴とする。

【0014】

請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の計測装置において、
前記測距手段は、計測範囲が前記照射手段による前記パターンの照射範囲と一致するように出射角度を調整する、
ことを特徴とする。

【0015】

請求項１０に記載の発明は、請求項１に記載の計測装置において、
前記照射手段は、前記測距手段と熱的に離隔して配置されている、
ことを特徴とする。

【0016】

前記課題を解決するために、請求項１１に記載の計測装置は、
計測対象物の表面に可視光を目視可能なパターンで照射して前記計測対象物の計測範囲を可視化しながら、前記計測対象物の表面に不可視光を照射し前記計測対象物の表面から反射する反射光を受光して前記計測対象物の表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する、
ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0017】

請求項１に記載の発明によれば、測定対象物の計測範囲を可視化することができる。

【0018】

請求項２に記載の発明によれば、可視光レーザを目視可能なパターンで出射することができる。

【0019】

請求項３、４、５、６に記載の発明によれば、測定対象物の計測範囲を可視化することができる。

【0020】

請求項７、８、９に記載の発明によれば、測距手段の計測範囲に合わせてパターンを表示することができる。

【0021】

請求項１０に記載の発明によれば、照射手段から発する熱が測距手段に伝わりにくくなる。

【0022】

請求項１１に記載の発明によれば、計測範囲を可視化して計測対象物の表面の計測を容易化することができる

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】計測装置の機能構成を示すブロック図である。

【図2】（ａ）は３次元センサの構成例を示す平面模式図、（ｂ）は断面模式図である。

【図3】３次元センサのドットパターン照射を示す模式図である。

【図4】レーザポインタのパターン照射を示す模式図である。

【図5】回折パターンの例を示す図である。

【図6】計測装置における３次元センサとレーザポインタの配置例を示す図である。

【図7】３次元センサによる計測範囲とレーザポインタによるパターンの照射範囲との関係を示す図である。

【図8】計測装置による計測対象物の計測範囲に照射された目視可能なパターンを示す図である。

【図9】計測装置による計測対象物の計測範囲に照射された目視可能なパターンの変形例１を示す図である。

【図10】計測装置による計測対象物の計測範囲に照射された目視可能なパターンの変形例１を示す図である。

【図11】計測装置による計測対象物の計測範囲に照射された目視可能なパターンの変形例２を示す図である。

【図12】計測装置による計測対象物の計測範囲に照射された目視可能なパターンの変形例３を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

次に図面を参照しながら、本発明の実施形態の具体例を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
尚、以下の図面を使用した説明において、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきであり、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。

【0025】

「第１実施形態」
（１）計測装置の全体構成
図１は本実施形態に係る計測装置１の機能構成を示すブロック図、図２（ａ）は３次元センサ１０の構成例を示す平面模式図、（ｂ）は断面模式図、図３は３次元センサ１０のドットパターン照射を示す模式図、図４はレーザポインタ２０のパターン照射を示す模式図、図５は回折パターンの例を示す図である。
以下、図面を参照しながら、計測装置１の全体構成について説明する。

【0026】

図１に示すように、計測装置１は、計測対象物Ｇの表面に不可視光を照射し計測対象物Ｇの表面から反射する反射光を受光して計測対象物Ｇの表面の三次元座標値の集合である点群データを取得する測距手段の一例としての３次元センサ１０と、計測対象物Ｇの表面に可視光を目視可能なパターンで照射して３次元センサ１０による計測対象物Ｇの計測範囲Ｒを可視化する照射手段の一例としてのレーザポインタ２０と、３次元センサ１０及びレーザポインタ２０の動作を制御し、点群データを取得する制御部３０と、を備えている。

