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特開2024-6903ブラックマトリックス用顔料分散組成物、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物、及びブラックレジスト膜
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024006903
(43)【公開日】2024-01-17
(54)【発明の名称】ブラックマトリックス用顔料分散組成物、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物、及びブラックレジスト膜
(51)【国際特許分類】
G02B 5/20 20060101AFI20240110BHJP
G03F 7/004 20060101ALI20240110BHJP
G03F 7/027 20060101ALI20240110BHJP
C09D 17/00 20060101ALI20240110BHJP
C09C 1/48 20060101ALI20240110BHJP
【ＦＩ】
G02B5/20 101
G03F7/004 501
G03F7/004 505
G03F7/027 515
C09D17/00
C09C1/48
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022209337
(22)【出願日】2022-12-27
(31)【優先権主張番号】P 2022105408
(32)【優先日】2022-06-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000105947
【氏名又は名称】サカタインクス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000729
【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】平井 淳一
(72)【発明者】
【氏名】辻 康人
(72)【発明者】
【氏名】戸田 光信
(72)【発明者】
【氏名】中川 朋樹
(72)【発明者】
【氏名】村上 奈月
(72)【発明者】
【氏名】藤井 真奈
【テーマコード（参考）】
2H148
2H225
4J037
【Ｆターム（参考）】
2H148BE36
2H148BF16
2H148BH02
2H148BH18
2H148BH22
2H225AC36
2H225AC54
2H225AD06
2H225AM22P
2H225AM32P
2H225AN39P
2H225AN94P
2H225AP03P
2H225AP08P
2H225AP09P
2H225BA16P
2H225BA20P
2H225BA32P
2H225BA35P
2H225CA18
2H225CB05
2H225CC01
2H225CC13
4J037AA02
4J037AA09
4J037AA21
4J037AA24
4J037DD23
4J037DD24
(57)【要約】
【課題】細線密着性及び表面荒れ耐性に優れるブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物が得られるブラックマトリックス用顔料分散組成物を提供すること。
【解決手段】カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部であるブラックマトリックス用顔料分散組成物。
【選択図】なし
【解決手段】カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部であるブラックマトリックス用顔料分散組成物。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、
前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、
前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、
前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部であることを特徴とするブラックマトリックス用顔料分散組成物。
前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、
前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、
前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部であることを特徴とするブラックマトリックス用顔料分散組成物。
【請求項2】
請求項１に記載のブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含むことを特徴とするブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物。
【請求項3】
請求項２に記載のブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物から形成されるブラックレジスト膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ブラックマトリックス用顔料分散組成物、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物、及びブラックレジスト膜に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物と、当該ブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含むブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物が知られている（特許文献１－２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１７３８７６号公報
【特許文献2】特開２０２１－０３８２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のようなブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を用いて、ブラックマトリックスのパターンを形成するには、通常、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を基板に塗工してレジスト膜を形成後、所望のパターンを有するマスクを通じて紫外線で露光し、露光部のレジスト膜を硬化させた後、未露光部のレジスト膜を現像液で除去する。よって、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物では、通常、特許文献１－２のように、細線密着性（解像度）が要求される。
【0005】
