特開 2024-72356 ロードポート、及び蓋の傾き検知方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024072356

(43)【公開日】2024-05-28

(54)【発明の名称】ロードポート、及び蓋の傾き検知方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240521BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20240521BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022183090

(22)【出願日】2022-11-16

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】白川 省吾

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA03

5F131BA19

5F131CA69

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB72

5F131DB76

5F131DB82

5F131DD43

5F131DD59

5F131DD86

5F131GA14

5F131GA53

5F131GA82

5F131GA92

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

5F131JA04

5F131KA40

5F131KA47

5F131KA54

5F131KA72

5F131KB32

5F131KB38

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制する。
【解決手段】ロードポート４は、ベース４１と、ＦＯＵＰ１００が載置される載置部４４と、ＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１に蓋１０２を脱着するドア機構４２とを備える。ドア機構４２は、ドア本体５０と、吸着保持部５１と、傾き検知部７０とを有する。傾き検知部７０は、蓋１０２とドア本体５０との間の距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の接触センサ８０を含む。複数の接触センサ８０は、第１位置に配置され、ドア本体５０に取り付けられ、蓋１０２と対向する接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵを有する。また、複数の接触センサ８０は、第２位置に配置され、ドア本体５０に取り付けられ、蓋１０２と対向する接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤを有する。
【選択図】図１１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を収容するように構成され、側面に容器開口が形成された容器本体と、前記容器開口を開閉可能に構成された蓋と、を有する容器に対する前記蓋の脱着を行うロードポートであって、
前記容器本体の内部空間と前記搬送対象物が搬送される搬送空間とを接続するように構成され且つ前記蓋が通過可能に構成されたベース開口が形成され、前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、
前記容器本体が載置されるように構成された載置部と、
前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備え、
前記ドア機構は、
前記ベース開口を開閉可能に構成され、前記載置部に載置された前記容器本体に取り付けられている前記蓋と対向するように配置されたドア本体と、
前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、
前記蓋と前記ドア本体との距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の距離情報検知部を含み、前記保持部に保持された前記蓋と前記ドア本体との傾きに関する情報を検知するように構成された傾き検知部と、を有し、
前記複数の距離情報検知部は、
前記ドア本体の前記蓋と対向する第１位置に取り付けられた第１検知部と、
前記ドア本体の前記蓋と対向する第２位置に取り付けられた第２検知部と、を少なくとも有することを特徴とするロードポート。

【請求項2】

前記複数の距離情報検知部は、
前記容器本体に設けられた前記複数の係合孔にそれぞれ係合している係合位置と、前記複数の係合孔との係合が解除された解除位置との間で移動可能に構成された複数の係合爪に対応してそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。

【請求項3】

前記複数の距離情報検知部の各々は、前記複数の距離情報検知部の各々と前記蓋との接触の有無を検知する接触センサを有し、
前記ドア機構は、前記ドア本体の位置を制御可能に構成されたステッピングモータを有し、
前記載置部を前記ドア本体側へ付勢可能に構成されたエアシリンダ、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。

【請求項4】

前記容器の内部空間を満たしている第１気体を、前記第１気体とは別の第２気体に置換可能に構成された置換部、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。

【請求項5】

請求項１又は２に記載のロードポートにおいて、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いているか否か判断する、蓋の傾き検知方法であって、
前記複数の距離情報検知部の全てによって、前記蓋と前記ドア本体との距離が正常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていないと判断し、
前記複数の距離情報検知部のうちいずれか１つ以上によって、前記蓋と前記ドア本体との距離が異常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていると判断することを特徴とする蓋の傾き検知方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器の蓋を開閉するロードポート、及び当該ロードポートにおける蓋の傾き検知方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１、２及び３には、ウェハが収容されたポッド（以下、容器）の蓋を開閉するためのロードポート装置（以下、ロードポート）が開示されている。容器は、側面に開口が形成された容器本体と、開口を開閉可能に設けられた蓋とを有する。蓋は、容器本体の開口の近傍に形成された係合孔に係合する係合爪と、係合爪を伸縮させるためのラッチ機構とを有する。ロードポートは、蓋が通過可能な開口が形成されたフレーム（以下、仕切壁）と、仕切壁の開口近傍に配置された容器の蓋を容器本体に脱着するドア機構と、を有する。ドア機構は、吸着保持部と、キーと、移動部とを有する。ドア機構は、蓋を開ける際には、吸着保持部によって蓋を吸着保持し、キーによってラッチ機構を動作させて係合爪を縮めた後（すなわち、蓋を開錠した後）、保持した蓋を移動部によって容器本体から離隔させる。また、ドア機構は、蓋を閉める際には、保持した蓋で容器本体の開口を塞ぎ、ラッチ機構を動作させて係合爪を伸ばした後（すなわち、蓋を施錠した後）、蓋の吸着を解除する。

【0003】

蓋が正常に閉められていない状態で容器が別の場所へ搬送されると、例えば容器の搬送中に、蓋が容器本体から脱落するおそれがある。さらに、容器内に収容されたウェハが容器から落ちてしまうおそれもある。そこで、特許文献１、２及び３に記載のロードポートは、蓋が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための構成（以下、検知部）をそれぞれ有する。特許文献１において開示された検知部は、仕切壁に取り付けられている。当該検知部は、蓋が容器本体に正常に取り付けられていないことに起因する、ドア機構の構成部材の撓みを検知するように構成されている。特許文献２において開示された検知部は、仕切壁に取り付けられており、異常な位置に存在している蓋を光学的に検知するよう構成されている。特許文献３において開示された検知部は、仕切壁又はドア機構に取り付けられており、容器本体と蓋との段差を検知するように構成されている（段差センサ）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０－１５８３４３号公報

【特許文献2】特開２０１１－１６５７１９号公報

【特許文献3】特許第４３０３７７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

検知部が仕切壁に設けられた構成では、以下の問題が発生しうる。すなわち、仕切壁が板金で形成されている場合、ロードポートの設置時に歪みが比較的生じやすい。このため、当該歪みの大きさによっては、検知部と蓋との相対位置が意図した相対位置からずれてしまい、誤検知が生じるおそれがある。

【0006】

また、検知部がドア機構に取り付けられている場合でも、特許文献３に開示された段差検知部においては以下の問題が生じうる。すなわち、特許文献１～３には記載されていないが、ロードポートの種類によっては、容器内の気体を清浄なガスに置換することが可能である。このような場合、容器内にガスが注入された際に、容器の内部圧力が上昇して蓋が外側に押され、容器本体と蓋との間にわずかな段差が生じうる。段差検知部によってこのような段差が検知されると、実際には蓋が正常に閉まっているにもかかわらず、異常が生じたと判断されるおそれがある。

