特開 2024-67775 ナノ潤滑装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024067775

(43)【公開日】2024-05-17

(54)【発明の名称】ナノ潤滑装置

(51)【国際特許分類】

   F04B 43/02 20060101AFI20240510BHJP

【ＦＩ】

F04B43/02 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022178099

(22)【出願日】2022-11-07

(71)【出願人】

【識別番号】509311780

【氏名又は名称】上野 弘

(74)【代理人】

【識別番号】110000280

【氏名又は名称】弁理士法人サンクレスト国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】上野 弘

【テーマコード（参考）】

3H077

【Ｆターム（参考）】

3H077AA03

3H077BB10

3H077CC02

3H077CC09

3H077DD06

3H077EE26

3H077FF03

3H077FF36

(57)【要約】

【課題】潤滑油が漏洩するのを抑制できるナノ潤滑装置を提供する。
【解決手段】ナノ潤滑装置１は、ケース２と、ポンプ室７を区画形成するダイヤフラム４と、ダイヤフラム４を変形させる圧電素子５と、流路１５，１６に設けられたチェック弁６とを備え、ダイヤフラム４を変形によりナノリットルレベルの超微少量の潤滑油を吐出する。ケース２は、ポンプ室７に面する第１プレート１１と、第１プレート１１の下面１１ａに重ね合わされた第２プレート１２と、を有する。第１プレート１１には、流路１５，１６の内周面１５１ａ，１６１ａとチェック弁６の外周面６１ａ，６２ａとの隙間がポンプ室７と最短距離で連通するのを阻止する阻止部３０が設けられている。チェック弁６の外周面６１ａ，６２ａに所定の締め代をもって嵌合され、且つ第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２との間をシールするシール部材２０が設けられている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

潤滑油が流れる流路を有するケースと、
前記ケース内において前記流路と連通するポンプ室を区画形成するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに設けられ、電圧が印加されることで前記ダイヤフラムを変形させる圧電素子と、
前記ケース内において前記流路に設けられ、潤滑油の一方向の流れを許容するとともに潤滑油の他方向への流れを阻止するチェック弁と、を備え、
前記ダイヤフラムの変形により前記ポンプ室の容積が変化することで、ナノリットルレベルの超微少量の潤滑油を吐出するナノ潤滑装置であって、
前記ケースは、前記ポンプ室に面して前記ダイヤフラムと対向する一面を有する第１プレートと、前記第１プレートの前記一面と反対側の他面に重ね合わされた第２プレートと、を有し、
前記流路は、前記第１プレートの前記一面から前記第２プレートの内部に至るまで形成され、
前記チェック弁は、前記流路において前記第１プレートおよび前記第２プレートを跨って挿入されており、
前記第１プレートに設けられ、前記流路の内周面と前記チェック弁の外周面との隙間が、前記ポンプ室と最短距離で連通するのを阻止する阻止部と、
前記チェック弁の前記外周面に所定の締め代をもって嵌合され、且つ前記第１プレートの前記他面と前記第２プレートとの間をシールするシール部材と、を備えるナノ潤滑装置。

【請求項2】

前記阻止部は、前記第１プレートと一体に形成されている、請求項１に記載のナノ潤滑装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ナノ潤滑装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、微少量の液体を吐出させるポンプとして、特許文献１に示される圧電ポンプ（マイクロポンプ）が知られている。この圧電ポンプは、圧電素子に電圧を印加してダイヤフラムを変形させることで、ポンプ室から微少量の液体を吐出させるものである。ポンプ室には、吸入口からチェック弁（吸入バルブ）を介して液体が吸入され、ポンプ室の液体は、チェック弁（吐出バルブ）を介して吐出口から吐出される。前記２つのチェック弁は、複数のプレート（基板）を積層して構成されたケース内に収容されている。ケースを複数のプレートに分解することで各チェック弁が露出するので、各チェック弁のメンテナンス作業を容易に行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０００－２４９０７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年、各種機械装置の小型化、高速化および低トルク化等の要請が高まっている。このため、機械装置の回転部や摺動部等の潤滑対象に対して、微少量の潤滑油を確実に供給することができる潤滑装置が要望されている。より具体的には、例えば１００ｎｌ（ナノリットル）以下の超微少量の潤滑油を、均一かつ安定的に供給することができるナノ潤滑装置が要望されている。そこで、特許文献１に記載の圧電ポンプを、ナノ潤滑装置として用いることが検討されている。

