特開 2024-73817 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024073817

(43)【公開日】2024-05-30

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20240523BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022184727

(22)【出願日】2022-11-18

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】土橋 将生

【テーマコード（参考）】

5D107

【Ｆターム（参考）】

5D107AA02

5D107AA12

5D107BB08

5D107CC08

5D107CC11

5D107FF10

(57)【要約】

【課題】磁気駆動回路により可動体を振動させるアクチュエータにおいて、可動体の振幅および重量を増大させるとともに、コイル線の引き出し線の長さの増大およびコイル線を引き回す経路の複雑化を抑制する。
【解決手段】アクチュエータ１の支持体２は、コイル６が第２方向Ｘに複数並んで保持されるコイル保持部３１を備える。ヨーク８０は、コイル保持部３１に対してＺ１方向で対向する第１板部８１と、コイル保持部３１に対してＺ２方向で対向する第２板部８２と、コイル保持部３１に対して第３方向Ｙの両側に配置されて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４を備える。連結板部８３には、コイル６からＹ１方向に引き出される引き出し線６０を通す開口部８７が設けられている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体および可動体と、
前記可動体と前記支持体とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、
前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記支持体は、前記コイルが前記第２方向に複数並んで保持されるコイル保持部を備え、
前記可動体は、前記磁石が固定されるヨークを備え、前記ヨークは、前記コイル保持部に対して前記第１方向の一方側で対向する第１板部と、前記コイル保持部に対して前記第１方向の他方側で対向する第２板部と、前記コイル保持部に対して前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向の両側に配置されて前記第１板部と前記第２板部とを接続する一対の連結板部と、を備え、
前記一対の連結板部の一方には、前記コイルから前記第３方向に引き出される引き出し線を通す開口部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記支持体は、前記コイル保持部から前記第３方向に突出して前記開口部に配置されるガイド部を備え、
前記引き出し線は、前記ガイド部に設けられたガイド溝に配置されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記コイルは、前記第２方向に並ぶ第１コイルおよび第２コイルを含み、
前記ガイド部は、前記第１コイルの前記第３方向の一方側、および、前記第２コイルの前記第３方向の一方側の２箇所に設けられ、
前記開口部には、前記第２方向に並ぶ２箇所の前記ガイド部が配置されることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記コイルは、前記第２方向に並ぶ第１コイルおよび第２コイルを含み、
前記ガイド部は、１箇所に設けられ、
前記１箇所の前記ガイド部に設けられた前記ガイド溝に、前記第１コイルから引き出される前記引き出し線、および、前記第２コイルから引き出される前記引き出し線が配置されることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記支持体は、
前記コイル保持部を備えるコイルホルダと、
前記第１板部に対して前記第１方向の一方側で対向する第１端板部、および前記第１端板部の外周縁から前記第１方向の他方側へ延びる第１側板部を備える第１ケース部材と、
前記第２板部に対して前記第１方向の他方側で対向する第２端板部、および前記第２端板部の外周縁から前記第１方向の一方側へ延びる第２側板部を備える第２ケース部材と、を有し、
前記ガイド部は、前記コイル保持部の前記第３方向の一方側において前記第１側板部と前記第２側板部との隙間に配置されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記接続体は、
前記第１板部と前記第１端板部とを接続する第１接続体と、
前記第２板部と前記第２端板部とを接続する第２接続体と、を備え、
前記第１接続体および前記第２接続体は、粘弾性体であることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記磁石は、前記コイルに対して前記第１方向の一方側で対向する第１磁石と、前記コイルに対して前記第１方向の他方側で対向する第２磁石と、を備え、
前記第１磁石は、前記第１板部に保持され、
前記第２磁石は、前記第２板部に保持されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、支持体および可動体と、可動体を支持体に接続する接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路を有するアクチュエータが記載される。特許文献１のアクチュエータは、Ｘ方向を長手方向とする直方体形状をしており、支持体に対して可動体をＸ方向に振動させる。支持体は、磁気駆動回路のコイルを保持するホルダを備える。コイルは、Ｘ方向を長手方向とする板状のコイルホルダにＸ方向に２個並んで保持される。

