特開 2024-69945 光源装置およびプロジェクター

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024069945

(43)【公開日】2024-05-22

(54)【発明の名称】光源装置およびプロジェクター

(51)【国際特許分類】

   G03B 21/14 20060101AFI20240515BHJP

   G03B 21/00 20060101ALI20240515BHJP

   H01L 33/50 20100101ALI20240515BHJP

   H01L 33/48 20100101ALI20240515BHJP

   F21S 2/00 20160101ALI20240515BHJP

   F21V 17/04 20060101ALI20240515BHJP

   F21V 29/503 20150101ALI20240515BHJP

   F21V 29/502 20150101ALI20240515BHJP

   F21V 19/00 20060101ALI20240515BHJP

   H04N 5/74 20060101ALI20240515BHJP

   F21Y 115/30 20160101ALN20240515BHJP

   F21Y 115/10 20160101ALN20240515BHJP

【ＦＩ】

G03B21/14 A

G03B21/00 E

H01L33/50

H01L33/48

F21S2/00 312

F21V17/04

F21V29/503

F21V29/502 100

F21V19/00 610

H04N5/74 Z

F21Y115:30

F21Y115:10

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022180251

(22)【出願日】2022-11-10

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100140774

【弁理士】

【氏名又は名称】大浪 一徳

(74)【代理人】

【識別番号】100114937

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 裕幸

(74)【代理人】

【識別番号】100196058

【弁理士】

【氏名又は名称】佐藤 彰雄

(72)【発明者】

【氏名】杉山 伸夫

【テーマコード（参考）】

2K203

3K011

3K013

5C058

5F142

【Ｆターム（参考）】

2K203FA03

2K203FA23

2K203FA34

2K203FA44

2K203FA45

2K203FA54

2K203FA62

2K203FA82

2K203FB04

2K203GA20

2K203HB28

2K203LA02

2K203LA12

2K203LA37

2K203MA11

3K011BA01

3K011BA06

3K011BA08

3K011JA01

3K013AA01

3K013AA07

3K013BA01

3K013EA01

5C058EA52

5F142CB22

5F142CF13

5F142DA13

5F142DB30

5F142GA40

(57)【要約】

【課題】所望の蛍光が得られ、信頼性に優れる光源装置を提供する。
【解決手段】本発明の光源装置は、第１波長帯を有する第１光を射出する発光素子と、発光素子が配置される第１面と、第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する基板と、蛍光体を含み、発光素子から射出される第１光を、第２波長帯を有する第２光に変換する波長変換部材と、基板の第１面に当接する第３面と、第３面とは反対側に位置する第４面と、を有し、波長変換部材を支持する支持部材と、支持部材を基板に固定する固定部材と、基板と波長変換部材とのそれぞれに当接し、発光素子と波長変換部材とを互いに離間した位置に保持するスペーサー部材と、を備える。固定部材は、弾性部材を含んで構成され、第３面を第１面に向けて押圧した状態で支持部材を基板に固定する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１波長帯を有する第１光を射出する発光素子と、
前記発光素子が配置される第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する基板と、
蛍光体を含み、前記発光素子から射出される前記第１光を、前記第１波長帯とは異なる第２波長帯を有する第２光に変換する波長変換部材と、
前記基板の前記第１面に当接する第３面と、前記第３面とは反対側に位置する第４面と、を有し、前記波長変換部材を支持する支持部材と、
前記支持部材を前記基板に固定する固定部材と、
前記基板と前記波長変換部材とのそれぞれに当接し、前記発光素子と前記波長変換部材とを互いに離間した位置に保持するスペーサー部材と、
を備え、
前記固定部材は、弾性部材を含んで構成され、前記第３面を前記第１面に向けて押圧した状態で前記支持部材を前記基板に固定する、光源装置。

【請求項2】

前記固定部材は、前記支持部材の前記第３面を除く外面の少なくとも一部に当接する板状部材で構成され、前記弾性部材が引っ張られた状態で前記支持部材を前記基板に固定する、請求項１に記載の光源装置。

【請求項3】

前記支持部材の前記第４面のうち、前記板状部材が当接する位置に溝部が設けられ、
前記板状部材は、前記溝部の内部に配置され、
前記溝部の深さは、前記板状部材の厚さよりも大きい、請求項２に記載の光源装置。

【請求項4】

前記第４面に当接し、前記支持部材の熱が伝達される第１放熱部材をさらに備える、請求項３に記載の光源装置。

【請求項5】

前記基板の前記第２面に当接し、前記基板の熱が伝達される第２放熱部材をさらに備える、請求項２から請求項４までのいずれか一項に記載の光源装置。

【請求項6】

前記第２放熱部材に、孔が設けられ、
前記基板の前記第２放熱部材の前記孔に対応する位置に、前記第１面および前記第２面に交差する方向に前記基板を貫通する第１貫通孔が設けられ、
前記板状部材の前記第２放熱部材の前記孔に対応する位置に、前記板状部材を厚さ方向に貫通する第２貫通孔が設けられ、
前記板状部材と前記基板と前記第２放熱部材とは、前記第２貫通孔、前記第１貫通孔および前記孔に挿入されるねじ部材によって、互いに固定されている、請求項５に記載の光源装置。

【請求項7】

前記基板の前記第１面に、孔が設けられ、
前記支持部材の前記基板の前記孔に対応する位置に、前記第３面に交差する方向に前記支持部材を貫通する貫通孔が設けられ、
前記固定部材は、前記貫通孔および前記孔に挿入されるねじ部材と、前記ねじ部材の頭部と前記支持部材との間に介在する弾性部材と、を備え、
前記固定部材は、前記弾性部材が圧縮された状態で前記支持部材を前記基板に固定する、請求項１に記載の光源装置。

【請求項8】

前記支持部材は、前記波長変換部材を支持する本体部と、前記第３面に沿って延在し、前記本体部の厚さよりも薄い厚さを有する取付部と、を有し、
前記貫通孔は、前記取付部に設けられている、請求項７に記載の光源装置。

【請求項9】

前記支持部材の前記第４面に当接し、前記支持部材の熱が伝達される第１放熱部材をさらに備える、請求項７または請求項８に記載の光源装置。

【請求項10】

前記基板の前記第２面に当接し、前記基板の熱が伝達される第２放熱部材をさらに備える、請求項７または請求項８に記載の光源装置。

【請求項11】

前記基板の前記孔は、前記第１面および前記第２面に交差する方向に前記基板を貫通する第１貫通孔であり、
前記支持部材の前記貫通孔は、第２貫通孔であり、
前記第２放熱部材の前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対応する位置に、孔が設けられ、
前記支持部材と前記基板と前記第２放熱部材とは、前記第２貫通孔、前記第１貫通孔および前記孔に挿入される前記ねじ部材によって、互いに固定されている、請求項１０に記載の光源装置。

【請求項12】

前記波長変換部材の長軸方向に交差する断面視において、
前記支持部材の幅は、前記基板の幅よりも小さく、
前記第１放熱部材の幅は、前記基板の幅よりも小さい、請求項４に記載の光源装置。

【請求項13】

前記支持部材は、前記第３面から前記第４面に向けて凹んだ凹部を有し、
前記波長変換部材は、前記凹部の内部に配置され、
前記凹部は、前記波長変換部材に当接する底面と、前記底面に交差する方向に延在し、前記波長変換部材に対向する第１壁面および第２壁面と、を有し、
前記第１壁面および前記第２壁面の少なくとも一方は、前記波長変換部材から離間し、前記底面から前記第３面に向かうにつれて前記波長変換部材からの間隔が大きくなる方向に傾斜する傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記発光素子から射出される前記第１光の少なくとも一部を反射する、請求項１または請求項７に記載の光源装置。

【請求項14】

請求項１または請求項７に記載の光源装置と、
前記光源装置から射出される光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置により変調された光を投写する投写光学装置と、
を備える、プロジェクター。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光源装置およびプロジェクターに関する。

【背景技術】

【0002】

プロジェクターに用いる光源装置として、発光素子から射出された励起光を蛍光体に照射した際に蛍光体から発せられる蛍光を利用した光源装置が提案されている。

【0003】

下記の特許文献１には、励起光を射出する発光ダイオード（ＬＥＤ）と、励起光を蛍光に変換するロッド状の蛍光体と、蛍光体を支持するホルダーと、を備える光源装置が開示されている。蛍光体は、ワイヤー状の部材によってホルダーに固定されている。また、ＬＥＤの支持基板とホルダーとは、ねじによって直接固定されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０２０／２５４４５５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の光源装置において、ホルダーは、蛍光体で発生する熱を外部に放出し、蛍光体の温度上昇を抑制する放熱部材として機能する。そのため、蛍光体は、適度な力でホルダーに密着していることが望ましい。ところが、蛍光体の密着力が所定値よりも小さい場合、蛍光体の熱がホルダーに十分に伝達されないため、蛍光体の温度が上昇し、所望の強度を有する蛍光が得られないおそれがある。逆に、蛍光体の密着力が所定値よりも大きい場合、蛍光体に過大な荷重が加わり、場合によっては蛍光体が破損するおそれがある。また、蛍光体の熱を効率良くホルダーに伝達させるために、接着材を介することなく、蛍光体をホルダーに固定させる構成が望まれる。

