特開 2024-70545 振動検出装置、振動検出方法、振幅測定装置及び振幅測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024070545

(43)【公開日】2024-05-23

(54)【発明の名称】振動検出装置、振動検出方法、振幅測定装置及び振幅測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01H 17/00 20060101AFI20240516BHJP

【ＦＩ】

G01H17/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022181106

(22)【出願日】2022-11-11

(71)【出願人】

【識別番号】520073704

【氏名又は名称】株式会社常盤製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100094190

【弁理士】

【氏名又は名称】小島 清路

(74)【代理人】

【識別番号】100151127

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 勝雅

(74)【代理人】

【識別番号】100151644

【弁理士】

【氏名又は名称】平岩 康幸

(72)【発明者】

【氏名】澤田 長宏

【テーマコード（参考）】

2G064

【Ｆターム（参考）】

2G064AA01

2G064AA11

2G064AB02

2G064BA02

2G064BD02

2G064DD02

(57)【要約】

【課題】ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中の被加工物の振動を安定的に検出できる振動検出装置及び振動検出方法を提供する。また、ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中の被加工物の振幅を安定的に検出できる振幅測定装置及び振幅測定方法を提供する。
【解決手段】本装置２１は、加工槽４内に貯留された加工液中で被加工物Ｗを切断加工するワイヤカット加工機１に用いられる振動検出装置２１である。本装置は、内部に防水空間Ｓを形成するケース２２を備え、防水空間内には、ケースの底板２４上に加速度センサ２３が設けられており、底板が加工液中の被加工物の表面に密着するようにケースが加工液中に浸された状態で、加速度センサにより加工液中の被加工物の振動を検出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するワイヤカット加工機に用いられる振動検出装置であって、
内部に防水空間を形成するケースを備え、
前記防水空間内には、前記ケースの底板上に加速度センサが設けられており、
前記底板が加工液中の前記被加工物の表面に密着するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記加速度センサにより加工液中の前記被加工物の振動を検出することを特徴とする振動検出装置。

【請求項2】

前記防水空間内には、前記加速度センサの検出値を増幅するアンプ及び前記アンプで増幅された検出値をＡＤ変換するＡＤ変換器が設けられている請求項１に記載の振動検出装置。

【請求項3】

前記ケースには、前記防水空間に連なり且つ上端部が加工液の液面より上方に配置されるパイプが設けられており、
前記パイプには、前記加速度センサの検出値をコンピュータへ送信するための通信ケーブルが通されている請求項１に記載の振動検出装置。

【請求項4】

前記ケースは金属製である請求項１に記載の振動検出装置。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動検出装置を用いる振動検出方法であって、
前記底板が加工液中の前記被加工物の表面に密着するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記加速度センサにより加工液中の前記被加工物の振動を検出することを特徴とする振動検出方法。

【請求項6】

加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するワイヤカット加工機に用いられる振幅測定装置であって、
内部に防水空間を形成するケースと、
前記防水空間内に設けられるダイヤルゲージと、
前記防水空間内にエアを供給するエア供給機構と、を備え、
前記ケースには、前記ダイヤルゲージの測定子が突出する開口が形成されているとともに、前記ダイヤルゲージの表示部を目視するための透視部が設けられており、
前記エア供給機構により前記防水空間内にエアが供給されるとともに、前記ダイヤルゲージの測定子が加工液中の前記被加工物の表面に当接するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記ダイヤルゲージの測定子により加工液中の前記被加工物の振幅を測定することを特徴とする振幅測定装置。

