特開 2024-68387 ガラス板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024068387

(43)【公開日】2024-05-20

(54)【発明の名称】ガラス板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C03B 17/06 20060101AFI20240513BHJP

   C03B 25/12 20060101ALI20240513BHJP

   G01N 21/23 20060101ALI20240513BHJP

   G01B 11/16 20060101ALI20240513BHJP

【ＦＩ】

C03B17/06

C03B25/12

G01N21/23

G01B11/16 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022178788

(22)【出願日】2022-11-08

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100129148

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 淳也

(72)【発明者】

【氏名】大庭 直樹

【テーマコード（参考）】

2F065

2G059

4G015

【Ｆターム（参考）】

2F065AA65

2F065BB22

2F065FF52

2F065GG04

2F065MM03

2F065SS13

2G059AA02

2G059BB10

2G059BB15

2G059EE01

2G059EE09

2G059MM01

4G015CA01

4G015CB02

4G015CC02

(57)【要約】

【課題】ガラス板に対する歪の評価を効率良く行う。
【解決手段】ガラス板の製造方法における評価工程Ｓ７は、試料ガラス板ＧＳの板引き方向Ｄ及び板引き方向Ｄに直交する幅方向Ｗのそれぞれについて複数の測定点ＭＰを設定し、複数の測定点ＭＰにおける試料ガラス板ＧＳの歪を測定する測定工程Ｓ７１と、板引き方向Ｄに沿う複数の測定点ＭＰから一部の測定点ＭＰを選択する選択工程Ｓ７２と、選択工程Ｓ７２で選択された測定点ＭＰにおける歪から歪の代表値Ｚａを算出する算出工程Ｓ７４と、を備える。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形工程と、徐冷炉内で前記ガラスリボンを徐冷する徐冷工程と、前記ガラスリボンを所定サイズのガラス板に切り出す切断工程と、前記ガラス板から試料ガラス板を採取する採取工程と、前記試料ガラス板の歪を評価する評価工程と、を備えるガラス板の製造方法であって、
前記評価工程は、前記試料ガラス板の板引き方向及び前記板引き方向に直交する幅方向のそれぞれについて複数の測定点を設定し、前記複数の測定点における前記試料ガラス板の前記歪を測定する測定工程と、前記板引き方向に沿う前記複数の測定点から一部の測定点を選択する選択工程と、前記選択工程で選択された前記測定点における前記歪から前記歪の代表値を算出する算出工程と、を備えることを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項2】

前記測定工程では、複屈折測定装置により、前記複数の測定点におけるレタデーションの大きさＡと、レタデーションの方位角θとを測定することを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。

【請求項3】

前記評価工程は、前記レタデーションの前記大きさＡと、前記レタデーションの前記方位角θとに基づいて換算される換算歪を演算する演算工程をさらに備え、
前記換算歪は、前記複数の測定点のそれぞれについて、前記試料ガラス板の幅方向の端部からの距離が１００ｍｍ未満である場合はＺ＝－｜Ａｃｏｓθ｜＋｜Ａｓｉｎθ｜で表され、前記試料ガラス板の前記幅方向の前記端部からの距離が１００ｍｍ以上である場合はＺ＝｜Ａｃｏｓθ｜－｜Ａｓｉｎθ｜で表され、
前記選択工程では、前記板引き方向に沿って一列に配される複数の測定点を選択し、
前記算出工程では、前記板引き方向に沿って一列に配される前記複数の測定点における前記換算歪Ｚの最大値Ｚｍａｘ及び最小値Ｚｍｉｎを算出し、かつ前記最大値Ｚｍａｘと前記最小値Ｚｍｉｎの和であるＺａ＝Ｚｍａｘ＋Ｚｍｉｎを、前記板引き方向に沿う前記複数の測定点における前記歪の前記代表値とすることを特徴とする請求項２に記載のガラス板の製造方法。

【請求項4】

前記試料ガラス板は、一辺の長さが２０００ｍｍ以上３４００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項5】

隣り合う前記測定点の相互間の距離は、３０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項6】

前記徐冷工程では、前記算出工程で算出した前記歪の前記代表値に基づき、前記徐冷炉の温度分布を制御することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板を製造する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのディスプレイ用の基板やカバーガラスをはじめとする様々な分野において、ガラス板が使用されている。この種のガラス板は、例えばオーバーフローダウンドロー法などの公知の方法により、長尺なガラスリボンを連続的に成形し、ガラスリボンを所定の長さ毎に幅方向に切断することにより製造される。

【0003】

通常、上記方法で製造されたガラス基板には歪が残存している。この歪により、ガラス板にレタデーションが生じ、透過した光の偏光状態が変化する。そのため、歪が残存するガラス板を例えば液晶ディスプレイ用途に用いると、光漏れや、画面全体或いは一部に輝度ムラが発生するという問題が生じる。

【0004】

例えば特許文献１は、レタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角を制御することで、液晶ディスプレイの光漏れを抑えて、輝度ムラの発生を抑制することが可能なガラス板を開示している。

【0005】

レタデーションの大きさ及び方位角は、公知の歪測定機によって測定することができる。歪測定機は、ガラス板に対して複行複列に設定した複数の測定点のそれぞれに対してレタデーションの大きさ及び方位角を測定することができる（同文献の段落００５５及び図３乃至図５参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００８－２０９９０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

近年におけるディスプレイの大型化に伴い、ガラス板に設定される測定点が増加し、各測定点で測定したレタデーションの大きさ及び方位角に基づく歪の評価に要する時間が増加する傾向にある。

