特開 2024-71046 成形品質の評価方法、成形品の検査方法、成形品質の評価装置及び成形品の検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024071046

(43)【公開日】2024-05-24

(54)【発明の名称】成形品質の評価方法、成形品の検査方法、成形品質の評価装置及び成形品の検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/22 20060101AFI20240517BHJP

   G01N 27/24 20060101ALI20240517BHJP

【ＦＩ】

G01N27/22 C

G01N27/24

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022181772

(22)【出願日】2022-11-14

(71)【出願人】

【識別番号】504409543

【氏名又は名称】国立大学法人秋田大学

(71)【出願人】

【識別番号】000006208

【氏名又は名称】三菱重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】村岡 幹夫

(72)【発明者】

【氏名】山口 誠

(72)【発明者】

【氏名】神原 信幸

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼木 清嘉

(72)【発明者】

【氏名】松山 大樹

(72)【発明者】

【氏名】加茂 宗太

【テーマコード（参考）】

2G060

【Ｆターム（参考）】

2G060AA11

2G060AD05

2G060AE01

2G060AE24

2G060AF03

2G060AF10

2G060AG03

2G060AG11

2G060EA07

2G060HA02

2G060HC15

2G060KA14

(57)【要約】

【課題】成形品の成形品質に影響を与えることなく、成形品質を好適に評価する。
【解決手段】樹脂を含む成形品の成形品質を評価する成形品質の評価方法において、前記成形品の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップと、前記成形品の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップと、前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップと、前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップと、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

樹脂を含む成形品の成形品質を評価する成形品質の評価方法において、
前記成形品の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップと、
前記成形品の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップと、
前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップと、
前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップと、を備える成形品質の評価方法。

【請求項2】

前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップと、
前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップと、をさらに備え、
前記成形品質の評価を実行するステップでは、前記健全評価値及び前記不良評価値と前記計測評価値とに基づいて、前記成形品質の評価を実行する請求項１に記載の成形品質の評価方法。

【請求項3】

前記樹脂は、熱硬化性樹脂であり、
前記基準状態は、前記熱硬化性樹脂の架橋反応前の状態、または、前記熱硬化性樹脂の架橋開始時の状態であり、
前記成形状態は、前記熱硬化性樹脂の架橋開始後に所定の時間が経過した状態である請求項１に記載の成形品質の評価方法。

【請求項4】

前記基準状態は、前記熱硬化性樹脂のガラス転移温度よりも低い温度の状態であり、
前記成形状態は、前記熱硬化性樹脂のガラス転移温度以上となる温度の状態である請求項３に記載の成形品質の評価方法。

【請求項5】

前記キャパシタンス値は、所定の測定周波数となる交流信号を印加することで取得しており、
前記測定周波数は、１０Ｈｚ以上１０ｋＨｚよりも小さい帯域となっている請求項３に記載の成形品質の評価方法。

【請求項6】

前記成形品は、第１の被接着体と第２の被接着体とを接着剤を介して接着した接着体であり、
前記成形品質は、前記接着剤の接着品質である請求項１に記載の成形品質の評価方法。

【請求項7】

前記成形品質の評価を実行するステップでは、
前記接着品質として、ウィークボンド、キッシングボンド、ポロシティボイドを含む接着不良の発生を評価する請求項６に記載の成形品質の評価方法。

【請求項8】

前記基準値を取得するステップ及び前記計測値を取得するステップでは、
前記成形品の複数の箇所においてキャパシタンス値を計測し、
前記計測評価値を導出するステップでは、
前記成形品の複数の箇所において前記計測評価値を導出し、
前記成形品質の評価を実行するステップでは、
複数の前記計測評価値に基づいて、前記成形品における前記成形品質の分布を評価する請求項１に記載の成形品質の評価方法。

【請求項9】

請求項１から８のいずれか１項に記載の成形品質の評価方法の評価結果に基づいて、成形品の成形品質を検査する成形品の検査方法であって、
前記成形品の要求強度を満足する強度評価値が予め取得されており、
前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップと、
前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップと、
前記成形品質の評価方法において導出された前記計測評価値を取得するステップと、
取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップと、を備え、
前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される成形品の検査方法。

【請求項10】

樹脂を含む成形品の成形品質を評価する成形品質の評価装置において、
前記成形品にキャパシタを形成するために配置される一対の電極と、
前記一対の電極間におけるキャパシタンス値を計測すると共に、計測した前記キャパシタンス値に基づいて前記成形品の前記成形品質の評価を実行する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記成形品の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップと、
前記成形品の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップと、
前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップと、
前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップと、を実行する成形品質の評価装置。

【請求項11】

前記一対の電極は、金属薄膜である請求項１０に記載の成形品質の評価装置。

【請求項12】

前記一対の電極は、前記成形品の複数の箇所に設けられる請求項１０に記載の成形品質の評価装置。

【請求項13】

前記成形品を内部に収容するバギングフィルムと、
前記一対の電極間を絶縁状態に保つ絶縁スペーサと、をさらに備え、
前記一対の電極は、前記バギングフィルムの内側に形成された一対の電極層である請求項１０に記載の成形品質の評価装置。

【請求項14】

前記成形品を内部に収容するバギングフィルムを、さらに備え、
前記一対の電極は、前記バギングフィルムの外側に設けられる請求項１０に記載の成形品質の評価装置。

【請求項15】

前記一対の電極は、前記成形品の内部に設けられる金属メッシュと、前記成形品の成形時に用いられる金属治具との少なくとも一方を含む請求項１０に記載の成形品質の評価装置。

