特開 2024-7413 基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024007413

(43)【公開日】2024-01-18

(54)【発明の名称】基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240110BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20240110BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/86 400

【審査請求】有

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023103987

(22)【出願日】2023-06-26

(31)【優先権主張番号】63/357,011

(32)【優先日】2022-06-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】邱 銘乾

(72)【発明者】

【氏名】沈 恩年

(72)【発明者】

【氏名】莊 家和

(72)【発明者】

【氏名】李 國華

(72)【発明者】

【氏名】呂 俊明

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA06

3E096BA15

3E096BA16

3E096BB03

3E096CA01

3E096DA09

3E096DA17

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5F131GA13

5F131GA22

5F131GA30

5F131GA33

5F131GA63

5F131GA69

5F131GA85

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファを提供する。
【解決手段】本発明に係る基板収納容器は、容器本体と、ドアと、制限器と、支持具と、少なくとも２つの弾性バッファと、を含んで構成されている。容器本体は収納スペース及び収納スペースに連通されている開口部を有し、ドアは開口部に設置され、制限器はドアに設置されていると共に開口部に向けられ、支持具は収納スペースの一側に設置されている。少なくとも２つの弾性バッファはドアと制限器との間、及び支持具と容器本体との間にそれぞれ緊密に配設されている。また、本発明は基板収納容器のドア組み立て部材、基板収納容器の支持具組み立て部材、及び基板収納容器中に用いられる弾性バッファを更に提供する。本発明に係る弾性バッファは基板収納容器中の任意の２つの剛性部材の間に適用され、緩衝力及び適度な摩擦力を提供し、剛性部材の衝突を和らげ、粉塵が生成される問題を減少させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

収納スペース及び前記収納スペースに連通されている開口部を有している容器本体と、
前記開口部に設置されているドアと、
前記ドアに設置されている制限器であって、前記制限器は前記開口部に向けられている制限器と、
前記収納スペースの一側に設置されている支持具と、
前記ドアと前記制限器との間、及び前記支持具と前記容器本体との間にそれぞれ緊密に配設されている少なくとも２つの弾性バッファと、を備えていることを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

少なくとも２つの前記弾性バッファは受け体を各々備え、前記各受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記ドアは前記開口部に向けられた表面に少なくとも１つの凸部が設けられ、少なくとも２つの前記弾性バッファのうちの１つは前記凸部に設置され、前記凸部に設置されている前記弾性バッファの２つの前記受け当接面は前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記支持具は少なくとも１つの凸部を有し、前記凸部は前記容器本体の内壁面に向けられ、少なくとも２つの前記弾性バッファのうちの１つは前記凸部に設置され、前記凸部に設置されている前記バッファの２つの前記受け当接面は前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記ドアの少なくとも１つの貫通穴に設置されている少なくとも１つの空気圧レギュレーターを更に備え、少なくとも１つの前記空気圧レギュレーターは前記収納スペース内部のガスの置換率を調節するために用いられていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項6】

少なくとも２つの空気圧レギュレーターを更に備え、少なくとも２つの前記空気圧レギュレーターは吸気調整部材または排気調整部材であるか、或いは少なくとも１つの吸気調整部材及び少なくとも１つの排気調整部材の組み合わせであり、前記吸気調整部材及び前記排気調整部材は前記ドアの異なる貫通穴中にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項7】

基板収納容器の開口部に設置されているドアであって、前記ドアは前記開口部に向けられた表面に少なくとも１つの凸部が設けられているドアと、
前記ドアに設置されている制限器であって、前記制限器は前記開口部に向けられている制限器と、
前記凸部に設置されている少なくとも１つの弾性バッファであって、前記弾性バッファは受け体を含み、前記受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入され、２つの前記受け当接面は前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられている少なくとも１つの弾性バッファと、を備えていることを特徴とする基板収納容器のドア組み立て部材。

【請求項8】

前記受け体は閉鎖端を有し、前記凸部の上端は前記閉鎖端に突き当てられていることを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器のドア組み立て部材。

【請求項9】

基板収納容器の収納スペースの一側に設置されている支持具であって、前記支持具は少なくとも１つの凸部を有し、前記凸部は前記基板収納容器の内壁面に向けられている支持具と、
前記凸部に設置されている少なくとも１つの弾性バッファであって、前記弾性バッファは受け体を含み、前記受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入され、２つの前記受け当接面は前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられている少なくとも１つの弾性バッファと、を備えていることを特徴とする基板収納容器の支持具組み立て部材。