【0008】

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、ガラス板に対する歪の評価を効率良く行うことを技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

（１） 本発明は上記の課題を解決するためのものであり、溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形工程と、徐冷炉内で前記ガラスリボンを徐冷する徐冷工程と、前記ガラスリボンを所定サイズのガラス板に切り出す切断工程と、前記ガラス板から試料ガラス板を採取する採取工程と、前記試料ガラス板の歪を評価する評価工程と、を備えるガラス板の製造方法であって、前記評価工程は、前記試料ガラス板の板引き方向及び前記板引き方向に直交する幅方向のそれぞれについて複数の測定点を設定し、前記複数の測定点における前記試料ガラス板の前記歪を測定する測定工程と、前記板引き方向に沿う前記複数の測定点から一部の測定点を選択する選択工程と、前記選択工程で選択された前記測定点における前記歪から前記歪の代表値を算出する算出工程と、を備えることを特徴とする。

【0010】

かかる構成によれば、ガラス板の板引き方向における複数の測定点について歪の代表値を算出することで、板引き方向における各測定点の歪の評価を代表値によって共通化することが可能となる。これにより、多数の測定点を含むガラス板に対する歪の評価を効率良く行うことができる。

【0011】

（２） 上記（１）の方法において、前記測定工程では、複屈折測定装置により、前記複数の測定点におけるレタデーションの大きさＡと、レタデーションの方位角θとを測定してもよい。

【0012】

かかる構成によれば、レタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角を複屈折測定装置によって測定することで、ガラス板の歪を正確に測定することが可能となる。

【0013】

（３） 上記（２）の方法において、前記評価工程は、前記レタデーションの前記大きさＡと、前記レタデーションの前記方位角θとに基づいて換算される換算歪を演算する演算工程をさらに備え、前記換算歪は、前記複数の測定点のそれぞれについて、前記試料ガラス板の幅方向の端部からの距離が１００ｍｍ未満である場合はＺ＝－｜Ａｃｏｓθ｜＋｜Ａｓｉｎθ｜で表され、前記試料ガラス板の前記幅方向の前記端部からの距離が１００ｍｍ以上である場合はＺ＝｜Ａｃｏｓθ｜－｜Ａｓｉｎθ｜で表され、前記選択工程では、前記板引き方向に沿って一列に配される複数の測定点を選択し、前記算出工程では、前記板引き方向に沿って一列に配される前記複数の測定点における前記換算歪Ｚの最大値Ｚｍａｘ及び最小値Ｚｍｉｎを算出し、かつ前記最大値Ｚｍａｘと前記最小値Ｚｍｉｎの和であるＺａ＝Ｚｍａｘ＋Ｚｍｉｎを、前記板引き方向に沿う前記複数の測定点における前記歪の前記代表値とすることができる。

【0014】

かかる構成によれば、Ｚａ＝Ｚｍａｘ＋Ｚｍｉｎにより算出される歪の代表値に基づいて、ガラス板の各測定点における歪の評価を効率良く行うことができる。

【0015】

（４） 上記の（１）から（３）のいずれかに記載の方法において、前記試料ガラス板は、一辺の長さが２０００ｍｍ以上３４００ｍｍ以下であってもよい。かかる構成によれば、一辺の長さが２０００ｍｍ以上の大型のガラス板に本発明を適用することで、本発明の効果が顕著となる。

【0016】

（５） 上記の（１）から（３）のいずれかに記載の方法において、隣り合う前記測定点の相互間の距離は、３０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよい。かかる構成によれば、測定点の相互間の距離を上記の範囲とすることで、大型のガラス板における測定点を可及的に多く設定することが可能となる。

【0017】

（６） 上記の（１）から（３）のいずれかに記載の方法において、前記徐冷工程では、前記算出工程で算出した前記歪の前記代表値に基づき、前記徐冷炉の温度分布を制御してもよい。かかる構成によれば、本方法によって算出した歪の代表値に基づいて、徐冷工程の温度分布を制御（フィードバック制御）することで、ガラス板に生じる歪を抑制することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、ガラス板に対する歪の評価を効率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】ガラス板の製造装置における成形装置及び切断装置を示す側面図である。

【図2】ガラス板の製造装置における搬送経路を示す平面図である。

【図3】ガラス板の製造装置における搬送経路を示す側面図である。

【図4】歪測定機の側面図である。

【図5】歪測定機の側面図である。

【図6】歪測定機の平面図である。

【図7】歪測定機の正面図である。

【図8】ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。

【図9】評価工程を示すフローチャートである。

【図10】ガラス板を示す図である。

【図11】レタデーションの大きさ及び方位角を示す図である。

【図12】演算工程を説明するための図である。

【図13】ガラス板の歪の評価結果を示すグラフである。

【図14】演算工程を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図１４は、本発明に係るガラス板の製造方法の一実施形態を示す。

【0021】

図１乃至図３は、本方法に使用されるガラス板の製造装置を示す。製造装置は、溶融ガラスからガラスリボンＧＲを連続成形する成形装置１と、ガラスリボンＧＲからガラス板Ｇを切り出す第一切断装置２と、ガラス板Ｇを搬送する搬送経路３と、を備える。