一方、近年では、製造上の歩留まり率向上のため、露光部において、より過酷な現像条件に耐えられる性能が求められている。とくに、このような現像条件においては、露光部の表面が荒れてしまう課題があった。表面が荒れた部位は、そうではない部位と比べて膜厚が薄く、ブラックマトリックスの遮光性が損なわれ、引き締まった黒色の再現が低位となる。
【0006】
本発明は、上記の実情に鑑みてなされたものであり、細線密着性及び表面荒れ耐性に優れるブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物が得られるブラックマトリックス用顔料分散組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
すなわち、本発明は、カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部であるブラックマトリックス用顔料分散組成物に関する。
【0008】
また、本発明は、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含むブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物に関する。
【0009】
また、本発明は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物から形成されるブラックレジスト膜に関する。
【発明の効果】
【0010】
本発明のブラックマトリックス用顔料分散組成物における効果の作用メカニズムは以下のように推定される。ただし、本発明は、この作用メカニズムに限定されない。
【0011】
本発明のブラックマトリックス用顔料分散組成物は、カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部である。本発明のブラックマトリックス用顔料分散組成物は、上記の特許文献１－２とは異なり、カーボンブラックの一部を上記の無機化合物に置換し、さらにアルカリ可溶性樹脂としてアルカリ可溶性カルド樹脂を使用することにより、良好な顔料分散性を維持しつつＵＶ露光時の感度が向上するため、ブレイクポイント（ＢＰ）や細線密着性を維持しつつ、塗膜の表面荒れが改善できる。
【0012】
また、本発明のブラックマトリックス用顔料分散組成物は、アルカリ可溶性カルド樹脂の含有量が前記カーボンブラック１００質量部に対して１０質量部以下である場合、とくに細線密着性に優れ、また、アルカリ可溶成分が少なくなるため、アルカリ現像後の塗膜の黒色に濃淡が発生する現象（水ムラ）への耐性にも優れる。
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明のブラックマトリックス用顔料分散組成物は、カーボンブラック、無機化合物、塩基性基含有顔料分散剤、酸性基含有顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を含むブラックマトリックス用顔料分散組成物であって、前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上であり、前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂であり、前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部である。
【0014】
＜カーボンブラック＞
前記カーボンブラックは、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知のカーボンブラックを使用でき、例えば、中性カーボンブラック、酸性カーボンブラック等が挙げられる。また、前記カーボンブラックは、平均一次粒子径が２０～６０ｎｍ程度であることが好ましい。前記カーボンブラックは単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記カーボンブラックは、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知のカーボンブラックを使用でき、例えば、中性カーボンブラック、酸性カーボンブラック等が挙げられる。また、前記カーボンブラックは、平均一次粒子径が２０～６０ｎｍ程度であることが好ましい。前記カーボンブラックは単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0015】
前記中性カーボンブラックは、ｐＨが８～１０の範囲であることが好ましい。前記中性カーボンブラックの市販品としては、例えば、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製のプリンテックス２５（平均一次粒子径５６ｎｍ、ｐＨ９．５）、プリンテックス３５（平均一次粒子径３１ｎｍ、ｐＨ９．５）、プリンテックス６５（平均一次粒子径２１ｎｍ、ｐＨ９．５）、三菱化学社製のＭＡ＃２０（平均一次粒子径５０ｎｍ、ｐＨ７．５）、ＭＡ＃３０（平均一次粒子径３０ｎｍ、ｐＨ８．０）、ＭＡ＃４０（平均一次粒子径４０ｎｍ、ｐＨ８．０）等が挙げられる。
【0016】
前記酸性カーボンブラックは、ｐＨが２～４の範囲であることが好ましい。前記酸性カーボンブラックの市販品としては、コロンビアケミカルズ社製のＲａｖｅｎ１０８０（平均一次粒子径２８ｎｍ、ｐＨ２．４）、Ｒａｖｅｎ１１００（平均一次粒子径３２ｎｍ、ｐＨ２．９）、三菱化学社製のＭＡ－８（平均一次粒子径２４ｎｍ、ｐＨ３．０）、ＭＡ－１００（平均一次粒子径２２ｎｍ、ｐＨ３．５）、ＭＡ＃７０（平均一次粒子径２４ｎｍ、ｐＨ３．０）、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製のスペシャルブラック２５０（平均一次粒子径５６ｎｍ、ｐＨ３．０）、スペシャルブラック３５０（平均一次粒子径３１ｎｍ、ｐＨ３．０）、スペシャルブラック５５０（平均一次粒子径２５ｎｍ、ｐＨ４．０）、ＮＥＲＯＸ２５００（平均一次粒子径５６ｎｍ、ｐＨ３．０）、ＮＥＲＯＸ３５００（平均一次粒子径３１ｎｍ、ｐＨ３．０）等が挙げられる。
【0017】
なお、通常、ｐＨは、炭酸を除いた蒸留水（ｐＨ７．０）２０ｍＬに、カーボンブラック１ｇを添加してマグネチックスターラーで混合して水性懸濁液を調製し、ガラス電極を使用して２５℃で測定する（ドイツ工業品標準規格 ＤＩＮ ＩＳＯ ７８７／９）。また、通常、平均一次粒子径は、電子顕微鏡観察による算術平均径の値である。ただし、上記の市販品のカーボンブラックのｐＨと平均一次粒子径はカタログ値である。
【0018】
前記カーボンブラックは、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物の固形分中、ブラックマトリックスを形成した場合の遮光性を高める観点から、６０質量％以上であることが好ましく、６５質量％以上であることがより好ましく、そして、顔料分散の観点から、８５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。
【0019】
＜無機化合物＞
