特開 2024-72951 ロードポート、及び蓋の閉止状態判定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024072951

(43)【公開日】2024-05-29

(54)【発明の名称】ロードポート、及び蓋の閉止状態判定方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240522BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022183859

(22)【出願日】2022-11-17

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】水谷 友哉

(72)【発明者】

【氏名】白川 省吾

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 いずみ

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA03

5F131BA19

5F131CA12

5F131CA53

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB22

5F131GA14

5F131GA76

5F131GA82

5F131GA83

5F131GA84

5F131GA92

5F131HA44

5F131JA15

5F131JA16

5F131JA23

5F131JA24

5F131JA27

5F131JA35

5F131KA05

5F131KA22

5F131KA40

(57)【要約】

【課題】容器の内部空間を容器の外部空間の気体に晒すことなく、容器において蓋が正常に閉められたかどうか効果的に確認する。
【解決手段】ロードポート４は、ＦＯＵＰ本体１０１と、蓋１０２とを有するＦＯＵＰ１００の開閉を行う。ロードポート４は、ベース４１と、ドア機構４２と、制御部４７とを備える。ドア機構４２は、ドア本体５０と、吸着保持部５１と、ラッチキー６５、６６と、モータ５７と、オープンセンサ９３とを有する。制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置に移動させるクローズ処理と、確認処理とを実行する。確認処理は、吸着保持部５１に蓋１０２を保持させた状態でドア本体５０を閉止位置から開放位置側へ再び移動させ、オープンセンサ９３によって取得された情報に基づいて、蓋１０２が正常に閉められたか否か判定する処理である。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

側面に側面開口が形成されており搬送対象物を収容する容器本体の内部空間と、前記搬送対象物が搬送される搬送空間と、を接続するように構成され、且つ、前記側面開口を開閉するための蓋が通過可能に構成された開口が形成されており前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、
前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、
制御部と、を備え、
前記ドア機構は、
前記開口を開閉可能に構成されたドア本体と、
前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、
前記蓋に設けられており前記蓋と前記容器本体とを係合させるロック機構、を解錠または施錠するキーと、
前記ドア本体を、前記開口を塞ぐ閉止位置と、前記開口を開放する開放位置との間で移動させるように構成された移動部と、
前記ドア本体の位置に関する情報を取得可能な情報取得部と、を有し、
前記制御部は、
前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記移動部によって前記ドア本体を前記閉止位置に移動させ、前記キーによって前記ロック機構を施錠するクローズ処理と、
前記クローズ処理の後に、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記ドア本体を前記閉止位置から前記開放位置側へ再び移動させ、前記情報取得部によって取得された情報に基づいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する確認処理と、を行うことを特徴とするロードポート。

【請求項2】

前記情報取得部は、前記ドア本体が前記開放位置に位置しているか否か検知するオープン検知部を有し、
前記制御部は、
前記確認処理時に、前記ドア本体が前記開放位置に位置していることを示す情報が前記オープン検知部によって検知された場合に、前記蓋が正常に閉められなかったと判定することを特徴とする請求項１に記載のロードポート。

【請求項3】

前記移動部は、前記ドア本体を移動させるための推力を変更可能に構成され、
前記制御部は、
前記容器本体から前記蓋を取り外すオープン処理を行う際に、所定の第１推力を前記ドア本体に加え、
前記確認処理を行う際に、前記第１推力よりも弱い第２推力を前記ドア本体に加えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。

【請求項4】

前記制御部は、
前記確認処理時に、前記蓋が正常に閉められなかったと判定した場合、
前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記キーによって前記ロック機構を解錠し、前記移動部によってドア本体を前記閉止位置に戻し、前記キーによって前記ロック機構を施錠する再クローズ処理、を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。

【請求項5】

側面に側面開口が形成されており搬送対象物を収容する容器本体に対して前記側面開口を開閉するための蓋の脱着を行うロードポートにおいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する、蓋の閉止状態判定方法であって、
前記ロードポートは、
前記容器本体の内部空間と、前記搬送対象物が搬送される搬送空間と、を接続するように構成され、且つ、前記蓋が通過可能に構成された開口が形成されており前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、
前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備えるものであり、
前記ドア機構は、
前記開口を開閉可能に構成されたドア本体と、
前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、
前記蓋に設けられており前記蓋と前記容器本体とを係合させるロック機構、を解錠または施錠するキーと、
前記ドア本体を、前記開口を塞ぐ閉止位置と、前記開口を開放する開放位置との間で移動させるように構成された移動部と、
前記ドア本体の位置に関する情報を取得可能な情報取得部と、を有するものであり、
前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記移動部によって前記ドア本体を前記閉止位置に移動させ、前記キーによって前記ロック機構を施錠するクローズ工程と、
前記クローズ工程の後に、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記ドア本体を前記閉止位置から前記開放位置側へ再び移動させ、前記情報取得部によって取得された情報に基づいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する確認工程と、を備えることを特徴とする蓋の閉止状態判定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器の蓋を開閉するロードポート、及び当該ロードポートにおける蓋の閉止状態判定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ウェハが収容されたカセット（以下、容器）の蓋を開閉するためのカセットステーション（以下、ロードポート）が開示されている。容器は、側面に開口が形成された容器本体と、開口を開閉可能に設けられた蓋とを有する。蓋は、容器本体の開口の近傍に形成された係合孔に係合する係合爪と、係合爪を伸縮させるためのラッチ機構（以下、ロック機構）とを有する。ロードポートは、容器をドック位置とアンドック位置との間で移動させる移動機構と、蓋が通過可能な開口が形成された仕切壁と、仕切壁の開口近傍に配置された容器の蓋を容器本体に脱着するドア機構と、制御部とを有する。ドア機構は、吸着保持部と、キーと、移動部とを有する。ドア機構は、蓋を開ける際には、吸着保持部によって蓋を吸着保持し、キーによってロック機構を動作させて係合爪を縮めた後（すなわち、蓋を解錠した後）、保持した蓋を移動部によって容器本体から離隔させる。また、ドア機構は、蓋を閉める際には、保持した蓋で容器本体の開口を塞ぎ、ロック機構を動作させて係合爪を伸ばした後（すなわち、蓋を施錠した後）、蓋の吸着を解除する。

