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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024072619
(43)【公開日】2024-05-28
(54)【発明の名称】切断装置及び切断品の製造方法
(51)【国際特許分類】
B23Q 11/00 20060101AFI20240521BHJP
B26D 7/18 20060101ALI20240521BHJP
B26D 1/18 20060101ALI20240521BHJP
B23D 59/00 20060101ALI20240521BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240521BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240521BHJP
【ＦＩ】
B23Q11/00 Q
B26D7/18 C
B26D1/18
B23D59/00
H01L21/78 F
B24B27/06 M
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022183561
(22)【出願日】2022-11-16
(71)【出願人】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100162031
【弁理士】
【氏名又は名称】長田 豊彦
(74)【代理人】
【識別番号】100175721
【弁理士】
【氏名又は名称】高木 秀文
(72)【発明者】
【氏名】深井 元樹
(72)【発明者】
【氏名】森下 慎也
【テーマコード（参考）】
3C011
3C021
3C027
3C040
3C158
5F063
【Ｆターム（参考）】
3C011BB23
3C021FB01
3C027RR03
3C040GG00
3C040HH00
3C040JJ00
3C158AA03
3C158AA14
3C158AA16
3C158AA18
3C158AB04
3C158AC01
3C158AC05
3C158CB03
3C158CB04
3C158DA17
5F063AA15
5F063BA17
5F063DD01
5F063DD95
(57)【要約】
【課題】より確実に端材を排出することが可能な切断装置を提供する。
【解決手段】直線的な移動方向に沿って移動可能な加工テーブルと、前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、を備える。
【選択図】図３
【解決手段】直線的な移動方向に沿って移動可能な加工テーブルと、前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、を備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
直線的な移動方向に沿って移動可能な加工テーブルと、
前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、
前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、
を備える切断装置。
前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、
前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、
を備える切断装置。
【請求項2】
前記移動体は、前記移動方向に沿って前記加工テーブルと一体的に移動可能である、
請求項１に記載の切断装置。
請求項１に記載の切断装置。
【請求項3】
前記移動方向における前記受け部材の一側に配置され、前記端材を収容可能な収容部をさらに備え、
前記除去部材は、
前記移動体に対して揺動可能に取り付けられる取付部と、
前記取付部から前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記溝部と接する本体部と、
を備える、
請求項１又は請求項２に記載の切断装置。
前記除去部材は、
前記移動体に対して揺動可能に取り付けられる取付部と、
前記取付部から前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記溝部と接する本体部と、
を備える、
請求項１又は請求項２に記載の切断装置。
【請求項4】
前記本体部は、前記溝部との間においてなす角が４５度以下になるように配置される、
請求項３に記載の切断装置。
請求項３に記載の切断装置。
【請求項5】
前記本体部は、前記溝部と接触する部分が弾性体により形成されている、
請求項３又は請求項４に記載の切断装置。
請求項３又は請求項４に記載の切断装置。
【請求項6】
前記溝部は、前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように形成されている、
請求項３から請求項５までのいずれか一項に記載の切断装置。
請求項３から請求項５までのいずれか一項に記載の切断装置。
【請求項7】
前記移動体の下方に配置され、前記移動方向に沿って延びるねじ軸と、
前記ねじ軸の回転に応じて前記ねじ軸に沿って移動可能なナットと、
前記ナットと前記移動体とを連結する連結部と、
を備える、
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の切断装置。
前記ねじ軸の回転に応じて前記ねじ軸に沿って移動可能なナットと、
前記ナットと前記移動体とを連結する連結部と、
を備える、
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の切断装置。
【請求項8】
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の切断装置を用いた切断品の製造方法であって、
前記加工テーブルに前記切断対象物を配置する工程と、
前記切断機構と、前記加工テーブルと、を相対的に移動させることで前記切断対象物を切断する工程と、
を含む切断品の製造方法。
前記加工テーブルに前記切断対象物を配置する工程と、