前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上である。前記水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、窒化ホウ素は、メジアン径が、再凝集防止の観点から、５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましく、そして、顔料分散組成物やレジスト組成物における無機化合物の沈降防止の観点から、３，０００ｎｍ以下であることが好ましく、２，５００ｎｍ以下であることがより好ましい。前記チタン酸バリウムは、平均一次粒子径が、再凝集防止の観点から、１０ｎｍ以上であることが好ましく、５０ｎｍ以上であることがより好ましく、そして、顔料分散組成物やレジスト組成物における無機化合物の沈降防止の観点から、２，５００ｎｍ以下であることが好ましく、２，０００ｎｍ以下であることがより好ましい。前記イオン捕捉剤は、陽イオン及び陰イオンの少なくとも一方を捕捉できるものであればよく、イオン捕捉能を有する陽イオン捕捉剤、陰イオン捕捉剤、両イオン捕捉剤が挙げられる。イオン捕捉剤としては、メジアン径が０．１～１０μｍであるものが好ましく、例えば、アンチモン、ビスマス、ジルコニウム、チタン、スズ、マグネシウム、及びアルミニウムからなる群より選ばれる１種以上の金属原子を含むイオン捕捉剤が挙げられる。これらの中でも、ビスマス、ジルコニウム、マグネシウム、及びアルミニウムからなる群より選ばれる１種以上の金属原子を含むイオン捕捉剤が好ましい。なお、メジアン径は、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置を用いて測定できる値であり、平均一次粒子径は、電子顕微鏡観察による算術平均径の値であるが、いずれの値も市販品の場合、カタログ値を参考とする。これらの中でも、ブレイクポイント（ＢＰ）や細線密着性を維持しつつ、塗膜の表面荒れの改善に優れる観点から、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウムが好ましい。
前記無機化合物は、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、窒化ホウ素、及びイオン捕捉剤からなる群より選ばれる１種以上である。前記水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、窒化ホウ素は、メジアン径が、再凝集防止の観点から、５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましく、そして、顔料分散組成物やレジスト組成物における無機化合物の沈降防止の観点から、３，０００ｎｍ以下であることが好ましく、２，５００ｎｍ以下であることがより好ましい。前記チタン酸バリウムは、平均一次粒子径が、再凝集防止の観点から、１０ｎｍ以上であることが好ましく、５０ｎｍ以上であることがより好ましく、そして、顔料分散組成物やレジスト組成物における無機化合物の沈降防止の観点から、２，５００ｎｍ以下であることが好ましく、２，０００ｎｍ以下であることがより好ましい。前記イオン捕捉剤は、陽イオン及び陰イオンの少なくとも一方を捕捉できるものであればよく、イオン捕捉能を有する陽イオン捕捉剤、陰イオン捕捉剤、両イオン捕捉剤が挙げられる。イオン捕捉剤としては、メジアン径が０．１～１０μｍであるものが好ましく、例えば、アンチモン、ビスマス、ジルコニウム、チタン、スズ、マグネシウム、及びアルミニウムからなる群より選ばれる１種以上の金属原子を含むイオン捕捉剤が挙げられる。これらの中でも、ビスマス、ジルコニウム、マグネシウム、及びアルミニウムからなる群より選ばれる１種以上の金属原子を含むイオン捕捉剤が好ましい。なお、メジアン径は、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置を用いて測定できる値であり、平均一次粒子径は、電子顕微鏡観察による算術平均径の値であるが、いずれの値も市販品の場合、カタログ値を参考とする。これらの中でも、ブレイクポイント（ＢＰ）や細線密着性を維持しつつ、塗膜の表面荒れの改善に優れる観点から、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウムが好ましい。
【0020】
水酸化アルミニウムとしては、例えば、住友化学社製のＣ３０１Ｎ（メジアン径１．５μｍ）、Ｃ３０２Ａ（メジアン径２．４μｍ）、昭和電工社製のハイジライトＨ－４２Ｍ（メジアン径１．０μｍ）、ハイジライトＨ－４３Ｍ（メジアン径０．７５μｍ）、日本軽金属社製のＢ１４０３（メジアン径２μｍ）、ＢＦ０１３（メジアン径１μｍ）等が挙げられる。
【0021】
酸化アルミニウムとしては、例えば、住友化学社製のＡＫＰ－１５（メジアン径０．６０μｍ）、ＡＫＰ－２０（メジアン径０．４２μｍ）、ＡＫＰ－３０（メジアン径０．２６μｍ）、ＡＫＰ－５０（メジアン径０．２０μｍ）、ＡＫＰ－５３（メジアン径０．１７μｍ）、ＡＫＰ－３０００（メジアン径０．６７μｍ）、ＡＡ－０３（メジアン径０．４０μｍ）、ＡＡ－０４（メジアン径０．４７μｍ）、ＡＡ－０５（メジアン径０．５８μｍ）、ＡＡ－０７（メジアン径０．８８μｍ）、ＡＡ－１．５（メジアン径１．７μｍ）、ＡＡ－２（メジアン径２．２μｍ）等が挙げられる。
【0022】
硫酸バリウムとしては、沈降性硫酸バリウムが好ましく、例えば、堺化学工業社製のＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－４０（メジアン径０．０１μｍ）、ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－２０（メジアン径０．０３μｍ）、ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－１０（メジアン径０．０６μｍ）、ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－１Ｌ（メジアン径０．１μｍ）、ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－１（メジアン径０．０５μｍ）、竹原化学工業社製のＰ－３０（メジアン径１μｍ）、ＴＳ－２（メジアン径０．３μｍ）、ＴＳ－３（メジアン径０．６μｍ）、ＳＣ－２０１（メジアン径０．３μｍ）、ＨＣ－Ａ（メジアン径０．１μｍ）等が挙げられる。
【0023】
チタン酸バリウムとしては、例えば、日本化学工業社製のパルセラムＡＫＢＴ－Ｓ（平均一次粒子径０．１５μｍ）、パルセラムＡＫＢＴ－Ｍ（平均一次粒子径０．３μｍ）、パルセラムＡＫＢＴ－Ｌ（平均一次粒子径０．６μｍ）、パルセラムＢＴ－ＵＰ－２（平均一次粒子径２μｍ）、ＢＴＣ－４ＦＡ（平均一次粒子径２００ｎｍ）、ＢＴＣ－４ＦＢ（平均一次粒子径３００ｎｍ）、ＫＺＭ－５０（平均一次粒子径５０ｎｍ）等が挙げられる。
【0024】