【0003】

蓋が正常に閉められていない状態で容器が別の場所へ搬送されると、例えば容器の搬送中に、蓋が容器本体から脱落するおそれがある。さらに、容器内に収容されたウェハが容器から落ちてしまうおそれもある。そこで、特許文献１に記載のロードポートは、蓋が正常に閉められたかどうか確認するための動作を行うように構成されている。より具体的には、制御部は、ドア機構に蓋を施錠させて蓋を解放させた後に、移動機構を制御して、容器を一度アンドック位置まで移動させ、再度ドック位置に移動させる。そして、制御部は、キーをロック機構に再び差し込む動作、及び蓋を吸着保持部に再び吸着保持させる動作を実行させる。これらの動作が正常に行われたとき、制御部は、蓋が正常に閉まっていると判定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４－１３８０１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記の動作だけでは、実際には蓋が正常に閉まっていなくても、蓋が正常に閉まっていると誤判定されるおそれがある。より具体的には、ロック機構において、キーが差し込まれる穴が摩耗している場合などに、蓋が正常に閉まっていなくてもキーが穴に差し込まれると、蓋が正常に閉まっていると誤判定される。

【0006】

また、容器が一度アンドック位置まで移動されるため、蓋が正常に閉まっていない場合に、容器の内部空間が、容器及びロードポートの外部（以下、外部空間）の気体に晒されうる。この場合、容器に収容されたウェハが、外部空間の気体（大気など）によって汚染されるおそれがある。

【0007】

本発明の目的は、容器の内部空間を外部空間の気体に晒すことなく、容器において蓋が正常に閉められたかどうか効果的に確認することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

第１の発明のロードポートは、側面に側面開口が形成されており搬送対象物を収容する容器本体の内部空間と、前記搬送対象物が搬送される搬送空間と、を接続するように構成され、且つ、前記側面開口を開閉するための蓋が通過可能に構成された開口が形成されており前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、制御部と、を備え、前記ドア機構は、前記開口を開閉可能に構成されたドア本体と、前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、前記蓋に設けられており前記蓋と前記容器本体とを係合させるロック機構、を解錠または施錠するキーと、前記ドア本体を、前記開口を塞ぐ閉止位置と、前記開口を開放する開放位置との間で移動させるように構成された移動部と、前記ドア本体の位置に関する情報を取得可能な情報取得部と、を有し、前記制御部は、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記移動部によって前記ドア本体を前記閉止位置に移動させ、前記キーによって前記ロック機構を施錠するクローズ処理と、前記クローズ処理の後に、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記ドア本体を前記閉止位置から前記開放位置側へ再び移動させ、前記情報取得部によって取得された情報に基づいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する確認処理と、を行うことを特徴とする。

【0009】

本発明では、容器本体と蓋とを有する容器に対して、蓋をドア本体によって引っ張る確認処理を施すことにより、クローズ処理後に蓋が正常に閉まっているかどうか確認できる。また、容器を移動させることなくこのような確認が行われるため、容器の内部空間が外部空間の気体に晒されることを防止できる。したがって、容器の内部空間を外部空間の気体に晒すことなく、容器において蓋が正常に閉められたかどうか効果的に確認できる。

【0010】

第２の発明のロードポートは、前記第１の発明において、前記情報取得部は、前記ドア本体が前記開放位置に位置しているか否か検知するオープン検知部を有し、前記制御部は、前記確認処理時に、前記ドア本体が前記開放位置に位置していることを示す情報が前記オープン検知部によって検知された場合に、前記蓋が正常に閉められなかったと判定することを特徴とする。

【0011】

本発明では、オープン検知部を用いて、オープン処理時にドア本体が正常に開放位置に到達したか判定できる。また、本発明では、オープン検知部を用いて確認処理も行うことができる。つまり、オープン処理時と確認処理時とでオープン検知部を共用できる。したがって、オープン検知部と異なる部品を用いて確認処理が行われる場合と比べて、ロードポートを構成する部品の増加を抑制できる。

【0012】

第３の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記移動部は、前記ドア本体を移動させるための推力を変更可能に構成され、前記制御部は、前記容器本体から前記蓋を取り外すオープン処理を行う際に、所定の第１推力を前記ドア本体に加え、前記確認処理を行う際に、前記第１推力よりも弱い第２推力を前記ドア本体に加えることを特徴とする。

【0013】

本発明では、クローズ処理によって蓋が正常に閉められたか否かによらず、確認処理時にドア本体（及び蓋）に推力が加えられる。このため、蓋が正常に閉められており、且つ推力が強すぎる場合等に、ロック機構が破損する懸念がある。この点、本発明では、確認処理が行われる際の第２推力を弱めることができる。したがって、ロック機構の破損を防止できる。

【0014】

第４の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記制御部は、前記確認処理時に、前記蓋が正常に閉められなかったと判定した場合、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記キーによって前記ロック機構を解錠し、前記移動部によってドア本体を前記閉止位置に戻し、前記キーによって前記ロック機構を施錠する再クローズ処理、を行うことを特徴とする。

【0015】

蓋が正常に閉められなかった場合、作業者による対応が必要になりうる。本発明では、クローズ処理において蓋を正常に閉めることに失敗した場合でも、蓋を閉めるための処理を再度行うことができる。これにより、一度クローズ処理に失敗しても、再クローズ処理に成功すれば、作業者による対応は不要になる。したがって、作業者の手間の増加を抑制できる。

【0016】

第５の発明の蓋の閉止状態判定方法は、側面に側面開口が形成されており搬送対象物を収容する容器本体に対して前記側面開口を開閉するための蓋の脱着を行うロードポートにおいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する、蓋の閉止状態判定方法であって、前記ロードポートは、前記容器本体の内部空間と、前記搬送対象物が搬送される搬送空間と、を接続するように構成され、且つ、前記蓋が通過可能に構成された開口が形成されており前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備えるものであり、前記ドア機構は、前記開口を開閉可能に構成されたドア本体と、前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、前記蓋に設けられており前記蓋と前記容器本体とを係合させるロック機構、を解錠または施錠するキーと、前記ドア本体を、前記開口を塞ぐ閉止位置と、前記開口を開放する開放位置との間で移動させるように構成された移動部と、前記ドア本体の位置に関する情報を取得可能な情報取得部と、を有するものであり、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記移動部によって前記ドア本体を前記閉止位置に移動させ、前記キーによって前記ロック機構を施錠するクローズ工程と、前記クローズ工程の後に、前記保持部に前記蓋を保持させた状態で、前記ドア本体を前記閉止位置から前記開放位置側へ再び移動させ、前記情報取得部によって取得された情報に基づいて、前記蓋が正常に閉められたか否か判定する確認工程と、を備えることを特徴とする。

【0017】

本発明では、第１の発明と同様に、容器の内部空間を外部空間の気体に晒すことなく、容器において蓋が正常に閉められたかどうか効果的に確認できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本実施形態に係るロードポートを備えるＥＦＥＭ及びその周辺の概略的な平面図である。

