特開 2024-6763 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024006763

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   B65C 9/26 20060101AFI20240110BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240110BHJP

   B65C 1/04 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

B65C9/26

H01L21/68 N

B65C1/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022107952

(22)【出願日】2022-07-04

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA01

3E095AA17

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA42

3E095DA48

3E095DA54

3E095DA90

3E095EA02

3E095EA05

3E095EA24

3E095FA12

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA43

5F131BA52

5F131CA70

5F131EC32

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】接着シートを貼付する被着体のシート貼付領域に難接着処理が施されていたとしても、折り曲げて貼付した接着シートが当該シート貼付領域から剥がれないようにすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側のうち少なくとも一方に、被着体ＷＫの所定の一面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを一面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫには、接着シートＡＳが接着し難い難接着処理ＭＴが施されており、接着シートＡＳが貼付される被着体ＷＫのシート貼付領域ＷＫＡに施されている難接着処理ＭＴを除去する難接着処理除去手段３０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付し、前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付する貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記被着体には、前記接着シートが接着し難い難接着処理が施されており、
前記接着シートが貼付される前記被着体のシート貼付領域に施されている前記難接着処理を除去する難接着処理除去手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記難接着処理除去手段は、加熱によって前記難接着処理を除去する加熱手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記被着体は、被着体本体と当該被着体本体に貼付されたシート材とによって構成され、
前記シート材に前記難接着処理が施されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付し、前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付する貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記被着体には、前記接着シートが接着し難い難接着処理が施されており、
前記接着シートが貼付される前記被着体のシート貼付領域に施されている前記難接着処理を除去する難接着処理除去工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム１（シート貼付装置）では、保護テープ２７（接着シート）を貼付するウェハＷ（被着体）のシート貼付領域に当該接着シートが接着し難い難接着処理が施されていると、折り曲げて貼付された接着シートが自身の弾性復元力によって当該シート貼付領域から剥がれてしまうというという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シートを貼付する被着体のシート貼付領域に難接着処理が施されていたとしても、折り曲げて貼付した接着シートが当該シート貼付領域から剥がれないようにすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートが貼付される被着体のシート貼付領域に施されている難接着処理を除去するので、接着シートを貼付する被着体のシート貼付領域に難接着処理が施されていたとしても、折り曲げて貼付した接着シートが当該シート貼付領域から剥がれないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【図2】シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）に示すＹ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図２（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図、図２（Ｄ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図２（Ｂ）参照）および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、接着シートＡＳが貼付される被着体ＷＫのシート貼付領域ＷＫＡに施されている難接着処理としてのマット処理ＭＴ（各図にジグザグ線で表示）を除去する難接着処理除去工程を実施する難接着処理除去手段３０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態における被着体ＷＫには、接着シートＡＳが接着し難いマット処理ＭＴが施されている。具体的には、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体本体ＷＫＭと当該被着体本体ＷＫＭに貼付されたシート材ＷＫＳとによって構成され、シート材ＷＫＳにマット処理ＭＴが施されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

【0012】

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１、第２、第３、第４押圧ローラ２１、２２、２３、２４を備えている。
なお、本実施形態では、第１押圧ローラ２１は、図２（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。また、第２～第４押圧ローラ２２～２４は、図２（Ｃ）～（Ｅ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図２（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２～第４押圧ローラ２２～２４は、Ｚ軸に対してそれぞれ３０度、６０度、９０度基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

難接着処理除去手段３０は、加熱によってマット処理ＭＴを除去する加熱手段としての熱風送風機３１を備えている。
熱風送風機３１は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器３１Ａで加熱された熱風ＨＡを排気口３１Ｂから噴き出す構成となっている。

【0014】

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0015】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0016】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、シート材ＷＫＳ側を下方にして被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０が回動モータ４２を駆動し、上方から見下ろした上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させるとともに、難接着処理除去手段３０が熱風送風機３１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、排気口３１Ｂから熱風ＨＡを噴き出す。熱風ＨＡが吹き付けられると、シート材ＷＫＳの表面が融化され、図１（Ｃ）に示すように、シート貼付領域ＷＫＡに及んでいたマット処理ＭＴを構成する凹凸が、図１（Ｄ）に示すように均されて平坦化されて除去されていく。

