特開 2024-72723 光集積回路モジュール及び光通信装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024072723

(43)【公開日】2024-05-28

(54)【発明の名称】光集積回路モジュール及び光通信装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/065 20060101AFI20240521BHJP

【ＦＩ】

G02F1/065

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022183739

(22)【出願日】2022-11-16

(71)【出願人】

【識別番号】309015134

【氏名又は名称】富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】三田村 宣明

(72)【発明者】

【氏名】山下 洋平

(72)【発明者】

【氏名】柳田 百合香

【テーマコード（参考）】

2K102

【Ｆターム（参考）】

2K102AA21

2K102BA03

2K102BA40

2K102BB01

2K102BB04

2K102BC04

2K102BD01

2K102CA23

2K102DA04

2K102DB05

2K102DC08

2K102DD01

2K102EA21

2K102EB10

2K102EB11

2K102EB12

2K102EB16

2K102EB20

2K102EB22

2K102EB29

2K102EB30

(57)【要約】

【課題】有機電気光学材料の光酸化現象が抑制された光集積回路モジュール及び光通信装置を提供する。
【解決手段】光集積回路モジュールは、有機電気光学材料を用いた光導波路を有する光集積回路素子と、前記光集積回路素子上の少なくとも前記光導波路を真空封止するカバーと、を有する。更に、光集積回路モジュールは、前記カバー内部に設けられて、前記カバー内部の酸素を吸着する酸素ゲッターを有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

有機電気光学材料を用いた光導波路を有する光集積回路素子と、
前記光集積回路素子上の少なくとも前記光導波路を真空封止するカバーと、
前記カバー内部に設けられて、前記カバー内部の酸素を吸着する酸素ゲッターと、
を有することを特徴とする光集積回路モジュール。

【請求項2】

前記光集積回路素子はパッケージに収容されており、
前記カバーは、
前記パッケージのリッドであることを特徴とする請求項１に記載の光集積回路モジュール。

【請求項3】

前記カバーは、
前記光集積回路素子上の前記光導波路を局所的に真空封止するキャップであることを特徴とする請求項１に記載の光集積回路モジュール。

【請求項4】

前記酸素ゲッターは、前記カバーに固定されている、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光集積回路モジュール。

【請求項5】

前記酸素ゲッターは、
前記カバーの内面に形成された酸素吸着層を含むことを特徴とする請求項４に記載の光集積回路モジュール。

【請求項6】

前記真空封止された前記カバー内の真空度が１×１０^－１Ｐａ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光集積回路モジュール。

【請求項7】

前記真空封止において、前記光導波路を前記カバーで接合する接合時の有機電気光学材料の温度が１１０℃以下であることを特徴とする請求項６に記載の光集積回路モジュール。

【請求項8】

前記光集積回路素子は、２本の電極の間に前記有機電気光学材料が充填されたスロット導波路で形成された光変調器を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光集積回路モジュール。

【請求項9】

前記酸素ゲッターは、
Ｚｒ、Ｔｉ、ＺｒＡｌ合金、ＺｒＮｉ合金、ＺｒＦｅ合金、ＺｒＶＦｅ合金、ＺｒＶＥ合金（ＥはＦｅ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ａｌまたはその混合物）、ＺｒＭ１Ｍ２合金（Ｍ１、Ｍ２はＣｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選択される）、ＺｒＣｏＡ合金（ＡはＹ、Ｌａ等の希土類金属またはその混合物）、及び、ＺｒＦｅＭｇＭｍ（Ｍｍは希土類金属とＣｅ、Ｌａ、Ｎｄとの混合物）の中から選択される酸素吸着材料を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光集積回路モジュール。

【請求項10】

前記有機電気光学材料を用いた光導波路を有する光集積回路素子と、
前記光集積回路素子と電気的に接続される電気回路素子と、
を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光集積回路モジュール。

【請求項11】

電気信号に対する信号処理を実行するプロセッサと、
前記プロセッサから出力される電気信号を用いて、光源から発生する光を変調する光変調器を集積する光集積回路モジュールと、を有する光通信装置であって、
前記光集積回路モジュールは、
有機電気光学材料を用いた光導波路を有する光集積回路素子と、
前記光集積回路素子の少なくとも前記光導波路を真空封止するカバーと、
前記カバー内部に設けられて、前記カバー内部の酸素を吸着する酸素ゲッターと、
を有することを特徴とする光通信装置。

