特開 2024-7104 ロボットシステム、ロボット制御方法及びロボット制御プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024007104

(43)【公開日】2024-01-18

(54)【発明の名称】ロボットシステム、ロボット制御方法及びロボット制御プログラム

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/10 20060101AFI20240111BHJP

【ＦＩ】

B25J9/10 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022108324

(22)【出願日】2022-07-05

(71)【出願人】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100131200

【弁理士】

【氏名又は名称】河部 大輔

(72)【発明者】

【氏名】芝田 武士

(72)【発明者】

【氏名】小野 良太

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707BS15

3C707CT04

3C707CV07

3C707CW07

3C707EV23

3C707HS14

3C707HS27

3C707KS37

3C707LT11

3C707NS13

(57)【要約】

【課題】ロボットアームにおけるハンドの位置精度を向上させる。
【解決手段】ロボットシステム１００は、ワークＷを保持するハンド３とハンド３が連結されたロボットアーム２とを有するロボット１と、ロボットアーム２を動作させて、ハンド３の位置制御を行う制御装置６とを備えている。制御装置６は、位置制御におけるハンド３の目標高さをハンド３によって保持されるワークＷに応じて補正する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを保持するハンドと前記ハンドが連結されたロボットアームとを有するロボットと、
前記ロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行う制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持されるワークに応じて補正するロボットシステム。

【請求項2】

請求項１に記載のロボットシステムにおいて、
前記ロボットアームは、前記ハンドの高さ位置を変更する電動モータを有し、
前記制御装置は、前記ハンドがワークを取ることに起因する、前記電動モータへのモータ電流の変動に基づいて前記目標高さを補正するロボットシステム。

【請求項3】

請求項２に記載のロボットシステムにおいて、
前記制御装置は、予め取得された、前記ハンドがワークを取っていない場合の前記モータ電流と前記ハンドがワークを取った後の実際の前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正するロボットシステム。

【請求項4】

請求項２に記載のロボットシステムにおいて、
前記制御装置は、前記位置制御によって前記ハンドがワークを取って搬送する一連の動作における、前記ハンドがワークを取る前の実際の前記モータ電流と前記ハンドがワークを取った後の実際の前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正するロボットシステム。

【請求項5】

請求項４に記載のロボットシステムにおいて、
前記制御装置は、
前記ハンドがワークを取る前後において前記ハンドの高さ位置が等速に変化する等速動作を前記ロボットアーム及び前記ハンドに実行させ、
前記等速動作中における、前記ハンドがワークを取る前の実際の前記モータ電流と前記ハンドがワークを取った後の実際の前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正するロボットシステム。

【請求項6】

請求項２に記載のロボットシステムにおいて、
前記制御装置は、前記ハンドがワークを取った後に前記目標高さを補正するロボットシステム。

【請求項7】

請求項１乃至６の何れか１つに記載のロボットシステムにおいて、
前記ロボットアームは、水平方向へ回転可能に連結された複数のリンクを有するロボットシステム。

【請求項8】

請求項１乃至６の何れか１つに記載のロボットシステムにおいて、
前記ハンドは、ワークとして基板を保持するロボットシステム。

【請求項9】

請求項１乃至６の何れか１つに記載のロボットシステムにおいて、
前記ハンドは、複数種類のワークの何れかを保持するロボットシステム。

【請求項10】

ワークを保持するハンドが連結されたロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行うことと、
前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持するワークに応じて補正することとを含むロボット制御方法。

【請求項11】

ワークを保持するハンドと前記ハンドが連結されたロボットアームとを有するロボットを制御する機能をコンピュータに実現させるためのロボット制御プログラムであって、
前記ロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行う機能と、
前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持するワークに応じて補正する機能とをコンピュータに実現させるためのロボット制御プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

ここに開示された技術は、ロボットシステム、ロボット制御方法及びロボット制御プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、ワークを保持したハンドをロボットアームで移動させるロボットシステムが知られている。特許文献１に開示されたロボットシステムは、ロボットの撓みを考慮して、ロボットの手先位置を補正している。具体的には、このロボットシステムは、ロボットの姿勢に応じてロボットの撓みが変化することを考慮して、ロボットの手先位置を補正している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平４－２３３６０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

前述の如く、ロボットアームによってワークを搬送するシステムにおいては、ロボットアームの撓み等を考慮することによって、ハンドの位置精度を向上させることができる。しかしながら、ロボットの撓みは、ロボットの姿勢以外の要因に基づいても変動する。つまり、ハンドの位置精度は、さらに向上させる余地がある。

【0005】

ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ロボットアームにおけるハンドの位置精度を向上させることにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示のロボットシステムは、ワークを保持するハンドと前記ハンドが連結されたロボットアームとを有するロボットと、前記ロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行う制御装置とを備え、前記制御装置は、前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持されるワークに応じて補正する。

【0007】

本開示のロボット制御方法は、ワークを保持するハンドが連結されたロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行うことと、前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持するワークに応じて補正することとを含む。

【0008】

本開示のロボット制御プログラムは、ワークを保持するハンドと前記ハンドが連結されたロボットアームとを有するロボットを制御する機能をコンピュータに実現させるためのロボット制御プログラムであって、前記ロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行う機能と、前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持するワークに応じて補正する機能とをコンピュータに実現させる。

【発明の効果】

【0009】

前記ロボットシステムによれば、ロボットアームにおけるハンドの位置精度を向上させることができる。

【0010】

前記ロボット制御方法によれば、ロボットアームにおけるハンドの位置精度を向上させることができる。

【0011】

前記ロボット制御プログラムによれば、ロボットアームにおけるハンドの位置精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、ロボットシステムを示す模式図である。

【図2】図２は、ロボットシステムをクリーンルームに組み込んだ平面的な模式図である。

【図3】図３は、制御装置の概略的なハードウェア構成を示す図である。

【図4】図４は、制御装置の制御部の制御系統の構成を示す機能ブロック図である。

【図5】図５は、第１ボックス又は第２ボックスにおけるワークを示す模式図である。

【図6】図６は、搬送動作のフローチャートである。

【図7】図７は、第１電動モータへのモータ電流及びハンドの高さを示すグラフである。

【図8】図８は、上昇動作におけるハンドを説明するための模式図である。

【図9】図９は、ハンドの目標高さを補正しない場合の搬送動作中の第１電動モータへのモータ電流及びハンドの高さを示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、ロボットシステム１００を示す模式図である。図２は、ロボットシステム１００をクリーンルーム１１０に組み込んだ平面的な模式図である。