【図2】ＦＯＵＰの斜視図である。

【図3】（ａ）及び（ｂ）は、ＦＯＵＰを前後方向において蓋側から見た図である。

【図4】（ａ）は、ロードポートの斜視図であり、（ｂ）は、ロードポートの右側面図である。

【図5】（ａ）は、ロードポートの正面図であり、（ｂ）は、ロードポートの背面図である。

【図6】（ａ）及び（ｂ）は、蓋の開閉機構を示す説明図である。

【図7】（ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【図8】（ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【図9】ロードポートの電気的構成を示すブロック図である。

【図10】蓋の閉止状態を判定する手順を示すフローチャートである。

【図11】（ａ）～（ｄ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

次に、本発明の実施の形態について説明する。説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右方向と定義する。すなわち、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１と処理装置６とが並べられている方向を前後方向と定義する。前後方向において、ＥＦＥＭ１側を前側と定義する。前後方向において、処理装置６側を後側と定義する。前後方向と直交する、複数のロードポート４が並べられる方向を左右方向と定義する。また、前後方向及び左右方向の両方と直交する方向を上下方向（重力が作用する鉛直方向）と定義する。

【0020】

（ロードポート及び周辺の概略構成）
本実施形態に係るロードポート４及び周辺の概略構成について、図１を参照しつつ説明する。図１は、ロードポート４を備えるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１及びその周辺の概略図である。図１に示すように、ＥＦＥＭ１は、筐体２と、搬送ロボット３と、複数のロードポート４と、制御装置５とを備える。ＥＦＥＭ１の後側には、処理装置６が配置されている。処理装置６は、半導体基板であるウェハＷ（本発明の搬送対象物）に所定の処理を施す装置である。所定の処理とは、例えば真空チャンバー内で行われる処理（スパッタリング、ドライエッチングなど）であっても良く、或いは他の処理であっても良い。ＥＦＥＭ１は、筐体２内の搬送空間９に配置された搬送ロボット３によって、ロードポート４に載置されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１００と処理装置６との間でウェハＷの受渡しを行う。ＦＯＵＰ１００は、複数のウェハＷを上下方向に並べて収容可能な容器である。ＦＯＵＰ１００は、不図示のＦＯＵＰ搬送装置によって搬送される。搬送装置とロードポート４との間で、ＦＯＵＰ１００の受渡しが行われる。

【0021】

筐体２は、ウェハＷが搬送される搬送空間９を形成する部材である。搬送空間９は、主に筐体２によって外部空間１０と隔てられている。筐体２は、複数のロードポート４及び処理装置６のロードロック室７と接続されるように構成されている。搬送ロボット３は、ＦＯＵＰ１００とロードロック室７との間でウェハＷを搬送可能に構成されたロボットである。

【0022】

複数のロードポート４は、例えば左右方向に並べて配置され、筐体２の前面に取り付けられている。複数のロードポート４の各々は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１（後述。本発明の容器本体）に対して蓋１０２（後述）を脱着するように構成されている。ロードポート４の構成のより詳細、及びＦＯＵＰ１００の構成のより詳細については後述する。

【0023】

制御装置５は、搬送ロボット３の制御部（不図示）、ロードポート４の制御部４７及び処理装置６の制御部（不図示）と電気的に接続されており、これらの制御部との通信を行う。

【0024】

処理装置６は、例えば、ロードロック室７と、処理室８とを有する。ロードロック室７は、ウェハＷを一時的に待機させるための部屋である。ロードロック室７は、筐体２の内部に形成された搬送空間９と接続されている。処理室８は、ウェハＷに所定の処理を行うための部屋である。

【0025】

（ＦＯＵＰ）
ロードポート４の構成について説明する前に、ＦＯＵＰ１００の構成について図２、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照しつつ説明する。図２は、ＦＯＵＰ１００の斜視図である。図２に示された前後左右上下方向は、ＦＯＵＰ１００がロードポート４に載置されており、且つ蓋１０２が正常に閉まっていると仮定したときの、説明の便宜上の方向である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、ＦＯＵＰ１００を前後方向において蓋１０２側（すなわち、後側）から見た図である。図３（ａ）は、蓋１０２が施錠された状態を示す図である。図３（ａ）においては、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。図３（ｂ）は、蓋１０２が解錠された状態を示す図である。図３（ｂ）においても、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。

【0026】

ＦＯＵＰ１００は、概ね直方体形状の容器である。図２に示すように、ＦＯＵＰ１００は、ＦＯＵＰ本体１０１と、蓋１０２とを有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、概ね直方体形状を有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）を囲う外壁部１１１と、ＦＯＵＰ本体１０１の１つの側面に設けられた開口部１１２とを有する。開口部１１２には、前後方向から見たときに概ね長方形状の開口１１３（本発明の側面開口）が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、開口部１１２の内周面のうち上側の面の左側部分には、上側へ延びた係合孔１１４が形成されている。同様に、開口部１１２の内周面のうち下側の面の左側部分には、下側へ延びた係合孔１１５が形成されている。開口部１１２の内周面のうち上側の面の右側部分には、上側へ延びた係合孔１１６が形成されている。開口部１１２の内周面のうち下側の面の右側部分には、下側へ延びた係合孔１１７が形成されている。

【0027】

ＦＯＵＰ本体１０１の底部には、ガス供給弁１１８と、ガス排出弁１１９とが形成されている（図４（ｂ）参照）。ガス供給弁１１８は、例えば窒素などの不活性ガスをＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）内に供給するための弁である。ガス排出弁１１９は、気体を内部空間Ｓｆから排出するための弁である。

【0028】

蓋１０２は、開口部１１２を開閉するように構成されている。蓋１０２は、蓋本体１２１と、ラッチ機構１２２と、ラッチ機構１２３とを有する。蓋本体１２１は、概ね板状の中空の部材である。蓋本体１２１は、後述のドア本体５０と前後方向において対向可能な端面１２１ａ（本発明の蓋対向面）を有する。端面１２１ａの上下方向における略中央の左側部分には、ラッチ機構１２２に対応して開口１２４が形成されている。端面１２１ａの上下方向における略中央の右側部分には、ラッチ機構１２３に対応して開口１２５が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３２の上端部が挿通された挿通孔１２６が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３３の下端部が挿通された挿通孔１２７が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４２の上端部が挿通された挿通孔１２８が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４３の下端部が挿通された挿通孔１２９が形成されている。