【請求項12】

前記光集積回路モジュールは、
前記光源から発生する光を用いて受信光を復調する光受信器を集積することを特徴とする請求項１１に記載の光通信装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光集積回路モジュール及び光通信装置に関する。

【背景技術】

【0002】

光データ伝送容量の急増を支えるための通信デバイスまたは機器の開発が、急務となっている。光変調器は高速データ伝送のコアであり、産業界からは８００Ｇｂｉｔ／ｓｅｃ（シンボルレートで１３０Ｇｂａｕｄ）の高速化が望まれている。光変調器の材料として、これまで主流であったニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）に替わる、より高い電気光学効果と広帯域特性をもつ有機電気光学材料（電気光学ポリマ）が期待されている。電気光学ポリマを２本の電極間に塗布、充填したスロット導波路を用いた光変調器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。電気光学ポリマ材料は、信頼性に対する懸念があることから実用化が進んでいなかったが、信頼性試験（例えば、８５℃、２０００時間）において電気光学定数を保持可能な有機非線形光学材料が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【0003】

大気中、すなわち酸素がある状態で、電気光学ポリマに光通信波長である１５５０ｎｍ帯の強い光を透過させると、ポリマ自体が劣化し、変調特性または光学特性が劣化することが報告されている（例えば、非特許文献１参照）。酸素によるこの劣化現象は、光酸化現象と呼ばれている。電気光学ポリマ導波路を実用化するには、光酸化現象を考慮する必要がある。ＬｉＮｂＯ_３光変調器を気密封止する構成が知られている（例えば、特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許第７６４３７１４号明細書

【特許文献2】特許第６９３５８８４号公報

【特許文献3】特開２０１９－５３３１３号公報

【特許文献4】特開２０００－３３７９５９号公報

【特許文献5】米国特許出願公開第２０１５／０２４３７９９号明細書

【特許文献6】米国特許出願公開第２００２／０１８１８６６号明細書

【特許文献7】特開２０１３－１７１９５８号公報

【特許文献8】特開２００１－２８１０５０号公報

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】D. Rezzonico, M. Jazbinsek, P. Gunter, C. Bosshard, D. H. Bale, Y.Liao, L. R. Dalton, and P. J. Reid, “Photostabililty studies of pi-conjugated chromophores with resonant and nonresonant light excitation for long-life polymeric telecommunication devices,” J. Opt. Soc. Am. B., vol. 24, no. 9, pp. 2199-2207, 2007

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

発明者らは、電気光学ポリマ材料等の有機電気光学材料を用いたスロット導波路を含む光集積回路に公知の気密封止構造を適用しても、実用に耐え得る特性が得られないことを見出した。電気光学ポリマ材料を用いたスロット導波路を含む光集積回路を接着剤で気密封止パッケージ内に接着固定し、ベイキング等で水分をできるだけ揮発させ、窒素雰囲気中で気密封止しても、ある程度の酸素や水分がパッケージ内に残る。電気光学ポリマ材料や接着剤が酸素、空気、水分等を吸収しており、ベイキングを行っても吸収された酸素や水分を十分に揮発されず、気密封止パッケージ内に残留するためと考えられる。

【0007】

一つの側面では、有機電気光学材料の光酸化現象が抑制された光集積回路モジュール等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

一つの態様の光集積回路モジュールは、有機電気光学材料を用いた光導波路を有する光集積回路素子と、光集積回路素子上の少なくとも光導波路を真空封止するカバーと、カバー内部に設けられて、カバー内部の酸素を吸着する酸素ゲッターと、を有する。

【発明の効果】

【0009】

一つの態様の光集積回路モジュールでは、有機電気光学材料の光酸化現象を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施例１の光集積回路モジュールのＹＺ面に沿った断面模式図である。