【0017】

次に、シート貼付領域ＷＫＡ全体からマット処理ＭＴが除去されると、難接着処理除去手段３０および移動手段４０が熱風送風機３１および回動モータ４２の駆動を停止する。そして、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させて図２（Ａ）に示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次いで、供給手段１０および移動手段４０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、４２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって押圧され、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で外周面ＷＫ３に貼付された後、図２（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、第２～第４押圧ローラ２２～２４によってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、当該はみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側に貼付される。

【0018】

その後、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。次に、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、第４押圧ローラ２４によって被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側に貼付され、図２（Ｅ）に示すように、一体物ＵＰが形成されると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。

【0019】

そして、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面４３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰをめっき工程やドライエッチング工程等の次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳが貼付される被着体ＷＫのシート貼付領域ＷＫＡに施されているマット処理ＭＴを除去するので、接着シートＡＳを貼付する被着体ＷＫのシート貼付領域ＷＫＡにマット処理ＭＴが施されていたとしても、折り曲げて貼付した接着シートＡＳが当該シート貼付領域ＷＫＡから剥がれないようにすることができる。

【0021】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを一面に貼付し、はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0022】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、弾性変形が可能な接着シートＡＳが採用された場合、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、回動モータ１７Ａを駆動し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。

【0023】

貼付手段２０は、所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付してもよいし、所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳ２側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、第２～第４押圧ローラ２２～２４が上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２～第４押圧ローラ２２～２４が、Ｚ軸に対してそれぞれ１３度、４７度、９１度といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第１～第４押圧ローラ２１～２４の４体の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを４段階で被着体ＷＫに貼付したが、５体以上の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを５段階以上で被着体ＷＫに貼付したり、３体以下の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを３段階以下で被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、押圧部材として第１～第４押圧ローラ２１～２４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等を採用し、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの先端縁と後端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよい。

【0024】

難接着処理除去手段３０は、例えば、バーナーやライタ等の火器で焙ることで、難接着処理を融化させて除去したり、熱した金属板や陶器等の押し付け部材を押し付けることで、難接着処理を加熱加圧して除去したり、研削加工や研磨加工等によって難接着処理を削って除去したり、切断加工やスライス加工等によって難接着処理を切断して除去したり、プレス加工や加圧加工によって難接着処理を押し潰して除去したり、エッチング加工によって難接着処理を腐食させて除去したり、溶剤の付与によって難接着処理を溶かして除去したり、洗剤、吸引等の清掃によって難接着処理を洗浄して除去したり、パテや樹脂等の硬化剤によって難接着処理を埋めて除去したりしてもよく、シート貼付領域ＷＫＡに施された難接着処理を除去できるものであればどのようなものでもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１におけるシート貼付領域ＷＫＡ、他方の面ＷＫ２におけるシート貼付領域ＷＫＡおよび外周面ＷＫ３におけるシート貼付領域ＷＫＡのうち少なくとも１カ所に施された難接着処理を除去できるものでもよいし、シート貼付領域ＷＫＡに施されている難接着処理を全部除去したり、部分的に除去したりしてもよい。

【0025】

移動手段４０は、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを第１～第４押圧ローラ２１～２４に対して相対移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0026】

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、支持部材を配置する支持部材配置手段を備えていてもよいし、被着体本体ＷＫＭにシート材ＷＫＳを貼付するシート材貼付手段を備えていてもよい。
シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳが所定のエネルギーによって変形が可能なものが採用されてもよく、この場合、例えば、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段５０を備えていてもよい。このようなエネルギー付与手段５０は、押圧ローラ２１に対する接着シートＡＳの貼付方向下流側に設けてもよいし、剥離板１４と第１押圧ローラ２１との間に設けてもよい。このような構成とすることで、シート貼付装置ＥＡは、はみ出し領域ＡＳＨが形成されるようにして接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付した後、当該はみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢とすることができる。この場合、はみ出し領域ＡＳＨは、折れ曲がり姿勢の状態から第２～第４押圧ローラ２２～２４を介して一方の面ＷＫ１側や他方の面ＷＫ２側に貼付されてもよいし、折れ曲がり姿勢となることで、第２～第４押圧ローラ２２～２４を介さずに一方の面ＷＫ１側や他方の面ＷＫ２側に貼付されてもよい。
なお、所定のエネルギーによって変形が可能な接着シートＡＳとしては、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を所定のエネルギーとして変形するものや、それ以外のエネルギーによって変形するものでもよい。
また、エネルギー付与手段としては、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものを任意に採用することができる。
所定のエネルギーによって変形が可能な接着シートＡＳは、収縮を伴って変形するものでもよいし、膨張を伴って変形するものでもよいし、収縮も膨張も伴うことなく変形するものでもよい。