【0003】

可動体は、磁気駆動回路の磁石を保持するヨークを備える。ヨークは、コイルにＺ方向の一方側から対向する第１板部と、コイルにＺ方向の他方側から対向する第２板部と、コイルのＸ方向の両側でＺ方向に延在して第１板部と第２板部とを接続する第１連結板部および第２連結板部を備える。ホルダには、コイルのＸ方向の両側に、第１連結板部を配置する第１開口部と、第２連結板部を配置する第２開口部が設けられている。

【0004】

コイルホルダのＹ方向の側面には、コイル線を接続する配線基板が固定される。ヨークの第１連結板部および第２連結板部は、コイルからＹ方向に引き出されるコイル線の引き出し線と干渉しない。また、各コイルは、Ｙ方向を長手方向とする長円状であり、Ｙ方向にコイル線を引き出すため、コイル線の引き出し線の長さは短い。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－０１３０９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１のアクチュエータでは、可動体の振幅を大きくすると、ヨークの振動方向（Ｘ方向）の両端に配置される第１連結板部および第２連結板部がホルダと衝突するおそれがある。従って、振幅を大きくすることが難しい。また、ヨークの板厚を大きくして可動体の重量を大きくすると、第１連結板部と第２連結板部の板厚も大きくなるため、第１連結板部および第２連結板部とホルダとのＸ方向の隙間が狭くなり、第１連結板部および第２連結板部とホルダとが衝突するおそれがある。従って、可動体の重量を大きくすることが難しい。

【0007】

ここで、ヨークの第１連結板部と第２連結板部を、コイルに対して振動方向と交差する方向（Ｙ方向）の両側に配置する場合には、可動体の振幅を大きくしても、第１連結板部と第２連結板部がホルダと衝突するおそれは増大しない。しかしながら、このような配置にすると、コイルからＹ方向に引き出したコイル線と、第１連結板部もしくは第２連結板部とが干渉してしまう。Ｙ方向と異なる方向にコイル線を引き出すと、コイル線の引き出し線の長さが長くなってしまうとともに、コイル線を引き回す経路が複雑化する。

【0008】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気駆動回路により可動体を振動させるアクチュエータにおいて、可動体の振幅の増大、および、可動体の重量増大を可能にするとともに、コイル線の引き出し線の長さの増大を抑制し、コイル線を引き回す経路の複雑化を抑制することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、前記支持体は、前記コイルが前記第２方向に複数並んで保持されるコイル保持部を備え、前記可動体は、前記磁石が固定されるヨークを備え、前記ヨークは、前記コイル保持部に対して前記第１方向の一方側で対向する第１板部と、前記コイル保持部に対して前記第１方向の他方側で対向する第２板部と、前記コイル保持部に対して前記第１方向と交差し且つ前記第２方向と交差する第３方向の両側に配置されて前記第１板部と前記第２板部とを接続する一対の連結板部と、を備え、前記一対の連結板部の一方には、前記コイルから前記第３方向に引き出される引き出し線を通す開口部が設けられていることを特徴とする。

【0010】

本発明によれば、ヨークの連結板部は、コイル保持部に対して可動体の振動方向には対向しておらず、振動方向と交差する方向でコイル保持部と対向する。従って、可動体の振幅を大きくしたり、ヨークの板厚を大きくした場合でも、コイル保持部と連結板部とが衝突しない。従って、可動体の振幅の増大を図ることができる。また、ヨークの板厚を増大させて可動体の重量を大きくすることができるので、強い振動を発生させることができる。さらに、コイル線の引き出し線を通す開口部を連結板部に設けたので、コイル線を振動方向と交差する方向に引き出すことができる。これにより、コイル線の引き出し線の長さの増大、および、引き出し線を引き回す経路の複雑化を抑制できる。