【図2】図２は、図１の光集積回路モジュールのＸＹ面に沿った断面模式図である。

【図3A】図３Ａは、電気光学ポリマ充填前のスロット導波路の断面模式図である。

【図3B】図３Ｂは、電気光学ポリマ充填後のスロット導波路の断面模式図である。

【図4】図４は、実施例１の光集積回路モジュールの電気特性を示す説明図である。

【図5】図５は、実施例２の光集積回路モジュールのＹＺ面に沿った断面模式図である。

【図6】図６は、図５の光集積回路モジュールのＸＹ面に沿った断面模式図である。

【図7】図７は、実施例３の光集積回路モジュールのＹＺ面に沿った断面模式図である。

【図8】図８は、図７の光集積回路モジュールのＸＹ面に沿った断面模式図である。

【図9】図９は、スロット導波路及びキャップの断面模式図である。

【図10】図１０は、図９のキャップを光集積回路素子に接合する際の製造方法を説明する断面模式図である。

【図11】図１１は、実施例３の光集積回路モジュールの電気特性を示す説明図である。

【図12】図１２は、光送受信機の模式図である。

【図13】図１３は、比較例の光集積回路モジュールの断面模式図である。

【図14】図１４は、比較例の光集積回路モジュールの電気特性を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

先ず、本実施例の光集積回路モジュールについて説明する前に、電気光学ポリマを用いたスロット導波路の比較例の光集積回路モジュールについて説明する。図１３は、比較例の光集積回路モジュール３００の断面模式図である。

【0012】

図１３に示す光集積回路モジュール３００は、電気光学ポリマを用いたスロット導波路を含む光集積回路素子３２０と、光集積回路素子３２０を気密封止するパッケージ３２１とを有する。パッケージ３２１内に、光集積回路素子３２０が接着剤３２７で固定されている。電気光学ポリマを用いたスロット導波路で、例えば、光変調器等の光学素子が形成されている。パッケージ３２１はリッド３２８で覆われ、パッケージ３２１の内部が窒素で気密状態になっている。光集積回路素子３２０と光学的に接続された光ファイバ３２２は、気密封止用のパイプ３２４を通してパッケージ３２１の外部に引き出されている。パイプ３２４とパッケージ３２１との間には、半田材料３２５が充填され、光ファイバ３２２の周囲も気密封止されている。

【0013】

光集積回路モジュール３００の組み立て時には、光集積回路素子３２０を接着剤３２７でパッケージ３２１の内部に固定した後、真空中でベイキングして水分をできるだけ揮発し、続いて窒素置換された雰囲気中で、パッケージ３２１の上面開口に、リッド３２８をシーム溶接する。さらに、パイプ３２４から外部に引き出される光ファイバ３２２の周囲を半田材料３２５で埋める。これにより、純度が１００％に近い窒素ガスで気密封止された光集積回路モジュール３００が得られることになる。しかしながら、窒素ガスでの気密封止によってもなお、パッケージ３２１の内部に、例えば、０．０５～０．２０Volume％程度の酸素や水分が残存することになる。

【0014】

図１４は、比較例の光集積回路モジュール３００の電気特性を示す説明図である。尚、図１４に示す電気特性の横軸は高温通電時間（hour）、縦軸は、半波長電圧（Ｖπ）である。半波長電圧は、光変調器の電気特性の指標の一つであり、出力光の位相が１８０°（πラジアン）変化するのに必要な電圧である。電気光学ポリマを用いたスロット導波路を含む光集積回路素子３２０に、実用上必要となる１８ｄＢｍの強い光を透過させながら、８５℃、ＤＣバイアス３．５Ｖ、ＡＣ駆動電圧±２．０Ｖの条件下で高温通電を実行した場合の半波長電圧を測定した。その結果、半波長電圧は経時変化に応じて増加し、２０００時間では、高温通電前に比較して、半波長電圧が約７．５倍以上に増加する。このような半波長電圧の増加は、電気光学ポリマ材料の光酸化現象によるものと推測される。そこで、電気光学ポリマ材料の光酸化現象を抑制できる光集積回路モジュールが求められている。

【0015】

そこで、本実施例では、実用上求められる強度の光を透過させながら光集積回路素子を駆動しても有電気光学材料の光酸化現象を抑制できる光集積回路モジュールを提供する。尚、説明の便宜上、同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。