【0014】

ロボットシステム１００は、ロボット１と、ロボット１を制御する制御装置６とを備えている。ロボット１は、ワークＷを保持するハンド３と、ハンド３が連結されたロボットアーム２とを有する。ロボット１は、いわゆる水平多関節ロボットであり、スカラ（SCARA: Selective Compliance Assembly Robot Arm）型のロボットである。ロボット１は、ロボットアーム２が連結された基台１０をさらに有していてもよい。ハンド３は、いわゆるエンドエフェクタである。制御装置６は、ロボットアーム２を動作させて、ハンド３の位置制御、即ち、ワークＷの位置制御を行う。

【0015】

ロボット１は、様々な種類のワークＷを扱う。つまり、ハンド３は、複数種類のワークＷの何れかを保持する。例えば、ワークＷの１つは、基板である。基板は、半導体基板（即ち、半導体ウェハ）及びガラス基板（即ち、ガラスウェハ）などの半導体デバイスの基板の材料となる薄板であり得る。半導体基板としては、例えば、シリコン基板、サファイヤ基板等がある。ガラス基板としては、例えば、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）用ガラス基板等がある。ワークＷが基板である場合、ロボット１は、複数種類の基板を扱い得る。ロボット１は、例えば、２００ｍｍ、３００ｍｍ又は４５０ｍｍ等のサイズの異なる基板をワークＷとして扱い得る。複数のワークＷには、基板以外に、フォーカスリング、治具、又は、治具に基板が組み込まれたアッセンブリ等が含まれる。尚、ワークＷは、これらに限定されず、任意の部品が含まれ得る。

【0016】

［ロボット］
例えば、ロボット１は、クリーンルーム対応のロボットである。ロボット１は、クリーンルーム１１０内に配置されて使用される。クリーンルーム１１０は、複数の周壁によって区画され、内部がクリーン化、即ち、清浄に保たれている。クリーンルーム１１０には、ワークＷが配置される第１場所としての第１ボックス１１１と、ワークＷが配置される第２場所としての第２ボックス１１２とが設けられている。

【0017】

ロボットアーム２は、略鉛直方向へ昇降可能に基台１０に設けられた昇降器２１と、複数のリンク２２と、リンク２２を水平方向に回転可能に連結する複数の関節２３と、昇降器２１及びリンク２２を動作させる複数の電動モータ２４と、各電動モータ２４に設けられたエンコーダ２５とを有している。

【0018】

昇降器２１は、柱状に形成されている。昇降器２１が最も降下した状態においては、昇降器２１の大部分が基台１０内に収容される。昇降器２１は、基台１０から上方に突出するように上昇する。

【0019】

複数のリンク２２は、第１リンク２２ａ、第２リンク２２ｂ及び第３リンク２２ｃを含んでいる。第１リンク２２ａ、第２リンク２２ｂ及び第３リンク２２ｃのそれぞれを区別しない場合には、単に「リンク２２」と称する。第１リンク２２ａは、略水平方向へ回転可能に関節２３を介して昇降器２１に連結されている。第２リンク２２ｂは、第１リンク２２ａと第３リンク２２ｃとにそれぞれ略水平方向へ回転可能に関節２３を介して連結されている。第３リンク２２ｃには、略水平方向へ回転可能にハンド３が関節２３を介して連結されている。

【0020】

具体的には、リンク２２は、所定の長手方向に延びる形状を有している。リンク２２は、中空状に形成され、内部空間を有している。リンク２２の長手方向における両端部のうち一方の端部を第１端部と称し、他方の端部を第２端部と称する。第１リンク２２ａの第１端部は、略鉛直方向へ延びる軸Ｌ１回りに回転可能に昇降器２１に連結されている。第１リンク２２ａの第２端部には、第２リンク２２ｂの第１端部が略鉛直方向へ延びる軸Ｌ２回りに回転可能に連結されている。第２リンク２２ｂの第２端部には、第３リンク２２ｃの第１端部が略鉛直方向へ延びる軸Ｌ３回りに回転可能に連結されている。第３リンク２２ｃの第２端部には、ハンド３が略鉛直方向へ延びる軸Ｌ４回りに回転可能に連結されている。

【0021】

第１リンク２２ａ、第２リンク２２ｂ、第３リンク２２ｃ、ハンド３は、この順で下から上へ、互いに接触しない状態で積み上げられている。第１リンク２２ａ、第２リンク２２ｂ、第３リンク２２ｃ及びハンド３は、互いに干渉することなく略水平方向に回転する。

【0022】

ハンド３は、本体３１と、本体３１に連結され、二又状に分かれた保持部３２とを有している。ハンド３は、板状に形成されている。ハンド３は、その厚み方向を向いて見た場合に、略Ｙ字状に形成されている。本体３１は、第３リンク２２ｃの第２端部に連結されている。

【0023】

ハンド３による保持は、把持、吸着、載置又は嵌合等、様々な態様で実現し得る。この例では、ハンド３は、ワークＷを把持するように構成されている。具体的には、保持部３２の２つの先端部のそれぞれには爪３３が固定的に設けられている。本体３１には、移動可能な爪３４と爪３４を駆動する保持アクチュエータ３５（図２参照）とが設けられている。保持アクチュエータ３５は、例えばエアシリンダを有している。保持アクチュエータ３５は、エアシリンダによって爪３４を駆動することによって、ハンド３によるワークＷの保持及び保持解除を切り替える。

【0024】

電動モータ２４は、例えばサーボモータである。エンコーダ２５は、対応する電動モータ２４の回転位置又は回転速度を検出する。複数の電動モータ２４は、昇降器２１用の第１電動モータ２４ａと、リンク２２用の複数の第２電動モータ２４ｂとを含む。第１電動モータ２４ａは、昇降器２１を昇降させる。第１電動モータ２４ａは、基台１０の内部に収容されている。第２電動モータ２４ｂは、対応する関節２３を回転駆動する。第２電動モータ２４ｂは、リンク２２の内部空間に収容されている。