【0005】

前記圧電ポンプをナノ潤滑装置に用いた場合、ダイヤフラムを変形させたときに、ポンプ室の潤滑油の圧力が瞬間的に少し高くなる。その際、ポンプ室から吐出される潤滑油が、ケース内の隣接するプレート間の隙間に極僅かに浸入し、外部へ漏洩するおそれがある。このような極僅かな潤滑油の漏洩は、一般の圧電ポンプでは潤滑油の吐出量が多いので特に問題にならないが、ナノ潤滑装置ではナノリットルレベルの潤滑油の吐出量に占める漏洩量の割合が高くなるので、ナノリットルレベルの潤滑油を均一かつ安定して供給することができなくなる。

【0006】

かかる課題に鑑み、本開示の目的は、潤滑油が漏洩するのを抑制できるナノ潤滑装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本開示のナノ潤滑装置は、潤滑油が流れる流路を有するケースと、前記ケース内において前記流路と連通するポンプ室を区画形成するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに設けられ、電圧が印加されることで前記ダイヤフラムを変形させる圧電素子と、前記ケース内において前記流路に設けられ、潤滑油の一方向の流れを許容するとともに潤滑油の他方向への流れを阻止するチェック弁と、を備え、前記ダイヤフラムの変形により前記ポンプ室の容積が変化することで、ナノリットルレベルの超微少量の潤滑油を吐出するナノ潤滑装置であって、前記ケースは、前記ポンプ室に面して前記ダイヤフラムと対向する一面を有する第１プレートと、前記第１プレートの前記一面と反対側の他面に重ね合わされた第２プレートと、を有し、前記流路は、前記第１プレートの前記一面から前記第２プレートの内部に至るまで形成され、前記チェック弁は、前記流路において前記第１プレートおよび前記第２プレートを跨って挿入されており、前記第１プレートに設けられ、前記流路の内周面と前記チェック弁の外周面との隙間が、前記ポンプ室と最短距離で連通するのを阻止する阻止部と、前記チェック弁の前記外周面に所定の締め代をもって接触し、且つ前記第１プレートの前記他面と前記第２プレートとの間をシールするシール部材と、を備える。

【0008】

上記ナノ潤滑装置によれば、第１プレートに設けられた阻止部は、潤滑油の流路の内周面とチェック弁の外周面との隙間がポンプ室と最短距離で連通するのを阻止している。このため、圧電素子に電圧を印加してダイヤフラムを変形させたときに、ポンプ室で瞬間的に圧力が高くなった潤滑油が、前記隙間に最短距離で勢いよく浸入するのを抑制することができる。また、潤滑油が前記隙間に浸入しても、その潤滑油が第１プレートと第２プレートとの間を通過するのを、シール部材によって抑制することができる。これにより、潤滑油が、前記隙間を介して第１プレートと第２プレートとの間を通過し、ケース外に漏洩するのを抑制することができる。

【0009】

（２）前記（１）のナノ潤滑装置において、前記阻止部は、前記第１プレートと一体に形成されているのが好ましい。
この場合、阻止部を第１プレートと別体に設ける必要がない。さらに、阻止部を第１プレートと別体にした場合、阻止部と第１プレートとの隙間をシールするシール構造が別途必要になるが、阻止部を第１プレートと一体にすることで前記シール構造も不要になる。したがって、部品点数が減るので、ナノ潤滑装置の構成を簡素化することができる。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、潤滑油が漏洩するのを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態に係るナノ潤滑装置を示す斜視図である。

【図2】ナノ潤滑装置の断面図である。

【図3】ケースを上側から見た斜視図である。

【図4】ケースを分解した状態を示す斜視図である。

【図5】ポンプ室と吸入路との連通部分を示す拡大断面図である。

【図6】ポンプ室と吐出路との連通部分を示す拡大断面図である。

【図7】第１プレートを下側から見た斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、好ましい実施形態について図面を参照しつつ説明する。
［ナノ潤滑装置の全体構成］
図１は、実施形態に係るナノ潤滑装置１を示す斜視図である。図２は、ナノ潤滑装置１の断面図である。図１および図２において、ナノ潤滑装置１は、例えば歯車機構の潤滑対象である歯車に対して、超微少量の潤滑油を供給する目的で使用される。以下の本実施形態の説明において、「上」、「下」、「右」、「左」、「前」、および「後」といった方向は、図１に示す方向を意味する。