【請求項7】

前記エア供給機構は、エアポンプと、前記エアポンプから圧送されるエアを溜めてから前記防水空間内に供給するためのタンクと、を有する請求項６に記載の振幅測定装置。

【請求項8】

請求項６又は７に記載の振幅測定装置を用いる振幅測定方法であって、
前記エア供給機構により前記防水空間内にエアが供給されるとともに、前記ダイヤルゲージの測定子が加工液中の前記被加工物の表面に当接するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記ダイヤルゲージの測定子により加工液中の前記被加工物の振幅を測定することを特徴とする振幅測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動検出装置、振動検出方法、振幅測定装置及び振幅測定方法に関し、更に詳しくは、加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するワイヤカット加工機に用いられる振動検出装置、振動検出方法、振幅測定装置及び振幅測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ワイヤカット加工機として、加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するものが一般に知られている（例えば、特許文献１参照）。このワイヤカット加工機では、ワイヤに通した電流と被加工物（金属）との間の放電により被加工物が切断加工される。しかし、被加工物が比較的薄い場合や被加工物が片持ち状態で支持される場合などでは、加工液中の被加工物が振動するため、ワイヤと被加工物が接触してワイヤの切断が発生してしまい生産効率が低下することがある。

【0003】

そこで、加工液中の被加工物の振動あるいは振幅を解析することでワイヤの切断が発生する加工条件を判定することが鋭意研究されている。しかしながら、現状では、加工液中の被加工物の振動を安定的に検出する技術が確立されていない。これは、振動を検出する加速度センサを取り付ける際、被加工物は加工液中にあり、そのまま取り付けることができないためである。それに加え、ワイヤと被加工物との間の放電から強い電気的ノイズが発生し、加速度センサの振動の検出に影響を与えるためである。

【0004】

さらに、現状では、加工液中の被加工物の振幅を安定的に測定する技術が確立されていない。これは、振幅を測定するダイヤルゲージを取り付ける際、被加工物は加工液中にあり、そのまま取り付けることができないためである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１７－６４８０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中の被加工物の振動を安定的に検出することができる振動検出装置及びこれを用いる振動検出方法を提供することを第１の目的とする。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中の被加工物の振幅を安定的に測定することができる振幅測定装置及びこれを用いる振幅測定方法を提供することを第２の目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は以下の通りである。
１．加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するワイヤカット加工機に用いられる振動検出装置であって、
内部に防水空間を形成するケースを備え、
前記防水空間内には、前記ケースの底板上に加速度センサが設けられており、
前記底板が加工液中の前記被加工物の表面に密着するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記加速度センサにより加工液中の前記被加工物の振動を検出することを特徴とする振動検出装置。
２．前記防水空間内には、前記加速度センサの検出値を増幅するアンプ及び前記アンプで増幅された検出値をＡＤ変換するＡＤ変換器が設けられている上記１．に記載の振動検出装置。
３．前記ケースには、前記防水空間に連なり且つ上端部が加工液の液面より上方に配置されるパイプが設けられており、
前記パイプには、前記加速度センサの検出値をコンピュータへ送信するための通信ケーブルが通されている上記１．に記載の振動検出装置。
４．前記ケースは金属製である上記１．に記載の振動検出装置。
５．上記１．乃至４．のいずれか一項に記載の振動検出装置を用いる振動検出方法であって、
前記底板が加工液中の前記被加工物の表面に密着するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記加速度センサにより加工液中の前記被加工物の振動を検出することを特徴とする振動検出方法。
６．加工槽内に貯留された加工液中で被加工物を切断加工するワイヤカット加工機に用いられる振幅測定装置であって、
内部に防水空間を形成するケースと、
前記防水空間内に設けられるダイヤルゲージと、
前記防水空間内にエアを供給するエア供給機構と、を備え、
前記ケースには、前記ダイヤルゲージの測定子が突出する開口が形成されているとともに、前記ダイヤルゲージの表示部を目視するための透視部が設けられており、
前記エア供給機構により前記防水空間内にエアが供給されるとともに、前記ダイヤルゲージの測定子が加工液中の前記被加工物の表面に当接するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記ダイヤルゲージの測定子により加工液中の前記被加工物の振幅を測定することを特徴とする振幅測定装置。
７．前記エア供給機構は、エアポンプと、前記エアポンプから圧送されるエアを溜めてから前記防水空間内に供給するためのタンクと、を有する上記６．に記載の振幅測定装置。
８．上記６．又は７．に記載の振幅測定装置を用いる振幅測定方法であって、
前記エア供給機構により前記防水空間内にエアが供給されるとともに、前記ダイヤルゲージの測定子が加工液中の前記被加工物の表面に当接するように前記ケースが加工液中に浸された状態で、前記ダイヤルゲージの測定子により加工液中の前記被加工物の振幅を測定することを特徴とする振幅測定方法。