【0025】

制御装置６は、ロボットアーム２及びハンド３を制御して、ロボット１を動作させる。制御装置６は、位置制御において、ロボットアーム２及びハンド３の目標位置を設定し、ハンド３が目標位置に位置するようにロボットアーム２及びハンド３を制御する。ハンド３の目標位置には、ハンド３の目標高さが含まれる。制御装置６は、位置制御におけるハンド３の目標高さをハンド３によって保持するワークＷに応じて補正する。

【0026】

図３は、制御装置６の概略的なハードウェア構成を示す図である。制御装置６は、例えば、コンピュータである。制御装置６には、電動モータ２４、エンコーダ２５及び保持アクチュエータ３５等が接続されている。尚、図３では、一組だけ図示されているが、制御装置６には複数組の第２電動モータ２４ｂ及びエンコーダ２５が接続されている。制御装置６は、主制御装置６０とサーボアンプ６１とを有している。主制御装置６０は、保持アクチュエータ３５を制御すると共に、サーボアンプ６１を介してロボット１を制御する。例えば、主制御装置６０は、保持アクチュエータ３５のエアシリンダへのエアの供給を切り替える電磁弁を制御して、ハンド３によるワークＷの保持及び保持解除を切り替える。主制御装置６０は、ロボット１の各電動モータ２４の回転位置、回転速度又は回転トルクに関する指令値をサーボアンプ６１に出力する。サーボアンプ６１は、主制御装置６０からの指令値に応じたモータ電流を各電動モータ２４へ印加する。サーボアンプ６１は、各電動モータ２４へ印加されるモータ電流を検出する電流センサ６１ａを有している。このとき、サーボアンプ６１は、各エンコーダ２５の検出結果に基づいてモータ電流をフィードバック制御する。これにより、制御装置６は、ハンド３を目標位置へ移動させたり、目標速度又は目標加速度で移動させたりする。

【0027】

一例として、制御装置６は、電動モータ２４及び保持アクチュエータ３５を制御することによって、ロボット１に搬送動作を実行させる。具体的には、制御装置６には、搬送動作を行う際のハンド３の目標位置、即ち、目標軌跡が予め設定されている。主制御装置６０は、ハンド３の目標位置に対応する指令値、即ち、各電動モータ２４の目標回転位置をサーボアンプ６１へ出力する。サーボアンプ６１は、指令値に対応するモータ電流を各電動モータ２４へ印加する。サーボアンプ６１は、電動モータ２４の回転位置が目標回転位置になるように、モータ電流をエンコーダ２５の検出結果に基づいてフィードバック制御する。こうして、主制御装置６０は、ハンド３が目標位置に位置するように、各電動モータ２４を制御する。また、主制御装置６０は、保持アクチュエータ３５を動作させて、ハンド３によるワークＷの保持及び保持解除を切り替える。

【0028】

主制御装置６０は、制御部６２と、記憶部６３と、メモリ６４とを有している。

【0029】

制御部６２は、主制御装置６０の全体を制御する。制御部６２は、各種の演算処理を行う。例えば、制御部６２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサで形成されている。制御部６２は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）、ＭＰＵ（Micro Processor Unit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）、システムＬＳＩ等で形成されていてもよい。

【0030】

記憶部６３は、制御部６２で実行されるプログラム及び各種データを格納している。具体的には、記憶部６３は、ロボット制御プログラム６３ａを格納している。また、記憶部６３は、ロボット１を動作させるための教示データを格納している。記憶部６３は、不揮発性メモリ、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）又はＳＳＤ（Solid State Drive）等で形成される。

【0031】

メモリ６４はそれぞれ、データ等を一時的に格納する。例えば、メモリ６４は、揮発性メモリで形成される。

【0032】

図４は、制御装置６の制御部６２の制御系統の構成を示す機能ブロック図である。制御部６２は、記憶部６３からロボット制御プログラム６３ａをメモリ６４に読み出して展開することによって、各種機能を実現する。具体的には、制御部６２は、目標設定部６５と動作制御部６６と補正部６７として機能する。

【0033】

目標設定部６５は、ロボットアーム２及びハンド３の目標位置（以下、「ロボットアーム２等の目標位置」という）、並びに、保持アクチュエータ３５を動作及び動作解除させるときのロボットアーム２及びハンド３の目標位置（以下、「保持アクチュエータ３５の動作目標位置」という）を設定する。目標設定部６５は、記憶部６３から教示データを読み出し、教示データに従って、ロボットアーム２等の目標位置及び保持アクチュエータ３５の動作目標位置を生成する。教示データは、ロボットアーム２及びハンド３の目標軌跡、即ち、目標位置に対応するデータであり得る。また、教示データは、保持アクチュエータ３５を動作させるとき及び動作解除させるときのロボットアーム２及びハンド３の目標位置も含んでいる。この例では、教示データは、ロボットアーム２及びハンド３の目標位置に対応する各電動モータ２４の目標回転位置である。つまり、目標設定部６５は、実質的にロボットアーム２等の目標位置及び保持アクチュエータ３５の動作目標位置として、それらに対応する各電動モータ２４の目標回転位置を設定する。

【0034】

動作制御部６６は、目標設定部６５によって設定された目標位置に従って、電動モータ２４及び保持アクチュエータ３５への指令値を生成して出力する。具体的に、動作制御部６６は、各電動モータ２４の目標回転位置を指令回転位置としてサーボアンプ６１へ出力する。サーボアンプ６１は、指令回転位置に対応するモータ電流を各電動モータ２４へ印加する。サーボアンプ６１は、各電動モータ２４の回転位置が指令回転位置となるようにモータ電流を制御する。また、動作制御部６６は、保持アクチュエータ３５の動作目標位置に対応する指令回転位置をサーボアンプ６１へ出力するタイミングで、保持アクチュエータ３５へ動作指令を出力する。保持アクチュエータ３５は、動作指令に応じて、ワークＷの保持及び保持解除を切り替える。