【0011】

本発明において、前記支持体は、前記コイル保持部から前記第３方向に突出して前記開口部に配置されるガイド部を備え、前記引き出し線は、前記ガイド部に設けられたガイド溝に配置されることが好ましい。このようにすると、引き出し線を保護できる。また、引き出し線を引き回す作業が容易である。

【0012】

本発明において、前記コイルは、前記第２方向に並ぶ第１コイルおよび第２コイルを含み、前記ガイド部は、前記第１コイルの前記第３方向の一方側、および、前記第２コイルの前記第３方向の一方側の２箇所に設けられ、前記開口部には、前記第２方向に並ぶ２箇所の前記ガイド部が配置されることが好ましい。このようにすると、各コイルからそれぞれ引き出し線を直線状の経路で引き出すことができる。従って、引き出し線の長さを短くすることができる。また、引き出し線を引き回す経路を単純化することができる。

【0013】

本発明において、前記コイルは、前記第２方向に並ぶ第１コイルおよび第２コイルを含み、前記ガイド部は、１箇所に設けられ、前記１箇所の前記ガイド部に設けられた前記ガイド溝に、前記第１コイルから引き出される前記引き出し線、および、前記第２コイルから引き出される前記引き出し線が配置されることが好ましい。このように、ガイド部を１箇所に集約することにより、ヨークに設ける開口部の開口面積を小さくすることができる。従って、開口部を設けたことによるヨークの重量減少を抑制できるので、可動体の重量を確保できる。

【0014】

本発明において、前記支持体は、前記コイル保持部を備えるコイルホルダと、前記第１板部に対して前記第１方向の一方側で対向する第１端板部、および前記第１端板部の外周縁から前記第１方向の他方側へ延びる第１側板部を備える第１ケース部材と、前記第２板部に対して前記第１方向の他方側で対向する第２端板部、および前記第２端板部の外周縁から前記第１方向の一方側へ延びる第２側板部を備える第２ケース部材と、を有し、前記
ガイド部は、前記コイル保持部の前記第３方向の一方側において前記第１側板部と前記第２側板部との隙間に配置されることが好ましい。このようにすると、支持体の外部に引き出し線を引き出すことができる。また、第１側板部または第２側板部に配線基板を固定した場合に、配線基板まで引き出し線を引き回す作業が容易である。

【0015】

本発明において、前記接続体は、前記第１板部と前記第１端板部とを接続する第１接続体と、前記第２板部と前記第２端板部とを接続する第２接続体と、を備え、前記第１接続体および前記第２接続体は、粘弾性体であることが好ましい。このようにすると、可動体が第２方向に振動する際、粘弾性体がせん断方向に振動する。粘弾性体は、せん断方向に変形する場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つので、入力信号に対する振動加速度の再現性が高い。従って、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。

【0016】

本発明において、前記磁石は、前記コイルに対して前記第１方向の一方側で対向する第１磁石と、前記コイルに対して前記第１方向の他方側で対向する第２磁石と、を備え、前記第１磁石は、前記第１板部に保持され、前記第２磁石は、前記第２板部に保持されることが好ましい。このように、コイルの両側に磁石を配置することにより、大きなローレンツ力を発生させることができる。従って、強い振動を発生させることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、ヨークの連結板部は、コイル保持部に対して可動体の振動方向には対向しておらず、振動方向と交差する方向でコイル保持部と対向する。従って、可動体の振幅を大きくしたり、ヨークの板厚を大きくした場合でも、コイル保持部と連結板部とが衝突しない。従って、可動体の振幅の増大を図ることができる。また、ヨークの板厚を増大させて可動体の重量を大きくすることができるので、強い振動を発生させることができる。さらに、コイル線の引き出し線を通す開口部を連結板部に設けたので、コイル線を振動方向と交差する方向に引き出すことができる。これにより、コイル線の引き出し線の長さの増大、および、引き出し線を引き回す経路の複雑化を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】実施形態１のアクチュエータの外観斜視図である。