【発明の効果】

【0008】

本発明の振動検出装置及び振動検出方法によれば、底板が加工液中の被加工物の表面に密着するようにケースが加工液中に浸された状態で、加速度センサにより加工液中の被加工物の振動を検出する。これにより、ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中で加速度センサが電気的ノイズの影響を受け難く被加工物の振動を安定的に検出することができる。
本発明の振幅測定装置及び振幅測定方法によれば、エア供給機構により防水空間内にエアが供給されるとともに、ダイヤルゲージの測定子が加工液中の被加工物の表面に当接するようにケースが加工液中に浸された状態で、ダイヤルゲージの測定子により加工液中の被加工物の振幅を測定する。これにより、ワイヤカット加工機の加工槽の加工液中で被加工物の振幅を安定的に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

本発明について、本発明による典型的な実施形態の非限定的な例を挙げ、言及された複数の図面を参照しつつ以下の詳細な記述にて更に説明するが、同様の参照符号は図面のいくつかの図を通して同様の部材を示す。

【図1】実施形態に係る振動検出装置を備えるワイヤカット加工機の側面図である。

【図2】振動検出装置の斜視図である。

【図3】振動検出装置の断面図である。

【図4】振動検出装置のブロック図である。

【図5】他の形態に係る振動検出装置の断面図である。

【図6】実施形態に係る振幅測定装置を備えるワイヤカット加工機の側面図である。

【図7】振幅測定装置の斜視図である。

【図8】振幅測定装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

ここで示される事項は例示的なものおよび本発明の実施形態を例示的に説明するためのものであり、本発明の原理と概念的な特徴とを最も有効に且つ難なく理解できる説明であると思われるものを提供する目的で述べたものである。この点で、本発明の根本的な理解のために必要である程度以上に本発明の構造的な詳細を示すことを意図してはおらず、図面と合わせた説明によって本発明の幾つかの形態が実際にどのように具現化されるかを当業者に明らかにするものである。

【0011】

以下、図面を用いて実施形態により本発明を具体的に説明する。

【0012】

＜振動検出装置＞
本実施形態に係る振動検出装置２１は、図１及び図２に示すように、加工槽４内に貯留された加工液Ｌ（例えば、水、油など）中で被加工物Ｗを切断加工するワイヤカット加工機１（「ワイヤ放電加工機」とも称される。）に用いられる。なお、本実施形態では、被加工物Ｗとして、ワーク支持台５上で片持ち支持（一端側が固定端とされ且つ他端側が自由端とされる支持）される薄板を例示する。

【0013】

ワイヤカット加工機１は、加工槽４と、加工槽４内で被加工物Ｗを支持するワーク支持台５と、加工槽４及びワーク支持台５を水平方向であるＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる移動機構６と、ワイヤ７が張設される上ガイド８及び下ガイド９と、を備えている。移動機構６は、第１スライド機構１１と、第１スライド機構１１によりベッド１３上でＸ軸方向に移動されるサドル１４と、第２スライド機構１２と、第２スライド機構１２によりサドル１４上でＹ軸方向に移動されるテーブル１５と、を備えている。テーブル１５上に加工槽４及びワーク支持台５が取り付けられている。上ガイド８は、被加工物Ｗのテーパ加工を可能とするように、図示しない移動機構により水平方向であるＵ軸方向及びＶ軸方向に移動される。なお、第１及び第２スライド機構１１、１２は、モータにより作動されるボールネジ機構で構成されている。