前記切断機構と、前記加工テーブルと、を相対的に移動させることで前記切断対象物を切断する工程と、
を含む切断品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切断装置及び切断品の製造方法の技術に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、パッケージ基板を切削することによって生じる端材を排出するための端材処理装置を備える切断装置が開示されている。具体的には、特許文献１に記載の端材処理装置は、チャックテーブルを収容するウォーターケースに落下した端材に対して、洗浄ノズルから洗浄水を吹き付けることで、端材を下流側に押し流すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１２９５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ここで、特許文献１に記載のような切削装置では、ウォーターケースに落下した端材が堆積する可能性がある。堆積した端材は重量が大きいため、洗浄ノズルからの洗浄水では端材を押し流すことができない可能性がある。また、ウォーターケースに落下した端材とウォーターケースの底面との間に介在する液体が乾燥した場合、端材がウォーターケースに密着して、洗浄ノズルからの洗浄水では端材を押し流すことができない可能性がある。
【0005】
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、より確実に端材を排出することが可能な切断装置及び切断品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る切断装置は、直線的な移動方向に沿って移動可能な加工テーブルと、前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、を備えるものである。
【0007】
また、本発明に係る切断品の製造方法は、前記切断装置を用いた切断品の製造方法であって、前記加工テーブルに前記切断対象物を配置する工程と、前記切断機構と、前記加工テーブルと、を相対的に移動させることで前記切断対象物を切断する工程と、を含むものである。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、より確実に端材を排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第１実施形態に係る切断装置の全体的な構成を示した平面模式図。
【図2】切断モジュールの構成を示した平面図。
【図3】Ｓ１－Ｓ１断面図。
【図4】切断モジュールの下部を示した平面図。
【図5】Ｓ２－Ｓ２断面図。
【図6】（ａ）第１除去部材を示した拡大平面図。（ｂ）第１除去部材を示した拡大側面断面図。
【図7】第１除去部材が前方へ移動する様子を示した側面断面図。
【図8】（ａ）第２実施形態に係る切断装置を示した側面断面図。（ｂ）第３実施形態に係る切断装置を示した側面断面図。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下では、図中に示した矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｌ、矢印Ｒ、矢印Ｆ及び矢印Ｂで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。また、上下方向の回転軸を中心とする回転方向を、θ方向と定義して説明を行う。
【0011】
＜第１実施形態に係る切断装置１００の構成＞
まず、第１実施形態に係る切断装置１００の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置１００による切断対象物として、半導体チップが固定された基板を樹脂封止した封止済基板Ｗを用いる場合の、切断装置１００の構成について説明する。
まず、第１実施形態に係る切断装置１００の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置１００による切断対象物として、半導体チップが固定された基板を樹脂封止した封止済基板Ｗを用いる場合の、切断装置１００の構成について説明する。
【0012】
封止済基板Ｗとしては、例えば、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ）パッケージ基板、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ ｓｉｚｅ ｐａｃｋａｇｅ）パッケージ基板、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）パッケージ基板等が使用される。また、切断対象物としては、封止済基板Ｗだけでなく、半導体チップが固定されたリードフレームを樹脂封止した封止済みリードフレームが使用されることもある。また、切断対象物としては、電子素子又は電子部品が固定されておらず、単層又は複数層の配線が施された配線基板が使用されることもある。
【0013】
図１に示す切断装置１００は、切断対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の切断品（製品Ｐ）に個片化する加工装置である。切断装置１００は、構成要素として、基板供給モジュールＡ、切断モジュールＢ及び収納モジュールＣを具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【0014】
＜基板供給モジュールＡ＞
基板供給モジュールＡには、主として基板供給機構１及び制御部ＣＴＬが設けられる。
基板供給モジュールＡには、主として基板供給機構１及び制御部ＣＴＬが設けられる。
【0015】
切断対象物である封止済基板Ｗは、基板供給機構１から搬出され、移送機構（不図示）によって切断モジュールＢに移送される。切断モジュールＢに移送された封止済基板Ｗは、後述する切断用テーブル１５に配置される。
【0016】
