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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024068476
(43)【公開日】2024-05-20
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
B06B 1/04 20060101AFI20240513BHJP
【ＦＩ】
B06B1/04 S
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022178971
(22)【出願日】2022-11-08
(71)【出願人】
【識別番号】000112565
【氏名又は名称】フォスター電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】永井 信一郎
(72)【発明者】
【氏名】森田 雄一
(72)【発明者】
【氏名】岡崎 義一
【テーマコード（参考）】
5D107
【Ｆターム（参考）】
5D107AA03
5D107AA13
5D107BB08
5D107CC09
5D107CC10
5D107FF10
(57)【要約】
【課題】アクチュエータ全体の寸法拡大を抑えつつ、弾性支持体のアームの長さを確保する。
【解決手段】弾性支持体１６の変形部８０が有する第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部８２ｂ，８２ｅと、伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部８２ｃ、８２ｄ、８２ｇと、を有する。
【選択図】図４
【解決手段】弾性支持体１６の変形部８０が有する第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部８２ｂ，８２ｅと、伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部８２ｃ、８２ｄ、８２ｇと、を有する。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
コイルを含んで構成される取付部材と、
マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、
前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間に位置する変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、
前記変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向としたとき、
前記変形部は、
前記可動子側被固定部に隣接する始点部と、
前記取付部材側被固定部に隣接する終点部と、
前記始点部から前記終点部までを繋ぐアーム部と、を備え、
前記始点部は、
前記可動子側被固定部に対してＹ方向一方側に位置する一方側始点部と、
前記可動子側被固定部に対してＹ方向他方側に位置する他方側始点部と、を備え、
前記終点部は、
前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に位置する一方側終点部と、
前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に位置する他方側終点部と、を備え、
前記アーム部は、
前記一方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第一アームと、
前記一方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第二アームと、
前記他方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第三アームと、
前記他方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第四アームと、を備え、
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、
伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部と、
伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部と、を有する、
アクチュエータ。
マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、
前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間に位置する変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、
前記変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向としたとき、
前記変形部は、
前記可動子側被固定部に隣接する始点部と、
前記取付部材側被固定部に隣接する終点部と、
前記始点部から前記終点部までを繋ぐアーム部と、を備え、
前記始点部は、
前記可動子側被固定部に対してＹ方向一方側に位置する一方側始点部と、
前記可動子側被固定部に対してＹ方向他方側に位置する他方側始点部と、を備え、
前記終点部は、
前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に位置する一方側終点部と、
前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に位置する他方側終点部と、を備え、
前記アーム部は、
前記一方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第一アームと、
前記一方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第二アームと、
前記他方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第三アームと、
前記他方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第四アームと、を備え、
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、
伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部と、
伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部と、を有する、
アクチュエータ。
【請求項2】
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、
前記Ｘ方向折返部と前記Ｙ方向折返部の一方又は両方を２箇所以上に有する、
請求項１に記載のアクチュエータ。
前記Ｘ方向折返部と前記Ｙ方向折返部の一方又は両方を２箇所以上に有する、
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、
前記始点部からＸ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部と、
前記第一Ｘ方向外側伸長部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一Ｘ方向折返部と、
前記第一Ｘ方向折返部からＸ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部と、を有し、
前記Ｘ方向内側伸長部は、
伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返される第一Ｙ方向折返部と、
前記第一Ｙ方向折返部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される第二Ｙ方向折返部と、を有する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
前記始点部からＸ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部と、
前記第一Ｘ方向外側伸長部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一Ｘ方向折返部と、
前記第一Ｘ方向折返部からＸ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部と、を有し、
前記Ｘ方向内側伸長部は、
伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返される第一Ｙ方向折返部と、
前記第一Ｙ方向折返部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される第二Ｙ方向折返部と、を有する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記一方側終点部は、前記第一アームが繋がる第一終点部と、前記第三アームが繋がる第三終点部と、を備え、
前記他方側終点部は、前記第二アームが繋がる第二終点部と、前記第四アームが繋がる第四終点部と、を備え、
前記取付部材側被固定部は、
前記第一終点部と隣接する第一被固定部と、
前記第三終点部と隣接する第三被固定部と、
前記第二終点部と隣接する第二被固定部と、
前記第四終点部と隣接する第四被固定部と、を備え、
前記第一終点部及び前記第三終点部は、前記第一被固定部と前記第三被固定部との間に位置し、
前記第二終点部及び前記第四終点部は、前記第二被固定部と前記第四被固定部との間に位置する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
前記他方側終点部は、前記第二アームが繋がる第二終点部と、前記第四アームが繋がる第四終点部と、を備え、
前記取付部材側被固定部は、
前記第一終点部と隣接する第一被固定部と、
前記第三終点部と隣接する第三被固定部と、
前記第二終点部と隣接する第二被固定部と、
前記第四終点部と隣接する第四被固定部と、を備え、
前記第一終点部及び前記第三終点部は、前記第一被固定部と前記第三被固定部との間に位置し、
前記第二終点部及び前記第四終点部は、前記第二被固定部と前記第四被固定部との間に位置する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記取付部材は、前記第一被固定部、前記第三被固定部、前記第二被固定部及び前記第四被固定部の各々に対してＹ方向外側に配置される４つの回転防止部を備える、
請求項４に記載のアクチュエータ。
請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記変形部は、
前記第一アームと前記第三アームとを連結する一方側連結部と、
前記第二アームと前記第四アームとを連結する他方側連結部と、を備える、
請求項４に記載のアクチュエータ。
前記第一アームと前記第三アームとを連結する一方側連結部と、
前記第二アームと前記第四アームとを連結する他方側連結部と、を備える、
請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記弾性支持体は、前記第一被固定部、前記第二被固定部、前記第三被固定部及び前記第四被固定部のうちＸ方向又はＹ方向で離間する２つの被固定部を連結する一対の連結部を有する、
請求項４に記載のアクチュエータ。
請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項8】
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる傾斜伸長部を備え、