【0006】

特許文献１の光源装置においては、ＬＥＤの支持基板のリブを蛍光体に当接させ、支持基板とホルダーとをねじ止めすることによって、蛍光体をホルダーに固定している。ところが、蛍光体やリブの製造時に寸法誤差が生じた場合、リブが蛍光体を押圧する力が強すぎたり、弱すぎたり、場合によってはリブが蛍光体に当接しない、等の不具合が生じるおそれがある。そのため、各種部材の寸法誤差によらず、所望の強度を有する蛍光が安定して得られ、信頼性に優れる光源装置の提供が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明の一つの態様の光源装置は、第１波長帯を有する第１光を射出する発光素子と、前記発光素子が配置される第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する基板と、蛍光体を含み、前記発光素子から射出される前記第１光を、前記第１波長帯とは異なる第２波長帯を有する第２光に変換する波長変換部材と、前記基板の前記第１面に当接する第３面と、前記第３面とは反対側に位置する第４面と、を有し、前記波長変換部材を支持する支持部材と、前記支持部材を前記基板に固定する固定部材と、前記基板と前記波長変換部材とのそれぞれに当接し、前記発光素子と前記波長変換部材とを互いに離間した位置に保持するスペーサー部材と、を備える。前記固定部材は、弾性部材を含んで構成され、前記第３面を前記第１面に向けて押圧した状態で前記支持部材を前記基板に固定する。

【0008】

本発明の一つの態様のプロジェクターは、本発明の一つの態様の光源装置と、前記光源装置から射出される光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、前記光変調装置により変調された光を投写する投写光学装置と、を備える。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態のプロジェクターの概略構成図である。

【図2】第１実施形態の第１照明装置の概略構成図である。

【図3】光源装置の斜視図である。

【図4】光源装置の正面図である。

【図5】光源装置の側面図である。

【図6】図５の符号Ａの個所の拡大図である。

【図7】図３のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う光源装置の断面図である。

【図8A】ねじ部材を締める前の固定部材の状態を示す図である。

【図8B】ねじ部材を締めた後の固定部材の状態を示す図である。

【図9】第２実施形態の光源装置の正面図である。

【図10A】ねじ部材を締める前の固定部材の状態を示す図である。

【図10B】ねじ部材を締めた後の固定部材の状態を示す図である。

【図11】第１変形例の光源装置の正面図である。

【図12】第３実施形態の光源装置の斜視図である。

【図13】光源装置の正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図面を用いて説明する。
本実施形態のプロジェクターは、光変調装置として液晶パネルを用いたプロジェクターの一例である。
以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。

【0011】

図１は、本実施形態のプロジェクター１の概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態のプロジェクター１は、スクリーン（被投写面）ＳＣＲ上にカラー画像を表示する投写型画像表示装置である。プロジェクター１は、赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ、青色光ＬＢの各色光に対応した３つの光変調装置を備える。

【0012】

プロジェクター１は、第１照明装置２０と、第２照明装置２１と、色分離光学系３と、光変調装置４Ｒと、光変調装置４Ｇと、光変調装置４Ｂと、光合成素子５と、投写光学装置６と、を備える。

【0013】

第１照明装置２０は、黄色の蛍光Ｙを色分離光学系３に向けて射出する。第２照明装置２１は、青色光ＬＢを光変調装置４Ｂに向けて射出する。第１照明装置２０および第２照明装置２１の詳細な構成については後述する。

【0014】

以下、図面においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を用いて説明する。Ｚ軸は、プロジェクター１の上下方向に沿う軸である。Ｘ軸は、第１照明装置２０の光軸ＡＸ１および第２照明装置２１の光軸ＡＸ２と平行な軸である。Ｙ軸は、Ｘ軸およびＺ軸に直交する軸である。第１照明装置２０の光軸ＡＸ１は、第１照明装置２０から射出される蛍光Ｙの中心軸である。第２照明装置２１の光軸ＡＸ２は、第２照明装置２１から射出される青色光ＬＢの中心軸である。

【0015】

色分離光学系３は、第１照明装置２０から射出される黄色の蛍光Ｙを赤色光ＬＲと緑色光ＬＧとに分離する。色分離光学系３は、ダイクロイックミラー７と、第１反射ミラー８ａと、第２反射ミラー８ｂと、を備える。

【0016】

ダイクロイックミラー７は、蛍光Ｙを赤色光ＬＲと緑色光ＬＧとに分離する。具体的には、ダイクロイックミラー７は、赤色光ＬＲを透過し、緑色光ＬＧを反射する。第２反射ミラー８ｂは、緑色光ＬＧの光路中に配置されている。第２反射ミラー８ｂは、ダイクロイックミラー７で反射した緑色光ＬＧを光変調装置４Ｇに向けて反射する。第１反射ミラー８ａは、赤色光ＬＲの光路中に配置されている。第１反射ミラー８ａは、ダイクロイックミラー７を透過した赤色光ＬＲを光変調装置４Ｒに向けて反射する。

【0017】

第２照明装置２１から射出される青色光ＬＢは、反射ミラー９によって光変調装置４Ｂに向けて反射される。

【0018】

以下、第２照明装置２１の構成について説明する。
第２照明装置２１は、光源部８１と、集光レンズ８２と、拡散板８３と、ロッドレンズ８４と、リレーレンズ８５と、を備える。光源部８１は、少なくとも一つの半導体レーザーで構成されている。光源部８１は、レーザー光からなる青色光ＬＢを射出する。なお、光源部８１は、半導体レーザーに限らず、青色光を発光するＬＥＤで構成されていてもよい。

【0019】

集光レンズ８２は、凸レンズから構成されている。集光レンズ８２は、光源部８１から射出される青色光ＬＢを略集光した状態で拡散板８３に入射させる。拡散板８３は、集光レンズ８２から射出される青色光ＬＢを所定の拡散度で拡散させ、第１照明装置２０から射出される蛍光Ｙと同様の略均一な配光分布を有する青色光ＬＢを生成する。拡散板８３としては、例えば、光学ガラスからなる磨りガラスが用いられる。

【0020】

拡散板８３で拡散された青色光ＬＢは、ロッドレンズ８４に入射する。ロッドレンズ８４は、第２照明装置２１の光軸ＡＸ２方向に沿って延びる角柱状の形状を有する。ロッドレンズ８４は、一端に設けられた光入射端面８４ａと、他端に設けられた光射出端面８４ｂと、を有する。拡散板８３は、ロッドレンズ８４の光入射端面８４ａに光学接着剤（図示略）を介して固定されている。拡散板８３の屈折率とロッドレンズ８４の屈折率とは、できるだけ一致させることが望ましい。

【0021】

青色光ＬＢは、ロッドレンズ８４の内部を全反射しつつ伝播することで照度分布の均一性が高められた状態で光射出端面８４ｂから射出される。ロッドレンズ８４から射出された青色光ＬＢは、リレーレンズ８５に入射する。リレーレンズ８５は、ロッドレンズ８４によって照度分布の均一性が高められた青色光ＬＢを反射ミラー９に入射させる。

【0022】

ロッドレンズ８４の光射出端面８４ｂの形状は、光変調装置４Ｂの画像形成領域の形状と略相似形の矩形状である。これにより、ロッドレンズ８４から射出された青色光ＬＢは、光変調装置４Ｂの画像形成領域に効率良く入射する。

【0023】

光変調装置４Ｒは、赤色光ＬＲを画像情報に応じて変調し、赤色光ＬＲに対応した画像光を形成する。光変調装置４Ｇは、緑色光ＬＧを画像情報に応じて変調し、緑色光ＬＧに対応した画像光を形成する。光変調装置４Ｂは、青色光ＬＢを画像情報に応じて変調し、青色光ＬＢに対応した画像光を形成する。

【0024】

光変調装置４Ｒ、光変調装置４Ｇ、および光変調装置４Ｂのそれぞれには、例えば透過型の液晶パネルが用いられる。また、液晶パネルの入射側および射出側には、偏光板（図示略）がそれぞれ配置されている。偏光板は、特定の方向の直線偏光のみを通過させる。

【0025】

光変調装置４Ｒの入射側には、フィールドレンズ１０Ｒが配置されている。光変調装置４Ｇの入射側には、フィールドレンズ１０Ｇが配置されている。光変調装置４Ｂの入射側には、フィールドレンズ１０Ｂが配置されている。フィールドレンズ１０Ｒは、光変調装置４Ｒに入射する赤色光ＬＲの主光線を平行化する。フィールドレンズ１０Ｇは、光変調装置４Ｇに入射する緑色光ＬＧの主光線を平行化する。フィールドレンズ１０Ｂは、光変調装置４Ｂに入射する青色光ＬＢの主光線を平行化する。