【0007】

本発明の目的は、容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

第１の発明のロードポートは、搬送対象物を収容するように構成され、側面に容器開口が形成された容器本体と、前記容器開口を開閉可能に構成された蓋と、を有する容器に対する前記蓋の脱着を行うロードポートであって、前記容器本体の内部空間と前記搬送対象物が搬送される搬送空間とを接続するように構成され且つ前記蓋が通過可能に構成されたベース開口が形成され、前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、前記容器本体が載置されるように構成された載置部と、前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備え、前記ドア機構は、前記ベース開口を開閉可能に構成され、前記載置部に載置された前記容器本体に取り付けられている前記蓋と対向するように配置されたドア本体と、前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、前記蓋と前記ドア本体との距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の距離情報検知部を含み、前記保持部に保持された前記蓋と前記ドア本体との傾きに関する情報を検知するように構成された傾き検知部と、を有し、前記複数の距離情報検知部は、前記ドア本体の前記蓋と対向する第１位置に取り付けられた第１検知部と、前記ドア本体の前記蓋と対向する第２位置に取り付けられた第２検知部と、を少なくとも有することを特徴とする。

【0009】

本発明では、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が同じである場合、蓋とドア本体とが互いに傾いていないと判断できる。これにより、蓋が容器本体に正常に固定されていると判断できる。一方、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が互いに異なっている場合、蓋とドア本体とが互いに傾いていると判断できる。これにより、蓋が容器本体に正常に固定されていないと判断できる。傾き検知部はドア本体に取り付けられているので、当該検知結果は、仕切壁の歪みによる影響を受けない。また、傾き検知部は蓋とドア本体との傾きを検知するものであるため、仮に容器の内部圧力が変化して、蓋と容器本体との相対位置が多少ずれても、当該検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制できる。

【0010】

第２の発明のロードポートは、前記第１の発明において、前記複数の距離情報検知部は、前記容器本体に設けられた前記複数の係合孔にそれぞれ係合している係合位置と、前記複数の係合孔との係合が解除された解除位置との間で移動可能に構成された複数の係合爪に対応してそれぞれ設けられていることを特徴とする。

【0011】

複数の係合爪のいずれかが、対応する係合孔に正常に係合していない場合、特に当該係合爪の近傍において、蓋の所定方向における位置が正常な位置から大きくずれうる。したがって、当該係合爪に対応する距離情報検知部によって、蓋が正常に閉まっていないことを確実に検知できる。

【0012】

第３の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記複数の距離情報検知部の各々は、前記複数の距離情報検知部の各々と前記蓋との接触の有無を検知する接触センサを有し、前記ドア機構は、前記ドア本体の位置を制御可能に構成されたステッピングモータを有し、前記載置部を前記ドア本体側へ付勢可能に構成されたエアシリンダ、を備えることを特徴とする。

【0013】

本発明では、距離情報検知部が接触センサを有するため、接触センサを介してドア本体と蓋が互いに押され合う。このため、ドア本体が容器側に強く押しつけられた場合、ドア本体又はその周辺の部材が歪んでしまうと、ドア本体と蓋との傾き角度が変わって誤検知を起こすおそれがある。この点、本発明では、ドア本体及び蓋が移動部によって容器本体側に押し付けられたとき、エアシリンダに設けられたピストンロッドが動くことによって、容器本体が載置部とともに移動できる。また、移動部はドア本体の位置を制御可能に構成されているので、容器本体の移動の長さは限られた範囲内に収まる。このため、ドア本体に加えられる力をエアシリンダによって吸収できる。したがって、ドア本体又はその周辺の部材が歪むことを抑制できる。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。

【0014】

第４の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記容器の内部空間を満たしている第１気体を、前記第１気体とは別の第２気体に置換可能に構成された置換部、を備えることを特徴とする。

【0015】

置換部によって容器内の第１気体を第２気体に置き換える際、一般的には、第２気体が容器内に注入されつつ第１気体が容器から排出される。このため、容器内の圧力が外部空間の圧力よりも高くなり、蓋が外側へ押されうる。蓋が外側へ押されると、蓋と容器本体との相対位置が多少ずれうる。この点、本発明において、傾き検知部は蓋とドア本体との傾きを検知するものであるため、仮に蓋と容器本体との相対位置が多少ずれても、傾き検知部による検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。

【0016】

第５の発明の蓋の傾き検知方法は、前記第１又は第２の発明のロードポートにおいて、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いているか否か判断する、蓋の傾き検知方法であって、前記複数の距離情報検知部の全てによって、前記蓋と前記ドア本体との距離が正常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていないと判断し、前記複数の距離情報検知部のうちいずれか１つ以上によって、前記蓋と前記ドア本体との距離が異常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていると判断することを特徴とする。

【0017】

本発明のように、蓋のドア本体に対する傾きを検知することによって、容器において蓋が正常に閉められたかどうか判断できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本実施形態に係るロードポートを備えるＥＦＥＭ及びその周辺の概略的な平面図である。

【図2】ＦＯＵＰの斜視図である。

【図3】（ａ）及び（ｂ）は、ＦＯＵＰを前後方向において蓋側から見た図である。

【図4】（ａ）は、ロードポートの斜視図であり、（ｂ）は、ロードポートの右側面図である。

【図5】（ａ）は、ロードポートの正面図であり、（ｂ）は、ロードポートの背面図である。

【図6】（ａ）及び（ｂ）は、蓋の開閉機構を示す説明図である。

【図7】（ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【図8】（ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【図9】（ａ）及び（ｂ）は、接触センサを示す説明図である。

【図10】（ａ）～（ｄ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【図11】（ａ）は、蓋が正常に閉められた状態を示す説明図であり、（ｂ）は、蓋が正常に閉められていない状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

次に、本発明の実施の形態について説明する。説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右方向と定義する。すなわち、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１と処理装置６とが並べられている方向を前後方向（本発明の所定方向）と定義する。前後方向において、ＥＦＥＭ１側を前側（本発明の所定方向における一方側）と定義する。前後方向において、処理装置６側を後側（本発明の所定方向における他方側）と定義する。前後方向と直交する、複数のロードポート４が並べられる方向を左右方向と定義する。また、前後方向及び左右方向の両方と直交する方向を上下方向（重力が作用する鉛直方向）と定義する。