【実施例0016】

図１は、実施例１の光集積回路モジュール１０ＡのＹＺ面に沿った断面模式図、図２は、図１の光集積回路モジュール１０ＡのＸＹ面に沿った断面模式図である。光集積回路モジュール１０Ａは、光導波路を有する光集積回路素子２０と、光集積回路素子２０を真空封止するパッケージ２１と、パッケージ２１内に設けられた酸素ゲッター５０とを有する。光導波路は、例えば、電気光学ポリマ材料等の有機電気光学材料を用いたスロット導波路１９１と、例えば、シリコンフォトニクスで形成されたシリコン導波路１２３とを有する。光集積回路モジュール１０Ａは、光集積回路素子２０と、電気回路素子とを有する。尚、電気回路素子は、例えば、光変調器１９と電気的に接続されるドライバや、受光素子アレイ２ａ及び２ｂと電気的に接続されるトランスインピーダンスアンプ（ＴＩＡ）を含む。

【0017】

図１を参照すると、光集積回路素子２０は、パッケージ２１内に接着剤２７で固定されている。パッケージ２１はリッド２８で覆われ、パッケージ２１の内部３０が１×１０^－１Ｐａ以下の真空度で封止されている。リッド２８は、光集積回路素子２０上の少なくとも光導波路を真空封止するカバーである。光集積回路素子２０の端面では、ガラスブロック２３により、光ファイバ２２が光集積回路素子２０上の光導波路にバットジョイント接続されている。ガラスブロック２３は、光学接着剤で光集積回路素子２０の端面に固定されている。光ファイバ２２は、パイプ２４からパッケージ２１の外部に引き出されている。光ファイバ２２の外周の一部にメタライズ部２５を形成し、パイプ２４とメタライズ部２５との間に低融点の半田材料２６を充填することで、光ファイバ２２の周囲が気密封止される。

【0018】

パッケージ２１の内部３０には、酸素ゲッター５０が設けられる。酸素ゲッター５０は、例えば、リッド２８の内面２８１に設けられている。酸素吸着層２９の表面積が限られていることから、複数枚の酸素ゲッター５０を僅かな隙間を設けて重ねても設けても良い。

【0019】

このような真空中で用いられる酸素吸着層２９は、非蒸発型の酸素ゲッターであることが好ましい。酸素吸着層２９として、例えば、Ｚｒ、Ｔｉ、ＺｒＡｌ合金、ＺｒＮｉ合金、ＺｒＦｅ合金、ＺｒＶＦｅ合金、ＺｒＶＥ合金（ＥはＦｅ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ａｌまたはその混合物）等を用いることができる。また、酸素吸着層２９として、例えば、ＺｒＭ１Ｍ２合金（Ｍ１、Ｍ２はＣｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選択される）、ＺｒＣｏＡ合金（ＡはＹ、Ｌａ等の希土類金属またはその混合物）、ＺｒＦｅＭｇＭｍ（Ｍｍは希土類金属とＣｅ、Ｌａ、Ｎｄとの混合物）等を用いることができる。これらの酸素吸着層２９の材料は、例えば、蒸着、スパッタ等の物理的成膜方法でリッド２８に直接、２～３μｍの厚さに成膜してもよい。あるいは、上述した酸素ゲッター材料を、例えば、ＮｉＣｒＦｅ、ＳＵＳ、コバール（登録商標）等の薄い金属シートに蒸着し、蒸着後の金属シートを、スポット溶接又は耐熱性接着剤でリッド２８に固定してもよい。

【0020】

パッケージ２１をリッド２８で真空封止する前に、リッド２８内面に設けた酸素吸着層２９のデガスと活性化を行うことが望ましい。例えば、真空中で、２００℃で３０分～１時間の加熱でデガスを行い、続いて、真空中で、３００～４５０℃で１５分以上活性化を行う。その後、光集積回路素子２０が接着固定されているパッケージ２１内を１×１０^－１Ｐａ以下の真空度で真空封止する。この際、１×１０^－１Ｐａ以下の真空度の真空チャンバー内でリッド２８をパッケージ２１にシーム溶接することにより容易に１×１０^－１Ｐａ以下の真空封止が可能となる。また、有機電気光学材料の分極や電気光学係数の劣化を防ぐために、有機電気光学材料部分の温度は少なくとも１３０℃以下、望ましくは１１０℃以下の低温になるようなシーム溶接条件とする必要があるが、実際に発明者らが実施した結果、十分実現可能であった。尚、説明の便宜上、真空封止されたパッケージ２１内の真空度は１×１０^－１Ｐａ以下としたが、例えば、１×１０^－２Ｐａ以下にすることが望ましい。