【0029】

ラッチ機構１２２及びラッチ機構１２３（本発明のロック機構）は、蓋１０２の解錠及び施錠を行うように構成された機構である。ラッチ機構１２２は、蓋本体１２１の左側部分に設けられている。ラッチ機構１２２は、回転板１３１と、ロックプレート１３２と、ロックプレート１３３とを有する。回転板１３１、ロックプレート１３２及びロックプレート１３３の概ね全体は、蓋本体１２１の内側の空間に収容されている。回転板１３１は、略円板状の部材である。回転板１３１は、開口１２４に対応して、蓋本体１２１の上下方向における略中央の左側部分に設けられている。回転板１３１は、前後方向を回転軸方向として、蓋本体１２１に自転可能に取り付けられている。回転板１３１の後端面の略中心部には、前後方向から見たときに例えば略長方形状の鍵穴１３４（図２参照）が形成されている。回転板１３１は、鍵穴１３４に差し込まれる後述のラッチキー６５（本発明のキー）によって回転させられることで、施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。回転板１３１の後端面には、正面カム１３５及び正面カム１３６が形成されている。正面カム１３５は、例えば、回転板１３１の後端面の上側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３５は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。正面カム１３６は、例えば、回転板１３１の後端面の下側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３６は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。

【0030】

ロックプレート１３２は、開口部１１２の上端部に係合することによって、蓋１０２をＦＯＵＰ本体１０１に固定する（すなわち、蓋を閉める）ための部材である。ロックプレート１３２は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３２の下端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３７を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３７は、正面カム１３５に挿通されている。ロックプレート１３２の上端部には、係合孔１１４に挿入される係合爪１３２ａが形成されている。係合爪１３２ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の中に位置している（係合位置）。係合爪１３２ａは、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の外側に位置している（解除位置）。

【0031】

ロックプレート１３３は、開口部１１２の下端部に係合することによって、蓋１０２を開口部１１２に係合させるための部材である。ロックプレート１３３は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３３の上端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３８を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３８は、正面カム１３６に挿通されている。ロックプレート１３３の下端部には、係合孔１１５に挿入される係合爪１３３ａが形成されている。係合爪１３３ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の中に位置している（係合位置）。係合爪１３３ａは、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の外側に位置している（解除位置）。

【0032】

以上の構成を有するラッチ機構１２２は、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２２は、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。

【0033】

ラッチ機構１２３は、蓋本体１２１の右側部分に設けられている。ラッチ機構１２３は、左右方向における配置位置を除いてラッチ機構１２２と同じ構成を有するため、以下の説明は比較的簡単なものにとどめる。ラッチ機構１２３は、回転板１４１と、ロックプレート１４２と、ロックプレート１４３とを有する。回転板１４１は、開口１２５に対応して設けられている。回転板１４１は、後述のラッチキー６６（本発明のキー）が差し込まれる鍵穴１４４を有する。回転板１４１は、上側部分に形成された正面カム１４５と、下側部分に形成された正面カム１４６とを有する。回転板１４１は、施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。ロックプレート１４２は、カムフォロア１４７を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４２の上端部には、係合孔１１６に挿入される係合爪１４２ａが形成されている。ロックプレート１４３は、カムフォロア１４８を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４３の下端部には、係合孔１１７に挿入される係合爪１４３ａが形成されている。

【0034】

以上の構成を有するラッチ機構１２３は、回転板１４１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２３は、回転板１４１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。

【0035】

（ロードポート）
次に、ロードポート４の構成について図４（ａ）～図５（ｂ）を参照しつつ説明する。図４（ａ）は、ロードポート４の斜視図である。図４（ｂ）は、ロードポート４の右側面図である。図５（ａ）は、ロードポート４の正面図である。図５（ｂ）は、ロードポート４の背面図である。

【0036】

上述したように、ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１に対して蓋１０２を脱着するように構成されている。ロードポート４は、ベース４１（本発明の仕切壁）と、ドア機構４２と、支持フレーム４３と、載置部４４と、エアシリンダ４５と、複数のクランプ機構４６と、制御部４７とを有する。

【0037】

ベース４１は、前後方向から見たときに略長方形状の平板状の部材である。ベース４１は、上下方向に延びるように配置されている。ベース４１は、少なくとも搬送空間９を外部空間１０と隔てる隔壁の一部を構成している。ベース４１の上側部分には、前後方向から見たときに略長方形状の開口４１ａが形成されている。開口４１ａは、ＦＯＵＰ１００の蓋１０２が前後方向に通過できる大きさを有する。また、開口４１ａは、後述のドア本体５０によって開閉される大きさを有する。ベース４１は、例えば板金によって形成されている。

【0038】

ドア機構４２は、蓋１０２の吸着保持、蓋１０２の解錠及び施錠、並びに蓋１０２の移動を実行可能に構成されている。ドア機構４２のより具体的な構成については後述する。

【0039】

支持フレーム４３は、載置部４４を支持するための部材である。支持フレーム４３は、上下方向から見たときに略長方形状である。支持フレーム４３は、ベース４１に固定されている。支持フレーム４３は、ベース４１の上下方向における途中部から前側に突出するように配置されている。

【0040】

載置部４４は、ＦＯＵＰ１００が載置される台状の部材である。載置部４４は、支持フレーム４３に支持されている。載置部４４は、支持フレーム４３に対して前後方向に移動可能に構成されている。載置部４４は、ＦＯＵＰ１００がＦＯＵＰ搬送装置（不図示）との間で受渡しされることが可能な受渡位置と、受渡位置よりも後側の蓋開閉位置との間で移動可能に構成されている。載置部４４には、位置決めピン４４ａと、ロック爪４４ｂと、ガス注入ノズル４４ｃと、ガス排出ノズル４４ｄとが設けられている。位置決めピン４４ａは、ＦＯＵＰ１００の位置決めを行うための部材である。ロック爪４４ｂは、ＦＯＵＰ１００の載置部４４への固定（ロック）及び固定の解除（アンロック）を行うための部材である。ガス注入ノズル４４ｃは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガスを供給するためのノズルである。ガス注入ノズル４４ｃは、バルブ４４ｅを介して不活性ガスの供給ポート（不図示）に接続されている。ガス注入ノズル４４ｃは、ガス供給弁１１８に連結されることが可能に構成されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆからガスを排出するためのノズルである。ガス排出ノズル４４ｄは、バルブ４４ｆを介してガスの排出ポート（不図示）に接続されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ガス排出弁１１９に連結されることが可能に構成されている。