窒化ホウ素としては、例えば、デンカ社製のデンカボロンナイトライドＸＧＰ（メジアン径３０μｍ）、ＳＧＰ（メジアン径１８μｍ）、ＭＧＰ（メジアン径１０μｍ）、ＧＰ（メジアン径７μｍ）、ＨＧＰ（メジアン径５μｍ）、ＳＰ－２（メジアン径４μｍ）、ＳＰ－３（メジアン径４μｍ）、ＳＧＰＳ（メジアン径１２μｍ）、昭和電工社製のショウビーエヌＵＨＰ－Ｓ２（メジアン径０．７μｍ）、ＵＨＰ－１Ｋ（メジアン径８μｍ）、ＵＨＰ－２（メジアン径１１μｍ）、ＵＨＰ－Ｇ１Ｈ（メジアン径３３μｍ）等が挙げられる。
【0025】
イオン捕捉剤としては、例えば、東亞合成社製のＩＸＥＰＬＡＳ Ｂ１（両イオン捕捉剤、ジルコニウム／ビスマス系、メジアン径０．４μｍ）、ＩＸＥ－１００（陽イオン捕捉剤、ジルコニウム系、メジアン径１μｍ）、ＩＸＥ－５００（陰イオン捕捉剤、ビスマス系、メジアン径１．５μｍ）、ＩＸＥ－５５０（陰イオン捕捉剤、ビスマス系、メジアン径１．５μｍ）、ＩＸＥ－６００（両イオン捕捉剤、アンチモン／ビスマス系、メジアン径１μｍ）、ＩＸＥ－７００Ｆ（陰イオン捕捉剤、アルミニウム／マグネシウム系、メジアン径１．５μｍ）、ＩＸＥ－７７０Ｆ（陰イオン捕捉剤、アルミニウム／マグネシウム系、メジアン径６μｍ）、ＩＸＥ－６１３６（両イオン捕捉剤、ジルコニウム／ビスマス系、メジアン径２．１μｍ）等が挙げられる。
【0026】
前記無機化合物は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１０質量部である。前記無機化合物は、細線密着性および表面荒れの観点から、前記カーボンブラック１００質量部に対して、２質量部以上であることが好ましく、３質量部以上であることがより好ましく、そして、顔料分散組成物の安定性およびブラックマトリックスの黒色性の観点から、９質量部以下であることが好ましく、８質量部以下であることがより好ましい。
【0027】
＜塩基性基含有顔料分散剤＞
前記塩基性基含有顔料分散剤は、前記カーボンブラックを分散できればよく、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知の塩基性基含有顔料分散剤を使用でき、例えば、アニオン性界面活性剤、塩基性基含有ポリエステル系顔料分散剤、塩基性基含有アクリル系顔料分散剤、塩基性基含有ウレタン系顔料分散剤、塩基性基含有カルボジイミド系顔料分散剤等が挙げられる。前記塩基性基としては、１級、２級又は３級アミノ基が、特に分散性に優れる観点から好ましい。前記塩基性基含有顔料分散剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記塩基性基含有顔料分散剤は、前記カーボンブラックを分散できればよく、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知の塩基性基含有顔料分散剤を使用でき、例えば、アニオン性界面活性剤、塩基性基含有ポリエステル系顔料分散剤、塩基性基含有アクリル系顔料分散剤、塩基性基含有ウレタン系顔料分散剤、塩基性基含有カルボジイミド系顔料分散剤等が挙げられる。前記塩基性基としては、１級、２級又は３級アミノ基が、特に分散性に優れる観点から好ましい。前記塩基性基含有顔料分散剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0028】
前記塩基性基含有顔料分散剤は、良好な顔料分散性が得られる点から、高分子型の塩基性基含有顔料分散剤が好ましい。前記高分子型の塩基性基含有顔料分散剤としては、例えば、塩基性基含有ウレタン系高分子顔料分散剤、塩基性基含有ポリエステル系高分子顔料分散剤、塩基性基含有アクリル系高分子顔料分散剤等が挙げられる。これらの中でも、塩基性基含有ウレタン系高分子顔料分散剤、塩基性基含有アクリル系高分子顔料分散剤が好ましい。前記塩基性基含有ウレタン系高分子顔料分散剤は、ポリエステル鎖、ポリエーテル鎖、及びポリカーボネート鎖よりなる群から選択される少なくとも１種を有する塩基性基含有ウレタン系高分子顔料分散剤がより好ましい。
【0029】
前記塩基性基含有顔料分散剤は、ブラックマトリックス用顔料分散組成物を低粘度化することができ、塗膜中のカーボンブラックを高濃度にすることができる観点から、アミン価が５～５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、アミン価が５～３５ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。なお、アミン価とは、遊離塩基及び塩基の総量を示すもので、試料１ｇを中和するのに要する塩酸に対して当量の水酸化カリウムのｍｇ数で表したものである。
【0030】
前記塩基性基含有顔料分散剤は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、１～１００質量部であることが好ましく、２～５０質量部であることがより好ましい。
【0031】
＜酸性基含有顔料分散助剤＞
前記酸性基含有顔料分散助剤は、顔料の分散性をより改善する目的で使用され、例えば、ラクタムブラック、ペリレン系化合物、ジケトピロロピロール系化合物、アゾナフトール系化合物、ジオキサジン系化合物、キナクリドン系化合物、フタロシアニン系化合物及びその金属錯体、アントラキノン、ナフタレン、アクリドン、又はトリアジン等の色素に、カルボキシル基、スルホン酸基等の酸性基が導入された化合物（酸性基を有する色素誘導体）や、それらを有機アミン等で中和した化合物が挙げられる。前記酸性基を有する色素誘導体としては、カーボンブラックの分散性が良好である観点から、スルホン酸基を有するフタロシアニン系（フタロシアニン骨格を有する）色素誘導体が好ましい。前記酸性基含有顔料分散助剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記酸性基含有顔料分散助剤は、顔料の分散性をより改善する目的で使用され、例えば、ラクタムブラック、ペリレン系化合物、ジケトピロロピロール系化合物、アゾナフトール系化合物、ジオキサジン系化合物、キナクリドン系化合物、フタロシアニン系化合物及びその金属錯体、アントラキノン、ナフタレン、アクリドン、又はトリアジン等の色素に、カルボキシル基、スルホン酸基等の酸性基が導入された化合物（酸性基を有する色素誘導体）や、それらを有機アミン等で中和した化合物が挙げられる。前記酸性基を有する色素誘導体としては、カーボンブラックの分散性が良好である観点から、スルホン酸基を有するフタロシアニン系（フタロシアニン骨格を有する）色素誘導体が好ましい。前記酸性基含有顔料分散助剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0032】
前記酸性基含有顔料分散助剤は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、０．１～２０質量部であることが好ましく、１～１０質量部であることがより好ましい。
【0033】
＜アルカリ可溶性樹脂＞