【請求項16】

請求項１０から１５のいずれか１項に記載の成形品質の評価装置の評価結果に基づいて、成形品の成形品質を検査する成形品の検査装置であって、
前記成形品の要求強度を満足する強度評価値を記憶する記憶部と、
前記強度評価値に基づいて、前記成形品が前記要求強度を満足するか否かを判定する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップと、
前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップと、
前記成形品質の評価装置において導出された前記計測評価値を取得するステップと、
取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップと、を実行し、
前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される成形品の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、成形品質の評価方法、成形品の検査方法、成形品質の評価装置及び成形品の検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、ウィークボンド（WeakBond）接着を非破壊的な手法で検査して接合部の接合状態を評価する接合部評価方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。この接合部評価方法では、接合部に交流信号を印加し、交流信号の周波数を変化させて測定することにより得られた電流値及び電圧値から、所定の電気特性に関する評価値を導出している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－８３３００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の接合部評価方法では、印加する交流信号の周波数が高周波であるため、接合部の形状の差異からくる誤差因子が大きく、例えば、形状誤差として、接合部の厚さが数十μｍ異なったり、形状寸法がｍｍ単位で変化したりするだけで、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）の悪影響により適切な評価値を検出することが困難となる。また、他の評価方法として、成形後の接合部を加熱して成形品質を評価することも検討されているが、この場合、接合部の成形品質に影響を与える恐れがある。

【0005】

そこで、本開示は、成形品の成形品質に影響を与えることなく、成形品質を好適に評価することができる成形品質の評価方法、成形品の検査方法、成形品質の評価装置及び成形品の検査装置を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の成形品質の評価方法は、樹脂を含む成形品の成形品質を評価する成形品質の評価方法において、前記成形品の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップと、前記成形品の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップと、前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップと、前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップと、を備える。

【0007】

本開示の成形品の検査方法は、上記の成形品質の評価方法の評価結果に基づいて、成形品の成形品質を検査する成形品の検査方法であって、前記成形品の要求強度を満足する強度評価値が予め取得されており、前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップと、前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップと、前記成形品質の評価方法において導出された前記計測評価値を取得するステップと、取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップと、を備え、前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される。

【0008】

本開示の成形品質の評価装置は、樹脂を含む成形品の成形品質を評価する成形品質の評価装置において、前記成形品にキャパシタを形成するために配置される一対の電極と、前記一対の電極間におけるキャパシタンス値を計測すると共に、計測した前記キャパシタンス値に基づいて前記成形品の前記成形品質の評価を実行する制御部と、を備え、前記制御部は、前記成形品の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップと、前記成形品の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップと、前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップと、前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップと、を実行する。

【0009】

本開示の成形品の検査装置は、上記の成形品質の評価装置の評価結果に基づいて、成形品の成形品質を検査する成形品の検査装置であって、前記成形品の要求強度を満足する強度評価値を記憶する記憶部と、前記強度評価値に基づいて、前記成形品が前記要求強度を満足するか否かを判定する制御部と、を備え、前記制御部は、前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップと、前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップと、前記成形品質の評価装置において導出された前記計測評価値を取得するステップと、取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップと、を実行し、前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、成形品の成形品質に影響を与えることなく、成形品質を好適に評価することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。

【図2】図２は、実施形態１に係る成形品質の評価方法に関するフローチャートの一例である。

【図3】図３は、時間に応じて変化する評価値に関するグラフである。

【図4】図４は、実施形態１に係る成形品質の評価方法に関するフローチャートの一例である。

【図5】図５は、実施形態１に係る成形品の検査方法に関するフローチャートの一例である。

【図6】図６は、測定周波数に応じて変化する、健全評価値に対する不良評価値のグラフである。

【図7】図７は、実施形態２に係る成形品の検査装置の電極の配置に関する説明図である。

【図8】図８は、実施形態３に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。

【図9】図９は、実施形態４に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。

【図10】図１０は、実施形態５に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。

【図11】図１１は、実施形態７に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下に、本開示に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの開示が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能であり、また、実施形態が複数ある場合には、各実施形態を組み合わせることも可能である。

【0013】

［実施形態１］
実施形態１に係る成形品質の評価方法、成形品１の検査方法及び成形品１の検査装置１０は、成形品１の接着部８の接着状態を計測して評価する手法及び装置となっている。なお、実施形態１では、成形品１の検査装置１０が、成形品質の評価を行う評価装置としても機能している。

【0014】

図１は、実施形態１に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。図２及び図４は、実施形態１に係る成形品質の評価方法に関するフローチャートの一例である。図３は、時間に応じて変化する評価値に関するグラフである。図５は、実施形態１に係る成形品の検査方法に関するフローチャートの一例である。先ず、成形品質の評価方法、成形品１の検査方法及び成形品１の検査装置１０の説明に先立ち、成形品１について説明する。

【0015】

（成形品）
成形品１は、第１の被接着体３と第２の被接着体４とを接着剤５を介して接着した接着体であり、第１の被接着体３と第２の被接着体４との接着部分における部位が接着部８となっている。成形品１としては、例えば、接着によって成形される一般的な部品の他、接着によって補修される補修部位であってもよい。また、実施形態１では、接着部８を有する成形品１に適用して説明するが、接着部８を有さない、樹脂成形される樹脂成形品であってもよい。

