特開 2024-68289 ＥＦＥＭ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024068289

(43)【公開日】2024-05-20

(54)【発明の名称】ＥＦＥＭ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240513BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022178617

(22)【出願日】2022-11-08

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】小倉 源五郎

(72)【発明者】

【氏名】河合 俊宏

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA47

5F131DA32

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB52

5F131GA14

5F131HA02

5F131HA12

5F131HA23

5F131HA28

5F131JA08

5F131JA14

5F131JA15

5F131JA27

(57)【要約】

【課題】ＥＦＥＭの外側において接続モジュールの取付作業を行えない場合でも、接続モジュールをＥＦＥＭ及び前室に容易に取り付ける。
【解決手段】ＥＦＥＭ１は、搬送室４１が形成された筐体２と、搬送室４１とロードロック室７とを密封しつつ接続するように構成された接続モジュール６０と、を備える。筐体２は、開口３４ａが形成された背面壁３４を有する。接続モジュール６０は、フランジ６１ｂと、後面部６１ｄと、可撓パッキン６３とを有する。可撓パッキン６３は、少なくとも前後方向に伸縮可能な伸縮部６３ｃと、接続プレート６２に接触する後端部６３ｂとを有する。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理対象品が搬送される搬送室が形成された筐体と、
前記搬送室と、前記処理対象品に所定の処理を施す処理装置に設けられた前室との間に設けられた接続モジュールと、を備えるＥＦＥＭであって、
前記筐体は、前記処理対象品が通過可能な筐体側開口が形成された背面部材、を有し、
前記接続モジュールは、
前記筐体側開口を前記搬送室側から見たときに、前記筐体側開口の周りに配置され、前記背面部材の前記搬送室側の面に押し当てられた第１枠部と、
前記筐体側開口を前記搬送室側から見たときに、前記前室に設けられ前記処理対象品が通過可能な前室側開口の周りに配置されており、且つ、前記第１枠部と接続された第２枠部と、
前記第２枠部よりも前記前室側に配置され、前記第２枠部に固定され、前記前室側開口を形成する前室側開口部に押し当てられることにより前記第２枠部と前記前室とを密封するように構成されたシール部と、を有し、
前記シール部は、
少なくとも、前記筐体と前記処理装置とが並べられた所定方向に伸縮可能な可撓部と、
前記可撓部と接続され、前記前室側開口を囲う囲い部と、を有することを特徴とするＥＦＥＭ。

【請求項2】

前記前室側開口部は、
前記囲い部が取り付けられる第１取付部材と、
前記第１取付部材よりも前記前室側に配置され、前記第１取付部材が固定される第２取付部材と、を有し、
前記第１取付部材は前記接続モジュールに属し、前記第２取付部材は前記前室に属していることを特徴とする請求項１に記載のＥＦＥＭ。

【請求項3】

前記可撓部は、前記シール部を前記所定方向に伸縮させるための蛇腹構造を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＥＦＥＭ。

【請求項4】

前記第２枠部は、前記第１枠部よりも前記前室側に配置され、
前記接続モジュールは、
前記第１枠部と前記第２枠部との間に配置され、且つ、前記背面部材よりも前記前室側に突出した中空の突出部、を有し、
前記突出部は、
前記筐体の外部の空間と前記突出部の内部の空間とを接続可能な開口と、前記開口を開閉可能なカバーと、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＥＦＥＭ。

【請求項5】

前記接続モジュールは、
前記第１枠部を前記背面部材に固定するように構成された第１固定部と、
前記シール部を前記前室側開口部に固定するように構成された第２固定部と、を有し、
前記第１固定部は、
前記第１枠部よりも前記搬送室側に配置され、前記背面部材に前記第１固定部を固定する操作が行われることが可能に構成された第１操作部を有し、
前記第２固定部は、
前記囲い部よりも前記搬送室側に配置され、前記前室側開口部に前記シール部を固定する操作が行われることが可能に構成された第２操作部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＥＦＥＭ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ＥＦＥＭに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）と、電子デバイス処理システムに設けられたロードロックアセンブリ（以下、前室）とを接続するためのインターフェース（以下、接続モジュール）が開示されている。より具体的には、ＥＦＥＭと前室は、所定方向に並べて配置されている。また、当該接続モジュールは、板状の取付部材と、蛇腹状の可撓性密封材とを含む。取付部材は、前室に連結されている。可撓性密封材は、取付部材に連結されており、取付部材の周りに配置されている。可撓性密封材は、ＥＦＥＭ内の開口部の周りを密封するように構成された密封フランジを含む。さらに詳細には、取付部材は、所定方向においてＥＦＥＭ側から固定具によって前室に固定されている。密封フランジは、所定方向において前室側から固定具によってＥＦＥＭの壁に固定されている。

【0003】

上記の接続モジュールにおいては、可撓性密封材によって、取付部材と密封フランジとの所定方向における位置関係が容易に変更される。このため、設計誤差に起因してＥＦＥＭと前室との所定方向における位置ずれが大きい場合でも、当該位置ずれがある程度許容される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第６８８２４６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上述した接続モジュールを実際にＥＦＥＭ及び前室に取り付けるためには、ＥＦＥＭの内部及び外部の両方から接続モジュールにアクセスする必要がある。しかし、既に前室が設けられている場合に、ＥＦＥＭの外側において十分な作業スペースが設けられていない状況も生じうる。このような場合、接続モジュールをＥＦＥＭに取り付けることができないという問題が発生する。

【0006】

本発明の目的は、ＥＦＥＭの外側において接続モジュールの取付作業を行えない場合でも、接続モジュールをＥＦＥＭ及び前室に容易に取り付けることである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

第１の発明のＥＦＥＭは、処理対象品が搬送される搬送室が形成された筐体と、前記搬送室と、前記処理対象品に所定の処理を施す処理装置に設けられた前室との間に設けられた接続モジュールと、を備えるＥＦＥＭであって、前記筐体は、前記処理対象品が通過可能な筐体側開口が形成された背面部材、を有し、前記接続モジュールは、前記筐体側開口を 前記搬送室側から見たときに、前記筐体側開口の周りに配置され、前記背面部材の前記搬送室側の面に押し当てられた第１枠部と、前記筐体側開口を 前記搬送室側から見たときに、前記前室に設けられ前記処理対象品が通過可能な前室側開口の周りに配置されており、且つ、前記第１枠部と接続された第２枠部と、前記第２枠部よりも前記前室側に配置され、前記第２枠部に固定され、前記前室側開口を形成する前室側開口部に押し当てられることにより前記第２枠部と前記前室とを密封するように構成されたシール部と、を有し、前記シール部は、少なくとも、前記筐体と前記処理装置とが並べられた所定方向に伸縮可能な可撓部と、前記可撓部と接続され、前記前室側開口を囲う囲い部と、を有することを特徴とする。

【0008】

本発明では、第１枠部を搬送室側から背面部材に押し当てることができる。また、シール部の囲い部を搬送室側から前室側開口部に押し当てることができる。これにより、ＥＦＥＭ及び処理装置の両方が設置された後に、搬送室側から（すなわち、筐体の内部において）接続モジュールを背面部材及び前室側開口部に押し当てることができる。また、第１枠部を背面部材に押し当てた後で、囲い部を所定方向に動かして位置調整することにより、囲い部と前室側開口部との所定方向における位置ずれの補償を容易に行うことができる。したがって、ＥＦＥＭの外側において接続モジュールの取付作業を行えない場合でも、接続モジュールをＥＦＥＭ及び前室に容易に取り付ける（押し当てる）ことができる。