【請求項10】

前記受け体は前記受け空間に連通されている貫通孔を更に有し、前記凸部は前記受け空間から前記貫通孔に貫入されていることを特徴とする請求項９に記載の基板収納容器の支持具組み立て部材。

【請求項11】

前記凸部の末端には掛合端を更に有し、前記掛合端は前記貫通孔に貫入され、且つ前記受け体の外面に掛合されていることを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器の支持具組み立て部材。

【請求項12】

基板収納容器中で用いられ、前記基板収納容器には第１部材及び第２部材が設置され、前記第１部材は凸部を有している弾性バッファであって、
前記凸部に覆設され、前記第１部材と前記第２部材との間に緊密に当接させるために用いられている受け体を備えていることを特徴とする弾性バッファ。

【請求項13】

前記第１部材はドアであり、前記第２部材は制限器であり、前記受け体は前記ドアの凸部に覆設され、前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられていることを特徴とする請求項１２に記載の弾性バッファ。

【請求項14】

前記受け体は閉鎖端を有し、前記凸部の上端は前記閉鎖端に突き当てられていることを特徴とする請求項１３に記載の弾性バッファ。

【請求項15】

前記第１部材は支持具であり、前記第２部材は前記基板収納容器の内壁面であり、前記受け体は前記支持具の凸部に覆設され、前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられていることを特徴とする請求項１２に記載の弾性バッファ。

【請求項16】

前記受け体は受け空間と、受け口と、貫通孔とで構成され、前記受け口及び前記貫通孔は前記受け空間に連通され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入されていると共に前記受け空間から前記貫通孔に貫入されていることを特徴とする請求項１５に記載の弾性バッファ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器に関し、より詳しくは、基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファに関する。

【背景技術】

【0002】

現在市場の半導体産業では基板収納容器を採用して基板を積載している。基板はプリント回路基板、ウェハー等の半導体素子であり、トレー（tray）またはガラス等のシート状物品でもよい。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

しかしながら、基板収納容器は輸送過程において、過大に上下に振動しやすく、基板が破裂したり、基板キャリア内の素子が緩んだり、摩擦により粉塵が発生したり、ひいては基板収納容器内の清潔度に重大な影響が及んだ。また、基板収納容器に設備インターフェースを組み合わせて輸送位置決め操作を行う過程において、粉塵問題が発生した。

【0004】

そこで、基板収納容器が振動を受けて基板が毀損し、基板収納容器内部の構成素子が緩み、基板収納容器内部と構成素子との間で摩擦が起こり、基板収納容器及び設備インターフェースの輸送位置決め過程で摩擦が生じて粉塵が発生する等の多くの問題を解決することが切望されていた。

【0005】

本発明は、従来の基板収納容器の問題点に鑑みて本発明者の鋭意研究により成されたものであり、その目的は、基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施態様によれば、基板収納容器が提供される。本発明に係る基板収納容器は、収納スペース及び前記収納スペースに連通されている開口部を有している容器本体と、前記開口部に設置されているドアと、前記ドアに設置されている制限器であって、前記制限器は前記開口部に向けられている制限器と、前記収納スペースの一側に設置されている支持具と、前記ドアと前記制限器との間、及び前記支持具と前記容器本体との間にそれぞれ緊密に配設されている少なくとも２つの弾性バッファと、を備えている。

【0007】

本発明の好適例において、少なくとも２つの前記弾性バッファは受け体を各々備え、前記各受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成されている。

【0008】

本発明の好適例において、前記ドアは前記開口部に向けられた表面に少なくとも１つの凸部が設けられ、少なくとも２つの前記弾性バッファのうちの１つは前記凸部に設置され、前記凸部に設置されている前記弾性バッファの２つの前記受け当接面は前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられている。

【0009】

本発明の好適例において、前記支持具は少なくとも１つの凸部を有し、前記凸部は前記容器本体の内壁面に向けられ、少なくとも２つの前記弾性バッファのうちの１つは前記凸部に設置され、前記凸部に設置されている前記バッファの２つの前記受け当接面は前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられている。