【0016】

第１の被接着体３及び第２の被接着体４のそれぞれは、複合材となっており、炭素繊維と樹脂とを含む複合材層を積層した積層体となっている。積層体の積層方向は、第１の被接着体３と第２の被接着体４とが対向する対向方向となっている。なお、第１の被接着体３及び第２の被接着体４は、炭素繊維を用いた複合材としたが、特に限定されず、何れの強化繊維を用いてもよい。また、樹脂としては、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。さらに、実施形態１では、第１の被接着体３及び第２の被接着体４を複合材同士としたが、樹脂材同士でもよいし、複合材、金属材及び樹脂材の何れの組み合わせであってもよい。接着剤５は、熱硬化性樹脂であり、架橋反応により熱硬化することで、第１の被接着体３と第２の被接着体４とを接合する。

【0017】

ここで、接着部８には、接着品質が低下する、ウィークボンド（Weak Bond）、キッシングボンド（Kissing Bond）、ポロシティボイド（Porosity void）等が生じる可能性がある。このため、検査装置１０を用いた成形品質の評価方法及び成形品の検査方法では、成形品１の接着部８が健全であるか否かを評価している。つまり、実施形態１では、成形品質として、接着品質を評価しており、接着品質の評価としては、接着不良の発生の有無を評価としている。また、実施形態１では、成形品の検査方法として、要求強度を満たす接着強度となっているか否かの判定を行っている。

【0018】

（成形品の検査装置）
検査装置１０は、図１に示すように、一対の電極１１と、制御装置１２と、を備えている。

【0019】

一対の電極１１は、成形前の成形品１を、対向方向の両側から挟み込んで配置されることで、キャパシタを形成している。このため、一対の電極１１の間には成形品１が誘電体として配置される。各電極１１は、例えば、金属薄膜で形成されており、成形品１の接着部８の全面に亘って配置される。なお、一対の電極１１が配置された成形前の成形品１は、バギングフィルム２０の内部に収容される。そして、バギングフィルム２０の内部が真空吸引されることで、成形品１に大気圧による圧力を付与しつつ、加熱することで、成形品１を熱硬化させる。

【0020】

制御装置１２は、交流電源部１４と、制御部１５と、記憶部１６とを備えている。交流電源部１４は、一対の電極１１間に交流信号を印加する。交流信号は、交流電流または交流電圧である。交流電源部１４は、例えば、ＬＣＲメータである。交流電源部１４は、交流信号の周波数を変化させて、一対の電極１１間へ印加することが可能となっている。交流電源部１４は、制御部１５に接続されており、制御部１５は、所定の周波数となるように、印加する交流信号を制御している。なお、交流電源部１４は、交流信号に直流信号を重畳して、一対の電極１１間に印加してもよい。交流電源部１４は、直流信号を重畳することにより、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）の悪影響を軽減することができるため、一対の電極１１により形成されるキャパシタのキャパシタンス値の計測を精度良く行うことができる。

【0021】

制御部１５は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の集積回路を含んでいる。制御部１５は、接着部８の接着状態を評価する評価処理を実行する。制御部１５は、評価処理において、交流電源部１４を制御することで、交流信号の周波数を変化させる。

【0022】

記憶部１６は、半導体記憶デバイス及び磁気記憶デバイス等の任意の記憶デバイスである。記憶部１６は、各種プログラム及び各種データを記憶している。記憶部１６は、各種データとして、接着部８が健全であると予め評価された成形品の健全評価値と、接着部８が不良であると予め評価された成形品の評価値である不良評価値と、を記憶している。また、記憶部１６は、各種データとして、成形品１の接着部８における要求接着強度を満足する予め取得された強度評価値を記憶している。

【0023】

（成形品質の評価方法）
次に、図２から図４を参照して、成形品１の検査装置１０において実行される成形品質の評価方法の一例について説明する。

【0024】

成形品質の評価方法では、健全な接着部８を有する供試体の評価値である健全評価値と、不良な接着部８を有する供試体の評価値である不良評価値と、を事前に取得している。そして、評価対象となる成形品１の接着部８の評価値である計測評価値を取得し、健全評価値及び不良評価値と計測評価値とに基づいて接着部８の接着状態の評価を行っている。このとき、供試体の健全及び不良な接着部８の形状と、計測対象となる成形品１の接着部８の形状とは、同一形状となっている。ここで、健全な接着部８を有する供試体とは、ウィークボンド、キッシングボンド及びポロシティボイド等の接着不良が発生していないものである。また、不良な接着部８を有する供試体とは、接着不良を模擬した供試体であり、例えば供試体の接着面の全面に離型剤を設けたものである。

【0025】

先ず、図２を参照して、健全評価値及び不良評価値の取得に関する処理について説明する。図２に示すように、成形品質の評価方法では、先ず、制御部１５が、供試体を成形品１の代わりに用いてキャパシタンス値を計測し、健全基準値と、不良基準値と、をそれぞれ取得するステップＳ１１を実行する。ここで、基準値とは、成形品あるいは供試体の基準となる基準状態における接着部８のキャパシタンス値である。健全基準値とは、健全となる接着部８を有する供試体において基準状態における接着部８のキャパシタンス値である。不良基準値とは、不良となる接着部８を有する供試体において基準状態における接着部８のキャパシタンス値である。基準状態は、成形品あるいは供試体の成形前の状態、つまり、接着剤５の架橋反応が起こる前の状態または接着剤５の架橋反応の初期状態であり、接着剤５が未硬化の状態である。具体的に、基準状態は、接着部８における基準となる基準温度として管理され、基準温度は、接着部８の周りの環境温度であり、室内温度となっている。室内温度は、１℃から３５℃となっており、基準温度としては、例えば、３０℃である。