【0020】

（ロードポート及び周辺の概略構成）
本実施形態に係るロードポート４及び周辺の概略構成について、図１を参照しつつ説明する。図１は、ロードポート４を備えるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１及びその周辺の概略図である。図１に示すように、ＥＦＥＭ１は、筐体２と、搬送ロボット３と、複数のロードポート４と、制御装置５とを備える。ＥＦＥＭ１の後側には、処理装置６が配置されている。処理装置６は、半導体基板であるウェハＷ（本発明の搬送対象物）に所定の処理を施す装置である。所定の処理とは、例えば真空チャンバー内で行われる処理（スパッタリング、ドライエッチングなど）であっても良く、或いは他の処理であっても良い。ＥＦＥＭ１は、筐体２内の搬送空間９に配置された搬送ロボット３によって、ロードポート４に載置されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１００と処理装置６との間でウェハＷの受渡しを行う。ＦＯＵＰ１００は、複数のウェハＷを上下方向に並べて収容可能な容器である。ＦＯＵＰ１００は、不図示のＦＯＵＰ搬送装置によって搬送される。搬送装置とロードポート４との間で、ＦＯＵＰ１００の受渡しが行われる。

【0021】

筐体２は、ウェハＷが搬送される搬送空間９を形成する部材である。搬送空間９は、主に筐体２によって外部空間１０と隔てられている。筐体２は、複数のロードポート４及び処理装置６のロードロック室７と接続されるように構成されている。搬送ロボット３は、ＦＯＵＰ１００とロードロック室７との間でウェハＷを搬送可能に構成されたロボットである。

【0022】

複数のロードポート４は、例えば左右方向に並べて配置され、筐体２の前面に取り付けられている。複数のロードポート４の各々は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１（後述。本発明の容器本体）に対して蓋１０２（後述）を脱着するように構成されている。ロードポート４の構成のより詳細、及びＦＯＵＰ１００の構成のより詳細については後述する。

【0023】

制御装置５は、搬送ロボット３の制御部（不図示）、ロードポート４の制御部４７及び処理装置６の制御部（不図示）と電気的に接続されており、これらの制御部との通信を行う。

【0024】

処理装置６は、例えば、ロードロック室７と、処理室８とを有する。ロードロック室７は、ウェハＷを一時的に待機させるための部屋である。ロードロック室７は、筐体２の内部に形成された搬送空間９と接続されている。処理室８は、ウェハＷに所定の処理を行うための部屋である。

【0025】

（ＦＯＵＰ）
ロードポート４の構成について説明する前に、ＦＯＵＰ１００の構成について図２、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照しつつ説明する。図２は、ＦＯＵＰ１００の斜視図である。図２に示された前後左右上下方向は、ＦＯＵＰ１００がロードポート４に載置されており、且つ蓋１０２が正常に閉まっていると仮定したときの、説明の便宜上の方向である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、ＦＯＵＰ１００を前後方向において蓋１０２側（すなわち、後側）から見た図である。図３（ａ）は、蓋１０２が施錠された状態を示す図である。図３（ａ）においては、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。図３（ｂ）は、蓋１０２が開錠された状態を示す図である。図３（ｂ）においても、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。

【0026】

ＦＯＵＰ１００は、概ね直方体形状の容器である。図２に示すように、ＦＯＵＰ１００は、ＦＯＵＰ本体１０１と、蓋１０２とを有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、概ね直方体形状を有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）を囲う外壁部１１１と、ＦＯＵＰ本体１０１の１つの側面に設けられた開口部１１２とを有する。開口部１１２には、前後方向から見たときに概ね長方形状の開口１１３（本発明の容器開口）が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、開口部１１２の内周面のうち上側の面の左側部分には、上側へ延びた係合孔１１４が形成されている。同様に、開口部１１２の内周面のうち下側の面の左側部分には、下側へ延びた係合孔１１５が形成されている。開口部１１２の内周面のうち上側の面の右側部分には、上側へ延びた係合孔１１６が形成されている。開口部１１２の内周面のうち下側の面の右側部分には、下側へ延びた係合孔１１７が形成されている。

【0027】

ＦＯＵＰ本体１０１の底部には、ガス供給弁１１８と、ガス排出弁１１９とが形成されている（図４（ｂ）参照）。ガス供給弁１１８は、例えば窒素などの不活性ガスをＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）内に供給するための弁である。ガス排出弁１１９は、気体を内部空間Ｓｆから排出するための弁である。

【0028】

蓋１０２は、開口部１１２を開閉するように構成されている。蓋１０２は、蓋本体１２１と、ラッチ機構１２２と、ラッチ機構１２３とを有する。蓋本体１２１は、概ね板状の中空の部材である。蓋本体１２１は、後述のドア本体５０と前後方向において対向可能な端面１２１ａ（本発明の蓋対向面）を有する。端面１２１ａの上下方向における略中央の左側部分には、ラッチ機構１２２に対応して開口１２４が形成されている。端面１２１ａの上下方向における略中央の右側部分には、ラッチ機構１２３に対応して開口１２５が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３２の上端部が挿通された挿通孔１２６が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３３の下端部が挿通された挿通孔１２７が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４２の上端部が挿通された挿通孔１２８が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４３の下端部が挿通された挿通孔１２９が形成されている。

【0029】

ラッチ機構１２２及びラッチ機構１２３は、蓋１０２の開錠及び施錠を行うように構成された機構である。ラッチ機構１２２は、蓋本体１２１の左側部分に設けられている。ラッチ機構１２２は、回転板１３１と、ロックプレート１３２と、ロックプレート１３３とを有する。回転板１３１、ロックプレート１３２及びロックプレート１３３の概ね全体は、蓋本体１２１の内側の空間に収容されている。回転板１３１は、略円板状の部材である。回転板１３１は、開口１２４に対応して、蓋本体１２１の上下方向における略中央の左側部分に設けられている。回転板１３１は、前後方向を回転軸方向として、蓋本体１２１に自転可能に取り付けられている。回転板１３１の後端面の略中心部には、前後方向から見たときに例えば略長方形状の鍵穴１３４（図２参照）が形成されている。回転板１３１は、鍵穴１３４に差し込まれる後述のラッチキー６５によって回転させられることで、施錠位置（図３（ａ）参照）と開錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。回転板１３１の後端面には、正面カム１３５及び正面カム１３６が形成されている。正面カム１３５は、例えば、回転板１３１の後端面の上側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３５は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。正面カム１３６は、例えば、回転板１３１の後端面の下側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３６は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。