【0010】

本発明の好適例において、前記ドアの少なくとも１つの貫通穴に設置されている少なくとも１つの空気圧レギュレーターを更に備え、少なくとも１つの前記空気圧レギュレーターは前記収納スペース内部のガスの置換率を調節するために用いられている。

【0011】

本発明の好適例において、少なくとも２つの空気圧レギュレーターを更に備え、少なくとも２つの前記空気圧レギュレーターは吸気調整部材または排気調整部材であるか、或いは少なくとも１つの吸気調整部材及び少なくとも１つの排気調整部材の組み合わせであり、前記吸気調整部材及び前記排気調整部材は前記ドアの異なる貫通穴中にそれぞれ配置されている。

【0012】

また、上記目的を達成するため、本発明はさらに基板収納容器のドアの組み立て部材を提供する。本発明に係る基板収納容器のドアの組み立て部材は、前記基板収納容器の開口部に設置されているドアであって、前記ドアは前記開口部に向けられた表面に少なくとも１つの凸部が設けられているドアと、前記ドアに設置されている制限器であって、前記制限器は前記開口部に向けられている制限器と、前記凸部に設置されている少なくとも１つの弾性バッファであって、前記弾性バッファは受け体を含み、前記受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入され、２つの前記受け当接面は前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられている少なくとも１つの弾性バッファと、を備えている。

【0013】

本発明の好適例において、前記受け体は閉鎖端を有し、前記凸部の上端は前記閉鎖端に突き当てられている。

【0014】

また、上記目的を達成するため、本発明はさらに基板収納容器の支持具組み立て部材を提供する。本発明に係る支持具組み立て部材は、前記基板収納容器の収納スペースの一側に設置されている支持具であって、前記支持具は少なくとも１つの凸部を有し、前記凸部は前記基板収納容器の内壁面に向けられている支持具と、前記凸部に設置されている少なくとも１つの弾性バッファであって、前記弾性バッファは受け体を含み、前記受け体は２つの受け当接面を有し、２つの前記受け当接面が連接されることで受け空間及び前記受け空間に連通されている受け口が形成され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入され、２つの前記受け当接面は前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられている少なくとも１つの弾性バッファと、を備えている。

【0015】

本発明の好適例において、前記受け体は前記受け空間に連通されている貫通孔を更に有し、前記凸部は前記受け空間から前記貫通孔に貫入されている。

【0016】

本発明の好適例において、前記凸部の末端には掛合端を更に有し、前記掛合端は前記貫通孔に貫入され、且つ前記受け体の外面に掛合されている。

【0017】

また、上記目的を達成するため、本発明はさらに基板収納容器に用いられる弾性バッファを提供する。前記基板収納容器中で用いられ、前記基板収納容器には第１部材及び第２部材が設置され、前記第１部材は凸部を有している。前記弾性バッファは、前記凸部に覆設され、前記第１部材と前記第２部材との間に緊密に当接させるために用いられている受け体を備えている。

【0018】

本発明の好適例において、前記第１部材はドアであり、前記第２部材は制限器であり、前記受け体は前記ドアの凸部に覆設され、前記ドアと前記制限器との間に緊密に当接させるために用いられている。

【0019】

本発明の好適例において、前記受け体は閉鎖端を有し、前記凸部の上端は前記閉鎖端に突き当てられている。

【0020】

本発明の好適例において、前記第１部材は支持具であり、前記第２部材は前記基板収納容器の内壁面であり、前記受け体は前記支持具の凸部に覆設され、前記支持具と前記内壁面との間に緊密に当接させるために用いられている。

【0021】

本発明の好適例において、前記受け体は受け空間と、受け口と、貫通孔とで構成され、前記受け口及び前記貫通孔は前記受け空間に連通され、前記凸部は前記受け口から前記受け空間中に挿入されていると共に前記受け空間から前記貫通孔に貫入されている。

【発明の効果】

【0022】

本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
以上述べた如く、本発明に係る基板収納容器とそのドアの組み立て部材、支持具組み立て部材及び弾性バッファは、基板収納容器に応用される任意の２つの剛性部材の間の弾性バッファにより緩衝力及び適度な摩擦力を提供することで、剛性部材の衝突を軽減し、粉塵が発生するという問題を減少させている。このほか、基板収納容器が熱膨張と冷却凝縮により変形した場合、弾性バッファを設置することによって前記変形を解消し、素子間の緩みを防ぐ。