制御部ＣＴＬは切断装置１００の各部の動作を制御するものである。制御部ＣＴＬによって切断装置１００の各部が制御されることで、封止済基板Ｗの搬入、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐの搬出等を行うことができる。なお、制御部ＣＴＬは、基板供給モジュールＡ以外のモジュールに設けることも可能である。また制御部ＣＴＬは、複数に分割して設けることも可能である。例えば、各モジュールに制御部ＣＴＬを設け、制御部ＣＴＬ同士を連係させて各部を制御することも可能である。
【0017】
＜切断モジュールＢ＞
図１に示す切断モジュールＢには、主として移動機構１３、切断用テーブル１５、回転機構１７及びスピンドル部２３が設けられる。
図１に示す切断モジュールＢには、主として移動機構１３、切断用テーブル１５、回転機構１７及びスピンドル部２３が設けられる。
【0018】
本実施形態では、２個の切断用テーブル１５を有するツインカットテーブル方式の切断装置１００を例示している。切断用テーブル１５は、移動機構１３によって前後方向に移動可能であり、かつ、回転機構１７によってθ方向に回動可能である。
【0019】
また本実施形態では、２個のスピンドル部２３を有するツインスピンドル構成の切断装置１００を例示している。２個のスピンドル部２３は、互いに独立して左右方向及び上下方向に移動可能である。
【0020】
切断モジュールＢにおいて、切断用テーブル１５に封止済基板Ｗが保持された状態で、切断用テーブル１５と２個のスピンドル部２３とを相対的に移動させることで、封止済基板Ｗを切断して個片化することができる。スピンドル部２３には、ブレード２３ａが取り付けられている。ブレード２３ａは、前後方向及び上下方向を含む面内において回転することで、切断用テーブル１５に保持された封止済基板Ｗを切断する。この際、ブレード２３ａに向かって、後述する切断用ノズル２３ｂ（図３参照）から切削水を噴射しながら封止済基板Ｗを切断することもできる。
【0021】
＜収納モジュールＣ＞
収納モジュールＣには、主として検査用テーブル２及びトレイ３が設けられる。
収納モジュールＣには、主として検査用テーブル２及びトレイ３が設けられる。
【0022】
検査用テーブル２には、封止済基板Ｗを切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体が載置される。複数の製品Ｐは、検査用のカメラ（不図示）によって検査され、良品と不良品とに選別される。選別された良品は、トレイ３に収容される。選別された不良品は、別途用意されたトレイ（不図示）に収容され、製品Ｐから除外される。なお、収納モジュールＣにおいて、必ずしも製品Ｐの検査を行う必要はない。
【0023】
＜切断モジュールＢの詳細＞
次に、図２から図６を用いて切断モジュールＢの具体的な構成について説明する。なお、図４においては、切断モジュールＢの上部に設けられている部材（後述する第２受け部材１４、切断用テーブル１５、後方カバー部材１８、前方カバー部材１９、上部カバー部材２０等）の図示を適宜省略して、切断モジュールＢの下部を図示している。また、左右の切断用テーブル１５の装置構成は概ね同一であるため、以下では主に左側の切断用テーブル１５の装置構成について詳細に説明する。
次に、図２から図６を用いて切断モジュールＢの具体的な構成について説明する。なお、図４においては、切断モジュールＢの上部に設けられている部材（後述する第２受け部材１４、切断用テーブル１５、後方カバー部材１８、前方カバー部材１９、上部カバー部材２０等）の図示を適宜省略して、切断モジュールＢの下部を図示している。また、左右の切断用テーブル１５の装置構成は概ね同一であるため、以下では主に左側の切断用テーブル１５の装置構成について詳細に説明する。
【0024】
切断モジュールＢは、主として第１受け部材１１、収容部１２、移動機構１３、第２受け部材１４、切断用テーブル１５、回転機構１７、後方カバー部材１８、前方カバー部材１９、上部カバー部材２０、第１除去部材２１、洗浄ノズル２２及びスピンドル部２３を具備する。
【0025】
図２から図５までに示す第１受け部材１１は、封止済基板Ｗを切断する際に発生した端材Ｅを受ける部材である。なお、第１受け部材１１は、本願の受け部材の実施の一形態である。第１受け部材１１は、上方及び後方に向けて開放された箱状に形成される。第１受け部材１１は、後述する切断用テーブル１５や、第２受け部材１４等から落下した端材Ｅを受けることができる。第１受け部材１１は、主として突出部１１ａ、開口部１１ｂ、傾斜溝部１１ｃ及び側部１１ｄを具備する。
【0026】
図３から図５までに示す突出部１１ａは、第１受け部材１１の底面が上方に向かって盛り上がるように形成された部分である。突出部１１ａは、切断用テーブル１５に対応するように、左右一対形成される。突出部１１ａは、前後方向に延びるように形成される。
【0027】
図４及び図５に示す開口部１１ｂは、第１受け部材１１の底面を上下に貫通するように形成された部分である。開口部１１ｂは、突出部１１ａの上面に形成される。開口部１１ｂは、突出部１１ａの前後両端部にわたって、前後方向に延びるように形成される。
【0028】
図３から図５までに示す傾斜溝部１１ｃは、第１受け部材１１の底面が後下がりに傾斜するように形成された部分である。なお、傾斜溝部１１ｃは、本願の溝部の実施の一形態である。傾斜溝部１１ｃは、突出部１１ａの左右両側に形成される。具体的には、傾斜溝部１１ｃは、左右の突出部１１ａの間、及び、左右の突出部１１ａと後述する側部１１ｄとの間に、合計３箇所形成される。傾斜溝部１１ｃは、前後方向に沿って延びるように形成される。傾斜溝部１１ｃの上面は、後方に向かうにつれて下方に傾斜するように形成される。
【0029】
側部１１ｄは、第１受け部材１１の側面を形成する部分である。側部１１ｄは、突出部１１ａ、開口部１１ｂ及び傾斜溝部１１ｃを左右両側及び前方から囲むように形成される。側部１１ｄは適宜の上下幅を有するように形成される。
【0030】
収容部１２は、第１受け部材１１から排出された端材Ｅを回収する部分である。収容部１２は、上方が開放された箱状に形成される。収容部１２は、第１受け部材１１の後端部に配置される。なお本実施形態では便宜上、図３等において、収容部１２と第１受け部材１１とが一体的に形成された構成を図示しているが、第１受け部材１１と収容部１２とを別部材により構成し、第１受け部材１１に対して収容部１２を脱着できるように構成することも可能である。
