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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024071122
(43)【公開日】2024-05-24
(54)【発明の名称】画像データの管理方法、プログラム及びＸ線検査装置
(51)【国際特許分類】
G01N 23/046 20180101AFI20240517BHJP
G01N 23/04 20180101ALI20240517BHJP
【ＦＩ】
G01N23/046
G01N23/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022181894
(22)【出願日】2022-11-14
(71)【出願人】
【識別番号】000002945
【氏名又は名称】オムロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002860
【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】曽我部 智之
(72)【発明者】
【氏名】笠原 啓雅
【テーマコード（参考）】
2G001
【Ｆターム（参考）】
2G001AA01
2G001BA11
2G001CA01
2G001DA09
2G001HA13
2G001HA14
2G001HA19
2G001JA08
2G001LA02
2G001LA11
2G001PA12
(57)【要約】
【課題】Ｘ線断層画像を用いて行う部品実装基板の検査において、検査に用いた画像を長期的に保存しつつ、記憶容量の削減を実現する技術を提供する。
【解決手段】部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置であって、前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有するＸ線検査装置。
【選択図】図１
【解決手段】部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置であって、前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有するＸ線検査装置。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
部品実装基板のＸ線検査に係る画像データの管理方法であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップと、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップと、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップと、を有する
画像データの管理方法。
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップと、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップと、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップと、を有する
画像データの管理方法。
【請求項2】
前記第１圧縮方法は可逆圧縮であり、前記第２圧縮方法は非可逆圧縮である、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項3】
取得した複数の前記断層画像データに対して、所定の画像処理を施す画像処理ステップをさらに有しており、
前記判定ステップでは、前記画像処理を施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
前記判定ステップでは、前記画像処理を施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項4】
前記所定の判定基準は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データであるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
前記判定ステップでは、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項5】
前記部品実装基板の前記Ｘ線検査の検査結果を取得する検査結果取得ステップをさらに有しており、
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記検査結果が不良である場合には該不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記検査結果が不良である場合には該不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項6】
前記所定の判定基準は、前記断層画像データの取得時から所定期間が経過したか否かであり、
前記判定ステップでは、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
前記判定ステップでは、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項7】
前記圧縮ステップでは、
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法により圧縮を行う、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法により圧縮を行う、
請求項１に記載の画像データの管理方法。
【請求項8】
請求項１から７のいずれか一項に記載の画像データの管理方法の各ステップの処理をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項9】
部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有する
Ｘ線検査装置。
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有する
Ｘ線検査装置。
【請求項10】
前記第１圧縮方法は可逆圧縮であり、前記第２圧縮方法は非可逆圧縮である、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項11】
取得した前記断層画像データに対して、所定の画像処理を施す画像処理手段をさらに有しており、
前記圧縮方法判定手段は、前記画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
前記圧縮方法判定手段は、前記画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項12】