【0026】

光合成素子５は、光変調装置４Ｒ、光変調装置４Ｇ、および光変調装置４Ｂから射出された画像光が入射することにより、赤色光ＬＲ，緑色光ＬＧ，青色光ＬＢに対応した画像光を合成し、合成された画像光を投写光学装置６に向けて射出する。光合成素子５には、例えばクロスダイクロイックプリズムが用いられる。

【0027】

投写光学装置６は、複数の投写レンズから構成されている。投写光学装置６は、光合成素子５により合成された画像光をスクリーンＳＣＲに向けて拡大投写する。これにより、スクリーンＳＣＲ上に画像が表示される。

【0028】

以下、第１照明装置２０の構成について説明する。
図２は、第１照明装置２０の概略構成図である。
図２に示すように、第１照明装置２０は、光源装置１００と、平行化光学系６３と、インテグレーター光学系７０と、偏光変換素子１０２と、重畳光学系１０３と、を備える。

【0029】

図３は、光源装置１００の斜視図である。図４は、光源装置１００の正面図である。図５は、光源装置１００の側面図である。図６は、図５の符号Ａの個所の拡大図である。図７は、図３のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う光源装置１００の断面図である。なお、図３～図７では、図面を見やすくするため、角度変換部材５２の図示を省略する。

【0030】

図２～図７に示すように、光源装置１００は、波長変換部材５０と、光源部５１と、角度変換部材５２と、ミラー５３と、支持部材５４と、固定部材６５と、スペーサー部材６７と、第２ヒートシンク６８と、を備える。光源部５１は、基板５５と、発光素子５６と、を備える。

【0031】

波長変換部材５０は、Ｘ軸方向に延びる四角柱状の形状を有し、６つの面を有する。波長変換部材５０のＸ軸方向に延びる辺は、Ｙ軸方向に延びる辺およびＺ軸方向に延びる辺よりも長い。そのため、Ｘ軸方向は、波長変換部材５０の長軸方向に対応する。Ｙ軸方向に延びる辺の長さとＺ軸方向に延びる辺の長さとは等しい。すなわち、Ｘ軸方向に垂直な面（ＹＺ平面）で切断した波長変換部材５０の断面形状は、正方形である。波長変換部材５０のＸ軸方向の長さは、例えば４０ｍｍ～７０ｍｍ程度である。波長変換部材５０の断面形状である正方形の一辺の長さは、例えば１．０ｍｍ～１．５ｍｍ程度である。なお、Ｘ軸方向に垂直な面で切断した波長変換部材５０の断面形状は、長方形であってもよい。

【0032】

図２に示すように、波長変換部材５０は、第１端面５０ａおよび第２端面５０ｂと、第１側面５０ｃおよび第２側面５０ｄと、第３側面５０ｅおよび第４側面５０ｆと、を有する。第１端面５０ａおよび第２端面５０ｂは、波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）に交差し、互いに反対側に位置する。第１側面５０ｃおよび第２側面５０ｄは、第１端面５０ａおよび第２端面５０ｂと交差し、Ｙ軸方向において互いに反対側に位置する。第３側面５０ｅおよび第４側面５０ｆは、第１側面５０ｃおよび第２側面５０ｄと交差し、Ｚ軸方向において互いに反対側に位置する。以下の説明で、第１側面５０ｃ、第２側面５０ｄ、第３側面５０ｅ、および第４側面５０ｆを合わせて、側面と称することがある。

【0033】

波長変換部材５０は、蛍光体を含み、第１波長帯を有する励起光Ｅを、第１波長帯とは異なる第２波長帯を有する蛍光Ｙに変換する。励起光Ｅは、第１側面５０ｃから波長変換部材５０に入射する。蛍光Ｙは、波長変換部材５０の内部を導光した後、第１端面５０ａから射出される。本実施形態の励起光Ｅは、特許請求の範囲の第１光に対応する。本実施形態の蛍光Ｙは、特許請求の範囲の第２光に対応する。

【0034】

波長変換部材５０は、励起光Ｅを蛍光Ｙに波長変換する多結晶蛍光体からなるセラミック蛍光体を含んでいる。蛍光Ｙが有する第２波長帯は、例えば４９０～７５０ｎｍの黄色の波長帯である。すなわち、蛍光Ｙは、赤色光成分および緑色光成分を含む黄色の蛍光である。

【0035】

波長変換部材５０は、多結晶蛍光体に代えて、単結晶蛍光体を含んでいてもよい。もしくは、波長変換部材５０は、蛍光ガラスから構成されていてもよい。もしくは、波長変換部材５０は、ガラスまたは樹脂からなるバインダー中に多数の蛍光体粒子が分散された材料から構成されていてもよい。このような材料からなる波長変換部材５０は、励起光Ｅを蛍光Ｙに変換する。

【0036】

具体的には、波長変換部材５０の材料は、例えばイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）系蛍光体を含んでいる。賦活剤としてのセリウム（Ｃｅ）を含有するＹＡＧ：Ｃｅを例に挙げると、波長変換部材５０の材料として、Ｙ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_３等の構成元素を含む原料粉末を混合して固相反応させた材料、共沈法、ゾルゲル法等の湿式法により得られるＹ－Ａｌ－Ｏアモルファス粒子、噴霧乾燥法、火炎熱分解法、熱プラズマ法等の気相法により得られるＹＡＧ粒子等が用いられる。

【0037】

光源部５１は、第１波長帯の励起光Ｅを射出する発光面５６ａを有する発光素子５６を備える。発光素子５６は、例えばＬＥＤから構成されている。発光素子５６の発光面５６ａは、波長変換部材５０の第１側面５０ｃに対向し、第１側面５０ｃに向けて励起光Ｅを射出する。第１波長帯は、例えば４００ｎｍ～４８０ｎｍの紫色から青色にかけての波長帯であり、ピーク波長は例えば４４５ｎｍである。このように、光源部５１は、波長変換部材５０の長手方向に沿う４つの側面のうち、１つの側面に対向して設けられている。

【0038】

基板５５は、発光素子５６を支持する。基板５５は、発光素子５６が配置される第１面５５ａと、第１面とは反対側に位置する第２面５５ｂと、を有する。基板５５には、発光素子を駆動するための駆動回路が印刷等によって直接形成されていてもよいし、駆動回路を有する回路基板が接続されていてもよい。本実施形態の場合、光源部５１は、発光素子５６と基板５５とから構成されているが、その他、導光板、拡散板、レンズ等の他の光学部材を備えていてもよい。本実施形態において、光源部５１は、複数の発光素子５６を有するが、発光素子５６の個数は１つであってもよいし、特に限定されない。

【0039】

支持部材５４は、波長変換部材５０の周囲を囲むように設けられている。支持部材５４は、波長変換部材５０を支持する。また、支持部材５４は、波長変換部材５０で発生する熱を受け、基板５５に伝達する。そのため、支持部材５４は、所定の強度を有し、熱伝導率が高い材料で構成されることが望ましい。支持部材５４の材料として、例えばアルミニウム、ステンレスなどの金属が用いられ、特に６０６１系等のアルミニウム合金が用いられることが望ましい。支持部材５４の具体的な構成については後述する。

【0040】

固定部材６５は、支持部材５４を基板５５に固定する。換言すると、固定部材６５は、基板５５に対する支持部材５４の移動を規制する。固定部材６５は、波長変換部材５０の長軸方向に沿って複数個所に設けられている。本実施形態の場合、固定部材６５は、波長変換部材５０の第１端面５０ａに近い側、および第２端面５０ｂに近い側の２個所に設けられている。ただし、必ずしもこの位置に限ることはなく、例えば波長変換部材５０の長軸方向の中央部に配置されていてもよい。固定部材６５の数は特に限定されない。固定部材６５の具体的な構成については後述する。

【0041】

図２に示すように、ミラー５３は、波長変換部材５０の第２端面５０ｂに設けられている。ミラー５３は、波長変換部材５０の内部を導光し、第２端面５０ｂに到達した蛍光Ｙを反射させ、第１端面５０ａの側に導く。ミラー５３は、波長変換部材５０の第２端面５０ｂに形成された金属膜もしくは誘電体多層膜から構成されている。または、ミラー５３は、波長変換部材５０とは別体の部材で構成され、第２端面５０ｂに接合されていてもよい。

【0042】

第１照明装置２０において、光源部５１から射出された励起光Ｅが波長変換部材５０に入射すると、波長変換部材５０の内部に含まれる蛍光体が励起され、任意の発光点から蛍光Ｙが発せられる。蛍光Ｙは任意の発光点から全ての方向に向かって進むが、４つの側面５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆに向かった蛍光Ｙは、側面５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆの複数の個所で全反射を繰り返しつつ、第１端面５０ａまたは第２端面５０ｂに向かって進む。第１端面５０ａに向かって進む蛍光Ｙは、角度変換部材５２に入射する。第２端面５０ｂに向かって進む蛍光Ｙは、ミラー５３で反射され、第１端面５０ａに向かって進む。