【0009】

第２の発明のＥＦＥＭは、前記第１の発明において、前記前室側開口部は、前記囲い部が取り付けられる第１取付部材と、前記第１取付部材よりも前記前室側に配置され、前記第１取付部材が固定される第２取付部材と、を有し、前記第１取付部材は前記接続モジュールに属し、前記第２取付部材は前記前室に属していることを特徴とする。

【0010】

本発明では、前室に属する第２取付部材の仕様に応じた第１取付部材を準備することにより、あらゆる前室に接続モジュールを取り付けることができる。

【0011】

第３の発明のＥＦＥＭは、前記第１又は第２の発明において、前記可撓部は、前記シール部を前記所定方向に伸縮させるための蛇腹構造を有することを特徴とする。

【0012】

搬送室と前室との間の空間の密封性を十分に維持するためには、強度がそれなりに高い部材を可撓部として用いる必要がある。このため、可撓部に外力を作用させているときにのみ可撓部が伸びている（又は縮んでいる）状態が維持される構成では、囲い部と前室側開口部との位置合わせの際に、かなり強い力を可撓部に加える必要が生じうる。このような場合、接続モジュールをＥＦＥＭ及び処理装置に取り付ける際に、可撓部に力を加え続ける必要が生じ、取付作業を行いにくくなる等のおそれがある。この点、本発明では、可撓部が蛇腹構造を有するため、可撓部が一度変形させられれば、再度力が加えられなくても、変形後の形状がある程度維持される。したがって、取付作業を容易に行うことができる。

【0013】

第４の発明のＥＦＥＭは、前記第１又は第２の発明において、前記第２枠部は、前記第１枠部よりも前記前室側に配置され、前記接続モジュールは、前記第１枠部と前記第２枠部との間に配置され、且つ、前記背面部材よりも前記前室側に突出した中空の突出部、を有し、前記突出部は、前記筐体の外部の空間と前記突出部の内部の空間とを接続可能な開口と、前記開口を開閉可能なカバーと、を有することを特徴とする。

【0014】

一般的に、ＥＦＥＭが完成した状態では、処理対象品がＥＦＥＭと前室との間で搬送される様子を確認することは容易ではない。また搬送室内に立ち入って接続モジュールの点検及び／又はメンテナンスを行うことも容易ではない。この点、本発明では、カバーを突出部から外して開口を開けることにより、処理対象品が搬送されている様子を筐体の外側から視認できる。また、ＥＦＥＭの稼働が停止された状態でカバーを突出部から外して開口を開けることにより、接続モジュール及びその周辺部の点検及び／又はメンテナンスを行うことができる。

【0015】

第５の発明のＥＦＥＭは、前記第１又は第２の発明において、前記接続モジュールは、前記第１枠部を前記背面部材に固定するように構成された第１固定部と、前記シール部を前記前室側開口部に固定するように構成された第２固定部と、を有し、前記第１固定部は、前記第１枠部よりも前記搬送室側に配置され、前記背面部材に前記第１固定部を固定する操作が行われることが可能に構成された第１操作部を有し、前記第２固定部は、前記囲い部よりも前記搬送室側に配置され、前記前室側開口部に前記シール部を固定する操作が行われることが可能に構成された第２操作部を有することを特徴とする。

【0016】

本発明では、取付作業を行いやすい環境を維持しつつ、搬送室と前室とを接続する空間の気密性をより高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態に係るＥＦＥＭ及びその周辺の概略的な平面図である。

【図2】ＥＦＥＭの電気的構成を示す図である。

【図3】筐体の正面図である。

【図4】図３のIV-IV断面図である。

【図5】図３のV-V断面図である。

【図6】（ａ）、（ｂ）は、ロードロック室の前端部を示す図である。

【図7】（ａ）、（ｂ）は、接続モジュールの斜視図である。

【図8】接続モジュールの分解斜視図である。

【図9】接続モジュールの、上下方向と直交する断面の模式図である。

【図10】接続モジュールをＥＦＥＭ及びロードロック室に取り付ける方法を示す説明図である。

【図11】接続モジュールをＥＦＥＭ及びロードロック室に取り付ける方法を示す説明図である。

【図12】接続モジュールをＥＦＥＭ及びロードロック室に取り付ける方法を示す説明図である。

【図13】変形例に係る接続モジュールの、上下方向と直交する断面の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

次に、本発明の実施の形態について説明する。説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右方向と定義する。すなわち、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１と処理装置６とが並べられている方向を前後方向（本発明の所定方向）と定義する。前後方向において、ＥＦＥＭ１側を前側（本発明の搬送室側）と定義する。前側は、所定方向における他方側に相当する。前後方向において、処理装置６側を後側（本発明の前室側）と定義する。後側は、所定方向における一方側に相当する。前後方向と直交する、複数のロードポート４が並べられる方向を左右方向と定義する。また、前後方向及び左右方向の両方と直交する方向を上下方向と定義する。

【0019】

（ＥＦＥＭ及び周辺の概略構成）
ＥＦＥＭ１及びその周辺の概略構成について、図１及び図２を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態に係るＥＦＥＭ１及びその周辺の概略的な平面図である。図２は、ＥＦＥＭ１の電気的構成を示す図である。ＥＦＥＭ１は、筐体２と、搬送ロボット３と、複数のロードポート４と、制御装置５（図２参照）とを備える。ＥＦＥＭ１の後側には、処理装置６が配置されている。処理装置６は、半導体基板であるウェハＷ（本発明の処理対象品）に所定の処理を施す装置である。所定の処理とは、例えば真空チャンバー内で行われる処理（スパッタリング、ドライエッチングなど）であっても良く、或いは他の処理であっても良い。ＥＦＥＭ１は、筐体２内に配置された搬送ロボット３によって、ロードポート４に載置されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１００と処理装置６との間でウェハＷの受渡しを行う。ＦＯＵＰ１００は、複数のウェハＷを上下方向に並べて収容可能な容器である。ＦＯＵＰ１００の後端部（前後方向における筐体２側の端部）には蓋１０１が取り付けられている。ＦＯＵＰ１００は、不図示の搬送装置によって搬送される。搬送装置とロードポート４との間で、ＦＯＵＰ１００の受渡しが行われる。

【0020】

筐体２は、複数のロードポート４と処理装置６とを接続するためのものである。図１に示すように、筐体２の内部には、ウェハＷが搬送される搬送室４１が形成されている。搬送室４１は、筐体２の外側の空間（以下、外部空間９）に対して略密封されている。ＥＦＥＭ１が稼動しているとき、搬送室４１は、不活性ガス（例えば窒素）で満たされている。筐体２は、搬送室４１を含む内部空間４０を不活性ガスが循環するように構成されている。搬送室４１は、公知のゲートバルブ１０及び後述の接続モジュール６０を介して、処理装置６のロードロック室７（本発明の前室）と接続されている。ゲートバルブ１０は、例えば、筐体２の後端部（後述する背面壁３４の近傍）よりも後側に配置されている。ゲートバルブ１０は、ロードロック室７に属する。本実施形態では、左右方向に２つのゲートバルブ１０が配置されている。ウェハＷは、いずれかのゲートバルブ１０を通って搬送室４１とロードロック室７との間で搬送される。なお、ゲートバルブ１０の数はこれに限られない。