【0031】
移動機構１３は、切断用テーブル１５を前後に移動させるためのものである。移動機構１３は、主として移動部材１３ａ、連結部１３ｂ、ナット１３ｃ及びねじ軸１３ｄを具備する。
【0032】
移動部材１３ａは、切断用テーブル１５を支持すると共に、前後に移動可能な部材である。なお、移動部材１３ａは、本願の移動体の実施の一形態である。移動部材１３ａは、例えば直方体状に形成される。移動部材１３ａは、突出部１１ａの上方に配置される。
【0033】
連結部１３ｂは、移動部材１３ａと、ナット１３ｃとを連結する部分である。連結部１３ｂは、上下に延びる長手状（例えば、円柱状）に形成される。連結部１３ｂは、開口部１１ｂを介して第１受け部材１１の下方から上方にわたるように配置される。連結部１３ｂの上端部は、移動部材１３ａに固定される。
【0034】
ナット１３ｃ及びねじ軸１３ｄは、ボールねじ機構を構成するものである。ねじ軸１３ｄは、開口部１１ｂの下方に配置される。ねじ軸１３ｄは、長手方向を水平方向（前後方向）に向けて配置される。ねじ軸１３ｄは、モータ等の駆動源（不図示）からの駆動力により回転することができる。ナット１３ｃは、ねじ軸１３ｄに嵌め合わされる。ナット１３ｃとねじ軸１３ｄの間には、多数のボール（不図示）が介在される。ナット１３ｃの上部には、連結部１３ｂの下端部が固定される。ナット１３ｃのねじ軸１３ｄ周りの回転は防止される。
【0035】
移動機構１３において、ねじ軸１３ｄが回転すると、ねじ軸１３ｄに嵌め合わされたナット１３ｃが、ねじ軸１３ｄの回転方向に応じた方向（前後方向のいずれか一方）に直線的に移動する。ナット１３ｃが移動すると、連結部１３ｂを介してナット１３ｃに連結された移動部材１３ａも、ナット１３ｃと共に直線的に移動する。
【0036】
図２及び図３に示す第２受け部材１４は、封止済基板Ｗを切断する際に発生した端材Ｅを受ける部材である。第２受け部材１４は、上方及び後方に向けて開放された箱状に形成される。第２受け部材１４は、移動部材１３ａの上部に固定される。第２受け部材１４は、切断用テーブル１５から落下した端材Ｅを受けることができる。
【0037】
切断用テーブル１５は、切断対象物である封止済基板Ｗが配置される部分である。なお、切断用テーブル１５は、本願の加工テーブルの実施の一形態である。切断用テーブル１５は、第１受け部材１１及び第２受け部材１４の上方に配置される。切断用テーブル１５は、後述する回転機構１７を介して移動部材１３ａに支持される。
【0038】
回転機構１７は、切断用テーブル１５をθ方向に回転させるためのものである。回転機構１７は、移動部材１３ａと切断用テーブル１５との間に介在される。回転機構１７はモータ等の駆動源（不図示）からの駆動力によって、切断用テーブル１５を回転させることができる。
【0039】
図３及び図５に示す後方カバー部材１８は、移動部材１３ａの後方において、開口部１１ｂを上方から覆うものである。後方カバー部材１８は、突出部１１ａの上部に配置される。後方カバー部材１８は蛇腹状に形成され、前後に伸縮できるように構成される。後方カバー部材１８の前部は、移動部材１３ａに連結される。これによって後方カバー部材１８は、移動部材１３ａの前後方向への移動に伴って前後方向に伸縮する。
【0040】
図２、図３及び図５に示す前方カバー部材１９は、移動部材１３ａの前方において、開口部１１ｂを上方から覆うものである。前方カバー部材１９は、突出部１１ａの上部に配置される。前方カバー部材１９は蛇腹状に形成され、前後に伸縮できるように構成される。前方カバー部材１９の後部は、移動部材１３ａに連結される。これによって前方カバー部材１９は、移動部材１３ａの前後方向への移動に伴って前後方向に伸縮する。
【0041】
上部カバー部材２０は、後方カバー部材１８を上方から覆うものである。上部カバー部材２０は、主として複数の板状部材２０ａ及び連結部２０ｂを具備する。
【0042】
複数の板状部材２０ａは、矩形板状に形成される。複数の板状部材２０ａは、上部カバー部材２０の上方において、前後方向に並ぶように配置される。複数の板状部材２０ａは、前後に隣接する板状部材２０ａに対して、少なくとも一部が上下方向において重複するように配置される。隣接する板状部材２０ａ同士は、相対移動可能となるように互いに連結される。複数の板状部材２０ａは、後方カバー部材１８の前後両端部にわたるように配置される。最も後方に配置される板状部材２０ａの後端部は、上下方向において収容部１２と重複するように配置される。
【0043】
連結部２０ｂは、板状部材２０ａと第２受け部材１４とを連結するものである。連結部２０ｂは、第２受け部材１４の後端部の底面に固定される。連結部２０ｂは、最も前方に配置される板状部材２０ａと連結される。これによって複数の板状部材２０ａは、第２受け部材１４（移動部材１３ａ）の前後方向への移動に伴って前後方向に伸縮する。
【0044】
図２及び図３に示す第１除去部材２１は、第１受け部材１１（傾斜溝部１１ｃ）の端材Ｅを収容部１２へと排出するためのものである。なお、第１除去部材２１は、本願の除去部材の実施の一形態である。第１除去部材２１は、移動部材１３ａの左右両側面にそれぞれ設けられる。なお、便宜上、図６以外の図では第１除去部材２１を簡略化して図示しているため、以下では図６を用いて第１除去部材２１の構成を説明する。第１除去部材２１は、主として支持部２１ａ、取付部２１ｂ及び本体部２１ｃを具備する。
【0045】
支持部２１ａは、後述する取付部２１ｂ及び本体部２１ｃを揺動可能に支持する部分である。支持部２１ａは、移動部材１３ａの左右両側面にそれぞれ固定される。支持部２１ａは、移動部材１３ａから左右両側方（傾斜溝部１１ｃと上下方向において重複する位置）に突出するように設けられる。支持部２１ａには、支持部２１ａを上下に貫通する貫通孔２１ｄが形成される。貫通孔２１ｄは、後述する取付部２１ｂに対応する個数だけ（本実施形態では、１つの支持部２１ａに対して２つ）形成される。
【0046】
取付部２１ｂは、移動部材１３ａに対して揺動可能に取り付けられる部材である。取付部２１ｂは、略円柱状に形成される。取付部２１ｂは、上下両端部の径が、上下中途部の径よりも大きく形成される。取付部２１ｂの上下中途部の径は、支持部２１ａの貫通孔２１ｄの内径よりも小さく形成される。取付部２１ｂの上下両端部の径は、支持部２１ａの貫通孔２１ｄの内径よりも大きく形成される。