【0043】

波長変換部材５０に入射した励起光Ｅのうち、蛍光体の励起に使われなかった励起光Ｅの一部は、光源部５１の発光素子５６を含む波長変換部材５０の周囲の部材、または第２端面５０ｂに設けられたミラー５３で反射される。そのため、励起光Ｅの一部は、波長変換部材５０の内部に閉じ込められて再利用される。

【0044】

角度変換部材５２は、波長変換部材５０の第１端面５０ａの光射出側に設けられている。角度変換部材５２は、例えば、テーパーロッドから構成されている。角度変換部材５２は、波長変換部材５０から射出された蛍光Ｙが入射する光入射面５２ａと、蛍光Ｙを射出する光射出面５２ｂと、入射した蛍光Ｙを光射出面５２ｂに向けて反射させる側面５２ｃと、を有する。

【0045】

角度変換部材５２は、四角錐台状の形状を有し、光軸Ｊに垂直な断面積が光の進行方向に沿って広がっている。したがって、光射出面５２ｂの面積は、光入射面５２ａの面積よりも大きい。光射出面５２ｂおよび光入射面５２ａの中心を通り、Ｘ軸に平行な軸を角度変換部材５２の光軸Ｊとする。なお、角度変換部材５２の光軸Ｊは、第１照明装置２０の光軸ＡＸ１に一致する。

【0046】

角度変換部材５２に入射した蛍光Ｙは、角度変換部材５２の内部を進行する間に、側面５２ｃで全反射する毎に光軸Ｊに平行な方向に近付くように向きを変える。このようにして、角度変換部材５２は、波長変換部材５０の第１端面５０ａから射出される蛍光Ｙの射出角度分布を変換する。具体的には、角度変換部材５２は、光射出面５２ｂにおける蛍光Ｙの最大射出角度を光入射面５２ａにおける蛍光Ｙの最大入射角度よりも小さくする。

【0047】

一般的に、光射出領域の面積と光の立体角（最大射出角）との積で規定される光のエテンデューは保存されるため、角度変換部材５２の透過前後においても蛍光Ｙのエテンデューは保存される。角度変換部材５２は、上述したように、光射出面５２ｂの面積を光入射面５２ａの面積よりも大きくした構成を有する。そのため、エテンデュー保存の観点から、角度変換部材５２は、光射出面５２ｂにおける蛍光Ｙの最大射出角度を光入射面５２ａに入射する蛍光Ｙの最大入射角度よりも小さくすることができる。このように、角度変換部材５２は、集光器として機能する。

【0048】

角度変換部材５２は、光入射面５２ａが波長変換部材５０の第１端面５０ａに対向するように光学接着剤（図示略）を介して波長変換部材５０に固定されている。すなわち、角度変換部材５２と波長変換部材５０とは光学接着剤を介して接触しており、角度変換部材５２と波長変換部材５０との間に空隙（空気層）は設けられていない。仮に角度変換部材５２と波長変換部材５０との間に空隙が設けられていた場合、角度変換部材５２の光入射面５２ａに到達した蛍光Ｙのうち、臨界角以上の角度で光入射面５２ａに入射した蛍光Ｙは、光入射面５２ａで全反射し、角度変換部材５２に入射できない。これに対して、本実施形態のように、角度変換部材５２と波長変換部材５０との間に空隙が設けられていない場合には、角度変換部材５２に入射できない蛍光Ｙを減らすことができる。この観点から、角度変換部材５２の屈折率と波長変換部材５０の屈折率とは、できるだけ一致させることが望ましい。

【0049】

角度変換部材５２として、テーパーロッドに代えて、複合放物面型集光器（Compound Parabolic Concentrator, ＣＰＣ）が用いられてもよい。角度変換部材５２としてＣＰＣを用いた場合であっても、テーパーロッドを用いた場合と同様の効果が得られる。なお、光源装置１００は、必ずしも角度変換部材５２を備えていなくてもよい。

【0050】

図７に示すように、スペーサー部材６７は、基板５５の第１面５５ａの発光素子５６が配置されていない個所に設けられている。図７の例では、３つのスペーサー部材６７が設けられているが、スペーサー部材６７の数は特に限定されない。スペーサー部材６７は、基板５５の第１面５５ａと波長変換部材５０の第１側面５０ｃとのそれぞれに当接し、発光素子５６と波長変換部材５０とを互いに離間した位置に保持する。スペーサー部材６７の高さ（基板５５と波長変換部材５０との間隔）は、例えば０．２ｍｍ～２ｍｍ程度である。スペーサー部材６７は、金属、ガラス等の耐光性に優れる材料で構成されることが望ましい。または、スペーサー部材６７は、スクリーン印刷等の手法により基板５５の第１面５５ａ上に直接形成されてもよい。また、スペーサー部材６７と波長変換部材５０との当接としては、互いに直接当接していても、互いの間に部材を介していてもよい。互いの間に部材を配置している場合、この部材としては、非接着部材であることがより好ましい。

【0051】

スペーサー部材６７は、基板５５の発光素子５６が配置された個所に設けられていてもよい。ただし、本実施形態の場合、スペーサー部材６７が基板５５の発光素子５６が配置されていない個所に配置されているため、発光素子５６から射出される励起光Ｅがスペーサー部材６７によって遮られることがなく、励起光Ｅの利用効率を高めることができる。

【0052】

図５に示すように、第２ヒートシンク６８は、基板５５の第２面５５ｂに当接して設けられている。第２ヒートシンク６８は、平板部７１と、複数のフィン７２と、を有する。平板部７１は、略全面にわたって基板５５の第２面５５ｂに当接する。複数のフィン７２は、波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をおいて平板部７１上に設けられている。フィン７２の数は特に限定されない。第２ヒートシンク６８は、ステンレス、アルミニウム等の金属から構成される。

【0053】

第２ヒートシンク６８は、基板５５に当接することによって基板５５の熱が伝達され、フィン７２から外部空間に熱を放出する。そのため、図３に示すように、プロジェクター１のファンから送られる風が複数のフィン７２に効率良く当たるように、複数のフィン７２のそれぞれは、ファンからの風の流れ方向Ｂと平行に配置されていることが望ましい。これにより、第２ヒートシンク６８の冷却効率を高めることができる。また、複数のフィン７２の配列方向が波長変換部材５０の長軸方向に一致しているため、波長変換部材５０を長軸方向にわたって均一に冷却することができる。

【0054】

図４に示すように、第２ヒートシンク６８の平板部７１には、基板５５と固定されるための孔７１ｈが設けられている。第２ヒートシンク６８と基板５５との固定構造については後述する。本実施形態の第２ヒートシンク６８は、特許請求の範囲の第２放熱部材に対応する。

【0055】

以下、支持部材５４および固定部材６５について詳細に説明する。
図４に示すように、支持部材５４は、基板５５の第１面５５ａに当接する第３面５４ｃと、第３面５４ｃとは反対側に位置する第４面５４ｄと、を有する。また、支持部材５４は、第３面５４ｃから第４面５４ｄに向けて凹んだ凹部５４ｆを有する。凹部５４ｆは、溝状に形成され、波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）に沿って延在している。波長変換部材５０は、凹部５４ｆの内部に配置されている。波長変換部材５０の長軸方向に交差する断面視において、支持部材５４のＺ軸方向の幅Ｗ１は、基板５５のＺ軸方向の幅Ｗ２よりも小さい。基板５５の第１面５５ａと第３面５４ｃとの当接は、直接当接していても、間に介在部材を介して当接していてもよい。介在部材としては、例えば、グリスなどを挙げることができ、接着材を除くものである。

【0056】

凹部５４ｆは、波長変換部材５０に当接する底面５４ｊと、底面５４ｊに交差する方向に延在し、波長変換部材５０の第３側面５０ｅに対向する第１壁面５４ｍと、第４側面５０ｆに対向する第２壁面５４ｎと、を有する。第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、波長変換部材５０から離間しており、底面５４ｊから第３面５４ｃに向かうにつれて波長変換部材５０からの間隔が大きくなる方向に傾斜する傾斜面で構成される。すなわち、凹部５４ｆは、底面５４ｊから第３面５４ｃに向かうにつれて幅が広がった溝状の形状を有する。なお、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、必ずしも全体が傾斜面で構成されていなくてもよく、一部に傾斜面を有していてもよい。また、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、湾曲面で構成されていてもよい。また、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎの少なくとも一方は、波長変換部材５０に当接していてもよい。

【0057】

第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、支持部材５４の構成材料であるアルミニウム、ステンレス等の金属の表面から構成される。より具体的には、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、上記の金属表面に鏡面加工が施された加工面から構成される。そのため、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、光反射性を有しており、入射した励起光Ｅを反射する。なお、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎのそれぞれは、アルミニウム、ステンレス等の金属の表面に形成された他の金属膜または誘電体多層膜から構成されていてもよい。

【0058】

波長変換部材５０の長軸方向に交差する断面視において、発光素子５６のＺ軸方向の幅Ｗ３は、波長変換部材５０のＺ軸方向の幅Ｗ４よりも大きい。これにより、Ｚ軸方向において、発光素子５６の両端部は、波長変換部材５０の外側にはみ出している。具体的には、発光素子５６の両端部は、第３側面５０ｅと第１壁面５４ｍとの間隙、および第４側面５０ｆと第２壁面５４ｎとの間隙と重なる位置まではみ出している。