【0027】

制御部３０は、プロジェクタ１１のＶＣＳＥＬ１１１の発光制御、イメージセンサモジュール１２の受光制御、レーザポインタ２０の発光制御を行う。
本実施形態においては、制御部３０として、例えば、ＡＲＭプロセッサを搭載したシングルボードコンピュータであるラズベリーパイ（Raspberry Pi：登録商標）や小型のコンピュータ装置などとして実装されるプログラム処理装置を用いることができるが、特に限定されない。

【0028】

制御部３０は通信インタフェース等を有し、３次元センサ１０は外部機器４０と有線又は無線で接続されている。外部機器４０は情報処理機能及び表示機能を有するものであれば、モバイルＰＣ（Personal Computer）と称されるものであってもよく、また、設置型のＰＣ、携帯端末（スマートフォン）、ウェアラブルデバイス等の装置であってもよい。

【0029】

（１．１）３次元センサ
３次元センサ１０は、光を出射する発光素子からなるプロジェクタ１１と、計測対象物Ｇの表面から反射した反射光を撮像する撮像素子からなるイメージセンサモジュール１２と、プロジェクタ１１の発光及びイメージセンサモジュール１２の受光を制御する基板１３と、を備えている。

【0030】

プロジェクタ１１は、図２に示すように、複数の発光素子からなるアレイ光源であるＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting LASER）１１１と、ＶＣＳＥＬ１１１の上側でレーザ光の配光制御を行う透過型の回折光学素子（ＤＯＥ：Diffractive Optical Element）１１２と、から構成されている。
ＶＣＳＥＬ１１１は、波長９４０ｎｍの不可視の近赤外レーザ光を発光する。
回折光学素子１１２は、ＶＣＳＥＬ１１１が発光することにより生じる光を、規則的なドットパターンの配光パターンに変換し、複数のビーム状の測距光として計測対象物Ｇに照射する。

【0031】

図３（ａ）においては、回折光学素子１１２により、プロジェクタ１１から発光された光が、計測対象物Ｇに対して、規則的なドットパターンとして配光されるように広がり角θ１の測距光Ｌ１～Ｌｎに変換される例が示されている。本実施形態においては、４０００ないし５０００本のレーザ光でドットパターンを照射し、一例として、図３（ｂ）に示すように、計測距離（Ｌ）５００ｍｍ～１５００ｍｍで計測範囲（Ｒ）４４０×４４０ｍｍ～１３２０×１３２０ｍｍを有する。

【0032】

イメージセンサモジュール１２には、光電変換素子としてＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサが用いられている。
イメージセンサモジュール１２は、プロジェクタ１１から出射した光が計測対象物Ｇで反射する反射光を撮像して点群データとして取得して制御部３０を介して計測装置１が接続された外部機器４０へ出力される。

【0033】

このように構成される３次元センサ１０は、計測対象物Ｇにプロジェクタ１１から不可視のレーザ光を発して計測対象物Ｇの表面から反射する反射光をイメージセンサモジュール１２で撮像して点群データを取得して計測対象物Ｇの３次元形状を計測する。

【0034】

（１．２）レーザポインタ
レーザポインタ２０は、図４に模式的に示すように、可視のレーザ光を出射する発光素子２１と、レーザ光の配光制御を行う透過型の回折光学素子（ＤＯＥ：Diffractive Optical Element）２２から構成されている。
本実施形態においては、発光素子２１としては、例えば赤色光や緑色光などの可視光を出射可能な半導体レーザを用いることができる。具体的には、波長６３０～６４０ｎｍの赤色レーザ光を出射可能な半導体レーザ（ＬＤ：Laser Diode）や波長５１０～５２０ｎｍの緑色レーザ光を出射可能な半導体レーザ（ＬＤ）を用いることができる。

【0035】

回折光学素子（以下ＤＯＥと記す）２２は、グレーティング構造、マイクロレンズ構造、フレネル（Fresnel）構造、ホログラフィック光学素子（holographic optical element;ＨＯＥ）構造又は他の光の回折に適する構造を有し、コリメータレンズ（不図示）側から入射されたレーザ光を回折パターンによる回折作用により目視可能な所定のパターンのレーザ光に変換する。ＤＯＥ２２に入射したレーザ光は、目視可能な照射光パターンに変換されて計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に照射される。