前記所定の判定基準は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データであるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項13】
前記部品実装基板の前記Ｘ線検査の検査結果を取得する検査結果取得手段をさらに有しており、
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記検査結果が不良である場合に前記不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記検査結果が不良である場合に前記不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項14】
前記所定の判定基準は、前記断層画像データの取得時から所定期間が経過したか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが取得された時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが取得された時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定する、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項15】
前記画像圧縮手段は、
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法による圧縮を行う、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法による圧縮を行う、
請求項９に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、Ｘ線検査装置、画像データの管理方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、物体に照明光を照射して撮影された画像を用いて物体の三次元形状を測定する技術が知られており、当該測定された形状と予め設定されている判定基準とを照合することなどにより、当該物体における欠陥の有無や種類を検査することが行われている。
【0003】
また、近年では、各種製品の小型化、精密化が進んでおり、例えば部品実装基板などでも部品実装密度が増大し、撮影装置の視野の影になる部位が増えることにより、外観検査では正確には検査できない部品が増加している。そして、これに対して、Ｘ線ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）検査により外観では検査できない部分の検査を実施する技術が公知となっている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－２２３４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、特許文献１に記載の技術のように、Ｘ線ＣＴ検査により三次元形状を取得して検査を行う場合、多数の画像データを取得し、これに基づく再構成処理を行って三次元のＣＴ画像を取得する。当該ＣＴ画像は三次元データであるため、２次元画像データと比較して、１回あたりの検査で出力されるファイルの容量が大きい。一方、基板の検査を実施した後に、トレーサビリティの観点などから、検査に用いた画像及び検査結果を長期保存するニーズが存在する。その際、上記のように容量の大きいファイルを長期保存する場合には、膨大な記録容量が必要となってしまう、という問題があった。
【0006】
本発明は、上記の実情に鑑み、Ｘ線断層画像を用いて行う部品実装基板の検査において、検査に用いた画像を長期的に保存しつつ、記憶容量の削減を実現する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用する。即ち、
部品実装基板のＸ線検査に係る画像データの管理方法であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップと、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップと、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップと、を有する
画像データの管理方法である。
部品実装基板のＸ線検査に係る画像データの管理方法であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップと、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップと、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップと、を有する
画像データの管理方法である。
【0008】
ここで、第２圧縮方法は特定の圧縮方法を示すものではなく、圧縮率が異なる場合も含めて第１圧縮方法以外の圧縮方法全般を指す意味である。このような画像データの管理用法によれば、Ｘ線検査装置において取得した大量の断層画像データを、所定の判断基準に基づいて圧縮方法を変えたうえで圧縮して保存することができる。これにより、ユーザーにとって相対的に重要度の高いデータは、圧縮率を低くしてデータの再利用の途を残すと
ともに、重要度の低いデータは高い圧縮率で保存することで記憶容量の節約を行うことが可能になる。なお、前記第１圧縮方法は可逆圧縮であり、第２圧縮方法は非可逆圧縮であってもよい。
ともに、重要度の低いデータは高い圧縮率で保存することで記憶容量の節約を行うことが可能になる。なお、前記第１圧縮方法は可逆圧縮であり、第２圧縮方法は非可逆圧縮であってもよい。
【0009】
また、前記画像データの管理方法は、取得した複数の前記断層画像データに対して、所定の画像処理を施す画像処理ステップをさらに有しており、
前記判定ステップでは、前記画像処理を施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定するものであってもよい。
前記判定ステップでは、前記画像処理を施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定するものであってもよい。
【0010】
ここで、「所定の画像処理」としては、例えば画像の二値化や、画像中における特定の要素に対するアノテーション、輝度勾配情報を用いたエッジ検出、プロファイル画像の生成などを例示することができる。また、「特徴量」は、例えば、所定値以上の輝度の画素数、輝度のバラつき、輝度の変化度（ある部分の画素とその周囲の画素との差分など）などを例示することができる。このような構成であれば、処理画像から検査のための特徴量と同一の特徴量を抽出して、検査基準と対応した判定基準を用いるなどして、自動的に検査内容と連動して断層画像データの重要度に応じた圧縮方法の決定が可能になる。
