特開 2024-72554 ピックアップ装置およびピックアップ装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024072554

(43)【公開日】2024-05-28

(54)【発明の名称】ピックアップ装置およびピックアップ装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240521BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20240521BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

H01L21/52 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022183434

(22)【出願日】2022-11-16

(71)【出願人】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109313

【弁理士】

【氏名又は名称】机 昌彦

(74)【代理人】

【識別番号】100149618

【弁理士】

【氏名又は名称】北嶋 啓至

(72)【発明者】

【氏名】塙 康弘

【テーマコード（参考）】

5F047

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F047FA04

5F047FA08

5F131AA04

5F131BA52

5F131BA53

5F131BA54

5F131CA09

5F131DA03

5F131DA33

5F131DB22

5F131DB62

5F131EA07

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC72

5F131EC74

5F131EC75

(57)【要約】

【課題】より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供する。
【解決手段】ピックアップ装置は、ダイシングテープに貼付されたチップ部品をピックアップする装置であって、ダイシングテープの下面を介してチップ部品を押圧する第１の先端部を備えた第１の突き上げピンおよび第２の先端部を備えた第２の突き上げピンと、第１および第２の突き上げピンをチップ部品の方向に突き上げる突き上げ手段とを有し、前記チップ部品の中央部と外周部の間の、第１の方向で第１の先端部が移動可能であり、第２の方向で第２の先端部が移動可能であり、第１の先端部をチップ部品の中央部から外周部に向けて第１の方向に付勢する第１の付勢手段と、第２の先端部をチップ部品の中央部から外周部に向けて第２の方向に付勢する第２の付勢手段と、が設けられている。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう第１の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第１の先端部が移動可能に設けられた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端部を、前記第１の突き上げピンと異なるダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう方向であって前記第１の方向と異なる方向である第２の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第２の先端部が移動可能に設けられた第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ手段と、
前記第１の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第１の方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第２の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第２の方向に付勢する第２の付勢手段と、
を備えたピックアップ装置。

【請求項2】

前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンの組が、複数組設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。

【請求項3】

前記第１の先端部の形状が第１の曲率の曲面であり、
前記第２の先端部の形状が第２の曲率の曲面である、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項4】

前記第１の先端部に前記ダイシングテープの下面に沿って転がることが可能な第１のローラが設けられ、
前記第２の先端部に前記ダイシングテープの下面に沿って転がることが可能な第２のローラが設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項5】

前記第１の付勢手段と前記第２の付勢手段とが、圧縮バネである、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項6】

前記第１の付勢手段と前記第２の付勢手段とが、ねじりバネである、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項7】

前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記チップ部品の上面の法線の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項8】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう第１の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第１の先端部が移動可能に設けられた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端部を、前記第１の突き上げピンと異なるダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう方向であって前記第１の方向と異なる方向である第２の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第２の先端部が移動可能に設けられた第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ手段と、
前記第１の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第１の方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第２の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第２の方向に付勢する第２の付勢手段と、
を備え、
前記ピックアップ装置の制御方法は、
前記第１の突き上げピンの先端の位置が前記チップ部品の一端部の近傍になるように制御し、
前記第２の突き上げピンの先端の位置が前記チップ部品の他端部の近傍になるように制御し、
前記突き上げ手段が、前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記チップ部品の方向に突き上げる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ピックアップ装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体等のチップ部品の製造では、一般的に、１枚のウェハに複数のチップ部品が形成される。そして、ダイシング等の分割手法を用いて、ウェハが個々のチップ部品に分割される。一般的なダイシングでは、ダイシングテープが用いられる。ダイシングテープは片面に粘着性を有するフィルムである。ダイシングテープは、ダイシングシート、ウェハシート、粘着シートなどとも呼ばれる。