【0036】

回折パターンとしては、図５に示すように、格子パターン（図５（ａ）参照）、計測範囲の外縁を示すパターン（図５（ｂ）参照）、クロスパターン（図５（ｃ）参照）、図形パターン（図５（ｄ）参照）等が挙げられ、計測対象物Ｇの表面に３次元センサ１０による計測範囲（Ｒ）と重ね合わせて表示される。

【0037】

（１．３）レーザポインタの配置
図６には計測装置１における３次元センサ１０とレーザポインタ２０の配置例を示している。
計測装置１は、プロジェクタ１１及びイメージセンサモジュール１２からなる３次元センサ１０を収容して保持するケース体１４の上部にレーザポインタ２０が固定されている。
３次元センサ１０は、アレイ光源であるＶＣＳＥＬ１１１が大きな熱源であり、ＶＣＳＥＬ１１１の発光を制御する基板１３も一定の発熱量を有する熱源となっている。また、レーザポインタ２０も最大出力が２００ｍＷを有する半導体レーザ（ＬＤ）が大きな熱源となっている。
これら熱源であるレーザポインタ２０は、ＶＣＳＥＬ１１１及び基板を覆うように収容するケース体１４によってＶＣＳＥＬ１１１と熱的に離隔されてケース体１４の外面となる上部に固定されている。

【0038】

また、３次元センサ１０とレーザポインタ２０は、その相対位置（図６（ａ）におけるＡ）及び姿勢（図６（ｂ）におけるＢ）が固定され、図６に示すように、レーザポインタ２０は３次元センサ１０と同じ照射角度で可視光を目視可能なパターンで照射するようになっている。
具体的には、レーザポインタ２０は、赤色光や緑色光などの可視光の波長ごとに光の屈折率が異なるために、３次元センサ１０と同じ視野角（ＦＯＶ：Field of View)になるように異なるＤＯＥ２２を用いてＦＯＶを調整している。
例えば、波長５１０～５２０ｎｍの緑色レーザ光を用いる場合と、波長６３０～６４０ｎｍの赤色レーザ光を用いる場合では、それぞれ異なるＤＯＥ２２を用いてＦＯＶを４９°×４９°に調整している。

【0039】

図７には、３次元センサ１０による計測範囲（Ｒ）とレーザポインタ２０によるパターンの照射範囲との関係を示している。
レーザポインタ２０は、３次元センサ１０と同じ照射角度で可視光を照射するようにＦＯＶを調整した上で、パターンの照射範囲（図７中 破線で示す）が３次元センサ１０による計測範囲（Ｒ）（図７中 実線で示す）と一致する姿勢でケース体１４の上部に固定される。具体的には、図６（ｂ）に矢印Ｂで模式的に示すように、ケース体１４への取り付け姿勢を調整して固定される。

【0040】

尚、レーザポインタ２０は、パターンの照射範囲（図７中 破線で示す）が３次元センサ１０による計測範囲（Ｒ）（図７中 実線で示す）と一致するようにＦＯＶを調整してもよい。

【0041】

（２）計測範囲の可視化
計測装置１は、図７に示すように、計測対象物Ｇと所定の計測距離（Ｌ）を保った状態で、計測対象物Ｇの表面の一定の計測範囲（Ｒ）に３次元センサ１０から規則的なドットパターンを照射し、計測対象物Ｇの表面で反射する反射光をイメージセンサモジュール１２で撮像して計測対象物Ｇの表面の三次元座標値の集合である点群データを取得して計測対象物Ｇの３次元形状を計測する。取得した点群データは、接続された外部機器４０に表示される。