【0026】

また、キャパシタンス値の計測時において印加される交流信号の測定周波数は、１０Ｈｚ以上１０ｋＨｚよりも小さい帯域となっており、所定の周波数に固定した状態でキャパシタンス値が計測される。つまり、ステップＳ１１では、成形前の供試体の周囲における環境温度が、室内温度となっており、この温度を基準温度として、制御部１５は、所定の周波数となる交流信号を一対の電極１１に印加して、供試体の接着部８のキャパシタンス値を、健全基準値あるいは不良基準値として取得する。

【0027】

続いて、成形品質の評価方法では、制御部１５が、健全となる接着部８を有する供試体の計測値である健全計測値と、不良となる接着部８を有する供試体の計測値である不良計測値と、をそれぞれ取得するステップＳ１２を実行する。ここで、計測値とは、基準状態から時間発展させた成形品あるいは供試体の成形状態における接着部８キャパシタンス値である。健全計測値とは、基準状態から時間発展させた成形状態における、健全となる接着部８を有する供試体の接着部８のキャパシタンス値である。不良計測値とは、基準状態から時間発展させた成形状態における、不良となる接着部８を有する供試体の接着部８のキャパシタンス値である。成形状態は、成形品１あるいは供試体の成形中の状態、つまり、接着剤５の架橋反応中の状態であり、接着剤５の硬化が進行する状態である。具体的に、成形状態は、接着部８における成形中の成形温度として管理され、成形温度は、例えば接着剤５のガラス転移温度となっている。つまり、成形温度は、基準温度よりも高い温度となっている。なお、実施形態１では、接着剤５として熱硬化性樹脂を適用したため、温度により成形品１の基準状態及び成形状態を管理したが、これに特に限定されない。接着剤５として常温硬化性樹脂を適用した場合、時間により成形品１あるいは供試体の基準状態及び成形状態を管理してもよい。この場合、成形品１あるいは供試体の成形状態は、成形品１あるいは供試体の基準状態よりも時間経過した状態となっている。

【0028】

ステップＳ１２では、健全計測値及び不良計測値を所定の温度間隔で取得している。また、キャパシタンス値の計測時において印加される交流信号の測定周波数は、ステップＳ１１と同じ周波数となっている。つまり、ステップＳ１２では、成形前の供試体の周囲における環境温度が、成形温度となっており、制御部１５は、所定の周波数となる交流信号を一対の電極１１に印加して、接着部８のキャパシタンス値を、健全計測値及び不良計測値として取得する。

【0029】

続いて、成形品質の評価方法では、制御部１５が、健全計測値を健全基準値でリファレンスした値を健全評価値として導出し、同様に、不良計測値を不良基準値でリファレンスした値を不良評価値として導出するステップＳ１３を実行する。リファレンスとは、計測値を基準値で無次元化することである。ここで、キャパシタンス値Ｃは、誘電率εと形状因子ｆ（ｒ）との積となる、「Ｃ＝ε×ｆ（ｒ）」の式として与えられる。形状因子ｆ（ｒ）は、例えば、一対の電極１１が平行板コンデンサとなる場合、平行板面積Ｓを平行板間の距離ｄで除した、「ｆ（ｒ）＝Ｓ／ｄ」の式として与えられる。基準値をＣ_ｒとし、基準値における誘電率をε_ｒとし、計測値をＣとし、計測値における誘電率をεとする。計測値Ｃを基準値Ｃ_ｒでリファレンス（Ｃ／Ｃ_ｒ）した値である評価値は、形状因子ｆ（ｒ）がキャンセルされることで、「Ｃ／Ｃ_ｒ＝ε／ε_ｒ」となる。つまり、ステップＳ１３では、評価値として、健全評価値と不良評価値とがそれぞれの供試体における「ε／ε_ｒ（誘電率比）」として導出する。

【0030】

図３は、時間発展（温度及び時間を含む）に応じて変化する誘電率比のグラフとなっており、横軸が時間となっており、縦軸が計測値Ｃを基準値Ｃ_ｒでリファレンスした値すなわち誘電率比となっている。図３において、測定周波数は、１００Ｈｚとなっている。図３に示す三角のマークは、温度に応じて変化する不良評価値であり、丸のマークは、温度に応じて変化する健全評価値である。図３に示すように、温度が１２０℃から１８０℃まで上昇する昇温過程において、健全評価値となる誘電率比は、不良評価値となる誘電率比に比べて大きく変化する。特に、健全評価値となる誘電率比のピーク値は、不良評価値となる誘電率比のピーク値に比して大きな値となる。そして、制御部１５は、ステップＳ１３において、図３のように変化する健全評価値及び不良評価値を取得する。

【0031】

なお、強度評価値は、接着部８の接着状態に応じた健全評価値及び不良評価値を含む種々の評価値と、評価値に対応付けられた接着強度とに基づいて設定される。強度評価値は、要求される要求接着強度に対応する評価値がしきい値として設定される。例えば、図３において、強度評価値は、健全評価値と不良評価値との間に設定される。

【0032】

次に、図４を参照して、計測評価値を取得して、計測対象となる成形品１の接着部８の接着状態を評価する処理について説明する。図４に示すように、成形品質の評価方法では、先ず、制御部１５が、計測対象となる接着部８の基準値を取得するステップＳ２１を実行する。ステップＳ２１における基準状態は、ステップＳ１１と同様である。つまり、ステップＳ２１では、接着部８の周りの環境温度が室内温度となっており、この温度を基準温度として、制御部１５は、所定の周波数となる交流信号を一対の電極１１に印加して、接着部８のキャパシタンス値を、基準値として取得する。