【0021】

搬送ロボット３は、搬送室４１内においてウェハＷの搬送を行うように構成されている。搬送ロボット３は、例えば、基台部３ａ（図３参照）と、アーム機構３ｂ（図３参照）と、ロボット制御部１１（図２参照）とを有する。基台部３ａは、搬送室４１内における位置が固定された部分である。アーム機構３ｂは、基台部３ａに取り付けられ、ウェハＷを保持して搬送するように構成されている。搬送ロボット３は、主に、ＦＯＵＰ１００内のウェハＷを取り出して処理装置６に渡す動作、及び処理装置６によって処理されたウェハＷを受け取ってＦＯＵＰ１００に戻す動作を行う。

【0022】

複数のロードポート４の各々は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成されている（図５参照）。複数のロードポート４は、左右方向に並べて配置されている。各ロードポート４の後端部は、筐体２の前側の隔壁に沿うように配置されている。ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００内の雰囲気を不活性ガス（例えば窒素）に置換可能に構成されている。ロードポート４の後端部には、ドア４ａが設けられている。ドア４ａは、不図示のドア開閉機構によって開閉される。ドア４ａは、ＦＯＵＰ１００の蓋１０１のロックを解除可能、且つ、蓋１０１を保持可能に構成されている。ロックが解除された蓋１０１をドア４ａが保持している状態で、ドア移動機構がドア４ａを開けることで、蓋１０１が開けられる。これにより、ＦＯＵＰ１００内のウェハＷが、搬送ロボット３によって取り出されることが可能になる。

【0023】

図２に示すように、制御装置５は、搬送ロボット３のロボット制御部１１、ロードポート４の制御部（不図示）、処理装置６の制御部（不図示）と電気的に接続されており、これらの制御部との通信を行う。制御装置５は、筐体２内に設置された酸素濃度計１１１、圧力計１１２、湿度計１１３等の計測機器と電気的に接続されている。制御装置５は、これらの計測機器の計測結果を受信して、筐体２内の雰囲気に関する情報を把握する。制御装置５は、供給バルブ１１４及び排出バルブ１１５と電気的に接続されている。制御装置５は、これらのバルブの開度を調節することにより、筐体２内の雰囲気を適宜調節する。

【0024】

処理装置６（図１参照）は、例えば、ロードロック室７と、処理室８とを有する。ロードロック室７は、ウェハＷを一時的に待機させるための部屋である。ロードロック室７内の気圧は、例えば、真空に近い気圧（搬送室４１の気圧よりも非常に低い気圧）に維持される。ロードロック室７は、例えばゲートバルブ１０を介して搬送室４１と接続されている。処理室８は、例えば不図示のドアを介してロードロック室７と接続されている。処理室８では、不図示の処理機構によって、ウェハＷに対して所定の処理が施される。

【0025】

（筐体及びその内部の構成）
次に、筐体２及びその内部の構成について、図３～図５を参照しつつ説明する。図３は、筐体２の正面図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ断面図である。図５は、図３のＶ－Ｖ断面図である。図３においては、後述する隔壁の図示を省略している。図５においては、搬送ロボット３等の図示を省略している。

【0026】

筐体２は、全体として直方体状である。図３～図５に示すように、筐体２は、柱２１～２６と、複数の隔壁（底板３１、天板３２、前面壁３３、背面壁３４、左側面壁３５及び右側面壁３６）とを有する。上下方向に延びる柱２１～２６に複数の隔壁が取り付けられており、筐体２の内部空間４０が外部空間９に対して略密封されている。

【0027】

より具体的には、図４に示すように、柱２１～２４は、筐体２の前端部の左端から右端にかけて、この順で並べて配置されている。柱２２、２３は、例えば柱２１及び柱２４よりも短い。柱２５は、筐体２の後端部の左端に配置されている。柱２６は、筐体２の後端部の右端に配置されている。

【0028】

底板３１は、筐体２の底部に配置されている（図３参照）。天板３２は、筐体２の天井部に配置されている（図３参照）。前面壁３３は、筐体２の前端部に配置されている（図４参照）。背面壁３４（本発明の背面部材）は、筐体２の後端部に配置されている（図４参照）。左側面壁３５は、筐体２の左端部に配置されている（図４参照）。右側面壁３６は、筐体２の右端部に配置されている（図４参照）。これらの部材は、例えば、一般的な板金（圧延された厚さ６ｍｍ以下の金属板）で形成されている。

【0029】

図３及び図５に示すように、筐体２内の上側部分（柱２２、２３の上方）には、水平方向に延びる支持板３７が配置されている。これにより、筐体２の内部は、下側に形成された前述の搬送室４１と、上側に形成されたＦＦＵ設置室４２とに分かれている。ＦＦＵ設置室４２内には、後述するＦＦＵ（ファンフィルタユニット）４４が配置されている。支持板３７の前後方向における中央部には、搬送室４１とＦＦＵ設置室４２とを接続する開口３７ａが形成されている。

【0030】

次に、筐体２内で不活性ガスを循環させるための構成について、図３～図５を参照しつつ説明する。図５に示すように、筐体２の内部空間４０には、不活性ガスを循環させるための循環路が形成されている。循環路は、搬送室４１と、ＦＦＵ設置室４２と、帰還路４３とによって構成されている。内部空間４０においては、ＦＦＵ４４によって清浄化された不活性ガスが、ＦＦＵ設置室４２から下方へ送り出され、搬送室４１の下端部まで到達した後、帰還路４３を通って上昇し、ＦＦＵ設置室４２に戻る（図５の矢印参照）。

【0031】

ＦＦＵ設置室４２は、搬送室４１の上側に配置されている。ＦＦＵ設置室４２には、ＦＦＵ４４と、ケミカルフィルタ４５とが設けられている。ＦＦＵ４４は、支持板３７上に配置されている。ＦＦＵ４４は、ＦＦＵ設置室４２内の不活性ガスを下方に送出しつつ、不活性ガスに含まれるパーティクル（不図示）を除去するように構成されている。ケミカルフィルタ４５は、例えば処理装置６から内部空間４０に持ち込まれた活性ガス等を除去するように構成されている。ＦＦＵ４４及びケミカルフィルタ４５によって清浄化された不活性ガスは、ＦＦＵ設置室４２から、支持板３７に形成された開口３７ａを介して搬送室４１に送り出される。搬送室４１に送り出された不活性ガスは、層流を形成し、下方へ流れる。

【0032】

帰還路４３は、筐体２の前端部に配置された柱２１～２４（図５においては柱２３）及び支持板３７に形成されている。すなわち、柱２１～２４は例えば中空になっており、不活性ガスが通れる空間２１ａ～２４ａがそれぞれ形成されている（図４参照）。空間２１ａ～２４ａが、それぞれ帰還路４３を構成している。帰還路４３は、支持板３７の前端部に形成された開口３７ｂによってＦＦＵ設置室４２と接続されている（図５参照）。