【0013】

ナノ潤滑装置１は、例えば長さおよび幅が１０～１５ｍｍ、高さが７～１０ｍｍ程度の極小サイズのものである。ナノ潤滑装置１は、ケース２と、ノズル３と、ダイヤフラム４と、圧電素子５と、一対のチェック弁６と、を備えている。

【0014】

ケース２は、第１プレート１１と、第２プレート１２と、を有している。第１プレート１１および第２プレート１２は、いずれも矩形状に形成されている。第２プレート１２は、第１プレート１１よりも上下方向に厚く形成されている。第１プレート１１および第２プレート１２は、上下方向に重ね合わされた状態で、複数のボルト１７によって分解可能に連結されている（図７も参照）。

【0015】

図３は、ケース２を上側から見た斜視図である。なお、図３では、ダイヤフラム４と圧電素子５の図示を省略している。図２および図３において、ケース２の第１プレート１１には、上側に開口する溝部１３が形成されている。溝部１３の開口は、図示を省略する蓋部材により閉鎖される。溝部１３の内部には、その底面（一面）１３ａよりも上方に僅かに突出する段差部１４が設けられている。段差部１４は、溝部１３の前後左右の各側面に沿って略矩形枠状に形成されている。第２プレート１２は、その上面１２ａが第１プレート１１の下面（他面）１１ａに接するように、当該下面１１ａに重ね合わされている。

【0016】

第２プレート１２の右側の側面において開口する吸入路１５（後述）には、給油管９１の一端部が接続されている。給油管９１の他端部は、図示を省略する貯油タンクに接続されている。この貯油タンクから給油管９１を介して、ナノ潤滑装置１に潤滑油が供給されるようになっている。

【0017】

第２プレート１２の前側の側面において開口する吐出路１６（後述）には、ノズル３の基端部が挿入して取り付けられている。ノズル３は、外径が細い円筒状の部材であり、ノズル３の先端３ａから潤滑油が吐出されるようになっている。ノズル３の外径および内径は、特に限定されないが、例えば外径は１．０ｍｍであり、内径は０．２ｍｍである。

【0018】

図１および図２において、第１プレート１１の溝部１３内における段差部１４の上面１４ａには、ダイヤフラム４が設けられている。ダイヤフラム４は、例えば厚みが３０～１００μｍの矩形状の金属薄板からなる。ダイヤフラム４の下面は、段差部１４の上下方向の高さ分だけ、溝部１３の底面１３ａに対して上方向に離れて対向している。ダイヤフラム４の下面と溝部１３の底面１３ａとの間には、ポンプ室７が区画形成されている。これにより、溝部１３の底面１３ａは、ポンプ室７に面している。ポンプ室７は、密封された微小空間であり、その容積は潤滑油の吐出量に応じて設定される。なお、図２においては、ポンプ室７の微小空間を拡大して表示している。

【0019】

ダイヤフラム４の上面には、圧電素子５が接着されている。圧電素子５は、矩形状のピエゾ素子からなる。圧電素子５に電圧が印加されると、ダイヤフラム４が下方に湾曲（変形）する。このダイヤフラム４の変形によって、ポンプ室７の容積が減少（変化）するようになっている。

【0020】

［潤滑油の流路］
図２および図３において、ケース２には、潤滑油が流れる流路が形成されている。流路は、給油管９１からポンプ室７へ潤滑油を吸入する吸入路１５と、ポンプ室７からノズル３へ潤滑油を吐出する吐出路１６と、を有している。吸入路１５はケース２の右側に形成されており、吐出路１６はケース２の左側に形成されている。吸入路１５および吐出路１６は、それぞれ第１プレート１１の溝部１３の底面１３ａから、第２プレート１２の内部に至るまで形成されており、ポンプ室７と連通している。