Ｚ方向に平行な軸であって、前記可動子の重心を通る軸を前記可動子の重心軸としたとき、
前記傾斜伸長部は、前記可動子の重心軸から離れる方向に凸となる円弧状部を有する、
請求項３に記載のアクチュエータ。
Ｚ方向に平行な軸であって、前記可動子の重心を通る軸を前記可動子の重心軸としたとき、
前記傾斜伸長部は、前記可動子の重心軸から離れる方向に凸となる円弧状部を有する、
請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項9】
前記可動子は、ヨークを備え、
前記ヨークは、天壁部と、前記天壁部の外側周縁から下方向に延びる垂下部と、を有し、
前記天壁部のＺ方向他方側を向く面は、
前記マグネットが固定されるマグネット固定面と、
前記マグネット固定面を取り囲むと共に前記コイルとＺ方向で対向するコイル対向面と、を有し、
前記コイル対向面は、前記マグネット固定面よりもＺ方向一方側に位置する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
前記ヨークは、天壁部と、前記天壁部の外側周縁から下方向に延びる垂下部と、を有し、
前記天壁部のＺ方向他方側を向く面は、
前記マグネットが固定されるマグネット固定面と、
前記マグネット固定面を取り囲むと共に前記コイルとＺ方向で対向するコイル対向面と、を有し、
前記コイル対向面は、前記マグネット固定面よりもＺ方向一方側に位置する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項10】
前記第一Ｙ方向折返部は、前記第二Ｙ方向折返部よりも細い幅を有する、
請求項３に記載のアクチュエータ。
請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項11】
前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、一部に幅の狭い幅狭部を有する、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、コイルを含んで構成される取付部材と、マグネットを含んで構成される可動子と、取付部材に対して可動子を弾性的に支持する弾性支持体と、を備えるアクチュエータが開示されている。弾性支持体は、複数のアームを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０２０／１８４４３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示は、アクチュエータ全体の寸法拡大を抑えつつ、弾性支持体のアームの長さを確保することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
第１の態様に係るアクチュエータは、コイルを含んで構成される取付部材と、マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間に位置する変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、前記変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向としたとき、前記変形部は、前記可動子側被固定部に隣接する始点部と、前記取付部材側被固定部に隣接する終点部と、前記始点部から前記終点部までを繋ぐアーム部と、を備え、前記始点部は、前記可動子側被固定部に対してＹ方向一方側に位置する一方側始点部と、前記可動子側被固定部に対してＹ方向他方側に位置する他方側始点部と、を備え、前記終点部は、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に位置する一方側終点部と、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に位置する他方側終点部と、を備え、前記アーム部は、前記一方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第一アームと、前記一方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第二アームと、前記他方側始点部から前記一方側終点部まで伸びる第三アームと、前記他方側始点部から前記他方側終点部まで伸びる第四アームと、を備え、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部と、伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部と、を有する。
【0006】
上記態様では、第一アーム、第二アーム、第三アーム及び第四アームの各々は、伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部と、伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部と、を有する。このため、アクチュエータのＸ方向の寸法とＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できる。
つまり、上記態様によれば、アクチュエータ全体の寸法拡大を抑えつつ、弾性支持体のアームの長さを確保できる。
つまり、上記態様によれば、アクチュエータ全体の寸法拡大を抑えつつ、弾性支持体のアームの長さを確保できる。
【0007】
第２の態様に係るアクチュエータは、第１の態様において、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、前記Ｘ方向折返部と前記Ｙ方向折返部の一方又は両方を２箇所以上に有する。
【0008】
この態様では、各アームが、Ｘ方向折返部とＹ方向折返部の一方又は両方を２箇所以上に有する。このため、アームの長さをより一層効果的に確保することができる。
【0009】
第３の態様に係るアクチュエータは、第１又は第２の態様において、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、前記始点部からＸ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部と、前記第一Ｘ方向外側伸長部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一Ｘ方向折返部と、前記第一Ｘ方向折返部からＸ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部と、を有し、前記Ｘ方向内側伸長部は、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返される第一Ｙ方向折返部と、前記第一Ｙ方向折返部よりも前記終点部側に形成され、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される第二Ｙ方向折返部と、を有する。
【0010】
上記態様では、第一アーム、第二アーム、第三アーム及び第四アームの各々は、第一Ｘ方向外側伸長部と、第一Ｘ方向折返部と、Ｘ方向内側伸長部と、を有する。第一Ｘ方向外側伸長部は、始点部からＸ方向外側へ伸びる。第一Ｘ方向折返部は、第一Ｘ方向外側伸長部よりも終点部側に形成される。第一Ｘ方向折返部では、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される。Ｘ方向内側伸長部は、第一折返部からＸ方向内側へ伸びる。
このため、各アームが、Ｘ方向外側へ伸びる部分と、Ｘ方向内側へ伸びる部分とを備えるので、アクチュエータのＸ方向寸法を拡大することなくアームの長さを確保することができる。
更に、Ｘ方向内側伸長部は、第一Ｙ方向折返部と、第一Ｙ方向折返部よりも終点部側に形成される第二Ｙ方向折返部と、を有する。第一Ｙ方向折返部では、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返され、第二Ｙ方向折返部では、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される。
このため、アクチュエータのＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できるので、より一層アームの長さを確保することができる。
このため、各アームが、Ｘ方向外側へ伸びる部分と、Ｘ方向内側へ伸びる部分とを備えるので、アクチュエータのＸ方向寸法を拡大することなくアームの長さを確保することができる。
更に、Ｘ方向内側伸長部は、第一Ｙ方向折返部と、第一Ｙ方向折返部よりも終点部側に形成される第二Ｙ方向折返部と、を有する。第一Ｙ方向折返部では、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返され、第二Ｙ方向折返部では、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される。
このため、アクチュエータのＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できるので、より一層アームの長さを確保することができる。
【0011】
なお、後述する実施形態では、一方側始点部のうち、第一アームに繋がる部分と第二アームに繋がる部分とが一体に形成される例を説明する。しかし、本態様の一方側始点部は、これに限定されない。一方側始点部のうち第一アームに繋がる部分と第二アームに繋がる部分と分離されていてもよい。換言すると、一方側始点部が２つ形成されていてもよい。他方側始点部についても同様である。
また、後述する実施形態では、一方側終点部が、互いに分離して形成された第一終点部及び第三終点部とを有し、第一終点部に第一アームが繋がり、第三終点部に第三アームが繋がる例を説明する。しかし、本態様の一方側終点部は、これに限定されず、第一アームが繋がる部分と第三アームが繋がる部分とが一体に形成されてもよい。他方側終点部についても同様である。
また、後述する実施形態では、Ｘ方向内側伸長部が、Ｘ方向外側に伸長する部分を含まない例を説明する。しかし、本態様のＸ方向内側伸長部は、これに限定されず、全体としてＸ方向内側へ伸長する部分であれば、その一部においてＸ方向外側へ伸長する部分を含んでいてもよい。
また、後述する実施形態では、一方側終点部が、互いに分離して形成された第一終点部及び第三終点部とを有し、第一終点部に第一アームが繋がり、第三終点部に第三アームが繋がる例を説明する。しかし、本態様の一方側終点部は、これに限定されず、第一アームが繋がる部分と第三アームが繋がる部分とが一体に形成されてもよい。他方側終点部についても同様である。
また、後述する実施形態では、Ｘ方向内側伸長部が、Ｘ方向外側に伸長する部分を含まない例を説明する。しかし、本態様のＸ方向内側伸長部は、これに限定されず、全体としてＸ方向内側へ伸長する部分であれば、その一部においてＸ方向外側へ伸長する部分を含んでいてもよい。
【0012】
第４の態様に係るアクチュエータは、第１～第３の何れかの態様において、前記一方側終点部は、前記第一アームが繋がる第一終点部と、前記第三アームが繋がる第三終点部と、を備え、前記他方側終点部は、前記第二アームが繋がる第二終点部と、前記第四アームが繋がる第四終点部と、を備え、前記取付部材側被固定部は、前記第一終点部と隣接する第一被固定部と、前記第三終点部と隣接する第三被固定部と、前記第二終点部と隣接する第二被固定部と、前記第四終点部と隣接する第四被固定部と、を備え、前記第一終点部及び前記第三終点部は、前記第一被固定部と前記第三被固定部との間に位置し、前記第二終点部及び前記第四終点部は、前記第二被固定部と前記第四被固定部との間に位置する。
【0013】