【0035】

補正部６７は、目標設定部６５によって設定された、ロボットアーム２及びハンド３の目標位置のうちハンド３の目標高さを補正する。この例では、目標位置として電動モータ２４の目標回転位置が設定されているので、ハンド３の目標高さに対応する電動モータ２４の目標回転位置が補正される。具体的には、補正部６７は、目標設定部６５によって設定された第１電動モータ２４ａの目標回転位置を補正する。目標高さが補正された結果、動作制御部６６は、補正後の目標高さに対応する指令値を生成し、指令値をサーボアンプ６１へ出力する。詳しくは、補正部６７は、ハンド３の目標高さをハンド３によって保持するワークＷに応じて補正する。例えば、補正部６７は、ワークＷの重量が重いほどハンド３の目標高さが高くなるように目標高さを補正する。

【0036】

続いて、ロボットシステム１００の動作例について説明する。例えば、制御装置６は、第１ボックス１１１に配置されたワークＷをピッキングして第２ボックス１１２まで搬送する搬送動作をロボット１に実行させる。図５は、第１ボックス１１１又は第２ボックス１１２におけるワークＷを示す模式図である。図６は、搬送動作のフローチャートである。

【0037】

この例では、ワークＷは、図５に示すように、第１ボックス１１１又は第２ボックス１１２においてステージ１１３上に載置される。この例では、ワークＷは、ステージ１１３上に単純に載置されているだけである。ステージ１１３は、ワークＷの端部の下面を支持している。

【0038】

制御装置６は、まずステップＳ１０１において、ロボットアーム２及びハンド３の目標位置を設定する。具体的には、目標設定部６５は、記憶部６３に記憶された教示データに基づいて、搬送動作におけるロボットアーム２及びハンド３の目標位置に対応する各電動モータ２４の目標回転位置を設定する。

【0039】

次に、制御装置６は、ステップＳ１０２において、ハンド３を所定の開始位置へ移動させる。開始位置におけるハンド３の目標高さは、第１ボックス１１１におけるワークＷの高さ（以下、「ワーク高さＺ０」という）よりも低く且つ、第１ボックス１１１内においてワークＷの下方に進入できる高さである。開始位置における目標高さを「第１目標高さＺ１」と称する。制御装置６は、各電動モータ２４へモータ電流を印加することによって、ロボットアーム２及びハンド３を開始位置に位置させる。

【0040】

ロボット１の場合、第１電動モータ２４ａがハンド３の高さを調整し、第２電動モータ２４ｂがハンド３の水平方向位置を調整する。図７は、第１電動モータ２４ａへのモータ電流及びハンド３の高さを示すグラフである。ここでは、各第２電動モータ２４ｂへのモータ電流及びハンド３の水平方向の位置の図示は省略する。サーボアンプ６１は、第１電動モータ２４ａの回転位置が第１目標高さＺ１に対応する位置になるように第１電動モータ２４ａのモータ電流を調整する。その結果、ハンド３の実際の高さ（以下、「実高さ」という）は、第１目標高さＺ１と略同じ高さに調整される。

【0041】

続いて、制御装置６は、ステップＳ１０３において、ロボット１に第１水平移動を実行させる。第１水平移動では、ロボットアーム２は、ハンド３を第１ボックス１１１内におけるワークＷの下方まで水平方向へ移動させる。制御装置６は、第２電動モータ２４ｂを制御することによってリンク２２を動作させ、ハンド３を第１ボックス１１１内のワークＷの下方へ移動させる。第１水平移動中は、ハンド３の高さは変更されないので、第１電動モータ２４ａへのモータ電流は、図７に示すように、開始位置に位置するときからほとんど変化しない。

【0042】

ハンド３が第１ボックス１１１内のワークＷの下方へ移動すると、制御装置６は、ステップＳ１０４においてロボット１に上昇動作を実行させる。図８は、上昇動作におけるハンド３を説明するための模式図である。上昇動作では、ロボット１は、ハンド３を第１目標高さＺ１から第２目標高さＺ２まで上方へ移動させる。第２目標高さＺ２は、例えば、第１ボックス１１１内のステージ１１３よりも高い高さである。この例では、上昇動作においては、制御装置６は、ハンド３が等速で上昇する等速動作をロボットアーム２及びハンド３に実行させる。制御装置６は、第１電動モータ２４ａへのモータ電流を調整することによってハンド３の上昇速度を制御する。制御装置６は、ハンド３の上昇速度が所定の目標速度に達するまではモータ電流を増大させ、上昇速度が目標速度に達するとモータ電流を制御して目標速度を略一定に維持する。ステップＳ１０４は、ワークを保持するハンドが連結されたロボットアームを動作させて、前記ハンドの位置制御を行うことに相当する。

【0043】

制御装置６は、上昇動作中に第１電動モータ２４ａのモータ電流を電流センサ６１ａによって検出する。制御装置６は、検出されたモータ電流、即ち、電流値（以下、「検出電流値」という）を記憶部６３又はメモリ６４に記録していく。尚、制御装置６は、上昇動作中に限らず、搬送動作中に第１電動モータ２４ａのモータ電流の電流値を検出及び記録してもよい。

【0044】

ハンド３の上昇動作が継続すると、図８に示すように、ハンド３は、第１目標高さＺ１から第２目標高さＺ２に達するまでの間にワークＷの位置を通過する。このとき、ハンド３は、ワークＷをステージ１１３から取り上げる。ワークＷは、ハンド３上に載置された状態となる。尚、ハンド３は、少なくともハンド３がワークＷを取る前後においては実質的に等速で上昇しているので、ハンド３は、ワークＷを安定的に取り上げる。

【0045】

制御装置６は、上昇動作中に第１電動モータ２４ａのモータ電流の変動を監視し、ステップＳ１０５において、モータ電流の変動量が所定の閾値以上か否かを判定する。モータ電流の変動量が閾値未満の場合には、制御装置６は、ステップＳ１０５を繰り返す。モータ電流の変動量が閾値以上の場合には、制御装置６は、ステップＳ１０６へ進み、ハンド３の目標高さを補正する。ステップＳ１０６は、前記位置制御における前記ハンドの目標高さを前記ハンドによって保持するワークに応じて補正することに相当する。