【0003】

ダイシングを行う際に、まずウェハの裏面がダイシングテープに貼付される。次にダイシングによってウェハが個々のチップ部品に分割される。ダイシングが終わると、次に、ダイシングテープを引き延ばす加工であるエキスパンドが施され、チップ部品とチップ部品の間に隙間が形成される。次に、紫外線照射等によって、ダイシングテープの粘着性が低下される。次にコレットと呼ばれる吸着手段を備えたピックアップ装置によって、チップ部品の表面が吸着され、チップ部品がピックアップされる。この際、一般的な方法では、突き上げピンによって、ダイシングテープの裏面が突き上げられる。この突き上げによって、チップ部品のダイシングテープからの剥離が促進される。

【0004】

上記のピックアップ装置では、チップ部品の中央を１本の突き上げピンで突き上げるのが最も簡単な構成である。この構成で突き上げを行うと、チップ部品の端部から剥離が始まる。この際、突き上げピンの先端部が突き当たっている場所を支点とし、チップ部品の端部を作用点とし、作用点にダイシングテープの粘着力（剥離力）が作用する曲げモーメントが発生する。チップ部品のサイズが大きくなると、支点から、作用点であるチップ部品の端部までの距離が長くなる。これに伴って、チップ部品に加わる曲げモーメントが大きくなる。この曲げモーメントによりチップ部品に加わる応力がチップ部品の破壊応力を超えると、チップ部品に破損が生じる。このため、チップ部品のサイズが大きくなると、チップ部品が破損するリスクが増大する。

【0005】

そこで、チップ部品に加わる曲げモーメントを低減する方法が特許文献１で提案されている。例えば、特許文献１には、チップ部品（チップ）の外周部から剥離を行うピックアップ方法および装置の発明が記載されている。特許文献１のピックアップ装置は、径の異なる複数の筒体（第１吸引筒体、第２吸引筒体、第１突き上げ筒体、第２突き上げ筒体）と複数の突き上げピンを備えている。

【0006】

ピックアップにおいては、まず、最も外側の筒体（第１吸引筒体）の吸引孔を介してダイシングテープ（貼付シート、ダイシングシート）を吸引することにより、ダイシングテープが第１吸引筒体の上端部に吸着される（引用文献１の図３（ａ））。

【0007】

次に、第１吸引筒体の内側に配置されている第１突き上げ筒体、第２吸引筒体、第２突き上げ筒体および突き上げピンを同じ高さまで上昇させて、ダイシングテープを介してチップ部品を上方に突き上げる（引用文献１の図３（ｂ））。これにより、チップ部品が貼り付けられているダイシングテープのうち、第１突き上げ筒体の外周側でチップ部品の下面の外周縁からチップ部品の内側に向かってわずかに剥離される。この動作では、第１突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１吸引筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0008】

次に、第１吸着筒体と第１突き上げ筒体の高さを維持したまま、第１突き上げ筒体の内側に位置する第２突き上げ筒体と第２吸引筒体と突き上げピンが同じ高さだけ上昇される。これにより、第２突き上げ筒体が、ダイシングテープを介してチップ部品をさらに上方に突き上げる（引用文献１の図３（ｃ））。これにより、第２突き上げ筒体の外周側で、先の貼付面外周縁からチップ部品の内側に向って、さらにダイシングテープが剥離される。この動作では、第２突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0009】

次に、第１吸着筒体と第１突き上げ筒体と第２突き上げ筒体の高さを維持したまま、第２突き上げ筒体よりも内側に位置する第２吸着筒体と突き上げピンを同じ高さだけさらに上昇させ、チップ部品をさらに突き上げる（引用文献１の図３（ｄ））。これにより、第２吸着筒体の外周側で、先の貼付面外周縁からチップ１の内側に向って、さらにダイシングテープが剥離される。この動作では、第２突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0010】

次に、第１吸着筒体、第１突き上げ筒体、第２突き上げ筒体および第２吸着筒体の高さが維持される。そして、この状態のまま、突き上げピンがさらに上昇される。これにより、チップ部品がさらに突き上げられる。その結果、突き上げピンの先端上にチップ部品が支持される（引用文献１の図３（ｅ））。この時、第２吸着筒体の吸引溝からの吸引により第２吸着筒体に接するダイシングテープが第２吸着筒体に吸着されて固定される。こうして、突き上げピンにより、ダイシングテープからチップ部品がより効果的に剥離される。この動作では、突き上げピンの突き当り部分が支点となり、第２突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0011】