【0023】

本発明の他の目的、構成及び効果については、以下の発明の実施の形態の項から明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の一実施例に係る基板収納容器を示す概略組立図である。

【図2】本発明の一実施例に係るドアの組み立て部材を示す概略組立図である。

【図3】本発明の一実施例に係るドアの組み立て部材を示す背面図である。

【図4A】図３のＡ－Ａ線に沿う概略断面図である。

【図4B】本発明の一実施例に係る制限器と弾性バッファが係合していない状態を示す概略組立図である。

【図5A】本発明の一実施例に係る支持具組み立て部材を示す側面図である。

【図5B】本発明の一実施例に係る掛合端と弾性バッファが掛合する前の拡大図である。

【図5C】本発明の一実施例に係る支持具組み立て部材の変化率を示す部分拡大概略図である。

【図6A】本発明の一実施例に係る基板収納容器に適用されている弾性バッファを示す概略断面図（一）である。

【図6B】本発明の一実施例に係る基板収納容器に適用されている弾性バッファを示す概略断面図（二）である。

【図7】本発明の一実施例に係る空気圧レギュレーターを示す概略組立図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【0026】

本発明の一実施例に係る基板収納容器１００は、容器本体１と、ドア２と、制限器３と
、支持具４と、少なくとも２つの弾性バッファ５１、５２と、を含んで構成されている（図１参照）。

【0027】

容器本体１は収納スペースＳ及び収納スペースＳに連通されている開口部１１を有している。収納スペースＳは、回路基板、ウェハー、トレー、ガラス等の複数のシート状物品を収容するために用いられているが、本発明はこれらに限られない。

【0028】

ドア２は開口部１１に可動に設置され、収納スペースＳを開閉するために用いられている。

【0029】

ドア２の開口部１１に向けられた表面には少なくとも１つの凸部２１が設けられ、制限器３はドア２の凸部２１に設置されている。制限器３は開口部１１に向けられ、収納スペースＳ内にある複数のシート状物品を保持するために用いられ、安定的な支持効果を提供している（図２と図３参照）。

【0030】

支持具４は収納スペースＳの一側に設置され、収納スペースＳ内にある複数のシート状物品を支持及び/または隔離するために用いられている。支持具４は、好ましくは、少な
くとも２セット提供し、収納スペースＳの対向しあう両側にそれぞれ設置されている。図５Ａ乃至図６Ａに示す如く、支持具４は少なくとも１つの凸部４１を有し、凸部４１は容器本体１の内壁面１２に向けられている。内壁面１２は容器本体１の左右の側壁面、後側の壁面、底側の壁面及び上側の壁面でもよいが、本発明は内壁面１２の実際の位置について限定せず、支持具４と相互に係合するあらゆる容器本体１の内壁面は全て本発明の指示する内壁面１２とすることができる。図６Ａの例では、内壁面１２は容器本体１の後側の壁面である。他の実施例では、内壁面１２ａは容器本体１の上部の壁面である（図６Ｂ参照）。

【0031】

図１乃至図６Ｂに示す如く、少なくとも２つの弾性バッファ５１、５２はドア２と制限器３との間、及び支持具４と容器本体１との間にそれぞれ緊密に配設されている。弾性バッファ５１はドア２と制限器３との間に緊密に配設され、弾性バッファ５２は支持具４と容器本体１との間に緊密に配設されている。弾性バッファ５１、５２は弾性がある耐摩耗性材質であり、例えば、シリカゲル（Silica Gel）、フッ化ゴムであり、従来の制限器とドアとの間では相互に近接して干渉が発生し、振動、熱膨張と冷却凝縮等の現象により容易に脱落するという問題を解決し、且つ従来の支持具と容器本体との間では剛性特性により干渉摩擦が発生し、両者の間の隙間が衝突し、これにより粉塵が発生する等の問題も解決する。

