特開 2024-6764 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024006764

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   B65C 9/26 20060101AFI20240110BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240110BHJP

   B65C 1/04 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

B65C9/26

H01L21/68 N

B65C1/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022107953

(22)【出願日】2022-07-04

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA01

3E095AA17

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA42

3E095DA48

3E095DA54

3E095EA02

3E095EA05

3E095EA24

3E095FA12

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA43

5F131BA52

5F131BA60

5F131CA70

5F131EC32

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が予期せぬ方向に折れ曲がって接着してしまうことを防止すること。
【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側のうち少なくとも一方に、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを供給方向先端部ＡＳＦ、供給方向中央部ＡＳＭ、供給方向後端部ＡＳＲの順に外周面ＷＫ３に貼付する貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付することなく、供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＦおよび、供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨのうち少なくとも一方を、別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第１はみ出し領域貼付手段３０を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを供給方向先端部、供給方向中央部、供給方向後端部の順に前記一面に貼付する貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記供給方向中央部の前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付することなく、前記供給方向先端部の前記はみ出し領域および、前記供給方向後端部の前記はみ出し領域のうち少なくとも一方を、前記別の面方向に折り曲げて貼付する第１はみ出し領域貼付手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
前記第１はみ出し領域貼付手段は、自身が前記別の面方向に折り曲げて貼付した前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを付与する第１エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記供給方向中央部の前記はみ出し領域を前記別の面方向に折り曲げて貼付する第２はみ出し領域貼付手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを供給方向先端部、供給方向中央部、供給方向後端部の順に前記一面に貼付する貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記供給方向中央部の前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付することなく、前記供給方向先端部の前記はみ出し領域および、前記供給方向後端部の前記はみ出し領域のうち少なくとも一方を、前記別の面方向に折り曲げて貼付する第１はみ出し領域貼付工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）において、ウェハＷ（被着体）の外周側面（一面）に保護テープ２７（接着シート）を貼付して、当該接着シートの供給方向に沿う両端がはみ出したままの状態の中間製品を製造すると、この中間製品の段階で、接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が予期せぬ方向に折れ曲がって接着してしまい、その後、当該シート貼付装置で接着シートのはみ出した部分を所望の方向に折り曲げて最終製品を製作すると、接着シートの貼付不良を伴った最終製品が製造されてしまうという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が予期せぬ方向に折れ曲がって接着してしまうことを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、供給方向中央部のはみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付することなく、供給方向先端部のはみ出し領域および、供給方向後端部のはみ出し領域のうち少なくとも一方を、別の面方向に折り曲げて貼付するので、シート貼付装置で最終製品を製作するまでの間に、接着シートの供給方向先端部や供給方向後端部が予期せぬ方向に折れ曲がって接着してしまうことを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【図2】シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図、図２（Ｄ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図、図２（Ｅ）は、図１（Ａ）のＣＣ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図２（Ｃ）参照）および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを供給方向先端部ＡＳＦ、供給方向中央部ＡＳＭ、供給方向後端部ＡＳＲの順に外周面ＷＫ３に貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付することなく、供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨおよび、供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨの両方を、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第１はみ出し領域貼付工程を実施する第１はみ出し領域貼付手段３０と、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第２はみ出し領域貼付工程を実施する第２はみ出し領域貼付手段４０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段５０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

【0012】

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ２１を備えている。
なお、本実施形態では、押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第１基準位置ＲＰ１に配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。

【0013】

第１はみ出し領域貼付手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持された第１ブラケット３２と、第１ブラケット３２に揺動自在に支持され、押圧部材としての挟み込みローラ３４をそれぞれ１体ずつ回転可能に支持する２体の第２ブラケット３３と、挟み込みローラ３４を相互に接近させる方向に付勢する付勢手段としてのコイルスプリング３５と、自身が一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付したはみ出し領域ＡＳＨすなわち、供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨおよび、供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨの両方に熱を付与する第１エネルギー付与手段３６とを備えている。
第１エネルギー付与手段３６は、第２ブラケット３３にそれぞれ支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱気を吹き付ける２体の第１熱風送風機３６Ａを備えている。