【0030】

ロックプレート１３２は、開口部１１２の上端部に係合することによって、蓋１０２をＦＯＵＰ本体１０１に固定するための部材である。ロックプレート１３２は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３２の下端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３７を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３７は、正面カム１３５に挿通されている。ロックプレート１３２の上端部には、係合孔１１４に挿入される係合爪１３２ａが形成されている。係合爪１３２ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の中に位置している（係合位置）。係合爪１３２ａは、回転板１３１が開錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の外側に位置している（解除位置）。

【0031】

ロックプレート１３３は、開口部１１２の下端部に係合することによって、蓋１０２を開口部１１２に係合させるための部材である。ロックプレート１３３は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３３の上端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３８を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３８は、正面カム１３６に挿通されている。ロックプレート１３３の下端部には、係合孔１１５に挿入される係合爪１３３ａが形成されている。係合爪１３３ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の中に位置している（係合位置）。係合爪１３３ａは、回転板１３１が開錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の外側に位置している（解除位置）。

【0032】

以上の構成を有するラッチ機構１２２は、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２２は、回転板１３１が開錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。

【0033】

ラッチ機構１２３は、蓋本体１２１の右側部分に設けられている。ラッチ機構１２３は、左右方向における配置位置を除いてラッチ機構１２２と同じ構成を有するため、以下の説明は比較的簡単なものにとどめる。ラッチ機構１２３は、回転板１４１と、ロックプレート１４２と、ロックプレート１４３とを有する。回転板１４１は、開口１２５に対応して設けられている。回転板１４１は、後述のラッチキー６６が差し込まれる鍵穴１４４を有する。回転板１４１は、上側部分に形成された正面カム１４５と、下側部分に形成された正面カム１４６とを有する。回転板１４１は、施錠位置（図３（ａ）参照）と開錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。ロックプレート１４２は、カムフォロア１４７を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４２の上端部には、係合孔１１６に挿入される係合爪１４２ａが形成されている。ロックプレート１４３は、カムフォロア１４８を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４３の下端部には、係合孔１１７に挿入される係合爪１４３ａが形成されている。

【0034】

以上の構成を有するラッチ機構１２３は、回転板１４１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２３は、回転板１４１が開錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。

【0035】

（ロードポート）
次に、ロードポート４の構成について図４（ａ）～図５（ｂ）を参照しつつ説明する。図４（ａ）は、ロードポート４の斜視図である。図４（ｂ）は、ロードポート４の右側面図である。図５（ａ）は、ロードポート４の正面図である。図５（ｂ）は、ロードポート４の背面図である。

【0036】

上述したように、ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１に対して蓋１０２を脱着するように構成されている。ロードポート４は、ベース４１（本発明の仕切壁）と、ドア機構４２と、支持フレーム４３と、載置部４４と、エアシリンダ４５と、複数のクランプ機構４６と、制御部４７とを有する。

【0037】

ベース４１は、前後方向から見たときに略長方形状の平板状の部材である。ベース４１は、上下方向に延びるように配置されている。ベース４１は、少なくとも搬送空間９を外部空間１０と隔てる隔壁の一部を構成している。ベース４１の上側部分には、前後方向から見たときに略長方形状の開口４１ａ（本発明のベース開口）が形成されている。開口４１ａは、ＦＯＵＰ１００の蓋１０２が前後方向に通過できる大きさを有する。また、開口４１ａは、後述のドア本体５０によって開閉される大きさを有する。ベース４１は、例えば板金によって形成されている。なお、ベース４１は、ＥＦＥＭ１に据え付けられる際に、所定の公差の範囲内で若干歪む可能性がある。

【0038】

ドア機構４２は、蓋１０２の吸着保持、蓋１０２の開錠及び施錠、並びに蓋１０２の移動を実行可能に構成されている。ドア機構４２のより具体的な構成については後述する。

【0039】

支持フレーム４３は、載置部４４を支持するための部材である。支持フレーム４３は、上下方向から見たときに略長方形状である。支持フレーム４３は、ベース４１に固定されている。支持フレーム４３は、ベース４１の上下方向における途中部から前側に突出するように配置されている。

【0040】

載置部４４は、ＦＯＵＰ１００が載置される台状の部材である。載置部４４は、支持フレーム４３に支持されている。載置部４４は、支持フレーム４３に対して前後方向に移動可能に構成されている。載置部４４は、ＦＯＵＰ１００がＦＯＵＰ搬送装置（不図示）との間で受渡しされることが可能な受渡位置と、受渡位置よりも前側の蓋開閉位置との間で移動可能に構成されている。載置部４４には、位置決めピン４４ａと、ロック爪４４ｂと、ガス注入ノズル４４ｃと、ガス排出ノズル４４ｄとが設けられている。位置決めピン４４ａは、ＦＯＵＰ１００の位置決めを行うための部材である。ロック爪４４ｂは、ＦＯＵＰ１００の載置部４４への固定（ロック）及び固定の解除（アンロック）を行うための部材である。ガス注入ノズル４４ｃは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガスを供給するためのノズルである。ガス注入ノズル４４ｃは、バルブ４４ｅを介して不活性ガスの供給ポート（不図示）に接続されている。ガス注入ノズル４４ｃは、ガス供給弁１１８に連結されることが可能に構成されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆからガスを排出するためのノズルである。ガス排出ノズル４４ｄは、バルブ４４ｆを介してガスの排出ポート（不図示）に接続されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ガス排出弁１１９に連結されることが可能に構成されている。ガス注入ノズル４４ｃ及びガス排出ノズル４４ｄは、本発明の置換部に相当する。

【0041】

エアシリンダ４５は、載置部４４を前後方向に移動させるように構成されている。エアシリンダ４５は、シリンダ本体（不図示）とピストンロッド（不図示）とを有する。シリンダ本体には圧縮空気が供給及び排出される。ピストンロッドは、前後方向に伸縮するように配置され、圧縮空気の作用によって伸縮する。エアシリンダ４５は、載置部４４が蓋開閉位置に位置しているとき、載置部４４を後側へ付勢する付勢部として機能する。

【0042】

複数のクランプ機構４６は、ＦＯＵＰ１００を把持してベース４１に密着させるように構成されている。

【0043】

制御部４７は、不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御部４７は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＣＰＵによってロードポート４の各機構を制御する。また、制御部４７は、ＥＦＥＭ３の制御装置５との間で通信を行う。