【図2】実施形態１のアクチュエータのＸＺ断面図である。

【図3】実施形態１のアクチュエータのＹＺ断面図である。

【図4】実施形態１のアクチュエータのＺ２方向から見た分解斜視図である。

【図5】実施形態１のアクチュエータのＺ１方向から見た分解斜視図である。

【図6】実施形態２のアクチュエータの外観斜視図である。

【図7】実施形態２のアクチュエータのＺ２方向から見た分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下に、図面を参照して、本発明に係るアクチュエータの実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。本形態では、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。第２方向Ｘは、可動体３の振動方向である。

【0020】

（実施形態１）
図１は、実施形態１のアクチュエータ１の斜視図である。図２は、実施形態１のアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、実施形態１のアクチュエータ１のＹＺ断面図で
ある。図４は、実施形態１のアクチュエータ１のＺ２方向から見た分解斜視図である。図５は、実施形態１のアクチュエータ１のＺ１方向から見た分解斜視図である。

【0021】

図１に示すように、アクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法および第１方向Ｚの寸法より大きい直方体形状である。アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、磁気駆動回路４と、配線基板５とを有する。磁気駆動回路４は、第１方向Ｚに対向するコイル６および磁石７を備えており、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。コイル６は、支持体２の側面に固定される配線基板５に接続される。また、アクチュエータ１は、支持体２と可動体３とに接続される接続体９を備える。可動体３は、接続体９を介して支持体２に支持される。

【0022】

アクチュエータ１は、可動体３が第２方向Ｘに振動することにより、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する者の身体を通して利用者に情報を報知する。アクチュエータ１は、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルやいす等に組み込んで利用することができ、可動体３の第２方向Ｘの振動によって利用者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができる。アクチュエータ１を触覚デバイスとして使用する際、例えば、コイル６に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

【0023】

後述するように、アクチュエータ１は、接続体９としてゲル状部材（粘弾性体）を用いている。なお、本発明は、接続体９としてゴムや板バネ等を用いたアクチュエータに適用可能である。

【0024】

支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１０および第２ケース部材２０を有する。第１ケース部材１０と第２ケース部材２０との間にコイルホルダ３０、可動体３および磁気駆動回路４が配置される。本形態では、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は各々、樹脂製である。なお、第１ケース部材１０と第２ケース部材２０は、金属製であってもよい。

【0025】

コイルホルダ３０は、板状のコイル保持部３１と、コイル保持部３１の第２方向Ｘの両端に設けられた縁部３２を備える。コイル保持部３１は、第３方向Ｙの幅が縁部３２よりも小さい。コイル保持部３１には、２つのコイル配置穴３３が第２方向Ｘに並んで設けられている。また、コイル保持部３１には、Ｙ１方向に突出する薄板状のガイド部３４が２箇所に設けられている。各ガイド部３４は、コイル配置穴３３のＹ１方向に設けられている。

【0026】

コイル保持部３１およびガイド部３４のＺ２方向の表面には、各コイル６から２本ずつ引き出した引き出し線６０を配置するガイド溝３５が設けられている。本形態では、各コイル配置穴３３からガイド部３４の先端に向かって２本のガイド溝３５が第３方向Ｙに平行に延びている。

【0027】

磁気駆動回路４は、第１コイル６１および第２コイル６２の２個のコイル６を備える。コイル６は、第３方向Ｙに有効辺が延在する長円形状の空芯コイルであり、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に引き出し線６０が引き出されている。第１コイル６１および第２コイル６２は、コイル保持部３１のコイル配置穴３３に配置される。第１コイル６１および第２コイル６２は、接着剤によりコイル保持部３１に固定される。