【0021】

図２を参照すると、パッケージ２１に３つのパイプ２４が設けられ、３本の光ファイバ２２－１、２２－２、２２－３がパッケージ２１から引き出されている。光ファイバ２２－１、２２－２、２２－３の各々は、ガラスブロック２３により光集積回路素子２０の端面に露出する３本の光導波路にバットジョイント接続されている。光集積回路素子２０は、シリコンフォトニクス技術で作製され、シンボルレートが、例えば、１３０Ｇｂａｕｄ以上の高速光通信に適用可能である。

【0022】

図２に示す光集積回路素子２０は、基板１５上に、光導波路で形成された光変調器１９を有する。光変調器１９は、シンボルレート１３０ＧｂａｕｄのＤＰ－ＱＰＳＫ方式の変調器であり、マッハツェンダ干渉計の組み合わせで構成されている。光変調器１９を構成する光導波路のうち、電気と光が相互作用する領域に、電気光学ポリマ材料を用いたスロット導波路１９１が形成されている。８本のスロット導波路１９１で、４つの子マッハツェンダ干渉計ＳＭＺ１～ＳＭＺ４と、２つの親マッハツェンダ干渉計ＭＭＺ１及びＭＭＺ２が形成されている。スロット導波路１９１及びシリコン導波路１２３は、モード変換器により接続されている。

【0023】

図３Ａは、電気光学ポリマ充填前のスロット導波路１９１の断面模式図、図３Ｂは、電気光学ポリマ充填後のスロット導波路１９１の断面模式図である。図３Ａに示すＳｉの基板１５上にＳｉＯ_２層１６が形成され、ＳｉＯ_２層１６のエッチングされた溝１６１の内部に、所定間隔だけ離れた２本の電極１７が、互いに近接して形成されている。電極１７は、例えば、不純物が適切な濃度に添加されたシリコンで形成され、２本の電極１７の間にスロットが形成されている。

【0024】

図３Ｂに示す溝１６１内に電気光学ポリマ１８を充填する。電極１７間のスロットの内部も電気光学ポリマ１８で充填される。その結果、スロット導波路１９１が形成される。電気光学ポリマ１８として、特許文献２に開示される非線形光学活性ポリマを用いてもよい。スロット導波路１９１は、電気光学ポリマ１８を用いることで電気と光の速度整合性が良好であり、高速、広帯域の光伝送に適している。光Ｌは、２本の電極１７で決まる領域に閉じ込められて伝搬する。

【0025】

２本の電極１７に電圧を加えると、電気光学ポリマ１８の屈折率ｎが変化して、光学的な光路長ｎｄが変化する。図２に示す光変調器１９のマッハツェンダ干渉計の２つのアームで適切な電圧差を与えることで干渉条件が変化し、スロット導波路１９１を伝搬する信号光に光位相変調がかけられることになる。尚、電気光学ポリマ１８が充填された状態でスロット導波路１９１の光伝搬損失が小さくなるように、２本の電極１７の形状やスロット間隔が設計されているものとする。

【0026】

図２に示す光集積回路素子２０は、光変調器１９に加えて、受光素子アレイ２ａ及び２ｂ、９０°ハイブリッド素子３ａ及び３ｂ、偏波ビームスプリッタＰＢＳ、偏波ビームコンバイナＰＢＣ、偏波ローテータＰＲ１及びＰＲ２を有する。受光素子アレイ２ａ及び２ｂは、例えば、Ｇｅ受光素子の配列を含む光受信器である。パッケージ２１の外部のレーザ光源から出射された光ＬＬＤは、光ファイバ２２－２を通って光集積回路素子２０に入射し、その一部が分岐されて光変調器１９で所望の光変調を受ける。レーザ光源は、例えば、波長可変レーザ光源である。