以上の各工程において、支点から作用点までの距離が、チップ部品の中心を１本の突き上げピンの突上げる構成と比較して、短くなる。このため、チップ部品の中心を１本の突き上げピンの突上げる構成に比べて、チップ部品に作用する曲げモーメントが大幅に低減される。そして、特許文献１に記載の技術では、剥離の進行に応じて、順次、内側の筒体や突き上げピンが突き上げられる。こうして、ダイシングテープがチップの外周縁から順次剥離され、ダイシングテープとチップ部品との間の貼付面積が徐々に減少される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】特開２００６－００５０３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

特許文献１のピックアップ装置では、複数の筒体や突き上げピンを独立して動かすために、複数のアクチュエータが複数の筒体や突き上げピンごとに設けられていた。このため構造が複雑になるという問題があった。

【0014】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0015】

上記の課題を解決するため、本発明のピックアップ装置は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう第１の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第１の先端部が移動可能に設けられた第１の突き上げピンと、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端部を、前記第１の突き上げピンと異なるダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう方向であって前記第１の方向と異なる方向である第２の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第２の先端部が移動可能に設けられた第２の突き上げピンと、前記第１の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第１の方向に付勢する第１の付勢手段と、前記第２の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第２の方向に付勢する第２の付勢手段と、備える。

【0016】

また、本発明のピックアップ装置の制御方法は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、前記ピックアップ装置は、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう第１の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第１の先端部が移動可能に設けられた第１の突き上げピンと、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端部を、前記第１の突き上げピンと異なるダイシングテープ側の一端部に備え、前記チップ部品の中央部から外周部へ向かう方向であって前記第１の方向と異なる方向である第２の方向およびその反対方向に前記チップ部品の中央部および外周部の間で前記第２の先端部が移動可能に設けられた第２の突き上げピンと、前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ手段と、前記第１の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第１の方向に付勢する第１の付勢手段と、前記第２の先端部を前記チップ部品の中央部から外周部に向けて前記第２の方向に付勢する第２の付勢手段と、を備え、前記ピックアップ装置の制御方法は、前記第１の突き上げピンの先端の位置が前記チップ部品の一端部の近傍になるように制御し、前記第２の突き上げピンの先端の位置が前記チップ部品の他端部の近傍になるように制御し、前記突き上げ手段が、前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記チップ部品の方向に突き上げる。

【発明の効果】

【0017】

本発明の効果は、より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供できることである。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図2】第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【図3】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す側面図である。

【図4】第１の実施形態のピックアップ装置の第３の動作状態を示す側面図である。

【図5】第１の実施形態のピックアップ装置の具体例を示す側面図である。

【図6】第１の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの配置の一例を示す平面図である。

【図7】第１の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの配置の別の一例を示す平面図である。

【図8】第１の実施形態のピックアップ装置の第１の変形例を示す側面図である。

【図9】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の変形例を示す側面図である。

【図10】第１の実施形態のピックアップ装置の第３の変形例を示す側面図である。

【図11】第１の実施形態のピックアップ装置の第３の変形例の動作の一例を示す側面図である。

【図12】第２の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図13】第２の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお各図面の同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する場合がある。

【0020】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、第１の突き上げピン１０と、第２の突き上げピン２０と、突き上げ手段３０と、第１の付勢手段４０と、第２の付勢手段５０と、を有する。

【0021】

なお、以降の説明では、ダイシングテープ２００のチップ部品３００が貼付されている面を上面とし、反対の面を下面とする。また、ダイシングテープ２００の上面の方向を上方、下面の方向を下方とする。また、チップ部品３００の上面の法線が法線ｎと称される。

【0022】

第１の突き上げピン１０は、チップ部品３００を押圧するための第１の先端部１１をダイシングテープ２００側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第１の先端部１１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第１の先端部１１は、第１の方向およびその反対方向に移動可能である。第１の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。