【0027】

被着体ＷＫが被着体本体ＷＫＭと当該被着体本体ＷＫＭに貼付されたシート材ＷＫＳとで構成されたものであった場合、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所にシート材ＷＫＳが貼付されていてもよく、被着体ＷＫに複数のシート材ＷＫＳが貼付されている場合、それらシート材ＷＫＳは、全部または一部が同種のものでもよいし、全部が異種のものでもよい。
被着体ＷＫが、一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所にシート材ＷＫＳが貼付されているものであった場合、被着体本体ＷＫＭおよびシート材ＷＫＳのうち、少なくとも一方に難接着処理が施されていてもよい。
被着体ＷＫは、シート材ＷＫＳが貼付されていない被着体本体ＷＫＭのみであってもよく、この場合、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に難接着処理が施されていてもよい。
被着体ＷＫや被着体本体ＷＫＭは、一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部ＷＫ４が形成されていてもよい（図１（Ｂ）中付番ＣＣを付した図参照。当図では、被着体ＷＫおよび被着体本体ＷＫＭの他方の面ＷＫ２側に環状または非環状の凸部ＷＫ４が形成されている）。
シート材ＷＫＳは、接着剤、静電気または水分等の接着部材によって被着体本体ＷＫＭに貼付されていてもよく、それら接着部材は、シート材ＷＫＳ自身に積層されていたものでもよいし、シート材ＷＫＳ自身に積層されていなかったものでもよい。
難接着処理は、サンドブラスト加工やサンドペーパ加工等の粗面加工によって形成された粗面処理や、網目加工、ローレット加工、ディンプル加工等の表面加工によって形成された凹凸処理や、オイル付着やパウダー付着等の付着加工によって形成された付着処理等、接着シートが接着し難い処理であればどのような処理でもよく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に施されていてもよい。

【0028】

上記の実施形態では、所定の一面を外周面ＷＫ３としたが、当該一面は、一方の面ＷＫ１でもよいし、他方の面ＷＫ２でもよく、例えば、当該一面が一方の面ＷＫ１であった場合、別の面は、外周面ＷＫ３や他方の面ＷＫ２でもよい。
シート貼付装置ＥＡは、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁に沿う外縁を備えた形状（例えば円形状や円環形状）とされた接着シートＡＳが採用されてもよく、この場合、例えば、第１押圧ローラ２１で接着シートＡＳを被着体ＷＫの所定の一面としての一方の面ＷＫ１に貼付した後、当該一方の面ＷＫ１に対して傾斜した１または複数の傾斜ローラ等によって、一方の面ＷＫ１からはみ出した接着シートＡＳのはみ出し領域を別の面としての外周面ＷＫ３側や、他方の面ＷＫ２側に折り曲げて貼付してもよい。
また、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁に沿う外縁を備えた形状（例えば円形状や円環形状）とされた接着シートＡＳが採用された場合、第1押圧ローラ２１の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫの所定の一面としての一方の面ＷＫ１側に貼付した後、当該一方の面ＷＫ１に対して傾斜した１または複数の傾斜等によって、一方の面ＷＫ１からはみ出した接着シートＡＳのはみ出し領域を別の面としての外周面ＷＫ３側や、他方の面ＷＫ２側に折り曲げて貼付してもよい。

【0029】

本発明における接着シートＡＳ、シート材ＷＫＳ、被着体ＷＫ、被着体本体ＷＫＭおよび支持部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫ、被着体本体ＷＫＭ、シート材ＷＫＳおよび支持部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、円環形状、楕円環形状、多角環形状、その他の形状等、どのような形状であってもよいし、接着シートＡＳやシート材ＷＫＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳやシート材ＷＫＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳやシート材ＷＫＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳやシート材ＷＫＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫ、被着体本体ＷＫＭおよび支持部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳやシート材ＷＫＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0030】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0031】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラ、押圧板３２または押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材または規制部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0032】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
３０…難接着処理除去手段
３１…熱風送風機（加熱手段）
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＭＴ…マット処理（難接着処理）
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫＡ…シート貼付領域
ＷＫＭ…被着体本体
ＷＫＳ…シート材
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

【図1】

【図2】