【0011】
また、前記所定の判定基準は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データであるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
前記判定ステップでは、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
【0012】
このような構成であれば、はんだ接合部などの部品実装基板の良否判定において重要な金属接合部を対象とした断層画像データを、再利用可能な低い圧縮率で保存することができる。なお、金属部分を含むか否かは、断層画像から得られる所定の画像特徴量に基づいて判定するようにしておいてもよい。
【0013】
前記画像データの管理方法は、前記部品実装基板の前記Ｘ線検査の検査結果を取得する検査結果取得ステップをさらに有しており、
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記検査結果が不良である場合には、該不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記判定ステップでは、前記検査結果が不良である場合には、該不良に係る前記断層画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
【0014】
このような構成であれば、複数の断層画像データのうち大多数を占めると考えられる良品画像のデータを高圧縮率で圧縮し、重要度の高い不良品に係る断層画像データについては、再利用可能な低い圧縮率で圧縮することができる。
【0015】
ここで、不良に係る前記画像データとは、不良が検出された基板についての所定単位の複数の断層画像を対象とするのものであってもよいし、不良検出の根拠となった断層画像のみを対象とするものであってもよい。
【0016】
また、前記所定の判定基準は、前記断層画像データの取得時から所定期間が経過したか否かであり、
前記判定ステップでは、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。このような構成であれば、取得時から間もなく再利用する可能性の比較的高いデータ
を第１圧縮方法により圧縮し、取得時から時間が経過して再利用する可能性が相対的に低くなったデータについては高い圧縮率で圧縮して記憶容量の削減を行うことができる。
前記判定ステップでは、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。このような構成であれば、取得時から間もなく再利用する可能性の比較的高いデータ
を第１圧縮方法により圧縮し、取得時から時間が経過して再利用する可能性が相対的に低くなったデータについては高い圧縮率で圧縮して記憶容量の削減を行うことができる。
【0017】
また、前記圧縮ステップでは、
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法により圧縮を行うようにしてもよい。
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法により圧縮を行うようにしてもよい。
【0018】
このような構成によれば、複数の断層画像データを個別に扱うことに比べて、断層画像データの出力・圧縮などの処理回数を減らすことができ、データ処理に係る速度を高速化することが可能になる。
【0019】
また、本発明は、上記の各方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、そのようなプログラムを非一時的に記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。
【0020】
また、本発明は以下のようなＸ線検査装置としても捉えることができる。即ち、
部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有する
Ｘ線検査装置である。
部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段と、を有する
Ｘ線検査装置である。
【0021】
また、前記Ｘ線検査装置は、取得した前記断層画像データに対して、所定の画像処理を施す画像処理手段をさらに有しており、
前記圧縮方法判定手段は、前記画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定するものであってもよい。
前記圧縮方法判定手段は、前記画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて前記所定の判定基準を満たすか否かを判定するものであってもよい。
【0022】
また、前記所定の判定基準は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データであるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含む断層画像データである場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データが前記部品実装基板における金属部分を含まない断層画像データである場合に前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
【0023】
また、前記Ｘ線検査装置は、前記部品実装基板の前記Ｘ線検査の検査結果を取得する検査結果取得手段をさらに有しており、
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記検査結果が不良である場合に前記不良に係る前記画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
前記所定の判定基準は、前記検査結果が不良であるか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記検査結果が不良である場合に前記不良に係る前記画像データを前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記検査結果が良品である場合には前記断層画像データを前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
【0024】
また、前記所定の判定基準は、前記断層画像データの取得時から所定期間が経過したか否かであり、
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが取得された時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