【0044】

（ドア機構の構成）
ドア機構４２の構成について、図４（ａ）～図６（ｂ）を参照しつつ説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、後述の鍵開閉機構５２の背面図である。図６（ａ）は、回転板１３１、１４１を施錠位置（図３（ａ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。図６（ｂ）は、回転板１３１、１４１を開錠位置（図３（ｂ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。

【0045】

図４（ｂ）に示すように、ドア機構４２は、ドア本体５０と、複数の吸着保持部５１（本発明の保持部）と、鍵開閉機構５２と、ドア支持部５３と、ガイドレール５４と、昇降ブロック５５と、ガイドレール５６と、モータ５７（本発明の移動部）と、モータ５８とを有する。ドア本体５０は、前後方向から見たときに略長方形状の板状の部材である。ドア本体５０は、蓋本体１２１の端面１２１ａと前後方向において対向可能な前端面５０ａを有する。前端面５０ａを含む仮想的な仮想平面Ｐが、本発明の仮想平面に相当する。ドア本体５０は、ドア支持部５３に支持されている。

【0046】

複数の吸着保持部５１は、蓋１０２をドア本体５０に吸着させて保持するためのものである。複数の吸着保持部５１の各々は、ドア本体５０の前端面５０ａに形成されている。複数の吸着保持部５１は、不図示の配管を介して不図示の真空ポンプに接続されている。真空ポンプが動作すると、配管の内部に負圧が生じ、蓋１０２がドア本体５０に吸着されて保持される。

【0047】

鍵開閉機構５２は、蓋１０２の開錠及び施錠を行うように構成されている。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、鍵開閉機構５２は、例えば、エアシリンダ６１と、移動部材６２と、アーム６３、６４と、ラッチキー６５、６６とを有する。エアシリンダ６１は、例えば左右方向に伸縮可能なピストンロッド６１ａを有する。ピストンロッド６１ａは、エアシリンダ６１への圧縮空気の供給又はエアシリンダ６１からの圧縮空気の排出に応じて、待機状態（図６（ａ）参照）と突出状態（図６（ｂ）参照）との間で状態が切り換えられる。移動部材６２は、ピストンロッド６１ａの先端部に固定され、ピストンロッド６１ａと一体的に左右方向に移動する。移動部材６２は、エアシリンダ６１よりも上側へ突出した第１部材６２ａと、第１部材６２ａの上端部に固定された第２部材６２ｂとを有する。第２部材６２ｂは、左右方向に沿って延びた棒状の部材である。アーム６３は、第２部材６２ｂの左端部に揺動可能に取り付けられている。アーム６４は、第２部材６２ｂの右端部に揺動可能に取り付けられている。ラッチキー６５は、アーム６３の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ラッチキー６６は、アーム６４の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態であるとき、ラッチキー６５、６６は鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれることが可能である。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態と突出状態との間で切り換えられることにより、ラッチキー６５、６６は、回転板１３１、１４１をそれぞれ施錠位置（図３（ａ）参照）と開錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転させることができる。

【0048】

ドア支持部５３は、ドア本体５０を支持する部材である。ドア支持部５３は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。ドア支持部５３には、ドア本体５０が不図示の固定具によって固定されている。ドア支持部５３は、上下方向に延びている。ドア支持部５３は、ガイドレール５４によって前後方向に移動可能に支持されている。ドア支持部５３は、モータ５７によって前後方向に移動駆動される。ドア支持部５３は、前後方向に移動させられることによって、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））と開放位置（図８（ａ）参照）との間で移動させる。閉止位置は、ドア本体５０がベース４１の開口４１ａを塞いでいるときのドア本体５０の位置である。開放位置は、ドア本体５０が開口４１ａを開放しているときのドア本体５０の位置である。

【0049】

ガイドレール５４は、ドア支持部５３を前後方向に案内する部材である。ガイドレール５４は、昇降ブロック５５の上に設けられている。ガイドレール５４は、前後方向に延びている。

【0050】

昇降ブロック５５は、ドア本体５０を上下方向に移動させるための部材である。昇降ブロック５５は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。昇降ブロック５５は、ガイドレール５４によってドア支持部５３を移動可能に支持している。昇降ブロック５５は、ガイドレール５６に沿って上下方向に案内される。昇降ブロック５５は、モータ５８によって上下方向に移動駆動される。昇降ブロック５５は、上下方向に移動させられることによって、ドア本体５０を、上述の開放位置と、開放位置よりも下側の退避位置（図７（ｂ）参照）との間で移動させる。

【0051】

ガイドレール５６は、昇降ブロック５５を上下方向に案内する部材である。ガイドレール５６は、ベース４１に設けられている。ガイドレール５６は、上下方向に延びている。

【0052】

モータ５７は、ドア支持部５３を前後方向に移動駆動するように構成されている。モータ５７は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５７は、ドア支持部５３の前後方向における位置を制御可能に構成されている。

【0053】

モータ５８は、昇降ブロック５５を上下方向に移動駆動するように構成されている。モータ５８は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５８は、ドア支持部５３の上下方向における位置を制御可能に構成されている。

【0054】

以上の構成を有するロードポート４の動作について、図７（ａ）～図８（ｂ）を参照しつつ説明する。図７（ａ）～図８（ｂ）は、動作中のロードポート４の右側面図である。ここでは、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置されてから、蓋１０２がドア機構４２によってＦＯＵＰ本体１０１から取り外されるまでのロードポート４の動作を説明する。

【0055】

まず、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置される（図７（ａ）参照）。このとき、ＦＯＵＰ１００は、位置決めピン４４ａによって位置決めされ、ロック爪４４ｂによって載置部４４に固定される。また、ガス注入ノズル４４ｃがガス供給弁１１８に連結され、ガス排出ノズル４４ｄがガス排出弁１１９に連結される。

【0056】

制御部４７は、エアシリンダ４５の動作を制御して、載置部４４を受渡位置（図７（ａ）参照）から蓋開閉位置（図７（ｂ））に移動させる。これにより、蓋１０２の端面１２１ａが、ドア本体５０の前端面５０ａと前後方向において近接した位置で対向する。このとき、ラッチキー６５、６６（図４（ａ）参照）が鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれる。次に、制御部４７は、バルブ４４ｅ及びバルブ４４ｆを制御して、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガス（本発明の第２気体）を供給しつつ、内部空間Ｓｆを満たしていたガス（本発明の第１気体）を内部空間Ｓｆから排出する。これにより、内部空間Ｓｆ内のガスが不活性ガスに置き換えられる（このような処理は、一般的にパージ処理とも呼ばれる）。パージ処理が行われているとき、ＦＯＵＰ１００内の圧力が外部空間１０の圧力よりも高くなり、蓋１０２が外側（より具体的には後側）へ多少押されうる。なお、パージ処理は、載置部４４の蓋開閉位置への移動前に行われても良い。