【0047】
取付部２１ｂの上下中途部は、支持部２１ａの貫通孔２１ｄに挿入される。取付部２１ｂの上下両端部の径は貫通孔２１ｄの内径よりも大きいため、支持部２１ａから取付部２１ｂが脱落することはない。この状態では、取付部２１ｂの上下中途部と貫通孔２１ｄとの間に隙間があるため、取付部２１ｂは支持部２１ａに対して所定の可動範囲内で揺動可能となるように支持される。
【0048】
なお、図６では取付部２１ｂの構造を簡略化して図示しているが、実際には取付部２１ｂを貫通孔２１ｄに挿入するために、例えば取付部２１ｂを分離可能な複数の部材（例えば、ボルトとナット等）によって構成してもよい。
【0049】
本体部２１ｃは、傾斜溝部１１ｃと接するように配置される部材である。本体部２１ｃは、平面視において長手方向を前後に向けた矩形板状に形成される。本体部２１ｃの前端部は、支持部２１ａよりも下方において、取付部２１ｂの下部に固定される。本体部２１ｃの後部は、取付部２１ｂから後下方に向かって延びるように配置される。取付部２１ｂは揺動可能であるため、本体部２１ｃは、後端部が傾斜溝部１１ｃの上面と接するまで自重によって下方に下がる。
【0050】
本体部２１ｃは、少なくとも傾斜溝部１１ｃと接触する部分（先端部２１ｅ）がゴム等の弾性体により形成されることが望ましい。例えば、本体部２１ｃの先端部２１ｅを弾性体により形成し、その他の部分を金属板で形成することが可能である。また、本体部２１ｃ全体を弾性体により形成することも可能である。
【0051】
本体部２１ｃは取付部２１ｂを介して移動部材１３ａに揺動可能に取り付けられる。本体部２１ｃは自重によって下方に揺動するため、後述するように第１除去部材２１が前後に移動した場合であっても、傾斜溝部１１ｃに追従して常時傾斜溝部１１ｃに接することができる。
【0052】
なお、移動部材１３ａの移動方向（水平方向）に対して傾斜溝部１１ｃは傾斜しているため、第１除去部材２１の本体部２１ｃと傾斜溝部１１ｃとがなす角αは、移動部材１３ａ（第１除去部材２１）の位置に応じて変化する。本実施形態では、移動部材１３ａの位置にかかわらず、本体部２１ｃと傾斜溝部１１ｃとがなす角αは４５度以下となるように設定されている。
【0053】
このようにして、第１除去部材２１は移動部材１３ａの左右両側にそれぞれ設けられることで、３箇所の傾斜溝部１１ｃにそれぞれ対応するように配置される。
【0054】
図２から図４に示す洗浄ノズル２２は、傾斜溝部１１ｃに対して洗浄水を噴出するものである。洗浄ノズル２２は、傾斜溝部１１ｃの前部の上方に、後方に向けて配置される。洗浄ノズル２２は、先端（後端）から洗浄水を噴出することができる。洗浄ノズル２２から噴出された洗浄水によって、傾斜溝部１１ｃの端材Ｅを押し流したり、切削屑等の汚れを洗い流したりすることができる。
【0055】
図２及び図３に示すスピンドル部２３は、切断対象物である封止済基板Ｗを切断するためのものである。なお、スピンドル部２３は、本願の切断機構の実施の一形態である。スピンドル部２３には、前後方向及び上下方向を含む面内において回転するブレード２３ａが取り付けられる。またスピンドル部２３の近傍には、封止済基板Ｗを切断する際に切削水を供給するための切断用ノズル２３ｂが設けられる。切断用ノズル２３ｂは、スピンドル部２３と一体的に移動することができる。
【0056】
【0057】
封止済基板Ｗを切断する場合、移動機構１３のねじ軸１３ｄを回転させることで移動部材１３ａを前後に移動させることができ、更に切断用テーブル１５を前後方向に移動させることができる。移動機構１３による切断用テーブル１５の前後方向への移動、回転機構１７による切断用テーブル１５のθ方向への回転、並びに、スピンドル部２３の左右方向及び上下方向への移動を組み合わせることで、切断用テーブル１５に配置された封止済基板Ｗをブレード２３ａで切断して個片化することができる。
【0058】
封止済基板Ｗを切断することによって生じる端材Ｅや切削屑等は、切断用テーブル１５から第１受け部材１１の傾斜溝部１１ｃへと落下する場合がある。これに対して、封止済基板Ｗを切断する場合、洗浄ノズル２２から連続的、又は、断続的に洗浄水が噴出される。この洗浄水によって、傾斜溝部１１ｃに落下した端材Ｅや切削屑等を収容部１２に向かって押し流すことができる。
【0059】
さらに本実施形態では、第１除去部材２１によって、傾斜溝部１１ｃに落下した端材Ｅ等をより確実に収容部１２へと排出することができる。具体的には、封止済基板Ｗを切断する際に切断用テーブル１５が前後へと移動すると、それに伴って移動部材１３ａに設けられた第１除去部材２１も前後に移動する。
【0060】
図３に示すように、第１除去部材２１が後方へと移動する場合、第１除去部材２１よりも後側に落下している端材Ｅは、第１除去部材２１によって前方から収容部１２に向かって押し出される。これによって、洗浄ノズル２２からの洗浄水では流しきれない端材Ｅであっても、第１除去部材２１を用いてより確実に収容部１２へと排出することができる。なお、取付部２１ｂと支持部２１ａの貫通孔２１ｄとの間に隙間を設けたこと、並びに、弾性体により形成された先端部２１ｅを本体部２１ｃに設けたことによって、端材Ｅを押し出す際に第１除去部材２１に過剰な負荷や抵抗が加わるのを抑制することができる。
【0061】
また、図７に示すように、第１除去部材２１が前方へと移動する場合、第１除去部材２１よりも前側に落下している端材Ｅに第１除去部材２１が接触すると、第１除去部材２１は上方に向かって揺動し、端材Ｅの上方を介して後方から前方へ通過することができる。このように本実施形態では第１除去部材２１が揺動可能となるように構成されている。また、本体部２１ｃと傾斜溝部１１ｃとがなす角αが４５度以下である。このため、端材Ｅを後方へ押し出す力よりも、端材Ｅを前方に押し戻す力が小さい。結果、第１除去部材２１が前方に移動する際に、端材Ｅが収容部１２から遠ざかる方向へ押し戻されるのを防止することができる。
【0062】
以上、本発明の第１実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。
【0063】