【0033】

続いて、成形品質の評価方法では、制御部１５が、計測対象となる接着部８の計測値を取得するステップＳ２２を実行する。ステップＳ２２における成形状態は、ステップＳ１２と同様である。つまり、ステップＳ２２では、接着部８の周りの環境温度が成形温度となっており、制御部１５は、所定の周波数となる交流信号を一対の電極１１に印加して、接着部８のキャパシタンス値を、計測値として取得する。また、ステップＳ２２では、計測値を所定の温度間隔で取得している。

【0034】

続いて、成形品質の評価方法では、制御部１５が、計測値を基準値でリファレンスした値を計測評価値として導出するステップＳ２３を実行する。つまり、ステップＳ２３では、計測評価値として、「ε／ε_ｒ（誘電率比）」が導出される。計測評価値は、例えば、図３に示す健全評価値及び不良評価値のように、温度に応じて変化する誘電率比として取得される。

【0035】

この後、成形品質の評価方法において、制御部１５は、予め取得した健全評価値及び不良評価値と計測評価値とに基づいて、接着部８を評価するステップＳ２４～Ｓ２７を実行する。具体的に、制御部１５は、健全評価値及び不良評価値と計測評価値とを比較する（ステップＳ２４）。制御部１５は、比較結果が健全な範囲であるか否かを判定するステップＳ２５を実行する。ステップＳ２５では、例えば、制御部１５が、健全評価値と不良評価値との間の範囲において、計測評価値及び健全評価値の差分の絶対値と、計測評価値及び不良評価値の差分の絶対値との割合を、接着部８の健全度として評価し、評価した健全度が、予め規定した規定健全度の範囲となっているか否かを判定してもよい。また、ステップＳ２５では、例えば、上記の強度評価値を、接着部８の健全性を評価するしきい値として用いてもよい。さらに、ステップＳ２５では、例えば、時間変化する計測評価値の軌跡と、時間変化する健全評価値及び不良評価値の軌跡と、を比較してもよい。つまり、接着部８の健全性の評価は、予め取得した健全評価値及び不良評価値と計測評価値とに基づく評価であれば、何れの評価手法であってもよい。

【0036】

制御部１５は、ステップＳ２５において、比較結果が健全な範囲であると判定する（ステップＳ２５：Ｙｅｓ）と、接着部８が健全であると評価して（ステップＳ２６）、接着部８の接着状態を評価する処理を終了する。一方で、制御部１５は、ステップＳ２５において、比較結果が健全な範囲でないと判定する（ステップＳ２５：Ｎｏ）と、接着部８が不良、すなわち、ウィークボンド、キッシングボンドまたはポロシティボイド等の接着不良であると評価して（ステップＳ２７）、接着部８の接着状態を評価する処理を終了する。なお、接着不良を精度よく評価する場合には、不良評価値を取得するために用いた供試体として、ウィークボンド、キッシングボンドまたはポロシティボイド等が発生した供試体を用いることが好ましい。

【0037】

なお、実施形態１では、予め取得した健全評価値及び不良評価値と計測評価値とに基づいて接着部８の健全性を評価したが、計測評価値に基づいて健全性評価を実行してもよい。例えば、健全性を判定するためのしきい値を設定し、計測評価値がしきい値を超えたか否かによって接着部８の健全性を評価してもよい。

【0038】

次に、図６を参照し、測定周波数について説明する。図６は、測定周波数に応じて変化する、健全評価値に対する不良評価値のグラフとなっており、横軸が測定周波数（Ｈｚ）となっており、縦軸が不良評価値のピーク値に対する健全評価値のピーク値となっている。具体的に、縦軸は、（健全評価値のピーク値／不良評価値のピーク値）となっている。図６に示すように、測定周波数が１００Ｈｚとなる場合（図３の場合）、健全評価値のピーク値／不良評価値のピーク値は、７程度となっており、健全評価値のピーク値と不良評価値のピーク値とが大きく異なる値となっている。測定周波数が１ｋＨｚとなる場合、健全評価値のピーク値／不良評価値のピーク値は、２～３程度となっており、健全評価値のピーク値と不良評価値のピーク値とが異なる値となっている。測定周波数が１０ｋＨｚ及び１００ｋＨｚとなる場合、健全評価値のピーク値／不良評価値のピーク値は、１程度となっており、健全評価値のピーク値と不良評価値のピーク値とがほぼ同じ値となっている。このため、測定周波数が１０ｋＨｚよりも小さければ、健全評価値のピーク値と不良評価値のピーク値との差分が大きくなるため、計測評価値に基づく健全性の評価を詳細に行うことが可能となる。

【0039】

（成形品の検査方法）
次に、図５を参照して、成形品１の検査装置１０において実行される成形品１の検査方法の一例について説明する。成形品１の検査方法は、接着部８の接着強度を検査する方法となっている。成形品１の検査方法では、事前に取得した強度評価値と、成形品質の評価方法において取得した計測評価値とに基づいて、要求される接着強度を満足するか否かを検査している。

【0040】

図５に示すように、成形品１の検査方法では、先ず、制御部１５が、計測対象となる接着部８の強度評価値を取得するステップＳ３１を実行する。ステップＳ３１では、制御部１５が、記憶部１６に記憶されている強度評価値を取得している。

【0041】

続いて、成形品１の検査方法では、制御部１５が、接着部８の計測評価値を取得するステップＳ３２を実行する。ステップＳ３２では、図４の処理におけるステップＳ２１からステップＳ２３までを実行している。このため、ステップＳ３２についての説明は省略する。