【0057】

次に、制御部４７は、クランプ機構４６を制御して、ＦＯＵＰ１００をベース４１に押し付ける。次に、制御部４７は、真空ポンプ（不図示）を制御して、蓋１０２をドア本体５０の吸着保持部５１に吸着保持させる。さらに、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、蓋１０２の開錠を行う。

【0058】

次に、制御部４７は、モータ５７を制御して、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））から開放位置（図８（ａ）参照）に移動させる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から取り外される。このとき、内部空間Ｓｆと搬送空間９が、開口１１３及び開口４１ａを介して接続される。内部空間Ｓｆ及び搬送空間９は、ベース４１等によって外部空間１０と隔てられている。さらに、制御部４７は、モータ５８を制御して、ドア本体５０を開放位置から退避位置（図８（ｂ）参照）に移動させる。これにより、内部空間Ｓｆと搬送空間９との間でウェハＷの受渡しが可能になる。言い換えれば、ウェハＷが内部空間Ｓｆと処理装置６との間で受け渡されることが可能になる。処理装置６によって、全ての（又は一部の）ウェハＷに対して所定の処理が順次施される。処理が施されたウェハＷは、内部空間Ｓｆに戻される。

【0059】

ウェハＷの処理が完了した後、制御部４７は、蓋１０２を開けるときとは逆の動作をドア機構４２等に行わせる。すなわち、制御部４７は、ドア本体５０を退避位置から開放位置へ移動させ、さらに開放位置から閉止位置へ移動させる。次に、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、蓋１０２の施錠を行う。また、制御部４７は、上述したパージ処理を再び行う。制御部４７は、蓋１０２のドア本体５０への吸着を解除する（吸着解除）。その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる。

【0060】

ここで、蓋１０２が正常に閉められていない状態でＦＯＵＰ１００が別の場所へ搬送されると、ＦＯＵＰ１００の搬送中に蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から脱落するおそれがある。さらに、ＦＯＵＰ１００内に収容されたウェハがＦＯＵＰ１００から落ちてしまうおそれもある。そこで、蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための種々の構成が検討されているものの、従来の構成では誤検知が発生する懸念がある。本実施形態では、誤検知の発生を抑制するため、ロードポート４は以下の構成を備える。

【0061】

（検知センサ）
まず、蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための構成について、図９（ａ）及び図９（ｂ）を参照しつつ説明する。図９（ａ）は、ドア本体５０の正面図である。図９（ｂ）は、後述する複数の接触センサ８０の１つ及びその周辺の側断面図である。より具体的には、図９（ｂ）は、代表として接触センサ８０ＲＤ及びその周辺の構成を示した図である。

【0062】

図９（ａ）に示すように、ロードポート４は、傾き検知部７０を有する。傾き検知部７０は、蓋１０２のドア本体５０に対する傾きに関する情報を検知するためのものである。傾き検知部７０は、複数の接触センサ８０（本発明の距離情報検知部）を有する。複数の接触センサ８０は、ドア本体５０に取り付けられている。本実施形態における例として、４つの接触センサ８０が設けられている。

【0063】

４つの接触センサ８０は、４つの係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａ（図３（ａ）等参照）に対応してそれぞれ設けられている。ドア本体５０の上端部の左側部分には、係合爪１３２ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１３２ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＬＵが配置されている。ドア本体５０の下端部の左側部分には、係合爪１３３ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１３３ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＬＤが配置されている。ドア本体５０の上端部の右側部分には、係合爪１４２ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１４２ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＲＵが配置されている。ドア本体５０の下端部の右側部分には、係合爪１４３ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１４３ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＲＤが配置されている。

【0064】

接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵ、８０ＬＤ、８０ＲＤは、仮想平面Ｐ上で互いに異なる位置に配置されている。具体例として、接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵと、接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤとは、上下方向において互いに異なる位置に配置されている。より具体的には、接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵと、接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤとは、ドア本体５０の上下方向における中心を通る仮想直線ＶＬ１を挟んで互いに反対側に配置されている。説明の便宜上、本実施形態では、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵとをまとめたものが、本発明の第１検知部に相当する。接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤとをまとめたものが、本発明の第２検知部に相当する。第１検知部の位置が、本発明の第１位置に相当する。第２検知部の位置が、本発明の第２位置に相当する。第１位置と第２位置とは、仮想平面Ｐ上で互いに異なっている。

【0065】

また、接触センサ８０ＬＵ、８０ＬＤと、接触センサ８０ＲＵ、８０ＲＤとは、左右方向において互いに異なる位置に配置されている。より具体的には、接触センサ８０ＬＵ、８０ＬＤと、接触センサ８０ＲＵ、８０ＲＤとは、ドア本体５０の左右方向における中心を通る仮想直線ＶＬ２を挟んで互いに反対側に配置されている。

【0066】

図９（ｂ）に示すように、接触センサ８０は、例えば、センサ本体８１と、パイプ８２と、接触子８３と、ばね８４と、固定具８５とを有する。センサ本体８１は、蓋１０２と接触子８３との接触の有無に関する信号（以下、接触信号）を制御部４７に送信するように構成されている。センサ本体８１は、例えばドア本体５０の後側に配置されている。センサ本体８１は、例えば不図示のスイッチを有する。センサ本体８１は、例えば、接触子８３の前後方向における位置に応じて、スイッチのオン、オフが切り換わるように構成されている。例えば、接触子８３が前側に位置しているときにスイッチがオン状態であり、接触子８３が後側に位置しているときにスイッチがオフ状態である構成では、オン状態を示す信号は非接触を示し、オフ状態を示す信号は接触を示す。別の構成として、接触子８３が前側に位置しているときにスイッチがオフ状態であり、接触子８３が後側に位置しているときにスイッチがオン状態である構成では、オフ状態を示す信号は非接触を示し、オン状態を示す信号は接触を示す。