【0027】

一方の親マッハツェンダ干渉計ＭＭＺ２からの変調信号光は、偏波ローテータＰＲ１で偏光軸の方向が９０°回転され、偏波ビームコンバイナＰＢＣで、他方の親マッハツェンダ干渉計ＭＭＺ１からの変調信号光と偏波合成される。偏波合成された光は、ＤＰ－ＱＰＳＫ光信号として、光ファイバ２２－１から出力される。一方、光ファイバ２２－３から光集積回路素子２０に受信信号光が入射し、偏波ビームスプリッタＰＢＳで互いに直交する２つの偏波に分離される。一方の偏波は９０°ハイブリッド素子３ａに入射し、他方の偏波は、偏波ローテータＰＲ２で偏光軸が９０°回転されて、９０°ハイブリッド素子３ｂに入射する。

【0028】

一方、光ファイバ２２－２から入射して分岐された光ＬＬＤの別の部分は、ローカル光として、９０°ハイブリッド素子３ａ及び３ｂに入射する。９０°ハイブリッド素子３ａ及び３ｂは、ローカル光を参照光として受信信号光の位相状態を光強度に変換する。光強度は受光素子アレイ２ａ及び２ｂでそれぞれ検出される。

【0029】

真空封止のパッケージ２１のリーク量は、ＭＩＬ－ＳＴＤ－８８３で規定されているOptical Leak Testなどで測定が容易に可能であるが、リーク量がその測定限界以下であった場合でも微少なリークがないとは言い切れない。この場合、微少なリークにより酸素を２１％含む微少な空気がパッケージ２１内部に流入しても酸素ゲッター５０に吸着される。その結果、パッケージ２１の内部３０は酸素がほぼ零の状態に維持され、光酸化現象を抑制することができる。

【0030】

図４は、光集積回路モジュール１０Ａの電気特性を示す説明図である。実施例１の光集積回路モジュール１０に１８ｄＢｍの強い光を透過させながら、８５℃、ＤＣ電圧３．５Ｖ、ＡＣ電圧±２．０Ｖの条件下で高温通電を実行する。２０００時間経過後の半波長電圧Ｖπの経時変化は、ほぼ皆無であり、図１４の比較例の光集積回路モジュール３００と比較しても、その差は明確である。実施例１の光集積回路モジュール１０Ａのパッケージ２１内の酸素がほぼ無いため、有機電気光学材料である電気光学ポリマ１８の光酸化現象を抑制できた効果であると推測される。

【0031】

実施例１の光集積回路モジュール１０Ａでは、真空封止されたパッケージ２１内の酸素ゲッター５０で内部３０の酸素が吸着されることで、パッケージ２１の内部３０の酸素がほぼ無くなる。その結果、有機電気光学材料の光酸化現象を抑制できる。そして、光酸化現象を抑制することで、光集積回路モジュール１０Ａの動作の長期信頼性が維持され、結果として、光集積回路モジュール１０Ａを内蔵した光送受信機の信頼性が向上する。

【0032】

パッケージ２１は、リッド２８により真空封止されており、酸素ゲッター５０は、リッド２８の内面に固定されているので、酸素ゲッター５０の配置スペースを確保できる。

【0033】

真空封止されたパッケージ２１内の真空度が１×１０^－１Ｐａ以下、例えば、１×１０^－２Ｐａ以下にしたので、酸素ゲッター５０では、パッケージ２１の内部３０の酸素を効率よく吸着できる。

【0034】

光集積回路素子２０は、２本の電極１７の間に電気光学ポリマ１８が充填されたスロット導波路１９１で形成された光変調器１９を有する。その結果、酸素ゲッター５０が、光変調器１９を含む光集積回路素子２０が真空封止されたパッケージ２１内の酸素を吸着できるため、電気光学ポリマ１８の光酸化現象を抑制できる。

【0035】

光集積回路モジュール１０Ａは、電気光学ポリマ１８を用いたスロット導波路１９１を有する光集積回路素子２０と、光集積回路素子２０と電気的に接続されるドライバ及びＴＩＡ等の電気回路素子とを有する。その結果、電気光学ポリマ１８の光酸化現象を抑制できる光集積回路モジュール１０Ａを提供できる。