【0033】

帰還路４３について、図５を参照しつつ説明する。図５には柱２３が示されているが、他の柱２１、２２、２４についても同様である。柱２３の下端部には、搬送室４１内の不活性ガスを帰還路４３（空間２３ａ）に導く導入ダクト２７が取り付けられている。搬送室４１の下端部に到達した不活性ガスは、導入ダクト２７の入口を通って導入ダクト２７に流入する。導入ダクト２７の内部には、ファン４６が配置されている。ファン４６は、不図示のモータによって回転駆動される。ファン４６は、搬送室４１の下端部に到達した不活性ガスを吸い込んで上方（帰還路４３側）へ送り出す。これにより、不活性ガスは、帰還路４３を通ってＦＦＵ設置室４２に戻る。ＦＦＵ設置室４２に戻された不活性ガスは、ＦＦＵ４４やケミカルフィルタ４５によって清浄化され、再び搬送室４１へ送り出される。以上のようにして、不活性ガスが循環路内を循環する。

【0034】

図３に示すように、例えばＦＦＵ設置室４２の側部には、内部空間４０に不活性ガスを供給するための供給管４７が接続されている。供給管４７は、不活性ガス（例えば窒素）の供給源１１６に接続されている。供給管４７の途中部には、不活性ガスの単位時間あたりの供給量を変更可能な供給バルブ１１４が設けられている。

【0035】

図５に示すように、搬送室４１の前端部には、循環路内の気体を排出するための排出管４８が接続されている。排出管４８は、例えば不図示の排気ポートにつながっている。排出管４８の途中部には、循環路内の気体の単位時間あたりの排出量を変更可能な排出バルブ１１５が設けられている。供給バルブ１１４及び排出バルブ１１５は、制御装置５と電気的に接続されている（図２参照）。これにより、内部空間４０への不活性ガスの供給及び内部空間４０からの気体の排出が可能となっている。

【0036】

ＥＦＥＭ１においては、ウェハＷの品質低下を抑制するため、内部空間４０内の酸素濃度が所定の目標濃度以下に維持される必要がある。また、ＥＦＥＭ１においては、同じくウェハＷの品質低下を抑制するため、内部空間４０の湿度が所定の目標値以下に維持される必要がある。制御装置５は、酸素濃度計１１１による検知結果及び／又は湿度計１１３による検知結果に基づき、供給バルブ１１４の開度を調節する。これにより、内部空間４０への不活性ガスの供給流量が調節される。その結果として、内部空間４０内の酸素濃度及び内部空間４０の湿度が調節される。また、ＥＦＥＭ１においては、内部空間４０の圧力が外部空間９の圧力よりもわずかに高く維持される必要がある。これは、内部空間４０から外部空間９への不活性ガスの漏出を抑制しつつ、外部空間９から内部空間４０への大気の侵入を防ぐためである。制御装置５は、圧力計１１２による検知結果に基づき、排出バルブ１１５の開度を調節する。これにより、内部空間４０からの不活性ガスの排出流量が調節される。その結果として、内部空間４０の圧力が調節される。以上のように、不活性ガスの供給流量及び排出流量が調節されることで、内部空間４０内の雰囲気が制御される。

【0037】

（ロードロック室の前端部）
次に、ロードロック室７の前端部を構成する部材について、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照しつつ説明する。図６（ａ）は、ロードロック室７の前端部の平面図である。図６（ａ）は、ロードロック室７の前端部の正面図である。より詳細には、図６（ａ）及び図６（ｂ）の各々は、ゲートバルブ１０及びその周辺構成を示す図である。

【0038】

ロードロック室７の前端部は、例えば、フレーム部材５０によって形成されている。フレーム部材５０は、例えば金属材料からなるブロックを切削加工して形成されている。図６（ａ）に示すように、フレーム部材５０は、例えば、壁部５１と、壁部５２と、仕切部５３とを有する。壁部５１は、ロードロック室７を形成する部分である。壁部５２は、接続空間ＳＣを形成する部分である。接続空間ＳＣは、ゲートバルブ１０及び後述する接続モジュール６０が配置される空間である。接続空間ＳＣは、ロードロック室７と筐体２の搬送室４１との間に配置されている。より詳細には、本実施形態では、接続空間ＳＣは、前後方向において仕切部５３と背面壁３４との間に配置されている。仕切部５３は、例えば左右方向に延びた、ロードロック室７と接続空間ＳＣとを仕切る部分である。仕切部５３には、例えば左右方向に延びた開口５３ａ（図６（ａ）参照）が形成されている。開口５３ａは、アーム機構３ｂの先端部（すなわち、ウェハＷを保持する部分）及びウェハＷが前後方向に通過可能な大きさを有する。

【0039】

ゲートバルブ１０は、開口５３ａを開閉可能に構成されている。ゲートバルブ１０は、枠部５４（本発明の第２取付部材。図６（ａ）、（ｂ）参照）と、ゲート部５５（図６（ｂ）参照）とを有する。枠部５４は、例えば略直方体状の部材である。枠部５４は、前側が開放された開口５４ａを有する。枠部５４は、前側から見たときに、ゲート部５５の貫通孔５５ａ（図６（ｂ）参照）を囲むように配置されている。枠部５４の前端には、接続モジュール６０を取り付けるための取付面５４ｂ（図６（ｂ）のハッチング部分を参照）が形成されている。取付面５４ｂには、複数のねじ孔５４ｃ（図６（ｂ）参照）が形成されている。ゲート部５５は、前後方向に貫通した貫通孔５５ａを有する。貫通孔５５ａは、アーム機構３ｂの先端部及びウェハＷが前後方向に通過可能な大きさを有する。貫通孔５５ａは、不図示の開閉機構によって開閉される。

【0040】

（接続モジュール）
さらに、ＥＦＥＭ１は、接続モジュール６０（図７（ａ）～図９参照）を備える。接続モジュール６０は、搬送室４１及びロードロック室７の密封性を確保しつつ、搬送室４１とロードロック室７とを接続するように構成されている。接続モジュール６０は、接続空間ＳＣに配置される。接続モジュール６０は、ＥＦＥＭ１及びロードロック室７に容易に取り付けられるように、以下のように構成されている。

【0041】

接続モジュール６０の構成について、図７（ａ）～図９を参照しつつ説明する。図７（ａ）は、接続モジュール６０を斜め前から見た斜視図である。図７（ｂ）は、接続モジュール６０を斜め後ろから見た斜視図である。図８は、接続モジュール６０の分解斜視図である。図９は、接続モジュール６０の上下方向に直交する断面の模式図である。

【0042】

図７（ａ）～図９に示すように、接続モジュール６０は、例えば、本体６１と、接続プレート６２（本発明の第１取付部材）と、可撓パッキン６３（本発明のシール部）と、第１押え板６４と、第２押え板６５と、上板６６（本発明のカバー）とを有する。これらの部材が組み合わされることにより、１つの接続モジュール６０が組み立てられる。本体６１は、背面壁３４に固定される。接続プレート６２は、ゲートバルブ１０に固定される。可撓パッキン６３は、前後方向において本体６１と接続プレート６２との間に配置される。第１押え板６４は、可撓パッキン６３の前端部６３ａ（後述）を本体６１に固定するための部材である。第２押え板６５は、可撓パッキン６３の後端部６３ｂ（後述）を接続プレート６２に固定するための部材である。上板６６は、例えば本体６１の上面部６１ｇ（後述）に固定される。