【0022】

成形装置１は、ガラスリボンＧＲを成形する成形炉４と、ガラスリボンＧＲの内部歪を低減するためにガラスリボンＧＲを徐冷（アニール処理）する徐冷炉５と、ガラスリボンＧＲを室温付近まで冷却する冷却ゾーン６と、成形炉４、徐冷炉５及び冷却ゾーン６のそれぞれに上下複数段に設けられるローラ対７と、を備えている。ローラ対７は、ガラスリボンＧＲの幅方向の両端部を挟持し、ガラスリボンＧＲに適度な張力を付与しながら、ガラスリボンＧＲを搬送して降下させる。以下、ガラスリボンＧＲにおいて張力が付与される長手方向を板引き方向Ｄという。

【0023】

成形炉４の内部空間には、オーバーフローダウンドロー法により溶融ガラスからガラスリボンＧＲを成形する成形体８が配置されている。成形体８は、その上部に、溶融ガラスを溢れ出させるためのオーバーフロー溝を有している。成形装置１によって成形されたガラスリボンＧＲの幅方向の両端部は、成形過程の収縮等の影響により、幅方向の中央部に比べて厚みが大きい耳部（不要部）を含む。

【0024】

図１に示すように、第一切断装置２は、成形装置１の下方で縦姿勢のガラスリボンＧＲを所定の長さ毎に幅方向に切断することにより、ガラスリボンＧＲからガラス板Ｇを順次切り出す。ここで、幅方向は、ガラスリボンＧＲの長手方向（板引き方向Ｄ）と直交する方向であり、本実施形態では実質的に水平方向と一致する。

【0025】

第一切断装置２は、ガラスリボンＧＲの一方の表面上に幅方向に沿ってスクライブ線ＳＬ１を形成するスクライブ装置（図示省略）と、スクライブ線ＳＬ１に対応する位置で、ガラスリボンＧＲの他方の表面を支持する接触部９と、切り出し対象のガラス板Ｇに対応する部分（スクライブ線ＳＬ１より下の部分）のガラスリボンＧＲを保持し、スクライブ線ＳＬ１に曲げ応力を作用させる応力付与部１０とを備えている。

【0026】

スクライブ装置は、例えばホイールカッタを備えている。スクライブ装置は、ホイールカッタに限らず、例えばレーザ照射などの他の方法でスクライブ線ＳＬ１を形成するものであってもよい。

【0027】

接触部９は、降下中のガラスリボンＧＲに追従降下しつつ、ガラスリボンＧＲの方向に沿って、ガラスリボンＧＲの表面に接触する平面状の接触面を有する板状体（定盤）から構成されている。応力付与部１０は、ガラスリボンＧＲの幅方向の両端部を把持する把持部（例えばチャック）を備える。

【0028】

搬送経路３は、例えば外部からの汚染物質をある程度遮断できる空間を区画形成するクリーンルームにより構成される。搬送経路３は、複数の空間（処理室）に区切られている。搬送経路３は、主搬送経路３ａと、主搬送経路３ａから分岐する分岐搬送経路３ｂと、を含む。

【0029】

図１乃至図３に示すように、主搬送経路３ａは、ガラスリボンＧＲから切り出されたガラス板Ｇを受け渡す受渡室１１と、ガラス板Ｇの一部を切断する切断室１２と、ガラス板Ｇの検査を行う検査室１３と、ガラス板Ｇを梱包する梱包室１４と、を備える。分岐搬送経路３ｂは、ガラス板Ｇを試料ガラス板ＧＳとして採取する採取室１５を備える。これらの各処理室は、壁１６によって仕切られている。各壁１６には、ガラス板Ｇを通過させるための開口部１６ａが設けられている。なお、壁１６の開口部１６ａには、この開口部１６ａを開閉するためのシャッタが設けられていてもよい。

【0030】

上記の構成の他、搬送経路３は、ガラス板Ｇを縦姿勢で搬送する搬送装置１７～１９を備える。搬送装置１７～１９は、第一搬送装置１７と、第二搬送装置１８と、第三搬送装置１９と、を含む。各搬送装置１７～１９は、ガラス板Ｇの上部を把持する把持部（チャック、吸着パッド等）を備える。

【0031】

受渡室１１は、ガラス板Ｇを第一搬送装置１７から第二搬送装置１８へと受け渡すためのものである。第一搬送装置１７は、ガラスリボンＧＲから切り出されたガラス板Ｇを、第一切断装置２から受け取り、受渡室１１内で第二搬送装置１８に向かって搬送する。第二搬送装置１８は、受渡室１１内の所定位置に待機している。第二搬送装置１８は、第一搬送装置１７からガラス板Ｇを受け取ると、このガラス板Ｇを切断室１２、主搬送経路３ａに沿って、検査室１３、梱包室１４の順に搬送する。また、第二搬送装置１８は、所定のタイミングで、ガラス板Ｇを分岐搬送経路３ｂに沿って採取室１５へと搬送する。

【0032】

図３に示すように、第二搬送装置１８は、ガラス板Ｇをその幅方向Ｗに沿って搬送する。すなわち、第二搬送装置１８は、ガラス板Ｇの表面が搬送方向に面しない状態でガラス板Ｇを搬送する。これにより、搬送時におけるガラス板Ｇの揺れを抑制することができる。

【0033】

切断室１２は、ガラス板Ｇの幅方向Ｗの端部に形成されている不要部（耳部）Ｇｘを除去するためのものである。切断室１２は、第二切断装置（図示せず）としてのスクライブ装置及び折割装置を内部に備える。

【0034】

検査室１３は、ガラス板Ｇを検査するための検査設備２０を備える。検査設備２０は、ガラス板Ｇを撮像する撮像装置と、撮像装置によって取得された画像データに基づいてガラス板Ｇの検査を実施する検査装置と、を備える。