【0021】

吸入路１５は、第１プレート１１に形成された第１吸入路部１５１と、第２プレート１２に形成された第２吸入路部１５２および第３吸入路部１５３と、を有している。第１吸入路部１５１は、溝部１３の底面１３ａから第１プレート１１の下面１１ａまで貫通して形成された円孔からなる。第１吸入路部１５１には、後述する第１チェック弁６１の一部分が挿入される。

【0022】

第２吸入路部１５２は、第２プレート１２の上側に形成されている。第２吸入路部１５２は、第２プレート１２の上面１２ａで開口する円孔からなる。第２吸入路部１５２の孔径は、第１吸入路部１５１の孔径と同一であり、第１チェック弁６１の他部分が挿入される。

【0023】

第３吸入路部１５３は、第２プレート１２の下側に形成されている。第３吸入路部１５３は、第２吸入路部１５２よりも小径の円孔からなり、図２の断面視においてＬ字状に形成されている。第３吸入路部１５３の一端は、第２吸入路部１５２の下端と連通している。第３吸入路部１５３の他端は、第２プレート１２の右側の側面において開口している。

【0024】

吐出路１６は、第１プレート１１に形成された第１吐出路部１６１と、第２プレート１２に形成された第２吐出路部１６２および第３吐出路部１６３と、を有している。第１吐出路部１６１は、溝部１３の底面１３ａから第１プレート１１の下面１１ａまで貫通して形成された円孔からなる。第１吐出路部１６１には、後述する第２チェック弁６２の一部分が挿入される。

【0025】

第２吐出路部１６２は、第２プレート１２の上側に形成されている。第２吐出路部１６２は、第２プレート１２の上面１２ａで開口する円孔からなる。第２吐出路部１６２の孔径は、第１吐出路部１６１の孔径と同一である。第２吐出路部１６２は、第１吐出路部１６１よりも上下方向に深く形成されている。第２吐出路部１６２には、第２チェック弁６２の他部分が挿入される。

【0026】

第３吐出路部１６３は、第２プレート１２の下側に形成されている。第３吐出路部１６３は、第２吐出路部１６２よりも小径の円孔からなり、第３吸入路部１５３と同様に、断面Ｌ字状に形成されている。第３吐出路部１６３の一端は、第２吐出路部１６２の下端と連通している。第３吐出路部１６３の他端は、第２プレート１２の前側の側面において開口している。

【0027】

［チェック弁］
図２において、一対のチェック弁６は、ケース２内の吸入路１５に設けられた第１チェック弁６１と、ケース２内の吐出路１６に設けられた第２チェック弁６２と、からなる。なお、図２では、第１チェック弁６１及び第２チェック弁６２を簡略化して図示している（図５及び図６も同様）。第１チェック弁６１は、吸入路１５において、第１プレート１１の第１吸入路部１５１および第２プレート１２の第２吸入路部１５２を跨って挿入されている。第２チェック弁６２は、吐出路１６において、第１プレート１１の第１吐出路部１６１および第２プレート１２の第２吐出路部１６２を跨って挿入されている。

【0028】

第１チェック弁６１は、給油管９１からポンプ室７に向かう一方向（吸入方向）への潤滑油の流れを許容するとともに、ポンプ室７から給油管９１に向かう他方向への潤滑油の流れを阻止する。第２チェック弁６２は、ポンプ室７からノズル３（図１参照）に向かう一方向（吐出方向）への潤滑油の流れを許容するとともに、ノズル３からポンプ室７に向かう他方向への潤滑油の流れを阻止する。

【0029】

前記ナノ潤滑装置１において、圧電素子５に電圧を印加すると、ダイヤフラム４が下方に湾曲することでポンプ室７の容積が減少し、ポンプ室７内が瞬間的に正圧になる。これにより、予めポンプ室７に吸入されている潤滑油の圧力が瞬間的に少し高くなるので、当該潤滑油が、吐出路１６および第２チェック弁６２を通してノズル３へ吐出される。その際、ダイヤフラム４を１回変形させるごとに、１００ｎｌ以下２ｎｌ以上であるナノリットルレベルの超微少量の潤滑油が吐出される。圧電素子５に対する電圧の印加が停止すると、ダイヤフラム４が原位置に復帰する。これにより、ポンプ室７の容積が増加してポンプ室７内が負圧になるので、給油管９１から吸入路１５および第１チェック弁６１を介してポンプ室７に潤滑油が吸入される。