【0059】

この構成によれば、発光素子５６から射出された一部の励起光Ｅは、第３側面５０ｅと第１壁面５４ｍとの間隙、または第４側面５０ｆと第２壁面５４ｎとの間隙を通って進んだ後、傾斜した第１壁面５４ｍまたは第２壁面５４ｎに入射する。このとき、励起光Ｅは、第１壁面５４ｍまたは第２壁面５４ｎで反射して、波長変換部材５０の第３側面５０ｅまたは第４側面５０ｆに入射する。このように、第１壁面５４ｍおよび第２壁面５４ｎが傾斜していることで、波長変換部材５０と支持部材５４との間隙を通る励起光Ｅが第３側面５０ｅまたは第４側面５０ｆに入射しやすくなる。そのため、底面５４ｊで反射して光源部５１の側に戻る励起光Ｅの量を減らすことができる。これにより、励起光Ｅの利用効率を高めることができる。このとき、励起光Ｅの一部が支持部材５４に入射し、一部が支持部材５４に吸収されることによって、支持部材５４自体の温度が上昇する。この意味でも、支持部材５４の放熱は重要である。

【0060】

基板５５の第２ヒートシンク６８の孔７１ｈに対応する位置には、第１面５５ａおよび第２面５５ｂに交差する方向に基板５５を貫通する第１貫通孔５５ｈが設けられている。

【0061】

固定部材６５は、支持部材５４の第３面５４ｃを除く外面に当接する板状部材で構成される。固定部材６５は、弾性復帰力が大きい硬鋼材、ステンレス等の金属等からなる弾性部材で構成され、４個所で略直角に屈曲された形状を有する。したがって、固定部材６５は、外力を受けた際に弾性変形および弾性復帰が可能である。なお、固定部材６５は、弾性変形および弾性復帰が可能な材料であれば、銅等の金属、樹脂、ガラス等の板材であってもよい。

【0062】

固定部材６５は、押圧部７４と、取付部７５と、を有する。押圧部７４は、支持部材５４の第３面５４ｃを除く外面を囲み、外面に当接する。押圧部７４のうち、支持部材５４の両側面と対向する部分に、外方に向けて湾曲したばね作用部７６が設けられている。この個所にばね作用部７６が設けられたことによって、押圧部７４は、支持部材５４の高さ方向（Ｙ軸方向）に伸縮可能となっている。取付部７５は、押圧部７４の両端から基板５５の第１面５５ａに沿って延在し、第１面５５ａに当接する。取付部７５のうち、第２ヒートシンク６８の孔７１ｈに対応する位置に、取付部７５を厚さ方向に貫通する第２貫通孔６５ｈが設けられている。

【0063】

図６に示すように、支持部材５４の第４面５４ｄのうち、固定部材６５が当接する位置に、溝部５４ｐが設けられている。波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）において、溝部５４ｐの幅Ｌ２は、固定部材６５の幅Ｌ１よりも大きい。これにより、固定部材６５は、溝部５４ｐの内部に配置される。また、溝部５４ｐの深さＤ１は、固定部材６５の厚さＴ１よりも大きい。固定部材６５の幅Ｌ１は、例えば２ｍｍ～１０ｍｍ程度であることが望ましい。固定部材６５の厚さＴ１は、例えば０．１ｍｍ～２ｍｍ程度であることが望ましい。この構成によれば、支持部材５４に対する固定部材６５の位置合わせが容易であり、固定部材６５の位置がＸ軸方向にずれるおそれが少ない。また、固定部材６５が支持部材５４の第４面５４ｄから下方に突出しないため、他の部品と光源装置１００とが干渉しにくく、光源装置１００が取り扱いやすくなる。

【0064】

図４に示すように、固定部材６５と基板５５と第２ヒートシンク６８とは、固定部材６５の第２貫通孔６５ｈ、基板５５の第１貫通孔５５ｈ、および第２ヒートシンク６８の孔７１ｈに挿入されるねじ部材７８によって、互いに固定されている。この構成によれば、１つのねじ部材７８によって固定部材６５と基板５５と第２ヒートシンク６８とを一括して固定できるため、部材同士の固定構造を簡素化することができる。また、基板５５と第２ヒートシンク６８とを固定するために、例えば第２ヒートシンク６８に貫通孔を設け、フィン７２が設けられた側の面から基板５５に向けてねじ部材を挿入することは難しいが、上記の構成を採用した場合にはねじ部材７８を容易に挿入することができる。したがって、光源装置１００の組み立て作業を容易に行えるとともに、第２ヒートシンク６８のフィン７２の面積、およびフィン７２の配置の自由度を確保することができる。

【0065】

なお、上記の効果を求めないのであれば、例えば固定部材６５と基板５５とを１つのねじ部材で固定し、基板５５と第２ヒートシンク６８とを他のねじ部材で固定する構成としてもよい。その場合、固定部材６５と基板５５との固定、および基板５５と第２ヒートシンク６８との固定をねじ止め以外の方法で行ってもよい。

【0066】

以下、支持部材５４が基板５５に対して押圧される作用について説明する。
図８Ａは、ねじ部材７８を締める前の固定部材６５の状態を示す図である。図８Ｂは、ねじ部材７８を締めた後の固定部材６５の状態を示す図である。

【0067】

図８Ａに示すねじ部材７８を締める前の段階において、支持部材５４の第３面５４ｃは基板５５の第１面５５ａに当接しているが、固定部材６５の取付部７５は基板５５の第１面５５ａに当接していない。この状態は、固定部材６５に外力が加わっておらず、固定部材６５の初期状態である。このとき、固定部材６５のばね作用部７６は、強く屈曲した状態にある。

【0068】

次に、図８Ｂに示すように、固定部材６５の取付部７５が基板５５の第１面５５ａに当接するまでねじ部材７８を締め付ける。すると、固定部材６５のばね作用部７６は、強く屈曲した状態から支持部材５４の厚さ方向（Ｙ軸方向）に引っ張られ、伸びた状態に変化する。このとき、固定部材６５が弾性を有しているため、初期状態に戻ろうとする弾性復帰力が作用し、固定部材６５の押圧部７４は、支持部材５４を基板５５の第１面５５ａに向けて押圧する。

【0069】

上記の作用により、固定部材６５は、ばね作用部７６が引っ張られた状態で支持部材５４を基板５５に向けて押圧し、基板５５に固定する。固定部材６５は、所定の幅を有する板状部材で構成されているため、波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）において支持部材５４を安定して固定することができる。また、基板５５と波長変換部材５０との間にスペーサー部材６７が介在しているため、支持部材５４が基板５５に向けて押圧されたとき、スペーサー部材６７が波長変換部材５０を支持部材５４の凹部５４ｆの底面５４ｊに向けて押圧する力が生じる。これにより、波長変換部材５０は、接着材を介することなく、支持部材５４に密着した状態で固定される。

【0070】

図２に示すように、光源装置１００とインテグレーター光学系７０との間に、コリメーターレンズ等からなる平行化光学系６３が設けられている。平行化光学系６３は、角度変換部材５２から射出される蛍光Ｙが入射し、蛍光Ｙの角度分布をさらに小さくし、平行度の高い蛍光Ｙをインテグレーター光学系７０に入射させる。なお、平行化光学系６３は、角度変換部材５２から射出される蛍光Ｙの平行度が十分に高い場合には設けられていなくてもよい。

【0071】

インテグレーター光学系７０は、第１レンズアレイ６１と、第２レンズアレイ１０１と、を有する。インテグレーター光学系７０は、重畳光学系１０３とともに光源装置１００から射出された蛍光Ｙの強度分布を、被照明領域である光変調装置４Ｒ，４Ｇのそれぞれにおいて均一化する均一照明光学系として機能する。平行化光学系６３から射出される蛍光Ｙは、第１レンズアレイ６１に入射する。第１レンズアレイ６１は、第２レンズアレイ１０１とともに、インテグレーター光学系７０を構成する。

【0072】

第１レンズアレイ６１は、複数の第１小レンズ６１ａを有する。複数の第１小レンズ６１ａは、第１照明装置２０の光軸ＡＸ１と直交するＹＺ平面に平行な面内にマトリクス状に配列されている。複数の第１小レンズ６１ａは、角度変換部材５２から射出される蛍光Ｙを複数の部分光束に分割する。第１小レンズ６１ａの各々の形状は、光変調装置４Ｒ，４Ｇの画像形成領域の形状と略相似形の矩形状である。これにより、第１レンズアレイ６１から射出された部分光束の各々は、光変調装置４Ｒ，４Ｇの画像形成領域にそれぞれ効率良く入射する。