【0023】

第２の突き上げピン２０は、チップ部品３００を押圧するための第２の先端部２１をダイシングテープ２００側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第２の先端部２１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第２の先端部２１は、第２の方向およびその反対方向に移動可能である。第２の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。また、第２の方向は、第１の方向とは異なる方向である。

【0024】

第１の付勢手段４０は、前記チップ部品の中央部から外周部に向けて第１の方向に第１の先端部１１を付勢する。第１の方向は、前述の通り、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。

【0025】

第２の付勢手段５０は、チップ部品３００の中央部から外周部に向けて第２の方向に、第２の先端部２１を付勢する。なお、第２の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。また、第２の方向は、第１の方向とは異なる方向である。

【0026】

チップ部品３００が貼付されたダイシングテープ２００は、例えば、吸着ブロック７０によって吸着固定される。第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０に対応する位置では、吸着ブロック７０に開口部が設けられている。開口部は、例えば、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０の移動範囲を含む長穴である。これにより、第１の先端部１１および第２の先端部２１がダイシングテープ２００下面に接触できる。

【0027】

次に、ピックアップ装置１００の動作について説明する。以下の説明では、第１の動作状態、第２の動作状態、第３の動作状態の順に動作が進行する。図２は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第１の動作状態を示す側面図である。突き上げ手段３０によって、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０が上方に移動され、第１の先端部１１および第２の先端部２１がダイシングテープ２００の下面に当接している。第１の先端部１１がダイシングテープ２００に当接する位置は、チップ部品３００の一方の端部（図２では左側の端部）である。また、第２の先端部２１がダイシングテープ２００に当接する位置は、チップ部品３００の他方の端部（図２では右側の端部）である。このような位置関係となるように、予め、第１の先端部１１と第２の先端部２１の位置が制御される。この状態から、突き上げが開始される。

【0028】

図３は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第２の動作状態を示す側面図である。第１の先端部１１と第２の先端部２１の突き上げによって、チップ部品３００の端部が、ダイシングテープ２００から剥離している。この時、ダイシングテープ２００が上方に凸の形になる。そして、ダイシングテープ２００には元の面に戻ろうとする張力が働く。図３に示すように、第１の先端部１１が接触している部分では、この張力Ｆ１が、下方向およびチップ部品３００の中心に向かう方向の成分を持つ。このため、第１の付勢手段４０の付勢力に抗して、第１の先端部１１がチップ部品３００の中心方向に移動する。同様に、第２の先端部２１には、張力Ｆ２が作用する。張力Ｆ２は、下方向およびチップ部品３００の中心に向かう方向の成分を持つ。この張力Ｆ２によって、第２の付勢手段５０の付勢力に抗して、第２の先端部２１がチップ部品３００の中心方向に移動する。

【0029】

図４は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第３の動作状態を示す側面図である。図４には、第３の状態から、第１の先端部１１および第２の先端部２１が、さらに上方に突き上げられた状態が示されている。突き上げによって、チップ部品３００とダイシングテープ２００の剥離が、チップ部品３００中心方向に進行している。そして、張力Ｆ１によって、第１の先端部１１がチップ部品３００の中心に向かって移動する。同様に、張力Ｆ２によって、第２の先端部２１がチップ部品３００の中心に向かって移動する。

【0030】

以上の動作では、チップ部品３００とダイシングテープ２００の剥離が、チップ部品３００の端部から始まる。そして、突き上げに伴って、第１の先端部１１と第２の先端部２１がチップ部品３００の中心に向かって移動する。同時に、剥離ポイントがチップ部品３００の中心に向かって移動する。すなわち、チップ部品３００の端部から剥離が開始され、剥離がチップ部品３００の中心に向かって進行する。この際、第１の先端部１１および第２の先端部２１を動かす動力は、ダイシングテープ２００の張力だけである。つまり、突き上げピンを動かすアクチュエータを用いることなく、特許文献１と同様な剥離が実行される。