上記態様では、一方側終点部は、第一アームが繋がる第一終点部と、第三アームが繋がる第三終点部と、を備える。他方側終点部は、第二アームが繋がる第二終点部と、第四アームが繋がる第四終点部と、を備える。そして、取付部材側被固定部は、第一終点部と隣接する第一被固定部と、第三終点部と隣接する第三被固定部と、第二終点部と隣接する第二被固定部と、第四終点部と隣接する第四被固定部と、を備える。
ここで、第一終点部及び第三終点部は、第一被固定部と第三被固定部との間に位置し、第二終点部及び第四終点部は、第二被固定部と第四被固定部との間に位置する。
つまり、第一被固定部と第三被固定部との間の空間、及び、第二被固定部と第四被固定部との間の空間を利用して、変形部が形成されるため、アームの長さが長く形成される。このため、可動子の振幅量を確保しやすい。
ここで、第一終点部及び第三終点部は、第一被固定部と第三被固定部との間に位置し、第二終点部及び第四終点部は、第二被固定部と第四被固定部との間に位置する。
つまり、第一被固定部と第三被固定部との間の空間、及び、第二被固定部と第四被固定部との間の空間を利用して、変形部が形成されるため、アームの長さが長く形成される。このため、可動子の振幅量を確保しやすい。
【0014】
第５の態様に係るアクチュエータは、第４の態様において、前記取付部材は、前記第一被固定部、前記第三被固定部、前記第二被固定部及び前記第四被固定部の各々に対してＹ方向外側に配置される４つの回転防止部を備える。
【0015】
上記態様では、取付部材は、第一被固定部、第三被固定部、第二被固定部及び第四被固定部の各々に対してＹ方向外側に配置される４つの回転防止部を備える。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際に、弾性支持体がＺ方向周りに回転して、第一被固定部、第三被固定部、第二被固定部及び第四被固定部の各々が所定の固定位置からズレてしまうことが抑制され、弾性支持体を狙いの位置に組付けることができる。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際に、弾性支持体がＺ方向周りに回転して、第一被固定部、第三被固定部、第二被固定部及び第四被固定部の各々が所定の固定位置からズレてしまうことが抑制され、弾性支持体を狙いの位置に組付けることができる。
【0016】
第６の態様に係るアクチュエータは、第４の態様において、前記変形部は、前記第一アームと前記第三アームとを連結する一方側連結部と、前記第二アームと前記第四アームとを連結する他方側連結部と、を備える。
【0017】
上記態様では、変形部は、第一アームと第三アームとを連結する一方側連結部と、第二アームと第四アームとを連結する他方側連結部と、を備える。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際、各アームが正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。また、可動子が変位して変形部が変形する際の捩じれも抑制される。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際、各アームが正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。また、可動子が変位して変形部が変形する際の捩じれも抑制される。
【0018】
第７の態様に係るアクチュエータは、第４の態様において、前記弾性支持体は、前記第一被固定部、前記第二被固定部、前記第三被固定部及び前記第四被固定部のうちＸ方向又はＹ方向で離間する２つの被固定部を連結する一対の連結部を有する。
【0019】
上記態様では、弾性支持体は、一対の連結部を有する。一対の連結部の各々は、第一被固定部、第二被固定部、第三被固定部及び第四被固定部のうちＸ方向又はＹ方向で離間する２つの被固定部を連結する。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際、各アームが正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。
このため、取付部材側被固定部を取付部材に固定する際、各アームが正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。
【0020】
第８の態様に係るアクチュエータは、第３の態様において、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、前記Ｘ方向内側伸長部と前記終点部とを繋ぐ第二Ｘ方向外側伸長部を備え、前記第二Ｘ方向外側伸長部は、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる傾斜伸長部を備え、Ｚ方向に平行な軸であって、前記可動子の重心を通る軸を前記可動子の重心軸としたとき、前記傾斜伸長部は、前記可動子の重心軸から離れる方向に凸となる円弧状部を有する。
【0021】
上記態様では、第一アーム、第二アーム、第三アーム及び第四アームの各々は、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる傾斜伸長部を備える。
ここで、傾斜伸長部は、可動子の重心軸から離れる方向に凸となる円弧状部を有する。
このため、可動子と弾性支持体との接触を避けつつ、効果的に各アームの長さを稼ぐことができる。
ここで、傾斜伸長部は、可動子の重心軸から離れる方向に凸となる円弧状部を有する。
このため、可動子と弾性支持体との接触を避けつつ、効果的に各アームの長さを稼ぐことができる。
【0022】
第９の態様に係るアクチュエータは、第１～第８の何れかの態様において、前記可動子は、ヨークを備え、前記ヨークは、天壁部と、前記天壁部の外側周縁から下方向に延びる垂下部と、を有し、前記天壁部のＺ方向他方側を向く面は、前記マグネットが固定されるマグネット固定面と、前記マグネット固定面を取り囲むと共に前記コイルとＺ方向で対向するコイル対向面と、を有し、前記コイル対向面は、前記マグネット固定面よりもＺ方向一方側に位置する。
【0023】
上記態様では、可動子のヨークは、天壁部と、天壁部の外側周縁から下方向に延びる垂下部と、を有する。そして、天壁部のＺ方向他方側を向く面は、マグネットが固定されるマグネット固定面と、マグネット固定面を取り囲むと共に前記コイルとＺ方向で対向するコイル対向面と、を有する。
ここで、コイル対向面は、マグネット固定面よりもＺ方向一方側に位置する。
このため、コイル対向面がマグネット固定面とＺ方向で同じ位置に位置する態様と比較して、可動子のＺ方向他方側への可動域を広げることができ、その結果、可動子の振幅量を大きくすることができる。
ここで、コイル対向面は、マグネット固定面よりもＺ方向一方側に位置する。
このため、コイル対向面がマグネット固定面とＺ方向で同じ位置に位置する態様と比較して、可動子のＺ方向他方側への可動域を広げることができ、その結果、可動子の振幅量を大きくすることができる。
【0024】
第１０の態様に係るアクチュエータは、第３の態様において、前記第一Ｙ方向折返部は、前記第二Ｙ方向折返部よりも細い幅を有する。
【0025】
上記態様では、第一Ｙ方向折返部は、第二Ｙ方向折返部よりも細い幅を有する。
このため、応力集中を回避して各アームの破断を抑制すると共に、可動子の振幅を大きくすることができる。
このため、応力集中を回避して各アームの破断を抑制すると共に、可動子の振幅を大きくすることができる。
【0026】
なお、後述する実施形態では、第一Ｙ方向折返部が、アームにおける各部において最も細い幅を有する例を説明する。しかし、本態様の第一Ｙ方向折返部はこれに限定されない。
【0027】
第１１の態様に係るアクチュエータは、第１～第１０の何れかの態様において、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム及び前記第四アームの各々は、一部に幅の狭い幅狭部を有する。
【0028】
この態様では、各アームは、一部に幅の狭い幅狭部を有する。このため、応力集中を回避すると共に、可動子の大きな振幅を実現できる弾性支持体とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図2】アクチュエータの分解斜視図である。
【図3】アクチュエータの平面図である。
【図4】弾性支持体の平面図である。
【図5】アクチュエータの断面図（Ｙ方向に直交する断面図）である。
【図6】変形例に係る弾性支持体の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0030】
【0031】
以下の説明では、各図に示す＋Ｚ方向を上方向といい、－Ｚ方向を下方向という。但し、これはアクチュエータを基準にした方向概念であり、アクチュエータの取付姿勢を限定するものではない。
また、Ｚ方向に平行な軸であって、可動子１４の重心を通る軸を可動子１４の重心軸ＡＸという。そして、Ｘ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＸ方向内側、離れる方向をＸ方向外側といい、Ｙ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＹ方向内側、離れる方向をＹ方向外側という。また、＋Ｘ方向をＸ方向一方側、－Ｘ方向をＸ方向他方側、＋Ｙ方向をＹ方向一方側、－Ｙ方向をＹ方向他方側、＋Ｚ方向をＺ方向一方側、－Ｚ方向をＺ方向他方側という。
また、Ｚ方向に平行な軸であって、可動子１４の重心を通る軸を可動子１４の重心軸ＡＸという。そして、Ｘ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＸ方向内側、離れる方向をＸ方向外側といい、Ｙ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＹ方向内側、離れる方向をＹ方向外側という。また、＋Ｘ方向をＸ方向一方側、－Ｘ方向をＸ方向他方側、＋Ｙ方向をＹ方向一方側、－Ｙ方向をＹ方向他方側、＋Ｚ方向をＺ方向一方側、－Ｚ方向をＺ方向他方側という。
【0032】
【0033】
アクチュエータ１０は、一例としてタッチパネルとして構成された液晶パネル等の表示部や各種のコントローラ等（取付対象物）に取り付けられることにより、当該表示部やコントローラを振動させるアクチュエータである。このアクチュエータ１０への通電を制御することにより、タッチパネルやコントローラ等に触れる使用者の指に対して様々な触感を与えることが可能となっている。
【0034】
図２に示すように、アクチュエータ１０は、取付対象物に取り付けられる取付部材１２と、取付部材１２に対して所定の変位方向（±Ｚ方向）に相対変位する可動子１４と、取付部材１２に対して可動子１４を弾性的に支持する弾性支持体１６と、を備える。
弾性支持体１６が弾性変形することで、可動子１４が取付部材１２に対して相対変位することが許容される。アクチュエータ１０は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向を長手方向、Ｙ方向を短手方向とする形状（具体的には略長方形）とされる。
弾性支持体１６が弾性変形することで、可動子１４が取付部材１２に対して相対変位することが許容される。アクチュエータ１０は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向を長手方向、Ｙ方向を短手方向とする形状（具体的には略長方形）とされる。
【0035】
また、アクチュエータ１０は、弾性支持体１６の振動を減衰する２つの緩衝材１８と、弾性支持体１６に取り付けられると共に緩衝材１８における一方側の面を覆う２つのカバー部材２０と、を備える。
【0036】
≪取付部材１２≫
図２に示すように、取付部材１２は、フレーム２２と、コイル４０と、取付用接着シート６６と、を備える。
図２に示すように、取付部材１２は、フレーム２２と、コイル４０と、取付用接着シート６６と、を備える。