【0041】

エアシリンダ４５は、載置部４４を前後方向に移動させるように構成されている。エアシリンダ４５は、シリンダ本体（不図示）とピストンロッド（不図示）とを有する。シリンダ本体には圧縮空気が供給及び排出される。ピストンロッドは、前後方向に伸縮するように配置され、圧縮空気の作用によって伸縮する。エアシリンダ４５は、載置部４４が蓋開閉位置に位置しているとき、載置部４４を後側へ付勢する付勢部として機能する。

【0042】

複数のクランプ機構４６は、ＦＯＵＰ１００を把持してベース４１に密着させるように構成されている。

【0043】

制御部４７は、不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御部４７は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＣＰＵによってロードポート４の各機構を制御する。また、制御部４７は、ＥＦＥＭ３の制御装置５との間で通信を行う。

【0044】

（ドア機構の構成）
ドア機構４２の構成について、図４（ａ）～図６（ｂ）を参照しつつ説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、後述の鍵開閉機構５２の背面図である。図６（ａ）は、回転板１３１、１４１を施錠位置（図３（ａ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。図６（ｂ）は、回転板１３１、１４１を解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。

【0045】

図４（ｂ）に示すように、ドア機構４２は、ドア本体５０と、複数の吸着保持部５１（本発明の保持部）と、鍵開閉機構５２と、ドア支持部５３と、ガイドレール５４と、昇降ブロック５５と、ガイドレール５６と、モータ５７（本発明の移動部）と、モータ５８とを有する。ドア本体５０は、前後方向から見たときに略長方形状の板状の部材である。ドア本体５０は、蓋本体１２１の端面１２１ａと前後方向において対向可能な前端面５０ａを有する。前端面５０ａを含む仮想的な仮想平面Ｐが、本発明の仮想平面に相当する。ドア本体５０は、ドア支持部５３に支持されている。

【0046】

複数の吸着保持部５１は、蓋１０２をドア本体５０に吸着させて保持するためのものである。複数の吸着保持部５１の各々は、ドア本体５０の前端面５０ａに形成されている。複数の吸着保持部５１は、不図示の配管を介して真空ポンプ９１（図９参照）に接続されている。真空ポンプ９１が動作すると、配管の内部に負圧が生じ、蓋１０２がドア本体５０に吸着されて保持される。

【0047】

鍵開閉機構５２は、蓋１０２（より具体的にはラッチ機構１２２及びラッチ機構１２３）を解錠又は施錠するように構成されている。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、鍵開閉機構５２は、例えば、エアシリンダ６１と、移動部材６２と、アーム６３、６４と、ラッチキー６５、６６とを有する。エアシリンダ６１は、例えば左右方向に伸縮可能なピストンロッド６１ａを有する。ピストンロッド６１ａは、エアシリンダ６１への圧縮空気の供給又はエアシリンダ６１からの圧縮空気の排出に応じて、待機状態（図６（ａ）参照）と突出状態（図６（ｂ）参照）との間で状態が切り換えられる。移動部材６２は、ピストンロッド６１ａの先端部に固定され、ピストンロッド６１ａと一体的に左右方向に移動する。移動部材６２は、エアシリンダ６１よりも上側へ突出した第１部材６２ａと、第１部材６２ａの上端部に固定された第２部材６２ｂとを有する。第２部材６２ｂは、左右方向に沿って延びた棒状の部材である。アーム６３は、第２部材６２ｂの左端部に揺動可能に取り付けられている。アーム６４は、第２部材６２ｂの右端部に揺動可能に取り付けられている。ラッチキー６５は、アーム６３の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ラッチキー６６は、アーム６４の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態であるとき、ラッチキー６５、６６は鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれることが可能である。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態と突出状態との間で切り換えられることにより、ラッチキー６５、６６は、回転板１３１、１４１をそれぞれ施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転させることができる。

【0048】

ドア支持部５３は、ドア本体５０を支持する部材である。ドア支持部５３は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。ドア支持部５３には、ドア本体５０が不図示の固定具によって固定されている。ドア支持部５３は、上下方向に延びている。ドア支持部５３は、ガイドレール５４によって前後方向に移動可能に支持されている。ドア支持部５３は、モータ５７によって前後方向に移動駆動される。ドア支持部５３は、前後方向に移動させられることによって、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））と開放位置（図８（ａ）参照）との間で移動させる。閉止位置は、ドア本体５０がベース４１の開口４１ａを塞いでいるときのドア本体５０の位置である。開放位置は、ドア本体５０が開口４１ａを開放しているときのドア本体５０の位置である。

【0049】

ガイドレール５４は、ドア支持部５３を前後方向に案内する部材である。ガイドレール５４は、昇降ブロック５５の上に設けられている。ガイドレール５４は、前後方向に延びている。

【0050】

昇降ブロック５５は、ドア本体５０を上下方向に移動させるための部材である。昇降ブロック５５は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。昇降ブロック５５は、ガイドレール５４によってドア支持部５３を移動可能に支持している。昇降ブロック５５は、ガイドレール５６に沿って上下方向に案内される。昇降ブロック５５は、モータ５８によって上下方向に移動駆動される。昇降ブロック５５は、上下方向に移動させられることによって、ドア本体５０を、上述の開放位置と、開放位置よりも下側の退避位置（図７（ｂ）参照）との間で移動させる。

【0051】

ガイドレール５６は、昇降ブロック５５を上下方向に案内する部材である。ガイドレール５６は、ベース４１に設けられている。ガイドレール５６は、上下方向に延びている。

【0052】

モータ５７は、ドア支持部５３を前後方向に移動駆動するように構成されている。モータ５７は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５７は、ドア支持部５３の前後方向における位置を制御可能に構成されている。

【0053】

モータ５８は、昇降ブロック５５を上下方向に移動駆動するように構成されている。モータ５８は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５８は、ドア支持部５３の上下方向における位置を制御可能に構成されている。

【0054】

以上の構成を有するロードポート４の動作について、図７（ａ）～図８（ｂ）を参照しつつ説明する。図７（ａ）～図８（ｂ）は、動作中のロードポート４の右側面図である。ここでは、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置されてから、蓋１０２がドア機構４２によってＦＯＵＰ本体１０１から取り外されるまでのロードポート４の動作を説明する。

【0055】

まず、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置される（図７（ａ）参照）。このとき、ＦＯＵＰ１００は、位置決めピン４４ａによって位置決めされ、ロック爪４４ｂによって載置部４４に固定される。また、ガス注入ノズル４４ｃがガス供給弁１１８に連結され、ガス排出ノズル４４ｄがガス排出弁１１９に連結される。