前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂である。前記アルカリ可溶性カルド樹脂は、アルカリ現像液に溶解できるものであれば特に制限はないが、カルボキシル基、スルホン酸基、ホスホン酸基等のアニオン性基の１種又は２種以上を含有する樹脂が好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂である。前記アルカリ可溶性カルド樹脂は、アルカリ現像液に溶解できるものであれば特に制限はないが、カルボキシル基、スルホン酸基、ホスホン酸基等のアニオン性基の１種又は２種以上を含有する樹脂が好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0034】
前記アルカリ可溶性カルド樹脂とは、カルド骨格を有するアルカリ可溶性樹脂のことをいい、カルド骨格とは、環状構造を構成する環炭素原子である４級炭素原子に、２つの芳香族基が単結合で繋がった骨格をいう。アルカリ可溶性カルド樹脂の具体例としては、例えば、ＡＤＥＫＡ ＡＲＫＬＳ ＷＲ－３０１（ＡＤＥＫＡ社製）、オグゾールＣＲ－ＴＲ１、ＣＲ－ＴＲ２、ＣＲ－ＴＲ３、ＣＲ－ＴＲ４、ＣＲ－ＴＲ５、ＣＲ－ＴＲ６（以上、大阪ガスケミカル社製）が挙げられる。
【0035】
前記アルカリ可溶性カルド樹脂の酸価は、アルカリ現像性の観点から、１０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上３００ｍｇＫＯＨ/ｇ以下であることが好ましく、２０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ/ｇ以下であることがより好ましい。
【0036】
前記アルカリ可溶性樹脂は、前記カーボンブラック１００質量部に対して、２質量部以上４５質量部以下であることが好ましく、３質量部以上１０質量部以下であることがより好ましい。
【0037】
＜溶剤＞
前記溶剤は、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知の溶剤を使用できる。前記溶剤は、顔料を安定的に分散させ、前記塩基性基含有顔料分散剤や前記アルカリ可溶性樹脂を十分に溶解させることができる観点から、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、エーテルエステル系溶剤、ケトン系溶剤、芳香族炭化水素系溶剤、含窒素系溶剤等が好ましい。前記溶剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記溶剤は、ブラックマトリックス用顔料分散組成物に使用される公知の溶剤を使用できる。前記溶剤は、顔料を安定的に分散させ、前記塩基性基含有顔料分散剤や前記アルカリ可溶性樹脂を十分に溶解させることができる観点から、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、エーテルエステル系溶剤、ケトン系溶剤、芳香族炭化水素系溶剤、含窒素系溶剤等が好ましい。前記溶剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0038】
前記エステル系溶剤としては、２－ヒドロキシプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、３－メチル－３－メトキシブチルプロピオネート、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エステル、蟻酸ｎ－アミル等が挙げられる。前記エーテル系溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等が挙げられる。前記エーテルエステル系溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等が挙げられる。前記ケトン系溶剤としては、例えば、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノン、δ－ブチロラクトン等が挙げられる。前記芳香族炭化水素系溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、アルキルナフタレン等が挙げられる。前記含窒素系溶剤としては、例えば、Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等が挙げられる。
【0039】
前記溶剤の割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物中、工程性の観点から、４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、そして、分散安定性の観点から、９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましい。
【0040】
前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物には、さらに、必要に応じて、レベリング剤、前記アルカリ可溶性カルド樹脂以外の樹脂、酸化防止剤、消泡剤等の添加剤を添加してもよい。
【0041】
前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物中、前記カーボンブラック、前記無機化合物、前記塩基性基含有顔料分散剤、前記酸性基含有顔料分散助剤、前記アルカリ可溶性樹脂、及び前記溶剤の合計の割合は、７５質量％以上であることが好ましく、８５質量％以上であることがより好ましく、９５質量％以上であることがさらに好ましい。
【0042】
前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物は、上記の各成分をロールミル、ニーダー、高速攪拌機、ビーズミル、ボールミル、サンドミル、超音波分散機、高圧分散装置等を用いて、分散処理して調製すればよい。
【0043】
＜ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物＞
本発明のブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物は、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含む。なお、前記カーボンブラックの割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、３０質量％以上８０質量％以下であることが好ましい。また、前記無機化合物の割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、細線密着性および表面荒れ耐性と、顔料分散組成物の安定性およびブラックマトリックスの黒色性を兼ね備える観点から、０．１質量％以上１０．０質量％以下であることが好ましく、０．２質量％以上８．０質量％以下であることがより好ましい。