前記圧縮方法判定手段は、前記断層画像データが取得された時から所定期間を経過していない場合に前記第１圧縮方法で圧縮すると判定し、前記断層画像データがその取得時から所定期間を経過している場合には前記第２圧縮方法で圧縮すると判定するものであってもよい。
【0025】
また、前記画像圧縮手段は、
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法による圧縮を行うものであってもよい。
前記第１圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データ、及び前記第２圧縮方法で圧縮する複数の前記断層画像データを、それぞれの圧縮方法ごとに２次元画像データとして結合したうえで各圧縮方法による圧縮を行うものであってもよい。
【0026】
なお、上記構成及び処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
【発明の効果】
【0027】
本発明によれば、Ｘ線断層画像を用いて行う部品実装基板の検査において、検査に用いた画像を長期的に保存しつつ、記憶容量の削減を実現する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【発明を実施するための形態】
【0029】
＜適用例＞
（適用例の構成）
以下、本発明の実施形態の一例について説明する。本発明は、例えば、検査対象物の部品実装基板をＸ線撮影し、当該撮影画像に基づいて当該検査対象物を検査するための、Ｘ線検査装置として適用することができる。図１は本適用例に係るＸ線検査装置９の概略構成を示す模式図である。Ｘ線検査装置９は概略、端末９１と、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３とを有する撮影部９４とを含んで構成される。
（適用例の構成）
以下、本発明の実施形態の一例について説明する。本発明は、例えば、検査対象物の部品実装基板をＸ線撮影し、当該撮影画像に基づいて当該検査対象物を検査するための、Ｘ線検査装置として適用することができる。図１は本適用例に係るＸ線検査装置９の概略構成を示す模式図である。Ｘ線検査装置９は概略、端末９１と、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３とを有する撮影部９４とを含んで構成される。
【0030】
端末９１は、例えば汎用のコンピュータなどによって構成されることができ、駆動制御部９１１、画像取得部９１２、圧縮方法判定部９１３、画像圧縮部９１４、記憶部９１５の各機能部を備えている。また、図示しないが、端末９１はこの他にも、Ｘ線カメラ９３によって撮影された複数の断層画像から対象の三次元形状を再構成する三次元データ作成部、Ｘ線カメラ９３から取得した画像データ及び所定の検査基準に基づいて基板Ｏの良否判定を行う検査部、各種入力手段、出力手段などを備えている。
【0031】
Ｘ線源９２は図示しない搬送ローラによって搬送される基板ＯにＸ線を照射し、Ｘ線カメラ９３は基板Ｏを透過したＸ線を撮影する。Ｘ線源９２はＸステージ９２１およびＹス
テージ９２２によって移動可能であり、Ｘ線カメラ９３はＸステージ９３１およびＹステージ９３２によって移動可能である。Ｘ線源９２およびＸ線カメラ９３はこれらのステージによってそれぞれ円軌道Ｃ１、Ｃ２を移動し、軌道上の複数の位置で撮影が行われる。
テージ９２２によって移動可能であり、Ｘ線カメラ９３はＸステージ９３１およびＹステージ９３２によって移動可能である。Ｘ線源９２およびＸ線カメラ９３はこれらのステージによってそれぞれ円軌道Ｃ１、Ｃ２を移動し、軌道上の複数の位置で撮影が行われる。
【0032】
駆動制御部９１１は、Ｘ線検査装置９を構成する各部の駆動を制御する。これにより、Ｘ線検査装置９は、基板Ｏ、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３の相対位置を変化させて、複数の撮影位置から基板Ｏを撮影する。画像取得部９１２は、Ｘ線カメラ９３によって撮影された基板Ｏの複数のＸ線画像データを取得する。
【0033】
また、画像圧縮部９１４は、画像取得部９１２が取得した複数の原画像データ又はこれらに基づいて再構成した三次元データから抽出した検査断層画像データを、それぞれ後述の圧縮方法判定部９１３が行う判定結果に応じた圧縮方法により圧縮する処理を行う。なお、圧縮された各画像は、記憶部９１５に圧縮方法を識別する情報とともに保存される。
【0034】
記憶部９１５には、画像圧縮部９１４において圧縮された圧縮画像データが保存される領域が設けられる。また、この他にも、検査装置を制御するためのプログラムや撮影条件、基板Ｏに係る情報（例えば、部品の種類、形状、寸法など）、閾値などの検査基準に係る情報、などが記憶されていてもよい。
【0035】
圧縮方法判定部９１３は、画像取得部９１２が取得した複数の断層画像データの各々を、どのような圧縮方法により圧縮するのかについて所定の判定基準に基づいて判定する。例えば、保存に係る重要度の高い画像データには圧縮率が比較的低い第１圧縮方法を用い、相対的に重要度の低いデータにはより高い圧縮率で圧縮を行う第２圧縮方法を用いるように判定することができる。この場合には第１圧縮方法は可逆圧縮方式、第２圧縮方法は非可逆圧縮方式であっても良い。
【0036】
上記のようなＸ線検査装置９が行う処理の流れの一例を説明すると、まず、駆動制御部９１１の制御により基板Ｏ、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３の相対位置を変化させて複数の異なる位置からＸ線撮影し、画像取得部９１２が複数のＸ線画像データを取得する。次に、取得した断層画像データに基づいて基板Ｏの三次元形状の復元が行われ（三次元データの生成）、所定の検査内容（検査対象箇所や検査基準）に応じて検査が実施され、基板Ｏの良否判定が行われる。
【0037】
そして、圧縮方法判定部９１３が、取得された各断層画像データを第１圧縮方法と第２圧縮方法のいずれで圧縮するかを判定し、該判定結果に基づいて画像圧縮部９１４が各断層画像データを圧縮し、圧縮後のデータを記憶部９１５に保存する。
【0038】
本適用例に係るこのようなＸ線検査装置９によれば、Ｘ線検査装置において取得した大量の断層画像データを、所定の判断基準に基づいて圧縮方法を変えたうえで圧縮して保存することができる。これにより、相対的に重要度の高いデータは、圧縮率を低くしてデータの再利用の途を残すとともに、重要度の低いデータは高い圧縮率で保存することで記憶容量の節約を行うことが可能になる。
【0039】
【0040】
（システム構成）
図２は、本実施形態に係る、Ｘ線検査システム１の機能構成を示す概略ブロック図である。本実施形態に係るＸ線検査システム１は、Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２と、デー