【0056】

制御部４７は、エアシリンダ４５の動作を制御して、載置部４４を受渡位置（図７（ａ）参照）から蓋開閉位置（図７（ｂ））に移動させる。これにより、蓋１０２の端面１２１ａが、ドア本体５０の前端面５０ａと前後方向において近接した位置で対向する。このとき、ラッチキー６５、６６（図４（ａ）参照）が鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれる。次に、制御部４７は、バルブ４４ｅ及びバルブ４４ｆを制御して、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガス（本発明の第２気体）を供給しつつ、内部空間Ｓｆを満たしていたガス（本発明の第１気体）を内部空間Ｓｆから排出する。これにより、内部空間Ｓｆ内のガスが不活性ガスに置き換えられる（このような処理は、一般的にパージ処理とも呼ばれる）。パージ処理が行われているとき、ＦＯＵＰ１００内の圧力が外部空間１０の圧力よりも高くなり、蓋１０２が外側（より具体的には後側）へ多少押されうる。なお、パージ処理は、載置部４４の蓋開閉位置への移動前に行われても良い。

【0057】

次に、制御部４７は、クランプ機構４６を制御して、ＦＯＵＰ１００をベース４１に押し付ける。次に、制御部４７は、真空ポンプ９１を制御して、蓋１０２をドア本体５０の吸着保持部５１に吸着保持させる。さらに、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、ラッチ機構１２２、１２３を解錠する。次に、制御部４７は、モータ５７を制御して、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））から開放位置（図８（ａ）参照）に移動させる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から取り外される。このように、吸着保持部５１に蓋１０２を保持させた状態でラッチ機構１２２、１２３を解錠し、モータ５７によってドア本体５０を閉止位置から開放位置に最初に移動させる処理（工程）を、説明の便宜上、オープン処置（オープン工程）と呼ぶ。

【0058】

オープン処理により、内部空間Ｓｆと搬送空間９が、開口１１３及び開口４１ａを介して接続される。内部空間Ｓｆ及び搬送空間９は、ベース４１等によって外部空間１０と隔てられている。オープン処理の後に、制御部４７は、モータ５８を制御して、ドア本体５０を開放位置から退避位置（図８（ｂ）参照）に移動させる。これにより、内部空間Ｓｆと搬送空間９との間でウェハＷの受渡しが可能になる。言い換えれば、ウェハＷが内部空間Ｓｆと処理装置６との間で受け渡されることが可能になる。処理装置６によって、全ての（又は一部の）ウェハＷに対して所定の処理が順次施される。処理が施されたウェハＷは、内部空間Ｓｆに戻される。

【0059】

ウェハＷの処理が完了した後、制御部４７は、蓋１０２を開けるときとは逆の動作をドア機構４２等に行わせる。すなわち、制御部４７は、ドア本体５０を退避位置から開放位置へ移動させ、さらに開放位置から閉止位置へ移動させる。次に、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、蓋１０２の施錠を行う。このように、オープン処理の後、吸着保持部５１に蓋１０２を保持させた状態でドア本体５０を閉止位置に戻し、ラッチ機構１２２、１２３を施錠する処理（工程）は、本発明のクローズ処理（クローズ工程）に相当する。

【0060】

また、制御部４７は、上述したパージ処理を再び行う。制御部４７は、蓋１０２のドア本体５０への吸着を解除する（吸着解除）。その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる。

【0061】

ここで、蓋１０２が正常に閉められていない状態でＦＯＵＰ１００が別の場所へ搬送されると、ＦＯＵＰ１００の搬送中に蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から脱落するおそれがある。さらに、ＦＯＵＰ１００内に収容されたウェハがＦＯＵＰ１００から落ちてしまうおそれもある。そこで、蓋１０２が正常に閉められたかどうか確認するための種々の方法が検討されているものの、従来の方法では誤判定の懸念又はＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆが外部空間１０の気体（大気）に晒される懸念がある。本実施形態では、ロードポート４はさらに以下の構成を備える。また、内部空間Ｓｆを外部空間１０の気体に晒すことなく、ＦＯＵＰ１００において蓋１０２が正常に閉められたかどうか効果的に確認するため、本実施形態においては後述の制御が行われる。

【0062】

まず、蓋１０２が正常に閉められたかどうか判定するための構成について、図９のブロック図を参照しつつ説明する。

【0063】

図９に示すように、ロードポート４は、上述した真空ポンプ９１を備える。真空ポンプ９１は、吸着保持部５１の近傍に生じる負圧によって、ドア本体５０に蓋１０２を吸着保持させるためのものである。さらに、ロードポート４は、圧力計９２と、オープンセンサ９３（本発明の情報取得部及びオープン検知部）と、クローズセンサ９４と、アラームランプ９５とを備える。圧力計９２は、吸着保持部５１の近傍において負圧が正常に生じているかどうか判定するために使用される。圧力計９２は、例えば、吸着保持部５１と真空ポンプ９１とを接続する配管（不図示）内に設けられ、配管内の圧力を測定可能に構成されている。オープンセンサ９３は、ドア本体５０が開放位置に位置しているかどうかに関する情報を検知可能に構成されている。クローズセンサ９４は、ドア本体５０が閉止位置に位置しているかどうかに関する情報を検知可能に構成されている。アラームランプ９５は、アラームを報知可能に構成されたランプである。真空ポンプ９１、圧力計９２、オープンセンサ９３、クローズセンサ９４及びアラームランプ９５は、制御部４７と電気的に接続されている。

【0064】

（蓋の閉止状態の判定方法）
次に、蓋１０２の閉止状態の判定方法（閉止状態判定方法）について、図１０のフローチャート及び図１１（ａ）～図１１（ｄ）を参照しつつ説明する。図１１（ａ）～図１１（ｄ）は、ロードポート４の動作を示す説明図である。蓋１０２の閉止状態の判定は、制御部４７によって行われる。

【0065】

初期状態において、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置されている。蓋１０２がドア本体５０に吸着保持されている。ドア本体５０が退避位置に位置している。つまり、初期状態は、上述したオープン処理（オープン工程）が既に実行された後の状態である。

【0066】

この状態において、制御装置５（図９参照）が搬送ロボット３を制御して、ＦＯＵＰ１００から取り出された全てのウェハＷをＦＯＵＰ本体１０１に格納する（Ｓ１０１）。その後、制御装置５は、制御部４７と通信して、蓋１０２をＦＯＵＰ本体１０１に取り付ける処理を開始するための指示信号を制御部４７に送信する。