本発明のブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物は、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含む。なお、前記カーボンブラックの割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、３０質量％以上８０質量％以下であることが好ましい。また、前記無機化合物の割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、細線密着性および表面荒れ耐性と、顔料分散組成物の安定性およびブラックマトリックスの黒色性を兼ね備える観点から、０．１質量％以上１０．０質量％以下であることが好ましく、０．２質量％以上８．０質量％以下であることがより好ましい。
【0044】
＜光重合性化合物＞
前記光重合性化合物は、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物に使用される公知の光重合性化合物を使用でき、例えば、光重合性不飽和結合を有するモノマー、オリゴマー等が挙げられる。前記光重合性化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
前記光重合性化合物は、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物に使用される公知の光重合性化合物を使用でき、例えば、光重合性不飽和結合を有するモノマー、オリゴマー等が挙げられる。前記光重合性化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0045】
光重合性不飽和結合を１個有するモノマーとしては、例えば、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、２－エチルヘキシルメタクリレート、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、２－エチルヘキシルアクリレート等のアルキルメタクリレート又はアクリレート；ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート等のアラルキルメタクリレート又はアクリレート；ブトキシエチルメタクリレート、ブトキシエチルアクリレート等のアルコキシアルキルメタクリレート又はアクリレート；Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチルアクリレート等のアミノアルキルメタクリレート又はアクリレート；ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のポリアルキレングリコールモノアルキルエーテルのメタクリル酸エステル又はアクリル酸エステル；ヘキサエチレングリコールモノフェニルエーテル等のポリアルキレングリコールモノアリールエーテルのメタクリル酸エステル又はアクリル酸エステル；イソボニルメタクリレート又はアクリレート；グリセロールメタクリレート又はアクリレート；２－ヒドロキシエチルメタクリレート又はアクリレート等が挙げられる。
【0046】
光重合性不飽和結合を２個以上有するモノマーとしては、例えば、ビスフェノールＡジメタクリレート、１，４－ブタンジオールジメタクリレート、１，３－ブチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、１，４－ブタンジオールジアクリレート、１，３－ブチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、グリセロールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等が挙げられる。
【0047】
光重合性不飽和結合を有するオリゴマーとしては、例えば、前記モノマーを適宜重合させて得られたものが挙げられる。
【0048】
前記光重合性化合物は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、２～２０質量％であることが好ましく、４～１５質量％であることがより好ましい。
【0049】
前記光重合開始剤は、ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物に使用される公知の光重合開始剤を使用でき、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’－テトラエチル－４，４’－ジアミノベンゾフェノン、４－メトキシ－４’－ジメチルアミノベンゾフェノン、ベンジル、２，２－ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α－ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、２－クロロチオキサントン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ｔ－ブチルアントラキノン、１－クロロアントラキノン、２，３－ジクロロアントラキノン、３－クロル－２－メチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、１，４－ナフトキノン、１，２－ベンゾアントラキノン、１，４－ジメチルアントラキノン、２－フェニルアントラキノン、トリアジン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤等が挙げられる。前記光重合開始剤は単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0050】
前記光重合開始剤は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、０．１～１５質量％であることが好ましく、１～１０質量％であることがより好ましい。
【0051】
前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物は、アルカリ現像液による現像性の観点から、上記のアルカリ可溶性樹脂をさらに添加してもよい。また、前記アルカリ可溶性樹脂の合計は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の固形分中、４質量％以上２０質量％以下であることが好ましい。また、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物は、塗装性を向上させる観点から、上記の溶剤をさらに添加してもよい。前記溶剤の合計の割合は、前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物中、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましい。
【0052】
前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物には、さらに、必要に応じて、表面改質剤、レベリング剤、酸化防止剤、消泡剤等の添加剤を添加してもよい。ただし、臭気性の観点から、チオール化合物は含まないほうが好ましい。
【0053】