【0043】

本体６１は、概ね直方体の箱状の部材である。本体６１は、例えば金属材料で形成されていると好ましい。また、本体６１は、耐腐食性を有する材料で形成されていると好ましい。例えば、本体６１の前面、後面及び上面は開口されている。本体６１のその他の面（下面、左側面及び右側面）は塞がれている。本体６１の前面部には、例えば略長方形状の開口６１ａ（図７（ａ）参照）が形成されている。本体６１の前面部には、枠状のフランジ６１ｂ（本発明の第１枠部。図７（ａ）～図９参照）が設けられている。言い換えると、本体６１の箱状の部分（中空の突出部６１ｃ）が、フランジ６１ｂ及び背面壁３４よりも後側へ突出するように設けられている、とも言える。フランジ６１ｂは、開口６１ａに対して左右方向における外側及び上下方向における外側へ延びている。フランジ６１ｂは、背面壁３４よりも前側に配置されている。フランジ６１ｂは、背面壁３４の前側の面に取り付けられている。フランジ６１ｂは、前後方向に貫通した複数の貫通孔６１ｂ１（図７（ａ）～図９参照）を有する。突出部６１ｃの後面部６１ｄ（図８参照）。本発明の第２枠部）には、例えば略長方形状の開口６１ｅ（図８参照）が形成されている。後面部６１ｄは、例えばフランジ６１ｂよりも後側に配置されている。後面部６１ｄは、例えばフランジ６１ｂと一体的に形成されている（すなわち、フランジ６１ｂと接続されている）。後面部６１ｄは、前側から見たときに、接続プレート６２の貫通孔６２ａ（後述）を囲むように配置されている。後面部６１ｄには、前後方向に貫通した複数の貫通孔６１ｆが形成されている。複数の貫通孔６１ｆの各々には、例えばボルト８１が挿通される（図９参照）。突出部６１ｃの上面部６１ｇには、例えば略長方形状の開口６１ｈ（図８参照）が形成されている。開口６１ｈは、外部空間９と本体６１の内部の空間とを接続可能な開口である。上面部６１ｇには、例えば複数のねじ孔６１ｉ（図８参照）が形成されている。

【0044】

ここで、背面壁３４のより詳細について説明する。背面壁３４は、前後方向から見たときに略長方形状の開口３４ａ（本発明の筐体側開口。図９参照）を有する。背面壁３４の前面には、前側に突出した複数の柱状部３４ｂ（図９参照）が形成されている。各柱状部３４ｂは、例えば略円柱状の部分である。各柱状部３４ｂには雄ねじが形成されている。複数の柱状部３４ｂは、左右方向及び上下方向において、フランジ６１ｂの貫通孔６１ｂ１が配置される位置と略同じ位置に配置されている。つまり、複数の柱状部３４ｂの各々は、フランジ６１ｂの貫通孔６１ｂ１に挿通されている。前後方向において、フランジ６１ｂと背面壁３４の間には、パッキン７１が配置されている。パッキン７１は、前後方向から見たときに開口６１ａよりもわずかに大きい貫通孔７１ａを有する。パッキン７１は、複数の柱状部３４ｂがそれぞれ挿通される複数の貫通孔７１ｂを有する。各貫通孔７１ｂの大きさは、貫通孔６１ｂ１の大きさと略同じである。フランジ６１ｂ及びパッキン７１は、例えば、雌ねじがそれぞれ形成された複数のナット８３（本発明の第１固定部及び第１操作部。図９参照）によって背面壁３４に固定されている。複数のナット８３は、背面壁３４、フランジ６１ｂ及びパッキン７１よりも前側に配置されている。複数のナット８３は、複数の柱状部３４ｂにそれぞれ螺合されている。

【0045】

接続プレート６２は、ゲートバルブ１０の枠部５４の仕様によらず、接続モジュール６０を枠部５４に取り付けるための部材である。接続プレート６２は、前後方向から見たときに略長方形の板状の部材である。接続プレート６２は、例えば金属材料で形成されている。接続プレート６２は、枠部５４の前側に配置されている（図９参照）。接続プレート６２は、前後方向に貫通した貫通孔６２ａ（本発明の前室側開口）を有する。貫通孔６２ａは、左右方向及び上下方向の両方において、ゲート部５５の貫通孔５５ａ（図６（ｂ）参照）よりも長い。接続プレート６２は、前後方向に貫通した複数の貫通孔６２ｂ（図８参照）を有する。複数の貫通孔６２ｂの各々は、複数のボルト（不図示）を挿通するための孔である。複数の貫通孔６２ｂの大きさ及び位置は、枠部５４の仕様（すなわち、複数のねじ孔５４ｃの大きさ及び位置）に応じて設計されている。前後方向において、接続プレート６２と枠部５４との間には、例えば、前後方向から見たときに略長方形状のパッキン７２が配置されている。パッキン７２は、前後方向に貫通する貫通孔７２ａを有する。貫通孔７２ａの大きさは、枠部５４の開口５４ａの大きさと略同じである（図９参照）。パッキン７２は、複数の貫通孔７２ｂを有する、各貫通孔７２ｂの大きさは、貫通孔６２ｂの大きさと略同じである。接続プレート６２及びパッキン７２は、例えば上述した複数のボルト（不図示）によって枠部５４にねじ止めされている（固定されている）。また、接続プレート６２の前面には、複数のねじ孔６２ｃ（図９参照）が形成されている。複数のねじ孔６２ｃの各々には、後述のボルト８２（本発明の第２固定部）が螺合される（図９参照）。枠部５４と接続プレート６２とを合わせたものが、本発明の前室側開口部に相当する。枠部５４は、ロードロック室７に属する。接続プレート６２は、接続モジュール６０に属する。

【0046】

可撓パッキン６３は、前後方向から見たときに略長方形状の部材である。可撓パッキンは、例えばＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）などのゴム材料で形成されている。可撓パッキン６３は、本体６１の後側且つ接続プレート６２の前側に配置される。可撓パッキン６３は、可撓パッキン６３が少なくとも前後方向に伸縮するための蛇腹構造を有する。より具体的には、可撓パッキン６３は、前端部６３ａと、後端部６３ｂ（本発明の囲い部）と、伸縮部６３ｃ（本発明の可撓部）とを有する。

【0047】

前端部６３ａは、本体６１の後面に固定される枠状の部分である。前端部６３ａは、例えば、前後方向から見たときに略長方形状の開口６３ｄを有する。開口６３ｄの大きさは、本体６１の開口６１ｅ（図８参照）の大きさと略同じである。前端部６３ａの前面は、全周に亘って本体６１の後面に接触する。前端部６３ａは、例えば前後方向に貫通した複数の貫通孔６３ｅを有する。複数の貫通孔６３ｅの左右方向及び上下方向における位置は、複数の貫通孔６１ｆの左右方向及び上下方向における位置と略同じである。複数の貫通孔６３ｅの各々には、例えばボルト８１が挿通される（図９参照）。