【0031】

次に、ピックアップ装置１００の具体例な構成について説明する。図５は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の具体例を示す側面図である。本具体例のピックアップ装置１００は、可動機構６０として、第１のシャフト６１１と、第２のシャフト６１２とを備える。また、第１の突き上げピン１０の第１の先端部１１の反対側には、第１のシャフト６１１に対してスライドされる第１の基部１２が設けられている。同様に、第２の突き上げピン２０の第２の先端部２１の反対側には、第２のシャフト６１２に対してスライドされる第２の基部２２が設けられている。また、第１のシャフト６１１の、第２のシャフト６１２の反対側の端部には、第１のストッパ６２１が設けられている。第１のストッパ６２１によって、第１の基部１２の、チップ部品３００の端部から外側方向への移動が制限される。同様に、第２のシャフト６１２の、第１のシャフト６１１の反対側の端部には、第２のストッパ６２２が設けられている。第２のストッパ６２２によって、第２の基部２２の、チップ部品３００の端部から外側方向への移動が制限される。第１の付勢手段４０および第２の付勢手段５０は、例えば、つるまきバネである。第１の先端部１１の先端の曲率である第１の曲率は、例えば、第１の突き上げピン１０の胴部の軸回りの曲率の１／１０から１倍程度に設定される。同様に、第２の先端部２１の先端の曲率である第２の曲率は、例えば、第２の突き上げピン２０の胴部の軸回りの曲率の１／１０から１倍程度に設定される。

【0032】

図６は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の突き上げピンの配置の一例を示す平面図である。第１の突き上げピン１０がチップ部品３００の一方の端部に対応し、第２の突き上げピン２０がチップ部品３００の他方の端部に対応するように配置されている。第１の突き上げピン１０の移動方向である第１の方向と、第２の突き上げピン２０の移動方向である第２の方向とは、平行で向きが逆である。第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とは、両者の中点について点対称に配置される。

【0033】

第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の組は複数設けられても良い。図７は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の突き上げピンの配置の別の一例を示す平面図である。図７の例では、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の組が２つ設けられている。１つが第１の組１０―１であり、もう一つが第２の組１０－２である。第１の組１０－１は、第１の突き上げピン１０ａと、第１の付勢手段４０ａと、第２の突き上げピン２０ａと、第２の付勢手段５０ａを備える。第２の組１０－２は、第１の突き上げピン１０ｂと、第１の付勢手段４０ｂと、第２の突き上げピン２０ｂと、第２の付勢手段５０ｂを備える。

【0034】

第１の突き上げピン１０ａおよび第２の突き上げピン２０ａの移動方向と、第１の突き上げピン１０ｂおよび第２の突き上げピン２０ｂの移動方向とは、直交している。第１の突き上げピン１０ａ、第２の突き上げピン２０ａ、第１の突き上げピン１０ｂ、第２の突き上げピン２０ｂは、例えば、それぞれが矩形のチップ部品３００の４隅に対応するように配置される。このような配置とすることで、曲げモーメントが大きな部分を作ることなく、矩形のチップ部品３００の突き上げが実行される。

【0035】

なお、上記では、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の組が２組の例について説明したが、３組以上であっても良い。そして、例えば、それぞれの組において、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とが、両者の中点について点対称に配置される。

【0036】

次に、ピックアップ装置１００に具体的な構成の変形例について説明する。

【0037】

（第１の変形例）
図８は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第１の変形例を示す側面図である。第１の変形例では、第１の突き上げピン１０の第１の先端部１１ｃと、第２の突き上げピン２０の第２の先端部２１ｃとが、球状である。第１の先端部１１ｃと第２の先端部２１ｃを曲率の大きな球状とすることで、第１の先端部１１ｃとダイシングテープ２００の下面の間の摩擦力が低減される。これにより、第１の先端部１１ｃがスムーズにチップ部品３００の中心に向かって移動できる。同様に、第２の先端部２１ｃがスムーズにチップ部品３００の中心に向かって移動できる。第１の先端部１１ｃの第１の曲率は、例えば、第１の突き上げピン１０の胴部の軸回りの曲率の１．５から３倍程度に設定される。第２の先端部２１ｃの第２の曲率も同様に設定される。