タサーバ１３とを含んで構成されており、部品実装基板の検査に用いられる検査システムである。Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２とデータサーバ１３とは図示しない通信手段により相互に通信可能に接続されている。
図２は、本実施形態に係る、Ｘ線検査システム１の機能構成を示す概略ブロック図である。本実施形態に係るＸ線検査システム１は、Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２と、デー
タサーバ１３とを含んで構成されており、部品実装基板の検査に用いられる検査システムである。Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２とデータサーバ１３とは図示しない通信手段により相互に通信可能に接続されている。
【0041】
Ｘ線撮影装置１１は、Ｘ線源１１１、Ｘ線カメラ１１２、及び、基板を保持するステージ１１３、及びこれらを制御する制御部（図示せず）を備えており、これらの各構成が相対的に移動することによって、基板の異なる位置（及び向き）の断層画像を撮影できるようになっている。Ｘ線撮影装置１１については所望の公知技術を採用することができるため、Ｘ線源１１１、Ｘ線カメラ１１２及びステージ１１３などの詳細な説明は省略する。
【0042】
検査端末１２は、図示しないが、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサ、記憶手段、キーボードやマウス等の入力手段、液晶ディスプレイ等の出力手段、を備える汎用コンピュータとすることができる。なお、検査端末１２は、単一のコンピュータで構成されてもよいし、互いに連携する複数台のコンピュータによって構成されてもよい。
【0043】
なお、上記記憶手段は、例えば、読み込み専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）等の主記憶部と、ＥＰＲＯＭ、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、リムーバブルメディア等の補助記憶部とを含んでいる。記憶手段の補助記憶部には、オペレーティングシステム（ＯＳ）、各種プログラム等が格納され、該プログラムを主記憶部の作業領域にロードして実行し、プログラムの実行を通じて検査端末１２が制御されることによって、後述するような、所定の目的を果たす機能部を実現することができる。なお、一部又は全部の機能部はＡＳＩＣ（Ａａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ
Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）のようなハードウェア回路によって実現されてもよい。
Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）のようなハードウェア回路によって実現されてもよい。
【0044】
データサーバ１３は、Ｘ線撮影装置１１における撮影条件、検査対象基板に係る情報（例えば、部品の種類、形状、寸法など）、検査項目や閾値などの検査内容に係る情報、などが記憶されるとともに、後述するように検査端末１２において生成される保存用の圧縮画像データ記憶する領域が設けられている。なお、検査端末１２を制御するためのプログラムがデータサーバ１３に格納されていてもよい。
【0045】
（検査端末の機能部について）
次に、検査端末１２が備える各機能部について説明する。検査端末１２は、画像取得部１２１、三次元データ生成部１２２、画像処理部１２３、検査部１２４、検査結果取得部１２５、圧縮方法判定部１２６、画像圧縮部１２７、保存データ生成部１２８、の各機能部を有している。
次に、検査端末１２が備える各機能部について説明する。検査端末１２は、画像取得部１２１、三次元データ生成部１２２、画像処理部１２３、検査部１２４、検査結果取得部１２５、圧縮方法判定部１２６、画像圧縮部１２７、保存データ生成部１２８、の各機能部を有している。
【0046】
画像取得部１２１は、Ｘ線撮影装置１１において撮影された断層画像データを取得する。Ｘ線撮影装置１１から直接画像データを取得してもよいし、Ｘ線撮影装置１１から一旦データサーバ１３に送信され、データサーバ１３において保存されている画像データを取得するのであってもよい。
【0047】
三次元データ生成部１２２は、取得した複数のＸ線断層画像データに基づいて、検査対象箇所の三次元形状のデータ（以下、単に三次元データともいう。）を作成する。当該データの作成（構成）方法については、公知技術を適用可能であるため、詳細な説明は省略する。
【0048】
画像処理部１２３は、取得された断層画像に対して、検査のための特徴量を抽出するための所定の画像処理を行う。ここでいう画像処理として、例えば画像の二値化や、画像中
における特定の要素に対するアノテーション、輝度勾配情報を用いたエッジ検出、プロファイル画像の生成などを例示することができる。
における特定の要素に対するアノテーション、輝度勾配情報を用いたエッジ検出、プロファイル画像の生成などを例示することができる。
【0049】
検査部１２４は、検査断層画像が検査箇所・項目に応じた所定の検査基準を満たすか否かによって、検査対象基板の良否判定を実施する。具体的には、例えば、各断層におけるはんだ領域の画像特徴量が、所定の閾値（検査基準）を逸脱するか否かによって、良否判定を行うようにしてもよい。或いは、三次元データから得られる検査対象箇所の形状に係る指標（例えば高さデータ）を所定の検査基準と比較することで検査対象の良否を判定する検査を行うようにしてもよい。なお、検査結果はデータサーバ１３に送信され、保存される。検査結果取得部１２５は、データサーバ１３に格納されている各基板に対する少なくとも良否判定結果を含む検査結果データを取得する。即ち、データサーバ１３に格納された検査結果データは、検査結果取得部１２５により任意のタイミングで読み出すことができる。
【0050】
圧縮方法判定部１２６は、画像取得部１２１が取得した複数の断層画像データの各々を、可逆性のある第１圧縮方法（例えばＰＮＧ形式）と、非可逆な第２圧縮方法（例えばＪＰＥＧ形式）の、いずれの圧縮方法で圧縮するのかを、所定の判定基準に基づいて判定する。例えば、本実施形態においては検査結果が「不良」であった基板の断層画像データについては第１圧縮方法で圧縮すると判定し、検査結果が「良」であった基板の断層画像データについては第２圧縮方法で圧縮すると判定する。なお、検査結果は検査部１２４から直接取得するのであってもよいし、一旦データサーバ１３に格納され、検査結果取得部１２５によって読み出された検査結果を用いてもよい。即ち、本実施形態における所定の判定基準は、検査結果が不良であるか否かである。ただし、所定の判定基準はこれに限られず、ユーザーにおいて任意に設定することが可能である。