【0046】

詳しくは、制御装置６は、上昇動作中に、記憶部６３又はメモリ６４に記録された検出電流値の移動平均値である平均電流値を求めている。制御装置６の補正部６７は、ステップＳ１０５において、平均電流値の計時変化において平均電流値の変動量が所定の閾値以上になるか否かを判定する。閾値は、ハンド３がワークＷを取ることに起因する平均電流値の変動量に相当する値である。例えば、閾値は、ロボット１で扱う、最軽量のワークＷをハンド３が取ることに起因する平均電流値の変動量に相当する値である。

【0047】

平均電流値の変動量が閾値未満の場合には、補正部６７は、ステップＳ１０５を繰り返し、平均電流値の変動量が閾値以上となるまで待機する。

【0048】

平均電流値の変動量が閾値以上の場合には、補正部６７は、ステップＳ１０６において、変動量が閾値以上となった直前の平均電流値を第１電流値Ｉａとし、変動量が閾値以上となったときの平均電流値を第２電流値Ｉｂとし、ハンド３の目標高さの補正量ΔＺを以下の式（１）によって求める。

【0049】

ΔＺ＝Ｋ×（Ｉｂ－Ｉａ） ・・・（１）
ここで、Ｋは、補正係数であり、記憶部６３に予め保存されている。Ｉｂ－Ｉａは、ハンド３がワークＷを取ることに起因する、第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動量ΔＩである。このモータ電流の変動は、ハンド３がワークＷを取ることによって生じする。そのため、第１電流値Ｉａは、ハンド３がワークＷを取っていない場合のモータ電流の電流値である。第２電流値Ｉｂは、ハンド３がワークＷを取った後のモータ電流の電流値である。この例では、第１電流値Ｉａ及び第２電流値Ｉｂは、一連の搬送動作中、即ち、同じ搬送動作中におけるハンド３がワークＷを取る前の実際のモータ電流の電流値である。また、第１電流値Ｉａは、ハンド３がワークＷを取る直前の電流値であり、第２電流値Ｉｂは、ハンド３がワークＷを取った直後の電流値であるので、第１電流値Ｉａ及び第２電流値Ｉｂは、ハンド３が略等速で上昇しているときのモータ電流の電流値である。

【0050】

補正部６７は、ハンド３の第２目標高さＺ２を補正量ΔＺで補正する。具体的には、補正部６７は、第２目標高さＺ２を補正量ΔＺだけ高くする。より詳しくは、補正部６７は、第１電動モータ２４ａの目標回転位置を補正量ΔＺに対応する回転量で補正する。つまり、補正部６７は、ハンド３がワークＷを取った後であってワークＷを第２ボックス１１２内のステージ１１３に置くまでの間に第２目標高さＺ２を補正する。

【0051】

また、制御装置６は、ステップＳ１０７において、保持アクチュエータ３５を動作させて、ハンド３にワークＷを保持させる。制御装置６は、ハンド３の位置を制御しているので、ハンド３がワークＷの高さを概ね過ぎるタイミングを知っている。制御装置６は、ハンド３がワークＷの高さを過ぎた後、即ち、ハンド３がワークＷを取った後のタイミングで保持アクチュエータ３５を動作させる。尚、保持アクチュエータ３５の動作タイミングは、ハンド３がワークＷを取った後であれば、ハンド３の目標高さの補正前であってもよい。

【0052】

図７に示すように、第１電動モータ２４ａへのモータ電流は、ハンド３がワークＷを取ることに起因して変動する。詳しくは、第１電動モータ２４ａの目標回転位置を実現するためのモータ電流は、ワークＷの重量の分だけ増加する。このワークＷの重量に起因するモータ電流の増加分が、モータ電流の変動量ΔＩとなる。モータ電流の変動量ΔＩは、ワークＷの重量に応じて変化する。ワークＷの重量が重くなれば、モータ電流の変動量ΔＩも大きくなる。モータ電流の変動量ΔＩは、ワークＷの重量に略比例する。

【0053】

一方、制御装置６は、ハンド３の高さを第１電動モータ２４ａの回転位置によって制御している。そのため、ハンド３の目標高さを実現するための第１電動モータ２４ａの目標回転位置は、ロボットアーム２及びハンド３の寸法、撓み及びガタツキ等を考慮して決定されている。ところが、ハンド３がワークＷを取ると、ハンド３の重量がワークＷの分だけ見かけ上重くなる。第１電動モータ２４ａの回転位置が同じであっても、ハンド３がワークＷを持っているか否かによって、ロボットアーム２及びハンド３の撓み及びガタツキ等が変動し、ハンド３の実高さが異なり得る。つまり、第１電動モータ２４ａの回転位置に対応するハンド３の実高さは、ハンド３がワークＷを取ることに起因して変動する。図９は、ハンド３の目標高さを補正しない場合の搬送動作中の第１電動モータ２４ａへのモータ電流及びハンド３の高さを示すグラフである。ハンド３がワークＷを取ることによって、第１電動モータ２４ａの目標回転位置を実現するための回転トルクが増大するので、図７と同様に、モータ電流が増大する。モータ電流がワークＷの重量に応じて増大するものの、目標回転位置は補正されない。第１電動モータ２４ａは目標回転位置を実現するように動作する。しかしながら、ワークＷの重量によってロボットアーム２及びハンド３の撓み及びガタツキが大きくなるので、第１電動モータ２４ａの目標回転位置に対応するハンド３の実高さはワークＷを取る前に比べて低くなる。つまり、ハンド３の実高さは、第１電動モータ２４ａの目標回転位置に対応する目標高さよりも低くなってしまう。

【0054】

ワークＷの重量に起因するハンド３の実高さの変動量は、ワークＷの重量に略比例する。ワークＷの重量が重くなれば、ハンド３の実高さの変動量も大きくなる。前述の如く、モータ電流の変動量ΔＩも、ワークＷの重量に略比例する。つまり、ワークＷの重量に起因するハンド３の実高さの変動量は、モータ電流の変動量ΔＩに略比例する。そのため、制御装置６は、式（１）に示すように、モータ電流の変動量ΔＩに補正係数Ｋを乗じて補正量ΔＺを求める。制御装置６は、第２目標高さＺ２を補正量ΔＺを加算することによって第２目標高さＺ２’に補正する。制御装置６は、第１電動モータ２４ａが補正後の第２目標高さＺ２’に対応する目標回転位置に位置するようにモータ電流を調整する。結果として、ハンド３の実高さは、目標高さを補正しない場合に比べて高くなり、補正前の第２目標高さＺ２に近づく。つまり、補正後の第２目標高さＺ２’は、制御上の目標高さであり、実際のハンド３の目標高さは、補正前の第２目標高さＺ２のままである。尚、補正により第２目標高さＺ２’が高くなるので、ハンド３が上昇する時間が長くなり、その分、第１電動モータ２４ａへのモータ電流が大きい期間も増大する。