前記ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物は、前記ブラックマトリックス用顔料分散組成物、光重合性化合物、及び光重合開始剤等の各成分を、攪拌装置等を用いて、攪拌混合して調製すればよい。
【0054】
＜ブラックレジスト膜＞
本発明のブラックレジスト膜は、前記ブラックマトリックス用レジスト組成物を用いて、公知の手段にて得られる。
本発明のブラックレジスト膜は、前記ブラックマトリックス用レジスト組成物を用いて、公知の手段にて得られる。
【0055】
本発明のブラックマトリックスの形成方法としては特に限定されず、例えば、透明基板上に本発明のブラックマトリックス用レジスト組成物を塗布し、乾燥して塗膜を形成した後、上記塗膜上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて光硬化等の方法によりブラックマトリックスを形成することができる。
【実施例0056】
以下に本発明を実施例等によって説明するが、本発明はこれらのみに限定されない。
【0057】
＜調製例１～１３、比較調製例１～４＞
＜ブラックマトリックス用顔料分散組成物の調製＞
表１または２に示す各種原料を、表１または２に示す配合組成（質量％）となるように混合した後、ビーズミルで練肉し、各調製例及び比較調製例のブラックマトリックス用顔料分散組成物を調製した。
＜ブラックマトリックス用顔料分散組成物の調製＞
表１または２に示す各種原料を、表１または２に示す配合組成（質量％）となるように混合した後、ビーズミルで練肉し、各調製例及び比較調製例のブラックマトリックス用顔料分散組成物を調製した。
【0058】
＜実施例１～１３、比較例１～４＞
＜ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の調製＞
表３または４に示す各種原料を、表３または４に示す配合組成（質量％）となるように、高速撹拌機を用いて混合した後、孔径０．５μｍのフィルターで濾過し、各実施例及び比較例のブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を調製した。
＜ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物の調製＞
表３または４に示す各種原料を、表３または４に示す配合組成（質量％）となるように、高速撹拌機を用いて混合した後、孔径０．５μｍのフィルターで濾過し、各実施例及び比較例のブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を調製した。
【0059】
上記で得られたブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を用い、以下の評価方法にしたがって、各項目を評価した。結果を表２に示す。
【0060】
＜細線密着性＞
上記の各ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を、スピンコーターにて膜厚２μｍとなるようにガラス基板（ＥＡＧＬＥ ＸＧ）上に塗布し、１００℃で３分間プレベークした。次いで、１μｍから２０μｍの線幅について１μｍ間隔のラインパターンを有するフォトマスクを用いて、高圧水銀灯を用い、ＵＶ積算光量１００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、２３℃、０．０４％水酸化カリウム水溶液中、１ｋｇｆ／ｃｍ２のシャワー現像圧にて現像パターンが現れ始める時間（ブレイクポイント）から現像を開始し、細線密着性の評価においては、ブレイクポイントの１．３倍および１．５倍の時間になったところで現像を終了し、最後に、１ｋｇｆ／ｃｍ２圧のスプレー水洗を行った。水洗後のガラス基板上に残存する最小のラインパターンのサイズ（μｍ）を評価した。なお、ブレイクポイントの１．３倍においては、最小のラインパターンのサイズ（μｍ）が１３μｍ以下であるものを合格基準とし、６μｍ以下であることが好ましく、そして、ブレイクポイントの１．５倍においては、最小のラインパターンのサイズ（μｍ）が２２μｍ以下であるものを合格基準とし、９μｍ以下であることが好ましい。
上記の各ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を、スピンコーターにて膜厚２μｍとなるようにガラス基板（ＥＡＧＬＥ ＸＧ）上に塗布し、１００℃で３分間プレベークした。次いで、１μｍから２０μｍの線幅について１μｍ間隔のラインパターンを有するフォトマスクを用いて、高圧水銀灯を用い、ＵＶ積算光量１００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、２３℃、０．０４％水酸化カリウム水溶液中、１ｋｇｆ／ｃｍ２のシャワー現像圧にて現像パターンが現れ始める時間（ブレイクポイント）から現像を開始し、細線密着性の評価においては、ブレイクポイントの１．３倍および１．５倍の時間になったところで現像を終了し、最後に、１ｋｇｆ／ｃｍ２圧のスプレー水洗を行った。水洗後のガラス基板上に残存する最小のラインパターンのサイズ（μｍ）を評価した。なお、ブレイクポイントの１．３倍においては、最小のラインパターンのサイズ（μｍ）が１３μｍ以下であるものを合格基準とし、６μｍ以下であることが好ましく、そして、ブレイクポイントの１．５倍においては、最小のラインパターンのサイズ（μｍ）が２２μｍ以下であるものを合格基準とし、９μｍ以下であることが好ましい。
【0061】
＜表面荒れ耐性＞
ブレイクポイントの１．３倍で現像を終了し、スプレー水洗したガラス基板について、光学顕微鏡（倍率１０００倍）で表面を観察し、以下の基準で評価した。〇または△を合格基準とし、〇が好ましい。
〇：塗膜の全面に表面荒れがない。
△：塗膜の一部に表面荒れが見られる。
×：塗膜の全面に表面荒れが見られる。
ブレイクポイントの１．３倍で現像を終了し、スプレー水洗したガラス基板について、光学顕微鏡（倍率１０００倍）で表面を観察し、以下の基準で評価した。〇または△を合格基準とし、〇が好ましい。
〇：塗膜の全面に表面荒れがない。
△：塗膜の一部に表面荒れが見られる。
×：塗膜の全面に表面荒れが見られる。
【0062】
＜水ムラ＞
各ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を、スピンコーターにて膜厚１．５μｍとなるようにガラス基板（ＥＡＧＬＥ ＸＧ）上に塗布し、１００℃で３分間プレベークした。次いで、高圧水銀灯を用い、ＵＶ積算光量４０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、２３℃、０．０４％水酸化カリウム水溶液中、１ｋｇｆ／ｃｍ２のシャワー現像圧にて現像をブレイクポイントの１．１倍で行い、最後に、１ｋｇｆ／ｃｍ２圧のスプレー水洗を行った。水洗後のガラス基板について、表面を観察し、以下の基準で評価した。〇または△を合格基準とし、〇が好ましい。
〇：塗膜の全面にムラがない。
△：塗膜の一部にムラが見られる。