【0051】
画像圧縮部１２７は、圧縮方法判定部１２６の判定結果に従って、各断層画像データを第１圧縮方法、又は第２圧縮方法で圧縮する。また、保存データ生成部１２８は、画像圧縮部１２７において圧縮された画像データを、いずれの方法で圧縮されたか、画像取得時刻、検査実施時刻、などの情報とセットにした保存データを作成する。作成された保存データは、データサーバ１３に送信され、所定の記憶領域に格納される。この際、画像取得日毎にフォルダ分けしたうえで保存するようにしてもよい。
【0052】
（画像データ処理の流れ）
次に、図３を参照して、本実施形態において、検査対象である基板のＸ線画像撮影から保存データを生成して記憶するまでの画像データの処理の流れを説明する。図３は、Ｘ線検査システム１において行われる画像データの取得から保存に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。処理の開始時に、Ｘ線撮影装置１１によって基板のＸ線断層画像が複数撮影され、図３に示すように、画像取得部１２１が当該Ｘ線断層画像を取得する（Ｓ１０１）。そして、三次元データ生成部１２２が複数のＸ線断層画像から検査対象箇所を含む部位の三次元データを作成する（Ｓ１０２）。
次に、図３を参照して、本実施形態において、検査対象である基板のＸ線画像撮影から保存データを生成して記憶するまでの画像データの処理の流れを説明する。図３は、Ｘ線検査システム１において行われる画像データの取得から保存に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。処理の開始時に、Ｘ線撮影装置１１によって基板のＸ線断層画像が複数撮影され、図３に示すように、画像取得部１２１が当該Ｘ線断層画像を取得する（Ｓ１０１）。そして、三次元データ生成部１２２が複数のＸ線断層画像から検査対象箇所を含む部位の三次元データを作成する（Ｓ１０２）。
【0053】
次に、上述のように画像処理部１２３が検査のための画像処理を実行し（Ｓ１０３）、処理された画像から得られる特徴量に基づいて、検査部１２４が基板の検査を実施する（Ｓ１０４）。そして、圧縮方法判定部１２６がステップＳ１０４における検査結果に係る情報を検査部１２４から直接、或いは検査結果取得部１２５を介して取得し（Ｓ１０５）、当該検査結果に基づいて、取得した断層画像データの圧縮方法を判定する（Ｓ１０６）。
【0054】
具体的には、検査結果が不良であった場合には第１圧縮方法で圧縮すると判定し、画像圧縮部１２７が当該判定に基づいて第１圧縮方法で断層画像データを圧縮する（Ｓ１０７
）。そして、保存データ生成部１２８が、圧縮された画像データと上述のような情報とをセットにした保存データを生成し（Ｓ１０９）、当該保存データをデータサーバ１３に保存して（Ｓ１１０）、一連のルーティンを終了する。
）。そして、保存データ生成部１２８が、圧縮された画像データと上述のような情報とをセットにした保存データを生成し（Ｓ１０９）、当該保存データをデータサーバ１３に保存して（Ｓ１１０）、一連のルーティンを終了する。
【0055】
一方、ステップＳ１０６で、検査結果が良品であった場合には、圧縮方法判定部１２６は、第２圧縮方法で断層画像データを圧縮すると判定し、画像圧縮部１２７が当該判定に基づいて第２圧縮方法で断層画像データを圧縮する（Ｓ１０８）。その後は、ステップＳ１０９に進み、上述のように保存データを生成し、これをデータサーバ１３に記憶して一連のルーティンを終了する。
【0056】
以上、説明したようなＸ線検査システム１によれば、Ｘ線検査において大量の断層画像を取得しても、重要度の高いデータについては可逆的な圧縮方法で画像データを圧縮し、相対的に重要度が低いデータについては高い圧縮率の（ただし、非可逆的な）圧縮方法で圧縮したうえで、画像データを保存することができる。これにより、重要度の高い断層画像データについては、検査結果の検証、検査プログラム修正といった用途にも利用することができる再現性を維持して保存しつつ、相対的に重要度の低いデータの保存に係る容量を大幅に削減することができる。撮像装置と検査端末とデータサーバとを別構成としてネットワークで接続するシステムとしたことにより、基板の撮影、画像処理及び基板の検査、検査に用いた画像の保存、をクラウドシステムにより実現することができる。
【0057】
（変形例）
なお、上記のＸ線検査システム１において、圧縮方法判定部１２６は、断層画像が取得された部品実装基板の検査結果が「不良か否か」を判定基準としていたが、その他の判定基準により、いずれの圧縮方法で圧縮を行うかを判定してもよい。例えば、金属部分を含む断層画像であるか否か、断層画像におけるはんだ状態が所定の基準を満たしているか否か（はんだの有無、良否に係る基準など）、を判定基準としてもよい。なお、この際には、画像処理部１２３による画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて、これらの判定基準を満たしているかを判定することができる。
なお、上記のＸ線検査システム１において、圧縮方法判定部１２６は、断層画像が取得された部品実装基板の検査結果が「不良か否か」を判定基準としていたが、その他の判定基準により、いずれの圧縮方法で圧縮を行うかを判定してもよい。例えば、金属部分を含む断層画像であるか否か、断層画像におけるはんだ状態が所定の基準を満たしているか否か（はんだの有無、良否に係る基準など）、を判定基準としてもよい。なお、この際には、画像処理部１２３による画像処理が施された処理画像データから得られる特徴量を用いて、これらの判定基準を満たしているかを判定することができる。
【0058】
図４に、金属部分を含む断層画像であるかを判定基準とした場合の、各断層画像の圧縮方法の判定の一例に係る説明図を示す。金属部分を含む断層画像であるかを判定基準とした場合には、圧縮方法判定部１２６は、金属部分（例えばはんだ部分）Ｔを含む所定の領域Ｄを撮像した複数の断層画像に対して、金属部分Ｔを含むか否かの判定を行ったうえで、図４に示すように、金属部分を含む断層画像（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）と、金属部分Ｔを含まない断層画像（Ｈ１、Ｈ２）とを分類する。そして、金属部分を含む断層画像は可逆的な第１圧縮方法で、金属部分を含まない断層画像については非可逆的な第２圧縮方法で、圧縮を行うことを決定する。
【0059】
また、圧縮方法判定部１２６は、一旦データサーバ１３に保存された保存データに対して、画像取得時刻又は検査実施時刻から所定の期間が過ぎたか否かを判定し、所定の期間が過ぎている場合には、第１圧縮方法で圧縮された画像データについて、改めて第２圧縮方法で圧縮することを決定するようにしてもよい。例えば、第１圧縮方法で圧縮された保存データを用いて再検査を実行した際や、検査プログラムの修正のために保存データを読みだした際に、圧縮方法判定部１２６による判定処理を実行するようになっていてもよい。