【0067】

パイプ８２は、前後方向に沿って延びた部材である。パイプ８２は、例えばセンサ本体８１の先端部に取り付けられている。パイプ８２は、接触子８３を前後方向に案内するように構成されている。パイプ８２は、センサ本体８１の先端部の前側に配置されている。接触子８３は、パイプ８２によって前後方向に沿って移動可能に支持されている。接触子８３の前端部は、ドア本体５０よりも前側に突出している。接触子８３は、ドア本体５０を貫通していても良い。すなわち、ドア本体５０を前後方向に貫通する貫通孔５０ｂが形成されていても良い。接触子８３は、貫通孔５０ｂに挿通されていても良い。接触子８３は、所定の初期位置（非接触位置）と、初期位置よりも後側の接触位置との間で移動可能である（図９（ｂ）の矢印参照）。ばね８４は、接触子８３を前側へ（すなわち、初期位置側へ）付勢するように構成されている。ばね８４は、例えば公知の圧縮コイルばねである。ばね８４は、パイプ８２の径方向における外側に配置されている。固定具８５は、センサ本体８１及びパイプ８２等をドア本体５０に固定するように構成されている。

【0068】

（蓋が正常に閉まっているか否かの判定）
次に、制御部４７が行う、蓋１０２が正常に閉まっているか否かの判定の方法（すなわち、蓋１０２の傾き検知方法）について、図１０（ａ）～図１０（ｄ）、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）を参照しつつ説明する。図１０（ａ）～図１０（ｄ）は、ロードポート４の動作を示す説明図である。図１１（ａ）は、蓋１０２が正常に閉められた状態を示す説明図である。図１１（ｂ）は、蓋１０２が正常に閉められていない状態を示す説明図である。本実施形態において「蓋１０２が正常に閉められた状態」とは、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａと略平行である状態をいう。この状態では、全ての係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが、それぞれ対応する係合孔１１４、１１５、１１６、１１７に正常に係合している（図１１（ａ）参照）と推定することができる。一方、「蓋１０２が正常に閉められていない状態」とは、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａに対して傾いている状態をいう。この状態は、いずれか１以上の係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが、対応する係合孔１１４、１１５、１１６、１１７に係合していないこと（図１１（ｂ）参照）を意味する。

【0069】

制御部４７は、ドア本体５０に吸着保持された蓋１０２をＦＯＵＰ１０１に取り付ける過程において、蓋１０２が正常に閉まっているか否かの判定（以下、正否判定）を行う。上述したように、制御部４７は、ドア本体５０を退避位置（図１０（ａ）参照）から開放位置（図１０（ｂ）参照）へ移動させ、さらに開放位置から閉止位置（図１０（ｃ）参照）へ移動させる。制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わるまでは正否判定を行わない。制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わった段階で正否判定を開始する。より具体的には、制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わった後、上述した蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除を行っている間、正否判定を行う。

【0070】

正否判定の具体的な方法について説明する。制御部４７は、蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除が完了するまで、複数の接触センサ８０から受信した信号に基づき、所定の周期で判定を行う。制御部４７は、複数の接触センサ８０から受信した信号の全てが接触を示す信号であるとき、蓋１０２が正常に閉まっていると判定する。これは、正否判定が行われている間、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａと略平行であり、全ての接触センサ８０が蓋１０２によって押されていることを意味する（図１１（ａ）参照）。言い換えれば、この場合、複数の接触センサ８０の全てによって、蓋１０２とドア本体５０との前後方向における距離が正常であることを示す情報が検知されている。

【0071】

一方、制御部４７は、蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除が完了するまでの間に、複数の接触センサ８０のうちいずれか１以上から受信した信号が非接触を示す信号であったとき、蓋１０２が正常に閉まっていないと判定する。これは、正否判定が行われている間、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａに対して傾いていることを意味する。言い換えれば、この場合、複数の接触センサ８０のいずれか１つ以上によって、蓋１０２とドア本体５０との前後方向における距離が異常であることを示す情報が検知されている。

【0072】

なお、制御部４７は、個々の接触センサ８０による検知結果について正否判定を行うのではなく、全ての接触センサ８０から受信する信号を総合的に考慮して、蓋１０２全体に関する正否判定を行う。これは、蓋１０２のうち正常に閉まっていない部分が接触センサ８０に接触し、蓋１０２のうち正常に閉まっている部分が接触センサ８０に接触していない可能性もあるためである。例えば図１１（ｂ）に示すように、蓋１０２の係合爪１３２ａ又は係合爪１４２ａがＦＯＵＰ本体１０１と正常に係合しておらず、蓋１０２の上側部分が下側部分よりも前側に位置している場合を想定する。このとき、蓋１０２の上側部分が接触センサ８０ＬＵ及び接触センサ８０ＲＵに接触している。一方、この場合、係合爪１３３ａ及び係合爪１４３ａがＦＯＵＰ本体１０１と正常に係合していても、蓋１０２の下側部分は、接触センサ８０ＬＤ及び接触センサ８０ＲＤに接触していない。このように、ロードポート４においては、蓋１０２のどの部分が正常に施錠されていないのかまでは判定できないが、蓋１０２全体が正常に閉まっているかどうか判定できる。

【0073】

なお、正否判定が行われている間、ドア本体５０の前後方向における位置は、モータ５７によって決まっている。一方、蓋１０２は、エアシリンダ４５によって、載置部４４を介して後側へ付勢されている。蓋１０２は、ドア本体５０（及び接触センサ８０）によって前側へ押されたとき、載置部４４と共に前側へ移動可能である。

【0074】

その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる。制御部４７は、ロック爪４４ｂによる載置部４４へのＦＯＵＰ１００の固定を解除する。これにより、ＦＯＵＰ１００をロードポート４からＦＯＵＰ搬送装置に引き渡すことが可能になる。

【0075】

以上のように、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が同じである場合、蓋１０２とドア本体５０とが互いに傾いていないと判断できる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１に正常に固定されていると判断できる。一方、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が互いに異なっている場合、蓋１０２とドア本体５０とが互いに傾いていると判断できる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１に正常に固定されていないと判断できる。傾き検知部７０はドア本体５０に取り付けられているので、当該検知結果は、ベース４１の歪みによる影響を受けない。また、傾き検知部７０は蓋１０２とドア本体５０との傾きを検知するものであるため、仮にＦＯＵＰ１００の内部圧力が変化して、蓋１０２とＦＯＵＰ本体１０１との相対位置が多少ずれても、当該検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、ＦＯＵＰ１００において蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制できる。

【0076】

また、複数の接触センサ８０は、複数の係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａに対応してそれぞれ設けられている。いずれかの係合爪が、対応する係合孔に正常に係合していない場合、特に当該係合爪の近傍において、蓋１０２の所定方向における位置が正常な位置から大きくずれうる。したがって、当該係合爪に対応する接触センサ８０によって、蓋１０２が正常に閉まっていないことを確実に検知できる。