【0042】

この後、成形品１の検査方法では、取得した計測評価値と強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップＳ３３を実行する。ステップＳ３３では、例えば、強度評価値に対して、計測評価値が、健全側の値となっているか、または、不良側の値となっているかに基づいて、検査合格の可否を判定している。制御部１５は、ステップＳ３３において、計測評価値が強度評価値に対して健全側の値になっていると判定する（ステップＳ３３：Ｙｅｓ）と、接着部８が要求接着強度を満足しているとして、検査合格であると判定し（ステップＳ３４）、成形品１の検査方法に関する処理を終了する。一方で、制御部１５は、ステップＳ３３において、計測評価値が強度評価値に対して健全側の値になっていないと判定する（ステップＳ３３：Ｎｏ）と、接着部８が要求接着強度を満足していないとして、検査不合格であると判定し（ステップＳ３５）、成形品１の検査方法に関する処理を終了する。

【0043】

なお、実施形態１では、第１の被接着体３及び第２の被接着体４を複合材同士としたが、金属材同士としてもよい。この場合、第１の被接着体３及び第２の被接着体４が電極として機能し、第１の被接着体３と第２の被接着体４との間の接着剤層が誘電体として機能する。

【0044】

［実施形態２］
次に、図７を参照して、実施形態２について説明する。図７は、実施形態２に係る成形品の検査装置の電極の配置に関する説明図である。なお、実施形態２では、重複した記載を避けるべく、実施形態１と異なる部分について説明し、実施形態１と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0045】

実施形態２の検査装置１０では、一対の電極１１のそれぞれが、接着部８において複数配置されている。具体的に、一対の電極１１は、実施形態１に比して小さいものとなっており、接着部８の一部の面に配置されると共に、一対の電極１１が、接着部８において分布するように複数配置される。なお、複数の一対の電極１１は、例えば、格子状に配置されている。

【0046】

上記のような検査装置１０を用いて、成形品質の評価方法を行う場合、接着部８における計測評価値の分布として取得することができる。このため、接着部８における接着状態を詳細に取得することが可能となる。

【0047】

なお、検査装置１０によって評価した成形品質の評価結果は、成形品１の成形プロセスにおいて用いてもよい。具体的に、成形品１の成形プロセスでは、評価結果に基づいて、成形品１の成形条件を調整することにより、成形品１の成形品質の向上を図ってもよい。

【0048】

［実施形態３］
次に、図８を参照して、実施形態３について説明する。図８は、実施形態３に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。なお、実施形態３でも、重複した記載を避けるべく、実施形態１及び２と異なる部分について説明し、実施形態１及び２と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0049】

実施形態３の検査装置１０では、一対の電極１１が、バギングフィルム２０の内側に形成された一対の電極層３１として形成されている。また、検査装置１０は、一対の電極層３１間を絶縁状態に保つ絶縁スペーサ３２を、さらに備えている。

【0050】

一対の電極層３１は、バギングフィルム２０の内部に収容される成形前の成形品１を挟んで、対向する位置に形成されている。電極層３１は、蒸着により形成されていてもよい。絶縁スペーサ３２は、一対の電極層３１の間に設けられ、バギングフィルム２０の内部に収容される成形品１の両側に配置されている。なお、一対の電極層３１は、実施形態２と同様に、複数設けられていてもよい。

【0051】

［実施形態４］
次に、図９を参照して、実施形態４について説明する。図９は、実施形態４に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。なお、実施形態４でも、重複した記載を避けるべく、実施形態１から３と異なる部分について説明し、実施形態１から３と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0052】

実施形態４の検査装置１０は、実施形態１における一対の電極１１の位置と、異なる位置となっている。実施形態１において、一対の電極１１は、バギングフィルム２０の内側において、成形品１の接着部８に配置されていた。実施形態４において、一対の電極１１は、バギングフィルム２０の外側において、成形品１の接着部８に配置されている。つまり、実施形態４において、一対の電極１１は、バギングフィルム２０の内部に成形品１を収容し、真空吸引した後、バギングフィルム２０の外側において、成形品１の接着部８に対向する位置に設けられる。なお、一対の電極１１は、実施形態２と同様に、複数設けられていてもよい。

【0053】

［実施形態５］
次に、図１０を参照して、実施形態５について説明する。図１０は、実施形態５に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。なお、実施形態５でも、重複した記載を避けるべく、実施形態１から４と異なる部分について説明し、実施形態１から４と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0054】

実施形態５では、計測対象となる成形品１が、実施形態１から４の接着体ではなく、接着部８を有さない樹脂成形される樹脂成形品となっている。つまり、実施形態５では、成形品質の評価方法として、樹脂成形品の成形品質を評価している。なお、計測対象が樹脂成形品となることから、記憶部１６に記憶される成形品の健全評価値、不良評価値、強度評価値は、樹脂成形品を模した供試体を用いて、事前に取得される。また、健全評価値、不良評価値、及び強度評価値は、実施形態１と同様の方法によって取得される。また、樹脂成形品に用いられる樹脂としては、熱硬化性樹脂の他、熱可塑性樹脂を適用してもよい。

【0055】

［実施形態６］
次に、実施形態６について説明する。なお、実施形態６でも、重複した記載を避けるべく、実施形態１から５と異なる部分について説明し、実施形態１から５と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0056】

実施形態６では、計測対象となる成形品１が、実施形態１と同様の接着体であり、用いる樹脂として、熱硬化性樹脂に代えて、常温硬化性樹脂を適用している。常温硬化性樹脂を適用する場合、基準状態及び成形状態は、時間によって管理される。なお、検査装置１０、成形品質の評価方法及び成形品１の検査方法においては、基準状態及び成形状態を時間で管理すること以外は、実施形態１と同様となっている。