【0028】

磁石７は、コイル６の有効辺と第１方向Ｚで対向する。磁石７は、第１コイル６１およ
び第２コイル６２の有効辺にＺ１方向から対向する２個の第１磁石７１、７２と、第１コイル６１および第２コイル６２の有効辺にＺ２方向から対向する２個の第２磁石７３、７４を備える。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、第３方向Ｙで分極着磁される。

【0029】

第１コイル６１と、第２コイル６２は、同一のコイルである。また、第１磁石７１、７２、および第２磁石７３、７４は、全て同一の磁石である。従って、磁気駆動回路４は、１種類のコイルと１種類の磁石で構成されており、部品の種類数が少ない。

【0030】

図４、図５に示すように、第１ケース部材１０は、コイル保持部３１にＺ１方向から対向する第１端板部１１と、第１端板部１１の外周縁からＺ２方向に延びる第１側板部１２を備える。第２ケース部材２０は、コイル保持部３１にＺ２方向から対向する第２端板部２１と、第２端板部２１の外周縁からＺ１方向に延びる第２側板部２２を備える。第２側板部２２は、第１方向Ｚの高さが一定である。

【0031】

第１ケース部材１０の第１側板部１２は、第３方向Ｙに対向する第１壁１３および第２壁１４と、第２方向Ｘに対向する第３壁１５および第４壁１６を備える。第１壁１３および第２壁１４の第１方向Ｚの高さは、第３壁１５および第４壁１６の第１方向Ｚの高さよりも高い。第１壁１３および第２壁１４の第２方向Ｘの両端には、第３壁１５および第４壁１６と同じ高さまでＺ１方向に切り欠いた形状の段部１７が設けられている。

【0032】

支持体２を組み立てる際には、図１、図２、図３に示すように、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を第１方向Ｚに重ねた状態に組み立てて結合する。このとき、コイルホルダ３０の縁部３２を第１側板部１２の段部１７に嵌合させる。コイル保持部３１は、第１壁１３および第２壁１４の内側に配置される。第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は、例えば、接着剤により結合される。あるいは、図示しない筒状のカバーの内側に第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を保持させる構造を採用してもよい。

【0033】

図１、図３に示すように、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を組み立てると、第１ケース部材１０の第１壁１３の先端と第２ケース部材２０の第２側板部２２の先端との間に第１方向Ｚの隙間Ｓが形成される。隙間ＳのＺ１方向には、第１壁１３の凹部１８に固定される配線基板５が位置している。隙間Ｓには、コイル保持部３１からＹ１方向に突出するガイド部３４の先端が挿入される。コイル６から引き出した引き出し線６０は、ガイド部３４の先端においてＺ１方向に屈曲し、配線基板５の表面に設けられたランド５０まで引き回された後、半田によりランド５０に接続される。

【0034】

可動体３は、磁石７を保持するヨーク８０を備える。図２、図３、図４、図５に示すように、ヨーク８０は、コイル保持部３１に対してＺ１方向から対向する第１板部８１と、コイル保持部３１に対してＺ２方向から対向する第２板部８２と、コイル保持部３１の第３方向Ｙの両側において第１方向Ｚに延びて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４と、を備える。第１板部８１のＺ２方向の表面には、第１磁石７１、７２が第２方向Ｘに並んで固定される。第２板部８２のＺ１方向の表面には、第２磁石７３、７４が第２方向Ｘに並んで固定される。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、接着等の方法でヨーク８０に固定される。

【0035】

本形態では、ヨーク８０は、第１板部８１および第１板部８１の第３方向Ｙの両端からＺ２方向に屈曲した一対の連結板部８３、８４を備える第１ヨーク８５と、第２板部８２からなる第２ヨーク８６の２部品を接合して製造される。一対の連結板部８３、８４のＺ２方向の端部は、溶接により第２板部８２の第３方向Ｙの両端部に連結される。