【0060】
＜実施形態２＞
次に本発明の他の実施形態について説明する。図５は、本実施形態に係るＸ線検査システム２の機能構成を示す概略ブロック図である。本実施形態に係るＸ線検査システム２は多くの構成を実施形態１のＸ線検査システム１と共通にしているため、Ｘ線検査システム
１と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
次に本発明の他の実施形態について説明する。図５は、本実施形態に係るＸ線検査システム２の機能構成を示す概略ブロック図である。本実施形態に係るＸ線検査システム２は多くの構成を実施形態１のＸ線検査システム１と共通にしているため、Ｘ線検査システム
１と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【0061】
Ｘ線検査システム２は、Ｘ線撮影装置１１と検査端末２２と、データサーバ１３とを含んで構成されており、部品実装基板の検査に用いられる検査システムである。Ｘ線検査システム２の検査端末２２には、Ｘ線検査システム１の検査端末１２が備えていた各機能部に加えて、さらに結合二次元（２Ｄ）データ生成部２２１とデータ復元部２２４の機能部を備える構成となっている。
【0062】
結合二次元データ生成部２２１は、画像取得部１２１が取得し、圧縮方法判定部１２６により圧縮方法が決定された基板上の一定の領域（例えば三次元データとして再構成される１単位）に係る一組の断層画像を、圧縮方法ごとにそれぞれ一つの二次元画像データとして結合を行う。具体的には、例えば第１圧縮方法で圧縮することが決定された複数の断層画像を横一列に結合した一つ二次元画像データを生成し、さらに第２圧縮方法で圧縮することが決定された複数の断層画像を横一列に結合した一つの二次元画像データを生成する。なお、断層画像を結合する方向は横一列に限られるわけではなく、縦一列や、横ｎ列、縦ｍ列のマトリクス状に結合してもよい。この際には、例えば、結合する断層画像の総数の約数に応じて配列を決定するようにしてもよい。また、結合する断層画像の総数が素数となる場合には、断層画像を分割して（即ち結合後の二次元画像データが一つでなく複数になるように）、結合するのであってもよい。
【0063】
画像圧縮部２２２は、圧縮方法ごとに結合二次元データ生成部２２１が結合した二次元画像データを、それぞれの圧縮方法で圧縮する。また、保存データ生成部２２３は、圧縮された結合二次元画像データと、当該二次元画像データに係る圧縮方法、断層画像の結合方法（配列）、圧縮アルゴリズム、などの情報をセットにした保存データを生成する。なお、生成された保存データは、データサーバ１３に送信され、所定の記憶領域に格納される。
【0064】
データ復元部２２４は、一つの二次元画像に結合されたうえで圧縮処理されたデータを個別の断層画像に復元する。具体的には、第１圧縮方法（可逆圧縮）で圧縮された二次元画像データは、データ復元部２２４によって圧縮前のデータに復元され、さらに結合を解除されて、画像取得部１２１が取得した状態の断層画像データ（以下では、ｒａｗデータともいう）に復元される。一方、第２圧縮方法（非可逆圧縮）で圧縮された二次元データは、圧縮状態のままで結合が解除されて個々の断層画像データとなる。即ち、第２圧縮方法により圧縮された断層画像を含む一組の断層画像データは、部分的に三次元再構成が可能な断層画像データ集合になる。
【0065】
（保存処理の流れ）
次に、図６及び図７を参照して、本実施形態において、検査対象である基板のＸ線画像撮影から保存データを生成して記憶するまでの画像データの処理の流れの一例を説明する。図６は、Ｘ線検査システム２において行われる画像データの取得から保存に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。図７は、下記の一連の処理の流れで処理される画像データの変遷のイメージを示す説明図である。なお、本実施形態におけるステップＳ２０１からステップＳ２０４までの処理は、実施形態１の場合と同様であるため、説明を省略する。
次に、図６及び図７を参照して、本実施形態において、検査対象である基板のＸ線画像撮影から保存データを生成して記憶するまでの画像データの処理の流れの一例を説明する。図６は、Ｘ線検査システム２において行われる画像データの取得から保存に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。図７は、下記の一連の処理の流れで処理される画像データの変遷のイメージを示す説明図である。なお、本実施形態におけるステップＳ２０１からステップＳ２０４までの処理は、実施形態１の場合と同様であるため、説明を省略する。
【0066】
ステップＳ２０５において、圧縮方法判定部１２６が、取得した各断層画像データについていずれの圧縮方法で圧縮するのかを判定する（Ｓ２０５）。本実施形態では、圧縮方法判定部１２６は、断層画像内に金属部分を含むか否かを判定基準として判定を行う。即ち、圧縮方法判定部１２６は、図４に示すように、金属部分が含まれる断層画像を第１圧縮方法で圧縮し、そうでない断層画像を第２圧縮方法で圧縮することを決定する。
【0067】
次に、結合二次元データ生成部２２１が、一組の断層画像を圧縮方法ごとにそれぞれ一つの二次元画像データとして結合を行う（Ｓ２０６）。図４の例でいうと、Ｌ１乃至Ｌ３の断層画像を一つの二次元画像データとして、Ｈ１及びＨ２の断層画像を一つの二次元画像データとして、結合を行う。
【0068】
続けて、画像圧縮部２２２が、結合二次元画像データを対応する圧縮方法に応じて圧縮する（ステップＳ２０７）。次に、保存データ生成部２２３が上述の保存データを生成し（Ｓ２０８）、当該保存データをデータサーバ１３に保存して（Ｓ２０９）、一連のルーティンを終了する。なお、本実施形態においては、ステップＳ２０６とステップＳ２０７が、本発明に係る圧縮ステップに相当し、結合二次元データ生成部２２１と画像圧縮部２２２が本発明に係る画像圧縮手段に相当する。
【0069】
（復元処理の流れ）
次に、図８及び図９を参照して、本実施形態において、データサーバ１３に保存された保存データを復元する処理の流れの一例を説明する。図８は、Ｘ線検査システム２において行われる保存データの復元に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。図９は、下記の一連の処理の流れで処理される画像データの変遷のイメージを示す説明図である。
次に、図８及び図９を参照して、本実施形態において、データサーバ１３に保存された保存データを復元する処理の流れの一例を説明する。図８は、Ｘ線検査システム２において行われる保存データの復元に係る処理の流れの一例を示すフローチャートである。図９は、下記の一連の処理の流れで処理される画像データの変遷のイメージを示す説明図である。
【0070】