【0048】

後端部６３ｂは、接続プレート６２の前面に固定される枠状の部分である。後端部６３ｂの左右方向における長さは、例えば、前端部６３ａの開口６３ｄの左右方向における長さと略同じ又はそれ未満である（図９参照）。同様に、後端部６３ｂの上下方向における長さは、例えば、開口６３ｄの上下方向における長さと略同じ又はそれ未満である。これにより、接続モジュール６０のＥＦＥＭ１及び処理装置６への取付作業が行われる際に、作業者が前側から後端部６３ｂにアクセスすることが可能である。後端部６３ｂは、例えば、前後方向から見たときに略長方形状の開口６３ｆを有する。開口６３ｆの大きさは、例えば接続プレート６２の貫通孔６２ａの大きさと略同じである（図９参照）。後端部６３ｂは、前後方向から見たときに貫通孔６２ａを囲うように配置されている。後端部６３ｂの後面は、その全周に亘って、接続プレート６２の前面に接触する。後端部６３ｂは、例えば前後方向に貫通した複数の貫通孔６３ｇを有する。複数の貫通孔６３ｇの各々には、例えばボルト８２が挿通される。

【0049】

伸縮部６３ｃは、可撓パッキン６３を前後方向に伸縮させるための蛇腹構造を有する部分である。伸縮部６３ｃは、左右方向及び上下方向における全体が、前後方向に伸縮可能に構成されている。これにより、後端部６３ｂ全体が、接続プレート６２に固定されていない状態で、接続プレート６２に対して前後方向に平行移動させられることが可能である。つまり、後端部６３ｂ全体が、前後方向において位置調節されることが可能である。また、伸縮部６３ｃは、左右方向及び／又は上下方向における一部のみが前後方向に伸縮されることも可能に構成されている。これにより、後端部６３ｂの一部のみが、接続プレート６２に対して前後方向に移動させられることも可能である。言い換えると、後端部６３ｂの接続プレート６２に対する傾き角度が調節されることも可能である。

【0050】

第１押え板６４は、可撓パッキン６３の前端部６３ａを本体６１の後面部６１ｄに固定するための部材である。第１押え板６４は、前後方向から見たときに略長方形の枠状の部材である。前後方向から見たときに、第１押え板６４の大きさは、後面部６１ｄの大きさと略同じである。第１押え板６４は、本体６１の後面部６１ｄ及び可撓パッキン６３の前端部６３ａよりも後側に配置されている。第１押え板６４は、例えば、可撓パッキン６３の後端部６３ｂよりも前側に配置されている。第１押え板６４は、前後方向に貫通する貫通孔６４ａを有する。貫通孔６４ａは、例えば本体６１の開口６１ｅよりもわずかに大きい（図９参照）。第１押え板６４は、例えば前後方向に貫通した複数の貫通孔６４ｂを有する。複数の貫通孔６４ｂの左右方向及び上下方向における位置は、複数の貫通孔６１ｆの左右方向及び上下方向における位置と略同じである。各貫通孔６４ｂには、例えば雌ねじが形成されている。各貫通孔６４ｂには、ボルト８１が螺合される（図９参照）。

【0051】

第２押え板６５は、可撓パッキン６３の後端部６３ｂを接続プレート６２に固定するための部材である。第２押え板６５は、前後方向から見たときに略長方形の枠状の部材である。前後方向から見たときに、第２押え板６５の大きさは、可撓パッキン６３の後端部６３ｂの大きさと略同じである。第２押え板６５は、接続プレート６２の後側に配置されている。第２押え板６５は、前後方向に貫通する貫通孔６５ａを有する。前後方向から見たときに、貫通孔６５ａの大きさは、例えば接続プレート６２の貫通孔６２ａの大きさと略同じである。第２押え板６５は、例えば前後方向に貫通した複数の貫通孔６５ｂを有する。各貫通孔６５ｂには、ボルト８２が挿通される（図９参照）。

【0052】

上板６６は、本体６１の開口６１ｈ（図８参照）を塞ぐための板状の部材である。上板６６は、上下方向から見たときに略長方形状である。上板６６は、例えば複数のボルト８４（図８参照）によって本体６１の上面にねじ止めされている。言い換えれば、上板６６は、本体６１に脱着可能に（すなわち、開口６１ｈを開閉可能に）取り付けられている。上下方向において、上板６６と本体６１の上面部６１ｇとの間には、例えば略長方形状のパッキン７３（図８参照）が配置されている。パッキン７３は、開口６１ｈと略同じ大きさの貫通孔７３ａを有する。パッキン７３は、複数のねじ孔６１ｉに対応して設けられた複数の貫通孔７３ｂを有する。

【0053】

複数のボルト８１は、本体６１の後面部６１ｄに可撓パッキン６３を固定するための部材である。複数のボルト８１は、頭部８１ａと軸部８１ｂとを有する。複数のボルト８１は、例えば不図示のスパナによって頭部８１ａを回されることが可能な六角ボルトであっても良い。或いは、複数のボルト８１は、不図示の六角棒スパナによって頭部８１ａを回されることが可能な六角穴付きボルトであっても良い。複数のボルト８１は、その他の種類のボルトであっても良い。頭部８１ａは、軸部８１ｂよりも前側に配置されている。軸部８１ｂは前後方向に延びている。軸部８１ｂは頭部８１ａから後側に突出している。軸部８１ｂには雄ねじが形成されている。軸部８１ｂは、第１押え板６４の貫通孔６４ｂに螺合される。

【0054】

複数のボルト８２は、接続プレート６２に可撓パッキン６３を固定する（押し当てる）ための部材である。複数のボルト８２は、頭部８２ａ（本発明の第２操作部）と軸部８２ｂとを有する。複数のボルト８２は、例えば不図示のスパナによって頭部８２ａを回されることが可能な六角ボルトであっても良い。或いは、複数のボルト８２は、不図示の六角棒スパナによって頭部８２ａを回されることが可能な六角穴付きボルトであっても良い。複数のボルト８２は、その他の種類のボルトであっても良い。頭部８２ａは、接続プレート６２に可撓パッキン６３を固定する操作が行われることが可能に構成されている。頭部８２ａは、軸部８２ｂよりも前側に配置されている。頭部８２ａは、可撓パッキン６３の後端部６３ｂよりも前側に配置されている。軸部８２ｂは前後方向に延びている。軸部８２ｂは頭部８２ａから後側に突出している。軸部８２ｂには雄ねじが形成されている。軸部８２ｂは、接続プレート６２のねじ孔６２ｃに螺合される。

【0055】

複数のナット８３は、本体６１を背面壁３４に固定する（押し当てる）ための部材である。ナット８３は、背面壁３４にフランジ６１ｂを固定する操作が行われることが可能に構成されている。複数のナット８３は、例えば不図示のスパナによって回されることが可能な六角ナットである。複数のナット８３は、本体６１のフランジ６１ｂよりも前側に配置されている。各ナット８３は、柱状部３４ｂに螺合される。

【0056】

（接続モジュールの取付方法）
次に、上記接続モジュール６０をＥＦＥＭ１及び処理装置６に取り付ける取付方法について、図１０～図１２を参照しつつ説明する。図１０～図１２は、接続モジュール６０をＥＦＥＭ１及びロードロック室７に取り付ける方法を示す説明図である。説明の便宜上、図１０～図１２に示す方向は、図９に示す方向と同じである。