【0036】

ヨーク８０は、Ｙ１方向の連結板部８３を貫通する開口部８７を備える。開口部８７は、連結板部８３の先端をＺ１方向に切り欠いた切欠き部と、第２板部８２のＹ１方向の端縁との間に形成される。図２に示すように、コイル保持部３１からＹ１方向に突出するガイド部３４は、開口部８７を貫通して、支持体２のＹ１方向の側面に開口する隙間Ｓまで延びている。

【0037】

なお、本形態では、コイル６に対する第１方向Ｚの両側に磁石７を配置しているが、磁気駆動回路４は、コイル６に対してＺ１方向およびＺ２方向の一方側にのみ磁石７を配置した構成を採用してもよい。

【0038】

（接続体）
図２に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によって第２方向Ｘに移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、第１ヨーク８５と第１ケース部材１０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第１接続体９１、９２、および、第２ヨーク８６と第２ケース部材２０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第２接続体９３、９４を備える。第１接続体９１、９２は、ヨーク８０の第１板部８１と第１ケース部材１０の第１端板部１１との間で第１方向Ｚに圧縮されている。第２接続体９３、９４は、ヨーク８０の第２板部８２と第２ケース部材２０の第２端板部２１との間で第１方向Ｚに圧縮されている。

【0039】

接続体９は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。本形態では、接続体９は粘弾性体である。例えば、接続体９（粘弾性体）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。また、粘弾性を備えた接続体９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0040】

接続体９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。

【0041】

可動体３が第２方向Ｘに振動した際、接続体９は、せん断方向に変形する。従って、接続体９では、可動体３が第２方向Ｘに振動した際、せん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。

【0042】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、実施形態１のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、可動体３と支持体２とに接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路４と、を有する。磁気駆動回路４は、支持体２に設けられたコイル６と、可動体３に設けられてコイル６に第１方向
Ｚで対向する磁石７と、を備えており、可動体３を第２方向Ｘに駆動する。支持体２は、コイル６が第２方向Ｘに複数並んで保持されるコイル保持部３１を備える。可動体３は、磁石７が固定されるヨーク８０を備える。ヨーク８０は、コイル保持部３１に対してＺ１方向（第１方向の一方側）で対向する第１板部８１と、コイル保持部３１に対してＺ２方向（第１方向の他方側）で対向する第２板部８２と、コイル保持部３１に対して第３方向Ｙの両側に配置されて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４と、を備える。連結板部８３には、コイル６からＹ１方向に引き出される引き出し線６０を通す開口部８７が設けられている。

【0043】

実施形態１のアクチュエータ１では、ヨーク８０の連結板部８３、８４は、コイル保持部３１に対して可動体３の振動方向（第２方向Ｘ）には対向しておらず、振動方向と交差する方向（第３方向Ｙ）でコイル保持部３１と対向する。従って、可動体３の振幅を大きくしたり、ヨーク８０の板厚を大きくした場合でも、コイル保持部３１と連結板部８３、８４とが衝突しない。従って、可動体３の振幅の増大を図ることができる。また、ヨーク８０の板厚を大きくした場合でも、コイル保持部３１と連結板部８３、８４とが衝突しない。従って、可動体３の重量を大きくして強い振動を発生させることができる。

【0044】

さらに、実施形態１のアクチュエータ１では、コイル線の引き出し線６０を通す開口部８７が連結板部８３に設けられているので、コイル線を振動方向と交差する方向（第３方向Ｙ）に引き出すことができる。これにより、長円状のコイル６の長手方向の端部から引き出し線６０を引き出すことができるので、コイル線の引き出し線６０の長さの増大、および、引き出し線６０を引き回す経路の複雑化を抑制できる。

【0045】

実施形態１では、支持体２は、コイル保持部３１から第３方向Ｙに突出して開口部８７に配置されるガイド部３４を備える。引き出し線６０は、ガイド部３４に設けられたガイド溝３５に配置される。このように、引き出し線６０をガイド溝３５に配置して引き回すことにより、引き出し線６０を保護できる。また、引き出し線６０をガイド溝３５に沿って引き回すことにより、決められた経路に容易に引き回すことができる。