【0073】

第１レンズアレイ６１から射出された蛍光Ｙは、第２レンズアレイ１０１に向かって進む。第２レンズアレイ１０１は第１レンズアレイ６１に対向して配置されている。第２レンズアレイ１０１は、第１レンズアレイ６１の複数の第１小レンズ６１ａに対応する複数の第２小レンズ１０１ａを有する。第２レンズアレイ１０１は、重畳光学系１０３とともに、第１レンズアレイ６１の複数の第１小レンズ６１ａの像の各々を光変調装置４Ｒ，４Ｇの画像形成領域の近傍に結像させる。複数の第２小レンズ１０１ａは、第１照明装置２０の光軸ＡＸ１に直交するＹＺ平面に平行な面内にマトリクス状に配列されている。

【0074】

本実施形態において、第１レンズアレイ６１の各第１小レンズ６１ａと第２レンズアレイ１０１の各第２小レンズ１０１ａとは、互いに同じサイズを有しているが、互いに異なるサイズを有していてもよい。また、本実施形態において、第１レンズアレイ６１の第１小レンズ６１ａと第２レンズアレイ１０１の第２小レンズ１０１ａとは、互いの光軸が一致する位置に配置されているが、互いに偏心した状態に配置されていてもよい。

【0075】

偏光変換素子１０２は、第２レンズアレイ１０１から射出される蛍光Ｙの偏光方向を変換する。具体的に、偏光変換素子１０２は、第１レンズアレイ６１で分割され、第２レンズアレイ１０１から射出された蛍光Ｙの各部分光束を直線偏光に変換する。

【0076】

偏光変換素子１０２は、光源装置１００から射出される蛍光Ｙに含まれる偏光成分のうち、一方の直線偏光成分をそのまま透過させるとともに、他方の直線偏光成分を光軸ＡＸ１に垂直な方向に反射する偏光分離層（図示略）と、偏光分離層で反射された他方の直線偏光成分を光軸ＡＸ１に平行な方向に反射する反射層（図示略）と、反射層で反射された他方の直線偏光成分を一方の直線偏光成分に変換する位相差板（図示略）と、を有する。

【0077】

［第１実施形態の効果］
本実施形態の光源装置１００は、励起光Ｅを射出する発光素子５６と、発光素子５６が配置される第１面５５ａと、第１面５５ａとは反対側に位置する第２面５５ｂと、を有する基板５５と、蛍光体を含み、発光素子５６から射出される励起光Ｅを蛍光Ｙに変換する波長変換部材５０と、基板５５の第１面５５ａに当接する第３面５４ｃと、第３面５４ｃとは反対側に位置する第４面５４ｄと、を有し、波長変換部材５０を支持する支持部材５４と、支持部材５４を基板５５に固定する固定部材６５と、基板５５と波長変換部材５０とのそれぞれに当接し、発光素子５６と波長変換部材５０とを互いに離間した位置に保持するスペーサー部材６７と、を備える。固定部材６５は、第３面５４ｃを第１面５５ａに向けて押圧した状態で支持部材５４を基板５５に固定する。

【0078】

本実施形態の構成によれば、固定部材６５の構成材料および厚さ、ばね作用部７６の形状および寸法等のパラメーターを適宜選択することによって、固定部材６５が支持部材５４を基板５５に向けて押圧する力を適切に調整することができる。このとき、上述したように、スペーサー部材６７の作用によって波長変換部材５０が支持部材５４に向けて押圧される力も適切に調整され、波長変換部材５０と支持部材５４との密着性を高めることができる。これにより、波長変換部材５０で発生する熱は、支持部材５４に十分に伝達された後、支持部材５４に当接する基板５５を介して第２ヒートシンク６８に伝達され、第２ヒートシンク６８から外部空間に放熱される。その結果、波長変換部材５０の温度上昇に伴う波長変換効率の低下が抑えられ、所望の強度を有する蛍光Ｙを得ることができる。

【0079】

また、仮に波長変換部材５０やスペーサー部材６７の製造時に寸法誤差があったとしても、寸法誤差が固定部材６５のばね作用部７６の変形具合によって吸収されるため、押圧力が常に適切に調整される。その結果、上記の効果が安定して発揮されるとともに、波長変換部材５０の破損を抑制することができる。このように、本実施形態によれば、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られ、信頼性に優れる光源装置１００を実現することができる。

【0080】

本実施形態の場合、支持部材５４の熱が基板５５を介して第２ヒートシンク６８から外部空間に放出されるため、支持部材５４の第４面５４ｄに必ずしもヒートシンクを設ける必要がない。これにより、光源装置１００の小型化を図ることができる。ただし、より多くの熱を放出したい場合には、支持部材５４の第４面５４ｄにもヒートシンクを設けてもよい。

【0081】

本実施形態のプロジェクター１は、本実施形態の光源装置１００を備えているため、高効率で小型のプロジェクターを実現できる。

【0082】

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態について、図面を用いて説明する。
第２実施形態のプロジェクターおよび光源装置の基本構成は第１実施形態と略同様であり、支持部材および固定部材の構成が第１実施形態と異なる。そのため、プロジェクターおよび光源装置の基本構成の説明は省略する。
図９は、第２実施形態の光源装置１２０の正面図である。
図９において、第１実施形態で用いた図面と共通の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。

【0083】

図９に示すように、本実施形態の光源装置１２０は、波長変換部材５０と、光源部５１と、角度変換部材（図示略）と、ミラー（図示略）と、支持部材４４と、固定部材４５と、スペーサー部材６７と、第２ヒートシンク６８と、を備える。

【0084】

支持部材４４は、基板５５の第１面５５ａに当接する第３面４４ｃと、第３面４４ｃとは反対側に位置する第４面４４ｄと、を有する。また、支持部材４４は、波長変換部材５０を支持する凹部４４ｆが設けられた本体部４６と、取付部４７と、を有する。本体部４６と取付部４７とは、一体の部材で構成されている。取付部４７は、支持部材４４の第３面４４ｃに沿って延在し、本体部４６の厚さよりも薄い厚さを有する。凹部４４ｆは、波長変換部材５０を支持する底面４４ｊと、底面４４ｊに対して傾斜した第１壁面４４ｍおよび第２壁面４４ｎと、を有する。

【0085】

基板５５には、第１面５５ａおよび第２面５５ｂに交差する方向に貫通する第１貫通孔５５ｈが設けられている。支持部材４４の取付部４７には、基板５５の第１貫通孔５５ｈに対応する位置に、第３面４４ｃに交差する方向に取付部４７を貫通する第２貫通孔４４ｈが設けられている。第２ヒートシンク６８の第１貫通孔５５ｈおよび第２貫通孔４４ｈに対応する位置には、孔７１ｈが設けられている。本実施形態の場合、本体部４６の厚さよりも薄い厚さを有する取付部４７に第２貫通孔４４ｈが設けられているため、第２貫通孔４４ｈの加工が容易である。

【0086】

固定部材４５は、ねじ部材４８と、弾性部材４９と、を備える。ねじ部材４８は、頭部４８ａを有し、第２貫通孔４４ｈ、第１貫通孔５５ｈ、および孔７１ｈに挿入される。弾性部材４９は、ねじ部材４８が貫通する環状の部材であり、ねじ部材４８の頭部４８ａと支持部材４４の取付部４７との間に介在する。弾性部材４９として、例えばスプリングワッシャー、コイルばね、環状のゴム等が用いられる。

【0087】

支持部材４４と基板５５と第２ヒートシンク６８とは、第２貫通孔４４ｈ、第１貫通孔５５ｈ、および孔７１ｈに挿入されるねじ部材４８によって、互いに固定されている。この構成によれば、１つのねじ部材４８によって支持部材４４と基板５５と第２ヒートシンク６８とを一括して固定できるため、部材同士の固定構造を簡素化することができる。また、第１実施形態と同様、第２ヒートシンク６８のフィン７２が設けられた側の面から固定用のねじ部材を挿入する必要がない。これにより、光源装置１２０の組み立て作業の簡略化、第２ヒートシンク６８の放熱能力の確保を図ることができる。光源装置１２０のその他の構成は、第１実施形態の光源装置１００と同様である。

【0088】

以下、支持部材４４が基板５５に対して押圧される作用について説明する。
図１０Ａは、ねじ部材４８を締める前の固定部材４５の状態を示す図である。図１０Ｂは、ねじ部材４８を締めた後の固定部材４５の状態を示す図である。

【0089】

図１０Ａに示すねじ部材４８を締める前の段階において、ねじ部材４８の頭部４８ａは、弾性部材４９に当接していない。この状態は、弾性部材４９に外力が加わっておらず、弾性部材４９の初期状態である。次に、図１０Ｂに示すように、ねじ部材４８を締め付けると、弾性部材４９は、弾性部材４９の厚さ方向（Ｙ軸方向）に圧縮された状態に変化する。このとき、弾性部材は４９、初期状態に戻ろうとする弾性復帰力によって、支持部材４４を基板５５の第１面５５ａに向けて押圧する。

【0090】

上記の作用により、固定部材４５は、弾性部材４９が圧縮された状態で支持部材４４を基板５５に向けて押圧し、基板５５に固定する。また、基板５５と波長変換部材５０との間にはスペーサー部材６７が介在しているため、支持部材４４が基板５５に向けて押圧されたとき、スペーサー部材６７が波長変換部材５０を支持部材４４の凹部４４ｆの底面４４ｊに向けて押圧する力が生じる。そのため、波長変換部材５０は、接着材を介することなく、支持部材４４に密着した状態で固定される。