【0055】

制御上、ハンド３が補正後の第２目標高さＺ２’に達すると、即ち、第１電動モータ２４ａの回転位置が第２目標高さＺ２’に対応する目標回転位置に達すると、制御装置６は、ステップＳ１０８において、ロボット１に第２水平移動を実行させる。第２水平移動では、ロボットアーム２は、ハンド３を第１ボックス１１１から第２ボックス１１２内におけるステージ１１３の上方まで水平方向へ移動させる。制御装置６は、第２電動モータ２４ｂを制御することによってリンク２２を動作させ、ハンド３を第２ボックス１１２内へ移動させる。図７に示すように、第２水平移動中は、第１電動モータ２４ａへのモータ電流は、ほとんど変化しない。つまり、ハンド３の実高さは、補正前の第２目標高さＺ２と略同じままである。

【0056】

ハンド３が第２ボックス１１２内のステージ１１３の上方へ移動すると、制御装置６は、ステップＳ１１０においてロボット１に下降動作を実行させる。下降動作では、ロボット１は、ハンド３を補正後の第２目標高さＺ２’から第１目標高さＺ１まで下方へ移動させる。この例では、下降動作においては、制御装置６は、ハンド３が等速で下降する等速動作をロボットアーム２及びハンド３に実行させる。制御装置６は、第１電動モータ２４ａへのモータ電流を調整することによってハンド３の下降速度を制御する。尚、図７及び図９においては、下降動作を省略している。

【0057】

その後、ハンド３が下降していくと、やがてワークＷにステージ１１３に接触する。ワークＷがステージ１１３に接触する前のタイミングで、制御装置６は、ステップＳ１１０において、保持アクチュエータ３５の動作を停止させ、ハンド３にワークＷの保持を解除させる。ハンド３がワークＷの保持を解除した後に、ワークＷがハンド３からステージ１１３へ受け渡される。ハンド３が第１目標高さＺ１まで下降すると、搬送動作が終了する。

【0058】

このような搬送動作によれば、位置制御におけるハンド３の目標高さがハンド３によって保持されるワークＷに応じて補正される。ロボットアーム２及びハンド３の撓み等は、少なくともワークＷの重量に依存する。ロボット１が扱うワークＷの種類が１つだけの場合には、ハンド３の高さ位置はワークＷに応じて変動しない。制御装置６は、ハンド３の目標高さをワークＷに応じて補正するので、ワークＷの重量が変わってもハンド３の目標高さが適切に補正される。例えば、ロボットシステム１００が複数種類のワークＷを搬送する場合には、ハンド３の目標高さの補正量がワークＷの重量に応じて調整される。その結果、どの種類のワークＷに対してもハンド３の位置精度を向上させることができる。

【0059】

さらに、制御装置６は、ワークＷに応じた補正量の調整を自動的に行う。ユーザは、ワークＷが変更されるたびに補正量等を設定し直す必要がない。具体的には、制御装置６は、ハンド３がワークＷを取ることに起因する、第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動に基づいて目標高さを補正する。ハンド３がワークＷを取ると、第１電動モータ２４ａへのモータ電流はワークＷの重量に応じて変動する。つまり、ハンド３がワークＷを取った後の第１電動モータ２４ａへのモータ電流は、ワークＷの重量を反映している。第１電動モータ２４ａへのモータ電流は搬送動作中に制御装置６が取得できるため、ユーザからのワークＷの種類又は重量等の入力なしに、制御装置６は、ハンド３の目標高さの補正量を自動的に決定することができる。

【0060】

また、制御装置６は、ハンド３がワークＷを取る前の第１電動モータ２４ａへのモータ電流も搬送動作中に取得している。制御装置６は、一連の搬送動作中、即ち、同じ搬送動作中にハンド３がワークＷを取る前の実際のモータ電流とハンド３がワークＷを取った後の実際のモータ電流とを取得し、それらのモータ電流の変動量に基づいてハンド３の目標高さの補正量を決定している。そのため、ユーザは、ハンド３がワークＷを取る前の第１電動モータ２４ａへのモータ電流も制御装置６へ入力する必要がない。さらに、ハンド３がワークＷを取る前の実際のモータ電流とハンド３がワークＷを取った後の実際のモータ電流とが同じ条件下で取得されるため、制御装置６は、ワークＷの重量を適切に反映した、目標高さの補正を実現することができる。

【0061】

このとき、制御装置６は、ハンド３がワークＷを取る前後でハンド３の高さ位置が等速に変化する等速動作をロボットアーム２及びハンド３に実行させている。つまり、ハンド３がワークＷを取る前後において、ワークＷの重量以外の要因での第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動を低減することができる。これにより、制御装置６は、ワークＷの重量をより適切に反映した、目標高さの補正を実現することができる。

【0062】

《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。

【0063】

例えば、ロボット１は、基板搬送に使用されるものに限定されない。ロボット１は、半導体を処理できる程度のクリーン環境での使用に限定されるものではない。ロボット１は、生産ライン等に組み込まれてもよい。

【0064】

ロボット１は、水平多関節ロボットに限定されない。例えば、ロボット１は、垂直多関節ロボットであってもよい。ロボット１は、ハンドが連結されたロボットアームを有していればよい。

【0065】

ロボットアーム２は、複数のリンク２２で構成されていなくてもよい。ロボットアーム３２分割されている場合、ロボットアーム２の分割数、即ち、リンク２２の個数は、３に限定されない。ロボットアーム２は、２又は４以上のリンク２２を有していてもよい。

【0066】

ハンド３の構成は、前述の構成に限定されない。例えば、ハンド３のワークの保持は、爪による把持に限定されない。例えば、ハンド３は、吸着によってワークを保持し得る。ハンド３は、ワークを単に下から支持するだけ、即ち、ワークを載せるだけでワークを保持し得る。ハンド３は、複数の指によってワークを把持してもよい。