【0030】

ナノ潤滑装置１は、上記のように極小サイズであるため、第１チェック弁６１および第２チェック弁６２も極小サイズとなり、弁内部において潤滑油が詰まり易くなる。このため、第１チェック弁６１および第２チェック弁６２のメンテナンス作業が定期的に行われる。そのメンテナンス作業が行われる際、図１に示す状態から複数のボルト１７の締め付けを緩め、図４に示すように第１プレート１１を第２プレート１２から分離してケース２を分解する。これにより、第１チェック弁６１および第２チェック弁６２の各上部が露出するので、各チェック弁６１，６２のメンテナンス作業時に、各チェック弁６１，６２に容易にアクセスすることができる。また、各チェック弁６１，６２を第２プレート１２から取り外した状態でメンテナンス作業を行うこともできる。これにより、各チェック弁６１，６２のメンテナンス作業を容易に行うことができる。

【0031】

図５は、ポンプ室７と吸入路１５との連通部分を示す拡大断面図である。図６は、ポンプ室７と吐出路１６との連通部分を示す拡大断面図である。図５および図６において、ナノ潤滑装置１が潤滑油を吐出するとき、上記のようにポンプ室７の潤滑油の圧力が瞬間的に少し高くなる。このため、ポンプ室７の潤滑油が、吸入路１５と第１チェック弁６１との隙間、および吐出路１６と第２チェック弁６２との隙間に極僅かに浸入する場合がある。

【0032】

具体的には、ポンプ室７内の潤滑油は、第１プレート１１の第１吸入路部１５１の内周面１５１ａと、第１チェック弁６１の外周面６１ａとの隙間（以下、第１隙間ともいう）に極僅かに浸入する場合がある。また、ポンプ室７内の潤滑油は、第１プレート１１の第１吐出路部１６１の内周面１６１ａと、第２チェック弁６２の外周面６２ａとの隙間（以下、第２隙間ともいう）に極僅かに浸入する場合がある。

【0033】

第１隙間および第２隙間に浸入した潤滑油は、第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２の上面１２ａとの間を通過してケース２外に漏洩するおそれがある。このように潤滑油が漏洩すると、ナノ潤滑装置１は超微少量の潤滑油を均一かつ安定して吐出することができなくなる。そこで、本実施形態のナノ潤滑装置１は、潤滑油のケース２外への漏洩を抑制するシール構造として、一対のシール部材２０と、一対の阻止部３０と、を備えている。

【0034】

［シール部材］
一対のシール部材２０は、第１チェック弁６１の外周面６１ａよりも径方向外側に設けられた環状の第１シール部材２１と、第２チェック弁６２の外周面６２ａよりも径方向外側に設けられた環状の第２シール部材２２と、からなる。第１シール部材２１および第２シール部材２２は、例えばＯリングである。

【0035】

図５において、第１シール部材２１の内径は、第１チェック弁６１の外径よりも少し小さい。これにより、第１シール部材２１は、第１チェック弁６１の外周面６１ａに、所定の締め代をもって嵌合されている。したがって、第１シール部材２１の内周側は、第１チェック弁６１の外周面６１ａに密着している。

【0036】

第２プレート１２の上面１２ａには、第２吸入路部１５２の径方向外方に第１環状溝１８が形成されている。第１環状溝１８の内周側は、第２吸入路部１５２と連通している。第１環状溝１８には、第１チェック弁６１の外周面６１ａに嵌合された第１シール部材２１が嵌め込まれている。第１環状溝１８の外径は、第１シール部材２１の外径よりも少し小さい。これにより、第１シール部材２１の外周側は、第１環状溝１８の外周面１８ａに密着している。

【0037】

第１シール部材２１は、第１プレート１１の下面１１ａと、第１環状溝１８の底面１８ｂとによって、上下方向に圧縮されている。これにより、第１シール部材２１の上側は、第１プレート１１の下面１１ａに密着し、第１シール部材２１の下側は、第２プレート１２の第１環状溝１８の底面１８ｂに密着している。