例えば、本実施形態で説明した切断装置１００の各部の構成（形状、配置、個数等）は特に限定するものではなく、任意に変更することが可能である。
【0064】
また、本実施形態で示した第１除去部材２１の構成は一例であり、本発明はこれに限るものではない。例えば、本体部２１ｃを揺動可能に支持するための構成は本実施形態のように支持部２１ａと取付部２１ｂを用いる構成（図６参照）に限るものではない。その他の構成の例として、水平に配置された揺動軸を用いて、本体部２１ｃを揺動可能に支持する構成とすることも可能である。
【0065】
また、本実施形態においては、本体部２１ｃの先端部２１ｅを弾性体により形成するものとしたが、本体部２１ｃの材質は特に限定するものではない。また、本実施形態においては、本体部２１ｃと傾斜溝部１１ｃとがなす角αが４５度以下になるように第１除去部材２１を配置したが、第１除去部材２１の姿勢はこれに限るものではなく、任意に変更することも可能である。
【0066】
また、本実施形態においては、第１除去部材２１が移動部材１３ａに設けられる例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、切断用テーブル１５と一体的に移動するその他の部材に第１除去部材２１を設けることも可能である。例えば、第２受け部材１４や連結部１３ｂ等に第１除去部材２１を設けることも可能である。
【0067】
また、本実施形態においては、第１除去部材２１は移動部材１３ａを介して切断用テーブル１５と一体的に移動するものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、第１除去部材２１と切断用テーブル１５を互いに独立して移動させる構成とすることも可能である。この場合、切断用テーブル１５を移動させる移動機構１３とは別に、第１除去部材２１を移動させる移動機構を設けることが可能である。
【0068】
＜第２実施形態＞
以下では、図８（ａ）を用いて第２実施形態に係る切断装置１００について説明する。第２実施形態に係る切断装置１００は、第２除去部材２４を備えている点で、第１実施形態に係る切断装置１００（図３等参照）と異なっている。よって以下では、主に第２除去部材２４について説明する。
以下では、図８（ａ）を用いて第２実施形態に係る切断装置１００について説明する。第２実施形態に係る切断装置１００は、第２除去部材２４を備えている点で、第１実施形態に係る切断装置１００（図３等参照）と異なっている。よって以下では、主に第２除去部材２４について説明する。
【0069】
第２除去部材２４は、上部カバー部材２０の上の端材Ｅを収容部１２へと排出するためのものである。第２除去部材２４は、ゴム等の弾性体により形成される。第２除去部材２４は、板状に形成される。第２受け部材１４の後部と、固定用の板状部材１４ａとの間に第２除去部材２４を挟んだ状態で、ボルト等の固定具により板状部材１４ａを第２受け部材１４に固定することで、第２除去部材２４は第２受け部材１４の後部に固定される。第２除去部材２４は、第２受け部材１４から後下方へと延びるように配置される。第２除去部材２４の先端部（後端部）は、上部カバー部材２０と接するように配置される。
【0070】
封止済基板Ｗを切断する際に切断用テーブル１５が前後へと移動すると、それに伴って第２受け部材１４に設けられた第２除去部材２４も前後に移動する。第２除去部材２４が後方へと移動する場合、上部カバー部材２０の上に落下している端材Ｅは、第２除去部材２４によって前方から収容部１２に向かって押し出され、上部カバー部材２０から収容部１２へと排出される。これによって、端材Ｅが板状部材２０ａ同士の隙間から後方カバー部材１８へと落下し、後方カバー部材１８が破損するのを防止することができる。
【0071】
なお、図８（ａ）に想像線で示したように、切断用テーブル１５が最も後方に移動した場合、第２除去部材２４が上部カバー部材２０の後端部よりも後方に位置するように、第２除去部材２４の位置が調整されている。これによって、端材Ｅをより確実に収容部１２へと排出することができる。
【0072】
＜第３実施形態＞
以下では、図８（ｂ）を用いて第３実施形態に係る切断装置１００について説明する。第３実施形態に係る切断装置１００は、第２除去部材２４に代えて第３除去部材２５を備えている点で、第２実施形態に係る切断装置１００（図８（ａ）参照）と異なっている。よって以下では、主に第３除去部材２５について説明する。
以下では、図８（ｂ）を用いて第３実施形態に係る切断装置１００について説明する。第３実施形態に係る切断装置１００は、第２除去部材２４に代えて第３除去部材２５を備えている点で、第２実施形態に係る切断装置１００（図８（ａ）参照）と異なっている。よって以下では、主に第３除去部材２５について説明する。
【0073】
第３除去部材２５は、上部カバー部材２０の上の端材Ｅを収容部１２へと排出するためのものである。第３除去部材２５は、束にした毛を有するブラシにより構成される。第３除去部材２５の毛の材質としては、例えば合成繊維を用いることができる。第３除去部材２５は、第２受け部材１４の後部の底面に設けられる。第３除去部材２５の先端部（下端部）は、上部カバー部材２０と接するように配置される。
【0074】
このように構成された第３除去部材２５によって、第２実施形態の第２除去部材２４と同様に、上部カバー部材２０の上に落下している端材Ｅを収容部１２に向かって押し出して排出することができる。
【0075】
＜付記＞
本開示の第１側面の切断装置１００は、
直線的な移動方向に沿って移動可能な切断用テーブル１５（加工テーブル）と、
前記切断用テーブル１５に配置された封止済基板Ｗ（切断対象物）を切断するスピンドル部２３（切断機構）と、
前記切断用テーブル１５よりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記封止済基板Ｗが前記スピンドル部２３で切断されることによって発生した端材Ｅを受けることが可能な傾斜溝部１１ｃ（溝部）を有する第１受け部材１１（受け部材）と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動部材１３ａ（移動体）と、
前記移動部材１３ａに設けられ、前記傾斜溝部１１ｃと接するように配置され、前記端材Ｅを前記傾斜溝部１１ｃから除去する第１除去部材２１（除去部材）と、