【0057】

まず、接続モジュール６０は、複数の部品群に分けられた状態で、処理装置６が設置される（又は、既に設置された）工場へ運ばれる。複数の部品群は、例えば、第１群Ｇ１と、第２群Ｇ２とを有する（図１０参照）。第１群Ｇ１は、接続プレート６２と、パッキン７２とを有する。第１群Ｇ１を構成する部材は、後述の取付作業が行われる前に、予めゲートバルブ１０の枠部５４に固定される（図１０参照）。第１群Ｇ１を構成する部材は、枠部５４に固定された状態で、ゲートバルブ１０と共に工場へ運ばれても良い。或いは、第１群Ｇ１を構成する部材は、工場に運ばれた後で、工場に既に設置された処理装置６に含まれるゲートバルブ１０の枠部５４に固定されても良い。

【0058】

第２群Ｇ２は、本体６１と、可撓パッキン６３と、第１押え板６４と、上板６６と、パッキン７１と、パッキン７３と、複数のボルト８１とを有する。第２群Ｇ２を構成する部材は、取付作業が行われる前に、予め１つの部品として組み立てられる（図１０参照）。その他に、第２押え板６５、複数のボルト８２及び複数のナット８３が、例えば他の部材と分離された状態で工場へ運ばれる。また、ＥＦＥＭ１を構成する筐体２も工場へ運ばれる。

【0059】

その後、例えば工場内の所定のクリーンルームにおいて、処理装置６及び筐体２が設置される。処理装置６が設置された後で、筐体２が処理装置６に位置合わせされる。より具体的には、左右方向及び上下方向において、筐体２の背面壁３４がゲートバルブ１０（及び接続プレート６２）に位置合わせされる。前後方向においては、ＥＦＥＭ１の設計誤差及び処理装置６の設計誤差の両方に起因して、背面壁３４とゲートバルブ１０（より厳密には、接続プレート６２）との間に多少の位置ずれが生じていても良い。

【0060】

作業者は、例えば筐体２の内部空間４０（より具体的には、搬送室４１）に入って、背面壁３４よりも前側の作業位置において、以下の取付作業を行う。まず、作業者は、第２群Ｇ２を構成する部材を筐体２の背面壁３４に取り付ける。具体的には、図１１に示すように、第２群Ｇ２を構成する部材を背面壁３４よりも前側から後側へ移動させる。これにより、作業者は、複数の柱状部３４ｂを、フランジ６１ｂに形成された複数の貫通孔６１ｂ１及びパッキン７１に形成された複数の貫通孔７１ｂにそれぞれ挿通する（図１１の矢印Ａ１を参照）。その後、作業者は、例えば不図示のスパナを用いて複数のナット８３を回転させて（操作して）、前側から複数の柱状部３４ｂにそれぞれ螺合させる。これにより、作業者は、第２群Ｇ２を構成する部材を背面壁３４に固定する（第１固定操作。図１１の矢印Ａ２参照）。言い換えると、作業者は、第２群Ｇ２を構成する部材を背面壁３４に押し当てる（第１押当操作）。

【0061】

次に、作業者は、可撓パッキン６３の前後方向における位置合わせを行う。より具体的には、作業者は、可撓パッキン６３の後端部６３ｂを前後方向に移動させ（図１１の矢印Ａ３参照）、且つ／又は後端部６３ｂの接続プレート６２に対する傾き角度を調節する。なお、後端部６３ｂは伸縮部６３ｃによって移動可能に構成されている。伸縮部６３ｃは、上述したように蛇腹構造を有するため、変形した状態がある程度維持されることが可能である。つまり、後端部６３ｂは、外力によって変位させられた後に当該外力が加えられなくなっても、変位後の配置位置をある程度維持できる。したがって、作業者は、後端部６３ｂの位置を概ね調節した後、後端部６３ｂから手を放すことができる。

【0062】

次に、作業者は、図１２に示すように、第２押え板６５を前側から後側へ移動させ、可撓パッキン６３の後端部６３ｂの前面に押し当てる（図１２の矢印Ａ４参照）。最後に、作業者は、例えば不図示のスパナを用いて複数のボルト８２を回転させて（操作して）、第２押え板６５及び後端部６３ｂを接続プレート６２にねじ止めする（第２固定操作。図１２の矢印Ａ５参照）。言い換えると、作業者は、第２押え板６５及び後端部６３ｂを接続プレート６２に押し当てる（第２押当操作）。以上のようにして、接続モジュール６０のＥＦＥＭ１及びロードロック室７への取付作業が完了する。

【0063】

なお、接続モジュール６０がＥＦＥＭ１及びロードロック室７に取り付けられた状態において、上板６６は、本体６１に脱着されることが可能である。これにより、開口６１ｈを開閉できる。開口６１ｈが開いているとき、外部空間９から本体６１の内部を視認できる。また、開口６１ｈが開いているとき、外部空間９から本体６１の内部にアクセスできる。開口６１ｈが閉じられているとき、ＥＦＥＭ１を稼働させることができる。

【0064】

以上のように、フランジ６１ｂを前側から背面壁３４に取り付ける（押し当てる）ことができる。また、可撓パッキン６３の後端部６３ｂを前側から接続プレート６２に取り付ける（押し当てる）ことができる。これにより、ＥＦＥＭ１及び処理装置６の両方が設置された後に、前側から（すなわち、筐体２の内部において）接続モジュール６０を背面壁３４及び接続プレート６２に取り付ける（押し当てる）ことができる。また、フランジ６１ｂを背面壁３４に取り付けた（押し当てた）後で、後端部６３ｂを前後方向に動かして位置調整することにより、後端部６３ｂと接続プレート６２との前後方向における位置ずれの補償を容易に行うことができる。したがって、ＥＦＥＭ１の外側において接続モジュール６０の取付作業を行えない場合でも、接続モジュール６０をＥＦＥＭ１及びロードロック室７に容易に取り付ける（押し当てる）ことができる。

【0065】

また、接続プレート６２は接続モジュール６０に属し、枠部５４はロードロック室７に属している。これにより、ロードロック室７に属する枠部５４の仕様に応じた接続プレート６２を準備することにより、あらゆるロードロック室７に接続モジュール６０を取り付けることができる。

【0066】

また、伸縮部６３ｃが蛇腹構造を有するため、伸縮部６３ｃが一度変形させられれば、再度力が加えられなくても、変形後の形状がある程度維持される。したがって、取付作業を容易に行うことができる。

【0067】

また、上板６６を本体６１から外して開口６１ｈを開けることにより、ウェハＷが搬送されている様子を筐体２の外側から視認できる。また、ＥＦＥＭ１の稼働が停止された状態で上板６６を本体６１から外して開口６１ｈを開けることにより、接続モジュール６０及びその周辺部の点検及び／又はメンテナンスを行うことができる。

【0068】

また、複数のナット８３は、背面壁３４、フランジ６１ｂ及びパッキン７１よりも前側に配置されている。また、複数のボルト８２の頭部８２ａは、可撓パッキン６３の後端部６３ｂよりも前側に配置されている。したがって、取付作業を行いやすい環境を維持しつつ、搬送室と前室とを接続する空間の気密性をより高めることができる。

【0069】

次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

【0070】

（１）前記実施形態において、可撓パッキン６３の伸縮部６３ｃが蛇腹構造を有するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、伸縮部６３ｃは、単に前後方向に延びた筒状の（例えばゴム製の）弾性体を含んでいても良い。前端部６３ａが本体６１に固定され且つ後端部６３ｂが接続プレート６２に固定されているので、可撓パッキン６３は、伸縮部６３ｃが少し弛んだ状態でＥＦＥＭ１及び処理装置６に取り付けられていても良い（例えば図１３参照）。或いは、可撓パッキン６３は、伸縮部６３ｃが少し伸びた状態でＥＦＥＭ１及び処理装置６に取り付けられていても良い。