【実施例0036】

図５は、実施例２の光集積回路モジュール１０ＢのＹＺ面に沿った断面模式図、図６は、図５の光集積回路モジュール１０ＢのＸＹ面に沿った断面模式図である。尚、実施例１の光集積回路モジュール１０Ａと同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。

【0037】

図５に示す光集積回路モジュール１０Ｂは、光導波路を有する光集積回路素子２０と、光集積回路素子２０を真空気密封止するパッケージ６１と、パッケージ６１内に設けられた酸素ゲッター５０とを有する。パッケージ６１の一つの側面の穴には周囲にメタライズ部６２を有する透明なサファイアガラスからなる窓６３が銀ロウ６４で完全に穴が充填されて取り付けられており、気密性が保たれている。光ファイバ６５及び光集積回路素子２０の光導波路からの入出力光は、レンズアレイ６７及び６８により平行光６９となり、窓６３を通して、互いに光結合されている。光ファイバ６５の先端はガラスブロック７０の穴に接着剤７１により接着固定されており、ガラスブロック７０は接着剤７１により金属ホルダ７２に接着固定されている。金属ホルダ７２はパッケージ６１の側面にＹＡＧ溶接固定されている。光ファイバ６５側のレンズアレイ６７は、ＵＶ接着剤７３を用いて金属ホルダ７２に固定されている。そして、光集積回路素子２０側のレンズアレイ６８は、パッケージ６１の底面に接着剤７４を用いて固定されたレンズアレイ台７５上に、ＵＶ接着剤７３を用いて接着固定されている。

【0038】

図６を参照すると、パッケージ６１に３本の光ファイバ６５－１、６５－２、６５－３が取り付けられている。光ファイバ６５－１、６５－２、６５－３の各々からの入出力光と、光集積回路素子２０の３本の光導波路からの入出力光は、レンズアレイ６７および６８により平行光６９―１、６９－２、６９－３となり、窓６３を通して、互いに光結合されている。

【0039】

実施例２の光集積回路モジュール１０Ｂでは、真空封止されたパッケージ６１内の酸素ゲッター５０で内部３０の酸素が吸着されることで、パッケージ６１の内部３０の酸素がほぼ無くなる。その結果、有機電気光学材料の光酸化現象を抑制できる。そして、光酸化現象を抑制することで、光集積回路モジュール１０Ｂの動作の長期信頼性が維持され、結果として、光集積回路モジュール１０Ｂを内蔵した光送受信機の信頼性が向上する。

【0040】

パッケージ６１は、リッド２８により真空封止されており、酸素ゲッター５０は、リッド２８の内面に固定されているので、酸素ゲッター５０の配置スペースを確保できる。

【0041】

真空封止されたパッケージ６１内の真空度が１×１０^－１Ｐａ以下、例えば、１×１０^－２Ｐａ以下にしたので、酸素ゲッター５０では、パッケージ６１の内部３０の酸素を効率よく吸着できる。

【0042】

光集積回路素子２０は、２本の電極１７の間に電気光学ポリマ１８が充填されたスロット導波路１９１で形成された光変調器１９を有する。その結果、酸素ゲッター５０が、光変調器１９を含む光集積回路素子２０が真空封止されたパッケージ６１内の酸素を吸着できるため、電気光学ポリマ１８の光酸化現象を抑制できる。

【0043】

光集積回路モジュール１０Ｂは、電気光学ポリマ１８を用いたスロット導波路１９１を有する光集積回路素子２０と、光集積回路素子２０と電気的に接続されるドライバ及びＴＩＡ等の電気回路素子とを有する。その結果、電気光学ポリマ１８の光酸化現象を抑制できる光集積回路モジュール１０Ｂを提供できる。

【0044】

尚、実施例１の光集積回路モジュール１０Ａでは、光集積回路素子２０全体を収容するパッケージ６１内の酸素ゲッター５０で内部３０の酸素を吸着する場合を例示した。しかしながら、光集積回路素子２０全体に限定されるものではなく、光集積回路素子２０内の光変調器１９のスロット導波路１９１の部分の酸素を吸着するようにしても良く、その実施の形態につき、実施例３として以下に説明する。