【0067】

ハンド３の目標高さの補正は、前述の方法に限定されない。例えば、第１電動モータ２４ａの変動量は、前述の方法で求められる値に限定されない。モータ電流は、移動平均値に限定されず、平均処理されていない値であってもよい。また、第１電流値Ｉａと第２電流値Ｉｂは、変動量が閾値以上となった直前と直後の電流値に限定されない。ハンド３及びワークＷの位置は概ね既知であるので、ハンド３がワークＷを取る前の所定のタイミングの電流値を第１電流値Ｉａとし、ハンド３がワークＷを取った後の所定のタイミングの電流値を第２電流値Ｉｂとしてもよい。

【0068】

また、第１電流値Ｉａは、予め取得された、ハンド３がワークＷを取っていない場合の第１電動モータ２４ａへのモータ電流の電流値であってもよい。尚、第２電流値Ｉｂは、ワークＷの重量を反映するため、実際の搬送動作において取得される。第１電流値Ｉａが予め取得される場合、第１電流値Ｉａの取得条件は、第２電流値Ｉｂの取得条件と近い方が好ましい。そのため、ロボット１に搬送動作と同じ動作をワークＷをピッキングすることなく実行させ、搬送動作において第２電流値Ｉｂが取得されるタイミングで第１電流値Ｉａを取得してもよい。これにより、ワークＷを持っているか否か以外は略同じ条件で第１電流値Ｉａと第２電流値Ｉｂとを取得することができる。

【0069】

また、補正量ΔＺは、式（１）によって求められるものに限定されない。制御装置６は、モータ電流の変動量と目標高さの補正量との関係を規定したテーブルを記憶部６３等に予め保存しておいてもよい。その場合、制御装置６は、モータ電流の変動量を記憶部６３のテーブルに照らし合わせて、目標高さの補正量を求める。また、制御装置６は、モータ電流の変動量に応じて目標高さの補正量を連続的に変化させるものに限定されない。例えば、制御装置６は、モータ電流の変動量に応じて段階的に目標高さの補正量を調整してもよい。例えば、制御装置６は、大きさの異なる複数の目標高さの補正量を予め用意しておき、モータ電流の変動量に応じて何れかの補正量を選択してもよい。

【0070】

また、ハンド３の目標高さを補正するタイミングも任意に設定することができる。前述の例では、モータ電流の変動量が閾値以上になると、制御装置６は、補正量ΔＺを求め、ハンド３の目標高さを補正している。例えば、制御装置６は、ハンド３の高さを第２目標高さＺ２へ制御した後に、第２目標高さＺ２を第２目標高さＺ２’に補正し、ハンド３を第２目標高さＺ２’に位置するように制御してもよい。

【0071】

フローチャートは、一例に過ぎない。フローチャートにおけるステップを適宜、変更、置き換え、付加、省略等を行ってもよい。また、フローチャートにおけるステップの順番を変更したり、直列的な処理を並列的に処理したりしてもよい。例えば、搬送動作のフローチャート（図６）において、ステップＳ１０６の目標高さの補正とステップＳ１０７の保持動作とは、並行して行われてもよいし、順番が入れ替わってもよい。また、ステップＳ１０９の下降とステップ１１０の保持解除の順番が入れ替わってもよい。

【0072】

本明細書中に記載されている構成要素により実現される機能は、当該記載された機能を実現するようにプログラムされた、汎用プロセッサ、特定用途プロセッサ、集積回路、ＡＳＩＣｓ（Application Specific Integrated Circuits）、ＣＰＵ（a Central Processing Unit）、従来型の回路、及び／又はそれらの組合せを含む、回路（circuitry）又は演算回路（processing circuitry）において実装されてもよい。プロセッサは、トランジスタ及びその他の回路を含み、回路又は演算回路とみなされる。プロセッサは、メモリに格納されたプログラムを実行する、プログラマブルプロセッサ（programmed processor）であってもよい。

【0073】

本明細書において、回路（circuitry）、ユニット、手段は、記載された機能を実現するようにプログラムされたハードウェア、又は実行するハードウェアである。当該ハードウェアは、本明細書に開示されているあらゆるハードウェア、又は、当該記載された機能を実現するようにプログラムされた、又は、実行するものとして知られているあらゆるハードウェアであってもよい。

【0074】

当該ハードウェアが回路（circuitry）のタイプであるとみなされるプロセッサである場合、当該回路、手段、又はユニットは、ハードウェアと、当該ハードウェア及び又はプロセッサを構成する為に用いられるソフトウェアの組合せである。

【0075】

本開示の技術をまとめると、以下のようになる。

【0076】

［１］ロボットシステム１００は、ワークＷを保持するハンド３と前記ハンド３が連結されたロボットアーム２とを有するロボット１と、前記ロボットアーム２を動作させて、前記ハンド３の位置制御を行う制御装置６とを備え、前記制御装置６は、前記位置制御における前記ハンド３の目標高さを前記ハンド３によって保持されるワークＷに応じて補正する。

【0077】

この構成によれば、ワークＷを取得することによって生じるロボットアーム２及びハンド３の撓みは、ワークＷの重量によって異なる。つまり、ハンド３の高さは、ワークＷの重量に応じて変動し得る。ハンド３の目標高さをワークＷに応じて補正することによって、ワークＷの重量に応じたハンド３の高さの変動を低減することができる。ワークＷの重量が変わっても、ハンド３の高さの位置精度を安定させることができる。その結果、ハンド３の高さの位置精度を向上させることができる。

【0078】

［２］ ［１］のロボットシステム１００において、前記ロボットアーム２は、前記ハンド３の高さ位置を変更する第１電動モータ２４ａを有し、前記制御装置６は、前記ハンド３がワークＷを取ることに起因する、前記第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動に基づいて前記目標高さを補正する。

【0079】

この構成によれば、ハンド３がワークＷを取ると、第１電動モータ２４ａへのモータ電流は、ワークＷの重量に応じて変動する。つまり、ワークＷを取ることに起因する、第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動は、ワークＷの重量を反映している。このモータ電流の変動に基づいてハンド３の目標高さを補正することによって、ワークＷに応じたハンド３の目標高さの補正を実現することができる。