【0091】

［第２実施形態の効果］
本実施形態においても、波長変換部材５０やスペーサー部材６７の寸法誤差があったとしても、波長変換部材５０が適切な力で支持部材４４に押圧され、支持部材４４が適切な力で基板５５に押圧されるため、波長変換部材５０の温度上昇に伴う波長変換効率の低下が抑えられ、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られる、波長変換部材５０の破損を抑制することができる、といった第１実施形態と同様の効果が得られる。これにより、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られ、信頼性に優れる光源装置１２０を実現することができる。

【0092】

［第１変形例］
以下、本実施形態の変形例について説明する。
図１１は、第１変形例の光源装置１３０の正面図である。図１１において、上記の第２実施形態の光源装置１２０と共通の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。

【0093】

図１１に示すように、第１変形例の支持部材３４は、第２実施形態の支持部材４４とは異なり、本体部から支持部材の第３面に沿って延在する取付部を有していない。支持部材３４の本体部に、第３面３４ｃに交差する方向に支持部材３４を貫通する第２貫通孔３４ｈが設けられている。光源装置１３０のその他の構成は、第２実施形態の光源装置１２０と同様である。

【0094】

本変形例においても、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られ、信頼性に優れる光源装置１３０を実現できる、といった上記第２実施形態と同様の効果が得られる。

【0095】

本変形例の場合、支持部材３４が取付部を有していないため、第２実施形態に比べて、支持部材３４のＺ軸方向の幅を小さくすることができる。また、十分な厚さを有する支持部材３４に第２貫通孔３４ｈが設けられているため、支持部材３４が弾性部材４９からの押圧力を安定して受けることができる。

【0096】

［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態について、図面を用いて説明する。
第３実施形態のプロジェクターおよび光源装置の基本構成は第１実施形態と略同様であるため、プロジェクターおよび光源装置の基本構成の説明は省略する。
図１２は、第３実施形態の光源装置１４０の斜視図である。図１３は、第３実施形態の光源装置１４０の正面図である。
図１２および図１３において、第１実施形態で用いた図面と共通の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。

【0097】

図１２および図１３に示すように、本実施形態の光源装置１４０は、波長変換部材５０と、光源部５１と、角度変換部材（図示略）と、ミラー（図示略）と、支持部材９４と、固定部材９５と、スペーサー部材６７と、第１ヒートシンク９７と、第２ヒートシンク６８と、を備える。

【0098】

第１ヒートシンク９７は、支持部材９４の第４面９４ｄに対向して設けられている。図示を省略するが、本実施形態においても、第１実施形態の図６に示したように、支持部材９４の第４面９４ｄに溝部が設けられ、固定部材９５は溝部の内部に配置されている。そのため、支持部材９４の第４面９４ｄに固定部材９５が配置されていても、固定部材９５が第４面９４ｄから突出することがなく、第１ヒートシンク９７は、支持部材９４の第４面９４ｄに隙間なく当接する。本実施形態の第１ヒートシンク９７は、特許請求の範囲の第１放熱部材に対応する。

【0099】

第１ヒートシンク９７は、第２ヒートシンク６８と同様、平板部９８と、複数のフィン９９と、を有する。第１ヒートシンク９７と支持部材９４との固定構造は、特に限定されることはなく、例えば支持部材９４に取付部を設け、取付部において第１ヒートシンク９７にねじ止めする構成としてもよいし、第１ヒートシンク９７に取付部を設け、取付部において支持部材９４にねじ止めする構成としてもよい。

【0100】

固定部材９５は、第１実施形態の固定部材６５と略同様であるが、ばね作用部９３が支持部材９４の第４面９４ｄに対向する位置に設けられている点で、第１実施形態の固定部材６５とは異なる。本実施形態においても、第１実施形態と同様、固定部材９５は、ばね作用部９３が引っ張られた状態での弾性復帰力によって支持部材９４を基板５５に押圧し、固定する。

【0101】

図１３に示すように、波長変換部材５０の長軸方向（Ｘ軸方向）に交差する断面視において、支持部材９４のＺ軸方向の幅Ｗ１は、基板５５のＺ軸方向の幅Ｗ２よりも小さい。また、第１ヒートシンク９７のＺ軸方向の幅Ｗ５は、基板５５のＺ軸方向の幅Ｗ２よりも小さい。基板５５の幅Ｗ２は、例えば５０ｍｍ～７０ｍｍ程度である。支持部材９４の幅Ｗ１は、例えば５ｍｍ～２０ｍｍ程度である。支持部材９４の幅Ｗ１は、基板５の幅Ｗ２の１／３以下であることが好ましく、基板５５の幅Ｗ２の１／５以下であることがより好ましく、基板５５の幅Ｗ２の１／１０以下であることがさらに好ましい。
光源装置１４０のその他の構成は、第１実施形態と同様である。

【0102】

［第３実施形態の効果］
本実施形態においても、波長変換部材５０やスペーサー部材６７の寸法誤差があったとしても、波長変換部材５０が適切な力で支持部材９４に押圧され、支持部材９４が適切な力で基板５５に押圧されるため、波長変換部材５０の温度上昇に伴う波長変換効率の低下が抑えられ、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られる、波長変換部材５０の破損を抑制することができる、といった第１実施形態と同様の効果が得られる。これにより、所望の強度を有する蛍光Ｙが得られ、信頼性に優れる光源装置１４０を実現することができる。

【0103】

本実施形態の光源装置１４０は、第２ヒートシンク６８に加えて第１ヒートシンク９７を備えているため、支持部材９４の熱を効率良く外部空間に放出することができる。また、支持部材９４の幅Ｗ１は基板５５の幅Ｗ２と同じでもよいが、波長変換部材５０の熱は、波長変換部材５０から遠い支持部材９４の端部にはあまり伝達されないため、支持部材９４の端部側の領域は伝熱の観点からは無駄なスペースとなる。したがって、本実施形態のように、支持部材９４の幅Ｗ１を基板５５の幅Ｗ２よりも小さくする構成は合理的である。

【0104】

さらに、支持部材９４の熱が第２ヒートシンク６８および第１ヒートシンク９７の双方から放出されるため、支持部材９４の第４面９４ｄに設けられる第１ヒートシンク９７の幅Ｗ５も、支持部材９４の幅Ｗ１と同様、無駄に大きくすることなく、基板５５の幅Ｗ２よりも小さくする構成が合理的である。このように、本実施形態によれば、波長変換部材５０の温度上昇をより確実に抑制するとともに、光源装置１４０の支持部材９４側の部分の小型化を図ることができる。

【0105】

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。また、本発明の一つの態様は、上記実施形態および変形例の特徴部分を適宜組み合わせた構成とすることができる。

【0106】

第１実施形態および第３実施形態の光源装置において、固定部材は、固定部材の全体が弾性部材で構成されているが、例えば固定部材のうち、ばね作用部が弾性部材で構成されており、ばね作用部以外の部分は弾性を有していなくてもよい。また、固定部材は、必ずしも板状部材で構成されていなくてもよく、例えばピアノ線のような線状部材であってもよい。

【0107】

上記の実施形態では、放熱部材としてヒートシンクの例を挙げたが、その他、ペルチェ素子等の冷却装置、ヒートパイプ等の伝熱部材、液体からなる冷媒を容器内に収容する任意の液冷装置などを用いてもよい。または、支持部材の外面にフィンを直接形成してもよい。この構成によれば、ヒートシンクを支持部材に固定する必要がない。また、上記の実施形態では、支持部材の第４面に放熱部材を設ける例を示したが、支持部材の第４面と交差する側面にさらに放熱部材を設けてもよい。

【0108】

上記の各実施形態では、波長変換部材の長軸方向（Ｘ軸方向）に交差する断面視において、支持部材の幅が基板の幅よりも小さい例を示したが、第２実施形態については、固定部材である板状部材の取付個所が不要であるため、必ずしも支持部材の幅が基板の幅よりも小さくなくてもよい。

【0109】

その他、光源装置およびプロジェクターの各構成要素の形状、数、配置、材料等の具体的な記載については、上記実施形態に限らず、適宜変更が可能である。また、上記実施形態では、本発明による光源装置を、液晶パネルを用いたプロジェクターに搭載した例を示したが、これに限られない。本発明による光源装置を、光変調装置としてデジタルマイクロミラーデバイスを用いたプロジェクターに適用してもよい。また、プロジェクターは、複数の光変調装置を有していなくてもよく、１つの光変調装置のみを有していてもよい。

【0110】

上記実施形態では、本発明の光源装置をプロジェクターに適用した例を示したが、これに限られない。本発明の光源装置は、照明器具や自動車のヘッドライト等にも適用することができる。