【0035】

梱包室１４は、ガラス板ＧをパレットＣに梱包することによってガラス板梱包体を製造するためのものである。梱包室１４内には、パレットＣと、第三搬送装置１９とが配されている。梱包室１４では、第二搬送装置１８から第三搬送装置１９へのガラス板Ｇの受け渡しが行われる。第三搬送装置１９は、ガラス板Ｇを縦姿勢で保持した状態でパレットＣに載置することが可能な積載装置として機能する。

【0036】

梱包室１４には、シート供給装置（図示せず）によって、ガラス板Ｇを保護するための保護シート（図示せず）が供給される。シート供給装置は、梱包室１４に隣接するシート供給室（図示せず）に配置されている。第三搬送装置１９によって搬送されるガラス板Ｇは、シート供給装置によって保護シートが重ねられた状態で、パレットＣに載置される。

【0037】

採取室１５は、ガラス板Ｇの歪の状態を評価するために、必要なときに試料ガラス板ＧＳを採取するためのものである。採取室１５は、ガラス板Ｇの不要部Ｇｘを除去する第三切断装置としてのスクライブ装置及び折割装置を備える。採取室１５では、ガラス板Ｇの不要部Ｇｘを除去することにより、試料ガラス板ＧＳを得る。

【0038】

採取室１５は、図示しない測定室と繋がっている。測定室には、歪測定機が配置されている。図４乃至図７に示すように、歪測定機２１は、架台２２と、試料ガラス板ＧＳを水平状に支持することが可能な載置台２３と、載置台２３に対して所定の測定方向に沿って相対的に移動可能なレーザ透過型の測定装置２４と、載置台２３及び測定装置２４の動作を制御する制御装置２５と、を備える。

【0039】

架台２２は、載置台２３を傾斜状態もしくは水平状態で保持するための台であって、測定室の床面上に設置される。ここで、「水平状態」とは、完全な水平状態（傾斜角度＝０°）に限るものではなく、略水平な状態であることも含み、例えば、見た目で水平を呈する状態も含む。具体的には、「水平状態」とは、載置台２３が僅かに傾斜している場合において、水平方向（Ｙ軸方向）に対する傾斜角度が－１０°以上０°未満又は０°を超え１０°以下の範囲である状態も含む。

【0040】

図４乃至図６に示すように、架台２２は、Ｙ軸方向に沿って長尺状に構成されている。架台２２は、その長手方向に沿って載置台２３を移動させるスライド機構２６を備える。スライド機構２６は、載置台２３の幅方向Ｗ（Ｘ軸方向）の両端部にそれぞれ配置される。

【0041】

各スライド機構２６は、載置台２３の中途部を回動可能に支持する回動軸２７と、載置台２３を水平方向に沿って移動させる水平駆動装置（図示せず）と、回動軸２７を中心にして載置台２３を回動させる回動駆動装置（図示せず）と、を備える。

【0042】

水平駆動装置は、例えばＬＭガイド（登録商標）やボールねじ機構、モータ等を備える直動機構により構成される。水平駆動装置を作動させることで、水平状態にある載置台２３を架台２２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させることができる。

【0043】

回動駆動装置は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータ又はモータ等により構成される。回動駆動装置は、回動軸２７を介して、載置台２３を、例えば水平方向（Ｙ軸方向）に対して７０～８０度の角度を有する傾斜状態と、水平状態とに変更することができる。

【0044】

図６に示すように、載置台２３は、ステージ部２８と、受け部２９と、位置決め部３０ａ，３０ｂとを備える。

【0045】

ステージ部２８は、金属製（例えばアルミニウム製）の板状部材により構成される。ステージ部２８は、歪を測定する際に試料ガラス板ＧＳの平坦度を所望の精度に維持するための定盤として機能する。

【0046】

ステージ部２８は、平坦面として構成される載置面を有する。載置面は、複数の開口部３１と、各開口部３１を区切る枠部３２とを備える。

【0047】

各開口部３１は、例えば正方形状に構成されるが、この形状に限定されない。各開口部３１は、測定装置２４による歪測定の際に載置台２３の下方から上方に向かって照射されるレーザ光を試料ガラス板ＧＳに照射させるためのものである。複数の開口部３１は、ステージ部２８のＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って、所定の間隔をおいて直線状に配列されている。

【0048】

図６に示すように、枠部３２は、試料ガラス板ＧＳがステージ部２８に載置されたときに、この試料ガラス板ＧＳの一方の面を支持する。各枠部３２は、所定の長さ寸法及び幅寸法を有するとともに、直線状に構成される。

【0049】

図４乃至図６に示すように、受け部２９は、ステージ部２８の一端部側に設けられるとともに、載置台２３の幅方向に沿って長尺状に構成される。受け部２９は、載置台２３が傾斜状態にあるときに、試料ガラス板ＧＳの一端部（下端部）を支持する。また、受け部２９は、載置台２３が水平状態にあるときに、試料ガラス板ＧＳの一端部に接触する位置決め部として機能する。受け部２９は、試料ガラス板ＧＳの大きさに応じて位置決めを行うことができるように、位置変更可能に構成される。

【0050】

図６に示すように、位置決め部３０ａ，３０ｂは、載置台２３が水平状態にあるときに、Ｘ軸方向における試料ガラス板ＧＳの各端部を位置決めする一対の第一位置決め部３０ａと、Ｙ軸方向における試料ガラス板ＧＳの端部（受け部２９に接触する端部とは反対側の端部）を位置決めする第二位置決め部３０ｂと、を含む。各位置決め部３０ａ，３０ｂは、試料ガラス板ＧＳの大きさに応じて位置決めを行うことができるように、位置変更可能に構成される。