【0014】

第２はみ出し領域貼付手段４０は、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーとしての熱を付与する第２エネルギー付与手段４１と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４とを備えている。
第２エネルギー付与手段４１は、図示しないブラケットに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱気を吹き付ける第２熱風送風機４１Ａを備えている。
なお、第２熱風送風機４１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け可能な位置に配置されている。
第１～第３押圧ローラ４２～４４は、図２（Ｄ）～（Ｆ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第１～第３押圧ローラ４２～４４は、Ｚ軸に対してそれぞれ３０度、６０度、９０度第２基準位置ＲＰ２方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0015】

移動手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、そのスライダ５１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５２と、その出力軸５２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５３Ａを有する支持テーブル５３とを備えている。支持テーブル５３は、回動モータ５２によってテーブル中心５３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0016】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0017】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心５３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面５３Ａ上に載置すると、移動手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面５３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を左方へ移動させて図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心５３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第１基準位置ＲＰ１と一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。次に、供給手段１０および移動手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２を駆動し、上方から見下ろした上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給方向ＳＤに沿って供給する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって押圧され、図２（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で外周面ＷＫ３に貼付されていく。

【0018】

そして、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが挟み込みローラ３４の前方所定位置に到達すると、供給手段１０および移動手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２の駆動を停止する。次いで、第１はみ出し領域貼付手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線および図２（Ａ）に示すように、挟み込みローラ３４を前進させて供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する。その後、挟み込みローラ３４によって一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付された供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨの上方および下方に各第１熱風送風機３６Ａが到達すると、第１はみ出し領域貼付手段３０が直動モータ３１の駆動を停止する。

【0019】

次に、第１はみ出し領域貼付手段３０が第１熱風送風機３６Ａを駆動し、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に貼付された供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け、供給方向先端部ＡＳＦを被着体ＷＫの外縁形状に変形させる。そして、供給方向先端部ＡＳＦの上記の変形が完了すると、第１はみ出し領域貼付手段３０が第１熱風送風機３６Ａの駆動を停止した後、直動モータ３１を駆動し、挟み込みローラ３４を初期位置に復帰させる。

【0020】

次いで、供給手段１０および移動手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給方向ＳＤに沿って供給し、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。その後、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが挟み込みローラ３４の前方所定位置に到達すると、移動手段５０が回動モータ５２の駆動を停止する。次に、第１はみ出し領域貼付手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線および図２（Ｂ）に示すように、挟み込みローラ３４を前進させて供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する。そして、挟み込みローラ３４によって一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付された供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨの上方および下方に各第１熱風送風機３６Ａが到達すると、第１はみ出し領域貼付手段３０が直動モータ３１の駆動を停止する。

【0021】

次いで、第１はみ出し領域貼付手段３０が第１熱風送風機３６Ａを駆動し、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に貼付された供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け、当該供給方向後端部ＡＳＲを被着体ＷＫの外縁形状（正確には、被着体ＷＫの外縁に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦの形状）に変形させる。その後、供給方向後端部ＡＳＲの上記の変形が完了して中間製品が形成されると、第１はみ出し領域貼付手段３０が第１熱風送風機３６Ａの駆動を停止した後、直動モータ３１を駆動し、挟み込みローラ３４を初期位置に復帰させる。

【0022】

次に、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を左方へ移動させて図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心５３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第２基準位置ＲＰ２と一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。そして、第２はみ出し領域貼付手段４０および移動手段５０が第２熱風送風機４１Ａおよび回動モータ５２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら第２熱風送風機４１Ａから熱気を吹き出す。これにより、接着シートＡＳの供給方向中央部ＡＳＭは、熱風送風機４２から吹き付けられた熱気によって変形し、当該供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲がり、続いて、図２（Ｄ）～（Ｆ）に示すように、第１～第３押圧ローラ４２～４４によって、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧されて貼付される。

【0023】

次いで、図２（Ｆ）に示すように、供給方向中央部ＡＳＭ全体が第３押圧ローラ４４によって一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付され、一体物ＵＰ（最終製品）が形成されると、第２はみ出し領域貼付手段４０および移動手段５０が第２熱風送風機４１Ａおよび回動モータ５２の駆動を停止する。その後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面５３Ａでの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰをめっき工程やドライエッチング工程等の次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0024】

以上のような実施形態によれば、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付することなく、供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨおよび、供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨの両方を、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付するので、シート貼付装置ＥＡで最終製品を製作するまでの間に、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦや供給方向後端部ＡＳＲが予期せぬ方向に折れ曲がって接着してしまうことを防止することができる。