【0037】
（フレーム２２）
フレーム２２は、＋Ｚ方向に開放された箱状に形成される。
フレーム２２は、弾性支持体１６が固定される支持体固定部２６を有する。支持体固定部２６は、４つ形成される。４つの支持体固定部２６は、Ｚ方向視で略矩形状のフレーム２２における４つの角部に対応する位置に形成される。各支持体固定部２６は、底壁部２４（図５参照）から上方に向けて立設する。各支持体固定部２６の上面に弾性支持体１６の一部（各被固定部５１）が固定される。
フレーム２２は、＋Ｚ方向に開放された箱状に形成される。
フレーム２２は、弾性支持体１６が固定される支持体固定部２６を有する。支持体固定部２６は、４つ形成される。４つの支持体固定部２６は、Ｚ方向視で略矩形状のフレーム２２における４つの角部に対応する位置に形成される。各支持体固定部２６は、底壁部２４（図５参照）から上方に向けて立設する。各支持体固定部２６の上面に弾性支持体１６の一部（各被固定部５１）が固定される。
【0038】
フレーム２２は、金属製の骨格部材２８をインサート品として樹脂インサート成形されることで作られる。骨格部材２８は、４つの露出部３０を有する。図２に示すように、４つの露出部３０の各々は、各支持体固定部２６の上面に露出している。骨格部材２８の４つの露出部３０と、弾性支持体１６の４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄとがそれぞれレーザ溶接で接合される。これにより、弾性支持体１６が取付部材１２に固定される。
【0039】
フレーム２２は、４つの支持体固定部２６のうちＸ方向一方側の２つの支持体固定部２６の間に位置する一方側台座部３２と、４つの支持体固定部２６のうちＸ方向他方側の２つの支持体固定部２６の間に位置する他方側台座部３２と、を有する。一方側台座部３２と他方側台座部３２とを特に区別しないときは、単に台座部３２と呼ぶ。
台座部３２の上面には、緩衝材１８が配置される（図５参照）。上下方向の位置に関し、台座部３２の上面は、支持体固定部２６の上面よりも下方に位置する。
台座部３２の上面には、緩衝材１８が配置される（図５参照）。上下方向の位置に関し、台座部３２の上面は、支持体固定部２６の上面よりも下方に位置する。
【0040】
一方側台座部３２は、電線９２をフレーム２２の外側から内側へ引き入れ可能に構成される。
一方側台座部３２は、他方側台座部３２よりもＸ方向寸法側大きい。これにより、一方側台座部３２は、Ｙ方向で隣り合う２つの支持体固定部２６によりもＸ方向一方側に突出する。
一方側台座部３２は、他方側台座部３２よりもＸ方向寸法側大きい。これにより、一方側台座部３２は、Ｙ方向で隣り合う２つの支持体固定部２６によりもＸ方向一方側に突出する。
【0041】
フレーム２２は、４つの支持体固定部２６のうちＹ方向一方側の２つの支持体固定部２６の間に位置する一方側側壁部３４と、４つの支持体固定部２６のうちＹ方向他方側の２つの支持体固定部２６の間に位置する他方側側壁部３４と、を有する。一方側側壁部３４と他方側側壁部３４とを特に区別しないときは、単に側壁部３４と呼ぶ。
側壁部３４は、２つの支持体固定部２６を連結している。上下方向の位置に関し、側壁部３４の上端は、支持体固定部２６の上面よりも下方に位置し、また、台座部３２の上面よりも下方に位置する。これにより、弾性支持体１６の大きな変形が許容される。
側壁部３４は、２つの支持体固定部２６を連結している。上下方向の位置に関し、側壁部３４の上端は、支持体固定部２６の上面よりも下方に位置し、また、台座部３２の上面よりも下方に位置する。これにより、弾性支持体１６の大きな変形が許容される。
【0042】
（コイル４０）
図５に示すように、コイル４０は、Ｚ方向を軸方向とする環状に形成されたコイルベース４２と、コイルベース４２のまわりに環状に巻回された電線部４４と、を備える。コイル４０は、フレーム２２の底壁部２４の上側に配置される。
図５に示すように、コイル４０は、Ｚ方向を軸方向とする環状に形成されたコイルベース４２と、コイルベース４２のまわりに環状に巻回された電線部４４と、を備える。コイル４０は、フレーム２２の底壁部２４の上側に配置される。
【0043】
（取付用接着シート６６）
取付用接着シート６６は、アクチュエータ１０を取付対象物に取り付けるための部材である。取付用接着シート６６は、両面が接着面とされた接着シートである。取付用接着シート６６は、フレーム２２の下面側に接着される。
取付用接着シート６６は、アクチュエータ１０を取付対象物に取り付けるための部材である。取付用接着シート６６は、両面が接着面とされた接着シートである。取付用接着シート６６は、フレーム２２の下面側に接着される。
【0044】
【0045】
ヨーク６０は、軟磁性体で形成される。ヨーク６０は、壁厚方向を概ね上下方向に向けた天壁部６１と、天壁部６１の外側周縁から下方向に延びる垂下部６２と、から構成される。天壁部６１は、平面視で円形であり、垂下部６２の壁厚方向は、天壁部６１の中心軸（可動子１４の重心軸ＡＸと一致する。）に直交する方向を向く。
【0046】
天壁部６１は、当該天壁部６１の中心部を構成するマグネット固定部６１Ａと、当該天壁部６１の周縁部を構成するコイル対向部６１Ｂと、を有する。
図５に示すように、マグネット固定部６１Ａの下面６１Ａ２（マグネット固定面６１Ａ２）には、マグネット６３が接着等により固定される。コイル対向部６１Ｂの下面６１Ｂ２（コイル対向面６１Ｂ２）は、コイル４０と上下方向で対向する。
図５に示すように、マグネット固定部６１Ａの下面６１Ａ２（マグネット固定面６１Ａ２）には、マグネット６３が接着等により固定される。コイル対向部６１Ｂの下面６１Ｂ２（コイル対向面６１Ｂ２）は、コイル４０と上下方向で対向する。
【0047】
マグネット固定部６１Ａは、コイル対向部６１Ｂに対して下方へ窪んでいる。このため、コイル対向部６１Ｂの下面であるコイル対向面６１Ｂ２は、マグネット固定部６１Ａの下面であるマグネット固定面６１Ａ２に対して上方側に位置する。これにより、可動子１４の下方向への可動範囲が拡大されている。
【0048】
マグネット固定部６１Ａの上面は、コイル対向部６１Ｂの上面に対して下方向に窪んでいる。コイル対向部６１Ｂの上面は、複数の箇所において、弾性支持体１６の可動子側被固定部７０に固定される。ヨーク６０と弾性支持体１６との固定方法は、例えば、レーザ溶接である。
【0049】
マグネット６３の形状は円柱形状である。
【0050】
ポールピース６４は、軟磁性体で形成される。ポールピース６４は、マグネット６３の下面側に固定される。ポールピース６４は、径方向において、コイル５０と対向するように配置されている。ポールピース６４の下面は、ヨーク６０の垂下部６２の下面と略同じ位置、又は垂下部６２の下面より下方に形成されている。ポールピース６４の形状は円柱形状である。ポールピース６４の直径は、マグネット６３の直径よりも大きい。弾性支持体１６が自由状態（弾性変形していない状態）にあるとき、ポールピース６４の全体が、コイル４０の電線部４４が形成された上下方向の範囲に収まる（図５参照）。
【0051】
可動子１４は、ヨーク６０、マグネット６３及びポールピース６４により、磁気回路を形成する。マグネット６３及びポールピース６４と、ヨーク６０の垂下部６２との間には、コイル４０が相対的に移動可能な空間が形成される（図４）。
【0052】
≪弾性支持体１６≫
弾性支持体１６の自由状態では、弾性支持体１６の全体が上下方向に直交する同一平面上に位置する。弾性支持体１６は、例えば、平板状の金属材に抜き加工を施すことで作られる。弾性支持体１６の材料としては、例えばステンレスである。
弾性支持体１６の自由状態では、弾性支持体１６の全体が上下方向に直交する同一平面上に位置する。弾性支持体１６は、例えば、平板状の金属材に抜き加工を施すことで作られる。弾性支持体１６の材料としては、例えばステンレスである。
【0053】
弾性支持体１６は、一部において取付部材１２に固定され、他の一部において可動子１４に固定される。取付部材１２に固定される部分と、可動子１４に固定される部分との間の部分が、可動子１４が変位（振動）する際に変形する部分となる。
すなわち、図４に示すように、弾性支持体１６は、取付部材１２に固定される取付部材側被固定部５０と、可動子１４に固定される可動子側被固定部７０と、取付部材側被固定部５０と可動子側被固定部７０とを繋ぐ変形部８０と、から構成される。
すなわち、図４に示すように、弾性支持体１６は、取付部材１２に固定される取付部材側被固定部５０と、可動子１４に固定される可動子側被固定部７０と、取付部材側被固定部５０と可動子側被固定部７０とを繋ぐ変形部８０と、から構成される。
【0054】
（取付部材側被固定部５０）
取付部材側被固定部５０は、４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄから構成される。具体的には、取付部材側被固定部５０は、第一被固定部５１Ａ、第二被固定部５１Ｂ、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄから構成される。
第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に位置する。第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃを纏めて一方側取付部材側被固定部５０Ａ，５０Ｃと呼ぶことがある。
第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する。第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄを纏めて他方側取付部材側被固定部５０Ｂ，５０Ｄと呼ぶことがある。
第一被固定部５１Ａ、第二被固定部５１Ｂ、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄを特に区別しないときは、単に被固定部５１と呼ぶ。
取付部材側被固定部５０は、４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄから構成される。具体的には、取付部材側被固定部５０は、第一被固定部５１Ａ、第二被固定部５１Ｂ、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄから構成される。
第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に位置する。第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃを纏めて一方側取付部材側被固定部５０Ａ，５０Ｃと呼ぶことがある。
第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する。第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄを纏めて他方側取付部材側被固定部５０Ｂ，５０Ｄと呼ぶことがある。
第一被固定部５１Ａ、第二被固定部５１Ｂ、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄを特に区別しないときは、単に被固定部５１と呼ぶ。
【0055】
被固定部５１は、板厚方向を上下方向に向ける。これに対し、骨格部材２８の露出部３０も、板厚方向を上下方向に向ける。被固定部５１が露出部３０の上側に重ね合わされた状態でレーザ溶接により両者が接合される。
被固定部５１は、平面視で矩形状である。
被固定部５１は、平面視で矩形状である。
【0056】
図１、図３に示すように、フレーム２２の４つの支持体固定部２６の各々は、被固定部５１が配置される上面に対して上方へ突出した４つの回転防止部３６を有する。回転防止部３６は、被固定部５１に対してＹ方向外側に近接して配置される。これにより、回転防止部３６は、弾性支持体１６を取付部材１２に固定する際に、各被固定部５１が所定の位置からズレることを抑制するように機能する。回転防止部３６は、平面視でＸ方向を長手とする形状である。回転防止部３６のＸ方向寸法は、被固定部５１のＸ方向寸法の９５～１０５％である。