【0032】

弾性バッファ５１、５２が弾性、耐摩擦等の特性を備えているため、弾性バッファ５１がドア２に覆設されると、弾性バッファ５１が制限器３の接合部３１により圧迫されて弾性変形が生じることで、緊密に保持する効果を達成している。詳しくは、弾性バッファ５１が圧迫されて制限器３の接合部３１とドア２の凸部２１との間に密着し、弾性バッファ５１の材質特性により高い圧着力を発生させると共に、緩衝力及び適度な摩擦力も提供する。このほか、基板収納容器１００が熱膨張と冷却凝縮により変形する場合、弾性バッファ５１を設置することで前記変形を解消し、制限器３がドア２から緩むのを防止している。一方、弾性バッファ５２が支持具４に覆設され、支持具４が容器本体１の内壁面１２の係合溝１２１に組み立てられると（図６Ａ参照）、弾性バッファ５２が支持具４の凸部４１と係合溝１２１との間の隙間を充填することで、摩擦により粉塵が発生する問題を解決している。

【0033】

本実施例では、ドア２及び制限器３、支持具４及び容器本体１をそれぞれ例として挙げ、実施において、本発明に係る弾性バッファは基板収納容器１００中の任意の２つの剛性
部材の間で応用し、緩衝力及び適度な摩擦力を提供して剛性部材の衝突を和らげ、粉塵が発生する問題を減少させている。よって、本発明に係る弾性バッファはドア２と制限器３との間、または支持具４と容器本体１との間に設置されることに限定されない。容器本体１の設計の必要に応じて、任意の２つの隣接する部材を第１部材及び第２部材と見做し、第１部材は凸部を有し、弾性バッファは第１部材と第２部材との間に当接される。第１部材は、例えば、前述したドア２または支持具４であり、第２部材は、例えば、前述した制限器３または容器本体１である。

【0034】

本発明の弾性バッファは以下の構造を有している。受け体は第１部材の凸部に覆設され、第１部材と第２部材との間に緊密に当接させるために用いられている。

【0035】

図１乃至図４Ｂに示す如く、弾性バッファ５１がドア２と制限器３との間に設置される例について説明する。受け体は２つの受け当接面５１１を有し、２つの受け当接面５１１が連接されることで受け空間５１２及び受け空間５１２に連通されている受け口５１３が形成されている。受け口５１３はドア２（第１部材）の凸部２１が受け口５１３から受け空間５１２中に挿入されるものを許容し、こうすることで、受け体がドア２の凸部２１に覆設され、２つの受け当接面５１１がドア２と制限器３（第２部材）との間に緊密に当接させるために用いられている。詳しくは、受け当接面５１１の内面は凸部２１の側面に緊着され、ドア２に密接されている。受け当接面５１１の外面は制限器３に緊着され、制限器３に密接されている。受け体はし２つの受け当接面５１１を有し、各受け当接面５１１は全て凸部２１と制限器３との間に緊密に当接されている。本発明では、弾性バッファ５１の材質の弾性変形特性を利用し、ドア２と制限器３との間に高い圧着力を発生させ、且つ緩衝力及び適度な摩擦力を提供し、制限器３がドア２から緩むのを防止している。この例では、受け体は閉鎖端５１４を更に有し、ドア２の凸部２１の上端は閉鎖端５１４に突き当てられている。即ち、受け体は凸部２１を封止するように被覆している。

【0036】

他の例では、支持具４と容器本体１との間に設置されている弾性バッファ５２の例を挙げ、その受け体は２つの受け当接面５２１を有し、２つの受け当接面５２１が連接されることで受け空間５２２及び受け空間５２２に連通されている受け口５２３が形成されている。受け口５２３は支持具４（第１部材）の凸部４１が受け口５２３から受け空間５２２中に挿入するのを許容し、こうすることで、受け体が支持具４の凸部４１に覆設され、２つの受け当接面５２１が支持具４と容器本体１（第２部材）の内壁面１２との間に緊密に当接させるために用いられている（図１と図５Ａ乃至図６Ａ参照）。詳しくは、受け当接面５２１の内面は凸部４１の側面に緊着され、支持具４に密接されている。受け当接面５２１の外面は内壁面１２に更に緊着され、内壁面１２に密接されている。受け体は２つの受け当接面５２１を有し、各受け当接面５２１は共に凸部４１と内壁面１２との間に緊密に当接されている。本発明では、弾性バッファ５２の材質の弾性変形特性を利用し、内壁面１２と支持具４との間に高い圧着力を発生させ、且つ緩衝力及び適度な摩擦力を提供し、支持具４が容器本体１から緩むのを防止し、同時に摩擦が粉塵を発生させる問題を回避している。この例において、受け体は貫通孔５２４を更に有し、貫通孔５２４は前記受け空間５２２に連通され、支持具４の凸部４１は受け空間５２２から貫通孔５２４に貫入している。さらに、この例において、図５Ａ及び図５Ｂに示す如く、支持具４の凸部４１の末端には掛合端４１１を更に有し、貫通孔５２４は掛合端４１１の位置に適合し、掛合端４１１は貫通孔５２４に貫入され、且つ受け体の外面に掛合され、こうすることで、弾性バッファ５２が固定されるように掛合されている。他の変形例では、図５Ｃに示す如く、支持具４の凸部４１ａは前述した掛合端４１１を有しておらず、弾性バッファ５２は支持具４の凸部４１ａに覆設され、凸部４１ａは貫通孔５２４に貫入されている。例えば、支持具４の凸部４１ａが容器本体１の上部の壁面に向けられている場合、弾性バッファ５２は重力により自然に凸部４１ａに覆設されるため、凸部４１ａは掛合端４１１を有する必要がない。ただし、本発明はこれに限られない。