【0038】

以上により、第１シール部材２１の内周側、外周側、上側、及び下側の全てが、それぞれ対向する相手面６１ａ，１８ａ，１１ａ，１８ｂとの間をシールしている。これにより、ポンプ室７から第１隙間に浸入した潤滑油が、第１シール部材２１の上側又は下側を通過するのを抑制することができる。その結果、第１隙間に浸入した潤滑油が、第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２の上面１２ａとの間を通過してケース２外に漏洩するのを抑制することができる。

【0039】

なお、第１環状溝１８は、第１プレート１１の下面１１ａにおいて第１吸入路部１５１の径方向外方に形成されていてもよい。その場合、第１環状溝１８に嵌め込まれる第１シール部材２１は、第２プレート１２の上面１２ａおよび第１チェック弁６１の外周面６１ａにそれぞれ密着させればよい。

【0040】

図６において、第２シール部材２２の内径は、第２チェック弁６２の外径よりも少し小さい。これにより、第２シール部材２２は、第２チェック弁６２の外周面６２ａに、所定の締め代をもって嵌合されている。したがって、第２シール部材２２の内周側は、第２チェック弁６２の外周面６２ａに密着している。

【0041】

第２プレート１２の上面１２ａには、第２吐出路部１６２の径方向外方に第２環状溝１９が形成されている。第２環状溝１９の内周側は、第２吐出路部１６２と連通している。第２環状溝１９には、第２チェック弁６２の外周面６２ａに嵌合された第２シール部材２２が嵌め込まれている。第２環状溝１９の外径は、第２シール部材２２の外径よりも少し小さい。これにより、第２シール部材２２の外周側は、第２環状溝１９の外周面１９ａに密着している。

【0042】

第２シール部材２２は、第１プレート１１の下面１１ａと、第２環状溝１９の底面１９ｂとによって、上下方向に圧縮されている。これにより、第２シール部材２２の上側は、第１プレート１１の下面１１ａに密着し、第２シール部材２２の下側は、第２プレート１２の第２環状溝１９の底面１９ｂに密着している。

【0043】

以上により、第２シール部材２２の内周側、外周側、上側、及び下側の全てが、それぞれ対向する相手面６２ａ，１９ａ，１１ａ，１９ｂとの間をシールしている。これにより、ポンプ室７から第２隙間に浸入した潤滑油が、第２シール部材２２の上側又は下側を通過するのを抑制することができる。その結果、第２隙間に浸入した潤滑油が、第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２の上面１２ａとの間を通過してケース２外に漏洩するのを抑制することができる。

【0044】

なお、第２環状溝１９は、第１プレート１１の下面１１ａにおいて第１吐出路部１６１の径方向外方に形成されていてもよい。その場合、第２環状溝１９に嵌め込まれる第２シール部材２２は、第２プレート１２の上面１２ａおよび第２チェック弁６２の外周面６２ａにそれぞれ密着させればよい。

【0045】

［阻止部］
図５および図６において、一対の阻止部３０は、第１プレート１１の吸入路１５に設けられた第１阻止部３１と、第１プレート１１の吐出路１６に設けられた第２阻止部３２と、からなる。本実施形態の第１阻止部３１および第２阻止部３２は、いずれも第１プレート１１に一体に形成されている。

【0046】

図７は、第１プレート１１を下側から見た斜視図である。図５および図７において、第１阻止部３１は、環状の部材からなり、第１チェック弁６１の上方において第１吸入路部１５１の内周面１５１ａから径方向内方に突出している。第１阻止部３１の内径は、第１チェック弁６１の外径よりも小さい。第１阻止部３１の上下方向の厚みは、第１阻止部３１の下面に第１チェック弁６１の上面が当接する寸法に設定されるのが好ましい。

【0047】

以上により、第１吸入路部１５１の内周面１５１ａと第１チェック弁６１の外周面６１ａとの第１隙間の直上には、第１阻止部３１が配置されている。すなわち、第１阻止部３１は、第１隙間がポンプ室７と最短距離で連通するのを阻止している。したがって、ポンプ室７内において第１隙間の上方にある潤滑油が図５の鉛直下方に向かって流れるのを、第１阻止部３１によって阻止することができる。