【0014】

振動検出装置２１は、図２及び図３に示すように、内部に防水空間Ｓを形成するケース２２を備えている。ケース２２は、底板２４と、底板２４と対向する天板２５と、底板２４及び天板２５の間に配置される側板２６と、を備えている。側板２６は筒状に形成されている。これら各板２４～２６で囲まれて防水空間Ｓが形成されている。また、ケース２２は、底板２４との間で被加工物Ｗを挟持する挟持板２７を備えている。挟持板２７は、ワーク支持台５上に載置される。各板２４～２７は、アルミニウム、ステンレスなどの金属製である。即ち、ケース２２は金属製である。また、底板２４と側板２６はボルト２８により締結されており、両者２４、２６の間にガスケット又はＯリングなどのシール部材２９が設けられている。さらに、天板２５と側板２６はボルト２８により締結されており、両者２５、２６の間にガスケット又はＯリングなどのシール部材２９が設けられている。さらに、底板２４と挟持板２７は、被加工物Ｗを挟んでボルト２８により締結されている。

【0015】

なお、ケース２２としては、挟持板２７を備えず、図示しない公知のクランプ器具などにより底板２４とワーク支持台５の間で被加工物Ｗを挟持するものを採用してもよい（図５参照）。また、ケース２２としては、底板２４と側板２６あるいは天板２５と側板２６が一体形成されたものを採用してもよい。さらに、ケース２２としては、合成樹脂製のものを採用してもよい。この場合、ケース２２に電気的ノイズを遮蔽する遮蔽シート、遮蔽膜などを設けることが好ましい。

【0016】

防水空間Ｓ内には、ケース２２の底板２４上に加速度センサ２３が設けられている。加速度センサ２３は、加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振動を検知して振動に比例した電気信号（検出値）を出力する。また、加速度センサ２３は、その検出面が底板２４の表面に密着するように底板２４上にネジ止め、接着などにより取り付けられている。なお、加速度センサ２３としては、例えば、圧電型、サーボ型、ひずみゲージ式、半導体式加速度センサなどを用いることができる。

【0017】

防水空間Ｓ内には、加速度センサ２３の検出値を増幅するアンプ３１が設けられている。また、防水空間Ｓ内には、アンプ３１で増幅されたアナログ信号をデジタル信号にＡＤ変換するＡＤ変換器３２が設けられている。アンプ３１及びＡＤ変換器３２は、底板２４上に支持部３３により支持された基板３４に設けられている（図４参照）。基板３４と加速度センサ２３は通信ケーブル６０を介して連絡されている。

【0018】

ケース２２には、防水空間Ｓに連なり且つ上端部が加工液Ｌの液面より上方に配置されるパイプ３６が設けられている（図１参照）。パイプ３６内には、加速度センサ２３の検出値（具体的にＡＤ変換器３２でＡＤ変換された検出値）をコンピュータ３７へ送信するための通信ケーブル３８が通されている。通信ケーブル３８は、一端側が基板３４に接続されており、他端側がコンピュータ３７と接続可能とされている。なお、コンピュータ３７としては、例えばパーソナルコンピュータ、タブレット型携帯端末、スマートフォンなどを用いることができる。さらに、通信ケーブル３８としては、例えば、ＵＳＢケーブルなどを用いることができる。

【0019】

パイプ３６は、天板２５にネジ止めにより接続される第１パイプ３６ａと、第１パイプ３６ａの外周にバンド３９により縛り付けられる第２パイプ３６ｂと、を備えている。第１パイプ３６ａは硬質材料（例えば、金属、硬質樹脂など）により形成されている。また、第１パイプ３６ａと天板２５の取付孔との間には防水シール（図示省略）が設けられている。さらに、第２パイプ３６ｂは軟質材料（例えば、軟質樹脂、ゴムなど）により形成されている。ただし、パイプ３６としては、２つのパイプ３６ａ、３６ｂからなる以外に、１つのパイプ又は３つ以上のパイプからなるものを採用してもよい。