【0051】

測定装置２４は、架台２２の長手方向における中途部に配置されている。測定装置２４は、レーザ光照射部３３と、レーザ光受光部３４と、レーザ光受光部３４を支持する支持部材３５と、レーザ光照射部３３を駆動する駆動装置（図示せず）と、レーザ光受光部３４を駆動する駆動装置（図示せず）と、を備える。

【0052】

レーザ光照射部３３は、架台２２の下部に設けられており、載置台２３の下方から開口部３１に向かって上方にレーザ光を放出するように構成される。また、レーザ光照射部３３は、駆動装置によりＸ軸方向に沿って移動するように構成される。

【0053】

レーザ光受光部３４は、上下方向（Ｚ軸方向）においてレーザ光照射部３３と対向するように、このレーザ光照射部３３の上方に位置する。レーザ光受光部３４は、駆動装置によりＸ軸方向に沿って移動するように構成される。

【0054】

上記のようなレーザ光照射部３３及びレーザ光受光部３４の位置関係により、載置台２３は、水平状態にあるときに、上下方向（Ｚ軸方向）においてレーザ光照射部３３とレーザ光受光部３４との間に位置することになる。

【0055】

支持部材３５は、レーザ光受光部３４をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、支持部材３５は、レーザ光受光部３４を駆動する駆動装置を支持している。

【0056】

レーザ光照射部３３の駆動装置及びレーザ光受光部３４の駆動装置は、例えばＬＭガイド（登録商標）やボールねじ機構、モータ等を備える直動機構により構成される。

【0057】

上記の構成に限らず、測定装置２４は、複数の駆動装置を組み合わせることで、レーザ光照射部３３及びレーザ光受光部３４をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるように構成されてもよい。また、測定装置２４は、レーザ光照射部３３及びレーザ光受光部３４をロボットアーム（駆動装置）に取り付けてなる構成としてもよい。これにより、測定装置２４は、レーザ光照射部３３及びレーザ光受光部３４を三次元的に移動させることが可能になる。

【0058】

測定装置２４としては、例えば光ヘテロダイン法による共通光路干渉計とフーリエ解析法を利用して、試料ガラス板ＧＳの複屈折量を測定する複屈折測定装置が好適に使用される。この複屈折測定装置は、試料ガラス板ＧＳの歪の程度を評価するために、レタデーション（Ｒｅｔａｒｄａｔｉｏｎ：複屈折による位相差）の大きさ及びレタデーションの方位角を測定することができる。なお、レタデーションが大きい程、歪が大きいことを意味する。

【0059】

制御装置２５は、架台２２のスライド機構２６が有する駆動装置（水平駆動装置、回動駆動装置）の動作、測定装置２４が有する駆動装置の動作、及び歪測定に関する測定装置２４（レーザ光照射部３３及びレーザ光受光部３４）の動作等を制御する。

【0060】

制御装置２５は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置やメモリ等の記憶装置、ディスプレイ等の表示装置を備えたパーソナルコンピュータ（ＰＣ）である。制御装置２５は、試料ガラス板ＧＳの測定結果等を表示装置に出力することができる。また、制御装置２５は、試料ガラス板ＧＳの測定結果等のデータを記憶装置に保存することができる。

【0061】

以下、上記の製造装置によってガラス板Ｇを製造する方法について説明する。

【0062】

図８に示すように、ガラス板Ｇの製造方法は、成形工程Ｓ１と、冷却工程Ｓ２と、切断工程Ｓ３と、検査工程Ｓ４と、梱包工程Ｓ５と、採取工程Ｓ６と、評価工程Ｓ７と、を備える。

【0063】

図１に示すように、成形工程Ｓ１では、成形装置１によって溶融ガラスからガラスリボンＧＲを連続成形する。成形体８は、溶融ガラスをオーバーフロー溝から溢れ出させて、当該成形体８の両側の側壁面に沿って流下させる。さらに成形体８は、流下させた溶融ガラスを各側壁面の下端部で融合させる。これにより、所定の幅を有するガラスリボンＧＲが成形される。なお、成形体８は、スロットダウンドロー法などの他のダウンドロー法を実行するものであってもよい。

【0064】

冷却工程Ｓ２は、成形体８によって成形されたガラスリボンＧＲを徐冷炉５内で徐冷する徐冷工程と、徐冷工程後のガラスリボンＧＲをさらに冷却する冷却工程とを含む。徐冷工程では、徐冷炉５内に配されたローラ対７によって、ガラスリボンＧＲを下方に搬送する。徐冷炉５内では所定の温度勾配が設定されており、ガラスリボンＧＲは徐冷炉５内を通過することで徐冷される。徐冷工程後の冷却工程では、ガラスリボンＧＲは、徐冷されながら徐冷炉５の下方に配された冷却ゾーン６を通過する。

【0065】

切断工程Ｓ３は、第一切断工程及び第二切断工程を含む。第一切断工程では、第一切断装置２によってガラスリボンＧＲの中途部を幅方向Ｗに沿って切断することで、所定サイズのガラス板Ｇを切り出す。すなわち、第一切断工程では、下方に移動するガラスリボンＧＲの中途部にスクライブ装置によって幅方向に沿うスクライブ線ＳＬ１を形成し（スクライブ工程）、このスクライブ線ＳＬ１に沿ってガラスリボンＧＲの一部を折割ることで、枚葉状のガラス板Ｇを形成する（折割工程）。