×：塗膜の全面にムラが見られる。
各ブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を、スピンコーターにて膜厚１．５μｍとなるようにガラス基板（ＥＡＧＬＥ ＸＧ）上に塗布し、１００℃で３分間プレベークした。次いで、高圧水銀灯を用い、ＵＶ積算光量４０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、２３℃、０．０４％水酸化カリウム水溶液中、１ｋｇｆ／ｃｍ２のシャワー現像圧にて現像をブレイクポイントの１．１倍で行い、最後に、１ｋｇｆ／ｃｍ２圧のスプレー水洗を行った。水洗後のガラス基板について、表面を観察し、以下の基準で評価した。〇または△を合格基準とし、〇が好ましい。
〇：塗膜の全面にムラがない。
△：塗膜の一部にムラが見られる。
×：塗膜の全面にムラが見られる。
【0063】
【表1】
【0064】
【表2】
【0065】
【表3】
【0066】
【表4】
【0067】
表１－４中、Ｒａｖｅｎ１０８０は、カーボンブラック（平均一次粒子径２８ｎｍ、ｐＨ２．４、コロンビアケミカルズ社製）；
Ｃ３０１Ｎは、水酸化アルミニウム（メジアン径１．５μｍ、住友化学社製）；
Ｃ３０２Ａは、水酸化アルミニウム（メジアン径２．４μｍ、住友化学社製）；
ＡＫＰ－０５３は、酸化アルミニウム（メジアン径０．１７μｍ、住友化学社製）；
ＢＦ４０は、沈降性硫酸バリウム『ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－４０』（メジアン径０．０１μｍ、堺化学工業社製）；
ＢＴＣ－４ＦＡは、チタン酸バリウム（平均一次粒子径２００ｎｍ、日本化学工業社製）；
ＩＸＥ－５００は、陰イオン捕捉剤（ビスマス系、メジアン径１．５μｍ、東亞合成社製）；
ＩＸＥ－１００は、陽イオン捕捉剤（ジルコニウム系、メジアン径１μｍ、東亞合成社製）；
ＳＰ－２は、窒化ホウ素（デンカボロンナイトライドＳＰ－２、メジアン径４μｍ、デンカ社製）；
ＳＰ－３は、窒化ホウ素（デンカボロンナイトライドＳＰ－３、メジアン径４μｍ、デンカ社製）；
ＤＢ１６７は、ポリエステル鎖を有するアミノ基含有ポリウレタン系高分子分散剤（ビックケミー社製、固形分のアミン価２５ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分５２質量％）；
ＳＳ５０００Ｓは、スルホン酸基を有するフタロシアニン系色素誘導体（ルブリゾール社製）；
ＳＳ１２０００Ｓは、スルホン酸基を有するフタロシアニン系色素誘導体（ルブリゾール社製）；
カルド系樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂『ＡＤＥＫＡ ＡＲＫＬＳ ＷＲ－３０１』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ６，０００、固形分４４％、ＡＤＥＫＡ社製）；
アクリル系樹脂１は、アルカリ可溶性アクリル樹脂『フォレット ＺＡＨ－１１０』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ１，００００、固形分３５％、綜研化学社製）；
アクリル系樹脂２は、アルカリ可溶性アクリル樹脂『フォレット ＺＡＨ－５１０』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ５，００００、固形分３５％、綜研化学社製）；
ＤＰＨＡは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート；
イルガキュア ＯＸＥ０２は、オキシムエステル系光重合開始剤『ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０２』（ＢＡＳＦジャパン社製）；
ＭＦ－５５４は、『メガファック Ｆ－５５４』（含フッ素基・親油性基含有オリゴマー、固形分１００％、ＤＩＣ社製）；
ＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート；を示す。
Ｃ３０１Ｎは、水酸化アルミニウム（メジアン径１．５μｍ、住友化学社製）；
Ｃ３０２Ａは、水酸化アルミニウム（メジアン径２．４μｍ、住友化学社製）；
ＡＫＰ－０５３は、酸化アルミニウム（メジアン径０．１７μｍ、住友化学社製）；
ＢＦ４０は、沈降性硫酸バリウム『ＢＡＲＩＦＩＮＥ ＢＦ－４０』（メジアン径０．０１μｍ、堺化学工業社製）；
ＢＴＣ－４ＦＡは、チタン酸バリウム（平均一次粒子径２００ｎｍ、日本化学工業社製）；
ＩＸＥ－５００は、陰イオン捕捉剤（ビスマス系、メジアン径１．５μｍ、東亞合成社製）；
ＩＸＥ－１００は、陽イオン捕捉剤（ジルコニウム系、メジアン径１μｍ、東亞合成社製）；
ＳＰ－２は、窒化ホウ素（デンカボロンナイトライドＳＰ－２、メジアン径４μｍ、デンカ社製）；
ＳＰ－３は、窒化ホウ素（デンカボロンナイトライドＳＰ－３、メジアン径４μｍ、デンカ社製）；
ＤＢ１６７は、ポリエステル鎖を有するアミノ基含有ポリウレタン系高分子分散剤（ビックケミー社製、固形分のアミン価２５ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分５２質量％）；
ＳＳ５０００Ｓは、スルホン酸基を有するフタロシアニン系色素誘導体（ルブリゾール社製）；
ＳＳ１２０００Ｓは、スルホン酸基を有するフタロシアニン系色素誘導体（ルブリゾール社製）；
カルド系樹脂は、アルカリ可溶性カルド樹脂『ＡＤＥＫＡ ＡＲＫＬＳ ＷＲ－３０１』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ６，０００、固形分４４％、ＡＤＥＫＡ社製）；
アクリル系樹脂１は、アルカリ可溶性アクリル樹脂『フォレット ＺＡＨ－１１０』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ１，００００、固形分３５％、綜研化学社製）；
アクリル系樹脂２は、アルカリ可溶性アクリル樹脂『フォレット ＺＡＨ－５１０』（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ５，００００、固形分３５％、綜研化学社製）；
ＤＰＨＡは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート；
イルガキュア ＯＸＥ０２は、オキシムエステル系光重合開始剤『ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０２』（ＢＡＳＦジャパン社製）；
ＭＦ－５５４は、『メガファック Ｆ－５５４』（含フッ素基・親油性基含有オリゴマー、固形分１００％、ＤＩＣ社製）；
ＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート；を示す。
【0068】
表４中、比較例２の評価不可は、現像後に細線が残らないことを示す。また、比較例３の評価不可は、現像液に１８０秒以上暴露しても溶解が始まらなかったことを示す。また、表３及び４中の「－」は評価をしていないことを示す。