【0020】

次に、上記構成の振動検出装置２１を用いる振動検出方法について説明する。先ず、図示しない公知のクランプ器具などにより被加工物Ｗ及び振動検出装置２１を加工槽４内のワーク支持台５上に固定する。その後、加工槽４内を加工液Ｌで満たすと、ケース２２及びケース２２の底板２４が密着する被加工物Ｗが加工槽４内の加工液Ｌ中に浸された水没状態とされる（図１参照）。この水没状態において、ワイヤカット加工機１は、移動機構６によりワーク支持台５をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることで、加工液Ｌ中の被加工物Ｗ（金属）とワイヤ７に通した電流との間の放電により被加工物Ｗを切断加工する。

【0021】

ワイヤカット加工機１の加工中において、振動検出装置２１では、ケース２２の防水空間Ｓ内の加速度センサ２３により加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振動（例えば、１０ｋＨｚ未満の低周波数の振動）が検出され、その検出値がアンプ３１により増幅されてからＡＤ変換器３２によりＡＤ変換され、通信ケーブル３８を介してコンピュータ３７に送られる。そして、コンピュータ３７においては、ＦＦＴ（fast Fourier transform）などの信号処理方式により振動解析が行われる。

【0022】

ここで、ワイヤカット加工機１の加工条件（例えば、被加工物Ｗの厚さ、加工スピードなど）によっては、加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振動によりワイヤ７と被加工物Ｗが接触してワイヤ７の切断が発生してしまうことがある。これに対して、上記の振動解析によって、ワイヤ７の押し・引きを高い時間分解能で計測することで、ワイヤ７の切断が発生する加工条件（即ちワイヤ７の切断予兆）を判定することが可能となる。その結果、薄板である被加工物Ｗの加工にあたって経験のないオペレータでもワイヤカット加工の適切な加工スピードを設定し、作業効率を最大化することが可能となる。

【0023】

以上より、本実施形態の振動検出装置２１によれば、内部に防水空間Ｓを形成するケース２２を備え、防水空間Ｓ内には、ケース２２の底板２４上に加速度センサ２３が設けられている。そして、底板２４が加工液中の被加工物Ｗの表面に密着するようにケース２２が加工液Ｌ中に浸された状態で、加速度センサ２３により加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振動を検出する。これにより、ワイヤカット加工機１の加工槽４の加工液Ｌ中で加速度センサ２３が電気的ノイズの影響を受け難く被加工物Ｗの振動を安定的に検出することができる。

【0024】

また、本実施形態では、防水空間Ｓ内には、加速度センサ２３の検出値を増幅するアンプ３１及びアンプ３１で増幅された検出値をＡＤ変換するＡＤ変換器３２が設けられている。これにより、加速度センサ２３の近傍にアンプ３１及びＡＤ変換器３２が配置されるため、これら２３、３１、３２の信号経路が電気的ノイズの影響を受け難くできる。

【0025】

また、本実施形態では、ケース２２には、防水空間Ｓに連なり且つ上端部が加工液Ｌの液面より上方に配置されるパイプ３６が設けられており、パイプ３６には、加速度センサ２３の検出値をコンピュータ３７へ送信するための通信ケーブル３８が通されている。これにより、加速度センサ２３の検出値をコンピュータ３７へ安定的に送信することができる。

【0026】

さらに、本実施形態では、ケース２２は金属製である。これにより、簡易且つ安価な構造のケース２２により加速度センサ２３が電気的ノイズの影響を受け難くできる。

【0027】

＜振幅測定装置＞
本実施形態に係る振幅測定装置４１は、図６及び図７に示すように、加工槽４内に貯留された加工液Ｌ（例えば、水、油など）中で被加工物Ｗを切断加工するワイヤカット加工機１（ワイヤ放電加工機とも称される。）に用いられる。なお、本実施形態では、被加工物Ｗ及びワイヤカット加工機１として、上記の振動検出装置２１で説明したものを採用し、それらの詳説は省略する。

【0028】

振幅測定装置４１は、図７及び図８に示すように、内部に防水空間Ｓを形成するケース４２と、防水空間Ｓ内に設けられるダイヤルゲージ４３と、防水空間Ｓ内にエアを供給するエア供給機構４４と、を備えている。