を備える。
本開示の第１側面の切断装置１００によれば、より確実に端材Ｅを排出することができる。すなわち、移動部材１３ａと共に移動する第１除去部材２１によって、傾斜溝部１１ｃに落下した端材Ｅを直接押し出して排出することができる。これによって、洗浄水では排出しきれない端材Ｅ（堆積したり、傾斜溝部１１ｃに付着した端材Ｅ）をより確実に傾斜溝部１１ｃから排出することができる。
本開示の第１側面の切断装置１００は、
直線的な移動方向に沿って移動可能な切断用テーブル１５（加工テーブル）と、
前記切断用テーブル１５に配置された封止済基板Ｗ（切断対象物）を切断するスピンドル部２３（切断機構）と、
前記切断用テーブル１５よりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記封止済基板Ｗが前記スピンドル部２３で切断されることによって発生した端材Ｅを受けることが可能な傾斜溝部１１ｃ（溝部）を有する第１受け部材１１（受け部材）と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動部材１３ａ（移動体）と、
前記移動部材１３ａに設けられ、前記傾斜溝部１１ｃと接するように配置され、前記端材Ｅを前記傾斜溝部１１ｃから除去する第１除去部材２１（除去部材）と、
を備える。
本開示の第１側面の切断装置１００によれば、より確実に端材Ｅを排出することができる。すなわち、移動部材１３ａと共に移動する第１除去部材２１によって、傾斜溝部１１ｃに落下した端材Ｅを直接押し出して排出することができる。これによって、洗浄水では排出しきれない端材Ｅ（堆積したり、傾斜溝部１１ｃに付着した端材Ｅ）をより確実に傾斜溝部１１ｃから排出することができる。
【0076】
第１側面に従う第２側面の切断装置１００において、
前記移動部材１３ａは、前記移動方向に沿って前記切断用テーブル１５と一体的に移動可能である。
本開示の第２側面の切断装置１００によれば、切断用テーブル１５を移動させるための機構（移動機構１３）と、第１除去部材２１を移動させるための機構を兼用することができる。
前記移動部材１３ａは、前記移動方向に沿って前記切断用テーブル１５と一体的に移動可能である。
本開示の第２側面の切断装置１００によれば、切断用テーブル１５を移動させるための機構（移動機構１３）と、第１除去部材２１を移動させるための機構を兼用することができる。
【0077】
第１又は第２側面に従う第３側面の切断装置１００は、
前記移動方向における前記第１受け部材１１の一側に配置され、前記端材Ｅを収容可能な収容部１２をさらに備え、
前記第１除去部材２１は、
前記移動部材１３ａに対して揺動可能に取り付けられる取付部２１ｂと、
前記取付部２１ｂから前記収容部１２側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記傾斜溝部１１ｃと接する本体部２１ｃと、
を備える。
本開示の第３側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを押し出す際に、第１除去部材２１に過剰な負荷が加わるのを抑制することができる。また、第１除去部材２１が収容部１２から離れる方向に移動する際には、端材Ｅを乗り越えるように本体部２１ｃを揺動させることができるため、端材Ｅが収容部１２から離れる方向に押し戻されるのを防止することができる。
前記移動方向における前記第１受け部材１１の一側に配置され、前記端材Ｅを収容可能な収容部１２をさらに備え、
前記第１除去部材２１は、
前記移動部材１３ａに対して揺動可能に取り付けられる取付部２１ｂと、
前記取付部２１ｂから前記収容部１２側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記傾斜溝部１１ｃと接する本体部２１ｃと、
を備える。
本開示の第３側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを押し出す際に、第１除去部材２１に過剰な負荷が加わるのを抑制することができる。また、第１除去部材２１が収容部１２から離れる方向に移動する際には、端材Ｅを乗り越えるように本体部２１ｃを揺動させることができるため、端材Ｅが収容部１２から離れる方向に押し戻されるのを防止することができる。
【0078】
第３側面に従う第４側面の切断装置１００において、
前記本体部２１ｃは、前記傾斜溝部１１ｃとの間においてなす角αが４５度以下になるように配置される。
本開示の第４側面の切断装置１００によれば、収容部１２に向かって端材Ｅを押し出し易くすることができる。
前記本体部２１ｃは、前記傾斜溝部１１ｃとの間においてなす角αが４５度以下になるように配置される。
本開示の第４側面の切断装置１００によれば、収容部１２に向かって端材Ｅを押し出し易くすることができる。
【0079】
第３又は第４側面に従う第５側面の切断装置１００において、
前記本体部２１ｃは、前記傾斜溝部１１ｃと接触する部分（先端部２１ｅ）が弾性体により形成されている。
本開示の第５側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを押し出す際に、第１除去部材２１に過剰な負荷が加わるのを抑制することができる。また、本体部２１ｃと接する傾斜溝部１１ｃの損傷（磨耗等）の発生を抑制することができる。
前記本体部２１ｃは、前記傾斜溝部１１ｃと接触する部分（先端部２１ｅ）が弾性体により形成されている。
本開示の第５側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを押し出す際に、第１除去部材２１に過剰な負荷が加わるのを抑制することができる。また、本体部２１ｃと接する傾斜溝部１１ｃの損傷（磨耗等）の発生を抑制することができる。
【0080】
第３から第５側面に従う第６側面の切断装置１００において、
前記傾斜溝部１１ｃは、前記収容部１２側に向かうにつれて下方に傾斜するように形成されている。
本開示の第６側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを収容部１２に向かって排出し易くすることができる。また、洗浄水等が傾斜溝部１１ｃに留まり難いため、端材Ｅが傾斜溝部１１ｃに付着するのを抑制することができる。