【0057】

［実施形態７］
次に、図１１を参照して、実施形態７について説明する。図１１は、実施形態７に係る成形品の検査装置を示す概略構成図である。なお、実施形態７でも、重複した記載を避けるべく、実施形態１から６と異なる部分について説明し、実施形態１から６と同様の構成である部分については、同じ符号を付して説明する。

【0058】

実施形態７の検査装置１０は、一対の電極１１が、成形品１の内部に設けられる金属メッシュ４１と、成形品１の成形時に用いられる金属治具４２との少なくとも一方を含むものとなっている。具体的に、実施形態７では、一対の電極１１のうち、一方の電極１１が金属メッシュ４１となっており、他方の電極１１が金属治具４２となっている。なお、一対の電極１１の両方が、金属メッシュ４１であってもよいし、金属治具４２であってもよく、特に限定されない。金属メッシュ４１は、例えば、着雷時の雷電流による成型品損傷保護のために成形品１と一体に設けられる耐雷部材となっている。金属治具４２は、例えば、成形品１を成形するための成形型である。つまり、実施形態７では、一対の電極１１の別途用意することなく、成形品の一部あるいは成形工程において使用する部材を一対の電極１１として活用している。

【0059】

なお、実施形態１から７では、成形品１の検査装置１０が、成形品質の評価を行う評価装置としても機能していたが、成形品質の評価を行う評価装置と、成形品１の検査を行う検査装置とを別体とした装置構成であってもよい。

【0060】

以上のように、実施形態１から７に記載の複合材の成形品質の評価方法、成形品１の検査方法、成形品質の評価装置及び成形品１の検査装置１０は、例えば、以下のように把握される。

【0061】

第１の態様に係る成形品質の評価方法は、樹脂を含む成形品１の成形品質を評価する成形品質の評価方法において、前記成形品１の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品１のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップＳ２１と、前記成形品１の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品１の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品１のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップＳ２２と、前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップＳ２３と、前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップＳ２４～Ｓ２７と、を備える。

【0062】

この構成によれば、成形品１の成形時において、成形品質を評価することができるため、成形後に加熱等を行うことなく、成形品１の成形品質に影響を与えることを抑制することができる。また、計測値を基準値でリファレンスすることで、形状による影響をキャンセルした計測評価値を得ることができる。このため、計測評価値を用いることで、成形品１の成形品質の評価を好適に行うことができる。

【0063】

第２の態様として、第１の態様に係る成形品質の評価方法において、前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップＳ１３と、前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップＳ１３と、をさらに備え、前記成形品質の評価を実行するステップＳ２４～Ｓ２７では、前記健全評価値及び前記不良評価値と前記計測評価値とに基づいて、前記成形品質の評価を実行する。

【0064】

この構成によれば、健全評価値及び不良評価値を指標として、計測評価値に基づく成形品質の評価を精度よく実行することができる。

【0065】

第３の態様として、第１または第２の態様に係る成形品質の評価方法において、前記樹脂は、熱硬化性樹脂であり、前記基準状態は、前記熱硬化性樹脂の架橋反応前の状態、または、前記熱硬化性樹脂の架橋開始時の状態であり、前記成形状態は、前記熱硬化性樹脂の架橋開始後に所定の時間が経過した状態である。

【0066】

この構成によれば、樹脂として熱硬化性樹脂を用いる場合、架橋反応に起因する成形品質の評価を実行することができる。

【0067】

第４の態様として、第３の態様に係る成形品質の評価方法において、前記基準状態は、前記熱硬化性樹脂のガラス転移温度よりも低い温度の状態であり、前記成形状態は、前記熱硬化性樹脂のガラス転移温度以上となる温度の状態である。

【0068】

この構成によれば、基準状態及び成形状態を、ガラス転移温度を含む温度により管理することができる。

【0069】

第５の態様として、第３または第４の態様に係る成形品質の評価方法において、前記キャパシタンス値は、所定の測定周波数となる交流信号を印加することで取得しており、前記測定周波数は、１０Ｈｚ以上１０ｋＨｚよりも小さい帯域となっている。

【0070】

この構成によれば、熱硬化性樹脂を用いた場合の成形品質の評価に適した測定周波数とすることができるため、成形品質の評価を精度よく実行することができる。

【0071】

第６の態様として、第１から第５のいずれか１つの態様に係る成形品質の評価方法において、前記成形品は、第１の被接着体３と第２の被接着体４とを接着剤５を介して接着した接着体であり、前記成形品質は、前記接着剤５の接着品質である。

【0072】

この構成によれば、接着体の接着品質を好適に評価することができる。

【0073】

第７の態様として、第６の態様に係る成形品質の評価方法において、前記成形品質の評価を実行するステップでは、前記接着品質として、ウィークボンド、キッシングボンド、ポロシティボイドを含む接着不良の発生を評価する。

【0074】

この構成によれば、接着体の接着品質として、ウィークボンド、キッシングボンド、ポロシティボイドの接着不良を評価することができる。

【0075】

第８の態様として、第１から第７のいずれか１つの態様に係る成形品質の評価方法において、前記基準値を取得するステップＳ２１及び前記計測値を取得するステップＳ２２では、前記成形品１の複数の箇所においてキャパシタンス値を計測し、前記計測評価値を導出するステップＳ２３では、前記成形品１の複数の箇所において前記計測評価値を導出し、前記成形品質の評価を実行するステップＳ２４～Ｓ２７では、複数の前記計測評価値に基づいて、前記成形品１における前記成形品質の分布を評価する。