回転防止部３６は、被固定部５１に対してＸ方向外側には形成されていない。これにより、フレーム２２のＸ方向での大型化が抑制されている。
回転防止部３６は、被固定部５１に対してＸ方向外側には形成されていない。これにより、フレーム２２のＸ方向での大型化が抑制されている。
【0057】
（可動子側被固定部７０）
可動子側被固定部７０は、可動子１４の上面側に固定される。具体的には、可動子側被固定部７０は、可動子１４のヨーク６０の上面（具体的にはコイル対向部６１Ｂの上面）に接合される。
可動子側被固定部７０は、円形である。円形の可動子側被固定部７０の中心は、可動子１４の重心軸ＡＸ上に位置する。円形の可動子側被固定部７０における縁部付近に位置する複数箇所（本実施形態では６箇所）が、接合箇所となる。複数の接合箇所における２つの接合箇所は、一方側始点部８１Ｐに隣接する箇所及び他方側始点部８１Ｍに隣接する箇所である。
可動子側被固定部７０は、可動子１４の上面側に固定される。具体的には、可動子側被固定部７０は、可動子１４のヨーク６０の上面（具体的にはコイル対向部６１Ｂの上面）に接合される。
可動子側被固定部７０は、円形である。円形の可動子側被固定部７０の中心は、可動子１４の重心軸ＡＸ上に位置する。円形の可動子側被固定部７０における縁部付近に位置する複数箇所（本実施形態では６箇所）が、接合箇所となる。複数の接合箇所における２つの接合箇所は、一方側始点部８１Ｐに隣接する箇所及び他方側始点部８１Ｍに隣接する箇所である。
【0058】
（変形部８０）
図４に示すように、変形部８０は、一方側始点部８１Ｐ及び他方側始点部８１Ｍと、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと、４つの終点部（終端部ともいう）８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄと、を有する。
４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄを纏めてアーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと呼ぶことがある。
図４に示すように、変形部８０は、一方側始点部８１Ｐ及び他方側始点部８１Ｍと、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと、４つの終点部（終端部ともいう）８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄと、を有する。
４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄを纏めてアーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと呼ぶことがある。
【0059】
一方側始点部８１Ｐ及び他方側始点部８１Ｍは、共に、可動子側被固定部７０とＹ方向で隣接した部分である。一方側始点部８１Ｐは、可動子側被固定部７０のＹ方向一方側に位置し、他方側始点部８１Ｍは、可動子側被固定部７０のＹ方向他方側に位置する。
【0060】
変形部８０は、一方側始点部８１Ｐから、Ｘ方向の一方側と他方側へ向けて分枝しており、それぞれ第一アーム８２Ａと第二アーム８２Ｂとに繋がっている。他方側始点部８１Ｍからも、Ｘ方向の一方側と他方側に向けて分枝しており、それぞれ第三アーム８２Ｃと第四アーム８２Ｄとに繋がっている。なお、一方側始点部８１Ｐと他方側始点部８１Ｍとを特に区別しないときは、単に始点部（始端部ともいう）８１という。
【0061】
４つの終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄは、第一終点部８３Ａ、第二終点部８３Ｂ、第三終点部８３Ｃ及び第四終点部８３Ｄから構成される。
第一終点部８３Ａは、第一アーム８２Ａと接続すると共に第一被固定部５１Ａと隣接する。
第二終点部８３Ｂは、第二アーム８２Ｂと接続すると共に第二被固定部５１Ｂと隣接する。
第三終点部８３Ｃは、第三アーム８２Ｃと接続すると共に第三被固定部５１Ｃと隣接する。
第四終点部８３Ｄは、第四アーム８２Ｄと接続すると共に第四被固定部５１Ｄと隣接する。
第一終点部８３Ａは、第一アーム８２Ａと接続すると共に第一被固定部５１Ａと隣接する。
第二終点部８３Ｂは、第二アーム８２Ｂと接続すると共に第二被固定部５１Ｂと隣接する。
第三終点部８３Ｃは、第三アーム８２Ｃと接続すると共に第三被固定部５１Ｃと隣接する。
第四終点部８３Ｄは、第四アーム８２Ｄと接続すると共に第四被固定部５１Ｄと隣接する。
【0062】
第一終点部８３Ａ及び第三終点部８３Ｃは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に位置する。第一終点部８３Ａ及び第三終点部８３Ｃを纏めて一方側終点部８３Ａ，８３Ｃと呼ぶことがある。
第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する。第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄを纏めて他方側終点部８３Ｂ，８３Ｄと呼ぶことがある。
４つの終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄを特に区別しないときは、単に終点部８３という。
終点部８３は、対応する被固定部５１のＹ方向内側に隣接する。
第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する。第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄを纏めて他方側終点部８３Ｂ，８３Ｄと呼ぶことがある。
４つの終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄを特に区別しないときは、単に終点部８３という。
終点部８３は、対応する被固定部５１のＹ方向内側に隣接する。
【0063】
（各アームの構成）
変形部８０は、Ｘ方向とＹ方向の両方について対称の形状である。このため、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄは、互いに同様の形状である。詳述すると、第一アーム８２Ａ及び第三アーム８２Ｃは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。また、第二アーム８２Ｂ及び第四アーム８２Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。さらに、第一アーム８２Ａと第二アーム８２Ｂとは、Ｘ方向に対称に形成されている。また、第三アーム８２Ｃと第四アーム８２Ｄとは、Ｘ方向に対称に形成されている。以下、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄを区別しないときは、単にアーム８２という。
変形部８０は、Ｘ方向とＹ方向の両方について対称の形状である。このため、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄは、互いに同様の形状である。詳述すると、第一アーム８２Ａ及び第三アーム８２Ｃは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。また、第二アーム８２Ｂ及び第四アーム８２Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。さらに、第一アーム８２Ａと第二アーム８２Ｂとは、Ｘ方向に対称に形成されている。また、第三アーム８２Ｃと第四アーム８２Ｄとは、Ｘ方向に対称に形成されている。以下、４つのアーム８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄを区別しないときは、単にアーム８２という。
【0064】
アーム８２は、Ｘ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部８２ａと、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一Ｘ方向折返部８２ｂと、Ｘ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄと、伸長方向がＸ方向内側からＸ方向外側へ折り返される第二Ｘ方向折返部８２ｅと、Ｘ方向外側へ伸びる第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈと、を始点部８１から終点部８３に向かってこの順に備える。
【0065】
第一Ｘ方向外側伸長部８２ａは、Ｘ方向外側に向けてＸ方向に平行に伸びる。Ｙ方向の位置に関し、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａは、可動子側被固定部７０よりもＹ方向外側に位置する。各アーム８２の第一Ｘ方向外側伸長部８２ａは始点部８１から伸び、この始点部８１は可動子側被固定部７０に対してＹ方向外側に位置するので、アクチュエータ１０のＹ方向寸法を有効に活用して、アームの長さを稼ぐことができる。
【0066】
Ｙ方向の位置に関し、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端は、被固定部５１のＹ方向外側端よりもＹ方向外側に位置する。被固定部５１のＹ方向外側には、既に述べたとおり回転防止部３６が配置される（図３参照）。
【0067】
第一アーム８２Ａの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端、一方側始点部８１ＰのＹ方向外側端及び第二アーム８２Ｂの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端は、Ｘ方向に平行に延びる直線を形成する。
第三アーム８２Ｃの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端、他方側始点部８１ＭのＹ方向外側端及び第四アーム８２Ｄの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端は、Ｘ方向に平行に延びる直線を形成する。
第三アーム８２Ｃの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端、他方側始点部８１ＭのＹ方向外側端及び第四アーム８２Ｄの第一Ｘ方向外側伸長部８２ａのＹ方向外側端は、Ｘ方向に平行に延びる直線を形成する。
【0068】
第一Ｘ方向折返部８２ｂにおける折返し方向は、Ｙ方向内側である。
【0069】
Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄは、具体的には、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返される第一Ｙ方向折返部８２ｃと、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される第二Ｙ方向折返部８２ｄと、を有する。第一Ｙ方向折返部８２ｃの折返し方向及び第二Ｙ方向折返部８２ｄの折返し方向は、共に、Ｘ方向内側である。これにより、Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄは、Ｓ字の形状を有する。第一Ｙ方向折返部８２ｃは、アーム８２における各部において、最も細い幅を有する。
【0070】
第二Ｘ方向折返部８２ｅにおける折返し方向は、Ｙ方向内側である。
【0071】