【0038】

（第２の変形例）
図９は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第２の変形例を示す側面図である。第１の変形例では、第１の突き上げピン１０の第１の先端部１１ｄがローラである。このローラは、ダイシングテープ２００の下面に沿って転がることが可能である。同様に、第２の突き上げピン２０の第２の先端部２１ｄが、ローラである。

【0039】

このような構成とすることで、第１の先端部１１ｄとダイシングテープ２００の下面の間の摩擦力が低減される。これにより、第１の先端部１１ｄがスムーズにチップ部品３００の中心に向かって移動できる。同様に、第２の先端部２１ｄがスムーズにチップ部品３００の中心に向かって移動できる。

【0040】

（第３の変形例）
図１０は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第３の変形例を示す側面図である。第３の変形例では、第１の突き上げピン１０ｅが、第１の基部１２ｅを中心に、傾くようになっている。第１の突き上げピン１０ｅが、チップ部品３００の中心に向かって傾く。そして、チップ部品３００の中心から遠ざかる方向に、第１の付勢手段４０ｅが、第１の先端部１１ｅを付勢する。第１の付勢手段４０ｅは、例えば、ねじりバネである。また、第１のストッパ６２１ｅによって、法線ｎよりチップ部品３００の中心から遠ざかる方向の第１の突き上げピン１０ｅの回転が制限される。同様に、第２の突き上げピン２０ｅが、第２の基部２２ｅを中心に、傾くようになっている。第２の突き上げピン２０ｅが、チップ部品３００の中心に向かって傾く。そして、チップ部品３００の中心から遠ざかる方向に、第２の付勢手段５０ｅが、第２の先端部２１ｅを付勢する。第２の付勢手段５０ｅは、例えば、ねじりバネである。また、第２のストッパ６２２ｅによって、法線ｎよりチップ部品３００の中心から遠ざかる方向の第２の突き上げピン２０ｅの回転が制限される。

【0041】

なお、図１０では、第１の先端部１１ｅおよび第２の先端部２１ｅが、第２の変形例と同様なローラである構成が例示されている。

【0042】

図１１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第３の変形例の動作の一例を示す側面図である。突き上げ手段３０によって、第１の突き上げピン１０ｅと第２の突き上げピン２０が、突き上げられている。そして、チップ部品３００の一端部および他端部が、ダイシングテープ２００から剥離している。この際、変形したダイシングテープ２００からの張力によって、第１の突き上げピン１０ｅが、チップ部品３００の中心方向に傾いている。これにより、第１の先端部１１ｅが、チップ部品３００の中心方向に移動している。同様に、第２の先端部２１ｅが、チップ部品３００の中心方向に移動している。

【0043】

この例から明らかなように、突き上げが上方に進行することによって、第１の先端部１１ｅと第２の先端部２１ｅとが、チップ部品３００の中心方向に移動する。同時に、チップ部品３００とダイシングテープ２００の剥離ポイントが、チップ部品３００の中心方向に移動する。つまり、チップ部品３００の端部から剥離が開始され、剥離ポイントがチップ部品３００の中心に向かって進行する。

【0044】

以上説明したように、本実施形態のピックアップ装置１００によれば、チップ部品３００の端部から剥離が開始され、剥離ポイントがチップ部品３００の中心に向かって進行する。そして、突き上げピンを動かすアクチュエータを用いることなく、この動作が実行される。つまり、特許文献１より簡単な構成で、チップ部品加わる曲げモーメントの小さな剥離が実行される。