【0037】

図６Ａの対応変化例とする場合、図６Ｂの内壁面１２ａは容器本体１の上部の壁面であり、図６Ａでは内壁面１２は容器本体１の後側の壁面である。この例において、支持具４と容器本体１との間にある弾性バッファ５２は支持具４の上部の凸部４１ａが挿入するのを許容し、こうすることで、受け体が支持具４の凸部４１ａに覆設され、弾性バッファ５２が支持具４と内壁面１２ａの係合溝１２１ａとの間に緊密に当接される。弾性バッファ５２の材質の弾性変形特性を利用し、内壁面１２ａと支持具４との間に高い圧着力を発生させ、且つ緩衝力及び適度な摩擦力を提供し、支持具４が容器本体１から緩むのを防止し、同時に摩擦が粉塵を発生させる問題を回避している。

【0038】

さらに、本実施例では、図１と図７を併せて参照し、基板収納容器１００は、ドア２の少なくとも１つの貫通穴２３に設置されている少なくとも１つの空気圧レギュレーター２２を更に備え、貫通穴２３は収納スペースＳ及び外部の穴に連通され、且つその設置位置は制限器３の設置範囲を避ける必要がある。空気圧レギュレーター２２は収納スペースＳ内部のガスの置換率を調節するために用いられている。空気圧レギュレーター２２は、例えば、逆止弁でもよく、収納スペースＳの圧力値を調節可能である。例えば、収納スペースＳの圧力値が真空状態に向かっている場合、圧力が解放され、収納スペースＳのガス置換が調節され、同時に収納スペースＳの湿度も効果的に低下する。

【0039】

さらに、前述した空気圧レギュレーター２２の数量は少なくとも２つであり、少なくとも２つの空気圧レギュレーター２２は吸気調整部材２２１または、排気調整部材２２２、或いは少なくとも１つの吸気調整部材２２１及び少なくとも１つの排気調整部材２２２の組み合わせであり、吸気調整部材２２１及び排気調整部材２２２はドア２の異なる貫通穴２３中にそれぞれ配置され、収納スペースＳのガスの置換効率の調節を向上している。吸気調整部材２２１及び排気調整部材２２２は、例えば、互いに逆方向になる逆止弁でもよい。

【0040】

本発明は、その精神又は主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。更に、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。

【符号の説明】

【0041】

１００ 基板収納容器
１ 容器本体
１１ 開口部
１２ 内壁面
１２ａ 内壁面
１２１ 係合溝
１２１ａ 係合溝
２ ドア
２１ 凸部
２２ 空気圧レギュレーター
２２１ 吸気調整部材
２２２ 排気調整部材
２３ 貫通穴
３ 制限器
３１ 接合部
４ 支持具
４１ 凸部
４１ａ 凸部
４１１ 掛合端
５１ 弾性バッファ
５１１ 受け当接面
５１２ 受け空間
５１３ 受け口
５１４ 閉鎖端
５２ 弾性バッファ
５２１ 受け当接面
５２２ 受け空間
５２３ 受け口
５２４ 貫通孔
Ｓ 収納スペース

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図6A】

【図6B】

【図7】