【0046】

実施形態１では、コイル６は、第２方向Ｘに並ぶ第１コイル６１および第２コイル６２を含み、ガイド部３４は、第１コイル６１のＹ１方向（第３方向の一方側）、および、第２コイルのＹ１方向の２箇所に設けられている。開口部８７は、２箇所のガイド部３４を配置可能な大きさになっている。このように、各コイル６に対応してガイド部３４を設けることで、各コイル６からそれぞれ引き出し線６０を直線状の経路で引き出すことができる。従って、引き出し線６０の長さを短くすることができる。また、引き出し線６０を引き回す経路を単純化することができる。

【0047】

実施形態１では、支持体２は、コイル保持部３１を備えるコイルホルダ３０と、第１板部８１に対してＺ１方向（第１方向の一方側）で対向する第１端板部１１、および第１端板部１１の外周縁からＺ２方向（第１方向の他方側）へ延びる第１側板部１２を備える第１ケース部材１０と、第２板部８２に対してＺ２方向で対向する第２端板部２１、および第２端板部２１の外周縁からＺ１方向へ延びる第２側板部２２を備える第２ケース部材２０と、を有する。ガイド部３４は、コイル保持部３１のＹ１方向（第３方向の一方側）において第１側板部１２と第２側板部２２との隙間に配置される。このように、第１ケース部材１０と第２ケース部材２０との間にガイド部３４の先端を挿入可能な隙間Ｓを設けることにより、引き出し線６０を支持体２の外部に引き出す経路を確保できる。また、支持体２の側面に引き出し線６０を引き出すことができるので、支持体２の側面に固定した配線基板５に容易に引き出し線６０を接続することができる。

【0048】

実施形態１では、接続体９は、第１板部８１と第１端板部１１とを接続する第１接続体
９１、９２と、第２板部８２と第２端板部２１とを接続する第２接続体９３、９４と、を備える。第１接続体９１、９２および第２接続体９３、９４は、粘弾性体である。このような配置により、可動体３が第２方向Ｘに振動する際、粘弾性体がせん断方向に振動して、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性で変形する。従って、入力信号に対する振動加速度の再現性が高いアクチュエータ１が得られるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。

【0049】

実施形態１では、磁石７は、コイル６に対してＺ１方向（第１方向の一方側）で対向する第１磁石７１、７２と、コイル６に対してＺ２方向（第１方向の他方側）で対向する第２磁石７３、７４と、を備える。第１磁石７１、７２は、第１板部８１に保持され、第２磁石７３、７４は、第２板部８２に保持される。このように、コイル６の第１方向Ｚの両側に磁石７を配置することにより、大きなローレンツ力を発生させることができ、強い振動を発生させることができる。

【0050】

（実施形態２）
図６は、実施形態２のアクチュエータ１Ａの斜視図である。図２は、実施形態２のアクチュエータ１ＡのＺ２方向から見た分解斜視図である。以下、実施形態１と同一の構成は同一の符号を付して説明を省略し、実施形態１とは異なる構成を説明する。

【0051】

実施形態１のコイルホルダ３０には、コイル６の数に対応して２箇所のガイド部３４が設けられているのに対して、実施形態２のコイルホルダ３０Ａには、ガイド部３４Ａが１箇所のみ設けられている（図７参照）。ガイド部３４Ａは、第１コイル６１と第２コイル６２の第２方向Ｘの中間の位置に配置される。コイル保持部３１およびガイド部３４ＡのＺ２方向の表面には、ガイド溝３５Ａが設けられている。