【0048】

図６および図７において、第２阻止部３２は、環状の部材からなり、第２チェック弁６２の上方において第１吐出路部１６１の内周面１６１ａから径方向内方に突出している。第２阻止部３２の内径は、第２チェック弁６２の外径よりも小さい。第２阻止部３２の上下方向の厚みは、第２阻止部３２の下面に第２チェック弁６２の上面が当接する寸法に設定されるのが好ましい。

【0049】

以上により、第１吐出路部１６１の内周面１６１ａと第２チェック弁６２の外周面６２ａとの第２隙間の直上には、第２阻止部３２が配置されている。すなわち、第２阻止部３２は、第２隙間がポンプ室７と最短距離で連通するのを阻止している。したがって、ポンプ室７内において第２隙間の上方にある潤滑油が図６の鉛直下方に流れるのを、第２阻止部３２によって阻止することができる。

【0050】

［実施形態の作用効果］
本実施形態のナノ潤滑装置１によれば、潤滑油が流れるケース２の流路（吸入路１５および吐出路１６）には、ケース２を構成する第１プレート１１および第２プレート１２を跨ってチェック弁６が挿入されている。このため、第１プレート１１を第２プレート１２から分離することでチェック弁６が露出するので、チェック弁６のメンテナンス作業時に、チェック弁６に容易にアクセスすることができる。また、チェック弁６を第２プレート１２から取り外した状態でメンテナンス作業を行うこともできる。これにより、チェック弁６のメンテナンス作業を容易に行うことができる。

【0051】

第１プレート１１に設けられた阻止部３０は、潤滑油の流路１５，１６の内周面１５１ａ，１６１ａとチェック弁６の外周面６１ａ，６２ａとの隙間がポンプ室７と最短距離で連通するのを阻止している。このため、圧電素子５に電圧を印加してダイヤフラム４を湾曲させたときに、ポンプ室７で瞬間的に圧力が高くなった潤滑油が、前記隙間に向かって鉛直下方に流れるのを阻止できる。これにより、圧力が高くなった潤滑油が、前記隙間に最短距離で勢いよく浸入するのを抑制することができる。また、チェック弁６の外周面６１ａ，６２ａに所定の締め代をもって接触し、且つ第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２の上面１２ａとの間をシールするシール部材２０が設けられている。これにより、潤滑油が前記隙間に浸入しても、その潤滑油が第１プレート１１と第２プレート１２との間を通過するのを、シール部材２０によって抑制することができる。したがって、潤滑油が、前記隙間を介して第１プレート１１の下面１１ａと第２プレート１２の上面１２ａとの間を通過し、ケース２外に漏洩するのを抑制することができる。

【0052】

阻止部３０は、第１プレート１１と一体に形成されている。これにより、阻止部３０を第１プレート１１と別体に設ける必要がない。さらに、阻止部３０を第１プレート１１と別体にした場合、阻止部３０と第１プレート１１との隙間をシールするシール構造が別途必要になるが、阻止部３０を第１プレート１１と一体にすることで前記シール構造も不要になる。したがって、部品点数が減るので、ナノ潤滑装置１の構成を簡素化することができる。

【0053】

［その他］
本発明に係るナノ潤滑装置は、歯車以外に、リニアガイド、軸受、回転ローラ、摺動軸等の種々の潤滑対象に適用して実施することができる。ケース２は、少なくとも第１プレート１１および第２プレート１２の２枚のプレートを有していればよく、３枚以上のプレートを有していてもよい。シール部材２０は、第１シール部材２１および第２シール部材２２の少なくとも一方を有していればよい。同様に、阻止部３０は、第１阻止部３１および第２阻止部３２の少なくとも一方を有していればよい。阻止部３０は、第１プレート１１と別体であってもよい。

【0054】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0055】

１ ナノ潤滑装置
２ ケース
４ ダイヤフラム
５ 圧電素子
６ チェック弁
７ ポンプ室
１１ 第１プレート
１１ａ 下面（他面）
１２ 第２プレート
１３ａ 底面（一面）
１５ 吸入路（流路）
１６ 吐出路（流路）
２０ シール部材
３０ 阻止部
１５１ａ，１６１ａ 内周面
６１ａ，６２ａ 外周面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】