第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈは、Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄと終点部８３とを繋ぐ。
第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈは、具体的には、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる第一傾斜伸長部８２ｆと、Ｘ方向外側かつＹ方向外側に延びる第二傾斜伸長部８２ｈと、を有する。第一傾斜伸長部８２ｆと第二傾斜伸長部８２ｈとの間の部分を第三Ｙ方向折返部８２ｇと把握することもできる。第三Ｙ方向折返部８２ｇの曲率半径は、第一Ｙ方向折返部８２ｃ及び第二Ｙ方向折返部８２ｄの両方の曲率半径よりも大きい。第一Ｙ方向折返部８２ｃ、第二Ｙ方向折返部８２ｄ及び第三Ｙ方向折返部８２ｇの幅寸法は、第三Ｙ方向折返部８２ｇが最も大きく、第一Ｙ方向折返部８２ｃが最も小さい。なお、この場合の幅寸法とは、幅寸法の平均値を意味する。
第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈは、具体的には、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる第一傾斜伸長部８２ｆと、Ｘ方向外側かつＹ方向外側に延びる第二傾斜伸長部８２ｈと、を有する。第一傾斜伸長部８２ｆと第二傾斜伸長部８２ｈとの間の部分を第三Ｙ方向折返部８２ｇと把握することもできる。第三Ｙ方向折返部８２ｇの曲率半径は、第一Ｙ方向折返部８２ｃ及び第二Ｙ方向折返部８２ｄの両方の曲率半径よりも大きい。第一Ｙ方向折返部８２ｃ、第二Ｙ方向折返部８２ｄ及び第三Ｙ方向折返部８２ｇの幅寸法は、第三Ｙ方向折返部８２ｇが最も大きく、第一Ｙ方向折返部８２ｃが最も小さい。なお、この場合の幅寸法とは、幅寸法の平均値を意味する。
【0072】
第一傾斜伸長部８２ｆは、可動子１４の重心軸ＡＸから離れる方向に凸となる円弧状部８２ｆとなっている。円弧状部８２ｆのうち可動子側被固定部７０に近い側の縁は、円形の可動子側被固定部７０の外形に沿うような円弧状を成している。
【0073】
また、変形部８０は、一方側連結部８４Ｐと、他方側連結部８４Ｍと、を有する。
一方側連結部８４Ｐは、第一アーム８２Ａの第二傾斜伸長部８２ｈと第三アーム８２Ｃの第二傾斜伸長部８２ｈとを連結し、他方側連結部８４Ｍは、第二アーム８２Ｂの第二傾斜伸長部８２ｈと第四アーム８２Ｄの第二傾斜伸長部８２ｈとを連結する。一方側連結部８４Ｐと他方側連結部８４Ｍとを特に区別しないときは、単に連結部８４と呼ぶ。
連結部８４は、可動子１４の変位に伴い変位する。
一方側連結部８４Ｐは、第一アーム８２Ａの第二傾斜伸長部８２ｈと第三アーム８２Ｃの第二傾斜伸長部８２ｈとを連結し、他方側連結部８４Ｍは、第二アーム８２Ｂの第二傾斜伸長部８２ｈと第四アーム８２Ｄの第二傾斜伸長部８２ｈとを連結する。一方側連結部８４Ｐと他方側連結部８４Ｍとを特に区別しないときは、単に連結部８４と呼ぶ。
連結部８４は、可動子１４の変位に伴い変位する。
【0074】
これにより、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃは、第一終点部８３Ａ、第三終点部８３Ｃ、第一アーム８２Ａ、第三アーム８２Ｃ及び一方側連結部８４Ｐによって連結されることになる。つまり、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃが可動子側被固定部７０を介さずに連結されることになる。
また、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄは、第二終点部８３Ｂ、第四終点部８３Ｄ、第二アーム８２Ｂ、第四アーム８２Ｄ及び他方側連結部８４Ｍによって連結されることになる。つまり、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄが可動子側被固定部７０を介さずに連結されることになる。
このため、取付部材側被固定部５０が４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄに分割された弾性支持体１６において、各被固定部５１を取付部材１２に固定する作業が容易になる。
また、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄは、第二終点部８３Ｂ、第四終点部８３Ｄ、第二アーム８２Ｂ、第四アーム８２Ｄ及び他方側連結部８４Ｍによって連結されることになる。つまり、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄが可動子側被固定部７０を介さずに連結されることになる。
このため、取付部材側被固定部５０が４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄに分割された弾性支持体１６において、各被固定部５１を取付部材１２に固定する作業が容易になる。
【0075】
連結部８４は、Ｘ方向外側に凸となるアーチ形状である。これにより、連結部８４を有する弾性支持体１６の加工性が向上する。Ｘ方向の位置に関して、連結部８４のＸ方向外側端は、各被固定部５１のＸ方向外側端と同じ位置か、Ｘ方向内側に位置する。
【0076】
（緩衝材１８）
図１に示すように、緩衝材１８は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、緩衝材１８は、Ｙ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。
図１に示すように、緩衝材１８は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、緩衝材１８は、Ｙ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。
【0077】
緩衝材１８の下面は、他の部材と接着可能な接着面となっており、緩衝材１８の上面も、他の部材と接着可能な接着面となっている。
図５に示すように、緩衝材１８の下面は、フレーム２２の台座部３２の上面に接着する。緩衝材１８の上面は、変形部８０のうち緩衝材１８と重なる部分の下面に接着する。
図５に示すように、緩衝材１８の下面は、フレーム２２の台座部３２の上面に接着する。緩衝材１８の上面は、変形部８０のうち緩衝材１８と重なる部分の下面に接着する。
【0078】
一方の緩衝材１８は、第一アーム８２Ａ及び第三アーム８２Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈの一部（具体的には第三Ｙ方向折返部８２ｇ及び第二傾斜伸長部８２ｈの一部）と重なると共に、一方側連結部８４Ｐの一部とも重なる。
他方の緩衝材１８は、上方向から見て、第二アーム８２Ｂ及び第四アーム８２Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈの一部（具体的には第三Ｙ方向折返部８２ｇ及び第二傾斜伸長部８２ｈの一部）と重なると共に、他方側連結部８４Ｍの一部とも重なる。
他方の緩衝材１８は、上方向から見て、第二アーム８２Ｂ及び第四アーム８２Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部８２ｆ，８２ｇ，８２ｈの一部（具体的には第三Ｙ方向折返部８２ｇ及び第二傾斜伸長部８２ｈの一部）と重なると共に、他方側連結部８４Ｍの一部とも重なる。
【0079】
緩衝材１８の部品単体の状態における厚み寸法は、フレーム２２の台座部３２の上面と弾性支持体１６との間のクリアランスよりも大きな寸法に設定されている。このため、緩衝材１８は、フレーム２２と弾性支持体１６によって上下方向で圧縮された状態となる。
【0080】
（カバー部材２０）
カバー部材２０は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、カバー部材２０は、緩衝材１８と同様の形状であり、Ｙ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。カバー部材２０の厚み寸法は、緩衝材１８の厚み寸法よりも小さい。
カバー部材２０は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、カバー部材２０は、緩衝材１８と同様の形状であり、Ｙ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。カバー部材２０の厚み寸法は、緩衝材１８の厚み寸法よりも小さい。
【0081】
カバー部材２０の下面は、他の部材と接着可能な接着面となっている。カバー部材２０の下面は、緩衝材１８の上面に接着すると共に、変形部８０のうち緩衝材１８と重なる部分における上面に接着する。これにより、緩衝材１８とカバー部材２０との間に、変形部８０の一部が配置された状態となる。
【0082】
以上のように構成されたアクチュエータ１０は、可動子１４が弾性支持体１６に支持され、コイル４０に通電していない状態では図５に示す原点位置にある。可動子１４に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。アクチュエータ１０においては、コイル４０がフレーム２２に固定され、マグネット６３等が可動子１４に取り付けられているので、コイル４０に通電することにより、可動子１４にコイル４０から発生する力の反力としての推力が発生する。そして、コイル４０に交流を通電させることにより、可動子１４が重心軸ＡＸに沿って上下方向に振幅し、振動する。
【0083】
＜作用効果＞
次に、本実施形態における作用効果について説明する。
次に、本実施形態における作用効果について説明する。
【0084】
本実施形態では、図２に示すように、コイル４０を含んで構成される取付部材１２と、マグネット６３を含んで構成され、取付部材１２に対して所定の変位方向（Ｚ方向）に相対変位する可動子１４と、弾性支持体１６と、を備える。
図４に示すように、弾性支持体１６は、取付部材１２に固定される取付部材側被固定部５０、可動子１４に固定される可動子側被固定部７０、及び、取付部材側被固定部５０と可動子側被固定部７０との間に位置する変形部８０を有する。
変形部８０は、可動子側被固定部７０に隣接する始点部８１Ｐ，８１Ｍと、取付部材側被固定部５０に隣接する終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄと、始点部８１Ｐ，８１Ｍから終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄまでを繋ぐアーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと、を備える。
始点部８１Ｐ，８１Ｍは、可動子側被固定部７０に対してＹ方向一方側に位置する一方側始点部８１Ｐと、可動子側被固定部７０に対してＹ方向他方側に位置する他方側始点部８１Ｍと、を備える。
終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に位置する一方側終点部８３Ａ，８３Ｃと、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する他方側終点部８３Ｂ，８３Ｄと、を備える。
アーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄは、一方側始点部８１Ｐから一方側終点部８３Ａまで伸びる第一アーム８２Ａと、一方側始点部８１Ｐから他方側終点部８３Ｂまで伸びる第二アーム８２Ｂと、他方側始点部８１Ｍから一方側終点部８３Ｃまで伸びる第三アーム８２Ｃと、他方側始点部８１Ｍから他方側終点部８３Ｄまで伸びる第四アーム８２Ｄと、を備える。