【0066】

スクライブ工程において、スクライブ装置のホイールカッタは、降下中のガラスリボンＧＲに追従降下しつつ、ガラスリボンＧＲの幅方向Ｗにスクライブ線ＳＬ１を形成する。折割工程において、応力付与部１０は、降下中のガラスリボンＧＲに追従降下しつつ、接触部９を支点としてガラスリボンＧＲを湾曲させるための動作（Ａ１方向の動作）を行う。この応力付与部１０の動作により、スクライブ線ＳＬ１に曲げ応力が付与される。その結果、ガラスリボンＧＲがスクライブ線ＳＬ１に沿って幅方向に折り割られ、ガラスリボンＧＲからガラス板Ｇが切り出される。

【0067】

図１及び図２に示すように、応力付与部１０は、切り出されたガラス板Ｇを縦姿勢のままＢ方向に沿って搬送した後、受渡位置Ｐ１で第一搬送装置１７にガラス板Ｇを受け渡す。受け渡し後、応力付与部１０は、ガラス板Ｇの幅方向Ｗ両端部の保持を解除すると共に、ガラスリボンＧＲから次のガラス板Ｇを切り出すために、切り出しを開始する前の位置に戻る。第一搬送装置１７はガラス板Ｇを保持した状態で、受渡室１１内に待機する第二搬送装置１８へと移動する。第二搬送装置１８は、第一搬送装置１７からガラス板Ｇを受け取ると、主搬送経路３ａに沿ってガラス板Ｇを搬送する。

【0068】

第二切断工程は、切断室１２内において、第二搬送装置１８によって縦姿勢に保持されるガラス板Ｇに対して、第二切断装置によって不要部Ｇｘを除去する工程である。第二切断工程では、第二切断装置のスクライブ装置によってガラス板Ｇにスクライブ線ＳＬ２を形成し（スクライブ工程）、その後、折割装置によってガラス板Ｇの不要部Ｇｘを折割る（折割工程）。切断工程Ｓ３が終了すると、第二搬送装置１８は、不要部Ｇｘが除去されたガラス板Ｇを検査室１３へと搬送する。

【0069】

検査工程Ｓ４は、切断工程Ｓ３によって形成されたガラス板Ｇに含まれる欠陥を検出し、この欠陥に基づいて各ガラス板Ｇの良否を検査する工程である。検査設備２０の撮像装置は、第二搬送装置１８によって縦姿勢に保持されたガラス板Ｇを撮像し、その画像データを取得する。

【0070】

検査設備２０の検査装置は、撮像装置によって取得された画像データに基づき、ガラス板Ｇに含まれる欠陥を検出する。検査装置は、例えば、ガラス板Ｇの欠陥情報として、ガラス板Ｇの偏肉（板厚）、筋（脈理）、欠陥の種類（例えば、泡、異物など）、位置（座標）、大きさ、各欠陥の個数などを検出することができる。

【0071】

検査装置は、検出した欠陥を所定の判定基準によって判定し、ガラス板Ｇの合否を決定する。検査に合格したガラス板Ｇは、第二搬送装置１８によって梱包室１４に搬送される。

【0072】

梱包工程Ｓ５において、第三搬送装置１９は、第二搬送装置１８から受け取ったガラス板Ｇを縦姿勢で保持し、パレットＣに搬送する。ガラス板Ｇは、シート供給装置によって保護シートが重ねられた状態でパレットＣに積載される。なお、複数の第三搬送装置１９により複数のパレットＣに同時にガラス板Ｇを積載するようにしてもよい。所定数のガラス板ＧがパレットＣに積載されることで、パレットＣ上にガラス板積層体が構成される。その後、ガラス板Ｇ積層体を保護するための保護カバーや位置規制部材がパレットＣに取り付けられる。これにより、ガラス板梱包体が製造される。

【0073】

採取工程Ｓ６では、第二搬送装置１８は、受渡室１１において第一搬送装置１７から受け取ったガラス板Ｇを分岐搬送経路３ｂの採取室１５に搬入する。第三切断装置のスクライブ装置は、採取室１５に搬入されたガラス板Ｇにスクライブ線ＳＬ３を形成する（図３参照）。その後、第三切断装置の折割装置は、ガラス板Ｇの不要部Ｇｘを、スクライブ線ＳＬ３に沿って折割ることでガラス板Ｇから分離させる。このように不要部Ｇｘをガラス板Ｇから除去することで、試料ガラス板ＧＳが形成される。試料ガラス板ＧＳは矩形状であり、一辺が２０００ｍｍ以上３４００ｍｍ以下であることが好ましい。試料ガラス板ＧＳの一辺の長さの下限値は、より好ましくは２１００ｍｍ以上、さらに好ましくは２２００ｍｍ以上である。試料ガラス板ＧＳの一辺の長さの上限値は、より好ましくは３２００ｍｍ以下、さらに好ましくは３０００ｍｍ以下である。その後、試料ガラス板ＧＳは、測定室へと搬送される。

【0074】

評価工程Ｓ７では、測定室の歪測定機２１によって試料ガラス板ＧＳの歪を測定し、その良否を評価する。図９に示すように、評価工程Ｓ７は、測定工程Ｓ７１と、選択工程Ｓ７２と、演算工程Ｓ７３と、算出工程Ｓ７４と、を備える。