図８に示すように、まずユーザーは検査端末の入力手段を介して、復元したい保存データを指定する（Ｓ３０１）。なお、本実施形態においては基板上の所定領域に係る一組の断層画像を対象として、第１圧縮方法で圧縮された画像データに係る保存データと第２圧縮方法で圧縮された画像データに係る保存データとを、セットで指定する。ただし、圧縮方法が異なる保存データを別個に（即ち、保存データごとに）指定するようにしてもよい。
【0071】
次に、データ復元部２２４が、ステップＳ３０１で指定された保存データを復元する処理を実行する。具体的には、データ復元部２２４は、まず第１圧縮方法（可逆圧縮）で圧縮された画像データの情報を復元して圧縮前の状態に戻す（Ｓ３０２）。続けて、一つの二次元画像データとして結合された各断層画像の結合状態を解除し、個別の断層画像データとして利用可能な状態に復元する（Ｓ３０３）。ここで、第１圧縮方法で圧縮された画像データについてはｒａｗデータ（いわゆる生データ）に復元されるが、第２圧縮方法で圧縮された画像データについては、圧縮された状態のままで、個別の断層画像データとして復元される。
【0072】
その後、復元された各断層画像データを三次元データ生成部１２２が三次元データとして再構成し（Ｓ３０４）、一連の復元処理が終了する。なお、ステップＳ３０４で再構成された三次元データは、ｒａｗデータと圧縮データとを混在させた一組の断層画像から生成される三次元モデルとなる。
【0073】
以上のようなＸ線検査システム２によれば、圧縮方法が同一の複数の断層画像をまとめて一つの二次元画像データとすることにより、個別の複数の断層画像データとして扱うことに比べて、ファイルの出力・圧縮などの処理回数を減らすことができ、データ処理に係る速度を高速化することが可能になる。
【0074】
なお、上記のＸ線検査システム２では、保存データを復元した後に、復元された一組の断層画像データに基づいて三次元モデルを再構成するようにしていたが、復元された断層画像データはそれ以外の所望の用途に用いることができる。例えば、第１圧縮方法で圧縮されたデータを復元して、金属部分を含む断層画像に対して再度検査（目視検査を含む）
を実施したり、復元された断層画像データを参照して検査プログラム（における検査基準など）の修正・更新を行ったりすることも可能である。
を実施したり、復元された断層画像データを参照して検査プログラム（における検査基準など）の修正・更新を行ったりすることも可能である。
【0075】
＜その他＞
上記各例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明はその技術的思想の範囲内で種々の変形及び組み合わせが可能である。例えば、上記の各実施形態において、圧縮方法をいずれにするかの判定は異なる複数の判定基準を組み合わせて行ってもよい。具体的には、画像取得時から所定期間が経過しており、かつ金属部分を含まない断層画像のみ（又は検査結果が良品であった基板に係る断層画像のみ）を第２圧縮方法で圧縮する、などのようにしてもよい。
上記各例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明はその技術的思想の範囲内で種々の変形及び組み合わせが可能である。例えば、上記の各実施形態において、圧縮方法をいずれにするかの判定は異なる複数の判定基準を組み合わせて行ってもよい。具体的には、画像取得時から所定期間が経過しており、かつ金属部分を含まない断層画像のみ（又は検査結果が良品であった基板に係る断層画像のみ）を第２圧縮方法で圧縮する、などのようにしてもよい。
【0076】
また、上記各例では、Ｘ線源、Ｘ線カメラなどの撮影手段を備える装置、システム構成となっていたが、本発明は、断層画像データの処理に関する者であり、断層画像データの取得が可能であれば、撮影手段とは別個の情報処理端末として適用することもできる。
【0077】
＜付記１＞
部品実装基板のＸ線検査に係る画像データの管理方法であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップ（Ｓ１０１）
と、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップ（Ｓ１０６、Ｓ２０５）と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップ（Ｓ１０７、Ｓ１０８、Ｓ２０７）と、を有する
画像データの管理方法。
部品実装基板のＸ線検査に係る画像データの管理方法であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像データを取得する画像取得ステップ（Ｓ１０１）
と、
取得した複数の前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する判定ステップ（Ｓ１０６、Ｓ２０５）と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する圧縮ステップ（Ｓ１０７、Ｓ１０８、Ｓ２０７）と、を有する
画像データの管理方法。
【0078】
＜付記２＞
部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置（９）であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段（９１２）と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段（９１３）と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段（９１４）と、を有する
Ｘ線検査装置。
部品実装基板の検査に用いられるＸ線検査装置（９）であって、
前記部品実装基板に係る複数の断層画像を取得する画像取得手段（９１２）と、
前記断層画像データのそれぞれに対して、所定の判定基準に基づいて第１圧縮方法で圧縮するか否かを判定する圧縮方法判定手段（９１３）と、
前記第１圧縮方法または第２圧縮方法のいずれかの圧縮方法により前記断層画像データを圧縮する画像圧縮手段（９１４）と、を有する
Ｘ線検査装置。
【符号の説明】
【0079】
１、２・・・Ｘ線検査システム
９・・・Ｘ線検査装置
１１・・・Ｘ線撮影装置
１２、２２・・・検査端末
１３・・・データサーバ
１１１、９２・・・Ｘ線源
１１２、９３・・・Ｘ線カメラ
１１３・・・ステージ
９２１、９３１・・・Ｘステージ
９２２、９３２・・・Ｙステージ
Ｃ１、Ｃ２・・・円軌道
Ｏ・・・基板
９・・・Ｘ線検査装置
１１・・・Ｘ線撮影装置
１２、２２・・・検査端末
１３・・・データサーバ
１１１、９２・・・Ｘ線源
１１２、９３・・・Ｘ線カメラ
１１３・・・ステージ
９２１、９３１・・・Ｘステージ
９２２、９３２・・・Ｙステージ
Ｃ１、Ｃ２・・・円軌道
Ｏ・・・基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】