【0111】

［本開示のまとめ］
以下、本開示のまとめを付記する。

【0112】

（付記１）
第１波長帯を有する第１光を射出する発光素子と、
前記発光素子が配置される第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する基板と、
蛍光体を含み、前記発光素子から射出される前記第１光を、前記第１波長帯とは異なる第２波長帯を有する第２光に変換する波長変換部材と、
前記基板の前記第１面に当接する第３面と、前記第３面とは反対側に位置する第４面と、を有し、前記波長変換部材を支持する支持部材と、
前記支持部材を前記基板に固定する固定部材と、
前記基板と前記波長変換部材とのそれぞれに当接し、前記発光素子と前記波長変換部材とを互いに離間した位置に保持するスペーサー部材と、
を備え、
前記固定部材は、弾性部材を含んで構成され、前記第３面を前記第１面に向けて押圧した状態で前記支持部材を前記基板に固定する、光源装置。

【0113】

付記１の構成によれば、波長変換部材やスペーサー部材の寸法誤差があったとしても、波長変換部材が適切な力で支持部材に押圧され、支持部材が適切な力で基板に押圧される。その結果、波長変換部材の温度上昇に伴う波長変換効率の低下が抑えられる、波長変換部材の破損を抑制することができる、等の効果が得られる。これにより、所望の強度を有する蛍光が得られ、信頼性に優れる光源装置を実現することができる。

【0114】

（付記２）
前記固定部材は、前記支持部材の前記第３面を除く外面の少なくとも一部に当接する板状部材で構成され、前記弾性部材が引っ張られた状態で前記支持部材を前記基板に固定する、付記１に記載の光源装置。

【0115】

付記２の構成によれば、固定部材は、引っ張られた状態の弾性部材の弾性復帰力を利用して、支持部材を基板に押圧することができる。また、固定部材が板状部材で構成されているため、支持部材を基板に安定して押圧することができる。

【0116】

（付記３）
前記支持部材の前記第４面のうち、前記板状部材が当接する位置に溝部が設けられ、
前記板状部材は、前記溝部の内部に配置され、
前記溝部の深さは、前記板状部材の厚さよりも大きい、付記２に記載の光源装置。

【0117】

付記３の構成によれば、板状部材が支持部材の第４面から突出しないため、光源装置の取り扱いが容易である。また、支持部材の第４面に放熱部材を設ける場合、放熱部材が支持部材の第４面に密着するため、支持部材から放熱部材への伝熱性が向上する。

【0118】

（付記４）
前記第４面に当接し、前記支持部材の熱が伝達される第１放熱部材をさらに備える、付記３に記載の光源装置。

【0119】

付記４の構成によれば、支持部材の熱が第４面から第１放熱部材に伝達され、波長変換部材の温度上昇が抑制される。これにより、波長変換効率の低下が抑えられる。

【0120】

（付記５）
前記基板の前記第２面に当接し、前記基板の熱が伝達される第２放熱部材をさらに備える、付記２から付記４までのいずれか一項に記載の光源装置。

【0121】

付記５の構成によれば、支持部材の熱が基板の第２面から第２放熱部材に伝達され、波長変換部材の温度上昇が抑制される。これにより、波長変換効率の低下が抑えられる。

【0122】

（付記６）
前記第２放熱部材に、孔が設けられ、
前記基板の前記第２放熱部材の前記孔に対応する位置に、前記第１面および前記第２面に交差する方向に前記基板を貫通する第１貫通孔が設けられ、
前記板状部材の前記第２放熱部材の前記孔に対応する位置に、前記板状部材を厚さ方向に貫通する第２貫通孔が設けられ、
前記板状部材と前記基板と前記第２放熱部材とは、前記第２貫通孔、前記第１貫通孔および前記孔に挿入されるねじ部材によって、互いに固定されている、付記５に記載の光源装置。

【0123】

付記６の構成によれば、板状部材と基板と第２放熱部材とがねじ部材によって一括して固定されるため、これらの部材の固定構造を簡略化することができる。

【0124】

（付記７）
前記基板の前記第１面に、孔が設けられ、
前記支持部材の前記基板の前記孔に対応する位置に、前記第３面に交差する方向に前記支持部材を貫通する貫通孔が設けられ、
前記固定部材は、前記貫通孔および前記孔に挿入されるねじ部材と、前記ねじ部材の頭部と前記支持部材との間に介在する弾性部材と、を備え、
前記固定部材は、前記弾性部材が圧縮された状態で前記支持部材を前記基板に固定する、付記１に記載の光源装置。

【0125】

付記７の構成によれば、固定部材は、圧縮された状態の弾性部材の弾性復帰力を利用して、支持部材を基板に押圧することができる。

【0126】

（付記８）
前記支持部材は、前記波長変換部材を支持する本体部と、前記第３面に沿って延在し、前記本体部の厚さよりも薄い厚さを有する取付部と、を有し、
前記貫通孔は、前記取付部に設けられている、付記７に記載の光源装置。

【0127】

付記８の構成によれば、本体部よりも薄い取付部に貫通孔が設けられているため、貫通孔の加工を容易に行うことができる。

【0128】

（付記９）
前記支持部材の前記第４面に当接し、前記支持部材の熱が伝達される第１放熱部材をさらに備える、付記７または付記８に記載の光源装置。

【0129】

付記９の構成によれば、支持部材の熱が第４面から第１放熱部材に伝達され、波長変換部材の温度上昇が抑制される。これにより、波長変換効率の低下が抑えられる。

【0130】

（付記１０）
前記基板の前記第２面に当接し、前記基板の熱が伝達される第２放熱部材をさらに備える、付記７から付記９までのいずれか一項に記載の光源装置。

【0131】

付記１０の構成によれば、支持部材の熱が基板の第２面から第２放熱部材に伝達され、波長変換部材の温度上昇が抑制される。これにより、波長変換効率の低下が抑えられる。

【0132】

（付記１１）
前記基板の前記孔は、前記第１面および前記第２面に交差する方向に前記基板を貫通する第１貫通孔であり、
前記支持部材の前記貫通孔は、第２貫通孔であり、
前記第２放熱部材の前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対応する位置に、孔が設けられ、
前記支持部材と前記基板と前記第２放熱部材とは、前記第２貫通孔、前記第１貫通孔および前記孔に挿入される前記ねじ部材によって、互いに固定されている、付記１０に記載の光源装置。

【0133】

付記１１の構成によれば、支持部材と基板と第２放熱部材とがねじ部材によって一括して固定されるため、これらの部材の固定構造を簡略化することができる。

【0134】

（付記１２）
前記波長変換部材の長軸方向に交差する断面視において、
前記支持部材の幅は、前記基板の幅よりも小さく、
前記第１放熱部材の幅は、前記基板の幅よりも小さい、付記４または付記９に記載の光源装置。

【0135】

付記１２の構成によれば、光源装置のうち、支持部材側の部分の小型化を図ることができる。

【0136】

（付記１３）
前記支持部材は、前記第３面から前記第４面に向けて凹んだ凹部を有し、
前記波長変換部材は、前記凹部の内部に配置され、
前記凹部は、前記波長変換部材に当接する底面と、前記底面に交差する方向に延在し、前記波長変換部材に対向する第１壁面および第２壁面と、を有し、
前記第１壁面および前記第２壁面の少なくとも一方は、前記波長変換部材から離間し、前記底面から前記第３面に向かうにつれて前記波長変換部材からの間隔が大きくなる方向に傾斜する傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記発光素子から射出される前記第１光の少なくとも一部を反射する、付記１から付記１２までのいずれか一項に記載の光源装置。

【0137】

付記１３の構成によれば、発光素子から射出され、第１壁面または第２壁面と波長変換部材との隙間に入射する第１光が傾斜面で反射し、波長変換部材に入射しやすくなる。これにより、第１光の利用効率を高めることができる。

【0138】

（付記１４）
付記１から付記１３までのいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置から射出される光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置により変調された光を投写する投写光学装置と、
を備える、プロジェクター。

【0139】

付記１４の構成によれば、高効率で小型のプロジェクターを実現できる。

【符号の説明】

【0140】

１…プロジェクター、４Ｂ，４Ｇ，４Ｒ…光変調装置、６…投写光学装置、５０…波長変換部材、５４，４４，３４，９４…支持部材、５４ｃ，４４ｃ，３４ｃ，９４ｃ…第３面、５４ｄ，４４ｄ，９４ｄ…第４面、５４ｆ…凹部、５４ｊ…底面、５４ｍ…第１壁面、５４ｎ…第２壁面、５４ｐ…溝部、５５…基板、５５ａ…第１面、５５ｂ…第２面、５６…発光素子、６５，４５，９５…固定部材、６７…スペーサー部材、９７…第１ヒートシンク（第１放熱部材）、６８…第２ヒートシンク（第２放熱部材）、７１ｈ…孔、５５ｈ…第１貫通孔、６５ｈ，４４ｈ，３４ｈ…第２貫通孔、７８，４８…ねじ部材、４６…本体部、４７…取付部、４９…弾性部材、１００，１２０，１３０，１４０…光源装置、Ｅ…励起光（第１光）、Ｙ…蛍光（第２光）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図11】

【図12】

【図13】