【0052】

実施形態２のコイルホルダ３０Ａには、第１コイル６１と第２コイル６２とを直列に接続するコイル線が配置される１本のガイド溝３５Ａと、第１コイル６１からガイド部３４のＹ１方向の先端まで延びる１本のガイド溝３５Ａと、第２コイル６２からガイド部３４のＹ１方向の先端まで延びる１本のガイド溝３５Ａが設けられている。

【0053】

実施形態２のヨーク８０Ａは、連結板部８３を貫通する開口部８７Ａに配置されるガイド部３４Ａの数が１つである。そのため、開口部８７Ａの第２方向Ｘの開口幅は、実施形態１の開口部８７の第２方向Ｘの開口幅よりも短い。ガイド部３４Ａは、開口部８７Ａを通過して連結板部８３のＹ１方向に突出し、第１ケース部材１０の第１壁１３の先端と第２ケース部材２０の第２側板部２２の先端との隙間Ｓに挿入される。第１コイル６１から引き出した１本の引き出し線６０、および、第２コイル６２から引き出した１本の引き出し線６０は、ガイド部３４Ａの先端においてＺ１方向に屈曲し、配線基板５の表面に設けられたランド５０Ａまで引き回された後、半田によりランド５０Ａに接続される。

【0054】

（実施形態２の主な作用効果）
実施形態２では、実施形態１と同様に、ヨーク８０の連結板部８３、８４は、可動体３の振動方向と交差する方向でコイル保持部３１と対向する。従って、可動体３の振幅を大きくしてもヨーク８０と支持体２とが衝突しない。また、ヨーク８０の板厚を大きくしてもヨーク８０と支持体２とが衝突しない。よって、実施形態１と同様に、可動体３の振幅を増大させることができる。また、可動体３の重量を大きくして強い振動を発生させることができる。

【0055】

実施形態２では、実施形態１と同様に、コイル線の引き出し線６０を通す開口部８７Ａを連結板部８３に設けているので、コイル線を可動体３の振動方向と交差する方向に引き出すことができる。従って、実施形態１と同様に、コイル線の引き出し線６０の長さの増
大、および、引き出し線６０を引き回す経路の複雑化を抑制できる。

【0056】

実施形態２では、コイル６は、第２方向Ｘに並ぶ第１コイル６１および第２コイル６２を含む。コイルホルダ３０Ａには、ガイド部３４Ａが１箇所に設けられている。第１コイル６１から引き出される引き出し線６０、および、第２コイル６２から引き出される引き出し線６０は、いずれも、共通のガイド部３４Ａに設けられたガイド溝３５Ａに配置される。このように、ガイド部３４Ａを１箇所に集約することにより、開口部８７Ａの第２方向Ｘの長さを短くすることができる。これにより、ヨーク８０Ａに設ける開口部８７Ａの開口面積を小さくすることができる。従って、開口部８７Ａを設けたことによるヨーク８０Ａの重量減少を抑制できるので、可動体３の重量を確保できる。

【符号の説明】

【0057】

１、１Ａ…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…磁気駆動回路、５…配線基板、６…コイル、７…磁石、９…接続体、１０…第１ケース部材、１１…第１端板部、１２…第１側板部、１３…第１壁、１４…第２壁、１５…第３壁、１６…第４壁、１７…段部、１８…凹部、２０…第２ケース部材、２１…第２端板部、２２…第２側板部、３０、３０Ａ…コイルホルダ、３１…コイル保持部、３２…縁部、３３…コイル配置穴、３４、３４Ａ…ガイド部、３５、３５Ａ…ガイド溝、５０、５０Ａ…ランド、６０…引き出し線、６１…第１コイル、６２…第２コイル、７１、７２…第１磁石、７３、７４…第２磁石、８０、８０Ａ…ヨーク、８１…第１板部、８２…第２板部、８３、８４…連結板部、８５…第１ヨーク、８６…第２ヨーク、８７、８７Ａ…開口部、９１、９２…第１接続体、９３、９４…第２接続体、Ｓ…隙間、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】