【0071】

（２）前記までの実施形態において、可撓パッキン６３の後端部６３ｂは接続プレート６２に対して前後方向に平行移動であり、且つ、接続プレート６２に対する傾き角度が調節されることが可能であるものとした。しかしながら、これには限られない。後端部６３ｂは、例えば、前後方向における平行移動のみ可能であっても良い。

【0072】

（３）前記までの実施形態において、上板６６が上面部６１ｇに脱着されることにより開口６１ｈが開閉されるものとした。しかしながら、これには限られない。上板６６は、上面部６１ｇに対して例えば左右方向にスライド可能に構成されていても良い。或いは、上板６６は、不図示のヒンジを介して本体６１に開閉可能に取り付けられていても良い。また、前記までの実施形態において、開口６１ｈは本体６１の上面部６１ｇに形成されているものとした。しかしながら、これには限られない。開口６１ｈの代わりに、例えば本体６１の右側面部又は左側面部に開口（不図示）が形成され、当該開口を開閉可能なカバー（不図示）が設けられていても良い。或いは、開口６１ｈに相当する開口は、形成されていなくても良い。

【0073】

（４）前記までの実施形態において、作業者は、第１固定操作（第１押当操作）の後に第２固定操作（第２押当操作）を行うものとした。しかしながら、これには限られない。作業者は、例えば、第２固定操作（第２押当操作）の後に第１固定操作（第１押当操作）を行っても良い。この場合、作業者は、可撓パッキン６３を接続プレート６２に固定した後で、フランジ６１ｂを移動させてフランジ６１ｂと背面壁３４との前後方向における位置合わせを行っても良い。或いは、作業者は、第１固定操作及び第２固定操作を略同時に行っても良い。

【0074】

（５）前記までの実施形態において、枠部５４と接続プレート６２とを合わせたものが、本発明の前室側開口部に相当するものとした。また、枠部５４がロードロック室７に属し、接続プレート６２が接続モジュール６０に属するものとした。すなわち、接続モジュール６０の可撓パッキン６３の後端部６３ｂは、接続プレート６２を介して枠部５４に取り付けられているものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、可撓パッキン６３の後端部６３ｂが接続プレート６２を介さずに枠部５４に直接固定されることが可能であれば、接続モジュール６０が接続プレート６２を備えていなくても良い。つまり、例えば、枠部５４の仕様（すなわち、構造）が、後端部６３ｂが直接取り付けられるのに適した仕様であれば、接続プレート６２は不要である。この場合、枠部５４が本発明の前室側開口部に相当し、開口５４ａが本発明の前室側開口に相当する。なお、前記までの実施形態では、開口５４ａが後端部６３ｂよりも大きく、後端部６３ｂを枠部５４に直接ねじ止めすることが困難である。このため、可撓パッキン６３が接続プレート６２を介して枠部５４に固定されている。

【0075】

（６）前記までの実施形態において、本体６１がフランジ６１ｂ及び背面壁３４よりも後側へ突出した突出部６１ｃを有するものとした。しかしながら、これには限られない。本体６１は、枠部５４の形状及び配置位置に応じて、別の形状を有していても良い。例えば、本体６１の代わりに、平らな枠状の部材が本体（不図示）として設けられていても良い。或いは、ゲートバルブ１０の枠部５４が背面壁３４よりも前側（すなわち、筐体２の中）へ突出するように構成されている場合、突出部６１ｃの代わりに、背面壁３４及びフランジ６１ｂよりも前側へ突出した突出部（不図示）が設けられていても良い。このような突出部においては、後面部６１ｄに相当する枠状の部分が前端部に設けられていても良い。

【0076】

（７）前記までの実施形態において、ナット８３によってフランジ６１ｂが背面壁３４に取り付けられるものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、ナット８３の代わりに不図示のボルトによってフランジ６１ｂが背面壁３４に取り付けられても良い。この場合、例えば、背面壁３４には、柱状部３４ｂの代わりに不図示のねじ孔が設けられていても良い。また、前記までの実施形態において、ボルト８２によって可撓パッキン６３の後端部６３ｂが接続プレート６２に取り付けられるものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、ボルト８２の代わりに不図示のナットによって可撓パッキン６３の後端部６３ｂが接続プレート６２に取り付けられても良い。この場合、例えば、接続プレート６２には、ねじ孔６２ｃの代わりに、前側に突出し且つ雄ねじが形成された円柱状の部分が形成されていても良い。

【0077】

（８）フランジ６１ｂを背面壁３４に取り付ける（押し当てる）ための部材及び可撓パッキン６３の後端部６３ｂを接続プレート６２に取り付ける（押し当てる）ための部材は、上述したものに限られない。例えば不図示のクランプが用いられても良い。この場合、クランプによって互いに固定される複数の部材は、クランプによって挟まれることが可能な部分をそれぞれ有することが求められる。

【0078】

或いは、ＥＦＥＭ１が不活性ガスを循環させるように構成されたものでない場合、フランジ６１ｂは必ずしも背面壁３４に固定されていなくても良い。また、この場合、可撓パッキン６３の後端部６３ｂは必ずしも接続プレート６２に固定されていなくても良い。例えば、ＥＦＥＭ１の搬送室４１が大気で満たされるように構成されており、前記までのＥＦＥＭ１と比べて高い気密性を必要としない場合、フランジ６１ｂを背面壁３４に単に押し当てるための部材（不図示）が設けられていても良い。また、この場合、可撓パッキン６３の後端部６３ｂを接続プレート６２に単に押し当てるための部材（不図示）が設けられていても良い。

【0079】

（９）前記までの実施形態において、真空に近い気圧に維持されるロードロック室７が本発明の前室に相当するものとした。しかしながら、これには限られない。接続モジュール６０は、例えば搬送室４１の気圧と略同じ気圧に維持される部屋（不図示）に接続されても良い。この場合、当該部屋が本発明の前室に相当する。

【0080】

（１０）前記までの実施形態において、搬送室４１内でウェハＷが搬送されるものとした。しかしながら、これには限られない。ウェハＷ以外の物体（処理対象物）が搬送室４１内で搬送されても良い。

【符号の説明】

【0081】

１ ＥＦＥＭ
２ 筐体
６ 処理装置
７ ロードロック室（前室）
３４ 背面壁（背面部材）
３４ａ 開口（筐体側開口）
４１ 搬送室
５４ 枠部（第２取付部材、前室側開口部）
６０ 接続モジュール
６１ｂ フランジ（第１枠部）
６１ｃ 突出部
６１ｄ 後面部（第２枠部）
６１ｈ 開口
６２ 接続プレート（第１取付部材、前室側開口部）
６３ 可撓パッキン（シール部）
６３ｂ 後端部（囲い部）
６３ｃ 伸縮部（可撓部）
６６ 上板（カバー）
８２ ボルト（第２固定部）
８２ａ 頭部（第２操作部）
８３ ナット（第１固定部、第１操作部）
Ｗ ウェハ（処理対象品）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】