【0029】

ケース４２は、底板４６と、底板４６と対向する天板４７と、底板４６及び天板４７の間に配置される側板４８と、を備えている。側板４８は筒状に形成されている。これら各板４６～４８で囲まれて防水空間Ｓが形成されている。また、各板４６～４８は、アルミニウム、ステンレスなどの金属製である。即ち、ケース４２は金属製である。また、底板４６と側板４８はボルト４９により締結されている。さらに、天板４７と側板４８はボルト５０により締結されている。

【0030】

ケース４２（具体的に底板４６）には、ダイヤルゲージ４３の測定子５５が防水空間Ｓの外側に突出する開口５１が形成されている。また、ケース４２（具体的に天板４７）には、ダイヤルゲージ４３の表示部５６を目視するための透視部５２が設けられている。透視部５２は、天板４７に形成された透視孔４７ａと、透視孔４７ａを覆う透明又は半透明の覆い部材５４と、により構成されている。また、覆い部材５４は、ボルト５０により天板４７に取り付けられている。さらに、ケース４２には、ワーク支持台５上に振幅測定装置４１を固定するための公知のスタンド５３が設けられている（図７参照）。

【0031】

なお、ケース４２としては、底板４６と側板４８との間及び天板４７と側板４８の間にガスケット又はＯリングなどのシール部材を設けたものを採用してもよい。また、ケース４２としては、底板４６と側板４８あるいは天板４７と側板４８が一体形成されたものを採用してもよい。さらに、ケース４２としては、合成樹脂製のものを採用してもよい。

【0032】

ダイヤルゲージ４３は、測定子５５と、測定子５５の測定値を表示する表示部５６と、を有している。また、ダイヤルゲージ４３は、測定子５５がケース４２の開口５１から突出し且つ表示部５６が透視部５２に臨むようにケース４２に取り付けられている。なお、ダイヤルゲージ４３としては、例えば、テコ式、スピンドル式ダイヤルゲージを用いることができる。さらに、ダイヤルゲージ４３としては、例えば、アナログ式、デジタル式の表示部５６を有するものを用いることができる。

【0033】

エア供給機構４４は、ケース４２の開口５１からの防水空間Ｓ内への加工液Ｌの侵入を抑制し且つダイヤルゲージ４３の測定子５５による測定を阻害しないように防水空間Ｓ内にエアを供給する。エア供給機構４４は、エアポンプ５７と、エアポンプ５７から圧送されるエアを溜めてから防水空間Ｓ内に供給するためのタンク５８と、を有している。タンク５８とケース４２の防水空間Ｓはエアチューブ５９で連絡されている。エアチューブ５９の先端部（即ちエア噴射口）は、防水空間Ｓ内で開口５１に指向するようにケース４２に取り付けられている。

【0034】

次に、上記構成の振幅測定装置４１を用いる振幅測定方法について説明する。先ず、図示しない公知のクランプ器具などにより被加工物Ｗ及び振幅測定装置４１を加工槽４内のワーク支持台５上に固定する。このとき、振幅測定装置４１は、ダイヤルゲージ４３の測定子５５が被加工物Ｗの表面に当接するように配置される。さらに、エア供給機構４４により防水空間Ｓ内にエアが供給される（図８中に破線矢印で示す。）。その後、加工槽４内を加工液Ｌで満たすと、ケース４２及びダイヤルゲージ４３の測定子５５が当接する被加工物Ｗが加工槽４内の加工液Ｌ中に浸された水没状態とされる（図６参照）。この水没状態において、ワイヤカット加工機１は、移動機構６によりワーク支持台５をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることで、加工液Ｌ中の被加工物Ｗ（金属）とワイヤ７に通した電流との間の放電により被加工物Ｗを切断加工する。