【0067】

制御部４７は、上記指示信号を受信した後、ドア機構４２を制御して、ドア本体５０を閉止位置へ移動させる（Ｓ１０２）。より具体的には、制御部４７は、モータ５８を制御して、ドア本体５０を退避位置（図１１（ａ）参照）から開放位置（図１１（ｂ）参照）へ移動させる。さらに、制御部４７は、モータ５７を制御して、ドア本体５０を開放位置から閉止位置（図１１（ｃ）参照）へ移動させる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１の開口１１３を塞ぐ位置へ移動する。ドア本体５０の閉止位置への移動完了は、クローズセンサ９４による検知結果に基づいて判定される。次に、制御部４７は、鍵開閉機構５２を制御してラッチキー６５、６６を動作させ、回転板１３１、１４１をそれぞれ解錠位置から施錠位置に回転させる。これにより、蓋１０２が施錠される（Ｓ１０３）。すなわち、上述したクローズ処理（クローズ工程）が実行される。

【0068】

次に、制御部４７は、真空ポンプ９１を制御して、吸着保持部５１による蓋１０２の吸着保持を停止させる（Ｓ１０４）。

【0069】

次に、制御部４７は、真空ポンプ９１を制御して、吸着保持部５１に蓋１０２を再度吸着保持させる（Ｓ１０５）。制御部４７は、蓋１０２が吸着保持部５１に再吸着されたかどうか判定する（Ｓ１０６）。制御部４７は、圧力計９２によって測定された圧力が所定時間以内に所定の基準圧力以下になったときに、蓋１０２が吸着保持部５１に正常に再吸着されたと判定する（Ｓ１０６：Ｙｅｓ）。制御部４７は、所定時間が経過しても上記圧力が基準圧力以下にならない場合、蓋１０２が吸着保持部５１に正常に再吸着されなかったと判定する（Ｓ１０６：Ｎｏ）。

【0070】

蓋１０２が吸着保持部５１に正常に再吸着された場合、制御部４７は、吸着保持部５１に蓋１０２を保持させた状態で、ドア本体５０を後退させるようにドア機構４２（モータ５７）を制御する（Ｓ１０７）。制御部４７は、オープンセンサ９３による検知結果に基づき、ドア本体５０が後退したかどうか判定する（Ｓ１０８）。制御部４７は、ドア本体５０を後退させるための制御を開始してから所定時間以内に、ドア本体５０が開放位置に位置していることを示す信号をオープンセンサ９３から受信したとき、ドア本体５０が後退したと判定する（Ｓ１０８：Ｙｅｓ）。制御部４７は、ドア本体５０を後退させるための制御を開始してから所定時間が経過しても上記信号をオープンセンサ９３から受信しなかったとき、ドア本体５０が後退しなかったと判定する（Ｓ１０８：Ｎｏ）。

【0071】

ドア本体５０が後退しなかった場合、制御部４７は、蓋１０２が正常に閉められたと判定する（Ｓ１０９）。その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる（図１１（ｄ）参照）。制御部４７は、ロック爪４４ｂによる載置部４４へのＦＯＵＰ１００の固定を解除する。これにより、ＦＯＵＰ１００をロードポート４からＦＯＵＰ搬送装置に引き渡すことが可能になる（アンロード。Ｓ１１０）。

【0072】

一方、蓋１０２が吸着保持部５１に正常に再吸着されず、又はドア本体５０が閉止位置から開放位置へ後退した場合、制御部４７は、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１に正常に閉められなかったと判定する（Ｓ１１１）。この場合、制御部４７は、アラームランプ９５を制御してアラームを発報させる（Ｓ１１２）。これにより、ロードポート４において異常が発生したことを作業者に知らせることができる。

【0073】

このように、制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置から開放位置側へ再び移動させるようにモータ５７を制御し、オープンセンサ９３によって取得された情報に基づいて、蓋１０２が正常に閉められたか否か判定する。クローズ処理（クローズ工程）の後に行われるこのような処理（工程）が、本発明の確認処理（確認工程）に相当する。

【0074】

以上のように、ＦＯＵＰ１００に対して、蓋１０２をドア本体５０によって引っ張る確認処理を施すことにより、蓋１０２がクローズ処理後に正常に閉まっているかどうか確認できる。また、ＦＯＵＰ１００を移動させることなくこのような確認が行われるため、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆが外部空間１０の気体に晒されることを防止できる。したがって、内部空間Ｓｆを外部空間１０の気体に晒すことなく、ＦＯＵＰ１００において蓋１０２が正常に閉められたかどうか効果的に確認できる。

【0075】

また、オープンセンサ９３を用いて、オープン処理時にドア本体５０が正常に開放位置に到達したか判定できる。また、オープンセンサ９３を用いて確認処理も行うことができる。つまり、オープン処理時と確認処理時とでオープンセンサ９３を共用できる。したがって、オープンセンサ９３と異なる部品を用いて確認処理が行われる場合と比べて、ロードポート４を構成する部品の増加を抑制できる。

【0076】

次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

【0077】

（１）前記実施形態において、クローズ処理（クローズ工程）の後、制御部４７は、真空ポンプ９１を制御して、吸着保持部５１による蓋１０２の吸着保持を停止させるものとした。しかしながら、これには限られない。クローズ処理（クローズ工程）の後、制御部４７は、吸着保持部５１による蓋１０２の吸着保持を維持した状態で確認処理（確認工程）を開始させても良い。

【0078】

（２）ドア機構４２は、モータ５７によってドア本体５０に付与される推力の大きさを変更可能に構成されていても良い。例えば、モータ５７自体が出力を変更可能に構成されていても良い。或いは、モータ５７の出力をドア本体５０に伝達する不図示の伝達機構が設けられており、当該伝達機構がモータ５７からドア本体５０に伝達される力を変更可能に構成されていても良い。この場合、モータ５７及び伝達機構が本発明の移動部に相当する。制御部４７は、オープン処理を行う際に（つまり、ＦＯＵＰ本体１０１から最初に蓋１０２を取り外す際に）、所定の第１推力をドア本体５０に加えても良い。また、制御部４７は、確認処理を行う際に、第１推力よりも弱い第２推力をドア本体５０に加えても良い。これにより、確認処理時にドア本体５０に加えられる推力が強くなりすぎることを抑制できる。したがって、確認処理時に係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが破損することを防止できる。