【0077】

また、ドア本体５０を前後方向に移動させるモータ５７は、ドア本体５０の前後方向における位置を制御可能に構成されたステッピングモータである。また、蓋１０２は、エアシリンダ４５によって、載置部４４を介して後側へ付勢されている。蓋１０２は、ドア本体５０（及び接触センサ８０）によって前側へ押されたとき、載置部４４と共に前側へ移動可能である。ドア本体５０及び蓋１０２がモータ５７によってＦＯＵＰ本体１０１側（すなわち、前側）に押し付けられても、ＦＯＵＰ本体１０１が前側に移動できる。また、モータ５７はドア本体５０の位置を制御可能に構成されているので、仮に蓋１０２によってＦＯＵＰ本体１０１が押されても、ＦＯＵＰ本体１０１の前後方向における移動の長さは限られた範囲内に収まる。このため、ドア本体５０に加えられる力をエアシリンダ４５によって吸収できる。したがって、ドア本体５０又はその周辺の部材が歪むことを抑制できる。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。

【0078】

また、傾き検知部７０は蓋１０２とドア本体５０との傾きを検知するものであるため、仮にパージ処理が行われている際に蓋１０２とＦＯＵＰ本体１０１との相対位置が多少ずれても、傾き検知部７０による検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。

【0079】

次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

【0080】

（１）前記実施形態において、説明の便宜上、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵとをまとめたものが本発明の第１検知部に相当し、接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤとをまとめたものが本発明の第２検知部に相当するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、接触センサＬＵと接触センサＬＤとをまとめたものが本発明の第１検知部に相当し、接触センサＲＵと接触センサＲＤとをまとめたものが本発明の第２検知部に相当するものとしても良い。或いは、上述した４つの接触センサ８０のうち任意の１つが本発明の第１検知部に相当し、別の任意の１つが本発明の第２検知部に相当するものとしても良い。

【0081】

（２）前記までの実施形態において、傾き検知部７０は４つの接触センサ８０を有するものとした。しかしながら、接触センサ８０の数は、これには限られない。接触センサ８０の数は、例えば２つであっても良い。一例として、ドア本体５０の上端部に配置された接触センサ８０ＲＵと、ドア本体５０の下端部に配置された接触センサ８０ＲＤとが設けられていても良い。この場合、仮想平面Ｐ内において、接触センサ８０ＲＵが設けられた位置が本発明の第１位置に相当する。接触センサ８０ＲＵが、本発明の第１検知部に相当する。仮想平面Ｐ内において、接触センサ８０ＲＤが設けられた位置が本発明の第２位置に相当する。接触センサ８０ＲＤが、本発明の第２検知部に相当する。別の例として、傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＬＤのみを接触センサ８０として有していても良い。傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵのみを接触センサ８０として有していても良い。傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤのみを接触センサ８０として有していても良い。２つの接触センサ８０は、仮想平面Ｐ上で仮想直線ＶＬ１又は仮想直線ＶＬ２を挟んで互いに反対側に配置されていると好ましい。但し、これには限られない。

【0082】

或いは、複数の接触センサ８０は、必ずしもいずれかの係合爪に対応して設けられていなくても良い。複数の接触センサ８０は、例えば、ドア本体５０の左右方向における中央部に配置されていても良い。このように、複数の接触センサ８０は、仮想平面Ｐ内において複数の係合爪から離れた位置に配置されていても良い。この場合、複数の接触センサ８０の１つはドア本体５０の上端部に配置され、複数の接触センサ８０の別の１つはドア本体５０の下端部に配置されていても良い。或いは、複数の接触センサ８０は、例えば、ドア本体５０の上下方向における中央部に配置されていても良い。この場合、複数の接触センサ８０の１つはドア本体５０の左端部に配置され、複数の接触センサ８０の別の１つはドア本体５０の右端部に配置されていても良い。

【0083】

（３）前記までの実施形態において、傾き検知部７０は複数の接触センサ８０を有するものとした。しかしながら、これには限られない。傾き検知部７０は、接触センサ８０の代わりに複数の光学センサ（不図示）を有していても良い。各光学センサは、不図示の発光部及び受光部を有し、蓋１０２とドア本体５０との距離に関する情報を検知可能に構成されていても良い。或いは、傾き検知部７０は、不図示のカメラを有していても良い。

【0084】

（４）前記までの実施形態において、ドア本体５０がモータ５７によって前後方向に移動駆動され、載置部４４がエアシリンダ４５によって前後方向に移動駆動されるものとした。しかしながら、ドア本体５０及び載置部４４を移動させる移動手段は、これには限られない。

【0085】

（５）前記までの実施形態において、ロードポート４はパージ処理が行われることが可能に構成されているものとした。しかしながら、これには限られない。ロードポート４は、パージ処理を行うための構成を備えていなくても良い。

【0086】

（６）前記までの実施形態において、ロードポート４は制御部４７を有するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、ＥＦＥＭ３の制御装置５がロードポート４を制御しても良い。

【0087】

（７）不活性ガスとして、窒素以外のガスがＦＯＵＰ１００に注入されても良い。ロードポート４に載置される容器は、ＦＯＵＰ１００に限られない。例えば、工場間で基板を輸送するためのＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）がロードポート４に載置されても良い。ロードポート４は、ＥＦＥＭ３以外の設備に搭載されていても良い。

【符号の説明】

【0088】

４ ロードポート
９ 搬送空間
１０ 外部空間
４１ ベース（仕切壁）
４１ａ 開口（ベース開口）
４２ ドア機構
４４ 載置部
４４ｃ ガス注入ノズル（置換部）
４４ｄ ガス排出ノズル（置換部）
４５ エアシリンダ
５０ ドア本体
５１ 吸着保持部（保持部）
５７ モータ（移動部）
７０ 傾き検知部
８０ 接触センサ（距離情報検知部）
８０ＲＤ 接触センサ（第２検知部）
８０ＲＵ 接触センサ（第１検知部）
１００ ＦＯＵＰ（容器）
１０１ ＦＯＵＰ本体（容器本体）
１０２ 蓋
１１３ 開口（容器開口）
１１４ 係合孔
１１５ 係合孔
１１６ 係合孔
１１７ 係合孔
１３２ａ 係合爪
１３３ａ 係合爪
１４２ａ 係合爪
１４３ａ 係合爪
Ｓｆ 内部空間
Ｗ ウェハ（搬送対象物）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】