【0075】

測定工程Ｓ７１では、図４に示すように、架台２２の一端部側において傾斜状態で待機する載置台２３に、測定室に搬送された試料ガラス板ＧＳを載置する。具体的には、例えば作業者がバキュームリフト等の吸引保持具を用いて試料ガラス板ＧＳを保持した後、この試料ガラス板ＧＳを載置台２３に載置する。これにより、試料ガラス板ＧＳは、その下端部が載置台２３の受け部２９に接触した状態で傾斜状に支持される。

【0076】

その後、図５に示すように、制御装置２５は、スライド機構２６の回動駆動装置を作動させて、回動軸２７を中心に載置台３を回動させる。これにより、載置台２３の姿勢は、傾斜状態から水平状態に変更され、試料ガラス板ＧＳは、この載置台２３によって水平状に支持された状態となる。

【0077】

測定工程Ｓ７１において、歪測定機２１は、制御装置２５の制御によって載置台２３と測定装置２４とを相対的に移動させることで、試料ガラス板ＧＳの測定を行う。

【0078】

測定工程Ｓ７１では、歪測定機２１により、試料ガラス板ＧＳに複数の測定点が設定される。歪測定機２１の測定装置２４は、試料ガラス板ＧＳに設定される測定点に対して、レタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角を測定する。測定結果は、制御装置２５のディスプレイに表示される。

【0079】

図１０は、制御装置２５に表示される試料ガラス板ＧＳを示す。試料ガラス板ＧＳは、幅方向Ｗにおける端部（左右の辺）Ｇａ,Ｇｂと、板引き方向Ｄにおける端部Ｇｃ，Ｇｄとを有する。試料ガラス板ＧＳには、複数の測定点ＭＰが複行複列に設定されている。複数の測定点ＭＰにおいて、隣り合う測定点ＭＰの相互間の距離は、３０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。隣り合う測定点ＭＰの相互間の距離の下限値は、より好ましくは５０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは８０ｍｍ以上である。隣り合う測定点ＭＰの相互間の距離の上限値は、より好ましくは１５０ｍｍ以下であり、さらに好ましくは１２０ｍｍ以下である。

【0080】

制御装置２５のディスプレイには、各測定点ＭＰと重なるように、歪測定機２１で測定されたレタデーションの大きさ及び方位角が表示される。図１１に示すように、レタデーションの大きさ及び方位角は、円ＣＲと直線Ｌ１とを組み合わせた図形により表示される。この図形は、レタデーションＲの大きさを円ＣＲの直径Ａで表し、レタデーションＲの方位角を円ＣＲの中心（測定点ＭＰ）を通る直線Ｌ１の角度θで表す。

【0081】

レタデーションＲの方位角θは、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗに対して直線Ｌ１が為す角度である。図１１では、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗに沿う基準線ＢＬを仮想的に示している。レタデーションＲの方位角θは、直線Ｌ１と基準線ＢＬとが為す角度として表示される。基準線ＢＬは、制御装置２５のディスプレイに表示されなくてもよい。

【0082】

選択工程Ｓ７２は、板引き方向Ｄに沿う複数の測定点ＭＰから一部の測定点ＭＰを選択する工程である。本実施形態では、制御装置２５は、複行複列に配された測定点のうち、板引き方向Ｄに沿う一列ごとに測定点ＭＰを選択する。すなわち、図１２に示すように、制御装置２５は、複数の列を構成する測定点ＭＰからその一部である第Ｍ列に属する測定点ＭＰａを選択することができる。同様に制御装置２５は、複数の列を構成する測定点ＭＰからその一部である第Ｎ列に属する測定点ＭＰｂを選択することができる。制御装置２５は、試料ガラス板ＧＳに設定される全ての列について、一列ごとに、測定点ＭＰを選択することができる。

【0083】

演算工程Ｓ７３は、選択工程Ｓ７２で選択された測定点ＭＰに係るレタデーションＲの大きさＡ及び方位角θに基づいて、換算歪Ｚを演算する工程である。

【0084】

換算歪Ｚは、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗの端部Ｇａ，Ｇｂから測定点ＭＰまでの距離が１００ｍｍ未満である場合には、Ｚ＝－｜Ａｃｏｓθ｜＋｜Ａｓｉｎθ｜で表される。換算歪Ｚは、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗの端部Ｇａ,Ｇｂから測定点ＭＰまでの距離が１００ｍｍ以上である場合には、Ｚ＝｜Ａｃｏｓθ｜－｜Ａｓｉｎθ｜で表される。

【0085】

ここで、本発明者の知見によれば、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗの端部Ｇａ，Ｇｂから測定点ＭＰまでの距離が１００ｍｍ未満である場合には、｜Ａｃｏｓθ｜は、圧縮応力に起因する歪の成分（圧縮歪）を示し、｜Ａｓｉｎθ｜は、引張応力に起因する歪の成分（引張歪）を示す。一方で、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗの端部Ｇａ，Ｇｂから測定点ＭＰまでの距離が１００ｍｍ以上である場合には、｜Ａｃｏｓθ｜は、引張応力に起因する歪の成分（引張歪）を示し、｜Ａｓｉｎθ｜は、圧縮応力に起因する歪の成分（圧縮歪）を示す。

【0086】

算出工程Ｓ７４において、制御装置２５は、板引き方向Ｄに沿って一列に配される複数の測定点ＭＰにおける換算歪Ｚの中から、その最大値Ｚｍａｘ及びその最小値Ｚｍｉｎに基づいて、その列に属する測定点ＭＰにおける歪の代表値Ｚａを算出する。本実施形態において、歪の代表値Ｚａは、Ｚａ＝Ｚｍａｘ＋Ｚｍｉｎで表される。