【0045】

以上、第１の実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。

【0046】

ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、第１の突き上げピン１０と、第２の突き上げピン２０と、突き上げ手段３０と、第１の付勢手段４０と、第２の付勢手段５０と、を有する。第１の突き上げピン１０は、チップ部品３００を押圧するための第１の先端部１１をダイシングテープ側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第１の先端部１１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第１の先端部１１は、第１の方向およびその反対方向に中央部および外周部の間で移動可能である。第１の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。第２の突き上げピン２０は、チップ部品３００を押圧するための第２の先端部２１をダイシングテープ２００側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第２の先端部２１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第２の先端部２１は、第２の方向およびその反対方向に移動可能である。第２の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。また、第２の方向は、第１の方向とは異なる方向である。チップ部品３００の中央部から外周部に向けて、第１の付勢手段４０が第１の先端部１１を付勢する。その方向は、第１の方向に沿った方向である。チップ部品３００の中央部から外周部に向けて、第２の付勢手段５０が第２の先端部２１を付勢する。その方向は、第２の方向に沿った方向である。

【0047】

以上の構成では、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の突き上げが進行すると、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、チップ部品３００の一端部および他端部からチップ部品３００の中心方向に移動する。これによって、チップに大きな曲げモーメントが加わることなく、チップ部品３００の端部から中心に向かって、剥離が進行される。

【0048】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００の第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の組が、複数組設けられる。

【0049】

このような構成とすることにより、チップ部品３００に大きな曲げモーメントが加わらない位置を突き上げられる。

【0050】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第１の先端部１１の形状が第１の曲率の曲面であり、第２の先端部２１の形状が第２の曲率の曲面である。

【0051】

上記の、第１の曲率と第２の曲率とを適宜選択することにより、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、ダイシングテープ２００の下面に沿って、スムーズに移動される。

【0052】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第１の先端部１１に、第１のローラが設けられる。第１のローラは、ダイシングテープ２００の下面に沿って転がることが可能である。同様に、第２の先端部２１に、第２のローラが設けられる。第２のローラは、ダイシングテープ２００の下面に沿って転がることが可能である。

【0053】

上記の構成とすることにより、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、ダイシングテープ２００の下面に沿って、スムーズに移動される。

【0054】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第１の付勢手段４０と第２の付勢手段５０とが、圧縮バネである。この構成で、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の向きが、法線の向きに保たれた状態で、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、平行移動する。

【0055】

このような構成とすることによって、突き上げに伴って生じるダイシングテープ２００の張力によって、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、チップ部品３００中心方向に移動される。

【0056】

また、一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第１の付勢手段４０と第２の付勢手段５０とが、ねじりバネである。そして、突き上げに伴って生じるダイシングテープ２００の張力によって、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０が、チップ部品３００の中心方向に向かって傾けられる。

【0057】

このような構成とすることによって、突き上げピンの突き上げに伴って、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、チップ部品３００中心方向に移動される。

【0058】

また本実施形態のピックアップ装置の制御方法は、ピックアップ装置１００を制御する。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、第１の突き上げピン１０と、第２の突き上げピン２０と、突き上げ手段３０と、第１の付勢手段４０と、第２の付勢手段５０と、を有する。第１の突き上げピン１０は、チップ部品３００を押圧するための第１の先端部１１をダイシングテープ側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第１の先端部１１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第１の先端部１１は、中央部および外周部の間で第１の方向およびその反対方向に移動可能である。第１の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。第２の突き上げピン２０は、チップ部品３００を押圧するための第２の先端部２１をダイシングテープ２００側の一端部に備える。ダイシングテープ２００の下面を介して、第２の先端部２１が、チップ部品３００を押圧する。また、可動機構６０によって、第２の先端部２１は、第２の方向およびその反対方向に移動可能である。第２の方向は、チップ部品３００の中央部から外周部へ向かう方向である。また、第２の方向は、第１の方向とは異なる方向である。チップ部品３００の中央部から外周部に向けて、第１の付勢手段４０が第１の先端部１１を付勢する。その方向は、第１の方向に沿った方向である。チップ部品３００の中央部から外周部に向けて、第２の付勢手段５０が第２の先端部２１を付勢する。その方向は、第２の方向に沿った方向である。そして、ピックアップ装置の制御方法では、チップ部品３００の一端部の近傍になるように、第１の突き上げピン１０の先端の位置が制御される。また、チップ部品３００の他端部の近傍になるように、第２の突き上げピン２０の先端の位置が制御される。そして、突き上げ手段３０が、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とをチップ部品３００の方向に突き上げる。