図４に示すように、弾性支持体１６は、取付部材１２に固定される取付部材側被固定部５０、可動子１４に固定される可動子側被固定部７０、及び、取付部材側被固定部５０と可動子側被固定部７０との間に位置する変形部８０を有する。
変形部８０は、可動子側被固定部７０に隣接する始点部８１Ｐ，８１Ｍと、取付部材側被固定部５０に隣接する終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄと、始点部８１Ｐ，８１Ｍから終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄまでを繋ぐアーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄと、を備える。
始点部８１Ｐ，８１Ｍは、可動子側被固定部７０に対してＹ方向一方側に位置する一方側始点部８１Ｐと、可動子側被固定部７０に対してＹ方向他方側に位置する他方側始点部８１Ｍと、を備える。
終点部８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄは、可動子側被固定部７０に対してＸ方向一方側に位置する一方側終点部８３Ａ，８３Ｃと、可動子側被固定部７０に対してＸ方向他方側に位置する他方側終点部８３Ｂ，８３Ｄと、を備える。
アーム部８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄは、一方側始点部８１Ｐから一方側終点部８３Ａまで伸びる第一アーム８２Ａと、一方側始点部８１Ｐから他方側終点部８３Ｂまで伸びる第二アーム８２Ｂと、他方側始点部８１Ｍから一方側終点部８３Ｃまで伸びる第三アーム８２Ｃと、他方側始点部８１Ｍから他方側終点部８３Ｄまで伸びる第四アーム８２Ｄと、を備える。
【0085】
ここで、本実施形態では、第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、伸長方向がＸ方向で折り返されるＸ方向折返部８２ｂ，８２ｅと、伸長方向がＹ方向で折り返されるＹ方向折返部８２ｃ、８２ｄ、８２ｇと、を有する。このため、アクチュエータ１０のＸ方向の寸法とＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できる。
【0086】
また、本実施形態では、第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、Ｘ方向折返部８２ｂ，８２ｅとＹ方向折返部８２ｃ、８２ｄ、８２ｇの両方を２箇所以上に有する。このため、アームの長さをより一層効果的に確保することができる。
なお、本実施形態では、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａも、Ｙ方向折返部８２ａであるといえる。そのため、各アーム８２は、Ｙ方向折返部８２ａ，８２ｃ、８２ｄ、８２ｇを４箇所に有する。
なお、本実施形態では、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａも、Ｙ方向折返部８２ａであるといえる。そのため、各アーム８２は、Ｙ方向折返部８２ａ，８２ｃ、８２ｄ、８２ｇを４箇所に有する。
【0087】
また、本実施形態では、第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａと、第一Ｘ方向折返部８２ｂと、Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄと、を備える。第一Ｘ方向外側伸長部８２ａは、始点部８１からＸ方向外側へ伸びる。第一Ｘ方向折返部８２ｂは、第一Ｘ方向外側伸長部８２ａよりも終点部８３側に形成される。第一Ｘ方向折返部８２ｂでは、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される。Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄは、第一Ｘ方向折返部８２ｂからＸ方向内側へ伸びる。
このため、各アーム８２が、Ｘ方向外側へ伸びる部分と、Ｘ方向内側へ伸びる部分とを備えるので、アクチュエータ１０のＸ方向寸法を拡大することなくアームの長さを確保することができる。
更に、Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄは、第一Ｙ方向折返部８２ｃと、第一Ｙ方向折返部８２ｃよりも終点部８３側に形成される第二Ｙ方向折返部８２ｄと、を有する。第一Ｙ方向折返部８２ｃでは、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返され、第二Ｙ方向折返部８２ｄでは、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される。
このため、アクチュエータ１０のＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できるので、より一層アームの長さを確保することができる。
このため、各アーム８２が、Ｘ方向外側へ伸びる部分と、Ｘ方向内側へ伸びる部分とを備えるので、アクチュエータ１０のＸ方向寸法を拡大することなくアームの長さを確保することができる。
更に、Ｘ方向内側伸長部８２ｃ，８２ｄは、第一Ｙ方向折返部８２ｃと、第一Ｙ方向折返部８２ｃよりも終点部８３側に形成される第二Ｙ方向折返部８２ｄと、を有する。第一Ｙ方向折返部８２ｃでは、伸長方向がＹ方向内側からＹ方向外側に折り返され、第二Ｙ方向折返部８２ｄでは、伸長方向がＹ方向外側からＹ方向内側に折り返される。
このため、アクチュエータ１０のＹ方向の寸法を効果的に用いてアームの長さを確保できるので、より一層アームの長さを確保することができる。
【0088】
また、本実施形態では、図４に示すように、一方側終点部８３Ａ，８３Ｃは、第一アーム８２Ａが繋がる第一終点部８３Ａと、第三アーム８２Ｃが繋がる第三終点部８３Ｃと、を備える。他方側終点部８３Ｂ，８３Ｄは、第二アーム８２Ｂが繋がる第二終点部８３Ｂと、第四アーム８２Ｄが繋がる第四終点部８３Ｄと、を備える。そして、取付部材側被固定部５０は、第一終点部８３Ａと隣接する第一被固定部５１Ａと、第三終点部８３Ｃと隣接する第三被固定部５１Ｃと、第二終点部８３Ｂと隣接する第二被固定部５１Ｂと、第四終点部８３Ｄと隣接する第四被固定部５１Ｄと、を備える。
ここで、第一終点部８３Ａ及び第三終点部８３Ｃは、第一被固定部５１Ａと第三被固定部５１Ｃとの間に位置し、第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄは、第二被固定部５１Ｂと第四被固定部５１Ｄとの間に位置する。
つまり、第一被固定部５１Ａと第三被固定部５１Ｃとの間の空間、及び、第二被固定部５１Ｂと第四被固定部５１Ｄとの間の空間を利用して、変形部８０が形成されるため、アームの長さが長く形成される。このため、可動子１４の振幅量を確保しやすい。
ここで、第一終点部８３Ａ及び第三終点部８３Ｃは、第一被固定部５１Ａと第三被固定部５１Ｃとの間に位置し、第二終点部８３Ｂ及び第四終点部８３Ｄは、第二被固定部５１Ｂと第四被固定部５１Ｄとの間に位置する。
つまり、第一被固定部５１Ａと第三被固定部５１Ｃとの間の空間、及び、第二被固定部５１Ｂと第四被固定部５１Ｄとの間の空間を利用して、変形部８０が形成されるため、アームの長さが長く形成される。このため、可動子１４の振幅量を確保しやすい。
【0089】
また、本実施形態では、図１に示すように、取付部材１２は、第一被固定部５１Ａ、第三被固定部５１Ｃ、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄの各々に対してＹ方向外側に配置される４つの回転防止部３６を備える。
このため、取付部材側被固定部５０を取付部材１２に固定する際に、弾性支持体１６がＺ方向周りに回転して、第一被固定部５１Ａ、第三被固定部５１Ｃ、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄの各々が所定の固定位置からズレてしまうことが抑制され、弾性支持体を狙いの位置に組付けることができる。
このため、取付部材側被固定部５０を取付部材１２に固定する際に、弾性支持体１６がＺ方向周りに回転して、第一被固定部５１Ａ、第三被固定部５１Ｃ、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄの各々が所定の固定位置からズレてしまうことが抑制され、弾性支持体を狙いの位置に組付けることができる。
【0090】
また、本実施形態では、図４に示すように、変形部８０は、第一アーム８２Ａと第三アーム８２Ｃとを連結する一方側連結部８４Ｐと、第二アーム８２Ｂと第四アーム８２Ｄとを連結する他方側連結部８４Ｍと、を備える。
このため、取付部材側被固定部５０を取付部材１２に固定する際、各アーム８２が正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。また、可動子１４が変位して変形部８０が変形する際の捩じれも抑制される。
このため、取付部材側被固定部５０を取付部材１２に固定する際、各アーム８２が正規の形状に対して捩じれた状態になることが抑制される。また、可動子１４が変位して変形部８０が変形する際の捩じれも抑制される。
【0091】
また、本実施形態では、図４に示すように、一方側連結部８４Ｐは、Ｘ方向一方側に凸となるアーチ形状であり、他方側連結部８４Ｍは、Ｘ方向他方側に凸となるアーチ形状である。つまり、各連結部８４は、Ｘ方向外側に凸となるアーチ形状である。
このため、連結部８４を有する弾性支持体１６の加工性が向上する。また、弾性支持体１６に作用する応力を分散することができる。
このため、連結部８４を有する弾性支持体１６の加工性が向上する。また、弾性支持体１６に作用する応力を分散することができる。
【0092】
また、本実施形態では、図４に示すように、第一アーム８２Ａ、第二アーム８２Ｂ、第三アーム８２Ｃ及び第四アーム８２Ｄの各々は、Ｘ方向外側かつＹ方向内側へ伸びる傾斜伸長部８２ｆを備える。
ここで、傾斜伸長部８２ｆは、可動子の重心軸ＡＸ（図５参照）から離れる方向に凸となる円弧状部８２ｆを有する。
このため、可動子１４と弾性支持体１６との接触を避けつつ、効果的に各アームの長さを稼ぐことができる。
ここで、傾斜伸長部８２ｆは、可動子の重心軸ＡＸ（図５参照）から離れる方向に凸となる円弧状部８２ｆを有する。
このため、可動子１４と弾性支持体１６との接触を避けつつ、効果的に各アームの長さを稼ぐことができる。
【0093】
また、本実施形態では、図５に示すように、可動子１４のヨーク６０は、天壁部６１と、天壁部６１の外側周縁から下方向に延びる垂下部６２と、を有する。そして、天壁部６１のＺ方向他方側を向く面６１Ａ２，６１Ｂ２は、マグネット６３が固定されるマグネット固定面６１Ａ２と、マグネット固定面６１Ａ２を取り囲むと共にコイル４０とＺ方向で対向するコイル対向面６１Ｂ２と、を有する。
ここで、コイル対向面６１Ｂ２は、マグネット固定面６１Ａ２よりもＺ方向一方側に位置する。
このため、コイル対向面６１Ｂ２がマグネット固定面６１Ａ２とＺ方向で同じ位置に位置する態様と比較して、可動子１４のＺ方向他方側への可動域を広げることができ、その結果、可動子１４の振幅量を大きくすることができる。
なお、上記構成による上記効果は、弾性支持体１６の変形部８０の具体的形状とは関係なく奏する効果である。
ここで、コイル対向面６１Ｂ２は、マグネット固定面６１Ａ２よりもＺ方向一方側に位置する。
このため、コイル対向面６１Ｂ２がマグネット固定面６１Ａ２とＺ方向で同じ位置に位置する態様と比較して、可動子１４のＺ方向他方側への可動域を広げることができ、その結果、可動子１４の振幅量を大きくすることができる。
なお、上記構成による上記効果は、弾性支持体１６の変形部８０の具体的形状とは関係なく奏する効果である。