【0087】

評価工程Ｓ７において、制御装置２５は、算出工程Ｓ７４で算出した歪の代表値Ｚａを、板引き方向Ｄにおいて一列に配された複数の測定点ＭＰに係る歪の代表値Ｚａとし、各列における歪の状態をこの代表値Ｚａに基づいて評価することができる。

【0088】

制御装置２５は、各列における歪の代表値Ｚａに基づいて、試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗにおける歪の状態を評価することができる。制御装置２５は、評価結果をグラフ化してディスプレイに表示することができる。図１３は、歪の評価結果を示すグラフである。このグラフは、縦軸に歪の大きさを示し、横軸に試料ガラス板ＧＳの幅方向Ｗにおける測定位置（測定点ＭＰ）、すなわち、幅方向Ｗに沿って間隔をおいて設定された測定点ＭＰにおける複数の列の位置を示している。このグラフの縦軸における正の値は圧縮歪を意味し、負の値は引張歪を意味する。

【0089】

評価工程Ｓ７によって得られた評価結果は、例えば冷却工程Ｓ２の徐冷工程にフィードバックされる。この場合において、徐冷工程では、歪の代表値Ｚａを含む評価結果に基づき、ガラスリボンＧＲの歪が抑制されるように、徐冷炉５の温度分布を制御することができる。

【0090】

制御装置２５は、上記の演算工程Ｓ７３の他に、以下のような第二の演算工程を実行することが可能である。

【0091】

第二の演算工程において、制御装置２５は、試料ガラス板ＧＳに設定される複行複列の測定点ＭＰのうち、各列に含まれる測定点ＭＰにおける換算歪の代表値Ｚａとし、その列における歪の最大値Ｚｍａｘを採用して、歪の評価を行うことができる。

【0092】

第二の演算工程において、制御装置２５は、板引き方向Ｄに沿って一列に配される複数の測定点ＭＰにおける換算歪Ｚの平均値をその代表値Ｚａとし、歪の評価を行うことができる。

【0093】

第二の演算工程において、制御装置２５は、図１４に示すように、板引き方向Ｄ又は幅方向Ｗに対して所定の角度を為すように傾斜した基準線ＢＬに基づいて、歪の評価を行うことができる。この演算工程では、例えばレタデーションＲの方位角を示す直線Ｌ１が、基準線ＢＬの角度よりも大きい場合には、引張歪よりも圧縮歪が大きい傾向が試料ガラス板ＧＳに生じていると評価することができる。また、レタデーションＲの方位角を示す直線Ｌ２が、基準線ＢＬの角度よりも小さい場合には、引張歪が圧縮歪よりも大きい傾向が試料ガラス板ＧＳに生じていると評価することができる。

【0094】

第二の演算工程では、矩形状の試料ガラス板ＧＳの端部Ｇａ～Ｇｄ、すなわち四辺の近傍位置の測定点ＭＰのみの換算歪Ｚからその代表値Ｚａを算出し、歪の評価を行うことができる。

【0095】

なお、ガラス板Ｇ（試料ガラス板ＧＳ）の板引き方向Ｄは、例えば、暗室でガラス板Ｇの角度を調整しながら光源（例えばキセノンライト）から光を照射し、その透過光をスクリーンに投影することで、筋状の縞模様として観測できる。従って、第二切断工程後のガラス板Ｇの状態、又は採取工程Ｓ６後の試料ガラス板ＧＳの状態であっても、成形時の板引き方向Ｄを特定できる。

【0096】

以上説明した本実施形態に係るガラス板Ｇの製造方法によれば、評価工程Ｓ７において、板引き方向Ｄに沿って試料ガラス板ＧＳに設定される複数の測定点ＭＰにおける歪の代表値Ｚａを算出することで、試料ガラス板ＧＳに対して複行複列に設定された複数の測定点ＭＰに関する歪の評価を、列ごとに行うことができる。これにより、各列に属する複数の測定点ＭＰに係る歪を個別に評価する場合と比較して、試料ガラス板ＧＳに係る歪の評価を効率良く行うことが可能となる。

【0097】

オーバーフローダウンドロー法によってガラス板Ｇを製造する場合、板引き方向Ｄにおけるガラス板Ｇの歪の変化の度合いは、幅方向Ｗにおける歪の変化の度合いよりも小さくなる。このため、上記のように板引き方向Ｄに沿う各列に属する測定点ＭＰの歪の代表値Ｚａを使用した場合であっても、ガラス板Ｇの幅方向Ｗにおける歪の評価を適切に行うことが可能である。

【0098】

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0099】

上記実施形態では、試料ガラス板ＧＳを採取室１５内で採取したが、これに限定されない。切断工程Ｓ３及び検査工程Ｓ４を経たガラス板Ｇを、梱包室１４内で試料ガラス板ＧＳとして採取しても良い。

【符号の説明】

【0100】

５ 徐冷炉
２４ 測定装置
Ｄ ガラス板の板引き方向
Ｇ ガラス板
Ｇ２ 試料ガラス板
ＧＲ ガラスリボン
ＭＰ 測定点
Ｓ１ 成形工程
Ｓ３ 切断工程
Ｓ６ 採取工程
Ｓ７ 評価工程
Ｓ７１ 測定工程
Ｓ７２ 選択工程
Ｓ７３ 演算工程
Ｓ７４ 算出工程
Ｒ レタデーション
Ｗ ガラス板の幅方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】