【0042】

３次元センサ１０からドットパターンとして照射されるレーザ光は、例えば波長９４０ｎｍの不可視の近赤外レーザ光であり、計測者には計測対象物Ｇの所定の計測範囲（Ｒ）に照射されているかは目視では認識することができない。そのために、接続されている外部機器４０による表示を見て計測範囲（Ｒ）を確認する必要があった。

【0043】

本実施形態に係る計測装置１においては、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを計測範囲（Ｒ）を示す目視可能なパターンで照射する。
可視光としては、例えば波長６４０ｎｍの赤色レーザ光や波長５１５ｎｍの緑色レーザ光を照射する。波長５１５ｎｍの緑色レーザ光は、可視光として目視しやすい、波長６４０ｎｍの赤色レーザ光は、目が疲れにくいという特徴がある。これにより、計測範囲が可視化され、計測装置１の設置作業が容易化される。また、計測結果が計測対象物Ｇの表面のどの位置に対応しているかが理解されやすくなる。

【0044】

図８は計測装置１による計測対象物Ｇの計測範囲に照射された目視可能なパターンを示す図である。
計測装置１は、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを計測範囲（Ｒ）を示す格子パターンＰ１で照射する。
これにより、計測範囲（Ｒ）が可視化され、計測装置１の設置作業が容易化される。また、計測結果が計測対象物Ｇの表面のどの位置に対応しているかが理解されやすくなる。

【0045】

「変形例１」
図９、図１０は計測装置１による計測対象物Ｇの計測範囲に照射された目視可能なパターンの変形例１を示す図である。
計測装置１は、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを計測範囲（Ｒ）の外縁を示すパターンＰ２で照射する。パターンＰ２は、図９に示すように、計測範囲（Ｒ）の四隅を示す線パターンや、図１０に示すように、計測範囲（Ｒ）の上下左右を示す線パターンで照射される。

【0046】

「変形例２」
図１１は計測装置１による計測対象物Ｇの計測範囲（Ｒ）に照射された目視可能なパターンの変形例２を示す図である。
計測装置１は、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを終端が計測範囲（Ｒ）の四隅に位置するクロスパターンＰ３で照射する。クロスパターンＰ３は、図１２に示すように、計測範囲（Ｒ）のそれぞれ四隅を結ぶ斜線として照射される。

【0047】

「変形例３」
図１２は計測装置１による計測対象物Ｇの計測範囲（Ｒ）に照射された目視可能なパターンの変形例３を示す図である。
計測装置１は、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを計測範囲（Ｒ）の中心と四隅を示すマークＰ４で照射する。マークＰ４は、計測範囲（Ｒ）の中心と四隅を示すパターンで、〇、△、□等の図形パターンが挙げられる。

【0048】

以上詳述した計測装置１によれば、３次元センサ１０から計測対象物Ｇの表面の計測範囲（Ｒ）に不可視のレーザ光をドットパターンで照射すると同時に、レーザポインタ２０から可視光レーザを計測範囲（Ｒ）を示す目視可能なパターンで照射する。
レーザポインタ２０は、光源から出射する可視光レーザを回折光学素子（ＤＯＥ）２２を介して格子パターンＰ１、計測範囲（Ｒ）の外縁を示す線パターンＰ２、クロスパターンＰ３、図形パターンＰ４等で計測対象物Ｇの表面に投射する。
これにより、可視光レーザを目視可能なパターンで出射し、計測対象物Ｇの計測範囲（Ｒ）を可視化することが可能となっている。

【符号の説明】

【0049】

１・・・測定装置
１０・・・３次元センサ
１１・・・プロジェクタ、１１１・・・ＶＣＳＥＬ、１１２・・・回折光学素子
１２・・・イメージセンサモジュール
１３・・・基板
１４・・・ケース体
２０・・・レーザポインタ
２１・・・発光素子（ＬＤ）、２２・・・回折光学素子（ＤＯＥ）
３０・・・制御部
４０・・・外部機器
Ｇ・・・計測対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】