【0080】

［３］ ［１］又は［２］に記載のロボットシステム１００において、前記制御装置６は、予め取得された、前記ハンド３がワークＷを取っていない場合の第１電動モータ２４ａへの前記モータ電流と前記ハンド３がワークＷを取った後の実際の第１電動モータ２４ａへの前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正する。

【0081】

この構成によれば、ハンド３がワークＷを取っていない場合の第１電動モータ２４ａへのモータ電流、即ち、第１電流値Ｉａは、予め取得されている。一方、ハンド３がワークＷを取った後の第１電動モータ２４ａへのモータ電流、即ち、第２電流値Ｉｂは、ハンド３の位置制御中に実際のモータ電流の電流値が取得される。第２電流値Ｉｂは、ハンド３が取ったワークＷの重量に応じて変化する。一方、第１電流値Ｉａは、ワークＷの影響を受けない。そのため、第１電流値Ｉａは、予め取得しておくことができる。これにより、実際の位置制御における補正時の処理を簡便にすることができる。

【0082】

［４］ ［１］又は［２］のロボットシステム１００において、前記制御装置６は、前記位置制御によって前記ハンド３がワークＷを取って搬送する一連の動作における、前記ハンド３がワークＷを取る前の実際の前記モータ電流と前記ハンド３がワークＷを取った後の実際の前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正する。

【0083】

この構成によれば、ハンド３がワークＷを取っていない場合の第１電動モータ２４ａへのモータ電流、即ち、第１電流値Ｉａも、ハンド３がワークＷを取っている場合の第１電動モータ２４ａへのモータ電流、即ち、第２電流値Ｉｂも、実際の一連の搬送動作中に取得される。この場合、事前にモータ電流の電流値を取得しておく必要が無いので、その点において補正の処理が簡便になる。

【0084】

［５］ ［２］乃至［４］の何れか１つに記載のロボットシステム１００において、前記制御装置６は、前記ハンド３がワークＷを取る前後において前記ハンド３の高さ位置が等速に変化する等速動作を前記ロボットアーム２及び前記ハンド３に実行させ、前記等速動作中における、前記ハンド３がワークＷを取る前の実際の前記モータ電流と前記ハンド３がワークＷを取った後の実際の前記モータ電流との変動量に基づいて、前記目標高さを補正する。

【0085】

この構成によれば、ハンド３がワークＷを取る前後において第１電動モータ２４ａへのモータ電流が安定する。これにより、ハンド３がワークＷを取ることに起因する、第１電動モータ２４ａへのモータ電流の変動を安定的に取得することができる。つまり、第１電流値Ｉａと第２電流値Ｉｂとをモータ電流が比較的安定した状態で取得することができる。これにより、モータ電流の変動に基づいたハンド３の高さ位置の補正を精度よく行うことができる。

【0086】

［６］ ［２］に記載のロボットシステム１００において、前記制御装置６は、前記ハンド３がワークＷを取った後に前記目標高さを補正する。

【0087】

この構成によれば、ハンド３がワークＷを取った後にハンド３の目標高さが補正される。つまり、ハンド３がワークＷを取る前後で、第１電動モータ２４ａへのモータ電流が変動し得る。そのため、ハンド３がワークＷを取った後に目標高さが補正される。

【0088】

［７］ ［１］乃至［６］の何れか１つに記載のロボットシステム１００において、前記ロボットアーム２は、水平方向へ回転可能に連結された複数のリンク２２を有する。

【0089】

この構成によれば、ロボット１は、いわゆる水平多関節ロボットである。前述のハンド３の目標高さの補正を行うことによって、水平多関節ロボットにおけるハンド３の高さの位置精度をより一層向上させることができる。

【0090】

［８］ ［１］乃至［６］の何れか１つに記載のロボットシステム１００において、前記ハンド３は、ワークＷとして基板を保持する。

【0091】

この構成によれば、ロボット１は、基板を搬送する。例えば、半導体ウェハの取り扱いには、高い位置精度が要求される。ロボット１によれば、半導体ウェハ等の基板の重量に応じて、ハンド３の実高さが適切に調整されるので、高い位置精度で基板を搬送することができる。

【0092】

［９］ ［１］乃至［６］の何れか１つに記載のロボットシステム１００において、前記ハンド３は、複数種類のワークＷの何れかを保持する。

【0093】

この構成によれば、ロボット１は、複数種類のワークＷを扱う。ハンド３は、複数種類のワークＷの中から選択されたワークＷを保持する。制御装置６がハンド３の目標高さをワークＷに応じて補正するので、ハンド３が保持するワークＷの種類が異なっても、ハンド３の高さの位置精度の悪化が抑制される。

【0094】

［１０］ロボット制御方法は、ワークＷを保持するハンド３が連結されたロボットアーム２を動作させて、前記ハンド３の位置制御を行うことと、前記位置制御における前記ハンド３の目標高さを前記ハンド３によって保持するワークＷに応じて補正することとを含む。

【0095】

この構成によれば、ハンド３の目標高さをワークＷに応じて補正することによって、ワークＷの重量に応じたハンド３の高さの変動を低減することができる。ワークＷの重量が変わっても、ハンド３の高さの位置精度を安定させることができる。その結果、ハンド３の高さの位置精度を向上させることができる。

【0096】

［１１］ワークＷを保持するハンド３と前記ハンド３が連結されたロボットアーム２とを有するロボット１を制御する機能を制御装置６（コンピュータ）に実現させるためのロボット制御プログラム６３ａは、前記ロボットアーム２を動作させて、前記ハンド３の位置制御を行う機能と、前記位置制御における前記ハンド３の目標高さを前記ハンド３によって保持するワークＷに応じて補正する機能とを制御装置６に実現させる。

【0097】

この構成によれば、ハンド３の目標高さをワークＷに応じて補正することによって、ワークＷの重量に応じたハンド３の高さの変動を低減することができる。ワークＷの重量が変わっても、ハンド３の高さの位置精度を安定させることができる。その結果、ハンド３の高さの位置精度を向上させることができる。

【符号の説明】

【0098】

１００ ロボットシステム
１ ロボット
２ ロボットアーム
２２ リンク
２４ａ 第１電動モータ（電動モータ）
３ ハンド
６ 制御装置
６３ａ ロボット制御プログラム
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】