【0035】

ワイヤカット加工機１の加工中において、振幅測定装置４１では、ダイヤルゲージ４３の測定子５５により加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振幅（即ち変位）が測定され、その測定値がダイヤルゲージ４３の表示部５６に表示される。オペレータは、ケース４２の透視部５２を介して表示部５６に表示された振幅の測定値を読み取る。

【0036】

ここで、ワイヤカット加工機１の加工条件（例えば、被加工物Ｗの厚さ、加工スピードなど）によっては、加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振動によりワイヤ７と被加工物Ｗが接触してワイヤ７の切断が発生してしまうことがある。これに対して、上記のオペレータによる振幅（異常振幅）の読み取りにより、ワイヤ７の切断が発生する加工条件（即ちワイヤ７の切断予兆）を判定することが可能となる。その結果、薄板である被加工物Ｗの加工にあたって経験のないオペレータでもワイヤカット加工の適切な加工スピードを設定し、作業効率を最大化することが可能となる。

【0037】

以上より、本実施形態の振幅測定装置４１によれば、内部に防水空間Ｓを形成するケース４２と、防水空間Ｓ内に設けられるダイヤルゲージ４３と、防水空間Ｓ内にエアを供給するエア供給機構４４と、を備え、ケース４２には、ダイヤルゲージ４３の測定子５５が突出する開口５１が形成されているとともに、ダイヤルゲージ４３の表示部５６を目視するための透視部５２が設けられている。そして、エア供給機構４４により防水空間Ｓ内にエアが供給されるとともに、ダイヤルゲージ４３の測定子５５が加工液Ｌ中の被加工物Ｗの表面に当接するようにケース４２が加工液Ｌ中に浸された状態で、ダイヤルゲージ４３の測定子５５により加工液Ｌ中の被加工物Ｗの振幅を測定する。これにより、ワイヤカット加工機１の加工槽４の加工液Ｌ中で被加工物Ｗの振幅を安定的に測定することができる。

【0038】

さらに、本実施形態では、エア供給機構４４は、エアポンプ５７と、エアポンプ５７から圧送されるエアを溜めてから防水空間Ｓ内に供給するためのタンク５８と、を有する。これにより、ダイヤルゲージ４３の測定子５５による測定を阻害することなくケース４２の防水空間Ｓ内で効果的な防水性を発揮するようにエアを供給できる。

【0039】

尚、本発明においては、実施形態に限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更することができる。すなわち、上記実施形態では、ケース２２、４２の全体を加工液Ｌ中に水没させる形態を例示したが、これに限定されず、例えば、ケース２２、４２の上部が加工液Ｌの液面より浮上するようにケース２２、４２を加工液Ｌ中に水没させる形態としてもよい。

【0040】

また、上記実施形態では、ケース２２の防水空間Ｓ内にアンプ３１及びＡＤ変換器３２を備える形態を例示したが、これに限定されず、例えば、ケース２２の外部にアンプ３１及びＡＤ変換器３２を備える形態としてもよい。

【0041】

さらに、上記実施形態では、通信ケーブル３８（有線）により加速度センサ２３の検出値をコンピュータ３７へ送信する形態を例示したが、これに限定されず、例えば、無線により加速度センサ２３の検出値をコンピュータ３７へ送信する形態としてもよい。

【0042】

本発明は上記で詳述した実施形態に限定されず、本発明の請求項に示した範囲で様々な変形または変更が可能である。

【産業上の利用可能性】

【0043】

本発明は、ワイヤカット加工機におけるワイヤの切断予兆を図るための技術として広く利用される。

【符号の説明】

【0044】

１；ワイヤカット加工機、４；加工槽、２１；振動検出装置、２２；ケース、２３；加速度センサ、２４；底板、３１；アンプ、３２；ＡＤ変換器、３６；パイプ、３７；コンピュータ、３８；通信ケーブル、４１；振幅測定装置、４２；ケース、４３；ダイヤルゲージ、４４；エア供給機構、５１；開口、５２；透視部、５５；測定子、５６；表示部、５７；エアポンプ、５８；タンク、Ｌ；加工液、Ｓ；防水空間、Ｗ；被加工物。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】