前記傾斜溝部１１ｃは、前記収容部１２側に向かうにつれて下方に傾斜するように形成されている。
本開示の第６側面の切断装置１００によれば、端材Ｅを収容部１２に向かって排出し易くすることができる。また、洗浄水等が傾斜溝部１１ｃに留まり難いため、端材Ｅが傾斜溝部１１ｃに付着するのを抑制することができる。
【0081】
第１から第６側面に従う第７側面の切断装置１００は、
前記移動部材１３ａの下方に配置され、前記移動方向に沿って延びるねじ軸１３ｄと、
前記ねじ軸１３ｄの回転に応じて前記ねじ軸１３ｄに沿って移動可能なナット１３ｃと、
前記ナット１３ｃと前記移動部材１３ａとを連結する連結部１３ｂと、
を備える。
本開示の第７側面の切断装置１００によれば、簡素な構成で移動部材１３ａを移動させることができる。
前記移動部材１３ａの下方に配置され、前記移動方向に沿って延びるねじ軸１３ｄと、
前記ねじ軸１３ｄの回転に応じて前記ねじ軸１３ｄに沿って移動可能なナット１３ｃと、
前記ナット１３ｃと前記移動部材１３ａとを連結する連結部１３ｂと、
を備える。
本開示の第７側面の切断装置１００によれば、簡素な構成で移動部材１３ａを移動させることができる。
【0082】
本開示の第８側面の切断品の製造方法は、
第１から第７側面のいずれかの切断装置１００を用いた切断品の製造方法であって、
前記切断用テーブル１５に前記封止済基板Ｗを配置する工程と、
前記スピンドル部２３と、前記切断用テーブル１５と、を相対的に移動させることで前記封止済基板Ｗを切断する工程と、
を含む。
本開示の第８側面の切断品の製造方法によれば、より確実に端材Ｅを排出することができる。
第１から第７側面のいずれかの切断装置１００を用いた切断品の製造方法であって、
前記切断用テーブル１５に前記封止済基板Ｗを配置する工程と、
前記スピンドル部２３と、前記切断用テーブル１５と、を相対的に移動させることで前記封止済基板Ｗを切断する工程と、
を含む。
本開示の第８側面の切断品の製造方法によれば、より確実に端材Ｅを排出することができる。
【符号の説明】
【0083】
１１ 第１受け部材
１１ｃ 傾斜溝部
１２ 収容部
１３ａ 移動部材
１３ｂ 連結部
１３ｃ ナット
１３ｄ ねじ軸
１５ 切断用テーブル
２１ 第１除去部材
２１ｂ 取付部
２１ｃ 本体部
２１ｅ 先端部
２３ スピンドル部
１００ 切断装置
１１ｃ 傾斜溝部
１２ 収容部
１３ａ 移動部材
１３ｂ 連結部
１３ｃ ナット
１３ｄ ねじ軸
１５ 切断用テーブル
２１ 第１除去部材
２１ｂ 取付部
２１ｃ 本体部
２１ｅ 先端部
２３ スピンドル部
１００ 切断装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【手続補正書】
【提出日】2022-11-16
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
直線的な移動方向に沿って移動可能な加工テーブルと、
前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、
前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、
を備える切断装置。
前記加工テーブルに配置された切断対象物を切断する切断機構と、
前記加工テーブルよりも下方において前記移動方向に沿って形成され、前記切断対象物が前記切断機構で切断されることによって発生した端材を受けることが可能な溝部を有する受け部材と、
前記移動方向に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体に設けられ、前記溝部と接するように配置され、前記端材を前記溝部から除去する除去部材と、
を備える切断装置。
【請求項2】
前記移動体は、前記移動方向に沿って前記加工テーブルと一体的に移動可能である、
請求項１に記載の切断装置。
請求項１に記載の切断装置。
【請求項3】
前記移動方向における前記受け部材の一側に配置され、前記端材を収容可能な収容部をさらに備え、
前記除去部材は、
前記移動体に対して揺動可能に取り付けられる取付部と、
前記取付部から前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記溝部と接する本体部と、
を備える、
請求項１に記載の切断装置。
前記除去部材は、
前記移動体に対して揺動可能に取り付けられる取付部と、
前記取付部から前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように配置され、前記溝部と接する本体部と、
を備える、
請求項１に記載の切断装置。
【請求項4】
前記本体部は、前記溝部との間においてなす角が４５度以下になるように配置される、
請求項３に記載の切断装置。
請求項３に記載の切断装置。
【請求項5】
前記本体部は、前記溝部と接触する部分が弾性体により形成されている、
請求項３に記載の切断装置。
請求項３に記載の切断装置。
【請求項6】
前記溝部は、前記収容部側に向かうにつれて下方に傾斜するように形成されている、
請求項３に記載の切断装置。
請求項３に記載の切断装置。
【請求項7】
前記移動体の下方に配置され、前記移動方向に沿って延びるねじ軸と、
前記ねじ軸の回転に応じて前記ねじ軸に沿って移動可能なナットと、
前記ナットと前記移動体とを連結する連結部と、
を備える、
請求項１に記載の切断装置。
前記ねじ軸の回転に応じて前記ねじ軸に沿って移動可能なナットと、
前記ナットと前記移動体とを連結する連結部と、
を備える、
請求項１に記載の切断装置。
【請求項8】
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の切断装置を用いた切断品の製造方法であって、
前記加工テーブルに前記切断対象物を配置する工程と、
前記切断機構と、前記加工テーブルと、を相対的に移動させることで前記切断対象物を切断する工程と、
を含む切断品の製造方法。
前記加工テーブルに前記切断対象物を配置する工程と、
前記切断機構と、前記加工テーブルと、を相対的に移動させることで前記切断対象物を切断する工程と、
を含む切断品の製造方法。