【0025】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを供給方向先端部、供給方向中央部、供給方向後端部の順に一面に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0026】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、弾性変形が可能な接着シートＡＳが採用された場合、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、回動モータ１７Ａを駆動し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。

【0027】

貼付手段２０は、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを供給方向先端部ＡＳＦ、供給方向中央部ＡＳＭ、供給方向後端部ＡＳＲの順に外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳ２側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを供給方向先端部ＡＳＦ、供給方向中央部ＡＳＭ、供給方向後端部ＡＳＲの順に外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、接着シートＡＳを貼付する一面が一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２やその他の面でもよいし、押圧ローラ２１に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、上記のように接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付してもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したりしてもよい。

【0028】

第１はみ出し領域貼付手段３０は、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付することなく、供給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨのみを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付することなく、供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨのみを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方のはみ出し領域ＡＳＨを折り曲げて貼付する別の面は、一方の面ＷＫ１のみでもよいし、他方の面ＷＫ２のみでもよいし、その他の面でもよく、貼付手段２０が接着シートＡＳを貼付する一面とは異なる別の面であればどのような面であってもよいし、ローラ、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、挟み込みローラ３４が上下一対でなく、一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、直動モータ３１や挟み込みローラ３４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方のはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、挟み込みローラ３４等の材質が、ゴムや樹脂等の弾性変形が可能なもので構成されていたり、金属や硝子等の弾性変形が不能なもので構成されていたりしてもよいし、供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方のはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付する際、被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、自身が別の面方向に折り曲げて貼付したはみ出し領域が、給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨであった場合、給方向先端部ＡＳＦのはみ出し領域ＡＳＨのみに、所定のエネルギーを付与する第１エネルギー付与手段３６を備えていてもよいし、自身が別の面方向に折り曲げて貼付したはみ出し領域が、給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨであった場合、給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨのみに、所定のエネルギーを付与する第１エネルギー付与手段３６を備えていてもよいし、接着シートＡＳが所定のエネルギーによって変形するものが採用されている場合、供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのうち少なくとも一方のはみ出し領域ＡＳＨを第１エネルギー付与手段３６のみで一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよい。
第１エネルギー付与手段３６は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であればどこに設けられていてもよく、例えば、挟み込みローラ３４の内部に設けられていてもよいし、第２ブラケット３３以外のものに支持されていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0029】

第２はみ出し領域貼付手段４０は、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを、一方の面ＷＫ１方向のみに折り曲げて貼付したり、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを、他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付したりしてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４を採用せずに、第２エネルギー付与手段４１のみによって供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを折り曲げ、当該はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面に貼付してもよいし、第２エネルギー付与手段４１を採用せずに、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４のみによって供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを折り曲げ、当該はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面に貼付してもよいし、繰出方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該繰出方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを一括で別の面方向に折り曲げて貼付する構成でもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４が上下一対でなく、一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４のＺ軸に対する傾斜角度が、例えば、それぞれ１５度、４５度、９１度等どのような傾斜角度でもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４によって、３段階にして供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付したが、４段階以上にしたり、２段階にしたり、１段階にしたりして、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４２、４３、４４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、第１はみ出し領域貼付手段３０によって別の面方向に折り曲げて貼付されなかった供給方向先端部ＡＳＦまたは供給方向後端部ＡＳＲを、別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、繰出方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを一括で別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付する際、被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
第２エネルギー付与手段４１は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、供給方向中央部ＡＳＭのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であればどこに設けられていてもよい。

【0030】

移動手段５０は、保持面５３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル５３が採用されてもよいし、リニアモータ５１、回動モータ５２および支持テーブル５３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、貼付手段２０、第１はみ出し領域貼付手段３０または第２はみ出し領域貼付手段４０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0031】

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、支持部材を配置する支持部材配置手段を備えていてもよい。

【0032】

接着シートは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を所定のエネルギーとして変形するものが採用されたり、弾性変形するものや弾性変形しないものが採用されたり、所定のエネルギーによって変形しないものが採用されたりしてもよい。
所定のエネルギーによって変形する接着シートＡＳとしては、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に支持部材が取り付けられていてもよい。

【0033】

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0034】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0035】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0036】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
３０…第１はみ出し領域貼付手段
３６…第１エネルギー付与手段
４０…第２はみ出し領域貼付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳＭ…供給方向中央部
ＡＳＲ…供給方向後端部
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

【図1】

【図2】