【0059】

以上の構成では、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の突き上げが進行すると、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、チップ部品３００の一端部および他端部からチップ部品３００の中心方向に移動する。これによって、チップに大きな曲げモーメントが加わることなく、チップ部品３００の端部から中心に向かって、剥離が進行される。

【0060】

（第２の実施形態）
図１２は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１を示す側面図である。ピックアップ装置１０１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の構成に加えて、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを備えている。

【0061】

コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。そして、コレット９０は、チップ部品３００を吸着する。

【0062】

コレット駆動手段９１は、コレット９０を少なくとも法線ｎの方向に移動させる。コレット駆動手段９１はコレットに負荷する力を調整できるようになっている。また、図示はしていないが、コレット９０の位置は、コレット位置検出手段で検出される。

【0063】

次に、ピックアップ装置１０１の動作について説明する。図１３は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第１の動作状態を示す側面図である。コレット９０がチップ部品３００の上面に当接している。そして、第１の先端部１１と第２の先端部２１が、ダイシングテープ２００の下面を介して、チップ部品３００を突き上げている。そして、第１の先端部１１と第２の先端部２１の突き上げを妨げないように、コレット駆動手段９１がコレットに付加する荷重を制御している。

【0064】

図１３の例では、第１の先端部１１がチップ部品３００の一端部からチップ部品３００の中心部に向かって移動している。同様に、第２の先端部２１がチップ部品３００の他端部からチップ部品３００の中心部に向かって移動している。また、チップ部品３００の第１の先端部１１より外側の部分が、ダイシングテープ２００から剥離している。同様に、チップ部品３００の第２の先端部２１より外側の部分が、ダイシングテープ２００から剥離している。

【0065】

この状態から、突き上げが進行されると、第１の先端部１１と第２の先端部２１がチップ部品３００の中心に向かって移動する。同時に、剥離ポイントもチップ部品３００の中心に向かって移動する。このような動作によって、ダイシングテープ２００からのチップ部品３００の剥離が進行する。

【0066】

なお、コレット駆動手段９１の駆動を制御するコントローラには、ピックアップ位置が、予め設定されている。ピックアップ位置で、コレット９０がチップ部品３００をダイシングテープ２００から引きはがす。コレット駆動手段９１は、チップ部品３００がピックアップ位置まで突き上げられると、コレット９０を上方に移動させる。これにより、チップ部品３００がダイシングテープ２００から引き離される。こうして、コレット９０によって、チップ部品３００がダイシングテープ２００からピックアップされる。

【0067】

以上、本実施形態のピックアップ装置１０１等について説明した。

【0068】

ピックアップ装置１０１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の構成に加えて、コレット９０と、コレット駆動手段９１を備えている。チップ部品３００の上面と対向する位置にコレット９０が設けられる。そして、コレット９０が、チップ部品３００を吸着する。また、コレット駆動手段９１が、コレット９０を移動方向に駆動する。コレット９０の移動方向は、少なくともチップ部品３００の上面の法線の方向を含む。

【0069】

上述した第１乃至第２の実施形態の処理を、コンピュータに実行させるプログラムおよび該プログラムを格納した記録媒体も本発明の範囲に含む。記録媒体としては、例えば、磁気ディスク、磁気テープ、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ、などを用いることができる。

【0070】

以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。

【符号の説明】

【0071】

１０ 第１の突き上げピン
２０ 第２の突き上げピン
３０ 突き上げ手段
４０ 第１の付勢手段
５０ 第２の付勢手段
６０ 可動機構
７０ 吸着ブロック
９０ コレット
９１ コレット駆動手段
１００、１０１ ピックアップ装置
２００ ダイシングテープ
３００ チップ部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】