【0076】

この構成によれば、評価結果として、成形品質の分布を取得することができるため、成形品質を詳細に評価することができる。

【0077】

第９の態様に係る成形品の検査方法は、上記の成形品質の評価方法の評価結果に基づいて、成形品１の成形品質を検査する成形品１の検査方法であって、前記成形品１の要求強度を満足する強度評価値が予め取得されており、前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップＳ１３と、前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップＳ１３と、前記成形品質の評価方法において導出された前記計測評価値を取得するステップＳ３２と、取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップＳ３３と、を備え、前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される。

【0078】

この構成によれば、要求強度を満足する成形品質であるか否かを検査することができる。

【0079】

第１０の態様に係る成形品質の評価装置は、樹脂を含む成形品１の成形品質を評価する成形品質の評価装置（検査装置１０）において、前記成形品１にキャパシタを形成するために配置される一対の電極１１と、前記一対の電極１１間におけるキャパシタンス値を計測すると共に、計測した前記キャパシタンス値に基づいて前記成形品１の前記成形品質の評価を実行する制御部１５と、を備え、前記制御部１５は、前記成形品１の成形前の状態を基準状態とし、前記基準状態における前記成形品１のキャパシタンス値を、基準値として取得するステップＳ２１と、前記成形品１の状態を、前記基準状態から時間発展させた、前記成形品１の成形中の状態である成形状態とし、前記成形状態における前記成形品１のキャパシタンス値を、計測値として取得するステップＳ２２と、前記計測値を前記基準値で無次元化した値を計測評価値として導出するステップＳ２３と、前記計測評価値に基づいて、前記成形品質の評価を実行するステップＳ２４～Ｓ２７と、を実行する。

【0080】

この構成によれば、成形品１の成形時において、成形品質を評価することができるため、成形後に加熱等を行うことなく、成形品１の成形品質に影響を与えることを抑制することができる。また、計測値を基準値でリファレンスすることで、形状による影響をキャンセルした計測評価値を得ることができる。このため、計測評価値を用いることで、成形品１の成形品質の評価を好適に行うことができる。

【0081】

第１１の態様として、第１０の態様に係る成形品質の評価装置において、前記一対の電極１１は、金属薄膜である。

【0082】

この構成によれば、金属薄膜となる電極１１を成形品１に容易に設置することができる。

【0083】

第１２の態様として、第１０または第１１の態様に係る成形品質の評価装置において、前記一対の電極１１は、前記成形品１の複数の箇所に設けられる。

【0084】

この構成によれば、評価結果として、成形品質の分布を取得することができるため、成形品質を詳細に評価することができる。

【0085】

第１３の態様として、第１０の態様に係る成形品質の評価装置において、前記成形品１を内部に収容するバギングフィルム２０と、前記一対の電極１１間を絶縁状態に保つ絶縁スペーサ３２と、をさらに備え、前記一対の電極１１は、前記バギングフィルム２０の内側に形成された一対の電極層３１である。

【0086】

この構成によれば、バギングフィルム２０の内部に、成形前の成形品１を収容することで、一対の電極１１が配置されるため、施工性の向上を図ることができる。

【0087】

第１４の態様として、第１０の態様に係る成形品質の評価装置において、前記成形品１を内部に収容するバギングフィルム２０を、さらに備え、前記一対の電極１１は、前記バギングフィルム２０の外側に設けられる。

【0088】

この構成によれば、バギングフィルム２０の内部に、成形前の成形品１を収容した後、一対の電極１１を配置すればよいため、施工性の向上を図ることができる。

【0089】

第１５の態様として、第１０の態様に係る成形品質の評価装置において、前記一対の電極１１は、前記成形品１の内部に設けられる金属メッシュ４１と、前記成形品１の成形時に用いられる金属治具４２との少なくとも一方を含む。

【0090】

この構成によれば、既存の部材を一対の電極１１として活用することができるため、一対の電極１１を配置する作業を行うことがないことから、施工性の向上を図ることができる。

【0091】

第１６の態様に係る成形品質の評価装置は、上記の成形品質の評価装置の評価結果に基づいて、成形品１の成形品質を検査する成形品１の検査装置１０であって、前記成形品１の要求強度を満足する強度評価値を記憶する記憶部１６と、前記強度評価値に基づいて、前記成形品１が前記要求強度を満足するか否かを判定する制御部１５と、を備え、前記制御部１５は、前記成形品質が健全であると予め評価された前記成形品の健全評価値を取得するステップＳ１３と、前記成形品質が不良であると予め評価された前記成形品の不良評価値を取得するステップＳ１３と、前記成形品質の評価装置において導出された前記計測評価値を取得するステップＳ３２と、取得した前記計測評価値と前記強度評価値とに基づいて、検査合格の可否を判定するステップＳ３３と、前記計測評価値が前記強度評価値以下となる場合、検査合格であるとするステップＳ３４と、を実行し、前記強度評価値は、前記健全評価値と前記不良評価値との間に設定される。

【0092】

この構成によれば、要求強度を満足する成形品質であるか否かを検査することができる。

【符号の説明】

【0093】

１ 成形品
３ 第１の被接着体
４ 第２の被接着体
５ 接着剤
８ 接着部
１０ 検査装置
１１ 電極
１２ 制御装置
１４ 交流電源部
１５ 制御部
１６ 記憶部
２０ バギングフィルム
３１ 電極層
３２ 絶縁スペーサ
４１ 金属メッシュ
４２ 金属治具

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】