【0094】
また、本実施形態では、第一Ｙ方向折返部８２ｃは、第二Ｙ方向折返部８２ｄよりも細い幅を有する。
このため、応力集中を回避して各アームの破断を抑制すると共に、可動子１４の振幅を大きくすることができる。
このため、応力集中を回避して各アームの破断を抑制すると共に、可動子１４の振幅を大きくすることができる。
【0095】
〔補足説明〕
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。以下、念のため補足する。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。以下、念のため補足する。
【0096】
上記実施形態では、平面視で円形であるコイル４０を例を説明した。しかし、本開示の「コイル」はこれに限定されず、平面視で矩形やその他の多角形状であってもよいし、これら以外の形状であってもよい。
【0097】
また、上記実施形態では、骨格部材２８をインサート品として成形されたフレーム２２を説明した。しかし、本開示のフレームは、これに限定されず、例えば樹脂材料のみから形成されてもよいし、金属材料のみから形成されてもよい。
【0098】
また、上記実施形態では、弾性支持体として、平板状とされ、自由状態で全体が上下方向に直交する同一平面上に位置する弾性支持体１６を説明した。しかし、本開示の「弾性支持体」は、これに限定されず、自由状態でも同一平面上に位置しない弾性支持体であってもよい。
【0099】
また、上記実施形態では、弾性支持体１６が、１枚の板バネのみから構成される例を説明した。しかし、本開示の弾性支持体は、これに限定されず、２枚の板バネと、これら２枚の板バネの間に挟まれた緩衝材と、から構成されるものであってもよい。
【0100】
【0101】
（弾性支持体１１６）
変形例に係る弾性支持体１１６の変形部１８０は、上記実施形態で説明した一方側連結部８４Ｐ及び他方側連結部８４Ｍを有しない。
その代わり、変形例に係る弾性支持体１１６は、変形部１８０とは別に、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃを連結する一方側連結部１８４Ｐと、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄを連結する他方側連結部１８４Ｍと、を有する。一方側連結部１８４Ｐと他方側連結部１８４Ｍとを特に区別しないときは、単に連結部１８４と呼ぶ。
連結部１８４は、可動子１４の変位に伴い変位する部分ではない。
変形例に係る弾性支持体１１６の変形部１８０は、上記実施形態で説明した一方側連結部８４Ｐ及び他方側連結部８４Ｍを有しない。
その代わり、変形例に係る弾性支持体１１６は、変形部１８０とは別に、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃを連結する一方側連結部１８４Ｐと、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄを連結する他方側連結部１８４Ｍと、を有する。一方側連結部１８４Ｐと他方側連結部１８４Ｍとを特に区別しないときは、単に連結部１８４と呼ぶ。
連結部１８４は、可動子１４の変位に伴い変位する部分ではない。
【0102】
これにより、上記実施形態と同様、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃが可動子側被固定部７０を介さずに連結されることになり、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄが可動子側被固定部７０を介さずに連結されることになる。
このため、取付部材側被固定部５０が４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄに分割された弾性支持体１６において、各被固定部５１を取付部材１２に固定する作業が容易になる。
このため、取付部材側被固定部５０が４つの被固定部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄに分割された弾性支持体１６において、各被固定部５１を取付部材１２に固定する作業が容易になる。
【0103】
一方側連結部１８４Ｐは、第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１ＣのＸ方向外側部分同士をＹ方向に連結し、他方側連結部１８４Ｍは、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１ＤのＸ方向外側部分同士をＹ方向に連結する。これにより、各連結部１８４は、Ｙ方向で離間する２つの被固定部５１をＹ方向に沿って直線状に連結する。各連結部１８４のＸ方向外側端と、当該連結部１８４によって連結された２つの被固定部５１のＸ方向外側端とは、Ｙ方向に延びる同一直線状に位置する。
【0104】
各連結部１８４の幅寸法は、細幅に形成される。具体的には、各連結部は、弾性支持体１１６の他の何れの部分よりも細い幅を有する。
【0105】
また、変形例に係る弾性支持体１１６では、変形部１８０の形状が、上記実施形態の変形例８０の形状とは異なる。
【0106】
変形部１８０の各アーム８２には、伸長方向が大きく変わっている部分（コーナー部）の前後に幅が狭い部分（幅狭部）が形成されている。換言すると、コーナー部は、その前後の部分より幅が太く形成された部分を有する。
【0107】
図６を参照して具体的にみると、第一Ｙ方向折返部８２ｃが属するコーナー部は、その前後の部分よりも幅が太く形成された部分を有する。
また、第二Ｙ方向折返部８２ｄ及び第二Ｘ方向折返部８２ｅが属するコーナー部は、その前後の部分よりも幅が太く形成された部分を有する。
また、第三Ｙ方向折返部８２ｇが属するコーナー部は、その前後の部分よりも幅が太く形成された部分を有する。
また、第二Ｙ方向折返部８２ｄ及び第二Ｘ方向折返部８２ｅが属するコーナー部は、その前後の部分よりも幅が太く形成された部分を有する。
また、第三Ｙ方向折返部８２ｇが属するコーナー部は、その前後の部分よりも幅が太く形成された部分を有する。
【0108】
なお、上記実施形態の構成と上記変形例の構成とは適宜組み合わせてもよい。例えば、上記実施形態の弾性支持体１６において、連結部８４の構造をそのままに、変形例の変形部１８０の形状を採用してもよい。また、上記実施形態の弾性支持体１６において、変形部１８０（連結部８４を除く部分）の形状をそのままに、変形例の連結部１８４の構造を採用してもよい。
また、上記変形例では、連結部１８４が、Ｙ方向で離間する２つの被固定部５１（第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃの２つの被固定部５１、又は、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄの２つの被固定部５１）を連結する例を説明した。しかし、本開示の連結部は、Ｘ方向で離間する２つの被固定部を連結するものであってもよい。第一被固定部５１Ａ及び第二被固定部５１Ｂの２つの被固定部、又は、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄの２つの被固定部が、Ｘ方向で離間する２つの被固定部に該当する。
また、上記変形例では、連結部１８４が、Ｙ方向で離間する２つの被固定部５１（第一被固定部５１Ａ及び第三被固定部５１Ｃの２つの被固定部５１、又は、第二被固定部５１Ｂ及び第四被固定部５１Ｄの２つの被固定部５１）を連結する例を説明した。しかし、本開示の連結部は、Ｘ方向で離間する２つの被固定部を連結するものであってもよい。第一被固定部５１Ａ及び第二被固定部５１Ｂの２つの被固定部、又は、第三被固定部５１Ｃ及び第四被固定部５１Ｄの２つの被固定部が、Ｘ方向で離間する２つの被固定部に該当する。
【符号の説明】
【0109】
１０ アクチュエータ
１２ 取付部材
１４ 可動子
１６ 弾性支持体
１８ 緩衝材
２０ カバー部材
２２ フレーム
３６ 回転防止部
４０ コイル
５０ 取付部材側被固定部
５０Ａ，５０Ｃ 一方側取付部材側被固定部
５０Ｂ，５０Ｄ 他方側取付部材側被固定部
５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄ 被固定部
５１Ａ 第一被固定部
５１Ｂ 第二被固定部
５１Ｃ 第三被固定部
５１Ｄ 第四被固定部
６０ ヨーク
６１ 天壁部
６１Ａ１，６１Ｂ２ 天壁部の下面
６１Ａ マグネット固定部
６１Ａ２ マグネット固定部の下面（マグネット固定面）
６１Ｂ コイル対向部
６１Ｂ２ コイル対向部の下面（コイル対向面）
６２ 垂下部
６３ マグネット
６４ ポールピース
７０ 可動子側被固定部
８０ 変形部
８１Ｐ，８１Ｍ 始点部
８１Ｐ 一方側始点部
８１Ｍ 他方側始点部
８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄ アーム（アーム部）
８２Ａ 第一アーム
８２Ｂ 第二アーム
８２Ｃ 第三アーム
８２Ｄ 第四アーム
８２ａ Ｘ方向外側伸長部
８２ｂ 第一Ｘ方向折返部
８２ｃ，８２ｄ Ｘ方向内側伸長部
８２ｃ 第一Ｙ方向折返部
８２ｄ 第二Ｙ方向折返部
８２ｅ 第二Ｘ方向折返部
８２ｆ，８２ｇ，８２ｈ 第二Ｘ方向外側伸長部
８２ｆ 第一傾斜伸長部（傾斜伸長部、円弧状部）
８２ｇ 第三Ｙ方向方向折返部
８２ｈ 第二傾斜伸長部
８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄ 終点部
８３Ａ，８３Ｃ 一方側終点部
８３Ｂ，８３Ｄ 他方側終点部
８３Ａ 第一終点部
８３Ｂ 第二終点部
８３Ｃ 第三終点部
８３Ｄ 第四終点部
８４Ｐ 一方側連結部（連結部）
８４Ｍ 他方側連結部（連結部）
ＡＸ 可動子の重心軸
１２ 取付部材
１４ 可動子
１６ 弾性支持体
１８ 緩衝材
２０ カバー部材
２２ フレーム
３６ 回転防止部
４０ コイル
５０ 取付部材側被固定部
５０Ａ，５０Ｃ 一方側取付部材側被固定部
５０Ｂ，５０Ｄ 他方側取付部材側被固定部
５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄ 被固定部
５１Ａ 第一被固定部
５１Ｂ 第二被固定部
５１Ｃ 第三被固定部
５１Ｄ 第四被固定部
６０ ヨーク
６１ 天壁部
６１Ａ１，６１Ｂ２ 天壁部の下面
６１Ａ マグネット固定部
６１Ａ２ マグネット固定部の下面（マグネット固定面）
６１Ｂ コイル対向部
６１Ｂ２ コイル対向部の下面（コイル対向面）
６２ 垂下部
６３ マグネット
６４ ポールピース
７０ 可動子側被固定部
８０ 変形部
８１Ｐ，８１Ｍ 始点部
８１Ｐ 一方側始点部
８１Ｍ 他方側始点部
８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ，８２Ｄ アーム（アーム部）
８２Ａ 第一アーム
８２Ｂ 第二アーム
８２Ｃ 第三アーム
８２Ｄ 第四アーム
８２ａ Ｘ方向外側伸長部
８２ｂ 第一Ｘ方向折返部
８２ｃ，８２ｄ Ｘ方向内側伸長部
８２ｃ 第一Ｙ方向折返部
８２ｄ 第二Ｙ方向折返部
８２ｅ 第二Ｘ方向折返部
８２ｆ，８２ｇ，８２ｈ 第二Ｘ方向外側伸長部
８２ｆ 第一傾斜伸長部（傾斜伸長部、円弧状部）
８２ｇ 第三Ｙ方向方向折返部
８２ｈ 第二傾斜伸長部
８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃ，８３Ｄ 終点部
８３Ａ，８３Ｃ 一方側終点部
８３Ｂ，８３Ｄ 他方側終点部
８３Ａ 第一終点部
８３Ｂ 第二終点部
８３Ｃ 第三終点部
８３Ｄ 第四終点部
８４Ｐ 一方側連結部（連結部）
８４Ｍ 他方側連結部（連結部）
ＡＸ 可動子の重心軸
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