【0079】

（３）制御部４７は、確認処理（確認工程）においてドア本体５０が後退したと判定したとき、以下の再クローズ処理（再クローズ工程）を実行しても良い。すなわち、制御部４７は、吸着保持部５１に蓋１０２を保持させた状態で、ラッチキー６５、６６によって係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａを係合位置から解除位置へ移動させるようにラッチ機構１２２、１２３を動作させても良い。さらに、制御部４７は、モータ５７によってドア本体５０を閉止位置に戻し、ラッチキー６５、６６によって係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａを解除位置から係合位置へ移動させるようにラッチ機構１２２、１２３を動作させても良い。このような再クローズ処理（再クローズ工程）が実行されても良い。これにより、一度クローズ処理に失敗しても、再クローズ処理に成功すれば、作業者による対応は不要になる。したがって、作業者の手間の増加を抑制できる。さらに、制御部４７は、再クローズ処理（再クローズ工程）の後に再び確認処理（確認工程）を実行しても良い。

【0080】

（４）上述した（３）の変形例において、制御部４７は、蓋１０２が正常に施錠されていると判定されるまで、再クローズ処理と確認処理（以下、これらの処理をまとめてリトライ処理と呼ぶ）を繰り返し行っても良い。制御部４７は、リトライ処理を行う最大回数を予め設定可能に構成されていても良い、制御部４７は、リトライ処理の実行回数が最大回数に到達してもなお蓋１０２が正常に施錠されていないと判定したときに、アラームランプ９５を制御してアラームを発報させても良い。

【0081】

（５）前記までの実施形態において、制御部４７は、確認処理時にオープンセンサ９３による検知結果に基づいて、蓋１０２の閉止状態の判定を行うものとした。しかしながら、これには限られない。制御部４７は、確認処理時にクローズセンサ９４による検知結果に基づいて、蓋１０２の閉止状態の判定を行っても良い。例えば、確認処理時に、ドア本体５０が閉止位置から離れたことを示す信号がクローズセンサ９４から制御部４７に送信された際に、制御部４７は、蓋１０２が正常に閉止されていないと判定しても良い。

【0082】

或いは、オープンセンサ９３及びクローズセンサ９４とは別の手段を利用して蓋１０２の閉止状態の判定を行っても良い。例えば、モータ５７が不図示のロータリーエンコーダを有していても良い。制御部４７は、確認処理時に、ロータリーエンコーダから受信した信号に基づいて、ドア本体５０が移動したか否かの判定（すなわち、蓋１０２の閉止状態の判定）を行っても良い。或いは、ドア本体５０の位置に関する情報を検知する他の手段が設けられていても良い。

【0083】

（６）ロードポート４は、確認処理中に、係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａにダメージがないか検知するための手段を備えていても良い。ロードポート４は、例えば、開口４１ａの近傍に配置された不図示のマイクを有していても良い。制御部４７は、確認処理中に、マイクが感知する音のデータに基づいた判断を行っても良い。より具体的には、制御部４７は、例えば機械学習により予め構築された、係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが軋んでいるか否か推定するための学習モデルを記憶していても良い。制御部４７は、学習モデルを用いた推定により、係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａへのダメージの有無を判断しても良い。あるいは、上記学習モデルは、制御装置５に記憶されていても良い。

【0084】

（７）蓋１０２に設けられた鍵穴１３４、１４４は、例えば経年劣化等によって削れて大きくなってしまう可能性がある。そうすると、ラッチキー６５、６６によってラッチ機構１２２、１２３を正常に動作させることができず、蓋１０２を正常に施錠できなくなるおそれがある。このような蓋１０２を有するＦＯＵＰ１００の使用が継続されることは好ましくないため、このようなＦＯＵＰ１００を発見することが求められる。また、例えばＦＯＵＰ１００の使用年月と、蓋１０２が正常に閉止されていないと判定される頻度との相関等の傾向を把握できれば、古いＦＯＵＰ１００の使用停止の判断等に役立てることができる。そこで、ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００の個体情報及び当該個体情報と関連付けられた各種情報（例えばＦＯＵＰ１００の種別、使用年数等）を取得可能に構成されていても良い。より具体的には、ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００に付されたＩＤタグ（不図示）を読取可能な読取部（不図示）を有していても良い。或いは、例えば制御装置５が、ＦＯＵＰ１００の搬送状況を管理可能なホストコンピュータ（不図示）と通信可能に構成されていても良い。制御装置５は、ホストコンピュータとの通信により、ＦＯＵＰ１００の個体情報及び当該個体情報と関連付けられた各種情報を取得しても良い。制御装置５は、制御部４７と通信を行い、所定のＦＯＵＰ１００に対する確認処理の結果の情報を当該ＦＯＵＰ１００の個体情報と関連付けて記憶しても良い。制御装置５は、ＦＯＵＰ１００の個体情報と関連付けられた確認処理の結果の情報をホストコンピュータに送信しても良い。このような情報を利用することで、蓋１０２に不良が生じているＦＯＵＰ１００を効率的に発見できる。また、不良が生じやすいＦＯＵＰ１００の種別及び／又は使用年月等の傾向を把握できる。

【0085】

（８）前記までの実施形態において、ドア本体５０がモータ５７によって前後方向に移動駆動され、載置部４４がエアシリンダ４５によって前後方向に移動駆動されるものとした。しかしながら、ドア本体５０及び載置部４４を移動させる移動手段は、これには限られない。

【0086】

（９）前記までの実施形態において、ロードポート４はパージ処理が行われることが可能に構成されているものとした。しかしながら、これには限られない。ロードポート４は、パージ処理を行うための構成を備えていなくても良い。

【0087】

（１０）前記までの実施形態において、ロードポート４は制御部４７を有するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、ＥＦＥＭ３の制御装置５がロードポート４を制御しても良い。

【0088】

（１１）不活性ガスとして、窒素以外のガスがＦＯＵＰ１００に注入されても良い。ロードポート４に載置される容器は、ＦＯＵＰ１００に限られない。例えば、工場間で基板を輸送するためのＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）がロードポート４に載置されても良い。ロードポート４は、ＥＦＥＭ３以外の設備に搭載されていても良い。

【符号の説明】

【0089】

４ ロードポート
９ 搬送空間
１０ 外部空間
４１ ベース（仕切壁）
４１ａ 開口
４２ ドア機構
４７ 制御部
５０ ドア本体
５１ 吸着保持部（保持部）
５７ モータ（移動部）
６５ ラッチキー（キー）
６６ ラッチキー（キー）
９３ オープンセンサ（情報取得部、オープン検知部）
１０１ ＦＯＵＰ本体（容器本体）
１０２ 蓋
１１３ 開口（側面開口）
１２２ ラッチ機構（ロック機構）
１２３ ラッチ機構（ロック機構）
Ｓｆ 内部空間
Ｗ ウェハ（搬送対象物）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】